CA1303153C - Resonateur piezoelectrique - Google Patents

Abstract

Le résonateur comporte deux plaques et au moins deux barreaux parallèles reliant les plaques l'une à l'autre. L'orientation de la plaquette de quartz dans laquelle le résonateur a été découpé et la disposition des électrodes sur les barreaux sont telles que ces barreaux vibrent dans un mode d'allongement. Le mode d'allongement des barreaux est, par ailleurs, couplé à un mode de flexion des plaques et des barreaux dans le but d'améliorer les propriétés thermiques du résonateur. La présente invention peut être appliquée aux dispositifs dans lesquels les dimensions du résonateur doivent être aussi faibles que possible et/ou dans lesquels sa fréquence de résonance doit être aussi basse que possible.

Description

131~

- RESONATEUR PIEZOELECTRI~UE

La presente invention à pour objet un résonateur piezoelectrique comportant deux plaques, au moins deux barreaux paralleles reliant lesdites plaques l'une a l'autre, et des moyens pour exciter une vibration dudit résonateur dans un premier mode de contour.
La demande de brevet EP-A-0086739 decrit un resonateur com-prenant des plaques reunies par des bras resonnants,realise dans une plaquette de quartz de coupe ZT et vibrant dans son plan.
Cette coupe est definie, par exemple, dans le brevet CH-A-623690, et ne sera donc pas rappelee ici.
Ce resonateur est excite dans un mode d'allongement et sa coupeest telle qu'aucun autre mode de vibration n'est couple fi ce mode - d'allongement a la temperature d'utilisation.
La longueur des bras de ce resonateur est determinee de maniere que leur frequence de resonance, lorsqu'ils sont entra;nes par les plaques, soit egale a celle de ces dernieres.
La coupe ZT de ce resonateur permet d'obtenir de tres bonnes proprietes thermiques et le rend fabricable par des techniques de production de masse, telles les techniques d'attaque chimique.
Grâce a sa forme, il peut être aisement fixe a un boitier par l'intermediaire d'une zone d'encastrement. Toutefois, comme il sera vu ci-apres, la frequence de travail et/ou les dimensions de ce resonateur 1e rendent peu propice a des applications où aussi bien le faible encombrement que la faible consommation sont requis.
En effet, pour un barreau mince de longueur 1 vibrant en allon-gement,Sa frequence f est liee a sa longueur par la relation f.l =
C/2;ou C represente la vitesse de propagation des oscillations dans le barreau. Dans le cas du resonateur mentionne precedemment, la longueur des plaques et celle des barreaux etant approximativement egales, la longueur L de ce resonateur es~ alors liee a sa frequence par la relation f.L = 3C/2 Il en decoule que, pour une frequence de resonance f donnee, la longueur totale L du resonateur est assez grande, ou que, pour une longueur totale L donnee, la frequence de resonnance f du resonateur est assez elevee.
'~

~3~3~

Or il existe de nombreux dispositifs utilisant des resonateurs piëzoelectriques, notamment les pieces d'horlogerie electroniques de petit volume telles que~ les montres-bracelet, dans lesquels ce resonateur doit avoir des dimensions aussi petites que possible et une frequence de résonance pas trop elevee pour que les circuits electroniques associes a se resonateur ne consomment pas trop d'energie electrique.
Du fait de la relation mentionnee ci-dessus entre sa longueur totale L et sa frequence de resonance f, le ,esonateur décrit ci-dessus n'est pas ideal pour être utilise dans de te1s disposi-tifs.
Un objet de la presente invention est un resonateur piezo-electrique qui ne presente pas les inconvenients mentionnes ci-dessus.
Un autre objet de l'invention est un resonateur ayant de bonnes proprietes thermiques, vibrant selon des modes de contour, aisement usinable chimiquement. encastrable, et dont le produit de la fre-quence par la longueur totale est plus faible que celui des reso-nateurs de l'art anterieur.
Ces objets sont realises par le resonateur revendique, grâce au fait que les moyens d'excitation de sa vibration dans un premier mode de contour sont agences de maniere a exciter cette vibration dans les barreaux qu'il comporte, et que sa coupe et ses dimensions sont determinees de maniere qu'au moins un deuxieme mode de contour, different de ce premier mode, soit couple a ce dernier.
D'autres buts, caracteristiques et avantages du resonateur selon l'invention seront rendus evidents par la description qui va etre faite maintenant de quelques formes d'execution de ce resonateur representees à titre d'exemples non limitatifs par les dessins annexes dans lesquels :
- la figure 1 est une vue en plan schematique d'une forme d'execution du resonateur selon l'invention;
- la figure 2 est une coupe schematique du resonateur de la figure 1 realisee selon l'axe A-A de cette figure 1;
- La figure 3 est une vue en plan schernatique d'une autre forme d'execution du resonateur selon l'invention;

`- ~3~31S3 - les figures 4 et 5 sont des coupes schematiques du résona-teur de la figure 3 réalisées respectivement selon les axes B-B et C-C de cette figure 3;
- la figure 6 est une vue en plan schématique d'une autre forme d'execution du résonateur selon l'inventioni - la figure 7 est une coupe schematique du résonateur de la figure 6 realisee selon l'axe D-D de cette figure 6; et - La figure 8 est une vue en plan schematique d'une autre forme d'execution du resonateur selon l'invention.
Dans la forme d'execution dont une vue en plan est représentée a la figure 1 et une vue en coupe, selon l'axe A-A de cette figure 1, est repr~sentee à la figure 2, le resonateur selon l'invention est designé par la réference 1.
Ce resonateur 1 comporte trois barreaux parallelepipediques 2, 3 et 4 disposes parallelement les uns aux autres et deux plaques rectangulaires 5 et 6 reliees chacune a une extr~mite des barreaux

2, 3 et A de maniare que le milieu de la largeur de ces plaques 5 et 6 colncide avec l'axe longitudinal du barreau median 3.
Le resonateur 1 comporte en outre deux bras de fixation 7 et 8 disposes de part et d'autre du barreau median 3, sensiblement au milieu de sa longueur.
Tous les elements 2 a 8 qui viennent d'être decrits ne forment qu'une seule et meme piace qui a ete decoupee, a l'aide d'une technique photolithographique connue en soi, dans une plaquette mince en quartz.
Cette plaquette a ete taillee de manière que son plan soit parallale a l'axe piezoelectrique X du quartz et perpendiculaire a un axe Z' faisant un angle de 2 avec l'axe optique Z du quartz. Une telle plaquette est generalement designee comme e~ant de coupe X+2.
Le resonateur 1 a ete ensuite decoupe dans cette plaquette de maniere que sa largeur W soit parallele a l'axe X du quartz sa longueur L etant parallale a un axe Y', perpendiculaire a cet axe X
et a l'axe Z' mentionne ci-dessus.
Dans la suite de cette description, la face du resonateur 1, ou - 35 de ses elements, qui est visible dans la figure 1 sera appelee arbitrairement premiere face, et celle qui n'est pas visible sera ,.
:

.

13~31S3 appelee deuxième face. Il en sera de même pour les autres résona-teurs qui seront decrits plus loin.
Le resonateur 1 porte sur sa première face une première elec-trode en trois parties 9, 10 et 11, disposees respectivement sur le bord de gauche des trois barreaux 2, 3, et 4.
La partie 10 de cette electrode est reliée electriquement à une borne de connexion 12 disposee sur le bras de fixation 7. Elle est egalement reliee aux parties 9 et 11 par des pistes conductrices 13 et 14 respectivement disposees sur les plaques 5 et 6.
lOLe resonateur 1 porte, sur sa deuxième face, une deuxieme electrode en trois parties 15, 16 et 17, disposees, respectivement, sur le bord de droite desdits trois barreaux 2, 3 et 4.
La partie 16 de cette electrode est reliée electriquement a une borne de connexion 18 disposee sur le bras de fixation 8. Elle est 15egalement reliee aux parties 15 et 17 par des pistes conductrices 19 et 20 respectivement disposees sur les plaques 5 et 6.
Les electrodes 9 a 11 et 15 a 17, les bornes de connexion 12 et 18 et les pistes conductrices 13, 14, 19 et 20 sont constituees par des couches metalliques, realisees, de maniere connue, pendant la fabrication du resonateur.
Il faut noter que chacune des bornes de connexion 12 et 18 pourrait occuper toute la surface du bras de fixation 7 ou 8 sur lequel elle est disposee. De meme ces bornes de connexion 12 et 18 pourraient etre respectivement disposees sur la premiere et sur la deuxieme face du meme bras de fixation. De telles formes d'execution du resonateur 1 n'ont pas ete representees.
Les bras de fixation 7 et 8 sont destines a etre relies a un support, faisant partie d'un boitier non represente, et sont situes au milieu de la longueur du barreau 3. Ils constituent une zone d'evanescence des mouvements et deformations du resonateur.
La configuration d'electrodes decrite ci-dessus permet, a l'aide d'un oscillateur adequat, d'exciter un mode d'allongement des barreaux du resonateur par le biais de la composante du champ electrique qui est parallele a l'axe X et dans le plan du resona-teur.
tomme les barreaux 2 a 4 sont charges par les plaques 5 et 6, leproduit de la frequence f du resonateur 1 par sa longueur L peut ~3~31~3 etre beaucoup plus faible que pour le resonateur de l'art anterieur mentionne precedemment. Ce produit peut s~exprimer par la relation:
f.L = K. C/2 On voit qu'il est avantageux de choisir un facteur K aussi faible que possible, car plus il est faible et plus la longueur totale L du resonateur 1 est faible pour une frequence de resonnance f donnee, ou plus la frequence de resonance f du resonateur est basse pour une longueur totale L donnee.
A titre d'exemple, pour un resonateur tel que le resonateur 1 destine a vibrer ~ une frequence d'environ 500 kHz, on peut choisir pour le facteur K une valeur aussi faible que 0,7.
A cette valeur, correspond une longueur totale du resonateur 1 de l'ordre de 4 millimetres, qui est encore acceptable dans la plupart des applications.
On voit donc que, a longueurs egales, la frequence de resonance du resonateur 1 est plus de quatre fois plus basse que celle du resonateur connu mentionne precedemment.
Cet avantage important du resonateur 1 par rapport au resonateur connu permet de l'utiliser beaucoup plus facilement que ce dernier dans les dispositifs mentionnes ci-dessus ou la place disponible est tres limitee et, surtout, ou la consommation d'energie electrique doit être la plus faible possible.
Il faut noter que la forme des différents elements du resonateur 1 (plaques et barreaux~, pourrait être differente de celle, rectan-gulaire, qu'ils ont dans la figure 1.
On sait que le comportement en temperature d'un resonateur aquartz peut être valablement represente par le polynôme du 3e degre suivant :
f = fo ~ (t-to) + B (t-to)2 + y (t-to)3], ou t represente la temperature en degre celsius, fo la frequence du resonateur a la temperature to et a, B et y representent respecti-vement les coefficients de temperature du premier, du deuxieme et du troisieme ordre.
La valeur des coefficients ~, B, et y depend de la coupe du quartz et des dimensions des divers elements du resonateur.

13~3~L~i3 Le resonateur l etant realise dans une plaquette de quartz de coupe X + 2 et vibrant dans un mode d'allongement, le coefficient a mentionne ci-dessus est t~es proche de zero.
Par ailleurs, selon l'invention, les dimensions des differents elements du resonateur 1 sont choisies de manière que le mode d'allongement des barreaux 2 a 4 soit couple elastiquement avec un mode de flexion des barreaux et des plaques 5 et 6 ayant une fre-quence de resonance voisine de celle de ce mode d'allongement. Grâce a ce couplage, il est possible d'obtenir une valeur tres faible du coefficient de deuxième ordre ~. La distance d, qui separe les axes des barreaux externes 2 et 4 ou la largeur W des plaques 5 et 6 peuvent etre utilisées comme parametres pour modifier le couplage entre les modes d'allongement et de flexion e~, par suite, ameliorer les proprietes thermiques du résonateur 1.
A titre d'exemple, le résonateur decrit ci-dessus presente les caracteristiques suivantes:
coupe: X + 2 frequence: 219 Hz longueur totale L: 3,7~ mm largeur totale W: 2,75 mm epaisseur: 0,1 a 0,2 mm longueur des bras l: 1,20 mm largeur des bras exterieurs bl: 0,30 mm largeur du bras median b2: 0,57 mm distance entre les axes des bras extérieurs d: 1,45 mm.
Le resonateur 51 représente en plan a la figure 3 et en coupe aux figures 4 et S, ces coupes étant respectivement faites selon les axes B-B et C-C de la figure 3, a une forme générale semblable a celle du resonateur 1 des figures 1 et 2.
Comme ce dernier, il a ete découpe dans une plaquette de quartz de coupe X + 2, et il comporte trois barreaux paralleles 52, 53 et 54, et deux plaques rectangulaires 55 et 5~ reliées aux extrêmites des barreaux 52, 53 et 54.
Le resonateur 51 presente donc le me~e avantage que le resona-teur 1 par rapport au resonateur connu decrit ci-dessus, c'est-a-di-re que sa frequence de resonance peut être beaucoup plus faible, a ~3(~31S3 dimensions egales, que celle de ce dernier, ou que sa longueur totale peut être beaucoup plus petite, a frequence de resonance egale, que celle de ce res~nateur connu.
Les figures 3 à 5 montrent que le resonateur 51 ne comporte S qu'un seul bras de fixation, designe par 57, qui est relie au barreau 53 au milieu de la longueur de ce dernier, et qui est destine a etre fixe à un support, non represente, faisant partie d'un boitier, également non represente.
A la place occupee par le bras de fixation 8 dans le resonateur 1, le resonateur 51 ne comporte qu'une simple plaquette rectangu-laire 58 qui, contrairement au bras de fixation 57, n'est pas destinee a etre fixee à un support.
Le bras de fixation 57 et la plaquette 58 ne forment bien entendu qu'une seule et même pièce avec le barreau 53, et donc avec le reste du resonateur 51.
Le fait que le resonateur 51 soit fixe de maniere asymetrique par le seul bras de ~ixation 57 et la presence de la plaque 58 permettent de compenser les dissymetries que peut engendrer, par exemple, un procede de fabrication par attaque chimique.
Il est egalement possible, pour compenser les effets resultants de l'attaque chimique et notamment pour ameliorer le facteur de qualite du resonateur, de decaler legerement la position des bar-reaux 52, 53 et 54 par rapport a l'axe median des plaques 55 et 56.
Ce decalage apparait sur la figure 3 ou M1 represente la position de l'axe median des plaques 55 et 56 et M2, celle de l'axe median des barreaux 52 a 54.
Il est evident que les mesures qui viennent d'etre decrites ne doivent pas toujours etre prises simultanement mais que, selon les cas, l'une ou l'autre, seulement, peut etre appliquee.
Le resonateur 51 porte, sur sa premiere face, une premiere electrode en trois parties 59, 60 et 61 disposees respectivement sur le bord gauche des barreaux 52, 53 et 54, et, sur sa deuxieme face, une deuxieme electrode en trois parties 62, 63 et 64 disposees respectivement sur le bord droit de ces barreaux.
Cette disposition des electrodes 59 a 64 est donc analogue a celle des electrodes 9 ~ 11 et 15 a 17 du resonateur 1. On voit cependant dans les figures 3 a 5 que, par rapport a la largeur de .

.
. .

~3~31$3 ces dernières electrodes, la largeur des electrodes 59 a 64 a ete augmentee, de sorte que chacune d'entre elle occupe la moitie de la largeur du barreau sur lequel elle est disposee.
En outre, toujours par rapport aux electrodes 9 a 11 et 15 a 17, la longueur des electrodes 59 a 64 a ete egalement augmentee, de sorte qu'elles s'etendent sur une partie des plaques 55 et 56.
Ces deux mesures, qui peuvent etre prises independamment l'une de l'autre, ont chacune pour effet d'augmenter le facteur de coupla-ge piezoelectrique du resonateur 51 par rapport à celui du resona-teur l; les modes de vibration, dimensions et proprietes thermiquesetant, par ailleurs, identiaues pour les deux resonateurs.
Les figures 3 a 5 illustrent une troisieme mesure qui peut etre prise, seule ou en combinaison avec les autres mesures mentionnees ci-dessus, pour augmenter encore la valeur du facteur de couplage piezoelectrique.
Cette mesure consiste a munir le resonateur 51 des electrodes laterales 59a a 64a qui sont disposées chacune sur un des flancs de l'un des barreaux 52 a 54 et qui sont reliees chacune a celle des electrodes 59 a 64 qui lui est adjacente.
Bien que les precedentes formes d'execution aient ete decrites dans le cadre d'une coupe X ~ 2, d'autres coupes peuvent egalement etre utilisees. Toutefois, il conviendra de tenir compte, dans le choix de la coupe du cristal, de criteres tels que: couplage piezo-electrique suffisant pour exciter le mode d'allongement des bar-reaux, valeur des coefficients de temperature ou facilite de la decoupe chimique.
Parmi les orientations possibles, on peut citer a titre d'exem-ple non limitatif celles qui sont designees sous le nom de coupe ZT
ou GT, ainsi que celles semblables a celle qui a ete utilisee pour le resonateur 1 de la figure 1, dans lesquelles le plan de la plaquette est parallele a l'axe X du quartz et dans lesquelles la normale à ce plan fait un angle compris entre - 10 et + 10 environ avec l'axe Z du quartz.
Dans la forme d'execution representee par les figures 6 et 7 le resonateur selon l'invention, designe par 71, a ete decoupe dans une plaquette de quartz de coupe ZT.

~3~3~5~

Cette coupe ZT est connue, notamment par le brevet 6H-A-623690 et ne sera pas decrite ici.
~ omme le resonateur 1 des figures 1 et 2, le resonateur 71 comporte trois barreaux paralleles 72~ 73 et 74 relies a deux plaques rectangulaires 75 et 76.
Le resonateur 71 comporte en outre deux bras de fixation 77 et 78 disposes sensiblement au milieu de la longueur du barreau median 73.
Les trois parties 79, 80 et 81 d'une premiere electrode occupent respectivement la totalitê de la premiere face des barreaux 72, 73 et 74.
Une borne de connexion 8Z est disposee sur la premiere face du bras de fixation 77 et les differentes parties de la premiere electrode sont reliées entre elles par des pistes conductrices 83 et 84 disposees sur la premiere face des plaques 75 et 76.
Les trois parties 85, 86 et 87 d'une deuxieme electrode occupent respectivement la totalite de 7a deuxieme face des barreaux 72, 73 et 74~
Une borne de connexion 88 est disposee sur la deuxieme ~ace du ~ras de fixation 78 et les differentes parties de la deuxieme electrode sont re1iees entre elle pa~ deux pistes conductrices 89 et 90 disposees sur la deuxieme face des plaques 75 et 76.
Lorsque les bornes de connexion 82 et 88 sont reliees a un circuit oscillateur adequat, les barreaux 72 et 74 vibrent dans un mode d'allongement en reponse au champ électrique alternatif qui leur est applique par les electrodes 79 a 82 et 85 a 87.
Comme dans le resonateur 1, la frequence de resonance des barreaux 72 a 74 est diminuee Far l'inertie des plaques 75 et 76 qui leur sont reliees.
Le resonateur 71 presente donc le meme avantage que le resona-teur 1 par rapport au resonateur connu mentionne ci-dessus.
Les considerations qui ont ete faites ci-dessus a propos de la determination des dimensions du resonateur 1 en fonction des carac-teristiques que celui-ci doit avoir s'appliquent evidemment au resonateur 71, et aux autres resonateurs du même genre qui peuvent etre realises a partir de plaquettes de quart7 de coupe autre que celles qui ont ete decrites, ~3~3~53 ~ l en de même des modifications qui ont ete decrites en liaison avec les figures 3 à 5 et qui ont pour effet d'augmenter le facteur de qualite des resonateurs~selon l'invention.
En ce qui concerne les autres modifications decrites en liaison avec les figures 3 à 5, leur application depend bien entendu de la disposition des electrodes sur les barreaux du resonateur, disposi-tion qui depend elle-meme de l'orientation du resonateur par rapport aux axes X, Y et Z du quartz.
Ainsi, par exemple, dans le cas du resonateur 71 des figures 6 et 7, la seule mesure qui peut être prise, pratiquement, pour augmenter le couplage piezoelectrique est celle qui consiste a prolonger les electrodes 79 à 81 et 85 à 87 de maniere qu'elles s'etendent sur une partie des plaques 75 et 76. Dans un tel cas, il est alors avantageux de prolonger les pistes conductrices 83, 84, 89 lS et gO de ~anière a relier directement les deux extrêmites des parties d'electrodes 79 et 81 et, respectivement, 85 et 87. Ces pistes conductrices contribuent alors elles-mêmes au couplage piezoelectrique du resonateur.
Les principes qui servent de base à la presente invention peuvent egalement s'appliquer pour realiser des resonateurs ayant une structure differente de celle des resonateurs qui viennent d'être decrits.
Ainsi, par exemple, la figure 8 represente un resonateur 101, vu en plan, qui ne comporte que deux barreaux 102 et 103.
Le resonateur 101 a ete decoupe dans une plaquette de quartz ayant l'une quelconque des orientations, par rapport aux axes X, Y
et Z du quartz, qui conviennent à la realisation de resonateurs vibrant dans un mode d'allongement.
Le resonateur 101 comporte egalement deux plaques rectangulaires 104 et 105 qui sont reliees aux extremites des barreaux 102 et 103.
Ces barreaux 102 et 103 sont en outre relies par une barre transversale 106 situee sensiblement au milieu de leur longueur.
Cette barre transversale 106 porte deux bras de fixation 107 et 108 analogues aux bras de fixation 7 et 8 du resonateur 1 et desti-nes comme ces derniers a être fixe à un support faisant partie d'un boitier.

~3(~3~53 Des électrodes sont disposees sur les barreaux 102 et 103 de manière que, lorsqu'elles sont relies à un circuit oscillateur adequat, ces barreaux vibrent dans un mode d'allongement, comme dans le cas des resonateurs decrits ci-dessus.
Ces electrodes n'ont pas ete representees, car leur disposition sur les barreaux 102 et 103 depend de l'orientation par rapport aux axes X, Y et Z du quartz de la plaquette dans laquelle le resonateur 101 a ete decoupe.
Des pistes conductrices, qui n'ont pas non plus ete represen-tees, relient ces electrodes a des bornes de connexion egalement non representees, disposees sur les bras de fixation 107 et 108.
Excite sur un mode d'allongement des barreaux 102 et 103, le resonateur 101 presentera egalement un produit frequence par lon-gueur plus faible que ceux des resonateurs connus mentionnes prece-~15 demment. Sa coupe et ses dimensions seront determinees de maniere -qu'il possede un mode de flexion couple a son mode d'allongement et ayant une frequence de resonance proche de celle de ce mode d'allon-gement.
On cherchera egalement a obtenir une valeur des coefficients a et ~ voisine de zero et du coefficient y aussi faible que possible, de sorte que la variation de sa frequence de resonance en fonction de la temperature peut être tres faible.
Dans toutes les formes d'exécution qui ont ate decrites ci-des--sus, les electrodes d'excitation de la vibration du resonateur sont disposees sur ce dernier de maniere qu'il vibre dans un mode d'al-longement. On a vu en outre que la coupe et les dimensions de ce resonateur peuvent etre determinees de maniere qu'un mode de flexion soit couple a ce mode d'allongement, pour diminuer la variation de frequence de resonance en fonction de la temperature.
11 est evident que d'autres formes d'execution du resonateur selon l'invention peuvent être realisees.
Dans ces autres formes d'execution, qui ne seront pas decrites en detail car leur realisation ne pose pas de problème particulier au vu des explications qui ont ete donnees ci-dessus, le resonateur selon l'invention a la meme forme generale que l'un de ceux qui ont ete decrits ci-dessus.

~3~31S3 Cependant, les electrodes d'excitation de sa vibration sont disposees de manière qu'il vibre dans un autre mode de contour, par exemple un mode de flexion ou de cisaillement de surface.
Dans un tel cas, il est egalement possible de determiner les S dimensions du resonateur de manière qu'un mode de contour different, par exemple un mode d'allongement, soit couple a son mode de vibra-tion principal, toujours dans le but de diminuer la variation de sa frequence de resonance en fonction de la temperature.
Il est egalement evident que des materiaux piezoelectriques autres que le quartz peuvent etre utilises pour realiser le resona-teur selon l'invention.

Claims (8)

1. Résonateur piézoélectrique comportant deux plaques, au moins deux barreaux parallèles reliant lesdites plaques l'une à l'autre, et des moyens pour exciter une vibration dudit résonateur dans un premier mode de contour, résonateur dans lequel lesdits moyens sont agencés de manière à exciter ladite vibration dans lesdits barreaux, et une coupe et des dimensions dudit résonateur sont déterminées de manière qu'au moins un deuxième mode de vibration de contour, différent dudit premier mode de vibration, soit couplé audit premier mode de vibration.

2. Résonateur selon la revendication 1, caractérisé par le fait que ledit premier mode de vibration est un mode d'allongement et ledit deuxième mode est un mode de flexion.

3. Résonateur selon la revendication 1, caractérisé par le fait que ledit résonateur a été découpé dans une plaquette plane en quartz ayant un plan parallèle a un axe piézoélectrique X dudit quartz, une normale audit plan faisant avec un axe optique Z dudit quartz un angle compris entre - 10° et + 10° environ, lesdits barreaux étant d'une longueur ayant une direction perpendiculaire audit axe X, et par le fait que lesdits moyens pour exciter comportent des électrodes disposées sur des faces desdits barreaux qui sont parallèles audit axe X
de manière à produire un champ électrique ayant une composante parallèle audit axe X.

4. Résonateur selon la revendication 1 ou 2, caractérisé par le fait que ledit résonateur a été
découpé dans une plaquette plane en quartz ayant un plan parallèle à un axe piézoélectrique X dudit quartz, une normale audit plan faisant avec un axe optique Z
dudit quartz un angle compris entre 0 et ? 10° environ, lesdits barreaux étant d'une longueur ayant une direction perpendiculaire audit axe X, et par le fait que lesdits moyens pour exciter comportent des électrodes disposées sur des flancs desdits barreaux perpendiculairement audit axe X pour produire un champ électrique parallèle audit axe X.

5. Résonateur selon la revendication 1, caractérisé par le fait que ledit résonateur a été découpé dans une plaquette de coupe ZT de manière que lesdits barreaux aient une longueur parallèle à un axe X' de ladite plaquette, et par le fait que lesdits moyens pour exciter comportent des électrodes disposées, chacune, sur toute une surface d'une des faces desdits barreaux qui sont parallèles à l'axe X' et à un axe Y' de ladite plaquette.

6. Résonateur selon la revendication 3 ou 5, caractérisé par le fait que lesdites électrodes 81 étendent en outre sur une partie desdites plaques.

7. Résonateur selon la revendication 1, 2, 3 ou 5, caractérisé par le fait que ledit résonateur comporte trois barreaux parallèles.

8. Résonateur selon la revendication 1, 2, 3 ou 5, caractérisé par le fait que ledit résonateur comporte deux barreaux parallèles.