CN101548233A - 用于使用弯曲支架创建通过微透镜阵列的孔的方法和设备以及由此制造的产品 - Google Patents

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Abstract

用于在基板的背面上的层中创建孔的方法，所述基板包括其前面上的微透镜阵列，所述方法包括：使所述基板弯曲成定义轴的圆柱状表面分段，以使得基板的前面上的微透镜阵列面向所述轴。使脉冲激光束从所述轴圆周地沿着所述圆柱状表面分段进行扫描，以穿过基板的前面上的微透镜阵列并且进入到基板的背面上的层中，从而创建孔，同时地使所述基板和/或进行扫描的脉冲激光束彼此相对地轴向转移。还公开了相关的设备和微透镜阵列产品。

Description

用于使用弯曲支架创建通过微透镜阵列的孔的方法和设备以及由此制造的产品
技术领域
本发明涉及微制作方法、设备及这样制作的装置，更具体地，涉及用于制作包含微结构的光学膜的方法和设备以及由此制作的光学微结构。
背景技术
在其一面上具有微透镜阵列而在其另一面上具有自对准孔阵列的基板被广泛用作计算机显示器(监视器)、投影电视、平板显示器和电视以及许多其它光学应用中的光学部件。如本领域技术人员所熟知的，微透镜阵列包括大量微透镜，微透镜的基部的至少一个尺度(“基部尺度”)在大小上小于约500μm。可以形成半球状、变形、柱镜状和/或其它传统微透镜阵列。通过使激光穿过微透镜而照射到层上，可以在该层中创建自对准孔，该层例如是不透明层和/或反射层。
例如，1979年10月23日发布的、Deml等人的名称为“白昼投影屏幕以及用于制作该屏幕的方法和设备(Daylight Projection Screen andMethod and Apparatus for Making the same)”的美国专利4,172,219描述了这样的用于形成自对准孔的技术。如Deml等人在摘要中所述，吸收入射聚焦激光并经受由此产生的加热的材料层被布置在透镜矩阵的焦平面上。激光穿过透镜矩阵本身而被投射到这种层上。激光被透镜矩阵的透镜元件聚焦到该层上，从而实现对该层的小的明确定义的部分的高度局部化的加热。作为高度局部化的加热的结果，在这些小的明确定义的部分处，该层的材料去除本身，从而形成透镜-孔矩阵的孔，之后其被用于与透镜矩阵协作，作为背面投影或白昼投影屏幕。
在1987年5月19日发布的、van de Ven的名称为“背面投影屏幕(Rear-Projection Screen)”的美国专利4,666,248中描述了另一种用于在层中创建自对准孔的技术。如van de Ven专利的第3栏第51-61行所述，根据该发明的制造背面投影屏幕的方法的特征在于，以给定的次序执行下列步骤：在薄透明箔片的第一面上复制在模具中被形成的变形透镜结构，将光敏材料施加到透明箔片的第二面，通过透镜结构曝光光敏材料，以使未曝光部分变得不透明的方式来显影光敏材料，以及将薄片的第二面附着到透明支撑板。
在2005年11月22日发布并转让给本申请的受让人的、Fadel等人的名称为“具有精确对准的孔掩模的微透镜阵列以及制造其的方法(Micro-lens Array With Precisely Aligned Aperture Mask And MethodsOf Producing Same)”的美国专利6,967,779中描述了又一种用于形成自对准孔的技术。如在Fadel等人的专利的摘要中所述，提供了具有精确对准的孔掩模的微透镜阵列以及用于形成该微透镜阵列的方法。孔掩模是通过使用微透镜阵列中的每个小透镜(lenslet)将光投射到掩模层上而形成的。选择光的强度和掩模层材料，以使得光经由非烧蚀性处理在掩模层中形成孔。所形成的孔与它们各自的小透镜自动对准。
尽管在超过25年以前在Demel等人的专利中对使用激光束的自对准孔形成技术的公开，但使用激光束来创建通过微透镜阵列的自对准孔的商业应用似乎并不是流传甚广。具体地，由于激光产生的光束相对小，对于大的基板(诸如这样的基板：至少一个尺寸约为30＂或更大)以及/或者对板的连续处理来说孔创建过程可能提供低的生产量。而且，当激光束扫描阵列时可能难以控制激光束，这可能导致孔相对于微透镜的未对准。未对准的孔继而可能接着产生传输的变化，从而当基板被用于光学应用中时导致不可接受的可见缺陷。
发明内容
本发明的一些实施例提供用于在基板的背面上的层中创建孔的设备，所述基板包括其前面上的微透镜阵列。这些设备包括支架，所述支架包括定义轴的圆柱状表面分段。所述圆柱状表面分段被配置为支持基板的背面上的所述层，以使得基板的前面上的所述微透镜阵列面向所述轴。提供扫描反射镜。脉冲激光器被配置为使脉冲激光束照射到扫描反射镜上。所述扫描反射镜被相对于支架而定向，以使照射到其上的脉冲激光束从所述轴圆周地沿着所述圆柱状表面分段进行扫描，以穿过基板的前面上的微透镜阵列并且进入基板的背面上的层中，从而创建孔。线性转移器(translator)被配置为使所述支架和/或所述扫描反射镜彼此相对地轴向、线性地转移，以便轴向地转移沿着所述圆柱状表面分段圆周地扫描的脉冲激光束。控制器被配置为同时地控制脉冲激光器的脉动、扫描反射镜的扫描以及转移器的转移。
在一些实施例中，扫描反射镜包括旋转的多边形反射镜，所述多边形反射镜被配置为围绕与圆柱状表面分段的轴平行的旋转轴而旋转。在一些实施例中，旋转的多边形反射镜被相对于圆柱状表面分段的轴而定位，以使得脉冲激光束在圆柱状表面分段的轴处照射在反射镜的多边形表面上。另外，在一些实施例中，扫描反射镜被相对于支架而定向，以使脉冲激光束从所述轴圆周地沿着圆柱状表面分段并垂直于所述圆柱状表面分段进行扫描。在其它实施例中，扫描反射镜被相对于支架而定向，以使脉冲激光束从所述轴圆周地沿着圆柱状表面分段在对圆柱状表面分段的垂直偏差小于约0.01°的情况下进行扫描。另外，在一些实施例中，可以采用诸如快速转向反射镜的可移动反射镜来至少部分地补偿旋转的多边形反射镜和/或其围绕其旋转轴的旋转中的缺陷。线性转移器可以包括被配置为相对于支架轴向地转移扫描反射镜的螺旋传动。
在本发明的一些实施例中，圆柱状表面分段包括：刚性支持层，其包括在所述刚性支持层中的穿孔；在所述刚性支持层和所述轴之间所述刚性支持层上的柔性多孔缓冲层；以及在所述柔性多孔缓冲层和所述轴之间所述柔性多孔缓冲层上的柔性多孔支持层。所述柔性多孔支持层可以被配置为支持基板的背面，以及所述支架还可以包括真空稳压室(vacuum plenum)，所述真空稳压室被配置为通过所述柔性多孔支持层中的所述穿孔、通过所述柔性多孔缓冲层和通过所述刚性支持层抽真空，以支持所述柔性多孔支持层上的基板的背面。
在其它实施例中，圆柱状表面分段可以包括：穿孔金属板；在所述穿孔金属板和所述轴之间所述穿孔金属板上的泡沫层；以及在所述泡沫层和所述轴之间所述泡沫层上的柔性屏。所述柔性屏可以被配置为支持基板，以及所述支架还可以包括真空稳压室，所述真空稳压室被配置为通过所述柔性屏、通过所述泡沫层和通过所述穿孔金属板中的所述穿孔抽真空，以支持所述屏上的基板的背面。
在一些实施例中，微透镜在其基部的大小小于约100μm，以及在所述圆柱状表面分段处所述脉冲激光束的直径约为1mm。可以配置和控制所述脉冲激光器、所述扫描反射镜以及所述线性转移器，以便使所述脉冲激光束在所述圆柱状表面上的照射区域圆周地和轴向地相重叠。另外，在一些实施例中，基板被配置为用于可见光应用，以及脉冲激光器具有大于可见光的波长，例如脉冲红外激光器。
本发明的其它实施例提供用于在基板的背面上的层中创建孔的方法，所述基板包括其前面上的微透镜阵列。这些方法包括：使所述基板弯曲成定义轴的圆柱状表面分段，从而使得所述基板的前面上的所述微透镜阵列面向所述轴。使脉冲激光束从所述轴圆周地沿着所述圆柱状表面分段进行扫描，以穿过基板的前面上的所述微透镜阵列并且进入到基板的背面上的所述层中，从而创建所述孔，同时使所述基板和/或进行扫描的所述脉冲激光束彼此相对地轴向转移。可以根据上述实施例中的任何一个来进行所述扫描。
本发明的其它实施例提供一种在位于基板的背面上的层中形成孔时用于支持所述基板的支架，所述基板包括位于其背面上的所述层以及位于其前面上的微透镜阵列。所述支架包括：定义轴的圆柱状表面分段，其中所述圆柱状表面分段被配置为支持所述基板的所述背面，以使得所述基板的前面上的所述微透镜阵列面向所述轴。可以根据上述实施例中的任何一个来配置所述支架。
最后，根据本发明的一些实施例的微透镜阵列产品可以包括：基板和所述基板的第一面上的微透镜的阵列，所述微透镜阵列沿着所述基板的至少一个方向延伸至少30＂。所述至少30＂的尺度可以是基于具有至少30＂或者制造出并且随后被分割成更小的片的大于30＂的连续网的尺度的最终产品。所述阵列中的所述微透镜包括大小小于约500μm的至少一个基部尺度。基板的第二面上的层包括沿着所述基板的所述至少一个方向延伸至少30＂的孔的阵列，其中在一些实施例中，各个孔与相应的微透镜在对准偏差小于约0.5°的情况下相对准。在其它实施例中，可以提供小于约0.1°的变化，并且在其它实施例中可以提供0.05°之低的变化。
附图说明
图1是根据本发明不同实施例的用于在基板背面上的层中创建孔的设备和方法的示意图，所述基板包括其前面上的微透镜阵列。
图2是根据本发明其它实施例的用于在基板背面上的层中创建孔的设备和方法的示意图，所述基板包括其前面上的微透镜阵列。
图3是可被用于控制图1和/或图2的设备和/或方法的控制系统和方法的框图。
图4是根据本发明一些实施例的包括圆柱形表面分段的支架的截面图。
图5是根据本发明一些实施例的微透镜阵列产品的截面图。
具体实施方式
现在将参考其中示出本发明实施例的附图在下文中更加充分地对本发明进行说明。然而，本发明不应当被认为限于在此所阐述的实施例。而是，提供这些实施例以使得本公开将是充分的和完整的，并且将本发明的范围充分地传达给本领域技术人员。在附图中，为清楚起见夸大了层和区域的厚度。贯穿本说明书，相同的附图标记指代相同的元件。如这里所使用的，术语“和/或”包括相关联的所列项中的一个或多个的任一和所有组合，并可以简写作“/”。
这里所使用的术语仅仅是为了说明特定实施例的目的，并非意图限制本发明。如这里所使用的，单数形式“一”、“一个”和“此”意在还包括复数形式，除非上下文另有所指。还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包括”、“包含”、“具有”和“有”时，其是指定存在所声明的特征、区域、步骤、操作、元件和/或部件，但不排除存在或附加有一个或多个其它的特征、区域、步骤、操作、元件、部件和/或由它们所组成的组。
应当理解的是，当诸如层或区域的元件被称为是“在另一元件上”或延伸“到另一元件上”(或其变化形式)时，它可以直接位于其它元件上或直接延伸到该另一元件上，或者也可能存在中间元件。与此相对照，当元件被称为是“直接位于另一元件上”或“直接延伸到另一元件上”(或其变化形式)时，不存在中间元件。还应当理解的是，当元件被称为是“连接”或“耦合”到另一元件(或其变化形式)时，它可以直接连接或耦合到该另一元件，或者可能存在中间元件。与此相对照，当元件被称为是“直接连接”或“直接耦合”到另一元件(或它们的变形)时，不存在中间元件。最后，当元件被称为“支持”另一元件(或其变化形式)时，它可以直接支持该另一元件，或者可能存在中间元件。与此相对照，当元件被称为“直接支持”另一元件(或其变化形式)时，不存在中间元件。
应当理解的是，虽然这里可以使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件、部件、区域、层和/或部分，但是这些元件、材料、区域、层和/或部分不应当受限于这些术语。这些术语仅用于区分一个元件、材料、区域、层或部分与另一元件、材料、区域、层或部分。因此，在不脱离本发明的教导的情况下，可以将下面所述的第一元件、材料、区域、层或部分称作第二元件、材料、区域、层或部分。另外，这里可以使用术语“前”和“背”来描述显示屏幕的相反的朝外的面。在某些实施例中，“前”用于指代脉冲激光束首先遇到的表面(诸如基板)的面，而“背”用于指代该表面的相对面。另外，传统地，可以认为观看面为前面，但是，取决于朝向，也可以认为观看面为背面。
这里参考截面图和透视图来说明本发明的实施例，这些截面图和透视图是本发明的理想实施例的示意图。如此，可以预料由于例如制造技术和/或容差而导致的与图示形状的变化。因此，本发明的实施例不应当被认为限于这里所示的区域的特定形状，而是包括由于例如制造而导致的形状上的偏离。例如，被示出或描述为平面的区域通常可能具有粗糙和/或非线性的特征。另外，所示出的锐角通常可能被弄圆。因此，图中所示出的区域在属性上是示意性的，并且它们的形状并非意图示出区域的精确形状，并且并非意图限制本发明的范围。
除非特别声明，这里所使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有与本发明所属技术领域的技术人员所通常理解的意思相同的含义。还应当理解的是，诸如通常使用的词典中所定义的那些术语应当被解释为具有与在相关技术领域和本发明公开的环境下的它们的含义相一致的含义，而不应当以理想或过度正式的程度来解释，除非将其明确地定义为如此。最后，图中一个或多个块的功能可以是独立的，和/或是与其它块的功能相结合的。
图1是根据本发明各种实施例使用脉冲激光束和弯曲的支架创建孔的设备/方法的示意性侧视图。具体地，图1示出用于在基板152的背面152b上的层156中创建孔158的设备，所述基板152包括其前面152a上的微透镜阵列154。包括其前面152a上的微透镜阵列154的基板152和其背面152b上具有孔158的层156可以共同地被称为微透镜阵列产品或透镜板150。可以如下列美国专利申请或专利中所述的那样来制作透镜板150本身：美国专利申请No.2006/0061869、2005/0058947、2005/0058948、2005/0058949和/或2003/00206342和/或2006/0164729；以及/或者美国专利No.6,967,779、6,829,087、6,816,306和/或7,092,166；以及/或者美国申请序列号No.11/113,846、11/179,162、11/364,423、11/378,189、11/378,189、11/382,163、11/414,875、11/465,373、11/465,358和/或11/465,377，所有这些都被转让给本发明的受让人，由此它们的公开内容被全部包含于此以作参考，就像在此完整地陈述了它们一样。也可以使用用于制作透镜板150的其它技术。
微结构154可以包括微透镜的一维或二维阵列，所述微透镜具有至少一个在大小上小于约500μm的基部尺度(即，邻近基板152的尺度)。取决于透镜板150的光学应用，可以提供透镜状、半球状、变形和/或其它微透镜阵列。微结构154在大小、形状或朝向上无需统一。如这里所使用的，“透镜”包括任何透射、折射和/或反射光学元件，并且“微透镜”包括具有至少一个小于约100μm的基部尺度的任何透射、折射和/或反射光学元件。
继续对图1的说明，该设备包括支架140，支架140本身包括圆柱状表面分段142，该圆柱状表面分段142定义了轴144。圆柱状表面分段142被配置为支持基板152的背面上的层156，以使得基板152的前面152a上的微透镜阵列154面向轴144。圆柱状表面分段142的尺度可以根据正在制作的微透镜阵列产品或透镜板150的大小而变化。例如，在一些实施例中，圆柱状表面分段142可以定义半径约为19.1＂的轴，可以包括大约30＂的圆周长度(在图1的平面中)以及大约48＂的轴长度(垂直于图1的平面)，以形成大约为43＂×24＂的后投影屏幕。还可以提供更小或更大的配置。还可以在支架140中提供真空端口148，以在扫描期间在圆柱状表面分段142上提供真空来支持位于其上的透镜板150，如下面将更详细地所描述的。
仍然参考图1，还提供扫描反射镜120。在一些实施例中，扫描反射镜可以是振动的反射镜。然而，在其它实施例中，如图1所示，扫描反射镜120包括旋转的多边形反射镜，所述多边形反射镜被配置为围绕旋转轴122进行旋转，如箭头124所示。在图1的实施例中，多边形反射镜120是八边的多边形透镜。然而，根据本发明的其它实施例可以提供更少(例如六个)或更多(例如十个)的边。
仍然参考图1，还提供脉冲激光器110。脉冲激光器110被配置为将脉冲激光束112照射到扫描反射镜120上。在本发明的一些实施例中脉冲率可以约为100kHz。扫描反射镜120被相对于支架140而定向，以使照射于其上的脉冲激光束112从轴144圆周地沿着圆柱状表面分段142进行扫描(如箭头144所示)，从而穿过基板152的前面152a上的微透镜阵列154并且进入到基板152的背面152b上的层156中，以创建孔158。
脉冲激光束112可以由诸如脉冲Nd：YAG激光器的激光器110来生成。另外，当透镜板150被用于可见光应用时，本发明的一些实施例提供产生脉冲红外激光束112的脉冲红外(IR)激光器110。在其它实施例中，可以使用波长大于可见光的其它激光器。通过使用波长大于可见光的激光束来创建孔，与使用紫外(UV)激光器或波长短于可见光的其它激光器的传统应用相比，可以提供改进的孔创建，如下面将详细描述的。
最后，参考图1，诸如螺旋传动和/或其它传统线性转移器的线性转移器130被配置为使所述支架140和/或所述扫描反射镜120彼此相对地轴向(即，朝向图1的平面内和外)线性地转移，以便轴向地转移圆周地沿着所述圆柱状表面分段142进行扫描的脉冲激光束。在图1的实施例中，线性转移器130轴向地(即，平行于轴144)转移旋转反射镜。在其它实施例中，支架140本身可以被移动。在另一些其它实施例中，支架140和扫描反射镜120都可以被转移。
现在将提供对图1的实施例的附加说明。具体地，扫描反射镜120可以包括旋转的多边形反射镜，如图1中所示，其被配置为围绕平行于圆柱状表面分段142的轴144的旋转轴122而进行旋转。另外，如图1中所示，在一些实施例中，旋转的多边形反射镜120被相对于圆柱状表面分段142的轴144而定位，以使得脉冲激光束112在圆柱状表面分段142的轴144处照射到反射镜120的多边形表面126上。
同样如图1中所示，通过提供圆柱状表面分段142，可以相对于支架140而定向扫描反射镜120，以使脉冲激光束从轴144圆周地沿着圆柱状表面分段而进行扫描，如箭头114所示，同时保持基本上垂直(正交)于圆柱状表面分段。具体地，如右角符号(
Figure A200780045064D0014164600QIETU
)所示，脉冲激光束112可以从轴144圆周地沿着圆柱状表面分段142进行扫描，同时贯穿整个扫描保持基本上垂直于所述圆柱状表面分段142。在一些实施例中，沿着对圆柱状表面分段的整个圆周扫描可以提供小于约30弧度秒或小于约0.01°的相对于垂直方向的偏移。该偏移可以通过反曲和/或其它传统技术来测量。通过提供脉冲激光束112到透镜板150中的基本上垂直的照射，可以形成与透镜154基本上对准的孔158。由此可以提供更统一的微透镜阵列产品。
在一些实施例中，圆柱状表面分段142可以具有位于其中的槽，所述槽圆周地沿着圆柱状表面分段142沿着当脉冲激光束112照射在圆柱状表面分段142上时由脉冲激光束112所创建的弧而延伸。圆柱状表面分段142中的槽可以使层156的背面能够暴露于支架140的内部，从而使得来自孔创建过程中的碎片可以例如通过真空端口148而从支架140排出。
图1还示出在基板152的背面152b上的层156中创建孔158的方法，所述基板152包括其前面152a上的微透镜阵列154。如图1中所示，这些方法可以包括使基板152弯曲成定义轴144的圆柱状表面分段，以使得基板152的前面152a上的微透镜阵列154面向轴144。脉冲激光束112从轴144圆周地沿着圆柱状表面分段142进行扫描，如箭头114所示，以穿过基板152的前面152a上的微透镜阵列154而进入到基板152的背面152b上的层156中，而同时使基板152和/或进行扫描的脉冲激光束112彼此相对地轴向地(朝向图1的平面内和外)转移。
图1还示出可以根据本发明的不同实施例而制成的微透镜阵列产品150。这些微透镜阵列产品150可以包括沿着其一个方向(长度、宽度和/或对角线)延伸至少30＂的基板152。基板沿着其一个方向可以是至少30＂长，因为基板是用于形成30＂对角线或更大屏幕的终端产品。可替换地，基板152可以沿着其一个方向延伸至少30＂，因为基板152是连续的基板(网)，其稍后被切割以形成各个微透镜阵列产品。在任一情况下，在基板152的第一面152a上提供微透镜154的阵列。微透镜154也至少沿着基板的一个方向(长度、宽度和/或对角线)延伸至少30＂。微透镜154包括在大小上小于约500μm的至少一个基部尺度。在基板152的第二面152b上提供层156，例如黑层，在其中具有孔158的阵列，该孔还沿基板的至少一个方向(长度、宽度和/或对角线)延伸至少30＂。
在一些实施例中，各个孔158与阵列中的相应微透镜154在对准偏差小于约0.5°的情况下相对准，其中对准偏差是相对于穿过微透镜154的轴的垂直光线而被测量的，如图1中所示。在其它实施例中，可以提供小于0.1°的对准偏差，并且在一些实施例中可以提供小于约0.05°的对准偏差。
具体地，在一些实施例中，用于减小或避免可见缺陷的可允许未对准量可以是未对准均匀性的函数。如果在孔对准的通路中从基板的一部分到下一部分存在偏移，则可以看到不同的透射图案，并且微透镜阵列产品可能从视觉上显得不均匀。例如，它可能在一个位置比在其它位置较黑，或者当从一个角度观看时可能显示出亮块和暗块。小于0.1°的随机变化可能会导致不可见的缺陷。然而，如果变化不是随机的，而是在一个方向或另一个方向的偏移，或者如果变化是重复的，则可能需要更好的准确度，可能期望维持0.05°或更小的准确度以避免可见的假象。在任一情况下，大区域的微透镜阵列产品150从而可以配置有与贯穿产品150的微透镜足够地对准的孔，以减少或避免可见的缺陷。
图2是根据本发明的其它实施例的用于创建孔的设备和方法的示意性俯视图。在图2中，线性转移器130具体化为螺旋传动232，其由螺旋传动马达234来驱动，并且在箭头238所示的轴向上移动滑动装置236。还可以提供扫描反射镜马达220，以在箭头124所示的方向上旋转多边形反射镜120。如结合图1所述的，可以在线114所示的位置处在圆柱状表面分段142中提供槽。可以如图2所示那样定位激光器110，并且可以使用光具组260来调节脉冲激光束112并将脉冲激光束传送到多边形反射镜120。
在图2的实施例中，光具组260可以包括：四分之一波片266、分束器262和光束检测器264、第一扩束准直透镜272和第二扩束准直透镜274、聚焦透镜276和三个光束转向反射镜282、284、286。分束器262和光束检测器264可用于对激光束112的功率和/或脉冲进行采样和监视。在一些实施例中，第一透镜272可以具有大约-100mm的焦距，而第二透镜274可以具有大约400mm的焦距。另外，第一透镜272和第二透镜274可以间隔开大约300mm。聚焦透镜276可以安装在聚焦透镜滑动装置278上，聚焦透镜滑动装置278可以相对于线性转移器滑动装置236是可调节的，以在给定的运行之前提供良好的聚焦。光具组260可以传送在激光器110的出口处直径大约为1.3mm的脉冲激光束，并提供直径大约为0.5mm的光束，其中所述光束照射在支架140的圆柱状表面分段142上。在其它实施例中，可以在圆柱状表面分段142处提供大约为0.4至0.8mm的光束直径。也可以提供其它的光束直径。
在一些实施例中，三个光束转向反射镜282、282、286可以是固定的光束转向反射镜。然而，在本发明其它实施例中，使脉冲激光束112照射到旋转的多边形反射镜120上的最后的光束转向反射镜286可以是可移动的反射镜，其被配置为至少部分地补偿旋转的多边形反射镜120和/或其围绕旋转轴的旋转(如箭头124所示)中的缺陷。在一些实施例中，可移动反射镜286可以包括电控快速转向反射镜(FSM)，其可用于补偿旋转的多边形反射镜120、马达220中的机械缺陷和/或其它可能导致激光束放置的误差的机械缺陷。快速转向反射镜对于本领域技术人员来说是熟知的，因此在此无需进一步进行说明。在一些实施例中，可以使用Newport Corporation所出售的型号为FSM-300的快速转向反射镜。
在一些实施例中，可以通过绘制旋转的多边形反射镜120、马达220和/或其它部件中的缺陷并且创建并存储用于快速转向反射镜286的补偿X-Y致动以作为旋转124的函数，来控制快速转向反射镜286。然后使用所存储的X-Y致动来控制快速转向反射镜的运动。在其它实施例中，可以通过使用本领域技术人员所熟知的技术，使用反馈机制实时地执行补偿。还已经发现，根据本发明的一些实施例，快速转向反射镜286的增加可以将光束112在支架140的圆柱状表面分段142上的放置的准确度提高一个量级或更高。
应当理解的是，可以提供许多其它配置的光具组，其无需使用图2所示的所有元件。另外，可以提供额外的光学元件。例如，真空空间滤波器、顶帽(top hat)滤波器和/或散射屏，如在Gardner等人的名称为“用于处理脉冲激光束以创建通过微透镜阵列的孔的方法和设备以及由此而制造的产品(Methods and Apparatus for Processing a Pulsed Laser Beamto Create Apertures Through Microlens Arrays，and Products ProducedThereby)”的、2006年5月8日提交的共同待决的申请序列号No.11/382,163中所述的那样，该申请被转让给了本申请的受让人，并且其公开的全部内容由此被包含于此以作参考，就像其在此被完整地陈述了一样。最后，应当理解的是，图2也示出本发明的类似的方法实施例。
图3是根据本发明的一些实施例的控制器的框图，所述控制器被配置为同时地控制脉冲激光器110的脉动、经由多边形反射镜马达220的多边形反射镜的旋转以及经由线性转移器234的多边形反射镜120的转移。如图3中所示，使用计算机340来控制如箭头238所示的线性(X)轴驱动330、如箭头124所示的多边形反射镜(Y)轴驱动320以及激光器110的电源310。可以控制激光器的功率和/或脉冲频率。同样如图3中所示，计算机340可以与线性轴驱动330的控制模块332、多边形反射镜驱动320的控制模块334以及激光器电源310的控制模块312对接。另外，可以使用来自多边形反射镜驱动320的位置同步输出(PSO)342来触发激光器电源310的触发输入344。可以使用各种线缆352、354和356将驱动器310、320和330对接到装置110、220和234。
同样如图3中所示，当使用快速转向反射镜286时，可以使用计算机340来控制波形发生器342，波形发生器342产生施加到快速转向反射镜控制器344的X-Y转向电压。快速转向反射镜控制器344经由合适的线缆358控制快速转向反射镜286。波形发生器342还可以对光束位置控制器362作出响应，光束位置控制器362经由光束位置反馈线缆360连接到光具组260中的一个或多个光束位置传感器364。还如图3中所示，可以通过独立的X电压和Y电压来控制快速转向反射镜286的位置，X电压和Y电压是由波形发生器342与多边形反射镜的运动同步地递送的。该同步可以通过使用多边形反射镜马达控制器320的位置同步输出(PSO)342来实现。因此，快速转向反射镜可以至少部分地补偿多边形反射镜马达220和/或多边形反射镜120本身的晃动和/或其它缺陷。
在本发明的一些实施例中，图3的控制器可被用于使激光器以约100kHz进行脉冲，以及在激光器的出口处提供直径约为1.3mm的脉冲和在圆柱状表面分段142处提供直径约为0.5mm的脉冲。另外，可以控制激光器线性转移器马达234和多边形反射镜马达220以提供在圆周方向和轴向二者上约为0.12mm的重叠。在一些实施例中，给定斑点(激光器脉冲)可以成像30-40个透镜，其中这些透镜中的10-15个是以前未曝光过的，从而使得每秒可以成像大约1百万至1.5百万个微透镜。因此可以在大约四分钟内处理50＂对角线的基板。由此可以获得高生产量同时在整个基板上提供基本上对准的孔。
图4是根据本发明不同实施例的图1和2的支架140的截面图。本领域技术人员应当理解的是，为了清楚起见夸大了圆柱状表面分段142中的层的大小和相对大小，并且图4并不是按比例绘制的。
更具体地，如图4所示，根据本发明一些实施例的支架140包括圆柱状表面分段142。圆柱状表面分段142包括刚性支持层430，所述刚性支持层430包括位于其中的穿孔432。刚性支持层430可以实施为弯曲的穿孔金属板，诸如多孔钢板。穿孔钢板可以维持其形状，并且穿孔使得能够通过真空稳压室442从真空端口148通过那里抽真空，如箭头440所示。
仍然继续对图4的描述，在刚性支持层430和轴144之间，在刚性支持层430上提供柔性多孔缓冲层420，诸如1英寸厚的开口单元泡沫层。所述缓冲层420也是多孔的，从而使得可以通过所述多孔抽真空。缓冲层420可以减少或消除刚性支持层430中的穿孔432以免施加到透镜板150上，所述透镜板150被安装在圆柱状表面分段142上。
最后，在柔性多孔缓冲层420和轴144之间，在柔性多孔缓冲层420上提供柔性多孔支持层410。在一些实施例中，柔性多孔支持层410可以包括每英寸具有例如60个细丝(thread)412的纤维玻璃网孔屏。纤维玻璃屏410可以为安装于其上的透镜板150提供相对低摩擦的支持表面，并且可以允许当激光器照射到透镜板上时透镜板的一些扩展和收缩。另外，可以通过其抽压紧真空。最后，如上所述，在图4的平面内，可以在支架140中提供槽，所述槽可以延伸穿过刚性支持层430、柔性多孔缓冲层420和/或柔性多孔支持层410，以使得碎片能够例如通过真空稳压室442和真空端口148而被排出。
因此，如图4所示，在本发明的一些实施例中，圆柱状表面分段142可以包括穿孔金属板430、穿孔金属板430上的泡沫层420和泡沫层420上的柔性板410。支架140的主体可以提供真空稳压室422，所述真空稳压室422被配置为通过穿孔金属板430中的穿孔432、通过泡沫层420和通过柔性屏410抽真空，从而支持圆柱状表面分段142上的透镜板150。
如上面结合图1和2所述的，本发明的一些实施例可以提供激光束到大面积微透镜板上的基本上正交或垂直的照射。由此可以提供高性能的微透镜阵列产品。例如，如图5中所示，根据本发明一些实施例的微透镜阵列产品150包括：基板152、基板152的第一面152a上的沿着基板的至少一个方向(水平、垂直和/或对角线)延伸至少30＂，如图5中的标记X所示的微透镜154的阵列。阵列中的微透镜154包括在大小上小于约500μm的由图5中Y表示的至少一个基部尺度。
继续对图5的说明，在基板150的第二面152b上提供诸如黑色层的层156。层156包括沿着同样如图5中的X所示的基板的至少一个方向延伸至少30＂的孔158的阵列。如轴线510所示，各个孔158与相应的微透镜基本上对准，其中在一些实施例中对准偏差小于约0.5°。换而言之，在一些实施例中未对准孔158与相对应的微透镜154的轴510之间的角度2可以小于0.5°。再换而言之，在本发明的一些实施例中，孔158的轴跨越微透镜阵列产品150的至少一个方向X可以偏离微透镜510的轴小于约2μm，如图5中的Z所示。另外，如上所述，在其它实施例中，例如当存在随机的变化时，角度2可以小于约0.1°。在另一些其它实施例中，当变化不是随机的而是在一个方向或另一个方向上偏移或者变化是重复的时，角度2可以是0.05°或更小，以便减少/避免可见的缺陷。由此可以提供高性能的微透镜阵列产品。
在图1-5的任一或全部实施例中，脉冲激光束可以是波长大于可见光的脉冲激光束，诸如脉冲红外激光束。然而，在其它实施例中，也可以使用脉冲可见激光束或波长小于可见光的脉冲激光束，诸如脉冲紫外激光束。
现在将提供对本发明的上面结合图1-5说明了的实施例以及本发明其它实施例的附加论述。还将提供本发明一些特定实施例的工作参数。
已经根据本发明的各种实施例开发了工艺和设备，以实现相对于透镜、透镜阵列和/或其它光学元件的自对准孔的形成。所导致的所述工艺、设备和/或物品(透镜板)可以实现在控制方式下的孔形成，其中可以控制孔的位置、形状、大小、边缘细节、每个透镜的孔数量、孔的长度以及/或者其它参数。与有机、无机、反射、吸收和/或其它光学有源以及/或者光学中性的膜相结合的这些孔的形成可以提供光、电和/或其它管理膜。
当光学元件或透镜154在透镜的相对面上覆盖层156(也称为薄膜或简称为膜)时，在存在一般聚焦光束的情况下，该膜156将变得脱落、被去除、被汽化和/或被破坏。这个去除的形状(圆形、方形、拉长形)和特性(尖锐、粗糙的边缘)可能在很大程度上取决于透镜的形状和其对由透镜阵列154形成或创建的小光束的聚焦区域的影响，以及/或被采用以用于执行该去除的能量。所创建的洞或孔158(就其形状和/或其边缘的外观而言)一般可以由透镜154的光学特性来规定，并且可以通过额外的技术来使该孔158在形状和特性上改变超越由透镜形状所规定的孔的形状和特性。
另外，对于孔158用作空间滤波器功能的一部分的应用，诸如用于许多光管理功能的应用，可以确定相对于该应用的孔158的大小，以减少或避免孔158的边缘处的光切除(即膜156的边缘对部分光的阻挡)或者光损耗。当所创建的孔不足够大以允许通过透镜154指引至层156的光的全部通过时，可能产生光损耗。传统上，透镜154或者从各个角度指引的光中的某一偏差在孔创建期间可能不能提供足够的能量以在没有这些附加的控制方法的工艺中实现合适大小的孔158。根据本发明的一些实施例，可以使用激光器的波长来改变孔的开口。也可以使用入射光束和/或多个光束的角度来修改孔的开口。
高速的孔创建对于提供分布广泛的商业化来说也是期望的。通过使用脉冲宽度例如小于约30ns的脉冲光束152，可以提供烧蚀的一致性。所得到的峰值光功率密度可以是每平方厘米数十兆焦耳(mJ)。
在一些实施例中，采用Q开关Nd：YAG激光器110，诸如光谱物理量子线Pro系列(Spectra Physics Quanta Ray Pro Series)350激光器。Q开关系统的功率通常已知在超过约200ms时增加，并且释放到小于约10ns的脉冲宽度以产生数十兆瓦特的峰值光功率。
在使用传统的黑色材料(此处也简称为“黑色”)的应用中，黑色层可以变成用于可见应用的黑颜色的唯一来源。具体地，为了在背投显示器、等离子显示器、液晶显示器上以及其它相关应用中创建黑色像素，显示生成技术在图像中不创建黑色。相反，通过使用通常用在光路中的某种类型的黑色矩阵可以创建图像中的黑色。当来自像素的光被熄灭时，可以观察到黑色矩阵。如果没有使用黑色矩阵材料，则观看者可能看到用在显示生成技术中的并且也是反射性的灰色或金属色。对比度可能被减小或最小化，并且环境光的反射导致图像引擎在表面上所创建的图像的冲失(washout)。
因此，值得期望的是提供可以有效地透射通过黑色矩阵的光并使得较大量的黑色能够存在的黑色矩阵，以便提供环境光抑制层，以有助于对比度的形成。一般来说，表面上的黑色的量越大，抑制环境光和图像冲失的能力就越大，并且对比度就越大。换而言之，在黑暗的房间里对比度可以是无穷大的，但是在没有黑色的情况下，在有光的房间里可能有很少对比度。因此，黑色材料可以有助于提供期望的对比度。相似地，在膜是反射性的或者是反射性和抗反射的组合，则该膜可以通过与透射光的相互作用而提供功能，并且/或者提供用于其它电子或电介质应用的功能。
因此，可以期望提供这样的孔：该孔具有：(1)期望的形状，所述形状可以影响用于提供期望的空间滤波器功能的能力；(2)相对于膜的应用和使用或者聚焦特性和形状的期望的大小；(3)关于每个透镜的期望的孔密度以及/或者(4)相对于相应透镜的期望的对准。根据本发明的一些实施例，可以提供期望的形状、大小、密度和/或对准。在一些实施例中，跨越一些微透镜产品可以提供恒定的形状、大小、密度和/或对准的孔。在这些实施例中，支架140可以包括圆柱状表面分段。脉冲激光束保持基本上垂直(正交)于圆柱状表面分段。换而言之，脉冲激光束从轴144到圆柱状表面分段142的半径沿着整个扫描可以保持基本上恒定。另外，在其它实施例中可以提供可变的形状、大小、密度和/或对准。在其中期望可变的形状、大小、密度和/或对准的这些实施例中，可以用不是圆柱状表面分段的凹面来替代圆柱状表面分段142，其中凹面的曲率半径和/或照射于其上的角度可以随位置而不同，以提供期望的可变形状、大小、密度和/或对准。
另外，其它实施例可以提供不是圆柱状表面分段的凹面，或者甚至可以提供平面。在这些实施例中，通过使用透镜和/或其它光学元件来提供激光脉冲在表面上的基本上垂直的照射，以在宽距离上维持脉冲激光束垂直于扫描表面。例如，f-θ透镜可以结合不是圆柱状表面分段的凹面或者甚至平面使用，同时依然能够实现垂直照射。如本领域技术人员所熟知的，f-θ透镜通常用于读取或打印文档的扫描系统中，其被设计成使得图像高度与扫描角度2成比例，而不是像通常的情况那样与该角度的正切成比例。
另外，在此已经主要就放置在支架上的矩形基板对本发明的实施例进行了说明。然而，可以使用其它多边形和/或椭圆形状的基板。另外，在本发明的其它实施例中，可以使用连续(网)的基板，并且以逐步和/或连续的方式跨越支架将其移动，以成像连续的膜。然后可以将连续的膜切成用于终端产品的期望形状。
例子
下面的例子应当被认为仅是示意性的，而不应当被认为限制本发明。
支架140被构造成具有轴向长为53＂、圆周向长为36＂、曲率半径为19.1＂的圆柱状表面分段142。圆柱状表面分段142包括14标准厚度的穿孔钢板430，其中具有0.25＂大小的孔432的阵列，其间距为5/16＂(交错的)。使用一英寸厚的聚碳酸酯开口单元泡沫420，诸如Uline所出售的，如传统的纤维玻璃网孔屏410那样，每英寸具有60细丝。SpectraPhysics出售的型号为H.I.P.P.O.J80-H10-106QW的激光器110用在脉冲频率140,000脉冲/秒和脉冲能量0.14mJ。从激光器110所发出的光束112的直径为0.6mm，光具组260提供直径为0.5mm的光束用以照射在圆柱状表面分段142上。使用Newport Corporation所出售的型号为FSM-300的快速转向反射镜(FSM)286。提供10边的多边形反射镜120，其中多边形的边为0.812＂并且以6000rpm的恒定角速度旋转。因此，在1毫秒中完成对微透镜阵列板的单次扫描或光栅。Techno-Isel所出售的型号为HL3IHDMB的线性转移器130以每分钟4.5＂的速率转移滑动装置236。
这些实施例能够在大约9分钟内成像大小为50＂×30＂、具有大约10亿非球面微透镜(例如，每平方英寸131,665个70μm的透镜)的微透镜阵列板。在检查时，看不到可见的缺陷。
在附图和说明书中，已经公开了本发明的实施例，虽然采用了特殊的术语，但是，它们仅以一般性和描述性的含义被使用而不是为了限制的目的，本发明的范围由所附的权利要求阐明。

Claims (35)

1.一种用于在基板的背面上的层中创建孔的设备，所述基板包括其前面上的微透镜阵列，所述设备包括：
支架，其包括定义轴的圆柱状表面分段，其中所述圆柱状表面分段被配置为支持基板的背面上的所述层，以使得基板的前面上的所述微透镜阵列面向所述轴；
扫描反射镜；
脉冲激光器，其被配置为使脉冲激光束照射在所述扫描反射镜上，所述扫描反射镜被相对于所述支架而定向，以使照射到其上的脉冲激光束从所述轴圆周地沿着所述圆柱状表面分段进行扫描，以穿过基板的前面上的所述微透镜阵列并且进入基板的背面上的所述层中，以创建所述孔；以及
线性转移器，其被配置为使所述支架和/或所述扫描反射镜彼此相对地轴向、线性地转移，以便轴向地转移沿着所述圆柱状表面分段圆周地扫描的所述脉冲激光束。
2.如权利要求1所述的设备，其中所述扫描反射镜包括旋转的多边形反射镜，所述多边形反射镜被配置为围绕平行于所述圆柱状表面分段的所述轴的旋转轴而旋转。
3.如权利要求2所述的设备，其中所述旋转的多边形反射镜被相对于所述圆柱状表面分段的所述轴而定位，以使得所述脉冲激光束在所述圆柱状表面分段的所述轴处照射在所述反射镜的多边形表面上。
4.如权利要求1所述的设备，其中所述扫描反射镜被相对于所述支架而定向，以使所述脉冲激光束从所述轴圆周地沿着所述圆柱状表面分段并且垂直于所述圆柱状表面分段进行扫描。
5.如权利要求1所述的设备，其中所述扫描反射镜被相对于所述支架而定向，以使所述脉冲激光束从所述轴圆周地沿着所述圆柱状表面分段在对所述圆柱状表面分段的垂直偏差小于约0.01°的情况下进行扫描。
6.如权利要求2所述的设备，还包括可移动反射镜，所述可移动反射镜被配置为使来自所述脉冲激光器的所述脉冲激光束照射到所述旋转的多边形反射镜上，其中所述可移动反射镜被配置为至少部分地补偿所述旋转的多边形反射镜和/或其围绕所述旋转轴的旋转中的缺陷。
7.如权利要求6所述的设备，其中所述可移动反射镜包括快速转向反射镜。
8.如权利要求1所述的设备，其中所述线性转移器包括被配置为相对于所述支架轴向地转移所述扫描反射镜的螺旋传动。
9.如权利要求1所述的设备，其中所述圆柱状表面分段包括：
刚性支持层，在其中包括穿孔；
所述刚性支持层上的柔性多孔缓冲层，在所述刚性支持层和所述轴之间；以及
所述柔性多孔缓冲层上的柔性多孔支持层，在所述柔性多孔缓冲层和所述轴之间。
10.如权利要求7所述的设备，其中所述柔性多孔支持层被配置为支持基板的背面，以及其中所述支架还包括真空稳压室，所述真空稳压室被配置为通过所述柔性多孔支持层中的所述穿孔、通过所述柔性多孔缓冲层和通过所述刚性支持层抽真空，以支持所述柔性多孔支持层上的基板的背面。
11.如权利要求1所述的设备，其中所述圆柱状表面分段包括：
穿孔金属板；
所述穿孔金属板上的泡沫层，在所述穿孔金属板和所述轴之间；以及
所述泡沫层上的柔性屏，在所述泡沫层和所述轴之间。
12.如权利要求9所述的设备，其中所述柔性屏被配置为支持基板的背面，以及其中所述支架还包括真空稳压室，所述真空稳压室被配置为通过所述柔性屏、通过所述泡沫层和通过所述穿孔金属板中的所述穿孔抽真空，以支持所述柔性屏上的基板的背面。
13.如权利要求1所述的设备，还包括控制器，所述控制器被配置为同时控制所述脉冲激光器的脉动、所述扫描反射镜的扫描和所述转移器的转移。
14.如权利要求7所述的设备，还包括控制器，所述控制器被配置为同时控制所述脉冲激光器的脉动、所述旋转的多边形反射镜的扫描、所述快速转向反射镜的运动和所述转移器的转移。
15.如权利要求1所述的设备，其中所述微透镜在其基部处的大小小于约100μm，以及其中在所述圆柱状表面分段处所述脉冲激光束的直径约为1mm。
16.如权利要求1所述的设备，其中所述脉冲激光器、所述扫描反射镜以及所述线性转移器被配置，以便使所述脉冲激光束在所述圆柱状表面分段上的照射区域圆周地和轴向地相重叠。
17.如权利要求1所述的设备，其中包括其前面上的所述微透镜阵列和其背面上的所述层的所述基板被配置为用于可见光应用，以及其中所述脉冲激光器是波长大于可见光的脉冲激光器。
18.如权利要求1所述的设备，其中包括其前面上的所述微透镜阵列和其背面上的所述层的所述基板被配置为用于可见光应用，以及其中所述脉冲激光器是脉冲红外激光器。
19.一种用于在基板的背面上的层中创建孔的方法，所述基板包括其前面上的微透镜阵列，所述方法包括：
使所述基板弯曲成定义轴的圆柱状表面分段，以使得所述基板的前面上的所述微透镜阵列面向所述轴；以及
使脉冲激光束从所述轴圆周地沿着所述圆柱状表面分段进行扫描，以穿过基板的前面上的所述微透镜阵列并且进入到基板的背面上的所述层中，从而创建所述孔，同时使所述基板和/或进行扫描的所述脉冲激光束彼此相对地轴向转移。
20.如权利要求19所述的方法，其中使脉冲激光束从轴圆周地沿着所述表面分段进行扫描包括围绕平行于所述圆柱状表面分段的所述轴的旋转轴而旋转多边形反射镜。
21.如权利要求20所述的方法，还包括相对于所述圆柱状表面分段的所述轴而定位所述多边形反射镜，以使得所述脉冲激光束在所述圆柱状表面分段的所述轴处照射在所述反射镜的多边形表面上。
22.如权利要求19所述的方法，其中使脉冲激光束从所述轴圆周地进行扫描是在对所述圆柱状表面分段的垂直偏差小于约0.01°的情况下执行的。
23.如权利要求20所述的方法，还包括至少部分地补偿所述多边形反射镜和/或其围绕所述旋转轴的旋转中的缺陷。
24.如权利要求23所述的方法，其中所述至少部分地补偿是通过快速转向反射镜而执行的。
25.如权利要求19所述的方法，其中同时地进行转移包括相对于所述支架轴向地转移进行扫描的所述脉冲激光束。
26.如权利要求19所述的方法，还包括同时地控制所述脉冲激光器的脉动、所述脉冲激光束的扫描以及所述基板和/或进行扫描的所述脉冲激光束的彼此相对的轴向转移。
27.如权利要求23所述的方法，还包括同时地控制所述脉冲激光器的脉动、所述脉冲激光束的扫描、至少部分地补偿缺陷以及所述基板和/或进行扫描的所述脉冲激光束的彼此相对的轴向转移。
28.如权利要求19所述的方法，其中所述微透镜在其基部处的大小小于约100μm，以及其中在所述圆柱状表面分段处所述脉冲激光束的直径为约1mm。
29.如权利要求19所述的方法，其中控制所述脉冲激光束、所述扫描和同时的所述转移，以便使所述脉冲激光束在所述圆柱状表面分段上的照射区域圆周地和轴向地重叠。
30.一种在基板的背面上的层中创建孔时用于支持所述基板的支架，所述基板包括其背面上的所述层以及其前面上的微透镜阵列，所述支架包括：
定义轴的圆柱状表面分段，其中所述圆柱状表面分段被配置为支持所述基板的所述背面，以使得所述基板的前面上的所述微透镜阵列面向所述轴。
31.如权利要求30所述的支架，其中所述圆柱状表面分段包括：
刚性支持层，在其中包括穿孔；
所述刚性支持层上的柔性多孔缓冲层，在所述刚性支持层和所述轴之间；以及
所述柔性多孔缓冲层上的柔性多孔支持层，在所述柔性多孔缓冲层和所述轴之间。
32.如权利要求31所述的支架，其中所述柔性多孔支持层被配置为支持基板的背面，以及其中所述支架还包括真空稳压室，所述真空稳压室被配置为通过所述柔性多孔支持层中的所述穿孔、通过所述柔性多孔缓冲层和通过所述刚性支持层抽真空，以支持所述柔性多孔支持层上的基板的背面。
33.如权利要求30所述的支架，其中所述圆柱状表面分段包括：
穿孔金属板；
所述穿孔金属板上的泡沫层，在所述穿孔金属板和所述轴之间；以及
所述泡沫层上的柔性屏，在所述泡沫层和所述轴之间。
34.如权利要求33所述的支架，其中所述柔性屏被配置为支持基板的背面，以及其中所述支架还包括真空稳压室，所述真空稳压室被配置为通过所述柔性屏、通过所述泡沫层和通过所述穿孔金属板中的所述穿孔抽真空，以支持所述柔性屏上的基板的背面。
35.一种微透镜阵列产品，包括：
基板；
所述基板的第一面上的微透镜的阵列，所述微透镜阵列沿着所述基板的至少一个方向延伸至少30＂，所述阵列中的所述微透镜包括大小小于约100μm的至少一个基部尺度；以及
基板的第二面上的层，所述层包括沿着所述基板的所述至少一个方向延伸至少30＂的孔的阵列，其中各个孔与相应的微透镜在对准偏差小于约0.01°的情况下相对准。
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PB01 Publication
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