CN101219446B - 具有平面化的边缘表面的挤出头 - Google Patents

具有平面化的边缘表面的挤出头 Download PDF

Info

Publication number
CN101219446B
CN101219446B CN2007101676844A CN200710167684A CN101219446B CN 101219446 B CN101219446 B CN 101219446B CN 2007101676844 A CN2007101676844 A CN 2007101676844A CN 200710167684 A CN200710167684 A CN 200710167684A CN 101219446 B CN101219446 B CN 101219446B
Authority
CN
China
Prior art keywords
plate
edge surface
extruder head
cavity
reference plane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2007101676844A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101219446A (zh
Inventor
D·K·富尔克
T·S·齐默曼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SolarWorld Innovations GmbH
Original Assignee
SolarWorld Innovations GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SolarWorld Innovations GmbH filed Critical SolarWorld Innovations GmbH
Publication of CN101219446A publication Critical patent/CN101219446A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101219446B publication Critical patent/CN101219446B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • B81C99/0005—Apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of microstructural devices or systems, or methods for manufacturing the same
    • B81C99/0015—Apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of microstructural devices or systems, or methods for manufacturing the same for microextrusion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
    • B29C48/03—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor characterised by the shape of the extruded material at extrusion
    • B29C48/05—Filamentary, e.g. strands
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
    • B29C48/03—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor characterised by the shape of the extruded material at extrusion
    • B29C48/07—Flat, e.g. panels
    • B29C48/08—Flat, e.g. panels flexible, e.g. films
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
    • B29C48/25—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C48/30—Extrusion nozzles or dies
    • B29C48/345—Extrusion nozzles comprising two or more adjacently arranged ports, for simultaneously extruding multiple strands, e.g. for pelletising
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y10T156/1052—Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing
    • Y10T156/108—Flash, trim or excess removal

Abstract

一种用于在微挤出设备中制作高纵横比的网格线结构的共挤出头，包括多个板(如金属板)，它们被加工并装配成限定了三部件的流道，该流道具有沿挤出头的边缘表面布置的相关出口。参照面在板上得到蚀刻并沿与三流道空腔的输出接合部相交的直线排列。装配后(如使用高压结合技术)，每个参照面被定位于在边缘表面上设置的槽内。接着采用作为精确导向的参照面将共挤出头的边缘表面平整(如使用线EDM切割加工)，由此生成具有均匀流动阻抗的均匀长度的出口孔。

Description

具有平面化的边缘表面的挤出头
技术领域：
本发明涉及微挤出系统及方法，尤其涉及一种用于可同时生成大批量相对精密的挤出结构的挤出头的制作方法。
背景技术
现有的挤出技术一般是通过模具来推和/或拉一块物质来制作杆、轨道、管路等等。这一能力有益于多种应用。其广泛地应用于食品加工如面食、谷物、快餐等，填充馅饼(例如蛋白甜饼)的管路，将小甜饼压入甜饼锅，在蛋糕上制作花边等。挤出技术也可应用于生活消费品领域，例如将不同颜色的牙膏混合挤到牙刷上。
微挤出则是将细微的挤出结构(如宽度和高度小于50微米)挤出到一个目标基底上。典型的用于微挤出系统的挤出头包括多个金属板，所述金属板采用公知的高压晶片粘合技术层合在一起，其中一个或多个板被加工而形成与在挤出头边缘面上限定的关联的出口孔连通的多个流道。挤出物质通过入口孔被插入流道，使得挤出物质通过出口孔被成形并被挤出而分布到目标基底上。
由于具有细微的结构，由微挤出头产生的网格和其他挤出结构对于流道形状以及出口孔与基底表面的距离的变化非常敏感。尤其是，在出口的最小最窄的部分的压力非常大，因此出口形状、距离的变化可能导致多孔系统的流动阻抗发生很大的变化。由于流道和出口孔沿挤出头的边缘面呈长直线排列，因此重要的是挤出头的边缘面尽可能地接近完美的平面。也就是说，在制作挤出头的过程中轻微的偏差就会导致边缘面呈非线性，尤其是在出口孔处，导致微挤出结构不理想或甚至不可接受。
此外由于装置的塑性变形(如在高压粘合过程中)，制作的挤出头可能出现不可避免及无法预期的形状变化。出口孔位置已经漂移的情况下，给制作形成具有相同的流动阻抗的出口孔带来一种挑战。
微挤出系统的挤出头需要相同的出口阻抗，以使得通过挤出头形成的微挤出结构是坚固的和可靠的；同时也需要一种产生这种高度平面化的边缘面的微挤出系统的挤出头的制作方法。
发明内容
本发明涉及一种用于微挤出设备的挤出头，该设备利用至少一个精确参照面来方便挤出头的边缘面的修整以得到预定的形状(例如平面)。挤出头由多个板件(例如金属板)组成，所述板件通过使高压粘合技术粘合到一起而形成一种复合结构。所述复合结构的中心板件在粘合工艺之前经过蚀刻，以包括组成流道的入口、孔，用于挤出物质通过出口孔被挤出到目标基底上。根据本发明，中心板件使用相同的掩模(mask)蚀刻出参照面用于形成空腔/入口。在粘合步骤和任选的切割步骤之后，不同板件的侧边形成共挤出头的边缘面，其中空腔的出口部在边缘面中形成间隔开来的出口孔，而参照面分布于边缘面上间隔开来的缺口(槽)中。由于组装步骤，挤出头的边缘面起初是非平面的，因此需要后续的平整步骤才能得到要求的挤出头。根据本发明的一个方面，边缘面的平整精度以参照面为参考；去除多余的材料(如磨削等)直到参照面与边缘面保持一个预定的距离。通过使用所述方法中的参照面制作出挤出头，其带有高平面化的边缘面，所有限定在边缘面上的出口在后来的微挤出步骤中被一律可靠地定位于一目标基底的上方，从而避免出现使用传统方法在制作中常见的问题。
根据本发明的一个实施例，一种用于在基底表面上制作密间隔的、高纵横比的网格线结构的微挤出设备，其中该网格线和一种牺牲(sacrificial)物质被共挤出到基底表面上，使得高纵横比的网格线被支撑在两牺牲物质部分(随后去除所述牺牲物质)之间。形成这种共挤出结构需要将网格线物质压缩在两牺牲物质部分之间，而这需要以一种方式使用一种较宽的三分支流道以及较窄的出口，从而将网格线物质压缩在两牺牲物质之间。由于三分支流道的孔具有一定宽度，使得每个挤出头的出口孔之间的空间(因此，挤出网格的间距)大于出口孔自身的尺寸(即在共挤出头的相邻出口孔之间提供一个相对大的空间)。根据本发明，相邻的出口孔之间的相对宽的空间被用于提供一系列参照面，以使每个出口孔位于挤出头的边缘面的两个相应的参照面之间。多个相对均匀间隔的参照面都被精确地蚀刻来限定与边缘面平行的直线，以保证边缘面精确的平面化。
根据本发明的另一实施例，在一系列板上形成多排流道和供给流道来制作多个共挤出头，每排蚀刻的特征对应于关联的多个共挤出头之一。蚀刻的板件被粘合在一起而形成一个多头模块，再经过切割而形成单个的共挤出头。此实施例中，每个空腔(即流道)的出口部包括一个T形开口，在此开口处流道形成所述T形开口的中央垂直部，参照面则沿T形开口的上水平部向下形成条状部的下端。设置与挤出头的多个流道关联的T形开口，使得T形开口的上水平条状部限定一条直线。当多头模块之后被切割时(即分隔成单个的挤出头)，切割沿T形开口的上水平部限定的直线进行。因此，切割暴露出各挤出头的边缘面，每个切割粗糙的边缘面包括一条长直线的出口和分布在出口相对侧的参照面。然后再对复合结构的粗糙边缘面进行平面化，如磨削和/或抛光，在此期间使用参照面来控制去除物质的总量，从而得到一个用于制作挤出结构的高精度平面化的边缘面。因此，前述具有大量T形开口的多头模块方便了带有高平面化的边缘(出口)面的挤出头的经济、可靠的制作。
附图说明
通过以下说明、附加权利要求和附图可以更好地理解本发明的这些和其他特征、方面和优点，其中：
图1是表示本发明一个实施例中的一种用于微挤出设备的共挤出头的一部分的横截面图；
图2是表示根据本发明一个实施方式用于制造图1所示共挤出头的一般过程的流程图；
图3是表示图1所示共挤出头的一部分的分解透视图；
图4是表示图1所示共挤出头的一部分的装配透视图；
图5是表示带有图1所示共挤出头并且微挤出用于同时在底物上施加两种或多种物质的一种微挤出设备的透视图；
图6A、6B是显示在图1所示共挤出头内限定的一种三分支流道的横截面侧视图；
图7是显示使用图6B所示共挤出头在一个底物表面上形成的示例性共挤出网络结构的横截面侧视图；
图8是显示根据本发明另一实施方式用于制作多个共挤出头的一套金属板的分解透视图；
图9是显示图8所示一套金属板中的三个中心金属板的详细分解透视图；
图10A、10B、10C、10D是显示通过粘合图8所示的金属板所形成的多挤出头模块的一部分的横截面图，并描述了根据本发明一个实施例的边缘面的切割和平面化过程；
图11表示包括根据本发明制作的网格的光电池；以及
图12是表示一种示例性等离子显示面板的一部分的简化横截面图。
详细描述
图1表示挤出头130的一部分，其组成了根据本发明一个实施例用于在基底101上形成挤出结构的微挤出设备，。如下文详细所述，挤出头130包括多个板(如金属板)，它们形成多个流道(如流道131-1、131-2)，物质通过上述流道穿过沿边缘表面139(在图1中以边缘视图示出)设置的出口孔(如出口孔135-1、135-2)被挤出。每个流道(如流道131-1)包括中央流道132，其位于两个相对(第一和第二)的侧流道133和134之间，上述三个流道通过输出接合部(输出部分)137与相关联的出口孔135-1连通。每个中央流道132带有基本上独立的入口端及与输出接合部137吻合的相对出口端。同样，侧流道133、134具有基本上独立的入口端，所述入口端与中央流道132形成一定角度，使得它们相应的出口端会聚于输出接合部137。如下文所述，挤出物质分别通过入口孔212、223、224进入每个流道131-1、131-2的出口孔135-1、135-2，沿相应的流道前进到输出接合部137，最后分别通过出口孔135-1、135-2从流道131-1、131-2排出。虽然该实施例中描述了互相联通的流道布置成箭头形，但本发明还可以包括任意数目的直线分支(如一条单独的与其他出口连通的直线流道)的流道。
根据本发明，挤出头130可包括多个参照面(如参照面241、242)，其限定了一条与边缘表面139所限定的平面P平行的直线L。参照面241、242限定的直线L与每个挤出流道131-1、131-2的输出结合部137相交。根据本发明的一个方面，参照面241、242设在凹痕(槽)238中，使得每个参照面241、242距平面P的距离为Z2。如下文所述，以此种设置产生的参照面241、242可以便于边缘面139可靠并高度精确的平面化。
图2是描述了本发明一个实施例中用于制作挤出头的一般过程的流程图。下文参照图3、4描述所述一般过程，它们表示的示例性实施例与图1所示的挤出头130相一致。
参照图2和图3所示的上模块50，制作挤出头的第一步骤是形成(第一)板230(如金属板)以及与之相对的(第二、第三)板210、220，使得所述板限定了多个挤出空腔231-1和231-2、多个参照面241和242、相关的入口孔212、223和224。在一个实施例中，板210、220、230是厚度约为0.075-0.150mm的金属板，并且形成步骤包括微加工程序，例如光化学加工。在此实施例中，板件包括端部结构236-3，并且每个挤出空腔23 1-1、231-2由箭头状开口限定，所述开口包括中心空腔232及相对的(第一和第二)侧空腔233、234。中心空腔232通过第一锥形指部236-1与侧空腔233隔开，并通过第二锥形指部236-2与侧空腔234隔开。每个中心空腔232包括由端部结构236-3和锥形指部236-1、236-2限定的闭合端，以及与接合部237相一致的开口端；中心空腔与在板件230的侧边缘239上限定的开口235连通。同时，侧空腔233、234带有由端部结构236-3、锥形指部236-1和236-2限定的相关闭合端连通，并与中心空腔232成一角度以使它们相应的开口端通过结合部237与开口235连通。参照面241、242设置在侧边缘239的槽238中，其限定了直线L，直线L与挤出空腔231-1、231-2的接合部237相交。注意在下文所述的平面化步骤之前，参照面241、242与侧边缘239保持相对较大的距离Z1。
由于侧空腔233、234向开口235逐渐变窄，因此每个挤出空腔231-1、231-2的有效宽度W实质上大于开口235。因此沿侧边缘239的相邻开口235之间的空间相对较大。也就是说由挤出头130加工的挤出结构之间的距离受到每个三分支挤出空腔231-1、231-2所需有效宽度W的限制。根据本发明的另一方面，为使侧边缘239在输出开口235之间的部分发挥作用，参照面241、242被设置在由每个挤出空腔231-1、231-2限定的有效宽度W之内。如下文所述，平面化步骤所达到的精度级别与参照面241、242的数量以及它们与出口的相对位置成正比。通过将参照面241、242定位于挤出空腔231-1、231-2限定的有效宽度W之内，使参照面的数量最大化并且不必增加相邻出口之间的节距。
除了以前述方法形成中央板230之外，还形成了附加板210和220，以提供与每个空腔部分的闭合端连通的入口开口。如上板210限定第一入口孔(通孔)212，并且下金属板220限定第二入口孔223和第三入口孔224。利用被用于形成挤出空腔231-1和231-2的微加工技术形成入口孔212、223和224。如下文所述，组装后入口孔212与中央空腔232的闭合端对准，而入口孔223和224分别与侧空腔233和234的闭合端对准。
参照图2以及图4中的模块52，随后通过将中心金属板230固定在上金属板210和下金属板220之间而组装成挤出头130。图4是表示组装后的挤出头130的分解透视图。依照本发明的一个实施例，固定步骤包括使用公知的高压粘合技术将各个板件粘合在一起从而形成图1所示较结实的块结构。注意挤出空腔231-1与板210和220相应的部分共同形成相关联的流道131-1，该流道由与如前针对空腔部分232、233和234所述的方式设置的中心流道132和相对的侧流道133和134组成。还注意到板件210、220和230的侧边缘219、229和239分别组合以形成挤出头130的边缘表面139。如下文更详细地描述，被挤出的物质通过入口孔212、223和224注入流道131-1，并且注入的物质沿流道132、133和134到达由边缘表面139限定的出口孔135-1。最后上板210和下板220的一部分覆盖凹槽238的侧部，从而形成在边缘表面139上限定的凹痕，通过该凹痕参照面241和242与边缘表面139偏移初始距离Z1。
参照图2以及图4中的模块54，边缘表面面139随后经历平面化步骤，期间将物质去除直至边缘表面139接近一平面且各参照面241和242与边缘表面139保持预定距离Z2。
之后开始喷嘴深度调平(加工)步骤，如利用边缘表面139和参照面241和242之间的深度信息来指导电火花线切割加工操作(wire EDM)。可选择的加工方法包括但不限于电蚀刻加工、冲压加工或激光切割。
除图3、4中描述的层叠金属层结构之外，挤出头130还有很多种形成方法。在本发明的另一实施例中，根据本发明形成的挤出头用多层蚀刻金属板铜焊接而成。在另一情况下，挤出头可以采用光的可限定(photo-definable)聚合物如SU8的生成结构制造。此外，除这里描述的特殊网格线结构，挤出头130可被改进为用来制作一种均衡形状的结构，如共同拥有并共同待审的名称为“均衡形状的挤出结构”的美国专利申请序列号No.xx/xxx,xxx所述，(Atty Docket NO.20060464-US-NP(XCP-073))该申请在此全部引入作为参考。
图5描述了本发明另一实施例中的微挤出设备100。该设备100包括挤出装置110，其上固定有一个或多个共挤出头130-1和130-2，如前述每个共挤出头130-1和130-2与挤出头130保持一致。在该实施例中，挤出装置110连接到第一源111和第二源114上，其中第一源111包括牺牲物质112，第二源114包括网格线物质115。挤出头130-1和130-2可操作地连接到源111和114上，使得挤出头130-1和130-2同时将牺牲物质112和网格线物质115挤出到基底101的上表面102上。物质被推(如挤)和/或拉(热或冷，如真空)进入挤出装置110和/或共挤出头130-1和130-2，之后分别从共挤出头130-1和130-2的下端限定的出口135中挤出。
在一个实施例中，共挤出头130-1和130-2由挤出装置110夹持，使得它们各自的出口孔135互相平行且间隔分布。特别地，共挤出头130-1的(第一)出口(如出口孔135-11、135-12)沿第一方向X1延伸，第二共挤出头130-2的(第二)出口孔(如出口孔135-21、135-22)限定与第一方向X1分开且平行的第二方向X2。如名称为“间距紧密的、高质量挤出网格”的共同待审的美国专利申请序列号No.xx/xxx,xxx，(Atty DocketNo.20060464-US-NP(XCP-072))所提到的，该申请在此全部引入作为参考。设备100包括用于在与出口孔排列方向垂直的方向上移动挤出装置110(因此，还有共挤出头130-1和130-2)的机构(图中未示出)，并且网格线物质112和牺牲物质115以在基底101上形成平行的、细长的挤出结构120的方式由出口孔135被共挤出来，使得每个结构120的网格线物质形成高纵横比的网格线结构125，而每个结构120的牺牲物质则形成分别被布置在相应的高纵横比的网格线结构125相对侧的第一、第二牺牲物质部122。挤出结构120的形状(即网格125的纵横比以及牺牲部分122的形状)取决于挤出头130-1和130-2内的出口孔135和流道的形状，以及物质的特性(如粘性等)和挤出技术(如流速、压力、温度等等)。可用的网格线物质115包括但不仅限于以下物质：银、铜、镍、锡、铝、钢、氧化铝、硅酸盐、玻璃、碳黑、聚合体、石蜡，可用的牺牲物质有：塑料、陶瓷、油、纤维、橡胶和有机玻璃等，以及它们的化合物和/或其变形，还包括其他可获得所需密度、粘度、质地、颜色等的物质。共挤出头130-1和130-2的出口孔交错设置，同时形成紧密间隔的挤出结构120A，因此便于在基底101上以一定节距得到采用常规方法无法得到的高纵横比的网格125。在本发明的另一实施例中，使用单独的挤出头生成相隔较远的挤出结构120。
为了防止挤出之后物质互相混杂，通过如使用淬火部件170冷却基底而使离开挤出头130-1和130-2的挤出结构120在基底101得到淬火。备选地，此种应用中采用的墨水(ink)/浆糊可为热熔性材料，其在环境温度下凝固，在这种情况下印刷头(printhead)130-1和130-2得到加热，当挤出结构120A分布到基底101上时其被凝固。在其他技术中，从挤出头130-1和130-2出来的挤出物质也可以通过热、光和/或其他方法得到固化。例如，提供固化(curing)部件180用热和/或光的手段固化物质。如果一种或两种物质包括紫外线固化成分，则物质可被结合为固态形式，从而不必混合就可继续接下来的步骤。
图6A展示了共挤出头130-1的一部分，包括在生成金属网格位于基底101之上的流道130-11。由于参照面241、242实现的边缘表面139的精确平面化，因此在挤出过程中(也就是前述方法中共挤出头130-1相对基底101移动的过程)共挤出头130-1在基底101的上表面102上保持基本上固定的距离D。挤出头130-1与基底101之间的距离D取决于多方面的因素，例如挤出头130-1分配端相对于上表面102的角度(如从平行到垂直)，以提高输送的效率、整体精确度(如宽度、高度、长度、直径等)等等。要注意距离D一定要大于或等于挤出结构120-11的高度H(如图7所示)，以便于挤出头能够按图5中所示的方式交错排列。
图6B展示了共挤出过程中共挤出头130-1的相同部分。如白色箭头所示，网格线物质112被强制由第一入口孔212(见图3)注入中心流道132的闭合端，而牺牲物质115同时由入口孔223、224分别被强制注入侧流道133和134。如图6B中深色箭头所示，被注入的物质沿各自的流道下行。网格和牺牲物质受到流道132、133、134的锥形形状的压缩。在物质到达出口孔135-11时，网格线物质进一步受到通过侧流道133、134聚集起来的牺牲物质的压缩。压缩的流体被挤出后通过出口孔135-11，流到基底101上形成挤出结构120-11(如图7所示)。可以通过选择合适的物质和粘性、通过流道的适当锥度和/或通过保持薄层流动条件来实现网格和牺牲物质之间相互掺混的最小化。
图7是一个示例性挤出结构120-11的横截面侧视图，该挤出结构是根据参照图6B所述的共挤出过程生成的。挤出结构120-11包括网格部分125-11，其位于牺牲物质支撑部分122-1和122-2之间。由于通向出口孔135-11的三分支流道130-11(图6A和6B)形成的会聚力，因此挤出结构120-11在单次通过时可包括具有2∶1或更大的高宽比(高度H比宽度W)的网格125-11，如果使用传统方法是不可能实现的。网格125-11的宽度W比挤出头130-11的最小设计值更窄(细)。牺牲物质部分可以使网格125-11在后续的步骤如烘干、固化和/或烧结之前或过程中保持需要的高纵横比的形状。如图7右侧图中所示，牺牲物质部分被去除，因此提供具有所需高度H和宽度W的高纵横比的网格125-11。牺牲物质部分还有一个优点，即额外的物质通向总体更大的出口孔135-11，因此在给定流速下具有更低的压力降。这样就可以获得更高的加工速度。此外，压缩流体可以受到控制形成具有锥形横截面的金属网格125-11(例如具有布置在基底表面102上相对较宽的基板、相对较窄的上端以及以相对表面102的一定角度从基板端延伸到上端的锥形侧边)。这种锥形设置便于引导光子进入基底101，并减少网格引起的光子阻断(阴影)，从而提高电的效率和/或生成。
图8展示了本发明另一实施例中用于生产多个共挤出头的一套金属板410-470的分解透视图。图8中中心区域为金属板410、420和430，其提供了与前述部分相同的挤出空腔和入口孔，不同的是，空腔和入口孔分布在与切分时产生的各个共挤出头相关联的排上。例如，金属板430包括多排挤出空腔431-1至431-4，每排与相关联的共挤出头相关联。同样地，金属板410和420包括多排入口流道/孔412-1至422-1以及422-1至422-4，它们以下文所述的方式与对应的挤出空腔431-1至431-4对准。金属板440、450分别装配在金属板410和420上，包括多排进给流道442和452，其便于挤出物质流动至分别在金属板410和420上形成的预定数目的入口孔。外部的金属板460和470分别被装配在金属板440和450上，并包括多排入口开口462和472，其便于挤出物质流动到分别在金属板440和450上的相应供给流道中。
按照本发明中的一个实施例，板410-470使用现有的技术对准并如图示堆叠，接着经历高压粘合步骤以得到多头模块400，其随后得到切分以形成四个共挤出头。在一个使用塑料板的备选实施例中，使用粘合剂完成粘合步骤。每个板件410-470都包括切口406和407，所述切口形成于每个板410-470的每个端部，从而便于沿在相应切口406和407之间延伸的直线精确地切分(切割)粘合的模块。如图10的底视图所示，用虚线表示切口406-1、407-1之间的切分直线DL1。这样模块400精确可靠地被切割形成(例如四个)共挤出头。举例说明：模块400沿切分直线DL1、DL2(在切口406-1、407-1之间延伸)得到切分以形成第一共挤出头130-A1(注意仅共挤出头130-A1的最基底在图8中由虚线示出，共挤出头130-A1包括每个金属板的相应部分，包括挤出空腔排431-1、入口排412-1和422-1)。同样的沿切分直线DL3(在切口406-3和407-3之间)的切分形成另一共挤出头130-A2。注意到模块400的端部403在切分完成之后被弃用。
图9是表示金属板410、420和430的一部分的详细分解透视图。每片金属板包括切口406-3和406-4，它们在粘合步骤的过程中和之后被形成在每片板的侧边并垂直对准，同时便于沿金属板430上虚切分线DL表示的方向进行切分。板件410、420包括多排入口流道和相连的入口，所述入口位于每条入口流道的端部，功能与前述相同。特别地，板件410包括第一排入口流道412-21和第二排入口流道412-22，每个进给流道的锥形端部设有入口孔212(如入口流道41221包括入口孔212-21)。同样地，板件420包括多排入口流道412-21和412-22，每个入口流道的端部设有两个入口孔223和224(如入口流道422-21包括入口孔223-21和224-21，所述两个入口被锥形结构425分隔开)。中心板件410包括多排箭头形状的挤出空腔431-2和431-3，它们对准以上述方式接收由相应的入口进入的挤出物质。举例说明，挤出空腔431-21包括用于接收由入口孔212-21进入的第一挤出物质的中央空腔232-21，以及用于接收由入口孔223-21和224-21进入的第二挤出物质的侧空腔233-21和234-21。
根据本发明的另一方面，每个挤出空腔431-2和431-3包括T形孔435-2和435-3，其与相关挤出空腔的接合部连通，并包括形成在外部的参照面。如图9、10A所示，挤出空腔431-21包括T形孔435-21，所述孔设有中心(垂直)部436，其与中心空腔232-21以及接合部237-21成直线延伸；孔还包括与中心垂直部436垂直的上(水平)部437，以及位于上部两端的短条部438-1和438-2。需要注意的是，上述的“垂直”、“水平”、“上部”以及其他方向术语应理解为T形孔的理想化方位，而不是以一个绝对参照物来确定的方向。参照面241-21、242-21分别形成于条部438-1和438-2的下端。
根据本发明的另一方面，如图9所示，每个T形孔435-2和435-3被设置为上水平部(也就是图10A中部件437)限定了分别与切分直线DL3和DLA相一致的直线，其又分别与切口406-3和406-4对准。如图10B所示，其表示切分完成之后的挤出头130-2的一部分，如前所述切分沿上水平部形成的直线延伸以使粗糙的切割边缘表面139A包括凹痕238-21和238-22以及出口135-21A和135-22A。如图10C、10D所示，边缘表面139B进入平整(平面化)步骤，此期间物质逐渐被去除直至凹痕238-21和238-22的深度由Z1减少到要求距离Z2。例如通过磨削和/或抛光模块物质同时利用参照面241-21、242-21、241-22和242-22以控制去除物质的数量的方式来实现所述平面化步骤，因此获得一个较高精确的平面化的边缘表面139C，便于细微挤出结构的制作。
图11展示了一个光电池300如太阳能电池的示例部分，其带有使用本发明一个实施例的共挤出头130得到的高纵横比的金属网格125。光电池300包括半导体基底301，所述基底带有p型区域306和n型区域308。基底301的一个或两个区域306和308由半导体材料形成，例如由砷化铝、铝砷化镓、氮化硼、硫化镉、硒化镉、硒镓铟铜、金刚石、砷化镓、氮化镓、锗、磷化铟、硅、金刚砂、卤化硅、硅绝缘体、硫化锌、硒化锌等形成。在基底301的下表面302(也就是p型区域306的下部)上形成了下接触面310。金属网格125以及一条或多条母线320在基底301的上表面304(也就是n型区域308的下部)上形成。接触面310和母线320使用金属粘结剂如银或铝基粘结剂形成。
光电池300可以如通过扁钢丝或金属带与其他串联和/或并联的光电池(未示出)互相连接，并组装到模块或面板上且如图示连接到负载340上。一片钢化玻璃(未示出)可以层压在网格125上面，和/或聚合体包装(未示出)可以形成于接触面310上。上表面304可以包括网纹表面和/或涂覆一种抗反射物质(如氮化硅、二氧化钛等)以增加电池吸收的光能。
在操作过程中，当光子350(如宽箭头所示)通过上表面304被引入基底301时，它们的能量激励其中的电子空穴对，该电子空穴对随后可以自由移动。特别地，吸收一个光子通过p-n结产生电流(由迁移的+、-电荷表示)。当n型区域308中受到激励的电子通过网格125、母线320和电极到达外部负载340并经过下部电极和接触面310回到p型区域306时，生成电流。
通过举例，带有表1中估计参数值的共挤出头可被用于分配物质以在晶体硅太阳能电池上制作网格125。
表1：制作网格线的挤出头参数
    板厚度     152微米
    网格线间距     2.5mm
    挤出头速度     1cm/秒
    糊粘度     100,000Cp
    挤出头角度     45°
    挤出头出口宽度     304.8微米
    银宽度     49.2微米
    银线横截面积     7500平方微米2
    银线宽度比     3.10∶1
    银流速     0.075mm3/秒
    挤出头压缩比     6.2∶1
    挤出头压力降     2.24atm
通过这种设计，会聚的流道被制成一厚度约为0.15毫米的片材。挤出头/喷嘴的出口间距为2.5mm，压力为2.24大气压，1000泊的粘结剂的喷射速度为1cm/sec。中心银条的宽度约为50微米，纵横比为3∶1。
实施例
在此公开的实施方式包括以下几项：
1.一种制造用于微挤出设备的挤出头的方法，所述挤出头包括多个将物质挤出到基底的流道，该方法包括：
形成第一板，使得第一板限定至少一个参照面和包括出口区域的挤出空腔，使得所述至少一个参照面接近该出口区域；
将第一板固定于第二、三板之间以形成所述挤出头，使得挤出空腔和第二、三板中的一个或多个形成相关联的流道；并且使得挤出头包括限界定了与挤出空腔的所述出口区域连通的出口的边缘表面，其中至少一个参照面被布置在边缘表面上，使得其偏离于边缘表面；
通过去除挤出头上的物质来平整边缘表面，直到至少一个参照面与边缘面分开一个预定的距离为止。
2.如1所述的方法，形成挤出空腔包括限定中心空腔和相对的第一和第二侧空腔，它们被布置成使得中心流道和第一和第二侧空腔与出口区域相连通。
3.如2所述的方法，其中第一和第二侧孔限定了挤出空腔的有效宽度，形成至少一个参照面包括将第一和第二参照面设置于挤出孔的有效宽度之内。
4.如2所述的方法，还包括形成第二和第三板的步骤，使得第二和第三板中的每一个包括入口，该入扣在所述固定步骤之后布置成与所述中心空腔以及第一和第二空腔之一的闭合端相对。
5.如2所述的方法，其中将第一板固定到第二和第三板之间的步骤包括将第一板定位于第二和第三板之间，接着利用粘合剂和高压之中的至少一种将第二和第三板粘合在第一板上。
6.如2所述的方法，其中边缘表面的平整步骤包括加工边缘表面，以及测量边缘表面与至少一个参照面之间的距离。
7.如1所述的方法，其中形成第一板的步骤还包括形成多个排，每排包括布置在直线上的多个所述参照面和所述挤出空腔；
其中将第一板固定于第二和第三板之间以形成挤出头的步骤包括：形成包括多排所述参照面和所述挤出空腔的模块；沿相应的边缘表面切分所述模块以分隔所述多个排，从而形成多个挤出头，所述多个挤出头中的每一个包括相应的一排所述参照面和挤出空腔，该排沿所述相应边缘表面中相关联的一个布置。
8.如7所述的方法，其中形成所述第一、第二和第三板的步骤包括在第一、第二和第三板中的每一个上形成至少一个切口，所述切分模块的步骤包括沿在相关切口之间延伸的直线切割所述堆叠的板。
9.如7所述的方法，其中形成所述第一板的步骤包括形成多个T形孔，每个T形孔设有与相关联的挤出空腔的出口区域连通的垂直部分、水平部分以及布置在水平部分相对端部的第一和第二条部分，其中第一、第二参照面分别分布于第一、第二条部分。
10.如9所述的方法，其中切割所述模块的步骤包括沿水平部分切割模块。
11.一个用于微挤出设备的挤出头，该挤出头包括：
带有第一侧边缘的第一板、带有第二侧边缘的第二板和带有第三侧边缘的第三板；
其中第一板被装配在第二和第三板之间，使得第一、第二和第三侧边缘对准以形成挤出头的边缘表面；
其中第一板限定了由第二、第三板的相应部分封闭的空腔，从而形成了具有在第一板的第一侧边缘中限定的出口孔的流道，使得该出口孔与挤出头的边缘表面共平面；
其中第一板还限定了第一和第二参照面，这些参照面被布置在出口孔的相对的两面上的第一侧边缘中限定的凹痕内，使得第一和第二参照面偏离于边缘表面一段预定的距离。
12.如11项所述的挤出头，其中挤出空腔包括中心空腔和相对的第一和第二侧空腔，它们被布置成使得中心流道和第一和第二侧空腔与相关出口连通。
13.如12项所述的挤出头，其中第一和第二侧空腔限定了挤出空腔的有效宽度，并且第一和第二参照面被布置在挤出空腔的有效宽度之内。
14.如12项所述的挤出头，其中第二和第三板各包括入口孔，后者被布置成与所述中心空腔以及第一和第二侧空腔之一的闭合端相对。
15.如11项所述的挤出头，其中边缘表面是平面的。
虽然本发明已经通过一些实施例进行了描述，但明显的，在已有技术的基础上，本发明的发明特点也可以应用于其它实施例中，这些实施例都落入本发明的范围之中。例如，除了带侧向变化带材外，挤出头130的变化可以额外地和/或备选地用于带垂直变化的材料，例如，在基底上引入栅栏层。这样的垂直变化可以通过在汇流管中制造在垂直方向上使异种材料会聚在一起(除了在水平方向上会聚之外)的流道来实现。如在太阳能电池的应用中，在电池表面上设置两层金属层是有利的，一层金属与作为扩散屏障的硅接触，第二层金属在上层，可以选用低成本的或是高导电性能的。除金属网格线之外，所述方法和结构可用于产生由非导电物质形成的网格线。例如，另一种得益于用于生成高纵横比网格和特征的快速、经济的装置包括等离子面板，如图12所示，其中高纵横比的栅格肋在显示器内限定了亚像素。所述栅格肋是一种电绝缘结构(例如无机玻璃)，优选是一种高纵横比结构，因为其改进了显示器中每英寸圆点的分辨率和填充因子。在另一备选实施例中，参照面可形成(代替缺口)于延伸在相关层的侧边的突起部分，在最后的平整步骤中去除上述突起部分。

Claims (1)

1.一种制造用于微挤出设备的挤出头的方法，所述挤出头包括多个将物质挤出到基底的流道，该方法包括：
形成第一板，使得第一板限定至少一个参照面和包括出口区域的挤出空腔，使得所述参照面接近该出口区域；
将第一板固定于第二、三板之间以形成所述挤出头，使得挤出空腔和第二、三板中的一个或多个形成相关联的流道；并且使得第一、二、三板的侧边缘共同形成挤出头的边缘表面，其中所述第一板的侧边缘限定了与挤出空腔的所述出口区域连通的出口，以及槽，其中参照面被布置在槽中，使得参照面从边缘表面凹进初始距离，参照面在第一板侧边缘的一部分偏离于边缘表面；
通过去除第一、二、三板的侧边缘的物质来平整挤出头的边缘表面，直到参照面与边缘表面分开一个预定的距离为止，所述预定的距离小于所述初始距离。
CN2007101676844A 2006-11-01 2007-10-31 具有平面化的边缘表面的挤出头 Expired - Fee Related CN101219446B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/555,512 US7780812B2 (en) 2006-11-01 2006-11-01 Extrusion head with planarized edge surface
US11/555512 2006-11-01

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101219446A CN101219446A (zh) 2008-07-16
CN101219446B true CN101219446B (zh) 2012-04-25

Family

ID=39092749

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2007101676844A Expired - Fee Related CN101219446B (zh) 2006-11-01 2007-10-31 具有平面化的边缘表面的挤出头

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7780812B2 (zh)
EP (1) EP1918245A3 (zh)
JP (1) JP2008114225A (zh)
KR (1) KR20080039804A (zh)
CN (1) CN101219446B (zh)
TW (1) TW200833428A (zh)

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090107546A1 (en) 2007-10-29 2009-04-30 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extruded compositions for high aspect ratio structures
US8080181B2 (en) 2008-05-13 2011-12-20 Solarworld Innovations Gmbh Coextrusion ink chemistry for improved feature definition
JP5196308B2 (ja) * 2008-08-08 2013-05-15 大日本印刷株式会社 接着剤塗布方法および接着剤塗布装置
US8704086B2 (en) 2008-11-07 2014-04-22 Solarworld Innovations Gmbh Solar cell with structured gridline endpoints vertices
US8117983B2 (en) * 2008-11-07 2012-02-21 Solarworld Innovations Gmbh Directional extruded bead control
US20100117254A1 (en) * 2008-11-07 2010-05-13 Palo Alto Research Center Incorporated Micro-Extrusion System With Airjet Assisted Bead Deflection
US8080729B2 (en) * 2008-11-24 2011-12-20 Palo Alto Research Center Incorporated Melt planarization of solar cell bus bars
US8960120B2 (en) * 2008-12-09 2015-02-24 Palo Alto Research Center Incorporated Micro-extrusion printhead with nozzle valves
CN102883877B (zh) * 2010-03-25 2016-03-16 3M创新有限公司 复合层
US9589692B2 (en) 2010-12-17 2017-03-07 Palo Alto Research Center Incorporated Interdigitated electrode device
US9004001B2 (en) 2010-12-17 2015-04-14 Palo Alto Research Center Incorporated Interdigitated finger coextrusion device
US9643394B2 (en) * 2011-02-01 2017-05-09 Palo Alto Research Center Incorporated Oblique angle micromachining of fluidic structures
US9120190B2 (en) 2011-11-30 2015-09-01 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extruded microchannel heat pipes
US10371468B2 (en) 2011-11-30 2019-08-06 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extruded microchannel heat pipes
US8875653B2 (en) 2012-02-10 2014-11-04 Palo Alto Research Center Incorporated Micro-extrusion printhead with offset orifices for generating gridlines on non-square substrates
US8936353B2 (en) * 2012-03-28 2015-01-20 Eastman Kodak Company Digital drop patterning device and method
US9590232B2 (en) 2012-12-27 2017-03-07 Palo Alto Research Center Incorporated Three dimensional co-extruded battery electrodes
US10923714B2 (en) 2012-12-27 2021-02-16 Palo Alto Research Center Incorporated Structures for interdigitated finger co-extrusion
US9012090B2 (en) 2012-12-27 2015-04-21 Palo Alto Research Center Incorporated Advanced, high power and energy battery electrode manufactured by co-extrusion printing
US9899669B2 (en) 2012-12-27 2018-02-20 Palo Alto Research Center Incorporated Structures for interdigitated finger co-extrusion
US9337471B2 (en) 2012-12-27 2016-05-10 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extrusion print head for multi-layer battery structures
US10800086B2 (en) * 2013-08-26 2020-10-13 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extrusion of periodically modulated structures
US9855578B2 (en) 2013-12-12 2018-01-02 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extrusion print head with edge bead reduction
US10256503B2 (en) 2014-07-11 2019-04-09 Palo Alto Research Center Incorporated High performance all solid lithium sulfur battery with fast lithium ion conduction
US9882200B2 (en) 2014-07-31 2018-01-30 Palo Alto Research Center Incorporated High energy and power Li-ion battery having low stress and long-term cycling capacity
US10115964B2 (en) 2014-12-08 2018-10-30 Palo Alto Research Center Incorporated Advanced Si-C composite anode electrode for high energy density and longer cycle life
US20160322131A1 (en) 2015-04-29 2016-11-03 Palo Alto Research Center Incoporated Co-extrusion printing of filaments for superconducting wire
US9755221B2 (en) 2015-06-26 2017-09-05 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extruded conformal battery separator and electrode
US10456968B2 (en) 2015-12-08 2019-10-29 Xerox Corporation Three-dimensional object printer with multi-nozzle extruders and dispensers for multi-nozzle extruders and printheads
US10335991B2 (en) 2015-12-08 2019-07-02 Xerox Corporation System and method for operation of multi-nozzle extrusion printheads in three-dimensional object printers
US10625466B2 (en) 2015-12-08 2020-04-21 Xerox Corporation Extrusion printheads for three-dimensional object printers
WO2018039533A1 (en) * 2016-08-26 2018-03-01 The Government Of The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Tailored multi-material delivery for direct-write manufacturing
US10600739B1 (en) * 2017-09-28 2020-03-24 Hrl Laboratories, Llc Interposer with interconnects and methods of manufacturing the same
US20190214631A1 (en) 2018-03-22 2019-07-11 Fmc Lithium Usa Corp. Methods of applying printable lithium compositions for forming battery electrodes
US11264598B2 (en) 2018-03-22 2022-03-01 Fmc Lithium Usa Corp. Battery utilizing printable lithium
CN111240101B (zh) * 2020-03-13 2021-07-23 Tcl华星光电技术有限公司 配向基板及其制作方法
WO2022167060A1 (de) * 2021-02-02 2022-08-11 Battenfeld-Cincinnati Germany Gmbh Vorrichtung und verfahren zur positionierung von modulkörpern einer extrusionslinie

Family Cites Families (188)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2031387A (en) * 1934-08-22 1936-02-18 Schwarz Arthur Nozzle
US2789731A (en) * 1955-06-06 1957-04-23 Leonard L Marraffino Striping dispenser
US3032008A (en) * 1956-05-07 1962-05-01 Polaroid Corp Apparatus for manufacturing photographic films
US3159313A (en) 1961-05-16 1964-12-01 Dow Chemical Co Multi-component proportioning meter system
US3602193A (en) * 1969-04-10 1971-08-31 John R Adams Apparatus for preparing coatings with extrusions
US3973994A (en) * 1974-03-11 1976-08-10 Rca Corporation Solar cell with grooved surface
JPS5328751B2 (zh) 1974-11-27 1978-08-16
AT349415B (de) * 1975-07-28 1979-04-10 Zimmer Peter Ag Spritzdruckeinrichtung zum bemustern einer ware
US3988166A (en) 1975-01-07 1976-10-26 Beam Engineering, Inc. Apparatus for enhancing the output of photovoltaic solar cells
US4045246A (en) * 1975-08-11 1977-08-30 Mobil Tyco Solar Energy Corporation Solar cells with concentrators
US4021267A (en) * 1975-09-08 1977-05-03 United Technologies Corporation High efficiency converter of solar energy to electricity
US4053327A (en) 1975-09-24 1977-10-11 Communications Satellite Corporation Light concentrating solar cell cover
US4018367A (en) * 1976-03-02 1977-04-19 Fedco Inc. Manifold dispensing apparatus having releasable subassembly
GB1578018A (en) 1976-03-11 1980-10-29 Schmermund A Glue applications
US4086485A (en) * 1976-05-26 1978-04-25 Massachusetts Institute Of Technology Solar-radiation collection apparatus with tracking circuitry
US4095997A (en) * 1976-10-07 1978-06-20 Griffiths Kenneth F Combined solar cell and hot air collector apparatus
US4084985A (en) * 1977-04-25 1978-04-18 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method for producing solar energy panels by automation
US4131485A (en) 1977-08-08 1978-12-26 Motorola, Inc. Solar energy collector and concentrator
US4177083A (en) 1977-09-06 1979-12-04 Acurex Corporation Photovoltaic concentrator
US4148301A (en) * 1977-09-26 1979-04-10 Cluff C Brent Water-borne rotating solar collecting and storage systems
US4153476A (en) * 1978-03-29 1979-05-08 Nasa Double-sided solar cell package
US4337758A (en) * 1978-06-21 1982-07-06 Meinel Aden B Solar energy collector and converter
US4221468A (en) 1979-02-26 1980-09-09 Macken John A Multi-cavity laser mirror
US4331703A (en) * 1979-03-28 1982-05-25 Solarex Corporation Method of forming solar cell having contacts and antireflective coating
US4254894A (en) * 1979-08-23 1981-03-10 The Continental Group, Inc. Apparatus for dispensing a striped product and method of producing the striped product
DE8033450U1 (de) * 1980-12-17 1982-07-22 Colgate-Palmolive Co., 10022 New York, N.Y. Laenglicher Behaelter fuer einen Spender fuer pastoeses gut
US4355196A (en) 1981-03-11 1982-10-19 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Solar cell having improved back surface reflector
JPS58180262A (ja) 1982-04-16 1983-10-21 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布方法
US4476165A (en) 1982-06-07 1984-10-09 Acumeter Laboratories, Inc. Method of and apparatus for multi-layer viscous fluid deposition such as for the application of adhesives and the like
US4521457A (en) * 1982-09-21 1985-06-04 Xerox Corporation Simultaneous formation and deposition of multiple ribbon-like streams
DE3308269A1 (de) 1983-03-09 1984-09-13 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh Solarzelle
JPS6082680A (ja) 1983-10-07 1985-05-10 Fuji Photo Film Co Ltd 金属ウエブの表面処理装置
US4602120A (en) * 1983-11-25 1986-07-22 Atlantic Richfield Company Solar cell manufacture
US4841946A (en) * 1984-02-17 1989-06-27 Marks Alvin M Solar collector, transmitter and heater
GB8510706D0 (en) * 1985-04-26 1985-06-05 Marconi Co Ltd Solar cell arrays
EP0257157A1 (en) 1986-08-29 1988-03-02 General Systems Research Inc. Optical apparatus for scanning radiation over a surface
US4796038A (en) * 1985-07-24 1989-01-03 Ateq Corporation Laser pattern generation apparatus
US4847349A (en) * 1985-08-27 1989-07-11 Mitsui Toatsu Chemicals, Inc. Polyimide and high-temperature adhesive of polyimide from meta substituted phenoxy diamines
US4849028A (en) * 1986-07-03 1989-07-18 Hughes Aircraft Company Solar cell with integrated interconnect device and process for fabrication thereof
JPS63175667A (ja) * 1987-01-14 1988-07-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多列同時塗布方法
US5216543A (en) * 1987-03-04 1993-06-01 Minnesota Mining And Manufacturing Company Apparatus and method for patterning a film
US4747517A (en) * 1987-03-23 1988-05-31 Minnesota Mining And Manufacturing Company Dispenser for metering proportionate increments of polymerizable materials
US4826777A (en) * 1987-04-17 1989-05-02 The Standard Oil Company Making a photoresponsive array
US4746370A (en) * 1987-04-29 1988-05-24 Ga Technologies Inc. Photothermophotovoltaic converter
US4792685A (en) 1987-04-29 1988-12-20 Masami Yamakawa Photoelectric sensor
US4938994A (en) * 1987-11-23 1990-07-03 Epicor Technology, Inc. Method and apparatus for patch coating printed circuit boards
US4855884A (en) 1987-12-02 1989-08-08 Morpheus Lights, Inc. Variable beamwidth stage light
US4952026A (en) 1988-10-14 1990-08-28 Corning Incorporated Integral optical element and method
US5004319A (en) * 1988-12-29 1991-04-02 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Crystal diffraction lens with variable focal length
US5075281A (en) 1989-01-03 1991-12-24 Testardi Louis R Methods of making a high dielectric constant, resistive phase of YBA2 CU3 OX and methods of using the same
US4947825A (en) 1989-09-11 1990-08-14 Rockwell International Corporation Solar concentrator - radiator assembly
US5011565A (en) 1989-12-06 1991-04-30 Mobil Solar Energy Corporation Dotted contact solar cell and method of making same
US5089055A (en) * 1989-12-12 1992-02-18 Takashi Nakamura Survivable solar power-generating systems for use with spacecraft
US5062899A (en) 1990-03-30 1991-11-05 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Wide acceptance angle, high concentration ratio, optical collector
DK170189B1 (da) 1990-05-30 1995-06-06 Yakov Safir Fremgangsmåde til fremstilling af halvlederkomponenter, samt solcelle fremstillet deraf
JPH04124645A (ja) * 1990-09-14 1992-04-24 Fuji Photo Film Co Ltd 写真用支持体及びその製造方法
US5213628A (en) * 1990-09-20 1993-05-25 Sanyo Electric Co., Ltd. Photovoltaic device
US5254388A (en) 1990-12-21 1993-10-19 Minnesota Mining And Manufacturing Company Light control film with reduced ghost images
US5151377A (en) 1991-03-07 1992-09-29 Mobil Solar Energy Corporation Method for forming contacts
US5167724A (en) 1991-05-16 1992-12-01 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Planar photovoltaic solar concentrator module
US5180441A (en) * 1991-06-14 1993-01-19 General Dynamics Corporation/Space Systems Division Solar concentrator array
US5356488A (en) 1991-12-27 1994-10-18 Rudolf Hezel Solar cell and method for its manufacture
CA2130468A1 (en) 1992-02-25 1993-09-02 Clive Patrick Ashley Catterall Fluid delivery apparatus
US5353813A (en) * 1992-08-19 1994-10-11 Philip Morris Incorporated Reinforced carbon heater with discrete heating zones
JP2613719B2 (ja) * 1992-09-01 1997-05-28 キヤノン株式会社 太陽電池モジュールの製造方法
US5344496A (en) 1992-11-16 1994-09-06 General Dynamics Corporation, Space Systems Division Lightweight solar concentrator cell array
EP0632507A3 (en) 1993-05-12 1995-11-22 Optical Coating Laboratory Inc Cover for solar cells which reflects UV / IR rays.
JPH06337366A (ja) 1993-05-21 1994-12-06 Xerox Corp 電子写真プリンターにおけるラスター出力スキャナのための露光装置
WO1994028361A1 (en) 1993-06-02 1994-12-08 Stirbl Robert C Method for changing solar energy distribution
JPH0768208A (ja) * 1993-09-06 1995-03-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 間欠塗布装置
US5543333A (en) 1993-09-30 1996-08-06 Siemens Solar Gmbh Method for manufacturing a solar cell having combined metallization
US5559677A (en) 1994-04-29 1996-09-24 Motorola, Inc. Method of forming a device by selectively thermal spraying a metallic conductive material thereon
US5529054A (en) * 1994-06-20 1996-06-25 Shoen; Neil C. Solar energy concentrator and collector system and associated method
US5700325A (en) 1994-08-03 1997-12-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Coating device and a method of coating
US5501743A (en) * 1994-08-11 1996-03-26 Cherney; Matthew Fiber optic power-generating system
US5540216A (en) * 1994-11-21 1996-07-30 Rasmusson; James K. Apparatus and method for concentrating radiant energy emanated by a moving energy source
US5553747A (en) * 1994-12-07 1996-09-10 Smithkline Beecham Corporation Container for multisegmental toothpaste
US5981902A (en) 1994-12-15 1999-11-09 Mitsubishi Chemical Corporation Texturing apparatus for magnetic recording medium and magnetic recording medium process thereby
US5679379A (en) * 1995-01-09 1997-10-21 Fabbricante; Anthony S. Disposable extrusion apparatus with pressure balancing modular die units for the production of nonwoven webs
US5569399A (en) 1995-01-20 1996-10-29 General Electric Company Lasing medium surface modification
WO1996024088A1 (en) * 1995-02-02 1996-08-08 Minnesota Mining And Manufacturing Company Method and apparatus for applying thin fluid coating stripes
US5538563A (en) * 1995-02-03 1996-07-23 Finkl; Anthony W. Solar energy concentrator apparatus for bifacial photovoltaic cells
EP0729189A1 (en) * 1995-02-21 1996-08-28 Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw Method of preparing solar cells and products obtained thereof
GB9507572D0 (en) * 1995-04-12 1995-05-31 Smithkline Beecham Plc Dispenser
US5929530A (en) * 1995-08-18 1999-07-27 Mcdonnell Douglas Corporation Advanced solar controller
FR2741194B1 (fr) 1995-11-13 1998-01-30 Photowatt Int Cellule solaire comportant du silicium multicristallin et procede de texturisation de la surface du silicium multicristallin de type p
DE69716403T2 (de) * 1996-01-31 2003-06-18 Airspray Int Bv Sprühvorrichtung zur abgabe von mehrkomponentenmaterial
US5990413A (en) 1996-06-19 1999-11-23 Ortabasi; Ugur Bifacial lightweight array for solar power
US6047926A (en) 1996-06-28 2000-04-11 Alliedsignal Inc. Hybrid deicing system and method of operation
US6476343B2 (en) * 1996-07-08 2002-11-05 Sandia Corporation Energy-beam-driven rapid fabrication system
US5902540A (en) * 1996-10-08 1999-05-11 Illinois Tool Works Inc. Meltblowing method and apparatus
US5873495A (en) * 1996-11-21 1999-02-23 Saint-Germain; Jean G. Device for dispensing multi-components from a container
EP0851511A1 (en) 1996-12-24 1998-07-01 IMEC vzw Semiconductor device with two selectively diffused regions
US6354791B1 (en) * 1997-04-11 2002-03-12 Applied Materials, Inc. Water lift mechanism with electrostatic pickup and method for transferring a workpiece
WO1999001342A1 (en) * 1997-07-01 1999-01-14 Smithkline Beecham Corporation Apparatus for inserting plural materials into containers
US6011307A (en) * 1997-08-12 2000-01-04 Micron Technology, Inc. Anisotropic conductive interconnect material for electronic devices, method of use and resulting product
DE19735281A1 (de) 1997-08-14 1999-02-18 Rolf Hoericht Einrichtung zur Erzeugung von Energie
US6008449A (en) 1997-08-19 1999-12-28 Cole; Eric D. Reflective concentrating solar cell assembly
EP1027723B1 (en) 1997-10-14 2009-06-17 Patterning Technologies Limited Method of forming an electric capacitor
US6130465A (en) 1997-10-29 2000-10-10 Light Point Systems Inc. Micro-solar assembly
EP0915523A3 (en) 1997-10-29 2005-11-02 Canon Kabushiki Kaisha A photovoltaic element having a back side transparent and electrically conductive layer with a light incident side surface region having a specific cross section and a module comprising said photovoltaic element
US6379521B1 (en) * 1998-01-06 2002-04-30 Canon Kabushiki Kaisha Method of producing zinc oxide film, method of producing photovoltaic element, and method of producing semiconductor element substrate
JP4003273B2 (ja) * 1998-01-19 2007-11-07 セイコーエプソン株式会社 パターン形成方法および基板製造装置
US6185030B1 (en) 1998-03-20 2001-02-06 James W. Overbeck Wide field of view and high speed scanning microscopy
US6032997A (en) * 1998-04-16 2000-03-07 Excimer Laser Systems Vacuum chuck
US6278054B1 (en) 1998-05-28 2001-08-21 Tecstar Power Systems, Inc. Solar cell having an integral monolithically grown bypass diode
AUPP437598A0 (en) 1998-06-29 1998-07-23 Unisearch Limited A self aligning method for forming a selective emitter and metallization in a solar cell
JP3259692B2 (ja) 1998-09-18 2002-02-25 株式会社日立製作所 集光型太陽光発電モジュール及びその製造方法並びに集光型太陽光発電システム
US6204523B1 (en) * 1998-11-06 2001-03-20 Lumileds Lighting, U.S., Llc High stability optical encapsulation and packaging for light-emitting diodes in the green, blue, and near UV range
US6118067A (en) 1998-11-20 2000-09-12 Swales Aerospace Method and apparatus for improved solar concentration arrays
US6274508B1 (en) 1999-02-05 2001-08-14 Alien Technology Corporation Apparatuses and methods used in forming assemblies
US6380729B1 (en) 1999-02-16 2002-04-30 Alien Technology Corporation Testing integrated circuit dice
US6291896B1 (en) 1999-02-16 2001-09-18 Alien Technology Corporation Functionally symmetric integrated circuit die
US6020554A (en) * 1999-03-19 2000-02-01 Photovoltaics International, Llc Tracking solar energy conversion unit adapted for field assembly
JP2000294813A (ja) * 1999-04-07 2000-10-20 Bridgestone Corp 太陽電池用バックカバー材及び太陽電池
US6257450B1 (en) * 1999-04-21 2001-07-10 Pechiney Plastic Packaging, Inc. Dual dispense container having cloverleaf orifice
US6164633A (en) 1999-05-18 2000-12-26 International Business Machines Corporation Multiple size wafer vacuum chuck
US6203621B1 (en) * 1999-05-24 2001-03-20 Trw Inc. Vacuum chuck for holding thin sheet material
US6924493B1 (en) 1999-08-17 2005-08-02 The Regents Of The University Of California Ion beam lithography system
US6091017A (en) * 1999-08-23 2000-07-18 Composite Optics Incorporated Solar concentrator array
FI115295B (fi) * 1999-09-01 2005-04-15 Metso Paper Inc Verhopäällystin ja verhopäällystysmenetelmä
JP2001110659A (ja) * 1999-10-05 2001-04-20 Toyota Autom Loom Works Ltd 充電用受電器
US6479395B1 (en) 1999-11-02 2002-11-12 Alien Technology Corporation Methods for forming openings in a substrate and apparatuses with these openings and methods for creating assemblies with openings
US6527964B1 (en) * 1999-11-02 2003-03-04 Alien Technology Corporation Methods and apparatuses for improved flow in performing fluidic self assembly
US6420266B1 (en) * 1999-11-02 2002-07-16 Alien Technology Corporation Methods for creating elements of predetermined shape and apparatuses using these elements
US6623579B1 (en) 1999-11-02 2003-09-23 Alien Technology Corporation Methods and apparatus for fluidic self assembly
JP2001148500A (ja) * 1999-11-22 2001-05-29 Sanyo Electric Co Ltd 太陽電池モジュール
ES2157846B1 (es) * 1999-12-02 2002-03-01 Univ Madrid Politecnica Dispositivo con lente discontinua de reflexion total interna y dioptrico asferico para concentracion o colimacion de energia radiante.
JP4774146B2 (ja) * 1999-12-23 2011-09-14 パナソニック株式会社 レーザを用いて波長より小さなピッチで穴を開けるための方法および装置
JP2001291881A (ja) 2000-01-31 2001-10-19 Sanyo Electric Co Ltd 太陽電池モジュール
US6719846B2 (en) * 2000-03-14 2004-04-13 Nordson Corporation Device and method for applying adhesive filaments to materials such as strands or flat substrates
US6310281B1 (en) 2000-03-16 2001-10-30 Global Solar Energy, Inc. Thin-film, flexible photovoltaic module
US6433303B1 (en) 2000-03-31 2002-08-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and apparatus using laser pulses to make an array of microcavity holes
JP3865036B2 (ja) * 2000-04-07 2007-01-10 セイコーエプソン株式会社 光モジュール及びその製造方法並びに光伝達装置
US6423565B1 (en) * 2000-05-30 2002-07-23 Kurt L. Barth Apparatus and processes for the massproduction of photovotaic modules
US6232217B1 (en) * 2000-06-05 2001-05-15 Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. Post treatment of via opening by N-containing plasma or H-containing plasma for elimination of fluorine species in the FSG near the surfaces of the via opening
US6423140B1 (en) * 2000-06-08 2002-07-23 Formosa Advanced Coating Technologies, Inc. Die set for preparing ABCABC multiple-stripe coating
JP2002111035A (ja) 2000-09-27 2002-04-12 Sanyo Electric Co Ltd 両面発電型太陽電池モジュール
US6398370B1 (en) * 2000-11-15 2002-06-04 3M Innovative Properties Company Light control device
US6620645B2 (en) * 2000-11-16 2003-09-16 G.T. Equipment Technologies, Inc Making and connecting bus bars on solar cells
US20020149107A1 (en) 2001-02-02 2002-10-17 Avery Dennison Corporation Method of making a flexible substrate containing self-assembling microstructures
KR100378016B1 (ko) 2001-01-03 2003-03-29 삼성에스디아이 주식회사 태양 전지용 반도체 기판의 텍스처링 방법
JP2002289900A (ja) 2001-03-23 2002-10-04 Canon Inc 集光型太陽電池モジュール及び集光型太陽光発電システム
JP3848168B2 (ja) 2001-03-29 2006-11-22 三菱製紙株式会社 カーテン塗布装置
US7186102B2 (en) * 2001-04-26 2007-03-06 Strandex Corporation Apparatus and method for low-density cellular wood plastic composites
US6606247B2 (en) 2001-05-31 2003-08-12 Alien Technology Corporation Multi-feature-size electronic structures
US7449070B2 (en) 2001-06-01 2008-11-11 Ulvac, Inc. Waveform generator for microdeposition control system
DE60223196T2 (de) * 2001-06-15 2008-02-07 Fujifilm Corp. Verfahren zum Herstellen einer Celluloseesterfolie
CN2606309Y (zh) 2001-06-22 2004-03-10 高增世 双槽面镜式太阳能单向导光聚能板
US6555739B2 (en) * 2001-09-10 2003-04-29 Ekla-Tek, Llc Photovoltaic array and method of manufacturing same
US6531653B1 (en) * 2001-09-11 2003-03-11 The Boeing Company Low cost high solar flux photovoltaic concentrator receiver
US7208674B2 (en) * 2001-09-11 2007-04-24 Eric Aylaian Solar cell having photovoltaic cells inclined at acute angle to each other
US6597510B2 (en) * 2001-11-02 2003-07-22 Corning Incorporated Methods and apparatus for making optical devices including microlens arrays
US6697096B2 (en) * 2001-11-16 2004-02-24 Applied Materials, Inc. Laser beam pattern generator having rotating scanner compensator and method
WO2003053597A1 (en) 2001-12-13 2003-07-03 Dow Global Technologies Inc. Method and apparatus for curtain coating
WO2003074254A1 (en) 2002-02-28 2003-09-12 Scimed Life Systems, Inc. Ultrasonic assisted apparatus and process
US7061234B2 (en) * 2002-03-12 2006-06-13 Omron Corporation Modular proximity sensor
CA2422224A1 (en) * 2002-03-15 2003-09-15 Affymetrix, Inc. System, method, and product for scanning of biological materials
JP3889644B2 (ja) 2002-03-25 2007-03-07 三洋電機株式会社 太陽電池モジュール
US7270528B2 (en) 2002-05-07 2007-09-18 3D Systems, Inc. Flash curing in selective deposition modeling
AU2003261394A1 (en) * 2002-08-05 2004-02-23 Research Foundation Of The State University Of New York System and method for manufacturing embedded conformal electronics
US6818818B2 (en) * 2002-08-13 2004-11-16 Esmond T. Goei Concentrating solar energy receiver
US6896381B2 (en) 2002-10-11 2005-05-24 Light Prescriptions Innovators, Llc Compact folded-optics illumination lens
JP2004266023A (ja) 2003-02-28 2004-09-24 Sharp Corp 太陽電池およびその製造方法
US20050081908A1 (en) * 2003-03-19 2005-04-21 Stewart Roger G. Method and apparatus for generation of electrical power from solar energy
JP2004288898A (ja) 2003-03-24 2004-10-14 Canon Inc 太陽電池モジュールの製造方法
US7388147B2 (en) * 2003-04-10 2008-06-17 Sunpower Corporation Metal contact structure for solar cell and method of manufacture
US7259323B2 (en) 2003-04-22 2007-08-21 The Aerospace Corporation Thin film solar cell thermal radiator
US7964789B2 (en) * 2003-05-07 2011-06-21 Imec Germanium solar cell and method for the production thereof
JP4748955B2 (ja) 2003-06-30 2011-08-17 株式会社半導体エネルギー研究所 パターンの作製方法
US6959993B2 (en) * 2003-07-10 2005-11-01 Energy Innovations, Inc. Solar concentrator array with individually adjustable elements
IL157716A0 (en) * 2003-09-02 2004-03-28 Eli Shifman Solar energy utilization unit and solar energy utilization system
JP4121928B2 (ja) 2003-10-08 2008-07-23 シャープ株式会社 太陽電池の製造方法
JP4232597B2 (ja) 2003-10-10 2009-03-04 株式会社日立製作所 シリコン太陽電池セルとその製造方法
WO2005070224A1 (en) 2004-01-15 2005-08-04 Kellogg Company Nozzle assembly for imprinting patterns on an extruded product
JP2005347628A (ja) 2004-06-04 2005-12-15 Sharp Corp 電極形成方法、電極及び太陽電池
US7169228B2 (en) 2004-04-29 2007-01-30 The Procter & Gamble Company Extrusion applicator having linear motion operability
US7097710B2 (en) 2004-04-29 2006-08-29 The Procter & Gamble Company Extrusion applicator having rotational operability
US7045794B1 (en) * 2004-06-18 2006-05-16 Novelx, Inc. Stacked lens structure and method of use thereof for preventing electrical breakdown
EP1763086A1 (en) 2005-09-09 2007-03-14 Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Photovoltaic cell with thick silicon oxide and silicon nitride passivation and fabrication method
US20060207650A1 (en) 2005-03-21 2006-09-21 The Regents Of The University Of California Multi-junction solar cells with an aplanatic imaging system and coupled non-imaging light concentrator
US7906722B2 (en) 2005-04-19 2011-03-15 Palo Alto Research Center Incorporated Concentrating solar collector with solid optical element
US7444934B2 (en) 2005-05-24 2008-11-04 Micron Technology, Inc. Supercritical fluid-assisted direct write for printing integrated circuits
US7394016B2 (en) * 2005-10-11 2008-07-01 Solyndra, Inc. Bifacial elongated solar cell devices with internal reflectors
US20080047605A1 (en) * 2005-07-28 2008-02-28 Regents Of The University Of California Multi-junction solar cells with a homogenizer system and coupled non-imaging light concentrator
US7799371B2 (en) 2005-11-17 2010-09-21 Palo Alto Research Center Incorporated Extruding/dispensing multiple materials to form high-aspect ratio extruded structures
US20070169806A1 (en) 2006-01-20 2007-07-26 Palo Alto Research Center Incorporated Solar cell production using non-contact patterning and direct-write metallization
US7928015B2 (en) * 2006-12-12 2011-04-19 Palo Alto Research Center Incorporated Solar cell fabrication using extruded dopant-bearing materials

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008114225A (ja) 2008-05-22
CN101219446A (zh) 2008-07-16
KR20080039804A (ko) 2008-05-07
TW200833428A (en) 2008-08-16
US7780812B2 (en) 2010-08-24
EP1918245A3 (en) 2011-05-04
EP1918245A2 (en) 2008-05-07
US20080099952A1 (en) 2008-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101219446B (zh) 具有平面化的边缘表面的挤出头
EP1920849B1 (en) Micro extrusion apparatus, method for forming an extrudate and method for manufacturing an extrusion die
KR101245115B1 (ko) 근접 이격된 높은 종횡비의 압출된 그리드라인
US9102084B2 (en) Solar cell with high aspect ratio gridlines supported between co-extruded support structures
EP1787786B1 (en) Micro-coextrusion method
US8875653B2 (en) Micro-extrusion printhead with offset orifices for generating gridlines on non-square substrates
US20120052191A1 (en) Solar Cell With Structured Gridline Endpoints And Vertices
US20090057944A1 (en) Micro-Extrusion Printhead Nozzle With Tapered Cross-Section
EP2626915A2 (en) Method for generating gridlines on non-square substrates

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: SOLARWORLD INNOVATIONS GMBH

Free format text: FORMER OWNER: PALO ALTO RES CT INC.

Effective date: 20110815

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20110815

Address after: Germany Freiberg

Applicant after: Solarworld Innovations GmbH

Address before: American California

Applicant before: Palo Alto Res CT Inc.

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20120425

Termination date: 20201031

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee