CN101266335A - 执行机构、光扫描器以及图像形成装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种能够发挥期望的振动特性的执行机构、光扫描器以及图像形成装置。执行机构(1)采用下述结构，包括：第一振动系统(21)，包括框状的驱动部件(211)；第二振动系统(22)，包括可动板(221)；永久磁铁(61)，固定在驱动部件(211)上；线圈(62)，在永久磁铁(61)上作用磁场；电压施加单元，在线圈(62)上施加电压；定位部(71、72)，设置于驱动部件(211)，决定永久磁铁(61)向驱动部件(211)的固定位置，通过由电压施加单元向线圈(62)施加电压，使可动板(211)围绕X轴和Y轴的各自的轴转动。
Description
技术领域
本发明涉及执行机构、光扫描器以及图像形成装置。
背景技术
例如，作为在打印机等中用于通过光扫描进行描绘的光扫描器，公开有对光进行二维扫描的光扫描器(例如，参照专利文献1)。
专利文献1的光扫描器，由机壳、带磁铁镜、以使带磁铁镜能够相对机壳摇动的方式在机壳上支承带磁铁镜的超弹性合金线、和为了使带磁铁镜振动而产生交变电压的线圈构成。
但是，在这样的光扫描器中，带磁铁镜通过粘接剂接合(固定)于超弹性合金线。因此，光扫描器制造时难以在超弹性合金线的规定位置固定带磁铁镜。即，专利文献1的光扫描器难以发挥期望的振动特性。
【专利文献1】日本特开平9-243942号公报
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够发挥期望的振动特性的执行机构、光扫描器以及图像形成装置。
通过下述的本发明达成这样的目的。
本发明的执行机构的特征在于，包括：第一振动系统，包括框状的驱动部件，以及一对第一轴部件，上述一对第一轴部件以使上述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支承上述驱动部件；
第二振动系统，包括设置于上述驱动部件的内侧的可动板，以及一对第二轴部件，上述一对第二轴部件以使上述可动板围绕与上述X轴正交的Y轴转动的方式、在上述驱动部件上双支承上述可动板；
驱动单元，具有强磁性体、对该强磁性体作用磁场的线圈、和向该线圈施加电压的电压施加单元，在上述可动板的俯视图中，上述强磁性体和上述线圈中的一个设置于离开上述驱动部件上的上述X轴和上述Y轴的各自的轴的位置；以及
定位部，设置于上述驱动部件上，决定上述强磁性体或上述线圈向上述驱动部件的固定位置，
通过由上述电压施加单元向上述线圈施加电压，使上述可动板围绕上述X轴和上述Y轴的各自的轴转动。
由此，能够正确地在上述驱动部件上的规定位置固定上述强磁性体或上述线圈。因此，能够提供能够发挥期望的振动特性的执行机构。
本发明的执行机构中，上述定位部优选与上述驱动部件一体形成。由此，能够在上述驱动部件上的规定位置正确地形成上述定位部。其结果，能够在上述驱动部件上的规定位置极为正确地固定上述强磁性体或上述线圈。
本发明的执行机构中，优选上述驱动部件由SOI基板的一方的Si层形成，上述定位部由上述SOI基板的SiO2层和另一方的Si层中的至少SiO2层形成。
由此，能够极为简单地一体形成上述定位部和上述驱动部件。
本发明的执行机构中，优选在上述驱动部件上设置有上述强磁性体，上述强磁性体为长方形的永久磁铁，上述永久磁铁在上述可动板的俯视图中，连接其两极的线段通过上述X轴和上述Y轴的交点，以相对上述X轴和上述Y轴的各个倾斜的方式设置。
由此，能够以较简单的结构，使上述可动板围绕上述X轴和上述Y轴的各自的轴转动。
本发明的执行机构中，优选上述永久磁铁的长边方向的两端部固定于上述驱动部件，上述定位部以决定上述永久磁铁的长边方向的两端部的固定位置的方式设置有一对。
由此，能够正确地在上述驱动部件上的规定的位置设置上述永久磁铁。
本发明的执行机构中，优选上述一对定位部在上述永久磁铁的长边方向，以隔着上述永久磁铁相互相对的方式，且以相互的分离距离与上述永久磁铁的长度大致相等的方式形成。
由此，能够防止上述永久磁铁向上述驱动部件的固定位置相对规定的位置在上述永久磁铁的长边方向产生偏差。
本发明的执行机构中，优选上述各定位部具有在上述永久磁铁的宽度方向上，以隔着上述永久磁铁相互相对的方式形成的一对相对部，该一对相对部彼此之间的分离距离与上述永久磁铁的宽度方向的长度大致相等。
由此，能够防止上述永久磁铁向上述驱动部件的固定位置相对规定的位置在上述永久磁铁的宽度方向产生偏差。
本发明的执行机构中，优选在上述驱动部件设置有上述强磁性体，上述强磁性体为软磁性体，在上述可动板的俯视图中，上述定位部以包围上述软磁性体的外周的方式设置。
由此，能够更准确地在上述驱动部件上的规定的位置设置上述软磁性体。此外，能够以较简单的结构，使上述可动板围绕上述X轴和上述Y轴的各自的轴转动。
本发明的执行机构中，在上述可动板的俯视图中，上述软磁性体优选为圆形状。
由此，在执行机构的制造时，能够极为简单且正确地将上述软磁性体固定于通过上述定位部决定的固定位置。
本发明的执行机构中，优选在上述可动板的俯视图中，上述软磁性体以在由上述X轴和上述Y轴划分的四个区域中，位于具有相对上述X轴和上述Y轴的交点点对称的关系的两个区域内的方式设置有一对，上述线圈以与上述各软磁性体相对的方式设置有一对。
由此，能够平滑地使上述可动板围绕上述X轴和上述Y轴的各自的轴转动。
本发明的执行机构中，优选在上述可动板的俯视图中，上述一对软磁性体以相对上述X轴和上述Y轴的交点点对称的方式设置。
由此，能够更平滑地使上述可动板围绕上述X轴和上述Y轴的各自的轴转动。
本发明的执行机构中，优选采用下述结构，上述电压施加单元包括：产生周期性变化、其频率相互不同的第一电压和第二电压的电压产生部；以及叠加上述第一电压和上述第二电压的电压叠加部，其中，通过将在上述电压叠加部叠加的电压施加至上述线圈，使上述可动板以上述第一电压的频率围绕上述X轴转动，并以上述第二电压的频率围绕上述Y轴转动。
由此，能够使上述可动板以上述第一电压的频率围绕上述X轴转动，并以上述第二电压的频率围绕上述Y轴转动。即，执行机构通过将第一电压和第二电压分别设定为规定的值，能够简单地发挥期望的振动特性。
本发明的执行机构中，优选上述第二电压的频率与上述第二振动系统的共振频率相等，上述第一电压的频率与上述第一振动系统的共振频率不同。
由此，能够极为平滑且正确地，使上述可动板以上述第一电压的频率围绕上述X轴转动，并以上述第二电压的频率围绕上述Y轴转动。
本发明的执行机构中，优选上述可动板包括具有光反射性的光反射部。
由此，能够将执行机构使用于加速度传感器、角速度传感器等的MEMS应用传感器、光扫描器、光开关、光衰减器等光学器件。
本发明的光扫描器的特征在于，包括：第一振动系统，包括框状的驱动部件，以及一对第一轴部件，上述一对第一轴部件以使上述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支承上述驱动部件；
第二振动系统，包括设置于上述驱动部件的内侧、包括具有光反射性的光反射部的可动板，以及一对第二轴部件，上述一对第二轴部件以使上述可动板围绕与上述X轴正交的Y轴转动的方式、在上述驱动部件上双支承上述可动板；
驱动单元，具有强磁性体、对该强磁性体作用磁场的线圈、和向该线圈施加电压的电压施加单元，在上述可动板的俯视图中，上述强磁性体和上述线圈中的一个设置于离开上述驱动部件上的上述X轴和上述Y轴的各自的轴的位置；以及
定位部，设置于上述驱动部件上，决定上述强磁性体或上述线圈向上述驱动部件的固定位置，
通过由上述电压施加单元向上述线圈施加电压，使上述可动板围绕上述X轴和上述Y轴的各自的轴转动、二维扫描由上述反射部反射的光。
由此，能够正确地在上述驱动部件上的规定位置固定上述强磁性体或上述线圈。因此，能够提供能够发挥期望的扫描特性的光扫描器。
本发明的图像形成装置的特征在于包括光扫描器，该光扫描器包括：第一振动系统，包括框状的驱动部件，以及一对第一轴部件，上述一对第一轴部件以使上述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支承上述驱动部件；
第二振动系统，包括设置于上述驱动部件的内侧、包括具有光反射性的光反射部的可动板，以及一对第二轴部件，上述一对第二轴部件以使上述可动板围绕与上述X轴正交的Y轴转动的方式、在上述驱动部件上双支承上述可动板；
驱动单元，具有强磁性体、对该强磁性体作用磁场的线圈、和向该线圈施加电压的电压施加单元，在上述可动板的俯视图中，上述强磁性体和上述线圈中的一个设置于离开上述驱动部件上的上述X轴和上述Y轴的各自的轴的位置；以及
定位部，设置于上述驱动部件上，决定上述强磁性体或上述线圈向上述驱动部件的固定位置，
通过由上述电压施加单元向上述线圈施加电压，使上述可动板围绕上述X轴和上述Y轴的各自的轴转动、二维扫描由上述反射部反射的光。
由此，能够正确地在上述驱动部件上的规定位置固定上述强磁性体或上述线圈。因此，能够提供包括能够发挥期望的扫描特性的光扫描器的图像形成装置。此外，因为能够以一个光扫描器对光进行二维扫描，所以能够达到图像形成装置的小型化。
附图说明
图1是表示本发明的执行机构的第一实施方式的平面图；
图2是图1中的A-A线截面图；
图3是图1中的B-B线截面图；
图4是表示图1所示的执行机构所包括的驱动单元的电压施加单元的框图；
图5是表示图4所示的第一电压产生部和第二电压产生部的产生电压的一个例子的图；
图6是表示图1所示的执行机构的制造方法的图；
图7是表示本发明的执行机构的第二实施方式的平面图；
图8是图7中的A-A线截面图；
图9是表示图7所示的执行机构所包括的驱动单元的电压施加单元的框图；
图10是表示图9所示的第一电压产生部和第二电压产生部的产生电压的一个例子的图；
图11是表示本发明的执行机构的第三实施方式的截面图；以及
图12是表示本发明的图像形成装置的概要图。
符号说明
1、1A、1B 执行机构 2 基体
21 第一振动系统 211 驱动部件
212、213 第一轴部件 22......第二振动系统
221 可动板 221a 光反射部
222、223 第二轴部件 23 支承部
3 支承基板 4 控制部
5 对基板 6、6A 驱动单元
61、61B 永久磁铁 61a 凹部
611A、612A 软磁性体
62、621A、622A 线圈
63、63A 电压施加单元
631、631A 第一电压产生部
632、632A 第二电压产生部
633、633A 电压叠加部
633a、634A、635A 加法器
71、71A、71B、72、72A、72B 定位部件
71a、72a 第一层 71b、72b 第二层
711、712、721、722 相对部
711B 衬垫部 712B 壁部
73B 空间 81、82 粘接层
9 图像形成装置(投影机)
91 光源装置 911 红色光源装置
912 蓝色光源装置 913 绿色光源装置
92 分色镜(dichroic mirror)
95 固定镜 100 SOI基板
100a Si层 100b SiO2层
100c Si层 M1、M2 抗蚀掩模
S 屏幕 X、Y 转动中心轴
具体实施方式
以下对本发明的执行机构、光扫描器和图像形成装置的适宜的实施方式，参照附图进行说明。
<第一实施方式>
首先，说明本发明的执行机构的第一实施方式。
图1是表示本发明的执行机构的适宜的实施方式的俯视图，图2是图1中的A-A线截面图，图3是图1中的B-B线截面图，图4是表示图1所示的执行机构所包括的驱动单元的框图，图5是表示图4所示的第一电压产生部和第二电压产生部的产生电压的一个例子的图。而且，在下述中，为了说明的方便，称图1中的纸面近前侧为“上”、纸面内侧为“下”、右侧为“右”、左侧为“左”，称图2和图3中的上侧为“上”、下侧为“下”、右侧为“右”、左侧为“左”。
如图1和图2所示，执行机构1包括：具有第一振动系统21和第二振动系统22的基体2；支承基体2的支承基板3；隔着支承基板3与基体2相对的相对基板5；由永久磁铁61、线圈62和电压施加单元63构成的驱动单元6；和决定永久磁铁61的固定位置的定位部71、72。
如图1所示，基体2包括框状的支承部23、支承于支承部23的第一振动系统21、支承于第一振动系统21的第二振动系统22。
第一振动系统21由设置于支承部23的内侧的框状的驱动部件211、在支承部23上双支承驱动部件211的一对第一轴部件212、213构成。此外，第二振动系统22由设置于驱动部件211的内侧的可动板221、在驱动部件211上双支承可动板221的一对第二轴部件222、223构成。
在图1的俯视图(即，可动板221的俯视图)中，驱动部件211为圆环状。但是，驱动部件211的形状只要为框状，没有特别限定，例如，在图1的俯视图中，也可以为四角环状。在驱动部件211的下面固定(紧固)有呈长方形的永久磁铁61。该永久磁铁61被正确地固定于通过形成于驱动部件211的下面的一对定位部71、72决定的固定位置。这样的驱动部件211通过一对第一轴部件212、213双支承于支承部23。
第一轴部件212、213分别呈长方形，能够弹性变形。以驱动部件211能够相对支承部23转动的方式，第一轴部件212、213分别与驱动部件211和支承部23连接。这样，第一轴部件212、213相互同轴地设置，以该轴(以下称为“转动中心轴X”)为中心，驱动部件211相对支承部23转动。
在图1的俯视图中，形成于驱动部件211的内侧的可动板221为圆形状。但是只要形成于驱动部件211的内侧，可动板221的形状并无特别限定，例如，在图1的俯视图中，也可以为椭圆形、四边形。在可动板221的上面形成有具有光反射性的光反射部221a。这样可动板221通过一对第二轴部件222、223双支承于驱动部件211。
第二轴部件222、223分别呈长方形，能够弹性变形。以可动板221能够相对驱动部件211转动的方式，第二轴部件222、223分别与可动板221和驱动部件211连接。这样，第二轴部件222、223相互同轴地设置，以该轴(以下称为“转动中心轴Y”)为中心，可动板221相对驱动部件211转动。
如图1所示，转动中心轴X和转动中心轴Y是相互正交的轴。即，转动中心轴X和转动中心轴Y所成的角为90度。此外，在图1的俯视图中，驱动部件211和可动板221的各自的中心位于转动中心轴X和转动中心轴Y的交点上。而且，以下为了说明的方便，也称转动中心轴X和转动中心轴Y的交点为“交点G”。
这样的基体2例如以硅为主材料构成，一体形成可动板221、第二轴部件222、223、驱动部件211、第一轴部件212、213、支承部23。通过以硅为主材料，能够实现优异的转动特性，并且能够发挥优异的耐久性。此外，能够进行微细的处理(加工)，能够达到执行机构1的小型化。
而且，基体2也可以从SOI基板等具有叠层结构的基板形成可动板221、第二轴部件222、223、驱动部件211、第一轴部件212、213、支承部23。此时，优选以使可动板221、第二轴部件222、223、驱动部件211、第一轴部件212、213、支承部23为一体的方式，以叠层结构基板的一层构成它们。
如图2所示，以上所述的基板2与支承基板3接合。这样的支承基板3例如以玻璃、硅为主材料构成。在可动板221的俯视图中，支承基板3为与支承部23大致相同的形状(即呈框状)。但是，只要能够支承基体2，对支承基板3的形状没有特别的限定。此外，根据支承部23的形状等，也可以省略支承基板3。
如图2所示，隔着支承基板3，以与基体2相对的方式设置有相对基板5。这样的相对基板5例如以玻璃、硅为主材料构成。在相对基板5的上面设置有产生作用于永久磁铁61的磁场的线圈62。这样的线圈62与电压施加单元63电连接。由永久磁铁61、线圈62和电压施加单元63构成驱动单元6。
如上所述，在驱动部件211的下面形成有一对定位部71、72。这样的定位部71、72决定永久磁铁61向驱动部件211的固定位置。由此，能够在驱动部件211上的规定位置正确地固定永久磁铁61。因此，执行机构1能够发挥期望的振动特性。此外，例如在大量生产执行机构1等的情况下，能够抑制执行机构的振动特性的个体差别，能够提高成品率。
此外，通过在驱动部件211的下面形成定位部71、72，能够在驱动部件211的下面固定永久磁铁61。由此，能够缩短永久磁铁61和线圈62的分离距离。其结果，能够达到执行机构1的小型化和省电力化。
如图1和图2所示，一对定位部71、72在永久磁铁61的长边方向以相互相对的方式形成。并且，在这样的一对定位部71、72之间设置有永久磁铁61。
一对定位部71、72的相互的分离距离(图2中的L1)与永久磁铁61的长边方向的长度大致相等。通过形成这样的一对定位部71、72，能够可靠地防止永久磁铁61向驱动部件211的固定位置相对规定的位置，在永久磁铁61的长边方向(即，驱动部件211的半径方向)产生偏差。
定位部71以与永久磁铁61的长边方向的一端部卡合的方式形成。定位部71包括以在永久磁铁61的宽度方向相互相对的方式设置的一对相对部711、712。并且，这样的一对相对部711、712之间设置有永久磁铁61的一端部。
一对相对部711、712的相互的分离距离与永久磁铁61的宽度大致相等。由此，能够可靠地防止永久磁铁61向驱动部件211的固定位置相对规定的位置，在永久磁铁61的宽度方向(即，驱动部件211的周方向)产生偏差。
在图1的俯视图中，这样的定位部71呈“コ”字状，但是，作为定位部71的形状，只要能够决定永久磁铁61向驱动部件的固定位置，则无特别限定，例如，也可以分别以个体形成相对部711、712。
同样的，定位部72以与永久磁铁61的长边方向的另一端部卡合的方式形成。该定位部72包括以在永久磁铁61的宽度方向相互相对的方式设置的一对相对部721、722。并且，这样的一对相对部721、722之间设置有永久磁铁61的另一端部。
一对相对部721、722的相互的分离距离(图3中的L2)与永久磁铁61的宽度大致相等。由此，能够可靠地防止永久磁铁61向驱动部件211的固定位置相对规定的位置，在永久磁铁61的宽度方向产生偏差。
在图1的俯视图中，这样的定位部72呈“コ”字状，但是，作为定位部72的形状，只要能够决定永久磁铁61向驱动部件的固定位置，则无特别限定，例如，也可以分别以个体形成相对部721、722。
作为定位部71、72的材料，只要能够在驱动部件211上形成，并决定永久磁铁61向驱动部件211的固定位置，则无特别限定，例如，能够适用玻璃、硅、陶瓷、Li、Be、B、Na、Mg、Al、K、Ca、Sc、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Rb、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Cd、In、Sn、Sb、Cs、Ba、La、Hf、Ta、W、Tl、Pb、Bi、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Ag、Au、Pt、Pd等各种金属材料、各种热硬化性树脂、和各种热可塑性树脂等。
在本实施方式中，如图2所示，定位部71在可动板221的厚度方向(即，正交于转动中心轴X和转动中心轴Y的各自轴的方向)叠层以SiO2为主材料构成的第一层71a和以硅为主材料构成的第二层71b而构成。同样的，定位部72在可动板221的厚度方向叠层以SiO2为主材料构成的第一层72a和以硅为主材料构成的第二层72b而构成。
通过使定位部71、72采用这样的结构，能够使用SOI基板，极为简单地一体形成定位部71、72和驱动部件211。具体而言，例如从SOI基板的一方的Si层形成基体2(驱动部件211)，从SiO2层形成定位部71的第一层71a和定位部72的第一层72a，从另一方的Si层形成定位部71的第二层71b和定位部72的第二层72b。这样，能够一体形成定位部71、72和驱动部件211。但是，只要能够一体形成定位部71、72和驱动部件211，则并无特别限定，例如，也可以仅从SOI的基板的SiO2层形成定位部71、72，也可以从SOI基板以外的具有叠层结构的基板一体形成定位部71、72和驱动部件211。此外，也可以从硅基板等的单层基板一体形成定位部71、72和驱动部件211。
这样，通过一体形成定位部71、72和驱动部件211，能够高精度地(极为正确地)在驱动部件211上的规定位置形成定位部71、72。由此，能够极为正确地决定永久磁铁61向驱动部件211的固定位置。
在通过以上说明的定位部71、72决定的固定位置固定有永久磁铁61。如图2所示，该永久磁铁61设置于可动板221的光反射部221a的相反面一侧。由此，通过永久磁铁61，能够防止在光反射部221a阻碍光扫描。
此外，在图1的俯视图中，永久磁铁61通过转动中心轴X和转动中心轴Y的交点(以下也称该交点为“交点G”)，沿着相对转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴倾斜的线段(以下也称该线段为“线段J”)设置。
这样的永久磁铁61的相对交点G的长边方向的一侧为S极，另一侧为N极。在图2中，为了说明的方便，图示了永久磁铁61的长边方向的线面左侧为S极、纸面右侧为N极的状况，但也可以是相反的。
在图1的俯视图中，线段J相对转动中心轴X的倾斜角θ优选为30至60度，更优选为40至50度，进一步优选为大致45度。通过这样设置永久磁铁61，能够极为平滑地使可动板221围绕转动中心轴X和转动中心Y的各自的轴转动。与此相对，当倾斜角θ不足上述下限值时，根据施加至线圈62的电压的强度，存在不能平滑地使可动板221围绕X轴转动的情况。另一方面，当倾斜角θ超过上述上限值时，根据施加至线圈62的电压的强度，存在不能平滑地使可动板221围绕Y轴转动的情况。
本实施方式中，线段J相对转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴倾斜45度。
此外，如图2所示，在永久磁铁61的可动板221侧的面(即上面)上形成有凹部61a。该凹部61a是用于防止永久磁铁61和可动板221接触的退让部。通过形成这样的凹部(退让部)61a，能够平滑地进行可动板221围绕转动中心轴Y的转动。此外，通过使退让部为凹部61a，能够极为简单地防止永久磁铁61和可动板221的接触。但是，作为退让部，只要能够防止可动板221和永久磁铁61的接触，并无特别限定，例如，也可以是向正交于转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴的方向形成的贯通孔。此外，例如在粘接层81、82具有能够防止可动板221和永久磁铁61的接触的程度的厚度等的情况下，也可以省略这样的凹部61a。
作为这样的永久磁铁61，并无特别限定，例如能够适用钕磁铁、铁氧体磁铁、钐钴磁铁、铝镍钴磁铁、粘结磁铁等磁化为硬磁性体的磁铁。
而且，也可以通过将已磁化的硬磁性体(即永久磁铁)设置于驱动部件211的下面以作为永久磁铁61，也可以通过在驱动部件211上设置硬磁性体，之后磁化该硬磁性体以作为永久磁铁61。
如图2所示，以上说明的永久磁铁61通过粘接层81、82固定于驱动部件211。该粘接层81、82由粘接剂构成。由此，能够简单且牢固地粘接驱动部件211和永久磁铁61。作为这样的粘接剂的主材料，只要能够粘接驱动部件211和永久磁铁61，并无特别限定，但优选将硬化性树脂作为主材料以构成。由此，能够更牢固地粘接驱动部件211和永久磁铁61。
此处，粘接层81、82各自具有伴随粘接剂的硬化而收缩的性质。但是，因为执行机构1具有定位部71、72，所以能够有效地防止通过这样的粘接层81、82的收缩使永久磁铁61产生移位。从这样的观点出发，通过形成定位部71、72，并且通过粘接层81、82将永久磁铁61固定于驱动部件211，能够达到制造的简易化和低成本化，提供能够发挥期望的振动特性的执行机构1。
但是，只要能够在由定位部71、72决定的固定位置固定永久磁铁61，则永久磁铁61和驱动部件211的接合方法没有特别限定。
在永久磁铁61的正下方设置有线圈62。由此，能够使从线圈62产生的磁场有效地作用于永久磁铁61。结果，能够达到执行机构1的小型化和省电力化。
此外，如图1所示，在图1的俯视图中，线圈62以包围驱动部件211的外周的方式形成。由此，在执行机构1的驱动时，能够可靠地防止驱动部件211和线圈62的接触。结果，能够使线圈62和永久磁铁61之间的分离距离变得极短，能够将从线圈62产生的磁场有效地作用于永久磁铁61。即，能够有效地达到执行机构1的省电力化和小型化。而且，线圈62例如也可以卷绕于磁芯上。
线圈62与电压施加单元63电连接。并且，通过由电压施加单元63在线圈62上施加电压，从线圈62产生具有与转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴正交的轴方向的磁通的磁场。
如图4所示，电压施加单元63包括：产生用于使可动板221围绕转动中心轴X转动的第一电压V1的第一电压产生部631；产生用于使可动板221围绕转动中心轴Y转动的第二电压V2的第二电压产生部632；叠加第一电压V1和第二电压V2，将该电压施加于线圈62的电压叠加部633。
如图5(a)所示，第一电压产生部631产生以周期T1周期性变化的第一电压V1(垂直扫描用电压)。
第一电压V1是锯齿波的波形。因此，执行机构1能够有效地对光进行垂直扫描(副扫描)。而且，第一电压V1的波形并不限定于此。此处，只要是适合垂直扫描的频率，第一电压V1的频率(1/T1)并不特别限定，优选为30至80Hz(60Hz左右)。
本实施方式中，第一电压V1的频率以成为与由驱动部件211和一对第一轴部件212、213构成的第一振动系统21的扭转共振频率不同的频率的方式进行调整。
另一方面，如图5(b)所示，第二电压产生部632产生以与周期T1不同的周期T2周期性变化的第二电压V2(水平扫描用电压)。
第二电压V2是正弦波的波形。因此，执行机构1能够有效地对光进行主扫描。而且，第二电压V2的波形并不限定于此。
优选这样的第二电压V2的频率比第一电压V1的频率大。即，优选周期T2比周期T1短。由此，能够更可靠且更平滑地使可动板221以第一电压V1的频率围绕转动中心轴X转动，且以第二电压V2的频率围绕转动中心轴Y转动。
此外，第二电压V2的频率与第一电压V1的频率不同，且只要是适于水平扫描的频率，则并无特别限定，但优选为10至40kHz。这样，通过使第二电压V2的频率为10至40kHz，如上所述使第一电压V1的频率为60Hz左右，能够以适于在显示器的描绘的频率使可动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动。但是，只要能使可动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动，第一电压V1的频率和第二电压V2的频率的组合等并无特别限定。
本实施方式中，第二电压V2的频率以与由可动板221和一对第二轴部件222、223构成的第二振动系统22的扭转共振频率相同方式进行调整。即，第二振动系统22以其扭转共振频率为适于水平扫描的频率的方式进行设计(制造)。由此，能够使可动板221围绕转动中心轴Y的转动角变大。
此外，在令第一振动系统21的共振频率为f1[Hz]，第二振动系统22的共振频率为f2[Hz]时，f1和f2优选满足f2＞f1的关系，更优选满足f2≥10f1的关系。由此，能够更平滑地使可动板221以第一电压V1的频率围绕转动中心轴X转动，且以第二电压V2的频率围绕转动中心轴Y转动。
这样的第一电压产生部631和第二电压产生部632分别与控制部4连接，基于来自该控制部4的信号进行驱动。在这样的第一电压产生部631和第二电压产生部632上连接有电压叠加部633。
该电压叠加部633具有用于在线圈62施加电压的加法器633a。加法器633a从第一电压产生部631接受第一电压V1，并从第二电压产生部632接受第二电压V2，叠加这些电压并施加于线圈62。
采用以上结构的执行机构1以下述方式驱动。而且，本实施方式中，如上所述，第一电压V1的频率设定为与第一振动系统21的扭转共振频率不同的值，第二电压V2的频率以与第二振动系统22的扭转共振频率相同，且比第一电压V1的频率大的方式进行设定(例如，第一电压V1的频率为60Hz，第二电压V2的频率为15kHz)。
例如，在电压叠加部633叠加图5(a)所示的第一电压V1和图5(b)所示的电压V2，将叠加的电压施加于线圈62(该叠加的电压也称为“电压V3”)。
这样，通过电压V3的对应第一电压V1的电压，在下述两种磁场中交互地进行切换：在使驱动部件211的粘接层81附近靠近线圈62的同时，使驱动部件211的粘接层82附近从线圈62离开的磁场(该磁场称为“磁场A1”)；在使驱动部件211的粘接层81附近从线圈62离开的同时，使驱动部件211的粘接层82附近靠近线圈62的磁场(该磁场称为“磁场A2”)。
此处，在图1的俯视图中，粘接层81位于驱动部件211的相对转动中心轴X的一侧，粘接层82位于另一侧。换言之，在图1的俯视图中，一对第一粘接层81、82以夹持转动中心轴X的方式设置于驱动部件211。因此，通过交互切换磁场A1和磁场A2，使第一轴部件212、213扭转变形，使驱动部件211与可动板221一同以第一电压V1的频率围绕转动中心轴X转动。
而且，第一电压V1的频率与第二电压V2的频率相比设定得极低。此外，第一振动系统21的共振频率设计得比第二振动系统22的共振频率低(例如，第二振动系统22的共振频率的1/10以下)。即，因为第一振动系统21设计得比第二振动系统22更容易振动，所以能够通过第一电压V1围绕转动中心轴X转动。即，能够防止驱动部件211通过第二电压V2围绕转动中心轴X转动。
另一方面，通过电压V3的对应第二电压V2的电压，在下述两种磁场中交互地进行切换：在使驱动部件211的粘接层81附近靠近线圈62的同时，使驱动部件211的粘接层82附近从线圈62离开的磁场(该磁场称为“磁场B1”)；在使驱动部件211的粘接层81附近从线圈62离开的同时，使驱动部件211的粘接层82附近靠近线圈62的磁场(该磁场称为“磁场B2”)。
此处，在图1的俯视图中，粘接层81位于驱动部件211的相对转动中心轴Y的一侧，粘接层82位于另一侧。换言之，在图1的俯视图中，一对第一粘接层81、82以夹持转动中心轴Y的方式设置于驱动部件211。因此，通过交互切换磁场B1和磁场B2，使第二轴部件222、223扭转变形，使可动板221以第二电压V2的频率围绕转动中心轴Y转动。
而且，第二电压V2的频率与第二振动系统22的扭转共振频率相等。因此，能够通过第二电压V2控制可动板221围绕转动中心轴Y转动。即，能够防止可动板221通过第一电压V1围绕转动中心轴Y转动。
由上述可知，在执行机构1中，通过将叠加有第一电压V1和第二电压V2的电压V3施加于线圈62，能够使可动板221以第一电压V1的频率围绕转动中心轴X转动，且以第二电压V2的频率围绕转动中心轴Y转动。由此，能够达到低成本化和小型化，使可动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动。
特别是，因为能够使作为驱动源的永久磁铁和线圈的各自的数目变少，所以能够为简单且小型的结构。
此外，如上所述，执行机构1以可动板211围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动的方式构成。因此，例如，在没有形成定位部71、72，永久磁铁61向驱动部件211的固定位置相对规定位置产生偏差的情况下，可动板221的围绕转动中心轴X的转动特性和围绕转动中心轴Y的转动特性可能分别与期望的特性产生偏差。从该观点出发，执行机构1通过具有定位部71、72，能够极为简单且可靠地发挥期望的振动特性。
此外，通过在驱动部件211设置永久磁铁61，以与永久磁铁61相对的方式设置线圈62，能够抑制由于通电从线圈62产生的热所引起的基体2的热膨胀。由此，执行机构1能够长时间地发挥期望的振动特性。
以上所述的执行机构1例如能够以下述方式制造。
图6是用于说明执行机构1的制造方法的图(对应图1中B-B线纵截面图的图)。而且，以下为了说明的方便，称图6中的上侧为“上”，下侧为“下”。
首先，如图6(a)所示，准备用于形成基体2和定位部71、72的SOI基板100。这样的SOI基板100为叠层Si层100a、SiO2层100b和Si层100c的叠层结构。然后，如图6(b)所示，在Si层100a的上面形成与可动板221、第二轴部件222、223、驱动部件211、第一轴部件212、213、支承部23的俯视图形状对应的形状的抗蚀掩模M1，并且在Si层100c的下面形成与定位部71、72的俯视图形状对应的形状的抗蚀掩模M2。
接着，隔着抗蚀掩模M1蚀刻Si层100a。之后，除去抗蚀掩模M1。由此，如图6(c)所示，得到一体形成有可动板221、第二轴部件222、223、驱动部件211、第一轴部件212、213、支承部23的Si层100a。而且，此时，SiO2层100b作为蚀刻的阻挡层起作用。作为这样的蚀刻方法，例如能够使用等离子体蚀刻、反应离子蚀刻、束蚀刻、光辅助蚀刻等物理蚀刻法，湿蚀刻等化学蚀刻法等中的一种或两种以上的组合。而且，以下的各工序中的蚀刻也能够使用相同的方法。
接着，隔着抗蚀掩模M2蚀刻Si层100c。之后除去抗蚀掩模M2。由此，如图6(d)所示，得到形成有定位部71的第二层71b和定位部72的第二层72b的Si层100c。此时，SiO2层100b作为蚀刻的阻挡层起作用。
接着，通过除去除了对应定位部71、72的俯视图形状的部分之外的SiO2层100b，如图6(e)所示，能够得到形成有定位部71的第一层71a和定位部72的第一层72a的SiO2层100b。即，得到与驱动部件211一体形成的定位部71、72。这样，通过使用SOI基板，能够极为简单地一体形成驱动部件211和定位部71、72。
接着，在可动板221的上面形成金属膜，形成光反射部221a(未图示)。作为这样的金属膜的形成方法，能够举出真空蒸镀、溅射(低温溅射)、离子镀等干式镀法，电解镀、无电解镀等湿式镀法，熔射法，金属箔的接合等。
接着如图6(f)所示，将预先形成有凹部61a的硬磁性体通过粘接层81、82固定于由定位部71、72决定的驱动部件211上的固定位置。然后，通过磁化固定于驱动部件211上的硬磁性体，得到永久磁铁61。
另一方面，通过蚀刻硅基板分别形成支承基板3和相对基板5(未图示)。作为这样的支承基板3和相对基板5的各自的制造方法，因为与上述从SOI基板100形成基体2等的方法相同，省略其说明。而且，在相对基板5的上面固定有线圈62。
最后，通过接合一体形成有基体2、定位部71、72的SOI基板100、支承基板3和相对基板5，如图6(g)所示，得到执行机构1。作为接合方法，无特别限定，例如也可以使用粘接剂进行接合，也可以通过阳极接合进行接合。
<第二实施方式>
接着，说明本发明的执行机构的第二实施方式。
图7是表示本发明的执行机构的第二实施方式的平面图，图8是图7中的A-A线截面图，图9是表示图7所示的执行机构所包括的驱动单元的框图，图10是表示图9所示的第一电压产生部和第二电压产生部的产生电压的一个例子的图。而且，在下述中，为了说明的方便，称图7中的纸面近前侧为“上”、纸面内侧为“下”、右侧为“右”、左侧为“左”，称图8中的上侧为“上”、下侧为“下”、右侧为“右”、左侧为“左”。
以下，对第二实施方式的执行机构1A，以与上述第一实施方式的执行机构1的不同点为中心进行说明，对同样的事项省略其说明。
本发明的第二实施方式的执行机构1A除了定位部71A、72A的形状和驱动单元6A的结构不同以外，与第一实施方式的执行机构1大致相同。在图7至10中，对与上述第一实施方式同样的结构附给相同的符号。
在驱动部件211的下面形成有一对定位部71A、72A。这样的一对定位部71A、72A相互为相同形状且为相同尺寸。
在图7的俯视图中，定位部71A以包围软磁性体611A的外周的方式形成。即，定位部71A决定软磁性体611A向驱动部件211的固定位置。这样，通过以包围软磁性体611A的外周的方式形成定位部71A，能够将软磁性体611A正确地固定于驱动部件211上的规定位置。
在图7的俯视图(即可动板211的俯视图)中，定位部71A为圆环状。此外，定位部71A的内径比驱动部件211的内周和外周间的距离大。
同样，在图7的俯视图中，定位部72A以包围软磁性体612A的外周的方式形成。即，定位部72A决定软磁性体612A向驱动部件211的固定位置。这样，通过以包围软磁性体612A的外周的方式形成定位部72A，能够将软磁性体612A正确地固定于驱动部件211上的规定位置。
在图7的俯视图中，定位部72A为圆环状。此外，定位部72A的内径比驱动部件211的内周和外周间的距离大。
但是，只要能够决定软磁性体611A、612A的固定位置，定位部71A、72A的形状并无特别限定。例如，定位部71A的内径也可以比驱动部件211的内周和外周间的距离小。此外，定位部71A也可以不是圆环状，例如，也可以为缺少环的一部分的大致“C”字状，也可以以包围软磁性体611A的外周的方式，由相互在软磁性体611A的周方向隔开间隔设置的多个突起部构成。定位部72A也与定位部71A同样。
这样的定位部71A、72A使用SOI基板，与驱动部件211一体形成。
以上所述的定位部71A的内侧与软磁性体611A的固定位置固定，定位部72A的内侧与软磁性体612A的固定位置固定。由此，能够正确地在驱动部件211上的规定位置固定软磁性体611A、612A。结果，执行机构1A能够发挥期望的振动特性。
定位部71A的内侧固定有软磁性体611A，定位部72A的内侧固定有软磁性体612A。在图7的俯视图中，这样的一对软磁性体611A、612A以分别离开转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴的方式设置。
具体而言，如图7所示，软磁性体612A固定于驱动部件211的相对转动中心轴X的第二轴部件222侧，且相对转动中心轴Y的第一轴部件213侧的部位，软磁性体611A固定于驱动部件211的相对转动中心轴X的第二轴部件223侧，且相对转动中心轴Y的第一轴部件212侧的部位。
即，在图7的俯视图中，执行机构1A采用下述结构，在以转动中心轴X和转动中心轴Y将驱动部件211划分为四个区域时，一对软磁性体611A、612A中的一个软磁性体位于具有相对交点G(转动中心轴X和转动中心轴Y的交点)点对称的关系的两个区域中的一个区域内，另一个软磁性体位于另一个区域内。由此，能够平滑地使可动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动。
进而，一对软磁性体611A、612A以相对交点G点对称的方式固定于驱动部件211上。由此，能够更加平滑地使可动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动。
此外，在图7的俯视图中，通过交点G，连接一对软磁性体611A、612A的各自的中心的线段相对转动中心轴X的倾斜角θ优选为30至60度，更优选为40至50度，进一步优选为大致45度。通过在这样的线段上设置一对软磁性体611A、612A，能够极为平滑地使可动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动。
软磁性体611A为圆板状。因此，在执行机构1A的制造时，能够极为简单地将软磁性体611A固定于定位部71A的内侧。
而且，在图7的俯视图中，软磁性体611A的外形与定位部71A的内周的形状大致相等。由此，能够极为正确地在驱动部件211上的规定位置设置软磁性体611A。这样的软磁性体611A通过粘接层81与驱动部件211接合。
同样的，软磁性体612A为圆板状。因此，在执行机构1A的制造时，能够极为简单地将软磁性体612A固定于定位部72A的内侧。
而且，在图7的俯视图中，软磁性体612A的外形与定位部72A的内周的形状大致相等。由此，能够极为正确地在驱动部件211上的规定位置设置软磁性体612A。这样的软磁性体612A通过粘接层82与驱动部件211接合。
这样的软磁性体611A、612A分别以软磁性材料为主材料而构成。作为这样的软磁性材料，无特别限定，能够举出Fe、各种Fe合金(硅铁、坡莫合金、无定形、铝硅铁粉)等。
如图8所示，在以上说明的软磁性体611A的正下方设置有用于磁化软磁性体611A的线圈621A。同样的，在软磁性体612A的正下方设置有用于磁化软磁性体612A的线圈622A。由此，能够通过从线圈621A产生的磁场，有效地磁化软磁性体611A，通过从线圈622A产生的磁场，有效地磁化软磁性体612A。结果，能够达到执行机构1A的小型化和省电力化。
在这样的软磁性体611A的正下方设置有用于磁化软磁性体611A的线圈621A。同样的，在软磁性体612A的正下方设置有用于磁化软磁性体612A的线圈622A。
这样的线圈621A、622A分别与电压施加单元63A电连接。并且，通过由电压施加单元63A在线圈621A、622A上施加电压，从线圈621A、622A分别产生具有与转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴正交的方向的磁通的磁场。通过从线圈621A产生的磁场磁化的软磁性体611A，靠近线圈621A，通过从线圈622A产生的磁场磁化的软磁性体612A靠近线圈622A。
如图9所示，电压施加单元63A包括：产生用于使可动板221围绕转动中心轴X转动的第一电压的第一电压产生部631A；产生用于使可动板221围绕转动中心轴Y转动的第二电压的第二电压产生部632A；叠加第一电压和第二电压，将该电压施加于线圈621A、622A的电压叠加部633A。
如图10(a)、(b)所示，第一电压产生部631A产生以周期T3周期性变化的电压(垂直扫描用电压)。具体而言，第一电压产生部631A产生具有频率(1/T3)的两种第一电压V11、V12。
第一电压V11、V12分别被施加为脉冲状。此外，第一电压V11、V12相互为相同波形，但第一电压V12相对第一电压V11相位偏移180°。通过这样的第一电压V11、V12，执行机构1A能够有效地对光进行垂直扫描(副扫描)。但是，只要能够使可动板221围绕转动中心轴X转动，则第一电压V11、V12的各自的波形并不限定于此。
此外，只要是适合垂直扫描的频率，第一电压V11、V12的频率并无特别限定，优选为30至80Hz(60Hz左右)。此外，本实施方式中，第一电压V11、V12的频率被调整为与由驱动部件211和一对第一轴部件212、213构成的第一振动系统21的扭转共振频率不同的值。
另一方面，如图10(c)、(d)所示，第二电压产生部632A产生以与周期T3不同的周期T4周期性变化的电压(水平扫描用电压)。具体而言，第二电压产生部632A产生具有频率(1/T4)的两种第二电压V21、V22。
第二电压V21、V22分别被施加为脉冲状。此外，第二电压V21、V22相互为相同波形，但第二电压V22相对第二电压V21相位偏移180°。通过这样的第二电压V21、V22，执行机构1A能够有效地对光进行水平扫描(主扫描)。
此外，第二电压V21、V22的频率只要与第一电压V11、V12的频率不同，且是适于水平扫描的频率，则并无特别限定，但优选为10至40kHz。例如，通过使第二电压V21、V22的频率为10至40kHz，如上所述使第一电压V11、V12的频率为60Hz左右，能够以适于在显示器的描绘的频率使可动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动。
这样，第二电压V21、V22的频率以与由可动板221和一对第二轴部件222、223构成的第二振动系统22的扭转共振频率相同方式进行调整。由此，能够使可动板221围绕转动中心轴Y的转动角变大。
这样的第一电压产生部631A和第二电压产生部632A分别与控制部4连接，基于来自该控制部4的信号进行驱动。此外，在这样的第一电压产生部631A和第二电压产生部632A上连接有电压叠加部633A。
电压叠加部633A包括用于在线圈621A上施加电压的加法器634A和用于在线圈622A上施加电压的加法器635A。
加法器634A从第一电压产生部631A接受第一电压V11，并从第二电压产生部632A接受第二电压V21，叠加这些电压并施加于线圈621A。
加法器635A从第一电压产生部631A接受第一电压V12，并从第二电压产生部632A接受第二电压V22，叠加这些电压并施加于线圈622A。
采用以上结构的执行机构1A以下述方式驱动。而且，本实施方式中，如上所述，第一电压V11、V12的频率设定为与第一振动系统21的扭转共振频率不同的值，第二电压V21、V22的频率以与第二振动系统22的扭转共振频率相同，且比第一电压V11、V12的频率大的方式进行设定(例如，第一电压V11、V12的频率为60Hz，第二电压V21、V22的频率为15kHz)。
例如，叠加图10(a)所示的第一电压V11和图10(c)所示的电压V21，并施加于线圈621A(该叠加的电压也称为“电压V31”)。与此同时，叠加图10(b)所示的第一电压V12和图10(d)所示的电压V22，并施加于线圈622A(该叠加的电压也称为“电压V32”)。
这样，在下述两种磁场中交互地进行切换：通过电压V31中对应第一电压V11的电压产生的、使驱动部件211的软磁性体611A附近靠近线圈621A的磁场(该磁场称为“磁场C1”)；通过电压V32中对应第一电压V12的电压产生的、使驱动部件211的软磁性体612A附近靠近线圈622A的磁场(该磁场称为“磁场C2”)。
此处，在图7的俯视图中，在驱动部件211上的相对转动中心轴X的一侧固定软磁性体611A，在另一侧固定软磁性体612A。因此，通过交互切换磁场C1和磁场C2，能够使第一轴部件212、213扭转变形，使驱动部件211和可动板221一起以第一电压V11、V12的频率围绕转动中心轴X转动。
而且，第一电压V11、V12的频率与第二电压V21、V22的频率相比设定得极低。此外，第一振动系统21的共振频率设计得比第二振动系统22的共振频率低(例如，第二振动系统22的共振频率的1/10以下)。即，因为第一振动系统21设计得比第二振动系统22更容易振动，所以能够通过第一电压V11、V12围绕转动中心轴X转动。即，能够防止驱动部件211通过第二电压V21、V22围绕转动中心轴X转动。
另一方面，在下述两种磁场中交互地进行切换：通过电压V31中对应第二电压V21的电压产生的、使驱动部件211的软磁性体611A附近靠近线圈621A的磁场(该磁场称为“磁场D1”)；通过电压V32中对应第二电压V22的电压产生的、使驱动部件211的软磁性体612A附近靠近线圈622A的磁场(该磁场称为“磁场D2”)。
此处，在图7的俯视图中，在驱动部件211上的相对转动中心轴Y的一侧固定软磁性体611A，在另一侧固定软磁性体612A。因此，通过交互切换磁场D1和磁场D2，能够使第二轴部件222、223扭转变形，使可动板221以第二电压V21、V22的频率围绕转动中心轴Y转动。
而且，第二电压V21、V22的频率与第二振动系统22的扭转共振频率相等。因此，能够通过第二电压V21、V22控制可动板221围绕转动中心轴Y转动。即，能够防止可动板221通过第一电压V11、V12围绕转动中心轴Y转动。
由上述可知，在执行机构1A中，通过将叠加有第一电压V11和第二电压V21的电压V31施加于线圈621A、将叠加有第一电压V12和第二电压V22的电压V32施加于线圈622A，能够使可动板221以第一电压V11、V12的频率围绕转动中心轴X转动，且以第二电压V21、V22的频率围绕转动中心轴Y转动。由此，能够达到低成本化和小型化，使可动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动。
此外，本实施方式中，因为执行机构1A包括一对软磁性体611A、612A，所以能够平滑地使可动板221以第一电压V11、V12的频率围绕转动中心轴X转动，且以第二电压V21、V22的频率围绕转动中心轴Y转动。
进而，在图7的俯视图中，因为一对软磁性体611A、612A以相对交点G点对称的方式固定于驱动部件211，所以能够更平滑地使可动板221以第一电压V11、V12的频率围绕转动中心轴X转动，且以第二电压V21、V22的频率围绕转动中心轴Y转动。
而且，在本实施方式中，说明了在驱动部件211上固定一对软磁性体611A、612A的状况，但只要能够使可动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动，则软磁性体的数目并不特别限定。例如，在可动板的俯视图中，也可以将一个软磁性体设置于离开转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴的位置。
根据这样的第二实施方式，也能够发挥与第一实施方式相同的效果。
<第三实施方式>
接着，说明本发明的执行机构3的第三实施方式。
图11是本发明的执行机构的第三实施方式的执行机构所包括的定位部的放大图。而且为了说明的方便，称图11中的纸面上侧为“上”，纸面下侧为“下”。
以下，对第三实施方式的执行机构1B，以与上述第一实施方式的执行机构1的不同点为中心进行说明，对于同样的事项省略其说明。
本发明的第三实施方式的执行机构1B除了定位部71B、72B的形状不同以外，与第一实施方式的执行机构1大致相同。而且，图11中，对与上述第一实施方式同样的结构附给同一符号。因为定位部71B、72B相互为同样的结构，以定位部71B为代表进行说明，省略定位部72B的说明。
以下，基于图11说明定位部71B。图11是对应图1中的A-A线截面图的部分放大图。
定位部71B包括用于形成防止可动板221和永久磁铁61B接触的空间73B的衬垫部711B，和从衬垫部711B向图11中下方向伸出的方式形成的壁部712B。并且，在衬垫部711B的下面通过粘接层81接合有永久磁铁61B。
通过使定位部71B为这样的形状，能够正确决定永久磁铁61B向驱动部件211的固定位置，并且能够简单地形成防止可动板221和永久磁铁61B接触的空间73B。由此，例如，没有必要在永久磁铁61B的上面形成凹部，能够达到执行机构1B的制造的简易化。
此外，通过调整衬垫部711B的厚度，能够决定在正交于转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴的方向的永久磁铁61B的固定位置。即，在驱动部件211的周方向、驱动部件211的半径方向、驱动部件211的厚度方向的全部方向中，能够防止永久磁铁61B的固定位置相对规定位置产生偏差。
根据这样的第三实施方式，也能够发挥与第一实施方式同样的效果。
以上说明的执行机构，因为包括光反射部，例如，能够使用于加速度传感器、角速度传感器等的MEMS应用传感器，激光打印机、条形码阅读器、扫描型共焦点激光显微镜、成像用显示器等图像形成装置所包括的光扫描器、光开关、光衰减器等光学器件。而且，因为本发明的光扫描器为与上述执行机构相同的结构，所以省略其说明。
此处，基于图12，作为图像形成装置的一个例子，说明将执行机构1使用为成像用显示器的光扫描器的情况。而且，屏幕S的长边方向为“横方向”，与长边方向成直角的方向为“纵方向”。此外，转动中心轴X与屏幕S的横方向平行，转动中心轴Y与屏幕S的纵方向平行。
图像形成装置(投影机)9具有激光等照出光的光源装置91、多个分色镜92、92、92和执行机构1。
光源装置91包括照出红色光的红色光源装置911、照出蓝色光的蓝色光源装置912和照出绿色光的绿色光源装置913。
各分色镜92是合成从红色光源装置911、蓝色光源装置912、绿色光源装置913中分别照出的光的光学元件。
这样的投影机9采用下述结构，基于来自未图示的主机的图像信息，在分色镜92合成从光源装置91(红色光源装置911、蓝色光源装置912、绿色光源装置913)照出的光，通过执行机构1二维扫描该合成的光，在屏幕S上形成彩色图像。
在二维扫描时，通过执行机构1的可动板221的围绕转动中心轴Y的转动，在光反射部221a反射的光在屏幕S的横方向被扫描(主扫描)。另一方面，通过执行机构1的可动板221的围绕转动中心轴X的转动，在光反射部221a反射的光在屏幕S的纵方向被扫描(副扫描)。
而且，在图12中，以在通过执行机构1二维扫描在分色镜92合成的光之后，该光由固定镜95反射后在屏幕S上形成图像的方式构成，但也可以省略固定镜95，将通过执行机构1二维扫描的光直接照射于屏幕S。
以上，对本发明的执行机构、光扫描器和图像形成装置，基于图示的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于此。例如，在本发明的执行机构、光扫描器和图像形成装置中，各部的结构能够置换为发挥同样功能的任意的结构，此外，也能够附加任意的结构。
此外，在上述实施方式中，执行机构为相对Y轴和X轴的各自的轴大致对称的形状，但也可以为非对称。
此外，在上述实施方式中，作为强磁性体，使用永久磁铁(强磁性体中，不从外部接受电流、磁场的供给即能够较长期地持续保持作为磁铁的性质的磁体)和软磁性体(强磁性体中，仅在接受外部磁场的磁化时实质性地具有作为磁铁的性质的磁体)进行了说明，但只要能够被作用来自线圈的磁场，并不限定于此。
Claims (16)
1.一种执行机构，其特征在于包括：
第一振动系统，包括框状的驱动部件、以及一对第一轴部件，所述一对第一轴部件以使所述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支承所述驱动部件；
第二振动系统，包括设置于所述驱动部件的内侧的可动板、以及一对第二轴部件，所述一对第二轴部件以使所述可动板围绕与所述X轴正交的Y轴转动的方式、在所述驱动部件上双支承所述可动板；
驱动单元，具有强磁性体、对该强磁性体作用磁场的线圈、和向该线圈施加电压的电压施加单元，在所述可动板的俯视图中，所述强磁性体和所述线圈中的一个设置于离开所述驱动部件上的所述X轴和所述Y轴的各自的轴的位置；以及
定位部，设置于所述驱动部件上，决定所述强磁性体或所述线圈向所述驱动部件的固定位置，
通过由所述电压施加单元向所述线圈施加电压，使所述可动板围绕所述X轴和所述Y轴的各自的轴转动。
2.根据权利要求1所述的执行机构，其特征在于，
所述定位部与所述驱动部件一体形成。
3.根据权利要求2所述的执行机构，其特征在于，
所述驱动部件由SOI基板的一方的Si层形成，所述定位部由所述SOI基板的SiO2层和另一方的Si层中的至少SiO2层形成。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的执行机构，其特征在于，
在所述驱动部件上设置有所述强磁性体，所述强磁性体为长方形的永久磁铁，所述永久磁铁在所述可动板的俯视图中，连接其两极的线段通过所述X轴和所述Y轴的交点，以相对所述X轴和所述Y轴的各个倾斜的方式设置。
5.根据权利要求4所述的执行机构，其特征在于，
所述永久磁铁的长边方向的两端部固定于所述驱动部件，设置有一对所述定位部，以便决定所述永久磁铁的长边方向的两端部的固定位置。
6.根据权利要求5所述的执行机构，其特征在于，
所述一对定位部在所述永久磁铁的长边方向，以隔着所述永久磁铁相互相对的方式，且以相互的分离距离与所述永久磁铁的长度大致相等的方式形成。
7.根据权利要求5或6所述的执行机构，其特征在于，
所述各定位部具有在所述永久磁铁的宽度方向上，以隔着所述永久磁铁相互相对的方式形成的一对相对部，该一对相对部彼此之间的分离距离与所述永久磁铁的宽度方向的长度大致相等。
8.根据权利要求1至3中任一项所述的执行机构，其特征在于，
在所述驱动部件设置有所述强磁性体，所述强磁性体为软磁性体，在所述可动板的俯视图中，所述定位部以包围所述软磁性体的外周的方式设置。
9.根据权利要求8所述的执行机构，其特征在于，
在所述可动板的俯视图中，所述软磁性体为圆形。
10.根据权利要求8或9所述的执行机构，其特征在于，
在所述可动板的俯视图中，所述软磁性体以在由所述X轴和所述Y轴划分的四个区域中，位于具有相对所述X轴和所述Y轴的交点点对称的关系的两个区域内的方式设置有一对，所述线圈以与所述各软磁性体相对的方式设置有一对。
11.根据权利要求10所述的执行机构，其特征在于，
在所述可动板的俯视图中，所述一对软磁性体以相对所述X轴和所述Y轴的交点点对称的方式设置。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的执行机构，其特征在于，
所述电压施加单元包括：电压产生部，用于产生周期性变化、其频率相互不同的第一电压和第二电压；以及电压叠加部，用于叠加所述第一电压和所述第二电压，其中，通过将在所述电压叠加部叠加的电压施加至所述线圈，使所述可动板以所述第一电压的频率围绕所述X轴转动，并以所述第二电压的频率围绕所述Y轴转动。
13.根据权利要求12所述的执行机构，其特征在于，
所述第二电压的频率与所述第二振动系统的共振频率相等，所述第一电压的频率与所述第一振动系统的共振频率不同。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的执行机构，其特征在于，所述可动板包括具有光反射性的光反射部。
15.一种光扫描器，其特征在于包括：
第一振动系统，包括框状的驱动部件、以及一对第一轴部件，所述一对第一轴部件以使所述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支承所述驱动部件；
第二振动系统，包括设置于所述驱动部件的内侧、包括具有光反射性的光反射部的可动板，以及一对第二轴部件，所述一对第二轴部件以使所述可动板围绕与所述X轴正交的Y轴转动的方式、在所述驱动部件上双支承所述可动板；
驱动单元，具有强磁性体、对该强磁性体作用磁场的线圈、和向该线圈施加电压的电压施加单元，在所述可动板的俯视图中，所述强磁性体和所述线圈中的一个设置于离开所述驱动部件上的所述X轴和所述Y轴的各自的轴的位置；以及
定位部，设置于所述驱动部件上，决定所述强磁性体或所述线圈向所述驱动部件的固定位置，
其中，通过由所述电压施加单元向所述线圈施加电压，使所述可动板围绕所述X轴和所述Y轴的各自的轴转动、二维扫描由所述光反射部反射的光。
16.一种图像形成装置，包括光扫描器，其特征在于，所述光扫描器包括：
第一振动系统，包括框状的驱动部件、以及一对第一轴部件，所述一对第一轴部件以使所述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支承所述驱动部件；
第二振动系统，包括设置于所述驱动部件的内侧、包括具有光反射性的光反射部的可动板，以及一对第二轴部件，所述一对第二轴部件以使所述可动板围绕与所述X轴正交的Y轴转动的方式、在所述驱动部件上双支承所述可动板；
驱动单元，具有强磁性体、对该强磁性体作用磁场的线圈、和向该线圈施加电压的电压施加单元，在所述可动板的俯视图中，所述强磁性体和所述线圈中的一个设置于离开所述驱动部件上的所述X轴和所述Y轴的各自的轴的位置；以及
定位部，设置于所述驱动部件上，决定所述强磁性体或所述线圈向所述驱动部件的固定位置，
其中，通过由所述电压施加单元向所述线圈施加电压，使所述可动板围绕所述X轴和所述Y轴的各自的轴转动、二维扫描由所述光反射部反射的光。
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