CN102331324B - 具有附加的双绝对压力传感器的差压变送器 - Google Patents

具有附加的双绝对压力传感器的差压变送器 Download PDF

Info

Publication number
CN102331324B
CN102331324B CN201110119433.5A CN201110119433A CN102331324B CN 102331324 B CN102331324 B CN 102331324B CN 201110119433 A CN201110119433 A CN 201110119433A CN 102331324 B CN102331324 B CN 102331324B
Authority
CN
China
Prior art keywords
pressure
pressure transducer
differential pressure
pick
transducer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201110119433.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102331324A (zh
Inventor
戴维·A·布罗登
罗伯特·C·海德克
安德鲁·J·科乐森斯基
弗雷德·C·西特勒
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rosemount Inc
Original Assignee
Rosemount Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rosemount Inc filed Critical Rosemount Inc
Publication of CN102331324A publication Critical patent/CN102331324A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102331324B publication Critical patent/CN102331324B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • G01L13/026—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms involving double diaphragm
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
    • G01F1/38—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction the pressure or differential pressure being measured by means of a movable element, e.g. diaphragm, piston, Bourdon tube or flexible capsule
    • G01F1/383—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction the pressure or differential pressure being measured by means of a movable element, e.g. diaphragm, piston, Bourdon tube or flexible capsule with electrical or electro-mechanical indication
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/50—Correcting or compensating means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L15/00—Devices or apparatus for measuring two or more fluid pressure values simultaneously
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
    • G01L27/002—Calibrating, i.e. establishing true relation between transducer output value and value to be measured, zeroing, linearising or span error determination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
    • G01L27/007—Malfunction diagnosis, i.e. diagnosing a sensor defect
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
    • G01L9/125—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor with temperature compensating means

Abstract

本发明公开了一种用于测量过程流体的压力的过程变量变送器，包括具有第一端口和第二端口的过程连接装置，所述第一端口被构造成连接到第一过程压力，所述第二端口被构造成连接到第二过程压力。差压传感器连接到第一端口和第二端口，并提供与第一过程压力和第二过程压力之间的差压有关的输出。第一和第二压力传感器连接到相应的第一和第二端口，并提供与第一过程压力和第二过程压力有关的输出。变送器电路被构造成基于来自差压传感器和/或第一和/或第二压力传感器的输出提供变送器输出。由变送器使用感测到的第一和/或第二过程压力提供附加的功能。

Description

具有附加的双绝对压力传感器的差压变送器
相关申请的交叉引用
本申请涉及与该申请同一日提出申请并且题为“TRANSMITTEROUTPUTWITHSCALABLERANGEABILITY”的共同待审的申请第12/834,393号，通过引用将该申请的全部内容结合于此。
技术领域
本发明涉及工业过程中的过程流体的压力的测量。更具体地，本发明涉及在差压变送器中测量管线压力。
背景技术
工业过程用在多种类型的材料的制造和运输中。在这种系统中，通常需要测量过程中的不同类型的压力。经常要测量的一类压力是差压。这是过程中的一个点与过程中的另一个点之间的压差。例如，含有过程流体流的管中的孔板两端的差压与流体的流量有关。差压例如还可以用于测量槽或其它容器中的过程流体的高度。
在工业过程中，压力传感器通常容纳在或连接到压力变送器，所述压力变送器位于远距离处并将与压力有关的信息传输到诸如控制室的中央位置。经常在过程控制回路上进行传输。例如，通常使用二线式过程控制回路，在该二线式过程控制回路中，两条线用于将信息以及电力传送给变送器。还可以使用无线通信技术。
变送器技术的进步已经增加了可以由变送器产生的信息量。具体地，变送器可以安装有多个传感器以测量多个过程变量输入或较宽范围的单个过程变量。例如，变送器可以设置有诸如授予Broden等人的美国专利No.5,495,769、授予Rud，Jr.的美国专利No.6,047,244和授予Schulte等人的美国专利No.7,467,555中所述的多个压力传感器，所有这些专利都被转让给明尼苏达州EdenPrairie市的Rosemount公司。
在许多过程设施中，除了测量差压之外，还期望测量过程的绝对压力或表压力(也被称作为“管线压力”)。该信息例如可以通过在流量计算中包括过程流体的密度变化而用于提供更加准确的流量测量。可以使用连接到过程流体的单独的压力传感器来进行附加的压力测量。
发明内容
一种用于测量过程流体的压力的过程变量变送器，包括具有第一端口和第二端口的过程连接装置，所述第一端口被构造成连接到第一过程压力，所述第二端口被构造成连接到第二过程压力。差压传感器连接到第一端口和第二端口，并提供与第一过程压力和第二过程压力之间的差压有关的输出。至少第一压力传感器连接到第一端口并提供与第一过程压力有关的输出。变送器电路被构造成基于根据差压的输出提供变送器输出。由变送器使用感测到的第一过程压力和感测到的第二过程压力提供附加的功能。
附图说明
图1显示具有根据本发明构造而成的过程变送器的过程测量系统；
图2是图1的过程变送器的简化方框图；
图3是图1的过程变送器的示意性侧视图，其中示出了变送器电子元件；
图4是图3的变送器的传感器模块的横截面图；
图5是管线压力传感器的横截面图；图6是图5的安装在管中的管线压力传感器的横截面图。
具体实施方式
在一个实施例中，本发明提供一种用于使用双管线压力传感器为差压测量变送器提供另外的功能的设备和方法。更具体地，在一个方面中，本发明包括一种管线压力传感器，所述管线压力传感器连接差压传感器的相对侧，用于执行诊断或提供其它功能。
图1大致显示过程测量系统32的环境。图1显示含有加压流体的连接到用于测量过程压力的过程测量系统32的过程管道30。过程测量系统32包括连接到管道30的脉冲管道(impulsepiping)34。脉冲管道34连接到过程压力变送器36。诸如孔板、文丘里管、流量喷嘴(flownozzle)等之类的主元件33接触过程管道30中的在脉冲管道34的管子之间的位置处的过程流体。当流体流动经过主元件33时，主元件33使该流体产生压力变化。
变送器36是通过脉冲管道34接收过程压力的过程测量装置。变送器36感测过程压差并将该压差转换成为过程压力的函数的标准化传输信号。
过程回路38将电力信号从控制室40提供给变送器36并提供双向通信，并且可以根据多种过程通信协定构造而成。在所述的示例中，过程回路38是二线式回路。二线式回路用于在正常操作期间以4-20mA信号将所有电力传输至变送器36，并传输到和来自变送器36的所有通信。控制室40包括给变送器36提供电力的电压电源46和串联电阻44。在另一个示例性结构中，回路38是无线连接(wirelessconnection)，在该无线连接中可以以点对点结构、全连接网络、或其它结构无线地传送或接收数据。
图2是压力变送器36的简化方框图。压力变送器36包括通过数据线66连接在一起的传感器模块52和电子板72。传感器模块电子元件60连接到接收所施加的差压54的差压传感器56。数据连接(dataconnection)58将传感器56连接到模数转换器62。任选的温度传感器63还与传感器模块存储器64一起被示出。电子元件板72包括微计算机系统74(或微处理器)、电存储器模块76、数模信号转换器78和数字通信块80。
此外，图2中还示出了用于将差压传感器56连接到过程流体54的毛细管或“填充”管93和94。隔离膜片90接收来自过程流体54的压力，所述压力被可靠地施加到毛细管93和94中载送的填充流体。通过该填充流体，将工业过程的压力施加到差压传感器56。
根据所述的实施例，管线压力传感器97和98分别连接到毛细管93和94，并且被布置成监测毛细管93和94中的压力。管线压力传感器97和98连接到压力测量电路99。电路99例如可以包括响应于传感器97和99的电参数的电路，所述电参数作为所施加的管线压力的函数而变化。例如，压力传感器97和98可以根据包括公知的技术来操作，包括其中传感器97和98的电容变化、传感器97和98的电阻变化、传感器的共振频率变化等的压力测量技术。以下更加详细地论述一个具体的结构。电路99可以是独立的电路，或者在一些结构中，电路99可以包括在用于测量差压的其它电路中。例如，用于监测不同传感器的一些部件或所有部件可以是共用部件。
图3示意性地显示具有传感器模块52和变送器电子元件模块136的压力变送器36的一个实施例。传感器模块52包括壳体152和基部54，在所述壳体和基部中设置有传感器板156、差压传感器56、隔离装置或管93和94、以及隔离膜片90。变送器电子元件模块136包括壳体164、罩166、显示罩168、输出接口170和变送器电路172。传感器模块52还包括管线压力传感器97和98以及温度传感器175。在图1中所示的管道30的主元件33的两侧产生压力P1和P2。
传感器板156和传感器56安装在传感器模块52的壳体152内。传感器模块52的壳体152例如通过螺纹连接连接到电子模块136的壳体164。类似地，罩166和168通过螺纹连接连接到壳体164，所述螺纹连接形成如本领域所公知的火焰淬火(flame-quenching)密封件以防止来自壳体164内的火焰的泄漏。输出接口170和变送器电路172安装到变送器电子元件模块136内的壳体164并形成图2中所示的电子元件板72。
在所述的实施例中，传感器56是具有设置在一对电极板之间的感测膜片的基于电容的差压传感器。在一个实施例中，传感器56是如授予Frick等人的美国专利No.6,295,875中所述的金属膜片式传感器，该专利被转让给明尼苏达州EdenPrairie市的Rosemount公司。传感器56通过隔离管93和94连接到基部54，在所述隔离管中设置有液压填充流体。隔离膜片90使隔离管93和94内的填充流体不会受到过程流体的压力P1和P2。由传感器56通过基部54内的隔离膜片90以隔离管93和94内的液压填充流体感测作为差压ΔP的过程流体的压力P1和P2的变化。然而，本发明不局限于这种差压测量结构。
在所述的实施例中，管线压力传感器97和98是基于电容的绝对压力传感器。在一个结构中，传感器97和98是如授予Sittler等人的美国专利No.6,484,585和一系列相关申请中所述的电容式压力传感器，所有这些专利或专利申请都转让给明尼苏达州EdenPrairie市的Rosemount公司。这种传感器包括使用具有高压缩强度的脆性感测材料(brittlesensingmaterial)的技术。例如，诸如蓝宝石的脆性材料。传感器97和98分别感测隔离管93和94中的填充流体的管线压力P1和P2。由压力传感器97和98中的每一个感测到的压力可以相互进行比较以产生表示差压ΔP的信号，所述信号可以用于代替由传感器56感测到的差压ΔP，或用于与由传感器56感测到的差压ΔP进行比较。
传感器56、97和98一起形成传感器系统，所述传感器系统包括具有单个传感器装置的压差传感器设备和具有两个传感器装置的绝对传感器设备。差压传感器56以及绝对压传感器97和98与传感器板156进行电通信。传感器板156通过传感器电缆176与变送器电路172电通信。变送器电路172通过电缆178与输出接口70电通信。输出接口170将变送器36连接到控制回路38的配线。在本发明的其它实施例中，变送器电路172、传感器板156和输出接口170的功能的性能依照要求被不同地分配和实施。
传感器56准确地测量小的差压。进一步地，传感器97和98准确地测量绝对压力。传感器56直接测量管线压力P1与P2之间的差。传感器97和98分别直接测量压力P1和P2。来自传感器97和98的输出之间的差可以用于确定大的差压、执行诊断、提供对传感器56的校准等、或提供其它功能。传感器56、97和98因此可以用在多种情况下以感测管线压力和差压。
图4是更加详细地示出的传感器模块52的横截面图。如图4中所示，管93包括连接到差压传感器56的弯曲部分202。进一步地，管93包括连接到管线压力传感器97的延长部分200。以类似的方式，管94包括连接到差压传感器56的弯曲部分206和连接到管线压力传感器98的延长部分204。
图5是管线压力传感器97的一个示例的侧视横截面图。在图5的示例中，管线压力传感器97由两个蓝宝石衬底220和222形成，所述蓝宝石衬底粘结在一起并且在所述蓝宝石基板之间形成真空空腔224。真空空腔224包括连接到电连接导线226的两个电容器极板(未示出)。电连接导线226连接到传感器板156中的电路。设置铜焊带(brazeband)230，并且该铜焊带用于将传感器97连接到管93。
图6是安装在管93的延长部分200中的管线压力传感器97的横截面图。管93可以由镍形成并且填充有诸如油的基本不可压缩流体。管93的延长部分200包括形成在该延长部分内的开口，所述开口支撑压力传感器97。例如使用铜焊232将压力传感器97密封至延长部分200。
返回参照图2，通过变送器36中的电路接收来自压力传感器56、97和98的传感器信号。该电路包括例如传感器模块52中或电子元件板72上的电路。例如，微处理器电路74可以处理管线压力信号以为变送器36提供增强功能。这种增强功能包括诊断、扩展的测量范围、冗余传感器测量、校准、诸如质量流量的额外的过程变量的计算等。
附加的传感器的使用可以用于扩展装置能够感测压力的范围。例如，管线压力传感器97和98可以用于在压力超过压力传感器56的上限时的情况中感测过程流体的差压。虽然这种结构可能会降低压力测量的精度，但是在一些情况下，这种折衷方案是可接受的，以便增加测量范围。这对于测量流量以及差压来说是有用的。
附加的传感器97、98可以用来使得能够进行冗余压差测量(redundantdifferentialpressuremeasurement)，用于提供传感器诊断。例如，在小于250英寸H2O的压力下，传感器97、98可以用于测量差压并且提供冗余差压测量。使用管线传感器97和98测量的差压可以与使用差压传感器56测量的差压进行比较。微处理器74可以使用这两种测量之间的任何差异来识别失效的传感器。
在一种结构中，附加的绝对压传感器97和98用于在差压传感器56已经失效或正在提供不准确的测量的情况下提供差压测量。这种结构允许变送器36在精度降低的受限(或“失效保护(limp)”)模式下操作，直到失效的设备可以被修理或更换。如果微处理器系统74例如根据传感器56不提供信号输出而检测到传感器56已经失效，则微处理器74可以根据来自传感器97和98的输出计算差压。计算处差压可以被传输到远程位置。传输任选地可以包括诊断信息，如表示传输的过程变量由于变送器处于“失效保护”模式下运行而具有降低的精度的信息。这种结构允许工业过程可能以减小的容量继续运行，直到可以实现修理为止。
在另一种结构中，根据由差压传感器56测量的差压通过微处理器系统74对绝对压传感器97、98执行诊断。在正常操作期间，由管线压力传感器97、98中的一个测量的压力应该大致等于由管线压力传感器97、98中的另一个测量的压力与由差压传感器56测量的差压之间的差。类似地，附加的传感器97、98可以用于识别脉冲管道的堵塞或失效的主元件。
在所述的实施例中，两种不同类型的传感器的使用可以用于提供具有不同频率响应的传感器。例如，这里所述的差压传感器56中使用的金属膜片具有倾向于滤出较高频率的过程噪声的有效低通滤波器。另一方面，这里所述的基于蓝宝石的管线压力传感器97、98具有较高的频率响应并能够提供具有较快响应时间的测量。这种高频率响应可以用于测量差压传感器56的任一侧的噪声信号。这可以用于提供增强的过程统计或诊断，例如识别过程中堵塞的管线或其它失效部件。管线压力信号还可以用于校准差压传感器56以及用于对差压测量中的由高管线压力引起的任何变化进行补偿。例如，上述压力传感器97和98的结构在延长的时间周期内提供了相对稳定的测量。当传感器97和98相对稳定时，它们的测量值可以用于校准由压力传感器56提供的测量值的漂移。因此，可以由微处理器74执行校准。在另一个示例中，由管线压力传感器97和98提供的附加的压力测量值可以用于通过微处理器74为差压传感器56压力测量值提供准确的管线压力区域(spanlinepressure)补偿。在一种结构中，两个绝对压传感器测量值的使用可以用于更加准确地对差压测量值的变化进行补偿。可以在微处理器74中执行补偿算法。
在一种结构中，管线压力传感器97和98具有大约5,000psi的范围上限。传感器97、98可以放置在装置中的任何位置，然而与填充管93、94相关联的上述位置提供了便利的位置。当这里所述的管线压力传感器97、98根据电容变化进行操作时，测量系统的不同操作和部件可以与差压传感器56共享图2中所示的也根据电容变化进行操作的温度传感器63。在一个实施例中，温度传感器设置在传感器97和/或98内。这可以用于补偿它们的测量值的温度变化。进一步地，参考电容器(未示出)可以设置在传感器97和/或98中以进一步增强绝对压力测量值的精度。双绝对管线压力传感器96、98还可以用在其它过程变量测量结构中，例如，用在其中传感器可以与应变仪平行定位的管线内单元(inlineunit)中。
虽然已经参照优选的实施例说明了本发明，但是本领域的技术人员将认识到在不背离本发明的精神和保护范围的情况下可以在形式和细节上进行改变。管线压力传感器97和98可以以任意适当的方式连接到P1和P2并且不局限于这里所示的管结构。可以使用任意适当的电路实施上述不同的功能，并且这种功能的实施可以在多个部件之间共享，并且使用相同或单独的电路实施。这里使用的“变送器电路”表示变送器36内的电路。如这里所使用的，“增强功能”包括系统诊断、部件诊断、过程诊断、扩展的操作范围、部件的校准、统计过程测量和元件失效情况下的受限装置操作。

Claims (19)

1.一种用于测量过程流体的压力的过程变量变送器，包括：
过程连接装置，所述过程连接装置具有第一端口和第二端口，所述第一端口被构造成连接到第一过程压力，所述第二端口被构造成连接到第二过程压力；
差压传感器，所述差压传感器连接到所述第一端口和所述第二端口，所述差压传感器具有与所述第一过程压力和所述第二过程压力之间的差压有关的输出，该差压传感器是具有设置在一对电极板之间的金属膜片的基于电容的差压传感器，该金属膜片具有用于滤出较高频率的过程噪声的低通滤波器；
第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器连接到相应的第一端口和第二端口，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器具有与所述第一过程压力和所述第二过程压力有关的输出，第一压力传感器和第二压力传感器具有用于测量差压传感器的任一侧的噪声信号的较高的频率响应；
温度传感器，设置在第一压力传感器和/或第二压力传感器内并用于补偿第一压力传感器和/或第二压力传感器的测量值的温度变化；和
变送器电路，所述变送器电路被构造成根据来自所述差压传感器的输出提供变送器输出，并且进一步根据所述第一过程压力和所述第二过程压力提供增强功能，
其中所述第一压力传感器和所述第二压力传感器中的每一个包括脆性材料，所述脆性材料具有形成在该脆性材料内的空腔；以及
其中来自所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的输出与所述空腔的变形有关，并且第一压力传感器和第二压力传感器具有5,000psi的范围上限。
2.根据权利要求1所述的过程变量变送器，其中，所述变送器被构造成根据来自所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的输出计算差压。
3.根据权利要求1所述的过程变量变送器，包括将所述第一端口连接到所述第一压力传感器和所述差压传感器的管。
4.根据权利要求3所述的过程变量变送器，其中，所述管包括延长部分，并且所述第一压力传感器安装在所述延长部分的远端处。
5.根据权利要求1所述的过程变量变送器，其中，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的频率响应大于所述差压传感器的频率响应。
6.根据权利要求1所述的过程变量变送器，其中，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器被构造成在大于所述差压传感器的最大操作压力的压力下操作，并且所述变送器电路被构造成根据所述第一压力传感器和所述第二压力传感器提供变送器输出，从而为所述过程变量变送器提供扩展的范围。
7.根据权利要求1所述的过程变量变送器，其中，所述变送器电路被构造成当差压传感器损坏时根据来自所述第一压力传感器的输出与来自所述第二压力传感器的输出之间的差提供差压输出。
8.根据权利要求3所述的过程变量变送器，其中，所述第一压力传感器延伸到所述管中，并通过铜焊被密封至所述第一压力传感器。
9.根据权利要求1所述的过程变量变送器，其中，所述增强功能包括检测堵塞的管线。
10.根据权利要求1所述的过程变量变送器，其中，所述增强功能基于由所述第一压力传感器和所述第二压力传感器感测到的信号的频率。
11.根据权利要求1所述的过程变量变送器，其中，所述增强功能包括根据来自所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的输出校准所述差压传感器。
12.一种在过程变量变送器中测量过程流体的压力的方法，包括以下步骤：
将第一管连接到第一过程压力；
将第二管连接到第二过程压力；
使用连接在所述第一管和所述第二管之间的差压传感器感测所述第一过程压力和所述第二过程压力之间的差压，该差压传感器是具有设置在一对电极板之间的金属膜片的基于电容的差压传感器，该金属膜片具有用于滤出较高频率的过程噪声的低通滤波器；
利用通过所述第一管连接到所述第一过程压力的第一压力传感器感测所述第一过程压力；
利用通过所述第二管连接到所述第二过程压力的第二压力传感器感测第二过程压力；
通过第一压力传感器和第二压力传感器的较高的频率响应测量差压传感器的任一侧的噪声信号；
提供与由所述差压传感器感测到的差压有关的变送器输出；
根据来自所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的输出对所述过程变量变送器执行增强功能，
其中所述第一压力传感器包括脆性材料，所述脆性材料具有形成在所述脆性材料内的空腔；以及
其中来自所述第一压力传感器的输出与所述空腔的变形有关，并且第一压力传感器和第二压力传感器具有5,000psi的范围上限。
13.根据权利要求12所述的方法，包括以下步骤：
根据来自所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的输出计算差压。
14.根据权利要求12所述的方法，其中，所述第一管包括延长部分，并且所述第一压力传感器安装在所述延长部分的远端处。
15.根据权利要求12所述的方法，其中，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的频率响应大于所述差压传感器的频率响应。
16.根据权利要求12所述的方法，包括以下步骤：
根据感测到的所述第一过程压力和所述第二过程压力检测管线堵塞。
17.根据权利要求12所述的方法，包括根据感测到的所述第一过程压力和所述第二过程压力诊断所述差压传感器的操作。
18.根据权利要求12所述的方法，包括以下步骤：
当所述差压传感器损坏时，根据感测到的所述第一过程压力和所述第二过程压力感测差压。
19.根据权利要求12所述的方法，包括以下步骤：
根据感测到的所述第一过程压力和所述第二过程压力校准所述差压传感器。
CN201110119433.5A 2010-07-12 2011-05-06 具有附加的双绝对压力传感器的差压变送器 Active CN102331324B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/834,245 2010-07-12
US12/834,245 US8132464B2 (en) 2010-07-12 2010-07-12 Differential pressure transmitter with complimentary dual absolute pressure sensors

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102331324A CN102331324A (zh) 2012-01-25
CN102331324B true CN102331324B (zh) 2016-03-02

Family

ID=44510586

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011201445822U Expired - Lifetime CN202188933U (zh) 2010-07-12 2011-05-06 用于测量过程流体的压力的过程变量变送器
CN201110119433.5A Active CN102331324B (zh) 2010-07-12 2011-05-06 具有附加的双绝对压力传感器的差压变送器

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011201445822U Expired - Lifetime CN202188933U (zh) 2010-07-12 2011-05-06 用于测量过程流体的压力的过程变量变送器

Country Status (9)

Country Link
US (1) US8132464B2 (zh)
EP (1) EP2593766B1 (zh)
JP (1) JP5923500B2 (zh)
CN (2) CN202188933U (zh)
BR (1) BR112013000382A2 (zh)
CA (1) CA2804458C (zh)
MX (1) MX2013000351A (zh)
RU (1) RU2531849C1 (zh)
WO (1) WO2012009062A1 (zh)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8578783B2 (en) * 2011-09-26 2013-11-12 Rosemount Inc. Process fluid pressure transmitter with separated sensor and sensor electronics
US8701497B2 (en) * 2012-03-22 2014-04-22 Frederick H. Grenning Fluid flow testing system
US9057659B2 (en) * 2012-05-22 2015-06-16 Rosemount Inc. Pressure transmitter with hydrogen getter
US20130312421A1 (en) * 2012-05-24 2013-11-28 Solar Turbines Incorporated Fuel control system for a gas turbine engine
US9200932B2 (en) 2012-05-29 2015-12-01 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with redundant sensors
US8752433B2 (en) * 2012-06-19 2014-06-17 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with pressure sensor
RU2501985C1 (ru) * 2012-10-18 2013-12-20 Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Темп" им. Ф. Короткова" Струйное устройство для измерения отношения абсолютных давлений
GB2513903A (en) * 2013-05-10 2014-11-12 Sav United Kingdom Ltd An improved fluid flow rate measuring arrangement
US9442031B2 (en) 2013-06-28 2016-09-13 Rosemount Inc. High integrity process fluid pressure probe
EP2824438A1 (en) * 2013-07-12 2015-01-14 Siemens Aktiengesellschaft Pressure sensor
US9689769B2 (en) * 2013-07-19 2017-06-27 Rosemount Inc. Pressure transmitter having an isolation assembly with a two-piece isolator plug
KR102240813B1 (ko) * 2013-09-06 2021-04-14 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 절대 압력 및 차압 변환기
US9459170B2 (en) * 2013-09-26 2016-10-04 Rosemount Inc. Process fluid pressure sensing assembly for pressure transmitters subjected to high working pressure
US9234776B2 (en) * 2013-09-26 2016-01-12 Rosemount Inc. Multivariable process fluid transmitter for high pressure applications
DE102013114495A1 (de) * 2013-12-19 2015-06-25 S.K.I. GmbH Verfahren sowie Messanordnung nach dem Differenzdruckprinzip mit Nullpunktabgleich
FR3026182B1 (fr) * 2014-09-19 2018-04-13 Valeo Systemes De Controle Moteur Dispositif de mesure de pression differentielle
US9638600B2 (en) 2014-09-30 2017-05-02 Rosemount Inc. Electrical interconnect for pressure sensor in a process variable transmitter
CN105783958B (zh) * 2014-12-23 2018-04-17 国核电站运行服务技术有限公司 可切换的压力差压变送器及使用方法
US20160298575A1 (en) * 2015-04-02 2016-10-13 Sensata Technologies, Inc. Combined temperature, absolute and differential pressure sensor assembly
EP3112830B1 (en) 2015-07-01 2018-08-22 Sensata Technologies, Inc. Temperature sensor and method for the production of a temperature sensor
CN106353030B (zh) * 2015-07-24 2022-04-19 常州市汇丰船舶附件制造有限公司 基于大气基准压力的微超压检测方法及其检测装置
US20170167939A1 (en) * 2015-12-15 2017-06-15 Honeywell International, Inc. Pressure sensor drift detection and correction
EP3199927B1 (en) * 2016-02-01 2023-11-01 ABB Schweiz AG A method and a system for metering flow through a fluid conduit
US9638559B1 (en) * 2016-02-10 2017-05-02 Sensata Technologies Inc. System, devices and methods for measuring differential and absolute pressure utilizing two MEMS sense elements
US10480979B2 (en) * 2016-05-25 2019-11-19 Agilent Technologies, Inc. Flow meters, flow meter cartridges, and related methods
US20180067008A1 (en) * 2016-09-08 2018-03-08 Honeywell International Inc. Buried cavity sense die diaphragm stop for force sensors
US10428716B2 (en) 2016-12-20 2019-10-01 Sensata Technologies, Inc. High-temperature exhaust sensor
US10502641B2 (en) 2017-05-18 2019-12-10 Sensata Technologies, Inc. Floating conductor housing
CN107270981A (zh) * 2017-07-05 2017-10-20 中国石油天然气股份有限公司 孔板流量计
US10107656B1 (en) * 2017-10-18 2018-10-23 Frederick H. Grenning Flow-rate measurement nozzle with velocity pressure pickup channel
DE102017131066A1 (de) * 2017-12-22 2019-06-27 Endress+Hauser SE+Co. KG Verfahren zum Bereitstellen von kalibrierten Druckmessumformern
US10816428B2 (en) 2018-06-22 2020-10-27 Rosemount Inc. Field device interface seal and electrical insulation
WO2020113476A1 (zh) * 2018-12-05 2020-06-11 西门子股份公司 用于显示测量信息的方法、装置和系统
US11619534B2 (en) * 2019-04-10 2023-04-04 Honeywell International Inc. System and method for measuring saturated steam flow using redundant measurements
US11199276B2 (en) * 2019-05-24 2021-12-14 Arbiter Incorporated Backflow testing device
CN110501110A (zh) * 2019-08-12 2019-11-26 联合汽车电子有限公司 压力传感器
US11940307B2 (en) 2021-06-08 2024-03-26 Mks Instruments, Inc. Methods and apparatus for pressure based mass flow ratio control
US11808647B2 (en) 2021-09-27 2023-11-07 Rosemount Inc. Field device assembly including improved dielectric insulation system

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85108622A (zh) * 1984-10-12 1987-01-28 罗斯蒙德公司 用于脆性材料制成的电容传感器的电路
CN1511252A (zh) * 2001-05-25 2004-07-07 ÷ 具有长期稳定性的高灵敏度压力传感器
CN201110792Y (zh) * 2007-12-06 2008-09-03 童纪国 一种小直径压力表
CN101490521A (zh) * 2006-07-10 2009-07-22 罗斯蒙德公司 具有多个参考压力传感器的压力传送器

Family Cites Families (144)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2533339A (en) 1946-06-22 1950-12-12 Jabez Burns & Sons Inc Flammable vapor protection
FR941804A (fr) 1947-02-15 1949-01-21 Piezo Electricite Soc D Expl D Dispositif piézométrique
US3012432A (en) 1957-09-23 1961-12-12 Richard H Moore Leak tester
US3169402A (en) 1961-08-16 1965-02-16 Sheffield Corp Pressure differential gage
GB1023042A (en) 1962-05-07 1966-03-16 Wayne Kerr Lab Ltd Improvements in or relating to pressure responsive apparatus
US3232712A (en) 1962-08-16 1966-02-01 Continental Lab Inc Gas detector and analyzer
US3374112A (en) 1964-03-05 1968-03-19 Yeda Res & Dev Method and apparatus for controlled deposition of a thin conductive layer
US3249833A (en) 1964-11-16 1966-05-03 Robert E Vosteen Capacitor transducer
FR1438366A (fr) 1965-03-22 1966-05-13 B A R A Appareil de mesure de force ou pression
DE1932899U (de) 1965-12-10 1966-02-17 Seitz Automaten G M B H Selbstverkaeufer fuer flaschen oder in dergleichen behaelter abgepackte waren oder fluessigkeiten.
US3557621A (en) 1969-07-07 1971-01-26 C G S Scient Corp Inc Variable capacitance detecting devices
US3561832A (en) 1969-12-05 1971-02-09 Hewlett Packard Co Quartz resonator pressure transducer
GB1354025A (en) 1970-05-25 1974-06-05 Medicor Muevek Capacitive pressure transducer
US3924219A (en) 1971-12-22 1975-12-02 Minnesota Mining & Mfg Gas detection device
US3808480A (en) 1973-04-16 1974-04-30 Bunker Ramo Capacitive pressure transducer
DE2605756A1 (de) 1975-03-13 1976-09-23 Exxon Nuclear Co Inc Druckmesseinrichtung
US4008619A (en) 1975-11-17 1977-02-22 Mks Instruments, Inc. Vacuum monitoring
US4177496A (en) 1976-03-12 1979-12-04 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer
US4158217A (en) 1976-12-02 1979-06-12 Kaylico Corporation Capacitive pressure transducer with improved electrode
US4120206A (en) 1977-01-17 1978-10-17 Rosemount Inc. Differential pressure sensor capsule with low acceleration sensitivity
US4168518A (en) 1977-05-10 1979-09-18 Lee Shih Y Capacitor transducer
US4161123A (en) 1978-08-25 1979-07-17 Dresser Industries, Inc. Pressure gauge construction
US4227419A (en) 1979-09-04 1980-10-14 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer
US4244226A (en) 1979-10-04 1981-01-13 Honeywell Inc. Distance measuring apparatus and a differential pressure transmitter utilizing the same
US4434451A (en) 1979-10-29 1984-02-28 Delatorre Leroy C Pressure sensors
US4322775A (en) 1979-10-29 1982-03-30 Delatorre Leroy C Capacitive pressure sensor
US4287553A (en) 1980-06-06 1981-09-01 The Bendix Corporation Capacitive pressure transducer
US4336567A (en) 1980-06-30 1982-06-22 The Bendix Corporation Differential pressure transducer
US4370890A (en) 1980-10-06 1983-02-01 Rosemount Inc. Capacitive pressure transducer with isolated sensing diaphragm
US4358814A (en) 1980-10-27 1982-11-09 Setra Systems, Inc. Capacitive pressure sensor
US4422335A (en) 1981-03-25 1983-12-27 The Bendix Corporation Pressure transducer
US4458537A (en) 1981-05-11 1984-07-10 Combustion Engineering, Inc. High accuracy differential pressure capacitive transducer
US4389895A (en) 1981-07-27 1983-06-28 Rosemount Inc. Capacitance pressure sensor
US4466290A (en) 1981-11-27 1984-08-21 Rosemount Inc. Apparatus for conveying fluid pressures to a differential pressure transducer
US4455874A (en) 1981-12-28 1984-06-26 Paroscientific, Inc. Digital pressure transducer
US4422125A (en) 1982-05-21 1983-12-20 The Bendix Corporation Pressure transducer with an invariable reference capacitor
DE3238430A1 (de) 1982-10-16 1984-04-19 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Differenzdrucksensor
CH658726A5 (de) 1983-01-31 1986-11-28 Standard St Sensortechnik Ag Hydraulischer druckaufnehmer.
US4558184A (en) 1983-02-24 1985-12-10 At&T Bell Laboratories Integrated capacitive transducer
US4644796A (en) 1983-06-21 1987-02-24 Quartztronics, Inc. Pressure measurement apparatus and method
DE3340834A1 (de) 1983-11-11 1985-05-23 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Schaltungsanordnung zur konstanthaltung der temperaturabhaengigen empfindlichkeit eines differenzdruckmessgeraetes
US4739666A (en) 1983-12-12 1988-04-26 Pfister Gmbh Flat-spread force measuring device
US4490773A (en) 1983-12-19 1984-12-25 United Technologies Corporation Capacitive pressure transducer
JPS60133320A (ja) 1983-12-22 1985-07-16 Ishida Scales Mfg Co Ltd 荷重検出器
US4538466A (en) 1984-02-06 1985-09-03 Kerber George L Capacitance pressure transducer and method of fabrication therefor
US4542436A (en) 1984-04-10 1985-09-17 Johnson Service Company Linearized capacitive pressure transducer
US4678904A (en) 1984-07-06 1987-07-07 Technology Dynamics, Inc. Optical measuring device using a spectral modulation sensor having an optically resonant structure
US4562742A (en) 1984-08-07 1986-01-07 Bell Microcomponents, Inc. Capacitive pressure transducer
US4578735A (en) 1984-10-12 1986-03-25 Knecht Thomas A Pressure sensing cell using brittle diaphragm
US4670733A (en) 1985-07-01 1987-06-02 Bell Microsensors, Inc. Differential pressure transducer
GB2178536B (en) 1985-07-22 1989-08-31 Quartztronics Inc At-cut crystal resonator pressure transducer
JPS62184325A (ja) 1986-02-07 1987-08-12 Seiko Instr & Electronics Ltd 水晶式気体圧力計
US4860232A (en) 1987-04-22 1989-08-22 Massachusetts Institute Of Technology Digital technique for precise measurement of variable capacitance
FR2614986B1 (fr) 1987-05-07 1989-08-18 Otic Fischer & Porter Structure de cellule capacitive pour la mesure des pressions differentielles
US4785669A (en) 1987-05-18 1988-11-22 Mks Instruments, Inc. Absolute capacitance manometers
US4864874A (en) 1987-08-05 1989-09-12 Pfister Gmbh Force measuring device
US4875369A (en) 1987-09-08 1989-10-24 Panex Corporation Pressure sensor system
JPH01141328A (ja) 1987-11-27 1989-06-02 Hitachi Ltd 差圧伝送器
US4878385A (en) 1988-02-02 1989-11-07 Fisher Controls International, Inc. Differential pressure sensing apparatus
JPH01284726A (ja) * 1988-05-11 1989-11-16 Toyota Autom Loom Works Ltd 半導体圧力センサ
US4878012A (en) 1988-06-10 1989-10-31 Rosemount Inc. Charge balanced feedback transmitter
US4977480A (en) 1988-09-14 1990-12-11 Fuji Koki Mfg. Co., Ltd. Variable-capacitance type sensor and variable-capacitance type sensor system using the same
US4926674A (en) 1988-11-03 1990-05-22 Innovex Inc. Self-zeroing pressure signal generator
US4951174A (en) 1988-12-30 1990-08-21 United Technologies Corporation Capacitive pressure sensor with third encircling plate
CH687277A5 (de) 1989-01-23 1996-10-31 Balzers Hochvakuum Stimmgabelquarz-Manometer.
US5144841A (en) 1990-02-23 1992-09-08 Texas Instruments Incorporated Device for measuring pressures and forces
US5194819A (en) 1990-08-10 1993-03-16 Setra Systems, Inc. Linearized capacitance sensor system
US5094109A (en) 1990-12-06 1992-03-10 Rosemount Inc. Pressure transmitter with stress isolation depression
ATE147854T1 (de) 1991-01-31 1997-02-15 Pfister Messtechnik Übertragungselement für kraft- oder momentmessvorrichtungen
US5136885A (en) 1991-04-05 1992-08-11 Tif Instruments, Inc. Quartz crystal pressure sensor
US5168419A (en) 1991-07-16 1992-12-01 Panex Corporation Capacitor and pressure transducer
DE4124662A1 (de) 1991-07-25 1993-01-28 Fibronix Sensoren Gmbh Relativdrucksensor
US5230250A (en) 1991-09-03 1993-07-27 Delatorre Leroy C Capacitor and pressure transducer
JP3182807B2 (ja) 1991-09-20 2001-07-03 株式会社日立製作所 多機能流体計測伝送装置及びそれを用いた流体量計測制御システム
US5287746A (en) * 1992-04-14 1994-02-22 Rosemount Inc. Modular transmitter with flame arresting header
JPH05296867A (ja) 1992-04-23 1993-11-12 Hitachi Ltd 差圧伝送器
US5233875A (en) 1992-05-04 1993-08-10 Kavlico Corporation Stable capacitive pressure transducer system
US5329818A (en) 1992-05-28 1994-07-19 Rosemount Inc. Correction of a pressure indication in a pressure transducer due to variations of an environmental condition
US5492016A (en) 1992-06-15 1996-02-20 Industrial Sensors, Inc. Capacitive melt pressure measurement with center-mounted electrode post
US5446279A (en) 1993-08-27 1995-08-29 Hughes Aircraft Company Fiber optic sensor sensing curvature of a diaphragm
US5471882A (en) 1993-08-31 1995-12-05 Quartzdyne, Inc. Quartz thickness-shear mode resonator temperature-compensated pressure transducer with matching thermal time constants of pressure and temperature sensors
SG44494A1 (en) 1993-09-07 1997-12-19 R0Semount Inc Multivariable transmitter
JP3415846B2 (ja) 1993-09-24 2003-06-09 ローズマウント インコーポレイテッド 圧力伝達装置の隔離ダイアフラム
DE4333753A1 (de) 1993-10-04 1994-05-11 Bosch Gmbh Robert Kapazitiver Differenzdrucksensor
US5542300A (en) 1994-01-24 1996-08-06 Setra Systems, Inc. Low cost, center-mounted capacitive pressure sensor
US5642301A (en) 1994-01-25 1997-06-24 Rosemount Inc. Transmitter with improved compensation
US5415048A (en) 1994-06-27 1995-05-16 Texaco Inc. Acoustic gas-liquid flow meter
US5583294A (en) * 1994-08-22 1996-12-10 The Foxboro Company Differential pressure transmitter having an integral flame arresting body and overrange diaphragm
AU4110596A (en) 1994-11-30 1996-06-19 Rosemount Inc. Pressure transmitter with fill fluid loss detection
US5637802A (en) * 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
US6484585B1 (en) 1995-02-28 2002-11-26 Rosemount Inc. Pressure sensor for a pressure transmitter
US5705978A (en) 1995-09-29 1998-01-06 Rosemount Inc. Process control transmitter
DE19648048C2 (de) 1995-11-21 2001-11-29 Fuji Electric Co Ltd Detektorvorrichtung zur Druckmessung basierend auf gemessenen Kapazitätswerten
US5757608A (en) 1996-01-25 1998-05-26 Alliedsignal Inc. Compensated pressure transducer
US6654697B1 (en) 1996-03-28 2003-11-25 Rosemount Inc. Flow measurement with diagnostics
US5668322A (en) 1996-06-13 1997-09-16 Rosemount Inc. Apparatus for coupling a transmitter to process fluid having a sensor extension selectively positionable at a plurality of angles
US5680109A (en) 1996-06-21 1997-10-21 The Foxboro Company Impulse line blockage detector systems and methods
DE19633630A1 (de) 1996-08-21 1998-02-26 Endress Hauser Gmbh Co Auswerteeinheit eines Differenzdrucksensors
US20040015069A1 (en) 1996-12-27 2004-01-22 Brown David Lloyd System for locating inflamed plaque in a vessel
US6250164B1 (en) 1997-02-12 2001-06-26 Medtronic, Inc. Measurement of fluid pressure within a tube
US5911162A (en) 1997-06-20 1999-06-08 Mks Instruments, Inc. Capacitive pressure transducer with improved electrode support
US6047244A (en) 1997-12-05 2000-04-04 Rosemount Inc. Multiple range transition method and apparatus for process control sensors
US6003219A (en) 1998-04-24 1999-12-21 Rosemount Inc. Method of making a pressure transmitter having pressure sensor having cohered surfaces
US6236096B1 (en) 1998-10-06 2001-05-22 National Science Council Of Republic Of China Structure of a three-electrode capacitive pressure sensor
JP3567089B2 (ja) 1998-10-12 2004-09-15 株式会社日立製作所 静電容量式圧力センサ
DE19853789C1 (de) 1998-11-21 2000-02-03 Mtu Muenchen Gmbh Differenzdruckgeber
US6301973B1 (en) 1999-04-30 2001-10-16 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Non-intrusive pressure/multipurpose sensor and method
US6171253B1 (en) 1999-05-04 2001-01-09 Apex Medical, Inc. Flat tube pressure sensor
US6295875B1 (en) 1999-05-14 2001-10-02 Rosemount Inc. Process pressure measurement devices with improved error compensation
US6508131B2 (en) 1999-05-14 2003-01-21 Rosemount Inc. Process sensor module having a single ungrounded input/output conductor
US6892582B1 (en) 1999-08-20 2005-05-17 Hitachi, Ltd. Semiconductor pressure sensor and pressure sensing device
US6701274B1 (en) 1999-08-27 2004-03-02 Rosemount Inc. Prediction of error magnitude in a pressure transmitter
US6520020B1 (en) 2000-01-06 2003-02-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor
US6543291B1 (en) 2000-01-06 2003-04-08 Kulite Semiconductor Products, Inc. Wet-to-wet pressure sensing assembly
US6662662B1 (en) 2000-05-04 2003-12-16 Rosemount, Inc. Pressure transmitter with improved isolator system
JP2002039903A (ja) * 2000-07-27 2002-02-06 Yokogawa Electric Corp 圧力発生器の制御方法及び圧力発生器並びに圧力発生器の圧力校正方法及び圧力校正手段を備えた圧力発生器
EP1328784B1 (en) * 2000-10-24 2006-08-23 Rosemount Inc. In-line pressure transmitter
AU2002225765A1 (en) 2000-11-28 2002-06-11 Rosemount, Inc. Arrangement for measuring physical parameters with an optical sensor
US7330271B2 (en) 2000-11-28 2008-02-12 Rosemount, Inc. Electromagnetic resonant sensor with dielectric body and variable gap cavity
US6497152B2 (en) 2001-02-23 2002-12-24 Paroscientific, Inc. Method for eliminating output discontinuities in digital pressure transducers and digital pressure transducer employing same
US6516672B2 (en) 2001-05-21 2003-02-11 Rosemount Inc. Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter
US6828801B1 (en) 2001-10-26 2004-12-07 Welch Allyn, Inc. Capacitive sensor
US6675655B2 (en) * 2002-03-21 2004-01-13 Rosemount Inc. Pressure transmitter with process coupling
US6647794B1 (en) 2002-05-06 2003-11-18 Rosemount Inc. Absolute pressure sensor
WO2004044531A2 (en) 2002-11-12 2004-05-27 Cidra Corporation An apparatus having an array of clamp on piezoelectric film sensors for measuring parameters of a process flow within a pipe
US20040093951A1 (en) 2002-11-20 2004-05-20 Viola Jeffrey L. Magnetoelastic pressure sensor
ITMI20030514A1 (it) 2003-03-18 2004-09-19 Uni Degli Studi Brescia Metodo e dispositivo per determinare la frequenza di
EP1631797A2 (en) 2003-06-05 2006-03-08 CiDra Corporation Apparatus for measuring velocity and flow rate of a fluid having a non-negligible axial mach number using an array of sensors
US7290450B2 (en) 2003-07-18 2007-11-06 Rosemount Inc. Process diagnostics
US7215529B2 (en) 2003-08-19 2007-05-08 Schlegel Corporation Capacitive sensor having flexible polymeric conductors
US6959607B2 (en) 2003-11-10 2005-11-01 Honeywell International Inc. Differential pressure sensor impulse line monitor
US7523667B2 (en) 2003-12-23 2009-04-28 Rosemount Inc. Diagnostics of impulse piping in an industrial process
US6945115B1 (en) 2004-03-04 2005-09-20 General Mems Corporation Micromachined capacitive RF pressure sensor
JP4187251B2 (ja) 2004-03-30 2008-11-26 日信工業株式会社 車両用ブレーキ液圧制御装置及び常閉型の電磁弁
DE102004047959A1 (de) 2004-10-01 2006-04-06 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des Drucks in Rohren
US7379629B1 (en) 2004-12-12 2008-05-27 Burns David W Optically coupled resonant pressure sensor
JP5312806B2 (ja) * 2005-02-28 2013-10-09 ローズマウント インコーポレイテッド プロセスデバイス診断装置および診断方法
US7577543B2 (en) 2005-03-11 2009-08-18 Honeywell International Inc. Plugged impulse line detection
US7401522B2 (en) 2005-05-26 2008-07-22 Rosemount Inc. Pressure sensor using compressible sensor body
US7334484B2 (en) 2005-05-27 2008-02-26 Rosemount Inc. Line pressure measurement using differential pressure sensor
US7412893B2 (en) 2006-03-23 2008-08-19 Rosemount Inc. Redundant mechanical and electronic remote seal system
US7275444B1 (en) 2006-07-13 2007-10-02 Kulite Semiconductor Products, Inc. Pressure transducer apparatus adapted to measure engine pressure parameters
US7461562B2 (en) * 2006-08-29 2008-12-09 Rosemount Inc. Process device with density measurement
US7624642B2 (en) 2007-09-20 2009-12-01 Rosemount Inc. Differential pressure sensor isolation in a process fluid pressure transmitter

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85108622A (zh) * 1984-10-12 1987-01-28 罗斯蒙德公司 用于脆性材料制成的电容传感器的电路
CN1511252A (zh) * 2001-05-25 2004-07-07 ÷ 具有长期稳定性的高灵敏度压力传感器
CN101490521A (zh) * 2006-07-10 2009-07-22 罗斯蒙德公司 具有多个参考压力传感器的压力传送器
CN201110792Y (zh) * 2007-12-06 2008-09-03 童纪国 一种小直径压力表

Also Published As

Publication number Publication date
EP2593766B1 (en) 2018-11-14
CN102331324A (zh) 2012-01-25
CA2804458C (en) 2015-11-03
BR112013000382A2 (pt) 2016-06-07
RU2531849C1 (ru) 2014-10-27
RU2013105702A (ru) 2014-09-27
JP2013531255A (ja) 2013-08-01
MX2013000351A (es) 2013-03-22
JP5923500B2 (ja) 2016-05-24
EP2593766A1 (en) 2013-05-22
CN202188933U (zh) 2012-04-11
US20120006119A1 (en) 2012-01-12
CA2804458A1 (en) 2012-01-19
WO2012009062A1 (en) 2012-01-19
US8132464B2 (en) 2012-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102331324B (zh) 具有附加的双绝对压力传感器的差压变送器
AU2013277694B2 (en) Differential pressure transmitter with pressure sensor
JP5409965B2 (ja) ライン圧力測定を伴う差圧センサ
RU2407997C2 (ru) Обнаружение повреждения датчика давления
JP5735427B2 (ja) プロセス伝送器及び熱型診断法
CA2752789C (en) Redundant mechanical and electronic remote seal system
JP2008542726A (ja) 差圧センサを用いるライン圧測定
US7415886B2 (en) Pressure sensor with deflectable diaphragm
JP5743378B2 (ja) 音響圧力センサを備える圧力トランスミッタ

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
CB02 Change of applicant information

Address after: Minnesota, USA

Applicant after: Rosemount Inc.

Address before: Minnesota, USA

Applicant before: Rosemount Inc.

COR Change of bibliographic data
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant