CN100354132C - 液滴喷出头、喷出装置、及光电装置的制造装置 - Google Patents

Abstract

制造彩色滤光片的喷墨装置中，把多个喷嘴(27)列状设置而构成喷嘴列(28)的喷墨头(22)按直线形状并列排列。从不同的喷嘴(27)，对母基板(12)利用多个喷嘴(27)的四次的重复喷出彩色滤光片材料而形成所定膜厚的一个滤光元件(3)。可以防止多个滤光元件(3)之间产生膜厚的不均匀，可以使彩色滤光片(1)的透光特性在平面上均匀。

Description

液滴喷出头、喷出装置、及光电装置的制造装置

技术领域

本发明涉及喷出具有流动性液状体的液滴喷出头。本发明还涉及喷出具有流动性液状体的液滴的喷出方法及其装置。本发明还涉及液晶装置、EL装置、电气迁移装置、电子放出装置和PDP(等离子显示板)装置等的光电装置、制造这些光电装置的光电元件装置的制造方法及其制造装置。本发明还涉及利用于光电装置的彩色滤光片、制造该彩色滤光片的制造方法及其制造装置。进而本发明还涉及具有光电部件、半导体装置、光学部件、试药检测部件等基本部件的器件，制造具有这些基本部件的器件的制造方法及其制造装置。

背景技术

近几年，手机、携带用电脑等电子器械的显示器中，广泛利用液晶装置、电荧光装置(以下称EL装置)等的光电装置的显示装置。另外，最近，基于显示装置显示全色的逐渐增多。基于该液晶装置的全色显示是基于液晶层变频的光通过彩色滤光片而显示。于是，彩色滤光片是基于如玻璃、塑料等制作的基板表面上排列R(红)、G(绿)、B(兰)的点状的各色滤波元件进行所谓的带状排列、三角形排列或嵌镶排列等的所定排列而形成。

另外，利用EL装置的全色显示是基于如玻璃、塑料等制作的基板表面上排列R(红)、G(绿)、B(兰)的点状各色的EL发光层进行所谓的带状排列、三角形排列或嵌镶排列等的所定排列，利用一对电极夹持这些EL发光层而形成像素。并且，分别对每个像素控制施加在这些电极的电压的方法，使这些像素发出所希望的颜色，显示全色。

以往众所周知，把彩色滤光片的R(红)、G(绿)、B(兰)等的各色的滤光元件形成图案时，或EL装置的R(红)、G(绿)、B(兰)等的各色的像素形成图案时，利用影印法。然而，利用该影印法时，存在工艺复杂或大量消耗各色的材料或感光胶，而成本变高的问题。

为了解决该问题，提出基于喷出液滴的喷墨法，点状喷出滤光材料、EL发光材料的方法来形成点状排列的灯丝或EL发光层的提案。

这里，说明利用喷墨法形成点状排列的灯丝或EL发光层的方法。图52(a)中考虑的是，由玻璃或塑料制作的大面积的基板一所谓的母板301的表面设置的多个所定板区域302内部区域里，如图52(b)所示，基于影印法形成点状排列的多个滤光元件303的情形。此时，如图52(c)所示，具有列状排列多个喷嘴304所形成的喷嘴列305的喷墨头306，如图52(b)的箭头A1和箭头A2所示，对一个板区域302一边多次进行主扫描(图52中是两次)，一边由多个喷嘴选择性地喷出作为墨水的滤光材料的方法，在所要位置形成滤光元件303。

如上所述，该滤光元件303是把R(红)、G(绿)、B(兰)等的各色，利用所谓的带状排列、三角形排列或嵌镶排列等的所定排列中的适当排列而形成的。由此，如图52(b)所示的喷墨头306的墨水喷出处理，把喷出R(红)、G(绿)、B(兰)单色的喷墨头306预先收容R(红)、G(绿)、B(兰)三色。然后，安顺序利用这些喷墨头306在一个母板301上形成R(红)、G(绿)、B(兰)等三色的排列。

至于喷墨头306，一般来说构成喷嘴列305的多个喷嘴304的喷出量是不均匀的。如图53(a)所示，这是因为具有对应于喷嘴列305两个端部的喷出量最多、其中央部位为其次、它们之间的中间部位的喷出量最少的喷出特性Q。

从而，如图52(b)所示，基于喷墨头306形成滤光元件303时，如图53(b)所示，对应于喷墨头306端部的位置P1或中央部P2、或P1和P2两侧形成浓度高的条纹。因此，存在彩色滤光片的平面透光性不均匀的问题。

另一方面，母板301上形成多个板区域302时，考虑通过利用长度长的喷墨头，以使喷墨头位于作为喷墨头主扫描方向的相对宽度方向的母板301宽度尺寸全范围内，从而有效形成滤光元件303。然而，根据板区域302的大小，采用不同大小的母板301时，有必要利用不同的喷墨头，存在增加成本的问题。

发明内容

本发明是借鉴上述问题，其目的在于：提供喷在被喷出物的涂敷液状体量均匀的液滴喷出头、喷出方法及其装置、或均匀喷出涂敷在基板、基体材料的液状体的，形成特性均匀的光电装置、其制造方法和制造装置，彩色滤光片、其制造方法及其制造装置，以及具有基体材料的器件、其制造方法及其制造装置。

(1)本发明的液滴喷出头是设有(喷出液状体的)多个喷嘴的面沿扫描方向相对于被喷出物移动，从上述喷嘴对上述被喷出物喷出上述液状体的液滴喷出头，其特征在于：在使该液滴喷出头相对于上述相对移动的扫描方向倾斜的状态下，上述多个喷头中的至少位于中央部分的用来喷出上述液状体的喷嘴，其多个开口位于沿着扫描方向的假想直线上。

该发明中，在相对于被喷出物相对移动的扫描方向倾斜的状态下，喷出液状体的多个喷嘴中的至少位于中央部位的用来喷出液状体的喷嘴配置成沿着扫描方向的假想直线上有多个开口。通过这样的结构，即使是对应倾斜于被喷出物上描绘点状节距，只选择使用位于沿着相对移动方向直线上有多个开口的对应喷嘴的所定喷嘴板，从而可以公用主体，没有必要分别制造对应于描绘的各种喷嘴板，可以降低成本。

(2)本发明的喷出装置的特征在于：包括上述液滴喷出头、保持该液滴喷出头的保持装置、使该保持装置和被喷出物中的至少一方相对于上述被喷出物相对移动的移动装置。

该发明中，使保持上述公用上述零件的液滴喷出头的保持装置和被喷出物中的至少一方，通过移动装置使液滴喷出头相对于被喷出物相对移动。由这样的结构降低描绘成本。

(3)本发明的喷出装置包括设有喷出流动性液状体的多个喷嘴的液滴喷出头、保持该液滴喷出头，使设有上述喷嘴的面面向被喷出物的保持装置、相对移动该保持装置和上述被喷出物中的至少一方的移动装置；其特征在于：上述液滴喷出头保持在上述保持装置，以便使上述多个喷嘴中的位于中央部分的、用来喷出上述液状体的至少两个以上喷嘴位于沿着上述相对移动方向上的假想的直线上。

该发明中，设有喷出流动性液状体的多个喷嘴的液滴喷出头保持在保持装置以使设有上述喷嘴的面面向被喷出物，通过移动装置相对移动保持装置和上述被喷出物中的至少一方。于是，液滴喷出头的喷嘴保持在保持装置，以使多个喷嘴中的位于中央部分的使用于喷出上述液状体的至少两个以上的喷嘴位于沿着上述相对移动方向的假想的直线上。通过这样的结构，可以获得两个以上的喷嘴重复喷出液状体，即使是多个喷嘴喷出量存在不均匀，被喷出的液状体喷出量平均化而可以防止不均匀，可以获得平面上均匀的喷出。

(4)本发明的喷出装置包括设有喷出流动性液状体的多个喷嘴的液滴喷出头、使该液滴喷出头面向被喷出物并排多个而配置的保持装置、至少相对移动该保持装置和上述被喷出物中的一个的移动装置，其特征在于：上述多个液滴喷出头配置在上述保持装置，以便使这些液滴喷出头中的至少两个以上液滴喷出头中的使用于喷出上述液状体的至少一部分喷嘴位于沿着上述相对移动方向的假想的直线上。

该发明中，把设有喷出流动性液状体的多个喷嘴的液滴喷出头，使设有喷嘴的面面向被喷出物并排多个而配置在保持装置，通过移动装置相对移动保持装置和被喷出物中的至少一方。于是，多个液滴喷出头保持在保持装置，以便使至少两个以上液滴喷出头中的使用于喷出液状体的至少一部分(喷嘴)配置在沿着相对移动方向的假想直线上。通过这样的结构，可以获得两个以上不同的喷嘴重复喷出液状体的结构，这样，即使是多个喷嘴之间的喷出量存在不均匀，但被喷出的液状体喷出量平均化而可以防止不均匀，可以获得平面上均匀的喷出。

于是，本发明中，液滴喷出头最好是多个喷嘴排列成多个列而设置。通过这样的结构，容易获得两个以上的喷嘴喷出液状体的结构，还可以较宽设定喷嘴的排列区域，较宽范围内喷出液状体，不仅可以提高喷出效率，特别是也没有必要形成长型的喷墨头而提高通用性。

另外，本发明的液滴喷出头最好是喷嘴的排列方向倾斜交叉于上述相对移动方向的状态下保持在保持装置。通过这样的结构，喷嘴的排列方向倾斜于相对移动方向的状态，喷出液状体间隔的节距比喷嘴间隔窄，只是适当设定倾斜状态来可以容易地适应在被喷出物表面上点状喷出时的所要点间的节距，而没有必要制作对应点之间节距的喷出头，提高了通用性。

还有，本发明中，至少两个以上的液滴喷出头最好是分别在上述相对移动方向上和其他液滴喷出头部分重叠配置。通过这样的结构，相邻的喷墨头不会发生干扰，喷墨头之间不会发生没有喷出液状体区域的现象，可以获得连续的良好的喷出。

还有，本发明中，排列在上述液滴喷出头的喷嘴中，端部附近所定区域的喷嘴设定为非喷出喷嘴，多个上述液滴喷出头是在述液滴喷出头的多个喷嘴处于倾斜交叉于上述相对移动方向的所定方向排列的状态下，沿着交叉于上述相对移动方向多数列并排，上述多数列液滴喷出头中的一列内的上述液滴喷出头中的非喷出喷嘴，最好是和配置在上述相对移动方向上的其他列的液滴喷出头中的喷出液状体的喷嘴一起位于上述相对移动方向上的假想直线上。通过这样的结构，把容易产生液滴喷出头喷出量不均匀的端部附近的喷嘴作为非喷出喷嘴，该非喷出喷嘴的相对移动方向上配置其他列的喷出液状体的喷嘴，因此，液滴喷出头的喷嘴之间液状体喷出量平均化而可以防止不均匀，可以获得平面上均匀的喷出。

还有，该发明中，上述液滴喷出头的喷嘴排列成多数列，最好是上述多个液滴喷出头配置成：沿着上述相对移动的假想直线上存在一个液滴喷出头的非喷出喷嘴和其他液滴喷出头的多数列的喷出喷嘴的状态；沿着上述相对移动的假想直线上存在一个液滴喷出头的喷出喷嘴、非喷出喷嘴和其他液滴喷出头的喷出喷嘴、非喷出喷嘴的状态。通过这样的结构，把多个液滴喷出头配置成：一个液滴喷出头的非喷出喷嘴位于沿着相对移动方向的假想直线上时，使其他液滴喷出头的多数列的喷出喷嘴也位于沿着相对移动方向的假想直线上；一个液滴喷出头的非喷出喷嘴和喷出喷嘴位于沿着相对移动方向的假想直线上时，使其他液滴喷出头的非喷出喷嘴和喷出喷嘴也位于沿着相对移动方向的假想直线上。通过这样的结构，多个液滴喷出头之间液状体喷出量平均化而可以防止不均匀，可以获得平面上均匀的喷出。

另外，本发明中，上述多个喷嘴，其垂直于上述相对移动方向的喷嘴的开口排列节距，最好是近似等于或整数倍的垂直于上述相对移动方向的上述被喷出物上的预定喷出位置的节距。通过这样的结构，例如，带型、嵌镶型或三角型等有规则性的描绘变为容易。另外，利用同一规格的喷墨头，可以在较广范围喷出液状体，没有必要利用特别的喷墨头而可以利用以往的规格产品，从而可以降低成本。还有，例如适当设定排列喷墨头的排列方向数来可以适应喷出液状体的区域，提高通用性。另外，一种喷墨头也可以适应喷出液状体的区域，简化结构、提高制作性、降低成本。

还有，本发明中，液滴喷出头中的位于上述沿着相对移动方向的假想直线的不同喷嘴最好是进行控制，以使其对被喷出物的所定同一位置分别喷出。这样，各位置的液状体喷出量平均化而可以防止不均匀，可以获得平面上均匀的喷出。

(5)本发明适合于：将作为喷出液状体包含EL发光材料，作为被喷出物为基板，在基板的上面喷出液状体而形成EL发光层的光电装置的制造。

(6)本发明适合于：将作为喷出液状体包含彩色滤光片材料液状体，作为被喷出物夹持液晶的一对基板中的一个基板上，在基板的上面喷出液状体而形成光电装置的彩色滤光片的制造。

(7)本发明适合于将具有流动性的液状体喷到作为被喷出物的基体材料上面而制造具有所定层基体材料的器件。

根据本发明，使设有喷嘴的一个以上的液滴喷出头面向被喷出物的状态下，对被喷出物相对移动，因为位于沿着该相对移动方向的假想直线上的多数喷嘴中至少两个以上喷嘴喷出液状体，可以获得两个以上喷嘴喷出液状体的结构，即使在多个喷嘴之间存在喷出量不均匀的情况下，也是由于被喷出的液状体喷出量平均化而可以防止不均匀，可以获得平面上均匀的喷出。

附图说明

图1是表示有关本发明的彩色滤光片制造方法的一个实施例的主要工艺模式的俯视图。

图2是表示有关本发明的彩色滤光片制造方法的另一个实施例的主要工艺模式的俯视图。

图3是表示有关本发明的彩色滤光片制造方法的又另一个实施例的主要工艺模式的俯视图。

图4是表示有关本发明的彩色滤光片制造方法的其他实施例的主要工艺模式的俯视图。

图5是表示有关本发明的彩色滤光片制造方法的一个实施例和作为其基础的母板一个实施例的俯视图。

图6(a)是表示有关本发明的彩色滤光片一个实施例的俯视图，(b)是作为其基础的母板的一个实施例的俯视图。

图7是表示利用图6(a)的沿着VII-VII线断面部分制造彩色滤光片制造工艺模式图。

图8是表示彩色滤光片中的R(红)、G(绿)、B(兰)三色的像素的排列图。

图9是表示有关本发明的彩色滤光片制造装置、有关本发明的液晶装置的制造装置和有关本发明的EL装置的制造装置的各制造装置的主要部分的液滴喷出装置的一个实施例的立体图。

图10是表示图9装置的主要部分的放大立体图。

图11是表示图10装置的主要部分的喷墨头的放大立体图。

图12是表示喷墨头的改变例的立体图。

图13是表示喷墨头内部结构的图，(a)是局部剖面立体图，(b)是(a)的J-J线剖面图。

图14是表示喷墨头的改变例的俯视图。

图15是表示用于图9喷墨头装置的电气控制系统的框图。

图16是表示由图15控制系统所执行的控制流程图。

图17是表示喷墨头的另一改变例的立体图。

图18是表示有关本发明的液晶装置制造方法的一个实施例的工艺图。

图19是表示有关本发明的制造液晶装置方法制造的液晶装置一例的分解状态立体图。

图20是表示图19的IX-IX线的断面结构的剖面图

图21是表示有关本发明的EL装置制造方法的一个实施例的工艺图。

图22是对应于图21所示的工艺图的EL装置的剖面图。

图23是表示有关本发明的彩色滤光片制造装置液滴喷出装置的液滴喷出处理装置的(切开一部分的)立体图。

图24是表示同上图液滴喷出处理装置的头部件俯视图。

图25是同上的侧视图。

图26是同上的主视图。

图27是同上的剖面图。

图28是表示同上液滴喷出处理装置的头部装置的分解立体图。

图29是表示同上液滴喷出处理装置的喷墨头的分解立体图。

图30是说明同上液滴喷出处理装置的喷墨头喷出滤光材料动作的说明图。

图31是说明同上液滴喷出处理装置的喷墨头的滤光材料喷出量的说明图。

图32是表示同上液滴喷出处理装置的喷墨头排列状态的简图。

图33是表示同上液滴喷出处理装置的喷墨头排列状态的局部放大简图。

图34是表示同上液滴喷出处理装置的喷墨头的对相对移动方向的倾斜角度不同时的喷嘴的开口状态的俯视图。

图35是表示同上彩色滤光片制造方法所制造的彩色滤光片模式图，(A)是彩色滤光片的俯视图，(B)是(A)的X-X线剖面图。

图36是说明同上彩色滤光片制造方法顺序的制造工艺剖面图。

图37是表示利用有关本发明光电装置的EL显示元件的显示装置一部分的电路图。

图38是表示同上显示装置像素区域平面结构的放大俯视图。

图39是表示同上显示装置制造工艺前处理中的顺序的制造工艺剖面图。

图40是表示同上显示装置制造工艺的喷出EL发光材料顺序的制造工艺剖面图。

图41是表示同上显示装置制造工艺的喷出EL发光材料顺序的制造工艺剖面图。

图42是表示利用有关本发明光电装置EL显示元件的显示装置像素区域的剖面图。

图43是表示利用有关本发明光电装置EL显示元件的显示装置像素区域结构的放大图，(A)是平面结构，(B)是(A)的B-B剖面图。

图44是表示利用有关本发明光电装置EL显示元件的显示装置制造工艺的制造工艺剖面图。

图45是表示利用有关本发明光电装置EL显示元件的显示装置制造工艺的制造工艺剖面图。

图46是表示利用有关本发明光电装置EL显示元件的显示装置制造工艺的制造工艺剖面图。

图47是表示利用有关本发明光电装置EL显示元件的显示装置制造工艺的制造工艺剖面图。

图48是表示利用有关本发明光电装置EL显示元件的显示装置制造工艺的制造工艺剖面图。

图49是表示利用有关本发明光电装置EL显示元件的显示装置制造工艺的制造工艺剖面图。

图50是表示具有同上光电装置的电气器械的个人计算机的立体图。

图51是表示具有同上光电装置的电气器械的手机的立体图。

图52是表示以往的彩色滤光片制造方法一例的图。

图53是说明以往的彩色滤光片的特性的图。

图54是具有利用本发明的彩色滤光片制造装置所制造的彩色滤光片的液晶装置剖面图。

图55是表示本发明光电装置其他实施例显示装置的图，(a)是显示装置的平面模式图，(b)是(a)的A-B线剖面模式图。

图56是表示同上显示装置主要部分的图。

图57是说明同上显示装置制造方法的工艺图。

图58是说明同上显示装置制造方法的工艺图。

图59是表示用于制造同上显示装置的等离子处理装置一例的平面模式图。

图60是表示图59所示的等离子处理装置的第一等离子处理室内部结构的平面模式图。

图61是说明同上显示装置制造方法的工艺图。

图62是说明同上显示装置制造方法的工艺图。

图63是表示用于制造同上显示装置的等离子处理装置其他例的平面模式图。

图64是表示用于制造同上显示装置的液滴喷出装置的俯视图。

图65是表示对主体的喷墨头配置状态的俯视图。

图66是表示喷墨头主扫描一次而形成空穴注入/输送层时的工艺图。

图67是表示喷墨头主扫描三次而形成空穴注入/输送层910a时的工艺图。

图68是表示喷墨头主扫描二次而形成空穴注入/输送层910a时的工艺图。

图69是说明本发明的光电装置其他实施例的显示装置制造方法的说明图。

图70是说明同上显示装置制造方法的工艺图。

图71是说明同上显示装置制造方法的工艺图。

图72是说明同上显示装置制造方法的工艺图。

图73是说明同上显示装置制造方法的工艺图。

图74是说明同上显示装置制造方法的工艺图。

具体实施方式

(关于彩色滤光片制造方法和制造装置的说明之一)

下面说明本发明的彩色滤光片的制造方法的基本方法及其制造装置的基本结构。首先，说明其制造方法和制造装置之前，说明利用这些制造方法制造的彩色滤光片。图6(a)是表示彩色滤光片的一个实施例的平面结构模式图。另外，图7(d)是表示图6(a)的VII-VII线的剖面图。

本实施例的彩色滤光片1是由玻璃或塑料等制作的正方形基板2的表面上面形成光点图案形状的多个滤光元件3，本实施例中形成点矩阵状。还有，如图7(d)所示，彩色滤光片1是滤光元件3上面叠层的方法形成保护膜4。另外，图6(a)是平面表示去掉保护膜4状态的彩色滤光片1。

滤光元件3是由没有透光性的树脂材料形成在格子状图案上的隔壁6所划分成点阵状排列的多个正方形区域，用颜色材料来填满(这些区域)而形成。另外，这些滤光元件3分别由R(红)、G(绿)、B(兰)中的一个颜色材料所形成，这些各色的滤光元件3被排列成所定的排列。作为所定排列有如图8(a)所示的所谓带状排列，图8(b)所示的所谓嵌镶排列，8(c)所示的所谓三角形排列。另外，本发明的[隔壁]是用来包括[坡度]意思的语言，指从基板一侧看几乎垂直角度的侧面，具有大体上90度以上或不到90度侧面的从基板一侧看是凸出的部分。

还有，带状排列是矩阵的列，全为同一色的排列。另外，嵌镶排列是纵横直线上排列的任意三个滤光元件3为R(红)、G(绿)、B(兰)三色的配色。还有，三角形排列为滤光元件3的配置按层不同，任意邻接的三个滤光元件3为R(红)、G(绿)、B(兰)三色的配色。

彩色滤光片1的大小，有如约4.57cm(1.8英寸)。还有，一个滤光元件3的大小为30μm×100μm。还有，各个滤光元件3之间的间隔一所谓元件之间的节距为75μm。

本实施例的彩色滤光片1作为使用于显示全色的光学元件时，R(红)、G(绿)、B(兰)三个滤光元件3作为一个部件形成一个像素，使一个像素内的R、G、B的任何一个或它们的组合光有选择地通过，进行全色显示。此时，由没有透光性的树脂材料形成的隔壁6起着罩的作用。

上述的彩色滤光片1，从如图6(b)所示基板的大面积母板12切出。具体地，首先，在设定在母基板12内的多数彩色滤光片形成区域11的各个表面上形成彩色滤光片1的一个份的板。然后，这些彩色滤光片11的周围形成用于切断的槽，沿着这些槽，切断母板12来形成各个彩色滤光片1。

下面，说明制造如图6(a)所示彩色滤光片1的制造方法和制造装置。

图7是模式性表示制造彩色滤光片1的工艺顺序。首先，母板12的表面上利用没有透光性的树脂材料在从箭头B方向看时格子状的板上形成隔壁6。格子状图案的格子穴部分7为形成滤光元件3区域即滤光元件形成区域。该由隔壁6所形成的各个滤光元件形成区域7的从箭头B方向看的平面尺寸形成为例如30μm×100μm左右。

隔壁6具有阻止供应在滤光元件形成区域7的作为液状体的滤光元件13的流动性的功能和罩的功能。另外，隔壁6由形成图案方法如影印法形成，还根据需要用加热器加热进行烧结。

形成隔壁6之后，如图7(b)所示，通过把滤光元件材料13的液滴8供应在滤光元件形成区域7，用滤光元件材料13来填满各个滤光元件形成区域7。图7(b)中，符号13R表示具有R(红)色的滤光元件材料，符号13G表示具有G(绿)色的滤光元件材料，符号13B表示具有B(兰)色的滤光元件材料。另外，本发明中把[液滴]也称为[墨水]。

如果各个滤光元件形成区域7里充填滤光元件材料13，则利用加热器把母基板12加热到70℃，蒸发滤光元件材料13的溶剂。通过该蒸发，如图7(C)所示，滤光元件材料13的体积减少，变为平坦。如果体积减少大时，形成足够厚的彩色滤光片1为止，重复进行滤光元件材料13的液滴8的供应和加热。由以上的处理，最终只残留滤光元件材料13的固体成分而薄膜化，由此，形成所希望的各色的滤光元件3。

由以上，形成滤光元件3之后，为了完全干燥这些滤光元件3，进行所定温度下的所定时间的加热处理。然后，利用如旋转涂敷法、滚涂法、刮板法或喷墨法等适当的方法形成保护膜4。该保护膜4是为了保护滤光元件3和彩色滤光片1的平坦化而形成。

图9是表示为了进行图7(b)所示的滤光元件材料13供应处理的液滴喷出装置的一个实施例。该液滴喷出装置16是把R(红)、G(绿)、B(兰)三色中的一色，比如R(红)色的滤光元件材料13作为墨水的液滴8喷出附着在母板12(参考图6(b))内的各个彩色滤光片形成区域11所定位置的装置。预备用于喷出G(绿)色的滤光元件材料13和B(兰)色的滤光元件材料13的液滴喷出装置16，但它们的结构和图8的相同，省略其说明。

图9中，液滴喷出装置16包括：具有作为液滴喷出头一例的用于打印机喷墨头22的头部部件26、控制喷墨头22位置的头部位置控制装置17、控制母基板12位置的基板位置控制装置18、使喷墨头22对母基板12主扫描移动的作为主扫描驱动装置的主扫描驱动装置19、使喷墨头22对母基板12副扫描移动的作为副扫描驱动装置的副扫描驱动装置21、把母基板12输送到液滴喷出装置16内的所定作业位置的基板输送装置23、全盘控制液滴喷出装置16的控制装置24。

使头部位置控制装置17、基板位置控制装置18、喷墨头22对母基板12主扫描移动的主扫描驱动装置19和副扫描驱动装置21的各个装置安装在底座9上。另外，这些装置根据需要，用罩14覆盖。

如图11所示，喷墨头22具有排列多个喷嘴27所形成的喷嘴列28。喷嘴27的数目为180个，喷嘴27的孔径为28μm，喷嘴27喷嘴节距为141μm。图6(a)和图6(b)中，对彩色滤光片1和母基板12的主扫描方向X和垂直于它的副扫描方向Y方向和图10中的设定相同。

喷墨头22设定在交叉于喷嘴列28的主扫描方向X的方向延伸的位置，在相对主扫描方向X平行移动时，把作为墨水的滤光元件材料13由喷嘴27有选择性地喷出，把滤光元件材料13附着在母板12(参考图6(b))内的所定位置。另外，喷墨头22向副扫描方向Y相对平行移动所定距离，可以使喷墨头22的主扫描位置移动到所定偏移的距离。

喷墨头22具有如图13(a)和图13(b)所示的内部结构。具体地，喷墨头22具有不锈钢制作的喷嘴板29、面对它的振动板31、接合它们的多个隔开部件32。喷嘴板29和振动板31之间由隔开部件32形成多个墨水室33和储存液体部34。多个墨水室33和储存液体部34之间通过通路38互相连通。

振动板31的适当位置上形成墨水供应孔36，在该墨水供应孔36上连接墨水供应装置37。该墨水供应装置37把R(红)、G(绿)、B(兰)中的一色比如R(红)色的滤光元件材料M供应给墨水供应孔36。被供应的滤光元件材料M充满在储存液体部34，并通过通路38充满墨水室33。

喷嘴板29设有从墨水室33以溅射状溅射滤光元件材料M的喷嘴27。另外，形成振动板31的墨水室33面的里面装有对应于该墨水室33的墨水加压体39。该墨水加压体39如图13(b)所示，具有压电元件41和夹持它的一对电极42a和42b。压电元件41由电极42a和42b的通电，以箭头C所示的外侧方向凸出地弯曲变形，由此，墨水室33容积增大。这样，相当于增大容积部分的滤光元件材料M从储存液体部34通过通路38流入到墨水室33。

接着，解除压电元件41的通电时，该压电元件41和振动板31同时恢复原来的形状。由此，墨水室33也恢复到原来的容积，墨水室33内部的滤光元件材料M的压力增加，由喷嘴27向母基板12(参考图6(b))以液滴8状喷出滤光元件材料M。另外，为了防止液滴8的飞行弯曲或喷嘴27的堵塞，在喷嘴27的周围设有例如Ni四氟乙烯共析镀层所组成的的拨墨水层43。

图10中，头部位置控制装置17包括平面内转动喷墨头22的α电机44、使喷墨头22在平行于副扫描方向Y的轴摇动的β电机46、使喷墨头22在平行于主扫描方向X的轴摇动的γ电机47、使喷墨头22在上下方向平行移动的Z电机48。

在图10中，图9所示的基板位置控制装置18包括：放置母基板12的台子49、使台子49如箭头θ所示面内转动的θ电机51。另外，如图10所示，图9所示的主扫描驱动装置19具有向主扫描方向X延伸的X导向轨道52和内部装有脉冲驱动线性电机的X滑块53。X滑块53在其内置的线性电机工作时，沿着X导向轨道52，向主扫描方向X平行移动。

另外，如图10所示，图9所示的副扫描驱动装置21包括向副扫描方向Y延伸的Y导向轨道54、内部装有脉冲驱动线性电机的Y滑块56。Y滑块56在其内置的线性电机工作时，沿着Y导向轨道52，向副主扫描方向Y平行移动。

X滑块53或Y滑块56内部的脉冲驱动的线性电机由传送到该电机的脉冲信号可以精密进行输出轴的转动角度的控制，从而，可以高精度进行保持在X滑块53的喷墨头22的主扫描方向X上的位置或台子49在副扫描方向Y上的位置控制。另外，喷墨头22或台子49位置控制不限于利用脉冲驱动的线性电机，也可以利用伺服电机的反馈控制或其他任意控制方法来实现。

图9所示的基板输送装置23包括收容母基板12的基板收容部57、输送母基板12的机械手58。机械手58包括放置在地板、地面等安装面的基础台59、相对基础台59升降移动的升降轴61、以升降轴61中心旋转的第一杆臂62、相对第一杆臂臂62旋转的第二杆臂臂63、设在第二杆臂臂63前端下面的吸引缓冲器64。吸引缓冲器64利用空气吸引来吸引母基板12。

图9中，由主扫描驱动装置19驱动进行主扫描移动的喷墨头22的轨迹下面，副扫描驱动装置21的一方的腋下位置配置压盖装置76和清洗装置77。另外，另一方腋下位置配置电子天平78。清洗装置77是用于清洗喷墨头22的装置。电子天平78是按喷嘴测定喷墨头22的各个喷嘴27(参考图11)喷出的墨水液滴8重量的仪器。压盖装置76是喷墨头22待机状态时，防止喷嘴27(参考图11)干燥的装置。

在喷墨头22附近设置和该喷墨头22一起移动的头部用照相机81。另外，设在底座9保持装置所保持的基板用照相机82，设在可摄影母基板12的位置上。

图9所示的控制装置24包括内装专用传感器的电子计算机主机部66、作为输入装置67的键盘、作为显示装置的CRT(阴极射线管)显示器68。如图15所示，上述专用传感器包括进行运算处理的CPU(中央处理器)69、存储各种信息的存储器即存储信息介质71。

图9所示的驱动头部位置控制装置17、基板位置控制装置18、主扫描驱动装置19、副扫描驱动装置21和喷墨头22内的压电元件41(参考图13(b))的头部驱动电路72的各个器械在图15中，通过输入、输出转换装置73和母线74连接在CPU69。另外，基板供给装置23，输入装置67，CRT显示器68，电子天平78，清洗装置77，以及压盖装置76的各器械，也通过输出转换装置73和母线74也连接在CPU69上。

作为存储信息介质71的存储器是RAM(随机存取存储器)、ROM(只读存储器)等的半导体存储器、硬盘、CD-ROM读取装置、盘形存储介质等的包括外部存储器的概念；作为功能，被设定为各种存储区域：存储控制液滴喷出装置16动作顺序的程序软件的存储区域、实现图8所示各种R(红)、G(绿)、B(兰)排列的，存储R(红)、G(绿)、B(兰)中一色在母基板12(参考图6)由的喷出位置坐标数据的存储区域、存储图10中的副扫描方向Y的母基板12副扫描量的存储区域、为了使CPU69工作的区域或临时文件功能的区域、其他各种存储区域。

CPU69进行：根据存储在信息存储介质71一存储器内部的程序软件，把墨水即滤光元件材料13喷在母基板12表面的所定位置的控制。作为具体执行功能部包括：为实现清洗处理运算的清洗运算部、为实现压盖处理的压盖运算部、为实现利用电子天平78(参考图9)测定重量运算的重量测定运算部、为实现利用液滴喷出描绘滤光元件材料13运算的描绘运算部。

如果详细分割描绘运算部，可分为：为了描绘把喷墨头22设定初始位置的描绘开始位置运算部、使喷墨头22向主扫描方向X按所定速度主扫描移动的控制运算的主扫描控制运算部、使母基板12向副扫描方向Y移动所定副扫描量的控制运算的副扫描控制运算部、使喷墨头22内的多个喷嘴27中一的任意一个进行工作，把墨水，即滤光元件材料13喷出与否控制运算的喷嘴喷出控制运算部等的各种功能运算部。

另外，本实施例中，把上述功能利用CPU69软性实现的，但上述功能可以不用CPU69，而由单独的电路可以实现时，可以利用那样的电路。

下面，根据图16所示的流程图说明上述结构的液滴喷出装置16的工作。

由操作员的电源接入，液滴喷出装置16开始工作，首先，步骤S1中实现原始设定。具体地，头部部件26、基板输送装置23或控制装置24等设定为预先确定的初始状态。

接着，如果到了测定重量时间(步骤S2的是)，利用主扫描驱动装置19使图10的头部部件26移动到图8的电子天平78的位置(步骤S3)，利用电子天平78测定喷嘴27所喷出的墨水量(步骤S4)。然后，根据喷嘴27的喷出特性调节施加在各个对应于喷嘴27的压电元件41的电压(步骤S5)。

然后，接着，如果到了清洗时间(步骤S6的是)，利用主扫描驱动装置19使头部部件26移动到清洗装置77位置(步骤S7)，利用其清洗装置77清洗喷墨头22(步骤S8)。

没有到测定重量或清洗时间(步骤S2和S6的不是)，或结束这些处理之后，在步骤S9中，使图9的基板输送装置23工作，向台子49供应母基板12。具体地，由吸引缓冲器64吸引保持基板收容部57内的母基板12。然后，移动升降轴61、第一杆臂62和第二杆臂63把母基板12输送到台子49，并且，按压住预先设在台子49适当位置的定位销50(参考图10)。另外，为了防止母基板12在台子49位置偏移，最好是利用空气吸引方法，把母基板12保持在台子49上。

接着，利用图9的基板用照相机82，一边观察母基板12，一边利用旋转图10的θ电机51的输出轴的微小角度来旋转台子49的微小角度单位，定位母基板12(步骤S10)。然后，利用图9的头部用照相机81，一边观察母基板12，利用运算决定利用喷墨头22开始描绘的位置(步骤S11)。然后，使主扫描驱动装置19和副扫描驱动装置21适当动作，使喷墨头22移动到开始描绘位置(步骤S12)。

此时，如图1(a)所示，喷墨头22使喷嘴列28相对于喷墨头22的副扫描方向Y倾斜θ角度地排列。这是在平常的液滴喷出装置中，多数情形是作为相邻喷嘴27之间间隔的喷嘴节距和相邻的滤光元件3，即作为滤光元件形成区域7之间间隔的元件节距不同，使喷墨头22向主扫描方向X移动时，喷嘴之间节距的副扫描方向Y的尺寸成分几何学上等于元件节距的措施。

图16的步骤S12中，如果喷墨头22位于开始描绘扫描位置，则图1中的喷墨头22位于(a)位置。然后，图15的步骤S13中，开始主扫描方向X的主扫描，同时，开始喷出墨水。具体地，图10的主扫描驱动装置19开始工作，喷墨头22以一定速度向图1的主扫描方向X直线扫描移动，在其移动中，对应于应该供应滤光元件形成区域7的对应喷嘴27到达时，其喷嘴27喷出墨水即滤光元件材料。

另外，此时的墨水喷出量不是充填滤光元件形成区域7全部容积的量，而是其全部量的数分之一、本实施例中为全部量的1/4。这是因为，以后要叙述的一样，各个滤光元件形成区域7不是由喷嘴27的一次的喷出来充填，而几次的重复喷出，本实施例中是四次重复喷出来充填全容积的缘故。

如果喷墨头22完成对母基板12的一次主扫描(步骤S14的是)，则反转移动而回到初始位置(a)(步骤S15)。并且，喷墨头22由副扫描驱动装置21驱动，向副扫描方向Y移动预先设定的副扫描量δ(本实施例中把该距离称为δ)(步骤S16)。

本实施例中，CPU69在图1中，把形成喷墨头22喷嘴列28的多个喷嘴27概念上分割成多个组n。本实施例中n＝4即把180个喷嘴27形成的长度为L的喷嘴列28分割成4组。由此，一个喷嘴组包括180/4＝45(个)喷嘴27的长度为L/n即L/4。上述的副扫描量δ设定为上述喷嘴组长度L/4的副扫描长度，即(L/4)cosθ的整数倍。

从而，结束一次主扫描之后回到初始位置的喷墨头22向图1的副扫描方向Y平行移动δ距离而移动到(b)位置。另外，副扫描移动量δ不是总是一样的大小，根据必要的控制而变化。另外，在图1中，虽然从位置(a)到位置(k)对主扫描方向X稍微偏移，这是为了说明的方便而已，实际上，从位置(a)到位置(k)对主扫描方向X是同一位置。

副扫描而移动到位置(b)的喷墨头22在步骤S13中反复进行主扫描和墨水的喷出。其后，喷墨头22一边反复进行位置(c)～(k)的副扫描移动，一边重复主扫描移动和墨水的喷出(步骤S13～步骤S16)，由此，完成母基板12的彩色滤光片形成区域11的一列的墨水附着处理。

本实施例中，因为把喷嘴列28分成四组来决定副扫描量δ，完成上述的彩色滤光片形成区域11的一列的主扫描和副扫描，则各个滤光元件形成区域7受到由四个喷嘴组的各一次的共四次墨水处理，供应全容积内的所定量的墨水，即滤光元件材料。

详细表示该重复喷出的形态，就如图1(A)所示。图1(A)中，“a”～“k”是表示由位于“a”位置到“k”各个位置的喷墨头22喷嘴列28的喷出而在母基板12表面重复附着形成的墨水层，即滤光元件材料层79。例如“a”位置的喷嘴列28的主扫描时的墨水喷出形成图1(A)的“a”层墨水层，“b”位置的喷嘴列28的主扫描时的墨水喷出形成图1(A)的“b”层墨水层，以下“c”位置，“d”位置，......各位置的喷嘴列28的主扫描时的墨水喷出形成图1(A)的“c”、“d”层墨水层。

总之，本实施例中，喷嘴列28的四个喷嘴组在母基板12内的彩色滤光片形成区域11的同一部分重复四次进行主扫描而喷出墨水，总的膜厚T达到所要的厚度。另外，图1的“a”位置和“b”位置的喷嘴列28的主扫描形成图1(A)的滤光元件材料层79的第一层，由“c”、“d”、“e”各位置的喷嘴列28的主扫描形成第二层，由“f”、“g”、“h”各位置的喷嘴列28的主扫描形成第三层，由“i”、“j”、“k”各位置的喷嘴列28的主扫描形成第四层，由此，形成滤光元件材料层79的全部层。

另外，第一层、第二层、第三层和第四层是简单表示喷嘴列28的主扫描墨水喷出的次数而已，实际上，各层不是物理性区分的，作为整体形成均匀的一个层的滤光元件材料层79。

另外，图1所示的实施例中，喷嘴列28从“a”位置到“k”位置按顺序副扫描移动时，各个位置的喷嘴列28不会和其他位置的喷嘴列28在副扫描方向Y上重叠，但各个位置间的喷嘴列28在副扫描方向Y上连续进行副扫描移动。从而，滤光元件材料层79第一层～第四层各层的厚度是均匀的。

另外，设定喷墨头22副扫描移动量δ，以便形成第一层的“a”位置和“b”位置的喷嘴列28境界线重叠于形成第二层的“c”位置、“d”位置和“e”位置的境界线。同样，第二层和第三层境界线以及第三层和第四层境界线也设定重叠。如果各层间喷嘴列28境界线重叠于副扫描方向，即图1(A)左右方向，其境界线部分形成条纹的可能，但和本实施例一样，在各层间错开境界线控制，则不会发生条纹，且可以获得均匀厚度的滤光元件材料层79。

另外，本实施例中，在喷嘴列28以喷嘴组为单位，一边副扫描移动，一边重复主扫描移动而喷出墨水，形成所定厚度T的滤光元件材料层79之前，首先，使喷嘴列28位于图1“a”的位置和“b”位置，即喷嘴列28不重叠而连续地按顺序喷出墨水，反正在最初，在彩色滤光片形成区域11的全面上形成均匀厚度的滤光元件材料层79。

一般来说，母基板12的表面是干燥的，湿润性低，所以有墨水的附着性差的倾向，因此，如果在母基板12表面突然局部性地喷大量的墨水，则墨水的附着性变为不良，有可能发生墨水浓度的不均匀。对此，如本实施例中，最初，在彩色滤光片形成区域11的全面上尽可能不形成境界线，而薄而均匀地供应墨水，使该区域11的全面设定为均匀厚度的湿润状态，则以后进行的重复涂敷中，可以防止墨水的位于重复境界线部分的位置上留下境界线。

如以上，如果完成图6的母基板12内的彩色滤光片形成区域11的一列的墨水喷出，则喷墨头22由副扫描驱动装置21驱动，移动到下一列彩色滤光片形成区域11的初始位置(步骤S19)。于是，对该列的彩色滤光片形成区域11重复进行主扫描、副扫描和墨水喷出，在滤光元件形成区域7内形成滤光元件(步骤S13～步骤S16)。

然后，如果在母基板12内的全部彩色滤光片形成区域11形成R(红)、G(绿)、B(兰)中的一色，比如形成R色的滤光元件3(步骤S18的是)，则在步骤S20中，由基板输送装置23或其他输送器械输送母基板12。然后，只要操作员不给处理结束指示(步骤S21的不是)，就回到步骤S2，对别的母基板12重复进行R色的墨水喷出作业。

如果操作员给了处理结束指示(步骤S21的是)，则CPU69把图9中的喷墨头22输送到压盖装置76位置，由该压盖装置76对喷墨头22实施压盖处理(步骤S22)。

由以上，完成构成彩色滤光片1的R、G、B三色中的第一色，比如R色的形成图案。然后，把母基板12输送到把R、G、B三色中的第二色，比如G色作为滤光元件材料13G的液滴喷出装置16位置，进行G色的形成图案。再后，最终把母基板12输送到R、G、B三色中的第三色，比如B色作为滤光元件材料13B的液滴喷出装置16位置，进行B色的形成图案。由此，制造出母基板12，该板形成有多个具有带状排列的一所希望的R、G、B色点排列的彩色滤光片1(图6(a))。把该母基板12按彩色滤光片形成区域11的每一个进行切断，切出多个彩色滤光片1。

另外，如果把彩色滤光片1利用于液晶装置的彩色显示，则在彩色滤光片1表面上进一步叠加电极或定向膜。此时，如果在叠加电极或定向膜之前，切断母基板12，则其后的形成电极工艺变得非常麻烦。因此，此时，不是先切断母基板12而最好是在完成电极或定向膜等形成工艺之后，切断母基板12。

如以上，根据本实施例的彩色滤光片1的制造方法和制造装置，图6(a)所示的彩色滤光片1内的每一个滤光元件3不是由喷墨头22(参考图1)的一次的主扫描X来形成，而每一个滤光元件3是由不同组的多个喷嘴27的n次的、本实施例中为四次重复的喷出来形成所定厚度的膜。因此，即使是多个喷嘴27之间存在墨水喷出量的不均匀，也可以防止产生滤光元件3膜厚不均匀，因此，可以使彩色滤光片1的透光特性在平面上均匀。

当然，由于本实施例的制造方法中利用喷墨头22的墨水喷出来形成滤光元件3，没有必要采用影印法等的复杂工艺，同时不浪费材料。

但是，形成喷墨头22喷嘴列28的多个喷嘴27的墨水喷出量不均匀是如同图53(a)的有关说明。另外，喷嘴列28两端的几个，比如一端的各十个喷嘴27的墨水喷出量多的原因如同上述说明。这样，使用墨水喷出量多于其他喷嘴27的喷嘴27是不利于形成均匀膜厚的滤光元件3。

从而，如图14所示，最好是形成喷嘴列28的多个喷嘴27中位于喷嘴列28端部E的几个如十个程度设定为非喷出喷嘴，位于剩余部分F的多个喷嘴27分成四组，以喷嘴组为单位进行副扫描移动为好。比如，有180个喷嘴27时，对施加电压附加一些条件，使两端的各十个共二十个喷嘴27设定为不喷出墨水，剩余的160个，例如概念上分成四组，每一组有160/4＝40(个)喷嘴。

本实施例中，作为隔壁6利用没有透光性的树脂材料，但作为透光性隔壁6，也可以利用透光性树脂。此时，对应于滤光元件3之间的位置，比如隔壁6的上面或隔壁6的下面可以设置其他遮光性Cr(铬)等金属膜或树脂材料的罩。另外，也可以采用透光性树脂材料形成隔壁6以后，不设黑色罩的结构。

另外，本实施例中，作为滤光元件3利用了R(红)、G(绿)、B(兰)，但不限定利用R(红)、G(绿)、B(兰)，可以利用如C(青)、M(洋红)、Y(黄)。此时，替代R(红)、G(绿)、B(兰)滤光元件，利用C(青)、M(洋红)、Y(黄)色的滤光元件材料就可以。

还有，本实施例中，利用影印法形成隔壁6，但也可以和彩色滤光片1一样，利用喷墨法形成隔壁6。

(关于彩色滤光片的制造方法及其制造装置的说明之二)

图2是为了说明上述有关本发明彩色滤光片1制造方法和制造装置的变形例的图，是模式性表示利用喷墨头22向母基板12内的彩色滤光片形成区域11内的各个滤光元件形成区域7喷出供应墨水，即滤光元件材料13的情形。

由本实施例来实施的大体工艺和如图7所示的工艺相同，用于墨水喷着的液滴喷出装置也和图9所示的相同的机械结构。另外，图15的CPU69把形成喷嘴列28的多个喷嘴27分成n组、如四组，对应于各喷嘴组的长度L/n或L/4决定副扫描量δ的情形也和图1相同。

本实施例和图1所示的上述实施例不同点是存储在图15中作为信息存储介质的存储器内收容的程序软件的改进，具体说就是对于CPU69进行的主扫描控制运算和副扫描控制运算进行了改变。

更具体地说，图2中，其控制，使喷墨头22不是在结束主扫描方向X的主扫描移动后回到初始位置，而是在一个方向的主扫描移动结束后立即向副扫描方向移动相当于一组喷嘴组移动量δ而到达(b)位置之后，向上一次主扫描方向X1的相反方向X2进行扫描移动，从初始位置(a)回到向副扫描方向移动δ距离的错位位置(b′)。另外，位置(a)到(a′)的主扫描间和从(b)到(b′)的主扫描间的两个期间内多个喷嘴27选择性地喷出墨水。

总之，本实施例中，喷墨头22不是间隔进行主扫描和副扫描而连续轮流进行，由此，省略了回归动作的时间浪费，可以缩短作业时间。

(关于彩色滤光片制造方法及其制造装置的说明之三)

图3是为了说明上述有关本发明彩色滤光片1制造方法及其制造装置的变形例的图，是模式性表示利用喷墨头22向母基板12内的彩色滤光片形成区域11内的各滤光元件形成区域7喷出供应墨水即滤光元件材料13的情形。

由本实施例实施的大体工艺和图7所示的工艺相同，用于墨水喷着的液滴喷出装置也和图9所示的机构相同。另外，图15的CPU69把形成喷嘴列28的多个喷嘴27分成n组、如四组，对应于各喷嘴组的长度L/n或L/4决定副扫描量δ的情形也和图1相同。

本实施例和图1所示的上述实施例不同点是在图16的步骤S12中把喷墨头22设在描绘初始位置时，使其喷墨头22位于图3(a)位置所示的，喷嘴列28延伸的方向平行于副扫描方向Y。这样的喷嘴排列有利于喷墨头22的喷嘴节距等于母基板12的元件节距的情形。

在该实施例中，喷墨头22从初始位置(a)到终端位置“k”为止，一边反复进行主扫描方向X的主扫描移动、初始位置的回归移动和副扫描方向Y的移动量δ的副扫描移动，在主扫描移动期间由多个喷嘴27选择性地喷出墨水即滤光元件材料。由此，在母基板12内的彩色滤光片形成区域11内的滤光元件形成区域7内附着滤光元件材料。

另外，本实施例中，喷嘴列28位置设定为平行于副扫描方向Y。由此，副扫描移动量δ被设定为等于喷嘴组长度L/n即l/4。

(关于彩色滤光片制造方法及其制造装置的说明之四)

图4是为了说明上述有关本发明彩色滤光片1制造方法及其制造装置的变形例的图，是模式性表示利用喷墨头22向母基板12内的彩色滤光片形成区域11内的各个滤光元件形成区域7喷出供应墨水即滤光元件材料13的情形。

由本实施例实施的大体工艺和图7所示的工艺相同，用于墨水喷着的液滴喷出装置也和图9所示的机构相同。另外，图15的CPU69把形成喷嘴列28的多个喷嘴27分成n组、如四组，对应于各喷嘴组的长度L/n或L/4所决定副扫描量δ的情形也和图1相同。

本实施例和图1所示的上述实施例不同点是在图16的步骤S12中把喷墨头22设在描绘初始位置时，使其喷墨头22位于图4(a)位置所示的，喷嘴列28延伸的方向平行于副扫描方向Y；并且，和图2的实施例情况相同，喷墨头22达到主扫描和副扫描的回归动作不是有间隔而连续地轮流进行。

另外，图4所示的本实施例和图3所示的上述实施例中，因为主扫描方向X垂直于喷嘴列28方向，所以如图12所示，把喷嘴列28沿着主扫描方向X排两列的方法，可以使位于同一主扫描线的两个喷嘴27向一个滤光元件形成区域7喷出供给滤光元件材料13。

(关于彩色滤光片制造方法及其制造装置的说明之五)

图5是为了说明上述有关本发明彩色滤光片1制造方法及其制造装置的变形例的图，是模式性表示利用喷墨头22向母基板12内的彩色滤光片形成区域11内的各个滤光元件形成区域7喷出供应墨水即滤光元件材料13的情形。

由本实施例实施的大体工艺和图7所示的工艺相同，用于墨水喷着的液滴喷出装置也和图9所示的机构相同。另外，图15的CPU69把形成喷嘴列28的多个喷嘴27分成n组、如四组，对应于各喷嘴组的长度L/n或L/4所决定副扫描量δ的情形也和图1相同。

在图1所示的上述实施例中，使喷嘴列28不重复而连续进行副扫描移动来在母基板12的表面均匀厚度形成滤光元件材料层79第一层，在其第一层上面按顺序同样形成均匀厚度的第二层、第三层、第四层。与此相反，图5所示的实施例中，形成第一层的方法和图1(A)情形相同，但第二层～第四层不是按顺序重复形成相同厚度的层，而从图5(A)的左侧向右侧按顺序形成台阶状第二层、第三层、第四层，最后形成滤光元件材料层79。

图5所示的实施例中，第一层～第四层各层的喷嘴列28境界线在各层间重叠，因此，也许在该境界线部位出现浓度大的条纹。但是，该实施例在最初工艺中，彩色滤光片形成区域11的全面上形成均匀厚度的第一层的方法来提高湿润性，其后进行第二层～第四层的叠层，因此，比起不是在全面均匀形成厚度相同的第一层的情况下突然从左侧台阶状形成第一层～第四层，可以形成没有浓度不均匀，而且可以形成细小境界线部位的难度大的彩色滤光片1。

(关于彩色滤光片制造方法及其制造装置的说明之六)

图17是为了说明上述有关本发明彩色滤光片1制造方法及其制造装置的变形例的图，是表示喷墨头22A。该喷墨头22A和图10所示的喷墨头22不同点是喷出R(红)色的喷嘴列28R、喷出G(绿)色的喷嘴列28G、喷出B(兰)色的喷嘴列28B的三种喷嘴列制作成一个喷墨头22A。分别在这些三种(喷嘴列)上设置图13(a)和图13(b)所示的墨水喷出系，对应于R(红)色喷嘴列28R的墨水喷出系上连接R(红)墨水供应装置37R，对应于G(绿)色喷嘴列28G的墨水喷出系上连接G(绿)色墨水供应装置37G，对应于B(兰)色喷嘴列28B的墨水喷出系上连接B(兰)色墨水供应装置37B。

由本实施例实施的大体工艺和图7所示的工艺相同，用于墨水喷着的液滴喷出装置也和图9所示的机构相同。另外，图15的CPU69把形成喷嘴列28R、28G、28B的多个喷嘴27分成n组、如四组，对每一个喷嘴组，使喷墨头22A以副扫描移动量δ来副扫描移动的情形也和图1相同。

图1所示的实施例中，喷墨头22上设有一种喷嘴列28，因此，由R(红)、G(绿)、B(兰)三色形成彩色滤光片1时，图9所示的喷墨头22上必须分别准备R(红)、G(绿)、B(兰)三色。与此相反，使用图17所示结构的喷墨头22A时，喷墨头22A的主扫描方向X的一次主扫描来可以同时形成母基板12上的R(红)、G(绿)、B(兰)三色，因此，只要准备一个喷墨头22就足够。另外，通过各色的喷嘴列28的间隔适应于母基板12的滤光元件形成区域7的节距的方法，可以同时喷出R(红)、G(绿)、B(兰)三色。

(关于利用彩色滤光片的光电装置制造方法以及制造装置的说明)

图18表示有关本发明的光电装置一例的液晶装置的制造方法实施例。另外，图19表示由其制造方法制造的液晶装置的实施例。还有，图20表示图19中的IX-IX线的液晶装置的剖面图。说明液晶装置的制造方法以及制造装置之前，首先举例说明其制造方法所制造出的液晶装置。另外，本实施例的液晶装置为矩阵方式显示全色的半渗透反射方式的液晶装置。

图19中，液晶装置101是在液晶板102上安装作为半导体芯片的液晶驱动用IC103a和液晶驱动用IC103b，把作为配电线的连接元件FPC(软性印刷电路)104连接在液晶板102上。还有，液晶装置101是在液晶板102里面安装作为后灯的照明装置106而形成。

液晶板102是利用密封件108粘贴第一基板107a和第二基板107b而形成。密封件108是通过如网板印刷等方法把环氧树脂以环状粘接在第一基板107a或第二基板107b内侧表面而形成。另外，如图19所示，密封件108内部分散状态包含由导电性材料形成球状或圆筒状的接通件109。

图20中，第一基板107a具有由透明的玻璃或透明的塑料形成的板状基体材料111a。该基体材料111a的内侧表面(图20的上表面)形成反射膜112，在其上面叠加绝缘膜113，在其上第面一电极114a以箭头D向看时带状(参考图19)形成，在其上面形成定向膜116a。另外，基体材料111a的外表面(图20的下面表面)粘有偏振光片117a。

图19中，为了清楚地表示第一电极114a的排列，把这些带间隔绘成比实际宽得多，因此，虽然所被绘的第一电极114a的根数少，但实际上更多的第一电极114a形成基体材料111a上。

图20中，第二基板107b具有由透明的玻璃或透明的塑料形成的板状基体材料111b。该基体材料111b的内侧表面(图20的下表面)形成彩色滤光片118，在其上面叠加绝缘膜113，在其上面第二电极114b以垂直于上述第一电极114a，从箭头D向看时带状(参考图19)形成，在其上面形成定向膜116b。另外，基体材料111b的外表面(图20的下面表面)粘有偏振光片117b。

图19中，为了清楚表示第二电极114b的排列，和第一电极114a的情形同样，把那些带状间隔画得比实际大，因此，所画第二电极114b的数目少，但实际上有更多的第二电极114b形成在基体材料111b上。

图20中，由第一基板107a、第二基板107b和密封件108所包围的间隙内即所谓的单元凹(cellgap)内封入液晶比如STN(高级双绞向列)液晶L。第一基板107a或第二基板107b内侧表面分散有多数微小的球形撑档119，这些撑档119存在于单元凹内的方法维持单元凹均匀厚度。

第一电极114a和第二电极114b互相垂直排列，这些交叉点在图19的箭头D方向看时的点矩阵排列。还有，其点矩阵各交叉点构成一个像素。彩色滤光片118是由R(红)、G(绿)、B(兰)各色要素从箭头D方向看时的所定排列，例如带状排列、三角形排列、嵌镶排列等的所定型式排列而形成。上述一个像素对应于那些R(红)、G(绿)、B(兰)中的一个，而R(红)、G(绿)、B(兰)三色的像素成为一个单位，构成一个像素。

利用使点阵状排列的多数像素、从而使像素有选择性地发光的方法，以在液晶板102的第二基板107b外侧可以显示文字、数字等的图像。这些显示图像的区域就是有效像素区域，如图19和20中，以箭头V表示的平面矩形区域就是有效显示区域。

图20中，反射膜112由APC合金、Al(铝)等的光反射特性材料形成，在对应于第一电极114a与第二电极114b交叉点的各个像素的位置上形成孔121。结果，孔121是从图20的箭头D方向看时，和像素具有相同的点阵状排列。

第一电极114a和第二电极114b，例如由透明导电材料的ITO(铟锡氧化物)形成。另外，定向膜116a、116b是把聚酰亚胺系树脂粘接成均匀厚度膜状而形成。这些定向膜116a、116b受到摩擦处理的方法来决定第一基板107a和第二基板107b表面上的液晶分子初期定向。

图19中，第一基板107a的形成面积大于第二基板107b的形成面积，利用密封件108粘接这些基板时，第一基板107a具有在第二基板107b的外侧伸出的基板伸出部107c。这样，该基板伸出部107c各种形成连接电线的适当型式，这些连接包括：从第一电极114a伸出的引线114c的连接、通过在密封件108内部的接通件109(参考图20)导通第二基板107b上的第二电极114b的引线114d的连接、液晶驱动用IC103a输入补片即连接输入接头的金属配电线114e的连接、连接液晶驱动用IC103b的金属配电线114f的各种配电线。

本实施例中，从第一电极114a伸出的引线114c和导通第二电极114b的引线114d，由形成电极相同材料ITO即导电性氧化物制作。另外，液晶驱动用IC103a、IC103b输入侧配线的114e、114f由电阻小的，如APC合金制作。该APC合金主要包含Ag，还包含Pd和Cu的合金，如含Ag为98％、Pd为1％、Cu为1％的合金。

液晶驱动用IC103a、IC103b是利用ACF(异向性导电膜)122粘接在基板伸出部107c表面而安装。即本实施例中，在基板上直接安装半导体芯片的结构即形成所谓的COG(芯片在玻璃上)方式的液晶板。该COG方式的安装中，利用ACF122内部包含的导电粒子接通液晶驱动用IC103a，103b的输入端补片与金属配电线114e、114f通电，接通液晶驱动用IC103a、103b的输出端补片和引线114c、114d通电。

图19中，FPC104包括可弯曲性树脂膜123、包含芯片零件124构成的电路126、金属接线头127。电路126是利用钎焊或其他导电连接法直接安装在树脂膜123的表面。另外，金属接线头127由APC合金、Cr、Cu和其他导电材料形成。FPC104中形成金属接线头127的部分由ACF122连接在第一基板107a的114e、114f形成部分。还有，由于包含在ACF122内部的导电粒子的作用，基板一侧的金属配电线114e、114f和FPC一侧的金属接线头127接通。

FPC104的另一侧的边缘端部上形成外线接头131，该外线接头131连接在图中未示的外部电路。这样，根据该外部电路传送的信号驱动液晶驱动用IC103a、103b，给第一电极114a和第二电极114b的一方传送扫描信号而给另一方传送数字信号。由此，排列在有效显示区域V内排列的点阵状像素各点受按每一点的电压控制，其结果，液晶L的定向受每一个像素的控制。

图19中，作为后灯功能的照明装置106，如图20所示，包括丙烯基树脂构成的光导体132、设在该光导体132的发光面132b的扩散板133、设在该光导体132的发光面132b的反面的反射板134、作为光源的LED(发光二级管)136。

LED(发光二级管)136支撑在LED(发光二级管)基板137，例如其LED(发光二级管)基板137装在和光导体132一体形成的支撑部(图中未示)。LED(发光二级管)基板137安装在支撑部的所定位置，使LED(发光二级管)136位于面对光导体132侧面端部的采光面132a的位置。另外，符号138是缓冲施加在液晶板102冲击的缓冲材料。

如果LED(发光二级管)136发光，则其光，由采光面132a取来引入到光导体132内部，反射在反射板134、光导体132的壁面而传播中，从发光面132b通过扩散板133向外部以平面光发射。

因为本实施例的液晶装置101结构如上述，在太阳光、室内光等外部光十分明亮时，图20中，外部光从第二基板107b进入液晶板102内部，其光通过液晶L之后，在反射膜112反射再度供应到液晶L。液晶L利用夹持它的电极114a、114b向R(红)、G(绿)、B(兰)像素各点定向控制。因此，供应到液晶L的光按像素各点变频，由于变频，通过偏振光片117b的光和不能通过的光在液晶板102的外部显示文字、数字等的图像。由此，进行反射性的显示。

另一方面，不能获得充分的外部光时，LED(发光二级管)136发光，从光导体132的光射出面132b发射平面光，其光通过形成在反射膜112的孔121传播到液晶L。此时，和发射性显示相同，被传播的光，由定向控制的液晶L按像素各点变频。由此，在外部显示图像，进行通过型显示。

上述结构的液晶装置101，例如，利用如图18所示的制造方法制造。在该方法中，工艺P1～P6的一系列的工艺是制造第一基板107a的工艺，工艺P11～P14的一系列的工艺是制造第二基板107b的工艺。制造第一基板的工艺和制造第二基板的工艺一般分别单独进行。

首先，说明制造第一基板的工艺；由透光性玻璃、透光性塑料形成的大面积母原料基板的表面上利用影印法形成液晶板102的多个份的反射膜112。并且，在其上利用众所周知的成膜法形成绝缘膜113(工艺P1)。接着，利用影印法形成第一电极114a、引出配电线114c、114d和金属配电线114e、114f(工艺P2)。

然后，在第一电极114a上涂敷、印刷等方法形成定向膜116a(工艺P3)，并对其定向膜116a进行摩擦处理而决定液晶的初始定向(工艺P4)。接着，例如，通过网板印刷等方法环状形成密封件108(工艺P5)，并在其上面分散撑档119(工艺P6)。由以上，形成具有多个份液晶板102第一基板107a上型板的大面积第一母基板。

和以上的制造第一基板工艺分开，另外实施制造第二基板的工艺(图18的P11～P14)。首先准备透光性玻璃、透光性塑料形成的大面积母基板原料，在其表面上形成液晶板102的多个份的彩色滤光片118(工艺P11)。该形成彩色滤光片118的工艺，利用图7所示的制造方法，其制造方法中的R(红)、G(绿)、B(兰)各色的滤光元件的形成是利用图8的液滴喷出装置16，按照图1至图5所示的喷墨头22的控制方法实行。这些彩色滤光片118的制造方法和喷墨头22的控制方法相同于已经说明的内容，在此省略其说明。

如图7(d)所示，母基板12即母基板原料上形成彩色滤光片1即彩色滤光片118之后，接着，利用影印法形成第二电极114b(工艺P12)。再利用涂敷、印刷等方法形成定向膜116b(工艺P13)。然后，对定向膜116b实施摩擦处理，决定液晶的初始定向(工艺P14)。通过以上，形成具有多个份液晶板102的第二基板107b上型板的大面积第二母基板。

由以上制作大面积第一母基板和第二母基板之后，把密封件108夹在这些母基板之间，校准定位之后互相粘接(工艺P21)。由此，形成包含多个份液晶板的板部分的、还没有封入液晶状态的空板结构体。

接着，在已制作的空的板结构体的所定位置上形成划线槽，即形成切断用槽，在此划线槽为基准断开板结构体，即切断(工艺P22)。由此，形成各液晶板部分的密封件108的液晶注入用孔110(参考图19)露出于外部状态的所谓薄长方形的空板结构体。

然后，通过液晶注入用孔110往各液晶板内部注入液晶L之后利用树脂等来封液晶注入用孔110(工艺P23)。一般的液晶注入处理是在存留容器内存留液晶之后把存留液晶的存留容器和薄长方形的空板结构体放入箱盒。使箱盒处于真空状态之后，在箱盒中把薄长方形的空板结构体浸泡在液晶中。然后，把箱盒开放在大气压中。此时，空板内部为真空状态，所以由大气压加压的液晶通过液晶注入用孔进入到板的内部。注入液晶后的液晶板结构体周围附着液晶，因此，液晶注入处理后的薄长方形板在P24中进行洗涤处理。

其后，液晶注入和清洗后的薄长方形母基板，再度在所定位置形成划线槽。并且，以其划线槽为基准切断薄长方形板。由此，切出多个液晶板102(工艺P25)。如图19所示，对这样制作的各个液晶板102安装液晶驱动用IC103a、103b，安装照明装置106作为后灯，再安装FPC104，由此，完成所目标的液晶装置101(工艺P26)。

以上所说明的液晶装置的制造方法及其制造装置在制造彩色滤光片1阶段中具有如下特征。即，图6(a)所示彩色滤光片1即图20的彩色滤光片118内的各个滤光元件3不是喷墨头22(参考图1)的一次的主扫描X来形成，而每一个滤光元件3是由不同组的多个喷嘴27的n次，如四次的重复的墨水喷出来形成所要厚度膜。因此，即使是多个喷嘴27的墨水喷出量存在不均匀，可以防止多个滤光元件3间的膜厚度不均匀，因此，使彩色滤光片1的光透过性能在平面上均匀。这也就是说明，在图20的液晶装置101中可以获得无色斑的颜色均匀的鲜明的彩色显示。

另外，本实施例的液晶装置制造方法及其制造装置中，利用图9所示的液滴喷出装置16，利用喷墨头22的墨水喷出而形成滤光元件3，因此，没有必要经过影印法等的复杂的工艺，还可以减少材料的浪费。

(利用彩色滤光片的光电装置的其他例)

下面，作为具备上述实施例彩色滤光片的光电装置的一例，举出有源矩阵型彩色液晶装置来进行如下说明。图54是具备上述实施例彩色滤光片的光电装置的结构剖面图。

该实施例的液晶装置700是由互相面对排列的彩色滤光片基板741和有源元件基板701、夹持在这些的液晶层702、安装在彩色滤光片基板741上面的相位差板715a、偏光板716a、安装在有源元件基板701下面的相位差板715b、偏光板716b等的液晶板750为主体而构成的。该液晶板750上安装液晶驱动用驱动芯片、传送电信号的电线、支撑体等来组成最终产品的液晶装置。

彩色滤光片基板741是具有透光性基板(基板)742的，面向观测者安装的表面一侧的基板，有源元件基板701是安装在另一侧的，换句话说是安装在里侧的基板。

彩色滤光片基板741是塑料薄膜或厚度为300μm(0.3mm)左右的玻璃基板制作的透光性基板742和形成在该个基板742下面(换句话说液晶层一侧的面)的彩色滤光片基板751为主体而构成的。

彩色滤光片基板751是由形成在其下面(换句话说液晶层一侧的面)的隔壁706、滤光元件703...、覆盖隔壁706和滤光元件703...的保护膜704而构成。

隔壁706是分别包围形成各个滤光元件703的带色区域-滤光元件形成区域707的格子状东西，形成在基板742的一面742a上。隔壁706具有多个孔706c。每一个孔706c内露出基板742。并且，由隔壁706的内壁(孔706c的壁面)和基板742所划分形成滤光元件形成区域707...。

隔壁706由黑色感光性树脂膜组成，作为该黑色感光性树脂膜最好是利用如普通的感光胶正片型或负片型的感光性树脂和至少含有碳黑等黑色的无机颜料或有机颜料。因为该隔壁706含有黑色的无机颜料或有机颜料，并形成在滤光元件703…形成位置以外的部分，所以可以遮断滤光元件703…之间的透光，从而该隔壁706具有遮光膜的功能。

滤光元件703…是横跨隔壁706内壁和基板742设置的滤光元件形成区域707内，利用喷墨法收容喷墨R(红)、G(绿)、B(兰)各滤光元件材料的，即喷出后干燥的方法所形成的。

还有，保护膜704下面(液晶层一侧)，由ITO(铟锡氧化物)等的透明导电材料制作的液晶驱动用电极层705横跨保护膜704全面而形成。还有，覆盖该液晶驱动用电极层705，在液晶层一侧设有定向膜719a，另外，在另一侧的有源元件基板701一侧，以后要叙述的像素元件732上面也设有定向膜719b。

有源元件基板701是在透光性基板(基板)714上面形成图中未示的绝缘层，并在该绝缘层上面作为TFT型转换开关元件的薄膜晶体管T和像素电极732的部件。另外，形成在基板714上的绝缘层上面还形成实际上为矩阵状多个扫描线和多个信号线，在这些扫描线和信号线包围的每一个区域内设有上述的像素电极732，每一个像素电极732与扫描电极和信号线电连接的位置上收容晶体管T，对扫描线和信号线施加信号来开、关薄膜晶体管T，可以进行像素电极732的通电控制。另外，形成在面对一侧的彩色滤光片基板741一侧的电极层705在本实施例中是覆盖像素区域全面的全面电极。另外，TFT配线电路或像素电极形状上，可以利用种种形式。

有源元件基板701和彩色滤光片基板741之间是通过沿彩色滤光片基板741外围形成的密封件755隔一定间隙粘接在一起的。另外，符号756是为了保持两个基板之间间隔(元件间隙)的在基板内部的隔板。其结果，有源元件基板701和彩色滤光片基板741之间形成由省略其俯视图的额边缘形状密封件755划分成矩形的液晶封入区域，在该液晶封入区域内封入液晶。

如图54，彩色滤光片基板741小于有源元件基板701，有源元件基板701的周围部分露出于彩色滤光片基板741外围的状态粘接的。从而，有源元件基板701中密封件755外围区域可以形成像素转换开关用薄膜晶体管T和驱动电路用TFT，还可以安装扫描线驱动电路、数据线驱动电路。

该液晶板750中，有源元件基板701和彩色滤光片基板741的光入射和光出射面的上面，按照正规白色方式/正规黑色方式来配置上述的偏光板716a、偏光板716b，使其面向所定的方向。

在这样构成的液晶板750中的有源元件基板701中，根据通过数据线(图中未示)和薄膜晶体管T施加在像素电极732的显示信号，在像素电极732和面向电极718之间，对每一个像素进行定向状态的控制，进行对应于显示信号的所定的显示。例如，利用TN方式构成液晶板750情形时，一对基板之间(有源元件基板701和彩色滤光片基板741)各自形成的定向膜719a、719b进行摩擦处理时，设定为互相垂直进行摩擦处理，则液晶在基板之间具有90度角度扭转定向。这样的扭转定向由于在基板之间液晶层702上施加电场而被解放。从而，从外部是否施加电场而可以使液晶的定向状态控制在像素电极732所形成的每一个区域(每一个像素)。

因此，把液晶板750作为透过性液晶板利用时，通过入射侧的偏光板716b使配置在有源元件基板701下面的照明装置(图中未示)所发出的光一致，成为直线偏光之后，通过相位差板715b、有源元件基板701射入到液晶层702，通过有些区域的直线偏光使其透过偏光轴被扭转而射出以外，通过其他区域的直线偏光其透过偏光轴没有被扭转而射出。因此，如果配置入射一侧的偏光板716b和射出一侧的偏光板716a，使其透过偏光轴互相垂直(正规白色)，则通过配置在液晶板750射出一侧的偏光板716a的只是由液晶透过偏光轴被扭的直线偏光的光。与此相反，如果配置偏光板716a，使其射入一侧的偏光板716b和透过偏光轴平行(正规黑色)，则通过配置在液晶板750射出一侧的偏光板716a的只是由液晶透过偏光轴没有被扭的直线偏光的光。因此，只要对每一个像素控制液晶层702定向状态，可以显示任何信息。

在上述结构的液晶装置700中，彩色滤光片基板741的各个滤光元件703…由上述实施例叙述的喷墨方式所形成。即其形成时，各个滤光元件703…不是喷墨头的一次主扫描来形成，而是各个属于不同喷嘴组的多个喷嘴的n次，例如四次重复的喷出来形成所定的膜厚度。因此，即使是喷嘴之间存在墨水喷出量的不均匀，也可以防止多个滤光元件之间的膜厚度不均匀，因此，彩色滤光片基板741的光透过特性在平面上均匀。由此，可以获得没有颜色不均匀的显示。

上述中，说明了把彩色滤光片适用于液晶装置的例子，但是有关本发明的彩色滤光片当然可以适用于上述以外的用途。例如，彩色滤光片可以适用于白色有机EL。即白色有机EL前面(有机EL的光射出一侧)配置上述的方法形成的彩色滤光片。通过这样的结构，可以不仅利用了白色有机EL，还可以提供进行彩色显示的有机EL装置。

另外，光受到如下控制。有机EL是使其形成白色光源，由设置在每一个像素的晶体管所控制，调整发光量，进一步使光通过彩色滤光片，显示所希望的颜色。

(有关利用EL元件的光电装置制造方法及其制造装置的实施例)

图21是表示有关本发明的作为光电装置一例的EL装置的制造方法实施例。另外，图22是表示其制造方法主要工艺和最后获得的EL装置的主要结构剖面图。如图22(d)所示，EL装置201在透明基板204上面形成像素电极202，在各个像素电极202之间形成从箭头G方向看时格子状存储元件205。在那些格子状凹面中形成空穴注入层220，在各个格子状凹面中形成R(红)色的发光层203R、G(绿)色的发光层203G、B(兰)色的发光层203B，以使从箭头G方向看时带状排列的所定排列。还有，在其上面形成面向电极213来形成EL装置201。

把上述像素电极202利用TFD(薄膜二极管)元件等的两个接头有源元件来驱动时，上述面向电极213以箭头G方向看时形成带状。另外，使像素电极202利用TFT(薄膜晶体管)等的三个接头型的有源元件来驱动时，上述面向电极213形成单一的面电极。

被各个夹在像素电极202与面向电极213的区域变为一个像素，R(红)、G(绿)、B(兰)三色的像素成为一个单元形成一个像素。控制通过各个像素的电流来选择多个像素中的所希望像素，由此，可以在箭头H方向上显示所希望的全色图像。

上述EL装置201可以如图21所示的制造方法来制造。即工艺P51和图22(a)所示，在透明基板204表面上形成TFD元件或TFT元件等的能动元件，进一步形成像素电极202。作为形成的方法，例如，可以利用影印法、真空粘接法、溅射法、熔溶胶法等。作为像素电极202材料可以利用ITO(铟锡氧化物)、氧化锡、氧化铟、氧化锌等的复合氧化物

接着，工艺P52和如图22(a)所示，利用众所周知的形成图案法如影印法来形成隔壁即存储元件205，通过该存储元件205充填各个透明的像素电极202之间。由此，可以提高对比度，可以防止发光材料的混色，可以防止像素和像素之间的漏光。作为存储元件205的材料只要具有对EL发光材料溶剂的抗溶性，就没有特定的限制，但最好是利用碳氟化合物气体等离子处理来可以特氟隆化的，如丙烯树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺等的有机材料。

然后，在涂敷作为功能性液状体状的空穴注入层用墨水之前，对透明基板204连续进行氧气和碳氟化合物气体等离子处理(工艺P53)。由此，聚酰亚胺表面得到疏水化，而ITO表面得到亲水化，可以控制为了液滴的微细化而形成图案的基板一侧的湿润性。作为发生等离子的装置可以利用真空中发生的装置或大气中发生等离子的装置。

接着，工艺P54和如图22(a)所示，从图9的液滴喷出装置16的喷墨头22喷出空穴注入层用墨水，在各个像素电极202上进行形成图案涂敷。具体的喷墨头22的控制方法利用图1至图5所示的方法中的任何一种。其涂敷后，在真空(1乇)中、室温和20分钟的条件下去掉溶剂(工艺P55)。此后，利用在大气中、20℃(热板上)、10分钟的热处理的方法来形成与发光性墨水不相溶的空穴注入层220(工艺P56)。在上述条件下的膜厚度为40nm。

接着，工艺P57和如图22(b)所示，在各个滤光元件形成区域7内的空穴注入层220上面，利用影印法涂敷作为功能性液状体EL发光材料的R(红)发光层用墨水和功能性液状体EL发光材料的G(绿)发光层用墨水。在这里，各个发光层用墨水也利用图9所示的液滴喷出装置16的喷墨头22来喷出。喷墨头22的控制方法可以利用图1至图5所示的任何一种方法。利用喷墨方式在短时间内简单进行微细的形成图案。另外，改变墨水组合物的固体成分浓度和喷出量来可以改变膜的厚度。

涂敷发光层用墨水之后，在真空中(1乇)、室温、20分钟条件下去掉溶剂(工艺P58)。接着，氮气中、150℃、4小时的热处理来进行共轭化，来形成R(红)色的发光层203R和G(绿)色的发光层203G(工艺P59)。由上述条件，膜厚度为50nm。由热处理而共轭化的发光层不溶解于溶剂中。

另外，在形成发光层之前，对空穴注入层220也可以进行连续的碳氟化合物气体等离子处理。由此，在空穴注入层220上面形成氟化合物层，离子化电势位变高，可以提高空穴注入效率，可以提供发光效率高的有机EL装置。

接着，如工艺P60和图22(c)所示，在R(红)色的203R、G(绿)色的发光层203G和空穴注入层220上面重复形成作为功能性液状体状EL发光材料的B(兰)色的发光层203B。由此，不仅形成R(红)、G(绿)、B(兰)三原色，还可以充填R(红)色的203R、G(绿)发光层203G和存储元件205的台阶而获得平坦化。由此，可以可靠防止上下电极间的短路。利用调整B(兰)色的发光层203B膜厚的方法来使R(红)色的203R和G(绿)色的发光层203G叠层结构中，只起电子注入输送层的作用，而不发光B色。

形成以上所述的B(兰)色发光层203B的方法，可以采用例如湿式法的一般的旋转涂敷法，或可以采用形成R(红)色的203R和G(绿)色的发光层203G相同的喷墨法。

然后，如工艺P61和图22(d)所示，形成面向电极213的方法来制造所目标的EL装置201。如果面向电极213为面电极时，可以利用例如Mg、Ag、Al、Li等的材料，利用蒸镀法、溅射法等成膜法来形成。另外，面向电极213为带状电极时，把已形成的电极层可以利用影印法等的形成图案方法来形成。

根据以上所说明的EL装置201的制造方法及其制造装置，作为喷墨头控制方法可以采用图1至图5所示的任何一种控制方法，因此，图22中的各个像素内的空穴注入层220和R(红)、G(绿)、B(兰)各色的发光层203R、203G、203B不是由喷墨头(参考图1)的一次主扫描方向X的扫描来形成，而一个像素内的空穴注入层和/或各色发光层是利用属于不同喷嘴组的多个喷嘴27的n次，如四次重复的喷出来形成所所定的膜厚度。因此，即使是多个喷嘴27中的墨水喷出量存在不均匀，也可以防止多个像素间产生膜厚度的不均匀，因此，EL装置201的发光面的发光分布特性在平面上均匀。这意味着图22(d)的EL装置201中，可以获得没有色斑的、鲜明的彩色显示。

另外，本实施例的EL装置制造方法及其制造装置中，利用图9所示的液滴喷出装置16，使用喷墨头22的墨水喷出方法来形成R(红)、G(绿)、B(兰)各色的像素，而没有必要经过影印法等的复杂的工艺，还可以不浪费材料。

(有关彩色滤光片的制造方法及其制造装置的实施例)

下面结合附图说明本发明的有关彩色滤光片的制造方法及其制造装置的实施例。在说明该彩色滤光片制造装置之前，首先说明已制造出来的彩色滤光片。图35是表示彩色滤光片的局部放大图，图35(A)是俯视图，图35(B)是图35(A)的X-X线剖面图。另外，这个图35所示的彩色滤光片中，对于和图6、图7所示实施例的彩色滤光片1相同的构成，附以相同的符号来进行说明。

(彩色滤光片的构成)

图35(A)中，彩色滤光片1具有矩阵状排列的像素1A。这些像素1A的境界有隔壁6所区分。像素1A的一个一个里收容作为R(红)、G(绿)、B(兰)中的一种墨水的液状体的彩色滤光片材料即滤光元件材料13。这个图35所示的彩色滤光片的红、绿、兰色的排列为所谓的嵌镶排列，但也可以适用于带状排列或三角形排列。

如图35(B)所示，彩色滤光片1具有透光性基板12、透光性隔壁6。没有形成隔壁6的部分即被去掉的部分构成上述像素1A。收容在该像素1A的各色的滤光元件材料13构成着色层的滤光元件3。隔壁6和滤光元件3的上面形成作为保护层的保护膜4和电极层5。

(彩色滤光片制造装置的结构)

下面，结合图说明制造上述彩色滤光片的制造装置的结构。图23是有关本发明彩色滤光片的制造装置的液滴喷出处理装置部分立体图。

彩色滤光片制造装置是制造作为光电装置的构成彩色液晶板的彩色滤光片。该彩色滤光片制造装置具有图中未示的液滴喷出装置。

(液滴喷出处理装置结构)

液滴喷出装置和上述的各实施例的液滴喷出装置相同，具有图23所示的三台液滴喷出处理装置405R、405G、405B。这些液滴喷出处理装置405R、405G、405B分别对应于向母基板12喷出液状体状墨水即彩色滤光片材料，例如R、G、B滤光元件材料13的R、G、B三色。另外，这些液滴喷出处理装置405R、405G、405B排列成近似直线而构成液滴喷出装置。还有，每一个液滴喷出处理装置405R、405G、405B上设有控制各构成部件的图中未示的控制装置。

另外，每一个液滴喷出处理装置405R、405G、405B分别连接向这些液滴喷出处理装置405R、405G、405B输入和输出母基板12的图中未示的输送机器手。另外，每一个液滴喷出处理装置405R、405G、405B上连接可以容纳六个母基板12的可以对母基板12进行热处理，例如在120℃、加热五分钟已喷出的滤光元件材料13而进行干燥的图中未示的多层烘干炉。

还有，如图23所示，每一个滴喷出处理装置405R、405G、405B具有中空箱子形状的主体外罩的热清洗箱422。该热清洗箱422内可以调整温度20±0.5℃并不能从外部进入灰尘，以便获得稳定、良好的得到喷墨方式的描绘。该热清洗箱422内设有液滴喷出处理装置主体423。

如图23所示，液滴喷出处理装置主体423具有X轴气动滑板台424。该X轴气动滑板台424上设有图中未示的具备电动机的主扫描驱动装置425。该主扫描驱动装置425具有可以吸引固定母基板12的图中未示的台座部，可以使台座部向X轴方向的相对母基板12的主扫描方向移动。

如图23所示，液滴喷出处理装置主体423的上方设有位于X轴气动滑板台424的作为Y轴台子的副扫描驱动装置427。该副扫描驱动装置427是可以使沿着上下方向喷出滤光元件材料13的头部部件420相对于母基板12副扫描移动方向Y轴方向移动。另外，图23中，为了明确位置关系，头部部件420利用浮在空中状态的实线来表示。

还有，液滴喷出处理装置主体423上，为了控制喷墨头421位置和母基板12位置而设有识别位置的位置识别装置的图中未示的各种照相机。另外，头部部件420、台座部的位置控制可以是利用脉冲电机的位置控制，也可以是利用伺服电机的反馈控制或其他任何控制方法来实现。

另外，如图23所示，液滴喷出处理装置主体423上设有擦干净头部部件420中的滤光元件材料13的摩擦部件481。该摩擦部件481是适当卷绕如布和橡胶板叠层为一体的图中未示摩擦部件的一端，按顺序使新的一面来擦净滤光元件材料13喷出面的结构。由此进行擦净附着在喷出面的滤光元件材料13工作，保证后述的喷嘴孔的不堵塞。

还有，如图23所示，液滴喷出处理装置主体423上设有墨水系统482。该墨水系统482包括存留滤光元件材料13的墨盒483、可以流通滤光元件材料13的输送管478和从墨盒483通过输送管478向头部部件420供应墨水的图中未示的泵。另外，图23中，输送管478的配置为模式性的，配置在副扫描驱动装置427的一侧，以便不影响从墨盒483到头部部件420的移动，并且，从扫描副头部部件420的扫描驱动装置427的上方给头部部件420供应滤光元件材料13。

另外，液滴喷出处理装置主体423上设有检测从头部部件420喷出的滤光元件材料13喷出量的重量检测装置485。

还有，液滴喷出处理装置主体423上配置一对具有图中未示的光传感器并检测头部部件420的滤光元件材料13喷出状态的点丢失检测部件487。该点丢失检测部件487交差于头部部件420的液状体喷出方向，例如图中未示的光传感器光源和接收光部，沿着X轴方向夹住头部部件420的喷出液状体的通过空间，而互相面对配置。另外，配置在头部部件420输送方向的Y轴方向一侧的位置，为了喷出滤光元件材料13使头部部件420进行一次副扫描移动后的喷出状态的检测，而进行点丢失检测。

另外，后面要详细叙述，头部部件420上配置两列喷出滤光元件材料13的头部装置433。因此点丢失检测部件487对每一个头部装置进行点丢失检测而设置一对。

(头部部件的结构)

下面说明头部部件420的结构。图24是表示安装在滴喷出处理装置405R、405G、405B上的头部部件420的俯视图。图25是头部部件420的侧视图。图26是头部部件420的主视图。图27是头部部件420的剖面图。

如图24至图27所示，头部部件420具有头部主体部430和墨水供应部431。另外，头部主体部430包括平板状滑架426和安装在该滑架426的实质上大致相同形状的头部装置433。

(头部装置的结构)

图28是表示安装在头部部件420的头部装置433的分解立体图。

如图28所示，头部装置433具有窄条形状的打印基板435。该打印基板435上安装各种电气零件436，有配电电线。另外，打印基板435的长度方向的一端(图28中的右侧)贯通形成窗口部437。还有，打印基板435的窗口部437两侧位置设有作为墨水的滤光元件材料13的流通路438。

还有，位于该打印基板435的一面，其长度方向的一端(图28中的右侧)，通过连接部件440安装喷墨头421。该喷墨头421形成为细长矩形形状，其长度方向沿着打印基板435的长度方向安装。另外，各头部装置433中的喷墨头421实质上具有大致相同形状，即所定的规格产品，只要选择所定质量的产品就可以。具体地，这些喷墨头421最好是具有后面要叙述的相同个数的喷嘴，并喷嘴的形成位置相同，以有利于喷墨头421在滑架426的安装和提高安装精度。还利用通过相同的制造、组装工艺的产品，则没有必要制造专用产品，可以降低成本。

另外，打印基板435的另一面(图28的上面)上，其长度方向的一端(图28中的左侧)位置作为一体，装有利用电气配线442电连接喷墨头421的接线柱441。如图23模式所示，为了对头部部件420的移动不给予影响，这些接线柱441上连接配电在副扫描驱动装置427的电气配线442(包括电源配线、信号配线)。该电气配线442是连接图中未示的控制装置和头部部件420的。即，如图24和图27中利用双点划线的箭头模式所示，这些电气配线442是从副扫描驱动装置427向头部部件420两列头部装置433的排列方向两侧的头部部件420外围配线，连接在接线柱441，不至于发生电气噪声。

还有，打印基板435的另一面(图28中的上面一侧)，其长度方向的大概一端(图28中的右侧)上，对应于喷墨头421装有墨水导入部443。该墨水导入部443包括：配合设在安装部件440并穿过打印基板435的定位销的近似圆筒状的定位圆筒部445、配合打印基板435的配合爪部446。

另外，墨水导入部443上凸出一对前端部分变细的圆筒状的联接部448。这些联接部448，在作为打印基板435的基础端部上具有近似密封状态连通于打印基板435的连通路438的图中未示的孔，在前端部具有可以流通滤光元件材料13的图中未示的孔。

还有，如图25至图28所示，这些联接部448装有位于前端部的密封联接部450。这些密封联接部450，在内部面形成使联接部448近似密封液体状态配合的近似圆筒状，在前端设有密封件449。

(喷墨头的结构)

图29是表示喷墨头421的分解立体图。图30是把喷墨头421喷出滤光元件材料13动作对应于喷墨头421断面而说明的模式图，图30(A)是喷出滤光元件材料13之前的状态，图30(B)是收缩压电振动器452而喷出滤光元件材料13的状态，图30(C)是喷出滤光元件材料13之后的状态。图31是说明喷墨头421中的滤光元件材料13喷出量的说明图。图32是模式说明喷墨头421配置状态的大体模式图。图33是图32的局部放大图。

如图29所示，喷墨头421具有近似矩形形状的座451。该座451在沿着长度方向设有两列，例如180个压电元件等的压电振动器452。另外，座451上，连通于打印基板435的连通路438，位于长度方向两侧的近似中央位置，分别设有流通作为墨水的滤光元件材料13的通孔453。

另外，如图29所示，座451的位于压电振动器452一面的上面，作为一体设有利用合成树脂板状形成的弹性板455。该弹性板455上分别设有连通通孔453的通孔456。并在弹性板455上设有配合座451上表面四角上凸出的定位爪部457的配合孔458，定位在座451上表面作为一体安装。

还有，弹性板455上设有平板状流路形成板460。该流路形成板460上面，以座451的宽度方向为长度，对应于压电振动器452的座451长度方向，设有180个直线两列的喷嘴槽461；喷嘴槽461一侧的座的长度方向为长度方向设有开口部462；设有连接弹性板455的连通孔456的流通孔463。还有，弹性板455上设有与凸出在座451上表面大致四角落定位爪部457配合的配合孔458，并和弹性板455一起定位而安装在座451上表面。

还有，流路形成板460上表面设有近似平板状的喷嘴板465。该喷嘴板465上对应于流路形成板460的喷嘴槽461并近似圆形的喷嘴466以座451的长度方向25.4mm范围内设有180个串联两列。另外，喷嘴板465上设有与凸出在座451上表面四角落定位爪部457配合的配合孔458，并和弹性板455、流路形成板460一起定位而安装在座451上表面。

还有，如图30模式所示，通过叠层的弹性板455、流路形成板460和喷嘴板465，在流路形成板460的开口部462上面等被划分为液状体容器467的同时，该液状体容器467通过液状体供应通路468连接在喷嘴槽461。由此，喷墨头421通过压电振动器452的动作，使喷嘴槽461内的压力增大，从喷嘴喷出2～13pl的滤光元件材料13，例如以7±2m/s速度喷出10pl的滤光元件材料13。即，如图30所示，对压电振动器452施加脉冲的所定的电压Vh，使成为图30(A)、(B)、(C)顺序，使压电振动器452向箭头Q方向适当伸缩而加压作为墨水的滤光元件材料13，从喷嘴466喷出所定量液滴8。

另外，该喷墨头421，如上述实施例所说明，有图31所示的排列方向两端部分的喷出量变多的喷出量不均匀。由此，控制喷出量不均匀度为5％以内范围的喷嘴466，即，使两个端部的各十个喷嘴466不让喷出滤光元件材料13。

还有，如图23至图27所示，构成头部部件420的头部主体部430由具有喷墨头421的多个头部装置433并列排列而构成。该头部装置433在滑架426的配置如图32和模式图33所示，倾斜、偏置于副扫描方向的Y轴方向和垂直于Y轴方向的主扫描方向的X轴方向的排列状态。即从副扫描方向的Y轴方向稍微倾斜的方向上排列配置六个，多数列排列这样的列，如两列。这是头部装置433的宽度比喷墨头421宽，而互相邻接的喷墨头421之间的配置间隔不能变窄，但喷嘴466的列在Y轴方向非要连续配置不可的情况下，想出的配置方法。

还有，头部主体部430是使头部装置433倾斜于喷墨头421的长度方向交叉X轴方向的方向状态，且接线柱441位于互相面对方向的另一侧状态下，近似点对称配置。该头部装置433的倾斜配置状态使喷墨头421长度方向的喷嘴466排列方向相对于X轴方向倾斜57.1°

还有，头部装置433配置成近似“之”字形即相对于排列方向不是平行排列。即如图24至27和图32所示，喷墨头421两列排列且其Y轴方向的排列顺序互相错开配置，以便使十二个喷墨头421的喷嘴466在Y轴方向连续排列。

具体地，结合图32和图33进一步详细说明。这里喷墨头421的长度方向的喷嘴466倾斜于X轴方向。因此，设在喷墨头421的两列喷嘴466的一列中，喷出滤光元件材料13第十一个喷嘴466所位于的X轴方向直线上，存在第二列喷嘴466的另一方不喷出的十个以内位置的区域A(非喷出喷嘴区域)(图33中的A)。即一个喷墨头421中产生X轴方向直线上不存在两个喷嘴466的区域A。

从而，如图32和图33所示，一个喷墨头421上，X轴方向直线上存在两个喷嘴466的区域B(图33中的B)中，组成列的头部装置433不位于X轴方向上并列状态的位置。还有，组成一列的头部装置433的X轴方向直线上只位于一个的区域A和组成另一列的头部装置433的X轴方向直线上只位于一个的区域A在X轴方向上互相并列排列的状态；由于一方的列的喷墨头421和另一方列的喷墨头421，在X轴方向直线上位于两个喷嘴466的状态。

即排列喷墨头421的区域中，“之”字形(互相错开)排列两列，以便不论哪一个位置在X轴方向直线上一定要有共计两个喷嘴466的状态。另外，不喷出滤光元件材料13的喷嘴466的区域X是不能以该X轴方向直线上的两个喷嘴466的个数来算数。

这样，对主扫描的X轴方向喷出墨水的喷嘴466两个位于沿着主扫描方向的假想的直线上(直线自体并不存在)，如后述，这两个喷嘴466向一个地点喷出墨水。如果一个喷嘴466的喷出来构成一个元件，则喷嘴466之间的喷出量不均匀会导致元件特性的不均匀或成品率的下降，如果不同的喷嘴466的喷出而形成一个元件，则可以分散喷嘴466之间的喷出量不均匀，使元件特性均匀和提高成品率。

还有，利用这样的多个喷墨头421的排列，使多个喷出喷嘴位于主扫描方向的假想的直线上，排列多个喷墨头421的状态中，垂直于主扫描方向的喷嘴排列来看，其喷嘴466的排列实际上连续，因此，可以进行制造利用长尺寸喷墨头421的同样的液滴喷出。另外，安装多个喷墨头421的喷出装置的主扫描，可以利用图1至图5所示的方法(区别倾斜或不倾斜头部)来进行。

另外，如图34所示，配置该喷墨头421时，把喷墨头421其长度方向对于主扫描方向X倾斜图34(a)所示的所定角度θ1的状态、或图34(b)所示的所定角度θ2的状态，以便与作为头部部件420描绘时相对于母基板12移动方向的主扫描方向互相垂直的副扫描方向Y轴方向中的喷嘴466的节距成为描绘的滤光元件形成区域7的副扫描方向Y中的元件之间的节距。该状态中，沿着扫描方向X的直线上，位于多个喷嘴466即喷嘴466排列数的两个的状态下，利用对应于横向长的喷嘴槽461开口区域的区域内形成开口的喷嘴板465。

(墨水供应部的结构)

如图24至图27所示，墨水供应部431包括分别设在对应头部主体部430的两列的一对平板状的安装板471和安装在这些安装板471的多个供应主体部472。还有，供应主体部472具有近似细长圆筒状的进退部474。该进退部474利用安装调整件473在贯通安装板471的状态下，沿轴向可以移动。另外，通过螺旋弹簧475，供应主体部472的进退部474承受从安装板471向头部装置433方向推进的力而安装。另外，图24中，为了说明的方便，墨水供应部431只表示两列头部装置433中的一列，省略了另一列。

该进退部474的面对头部装置433的端部上设有凸缘部476。该凸缘部476在进退部474的外围，以轴环形状凸出，克服螺旋弹簧475的推力，端面近似液状体密封状态接触于头部装置433的墨水导入部443的密封部件449。另外，进退部474的形成凸缘部476的另一侧端面上设有联轴节477。该联轴节477如图23模式所示，连接在流通滤光元件材料13的供应管478的一端。

如上述，如图23模式所示，该供应管478的电线配在副扫描驱动装置427，以便不影响头部部件420的移动，如图24和图6的点划线箭头模式地所示，配置(供应管)在从副扫描驱动装置427到两列排列在头部部件420上方的墨水供应部431之间的近似中央位置，并辐射状配置的前端连接在墨水供应部431的联轴节477。

还有，墨水供应部431把通过输送管478流通的滤光元件材料13供给头部装置433的墨水导入部443。另外，供应到墨水导入部443的滤光元件材料13又供到喷墨头421，由电控制的喷墨头421的各喷嘴466喷出适当液滴状。

(彩色滤光片的制造工作)

(前处理)

下面，结合附图说明利用上述实施例的彩色滤光片制造装置来制造彩色滤光片1的工作。图36是说明利用上述彩色滤光片制造装置来制造彩色滤光片1顺序的制造工艺剖面图。

首先，利用热浓硫酸加过氧化氢1％(质量浓度)的清洗液来清洗膜厚尺寸为0.7mm、长度为38cm、宽度为30cm的无碱玻璃的作为透明基板的母基板12的表面。该清洗后，用纯水漂洗之后，进行空气干燥，获得干净的表面。利用溅射法在该母基板12表面上形成平均厚度为0.2μm的铬膜，获得金属层6a(图36中的顺序S1)。

把该母基板12在热板上80℃温度下干燥五分钟以后，在金属层6a的表面上利用旋转镀层法形成图中未示的感光胶层。在该母基板12的表面上贴紧描绘矩阵形状的图中未示的罩薄膜，利用紫外线暴光。然后把暴光的母基板12利用例如氢氧化钾为8质量％的碱性显影液中浸泡，除去未暴光部分的感光胶，进行保护膜层的形成图案。接着，把露出的金属层6a利用盐酸为主要成分的浸蚀液来浸蚀除去。这样，可以获得具有所定矩阵形状的黑色矩阵的遮光层6b(图36中的顺序S2)。另外，遮光层6b的膜厚度大约为0.2μm，遮光层6b的宽度为大约22μm。

形成遮光层6b的母基板12上面，例如用旋转涂敷法涂敷形成负片型透明丙烯系的感光性树脂组合物6c(图36中的顺序S3)。把设有该感光性树脂组合物6c的母基板12，在100℃条件下预烤20分钟之后，利用描绘所定的矩阵形状的图中未示的罩膜进行紫外线暴光。然后，把没有暴光部分的树脂例如用碱性显影液来显影，并用纯水漂洗之后进行旋转干燥。作为最后干燥在200℃下进行30分钟，充分硬化树脂部分，形成存储元件层6d。该存储元件层6d的平均膜厚度大约为2.7μm、宽度尺寸大约为14μm。用该存储元件层6d和遮光层6b等来形成隔壁6(图36中的顺序S4)。

为了改善由上述获得的遮光层6b和存储元件层6d所划分的着色层形成区域的滤光元件形成区域7(特别是母基板12的露出表面)的湿润性，进行干蚀即等离子处理。具体地，对氦气里加20％氧气的混合气体施加高压电，用等离子处理形成刻蚀点，通过形成母基板12的刻蚀点下面，进行浸蚀，实施母基板12的预处理。

(彩色滤光片材料的喷出)

接着，在上述实施预处理的母基板12的以隔壁6划分所形成的滤光元件形成区域7内，用喷墨法收容即喷出R(红)、G(绿)、B(兰)各色的滤光元件材料13(图36中的顺序S5)。

利用喷墨法喷出滤光元件材料13时，预先组装好具有上述条件所定喷嘴板465的头部部件420。然后液滴喷出装置的每一个液滴喷出处理装置405R、405G、405B中，调整从各喷墨头421中的一个喷嘴466的喷出滤光元件材料13的喷出量为10pl程度。另一方面，在母基板12的一个面上预先形成格子状形状的隔壁6。

然后，把上述前处理的母基板12通过图中未示的输送机械手先输送到R(红)色的液滴喷出处理装置405R内，放置在液滴喷出处理装置405R内的台座部。放置在该台座部的母基板12利用吸引定位固定。于是，固定母基板12的台座部被各种相机确认其位置，控制移动主扫描驱动装置425以便位于适当的所定位置。另外，利用副扫描驱动装置427适当移动头部部件420识别其位置。之后，把头部部件420向副扫描方向移动，利用点丢失检测部件487来检测喷嘴466的喷出状态，确认没有不良喷出状态之后，向初始位置移动。

这以后，由主扫描驱动装置425对固定在可移动台座部的母基板12向X方向扫描，头部部件420相对于母基板12移动的同时，由适当的喷墨头421的所定喷嘴466喷出适当的滤光元件材料13，充填隔壁6所划分的母基板12的凹面内。该喷嘴466的喷出是由图中未示的控制装置来控制位于图32所示喷嘴466排列方向两个端部所定区域X，例如控制两端各十个喷嘴466不喷出滤光元件材料13，而使位于中间部分的喷出量比较均匀的160个喷嘴进行喷出。

另外，喷嘴466的喷出是由于主扫描直线上，即扫描线上存在两个喷嘴466，所以移动中，一个喷嘴466对一个凹面喷出两点，更详细说就是从一个喷嘴466作为一点喷出两个液滴份，共喷出八个液滴。对每一次扫描利用点丢失检测部件487检测其喷出状态，确认有没有发生点丢失。

不确认点丢失时，使头部部件420向副扫描方向移动，再度把固定母基板12的台座部向主扫描方向移动的同时，重复滤光元件材料13的喷出动作，在所定的彩色滤光片形成区域11的所定的滤光元件形成区域7内形滤光元件3。

(干燥、硬化)

然后，R(红)色的滤光元件材料13被喷出的母基板12，通过图中未示的输送机械手从滴喷出处理装置405R取出，利用图中未示的多层烘干炉把滤光元件材料13，例如在120℃温度下干燥5分钟。这个干燥后，利用输送机械手从多层烘干炉取出母基板12，一边冷却一边输送。之后，从液滴喷出处理装置405R按顺序输送到G(绿)色液滴喷出处理装置405G、B(兰)色液滴喷出装置405B，和R(红)色的情形相同，按顺序在所定的滤光元件形成区域7内喷出G(绿)色和B(兰)色的滤光元件材料13。然后，回收喷出、干燥各三色滤光元件材料13的母基板12，进行热处理即加热固化固定滤光元件材料13(图36中的顺序S6)。

(彩色滤光片的形成)

这以后，形成滤光元件3的母基板12全面上形成保护膜4。还利用ITO在该保护膜4的上表面形成所要形式的电极层5。这以后，按每一个彩色滤光片形成区域11切断，切出形成多个彩色滤光片1(图36中的顺序S7)。形成彩色滤光片1的基板如上述实施例所说明，作为图19所示的液晶装置中的一对基板中的一个来利用。

(彩色滤光片制造装置的效果)

根据图23至图35所示的实施例，除了上述说明的各个实施例作用效果以外，还具有如下的效果。

即，具有流动性的液状体，例如墨水的滤光元件材料13作为液滴喷出的多个喷嘴466排列在一个面的喷墨头421，设有喷墨头421的喷嘴466的一面面对被喷出物的母基板12表面隔一定距离的状态下，沿着母基板12表面相对移动，位于该相对移动方向直线上的多个喷嘴，例如两个喷嘴466喷出滤光元件材料13。因此，可以获得两个不同的喷嘴466重复喷出的结构，即使是多个喷嘴466之间的喷出量存在不均匀，被喷出的滤光元件材料13平均化而可以防止不均匀，可以获得对彩色滤光元件的均匀喷出，可以获得相同颜色的滤光元件之间质量均匀、良好特性的光电装置。

另外，位于相对移动方向上的假想直线上的多个喷墨头421的喷嘴466喷出滤光元件材料13，因此，同样可以获得不同的两个喷嘴466重复喷出滤光元件材料13的结构，被喷出的滤光元件材料13平均化而可以防止不均匀，可以获得质量均匀的良好特性的光电装置。

还有，使喷嘴466沿着长度方向多列如两列设置的喷墨头421，其长度方向倾斜于相对移动方向，且互相错开排列，在排列喷墨头421的区域中，必然存在两个喷嘴的排列，因此可以可靠地获得上述不同的两个喷嘴466在同一位置重复喷出的结构。

还有，喷出滤光元件材料13的喷嘴466使一面位于近似直线上的喷墨头421排列，这些设有喷墨头421的喷嘴466的一面，距离作为被喷出物的母基板12表面一定距离面对的状态，沿着母基板12表面上相对移动，喷墨头421的各喷嘴466中的位于喷嘴466排列方向的两个端部所定区域XX的，例如两侧各十个喷嘴466(非喷出喷嘴)不喷出，而位于所定区域XX以外的中间部分喷嘴466向母基板12表面喷出滤光元件材料13。由于这样的结构，喷出量特别多的位于喷嘴466排列方向两端所定区域的两端各十个喷嘴466不喷出液滴，而利用喷出量比较均匀的中间部分的喷嘴466来喷出滤光元件材料13，因此，在母基板12的表面可以得到平面均匀的喷出，可以获得平面质量均匀的彩色滤光片1，利用该彩色滤光片1的光电装置的显示装置可以获得良好的显示。

还有，滤光元件材料13的喷出量比平均值多一成(10％)的喷嘴466不喷出，因此，彩色滤光片1利用滤光元件材料13、EL发光材料、含电荷粒子的电气迁移装置用等功能性液状体作为液状体时，其特性上也不发生不均匀，可以可靠地获得良好特性的液晶装置、EL装置等的光电装置。

还有，利用直线上等间隔排列喷嘴466的喷墨头421，可以容易进行例如带状型、嵌镶型、三角型等所规格结构的描绘。

还有，直线上等间隔排列喷嘴466的喷墨头421结构中，细长矩形状的喷墨头421的长度方向上等间隔直线安装喷嘴466，因此，可以实现喷墨头421的小型化，可以防止相邻喷墨头421之间或其他部位的干扰，容易实现小型化。

另外，使喷墨头421相对于喷嘴466排列方向交叉移动，因此，喷嘴466的排列方向倾斜于移动方向，作为滤光元件材料13的喷出间隔的元件之间的节距变窄，只要适当设定倾斜状态就容易对应母基板12表面上点状喷出时的所要单元节距，因此没有必要专门制作对应于元件节距的喷墨头421，提高了通用性。

还有，喷出具有流动性液状体状的墨水即滤光元件材料13的喷嘴466，使在一个面设有多个喷墨头421的其设有喷嘴466的喷墨头421一个面，距离作为被喷出物的母基板12表面一定距离而面对的状态下，沿着母基板12表面上面相对移动，多个喷墨头421的各喷嘴466对母基板12表面喷出相同的滤光元件材料13。因此，例如利用具有相同数目的相同规格的喷墨头421，可以在宽的范围内喷出滤光元件材料13，没有必要使用长度(长度尺寸)特殊的喷墨头，可以利用多个以往的规格产品，可以降低成本。

还有，例如适当设定排列喷墨头421的排列方向的数目来可以对应滤光元件材料13的喷出区域，提高通用性。没有必要使用长度(长度尺寸)特殊的喷墨头，可以用多个以往的规格产品来替用，可以降低成本。长尺寸的喷墨头，由于其制造成品率很低，成为价格高的零件，和其比较短尺寸的喷墨头的成品率高，因此本发明中利用多个这个来使其排列成为长度尺寸长的，因此，可以大大降低成本。

还有，利用适当设定并列排列的配置方向、用于喷出的喷嘴数、间隔(使用一个或隔几个来可以调节为像素节距)，可以对应于不同尺寸、不同像素节距、不同排列的彩色滤光片的滤光元件材料13的喷出区域，可以提高通用性。另外，把喷墨头倾斜排列成交叉于主扫描方向的方向，因此，喷墨头列和固定滑架不变为大型，液滴喷出装置的装置整体也不变为大型。

还有，由于排列了多个喷墨头421，在母基板12表面上喷出的区域宽的情形或同一地点重复喷出的情形下，也没有必要多次移动喷墨头421，也没有必要形成特殊的喷墨头，可以利用简单的结构来喷出滤光元件材料13。还有，不是使滑架426的整体倾斜，而各个喷墨头421分别倾斜的状态，因此，接近母基板12一侧的喷嘴466和远离母基板12一侧的喷嘴466的距离比使滑架426整体倾斜情形相比就变小，可以缩短利用滑架426来沿着母基板12移动的扫描时间。

还有，作为多个喷墨头421，利用具有相同数目、相同形状的喷墨头，即使利用一种类型的喷墨头421，利用适当排列来也可以适应液状体喷出区域，使结构简单、提高制作性、降低成本。

还有，喷嘴466的排列方向分别近似平行状态把喷墨头421配置在滑架426而构成头部部件420，因此，例如喷嘴466的排列方向以大致串联状平行时，喷嘴466的排列区域变宽，可以在宽的范围内喷出滤光元件材料13，并且，并列状态平行于喷墨头421的移动方向情形时，利用不同的喷墨头421对一个地点可以重复喷出滤光元件材料13，容易使喷出区域的喷出量平均化，可以获得良好的描绘。

还有，使多个喷墨头421分别倾斜交叉于主扫描方向，并整个喷嘴466的排列方向互相平行地设在不同于喷墨头421长度方向的方向上，因此，滤光元件材料13被喷出间隔的元件之间的节距小于喷嘴之间的节距，滤光元件材料13被喷出的母基板12利用于显示装置时，可以获得更详细的显示。还可以防止相邻喷墨头421的干扰，容易实现小型化。还有，适当设定该倾斜角度来决定描绘点节距，可以提高通用性。

另外，把喷墨头421排列成多个列如两列交错排列(之字形)，因此，没有必要制造使用长度尺寸大的特殊的喷墨头421，即使是使用已有的产品，也不发生相邻喷墨头421的干扰，又喷墨头421之间不产生喷不到滤光元件材料13的区域，可以获得连续、良好的滤光元件材料13的喷出即可以进行连续的描绘。

还有，设置点丢失检测部件487，可以检测喷嘴466的滤光元件材料13的喷出，因此，可以防止滤光元件材料13不均匀喷出，可以获得可靠、良好的滤光元件材料13的喷出即描绘。

还有，在点丢失检测部件487上设置光传感器，利用这个光传感器在交叉于滤光元件材料13喷出方向上可以检测滤光元件材料13的经过状态，因此，利用简单的结构识别可靠的滤光元件材料13的喷出状态，可以防止滤光元件材料13不均匀喷出，可以获得可靠、良好的滤光元件材料13的喷出即描绘。

进而，喷嘴466向母基板12喷出滤光元件材料13工艺前后，利用点丢失检测部件487检测喷出状态，因此，可以进行为了描绘的喷出滤光元件材料13之前和之后的喷出状态检测，可以可靠识别喷出状态，可靠防止点丢失，可以获得良好的描绘。另外，还可以只进行一次检测即喷出前或喷出后进行。

还有，把点丢失检测部件487配置在头部部件420的主扫描方向，因此，为了检测滤光元件材料13喷出状态的头部部件420移动距离短，而且是一种可以继续为了喷出的主扫描方向上的移动的简单结构，可简单、有效进行点丢失检测。

还因为把喷墨头421两列点对称排列，可以把供应滤光元件材料13的输送管478集中在头部部件420附近，使装置的安装和保养容易。还有，用于控制喷墨头421的电气配线442位于头部部件420的两侧，可以防止电气配线442所引起的噪声，可以获得良好、稳定的描绘。

还有，把多个喷墨头421排列在长方形的打印基板435的一端，而另一端设置接线柱441，因此，排列在多个直线上也不会发生接线柱441的干扰，不仅可以实现小型化，也不会发生主扫描方向上不存在喷嘴466的位置，可以获得喷嘴466的连续排列，没有必要使用长度特殊的喷墨头。

还有，点对称配置，以便接线柱441位于另一侧，因此，可以防止接线柱441部位的电噪声，可以获得良好、稳定的描绘。

另一方面，形成喷嘴板465保证如下情形：垂直于母基板12表面相对移动扫描方向X的副扫描方向Y上的喷嘴节距等于喷在母基板12表面的点状位置一滤光元件形成区域7中的副扫描方向Y方向上的节距状态，使喷嘴主体464的长度方向相对于扫描方向X倾斜所定角度时，在沿着扫描方向X的直线上存在多个喷嘴466；因此，即使是对应倾斜于母基板12表面点状描绘的滤光元件3节距，也可以只选择使用沿着扫描方向X直线上所在的两个喷嘴466的对应所定喷嘴板465，可以公用喷嘴主体464，没有必要分别制造对应于描绘的喷墨头421，可以降低成本。

另外，这些实施例的效果，只要具有和上述各实施例同样的结构，则可以获得对应的相同的效果。

(有关制造利用EL元件的光电装置的制造方法的实施例)

下面，结合图说明本发明的光电装置的制造方法。另外，作为光电装置，说明利用EL显示元件的有源矩阵型显示装置。另外，说明该显示装置的制造方法之前，说明制造出的显示装置构成。

(显示装置的构成)

图37是表示本发明光电装置的制造装置中的有机EL装置一部分的电路图。图38是表示显示装置的像素区域平面结构的放大俯视图。

即，图37中，501是作为有机EL装置的利用EL显示元件的有源矩阵型显示装置，该显示装置501是作为基板的透明的显示基板502上面具有多个扫描线503、交叉于这些扫描线503方向上延伸的多个信号线504、分别配有并列延伸这些信号线504的多个公用输电线505。并且，扫描线503与信号线504的交叉点上设有像素区域501A。

至于信号线504，设置具有移位寄存器、电平移位器、视频线路、模拟转换器等的数据一侧驱动电路507。另外，扫描线503上设有具有移位寄存器和电平移位器的扫描驱动电路508。还有，各个像素区域501A上设有：通过扫描线503把扫描信号传送到栅极的转换薄膜晶体管509和通过该转换薄膜晶体管509储备保存信号线504传送的像素信号的电容cap、由该电容cap保存的像素信号传送到栅极的电流薄膜晶体管510、通过该电流薄膜晶体管510电连接在公用输电线505时，从公用输电线505流入驱动电流的像素电极511、夹在该像素电极511与反射电极512之间的发光元件513。

由于这样的结构，扫描线503被驱动而接合(ON)转换薄膜晶体管509，则，这时的信号线504的电位保存在电容cap。根据该电容cap状态，决定电流薄膜晶体管510的接合或断开状态。于是，通过电流薄膜晶体管510，电流从公用输电线505流入到像素电极511，并经过发光元件513电流流入到反射电极512。由此，发光元件513根据通过的电流量发光。

这里，像素区域501A，如拆掉反射电极512、发光元件513状态的放大俯视图38所示，平面状态为长方形的像素电极511的边包围在被信号线504、公用输电线505、扫描线503和图中未示的另一个像素电极511用扫描线503的状态。

(显示装置的制造工艺)

下面，说明制造使用上述EL显示元件的有源矩阵型显示装置的制造工艺顺序。图39至图41是表示制造使用上述EL显示元件的有源(活动)矩阵型显示装置的制造工艺顺序的制造工艺剖面图。另外，至于利用液滴的喷出方法来形成EL发光层的液滴喷出装置、扫描方法和在前所说明的实施例相同。

(预处理)

首先，如图39(A)所示，根据需要对透明的显示基板502，四乙氧基硅烷(TEOS)或氧气作为原料气体，通过用等离子CVD(化学气相沉积法)法形成厚度尺寸大约为2000～5000埃的硅氧化膜(图中未示)的下面保护膜。接着，把显示基板502的温度设定为350℃，下面保护膜表面上利用等离子化学气相沉积法形成厚度尺寸为大约300～700埃的非晶硅膜的半导体膜520a。此后，对半导体膜520a实施激光退火或固相成长法等的结晶化工艺，使半导体膜520a结晶为多晶硅膜。这里，激光退火中，例如激元激光器中利用光束尺寸为400nm的线路光束，输出强度为大约200mJ/cm2。至于线路光束，线路光束扫描，以便使其短尺寸方向的激光强度的峰值的约90％相当部分重复在各区域。

然后，如图39(B)所示，把半导体膜520a形成图案，形成岛状半导体膜520b。在形成该半导体膜520b的显示基板502的表面上，TEOS(四乙氧基硅烷)或氧气作为原料气体，利用等离子化学气相沉积法形成厚度尺寸大约为600～1500埃的硅氧化膜或氮化膜的门绝缘膜521a。还有，半导体膜520b是电流薄膜晶体管510的通道区域和源漏区域，但在不同的断面位置上形成转换薄膜晶体管509通道区域和作为源漏区域的图中未示的半导体膜。即，图39至图41所示的制造工艺中，同时形成两种的转换薄膜晶体管509和电流薄膜晶体管510，但是，因为同一顺序上形成，所以在以下的说明中只说明电流薄膜晶体管510而省略转换薄膜晶体管509的说明。

此后，如图39(C)所示，利用溅射法形成铝、钽、钼、钛、钨等金属膜的导电膜之后，形成图案，而形成图38所示的栅极510A。在该状态下打进高温磷离子，在半导体膜520b上形成对栅极510A自己耦合的源漏区域510a、510b。另外，没有收容不纯物的部分成为通道区域510c。

接着，如图39(D)所示，形成层间绝缘膜522之后，形成触点孔523、524，在这些触点孔523、524内部埋入形成中继电极526、527。

还有，如图39(E)所示，层间绝缘膜522上形成信号线504、公用输电线505和扫描线503(图39中未示)。此时，信号线504、公用输电线505和扫描线503的各配电线不是做成配电所需要的厚度尺寸而制作的充分厚。具体地，各配电线厚度制作成1～2μm左右的厚度也可以。这里中继电极527和各配电线在同一工艺里形成也可以。此时，中继电极526由后述的ITO膜法形成。

于是，形成覆盖各配电线的层间绝缘膜530，在对应于中继电极526的位置上形成触点孔532。形成ITO膜以便埋设该触点孔532内部，把该ITO膜进行形成图案，被围在信号线504、公用输电线505和扫描线503的所定位置上形成电连接于源漏区域510a的像素电极511。

这里，图39(E)中，被夹在信号线504和公用输电线505的部分相当于光学材料选择性地被配置的部分。还有，其所定位置与其周围之间由信号线504、公用输电线505形成台阶535。具体地，所定位置低于其周围，形成凹型的台阶535。

(EL发光材料的喷出)

接着，实施上述预处理的显示基板502上，利用喷墨法喷出作为功能性液状体的EL发光材料。即，如图40(A)所示，实施预处理的显示基板502上表面面向上方的状态下，为了形成相当于发光元件140下层部分的空穴注入层513A的溶解在功能性液状体溶剂的前驱体光学材料540A，利用喷墨法即上述的各实施例装置来喷出，有选择性地涂敷在台阶535所包围的所定位置内部。

这个喷出的作为形成空穴注入层513A的光学材料540A，可以利用聚合物前驱体为聚四氢化硫苯基苯撑的聚苯乙烯、1，1双(4-N，N-联甲苯氨基苯基)环己烷、三(8-羟基喹啉基)铝等。

另外，该喷出时，具有流动性的光学材料540A和上述各实施例隔壁上喷出滤光元件材料13同样，因为流动性高，向平面方向扩展的趋势，但是形成了包围涂敷位置的台阶535，只要不是光学材料540A的一次喷出量很大的话，可以防止光学材料540A超越台阶535扩展到所定位置外侧。

还有，如图40(B)所示，加热或照射光的方法使液态光学材料540A的溶剂蒸发，像素电极511上面形成薄的固体形空穴注入层513A。如图40(C)所示，重复这个图40(A)、(B)的工艺必要次数，形成充分厚度尺寸的空穴注入层513A。

接着，如图40(A)所示，使显示基板502的上表面面向上方状态，在发光元件513的上层部分，为了形成有机半导体513B的溶解在功能性液状体溶剂的有机荧光材料的光学材料540B，利用喷墨法即上述的各实施例装置来喷出，有选择性地涂敷在台阶535所包围的所定位置内部。另外，至于该光学材料540B，如上所述，和光学材料540A的喷出同样，可以防止超越台阶535扩展到所定位置外侧。

作为喷出的形成有机半导体513B的光学材料540B，可以利用氰基聚苯乙烯、聚苯乙烯、聚烷基苯撑、2，3，6，7-四氢-11-氧-1H.5H.11H(1)苯并吡喃[6，7，8-ij]-奎诺酊-10-羧酸、1，1-双(4-N，N-联甲苯氨基苯基)环己烷、2-13.4二羟基苯基)-3，5，7三羟基-1-苯并嗯英全氯盐、三(8-羟基喹啉基)铝、2，3，6，7-四氢-9-甲基-11-氧-1H.5H.11H(1)苯并[6，7，8-ij]奎嗪、芳烃二胺衍生物(TDP)、二唑二聚物(OXD)、二唑二聚物衍生物(PBD)、丙炔钢(DSA)、喹啉酚金属络合物、铍苯喹啉络合物(Bebq)、三苯胺衍生物(MTDATA)、联苯乙烯衍生物、吡唑啉二聚物、红荧烯、喹丫酮、三唑衍生物、取二苯、聚烷基芴、聚烷基噻吩、亚甲胺锌络合物、苯并唑锌络合物、聚哺啉锌络合物、苯并唑锌络合物、邻菲绕啉铕络合物等。

接着，如图41(B)所示，通过加热或光照射的方法蒸发光学材料540B的溶剂，在空穴注入层513A上面形成薄的固体有机半导体膜513B。重复必要次数的这个图41(A)、(B)的工艺，如图41(C)所示，形成充分厚度的有机半导体膜513B。利用空穴注入层膜513A和有机半导体513B构成发光元件513。最后，如图41(D)所示，在显示基板502整个表面或带状形成反射电极512，制作显示装置501。

该图37至图41所示的实施例中，也实施和上述各实施例相同的喷墨方式获得同样的效果。还有，选择性涂敷功能性液状体时，可以防止它们流出周围，可以获得高精度形成图案。

另外，该图37至图41所示实施例中，说明了想要彩显示的利用EL显示元件的有源矩阵型显示装置，例如图42所示，把图37至图41所示的构成也可以适用于单色显示的显示装置。

即，显示基板502全面上形成一样的有机半导体膜513B也可以。但是，此时，为了防止串线，空穴注入层513A必须选择性配置在各个所定位置，利用台阶差111的涂敷方法很有效。另外，在图42中，和图37至图41实施例相同的结构附相同的符号。

还有，作为利用EL显示元件的显示装置，不限于有源矩阵型，也可以是如图43所示的无源矩阵型显示装置。图43是本发明光电装置制造装置中的EL装置，图43(A)是表示多个第一总线配电线550、与其垂直配置配线的多个第二总线配电线560和它们之间配置关系的俯视图，图43(B)是图43(A)的B-B线剖面图。这个图43中，对和图37至图41所示实施例相同结构部分附以相同的符号，省略其说明。还有，详细的制造工艺和图37至图41所示实施例相同，省略其图示和说明。

这个图43所示实施例的显示装置，为了包围发光元件513被配置的所定位置，配置例如SiO2等的绝缘膜570，由此形成所定位置和其周围之间的台阶差535。因此，选择性涂敷功能性液状体时，可以防止它们流出周围，可以获得高精度形成图案。

还有，有源矩阵型显示装置不限于图37至图41所示实施例的结构。即，也可以是如图44所示的结构、如图45所示的结构、如图46所示的结构、如图47所示的结构、如图48所示的结构、如图49所示的结构等任意结构。

图44所示的显示装置是利用像素电极511形成台阶差535来获得高精度地形成图案的装置。图44是制造显示装置的制造工艺中的中间阶段的剖面图，其前后阶段和图37至图41所示实施例大致相同，则省略其图示和说明。

这个图44所示的显示装置中，形成比通常厚的像素电极511，由此，形成其周围之间的台阶差535。即，这个图44所示的显示装置中，以后要涂敷光学材料的像素电极511形成比其周围高的凸型台阶差。还有，和图37至图41所示实施例同样，在像素电极511上表面，利用喷墨法喷出涂敷作为形成相当于发光元件513下层部分的空穴注入层513A的前驱体的光学材料540A。

但是，和上述的图37至图41所示实施例情形不同的是，显示基板502上下翻过来的状态，即，把涂敷光学材料540A的像素电极511的上表面面向下方状态，喷出涂敷光学材料540A。由此，由于重力和表面张力，光学材料540A留在像素电极511的上表面(图44中的下面)，不扩展到其周围。因此，利用加热或光照射来进行固化，可以形成如图40(B)的薄的空穴注入层513A，重复进行该过程就可以形成空穴注入层513A。同样的方法也可以形成有机半导体膜513B。因此，利用凸型台阶差可以高精度进行形成图案。另外，不限于重力和表面张力，也可以利用离心力等的惯性力进行光学材料540A、540B量的调整。

图45所示的显示装置也是有源矩阵型显示装置。图45是制造显示装置的制造工艺中的中间阶段的剖面图，其前后阶段和图37至图41所示实施例相同，省略其图示和说明。

这个图45所示的显示装置中，首先在显示基板502上表面形成反射电极512，在该反射电极512上形成绝缘层570以便包围以后要配置发光元件513的所定位置，由此，形成所定位置低于其周围的凹型的台阶535。

然后，和图37至图41所示实施例同样，在台阶差535所包围的区域内，利用喷墨方式选择性地喷出涂敷功能性液状体的光学材料540A、540B，形成发光元件513。

另一方面，剥离用基板580上使剥离层581介于中间形成扫描线503、信号线504、像素电极511、转换薄膜晶体管509、电流薄膜晶体管510和层间绝缘膜530。最后，在显示基板502上面复制从剥离用基板580上的剥离层581被剥离的结构。

这个图45的实施例中，可以减轻由于涂敷形成光学材料540A、540B所引起的扫描线503、信号线504、像素电极511、转换薄膜晶体管509、电流薄膜晶体管510和层间绝缘膜530的损失。另外，也可以适用于无源矩阵型显示元件。

如图46所示的显示装置也是有源矩阵型显示装置。图46是制造显示装置的制造工艺中的中间阶段的剖面图，其前后阶段和图37至图41所示实施例相同，省略其图示和说明。

这个图46所示的显示装置中，利用层间绝缘膜530形成凹型台阶差535的装置。因此，不增加新的工艺，可以利用层间绝缘膜530，可以防止制造工艺的大幅度复杂化。另外，用SiO₂来形成层间绝缘膜530的同时，在其表面上照射紫外线或O₂、CF₃、Ar等的等离子，然后，露出像素电极511表面，以后选择性地喷出涂敷光学材料540A、540B也可以。由此，沿着层间绝缘膜530表面形成排液性强的分布，光学材料540A、540B在台阶差535和层间绝缘膜530的排液性的两种作用而容易留在所定位置。

图47所示的显示装置是使涂敷光学材料540A、540B的所定位置的亲水性高于其周围的亲水性的方法防止涂敷的光学材料540A、540B扩展到其周围的装置。图47是制造显示装置的制造工艺中的中间阶段的剖面图，其前后阶段和图37至图41所示实施例相同，省略其图示和说明。

这个图47所示的装置中，形成层间绝缘膜530以后，在其上面形成非晶硅酮层590。非晶硅酮层590比形成像素电极511的ITO相对地疏水性强，因此，这里形成像素电极511表面的亲水性相对高于其周围亲水性的掩疏水性·亲水性分布。于是，和上述的图37至图41所示实施例同样，对像素电极511的上表面利用喷墨方式选择性地喷出涂敷液状体的光学材料540A、540B来形成发光元件513，最后形成反射电极512。

另外，这个图47所示的实施例中也可以适用无源矩阵型显示元件。如图45所示的实施例，还可以包含：把剥离用基板580上面使剥离层581介于中间形成的结构，复制在显示基板502的工艺。

另外，疏水性·亲水性的分布也可以利用金属、正极氧化膜、聚酰亚胺或氧化硅酮等的绝缘膜或其他材料来形成。另外，如果是无源矩阵型显示元件，利用第一总线配电线550来形成；如果是有源矩阵型显示元件，则利用扫描线503、信号线504、像素电极511、层间绝缘膜530或遮光层6b来形成。

图48所示的显示装置不是利用台阶535或疏水性、亲水性来提高形成图案的精度，而是利用电位的吸引力或排斥力来提高形成图案的精度的。图48是制造显示装置的制造工艺中的中间阶段的剖面图，其前后阶段和图37至图41所示实施例相同，省略其图示和说明。

这个图48所示的显示装置中，驱动信号线504、公用输电线505的同时，适当接合或断开图中未示的晶体管的方法，来形成使像素电极511处于负极电位而层间绝缘膜530处于正极电位的电位分布。于是利用喷墨方式选择性喷出带有正电的液状体光学材料540A而形成涂敷。由此，因为光学材料540A带电，不仅可以自行分极，还可以用于带电荷，更能提高形成图案精度。

另外，这个图48所示的实施例，也可以适用于无源矩阵型显示元件。如图45所示的实施例，还可以包含：把剥离用基板580上面使剥离层581介于中间形成的结构，复制在显示基板502的工艺。

还有，在像素电极511和其周围的层间绝缘膜530双方都具有电位，但不限于这些，例如图49所示，也可以不使像素电极511带电，而只给层间绝缘膜530赋予正电，然后，使液状的光学材料540A带正电之后进行涂敷。

根据图49所示的构成，液状的光学材料540A涂敷后也维持带有正电的状态，利用周围的层间绝缘膜530之间的排斥力，可以可靠地防止液状的光学材料540A流出周围。

(有关制造利用EL元件的光电装置制造方法的其他实施例)

下面，结合附图说明本发明的光电装置制造方法的其他实施例。下面，作为光电装置适用了利用EL显示元件的有源矩阵型显示装置的一点上和上述的实施例相同，其电路也和图37所示的实施例的显示装置相同。

(显示装置的构成)

图55(a)是本实施例显示装置的俯视图，图55(b)是沿图55(a)的A-B线的模式剖面图。如这些图所示，本实施例显示装置831包括：由玻璃制作的透明显示基板832、以矩阵状配置的发光元件和密封基板。形成在基板832的发光元件由后述的像素电极、功能层、阴极842所形成。

基板832是如玻璃等制作的透明基板，分为位于基板832中央的显示区域832a、位于基板832边缘的显示区域832a以外的非显示区域832b。

显示区域832a的矩阵状配置的发光元件所形成的区域，也称为有效显示区域。另外，显示区域的外围形成非显示区域832b。还有，非显示区域832b里形成邻接于显示区域832a的虚设显示区域832d。

还有，如图55(b)所示，由发光元件和存储单元部组成的发光元件部841与基体832之间设有电路元件部844，在该电路元件部844具备扫描线、信号线、固定容量、转换薄膜晶体管、驱动用薄膜晶体管923。

还有，阴极842其一端连接形成在基体832的阴极用配电线842a，该配电线的一端连接在挠性基板835的配电线835a。另外，配电线835a连接在挠性基板835所具有的驱动IC836(驱动电路)。

还有，如图55(a)和图55(b)所示，电路元件部844的非显示区域832b上有电源线903(903R、903G、903B)。

另外，显示区域832a的图55(a)的中间两侧配置上述的主扫描驱动电路905、905。该主扫描驱动电路905、905设在虚设显示区域832d下面的电路元件部844内部。在电路元件部844内部还设有连接在主扫描驱动电路905、905的驱动电路用控制信号配电线905a和驱动电路用电源线905b。

还有，显示区域832a的图55(a)的中间上面配置检测电路906。通过该检测电路906进行制造过程中或输送时，可以进行显示装置的质量、缺陷等的检查。

还有，如图55(b)所示，发光元件部841上设有密封部833。该密封部833由涂敷在基体832的密封树脂603a和罐状密封基板604所构成。密封树脂603由热固性树脂或紫外线固化树脂制作，最好是利用热固性树脂一种的环氧树脂制作。

该密封树脂603在基体832周围以环状涂敷，例如利用微型分配器涂敷的。该密封树脂603是接合基体832的密封罐604的东西，是防止水或氧气从基体832与罐密封基板604之缝隙进入到罐密封基板604，从而防止阴极842或形成在发光元件部841的图中未示的发光层的氧化。

罐密封基板604是由玻璃或金属制作的，使密封树脂603介于中间接合在基体832，其内部设有收容显示元件840的凹部604a。还有，凹部604a上粘接有吸收氧气的吸气剂605，吸收进入到罐密封基板604内部的水或氧气。另外，该吸气剂605可以省略。

其次，图56是扩大表示显示装置中的显示区域的断面结构的放大图。这个图56表示三个像素区域A。该显示装置831是在基体832上按顺序叠层形成TFT等电路的电路元件部844、形成功能层910的发光元件部841而构成。

该显示装置831中，从功能层910向基体832发出的光透过电路元件部844和基体832射到基体832下面(观测者一侧)的同时，从功能层910向基体832的另一侧发出的光在阴极842反射，透过电路元件部844和基体832射到基体832下面(观测者一侧)。

另外，作为阴极842利用透明的材料，使阴极发出的光可以射出。透明的材料可以利用ITO、Pt、Ir、Ni或Pd。膜的厚度最好是75nm程度的膜厚度，比这薄更好。

电路元件部844上，有基体832上由硅氧化膜形成的下层保护膜832c，该保护膜832c上面形成由硅氧化膜形成的岛状半导体膜941。另外，半导体膜941上射进高浓度P离子形成源区域941a和漏区域941b。另外，没有导入P的部分是作为通道区域941c。

还有，电路元件部844上形成覆盖下层保护膜和832c及半导体膜941的透明的门绝缘膜942，门绝缘膜942上形成由Al、Mo、Ta、Ti、W组成的栅极943(扫描线901)，栅极943和门绝缘膜942上形成透明的第一绝缘膜944a和第二绝缘膜944b。栅极943设在对应于半导体膜941的通道区域941c的区域。

还有，穿通第一绝缘膜944a和第二绝缘膜944b分别连接半导体膜941的源区域941a和漏区域941b的触点孔945、946。

还有，第二绝缘膜944b上形成由ITO制作的透明像素电极911按所定形状形成图案，另一方的触点孔945连接在该像素电极911。

另外，又另一方的触点孔946连接在电源线903。

这样，电路元件部844连接在各像素电极911的驱动用薄膜晶体管923。

另外，电路元件部844也形成上述的固定电容和转换薄膜晶体管912，在图56中省略了其图示。

接着，如图56所示，发光元件部841是由叠层在多个像素电极911…上的功能层910、形成在各个像素电极911和功能层910之间并划分各功能层910的存储单元部912、形成在功能层910上的阴极842为主体所构成。这些像素电极(第一电极)911、功能层910和阴极842(面向电极(电极))构成发光元件。

这里，像素电极911是由ITO形成，俯视图上近似为矩形形成图案。这个像素电极911的厚度最好是50～200nm范围，尤其是150nm程度为好。该各像素电极911……之间具有存储单元(bank)部912。

如图56所示，存储单元部912由位于基体832一侧的无机物存储单元层912a(第一存储单元层)、位于离开832的有机物存储单元层912b(第二存储单元层)叠层而构成。

无机物存储单元层912a、有机物存储单元层912b形成得要搭上像素电极911边缘的形状。俯视图上，像素电极911周围和无机物存储单元层912a重叠配置的结构。另外，有机物存储单元层912b也同样，与像素电极911的一部平面上重叠地配置。另外，无机物存储单元层(bank)912a比有机物存储单元层912b更靠近像素电极911中央一侧而形成。这样，无机物存储单元层912a的每一个第一叠层部912e形成在像素电极911内部，以在对应于像素电极911形成位置形成下部开口部912c。

另外，有机物存储单元层912b上设有上部开口部912d。该上部开口部912d设在对应于像素电极911形成位置和下部开口部912c的位置。如图56所示，上部开口部912d比下部开口部912c宽，而比像素电极911窄。另外，有时有上部开口部912d上部位置和像素电极911端部位于相同的位置的情形。此时，如图56所示，有机物存储单元层912b的上部开口部912d断面为倾斜形状。

还有，存储单元部912上，使下部开口部912c和上部开口部912d连通的方法来形成穿通无机物存储单元层912a和有机物存储单元层912b的开口部912g。

另外，无机物存储单元层912a最好是利用例如由SiO₂、TiO₂等的无机材料而成。该无机物存储单元层912a膜厚最好是50～200nm范围，尤其是150nm为好。膜厚小于50nm时，无机物存储单元层912a比空穴注入/输送层薄，不能确保空穴注入/输送层的平坦性，因此，不够理想。另外，膜厚大于200nm时，由下部开口部912c的台阶高差变大，不能确保正叠层在孔注入/输送层的后述的发光层的平坦性，因此，也不够理想。

还有，有机物存储单元层912b由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等的具有耐热性、耐溶剂性的材料形成。该有机物存储单元层912b的厚度最好是0.1～3.5μm范围、尤其是2μm程度为理想。厚度小于0.1μm时，有机物存储单元层912b的厚度比后述的空穴注入/输送层和发光层加起来的合计厚度薄，发光层从上部开口部912d溢出的可能，因此，不够理想。另外，厚度超过3.5μm，则由上部开口部912d的台阶高差变大，不能确保形成在有机物存储单元层912b的阴极842的有效步长，因此，也不够理想。另外，有机物存储单元层912b的厚度超过2μm，则可以提高驱动用薄膜晶体管923的绝缘性的点上是理想的。

另外，存储单元部912上形成亲水性区域和疏水性区域。

亲水性区域是无机物存储单元层912a的第一层叠部912e和像素电极911的电极面911a，这些区域是利用氧气为处理气体的等离子处理来亲水性的表面处理。另外，疏水性区域是上部开口部912d壁面和存储单元部912的上表面912f，这些区域是把四氟化甲烷、四氟甲烷或四氟化碳作为处理气体的等离子处理获得氟化处理(疏水性处理)的表面。另外，有机物存储单元层也可以是由含有聚氟材料来形成。

其次，如图56所示，功能层910是由叠层在像素电极911空穴注入/输送层910a、邻接于空穴注入/输送层910a形成的发光层910b所组成。另外，邻接于发光层910b还可以形成具有电子注入输送层功能的另一个功能层。

空穴注入/输送层910a是具有把空穴注入在发光层910b的功能的同时，还具有在空穴注入/输送层910a内部输送空穴的功能。把这样的空穴注入/输送层910a设在像素电极911和发光层910b之间的方法来提高发光层910b的发光效率、寿命等的元件特性。还有，在发光层910b中，从空穴注入/输送层910a注入的空穴和从阴极842注入的电子在发光层再结合，可以获得发光。

空穴注入/输送层910a是由位于下部开口部912c内部形成在像素电极面911a的平坦部910a1和位于上部开口部912d内部形成在无机物存储单元层第一层叠部912e的边缘部910a2所组成。另外，空穴注入/输送层910a根据其结构，像素电极911上的只在无机物存储单元层910a之间(下部开口部910c)形成。(只在上述的平坦部形成的形态)。

该平坦部910a1其厚度一定，为50～70nm范围内形成。

形成边缘部910a2的情形中，边缘部910a2是位于第一层叠部912e的同时，紧贴在上部开口部912d的壁面，即有机物存储单元层912b。另外，边缘部910a2厚度在靠近电极面911a的一侧为薄，沿着离开电极面911a方向变厚，靠近下部开口部912d壁面时最厚。

边缘部910a2之所以如上述形状形成的理由是：因为空穴注入/输送层910a是从开口部912喷出空穴注入/输送层和包含极性溶剂的第一组合物以后去除而形成的，并极性溶剂的挥发性主要在无机物存储单元层的第一层叠部912e所发生，形成空穴注入/输送层的材料在该第一层叠部912e上集中浓缩、析出而形成的部件。

还有，发光层910b是跨越空穴注入/输送层910a的平坦部910a1边缘部910a2而形成，平坦部912a1上的厚度为50～80nm范围。

发光层910b包括发射红色(R)光的红色发光层910b1、发射绿色(G)光的绿色发光层910b2、发射兰色(B)光的兰色发光层910b3三种，各发光层910b1～910b3以带状配置。

如上述，因为空穴注入/输送层910a的边缘部910a2密接于上部开口部912d的壁面(有机物存储单元层912b)，发光层910b不会直接接触于有机物存储单元层912b。从而，利用边缘部910a2可以阻止包含在有机物存储单元层912b不纯物的水移动到发光层910b的一侧，可以防止发光层910b的氧化。

另外，因为无机物存储单元层的第一层叠部912e上形成厚度不均匀的边缘部910a2，由第一层叠部912e使边缘部910a2与像素电极911成为绝缘状态，空穴不会从边缘部910a2注入到发光层910b。由此，像素电极911的电流只能流到平坦部912a1，可以把空穴从平坦部912a1均匀输送到发光层910b，不仅可以只使发光层910b中央部分发光，还可以使发光层910b的发光量一定。

还有，因为无机物存储单元层912a比有机物存储单元层912b更延伸到像素电极911中央，利用该无机物存储单元层912a，可以修理像素电极911与平坦部910a1之间接合部形状，可以限制各发光层910b之间的发光强度的不均匀。

另外，因为像素电极911的电极面911a和无机物存储单元层的第一层叠部912e为亲水性，功能层910密接于像素电极911和无机物存储单元层912a，在无机物存储单元层912a上功能层910不会极端变薄，可以防止像素电极911与阴极842短路。

还有，因为有机物存储单元层912b的上表面912f和上部开口部912d壁面为疏水性，功能层910与有机物存储单元层912b的密接性变低，功能层910不会溢出开口部912g而形成。

另外，作为空穴注入/输送层材料可以利用聚乙烯二羟基噻吩等的聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸等的混合物(PEDOT/PSS)的分散液。还有，作为发光层910b材料可以利用例如聚芴衍生物、聚苯撑衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻吩衍生物或这些高分子材料里渗杂紫苏烯色素、香豆素系色素、红丹系色素，例如红荧素、紫苏烯、9，10-二苯蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、奎宁氪等。

阴极842是形成在发光元件部841的全面，和像素电极911成为一对起着使电流通过功能层910的作用。该阴极842例如由钙层和铝层叠加而构成。此时，靠近发光层的阴极上设置功函数低的比较理想，特别是在本实施例中直接接触于发光层910b起向发光层910b注入电子的作用。还因为氟化锂的发光层材料可以有效发光，有时在发光层910和阴极842之间形成LiF的情形。

另外，红色和绿色的发光层910b1、910b2不限于氟化锂，也可以利用其他材料。从而，此时，只是在兰色(B)的发光层910b3上形成氟化锂层，而其他的红色和绿色的发光层910b1、910b2上形成氟化锂以外的材料叠层，也是可以的。

另外，氟化锂厚度最好是2～5nm的范围，尤其2nm程度为理想。还有，钙的厚度例如为2～50nm范围为好，尤其20nm程度为理想。

还有，形成阴极842的铝是使发光层910b发射光反射到基体832一侧的部件，除了Al膜以外最好是利用Ag膜、Al和Ag的叠层膜。其厚度为100～1000nm范围为好，尤其是200nm为理想。

进而也可以设置由SiO、SiO₂、SiN等而成的抗氧化的保护层。

还把这样形成的发光元件上面配置密封罐604。如图55(b)所示，利用密封树脂粘接密封罐604，形成显示装置831。

(显示装置的制造方法)

下面，结合图说明本实施例显示装置的制造方法。

本实施例显示装置831的制造方法包括：例如，(1)存储单元部形成工艺、(2)等离子处理工艺(包括亲液状体化工艺和排液状体化工艺)、(3)空穴注入/输送层形成工艺(功能层形成工艺)、(4)发光层形成工艺(功能层形成工艺)、(5)面向电极形成工艺、(6)密封工艺等。另外，制造方法不限于这些，根据需要可以增减其工艺。

(1)存储单元部形成工艺

存储单元部形成工艺是基体832的所定位置上形成存储单元部912的工艺。存储单元部912上作为第一存储单元层形成有无机物存储单元层912a，作为第二存储单元层形成有机物存储单元层912b。下面说明其形成方法。

(1)-1无机物存储单元层912a的形成

首先，如图57所示，基本上决定的位置上形成无机物存储单元层912a。无机物存储单元层912a的形成位置是第二层间绝缘膜144b上和电极(这里是像素电极)911上面。另外，第二层间绝缘膜144b是形成在配置薄膜晶体管、扫描线、信号线等的电路元件部844上面。

无机物存储单元层912a可以利用如SiO2、TiO2等的无机物膜作为材料。这些材料可以利用CVD法、涂敷法、溅射法、蒸镀法等而形成。

还有，无机物存储单元层912a的厚度50～200nm为好，尤其是150nm为理想。

无机物存储单元层912a是层间绝缘层914和像素电极911的全面上形成无机物膜，其后把无机物膜利用影印法形成图案，形成具有开口部的无机物存储单元层912a。开口部是对应于像素电极911的电极面911a形成位置，如图57所示，作为下部开口部912c而形成。

此时，无机物存储单元层912a重叠于像素电极911的边缘部(一部分)。如图57所示，因为形成无机物存储单元层912a使其像素电极911的一部分和无机物存储单元层912a重叠，可以控制发光层910的发光区域。

(1)-2有机物存储单元层912b的形成

接着，形成作为第二存储单元层的有机物存储单元层912b。

如图58所示，在无机物存储单元层912a上面形成有机物存储单元层912b。作为有机物存储单元层912b可以利用丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等的耐热、耐溶剂性材料。利用这些材料，通过影印技术使有机物存储单元层912b形成图案。另外，形成图案时，在有机物存储单元层912b上形成上部开口部912d。上部开口部912d设在对应于电极面911a和下部开口部912c的位置。

如图58所示，上部开口部912d最好是比形成在无机物存储单元层912a的下部开口部912c宽。进而，有机物存储单元层912b具有锥度为好，有机物存储单元层的开口部要比像素电极911宽度窄，有机物存储单元层912b的最上表面形成和像素电极911宽度几乎相同的有机物存储单元层。由此，包围无机物存储单元层912a下部开口部912c的第一层叠部912e比有机物存储单元层912b更伸出到像素电极911的中央部分。

这样，通过连通形成在有机物存储单元层912b的上部开口部912d和形成在无机物存储单元层912a的下部开口部912c，形成穿通无机物存储单元层912a和有机物存储单元层912b的开口部912g。

另外，有机物存储单元层912b的宽度最好为0.1～3.5μm范围，而2μm为尤其理想。这样取范围，其理由如下。

即厚度小于0.1μm时，有机物存储单元层912b比后述的空穴注入/输送层和发光层的加起来的厚度还薄，发光层910b有可能从上部开口部912d溢出，因此不够理想。另外，厚度超过3.5μm时，由上部开口部912d的台阶高差变大，不能确保上部开口部912d中的阴极842的步长有效区域，因此不够理想。另外，如果有机物存储单元层912b厚度超过2μm，则可以提高阴极842和驱动用薄膜晶体管123的绝缘，因此比较理想。

(2)等离子处理工艺

接着，等离子处理工艺是为了使像素电极911表面活性化、表面处理存储单元部912表面为目的而进行的。尤其活性化工艺是为了清洗像素电极911(ITO)、调整功函数为主要目的进行。还进行像素电极911表面的亲水化处理(亲液化工艺)、存储单元部912表面的排液化处理(排液化工艺)。

该等离子处理工艺大体分为如(2)-1的预加热工艺、(2)-2的活性化处理工艺(亲液化工艺)、(2)-3的排液化处理(排液化工艺)以及(2)-4冷却工艺。另外，不限于这些工艺，根据需要可以增减工艺。

首先，图59是表示利用于等离子处理工艺的等离子处理装置。

图59所示的等离子处理装置850由预加热处理室851、第一等离子处理室852、第二离子处理室853、冷却处理室854、往这些各处理室851～854里输送基体832的输送装置855所组成。各个处理室851～854是以输送装置855为中心辐射状配置。

首先，说明利用这些装置的大体工艺。

预加热工艺在图59所示的预加热处理室851里进行。然后，利用该预加热处理室851，从存储单元部形成工艺输送的基体832加热到所定温度。

预加热工艺后，进行亲液化工艺和排液化处理工艺。即基体上按顺序输送到第一等离子处理室852、第二离子处理室853，并分别在第一等离子处理室852、第二离子处理室853中对存储单元部912进行等离子处理，实现亲液化。进行亲液化处理之后进行排液化处理。排液化处理之后把基体输送到冷却处理室，在冷却处理室854中把基体冷却至室温。该冷却工艺后，由输送装置把基体输送到下一个工艺的空穴注入/输送层形成工艺。

(2)-1预加热工艺

预加热工艺是在预加热处理室851里进行。在该预加热处理室851里把包括存储单元部912的基体832加热到所定温度。

基体832的加热方法，例如可以在处理室851内部的放置基体832的台子里面安装加热器，利用该加热器采用对每一个台子加热基体832的方法。另外，也可以采用其他方法。

预加热处理室851中，例如把基体832加热到70℃～80℃范围。该温度是下一个工艺的等离子处理工艺的处理温度，适应下一个工艺，预先加热基体832，以达到消除基体832温度不均匀为目的。

假设不进行预加热工艺，从工艺开始到工艺结束的等离子处理工艺中，基体832从室温加热到上述的温度，温度总是变化的过程中进行处理。因此，基体温度变化的过程中进行等离子处理有可能导致有机EL元件特性的不均匀。因此，为了固定均匀的处理条件获得均匀的特性，进行预加热。

于是，在等离子处理工艺中，把基体832放置在第一等离子处理室852、第二离子处理室853内的状态下进行亲液化工艺或排液化工艺时，使预热温度与连续进行亲液化工艺或排液化工艺的试料台子856温度一致为好。

于是，通过把基体832预热到第一等离子处理室852、第二离子处理室853内的试料台子被升温的温度如70℃～80℃，这样，即使是把多个基体进行连续的等离子处理，也可以保证处理刚开始和处理结束之前的等离子处理条件几乎一定。由此，使基体832表面处理条件相同，可以实现对存储单元部912组合物的湿润性的均匀化，可以制造出具有一定质量的显示装置。

另外，通过预热基体832，可以缩短后面的等离子处理中的处理时间。

(2)-2活性化处理(亲液化工艺)

其次，在第一等离子处理室852中进行活性化处理。活性化处理包括像素电极911的功函数调整、控制、像素电极表面的清洗、像素电极表面的亲液化工艺。

作为亲液化工艺进行把空气中的氧气为处理气体的等离子处理(O2等离子处理)。图60是模式地表示第一等离子处理的图。如图60所示，包含存储单元部912的基体832放置在内部装有加热器的试料台子856上面，与基体832的上面间隙距离为0.5～2nm，左右配置面向基体832的等离子放电电极857。基体832一边被试料台子856加热，向图示的箭头方向按所定的速度输送试料台子856，在此期间对基板832照射等离子状态的氧。

O2等离子处理条件为：如等离子功率100～800KW、氧气流量50～100ml/min、输送速度0.5～10mm/sec、基体温度70℃～90℃。另外，对试料台子856的加热是主要为了保温已经被加热的基板832。

如图61所示，由于该O2等离子处理，像素电极911的像素电极面911a、无机物存储单元层912a的第一层叠部912e和有机物存储单元层912b的上部开口部912d的壁面以及上面912f被亲液化处理。由于该亲液化处理，在这些面导入羟基而赋予亲液性。

在图61中以点划线表示被亲液化处理的部分。

另外，该O2等离子处理不仅赋予亲液性，还可以兼作为如上所述的像素电极ITO的清洗和功函数的调整。

(2)-3排液处理工艺(排液化工艺)

接着，在第二等离子处理室853中，作为排液化工艺，在大气中以四氟甲烷为处理气体进行等离子处理(CF4等离子处理)。第二等离子处理室853的内部结构和图60所示的第一等离子处理室852内部结构相同。即，基板832一边由试料台子加热，一边按所定的输送速度输送，在此期间对基板832照射等离子状态的四氟甲烷(四氟化碳)。

CF4等离子处理条件为：例如等离子功率100～800KW、四氟甲烷流量50～100ml/min、基体输送速度0.5～1020mm/sec、基体温度70℃～90℃。另外，与第一等离子处理室852的情况相同，对试料台子856的加热是主要为了保温已经被加热的基体832。

另外，处理气体不限于四氟甲烷(四氟化碳)，可以利用氟代烃系的气体。

如图62所示，由于CF4等离子处理，上部开口部912d壁面和存储单元部上面912f被排液化处理。通过该排液化处理，这些各面里导入氟基，赋予排液性。图62中，利用双点划线表示排液性区域。构成有机物存储单元层912b的丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等的有机物被等离子状态的氟代烃照射，容易变为排液化。另外，利用O2等离子预处理的还容易被氟化的特点，因此本实施例中特别有效。

另外，像素电极911的电极面911a和无机物存储单元层912a的第一层叠部912e也会受到CF4等离子处理的影响，但不会影响湿润性。图62中利用点划线表示亲液性区域。

(2)-4冷却工艺

接着，作为冷却工艺，利用冷却处理室854，为了把等离子处理而被加热的基体832冷却至管理温度。这是为了冷却至以后的液滴喷出工艺(功能层形成工艺)的管理温度而进行的工艺。

该冷却处理室854具有配置基体832的板，该板内部装有水冷装置的结构，以便冷却基体832。

另外，把等离子处理后的基体832冷却至室温或所定温度(进行液滴喷出工艺的管理温度)，在形成空穴注入/输送层工艺中，基体832的温度一定，可以在没有基体832的温度变化的均匀的温度下，进行下一个工艺。因此，增加这样的冷却工艺，液滴喷出法等的喷出方法喷出的材料可以均匀。

例如，喷出包括用于形成空穴注入/输送层材料的第一组合物时，可以把第一组合物一定容积、连续喷出，可以均匀形成空穴注入/输送层。

上述的等离子处理工艺中，对材料性质不同的有机物存储单元层912b和无机物存储单元层912a按顺序进行O2等离子处理和CF4等离子处理的方法，可以在存储单元部912上形成亲液性区域和排液性区域。

另外，利用于等离子处理的等离子处理装置不限于图59所示的装置，也可以利用图63所示的等离子处理装置860。

图63所示的等离子处理装置860由预加热处理室861、第一等离子处理室862、第二等离子处理室863、冷却处理室864和把基体832输送的输送装置865所组成，各处理室861～865配置在输送装置865输送方向两侧(图中箭头方向两侧)的装置。

该等离子处理装置860和图59所示的等离子处理装置850相同，把形成存储单元部工艺输送的基体832按顺序输送到预加热处理室861、第一等离子处理室862、第二等离子处理室863、冷却处理室864，利用各处理室进行如上述相同的处理之后，把基体832输送到下一个形成空穴注入/输送层的工艺。

另外，上述等离子装置不是大气压下的装置，而可以利用真空下的等离子装置。

(3)空穴注入/输送层形成工艺(功能曾形成工艺)

空穴注入/输送层形成工艺中，作为液滴喷出，可以利用液滴喷出装置来把包含空穴注入/输送层形成材料的第一组合物喷出到电极面911a上。然后进行干燥处理和热处理，在像素电极911和无机物存储单元层912a上面形成空穴注入/输送层910a。另外，在这里把形成空穴注入/输送层910a的无机物存储单元层912a称为第一层叠部912e。

包括该空穴注入/输送层形成工艺在内的以后的工艺最好是在没有水、氧气的气氛下进行为好。例如，氮气气氛、氩等惰性气体气氛下中进行为好。

另外，空穴注入/输送层910a不是形成在第一层叠部912e上面的情形。即，只是在像素电极911上面形成空穴注入/输送层的形态。

利用液滴喷出的制造方法如下。

本实施例显示装置制造方法所利用的最合适的液滴喷出头，可以利用和上述图23所示实施例头部件420基本相同结构的头部件920(参照图64)还有，有关基体与上述头部件920的配置，最好是配置成图64所示那样。

图64所示的液滴喷出装置，包括与图23所示的基本相同结构的头部件920。符号1115是装载基体832的台子，符号1116是把台子1115向图中的X轴方向(主扫描方向)导向的导轨。另外，头部件920使固定部件1111介于中间由导轨1113导向，可以向图中的Y轴方向(副扫描方向)移动，并且，头部件920可以向图中的θ轴方向转动，使喷墨头921相对主扫描方向倾斜所定的角度。

图64所示的基体832是在母基板上配置多个芯片的结构。即，一个芯片区域相当于一个显示装置。这里，形成三个显示区域832a，但不限于这些。例如，对基体832上面左侧的显示区域832a涂敷组合物时，通过导轨1113，使头H向图中的左侧移动，与此同时，通过导轨1116使基体832向图中的上面移动，在基体832上进行主扫描而进行涂敷。接着，使喷墨头921移动到图中的右侧，对基体中央的显示区域832a进行涂敷组合物。对于右端的显示区域832a也如同上述。

另外，头部件920和图64所示的液滴喷出装置不仅可以用于空穴注入/输送层形成工艺，还可以利用于发光层形成工艺。

图65表示喷墨头921对基体832进行扫描的状态。如图65所示，喷墨头921一边沿着图中的X轴方向相对移动，一边喷出第一组合物，此时，喷嘴n的排列方向Z倾斜于主扫描方向(沿着X方向的方向)。这样，利用喷墨头921中的喷嘴n的排列方向Z倾斜于主扫描方向的方法，可以使喷嘴的节距对应于像素区域A的节距。另外，调整倾斜角度可以对应任何像素区域A的节距。

下面，说明使喷墨头921进行扫描，在各像素区域A上形成空穴注入/输送层910a的工艺。该工艺包括(1)使喷墨头921一次扫描的方法、(2)使喷墨头921扫描多次的方法并各扫描中利用多个喷嘴的方法、(3)使喷墨头921扫描多次的方法并各扫描中利用别的喷嘴的方法等的三个工艺。下面按顺序说明(1)～(3)的方法。

(1)使喷墨头921一次扫描的方法

图66是喷墨头921一次的扫描方法来在各像素区域A1上形成空穴注入/输送层910a时的工艺的工艺图。图66(a)是喷墨头921从图65的位置沿着图示的X方向扫描后的状态，图66(b)是喷墨头921从图66(a)所示的状态沿着图示的X方向仅仅扫描一点点的同时，向图示的Y方向反向移位的状态，图66(c)是喷墨头921从图66(b)所示的状态沿着图示的X方向仅仅扫描一点点的同时，向图示的Y方向移位的状态。另外，图69表示像素区域A和喷墨头的剖面模式图。图66中表示设在喷墨头921一部分的符号为n1a～nb3表示的六个喷嘴。六个喷嘴中的n1a、n2a、n3a三个喷嘴是配置在喷墨头921沿着图示的X方向移动时，使其分别位于各像素区域A1～A3，剩余的nb1、nb2、nb3三个喷嘴是配置在喷墨头921沿着图示的X方向移动时，使其分别位于各像素区域A1～A3之间的位置。

图66(a)中，形成在喷墨头921的各喷嘴中，从三个喷嘴n1a、n2a、n3a向像素区域A1～A3喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组合物。另外，本实施例中是利用喷墨头921的扫描来喷出第一组合物，但扫描基体832的方法也是可以的。还可以利用喷墨头921和基体832相对移动的方法使第一组合物喷出。另外，以下利用液滴喷出头的工艺中，该点上也是相同的。

利用喷墨头921的喷出如下。即，如图66(a)和图69所示，把形成在喷墨头921喷嘴n1a～n3a配置在面向电极面911a，从喷嘴n1a～n3a喷出最初的第一组合物的液滴910c1。像素区域A1～A3由像素电极911和划分该像素电极911周围的存储单元部912所组成，对这些像素区域A1～A3从喷嘴n1a～n3a控制其一个液滴喷出最初的第一组合物的液滴910c1。

接着，如图66(b)所示，使喷墨头921向图示的X方向扫描一点点的同时，向图示的Y方向的相反方向移位的方法，使喷嘴n1b～n3b位于各像素区域A1～A3位置。并各喷嘴n1b～n3b向各像素区域A1～A3喷出第二滴的第一组合物的液滴910c2。

进而如图66(c)所示，使喷墨头921向图示的X方向扫描一点点的同时，向图示的Y方向移位的方法，使喷嘴n1b～n3b再度位于各像素区域A1～A3位置。于是，各喷嘴n1a～n3a向像素区域A1～A3喷出第三滴的第一组合物的液滴910c3。

这样，使喷墨头921一边向图示的X方向扫描的同时，向图示的Y方向移位一点点的方法，对一个像素区域A利用两个喷嘴按顺序喷出第一组合物的液滴。对一个像素区域A喷出的液滴的滴数可以6～20滴范围，但是该滴数根据像素的面积而变化，滴数或多或少没有关系。喷到各像素区域(电极面911a上)的第一组合物的全部量由下部、下部开口部912c、912d、需要形成的空穴注入/输送层的厚度、第一组合物的空穴注入/输送层形成材料所决定。

这样，一次的扫描来形成空穴注入/输送层时，每一次喷出第一组合物就进行转换喷嘴，对各像素区域A1～A3由两个喷嘴喷出第一组合物，因此，比以往的对一个像素区域A利用一个喷嘴多次喷出的情形，喷嘴之间的喷出量不均匀互相消除，因此，可以使各像素电极911中的第一组合物的喷出量的不均匀变小，可以形成相同膜厚的空穴注入/输送层。由此，可以固定每一个像素的一定发光量，可以制造显示质量优越的显示装置。

(2)多次进行喷墨头921的扫描并各扫描中利用多个喷嘴的方法

图67是表示利用喷墨头921的三次扫描来对各像素区域A1...形成空穴注入/输送层910a时的工艺图。图67(a)是表示喷墨头921第一次扫描后的状态，图67(b)是表示第二次扫描后的状态，图42(c)第三次扫描后的状态。

第一次扫描中，图d66所示的喷墨头921中各喷嘴中的喷嘴n1a～n3a对各像素区域A1～A3喷出第一组合物的最初的液滴910c1，还使喷墨头921向副扫描方向移位一点点，使喷嘴n1b～n3b面向像素区域A1～A3喷出第二滴的第一组合物的液滴910c2。由此，如图67(a)所示，各像素区域A1～A3上喷出两个液滴910c1、910c2。各液滴910c1、910c2可以如图67(a)所示互相隔一定间隔喷出，也可以重复喷出。

接着的第二次扫描中，和第一次扫描同样，使喷嘴n1a～n3a面向像素区域A1～A3，喷出第一组合物的第三滴液滴910c3，还使喷墨头921向副扫描方向移位一点点使喷嘴n1b～n3b喷出第四滴液滴910c4。由此，如图67(b)所示，各像素区域A1～A3还喷出两个液滴910c3、910c4。另外，如图67(b)所示，第三和第四液滴910c3、910c4可以不重叠于910c1、910c2，也可以重叠于910c1、910c2。

还在第三次扫描中，和第一和第二扫描同样，使喷嘴n1a～n3a面向各像素区域A1～A3喷出第五滴的第一组合物的液滴910c5，进而使喷墨头921向副扫描方向移位一点点从喷嘴n1b～n3b喷出第六滴的第一组合物的液滴910c6。由此，如图67(c)所示，在各像素区域A1～A3上还喷出两个液滴910c5、910c6。另外，如图67(c)所示，第五和第六液滴910c5、910c6可以不重叠于液滴910c1～910c4，也可以重叠于液滴910c1～910c4。

这样，多次的扫描来形成空穴注入/输送层时，各扫描中进行喷嘴的转换，对各像素区域A1～A3各自两个喷嘴喷出第一组合物，因此，和以往的对一个像素区域A利用一个喷嘴多次喷出的情形相比，喷嘴间的喷出量不均匀互相消除，各像素电极911...中的第一组合物的喷出量不均匀变小，可以形成相同膜厚的空穴注入/输送层。由此，每一个像素的发光量可以固定一定，可以制造出显示质量优越的显示装置。

(3)多次进行喷墨头921的扫描并每一次扫描中利用别的喷嘴的方法。

图68是表示喷墨头921的两次扫描来在各像素区域A1～A3形成空穴注入/输送层910a时的工艺的工艺图。图68(a)是表示喷墨头921第一次扫描后的状态，图68(b)是表示第二次扫描后的状态，图68(c)是第一次扫描、第二次扫描后的别的状态。

在第一次扫描中，使图66所示的喷墨头921的各喷嘴中的喷嘴n1a～n3a面向各像素区域A1～A3，按顺序喷出最初的液滴910c1、第二滴的液滴910c2、第三滴的液滴910c3。由此，如图66(a)所示，在各像素区域A1～A3上喷出液滴910c1、910c2、910c3。各液滴910c1、910c2、910c3可以如图68(a)所示一样，隔一定间隔喷出，也可以互相重叠喷出。

其次，第二次的扫描中，使喷墨头921向副扫描方向移位一点点使喷嘴n1b～n3b面向各像素区域A1～A3，按顺序喷出第一组合物的第四、第五、第六滴的液滴910c4、910c5、910c6。由此，如图68(b)所示，在各像素区域A1～A3上还喷出三个液滴910c4、910c5、910c6。另外，如图68(b)所示，第四～第六液滴910c4、910c5、910c6可以填充第一～第三液滴910c1～910c3之间，也可以是重叠于第一～第三液滴910c1～910c3。

还有，图68(c)是表示第一次扫描、第二次扫描后的别的状态。图68(c)中，扫描次数为两次，在第一次扫描中喷出第一～第三液滴，在第二次扫描中使喷墨头921移位后，利用别的喷嘴喷出第四～第六液滴的一点上和图68(a)、图68(b)所示的情形相同。和图68(a)、图68(b)之间的不同点是各个液滴的喷出位置不同。即在图68(c)中，在第一次扫描中喷出各像素区域A1～A3的图中的下半部区域液滴910c1～910c3，在第二次扫描中喷出各像素区域A1～A3的图中的上半部区域液滴910c4～910c6。

另外，图67和图68中，对一个像素区域A喷出的液滴的滴数分别为六滴，但可以是6～20滴的范围，该范围可以根据像素的面积可以改变，在该范围内或多或少均可以。喷出在各像素区域(电极面911a)的第一组合物的全部量由下部开口部912c的大小、上部开口部912d的大小、要形成的空穴注入/输送层的厚度、第一组合物中的空穴注入/输送层形成材料所决定。

这样，多次扫描来形成空穴注入/输送层时，每一次扫描中进行喷嘴转换，对各像素区域A1～A3各自两个喷嘴喷出第一组合物，因此，和以往的对一个像素区域A利用一个喷嘴的多次喷出相比，喷嘴间的喷出量不均匀可以互相消除，所以各像素电极911…的第一组合物的喷出量不均匀变小，可以形成相同膜厚的空穴注入/输送层。由此，每一个像素的发光量可以固定一定，可以制造出显示质量优越的显示装置。

另外，多次进行喷墨头921的扫描时，使喷墨头921的扫描方向每一次相同方向或方向相反也可以。

如图69所示，从喷墨头921喷出的第一组合物的液滴910c，最终扩展在亲液处理的电极面911a和第一层叠部912e上面，而充填下部开口部912c内部、上部开口部912d内部。即使是第一组合物的液滴910c偏离所定的喷出位置喷在上表面912f，上表面912f也不会被第一组合物的液滴910c湿润，被排斥的第一组合物的液滴910c可以滑进下部开口部912c内部、上部开口部912d内部。

这里作为利用的第一组合物可以是把聚乙烯二羟基噻吩(PEDOT)等的聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸(PSS)等的混合物溶解在极性溶剂的组合物。作为极性溶剂可以举例乙丙醇(IPA)、正丁醇、γ-丁内酯、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、1，3-二甲基-2-咪唑啉酮(DMI)和其衍生物、乙酸卡必醇酯、乙酸卡必醇丁酯等的乙二醇酯类。

作为更具体的第一组合物的组成有PEDOT/PSS混合物(PEDOT/PSS＝1∶20)：22.4重量％、PSS：1.44重量％、IPA：10重量％、NMP：27.0重量％、DMI：50重量％的组合物。另外，第一组合物的粘度为2～20CPs为好，尤其是4～12cPs程度为好。

利用上述的第一组合物，H2不会发生堵塞，可以稳定喷出。

另外，空穴注入/输送层形成材料对红(R)、绿(G)、兰(B)各发光层910b1～910b3利用相同的材料，也可以对每一个发光层改变。

接着，进行图70所示的干燥工艺。由于进行干燥工艺，对喷出后的第一组合物进行干燥处理，蒸发包含在第一组合物的极性溶剂，形成空穴注入/输送层。

进行干燥处理，则包含在第一组合物的液滴910c的极性溶剂的蒸发主要发生在无机物存储单元层912a和有机物存储单元层912b附近，随着极性溶剂的蒸发，空穴注入/输送层形成材料浓缩而析出。

如图70所示，由此在第一层叠部912e上面形成由空穴注入/输送层形成材料所组成的边缘部910a2。该边缘部910a2密接在上部开口部912d的壁面(有机物存储单元层912b)，其厚度在靠近电极面911a的一侧变薄，离开电极面911a的一侧即靠近有机物存储单元层912b一侧变厚。

另外，与此同时，由于干燥处理，电极面911a上面也发生极性溶剂的蒸发，由此，在电极面911a上面形成由空穴注入/输送层形成材料所组成的平坦部910a1。因为在电极面911a上面的极性溶剂的蒸发速度几乎相同，空穴注入/输送层形成材料均匀浓缩在电极面911a上面，由此形成均匀厚度的平坦部910a1。

这样，形成由边缘部910a2和平坦部910a1所组成的空穴注入/输送层910a。

另外，空穴注入/输送层不在边缘部910a2形成而只形成在电极面911a的形态也是可以的。

上述的干燥处理在氮气气氛下、室温下、压力为133.3～13.3Pa(1～0.1Torr)下进行。如果急剧下降压力，则第一组合物的液滴910c突然蒸发，因此，不是理想的。另外，如果温度为高温，则极性溶剂的蒸发速度大，不能形成平坦的膜。因此，最好是30℃～80℃范围为好。

干燥处理后，在氮气中、最好是在真空中、200℃下加热进行10分钟的热处理，以去除残留在空穴注入/输送层910a内部的极性溶剂或水。

上述的形成空穴注入/输送层的工艺中，喷出的第一组合物的液滴910c充满在下部开口部912c、上部开口部912d内部，在排液性处理的有机物存储单元层912b，第一组合物被排斥滚进下部开口部912c、上部开口部912d内部。由此，可以把第一组合物的液滴910c必定充填在下部开口部912c、上部开口部912d内部，可以在电极面911a上面形成空穴注入/输送层910a。

另外，根据上述的空穴注入/输送层形成工艺，因为每一个像素区域A上最初喷出的第一组合物的液滴910c1接触于有机物存储单元层912b的壁面912h，该液滴从壁面912h滚进第一层叠部912e和电极面911a，因此，可以把第一组合物的液滴910c优先扩展在像素电极911的周围，可以均匀涂敷第一组合物，由此可以形成均匀膜厚的空穴注入/输送层910a。

(4)发光层形成工艺

发光层形成工艺由表面改质工艺、发光层形成材料喷出工艺和干燥工艺所组成。

首先，为了进行空穴注入/输送层910a表面的表面改质，进行表面改质工艺。对于该工艺下面详细叙述。其次，和上述的空穴注入/输送层形成工艺同样，利用滴液喷出法在空穴注入/输送层910a上面喷出第二组合物。然后，把喷出的第二组合物进行干燥处理(和热处理)，在空穴注入/输送层910a上面形成发光层910b。

作为发光层形成工艺，利用液滴喷出法，在空穴注入/输送层910a上面喷出包含发光层形成材料的第二组合物之后，进行干燥处理，在空穴注入/输送层910a上面形成发光层910b。

图71表示液滴喷出方法的大体情况。如图46所示，使喷墨头431与基体832相对移动，形成在喷墨头的喷嘴喷出包含各色的(例如这里为兰色(B))发光层形成材料的第二组合物。

喷出时，使喷出喷嘴面向位于下部开口部912c、上部开口部912d内部的空穴注入/输送层910a，一边使喷墨头431与基体832相对移动，一边喷出第二组合物。从喷出喷嘴所喷出的喷出量被控制在相当于一滴的液体量。这样，液体量被控制的液滴(第二组合物的液滴910e)从喷嘴喷出，把该第二组合物的液滴910e喷在空穴注入/输送层910a上面。

发光层形成工艺和空穴注入/输送层形成工艺同样，对一个像素区域利用多个喷嘴喷出第二组合物。

即，和图66、图67和图68的情形同样，使喷墨头921进行扫描，在各个空穴注入/输送层910a上面形成发光层910b。该工艺中有(4)喷墨头921进行一次扫描来形成的方法、(5)喷墨头921多次进行扫描并每一次扫描中利用多个喷嘴的方法、(6)喷墨头921多次进行扫描并每一次扫描中利用别的喷嘴的方法等的三个工艺。下面，简单说明(4)～(6)的方法。

(4)喷墨头921进行一次扫描来形成的方法

该方法中，和图66情形同样，利用喷墨头921的一次扫描的方法，在像素区域(空穴注入/输送层910a上面)形成发光层。即，和图66(a)同样，使喷墨头921的喷嘴n1a～n3a排列成面向各个空穴注入/输送层910a，从喷嘴n1a～n3a喷出最初的第二组合物液滴。接着，和图66(b)同样，使喷墨头921向主扫描方向扫描一点点的同时，向副扫描方向相反方向移位的方法，使喷嘴n1b～n3b位于各个空穴注入/输送层910a上面位置，各个喷嘴n1b～n3b喷出第二滴的第二组合物液滴。进而，和图66(c)同样，使液滴喷出头H5向主扫描方向扫描一点点的同时，向副扫描方向移位的方法，使喷嘴n1a～n3a再度位于空穴注入/输送层910a上面，从各个喷嘴n1a～n3a向空穴注入/输送层910a上面喷出第三滴的第二组合物液滴。

这样，使喷墨头921沿着主扫描方向扫描的同时，沿着副扫描方向移位一点点的方法，两个喷嘴对一个像素区域A(空穴注入/输送层910a)按顺序喷出第二组合物的液滴。对一个像素区域喷出的液滴的数目可以是6～20滴范围，但该范围根据像素的面积可以变化，该范围或多或少均可以。喷在各个像素区域(空穴注入/输送层910a)的第二组合物的全部量由下部开口部912c、上部开口部912d的大小、要形成的发光层的厚度、第二组合物的发光层形成材料浓度所决定。

这样，一次扫描来形成发光层时，每一次喷出第二组合物进行喷嘴的转换，利用两个喷嘴对像素区域喷出第二组合物，因此，和以往的利用一个喷嘴对一个像素区域多次喷出的方法相比，喷嘴之间的喷出量不均匀可以互相消除，各个像素区域中的第二组合物喷出量不均匀可以变小，可以形成相同膜厚的发光层。由此，每一个像素的发光量可以固定一定，可以制造出显示质量优越的显示装置。

(5)多次进行喷墨头921的扫描并每一次扫描中利用多个喷嘴的方法

该方法中，首先和图67(a)同样，作为第一次扫描，把喷嘴n1a～n3a面向各个像素区域喷出最初的第二组合物的液滴，进而使喷墨头921向副扫描方向移位一点点，使喷嘴n1b～n3b面向各个像素区域喷出第二滴的第二组合物液滴。由此，和图67(a)同样，各像素区域上面喷出两滴的第二组合物液滴。如图67(a)所示，各液滴可以隔一定间隔喷出，也可以重叠喷出。

其次的第二次扫描中，和第一次扫描同样，使喷嘴n1a～n3a面向各个像素区域，喷出第三滴的第二组合物的液滴，进而使喷墨头921向副扫描方向移位一点点，使喷嘴n1b～n3b喷出第四滴的第二组合物液滴。由此，如图67(b)同样，各像素区域上还喷出两滴液滴。另外，第三和第四液滴可以不重叠于第一和第二液滴，也可以重叠于第一和第二液滴。

第三次的扫描，和第一、第二次的扫描同样，使喷嘴n1a～n3a面向各个像素区域，喷出第五滴的第二组合物的液滴，进而使喷墨头921向副扫描方向移位一点点，使喷嘴n1b～n3b面向各个像素区域喷出第六滴的第二组合物液滴。由此，和如图67(c)同样，各像素区域上还喷出两滴液滴。另外，第五和第六液滴可以不重叠于其他液滴，也可以重叠于其他液滴。

这样，多次扫描来形成发光层时，因为各扫描中进行喷嘴的转换，对各像素区域利用各自的喷嘴喷出第二组合物，和以往的对一个像素区域利用一个喷嘴多次喷出相比，喷嘴之间的喷出量不均匀互相消除，因此，第二组合物的喷出量不均匀变小，每一个像素发光量可以固定一定，可以制造出显示质量优越的显示装置。

(6)多次进行喷墨头921的扫描并每一次扫描中利用别的喷嘴的方法

该方法中，首先和图68(a)同样，第一次扫描中，使喷墨头921的喷嘴n1a～n3a面向各个像素区域喷出最初的和第二、第三滴的第二组合物的液滴。由此，和图68(a)同样，各像素区域上喷出三滴的液滴。各个液滴和图68(a)同样，可以隔一定间隔喷出，也可以重叠喷出。

其次，在第二次扫描中，使喷墨头921向副扫描方向移位一点点，使喷嘴n1b～n3b面向各个像素区域按顺序喷出第四、第五、第六滴液滴。由此，和图68(b)同样，在各个像素区域还喷出三滴的液滴。另外，第四～第六液滴可以充填第一～第三液滴之间，也可以重叠于第一～第三液滴。

还有，作为别的方法，和图68(c)同样，利用第一次扫描向各个像素区域的一半区域喷出液滴，利用第二次的扫描向各个像素区域的另一半区域喷出液滴。

另外，对一个像素区域的喷出第二组合物液滴的滴数分别为六滴，但可以是6～20滴的范围，另外，该范围根据像素的面积而变化，比该范围或多或少均可以。向各像素区域(空穴注入/输送层910a)喷出的第二组合物的全部量根据下部开口部912c大小、上部开口部912d大小、要形成的发光层的厚度、第二组合物中的发光层形成材料浓度所决定。

这样，多次扫描的方法形成发光层时，因为每一次扫描中进行喷嘴的转换，对各个像素区域利用各自的两个喷嘴喷出第二组合物，和以往的对一个像素区域利用一个喷嘴的多次喷出相比，喷嘴之间的喷出量不均匀互相消除，因此，各个像素区域中的第二组合物喷出量不均匀变小，可以相同的膜厚形成发光层。由此，每一个像素的发光量可以固定一定，可以制造出显示质量优越的显示装置。

另外，多次进行喷墨头921的扫描时，和空穴注入/输送层形成工艺同样，喷墨头921的扫描方向可以是每一次相同方向，也可以是每一次相反。

还有，作为发光层发光层910b的材料，例如，可以使用聚芴衍生物、聚苯撑衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻吩衍生物、或这些高分子材料里渗杂紫苏烯色素、香豆素系色素、红丹系色素，例如红荧素、紫苏烯、9，10-联二苯蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等。

作为非极性溶剂，最好是不溶于空穴注入/输送层910a的，可以利用如环己苯、二氢苯呋喃、三甲苯、四甲基对苯等。

由于利用这样的非极性溶剂作为发光层910b的第二组合物，不溶解空穴注入/输送层910a而可以涂敷第二组合物。

如图71所示，喷出的第二组合物液滴910e扩散在空穴注入/输送层910a上面，充满下部开口部912c、上部开口部912d内部。另一方面，排液处理的上面912f中，第一组合物液滴910e从所定的喷出位置被排斥，即使是喷在上面912f，上面912f，也不会被第二组合物液滴910e湿润，而滚进下部开口部912c、上部开口部912d内部。

接着，结束第二组合物的所定位置的喷出之后，对喷出后的第二组合物进行干燥处理，形成发光层910b3。即，利用干燥的方法蒸发包含在第二组合物的非极性溶剂，形成如图72所示的发出兰色(B)光的发光层910b3。另外，图72中，只表示发出兰色(B)光的一个发光层，但是从图55或其他图中可以清楚地看出一样，原来是发光元件按矩阵状形成的，形成有图中未示的多个发光层(对应于兰色)。

如图73所示，接着利用上述的形成兰色(B)发光层910b3的方法相同的工艺，形成红色(R)发光层910b1，最后形成绿色(G)发光层910b12。

另外，发光层910b的形成顺序不限于上述顺序，怎样的顺序都可以。如根据发光层形成材料决定形成顺序。

还有，发光层的第二组合物干燥条件是兰色910b3的情况下，例如在氮气气氛下、室温、压力为133.3～13.3Pa(1～0.1Torr)左右下进行5～10分钟。如果压力过低，第二组合物突然蒸发，因此，不够理想。另外，温度为高温，则非极性溶剂的蒸发速度增大，发光层形成材料大量附着在上部开口部912d壁面，因此不够理想。最好是30℃～80℃范围。

在绿色发光层910b2和红色发光层b1的情形，因为发光层形成材料的成分较多，因此，最好是尽快干燥，例如40℃，吹氮气5～10分钟进行干燥。

作为其他的干燥方法可以利用远红外照射法、高温氮气吹出法等。

这样，像素电极911上形成空穴注入/输送层910a和发光层910b2。

(5)面向电极(阴极)的形成工艺

如图74所示，面向电极的形成工艺中，在发光层910b和有机物存储单元层912b全面上形成阴极842(面向电极)。另外，阴极842可以利用叠层多个材料的方法形成。例如，靠近发光层的一侧上，最好是利用功函数小的材料形成，例如可以利用Ca、Ba等材料，另外，根据材料有时也可以在下层形成薄的LiF。另外，上部一侧(密封一侧)可以利用功函数高于下部一侧的(功函数)材料如用Al形成。

这些阴极842最好是利用蒸镀法、溅射法、CVD法形成，尤其利用蒸镀法形成的，具有可以防止由于热引起的发光层910b损伤，因而是好的。

另外，氟化锂可以只形成在发光层910b上面，而且可以对应所定的颜色而形成。例如只形成在兰色(B)发光层910b3上面也可以。此时，使其他的红色(R)发光层910b1和绿色(G)发光层910b2接触于由钙组成的上部阴极层12b。

阴极842的上面最好是通过蒸镀法、溅射法、CVD法等方法形成Al膜、Ag膜。其厚度如100～1000nm范围，尤其是200～500nm左右为理想。另外，还可以在阴极842上形成防止氧化的SiO₂、SiN保护层。

(6)密封工艺

最后的密封工艺是利用密封树脂密封已形成发光元件的基体832和密封基板3b的工艺。例如，热固性树脂或紫外线固化树脂组成的密封树脂3a涂敷在基体832的全面，在密封树脂3a上面叠放密封基板3b。由这样的工艺在基体832上面形成密封部33。

密封工艺最好是在氮气、氩、氦等的惰性气体气氛下进行。如果在大气中进行，则在阴极842上产生气孔等的缺陷时，水或氧气从该缺陷侵入到阴极842而有氧化的可能，因此不好。

另外，还把阴极842连接在图55例示的基板5的配电线35a的同时，把电路元件部44的配电线连接在驱动IC36，可以获得本实施例的显示装置31。

在该实施例中，实施和上述的各实施例相同的喷墨方式，可以获得同样的效果。还有，选择涂敷功能性液状体时，对一个功能层利用多个喷嘴喷出液状体，所以喷嘴间的喷出量不均匀互相消除，各个电极间的创建物质量的不均匀变小，可以使各个功能层厚度整齐。由此，每一个像素的发光量均匀化，可以制造出显示质量优越的显示装置。

(其他实施例)

在上面，以理想的实施例来说明了本发明，但是本发明不限于上述的各个实施例，包括如下的变型，在达到本发明目的的范围，可以设定其他的任何一种的具体的构造和形状。

即，如图9和图10所示的彩色滤光片制造装置中，通过使喷墨头22向主扫描方向X方向移动而在母基板12上进行扫描，副扫描驱动装置21移动母基板12的方法进行喷墨头22对母基板12的扫描；但也可以与此相反，利用母基板12的移动进行主扫描，利用喷墨头22的移动来进行副扫描。还可以不移动喷墨头22而移动母基板12或使两者相对反方向移动等的，至少相对移动任何一方的方法，使喷墨头22沿着相对于母基板12表面移动的方法均可以。

另外，上述的实施例中，采用了压电元件的弯曲变形来喷出墨水结构的喷墨头421，但可以采用其他的任意结构的喷墨头，例如利用加热发生的发泡来喷出墨水方式的喷墨头也是可以的。

还有，图22至图32的实施例中，作为喷墨头421，把喷嘴466等间隔、近似直线上排列两列的情形来说明，但是不限于两列，可以是多列。另外，不是等间隔、不在直线上排列也是可以的。

还有，液滴喷出装置16、401不限于制造彩色滤光片1、液晶装置101、EL装置201的制造，也可以利用于制造FED(域发射显示)等的电子放射装置、PDP(等离子显示板)、电气迁移装置即把包含电荷粒子的功能性液状体墨水喷在各个像素隔壁间的凹部，上下夹持各个像素而排列的电极间施加电压，使带电荷粒子向电极一侧偏向而显示各个像素的装置、薄形显象管、CTR(阴极线管)显示器等的具有基板，在其上面区域形成所定的层工艺的各种各样的光电装置的制造。

本发明的装置和方法，包括光电装置的具有基板(基体)的器件，可以利用于包含向其基体材料上面喷出液滴工艺的各种器件的制造工艺。例如，为了形成打印电路基板的配电线，利用喷墨方式把液状金属或导电材料、含有金属涂料等喷出而形成金属电线；把构成燃料电池的电极、离子传导膜，利用喷墨方式喷出而形成；利用喷墨方式的喷出来形成基体材料上的微细物镜的光学部件；利用喷墨方式喷出基板上涂敷的抗蚀剂，以使其只涂敷在必要部分的结构；利用喷墨方式的喷出，在塑料等的透光性基板上形成使光散射的凸部或微小白模式的光散射板；试药检查装置中，利用喷墨方式向DNA(脱氧核酸核糖)芯片上矩阵状排列的脉冲点的上面喷出RNA(核糖核酸)，而制作荧光标识测头，以在DNA芯片上杂交等；利用喷墨方式向基体材料上划分的点状位置上面喷出试料或抗体、DNA而形成生物芯片的场合。

另外，液晶装置101也可以适用于如下场合：即在像素具备TFT等的晶体管或TFD有源元件的有源矩阵液晶板等，形成包围像素电极的隔壁6，并在该隔壁6中形成的凹部里利用喷墨方式喷出墨水方法来形成彩色滤光片1的场合；利用喷墨方式向像素电极上面喷出作为墨水的颜色材料和导电材料的混合物，以在像素电极上形成作为导电性彩色滤光片的彩色滤光片1的场合；利用喷墨方式的喷出形成为了固定基板间间隙的隔板的微粒的场合等构成液晶装置101的光电系统的任一部分。

还有，不限于彩色滤光片1，还可以适用于EL装置201等的其他的任何光电装置，作为EL装置201，可以适用于对应于R、G、B三色的EL按带状形成的带状型或如上所述的具有对每一个像素可以控制通过发光层电流的晶体管的有源矩阵型显示装置或适应于无源(深测)矩阵型等。

还有，作为安装上述各实施例光电装置的电子器械，不限于如图50所示的个人计算机490，还有图51所示的手机、PHS(个人手机系统)等的携带电话、电子手册、寻呼机、POS(销售点)终端、IC卡、微型光碟机、液晶投影仪、工程师工作站(Engineering Worv Scaition EWS)、文字处理器、电视、寻象机型或直观型显示器的录象机、台式电子计算机、光矫正器、具有触发板的装置、手表、游戏机等各种电子器械。

另外，例如在喷墨头22上排列三列以上的喷嘴466，沿着扫描方向X的假想的直线上排列多个喷嘴466时，至少从两个以上的喷嘴466喷出就可以。

另外，本发明中，位于喷墨头22相对扫描方向假想直线上的多个喷嘴466没有必要以相同的开口状态位于假想直线上，而是假想直线上的喷嘴466开口部分交叉，也可以认为位于直线上。即，一个喷嘴466在偏于开口右侧上交叉于假想直线，而其他喷嘴466在偏于开口左侧上交叉于假想直线也是可以的。

即使是那样偏离，偏离喷出的液滴溢出部分在以后工艺中有去除工艺，就没有问题；即那样偏离可能在以下情形下发生：在被喷出物的预定地点喷出区域变宽，或不是预定喷出地点的部分被疏水处理而由于预定地点的疏水作用使偏离预定地点的液滴移动，或预定喷出地点被亲水处理而使偏离的液滴移动，或预定喷出地点的境界上形成隔壁或预定地点形成凹部而是偏离的液滴移动到槽内。但是最好是位于假想直线上的多个喷嘴其开口实质性地相同形状交叉于其直线上。

另外，本发明中，除了排列在喷墨头421端部所定区域的非喷出喷嘴以外，位于中央区域的喷嘴群中也可以设定非喷出喷嘴。即，使头部466倾斜，扫描方向上的喷嘴466的排列节距近似等于被喷出物预定喷出地点的排列节距、或整数倍关系时，可以把位于不合预定喷出地点的喷嘴466设定为非喷出喷嘴。例如，除了喷嘴列端部区域以外的中央区域中，也可以设定隔一个或隔两个等的喷出喷嘴节距。至于非喷出喷嘴可以通过驱动它的压电振子的个别驱动来控制。

另外，同样把喷墨头22排列三列以上，喷墨头22的多个喷嘴位于沿着扫描方向X的直线上时，至少使两个以上喷嘴466喷出就可以。

其他，实施本发明时的具体的构造和顺序，只要可以达到本发明目的范围的另外结构或顺序均可以。

Claims (14)

1、一种液滴喷出头，其设有多个喷出液状体的喷嘴的面，所述面沿扫描方向相对于被喷出物移动，从所述喷嘴向所述被喷出物上面喷出所述液状体，其特征在于：在使该液滴喷出头相对于所述相对移动的扫描方向倾斜的状态下，所述多个喷嘴中的至少位于中央部分的用来喷出所述液状体的喷嘴，其多个开口排列配置在沿着扫描方向的假想直线上，所述液滴喷出头中排列的喷嘴中的端部附近所定区域的喷嘴设定为非喷出喷嘴，多个所述液滴喷出头，在所述液滴喷出头的多个喷嘴沿相对于所述相对移动方向倾斜的所定方向排列的状态下，沿着相对于所述相对移动方向倾斜的方向多列并列配置，所述多列液滴喷出头中的一个列内的所述液滴喷出头中的非喷出喷嘴和排列在所述相对移动方向的其他列内的液滴喷出头中的喷出液状体的喷嘴一起位于所述相对移动方向的假想的直线上，所述液滴喷出头的喷嘴多列排列，所述多个液滴喷出头配置成有两种状态：即一个液滴喷出头的非喷出喷嘴和其他液滴喷出头的多列喷出喷嘴位于沿着所述相对移动方向的假想直线上的状态、一个液滴喷出头的喷出喷嘴和非喷出喷嘴与其他液滴喷出头的喷出喷嘴和非喷出喷嘴位于沿着所述相对移动方向的假想直线上的状态。

2、一种喷出装置，其特征在于：包括权利要求1所述的液滴喷出头、保持该液滴喷出头的保持装置、使该保持装置和被喷出物中的至少一方相对于另一方移动的移动装置。

3、根据权利要求2所述的喷出装置，其特征在于：所述液滴喷出头，以使喷嘴的排列方向相对于所述相对移动方向倾斜的状态保持在保持装置上。

4、根据权利要求2所述的喷出装置，其特征在于：所述多个喷嘴，其垂直于所述相对移动方向的方向上的喷嘴开口排列形成的节距，被设为与被喷出物上的预定喷出位置的节距近似相等或为其整数倍。

5、一种喷出装置，其特征在于：包括设有喷出流动性液状体的多个喷嘴的液滴喷出头、使该液滴喷出头面向被喷出物多个并列排列的保持装置、使该保持装置和被喷出物中的至少一方相对于另一方移动的移动装置；所述液滴喷出头配置在所述保持装置上，以使这些液滴喷出头中的至少两个以上的液滴喷出头中的用来喷出所述液状体的至少一些喷嘴位于沿着所述相对移动方向的假想直线上，所述液滴喷出头中排列的喷嘴中的端部附近所定区域的喷嘴设定为非喷出喷嘴，多个所述液滴喷出头，在所述液滴喷出头的多个喷嘴沿相对于所述相对移动方向倾斜的所定方向排列的状态下，沿着相对于所述相对移动方向倾斜的方向多列并列配置，所述多列液滴喷出头中的一个列内的所述液滴喷出头中的非喷出喷嘴和排列在所述相对移动方向的其他列内的液滴喷出头中的喷出液状体的喷嘴一起位于所述相对移动方向的假想的直线上，所述液滴喷出头的喷嘴多列排列，所述多个液滴喷出头配置成有两种状态：即一个液滴喷出头的非喷出喷嘴和其他液滴喷出头的多列喷出喷嘴位于沿着所述相对移动方向的假想直线上的状态、一个液滴喷出头的喷出喷嘴和非喷出喷嘴与其他液滴喷出头的喷出喷嘴和非喷出喷嘴位于沿着所述相对移动方向的假想直线上的状态。

6、根据权利要求5所述的喷出装置，其特征在于：所述位于沿着所述相对移动方向的假想直线上的液滴喷出头位于所述多个喷嘴的中央部分。

7、根据权利要求2或权利要求5所述的喷出装置，其特征在于：所述液滴喷出头设置成多个喷嘴以多个列排列。

8、根据权利要求5所述的喷出装置，其特征在于：至少两个以上液滴喷出头分别配置成与其他的液滴喷出头在所述相对移动方向上部分重叠。

9、根据权利要求5所述的喷出装置，其特征在于：多个液滴喷出头其液滴喷出头沿着交叉于相对于被喷出物相对移动方向的所定方向按顺序配置在保持装置，多个液滴喷出头分别配置在不同于这些液滴喷出头并列排列的所定方向上的倾斜交叉于所述相对移动方向上。

10、根据权利要求5所述的喷出装置，其特征在于：排列在所述液滴喷出头的多个喷嘴，排列在端部所定区域的喷嘴设定为非喷出喷嘴，并且，所述多个液滴喷出头并列配置多列，配置在一列内的液滴喷出头与配置在其他列内的液滴喷出头在所述相对移动方向上互相重复位置关系来配置，

所述多个液滴喷出头配置成，垂直于所述相对移动方向上的喷嘴排列使所述多个液滴喷出头之间互相连续排列。

11、一种喷出装置，其特征在于：权利要求1所述的液滴喷出头中的位于沿着所述相对移动方向的假想直线上的不同喷嘴，被控制为对被喷出物所定同一地点分别喷出。

12、一种制造具备权利要求2所述喷出装置的光电装置的制造装置，所述被喷出物为形成EL发光层的基板，其特征在于：使所述一个以上的液滴喷出头相对于所述基板相对移动的同时，从所述一个以上液滴喷出头中的所定喷嘴对所述基板喷出包含EL发光材料的液状体，在所述基板上面形成EL发光层。

13、一种制造具备权利要求2所述喷出装置的光电装置的制造装置，所述被喷出物为夹持液晶的一对基板的一面，其特征在于：使所述一个以上的液滴喷出头相对于所述基板相对移动的同时，从所述一个以上液滴喷出头中的所定喷嘴对所述基板喷出含彩色滤光片材料的液状体，在所述基板上面形成彩色滤光片。

14、一种制造具备权利要求2所述喷出装置的彩色滤光片的制造装置，其特征在于：所述被喷出物为形成呈不同颜色的彩色滤光片的基板，使所述一个以上的液滴喷出头相对于所述基板相对移动的同时，从所述一个以上液滴喷出头中的所定喷嘴对所述基板喷出含彩色滤光片材料的液状体，在所述基板上面形成彩色滤光片。

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