CN101490514B - 具有调节系数存储器的流量传感器 - Google Patents
具有调节系数存储器的流量传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101490514B CN101490514B CN2007800271177A CN200780027117A CN101490514B CN 101490514 B CN101490514 B CN 101490514B CN 2007800271177 A CN2007800271177 A CN 2007800271177A CN 200780027117 A CN200780027117 A CN 200780027117A CN 101490514 B CN101490514 B CN 101490514B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- signal
- coarse adjustment
- sensor
- sensing
- terminal user
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/02—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
- G01F15/022—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature using electrical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
- G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters
Abstract
一种传感器,其包括耦合到信号调节集成电路的一个或多个传感换能器,其中信号调节集成电路包括信号调节电路和用于存储终端用户可下载系数的存储器。在优选实施例中,该集成电路是专用集成电路,该终端用户可下载系数由终端用户基于需要而预先选定,当校准传感器时将这些系数预先存储到专用集成电路中。从而获得一种相对于现有技术为成本低、体积小且功能改善的传感器装置。
Description
技术领域
本发明涉及传感器领域,更具体而言,涉及包含用于调节感测信号的调节电路的传感器。
背景技术
换能器是一种为了测量或信息传递将一种能量转换成另一种能量的装置。传感换能器是一种检测(感测)信号或物理条件并且然后将其转换成人可以读取和分析的信号的换能器类型。采用传感换能器的装置例如包括质量气流传感器、速度传感器、位置传感器、压力传感器、相关湿度传感器等等。
在某些情况下,采用组合传感器来测量多个信号或物理条件,使用单一一个传感器设备。组合传感器通常包括测量流量(例如,空气流、水流等等)的一个或多个传感换能器。流量传感器可以具有高度非线性输出,这是因为这些输出和许多因数有关,例如传感元件的电阻的温度系数、被测量的介质和换能器介质的热传递特性以及流动路径的机械尺寸。
众所周知,在此被称为“原始信号”的传感换能器的输出必须经过调节,以便能够被终端用户有效利用。信号调节电路和调节技术(也被称为“信号补偿”或“信号校正”)调节来自传感换能器的原始信号,而与传感换能器测量的量或传感换能器技术无关。
当组合传感器包括流量传感器时,该输出的高度非线性要求调节方案必然也是高度非线性的。其他因素也会影响传感换能器输出信号的线性和稳定性,例如传感器周围环境温度和多种传感技术的灵敏度,从而还需要增加对输出信号进行非线性调节的功能。
目前已经开发出专用集成电路(ASIC)来调节传感换能器信号,这些ASIC提供许多种程序化选项,可以选用其中的特定选项来匹配特定传感器技术的特性。因为在市面上有很多种传感器(压力、流量、速度、位置传感器等等),所以不可能设计出一种万能的ASIC来调节每一种换能器输出的原始信号。然而,在大多数情况下,调节原始信号所要获得的特性基本类似(灵敏度、偏差、温度引发的灵敏度变化、温度引发的偏差变化和非线性特性),因此目前已经开发出能够“粗”调原始信号达到上述基本特性的通用调节电路。粗调节在此是指利用低阶多项表达式来调节信号,例如2nd阶或更低阶的多项表达式。粗调节所要达到的典型条件包括补偿因温度引发的灵敏度变化或因温度引发的信号偏差变化。
当前,传感器制造商采用两种方法来调节组合传感器的传感换能器输出的原始信号,然后将它们发送给用户,每一种方法都有其优点。在第一种方法中,信号调节专用集成电路包括这样的调节电路,它能够粗调节原始信号然后将将该粗调节的信号发送给终端用户。由于调节的基本水平已由专用集成电路来提供,所以终端用户不必提供或采用自有的处理器来进行调节,这样可以解放出来执行其他任务。这种方法的缺点是,调节的稳健性受到限制,但是有利于提供一种能够应用于多种场合的信号调节芯片。这种技术足以应付非常线性的输出,但是对于流量传感器和采用流量传感器的组合传感器的非线性输出却力不从心。
第二种方法是,为终端用户提供可下载补偿系数,该可下载补偿系数应用到从传感器接收原始信号的终端用户装置的处理器所处理的调节等式中。实际上,例如TEDS(换能器电子数据片)集成电路的存储器存储这种应用于例如信号调节领域的领域中的可下载系数。传感换能器将原始信号输出到终端用户装置,终端用户系统中的处理器将已经从存储器下载的最佳系数应用到等式,从而执行所需调节。利用从存储器地址获得的可下载系数使得终端用户可以根据需要灵活采用高阶(例如,3rd阶或更高阶多项表达式)指数函数来调节换能器原始信号,而不必如上所述采用信号调节专用集成电路提供的更多通用调节系数。然而,由于终端用户对从传感换能器直接输出的原始信号执行调节过程,因此终端用户要实现调节要很大程度上依赖处理器。
希望提供一种这样的流量传感器和/或组合传感器,它采用集成电路,该集成电路可以满足特定终端用户的多种需求,为终端用户提供粗调节信号和可下载系数以便在需要时提供高级调节。
发明内容
根据本发明,一种流量传感器和/或组合传感器,包括集成信号调节集成电路,该集成信号调节集成电路包括信号调节电路和用于存储终端用户可下载系数的存储器。在优选实施例中,该终端用户可下载系数由终端用户根据需要预先选定,当传感器装置被校准时这些系数被预先存储到ASIC中。这样就获得一种更节约成本和空间的组合传感器,其功能相对于现有技术中的组合传感器被改善。
附图说明
图1是示出本发明的基本结构和概念的方块图;
图2是示出根据本发明执行的步骤的流程图。
具体实施方式
图1是示出本发明的优选实施例的基本结构和概念的方块图。参照图1,传感器100包括多个传感换能器102A、102B和102C,每个传感换能器输出原始信号至ASIC104的信号调节器108的输入端112。虽然在图1只示出三个传感换能器,但是也可以采用其他任意数量的换能器,它们都落入本发明的范围之内。这些原始信号对应于传感换能器102A、102B和/或102C感测的参数。信号调节器108通过公知方式调节来自传感换能器102A、102B和102C的原始信号,采用低阶多项表达式(例如,2nd阶或更低阶)来产生粗调节信号,在该实施例中,该粗调节信号经输出端116输出到终端用户装置110。
传感换能器102A、102B和102C都可以是任意类型的传感换能器,例如,传感器102A可以是质量气流传感器,传感器102B可以是速度传感器,而传感器102C可以是压力传感器。在至少一个传感换能器感测会产生高度非线性输出的参数的情况中,例如感测流体流量的传感换能器,本发明是特别有用的。
终端用户装置110例如包括微处理器,终端用户利用该微处理器来分析、存储,及其它方式使用来自传感器102A、102B和102C的数据。该微处理器可以定制成实现该目的,更典型的情况是,该微处理器可以成为利用所分析的数据实现其他目的的更大型处理装置的一部分,例如,用于监测医院病人的呼吸、体温和心率的病人监测器。
ASIC104位于传感换能器102A、102B和102C和终端用户装置110之间。ASIC104装备有存储器106。该存储器106存储终端用户经输出端114下载到终端用户装置110的特定系数,以便执行特定任务。例如,终端用户可以在特定应用场合利用来自信号调节器108的粗调节信号,还需要利用预定等式和传感器特定正弦傅立叶系数,调节该粗调节信号,从而获得更加线性的信号。根据本发明,当传感器100被提供给终端用户时,存储器106具有特定终端用户存储的特定傅立叶系数,并且可由终端用户下载使用。
因此,终端用户可以利用传感器100,将它连接到终端用户装置110,然后在从传感器100接收感测信号之前,从存储器106下载可下载系数。这配置终端用户装置110不仅能够从信号调节器108接收粗补偿信号,而且还能够将从存储器106下载的预定系数应用到该粗补偿信号,经补偿之后,获得更加准确、高度补偿的信号。利用可下载系数执行的第二级补偿被称为“细调节”,意思是利用比粗调节采用的多项表达式更高阶的多项表达式来调节信号,例如3rd或更高阶的多项表达式。
在图1中,传感换能器102A、102B和102C和ASIC104被示出为集成到传感器100中,但是,传感换能器102A-102C和ASIC104也可以形成为分离(非集成)的部件,这种非集成结构同样落入本发明的范围之内。而且,在该优选实施例中,存储器106和信号调节器108都配置在ASIC中,但是可以理解,存储器106和信号调节器108也可以配置在通用集成电路中,这种结构同样落入本发明的范围之内。
虽然存储器106包括一组任何终端用户可使用的通用系数,但是,在优选实施例中,存储器106在传送系数给终端用户使用之前可以被预配置,其中仅有终端用户采用的应用到调节等式所需要的特定系数。在优选实施例中,该存储器包括EEPROM。向存储器加载系数的过程是公知的,在此不再赘述。而且,在上述示例中,“更低阶”多项表达式被描述为2nd或更低阶,高级调节被描述为采用3rd或更高阶多项表达式来执行,这些都仅仅只是示例。本发明所要强调的是,第一级调节由集成电路上的信号调节电路来执行,第二级调节由终端用户装置利用在集成电路的存储器中存储的可下载系数来执行。
图2是根据本发明执行的步骤的流程图。在步骤200,传感器制造商/供应商和终端用户对采用一个或多个调节等式达成协议,其用于细调节从传感器100接收的粗调节信号。该等式例如也会根据传感器输出的原始信号的线性或非线性而不同。
在步骤202,校准传感器,终端用户所使用的用于等式中的系数下载到ASIC的存储器。优选的,在校准期间测试传感器的同时,将终端用户所需要的用于等式的系数安装到工厂。此外,可以在传送到终端用户之前后期制造过程期间存储这些系数。
在步骤204,传感器100连接到终端用户装置。在步骤206,通过连接到终端用户装置,来自ASIC的存储器的这些系数下载到终端用户装置以供它们使用。根据需要可以推迟该步骤,直到实际中需要这些系数。在步骤208,终端用户装置从传感器100的信号调节器108接收粗调节信号。
在步骤210,确定是否需要对来自传感换能器102A的原始信号输出进行细调节。如果需要细调节,则过程进行到步骤212,在该步骤,利用下载的系数和适当的等式,对来自传感换能器102A的原始信号进行进一步调节;然后过程进行到步骤218,在该步骤,采用来自传感换能器102A的细调节信号实现预期目的。
如果在步骤210确定不需要对来自传感换能器102A的原始信号输出进行细调节,则在步骤214确定是否需要对来自传感换能器102B的原始信号输出进行细调节。如果需要细调节,则过程前进到步骤212,在该步骤,利用下载的系数和适当的等式,对来自传感换能器102B的原始信号进行进一步调节;然后过程前进到步骤218,在该步骤,采用来自传感换能器102B的细调节信号实现预期目的。
如果在步骤214确定不需要对来自传感换能器102B的原始信号输出进行细调节,则在步骤216确定是否需要对来自传感换能器102C的原始信号输出进行细调节。如果需要细调节,则过程前进到步骤212,在该步骤,利用下载的系数和适当的等式,对来自传感换能器102C的原始信号进行进一步调节;然后过程前进到步骤218,在该步骤,采用来自传感换能器102C的细调节信号实现预期目的。
如果在步骤216确定不需要对来自传感换能器102C的原始信号输出进行细调节,则过程直接前进到步骤214,采用该粗调节信号实现期望目标。
由于具备将预先加载到传感器的可下载系数提供给终端用户的能力,传感器制造商可以生产出可以在多种场合下应用的高精度传感器。这使得传感器总成本降低,这对于制造商和终端用户而言都是利好结果。
利用标准的公知编程技术可以实现上述步骤。上述实施例的新颖性不在于具体的编程技术,而在于利用上述步骤来实现上述结果。用于实现本发明的软件编程代码通常存储在永久性存储器中。在客户/服务器环境中,这种软件编程代码可以存储到与服务器所关联的存储器中。该软件编程代码可以存储到数据处理系统采用的任意公知介质上,例如磁盘、硬盘驱动器或CD ROM。该代码可以存储到这些介质上,或者可以经某种网络从一种计算机系统的存储器或存储介质发送给用户,或者传送给其他计算机系统供其他系统的用户使用。用于在物理介质存储软件程序代码和/或经网络传送软件代码的技术和方法都众所周知的,在此不再赘述。
可以理解的是,所述的每一个部件和部件组合可以通过执行专门功能或步骤的通用和/或专用硬件系统来实现,或者可以通过通用和/或专用硬件和计算机指令的组合来实现。
这些程序指令可以提供给处理器以便构成机器,从而在处理器上执行这些指令,实现说明书中阐述的功能。这些计算机程序指令可以通过处理器来执行,从而形成处理器执行的一系列操作步骤,获得计算机可执行过程,从而在处理器上执行这些指令,提供实现说明书中阐述的功能所需的步骤。相应的,附图辅助说明了用于执行专门功能的装置的组合、用于执行专门功能的步骤组合、和用于执行专门功能的程序指令装置。
虽然在此说明了本发明的原理,但是本领域技术人员可以理解的是,说明书仅仅只是一种示例,而不用于限制本发明的范围。因此,权利要求覆盖本发明的所有变型的范围,它们都落入本发明的实质精神和范围之内。
Claims (10)
1.一种传感器装置,包括:
第一传感换能器,其用于感测第一参数并输出对应于所述感测的第一参数的第一原始信号;
信号调节电路,其用于接收从所述第一传感换能器输出的所述第一原始信号,对所述第一原始信号执行粗调节处理以产生第一粗调节信号,和经由第一传感器输出端输出所述第一粗调节信号;和
耦合到第二传感器输出的存储单元,用于存储在对从所述信号调节电路输出的所述第一粗调节信号执行细调节处理中要使用的预定传感器专用调节系数。
2.根据权利要求1所述的传感器装置,还包括:
第二传感换能器,其用于感测第二参数并输出对应于所述感测的第二参数的第二原始信号;
其中所述信号调节电路接收从所述第二传感换能器输出的所述第二原始信号,对所述第二原始信号执行粗调节处理以产生第二粗调节信号,和经由所述第一传感器输出端输出所述第二粗调节信号。
3.根据权利要求1所述的传感器装置,其中:
所述信号调节电路和所述存储单元能够耦合到终端用户装置;
当所述信号调节电路和所述存储单元耦合到终端用户装置时,所述终端用户装置接收来自所述第一传感器输出端的所述第一粗调节信号,和来自所述第二传感器输出端的所述存储的系数;和
所述终端用户装置利用所述存储的系数对所述第一粗调节信号执行所述细调节处理。
4.根据权利要求2所述的传感器装置,其中:
所述信号调节电路和所述存储单元能够耦合到终端用户装置;
当所述信号调节电路和所述存储单元耦合到终端用户装置时,所述终端用户装置接收来自所述第一传感器输出端的所述第一粗调节信号和所述第二粗调节信号,和来自所述第二传感器输出端的所述存储的系数;以及
所述终端用户装置利用所述存储的系数对所述第一粗调节信号和/或所述第二粗调节信号执行所述细调节处理。
5.一种用于调节传感器感测的信号的方法,包括:
配置第一传感换能器以感测第一参数并输出对应于所述感测的第一参数的第一原始信号;
配置信号调节电路以接收从所述第一传感换能器输出的所述第一原始信号,对所述第一原始信号执行粗调节处理以产生第一粗调节信号,和经由第一传感器输出端输出所述第一粗调节信号;以及
配置耦合到第二传感器输出端的存储单元以存储在对从所述信号调节电路输出的所述第一粗调节信号执行细调节处理中要使用的预定传感器专用调节系数。
6.根据权利要求5所述的方法,还包括:
配置第二传感换能器以感测第二参数并输出对应于所述感测的第二参数的第二原始信号;
配置所述信号调节电路以接收从所述第二传感换能器输出的所述第二原始信号,对所述第二原始信号执行粗调节处理以产生第二粗调节信号,和经由所述第一传感器输出端输出所述第二粗调节信号。
7.根据权利要求5所述的方法,其中所述信号调节电路和所述存储单元能够耦合到终端用户装置,所述方法还包括:
当所述信号调节电路和所述存储单元耦合到终端用户装置时,将来自所述第一传感器输出端的所述第一粗调节信号和来自所述第二传感器输出端的所述存储的系数输出到所述终端用户装置;以及
利用所述终端用户装置,采用所述存储的系数对所述第一粗调节信号执行所述细调节处理。
8.根据权利要求6所述的方法,其中所述信号调节电路和所述存储单元能够耦合到终端用户装置,所述方法还包括:
当所述信号调节电路和所述存储单元耦合到终端用户装置时,将来自所述第一传感器输出端的所述第一粗调节信号和所述第二粗调节信号和来自所述第二传感器输出端的所述存储的系数输出到所述终端用户装置;以及
利用所述终端用户装置,采用所述存储的系数对所述第一粗调节信号和/或所述第二粗调节信号执行所述细调节处理。
9.根据权利要求5所述的方法,其中所述信号调节电路和所述存储器都被配置成ASIC。
10.一种传感器装置,包括:
多个传感换能器,每个传感换能器用于感测参数并输出对应于其相应感测的参数的原始信号;
信号调节电路,其用于接收从所述多个传感换能器输出的所述每个原始信号,对所述每个原始信号执行粗调节处理以产生对应于每个原始信号的粗调节信号,和经由第一传感器输出端输出每个粗调节信号;以及
存储单元,其耦合到第二传感器输出端,用于存储在对从所述信号调节电路输出的所述粗调节信号执行细调节处理中要使用的预定传感器专用调节系数。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/383,834 | 2006-05-17 | ||
US11/383,834 US8175835B2 (en) | 2006-05-17 | 2006-05-17 | Flow sensor with conditioning-coefficient memory |
PCT/US2007/068865 WO2007137023A2 (en) | 2006-05-17 | 2007-05-14 | Flow sensor with conditioning-coefficient memory |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101490514A CN101490514A (zh) | 2009-07-22 |
CN101490514B true CN101490514B (zh) | 2013-01-02 |
Family
ID=38683520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2007800271177A Active CN101490514B (zh) | 2006-05-17 | 2007-05-14 | 具有调节系数存储器的流量传感器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8175835B2 (zh) |
EP (1) | EP2018526A2 (zh) |
CN (1) | CN101490514B (zh) |
WO (1) | WO2007137023A2 (zh) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8010322B2 (en) * | 2006-05-17 | 2011-08-30 | Honeywell International Inc. | Signal conditioning IC with conditioning-coefficient memory |
US7769557B2 (en) * | 2008-07-01 | 2010-08-03 | Honeywell International Inc. | Multi-gas flow sensor with gas specific calibration capability |
US7950286B2 (en) * | 2008-12-19 | 2011-05-31 | Honeywell International Inc. | Multi-range pressure sensor apparatus and method utilizing a single sense die and multiple signal paths |
US10330513B2 (en) * | 2009-05-27 | 2019-06-25 | Honeywell International Inc. | Multi-dynamic-range sensor |
US8656772B2 (en) | 2010-03-22 | 2014-02-25 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with pressure output signal |
DE102010043083A1 (de) * | 2010-10-28 | 2012-05-03 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung zur Erfassung einer Strömungseigenschaft eines fluiden Mediums |
DE102010043062A1 (de) * | 2010-10-28 | 2012-05-03 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung zur Erfassung einer Strömungseigenschaft eines fluiden Mediums |
US8695417B2 (en) | 2011-01-31 | 2014-04-15 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with enhanced flow range capability |
US8718981B2 (en) | 2011-05-09 | 2014-05-06 | Honeywell International Inc. | Modular sensor assembly including removable sensing module |
US8770034B2 (en) | 2011-09-06 | 2014-07-08 | Honeywell International Inc. | Packaged sensor with multiple sensors elements |
US9052217B2 (en) | 2012-11-09 | 2015-06-09 | Honeywell International Inc. | Variable scale sensor |
EP2749854A1 (en) * | 2012-12-28 | 2014-07-02 | Service Pétroliers Schlumberger | Apparatus and method for calibration of coriolis meter for dry gas density measurement |
EP2749334B1 (en) | 2012-12-28 | 2018-10-24 | Service Pétroliers Schlumberger | Method and device for determining the liquid volume fraction of entrained liquid |
GB201323009D0 (en) * | 2013-10-21 | 2014-02-12 | Continental Automotive Systems | Dual range high precision pressure sensor |
US10359382B2 (en) | 2014-04-08 | 2019-07-23 | Dwyer Instruments, Inc. | System method and apparatus for humidity sensor temperature compensation |
US9778091B2 (en) | 2014-09-29 | 2017-10-03 | Schlumberger Technology Corporation | Systems and methods for analyzing fluid from a separator |
US10571519B2 (en) | 2016-03-08 | 2020-02-25 | International Business Machines Corporation | Performing system functional test on a chip having partial-good portions |
US10598526B2 (en) * | 2016-03-08 | 2020-03-24 | International Business Machines Corporation | Methods and systems for performing test and calibration of integrated sensors |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2065890A (en) * | 1979-12-14 | 1981-07-01 | Honeywell Inc | Sensor system with non-linearity correction |
EP0892249A1 (de) * | 1997-07-14 | 1999-01-20 | Endress + Hauser GmbH + Co. | Messanordnung |
US6701274B1 (en) * | 1999-08-27 | 2004-03-02 | Rosemount Inc. | Prediction of error magnitude in a pressure transmitter |
CN1687718A (zh) * | 2005-05-08 | 2005-10-26 | 上海烟草(集团)公司 | 一种流量计校准方法及其使用的流量计校准系统 |
Family Cites Families (126)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3410287A (en) * | 1966-05-16 | 1968-11-12 | Bendix Corp | Pure fluid velocity sensor control apparatus |
US4090215A (en) * | 1976-10-01 | 1978-05-16 | Basf Aktiengesellschaft | Electronic time base error correction methods and arrangements |
US4341107A (en) * | 1980-10-14 | 1982-07-27 | Tylan Corporation | Calibratable system for measuring fluid flow |
US4337658A (en) * | 1980-10-14 | 1982-07-06 | Honeywell Inc. | Humidity sensor |
US4494183A (en) * | 1982-06-17 | 1985-01-15 | Honeywell Inc. | Process variable transmitter having a non-interacting operating range adjustment |
DE3446248A1 (de) | 1984-12-19 | 1986-06-19 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Sensor zur messung physikalischer groessen und verfahren zum abgleich des sensors |
US4668102A (en) * | 1985-05-08 | 1987-05-26 | Honeywell Inc. | Temperature and flow station |
US4907449A (en) * | 1986-10-31 | 1990-03-13 | A.I.R., Inc. | Meteorological data encoder for measuring atmospheric conditions |
DE3803104A1 (de) | 1988-02-03 | 1989-08-17 | Vdo Schindling | Schaltungsanordnung zur korrektur schwacher analoger spannungen von messwertgebern bei starker nichtlinearitaet |
US5012667A (en) * | 1988-03-18 | 1991-05-07 | Great Plains Industries, Inc. | Apparatus and method for calibrating a measuring device |
US5089979A (en) | 1989-02-08 | 1992-02-18 | Basic Measuring Instruments | Apparatus for digital calibration of detachable transducers |
US5038305A (en) * | 1989-02-27 | 1991-08-06 | Microfast Controls Corp. | Programmable controller linear transducer input modules |
US5365768A (en) | 1989-07-20 | 1994-11-22 | Hitachi, Ltd. | Sensor |
US5050429A (en) * | 1990-02-22 | 1991-09-24 | Yamatake-Honeywell Co., Ltd. | Microbridge flow sensor |
US5000478A (en) * | 1990-03-15 | 1991-03-19 | Monroe Auto Equipment Company | Shock absorber with Doppler fluid velocity sensor |
US5321638A (en) | 1990-04-30 | 1994-06-14 | Witney Keith C | Calibrated sensor systems and methods of manufacturing same |
US5251157A (en) | 1990-12-28 | 1993-10-05 | Westinghouse Electric Corp. | Process for offset adjustment of a microprocessor based overcurrent protective device and apparatus |
US5184107A (en) * | 1991-01-28 | 1993-02-02 | Honeywell, Inc. | Piezoresistive pressure transducer with a conductive elastomeric seal |
US5303167A (en) * | 1991-03-08 | 1994-04-12 | Honeywell Inc. | Absolute pressure sensor and method |
US5365784A (en) * | 1992-04-30 | 1994-11-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Humidity sensing apparatus and method |
US5329818A (en) | 1992-05-28 | 1994-07-19 | Rosemount Inc. | Correction of a pressure indication in a pressure transducer due to variations of an environmental condition |
FR2692091B1 (fr) | 1992-06-03 | 1995-04-14 | France Telecom | Procédé et dispositif de dissimulation d'erreurs de transmission de signaux audio-numériques codés par transformée fréquentielle. |
US5347476A (en) | 1992-11-25 | 1994-09-13 | Mcbean Sr Ronald V | Instrumentation system with multiple sensor modules |
US5750889A (en) * | 1994-06-13 | 1998-05-12 | Hitachi, Ltd. | Air flow rate measuring apparatus and air flow rate measuring method |
US5410916A (en) * | 1994-06-24 | 1995-05-02 | Honeywell Inc. | Flowthrough pressure sensor |
US5459351A (en) * | 1994-06-29 | 1995-10-17 | Honeywell Inc. | Apparatus for mounting an absolute pressure sensor |
US5479096A (en) | 1994-08-08 | 1995-12-26 | Lucas Industries, Inc. | Analog sensing system with digital temperature and measurement gain and offset correction |
US5790432A (en) * | 1995-08-21 | 1998-08-04 | Solar Light Company, Inc. | Universal measuring instrument with signal processing algorithm encapsulated into interchangeable intelligent detectors |
DE19533505A1 (de) | 1995-09-04 | 1997-03-06 | Siemens Ag | Verfahren zum Kompensieren des durch eine äußere Einflußgröße verursachten Fehlverhaltes von Meßeinrichtungen |
US5631417A (en) * | 1995-09-06 | 1997-05-20 | General Motors Corporation | Mass air flow sensor structure with bi-directional airflow incident on a sensing device at an angle |
US5735267A (en) * | 1996-03-29 | 1998-04-07 | Ohmeda Inc. | Adaptive control system for a medical ventilator |
WO1998020615A2 (en) | 1996-10-21 | 1998-05-14 | Electronics Development Corporation | Smart sensor module |
US5892145A (en) * | 1996-12-18 | 1999-04-06 | Alliedsignal Inc. | Method for canceling the dynamic response of a mass flow sensor using a conditioned reference |
US5808210A (en) * | 1996-12-31 | 1998-09-15 | Honeywell Inc. | Thin film resonant microbeam absolute pressure sensor |
DE19722744A1 (de) | 1997-05-30 | 1998-12-03 | Draegerwerk Ag | Detektionssystem mit austauschbaren Sensoren |
DE19732474C2 (de) * | 1997-07-28 | 2001-08-23 | Siemens Ag | Steuergerät, insbesondere für ein automatisches Kraftfahrzeuggetriebe |
US5827960A (en) * | 1997-08-28 | 1998-10-27 | General Motors Corporation | Bi-directional mass air flow sensor having mutually-heated sensor elements |
WO1999013932A1 (en) * | 1997-09-19 | 1999-03-25 | Respironics, Inc. | Medical ventilator |
WO1999018496A1 (en) * | 1997-10-07 | 1999-04-15 | Electronics Development Corporation | Transducer assembly with smart connector |
US6321171B1 (en) | 1998-04-03 | 2001-11-20 | Tektronix, Inc. | Electronic measurement instrument probe accessory offset, gain, and linearity correction method |
US20030062045A1 (en) * | 1998-09-18 | 2003-04-03 | Respironics, Inc. | Medical ventilator |
US6911894B2 (en) * | 1998-12-07 | 2005-06-28 | Honeywell International Inc. | Sensor package for harsh environments |
US7258003B2 (en) * | 1998-12-07 | 2007-08-21 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with self-aligned flow channel |
US6594613B1 (en) | 1998-12-10 | 2003-07-15 | Rosemount Inc. | Adjustable bandwidth filter for process variable transmitter |
TW463184B (en) * | 1999-04-09 | 2001-11-11 | Murata Manufacturing Co | Temperature sensor, method of producing same and method of mounting same to a circuit board |
US6595049B1 (en) * | 1999-06-18 | 2003-07-22 | Mks Instruments, Inc. | Thermal mass flow sensor with improved sensitivity and response time |
DE19952055A1 (de) * | 1999-10-28 | 2001-05-17 | Bosch Gmbh Robert | Massenflußsensor mit verbesserter Membranstabilität |
JP2001174304A (ja) | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Hitachi Ltd | 演算装置内蔵センサ |
US6681625B1 (en) * | 2000-01-19 | 2004-01-27 | Lockheed Martin Corporation | Constant-temperature-difference bidirectional flow sensor |
US6655207B1 (en) * | 2000-02-16 | 2003-12-02 | Honeywell International Inc. | Flow rate module and integrated flow restrictor |
US6761165B2 (en) * | 2000-02-29 | 2004-07-13 | The Uab Research Foundation | Medical ventilator system |
JP2003526097A (ja) * | 2000-03-08 | 2003-09-02 | ローズマウント インコーポレイテッド | 2方向性の差圧流体センサ |
JP2001272260A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 質量流量センサ及びそれを用いた質量流量計 |
DE10047194C1 (de) * | 2000-09-23 | 2002-03-07 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung eines Brandmelders |
EP2273467B1 (de) * | 2000-09-29 | 2014-12-24 | Tormaxx GmbH | Gaserzeuger oder Hitzeerzeuger, Rauchgaserzeuger sowie Verfahren zum Prüfen eines Gasmelders oder eines Hitzemelders |
US6626175B2 (en) * | 2000-10-06 | 2003-09-30 | Respironics, Inc. | Medical ventilator triggering and cycling method and mechanism |
US6591674B2 (en) * | 2000-12-21 | 2003-07-15 | Honeywell International Inc. | System for sensing the motion or pressure of a fluid, the system having dimensions less than 1.5 inches, a metal lead frame with a coefficient of thermal expansion that is less than that of the body, or two rtds and a heat source |
US6949928B2 (en) | 2001-01-19 | 2005-09-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Parallel MR imaging using high-precision coil sensitivity map |
US6687642B2 (en) | 2001-01-26 | 2004-02-03 | Texas Instruments Incorporated | Condition responsive sense system and method |
US6989433B2 (en) * | 2001-05-08 | 2006-01-24 | Georgia Tech Research Corp. | Low stress conformal coatings of reliability without hermeticity for microelectromechanical system based multichip module encapsulation |
DE10130215B4 (de) | 2001-06-22 | 2007-08-30 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh | Meßgrößenaufnehmer mit angeschlossenem Datenspeicher |
DE10130379A1 (de) * | 2001-06-23 | 2003-01-02 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanischer Massenflusssensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
US6958689B2 (en) * | 2001-09-21 | 2005-10-25 | Rosemount Aerospace Inc. | Multi-sensor fire detector with reduced false alarm performance |
US6681623B2 (en) * | 2001-10-30 | 2004-01-27 | Honeywell International Inc. | Flow and pressure sensor for harsh fluids |
US6725169B2 (en) | 2002-03-07 | 2004-04-20 | Honeywell International Inc. | Methods and apparatus for automatic gain control |
US6904799B2 (en) * | 2002-06-12 | 2005-06-14 | Polar Controls, Inc. | Fluid velocity sensor with heated element kept at a differential temperature above the temperature of a fluid |
US6724612B2 (en) * | 2002-07-09 | 2004-04-20 | Honeywell International Inc. | Relative humidity sensor with integrated signal conditioning |
US6867602B2 (en) * | 2002-07-09 | 2005-03-15 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for capacitive balancing of relative humidity sensors having integrated signal conditioning |
US7070004B2 (en) * | 2002-07-15 | 2006-07-04 | Steiner Turf Equipment, Inc. | Robotic sod stacker |
EP1523701A2 (en) * | 2002-07-19 | 2005-04-20 | Celerity Group, Inc. | Methods and apparatus for pressure compensation in a mass flow controller |
US6684695B1 (en) * | 2002-10-08 | 2004-02-03 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Mass flow sensor utilizing a resistance bridge |
US6904907B2 (en) * | 2002-11-19 | 2005-06-14 | Honeywell International Inc. | Indirect flow measurement through a breath-operated inhaler |
US7233845B2 (en) * | 2003-03-21 | 2007-06-19 | Siemens Canada Limited | Method for determining vapor canister loading using temperature |
US6929031B2 (en) * | 2003-03-28 | 2005-08-16 | Eaton Corporation | Electro-hydraulic manifold assembly with lead frame mounted pressure sensors |
US6823711B1 (en) | 2003-05-07 | 2004-11-30 | Halliburton Energy Services, Inc. | Static and dynamic calibration of quartz pressure transducers |
SE0301767D0 (sv) * | 2003-06-18 | 2003-06-18 | Siemens Elema Ab | User interface for a medical Ventilator |
DE10335553A1 (de) | 2003-08-02 | 2005-02-17 | E + E Elektronik Ges.M.B.H. | Verfahren und Anordnung zur Feuchtemessung |
US6871537B1 (en) * | 2003-11-15 | 2005-03-29 | Honeywell International Inc. | Liquid flow sensor thermal interface methods and systems |
US7024937B2 (en) * | 2003-12-03 | 2006-04-11 | Honeywell International Inc. | Isolated pressure transducer |
US7061325B2 (en) | 2003-12-31 | 2006-06-13 | Texas Instruments Incorporated | Digital compensation for offset and gain correction |
US6945118B2 (en) * | 2004-01-13 | 2005-09-20 | Honeywell International Inc. | Ceramic on metal pressure transducer |
KR20050075225A (ko) | 2004-01-16 | 2005-07-20 | 삼성전자주식회사 | 단일칩으로 집적되는 mems 멀티 센서 및 그 제조방법 |
JPWO2005080919A1 (ja) | 2004-02-20 | 2007-10-25 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
DE102004008903B3 (de) * | 2004-02-24 | 2005-09-15 | Siemens Ag | Massenstromsensor |
US7084378B2 (en) * | 2004-02-26 | 2006-08-01 | Mack Trucks, Inc. | Mass-flow sensor heating element protection method and apparatus |
US6912918B1 (en) * | 2004-03-10 | 2005-07-05 | General Electric Company | Mass flow sensor and methods of determining mass flow of a fluid |
US6958565B1 (en) * | 2004-04-05 | 2005-10-25 | Honeywell International Inc. | Passive wireless piezoelectric smart tire sensor with reduced size |
US20050247106A1 (en) * | 2004-05-06 | 2005-11-10 | Honeywell International, Inc. | Relative humidity sensor enclosed with ceramic heater |
US20060201247A1 (en) * | 2004-05-06 | 2006-09-14 | Honeywell International, Inc. | Relative humidity sensor enclosed with formed heating element |
US7107835B2 (en) * | 2004-09-08 | 2006-09-19 | Honeywell International Inc. | Thermal mass flow sensor |
US7222037B2 (en) | 2004-10-15 | 2007-05-22 | Genesis Microchip Inc. | Hybrid automatic gain control (AGC) |
US6923069B1 (en) * | 2004-10-18 | 2005-08-02 | Honeywell International Inc. | Top side reference cavity for absolute pressure sensor |
US7173414B2 (en) * | 2004-10-18 | 2007-02-06 | Honeywell International Inc. | Position detection apparatus and method for linear and rotary sensing applications |
KR20050007225A (ko) * | 2004-12-08 | 2005-01-17 | 정장호 | 타이어 청소기 |
TWI306297B (en) * | 2005-02-18 | 2009-02-11 | Yamaha Corp | Lead frame, sensor including lead frame and method of forming sensor including lead frame |
US7634437B1 (en) | 2005-03-31 | 2009-12-15 | Trading Technologies International, Inc. | System and method for displaying trading data |
US7635091B2 (en) * | 2005-04-21 | 2009-12-22 | Honeywell International Inc. | Humidity sensor formed on a ceramic substrate in association with heating components |
US7635077B2 (en) * | 2005-09-27 | 2009-12-22 | Honeywell International Inc. | Method of flip chip mounting pressure sensor dies to substrates and pressure sensors formed thereby |
US7373819B2 (en) * | 2005-09-30 | 2008-05-20 | Honeywell International Inc. | Stress sensitive humidity sensor based on a MEMS structure |
US7318351B2 (en) * | 2005-10-05 | 2008-01-15 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor |
US7260994B2 (en) * | 2005-11-03 | 2007-08-28 | Honeywell International Inc. | Low cost high-pressure sensor |
US7597005B2 (en) * | 2005-11-10 | 2009-10-06 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor housing and configuration |
JP2007139672A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Yazaki Corp | 流体計測装置及び流体計測方法 |
US7857506B2 (en) * | 2005-12-05 | 2010-12-28 | Sencal Llc | Disposable, pre-calibrated, pre-validated sensors for use in bio-processing applications |
US7162927B1 (en) * | 2005-12-16 | 2007-01-16 | Honeywell International Inc. | Design of a wet/wet amplified differential pressure sensor based on silicon piezoresistive technology |
US7210346B1 (en) * | 2005-12-21 | 2007-05-01 | Honeywell International Inc. | Modular sensing apparatus |
US7266999B2 (en) * | 2006-01-30 | 2007-09-11 | Honeywell International Inc. | Thick film technology based ultra high pressure sensor utilizing integral port and diaphragm construction |
US7343823B2 (en) * | 2006-02-17 | 2008-03-18 | Honeywell International Inc. | Ultra low pressure drop flow sensor |
US20070197922A1 (en) * | 2006-02-17 | 2007-08-23 | Honeywell International Inc. | Disposable pressure sensor systems and packages therefor |
US7278309B2 (en) * | 2006-03-01 | 2007-10-09 | Honeywell International Inc. | Interdigitated, full wheatstone bridge flow sensor transducer |
US20070209433A1 (en) * | 2006-03-10 | 2007-09-13 | Honeywell International Inc. | Thermal mass gas flow sensor and method of forming same |
US7243541B1 (en) * | 2006-03-30 | 2007-07-17 | Honeywell International Inc. | Combi-sensor for measuring multiple measurands in a common package |
US8010322B2 (en) * | 2006-05-17 | 2011-08-30 | Honeywell International Inc. | Signal conditioning IC with conditioning-coefficient memory |
US7277802B1 (en) * | 2006-05-18 | 2007-10-02 | Honeywell International Inc. | Method and system for providing a linear signal from a mass flow transducer |
US20070295082A1 (en) * | 2006-06-06 | 2007-12-27 | Honeywell International Inc. | Flow sensor transducer with dual spiral wheatstone bridge elements |
US7493823B2 (en) * | 2006-06-16 | 2009-02-24 | Honeywell International Inc. | Pressure transducer with differential amplifier |
US7710128B2 (en) * | 2006-09-09 | 2010-05-04 | Honeywell International Inc. | Method and apparatus for controlling the sensitivity and value of a capacitive humidity sensor |
US7331239B1 (en) * | 2006-09-26 | 2008-02-19 | Honeywell International Inc. | Self calibrating dual diaphragm pressure sensor |
US7280927B1 (en) * | 2006-10-11 | 2007-10-09 | Honeywell International Inc. | Method and system for providing a linear signal from a mass airflow and/or liquid flow transducer |
US7430918B2 (en) * | 2006-12-04 | 2008-10-07 | Honeywell International Inc. | Amplified flow through pressure sensor |
US7520051B2 (en) * | 2007-01-04 | 2009-04-21 | Honeywell International Inc. | Packaging methods and systems for measuring multiple measurands including bi-directional flow |
US20080236273A1 (en) * | 2007-03-27 | 2008-10-02 | Honeywell International Inc. | Mass airflow sensing system including resistive temperature sensors and a heating element |
US7832269B2 (en) * | 2007-06-22 | 2010-11-16 | Honeywell International Inc. | Packaging multiple measurands into a combinational sensor system using elastomeric seals |
US20090288484A1 (en) * | 2008-05-21 | 2009-11-26 | Honeywell International Inc. | Integrated mechanical package design for combi sensor apparatus |
US7769557B2 (en) * | 2008-07-01 | 2010-08-03 | Honeywell International Inc. | Multi-gas flow sensor with gas specific calibration capability |
EP2184589A1 (en) | 2008-11-10 | 2010-05-12 | Sensirion AG | A method and an assembly for measuring a flow |
-
2006
- 2006-05-17 US US11/383,834 patent/US8175835B2/en active Active
-
2007
- 2007-05-14 WO PCT/US2007/068865 patent/WO2007137023A2/en active Application Filing
- 2007-05-14 CN CN2007800271177A patent/CN101490514B/zh active Active
- 2007-05-14 EP EP07762168A patent/EP2018526A2/en not_active Withdrawn
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2065890A (en) * | 1979-12-14 | 1981-07-01 | Honeywell Inc | Sensor system with non-linearity correction |
EP0892249A1 (de) * | 1997-07-14 | 1999-01-20 | Endress + Hauser GmbH + Co. | Messanordnung |
US6701274B1 (en) * | 1999-08-27 | 2004-03-02 | Rosemount Inc. | Prediction of error magnitude in a pressure transmitter |
CN1687718A (zh) * | 2005-05-08 | 2005-10-26 | 上海烟草(集团)公司 | 一种流量计校准方法及其使用的流量计校准系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070271070A1 (en) | 2007-11-22 |
WO2007137023A2 (en) | 2007-11-29 |
EP2018526A2 (en) | 2009-01-28 |
WO2007137023A3 (en) | 2008-03-20 |
US8175835B2 (en) | 2012-05-08 |
CN101490514A (zh) | 2009-07-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101490514B (zh) | 具有调节系数存储器的流量传感器 | |
EP2018517B1 (en) | Signal conditioning ic with conditioning-coefficient memory | |
CA2547348C (en) | Flow meter type identification | |
CN102084226B (zh) | 具有气体特定校准能力的多气体流量传感器 | |
EP0771407B1 (en) | On-site calibration device and method for nonlinearity correction for flow sensor/transmitter | |
JP2714091B2 (ja) | フィールド計器 | |
JP5036228B2 (ja) | 力測定デバイス内のドリフト現象を適応的に補正する方法、および力測定デバイス | |
US6283628B1 (en) | Intelligent input/output temperature sensor and calibration method therefor | |
US10677625B2 (en) | System and methods for providing a cloud flowmeter | |
US6868740B2 (en) | Mass flow rate measuring device and process for measuring the pressure with a mass flow rate measuring device | |
CN101171496A (zh) | 利用帕德逼近式函数仿真器为传感设备提供非线性温度补偿 | |
EP0226602A1 (en) | Apparatus and method for calibrating a sensor | |
US8930157B2 (en) | Temperature compensated digital pressure transducer | |
RU2338271C1 (ru) | Электронный прибор с энергонезависимым перезаписываемым запоминающим устройством | |
WO2014160912A2 (en) | Temperature compensated pressure transducer | |
US6697684B2 (en) | Programmable field measuring instrument | |
CN111566452B (zh) | 制造客户专用传感器的方法 | |
US20100070239A1 (en) | Performance evaluation device and performance evaluation method | |
JPH0882637A (ja) | 半導体センサ装置および半導体センサ装置の感度調整方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |