CN101315773B - 悬臂件、磁头折片组合及其制造方法以及磁盘驱动单元 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种磁头折片组合的悬臂件，该悬臂件包括具有舌片区域的挠性件和外触发板。所述外触发板具有一对刚性臂和一对弹性臂。所述一对弹性臂使得所述挠性件具有有利的挠性并有助于所述磁头具有足够的位移。所述一对刚性臂给所述挠性件提供了足够的刚度，这不仅成功地防止了具有所述外触发板的磁头折片组合产生悬臂件形变和凸点脱离，而且有助于提高磁头折片组的防震性能。另外，悬臂件的这种结构为磁头提供了良好的静态性能，并因此提高了磁头折片组合的动态性能。本发明也公开了带有所述悬臂件的磁头折片组合及其制造方法和具有所述磁头折片组合的磁盘驱动单元。

Description

悬臂件、磁头折片组合及其制造方法以及磁盘驱动单元
技术领域
本发明涉及一种信息记录磁盘驱动单元，尤其涉及一种具有微致动器的磁头折片组合(HGA，head gimbal assembly)的悬臂件、磁头折片组合及其制造方法以及磁盘驱动单元。 
背景技术
磁盘驱动单元是一种利用磁性介质存储数据的信息存储装置，并有一可移动的磁性读/写头定位在磁性介质上，以选择性地从磁性介质读取或向磁性介质写入数据。 
消费者总是希望这类磁盘驱动系统的存储容量不断增加，同时希望其读写速度更快更精确。因此磁盘制造商一直致力于开发具有较高存储容量的磁盘系统，比如通过减少磁盘上的磁轨宽度或磁轨间距的方式增加磁轨的密度，进而间接增加磁盘的存储容量。然而，随着磁轨密度的增加，对读写头的位置控制精度也必须相应的提高，以便在高密度磁盘中实现更快更精确的读写操作。随着磁轨密度的增加，使用传统技术来实现更快更精确地将读写头定位于磁盘上适当的磁轨变得更加困难。因此，磁盘制造商一直寻找提高对读写头位置控制的方式，以便利用不断增加的磁轨密度所带来的益处。目前，已有许多公开文献，例如名称为“Piezoelectric Driving Device”(压电驱动装置)的美国专利公开第2003/0268935号，揭露了读写头位置控制的方法。 
一种被磁盘驱动单元制造商有效利用的方法是采用音圈马达(VCM，voice-coil motor)来提高读写头在高密度磁盘上位置控制的精度。参见图1a，一种使用音圈马达的传统磁盘驱动单元包括一个驱动臂104、一个连接到并安装在所述驱动臂104上的磁头折片组合106、悬置在所述磁头折片组合106上的磁盘 101以及旋转所述磁盘101的主轴马达102。所述音圈马达以附图标记105表示并连接到所述驱动臂104上，以控制驱动臂104的运动，进而控制所述磁头折片组合106上的磁头103定位在磁盘101的表面上的磁轨上，最终使得磁头103内的读写头能从磁盘101上读取数据或者把数据写到磁盘101上。但是，仅使用音圈马达105时，由于在磁头的移位过程中所述音圈马达105与所述磁头折片组合106之间存在固有容差(inherent tolerances)，因此所述磁头103不能实现快速而精确的位置控制，并且极大地影响读写头精确地从磁盘101上读取数据或者把数据写到磁盘101的性能。 
为了解决上述问题，一个附加致动器，例如压电微致动器，被引进到所述磁盘驱动单元中以改善或更精确控制磁头的移位。与音圈马达相比，所述压电微致动器以更小的幅度来调整磁头103的位移，以便补偿音圈马达和/或磁头折片组合的谐振容差。所述微致动器使得应用更小的磁轨间距成为可能，并且可以将磁盘的磁轨密度(TPI值，″tracks-per-inch″value，每英寸所含的磁轨数量)提高50％，同时可以减少磁头的寻轨及定位时间。因此，压电微致动器使磁盘驱动单元可以大幅度提高信息存储磁盘的表面记录密度。 
参考图1a-1b，所述压电微致动器包括两个压电元件。所述压电元件107以附图标记107表示并安装在所述磁头折片组合106内。所述磁头折片组合106包括磁头103和承载所述磁头103和微致动器之压电元件107的悬臂件110。所述悬臂件110包括挠性件111、具有突起112a的磁头支持部112、金属基板113和具有凸起124a的负载杆124。磁头103局部安装在磁头支持部112上，并且所述突起112a支撑磁头103背面的中心。详细地，所述挠性件111具有若干线缆，所述挠性件111的线缆连接磁头支持部112和金属基板113。所述挠性件111上设有一舌片区域111a用以放置所述微致动器的压电元件107。参考图1c，当电压输送到所述压电微致动器的压电元件107时，一个压电元件沿箭头D方向收缩，另一个压电元件沿箭头E方向扩张。这样产生一个旋转力矩，使得磁头支持部112沿箭头C方向旋转，从而带动磁头103在磁盘上移动。在这种情况下，所述负载杆114上的凸点114a与所述磁头支持部112的突起112a配合工作， 也就是说所述磁头103和所述磁头支持部112一起围绕着所述凸点114a旋转，这样使得负载力从负载杆124一直平稳均匀地施加到磁头103的中心，从而确保磁头103具有好的飞行性能，进而使得读写头具有良好的飞行稳定性。 
然而，由于所述磁头支持部112通过挠性件111的线缆连接到所述金属基板113上，而且因为挠性件111的线缆只有10-20um厚且由软聚合材料制成，所以在悬臂件制造过程中、磁头折片组合制造过程中、处理过程中或者超声波清洗过程中，所述挠性件111容易扭曲，相应地所述悬臂件110也会产生形变。这样的形变也会在震动或撞击情况下发生。并且，由这种弱结构导致的悬臂件形变还将恶劣地导致悬臂件或者磁头折片组合凸点分离。图2a和2b分别显示了悬臂件舌片区域形变的情形和凸点脱离的情形。另外，由于所述磁头103局部安装在所述磁头支持部112上，并且所述磁头支持部112通过挠性件111的线缆与金属基板相连，所以磁头103的静态姿态，例如横向静态姿态(PSA，pitch staticattitude)和纵向静态姿态(RSA，roll static attitude)很难控制，从而导致磁头折片组合性能不稳定并严重影响磁头折片组合的动态性能，这种情况在震动或者撞击发生时或者在生产或者操作过程中尤为明显。最后，上述结构使得整个磁头折片组合具有很差的防震动性能。当震动和撞击事件发生时，例如倾斜坠落撞击或者操作撞击，所述悬臂件110或压电微致动器的压电元件107可能会被损坏。 
因此，有必要提供一种改进的悬臂件、具有微致动器的磁头折片组合及其制造方法以及具有磁头折片组合的磁盘驱动单元来解决上述问题并达到更好的性能 
发明内容
本发明的目的是提供一种磁头折片组合的悬臂件，所述悬臂件具有改进的结构，能防止在悬臂件制造过程或撞击事件中悬臂件形变和凸点脱离，从而提高磁头折片组合的防震性能以及静态和动态性能。
本发明的另一目的在于提供一种具有悬臂件的磁头折片组合，所述悬臂件具有改进的结构，能防止在悬臂件制造过程或撞击事件中悬臂件形变和凸点脱离，从而提高磁头折片组合的防震性能以及静态和动态性能。 
本发明的再一目的在于提供一种制造磁头折片组合的方法，以避免悬臂件形变和凸点脱离，以及提高磁头折片组合的防震性能以及静态和动态性能。 
本发明的又一目的在于提供一种具有良好动态和静态性能以及较高防震性能的磁盘驱动单元。 
为了实现上述目的，本发明提供一种磁头折片组合的悬臂件。所述悬臂件包括挠性件和外触发板。所述挠性件具有一个舌片区域。所述舌片区域具有用于安装磁头的磁头安装部和用于安装压电元件的压电元件安装部，所述磁头直接安装于所述磁头安装部之上，所述压电元件的自由端延伸至所述磁头之下以局部支撑所述磁头。所述外触发板具有一对刚性臂和一对弹性臂。所述一对刚性臂分别连接到所述挠性件上舌片区域的相对两侧。所述一对弹性臂各有一端连接到相应刚性臂的自由端。另一端延伸至所述挠性件的磁头安装部的中间区域并位于所述磁头之下以局部承载所述磁头；每个所述弹性臂具有至少一个弱点，所述弱点的宽度比所述弹性臂的宽度小。 
作为本发明的一个实施例，每个所述弹性臂具有至少一个弯曲部使所述弹性臂的长度大于从所述刚性臂到所述磁头安装部的中间区域的距离。优选地，每个所述弹性臂制造成曲线形。可选地，所述弹性臂也可制造成V形。优选地，所述外触发板的弹性臂具有与所述舌片区域的磁头安装部共面的部分。 
作为本发明的另一实施例，所述外触发板的刚性臂具有一个侧边成形结构，所述侧边成形结构在所述刚性臂与所述弹性臂之间具有一个成形角。优选地，所述外触发板的刚性臂具有一个扁平部和一个从所述扁平部垂直弯曲的垂直部，所述垂直部与所述挠性件的舌片区域垂直。优选地，所述外触发板的刚性臂具有一个与所述挠性件的舌片区域垂直的垂直结构。 
优选地，所述外触发板的刚性臂在所述垂直部与所述扁平部相交处具有至少一个窗口或开口或局部蚀刻的凹槽。 
本发明提供的磁盘驱动单元的磁头折片组合包括磁头、具有压电元件的微致动器以及支撑所述磁头和微致动器的悬臂件。所述悬臂件包括挠性件和外触发板。所述挠性件具有一个舌片区域。所述舌片区域具有用于安装磁头的磁头安装部和用于安装压电元件的压电元件安装部，所述磁头直接安装于所述磁头 安装部之上，所述压电元件的自由端延伸至所述磁头之下以局部支撑所述磁头。所述外触发板具有一对刚性臂和一对弹性臂。所述一对刚性臂分别连接到所述挠性件上舌片区域的相对两侧。所述一对弹性臂各有一端连接到相应刚性臂的自由端。另一端延伸至所述挠性件的磁头安装部的中间区域并位于所述磁头之下以局部承载所述磁头；每个所述弹性臂具有至少一个弱点，所述弱点的宽度比所述弹性臂的宽度小。 
本发明提供的一种制造磁头折片组合的方法，包括如下步骤：1）成形一个挠性件和一个外触发板，所述挠性件具有一舌片区域，所述舌片区域具有一磁头安装部和一压电元件安装部，所述外触发板具有一对刚性臂和一对弹性臂，所述一对刚性臂分别连接到所述挠性件之舌片区域的相对两侧，所述一对弹性臂各有一端连接到相应刚性臂的自由端，另一端连接到所述磁头安装部的中间区域并位于所述磁头之下以局部承载所述磁头；每个所述弹性臂具有至少一个弱点，所述弱点的宽度比所述弹性臂的宽度小；2）提供压电元件并将所述压电元件安装至所述挠性件的压电元件安装部，且所述压电元件的自由端延伸至所述磁头之下以局部支撑所述磁头；3）提供一个磁头并将所述磁头直接安装到所述挠性件的磁头安装部。 
本发明提供的一种磁盘驱动单元包括磁头折片组合、与磁头折片组合相连的驱动臂、磁盘以及用于旋转磁盘的主轴马达。所述磁头折片组合包括磁头、具有压电元件的微致动器、以及支撑所述磁头和微致动器的悬臂件，所述悬臂件包括磁头、具有压电元件的微致动器以及支撑所述磁头和微致动器的悬臂件。所述悬臂件包括挠性件和外触发板。所述挠性件具有一个舌片区域。所述舌片区域具有用于安装磁头的磁头安装部和用于安装压电元件的压电元件安装部，所述磁头直接安装于所述磁头安装部之上，所述压电元件的自由端延伸至所述磁头之下以局部支撑所述磁头。所述外触发板具有一对刚性臂和一对弹性臂。所述一对刚性臂分别连接到所述挠性件上舌片区域的相对两侧。所述一对弹性臂各有一端连接到相应刚性臂的自由端。另一端延伸至所述挠性件的磁头安装部的中间区域并位于所述磁头之下以局部承载所述磁头；每个所述弹性臂具有至少一个弱点，所述弱点的宽度比所述弹性臂的宽度小。 
与现有技术相比，所述一对弹性臂使得所述挠性件在X-Y平面(平行于所述挠性件平面)内具有足够的挠性和良好的弹性率，有助于所述磁头在所述微致动器驱动时产生足够的位移，因此所述磁头能自由转动。并且，所述一对刚性臂给所述挠性件在Z轴方向(垂直于所述挠性件平面)上提供了足够的刚度， 可以成功地阻止挠性件扭曲，有助于具有挠性件的磁头折片组合在生产或处理过程中或者震动或撞击事件中避免悬臂件舌片区域形变和凸点脱离。另外，上述悬臂件的结构使得所述磁头折片组合具有良好的静态性能，例如有利的横向姿态和纵向姿态控制能力，从而提高了磁头飞行于所述磁盘过程中磁头折片组合的动态性能 
通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释本发明的实施例。 
附图说明
图1a是传统磁盘驱动单元的立体图。 
图1b是一个用于图1a所示磁盘驱动单元的传统磁头折片组合的立体分解图。 
图1c是图1b所示磁头折片组合组装后的部分俯视图，以展示磁头折片组合的运作原理。 
图2a是展示传统磁头折片组合的悬臂舌片区域形变问题的示意图。 
图2b是展示传统磁头折片组合的凸点脱离问题的示意图。 
图3a是本发明具有压电微致动器的磁头折片组合的第一个实施例的立体图，其中所述磁头折片组合的挠性件形成一个外触发板，所述外触发板具有一对侧边成形结构的刚性臂以及一对形状为曲线的弹性臂。 
图3b是图3a所示磁头折片组合的立体分解图。 
图4a是图3a所示磁头折片组合的局部放大立体图。 
图4b是图4a所示磁头折片组合的挠性件的立体图。 
图4c是图4a所示磁头折片组合的压电微致动器的压电元件的立体图。 
图4d是图4a所示磁头折片组合的局部侧视图。 
图5a是图4a所示磁头折片组合的俯视图，其中压电微致动器没有驱动。 
图5b是图4a所示磁头折片组合的俯视图，展示了当电压输入压电微致动器时压电微致动器是如何工作的。
图6展示了本发明的微致动器的撞击敏感度测试数据。 
图7展示了本发明的微致动器的共振增益测试数据。 
图8a是本发明带有压电微致动器的磁头折片组合的第二个实施例的局部放大立体图，其中所述磁头折片组合的挠性件形成一个外触发板，所述外触发板包括一对具有垂直于所述挠性件之舌片区域的竖直部的刚性臂以及一对形状为曲线的弹性臂。 
图8b是本发明带有压电微致动器的磁头折片组合的第三个实施例的部分放大立体图，其中所述磁头折片组合的挠性件形成一个外触发板，所述外触发板包括一对刚性臂以及一对形状为曲线的弹性臂，所述刚性臂具有一个垂直弹性臂弯折的竖直结构。 
图9是本发明磁头折片组合的制造方法的一个实施例的流程图。 
图10是本发明磁盘驱动单元的立体图。 
具体实施方式
现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。如上所述，本发明旨在提供了一种悬臂件，以悬置相对信息媒介进行记录或者复制信息的磁头。所述悬臂件包括一个具有舌片区域和外触发板地挠性件。所述外触发板具有一对刚性臂和一对弹性臂。所述一对刚性臂分别连接到所述挠性件之舌片区域的相对两侧。所述一对弹性臂各有一端连接到其分别对应的刚性臂的自由端，另一端延伸到挠性件的磁头安装部的中间区域以便承载所述磁头。所述悬臂件的外触发板的结构使得挠性件在X-Y平面内具有良好的弹性率以及在z轴方向上具有良好的刚性，因此不仅给挠性件提供了良好的挠性，从而给磁头提供了良好的位移，也使得所述具有悬臂件的磁头折片组合能成功的避免悬臂件变形和凸点脱离。另外，所述具有上述外触发板的悬臂件使得所述磁头折片组合具有良好的静态性能，例如良好的横向姿态和纵向姿态控制能力，这样也因此提高了磁头飞行在磁盘过程中磁头折片组合的动态性能。
图3a-5b描述了本发明磁头折片组合300的第一种实施例。参见图3a-5b，所述磁头折片组合300主要包括具有若干磁头电连接触点311的磁头310、一微致动器的两个压电元件320以及承载或者支撑所述磁头310和所述压电元件320的悬臂件330。所述悬臂件330包括互相组装在一起的负载杆430、基板530、枢接件630以及挠性件730。所述负载杆430通过所述枢接件630连接到所述基板530上。所述挠性件730穿过所述枢接件630到达所述负载杆430。所述负载杆430的一端连接到铰接于所述驱动臂(图未示)的所述基板530上。所述负载杆430的另一端支撑所述挠性件730的舌片区域。所述挠性件730的舌片区域给所述磁头310提供了挠性。详细地，所述挠性件730提供了若干悬臂触点731，所述悬臂触点731连接到控制系统中。为了平稳均匀地把承载力从所述负载杆430转移到所述磁头310上，所述承载杆430提供了一个主凸点431来支持所述挠性件730的舌片区域之磁头安装的位置。 
图4a详细展示了所述磁头折片组合300的舌片区域。图4b和4c分别展示了所述磁头折片组合300的挠性件和微致动器的压电元件320。 
如图4b所示，挠性件730具有一个舌片区域。所述舌片区域包括安装磁头310的磁头安装部731以及安装压电元件320的压电元件安装部732。另外，所述挠性件730形成有外触发板733。详细地，所述外触发板733具有一对刚性臂733b和一对弹性臂733a。所述一对刚性臂分别连接到挠性件730之舌片区域的相对两侧。所述一对弹性臂733a各有一端连接到对应刚性臂733b的自由端，另一端延伸到所述挠性件730的磁头安装部731的中间区域736以便支撑所述磁头310。 
在本实施例中，所述弹性臂733a使所述挠性件730在X-Y平面内具有良好的弹性率。所述刚性臂733b使得所述挠性件730在Z轴方向上具有良好的刚性。这些都有助于所述磁头折片组合300能避免在制造过程中或者震动或撞击事件中的悬臂件舌片区域变形以及凸点脱离。另外，所述外触发板733的结构有助于所述磁头折片组合300保持良好的挠性，因此在驱动所述压电微致动器时所述磁头310具有足够的位移，并且所述磁头310能自由转动。并且，由于所述 挠性件730在Z轴方向上，即横向方向和纵向方向上具有足够的刚性，所以磁头310具有良好的静态性能，如能提供有利的横向姿态和纵向姿态控制能力，因此也提高了在磁头310飞行在所述磁盘过程中的磁头折片组合300的动态性能。 
如图4b所示，所述每个弹性臂733a具有若干弯曲部737，因此所述弹性臂733a的长度大于所述刚性臂733b与所述磁头安装部731的中间区域736之间的距离。因此，所述外触发板733具有良好的伸展能力，并且能在一个较大范围内伸展以及降低在横向方向和纵向方向上的磁头折片组合300的折片刚度(gimbal stiffness)。因此所述具有外触发板733的挠性件730能够提供有利的挠性和较低的折片刚度，有助于所述磁头320在当所述微致动器的压电元件320激发时具有足够的位移。较佳地，每个弹性臂733a制造成曲线状。可选地，所述弹性臂733a也能制造成其他形状，如方形、V形或者其他适当的形状，只要能增加所述弹性臂733a的挠性以及能在驱动所述微致动器时增加所述磁头310的位移。较佳地，所述外触发板733的弹性臂733a具有与所述挠性件730的舌片区域的磁头安装部731共面的部分，以更好地支撑所述磁头310。在本发明的实施例中，所述弹性臂733a具有至少一个弱点738，并且所述弱点738的宽度小于所述弹性臂733a的宽度。弱点738的结构也有助于增加所述磁头折片组合300的挠性并能更加降低所述磁头折片组合300的折片刚度。当所述磁头折片组合300具有上述特征时，所述磁头的飞行稳定性以及静态和动态性能都优化了。 
根据如图4b所示的本发明的第一个实施例，所述挠性件还在舌片区域具有若干挠性件电性触点734a、734b、734c以及两组电迹735a、735b。参见图4c，所述微致动器的压电元件320包括压电元件320a、320b。所述压电元件320a、320b分别有自由端321、322和一个公共端323。所述公共端323上有对应于所述挠性件电性触点734a、734b、734c的若干压电电性触点323a、323b、323c。其中挠性件电性触点734c是公共接地端。再参见图4a和4b，所述磁头310以挠性件730的磁头安装部731支撑所述磁头并且所述弹性臂733a局部支撑所述磁头310的方式局部安装。所述压电微致动器的两个压电元件320a、320b分别 安置在所述挠性件730的压电元件安装部732上。挠性件730和两个压电元件320a、320b之间的电连接可以采用不同的电连接方法，比如锡焊或金属焊接或其他合适的方法。形成在所述挠性件730上的电迹735a、735b一端与压电元件320a、320b元件的压电电性触点323a、323b、323c和磁头310的磁头电性触点311相连，另一端通过悬臂件触点731与控制系统相连(见图3b)。因此所述控制系统通过电迹735a、735b分别控制磁头310和压电微致动器。 
图4d是图4a中磁头折片组合的部分侧视图。磁头局部安装在挠性件730的舌片区域的磁头安装部731上。所述弹性臂733a支撑所述磁头安装部731的中间区域736。所述刚性臂733b加强所述挠性件730的硬度。如图4d所示，所述微致动器的压电元件320安置在所述挠性件730上，负载杆430的主凸点431支撑所述挠性件730。当所述磁头310飞行在所述磁盘(图未示)上时，所述主凸点431保持所述负载力从所述负载杆430总是均匀地施加到所述磁头310的中心，从而确保所述磁头良好的飞行性能。 
图5a是图4a所示磁头折片组合300的俯视图，其中微致动器的压电元件320没有激发。图5b是图4a所示磁头折片组合300的俯视图，显示了当电压输入微致动器的压电元件320时微致动器的压电元件320是如何工作的。详细地，当电压输入至压电微致动器的压电元件320a、320b时，压电元件320a收缩而压电元件320b扩张，从而产生一个旋转力矩，使所述挠性件730的舌片区域围绕所述负载杆430的主凸点431转动。因为所述外触发板733的弹性臂733a在挠性件730的磁头安装部731的中间区域736局部支撑所述磁头310，并且由于所述弹性臂733a维持在所述外触发板的顶端并提供所述舌片区域足够的弹性旋转空间，所以所述磁头310能获得足够的位移。 
图6和图7展示了本发明的磁头折片组合300的一些测试数据。图6展示了本发明中微致动器的撞击敏感度测试数据。如图6所示，位移敏感度为每伏特大约170nm，这说明本发明中的具有微致动器的磁头折片组合应用到磁盘驱动单元中有足够位移能力。图7展示了本发明中微致动器的共振增益测试数据。曲线503表示的是当悬臂件基板被摇动或驱动时的共振增益，而曲线504表示 的是压电元件320a、320b被驱动时的共振增益。我们可以看到本发明有利之处在于当驱动所述微致动器时，悬臂共振(例如扭曲、摆动以及弯折模式)没有被激发。因此，磁盘驱动单元的性能特征，例如伺服带宽大大提高了。 
图8a为本发明具有压电微致动器的磁头折片组合800的第二实施例的局部放大立体图。与图4a所示的第一实施例的磁头折片组合300相比，所述磁头折片组合800在舌片区域相对两侧具有与磁头折片组合300的外触发板733不同的外触发板833。所述外触发板833具有一对刚性臂833b和一对弹性臂833a。所述刚性臂833b在所述挠性件之舌片区域处成形。所述外触发板833的刚性臂833b具有侧边成形结构。所述侧边成形结构在所述刚性臂833b和相应弹性臂833a之间具有一个成形角。在本实施例中，所述成形角为90度。也就是说，所述刚性臂833b具有一个垂至于所述挠性件的舌片区域的竖直结构。所述一对弹性臂833a与所述外触发板733的弹性臂733a相同。外触发板833的这种结构可在X-Y平面内提供良好的挠性，以及Z轴方向上保持更高的硬度。 
图8b为本发明具有压电微致动器的磁头折片组合900的第三实施例的局部放大立体图。与图4a所示的第一实施例的磁头折片组合300相比，所述磁头折片组合900在舌片区域相对两侧具有与磁头折片组合300的外触发板733不同的外触发板933。所述外触发板933具有一对刚性臂933b和一对弹性臂933a。所述刚性臂933b具有一个竖直部和一个扁平部。所述竖直部从所述扁平部垂直弯折，并且与所述挠性件的舌片区域垂直。所述一对弹性臂933a与所述外触发板733的弹性臂733A、a相同。外触发板933的这种结构可在X-Y平面内提供良好的挠性，以及Z轴方向上保持更高的硬度。在本发明的另外实施例中，所述刚性臂933b在所述竖直部和相应扁平部之间具有至少一个窗口或开口或局部蚀刻的凹槽933c。所述凹槽933c通过化学蚀刻的方式形成。这样的结构使得成形过程简单并且降低了磁头折片组合900在横向方向和纵向方向上的折片硬度。 
图9是一个描述本发明的一个实施例的磁头折片组合的制造方法的流程图，所述方法包括如下步骤：1)成形一个挠性件和一个外触发板，所述挠性件具有一舌片区域，所述舌片区域具有一磁头安装部和一压电元件安装部，所述外触 发板具有一对刚性臂和一对弹性臂，所述一对刚性臂分别连接到所述挠性件之舌片区域的相对两侧，所述一对弹性臂各有一端连接到相应刚性臂的自由端，另一端连接到所述磁头安装部的中间区域(步骤S1)；2)提供压电元件并将所述压电元件安装至所述挠性件的压电元件安装部(步骤S2)；3)提供一个磁头并将所述磁头安装到所述挠性件的磁头安装部(步骤S3)。 
参考图10，根据本发明磁盘驱动单元的一个实施例，磁盘驱动单元可以通过组装壳体1010、磁盘1020、用于旋转磁盘1020的主轴马达1030、音圈马达1060和带有磁头折片组合300、800或900的驱动臂1050来获得。因为磁盘驱动单元的结构和组装过程为本领域的一般技术人员所熟知，所以在此省略关于其结构和组装的详细描述。 
以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发明并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、等效组合。

Claims (18)

1.一种磁头折片组合的悬臂件，包括：
挠性件，所述挠性件具有一个舌片区域，所述舌片区域具有用于安装磁头的磁头安装部和用于安装压电元件的压电元件安装部，所述磁头直接安装于所述磁头安装部之上，所述压电元件的自由端延伸至所述磁头之下以局部支撑所述磁头；及
外触发板，所述外触发板具有一对刚性臂和一对弹性臂，所述一对刚性臂分别连接到所述挠性件上舌片区域的相对两侧，所述一对弹性臂各有一端连接到相应刚性臂的自由端，另一端延伸至所述挠性件的磁头安装部的中间区域并位于所述磁头之下以局部承载所述磁头；每个所述弹性臂具有至少一个弱点，所述弱点的宽度比所述弹性臂的宽度小。
2.如权利要求1所述的悬臂件，其特征在于：每个所述弹性臂具有至少一个弯曲部使所述弹性臂的长度大于从所述刚性臂到所述磁头安装部的中间区域的距离。
3.如权利要求1所述的悬臂件，其特征在于：每个所述弹性臂为曲线形。
4.如权利要求1所述的悬臂件，其特征在于：所述外触发板的弹性臂具有与所述舌片区域的磁头安装部共面的部分。
5.如权利要求1所述的悬臂件，其特征在于：所述外触发板的刚性臂具有一个侧边成形结构，所述侧边成形结构在所述刚性臂与所述弹性臂之间具有一个成形角。
6.如权利要求1所述的悬臂件，其特征在于：所述外触发板的刚性臂具有一个扁平部和一个从所述扁平部垂直弯曲的垂直部，所述垂直部与所述挠性件的舌片区域垂直。
7.如权利要求1所述的悬臂件，其特征在于：所述外触发板的刚性臂具有一个与所述挠性件的舌片区域垂直的垂直结构。
8.如权利要求6所述的悬臂件，其特征在于：所述外触发板的刚性臂在所述垂直部与所述扁平部相交处具有至少一个开口或局部蚀刻的凹槽。
9.一种磁盘驱动单元的磁头折片组合，包括：
磁头；
具有压电元件的微致动器；以及
支撑所述磁头和微致动器的悬臂件，所述悬臂件包括具有舌片区域的挠性件以及外触发板，所述舌片区域包括用于安装磁头的磁头安装部和用于安装压电元件的压电元件安装部，所述磁头直接安装于所述磁头安装部之上，所述压电元件的自由端延伸至所述磁头之下以局部支撑所述磁头，所述外触发板具有一对刚性臂和一对弹性臂，所述一对刚性臂分别连接到所述挠性件上舌片区域的相对两侧，所述一对弹性臂各有一端连接到相应刚性臂的自由端，另一端延伸至所述挠性件的磁头安装部的中间区域并位于所述磁头之下以局部承载所述磁头；每个所述弹性臂具有至少一个弱点，所述弱点的宽度比所述弹性臂的宽度小。
10.如权利要求9所示的磁头折片组合，其特征在于：每个所述弹性臂具有至少一个弯曲部使所述弹性臂的长度大于从所述刚性臂到所述磁头安装部的中间区域的距离。
11.如权利要求9所示的磁头折片组合，其特征在于：每个所述弹性臂为曲线形。
12.如权利要求9所示的磁头折片组合，其特征在于：所述外触发板的弹性臂具有与所述舌片区域的磁头安装部共面的部分。
13.如权利要求9所示的磁头折片组合，其特征在于：所述外触发板的刚性臂具有一个侧边成形结构，所述侧边成形结构在所述刚性臂与所述弹性臂之间具有一个成形角。
14.如权利要求9所示的磁头折片组合，其特征在于：所述外触发板的刚性臂具有一个扁平部和一个从所述扁平部垂直弯曲的垂直部，所述垂直部与所述挠性件的舌片区域垂直。
15.如权利要求9所示的磁头折片组合，其特征在于：所述外触发板的刚性臂具有一个与所述挠性件的舌片区域垂直的垂直结构。
16.如权利要求14所示的磁头折片组合，其特征在于：所述外触发板的刚性臂在所述垂直部与所述扁平部相交处具有至少一个开口或局部蚀刻的凹槽。
17.一种制造磁头折片组合的方法，包括如下步骤：
成形一个挠性件和一个外触发板，所述挠性件具有一舌片区域，所述舌片区域具有一磁头安装部和一压电元件安装部，所述外触发板具有一对刚性臂和一对弹性臂，所述一对刚性臂分别连接到所述挠性件之舌片区域的相对两侧，所述一对弹性臂各有一端连接到相应刚性臂的自由端，另一端连接到所述磁头安装部的中间区域并位于所述磁头之下以局部承载所述磁头；每个所述弹性臂具有至少一个弱点，所述弱点的宽度比所述弹性臂的宽度小；
提供压电元件并将所述压电元件安装至所述挠性件的压电元件安装部，且所述压电元件的自由端延伸至所述磁头之下以局部支撑所述磁头；
提供一个磁头并将所述磁头直接安装到所述挠性件的磁头安装部。
18.一种磁盘驱动单元，包括：
磁头折片组合；
与磁头折片组合相连的驱动臂；
磁盘；及
用于旋转磁盘的主轴马达；
其中所述磁头折片组合包括：
磁头；
具有压电元件的微致动器；以及
支撑所述磁头和微致动器的悬臂件，所述悬臂件包括具有舌片区域的挠性件以及外触发板，所述舌片区域包括用于安装磁头的磁头安装部和用于安装压电元件的压电元件安装部，所述磁头直接安装于所述磁头安装部之上，所述压电元件的自由端延伸至所述磁头之下以局部支撑所述磁头，所述外触发板具有一对刚性臂和一对弹性臂，所述一对刚性臂分别连接到所述挠性件上舌片区域的相对两侧，所述一对弹性臂各有一端连接到相应刚性臂的自由端，另一端延伸至所述挠性件的磁头安装部的中间区域并位于所述磁头之下以局部承载所述磁头；每个所述弹性臂具有至少一个弱点，所述弱点的宽度比所述弹性臂的宽度小。
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