CN100419988C - 基板收纳容器及其定位方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种即使以容器主体的盖体侧向下方倾斜的状态搭载在装置上时也能恰当定位、不会妨碍之后的作业的基板收纳容器及其定位方法。具有整齐收纳多张精密基板的容器主体(1)、开闭容器主体(1)的开口的正面的盖体、和排列设置在容器主体(1)的底部的多个定位体(40)，各定位体(40)，由容器主体(1)的底面上形成的一对平行肋(2)和底板(4)上形成的环带(6)的弯曲部(8)的内表面(9)形成凹部。使环带(6)的内表面(9)以随着从上方朝向下方逐渐直线状扩开的方式倾斜，将内表面(9)的上端部延长到一对平行肋(2)的下端部间的对置区域(2a)。其中，各定位体包括多个长片，各定位体还包括将多个长片在其纵向上分割、并且随着从容器主体的底部朝向下方而逐渐变细的划分块。

Description

基板收纳容器及其定位方法

技术领域

本发明涉及收纳、输送、搬运、保管由半导体晶片等构成的基板时使用的基板收纳容器及其定位方法。

背景技术

近年来，半导体零件的微小化和布线间距的狭窄化加强，鉴于此，对于基板收纳容器，要求高密封性，以有助于防止内部收纳的由半导体晶片构成的精密基板的污染，还要求操作的自动化。为了应对这些业界的需求，提出了可自动安装、拆卸开闭容器主体的盖体的基板收纳容器(参照专利文献1、2)。

这种基板收纳容器，如图10至图12所示，具有收纳例如未图示的多张精密基板的容器主体1、设置在该容器主体1的底部的多个定位体40A、开闭容器主体1的开口的正面的盖体20、对嵌合在容器主体1正面的盖体20进行加锁/解锁的加锁机构，并通过多个定位体40A定位搭载在未图示的加工装置上。

容器主体1，在其顶部安装有机器人凸缘，机器人凸缘保持在叫做OHT的自动搬运机上，通过保持该机器人凸缘而悬吊起来搬运。又，多个定位体40A，以既定的排列配置在容器主体1的底部。各定位体40A，由容器主体1的底面上形成的一对平行肋2、和在覆盖容器主体1的底面的底板4上形成且从下方嵌合在一对平行肋2上的中空的环带6A形成。

加锁机构，虽然未图示，但是利用内装在盖体内并构成加工装置的盖体开闭装置的操作键进行加锁操作或解锁操作。又，加工装置，在搭载基板收纳容器的搭载面上，立设有分别嵌合在多个定位体40A上的定位销50(参照图12)，并设置有检测基板收纳容器的有无的传感器。

专利文献1：特开2000-58633号公报；

专利文献2：特开2003-174081号公报。

现有的基板收纳容器如以上那样构成，具有下述特征：由于在盖体中内置有加锁机构而变重，因此重心相对容器主体1的中心部向正面侧偏移，所以正面侧容易向下方倾斜。与收纳了最大张数的精密基板时相比，在收纳较少张数时该特征更为明显。如果在基板收纳容器的正面侧向下方倾斜的状态下定位搭载在加工装置上，则由于加工装置的定位销50接触定位体40A时的摩擦阻力，基板收纳容器难以滑动，会产生中途停止而不能高精度定位的大问题。

又，由于基板收纳容器在其机器人凸缘处被悬吊起来，所以显然不容易在稳定状态下支承基板收纳容器，所以有可能不能使容器主体1的定位体40A分别均等地接触并嵌合在加工装置的多个定位销50上。结果，基板收纳容器会在加工装置上错位从而倾斜着停止，带来影响传感器的检测、导致之后的作业中断的问题。

发明内容

本发明是鉴于前述问题而做出的，目的在于提供即使在容器主体的盖体侧向下方倾斜的状态下搭载在装置上时，也能恰当定位，不会妨碍之后的作业的基板收纳容器及其定位方法。

在本发明中，为了解决上述课题，是一种基板收纳容器，具有收纳基板的容器主体、开闭该容器主体的开口的正面的盖体、和设置在容器主体的底部的多个定位体，其特征在于，

各定位体包括多个长片和多个短片，所述多个长片隔开间隔地对置，所述多个短片在该多个长片之间至少位于多个长片的端部间的下方，这多个长片和短片中，至少各短片的内表面以随着从容器主体的底部朝向下方而逐渐扩开的方式倾斜，并且，内表面的上部延长到多个长片之间，其中，各定位体包括将多个长片在其纵向上分割、并且随着从容器主体的底部朝向下方而逐渐变细的划分块。

另外，可以设计成，容器主体的底部包括容器主体的底面、和安装在该容器主体的底面上的板；

在容器主体的底面上，排列有多对隔开间隔地互相对置的平行肋，将各对平行肋作为定位体的多个长片，在板上排列有多个围绕一对平行肋的中空环带，将各环带的弯曲部作为定位体的多个短片。

另外，可以设计成，具有内装于盖体中、对覆盖容器主体正面的盖体加锁的加锁机构，该加锁机构包括：转动体，支承在盖体上，借助外部的操作而转动；多个进退动作体，基于该转动体的转动而在盖体的内外方向上进退动作；卡止部，设置在各进退动作体上，借助进退动作体的进退动作而从盖体的周围出没，插入到容器主体的正面内周的凹部中。

另外，可以设计成，容器主体的板使用从聚碳酸酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚缩醛、液晶聚合物这一组中选择的至少一种热塑性树脂形成，其中含有碳纤维、玻璃纤维、碳粉、富勒烯、碳纳米管、合成纤维、金属纤维、氟树脂、硅酮、滑石、云母所组成的一组添加剂中的至少一种。

另外，可以设计成，各定位体包括将多个长片在其纵向上分割、并且随着从容器主体的底部朝向下方而逐渐变细的划分块。

另外，可以设计成，各定位体的划分块形成为中空的圆锥形。

此外，为了解决上述课题，本发明是一种基板收纳容器，通过多个定位体搭载在加工装置的多个定位销上，其特征在于，

在各定位体上，在其纵向和横向上分别形成有一对相向的内表面，在使定位体分别嵌合在加工装置的多个定位销上时，各定位体的四个内表面中，至少三个内表面接触定位销，其中，各定位体包括多个长片，各定位体还包括将多个长片在其纵向上分割、并且随着从容器主体的底部朝向下方而逐渐变细的划分块。

另外，可以设计成，将在各定位体的纵向上相向的一对内表面作为一对平行肋的内表面。

进而，为了解决上述课题，本发明是一种基板收纳容器的定位方法，所述基板收纳容器通过多个定位体搭载在加工装置的多个定位销上，其特征在于，

在各定位体上，在其纵向和横向上分别形成一对相向的内表面，在使定位体分别嵌合在加工装置的多个定位销上时，使各定位体的四个内表面中的至少三个内表面接触定位销，其中，各定位体包括多个长片，各定位体还包括将多个长片在其纵向上分割、并且随着从容器主体的底部朝向下方而逐渐变细的划分块。

在此，技术方案中的基板，至少包括各种精密基板，具体来说包括口径为300mm、400mm、450mm的半导体晶片、掩模玻璃、液晶玻璃、存储盘片等。容器主体，可以是叫做FOUP的前开式箱体，也可是叫做FOSB的前开式箱体。该容器主体，可是透明的、半透明的或是不透明的，还可在背面壁、侧壁、顶部等上设置透视窗。又，盖体可使用单块或多块板构成为透明的、半透明的或不透明的。

在盖体上设置加锁机构，该加锁机构可如下构成，即，包括：转动体，支承在盖体上，借助从盖体外部进行的操作而转动；多个进退动作杆，可滑动地支承在盖体上，并可转动地连接在转动体上，基于该转动体的转动而从盖体的内部方向向外部方向进退动作；卡止辊，可转动地支承在盖体周围的开口附近，并可转动地连结在各进退动作体的末端部，基于进退动作杆的进退动作而从盖体周围的开口出没。

又，加锁机构还可以如下构成，即，包括：转动体，支承在盖体上，借助从盖体外部进行的操作而转动；多个进退动作轴，经由轴承可滑动地支承在盖体上，并可转动地直接或间接连接在转动体上，基于该转动体的转动而从盖体的内部方向向外部方向进退动作；辊，可转动地支承在各进退动作轴上，基于进退动作轴的进退动作而从盖体周围的开口出没。在间接连接转动体与进退动作轴的情况下，例如可利用曲柄卡止部等连结转动体与进退动作轴。

又，为了抑制灰尘的产生，加锁机构也可如下构成，即，包括：齿轮，支承在盖体上，借助从盖体外部进行的操作而转动；多个进退动作杆，可滑动地支承在盖体上，通过其他齿轮连接在上述齿轮上，基于齿轮的转动而从盖体的内部方向向外部方向进退动作；卡止爪，形成在各进退动作杆的末端部，基于进退动作杆的进退动作而从盖体周围的开口出没。将进退动作杆的端部可转动地支承在偏离上述其他齿轮的中心部的部位。

容器主体的底部主要由容器主体的底面和安装在该容器主体的底面上的板构成，但也可只由容器主体的底面构成，还可只包括安装在容器主体上的板。板大于小于容器主体的底面均可，可变成矩形、多边形、大致U字形、Y字形等。

构成各定位体的多个长片，也可由截面大致M字形的块的相互对置的对置壁构成，还可由平面观察呈大致长方形的块的相互对置的对置长壁构成。该多个长片，可以是随着从容器主体的底部朝向下方逐渐扩开地倾斜，也可不这样。

关于各定位体，除上述情况以外，也可由设置在容器主体的底面上的一对平行肋、和设置在容器主体的底面上并围绕一对平行肋的中空环带构成，并使环带的弯曲部从下方位于一对平行肋之间。又，各定位体也可由设置在板上的一对平行肋和设置在板上且围绕一对平行肋的中空环带构成，并使环带的弯曲部从下方夹设于一对平行肋之间。

关于中空环带，可由平面观察呈大致椭圆形且绕一对平行肋的周围的环状周壁、和形成在该周壁的内表面上的倾斜面构成，并将由周壁围绕的中央部形成为贯通的中空部。这种情况下，可以将一对平行肋分割成前后两对平行肋，分别用环带围绕该前后两对平行肋，在该一对环带之间设置划分块。并且，划分块优选形成为圆锥形、大致半椭球形、截头圆锥形。

根据本发明，有下述效果：即使在以例如容器主体的盖体侧向下方倾斜的状态搭载在装置上时，也可将基板收纳容器恰当定位。而且，可有效防止对定位后的作业造成妨碍的问题。

附图说明

图1是表示本发明的基板收纳容器的实施方式的示意整体立体图。

图2是表示本发明的基板收纳容器及其定位方法的实施方式的仰视图。

图3是表示本发明的基板收纳容器及其定位方法的实施方式中的定位体的仰视图。

图4是图3的IV-IV线剖视图。

图5是表示本发明的基板收纳容器及其定位方法的第2实施方式的仰视图。

图6是表示本发明的基板收纳容器及其定位方法的第2实施方式中的定位体的仰视图。

图7是图6的VII-VII线剖视图。

图8是表示本发明的基板收纳容器及其定位方法的实施例中的底板用测定夹具的说明图。

图9是表示本发明的基板收纳容器及其定位方法的实施例中的、在底板用测定夹具上搭载容器主体的状态的说明图。

图10是表示现有的基板收纳容器的仰视图。

图11是表示现有的基板收纳容器的定位体的仰视图。

图12是图11的XII-XII线剖视图。

附图标记说明

1   容器主体

2   一对平行肋(长片、内表面)

2A  一对前部平行肋

2a  对置区域

2B  一对后部平行肋

3   加强肋

4   底板(板)

6   环带

7   直线部

8   弯曲部(短片)

9   内表面

12  缘部(开口的正面)

13  卡止孔(凹部)

20  盖体

21  嵌合板

22  盖板

23  贯通操作孔

30  加锁机构

40  定位体

41  划分块

42  外周面

50  定位销

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的优选实施方式，本实施方式的基板收纳容器，也叫做薄板用收纳/保管容器或输送容器，如图1～图4所示，具有收纳例如由12英寸的半导体晶片构成的多张(例如25张、26张)精密基板的容器主体1、拆装自如地开闭该容器主体1的开口的正面的盖体20、利用从加工装置的盖体开闭装置进行的外部操作对嵌合并封闭容器主体1正面的盖体20进行加锁/解锁的左右一对加锁机构30、和在容器主体1的底部排列设置的多个定位体40。

容器主体1，如图1所示，使用既定的树脂成型为透明的前开式箱体，两侧壁的后部分别向内局部倾斜而将背面壁的面积设定得小于横长的正面的面积，从而起到下述作用，即，将多张薄的圆形精密基板(未图示)沿上下方向排列地整齐收纳。

在容器主体1的内部两侧，虽然未图示，但分别一体地或拆装自如地配置着平面观察呈大致ㄑ字形或大致半圆弧形的支承板，在该左右一对支承板的对置面上，沿上下方向以既定间距分别一体地排列设置有平面观察呈大致ㄑ字形或大致半圆弧形的齿，该左右一对齿大致水平地支承精密基板。

虽然未图示，但各齿由下述各部分形成：沿精密基板的周缘部形成为平面观察呈大致ㄑ字形或大致半圆弧形的平板、形成在该平板的弯曲形成的前部内侧上的前部中等壁厚区域、形成在平板的前部外侧上且位于前部中等壁厚区域的外侧-换言之靠近支承板的前部厚壁区域、形成在平板的后部的后部中等壁厚区域、形成在平板的后部上并位于后部中等壁厚区域的前方且靠近支承板的后部厚壁区域，在前部中等壁厚区域与前部厚壁区域之间，形成有精密基板接触用的阶梯，在平坦的前部中等壁厚区域和后部中等壁厚区域大致水平地支承精密基板。

在容器主体1的底面的前部两侧和后部中央，如图2所示，分别排列形成有互相对置的一对平行肋2，在容器主体1的底面上，拆装自如地安装有薄的底板4，通过用加工装置识别拆装自如地镶嵌在该底板4后部的多个识别体5，而掌握基板收纳容器的型号和精密基板的张数等。

一对平行肋2，如图2和图3所示，在其大致中央部间一体架设有杆形的加强肋3，整体上仰视呈大致H字形。各平行肋2，形成为没有凹凸的光滑的直线板形，从容器主体1的底面向下方突出(参照图4)。

底板4，如图2所示，与容器主体1的底面大小对应，平面观察呈大致多边形等，以仰视呈大致Y字形的方式，穿设排列有多个(本实施方式中是3个)大致椭圆形的贯通孔，在各贯通孔的周缘部，一体形成从下方嵌合在一对平行肋2的下部而将其包围的中空的环带6。

各环带6，如图3和图4所示，包括：隔开间隔地互相对置且从外侧重叠在各平行肋2上的一对直线部7、和以一体形式较短地架设在该一对直线部7的两端间而相互对置的一对弯曲部8，仰视呈大致椭圆形，从底板4向容器主体1的底面方向(上方)突出。

各弯曲部8，其外周面弯曲形成为大致半圆弧形，没有凹凸的光滑内表面9形成得比一对平行肋2之间的间隔窄，该内表面9以随着从作为容器主体1的底部的底板4朝向下方逐渐直线状扩开的方式倾斜(参照图4)。该内表面9还以从一对平行肋2的下端部间的对置区域2a到达一对平行肋2的两端部间的下方的方式倾斜。

加工装置，在搭载基板收纳容器的搭载面上，以平面观察呈大致Y字形的方式设有分别嵌合在多个环带6内的3根定位销50，并设置有检测基板收纳容器的有无的传感器。各定位销50的末端部弯曲形成为大致椭球形。

在容器主体1的底面两侧，如图1所示，分别伸出形成有在前后方向上延伸的截面大致L字形的导轨10，该左右一对导轨10方便基板收纳容器的搬运。在容器主体1的顶部中央部，一体或拆装自如地安装有平面观察呈大致矩形的机器人凸缘11，通过将该机器人凸缘11吊在叫做OHT的自动搬运机上，而在工序中搬运基板收纳容器。

容器主体1的开口正面的周缘部，通过形成为截面呈大致放倒的L字形而向外方伸出，形成缘部12，在该缘部12的内周面上下，分别凹陷形成有多处呈矩形的盖体20加锁用的卡止孔13。在容器主体1的两侧壁上，分别选择性地安装厚壁的圆板形或呈放倒的U字形的搬运把手，通过把持该搬运把手而搬运基板收纳容器。

另外，容器主体1、支承板、齿、底板4、导轨10、机器人凸缘11以及搬运把手，使用例如聚碳酸酯、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮或环烯烃树脂等成型。在这些材料中适当添加赋予导电性的添加剂。

盖体20，如图1所示，具有拆装自如地嵌合在容器主体1的缘部12内的截面呈大致碟形的嵌合板21、覆盖该嵌合板21的开口的表面的盖板22，在与设置于容器主体1的内部背面的后保持器(未图示)之间，通过弹性的前保持器(未图示)保持精密基板。

嵌合板21，形成为其四角部被倒圆了的横长形状，正面观察呈大致矩形，周壁形成为截面大致L字形、大致H字形或大致Z字形而确保刚性，通过使嵌合在其周壁上的环形密封垫圈变形而紧密嵌合在容器主体1的缘部12内，来确保密封性。

该密封垫圈，虽然未图示，但包括：例如中空框形的基材、从该基材倾斜着突出且沿伸到基材的周向外侧的渐细的弯曲片、从基材突出且以压力作用状态被强制嵌入嵌合板21的周壁上形成的嵌合保持槽内的单个或多个嵌合肋，在由盖体20密封的基板收纳容器内外产生压力差时，限制含有灰尘的气体从基板收纳容器的外部流入内部，具有使气体从基板收纳容器的内部流出到外部的单向密封功能。

这样的密封垫圈，使用例如硅酮橡胶、氟橡胶、热塑性聚酯类弹性体、热塑性聚烯烃类弹性体等而成形为可弹性变形的形式。

在嵌合板21的周壁上，隔开既定间隔地穿设有清洗时使用的多个漏水孔，在周壁的上下，隔开既定间隔地形成有左右一对开口，各开口在嵌合盖体20时与容器主体1的卡止孔13相对。在嵌合板21的左右两侧的周壁内，隔开既定间隔地穿设有多个盖板22用的安装孔。

盖板22，如图1所示，形成为板形，在左右两侧的中央部附近分别穿设有正面观察呈矩形的加锁机构30用的贯通操作孔23，构成加工装置的盖体开闭装置的操作键贯通各贯通操作孔23。

另外，盖体20，使用例如聚碳酸酯、含氟聚碳酸酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、聚醚酰亚胺、或聚缩醛等成型。

尽管省略详细说明，但各加锁机构30包括：作为转动体的转动卷轴，嵌合并支承在嵌合板21内的圆筒肋上，借助外部对操作键的转动操作而转动；多个作为进退动作体的进退动作杆，可滑动地夹持在嵌合板21与盖板22的凸轮之间，基于转动卷轴的转动而向盖体20的内外方向直线滑动；作为卡止部的卡止爪，形成在各进退动作杆的末端部，随着进退动作杆的进退动作，从盖体周围的开口出没，嵌合并卡止在缘部12的卡止孔13内。

另外，盖体开闭装置的连接位置和尺寸，在SEMI规格中由每个容器的尺寸规定。例如，关于用于对整齐收纳12英寸(300mm)的半导体晶片的工程容器的盖体20进行自动开闭的装置接口，其规格可对应在SEMI规格的E62中标准化了的盖体开闭装置确定。

加锁机构30，使用例如聚碳酸酯、含氟聚碳酸酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、聚醚酰亚胺、或聚缩醛等成型。

各定位体40，如图3和图4所示，由形成在容器主体1底面的一对平行肋2、和形成在底板4上的环带6的一对弯曲部8，形成凹陷的凹部，平行肋2形成得比弯曲部8长。环带6的横向上的弯曲部8的内表面9，如图4所示，以随着从上方朝向下方逐渐直线状扩开的方式倾斜，上端部延长到一对平行肋2的下端部间的对置区域2a。

根据上述结构，则以基板收纳容器的较重的正面侧向下方倾斜的状态定位搭载在加工装置上时，构成各定位体40的一对平行肋2的内表面和环带6的一对内表面9这四个面中，至少三个面接触定位销50，所以可使基板收纳容器不会晃动，从而能稳定滑动到标准位置。由此，可望实现高精度的定位，且即使有振动等，基板收纳容器也不会偏离标准位置。

又，由于可使定位体40分别均等地接触并嵌合在加工装置的多个定位销50上，所以基板收纳容器不会在加工装置上偏离并倾斜着停止。因此，完全不会有因为基板收纳容器倾斜着停止而妨碍传感器检测的问题，所以可抑制/防止之后的作业中断。

并且，由于环带6的没有凹凸的光滑内表面9的上端部延长到一对平行肋2的下端部间的对置区域2a，而一对平行肋2的内表面与环带6的内表面9大致连续，所以定位时的晃动切实减少，基板收纳容器不会偏离标准的位置。

如上所述，当在具有多个定位销50的加工装置上定位具有多个定位体40的基板收纳容器时，由于定位体40的四个面中，至少三个面接触定位销50，所以可进行尺寸精度良好的基板收纳容器定位。

然后，图5至图7表示本发明的第2实施方式，这种情况下，将一对平行肋2分割成一对前部平行肋2A和一对后部平行肋2B，利用环带6分别围绕这一对前部平行肋2A和一对后部平行肋2B，并且，在该一对环带6之间，夹设有沿前后纵向划分一对前部平行肋2A和一对后部平行肋2B的划分块41。

划分块41，如图7所示，形成为随着从底板4朝向下方而逐渐变细的中空圆锥形，外周面42形成为没有凹凸的光滑面，定位销50可滑动地接触该外周面42而被引导到既定的位置。关于其他部分，与上述实施方式一样，所以省略说明。

在本实施例中，也可望实现与上述实施方式同样的效果，并且，在一对前部平行肋2A和一对后部平行肋2B之间，存在引导定位销50的划分块41，定位销50接触由一对平行肋2的内表面、环带6的内表面9以及划分块41的外周面42所形成的四个面，所以定位销50的晃动范围减少。因此，可望实现高精度的定位，并且明显可抑制/防止基板收纳容器因振动等而从标准位置偏离。

另外，在上述实施方式中，介绍了仅在水平方向上开口的前开式箱形容器主体1，但也可在拆卸盖体20时或取出精密基板时使容器主体1朝向上方。又，也可代替支承板，而准备支承框，在该支承框上通过纵肋沿上下方向排列设置多个齿。又，也可在支承框的后部，形成位于相邻齿之间的截面呈大致放倒的U字形、大致放倒的V字形的保持槽，来将精密基板的两侧部后方的周缘支承在该保持槽内。

又，各齿也可由下述部分形成：沿精密基板的周缘部形成为平面观察呈大致ㄑ字形的平板、形成在该平板的弯曲形成的前部内侧上的前部中等壁厚肋、形成在平板的前部外侧上且位于前部中等壁厚肋的外侧一换言之靠近支承板的前部厚壁区域、形成在平板的后部的后部中等壁厚区域，在前部中等壁厚肋与前部厚壁区域之间形成阶梯，在大致平坦的前部中等壁厚肋和后部中等壁厚区域大致水平地支承精密基板。

又，也可不是将多个定位体40设置在容器主体1的底面上，而是分别设置在底板4上。又，也可以扩大形成底板4而在其两侧部立设与容器主体1两侧壁对置的对置壁，在各对置壁上安装把持用的搬运把手。又，也可以在底板4的后部立设位于容器主体1的背面侧的壁，在该壁上粘贴、嵌合或支承识别码或IC标签等。

又，也可以将容器主体1的开口正面的周缘部形成为截面呈大致放倒的L字形，将其末端部形成为截面大致U字形，将这些凹陷的内部空间用作卡止孔13。又，也可在嵌合板21的反面周缘部安装环形的第一密封垫圈，并且在嵌合板21的周壁上安装环形的第二密封垫圈，使第二密封垫圈位于第一密封垫圈的宽度方向外侧。

并且，关于底板4和定位体40，可使用从聚碳酸酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚缩醛、液晶聚合物这一组中选择的至少一种热塑性树脂形成，其中适量含有碳纤维、玻璃纤维、碳粉、富勒烯(fullerene)、碳纳米管、合成纤维、金属纤维、氟树脂、硅酮、滑石、云母所组成的一组添加剂中的至少一种。并且，定位体40既可一体形成在容器主体1上，也可使用与容器主体1不同的材料形成，利用内嵌成型等方法一体化。

实施例

以下，与比较例一起说明本发明的基板收纳容器及其定位方法的实施例。

实施例1

首先，如图8所示，准备以基于SEMI规格的尺寸制作的底板用测定夹具，在该测定夹具上，以空的状态搭载第1实施方式所示的带定位体的基板收纳容器，利用10个试验样品确认使容器从标准位置移动到图9所示位置并放手时，是否会回到原来的位置，并将结果汇总在表1中。

实施例2

在前述测定夹具上，以空的状态搭载第2实施方式所示的带定位体的基板收纳容器，利用10个试验样品确认使容器从标准位置移动到图9所示位置并放手时，是否会回到原来的位置，并将结果汇总在表1中。

比较例

在前述测定夹具上，以空的状态搭载图10至图12所示现有带定位体的基板收纳容器，利用10个试验样品确认使容器从标准位置移动到图9所示位置并放手时，是否会回到原来的位置，并将结果汇总在表1中。

【表1】

确认有没有越到定位销上

	有没有越到定位销上
		实施例1	没有(0/10)
实施例2	没有(0/10)
		比较例	有(9/10)

Claims (8)

1. 一种基板收纳容器，具有收纳基板的容器主体、开闭该容器主体的开口的正面的盖体、和设置在容器主体的底部的多个定位体，其特征在于，

各定位体包括多个长片和多个短片，所述多个长片隔开间隔地对置，所述多个短片在该多个长片之间至少位于多个长片的端部间的下方，这多个长片和短片中，至少各短片的内表面以随着从容器主体的底部朝向下方而逐渐扩开的方式倾斜，并且，内表面的上部延长到多个长片之间，

其特征在于，各定位体包括将多个长片在其纵向上分割、并且随着从容器主体的底部朝向下方而逐渐变细的划分块。

2. 如权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，

容器主体的底部包括容器主体的底面、和安装在该容器主体的底面上的板；

在容器主体的底面上，排列有多对隔开间隔地互相对置的平行肋，将各对平行肋作为定位体的多个长片，在板上排列有多个围绕一对平行肋的中空环带，将各环带的弯曲部作为定位体的多个短片。

3. 如权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，具有内装于盖体中、对覆盖容器主体正面的盖体加锁的加锁机构，该加锁机构包括：转动体，支承在盖体上，借助外部的操作而转动；多个进退动作体，基于该转动体的转动而在盖体的内外方向上进退动作；卡止部，设置在各进退动作体上，借助进退动作体的进退动作而从盖体的周围出没，插入到容器主体的正面内周的凹部中。

4. 如权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，容器主体的板使用从聚碳酸酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚缩醛、液晶聚合物这一组中选择的至少一种热塑性树脂形成，其中含有碳纤维、玻璃纤维、碳粉、富勒烯、碳纳米管、合成纤维、金属纤维、氟树脂、硅酮、滑石、云母所组成的一组添加剂中的至少一种。

5. 如权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，各定位体的划分块形成为中空的圆锥形。

6. 一种基板收纳容器，通过多个定位体搭载在加工装置的多个定位销上，其特征在于，

在各定位体上，在其纵向和横向上分别形成有一对相向的内表面，在使定位体分别嵌合在加工装置的多个定位销上时，各定位体的四个内表面中，至少三个内表面接触定位销，

其特征在于，各定位体包括多个长片，各定位体还包括将多个长片在其纵向上分割、并且随着从容器主体的底部朝向下方而逐渐变细的划分块。

7. 如权利要求6所述的基板收纳容器，其特征在于，将在各定位体的纵向上相向的一对内表面作为一对平行肋的内表面。

8. 一种基板收纳容器的定位方法，所述基板收纳容器通过多个定位体搭载在加工装置的多个定位销上，其特征在于，

在各定位体上，在其纵向和横向上分别形成一对相向的内表面，在使定位体分别嵌合在加工装置的多个定位销上时，使各定位体的四个内表面中的至少三个内表面接触定位销，

其特征在于，各定位体包括多个长片，各定位体还包括将多个长片在其纵向上分割、并且随着从容器主体的底部朝向下方而逐渐变细的划分块。

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