CN101071153A - 设计一个探针卡的方法 - Google Patents

Abstract

提供一种从由预定客户通过互联网提供的数据来设计探针卡的方法和系统。将预定客户提供的设计规则输入该系统，并编入到一个数据库中去。由一个自动的计算机系统来确定每一组设计规则的集体可行性，并传递给该预定客户。如果可行，另外一个软件允许该预定客户根据他们设计规则来建立确认包。这些确认包进一步由通常用来描述最终设计的图形文件和确定晶圆接合焊盘数据的确认文件组成。在该客户认可后，确认包被检查并转送到应用工程师。并提供探针卡性能的交互模拟。探针卡性能的数据被并入到一个整体的模拟演习，该整体模拟演习不仅包括该探针卡，还包括在试验中的装置和晶圆上的数据，以及自动测试设备上的数据。

Description

设计一个探针卡的方法

技术领域

本发明是关于一种交互式探针卡的设计流程。本发明特别地考虑了使用一个可通过互联网得到的自动化程序的用户化探针卡的设计。

背景技术

单个集成电路装置(芯片)典型地由在一个半导体晶圆上建立多个相同的装置来制造的。通常，这些流程企图在从该半导体晶圆分割单独芯片之前建立多个完全功能的集成电路装置。实际上，该晶圆自身的某些物理缺陷和在该晶圆的流程中的某些缺陷不可避免地导致一些芯片是“好”(完全功能)的，而一些芯片是“坏”(无功能和部分功能)的。通常希望在最后组装之前能够辨别出在一个晶圆上的该多个芯片中哪些是好的，并且最好是在将该芯片从该晶圆中分割出来之前辨别出来。所以，一个晶圆“检测器”或”探针”可方便地被用来为所述芯片上的类似的多个压接式接续焊盘(接合焊盘)制造多个离散的压接式接续。如此，该半导体芯片可在从该晶圆分隔出来之前被测试和实施。一个传统的晶圆检测器元件是“探针卡”。该探针卡具有多个用来连接到该半导体芯片的所述相应焊盘以便测试的探针元件。

传统上，制造探针卡的设计阶段必定涉及客户和探针卡制造商之间的重要的、并且经常是广泛的、费时的和直接的通信，例如对达到预期的设计规则、实施和装配限制来说，相互交流是必不可少的，而达到预期的设计规则、实施和装配限制对探针卡被赋予最终形式来说必不可少的。虽然，一个探针卡制造工程师在一个给定的时间内可收到几个工作指令，但是在给工程师提供某一详尽的客户设计信息值之前，一个特殊的探针卡的实际设计不可能开始的。最好在所有设计规则都得到客户的确认之前不开始实际的设计。接下来，工程师必须研制出一个满足这些规则的设计，并再次与客户确认该设计的可接受性。

由于互联网使得探针卡制造商与他们的客户之间的通信更加容易，因而互联网的出现潜在地加速了设计过程。尤其是当前探针卡制造商建立的网站使客户能够通过互联网发送和确认他们的设计规则。尽管这样，工程师仍然必须物理上设计每一探针卡，并等待相应的客户认可每一个设计，才能开始制造探针卡。为了改进这个程序，本发明提供一种在线工具使客户能够设计他们自己的探针卡。

发明内容

本发明满足了加快当前探针卡设计程序的需要。尤其是在客户输入他们的探针卡设计规则、接收用来实现设计的全部设计规则和接收确认文件时提供了一个交互过程。每一组设计规则的集体可行性由自动化计算机系统确定并传送到客户。如果可行，另一软件使预定客户能够根据他们相应的设计规则来建立确认包。这些确认包进一步包括通常用来描述最终设计的图形文件和确认文件例如确认晶圆接合焊盘的数据的文件。需要时，确认包可由客户检查和修改。该过程反复地进行，直到客户对最终的设计满足为止，此时该设计规则和确认包被传送到探针卡制造设计工程师以便制造该探针卡。

在另一实施例中，本发明提供一种探针卡模拟，在该模拟中，预定客户可以检查所建议的设计的信号完整性和确定合适的“最坏情况”信号响应或退耦行为。在模拟过程中，除检验信号响应和退耦行为外，在另一实施例中，其他设计因素和参数可被模拟，例如功能正确性、延时正确性、全球和本地信号畸变(在特殊的组中或者在所有信号之间)、串扰分析(延时、插入或者其他现象)、电源完整性和抖动效应等。

在另一个实施例中，提供了探针卡性能的交互模拟。探针卡性能的数据被并入到一个整体的模拟演习中去，该整体模拟演习不仅包括该探针卡，还包括被测设备(或DUT)上的数据以及自动测试设备上的数据。

通过考虑下面详细描述的较佳实施例，本领域的技术人员将会对设计一个探针卡的原理和系统有一个更全面的理解，并且也将对附加的优点和目标有所认识。参考附图，其中该附图在下文中有简短的描述。

附图说明

图1A是用于晶圆测试的晶圆探测仪器的示意截面图；

图1B是图1A所示晶圆探测仪器沿箭头1B所示方向的透视俯视图；

图2是设计一个探针卡的传统程序的流程图；

图3是本发明一个较佳实施例方框图；

图4是根据本发明一个实施例的设计一个探针卡的程序的流程图；

图5是根据本发明一个实施例的产生一个设计确认包的步骤的流程图；以及

图6是根据本发明一个实施例的产生一个探针卡模拟的步骤的流程图；

具体实施方式

本发明满足了建立用户化探针卡的规格和设计规则、确认设计的正确性以及用于制造的最后文件的确认包对可访问的互联网系统的需要。特别地，该系统允许客户交互地设计和校验探针卡，其中包括通过模拟，因而减少了探针卡订购程序的时间。在下文的详细描述中，在一个或多个附图中出现的相同的附图标记用来描述相同的单元。

图1A是用于晶圆测试的晶圆探测仪器的示意截面图。一个晶圆32包括多个安装在一个硅片夹30上的半导体装置或芯片(没有单独示出)。大量接合焊盘34例如几百个相同的接合焊盘，形成在每一个芯片的上表面上。分别与每一个接合焊盘34相对应的探针26被设置并固定到一个探针保持板22上，并直接安置在该晶圆32的上方。图1B是所述探针的布置示意俯视图，是图1A所示晶圆探测仪器沿箭头1B所示方向的透视俯视图。该探针保持板22被固定在一个板保持构件20中，并进一步包括多个导电图案24，这些导电图案是电气连接到每一个相应探针26。这些导电图案还电气连接到一个分别位于晶圆测试头10上的弹簧针阵列12。

图2示出了用于设计探针卡的传统程序的流程图。当一个探针卡制造公司从客户那里接收到的一个特殊探针卡的大体设计规则时，这个程序就从步骤100开始。这些设计规则被传送到工程师，其中这些设计规则在步骤110被测定。如果在步骤120时工程师对这些规则有疑问的话，在步骤125中联系客户，并在步骤110重新评定该设计规则；如果没有疑问，工程师在步骤130产生探针卡的初步设计。这个初步设计在步骤140时被送到客户，此时该初步设计将在步骤150被认可，或者将再在步骤155中进行进一步的通信。如果客户在步骤150时认可该设计，该设计在接下来的步骤160中制造；否则，客户需要在步骤155对设计修改作详细的说明，并且该修改后的设计被送到步骤110进行重新的评定。可见，在一个设计最后定下来之前，探针卡制造商和客户之间要有大量的相互交流。

图3是本发明一个较佳实施例的方框图。特别地，一个预定的客户210通过互联网200连接到一个探针卡设计网站220。该客户210包含某些形式的具有适合在互联网上通信的浏览应用程序的计算装置，例如个人计算机、便携型计算机、个人数字助理(PDA)、蜂窝式电话等。该探针卡设计网站220进一步包括一个直接连接到一个HTML(超文本链接标示语言)文件数据库224和一个应用处理器226的web服务器222。通过该应用处理器226也连接到该web服务器222的是一个客户信息数据库228，还可以是该客户210做出的历史设计、某一客户特殊的设计历史或参数以及一个设计约束条件数据库230。该设计约束条件数据库230包含设计规则数据库232、历史设计234(例如该范围不包括用户化探针卡购买方的保密资料)、制造/设计的实践和服务商236(例如将导致一个更有效率的设计或一个更容易及高效的人造探针卡的产生的设计参数或规则，和将影响电子部件的选择的声称相关的空间和其他机械的约束)以及设备信息238(例如特殊的测试机器的参数和约束条件)。进一步的解释，该实践和制造数据库236可包括一个指南，该指南建议客户210利用设计容易的因素例如改进型弹簧分配、DUT扰乱、LGA(矩栅阵列)分配基底设计和连线表等。实践和制造数据库236还可提供建议的设计修改，该建议设计修改可使该设计简单化并使其更便宜(例如更少的PCB层、更少人工制造路线设计、更少的SXF层)或者更显著地加速设计周期(例如提供该设计的主要部件的重复利用、例如PCB板或模块)。该web服务器222处理从网站220来和到网站220去的通信，并通过互联网200以HTML文件的形式将数据传送到客户210。该应用处理器226提供某一数据处理应用程序和与该网站服务器222的通信。

通过该探针卡设计网站220，客户210可建立密码保护的帐户，该密码保护的帐户可被用于进入一个在该应用处理器226上执行的以便设计和校验用户化探针卡的自动应用程序。然后，这个设计的确认文件由该应用处理器226自动产生，并输入到该客户信息数据库228中去。现有的设计自动应用程序可被加入到数据库224的HTML文件中去，以帮助产生确认数据，该确认数据实际上是以确认为目的而产生的实际的设计。然后，工程师接收到这些设计文件，并在制造之前认可该设计文件。虽然图3只示出单个客户210，但是可以预想许多个独立的客户可以以类似的方式与该探针卡设计网站220进行通信。

图4是根据本发明一个实施例的设计探针卡的自动程序的流程图。一个预定客户210通过该探针卡网站220从步骤300开始该进程。如果在步骤302时该预定客户210具有一个现有的在线帐户(在一个较佳实施例中，它是该客户信息数据库228中的一部分)，这个帐户在步骤308中被记录；否则该预定客户210必须先在步骤304中注册一个帐户，并在在步骤308存储该帐户之前在步骤306中收到帐户确认。应注意的是该注册程序中的部分可包括输入帐单、发货信息以及类似信息，这些信息是用于以后对客户帐户进行收费的。

一旦帐户被接受，该客户210在步骤310中被要求选出一组预先确定的包含在反复的设计中重复使用的规格的探针卡模板。这些模板中的规格包括检测器模型、检测器的物理结构、电子元件的位置标准、制造规则的标准和标准形象图形等，以便装上该探针卡。如果在步骤3 12中没有得到想要的模板，客户210在步骤314中被要求通过探针卡设计网站220交互地完成这些信息。然后，在步骤316中，该客户建议的模板规格的变更的可行性将以自动的方式被应用程序校验。这个最初的校验可通过将该模板规格的建议变更视具体情况而定而以与已知的数据库或图表、已认可的设计作比较来完成或代替地该建议模板顺序地受到自动或模拟测试来完成。如果在步骤316中测定的该模板不被接受，该程序返回到步骤310，在该步骤客户被请求对该模板进行进一步的变更或设计更改。还要在设计规则程序库232和设计实践程序库236中测定，以便促进最后规格的形成。反之，如果该模板被接受，接下来，在步骤318中，客户210被请求开始描述他们的特殊晶圆32的更详细的规格例如接合焊盘34的方向、晶圆32的尺寸和信号的特征，以将他们的特殊的晶圆32描述成在线客户信息的形式。可预期该模板将是客户特有的。被接受的、甚至被建议的为特殊的客户而对模板作出的变更也被存储在该客户资料数据库228中。

接下来是步骤320，该客户210利用一系列的下拉式菜单选出所需的探针卡规格，其中包括探针卡的尺寸、弹簧针12的方向和探针26的数目。注意，该弹簧针12的方向最好卡在并固定在该模板中；一旦在该模板中弹簧垫被最优地分配，只有在特殊情况下才需要转动该弹簧垫。在步骤322中，客户210确认通过该探针卡限定检测器和该芯片之间的连接的“检测通道分配”。表示一个芯片的连接的包括已在该探针卡模板中限定的标准化元件的示意图被反馈。一旦该单个芯片的清晰度被接受，需要时客户210既可手工地从一个标准化元件库中编辑这个示意图以包括另外元件，也可允许该应用程序自动产生这些另外的元件。如果需要特殊元件，客户可详细列出这些新元件的卖主、零件号码和规格。应理解，下拉式菜单的数目不限于上述的三个，它可以是设计元件的数目的任何一个。为每一个设计进程(或设计因素)和该探针卡的机械元件例如加强板、内插板、固定夹、区域部署和电子元件生成一个模板，其中它们之中的每一个是单独地被认可的，然后集合起来作为一个完整的设计被认可的。

应理解，客户210可在所述进程中每一个所述的步骤中交互地接收到确认信息。正如所述，这个信息也可包括以帮助产生确认数据的设计自动应用程序。例如为了确认焊盘的位置、名称和方向，而自动产生了接合焊盘34的示意图。一旦被确认，该程序可自动产生一个基于预先确定的布线规则的线路图。如果该线路图可以在预先确定的规则下产生的话，该线路图显示给客户210，以校验该探针元件触头的位置和该相对的焊盘的位置之间的匹配以及信号的类型。否则，将通知该客户210，并给予该客户进一步修改该探针卡规则和重复该线路图产生的过程的机会。此时，该客户会被提示进入下一个步骤。类似的程序被用于其他方向信息以应用于检测器，该方向信息包括阵列线路图、与晶圆槽相对的阵列方向和晶圆槽方向。为了简明起见，图4没有示出这些单独的校验步骤，而由步骤318、320和322相应的部分代替。应注意，该探针卡的设计不必限于探测晶圆上的相同的芯片。更合适地，该探针卡设计可以是探测一个单个晶圆上的许多不同的芯片的。

进一步的解释，该模板选择过程可更明确地包括许多子模板例如：(1)一个显示该探针布线可能性、单个被测设备(DUT)和多个被测设备的探针布线应用程序；(2)一个选择模块和实现网表的空间转换应用程序；(3)一个将包括例如层数、DUT分配和路由效率的PCB应用程序。客户特殊的模板将被储存在用户汇总目录228中，与普通的模板的处理不同，任何客户都可通过网站220的普通模板数据库而得到这些普通的模板。该可行性/客户校验步骤318至324可使该客户能够提供准确的设计规则，并在制造商将大量的时间和资金投入该设计进程之前确认该设计的可行性，因而减小了必要的设计校正和制造商的设计错误的可能。

一旦完成，在步骤324中，该客户的信息形式被用于产生一个设计确认包。包括一个图形文件、确认文件和一个核对清单文件的所述确认包被客户在步骤330中重新检查。如果客户210在步骤328时认可该设计，该设计将被工程师在步骤330中重新检查。还应认识到，该重新检查步骤330可被省略和/或被用于接收认可信息的自动系统比较所代替，因而进一步减少了该设计中工程师的花费的时间和设备以及减少了认可程序。如果该客户210不认可该设计，将返回到步骤318，该步骤提供用于修改和认可的客户信息形式的预成型方案。如果在步骤332中得到探针卡制造工程师(或系统)的认可，合同信息的确认将在步骤336中完成。如果没有校验的话，该客户210在步骤334时被告知，并且返回到步骤318，其中客户信息形式的预成型方案中需要修改的地方被高亮地显示出来。如果合同信息(例如定价、时限、交货限制和运输设备等)在步骤336中得到确认，该设计将被传送到步骤342中以便制造。实际上，该制造可能需要进一步和另外的设计步骤例如模块、PCB版面设计和连线表。接下来的图4为一个用户探针卡设计和一个该设计的产品合同产生可行性分析和确认。相反地，如果该合同信息没有在步骤336中被确认的话，将在步骤338中告知该客户210，并要求客户在步骤340中再访问该信息。在步骤340收到新的信息后，合同信息再经过步骤336中的校验程序。

应理解，客户210可以随时停止该探针卡设计期和随时重新进入。在该客户210完成该程序之前，该设计都被当作“在进行中”，在变化发生时不需要修正控制。一旦客户210“完成”该设计时，该设计被置于修正控制中，并且该设计的任何改变此后都被记录下来并且储存在该客户信息数据库228中。应理解，该客户可在不与探针卡制造应用工程师通信或沟通的情况下，完成整个探针卡的设计程序。当该客户210希望与应用工程师通信时，客户也可具有引导一个与该应用工程师的在线交互式会议的选择权，其中客户210可在与工程师通过电话通话的同时通过网站220检查该设计。然后，该应用工程师可以检查该探针卡设计程序的状况和确定该程序中那些步骤已被完成。

图5是根据本发明一个实施例产生一个设计确认包的步骤的流程图。客户210通过在步骤400中从该探针卡设计系统数据库224中取回模板文件而开始该进程。此时，该模板文件最好是已被认可的设计。客户210通过在步骤405打开一个印刷电路板(PCB)图形文件并在步骤410确认该适当的弹簧针12的方向的来继续该进程。在步骤415，该PCB被标记上与特殊PCB设计相关的信息，其中包括客户的设计名称和晶圆图的名称。一旦该PCB被标记。步骤420将产生一个探针布线文件。然后，在步骤425中，该探针卡设计系统220中的一个内含功能为该特殊的设计确定探针阵列26的适当的旋度。应理解，步骤420和425也可与步骤405、410和415同时进行。在步骤430中，该程序以该探针布线被复制到该PCB图形文件上来继续着。步骤435接着为该设计标记相关的机械信息例如该PCB板的直径、接合焊盘34的尺寸和探针阵列26的方向。然后，在步骤440，这个图形文件被保存到一个直接放置在该探针卡设计系统数据库224中的确认包中。

在步骤445，该系统进行普通的检查以确认该图文文件与客户提供的信息一致。然后，在步骤450中，从该探针卡设计系统数据库224输出接合焊盘34的信息，并在步骤455中用该信息为该特殊设计产生该确认文件。应注意，与每一单独的接合焊盘34的特性相关的信息也被包含在该确认文件中。特别是，该确认文件包括与该晶圆32相关的每一单独接合焊盘34的位置(例如用xy坐标系来表示)和被探测的信号的类型。在步骤460中，与客户提供的信息相一致的接合焊盘34的数据被确认。在确认其保真度后，然后在步骤465中，该确认文件和与其相应的图形文件一起被保存在该探针卡设计系统数据库224的一个确认包目录中。在步骤470中，一个清单文件被加入到该确认包目录中，其中，在步骤475时，该清单文件与已产生的图形和确认文件被压缩在一起。在这些文件被压缩后，该确认包在步骤480中被完成，并使客户能够得到该确认包。在该进程的中间点例如引导脱机分析时，用户可以取回并检查该确认文件。也可使用传统的技术对该确认文件进行加密，以对客户的设计保密。

应理解，上述的进程是很可能高度交互进程的概括。可进一步理解，该进程很可能在设计阶段中出现允许客户210根据该具有当前探针卡结构方法的设计用不同的接合焊盘34布线图作试验。因此，该探针卡设计网站220仅允许客户210继续进行符合这样的方法的设计。

在一个较佳实施例中，该探针卡设计网站220还可被用于交互地设计一个产生一个最佳测试互连系统的物理和电气设计。特别地，本发明将允许客户210检查一个建议设计的信号完整性以及确定一个适当的“最坏情况”信号响应(也就是系统对单独信号的极值的响应)或者退耦行为(也就是系统对各种同时工作的信号的响应，例如在WC-BC环境、材料和制造过程状况下)。图6是一个提供整体系统模型的探针卡模拟步骤的流程图。客户210在步骤500中通过该探针卡设计网站220开始该步骤，并在步骤505中记录在系统中。在步骤510中，客户210通过从客户信息数据库228打开期望的探针卡设计文件来继续该进程。为了建立一个整体系统模拟，与客户用来测试该探针卡的所期望的测试设备相关的规格在步骤515中被输入。

在步骤520中，客户210决定是否进行一个自动模拟或一个基于特殊规则的模拟。在自动模拟中，对各种信号特性和探针卡布线的响应由该探针卡设计网站220自动地确定。如果客户210在步骤520时选择了自动模拟，该自动模拟将在步骤530中运行。反之，客户210在步骤525中输入期望的模拟规则，并在步骤530中运行该用户化模拟。在一个较佳实施例中，客户210能够从该探针卡设计网站220中大量的各种自动模拟中进行选择。例如，客户210可选择执行一个模仿新设计的探针卡在只提供电压时系统的响应的模拟，或者客户可选择执行一个更高级别的其中多个逻辑信号都具有一个特殊的类型(也就是高或低)的模拟。在一个较佳实施例中还可得到客户210希望确定该系统对特殊信号的响应的客户化模拟。反映这些模拟结果中任何一个的数据在步骤535时被客户接收到，并在步骤540中被分析。根据该探针卡所期望的设计规则，客户210可重复这个进程以便在步骤545中运行另一个模拟或在步骤550完全停止该模拟。当许多模拟被运行时，示范性的电气模拟可被用于确定功能的正确性、延时的正确性、全球和本地信号的畸变(例如在特殊的组中或在所有信号之间)、串扰(例如延时、感应等)分析、电源完整性以及抖动效应。

上述的设备模拟可通过各种方式来完成。例如，晶体管模型(也就是描述电特性的模型)或探针卡性能的其他相关数据被输出到客户210以便包含在一个包括模型用的设备和将用于测试该设备的自动测试设备系统的整体的模拟演习中。交替地，数据可直接从客户210输出到该探针卡设计网站220。进一步举例，一个探针卡模拟模型可包含在一个模拟引擎中，该模拟引擎可被送到客户210。这将使客户能够用矢量来“引导”这个模型并且从模式中产生响应，该响应可被分析。终止数据或硬件加密狗可作为该模型的一部分以限制该模拟或应用。在包括专有信息的该数据要求额外的保密的情况下，设计模拟可通过该客户210与该探针卡制造商之间的单独联接来进行。通过这种方式，该测试过程的一个包括该探针卡互相连接的系统效果的完整模拟可被建立以用来校验该整个设计、并预测该探针卡集成到一个特殊的测试系统中的影响和遵守一组已给定的设计规则。

在另一个实施例中，该模拟可通过互联网现场地进行。该探针卡模型将储存在该探针卡制造商的服务器(探针卡数据网站)220上，并且该模拟文件和该预期的响应被客户210传送到服务器220。一旦完成该模拟，该模拟的结果就被传送到客户210。通过一个安全的渠道例如加密以及其他渠道来完成这些通信。

通过对设计探针卡的方法和系统的较佳实施例的描述，所描述的系统所具有的某些优点对本领域技术人员来说是显而易见的。同时还可以认识到，在本发明的范围和精神之内可作出各种的改进、修改和变更的实施例。本发明通过权利要求书进一步限定。

Claims (29)

1、一种用于制造探针卡的方法，所述方法包括：

通过网络在本地计算机系统处接收来自远程计算机系统的描述要被测试的晶圆的信息；

根据所述信息在本地计算机系统处产生验证包，所述验证包包含至少一用于描述用于测试所述晶圆的探针卡的建议设计的电子文件；

电子化确定所述建议设计的可接受性；及

向所述远程计算机系统传输所述建议探针卡设计的所述可接受性。

2、如权利要求1所述的方法，其进一步包括在所述远程计算机系统处提供由所述用户使用的图形界面以启用所述描述要被测试的晶圆的信息的输入。

3、如权利要求2所述的方法，其中所述图形界面包括至少一网页。

4、如权利要求1所述的方法，其进一步包括通过所述网络，在本地计算机系统处从所述远程计算机系统接收要制造所述建议探针卡设计的电子订单。

5、如权利要求1所述的方法，其进一步包括在本地计算机系统处电子验证所述建议探针卡设计。

6、如权利要求5所述的方法，其中所述电子验证进一步包括所述建议探针卡设计的电子仿真操作。

7、如权利要求5所述的方法，其中所述电子验证进一步包括执行所述建议探针卡设计的自动仿真。

8、如权利要求5所述的方法，其中所述电子验证进一步包括执行基于特殊规格的仿真，所述特殊规格是由所述预期客户指定的。

9、如权利要求1所述的方法，其中所述验证包进一步包括展示所述建议探针卡设计的图形的电子文件。

10、如权利要求1所述的方法，其中所述传输进一步包括将对所述建议探针卡设计的建议修改传输到所述远程计算机系统。

11、如权利要求1所述的方法，其进一步包括根据所述建议探针卡设计制造探针卡。

12、一种在服务器端计算机上执行的设计探针卡的方法，其中所述探针卡提供测试信号界面，所述测试信号在测试器和要被测试的半导体设备之间，且所述探针卡包括用于与所述测试器进行电接触的测试器触点，用于与所述半导体设备的终端进行电接触的探针，及将所述测试器触点中一些触点与所述探针中的一些探针连接的电子路径，所述方法包括：

在所述服务器端计算机处接收来自远程客户端计算机装置的描述所述半导体设备的设备信息；

在所述服务器端计算机处接收来自所述远程客户端计算机装置的描述所述探针卡的探针卡信息；

根据所述设备信息和所述探针卡信息在所述服务器端计算机处产生验证包，所述验证包包含所述探针卡的建议设计；及

向所述客户端计算机传输所述验证包。

13、如权利要求12所述的方法，其中所述接收描述所述探针卡的信息包括：

向所述客户端计算机发送识别多个存储在所述服务器端计算机的探针卡模板的数据；及

从所述客户端计算机接收选择所述探针卡模板中的一者的数据。

14、如权利要求12所述的方法，其中所述设备信息包括所述半导体设备的接合焊盘的方向、所述半导体设备的尺寸和所述半导体设备的输入和/或输出信号特性中的至少一者。

15、如权利要求14所述的方法，其中所述探针卡信息包括所述探针卡的尺寸、所述测试器触点的方向，所述探针的方向和所述探针卡的电子组件中的至少一者。

16、如权利要求15所述的方法，其中所述探针卡信息进一步包括关于所述测试器配置的信息。

17、如权利要求12所述的方法，其中所述探针卡设计包括所述测试器触点的布局和所述探针的布局。

18、如权利要求17所述的方法，其中所述验证包进一步包括描述所述设备终端的信息，包含所述设备终端的位置和与每一所述终端相关的信号的类型。

19、如权利要求12所述的方法，其中所述服务器端计算机与所述客户端计算机通过计算机网络通信。

20、如权利要求19所述的方法，其中所述计算机网络包括公共国际互联网络。

21、一种验证探针卡设计的方法，其中所述探针卡被设计为提供在测试器和要被测试的半导体之间的测试信号的界面，所述方法包括：

存取描述所述探针卡设计的设计数据，其中所述设计数据包含说明测试器触点布局的数据，所述测试器触点用于与所述测试器电连接；用于与所述半导体设备的输入和/或输出端连接的探针；以及所述测试器触点和所述探针之间电连接器；

写入描述所述测试器操作的信息；及

初始化所述探针卡设计的计算机仿真。

22、如权利要求21所述的方法，其中在所述存取步骤存取的所述探针卡设计数据存储在服务器端计算机上，且所述存取、写入和初始化步骤在远离所述服务器端计算机的客户端计算机上执行。

23、如权利要求22所述的方法，其中所述客户端计算机通过计算机网络与所述服务器端计算机通信。

24、如权利要求23所述的方法，其中所述计算机网络包含公共国际互联网络。

25、如权利要求22所述的方法，其进一步包括响应于所述初始化步骤，根据所述描述所述测试器操作的信息仿真所述探针卡设计。

26、如权利要求25所述的方法，其进一步包括在所述客户端计算机上接收所述仿真步骤的结果。

27、如权利要求25所述的方法，其中所述初始化步骤包括选择在所述服务器端计算机上存储的预定仿真次序。

28、如权利要求25所述的方法，其中所述仿真步骤包括仿真所述探针卡上的至少一动力估计，将高信号驱动通过所述探针卡，并将低信号驱动通过所述探针卡。

29、如权利要求25所述的方法，其中所述仿真步骤包括确定所述探针卡的至少一正确功能，通过所述探针卡的信号的传播延时的可接受性，偏斜通过所述探针卡的信号的可接受性，以及通过所述探针卡的信号路径之间的串话范围。

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