CN1057796A

CN1057796A - 清洗/干燥的方法及其装置

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Publication number: CN1057796A
Application number: CN91103337A
Authority: CN
Inventors: 吉田一郎; 饭田浩; 川岛修三; 黑岩福治; 伊藤勇; 浅野目悟; 藤森利治
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1990-05-01
Filing date: 1991-04-30
Publication date: 1992-01-15
Anticipated expiration: 2006-04-30
Also published as: DE69132829T2; EP0455465B1; SG55009A1; US5203927A; CA2040989A1; KR970003672B1; EP0455465A3; DE69132829D1; US5840126A; CN1031980C; EP0455465A2; KR910020252A; US5361789A

Abstract

一种清洗/干燥方法，包括：把欲清洗的物料浸入防水表面活化剂的含水溶剂中，使被清洗物料表面上至少附着一层防水表面活化剂的分子层，随后按众所周知的干燥方法例如真空干燥、甩干、吹气和加热方法干燥该物料；或者在大气压降到使水的沸点低于 100℃以下，用低于100℃温度的蒸汽对被清洗的物料进行加热；接着按众所周知的方法干燥物料，例如真空干燥，甩干，吹气和加热等。

Description

清洗/干燥的方法及其装置

本发明涉及一种清洗/干燥的方法和清洗/干燥用的装置，这种方法及其装置适于彻底的清洗和/或干燥欲清洗的物料。这类物料例如精密的电子零件和精密的电子器件。它们在有关的制备工序中必须彻底清洗，而且从生产效率或耐腐蚀的观点来看，清洗后的清洗液必须在短时间内通过干燥的方法予以去除。

在现有技术中，精密零件和电子器件在制备工序中，因不允许附着有污物或灰尘而进行的彻底清洗一直主要用碳氟化合物进行的。

除碳氢化合物以外，作为这样彻底清洗的洗净剂的，众所周知的有氯类溶剂，例如三氯乙烯。但是，在金属制品的情况下，在清洗工序释放出的氯气可能被附在制品上并引起生锈。而在树脂或橡胶制品的情况下，可能发生因溶胀而引起的变形或尺寸的改变。因此，就出现对制品有不利影响的技术问题，相反，在使用碳氟化合物的情况下，不会出现这样的问题。而且在很短时间内就干燥了。因此，在现有技术中一直使用氟利昂113清洗。(碳氟化合物由Mitsui Dupont Fcuorochemical有限公司生产)。

碳氟化合物对人和动物是无害的，但它破坏臭氧层，这已成为最近几年全球性的问题。为了全球的环境保护，现在的倾势是完全废除使用碳氟化合物。从这样一个观点出发，作为使用碳氟化合物进行清洗的方法的一种取代方案，一种将来无需控制的清洗水目前正在开发之中。

彻底清洗的关键之处，除了有彻底洁净的能力之外，还在于清洗之后，能够快速而且彻底地进行干燥，以及在采用上述氯类洗净剂的情况下对所清洗物品不应有不利的影响。

用水清洗时，必需防止金属制成的精密电子零件生锈。由于水的沸点为100℃，与沸点为47℃的氟利昂相比，蒸发是困难的。因此，具有复杂形状或带肓螺孔的零件是不可能在短时间内无困难的得以干燥。

因此，本发明的目的在于消除上述现有技术的缺点和有效地进行彻底的清洗和干燥，不使用碳氟化合物清洗，并在清洗金属或非金属的欲清洗的物品之后，对这些物料没有不利的影响。

本发明的其他目的和优点从下面的说明可以看出。

根据本发明，提供了一种清洗/干燥的方法，其包括：将欲清洗的物料浸入含有防水表面活化剂的含水溶剂中，使至少有一防水表面活化剂的分子层附着在所清洗的物料表面上。用温底低于100℃，最好是80℃～95℃的蒸汽，在大气压降到使水的沸点低100℃，最好是80℃到95℃的压力下，将所清洗的物料加热，并使物料干燥。

根据本发明，进一步提供了一种清洗后的干燥方法，其包括：把已清洗的物料放在真空室中，用温底低于100℃，最好是80℃到95℃的蒸汽，在大气压降到使水的沸点低于100℃，最好是80℃到95℃的压力下，将已清洗的物料加热，随后用气体吹物料，之后使物料真空干燥。

根据本发明，进一步还提供了一种清洗后的干燥方法，其包括：将已清洗的物料放在真空室中，用温度低于100℃，最好是80℃到95℃的蒸汽，在大气压降到使水的沸点低于100℃，最好是80℃到95℃的压力下，对所清洗后的物料加热，随后用气体，例如空气吹物料，之后使物料真空干燥。

根据本发明，提供了一种清洗/干燥装置，该装置具有一个水箱，用于容纳含防水表面活化剂的含水溶剂；一个喷淋清洗器，用于在所述的水箱中将欲清洗的物料上附着的过剩表面活化剂除掉；和一个真空室，用于将所清洗的物料在喷淋清洗后进行干燥；该真空釜具有一喷射蒸汽的装置，使得所清洗的物料能用温度低于100℃，最好是80℃到95℃的蒸汽，在大气压降到使水的沸点低于100℃，最好是80℃到95℃的压力下加热；该清洗/干燥装置还具有一个吹气体的装置，以便通过吹出的气体使水风干。

根据本发明，还进一步提供了一种干燥装置，它包括一个用电磁波辐射器作为对附着在物料上的潮气进行加热的器件，对清洗过的物料进行辐射的装置，以及至少一个从下述构成组中选用的装置：(i)一个把气体吹到已清洗过的物料上将水去掉的吹气装置；(ii)一个能抽真空或降低施加于物料上的压力以便去掉附着于物料上的潮气的装置；和(iii)一个物料离心甩干装置，用于物料的离心干燥，在离心过程之后或同时用电磁波辐射装置加热。

根据本发明，进一步提供了一种泡沫消除装置，该装置包括一个接收来自清洗容器溢流的溢流器，该清洗容器装有含表面活化剂的清洗溶液，其中设有清洗装置的清洗循环系统和一个配置在溢流器液体出口部分的阀，用来控制溢流器的液位，使得溢流器出来的清洗溶剂溢流中不带有空气。

从下面参考附图的说明能够更好地理解本发明。

附图简要说明。其中，

图1是说明本发明清洗方法及清洗后干燥方法基本原理和步骤的框图。

图2是一个工序图和一个表示执行清洗和干燥的装置实例的剖面图。

图3是一个工序图和一个表示执行本发明的清洗处理而不采用防水表面活化剂的含水溶剂的装置实例的剖面图。

图4是一个表示全氟烷基羧化物的链结构图，是根据本发明的防水表面活化剂的一个实例和一种作为一分子层附着在欲清洗物料表面的活化剂的模式。

图5至图7是根据本发明的干燥装置另一实例的剖面图。

图8是一个说明采用含表面活化剂的清洗溶液的常规清洗系统的图。

图9是一个说明根据本发明的泡沫消除装置实例的图。

图10至图20是说明根据本发明的泡沫消除装置其他实例的图。

图21是一个说明本发明的清洗/干燥方法最佳工序和装置的图。

图1是说明本清洗方法和清洗后干燥方法的基本原理及步骤的图。

根据本发明一个目的第一个实施例，在零件或电子零件制备处理过程中进行清洗/干燥时，所清洗的物料浸入含防水表面活化剂的含水溶剂中，使得所清洗的物料表面上附着或粘着至少一层防水表面活化剂的分子层，然后，按照众所周知的干燥方法例如真空干燥、甩干(即离心法)、吹气(如空气)、加热和其他的干燥法进行干燥。

由于防水表面活化剂的含水溶剂也具有清洗的作用，所以也可以通过将所清洗的物料浸入防水表面活化剂的含水溶剂中进行清洗。或者，在另一步骤中将清洗的物料浸入防水表面活化剂，使其附上一层防水表面活化剂的分子层就足够了。

因此，用防水表面活化剂的含水溶剂进行清洗之后，或通过另一步骤将清洗的物料浸入防水表面活化剂，在按照众所周知的干燥方法例如真空干燥、甩干、吹气、加热和其他的干燥方法进行干燥之前，所清洗的物料表面至少附着一层防水表面活化剂的分子层。

根据本发明的第二个实施例，如上所述，在把所清洗的物料浸入防水表面活化剂的含水溶剂中，使得所清洗物料表面至少附着一层防水表面活化剂的分子层之后，用温度低于100℃，最好是80℃到95℃的蒸汽，在大气压降到一个使水的沸点低于100℃，最好是80℃到95℃的压力之下，对所清洗的物料加热。随后，用众所周知的干燥方法例如真空干燥、甩干、吹气、加热和其他的干燥方法使物料干燥。

根据本发明的第三个实施例，如上所述，把所清洗的物料浸入防水表面活化剂的含水溶剂中，使所清洗物料的表面至少附着一层防水表面活化剂的分子层。然后，用温度低于100℃最好是80℃到95℃的蒸汽，在大气压降到一个使水的沸点低于100℃，最好是80℃到95℃的压力下，对所清洗的物料加热，并用空气吹该物料。之后，用真空干燥、甩干、吹气、加热等方法使物料干燥。

根据本发明的第四个实施例，它取决于所清洗的物料或形成污物的杂质，无需将物料浸入防水表面活化剂的含水溶剂之中。因此，按常规方式清洗之后，不经过附着防水表面活化剂的分子层，所清洗的物料可以放入真空釜中，然后用温度低于100℃，最好是80℃到95℃的蒸汽，在大气压降低一个使水的沸点低于100℃，最好是80℃到95℃的压力下加热。随后，用气体例如空气向该物料吹气之后，用真空干燥的方法使物料干燥。这样一来，就可以实现理想的清洗/干燥。这种方法能用于含水溶剂而不是用防水表面活化剂的含水溶液的情况。

根据本发明的第五个实施例，如图2所示，一种利用防水表面活化剂的含水溶制进行清洗/干燥的清洗/干燥的装置，有一个盛防水表面活化剂的含水溶剂的水箱6，一个能除去该水箱6中的欲清洗的物料W上的过剩的表面活化剂的喷淋清洗装置，和一个能使欲清洗的物料在喷淋清洗之后进行干燥的真空室12。

该真空室12的喷射蒸汽的装置，能使用温度低于100℃，最好是99℃或更低的蒸汽，在大气压降到一个使水的沸点低于100℃，最好是99℃或更低，更好是80℃到95℃的压力下，加热所清洗的物料W。该真空室还有吹气体的装置，它能通过吹气例如空气，随后把水吹干。该喷射蒸汽的装置和吹气(例如吹空气)的装置可以共用一个吹气装置(喷嘴)。

如上所提到的防水表面活化剂，这种表面活化剂如碳氢化合物类的表面活化剂，其烷基链长度在碳氢化合物类中具有12到18的疏水组，氟类表面活化剂的烷基长度在氟类和防水硅树脂类表面活化剂中具有6到12的疏水组。

把所清洗的物料浸入防水表面活化剂的含水溶剂中的条件并无特殊的限制，只要物料表面能附上至少一层防水表面活化剂的分子层，使所清洗的物料表面上形成一层防水表面活化剂的分子层，任何条件都可以采用。尽管最佳的条件可能随所采用的表面活化剂的种类而有所变化，但是，在含水清洗溶剂中的表面活化剂的最佳浓度为300ppm或更多，特别是450到500ppm。最佳温度为30℃至低于100℃，特别是40℃到60℃。最佳浸入时间为10秒或更长一点，特别是30秒到2分钟。

根据本发明的另一目的，提供了一种对物料或物品进行彻底清洗之后进行干燥的干燥装置。这种物料例如非金属(如塑料)的精密零件，电子器件、用于容纳零件的非金属(如塑料)壳，通过去掉水或通过向欲干燥的物料辐射电磁波进行加热，去掉附着在物料上的潮气。并且在潮气加热过程中或之后，进行吹气、真空干燥或离心式干燥。

正如上面所提到的那样，根据本发明，加到含水的清洗溶剂之中的防水表面活化剂和其他表面活化剂增强了净化能力，但是，这会给上述提到的循环和过滤处理过程带来产生泡沫的问题。此问题包括如何使清洗溶剂通过精细的过滤器以及如何保持清洗溶剂的理想的净洁度的因素。图8表示出了这种可采用的清洗系统，即一种能循环在水中加入表面活化剂的清洗溶剂的系统。

在这种系统中，清洗溶剂26用泵从热交换容器27送到过滤器28并且严格过滤，然后输送到清洗容器29。在用泵输送清洗溶剂的同时，清洗容器29中的溶剂，通过上面部分溢出流到设置在容器29边上的溢流器30内，而附着于所清洗的物料上的污物例如油则被去掉，因为污物是浮在清洗容器29内的清洗容剂的表面上，这是由于污物的比重低于清洗溶剂的比重。清洗溶剂26的溢流防止了污物从该器中去掉时再次附着到已清洗过的物料上。清洗溶剂26溢流入溢流器30之中，并且通过排泄管31返回到热交换器27之中，这样，该清洗溶剂26是连续循环并且被过滤，以保持其理想的洁净度。一般来说，加热清洗溶剂26是为增强清洗的能力，但在这种情况下，蒸发掉一部分水，与此相应，清洗溶剂的液面下降，表面活化剂的浓度就不可能保持在所要求的定值。因此，必需在溶剂加入因蒸发损失掉的相应量的水。这种有效的做法是通过设置在热交换容器27上的液位传感器32的作用经过自动阀35自动加水来进行的，标号36表示加热器。

当溢流器30中的溶剂进入排泄管31时，清洗溶剂26之中混进空气，其结果是在热交换器27中的溶剂表面上产生泡沫33。该泡沫33是连续产生的，而且在短时间内从热交换容器27溢出。此外，上述液位传感器32在所产生的泡沫作用下上升，因此液位传感器不能按所要求那样起作用。

然而，根据本发明的另一个目的，上面提到的泡沫的产生是能产生泡沫的清洗溶剂在经受上面提到的循环时所观察到的，它能够有效消除或防止。

通常，通过排泄管31排放的清洗溶剂26的量大于通过图8所示循环泵输送到清洗容器中的量。因此清洗溶剂26中才混入空气，并产生泡沫。相反，若通过排泄管31排放的清洗溶剂26的量小于通过循环泵用泵输送进清洗容器中的量，则溢流器30内的水位上升，并且在短时间内清洗溶剂26从溢流器30溢出。

根据本发明的泡沫消除装置，能够有效防止泡沫，因为溢流器30中加入的清洗溶到26达到一定液位时，空气是不能混入溶剂26之中的。而通过排泄管31排放的清洗溶剂26的流速是自动控制的，其量相等于通过循环泵输送到清洗容器29中的量。

在根据本发明第一目的的第一个实施例中，在利用众所周知的干燥方法例如真空干燥、甩干、吹气(如空气)和加热法干燥之前，通过把欲清洗的物料浸入防水表面活化剂的含水溶剂的方法，在欲清洗的物料表面至少附着一层防水表面活化剂的分子层，这也具有清洗所要清洗物料的功能。若制品已在其他工序中清洗过，所清洗过的物料的表面至少附着一层防水表面活化剂的分子层是作为清洗工步的一种子处理。

具有防水表面活化剂的含水溶剂本身并非是一种极好的清洗溶剂，但是，在使用时，例如和一种声波清洗相结合，就会显示出很强的清洗能力。能否利用具有防水表面活化剂的含水溶剂作为清洗剂进行充分的清洗，取决于所清洗的物料或污物的腐蚀性的物质。

这样，具有防水表面活化剂的含水溶剂作为清洗溶剂时，在用防水表面活化剂的含水溶剂清洗之后，从水箱中拉起所清洗的物料时，该表面活化剂以至少排成一分子层的状态被附着。其结果，使所清洗的物料表面具有良好的防水性能，它可使水成珠状。之后，通过众所周知的干燥方法，例如真空干燥、甩干、吹气(如吹空气)和加热方法进行干燥。它能容易而且快速干燥。

也就是说，在用防水表面活化剂的含水溶剂清洗物料时，由于清洗剂本身就具有防水性能，它就具有良好的干燥性能。随后通过常规的干燥方法，例如甩干、吹气(如吹空气)和加热法容易而快速进行干燥。

相反，当物料用含水溶剂而不是防水表面活化剂的含水溶剂清洗时，随后的干燥就变得困难。尽管如此，即使用无防水剂的含水溶剂清洗之后，最好也把所清洗的物料浸入防水的表面活化剂的含水溶剂中作为清洗后干燥之前的予处理，浸过之后，在被清洗的物料放干时，至少有一层防水表面活化剂分子层附着在被清洗物料的表面，从而使被清洗物料表面防水。之后，就能通过常规的干燥方法，如真空干燥，甩干，吹气(如吹空气)和加热法进行快速干燥。

按本发明第一个目的的第二实施例中，如上所述，当浸入到防水表面活化剂的含水溶剂中时，所述的表面活化剂至少有一层分子层附着在被清洗的物料表面，因而被清洗物料表面上的水成珠状，并能在干燥时容易去掉。对干燥特别困难的物料而言，例如具有复杂形状的零件，即使表面防水，仅采用众所周知的干燥方法例如真空干燥、甩干、吹气(如吹空气)，和加热进行干燥，也是不充分的。

被清洗的物料吹过蒸汽之后，经过加热，水的粘度降低并迅速蒸发，从而使干燥较为容易。然而，由于水具有100℃的高沸点，对该物料吹蒸汽，这取决于被清洗的物料，会使物料过热。这样，可能损坏该物料。另外会去掉附着在物料上的表面活化剂分子层。

因此，本发明采用了一种方法，该方法是用蒸汽进行有效的加热，但是在大气压降到一个使水温达不到100℃的压力之下使用蒸汽。在被降低的大气压下，水的沸点会降低，且低于100℃-这是在大气压作用下的沸点。所以，这取决于被清洗物料的性质，要使沸点温度不致于去掉被附着的表面活化剂分子层条件下，决定降低的蒸汽加热处理部位大气压的值。

因此，通过在相对低的温度下施行蒸汽加热，使被清洗的物料不受损坏，被附着的表面活化剂分子层不被去掉，被清洗物料表面上的水的粘度得以降低并给其一种潜在的蒸发热，从而随后能够仅仅采用常规的干燥方法例如真空干燥、甩干、吹气(如吹空气)和加热法进行干燥。

根据本发明的第一个目的第三个实施例中，如上所述，在相对低的温度下对被清洗的物料用蒸汽加热到使物体不受到损坏，并且排列着的表面活化剂分子层不会被去掉的程度。它能够通过常规的干燥方法例如真空干燥、甩干、吹气(如吹空气)、加热等相对容易地加以干燥。但干燥所需的时间长，并且对非常复杂的物料干燥困难。

如果在如上所述的那样的低温下用蒸汽加热之后，进行吹空气，则可吹掉所清洗物料表面上成珠状的水。如果此时采用热空气，那么所清洗的物料(事先已被蒸汽加热过)就不能被冷却，因此提供了蒸发水的潜热，干燥还会通过蒸发继续进行。

即使用空气吹后，水仍保留在吹气所不能达到的位置上，例如凹沟等。但是由于按照本发明随后进行真空干燥，凹沟内的水会通过抽吸得以去掉，进而使所清洗的具有复杂形状和干燥困难的物料能够快速干燥。

在按本发明第一个目的的第四个实施例中，如前所述，浸入具有防水表面活化剂的含水溶剂并拉出之后，最好是在降低的压力之下进行蒸汽加热，然后吹气例如空气或真空干燥。尽管如此，取决于被清洗物料的种类，不浸入具有防水表面活化剂的含水溶剖中，仅用低于100℃最好是99℃或更低，更好是80℃至95℃的低温蒸汽加热和吹气例如空气，然后真空干燥相结合的方法是有可能进行充分干燥的。

具体地说，用含水溶剂而不用具有防水表面活化剂的含水溶剂清洗之后，被清洗的物料置放在降低了压力的真空釜内并以99℃或更低的低温蒸汽加热时，水的粘度降低并且通过加热更易于蒸发。因此，当随后进行吹空气时，水就容易被吹掉。由于这种相续折真空干燥，凹沟内的水是容易通过抽吸而去掉的。

一系列的这些处理能在一单个的真空室中进行而且易于操作。换句话说，这种容纳有被清洗过的物料的真空釜可以使压力降低并用蒸汽加热，供给的蒸汽是非连续的并且喷嘴可能接到空气源上，使空气吹入。随后停止吹气，进行真空干燥完成一系列干燥处理。

在按本发明第一个目的的第五个实施例中，作为防水表面活化剂，碳氢化合物类、硅树脂类和氟类是众所周知的，但碳氢化合物类和氟类是最适于这种清洗和干燥。在碳氢化合物类的情况，具有疏水组的表面活化剂具有长度为12到18的烷基链是最好的，而具有疏水组的氟类表面活化剂具有长度为6到12的烷基链是最好的。

根据本发明的清洗/干燥装置，即利用具有防水表面活化剂的含水溶剂进行清洗和干燥的装置，它具有靠近装纳具有防水表面活化剂的含水溶剂的清洗容器设置的清洗装置，在被清洗物料上的过剩的表面活化剂是通过喷淋清洗去掸的。这样，防水表面活化剂最少的必需量总是附着在被清洗物料的表面，从而能够稳定地保持防水效果。

本装置还配置有一个能使被清洗物料在喷淋清洗后进行干燥的真空室，该真空室有一个喷射蒸汽的装置，它能使被清洗的物料用低于100℃，最好为99℃或更低，更好是80℃到95℃的蒸汽加热。这加热是在被降低的大气压下进行的，使沸点温度低于100℃，最好是99℃或更低，更好的是80℃到95℃。所述的真空室另有一个吹气装置，从而能使水通过吹气(如空气)去掉。

为了实现这一点，通过一个单独真空室连续地进行三种处理以获得较好的操作性能并使装置简化。所述这三种处理是：低温蒸汽加热、吹气和真空干燥。

根据本发明第二个目的的第一个实施例，附着在非金属精密零件、电子器件和容纳零件的壳体上的潮气是用2450MHz的电磁波对这些物料进行辐射加热，并不对物料本身加热。电磁波的辐射功率愈高，辐射时间愈长，对附着在这些物料表面潮气的加热速率就越高。加热潮气的温度最高为100℃。另外，被清洗的物料本身的热传导系数例如塑料是很小的。因此，若电磁波对物料辐射的同时，对物料吹气如吹空气，那末水滴总是在被清洗物料表面上运动，而物料本身的温度不会上升。这样，用电磁波辐射不会对物料产生任何不利的影响，如热变形。当处理易于热变形的物料时，上述不利的效果如热变形可以通过降低电磁波的辐射功率来有效的清除。对物料间断地辐射电磁波，利用红外线辐射功率或是控制辐射功率或是控制辐射时间的长短。

正如上面已说明的，如果在通过电磁波辐射对附着在物料上的潮气加热的同时，对被清洗过的物料进行吹空气，物料能够被有效干燥，而没有不利效果如物料热变形。

另外，物料通过电磁波辐射加热之后，对其进行吹气例如吹空气也是可能的，而这对物料没有不利效果，这取决于被清洗物料的种类。例如，在被清洗的物料的热阻很高或者该物料具有能防止水滞留形状的情况下确实有上述效果。因此在高温条件下不会由于水滞留其上而被损坏。

根据本发明第二个目的的第二个实施例，对附着在非金属精密零件、电子器件和容纳零件用的壳体上潮气的加热，是用2450MHz的电磁波对这些物料进行辐射，而不是对物料本身加热。电磁波辐射功率越高，辐射时间越长，则对附着在这些物料表面上潮气的加热速率就越高。加热潮气的温度在大气压下最高为100℃，但是，如果物料是在真空室内降低了的压力之下，用电磁波辐射来加热的话，那末水的沸点能够通过控制真空度人为地降低。这样一来，如果物料是在降低了的压力，其不大于与真空度相应的确保材料在电磁波辐射的整个过程中温度不超过其耐热温度的予先规定的压力，用电磁波辐射加热，该物料本身的温度就不会上升。因此电磁波辐射对物料不具有不利影响如热变形。

正如上面已说明的那样，如果被清洗过的物料是在真空室内在降低了的压力下通过电磁波的辐射来加热去掉附着在物料上的潮气的话，则该物料是能够在没有不利效果例如热变形的条件下有效干燥的。

另外，物料通过电磁波辐射加热之后，在降低了的压力下进行处理也是可能的，对物料无不利效果，这取决于被清洗物料的种类。例如，对于热阻很高的被清洗物料或者该物料是具有能防止水滞留形状就确有上述效果。因此在高温条件下不会因水滞留在其上而被损坏。

根据本发明第二个目的的第三个实施例，对附着在非金属精密零件、电子零件或容纳零件用壳体上的潮气，是用2450MHz的电磁波对这些物料进行辐射加热，而不是对物料本身加热。电磁波辐射功率越高，辐射时间越长，则对附着在这些物料表面的潮气的加热速率就越高。加热潮气的温度最高为100℃。另外，被清洗物料本身的热传导系数是很小的如塑料，所以，如果物料经受离心作用的同时用电磁波对物料进行辐射，则水滴总是在该被清洗物料表面运动且物料本身温度不会上升。因此，用电磁波对物料辐射是不会有不利效果的如热变形。当处理易热变形的物料时，所述的如热变形那样的不利效果能够通过下述方法有效地消除：降低电磁波的辐射功率；对物料间断地辐射电磁波；或利用红外辐射温度计探测被清洗过的物料温度，同时控制辐射功率或辐射时间的长短。

如上所述，如果物料在经受离心作用的同时，通过电磁波对被清洗过的物料辐射加热来去掉附着在物料上的潮气，则物料是能够在没有不利效果，例如热变形的条件下有效干燥的。

另外，物料通过电磁波辐射加热之后，再利用离心作用进行处理也是可行的，而对物料无不利效果，这取决于被清洗物料的种类。例如，对热阻很高的被清洗物料或者具能防止水滞留形状的物料确有上述效果。因此，在高温条件下不会因水滞留其上而被损坏。

实施例

本清洗/干燥方法和清洗/干燥装置的实例将参照但并非局限的例子予以说明。图2和图3是实施本发明清洗/干燥方法的装置实例。图2表示出了方法的各个步骤和其装置的纵向剖视图。该装置装有一个清洗装置或装有防水表面活化剂的含水溶剂的容器1，一个第一喷淋装置2，一个第二喷淋清洗装置3，一个离心干燥装置4和一个真空干燥装置，它们按工序布置。

在图2中，清洗装置1的水容器6中装有防水表面活化剂的含水溶剂7，容器6中配有一个声波发生装置8。该清洗装置1适于回收通过清洗污染过的液流，该液流在水的加热容器中加热并且用过滤器10净化，以重新使用。

第一喷淋清洗装置2和第二喷淋清洗装置3用洁净的水对所清洗的物料喷射，以洗掉先前的清洗液。

离心干燥装置4通过马达M驱动装有被清洗物料W的吊筐，利用离心力将水甩掉。

真空干燥装置5是将清洗的物料W气密封装在真空室12内，用真空泵Vp使压力降低，利用抽真空将水去掉。

标号13是一台传送机，它在所清洗的物料置放在加有防水表面活化剂含水溶剂7的水层6之中时进行清洗和干燥。启动声波发生装置8将所清洗的物料表面上的污物和灰尘去掉。清洗完成后，传送机13将被清洗过的物料W吊起并传送到第一喷淋清洗装置2，清洗后在物料上将附着防水表面活化剂，至少在被清洗的物料表面上有一层排列的防水表面活化剂分子层。

实际上，极少只附着一层分子层的，通常都出现多个分子层。因此，在第一喷淋清洗装置2中，具有防水表面活化剂的水溶液得用洁净水洗掉。如果过剩的防水表面活化剂能够只用第一喷淋清洗装置喷射的洁净水去掉，那末这个洁净水喷淋清洗足以作为独立的第一工序，但是如果不成，则要把物料W传送到第二喷淋清洗装置3，用洁净水再进行清洗。因此，使被清洗物料W表面上至少附着一层具有防水的表面活化剂的分子层。

在去掉了过剩的防水表面活化剂之后，按常规方式进行干燥处理，即在离心干燥装置4中，被清洗过的物料W放在吊筐11中，由马达M转动吊筐，水通过离心作用而被去掉。一种可替代的方案是，物料W被气密密封在真空室内，通过真空泵Vp减压，利用真空把水抽出。

虽然如上所述过剩的表面活化剂能够仅用喷淋清洗就可以去掉。物料表面仍有至少一层防水表面活化剂的分子层，从而能够保持防水，使附着的水成珠状。其结果，水会因其自重而掉下，所以，与采用不具有防水性能的表面活化剂的情况相比，或与不采用表面活化剂的情况相比，附着的水量减少大约1/3左右。因此，在下一干燥处理的负荷就会被减轻。

另外，附着有防水表面活化剂膜的表面防水，如上所述，使水形成水珠，而这些水珠是能够容易地利用常规干燥方法例如离心力或真空抽出的方法去掉。

对于在洁净水喷淋清洗之后的干燥而言，除了离心分离或真空干燥处理之外，还可以采用例如吹气(例如空气)或加热方法。

真空干燥装置5的真空室12有一个喷射蒸汽的装置，从而被清洗过的物料能用温度低于100℃的蒸汽，在大气压降到使水的沸点低于100℃的压力下加热。该真空干燥装置还有一个吹气装置，从而能通过吹气例如吹空气方法去掉水。因此，如上所述，被清洗过的物料在降低了的压力下通过喷射低于100℃，最好是80℃到95℃的蒸汽进行加热。这种蒸汽加热降低了水的表面张力，进而加热了被清洗物料，使水易于蒸发。在同一真空室12中，随后通过吹常温气体(如空气)或热气(如空气)，把水吹掉，而后在真空条件下把水抽掉。

在沸点降低时进行蒸汽加热之后，真空室12能够吹气(如空气)。如上所提到的那样，对于不采用防水表面活化剂的溶剂水清洗后的干燥而言，也是有效的。

低温蒸汽的温度取决于压力。因此，溢度和压力的限制大约在40℃左右到大约——700mHg，这是常规真空泵所能达到的，通过提高真空泵的功率能够做到进一步降低温度。

图2所示的装置，其意图在于提高干燥效果，它是通过用防水表面活化剂的含水溶剂进行清洗以及利用清洗后被清洗物料W表面上附着了防水表面活化剂的防水功能来提高干燥效果的，但是，在物料(物品)粘有油的情况下，例如机械加工后的欲清洗物料，只有采用防水表面活化剂和声波发生器装置相结合才能获得适当的清洗。

因此，在附有油份的被清洗物料的情况中，如图3所示，带油份的物料予先在特殊清洗容器14中清洗之后，再在喷淋清洗装置15中清洗。然后，通过传送机13将该物料W传送到图2所示的装有防水表面活化剂的含水溶剂的清洗装置1中，使防水的表面活化剂附着在物料上。在这种情况下，不应启动水容器6中的声波发生装置8，但在油份被除去后，被清洗物料W应当用防水表面活化剂的含水溶剂重新清洗，此时才启动声波发生装置8。后续的处理如图2中所述的那样。

在图3中，油份清洗容器14具有含碱性除油剂的含水溶剂16例如，精细清洗剂FC35，(可从Nlppon Derkariying公司得到)，这种碱性除油剂适于在水容器中进行除油清洗，所述的容器14中还有声波发生装置8。这种浮在表面的油份是被回收装置17回收的。然后通过油收集浮子18回收液面上的油份，再后该油份在油分离装置19中进行分离和排除。

下面，叙述防水表面活化剂和清洗及干燥的条件。在本发明中，实施的是用防水表面活化剂的合水溶剂进行清洗或清洗后的干燥予处理。因此需要具有强清洗能力和防水表面活化剂。具体地说，重要的是采用要使表面张力降低的和提高润湿度及渗透性的表面活化剂。一般来说，作为表面活化剂，众所周知，有碳氢化合物类，硅树脂类和氟类，但依据本发明人的研究结果，具有下列特性的氟类表面活化剂对于实现本发明目的来说是最好的。

(1)降低表面张力的能力很高，例如，氟类：15dyn/cm，硅树脂类：22dym/cm，碳氢化合物类：30dyn/cm；

(2)良好的防水性能和防油性能；

(3))极好的热阻稳定性；

(4)毒性极微。

因此，在采用具有防水性能和低表面张力的表面活化剂时，清洗能力增强了，水附着量减少。这样，就可期望提高干燥度。还有，由于有防油性能，被清洗过的物料上洗下的油就能通过油分离装置更容易地回收，就能防止油份再附着到已清洗过的物料上。

对氟类表面活化剂，调查了降低水附着量的最佳处理条件，在本实验中，阴离子类，即全氟烷基羧化物(S-113)和全氟烷基磷酸脂(S-112)，非离子类，即全氟烷基三甲胺盐(S-141)；和阳离子类，即全氟烷基三甲胺盐(S-121)通过改变温度和处理时间进行了试验。被清洗的试验样物料是具有50mm×50mm×1mm大小的铝板(即铝A5052)。

试验的温度变化范围为30℃到70℃，间隔为10℃，浸入时间为15，30，45，60，90和120秒。表1示出有关结果。

表1温度表面面浸入时间(秒)(水润程度)℃ 活化剂 15 30 45 60 90 120

S-113 95％ 90％ 85％ 85％ 80％ 80％

S-112 100％ 100％ 100％ 100％ 100％ 95％30

S-141 100％ 100％ 100％ 100％ 95％ 90％

S-121 100％ 100％ 100％ 100％ 90％ 90％

S-113 95％ 85％ 80％ 70％ 50％ 5％

S-112 100％ 100％ 100％ 95％ 95％ 90％40

S-141 100％ 100％ 100％ 90％ 90％ 85％

S-121 100％ 100％ 100％ 100％ 90％ 90％

S-113 90％ 80％ 50％ 5％ 0％ 0％

S-112 100％ 100％ 100％ 95％ 900％ 80％50

S-141 100％ 100％ 95％ 95％ 90％ 80％

S-121 100％ 100％ 100％ 100％ 90％ 80％

S-113 80％ 70％ 5％ 0％ 0％ 0％

S-112 100％ 100％ 95％ 90％ 80％ 60％60

S-141 100％ 100％ 90％ 90％ 80％ 70％

S-121 100％ 100％ 100％ 100％ 90％ 80％

S-113 70％ 5％ 0％ 0％ 0％ 0％

S-112 80％ 75％ 65％ 50％ 20％ 0％70

S-141 80％ 80％ 60％ 50％ 30％ 10％

S-121 100％ 100％ 100％ 100％ 80％ 70％

结果发现，较高的温度和较长浸入时间使水的附着量减少。在阴离子、非离子和阳离子三类中间，阴离子类的水附着量最小，其次是非离子类。在阴离子类中，全氟烷基羧化物的附着水量特别小，而全氟烷基氧化物和全氟烷基磷酸脂基本相同。

正如结果所示，发现阴离子类的全氟烷基羧化物的防水性能最高，在阴离子类的全氟烷基羧化物的情况中，在浸入温度为50℃，浸入时间为90秒或更长时；浸入温度为60℃，浸入时间为60秒或更长时，和浸入温度为70℃，浸入时间为45秒或更长时，水的附着量均为零。

全氟烷基羧化物的链结构如图4所示，虽然，该图中的烷基碳链的长度为8，但氟类的防水表面活化剂中烷基碳长度大约为6到12，具有极好的防水性能。在这种连接中，具有大约12到18的烷基碳的碳氢化合物类也具有极好的防水性能。

下面为确定该表面活化剂防水性能，采用全氟烷基羧化物时的浓度，在温度为40℃、50℃和60℃，全氟烷基羧化物的浓度变化为30ppm，150ppm，1500ppm，和3000ppm，浸入时间固定为1分钟。结果示于表2中。

表2温度全氟烷基羧化物浓度℃ 30ppm 150ppm 300ppm 1500ppm 3000ppm40 100％ 100％ 50％ 30％ 30％50 100％ 100％ 20％ 0％ 0％60 100％ 90％ 0％ 0％ 0％

正如表2所示那样，即使在温度为40℃，浓度为3000ppm时，水的附着量大约为30％。在温度为50℃，浓度变成1500ppm或更高时，水的附着量为零，而在温度为60℃，浓度为300ppm或更高时，水的附着量均为零。因此，若浓度为300ppm或更高时，在浸入时间为1分钟，液体温度为60℃，水的附着量是能够为零的。

下面浸入时间变为30秒、1分和1分30秒的同时，在浓度为大约300ppm范围的详细检测情况，其结果表于表3之中。

表3温度浸入全氟烷基羧化物浓度(℃) 时间 240ppm 300ppm 450ppm 600ppm 900ppm

30秒 100％ 100％ 95％ 95％ 95％40 1分 100％ 50％ 40％ 40％ 40％

1分30秒 100％ 40％ 30％ 20％ 10％

30秒 100％ 90％ 90％ 85％ 50％50 1分 90％ 20％ 20％ 5％ 5％

1分30秒 80％ 10％ 0％ 0％ 0％

30秒 100％ 80％ 60％ 20％ 20％60 1分 80％ 10％ 0％ 0％ 0％

1分30秒 70％ 0％ 0％ 0％ 0％

表3所示的结果清楚地表明，在温度为50℃，浸入时间为1分30秒钟，浓度为450ppm或更高时，水的附着量为零；温度为60℃，浓度为450ppm或更高时，浸入时间为1分钟，水的附着量为零；浸入时间为1分30秒钟，浓度为300ppm时，水的附着量为零。因此，温度为60℃，浸入时间为1分钟，要获得高的防水性能，其浓度必须为450ppm或更高些。

另外，由于具有全氟烷基羧化物的洁净水的表面张力因浓度加了300ppm就能够降低到大约17dyn/cm左右。因此；从表面张力的观点来看，浓度为300ppm或更高些是理想的，但是从处理稳定性的观点来看，600ppm左右的浓度是最佳的。对洁净水，表面张力为73dyn，对氟里昂113表面能力为20dyn。

下面，在含有浓度为600ppm(这是最佳浓度)的全氟烷基羧化物的含水溶液，通过在液体温度为60℃，浸入时间为1分钟条件下，在声波清洗(即频率为28KHz、功率为200W)后确定水附着量，评估防水效果。其结果是，在含有胺的全氟烷基羧化物(浓度为600ppm)的含水溶剂中经受声波清洗过的物料与只用洁净水清洗的物料相比，其附着水量仅是它的大约1/3。另外，经受吹空气(6kg/cm²压力的空气，在50cm距离吹3秒)，与仅用洁净水清洗后经吹室气的物料相比，水附着量变成1/1000或更低。因此通过空气吹风去水，能够提高干燥的效果。

尽管如此，即使水附着量大大地减少了，还不可能实现完全的干燥，所以，研究了对被清洗物料的加热作为实现完全干燥的的方法。这是由于对被清洗物料的加热导致水粘度的下降，并且加热促进蒸发更为容易。具体地说，与氟利昂113的蒸发热相反，它为35cal/g，水的蒸发热更大。是氟里昂113的15倍，其值为539cal/g。要使水蒸发需要具有更大热函。所以，重要的是要给被清洗的物料在先提供大量的热量。

因此，热源的研究结果表明，与热水或热空气相比较，蒸汽加热是最有效的。蒸汽具有大的热藏量，并能高速加热。所以，它能够提供使水蒸发的充足的热函。

尽管如此，因为水的沸点为100℃，根据被清洗物料种类，令人担扰的是被清洗的物料可能被损坏。有意要附着在物料上的表面活化剂的排列好的分子层可能被去掉。

因此，在本发明中，尽管是用蒸汽加热的，但是吹蒸汽的方法仍是在降低了的大气压使温度不高于100℃的条件下进行的。其结果，在通过降低压力喷射蒸汽使水的沸点低于100℃，最好是99℃或更低，更好是80℃～95℃，发现水被有效地去掉，而排列好的表面活化剂的分子层却不被除去。所以，根据被清洗物料的特性，喷射蒸汽的温度最好在该范围内。

已经发现，低温蒸汽加热是必不可少的，但要进一步提高干燥效果，重叙述一下下面所述的各种实验和改进方案。

(1)真空干燥只能在低温蒸汽加热后进行。

(2)低温蒸汽干燥之后，接着用热空气送到真空釜内进行真空干燥。

(3)低温蒸汽干燥以后，打开真空釜的罩，吹入热空气，接着真空抽吸干燥。

(4)低温蒸汽加热之后，在真空釜内送进热空气(无水置换)，接着真空抽吸干燥。

在上述各法中，最好的结果是由方法(3)取得的，这种方法中热空气是在低温蒸汽加热之后在大气压之下吹送的，接着进行真空干燥。在方法(1)中，甚至在真空干燥30分钟后仍有水。

正如上面所叙述的那样，吹空气更有效，所以，尽力尝试用吹热空气的目的在于空气吹入的效果要不损坏物料，或者用低温蒸汽加热，以获得极好的满意结果。进行10秒钟的吹气，几乎所有的水都被吹掉并因加热而蒸发。当吹热空气20分钟后，进行真空干燥，物料就完全被干燥了。

在清洗简单形状的物料的情况下，不总是需要真空干燥。但是在清洗复杂形状的物料如带凹沟等的物料，要进行完全干燥只有最终通过真空抽吸才有可能。真空干燥一般是在一种环境温度条件进行的，但若需要，这种真空抽吸能与低于100℃温度的加热同时进行。

如上所述，最好的干燥方法已被确定，根据被清洗物料的种类和特性以及污物产生的基质，很明显，甚至用防水表面活化剂的含水溶剂就能清洗物料，进行干燥予处理，而无须采用如图3所示的特殊清洗。

例如，用Arosin处理的铝制试样是涂有三种切削油(即GM5、GS5，和FW68，它们均可从Nippon油料有限公司得到)，该试样在上面提到过的温度为60℃的全氟烷基羧化物含水溶剂中经受1分钟的声波(即28KHz X200W)清洗，并用洁净水喷淋清洗和干燥。结果，对所有三种油，没有发现油污，这样就实现了满意的除油处理。

关于除尘效果，发现用本发明的防水表面活化剂的含水溶剂清洗得到了比用常规的如现有技术中的氟碳化合物清洗更好的效果，其残余使用量大约为1/10或更少。

下面，研究按本发明方法清洗和干燥时，对被清洗物料的影响问题。被清洗的物料是二种Kanizan板制品，二种Arosin板制品和一种氧化处理电池制品，对这些制品的抗蚀性能做了试验。结果，没有发现这五种制品中任一种有不正常现象。玻璃纸型粘上之后，通过从物料上撕下玻璃纸型进行粘结试验，也没有发现这五种制品中任一种有不正常现象。

根据本发明的目的，提供了一种非金属精密零件，电子器件和容纳零器件壳体的排水和干燥装置。这些零器件是用水清洗过的，用电磁波对这些物料进行辐射加热附着在其上的潮气过程中或之后，通过吹空气或类似方法干燥的。如图5所示，该装置包括一个回转台21，其有可能使对被清洗物料W有效加热；一个电磁波辐射装置22，它能用2450MHz的电磁波对物料辐射进而对附着在物料上的潮气加热；一个吹气装置23，例如能将空气吹到物料上去掉物料上加热过的潮气。回转台21用不着转动，因为这是取决物料W形状的。注意，标号25表示罩。这种回转系统也能应用于喷淋清洗装置上，利用它，就能够将喷水嘴设置在一个或二个方向上。

图6中所示的装置是另一种干燥装置，该装置能使附着在非金属精密零件，电子器件和容纳零件的壳体上的潮气蒸发，这些零件是用水彻底清洗了的，干燥物料是在电磁波对这些物料辐射以使附着其上的潮气加热过程当中或之后，施加降低了的压力条件下进行的。如图6所示，该装置包括一个回转台21，它有可能使被清洗物料W有效加热；一个电磁波辐射装置22，它能用2450MHz的电磁波对物料辐射进而对附着在物料上的潮气加热；一个真空泵VP，它能使压力降低或建立真空使附着在物料上的潮气加热时蒸发除去。回转台21是用不着转动的，因为这取决于物料W的形状。

图7中所示的装置是离心脱水干燥非金属精密零件、电子器件和容纳零件的壳体的另一种干燥装置。这些零器件是用水彻底清洗了的，用电磁波对这些物料辐射，使附着在物料上的潮气加热，在此过程之中或之后使这些非金属的被清洗物料承受离心作用。正如图7所示的那样，本装置包括一个回转台21，它使被清洗过的物料W有可能进行有效加热；和一个电磁波辐射装置22，该辐射装置22能用2450MHz的电磁波对物料进行辐射，由此进而对附着在物料上的潮气加热。回转台21也能高速旋转，这样，物料上被加热过的潮气就能通过离心干燥被去掉。下面，根据本发明的第三个目的，能有效消除或防止溶剂循环系统中产生的泡沫。现在参照图9到20说明其中的若干实施例

如图9和图10所示，按本发明，一种泡沫消除装置36是配置在如图8所示的清洗溶剂26的循环系统中清洗溶剂溢流器30之内的。在图11至21中表示了各种泡沫消除装置36。

例如，在图11和图12中所示的实施例中，泡沫消除装置位于清洗溶剂循环系统之中，其包括一个清洗剂溢流器30，它能存储溶剂；和一个阀39或40，它是通过施加在浮子31或38的浮力打开和关闭的。阀39或40是在溢流器内使排泄管31不会卷进空气的液面打开和关闭的。

在图11和图12所示的泡沫消除装置中，阀39或40浮在进入溢流器30内的循环溶剂量与通过阀排出流率相平衡的液面上。

在图13和图14中所示的泡沫消除装置，在一个清洗溶剂循环系统中，它包括一个溢流器30，它能存储溶剂；一个外缸体41或42，它与排泄管31相连且带有一个孔，溶剂通过所述的孔进入外缸体内；一个内缸体45或44，它通过作用在浮子43或44上的浮力打开和关闭外缸体41或42上的孔。外缸体41或42的孔在溢流器30内使排泄溶剂管31不卷进空气的液面打开和关闭。内缸体45或44浮在进入溢流器30内的循环溶剂量与通过外缸体41或42的孔排出流率相平衡的液面上。

注意，在本发明的各种具体实施例中的外缸体(或有时在内缸体上)孔的大小可以是任意，只要从溢流器30溢出的液量能够从其顺利排出就行。

在图15和图16中所示的泡沫消除装置，在一个清洗溶剂循环系统中，它包括有一个溢流器30，它能存储清洗溶剂；一个内缸体46或47，它与排泄管31连接且带孔，溶剂的能通过所述的孔进入该缸内；一个外缸体50或49，它通过作用在浮子48或49上的浮力将内缸体46或47的孔打开和关闭。内缸体46或47的孔是在溢流器30内使排泄清洗溶剂管31不卷进空气的水位上打开和关闭的。外缸体50或49浮在进入溢流器30的循环清洗溶剂的量与通过内缸体46或47的孔排出流率相平衡的液面上。

在图17和18中所示的泡沫消除装置，在一个清洗溶剂循环系统中，它包括有一个溢流器30，它能存储清洗溶剂；一个带孔的外缸体55或54，清洗溶剂通过所述孔进入该缸体内，外缸体的孔是由作用在浮子53或54上的浮力打开和关闭的。外缸体55或54的孔在溢流器30内使排泄清洗溶剂管31不卷进空气的水位上打开和关闭。外缸体55或54浮在进入溢流器30的循环溶剂量与通过外缸体55或54的孔排出流率相平衡的水位上。

在图19和图20中所示的泡沫消除装置，在一个清洗溶剂循环系统中，它包括一个溢流器31，它能存储清洗溶剂；一个外缸体56或57，它与排泄管31连接；一个带孔的内缸体60或59溶剂能通过所述孔进入该缸体内，该内缸体的孔是通过作用在浮子58或59的浮力打开或关闭的。内缸体60或59的孔在溢流器30内的使排泄清洗溶剂管31不会卷进空气的水位打开和关闭。该内缸体60或59浮在进入溢流器30的循环清洗溶剂的量与通过内缸体60或59的孔排出流率相平衡的液面上。

上面提到的每个浮子其内有一腔室和在其上部方位有一使空气从该腔室中排出的装置，使其浮力能通过清洗溶剂引入浮子的方式加以控制。

而且，上面提到的内缸体和外缸体的形状除了圆形之外可以是任一截面形状，例如三角形，方形和多边形。

现在参照方框图21来说明根据本发明的最佳清洗/干燥装置，它并非是对本发明限制。

在图21中，A是一个超声波清洗容器，B是第一喷淋清洗容器，C是一个浸渍起泡器，D为第二喷淋清洗容器，E，E′和E″分别为第一、第二、第三真空干燥容器。

根据本发明，物料或制品装在例如吊筐内，是被适当的传送装置从超声清洗容器A传送到真空干燥容器E、E′和E″。欲清洗的物料首先浸入超声清洗容器A，氟类表面活化剂的含水清洗溶剂通过容器A循环，同时该欲清洗的物料在例如60℃×60秒的工作条件下经受超声处理，然后，被清洗过的物料传送到第一喷淋清洗容器B，该物料被喷淋洁净水进行冲洗，例如在40℃清洗时间为60秒。在这个工序中，在被清洗的物料表面上基本形成一层表面活化剂的分子层，接着，该物料浸渍在起泡器C中的洁净水内，其温度为40℃，浸渍时间为60秒，同时净洁的空气冒泡，使在凹沟、斜盲孔或类似的部位上都确保形成一层表面活化剂分子层。该物料进一步要用洁净水喷淋清洗，例如其温度为40℃，时间为60秒。

在表面上具有一层氟类表面活化剂分子层的被清洗物料，(1)用低温蒸汽(即90℃)加热，例如在40mmHg压力之下；(2)在大气压下经受温度为90℃的热空气吹入；接着(3)在压力为40mmHg的条件下经受真空干燥。按照本发明，所述的干燥工序(1)(2)和(3)按顺序分别在如图21中实线所示的真空干燥容器E、E′和E″中进行。但是，根据本发明另一最佳实施例，干燥工序(1)(2)和(3)如图21中点划线所示，是在各个真空容器E、E′和E″中进行的。最好的干燥时间为3到6分钟，从而能完成理想的彻底清洗和干燥。

如上所述，根据本发明，通过把欲清洗的物料浸入防水表面活化剂的含水溶剂中，或者把先在其他工序中清洗过的欲清洗物料浸入防水表面活化剂的含水溶剂中进行清洗，使至少有一层防水表面活化剂附着在被清洗的物料表面。其结果，由于被清洗的物料表面的防水功能，可以防水并使水成珠。从而，在清洗之后就能进行有效的彻底的清洗和干燥，而无需使用碳氟化合物并且对被清洗物料无不利的效果。

通过把被清洗的物料置放在真空室内，在大气压降低到使水的沸点温度被控制在100℃或更低，最好为99℃或更低，更好是80℃到95℃的条件下，用蒸汽加热，或者在蒸汽加热之后，吹热空气，接着真空抽吸，即使有复杂形状完全干燥有困难的物料也能够完全地快速地干燥。

另外，根据本发明的干燥装置，物料，特别是某些对加热敏感的物料在用水清洗后能够有效地被干燥，而加热不会带来不利效果。

此外，根据本发明的泡沫消除装置，在该系统中产生的泡沫能够通过控制清洗容器用的溢流器内的清洗溶剂的液面，使空气在清洗溶剂循环系统中清洗溶剂流出时不卷入，从而有效地被消除或防止。

Claims

1.一种清洗/干燥的方法，该方法包括，将欲清洗的物料浸入含有防水表面活化剂的含水溶剂中，使该被清洗的物料表面上附着至少一层防水表面活化剂的分子层，然后把该物料进行干燥处理。

2.根据权利要求1所述的清洗/干燥的方法，其中，所述的防水表面活化剂至少是选自表面活化剂组之中，该表面活化剂组是由具有一个C₁₂-C₁₈疏水烷基组的碳氢类表面活化剂和具有一个C₆-C₁₂氟化的烷基组的氟类表面活化剂以及疏水硅类表面活化剂所组成。

3.根据权利要求1所述的清洗/干燥的方法还包括物料清洗之后干燥之前，在大气压降低到水的沸点低于100℃的压力下，用低于100℃温度的蒸汽对该被清洗的物料进行加热。

4.根据权利要求3所述的清洗/干燥的方法，其中所述的防水表面活化剂至少一种表面活化剂是选自表面活化剂组，该组是由具有一个C₁₂-C₁₈疏水烷基组的碳氢化合物类表面活化剂和具有一个C₆-C₁₂氟化烷基组的氟类表面活化剂以及疏水硅类表面活化剂所组成。

5.一种清洗/干燥的方法，该方法包括，将欲清洗的物料浸入防水表面活化剂的含水溶剂中，使该被清洗的物料表面至少附着一层防水活化剂的分子层；在把大气压降低到使水的沸点低于100℃的压力下，用低于100℃温度的蒸汽对该清洗的物料加热，用气体吹物料并接着对该物料进行真空干燥。

6.根据权利要求5所述的清洗/干燥的方法，其所述的防水表面活化剂至少一种是选自表面活化剂组，该组是由具有一个C₁₂-C₁₈疏水烷基组的碳氢化合物类表面活化剂、具有一个C₆-C₁₂氟化烷基组的氟类表面活化剂和疏水硅类表面活化剂所组成。

7.一种清洗/干燥的方法，该方法包括，把被清洗的物料置放在真空室中，在把大气压降到使水的沸点低于100℃的压力之下，用低于100℃温度的蒸汽对该被清洗的物料进行加热，接着对该物料吹气，然后对该物料进行真空干燥。

8.一种清洗/干燥的装置，该装置包括，一个用于容纳防水表面活化剂的含水溶剂的水容器，至少一个在水容器内能够使附着在被清洗物料上的过剩表面活化剂去掉的喷淋清洗装置，一个能使被清洗物料在喷淋清洗后进行干燥处理的真空室，所述的真空室的蒸汽喷射装置，能使被清洗物料在大气压降到使水的沸点低于100℃的压力下用低于100℃温度的蒸汽得到加热，和一个吹气装置，该吹气装置能通过吹气把水除掉。

9.根据权利要求8所述的清洗/干燥装置，其中所述的该装置包括按下列顺序构成；一个装有防水表面活化剂的含水溶剂的超声波清洗容器，一个第一喷淋清洗容器，和多个真空干燥容器，所述的真空容器的布置是适于在降低了的压力条件下进行蒸汽加热，吹热气体和真空干燥是在每个真空中平行进行的。

10.根据权利要求8所述的清洗/干燥装置，其中所述的装置包括按下列顺序构成：一个装防水表面活化剂的含水溶剂的超声波清洗容器，一个第一喷淋清洗容器，一个水浸渍起泡容器，一个第二喷淋清洗容器和多个真空干燥容器，所述的真空干燥容器布置是适于在降低了的压力条件下进行蒸汽加热的，吹热气体和真空干燥是在多个真空容器中分开地并按所述顺序进行。

11.一种干燥装置，该装置包括：

一个用电磁波辐射器对被清洗物料辐射的装置，它是作为能对附着在物料上的潮气进行加热的一种装置；

至少从以下组中选择一个装置，该组由以下组成：(1)一个吹气装置，对被清洗物料吹气以去掉水；(2)一个抽空或降低作用于物料上的压力的装置，它可使附着在物料上的潮气去掉；和(3)一个使物料受离心作用的装置，它使物料离心脱水干燥，在此过程当中或之后，采用电磁波辐射装置加热。

12.一种泡沫消除装置，它包括：

一个溢流器，它接收来自装有含表面活化剂的清洗剂的清洗容器中溢流，清洗容器内是按清洗装置的清洗循环系统布置的；和

一个阀装置，它配置在溢流器出口部位用来控制溢流器中液位，使清洗溶剂从溢流器溢流时不卷进空气。