CN1100812A - 低热辐射系数控制阳光的耐用薄膜覆盖层 - Google Patents

低热辐射系数控制阳光的耐用薄膜覆盖层 Download PDF

Info

Publication number
CN1100812A
CN1100812A CN94104654A CN94104654A CN1100812A CN 1100812 A CN1100812 A CN 1100812A CN 94104654 A CN94104654 A CN 94104654A CN 94104654 A CN94104654 A CN 94104654A CN 1100812 A CN1100812 A CN 1100812A
Authority
CN
China
Prior art keywords
metal
nitride
interference filter
dielectric layer
precoated shet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN94104654A
Other languages
English (en)
Inventor
J·D·沃尔夫
A·I·贝尔金
R·E·赖尔德
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Linde LLC
Original Assignee
BOC Group Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOC Group Inc filed Critical BOC Group Inc
Publication of CN1100812A publication Critical patent/CN1100812A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3644—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
    • C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/28—Interference filters
    • G02B5/281—Interference filters designed for the infrared light
    • G02B5/282—Interference filters designed for the infrared light reflecting for infrared and transparent for visible light, e.g. heat reflectors, laser protection
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/24—Doped oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/24—Doped oxides
    • C03C2217/242—Doped oxides with rare earth metals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/70—Properties of coatings
    • C03C2217/78—Coatings specially designed to be durable, e.g. scratch-resistant

Abstract

提供了能透过可见辐射但反射红外辐射的干涉 滤光板，它包括透明基板，其上沉积有介电层、接着是 金属层和介电层。在每一介电层和金属层间沉积有 预涂层。本发明将包括镍和氮化铬的薄膜用于每一 金属预涂层。这些预涂层很薄，以致对可见光的吸收 较少，但仍保持良好的粘结性。本发明用银作金属 层，它是在含氮和氩等气氛中溅射的。据发现氮存在 下制得的银层耐久性比在纯惰性气体气氛中溅射的 银膜要长。本发明一干涉滤光板包括玻璃基板，其上 沉积有由TiO2、Ni-CrNx、银、Ni-CrNx和氮化硅组 成的薄膜结构。

Description

总起来讲，本发明涉及红外反射可见透明的干涉滤光板，具体讲，涉及耐用的低热辐射系数滤光板。
目前十分流行将透明面板用于建筑物、车辆和其他构筑物来控制太阳辐射。控制太阳光的目的是要透光，同时排除大部分太阳能，从而减少所需的空气调节量或冷却量，和节省能量。此外，作为建筑材料的改性玻璃提供出建筑师所需要的色彩灵活性。
业已使用了各种方法来改变这些面板的光学性质。其中包括用电解，化学蒸汽汽积和物理蒸汽汽积，如用平面型磁控管溅射等技术对玻璃或塑料基材进行涂复。例如，在玻璃或塑料上沉积薄金属膜来增加对太阳辐射的反射。沉积有高可见光透射率、红外区高反射率和低热辐射率的多层电介质-金属-电介质涂层的玻璃窗，能量效率更佳。为使玻璃窗的可见光反射率最小。可见光透射提高，此电介质层的折射率优选2.0或2.0以上。一般由金属氧化物涂料组成的此介电层也对易碎金属膜提供了一种辅助保护。也可通过改变基底材料的组成来改变面板的光学性质。而按上述方法制备的干涉滤光板面板，为了有效的节省能量，在将太阳辐射反射到所需程度方面仅部分获得成功。例如，1972年8月8日授予Apfel等人的USPS3，682，528中介绍了一种干涉滤光板，它具有仅约72%可见光透射率和约8%红外透射率。
干涉滤光板的另一问题是其结构的完整性，特别是它们不能耐恶劣的环境条件。对太阳辐射具有高反射率的现有透明面板由于易发生化学和机械降解，所以是不能令人满意的。
本发明的主要目的是提供一种透可见光、而反射红外辐射的耐用薄膜干涉滤光板。
本发明的另一目的是提供一种热辐射率约为0.1而且可见区透过率高于82%的低热辐射率干涉滤光板。
这些目的和其它目的由本发明达成，即通过提供一种耐用薄膜干涉滤光板，该滤光板包括透明基板，其上沉积有第一介电层，接着是金属和第二介电层。在每一介电层和金属层之间沉积有一层促进此介电层和金属之粘结的预涂层。
本发明的一个方面是将镍-氮化铬用于每-金属预涂层。Ni-CrNx薄膜很薄，从而对可见光的吸收较小，但是却能保持良好的粘结性能。本发明的另一方面是使用银作金属层。特别是在含氮或氩或其他惰性气体的混和气体气氛中溅射银。业已发现氮的存在产生一种比在含基本纯氩的气氛中溅射得到的银膜耐用性更好的银层。
本发明一种优选实施方案中的干涉滤光板包括玻璃基板，其上沉积有由五层，即二氧化钛、镍-氮化铬、银、氮化镍-铬和氮化硅组成的薄层结构。
本发明干涉滤光板的另一优选实施方案由五层结构所组成，其中一层或两层所说的介电层由含氮化锆和氮化硅的复合材料形成。据发现把氮化锆和氢化硅混合起来产生一种在可见区有高折射率和优异透明性的复合层。不仅如此，这种复合层的光学性质可通过改变氮化锆和氮化硅的相对量来加以调节。
利用可旋转的圆筒形磁控管可以对本发明的干涉滤光板的介电层进行活性溅射。采用由双阴极靶或一个或多个合金靶共溅射法来形成复合层。本发明方法的特点是通过减小第二介电层的内应力生产出一种极硬和耐化学性的薄膜层。业已证明，在溅射作为第二介电层的氮化硅时，通过使阴极的磁组件相对于基材成锐角，可以减小该层的内应力。
图1是按本发明方法生产的五层结构薄膜干涉滤光板的剖面视图。
图2是磁控管设备的剖面视图。
图3是Ni-CrNx薄膜的电子色散分光（EDS）光谱图。
图4是Ni-CrNx薄膜的百分透过率对波长的关系曲线图。
图5是银薄膜的百分透过率对溅射银金属的气氛中的氮浓度的关系曲线图。
图6是有不同银金属厚度的干涉滤光板的百分透过率对波长的系统曲线图。
图7是百分透过率对银金属厚度及热辐射率的系统曲线图。
体现本发明的薄膜干涉滤光板示于图1。该滤光板包括提供两平板型平行表面4和6的透明基板2，其中表面4暴露于介质中而表面6是被覆盖。此基板可用任何适宜的材料来形成;然而优选具有优异结构性能和在太阳能量集中的可见和近红外区吸收最小的材料。如晶形石英、熔凝石英、钠-钙硅酸盐玻璃及聚碳酸酯和丙烯酸酯等塑料均是优选的基板材料。
在基板表面6上沉积的第一介电层8优选用折射率约大于1.5，更优选介于2.1和2.5间或更大的材料制备。适宜的介电层材料包括金属氧化物，如二氧化钛、五氧化二铌（Nb2O5）、氧化锡、氧化锌、氧化铟（选择性搀杂以氧化锡）、氧化铋、氧化锆等。参见1984年7月31日授予Hart的US P4，462，883，其内容通过参照并入本文。另一种适宜材料是氮化硅，其他适宜介电材料包括一种含氮化锆和氮化硅（本说明书中共同记作“SiZrN”）的薄复合薄膜，它由直流（dc）圆筒形磁控管的双靶或单合金靶共溅射法制造。
除SiZrN之外，还可以使用这样一些复合薄膜，这些复合膜包括氮化钛和氮化硅（本说明书中共同记作“SiTiN”）或包括氮化铪和氮化硅（本说明书中共同记作“SiHfN”）。也可用由双靶或单靶共溅射法制备SiTiN和SiHfN复合薄膜。可用包括氮化硅、氮化铝、氮化锆、氮化钛和/或氮化铪混合物的复合薄膜作第一介电层。此复合薄膜的折射率依照构成每一薄膜的不同氮化物的相对量而变化。业已发现，用氮化硅作第一介电层时，本发明滤光板的可见光透射率与用二氧化钛或复合薄膜时的透射率相比稍小，特别是如果银金属层的厚度等于或大于约100 时更是如此。
沉积复合膜的方法之一是利用一个靶由硅制备而另一靶由锆、钛、铪或其混合物制备的双靶圆筒形磁控管的溅射方法。以氮作反应气体用双阴极进行共溅射时，可以将每一靶的磁性组件的角度调节到获得组分的均匀分布。对一种用双阴极靶的磁控管装置共溅射复合膜方法的描述记载在1992年3月4日提交的、申请号为07/846，224的待批美国申请（发明人Wolfe等人，共同受让人）中，其内容以参见形式并入本说明书中。
一般向言，第一介电层的厚度约为250-450
Figure 941046540_IMG9
，更优选280-330 ，用TiO2作第一介电层时，该层厚度的优选范围约200-400 ，更优选约280-330
Figure 941046540_IMG12
。
如图1所示，本发明的滤光板还包括沉积于第一介电层上的第一金属预涂层10。预涂层10优选维护尽可能薄，以便对滤光板或其后的金属层的光学特性即使有不利影响，也非常小。厚度范围约5-20
Figure 941046540_IMG13
的预涂层是合乎要求的。第一金属预涂层优选包括厚度8-15
Figure 941046540_IMG14
左右金属镍和氮化铬的混合物（称作Ni-CrNx或镍/铬氮化物）。此预涂层或可由优选包括含20-90%左右镍和10-40%左右铬的镍-铬合金;且更优选此合金中镍约80%，铬约为20%，此合金也可含少量（不高于约15%左右）的其他金属。据认为约含5-15%钼的合金将进一步增加该预涂层的化学耐久性。镍铬合金（或NiCr）指的是含有各种比例的镍、铬、钼和其他可用作预涂层金属的合金。
接着将一种部分反射的金属层12沉积于第一预涂层上。此金属层对红外辐射有反射作用，但允许充分透过可见光。此金属层可由许多材料来形成，银是特别令人满意的。可使用的其他金属包括金、铜和铂。此金属层的厚度范围在80-150 左右，更优选100-125
Figure 941046540_IMG16
左右。此金属层包括银时，其厚度应为80-150
Figure 941046540_IMG17
左右，更优选90-125 左右。
然后将一种第二金属预涂层14沉积于该金属层上，接着是最终的介电层16。此第二金属预涂层也可包括镍-铬合金（如上针对第一预涂层所述），但更优选包括Ni-CrNx的薄膜。第二预涂层的厚度和第一预涂层相同。
第二介电层优选包括用圆筒形磁控管反应溅射形成的氮化硅。该层厚度在200-500
Figure 941046540_IMG19
左右，更优选400-450
Figure 941046540_IMG20
左右。虽然每一薄膜中氮化硅的相对比例应当调节到使折射率的优选范围为1.98-2.08（550nm）左右，但也可使用上述复合膜。使用复合膜时，其厚度应为300-500
Figure 941046540_IMG21
左右，优选400-450
Figure 941046540_IMG22
，然而，无论使用氮化硅还是复合材料作第二介电层，最优选的情况是该层所呈现的内应力应该低。据发现通过降低第二介电层的内应力，生产出一种硬度极高且耐化学性的薄膜覆盖层。为对本发明的滤光板提供辅助保护，可在图1的滤光板上施以塑料层叠物。参见1990年10月23日授予Young等人的USP4，965，121，在此引入作为参考。
用直流磁控管沉积预涂层、金属层和介电层。此介电层用旋转圆筒形磁控管直流反应溅射制得关于适宜于用介电材料沉积基板的圆筒形磁控管的说明载于1991年9月10日授予Wolfe等人的USP5，047，131之中，此内容以参见形式并入本说明书中。
其中靶材是镍合金的圆筒形或平板型磁控管可用于在含氮和氩等惰性气体的气氛中反应溅射Ni-CrNx膜。在有代表性的直流溅射温度下，镍不形成氮化物。（无氮气时，反而会沉积出含镍和铬的膜）。也可用其中的一个阴极有镍靶，另一阴极有铬靶的双阴极磁控管进行反应溅射Ni-CrNx膜来沉积Ni-CrNx膜。
就此金属层而论，也已发现，相对于其中不含氮或在基本含纯氮的气氛中溅射银得到的滤光板而言，在含部分氮的气氛中溅射的银金属层使生产出的干涉滤光板耐环境性和光学性质得到改善。
用可旋转的双圆筒形磁控管沉积的氮化硅作为第二介电层时，据发现通过使每一阴极的磁性组件成锐角，可以降低氮化硅层的内应力，图2示出的是置于真空室22中的有双阴极20A和20B的磁控管的剖面示意图，每一磁性组件18都有三个细长磁性件24，26和28的“W”字形结构。此永磁性元件形成一种代表可旋转的圆筒形磁控管的不对称体系，阴极20A的磁性组件按约45°的锐角α1取向，这样当基板21进入沉积室时使溅射材料正对着它。同样，阴极20B的磁性组件也是按约45°的锐角α2来取向。每个角α1或α2的取值范围可独立地约为20-60°，更优选约30-50°，最优选45°左右。每一阴极距基板约2.5英寸（6.35cm），而且阴极20A的中心距阴极20B的中心约8.5英寸（21.59cm）。这样沉积的氮化硅层的内应力约为该磁性组件相对于基板成直角时生产出氮化硅层的1/4。没有必要非用双圆筒形阴极作反应溅射Si3N4不可，但是如使用单阴极的话，应当优选在基板向阴极20A移动的条件下使用阴极。
也可用图2所示的设备反应共溅射SiZrN等复合膜。例如，一个阴极可以有硅靶，另一阴极可有锆靶。
实验结果
具有图1所示结构的低热辐射系数干涉滤光板包括玻璃基板、二氧化钛第一介电层、镍/氮化铬预涂层、银金属层和氮化硅第二介电层，它是用在线磁控管系统制备的。该系统由串联设置的五个溅射源组成，每个溅射源沉积该滤光板五层中的一层。第二、第三和第四溅射源包括置于真空室中，分别用于溅射第一预涂层、金属层和第二预涂层的平板型磁控管。该平板磁控管各包括一个HRC-3000型单元，是由受让人分支单位（Airco  Coating  Technology）制造的。第一和第五溅射源各包括有一个有双靶的沉积介电层用圆筒形磁控管。每一圆筒形磁控管各包括C-MagTM3000型双阴极，该磁控管也是Airco制造的。
用惰性气体调节每一圆筒形磁控管的靶，其后通入工艺气体，直至达到所要求的分压为止。在此时操作工艺，直至过程达到稳定。然后把基板送入第一圆筒形磁控管的涂复区并施涂薄膜。所用基板为钠钙玻璃。
对于沉积含二氧化钛的第一介电层而言，磁控管采用一对钛靶。众所周知，TiO2是溅射工艺中产生的氧化钛的主要形式。然而，据认为也产生其他形式的氧化物。另有说明除外，TiO2将代表所产生的所有形式的氧化钛。由于TiO2的折射率为2.50（550nm），所以它特别适宜作第一介电层。与使用氮化硅制成的相比，使用TiO2将导致干涉滤光板的透过率提高大约2%。氩是惰性气体，氧是反应气体。
如用图2所示的圆筒形磁控管反应溅射氮化硅作为第二介电层时，用氩作惰性气体，氮作反应气体。也可使用其他惰性气体。（所有形式的氮化硅均用Si3N4代表）。通过由氮化物到金属的转变测定该气体的分压。实验尽可能接近这种转变。用惯常设备控制溅射气体的压力和流速。由于纯硅的导电性如此之低以致不适宜用直流溅射，所以每一硅靶均浸渍或掺杂以少量铝。每一阴极的磁组件均按与法线成约45°角来定位。用氮作溅射气体时，覆盖层含铝和硅的氮化物混合物。所有这些组分均是相当硬的且形成一层起强阻挡层作用的无定形膜。然而，该膜中的铝量对形成所需的硅基复合膜并无影响。业已发现形成氮化硅的化学计量成分比例与Si3N4的3∶4理论比值接近。
用有镍-铬合金靶的平板型磁控管沉积每一Ni-CrNx膜预涂层。所用镍-铬合金约包括80%镍和20%铬。气体混合物约含60%氮和40%氩。用镍-铬合金靶溅射的镍不氮化，但溅射的铬却明显氮化。这样生产的膜是无定形的、耐化学性的、导电的且极硬和耐用。据发现，对于本发明的薄膜干涉滤光板来说，用Ni-CrNx时，预涂层能够比使用NiCr的薄40%左右，而且此滤光板仍保持同样的耐用性。此外，通过减小第一和/或第二金属预涂层的厚度，干涉滤光板对可见光的总的透光性增加。然而，据发现由于预涂层较薄的干涉预光板不能通过盐水喷雾试验和/或湿气试验，所以对可能经受恶劣环境的干涉滤光板而言，每一Ni-CrNx预涂层的厚度应至少为8
Figure 941046540_IMG23
左右。为了避免溅射过厚的金属预涂层，在磁控管设备的真空室中应设置挡板或隔板以阻止部分溅射材料及控制在基板上的沉积速率。
对于沉积银金属层来说，使带银靶的平板型磁控管。在含60%氮和40%氩的气氛中进行溅射。
表1列出了用在线磁控管系统沉积本发明滤光板的代表性工艺数据。建议此系统中H2O的分压小于或等于10-7乇。用惯常手段，其中包括用meisner蛇管冷凝水或用高真空泵可实现此目的。其他措施包括用氮气反冲该体系8-12小时后再于1μ左右的压力下进行反应溅射。
Figure 941046540_IMG24
在溅射工艺中加入氮通过碰撞电离产生额外的原子氮，据发现加入氮也减少在阴极靶上的电弧量，这明显地导致了沉积膜均匀性的改善。
对本发明滤光板的光学性质及机械和化学耐用性同现有技术的滤光板进行了对比。所试验的代表本发明的干涉滤光板由覆盖于3mm钠钙玻璃上的五层薄膜所组成，如图1所示。此五层厚度列于表1中，为方便起见，把此种结构记作玻璃/TiO2/Ni-CrNx/Ag/Ni-CrNx/Si3N4并在下文称作“本发明滤光板”。同样，把公知的三种滤光板结构（记作对比滤光板Ⅰ、Ⅱ和Ⅲ）分别是：
对比滤光板Ⅰ：玻璃/Si3N4/NiCr/Ag/NiCr/Si3N4
（各层厚度）3mm/325
Figure 941046540_IMG25
/14
Figure 941046540_IMG26
/80 /14
Figure 941046540_IMG28
/450
Figure 941046540_IMG29
对比滤光板Ⅱ：玻璃/Zno2/Ag/Ti/Zno2/TiO2
（各层厚度）3mm/375 /85
Figure 941046540_IMG31
/20
Figure 941046540_IMG32
/175 /125
Figure 941046540_IMG34
对比滤光板Ⅲ：玻璃/SnO2/Ag/Zn/SnO2/TiO2
（各层厚度）3mm/375
Figure 941046540_IMG35
/85
Figure 941046540_IMG36
/20 /175 /125
实验步骤和结果列于下表。
表    2
光学性质
性质  本发明  对比  对比
滤光板  滤光板I  滤光板II
%T(可见),空气中  82  76  83
%T(阳光),空气中  63  62  66
%Rg,空气中 6 8 10
%Rg,阳光空气中 16 12.5 17
'a'  -2.0  -2.5  -3.0
'b'  0.0  -7.5  -9.0
%Rf,空气中 4.5 4 7
%Rf,阳光空气中 19 14 18
'a'  -1.5  -1.0  -3.0
'b'  0.0  -6.0  -11.0
热辐射系数  0.10  0.16  0.10
（相干红外能量光源（CIE）“C”的所有光学数据均按10°标准（SID）观察的）
表    3
耐用实验结果总结
实验结果  对比  对比  对比  本发明
滤光板I  滤光板II  滤光板III  滤光板
湿度  9.9  7.6  7.0  9.9
盐水喷雾  9.2  1.2  1.3  8.7
UV  9.7  9.4  9.4  9.8
盐水侵蚀  9.6  1.2  1.4  9.8
NH4OH 9.6 1.2 1.3 9.6
NaOH  10.0  9.8  10.0  9.1
HCl  9.6  1.2  1.3  8.6
H2SO410.0 1.2 1.8 9.9
泰伯  9.5  1.7  0.3  8.2
用EDS（电子色散分光法）对镍-铬合金靶沉积的Ni-CrNx膜的化学计量进行分析，分析结果示于图3中。该光谱表明约同样量的铬和氮结合到Ni-CrNx膜中。同基本是镍-铬合金膜相反，将Ni-CrNx膜用于一个或两个金属预涂层的优点示于图4，该图为不同薄膜干涉滤光板的透过率和光波长的关系曲线图。曲线31是上述除第一和第二金属预涂层每层约16 厚外实验的代表本发明干涉滤光板的透过率曲线。与之相比，曲线32为除预涂层每层包括约32
Figure 941046540_IMG41
厚的镍-铬合金外，为具有相同组成的本发明的干涉滤光板的透过率曲线。很明显，曲线31代表的含有Ni-CrNx的滤光板在可见区呈现更高的透光性。
据发现，在含氮的气氛中溅射银金属层的本发明干涉滤光板，其光学特性和机械耐用性均得到了改善。图5是在含不同百分率氮和氩的气氛中溅射的各100
Figure 941046540_IMG42
厚银膜的透过率（Ⅰ11-C）和波长的关系曲线图。压力为4毫乇。各膜具有的热辐射率为0.10。薄膜层电阻为10欧姆/平方。很明显，百分透过率随此气氛中含氮百分率的减小而增加。此外，用惯常的mil-spec实验。使每一膜经受50粗平布擦伤，作了各薄膜的机械耐受性实验。如图5所示，实验表明在约含45-100%氮的气氛中溅射的银膜是合格的，而在含氮约低于15%的气氛中溅射的银膜不合格。在含氮15-45%左右的气氛中溅射的银膜，实验结果居中。所以，为了获得合乎要求的透过率和保持机械耐用性，氮量应在45-60%左右。
由于干涉滤光板的目的之一是保持低的热辐射水平，优选0.10或以下，所以金属层的厚度也是重要的。图6是代表本发明的有不同银金属量的本发明波光板透过率和波长的关系曲线图。很明显，相对于有80
Figure 941046540_IMG43
（曲线62）或140
Figure 941046540_IMG44
（曲线63）银金属层的滤光板而言，在可见区内，有120
Figure 941046540_IMG45
的银金属层（曲线61）有更好的总透过率。同样，图7是有代表性的本发明滤光板的银金属层的透过率和银厚度及热辐射率的关系图。增加金属层透过率现象称作诱发透射。参见Berning等人，J.Opt.Soc.Am.，47，1957，p230。
表    4
耐用性实验记分：湿度、盐水喷雾和UV曝露实验
实验记分定义
%Rf等的改变 实验样品的平均改变
辐射记分  平均热辐射率记分
#缺陷 显微照片上缺陷的平均总面积,mm2×10-4
对比滤  对比滤  对比滤  本发明
对比滤光板I  光板II  光板III  光板的滤
II(N)°  光板
实验样品编号  5  10  2  2  3  18
温度(96小时)
%Rf的改变 0.07 0.18 0.30 1.55 0.88 0.63
Rfa的改变 0.08 0.16 0.63 -0.40 0.04 -0.70
Rfb的改变 -0.22 0.13 -0.53 0.81 0.21 -0.26
辐射记分  9.9  9.7  7.6  7.0  8.8  9.9
#缺陷 21 62 180 304 407 NA
缺陷面积  8.26  40.42  505.54  92.00  92.37  0.85
盐水喷雾(72小时)
%Rf的改变 0 0.22 薄膜 薄膜 薄膜 0.37
Rfa的改变 0.005 0.12 消失 消失 消失 -0.15
Rfb的改变 -0.19 -0.09 0.84
辐射记分  9.2  9.2  1.2  1.3  1.2  8.7
#缺陷 88 32 薄膜 薄膜 薄膜 NA
缺陷面积  12.27  56.17  消失  消失  消失  1.94
UV(120小时)
%Rf的改变 -0.10 -0.02 -0.02 -0.26 -0.02 0.65
Rfa的改变 0.28 0.10 0.23 0.39 -0.13 -0.01
Rfb的改变 -0.98 0.11 0.47 1.05 0.47 0.28
辐射记分  9.7  10.0  9.4  9.4  8.5  9.8
#缺陷 7 20 9 145 458 NA
缺陷面积  0.84  1.73  19.18  14.32  23.84  0.06
盐水喷雾实验(24小时)
辐射记分  9.6  10.0  1.2  1.4  7.9  9.8
#缺陷 9 15 薄膜 薄膜 249 NA
缺陷面积  1.24  3.31  消失  消失  52.88  1.16
对比滤光板II(N)°是为平衡反射的颜色已优选的对比滤光板II
表5
耐用性实验记分:碱浸渍实验
实验记分定义
%T等的改变  实验样品的平均改变
辐射记分  热辐射率平均记分
#缺陷 显微照片上缺陷的平均总面积,mm2×10-4
对比滤  对比滤  对比滤  本发明
对比滤光板I  光板II  光板III  光板的滤
II(N)°  光板
实验样品编号  5  10  2  2  3  18
NH4OH实验(5小时)
%T的改变  0.11  0.08  -0.87  0.11  1.37  -0.15
%Rf的改变 0.06 -0.02 0.73 -0.10 1.13 0.28
Rfa的改变 0.16 0.05 2.14 0.69 0.80 0.06
Rfb的改变 -0.05 0.62 1.63 0.74 -2.65 0.53
%Rg的改变 0.13 -0.18 0.16 -0.59 1.51 -0.61
Rga的改变 0.05 0.04 2.00 0.66 1.06 0.13
Rgb的改变 0.29 0.54 1.82 0.45 0.46 -0.10
辐射记分  9.6  9.7  1.2  1.3  1.1  9.6
#缺陷 27 52 207 56 156 NA
缺陷面积  4.71  8.52  436.33  39.07  298.54  0.82
NH4OH实验(5小时)
%T的改变  -0.05  0.01  0.14  0.16  -0.08  -0.14
%Rf的改变 -0.03 -0.02 0.03 -0.03 0.08 -0.47
Rfa的改变 0.15 0.33 0.01 -0.01 0.01 -0.05
Rfb的改变 0.25 0.55 0.04 -0.01 -0.58 -0.13
%Rg的改变 -0.14 -0.20 -0.03 -0.04 0.15 -0.47
Rga的改变 0.13 0.26 0.04 -0.02 0.01 -0.02
Rgb的改变 -0.07 0.27 0.08 -0.03 -0.31 -0.22
辐射记分  10.0  10.0  9.8  10.0  9.6  9.1
#缺陷 43 64 95 161 634 NA
缺陷面积  2.31  21.34  7.08  16.93  40.85  0.52
表6
耐用性实验记分:酸浸渍实验
实验记分定义
%T的改变  实验样品的平均改变
辐射记分  平均热辐射率记分
#缺陷 显微照片上缺陷的平均计数,在200倍放大时
缺陷面积 在显微照片上缺陷的平均总面积,mm2×10-4
对比滤  对比滤  对比滤  本发明
对比滤光板I  光板II  光板III  光板的滤
II(N)°  光板
实验样品编号  5  10  2  2  3  18
HCl实验(5小时)
%T的改变  0.10  0.07  6.64  -1.49  5.03  0.11
%Rf的改变 0.07 -0.01 1.57 8.00 1.94 -0.25
Rfa的改变 -0.02 0.15 2.47 1.40 0.78 -0.03
Rfb的改变 0.14 0.49 8.01 0.90 0.66 -0.18
%Rg的改变 -0.02 -0.03 -0.11 7.51 2.36 -0.47
Rga的改变 0.02 0.14 2.79 1.29 1.00 -0.04
Rgb的改变 0.03 0.42 8.88 5.04 4.41 -0.26
辐射记分  9.6  9.9  1.2  1.3  1.1  8.6
#缺陷 66 41 薄膜 薄膜 薄膜 NA
缺陷面积  5.85  4.92  消失  消失  消失  1.12
H2SO4实验(5小时)
%T的改变  0.06  0.02  6.60  0.77  1.77  0.16
%Rf的改变 -0.07 0.05 1.57 4,41 3.32 -0.49
Rfa的改变 0.21 0.03 2.49 1.08 1.85 0.01
Rfb的改变 -1.25 0.17 7.98 2.19 2.71 -0.34
%Rg的改变 0.33 -0.01 0.02 5.65 3.93 -0.47
Rga的改变 0.03 0.01 2.76 0.44 2.05 -0.06
Rgb的改变 0.17 0.52 8.93 4.57 6.57 -0.20
辐射记分  10.0  10.0  1.2  1.8  1.4  9.9
#缺陷 85 40 薄膜 65 薄膜 NA
缺陷面积  5.45  5.26  消失  616.88  消失  0.23
表7
耐火性实验记分:泰伯实验
泰伯实验,50转。
擦伤分  ∧%T  ∧%模糊
本发明滤光板
平均值  8.2  -0.08  0.33
SD  0.66  0.66  0.38
对比滤光板I
样品1  平均值  9.5  1.5  0.35
SD1.2 1.2 .21
样品2  平均值  9.4  0.4  0.26
SD  .2  .3  .13
对比滤光板II
平均值  1.7  2.2  0.97
SD  1.3  2.0  .13
对比滤光板III
平均值  0.3  4.6  1.34
SD  .3  1.0  .33
对比滤光板II(N)
平均值  1.6  4.5  1.55
SD  .9  2.8  .19
1SD=标准偏差
表8
实验条件和记分步骤
A  湿度实验  曝露于60℃的相对湿度为95%的潮湿
小室中96小时
B  盐水喷雾实验  于95-98°F下,20%盐水喷雾
72小时
C  紫外光照射实验  曝置120小时;每一循环为4小时曝置
于紫外线下,4小时冷凝
D  盐水侵蚀实验  将1%(重量计)的NaCl溶液施于垂直放
置于样品薄膜一侧的方滤纸上,把该样品
放在温度恒定的环境下24小时。
对经A、B、C和D实验的样品评价
1.选择有代表性区域，采用点格搜索方法，用放大200倍的显微照片测定缺陷面积。用下面式子计算缺陷分：
缺陷分＝10-0.5（%缺陷面积）
2.为说明金属层的腐蚀，实验前后测定每一样品的热辐射率。
用下述式子计算按热辐射率变化的辐射率分：
辐射率分＝10（开始的辐射/实验辐射）
对经A、B和C实验的样品的评价
3.测定膜侧反射率和颜色的变化。（注：由于在这些实验中，未保护的玻璃侧腐蚀严重，所以不可能在实验后对玻璃侧的反射率或透射进行比较）
E NH4OH实验 室温下，把样品浸于盛有0.5N NH4OH溶液的密闭容器中5小时。
F  NaOH碱实验  室温下，将样品浸于有0.1N  NaOH溶液的密闭容器中5小时。
G  盐酸实验  室温下，把样品浸于盛有0.1N  HCl溶液的密闭容器中5小时。
H H2SO4酸实验 室温下，把样品浸于盛有0.1N H2SO4溶液的密闭容器中5小时。
I HNO3酸实验 室温下，把样品浸于盛有0.1N NHO3溶液的密闭容器中5小时。
用下述方法评价经E、F、G、H和I实验的样品
1.选择有代表性的区域，采用点格＊搜索法用200倍放大的显微照片测定缺陷面积，用下式计算缺陷分：
缺陷分＝10-0.5（%缺陷面积）
2.测定每一样品的热辐射率，表征金属层的腐蚀，用下式计算按热辐射率变化的辐射率分：
热辐射率分＝10（开始辐射/实验辐射）
3.测定透过率以及薄膜和玻璃两侧的反射率和颜色上的变化。
J  泰伯磨耗  在泰伯磨耗机上使样品经历总计50转处理，使用标准500克重和CS-10F轮
按下述方法对经J实验的样品进行评价
1.在泰伯径迹上选择有代表性的区域，进行50倍放大的显微照相，在此显微照片上划出4个一平方英寸的区域并数出每个方块上的刮伤数，对此4个区域的刮伤数进行平均，把此平均刮伤数代入下面的式子得到0分（1平方英寸上刮伤数大于55的）、10分（无刮伤），计算方法如下：
泰伯分＝10-[（平均刮伤数＃）×（0.18）]
2.透过率是在四个地方测定磨耗面积并将结果进行平均。用此平均透过率，计算相对于未磨耗区域透过率的变化。
点格搜索法＊（参见在A、B、C和D实验中的样品评价）
在显微照片上随机放置0.5mm间隔的10×10的网格，在某缺陷内的每一交叉点记作1分，处在边界上的点记作0.5分。数出网格中的总分。重复此过程直至放置网格并数4次为止。然后用下述式子计算%缺陷面积：
%缺陷面积＝总缺陷点数/总点数（400）×100
虽然本发明是就优选实施方案描述的，然而应当理解为本发明的保护范围将由所附的权利要求的全部范围确定。

Claims (10)

1、一种薄膜干涉滤光板，依次包括透明基板、基本上透明的第一介电层、第一金属预涂层、部分反射金属层、第二金属预涂层和基本上透明的第二介电层，其特征在于所说第一金属预涂层包括镍和铬或氮化铬，而且所说第二金属预涂层包括镍和氮化铬。
2、一种根据权利要求1的薄膜干涉滤光板，其中所说第二介电层包括氮化硅。
3、一种根据权利要求1的薄膜干涉滤光板，其中所说第二介电层包括氮化硅及从由氮化锆、氮化钛和氮化铪组成的一组氮化物中选出的一种或多种其他氮化物的复合物。
4、一种根据权利要求1、2或3的薄膜干涉滤光板，其中所说的第一介电层具有的折射率约1.5-2.5。
5、一种根据上述任一项权利要求的薄膜干涉滤光板，其中所说第一介电层包括从由氮化硅、氮化钛、氮化铪、氮化铝和氮化锆组成的一组氮化物中选出的一种氮化物。
6、一种根据上述任一项权利要求的薄膜干涉滤光板，其中所说的部分反射金属层是从由银、金、铜和铂组成的一组金属中选出的金属。
7、一种根据上述任一项权利要求的薄膜干涉滤光板，其中所说的第一金属预涂层厚度约0.5-2nm（5-20
Figure 941046540_IMG2
），所说的第二金属预涂层厚度约0.5-2nm（5-20
Figure 941046540_IMG3
），所说的金属层厚度约8-15nm（80-150
Figure 941046540_IMG4
），所说的第一介电层厚度约25-45nm（250-450 ）和所说的第二介电层厚度约30-50nm（300-500
Figure 941046540_IMG6
）。
8、一种根据上述任一项权利要求的薄膜干涉滤光板，其中所说的第一金属层包括镍和氮化铬，所说的第二金属预涂层厚度约0.5-2nm（5-20 ），和其中所说的金属层是银。
9、一种在透明基板上制备耐久薄膜干涉滤光板的方法，所说方法依次包括下述步骤：
在所说基板上沉积基本上透明的第一介电层;沉积第一金属预涂层;沉积部分反射金属层;沉积第二金属预涂层;和沉积基本上
透明的第二介电层，其特征在于所说的第一金属预涂层包括镍和铬或氮化锆，所说的第二金属涂层是于含氮气氛中用反应溅射镍-铬合金靶沉积的。
10、一种根据权利要求9的方法，其中所说的部分反射金属层包括在含氮的气氛中由溅射铝靶沉积的银。
CN94104654A 1993-04-28 1994-04-28 低热辐射系数控制阳光的耐用薄膜覆盖层 Pending CN1100812A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US5452193A 1993-04-28 1993-04-28
US054,521 1993-04-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1100812A true CN1100812A (zh) 1995-03-29

Family

ID=21991669

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN94104654A Pending CN1100812A (zh) 1993-04-28 1994-04-28 低热辐射系数控制阳光的耐用薄膜覆盖层

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5563734A (zh)
EP (1) EP0622645B1 (zh)
JP (1) JP2625079B2 (zh)
CN (1) CN1100812A (zh)
AT (1) ATE186991T1 (zh)
AU (1) AU678207B2 (zh)
CA (1) CA2120875C (zh)
DE (1) DE69421746T2 (zh)
ES (1) ES2139050T3 (zh)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100419473C (zh) * 2005-07-14 2008-09-17 甘国工 等离子体显示器的具有防电磁辐射及滤光功能的滤光板
CN1842503B (zh) * 2003-06-26 2010-06-16 法国圣戈班玻璃厂 有反射红外线和/或太阳辐射的多个薄层的叠层的玻璃板
CN101887134A (zh) * 2010-05-31 2010-11-17 北京科技大学 一种红外窗口保护膜材料、其应用及其制备方法
CN101244898B (zh) * 2008-01-25 2011-05-11 东莞南玻工程玻璃有限公司 金色低辐射镀膜玻璃及其制作方法
CN102272065A (zh) * 2008-11-04 2011-12-07 顶峰企业公司 经涂布的玻璃表面和涂布玻璃基片的方法
CN101304956B (zh) * 2005-11-08 2012-05-30 法国圣戈班玻璃厂 备有具有热性能的多层涂层的基材
TWI410324B (zh) * 2011-07-29 2013-10-01
CN106536848A (zh) * 2014-07-30 2017-03-22 乐金华奥斯有限公司 低辐射涂层及包括低辐射涂层的窗户用功能性建筑材料
CN110104961A (zh) * 2013-08-16 2019-08-09 葛迪恩实业公司 一种具较低可见光透射率低辐射涂层的涂层制品
CN110418710A (zh) * 2016-12-20 2019-11-05 墨西哥平板玻璃可变资本股份有限公司 用于玻璃基材的低发射率涂层
CN110461790A (zh) * 2017-02-23 2019-11-15 佳殿玻璃有限公司 具有基于氮化钛和ito的ir反射层的可热处理涂覆制品
CN110506033A (zh) * 2017-03-09 2019-11-26 佳殿玻璃有限公司 具有带有ir反射层和含铪的高折射率氮化电介质层的低e涂层的涂覆制品
CN117266423A (zh) * 2023-11-21 2023-12-22 天津包钢稀土研究院有限责任公司 一种用于被动房和绿色建筑的保温隔热节能玻璃幕墙

Families Citing this family (163)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5688585A (en) * 1993-08-05 1997-11-18 Guardian Industries Corp. Matchable, heat treatable, durable, IR-reflecting sputter-coated glasses and method of making same
US5514476A (en) * 1994-12-15 1996-05-07 Guardian Industries Corp. Low-E glass coating system and insulating glass units made therefrom
FR2728559B1 (fr) * 1994-12-23 1997-01-31 Saint Gobain Vitrage Substrats en verre revetus d'un empilement de couches minces a proprietes de reflexion dans l'infrarouge et/ou dans le domaine du rayonnement solaire
AU680786B2 (en) * 1995-06-07 1997-08-07 Guardian Industries Corporation Heat treatable, durable, IR-reflecting sputter-coated glasses and method of making same
DE19520843A1 (de) * 1995-06-08 1996-12-12 Leybold Ag Scheibe aus durchscheinendem Werkstoff sowie Verfahren zu ihrer Herstellung
MX9605168A (es) * 1995-11-02 1997-08-30 Guardian Industries Sistema de recubrimiento con vidrio de baja emisividad, durable, de alto funcionamiento, neutro, unidades de vidrio aislante elaboradas a partir del mismo, y metodos para la fabricacion de los mismos.
US5770321A (en) * 1995-11-02 1998-06-23 Guardian Industries Corp. Neutral, high visible, durable low-e glass coating system and insulating glass units made therefrom
DE19541937C1 (de) * 1995-11-10 1996-11-28 Ver Glaswerke Gmbh Wärmedämmendes Schichtsystem mit niedriger Emissivität, hoher Transmission und neutraler Ansicht in Reflexion und Transmission
US6231999B1 (en) * 1996-06-21 2001-05-15 Cardinal Ig Company Heat temperable transparent coated glass article
IT1293394B1 (it) * 1996-07-25 1999-03-01 Glaverbel Substrati rivestiti di metallo
US20050096288A1 (en) * 1997-06-13 2005-05-05 Aragene, Inc. Lipoproteins as nucleic acid vectors
US6495251B1 (en) 1997-06-20 2002-12-17 Ppg Industries Ohio, Inc. Silicon oxynitride protective coatings
FR2766174B1 (fr) 1997-07-21 1999-08-20 Saint Gobain Vitrage Substrat transparent revetu d'au moins une couche mince
US6031653A (en) * 1997-08-28 2000-02-29 California Institute Of Technology Low-cost thin-metal-film interference filters
US6132881A (en) * 1997-09-16 2000-10-17 Guardian Industries Corp. High light transmission, low-E sputter coated layer systems and insulated glass units made therefrom
US6262830B1 (en) 1997-09-16 2001-07-17 Michael Scalora Transparent metallo-dielectric photonic band gap structure
US5907427A (en) 1997-10-24 1999-05-25 Time Domain Corporation Photonic band gap device and method using a periodicity defect region to increase photonic signal delay
US6514621B1 (en) 1997-12-24 2003-02-04 Ppg Industries Ohio, Inc. Patterned coated articles and methods for producing the same
US6744552B2 (en) * 1998-04-02 2004-06-01 Michael Scalora Photonic signal frequency up and down-conversion using a photonic band gap structure
US6304366B1 (en) 1998-04-02 2001-10-16 Michael Scalora Photonic signal frequency conversion using a photonic band gap structure
US6391400B1 (en) 1998-04-08 2002-05-21 Thomas A. Russell Thermal control films suitable for use in glazing
AU4955599A (en) * 1998-06-09 1999-12-30 Regents Of The University Of California, The Durable silver coating for mirrors
US6034813A (en) * 1998-08-24 2000-03-07 Southwall Technologies, Inc. Wavelength selective applied films with glare control
US6410173B1 (en) 1998-11-30 2002-06-25 Denglas Technologies, Llc Antireflection coatings and other multilayer optical coatings for heat-treatable inorganic substrates and methods for making same
SK8352001A3 (en) * 1998-12-18 2001-11-06 Glaverbel Glazing panel
US6610410B2 (en) 1998-12-18 2003-08-26 Asahi Glass Company, Limited Glazing panel
US6416194B1 (en) * 1999-02-11 2002-07-09 Turkiye Sise Ve Cam Fabrikalari A.S. Thermostable back-surface mirrors
US6740211B2 (en) * 2001-12-18 2004-05-25 Guardian Industries Corp. Method of manufacturing windshield using ion beam milling of glass substrate(s)
US6808606B2 (en) 1999-05-03 2004-10-26 Guardian Industries Corp. Method of manufacturing window using ion beam milling of glass substrate(s)
US6396617B1 (en) 1999-05-17 2002-05-28 Michael Scalora Photonic band gap device and method using a periodicity defect region doped with a gain medium to increase photonic signal delay
US6365284B1 (en) 1999-06-04 2002-04-02 Crown Operations International, Ltd. Flexible solar-control laminates
US6078425A (en) * 1999-06-09 2000-06-20 The Regents Of The University Of California Durable silver coating for mirrors
US6190776B1 (en) 1999-07-07 2001-02-20 Turkiye Sise Cam Heat treatable coated glass
AU7734900A (en) 1999-09-30 2001-04-30 Mark J. Bloemer Efficient non-linear phase shifting using a photonic band gap structure
ATE286602T1 (de) * 1999-11-10 2005-01-15 Denglas Technologies Llc Schichten auf basis von nioboxid für optische dünnfilmbeschichtungen und verfahren zu deren herstellung
US6495263B2 (en) 1999-12-06 2002-12-17 Guardian Industries Corp. Low-E matchable coated articles and methods of making same
US6514620B1 (en) * 1999-12-06 2003-02-04 Guardian Industries Corp. Matchable low-E I G units and laminates and methods of making same
US6475626B1 (en) 1999-12-06 2002-11-05 Guardian Industries Corp. Low-E matchable coated articles and methods of making same
US6339493B1 (en) 1999-12-23 2002-01-15 Michael Scalora Apparatus and method for controlling optics propagation based on a transparent metal stack
US6414780B1 (en) 1999-12-23 2002-07-02 D'aguanno Giuseppe Photonic signal reflectivity and transmissivity control using a photonic band gap structure
WO2001066483A1 (en) * 2000-03-06 2001-09-13 Guardian Industries, Inc. Low-emissivity glass coatings having a layer of nitrided nichrome and methods of making same
DE10196278B3 (de) * 2000-05-31 2015-04-09 Isoflux Inc. Nicht balancierte Plasmaerzeugungsvorrichtung mit zylindrischer Symmetrie
US6497803B2 (en) * 2000-05-31 2002-12-24 Isoflux, Inc. Unbalanced plasma generating apparatus having cylindrical symmetry
US7153577B2 (en) * 2000-07-10 2006-12-26 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with dual layer overcoat
US7462397B2 (en) * 2000-07-10 2008-12-09 Guardian Industries Corp. Coated article with silicon nitride inclusive layer adjacent glass
US7267879B2 (en) 2001-02-28 2007-09-11 Guardian Industries Corp. Coated article with silicon oxynitride adjacent glass
US6576349B2 (en) 2000-07-10 2003-06-10 Guardian Industries Corp. Heat treatable low-E coated articles and methods of making same
US6887575B2 (en) * 2001-10-17 2005-05-03 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with zinc oxide inclusive contact layer(s)
EP1182175A1 (en) * 2000-08-23 2002-02-27 Turkiye Sise Ve Cam Fabrikalari A.S. Heat treatable coated glass
US6416872B1 (en) 2000-08-30 2002-07-09 Cp Films, Inc. Heat reflecting film with low visible reflectance
CA2323569A1 (en) * 2000-10-18 2002-04-18 Advanced Numerical Methods Ltd. Elastic presentation space
JP2003015175A (ja) 2001-04-27 2003-01-15 Mitsubishi Electric Corp 固体光源装置
US6524714B1 (en) 2001-05-03 2003-02-25 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated articles with metal nitride layer and methods of making same
US6627317B2 (en) 2001-05-17 2003-09-30 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated articles with anti-migration barrier layer between dielectric and solar control layers, and methods of making same
US6667121B2 (en) * 2001-05-17 2003-12-23 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with anti-migration barrier between dielectric and solar control layer portion, and methods of making same
US6689476B2 (en) 2001-06-27 2004-02-10 Guardian Industries Corp. Hydrophobic coating including oxide of Ni and/or Cr
US6660547B2 (en) * 2001-07-26 2003-12-09 Osram Opto Semiconductors Gmbh Stabilization for thin substrates
US20030049464A1 (en) * 2001-09-04 2003-03-13 Afg Industries, Inc. Double silver low-emissivity and solar control coatings
US6605358B1 (en) 2001-09-13 2003-08-12 Guardian Industries Corp. Low-E matchable coated articles, and methods
EP1903013A1 (en) * 2001-09-13 2008-03-26 Guardian, Industries Corp. Low-E matchable coated articles, and methods of making the same
US6936347B2 (en) * 2001-10-17 2005-08-30 Guardian Industries Corp. Coated article with high visible transmission and low emissivity
US6942923B2 (en) 2001-12-21 2005-09-13 Guardian Industries Corp. Low-e coating with high visible transmission
US6602608B2 (en) * 2001-11-09 2003-08-05 Guardian Industries, Corp. Coated article with improved barrier layer structure and method of making the same
US6589658B1 (en) 2001-11-29 2003-07-08 Guardian Industries Corp. Coated article with anti-reflective layer(s) system
US6586102B1 (en) 2001-11-30 2003-07-01 Guardian Industries Corp. Coated article with anti-reflective layer(s) system
US6830817B2 (en) 2001-12-21 2004-12-14 Guardian Industries Corp. Low-e coating with high visible transmission
US6919133B2 (en) 2002-03-01 2005-07-19 Cardinal Cg Company Thin film coating having transparent base layer
US6749941B2 (en) 2002-03-14 2004-06-15 Guardian Industries Corp. Insulating glass (IG) window unit including heat treatable coating with silicon-rich silicon nitride layer
US7063893B2 (en) 2002-04-29 2006-06-20 Cardinal Cg Company Low-emissivity coating having low solar reflectance
US7032787B2 (en) * 2002-05-01 2006-04-25 William M. Sherk, Jr. Integrated dispenser
US7122252B2 (en) 2002-05-16 2006-10-17 Cardinal Cg Company High shading performance coatings
US6632491B1 (en) 2002-05-21 2003-10-14 Guardian Industries Corp. IG window unit and method of making the same
US7125462B2 (en) 2002-06-18 2006-10-24 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et Al Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Method of making vehicle windshield using coating mask
US7140204B2 (en) * 2002-06-28 2006-11-28 Guardian Industries Corp. Apparatus and method for bending glass using microwaves
WO2004005975A2 (en) * 2002-07-10 2004-01-15 Denglas Technologies, L.L.C. Method of making stress-resistant anti-reflection multilayer coatings containing cerium oxide
WO2004011382A2 (en) 2002-07-31 2004-02-05 Cardinal Cg Compagny Temperable high shading performance coatings
US6787005B2 (en) * 2002-09-04 2004-09-07 Guardian Industries Corp. Methods of making coated articles by sputtering silver in oxygen inclusive atmosphere
US20040121146A1 (en) * 2002-12-20 2004-06-24 Xiao-Ming He Composite barrier films and method
US7005190B2 (en) * 2002-12-20 2006-02-28 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with reduced color shift at high viewing angles
EP1455045A1 (en) * 2003-03-07 2004-09-08 Thermo Glass Door S.P.A. Glass door and/or fixed glass wall construction for refrigerated cabinets
US7054065B2 (en) * 2003-03-27 2006-05-30 The Regents Of The University Of California Durable silver thin film coating for diffraction gratings
FR2858816B1 (fr) * 2003-08-13 2006-11-17 Saint Gobain Substrat transparent comportant un revetement antireflet
US7087309B2 (en) * 2003-08-22 2006-08-08 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Coated article with tin oxide, silicon nitride and/or zinc oxide under IR reflecting layer and corresponding method
US7153579B2 (en) * 2003-08-22 2006-12-26 Centre Luxembourgeois de Recherches pour le Verre et la Ceramique S.A, (C.R.V.C.) Heat treatable coated article with tin oxide inclusive layer between titanium oxide and silicon nitride
JP2005133110A (ja) * 2003-10-28 2005-05-26 Konica Minolta Opto Inc スパッタリング装置
DE10356357B4 (de) * 2003-11-28 2010-05-06 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Wärmebehandelbares Sonnen- und Wärmeschutzschichtsystem und Verfahren zu dessen Herstellung
US20050224343A1 (en) * 2004-04-08 2005-10-13 Richard Newcomb Power coupling for high-power sputtering
ATE459092T1 (de) * 2004-05-05 2010-03-15 Applied Materials Gmbh & Co Kg Beschichtungsvorrichtung mit grossflächiger anordnung von drehbaren magnetronkathoden
US7901870B1 (en) 2004-05-12 2011-03-08 Cirrex Systems Llc Adjusting optical properties of optical thin films
ATE377579T1 (de) 2004-07-12 2007-11-15 Cardinal Cg Co Wartungsarme beschichtungen
US7565084B1 (en) 2004-09-15 2009-07-21 Wach Michael L Robustly stabilizing laser systems
US20060065524A1 (en) * 2004-09-30 2006-03-30 Richard Newcomb Non-bonded rotatable targets for sputtering
US20060077580A1 (en) * 2004-10-07 2006-04-13 Guardian Industries Corp. First surface mirror with chromium nitride layer
US20060096855A1 (en) * 2004-11-05 2006-05-11 Richard Newcomb Cathode arrangement for atomizing a rotatable target pipe
WO2006080968A2 (en) * 2004-11-15 2006-08-03 Cardinal Cg Company Methods and equipment for depositing coatings having sequenced structures
US7838134B2 (en) * 2004-11-23 2010-11-23 Lawrence Livermore National Security, Llc Durable silver mirror with ultra-violet thru far infra-red reflection
US7923114B2 (en) 2004-12-03 2011-04-12 Cardinal Cg Company Hydrophilic coatings, methods for depositing hydrophilic coatings, and improved deposition technology for thin films
US8092660B2 (en) * 2004-12-03 2012-01-10 Cardinal Cg Company Methods and equipment for depositing hydrophilic coatings, and deposition technologies for thin films
US20060278524A1 (en) * 2005-06-14 2006-12-14 Stowell Michael W System and method for modulating power signals to control sputtering
US20060278521A1 (en) * 2005-06-14 2006-12-14 Stowell Michael W System and method for controlling ion density and energy using modulated power signals
US7597963B2 (en) * 2005-07-08 2009-10-06 Guardian Industries Corp. Insulating glass (IG) window unit including heat treatable coating with specific color characteristics and low sheet resistance
US20070095281A1 (en) * 2005-11-01 2007-05-03 Stowell Michael W System and method for power function ramping of microwave liner discharge sources
US7842355B2 (en) * 2005-11-01 2010-11-30 Applied Materials, Inc. System and method for modulation of power and power related functions of PECVD discharge sources to achieve new film properties
US8025941B2 (en) * 2005-12-01 2011-09-27 Guardian Industries Corp. IG window unit and method of making the same
JP2009534563A (ja) 2006-04-19 2009-09-24 日本板硝子株式会社 同等の単独の表面反射率を有する対向機能コーティング
US7903338B1 (en) 2006-07-08 2011-03-08 Cirrex Systems Llc Method and system for managing light at an optical interface
US20080011599A1 (en) 2006-07-12 2008-01-17 Brabender Dennis M Sputtering apparatus including novel target mounting and/or control
JP5069956B2 (ja) * 2007-06-25 2012-11-07 株式会社神戸製鋼所 成膜装置
US20090068350A1 (en) * 2007-08-10 2009-03-12 Guardian Industries Corp. Method of making coated glass article using a monomeric material, and intermediate product used in same
EP2066594B1 (en) 2007-09-14 2016-12-07 Cardinal CG Company Low-maintenance coatings, and methods for producing low-maintenance coatings
US8477413B2 (en) * 2007-11-02 2013-07-02 Konica Minolta Opto, Inc. Optical element
US8568571B2 (en) * 2008-05-21 2013-10-29 Applied Materials, Inc. Thin film batteries and methods for manufacturing same
US7864431B2 (en) * 2008-06-04 2011-01-04 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Windshield for use with head-up display and/or method of making the same
DE102008034960A1 (de) * 2008-07-25 2010-01-28 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Verfahren und Beschichtungskammer zur Beschichtung eines Substrats mit einer transparenten Metalloxid-Schicht
KR20100028729A (ko) * 2008-09-05 2010-03-15 삼성전자주식회사 복층 구조의 태양 전지 및 그 제조 방법
ES2316321B2 (es) * 2008-10-20 2010-12-14 Abengoa Solar New Technologies, S.A. Recubrimiento absorbente selectivo solar y metodo de fabricacion.
US20110014485A1 (en) * 2009-07-15 2011-01-20 Wilson Stephen S Solar Control Film
EP2501660B1 (en) * 2009-11-19 2017-06-07 Guardian Europe S.à.r.l. Bronze colored coated article with low-e coating
US20110266141A1 (en) * 2010-04-29 2011-11-03 Primestar Solar, Inc. System and methods for high-rate co-sputtering of thin film layers on photovoltaic module substrates
US8557391B2 (en) 2011-02-24 2013-10-15 Guardian Industries Corp. Coated article including low-emissivity coating, insulating glass unit including coated article, and/or methods of making the same
US8790783B2 (en) 2011-03-03 2014-07-29 Guardian Industries Corp. Barrier layers comprising Ni and/or Ti, coated articles including barrier layers, and methods of making the same
US8679633B2 (en) 2011-03-03 2014-03-25 Guardian Industries Corp. Barrier layers comprising NI-inclusive alloys and/or other metallic alloys, double barrier layers, coated articles including double barrier layers, and methods of making the same
US8709604B2 (en) 2011-03-03 2014-04-29 Guardian Industries Corp. Barrier layers comprising Ni-inclusive ternary alloys, coated articles including barrier layers, and methods of making the same
US8679634B2 (en) 2011-03-03 2014-03-25 Guardian Industries Corp. Functional layers comprising Ni-inclusive ternary alloys and methods of making the same
CN102501448A (zh) * 2011-11-07 2012-06-20 中山市格兰特实业有限公司火炬分公司 单银 low-e玻璃
US9869016B2 (en) 2012-02-22 2018-01-16 Guardian Glass, LLC Coated article with low-E coating having multilayer overcoat and method of making same
US9017821B2 (en) 2012-02-22 2015-04-28 Guardian Industries Corp. Coated article with low-E coating having multilayer overcoat and method of making same
FR2988387B1 (fr) 2012-03-21 2017-06-16 Saint Gobain Vitrage de controle solaire
US9919959B2 (en) 2012-05-31 2018-03-20 Guardian Glass, LLC Window with UV-treated low-E coating and method of making same
US9469565B2 (en) 2012-05-31 2016-10-18 Guardian Industries Corp. Window with selectively writable image(s) and method of making same
US10871600B2 (en) 2012-12-17 2020-12-22 Guardian Glass, LLC Window for reducing bird collisions
FR3010074B1 (fr) * 2013-09-05 2019-08-02 Saint-Gobain Glass France Procede de fabrication d'un materiau comprenant un substrat muni d'une couche fonctionnelle a base d'oxyde d'etain et d'indium
TW201525554A (zh) * 2013-12-23 2015-07-01 Largan Precision Co Ltd 光學鏡頭以及可攜裝置
US9650290B2 (en) 2014-05-27 2017-05-16 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique (C.R.V.C.) Sarl IG window unit for preventing bird collisions
DE102014108679A1 (de) 2014-06-20 2015-12-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Optisches Element mit einer reflektierenden Beschichtung
FR3030491B1 (fr) * 2014-12-23 2016-12-30 Saint Gobain Vitrage comprenant un revetement protecteur
WO2016189848A1 (ja) * 2015-05-28 2016-12-01 富士フイルム株式会社 反射防止膜、光学素子および光学系
US10913682B2 (en) * 2015-09-08 2021-02-09 Saint-Gobain Glass France Glazing comprising a functional coating
AU2016332816B2 (en) 2015-09-28 2020-07-23 Tru Vue, Inc. Near infrared reflective coatings
DE102016125042A1 (de) 2015-12-28 2017-06-29 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Infrarotspiegel mit einer thermisch stabilen Schicht
US10578782B2 (en) 2016-04-19 2020-03-03 Apogee Enterprises, Inc. Coated glass surfaces and method for coating a glass substrate
US10280312B2 (en) * 2016-07-20 2019-05-07 Guardian Glass, LLC Coated article supporting high-entropy nitride and/or oxide thin film inclusive coating, and/or method of making the same
US10604442B2 (en) 2016-11-17 2020-03-31 Cardinal Cg Company Static-dissipative coating technology
CN106746727A (zh) * 2016-11-30 2017-05-31 江苏奥蓝工程玻璃有限公司 一种离线可钢化六十透过率低辐射镀膜玻璃及其制备方法
US11472373B2 (en) 2017-04-17 2022-10-18 3E Nano Inc. Energy control coatings, structures, devices, and methods of fabrication thereof
EP3619176A1 (en) 2017-05-04 2020-03-11 Apogee Enterprises, Inc. Low emissivity coatings, glass surfaces including the same, and methods for making the same
CA3073843C (en) 2017-09-18 2024-03-12 Guardian Glass, LLC Ig window unit including laminated substrates for preventing bird collisions
CN108118307A (zh) * 2018-02-08 2018-06-05 广东中钛节能科技有限公司 柔性智能光谱选择性隔热膜及其制备方法
CN108821604B (zh) * 2018-06-29 2021-01-29 江苏亿合门窗科技有限公司 一种具有多功能复合特性的低辐射玻璃
US10301215B1 (en) 2018-07-16 2019-05-28 Guardian Glass, LLC Low-E matchable coated articles having doped seed layer under silver, and corresponding methods
US10640418B2 (en) 2018-07-16 2020-05-05 Guardian Glass, LLC Low-E matchable coated articles having absorber film and corresponding methods
US10787385B2 (en) 2018-07-16 2020-09-29 Guardian Glass, LLC Low-E matchable coated articles having absorber film and corresponding methods
US10759693B2 (en) 2018-07-16 2020-09-01 Guardian Glass, LLC Low-E matchable coated articles having absorber film and corresponding methods
US10752541B2 (en) 2018-07-16 2020-08-25 Guardian Glass, LLC Low-E matchable coated articles having doped seed layer under silver, and corresponding methods
WO2020035818A1 (en) 2018-08-15 2020-02-20 Guardian Glass, LLC Window unit with patterned coating for reducing bird collisions and method of making same
CN112585100B (zh) 2018-12-14 2022-05-06 佳殿玻璃有限公司 在银下方具有掺杂的晶种层的低-e可匹配涂覆制品以及对应的方法
CN113614046B (zh) 2019-03-18 2022-08-09 佳殿玻璃有限公司 具有吸收膜的低e可匹配涂覆制品及相应方法
CN109827918B (zh) * 2019-04-03 2021-08-13 广西壮族自治区冶金产品质量检验站 掺锡氧化铟粉中硅含量的测定方法
CN110028251B (zh) * 2019-05-17 2021-09-28 咸宁南玻节能玻璃有限公司 一种可后续加工含铜双银低辐射镀膜玻璃及制备方法
JP2022552109A (ja) 2019-10-08 2022-12-15 ガーディアン・グラス・エルエルシー 吸収体フィルムを有する低ｅ整合性コーティングされた物品及び対応する方法
WO2021159126A1 (en) 2020-02-07 2021-08-12 Guardian Glass, LLC Low-e matchable coated articles having absorber film and corresponding methods
US11092726B1 (en) 2020-06-19 2021-08-17 Guardian Glass, LLC Window unit having UV reflecting coating with high contrast ratio at large viewing angles for reducing bird collisions
EP4287820A1 (en) 2021-02-02 2023-12-13 Infrascreen SA Screen for greenhouse

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3682528A (en) * 1970-09-10 1972-08-08 Optical Coating Laboratory Inc Infra-red interference filter
US3758185A (en) * 1971-04-01 1973-09-11 Optical Coating Laboratory Inc Thermal control filter
DE2345760A1 (de) * 1973-09-11 1975-07-24 Optical Coating Laboratory Inc Waermefilter
US3978272A (en) * 1974-03-13 1976-08-31 Ppg Industries, Inc. Coated article for solar control and process for its production
US4022947A (en) * 1975-11-06 1977-05-10 Airco, Inc. Transparent panel having high reflectivity for solar radiation and a method for preparing same
US4223974A (en) * 1978-08-02 1980-09-23 American Optical Corporation Enhanced bonding of silicon oxides and silver by intermediate coating of metal
DE2924833C3 (de) * 1979-06-20 1982-05-19 Bfg Glassgroup, Paris Wärmereflexionsscheibe mit farbneutraler Außenansicht und deren Verwendung als Außenscheibe einer Mehrscheibenanordnung
DE3039821A1 (de) * 1980-10-22 1982-06-03 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Mehrschichtsystem fuer waermeschutzanwendung
NO157212C (no) * 1982-09-21 1988-02-10 Pilkington Brothers Plc Fremgangsmaate for fremstilling av belegg med lav emisjonsevne.
DE3307661A1 (de) * 1983-03-04 1984-09-06 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung
US4780372A (en) * 1984-07-20 1988-10-25 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Silicon nitride protective coatings for silvered glass mirrors
US4799745A (en) * 1986-06-30 1989-01-24 Southwall Technologies, Inc. Heat reflecting composite films and glazing products containing the same
US4773717A (en) * 1986-11-03 1988-09-27 Ovonic Synthetic Materials Co. Transparency having a second surface multilayer decorative coating
US4769291A (en) * 1987-02-02 1988-09-06 The Boc Group, Inc. Transparent coatings by reactive sputtering
JPS63242948A (ja) * 1987-03-31 1988-10-07 Asahi Glass Co Ltd 熱線反射ガラス
DE3869270D1 (de) * 1987-08-08 1992-04-23 Leybold Ag Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung sowie durch das verfahren hergestellte scheiben.
JP2518116B2 (ja) * 1988-03-03 1996-07-24 旭硝子株式会社 耐久性の優れた光学体の製造方法
AU616736B2 (en) * 1988-03-03 1991-11-07 Asahi Glass Company Limited Amorphous oxide film and article having such film thereon
US4965121A (en) * 1988-09-01 1990-10-23 The Boc Group, Inc. Solar control layered coating for glass windows
DD276857A1 (de) * 1988-11-11 1990-03-14 Wissenschaftlich Tech Betrieb Verfahren zur herstellung resistenter goldfarbener dekore
JPH02225346A (ja) * 1989-02-27 1990-09-07 Central Glass Co Ltd 熱線反射ガラス
US5073451A (en) * 1989-07-31 1991-12-17 Central Glass Company, Limited Heat insulating glass with dielectric multilayer coating
DE69027590T2 (de) * 1989-08-01 1996-12-05 Asahi Glass Co Ltd Verfahren zur Herstellung von Schichten auf basis von Siliziumdioxyd mittels DC Sputtern und Target dafür
US5106786A (en) * 1989-10-23 1992-04-21 At&T Bell Laboratories Thin coatings for use in semiconductor integrated circuits and processes as antireflection coatings consisting of tungsten silicide
US5047131A (en) * 1989-11-08 1991-09-10 The Boc Group, Inc. Method for coating substrates with silicon based compounds
CA2041038C (en) * 1990-05-10 2001-01-02 Jesse D. Wolfe Durable low-emissivity thin film interference filter
US5377045A (en) * 1990-05-10 1994-12-27 The Boc Group, Inc. Durable low-emissivity solar control thin film coating
WO1992001081A1 (en) * 1990-07-06 1992-01-23 The Boc Group, Inc. Method and apparatus for co-sputtering and cross-sputtering homogeneous films
US5091244A (en) * 1990-08-10 1992-02-25 Viratec Thin Films, Inc. Electrically-conductive, light-attenuating antireflection coating
US5069968A (en) * 1990-12-20 1991-12-03 Ford Motor Company Laminated glazing unit having improved interfacial adhesion
DE4042286C1 (zh) * 1990-12-31 1992-02-06 Leybold Ag, 6450 Hanau, De
JPH04300227A (ja) * 1991-03-28 1992-10-23 Central Glass Co Ltd ＴｉＳｉＮ系薄膜被覆ガラス
DE4135701C2 (de) * 1991-10-30 1995-09-28 Leybold Ag Scheibe mit hohem Transmissionsverhalten im sichtbaren Spektralbereich und mit hohem Reflexionsverhalten für Wärmestrahlung
TW221703B (zh) * 1992-03-04 1994-03-11 Boc Group Inc
US5302449A (en) * 1992-03-27 1994-04-12 Cardinal Ig Company High transmittance, low emissivity coatings for substrates
US5344718A (en) * 1992-04-30 1994-09-06 Guardian Industries Corp. High performance, durable, low-E glass
US5229881A (en) * 1992-06-10 1993-07-20 Tempglass Eastern, Inc. Low transmission low emissivity glass window and method of manufacture
US5337191A (en) * 1993-04-13 1994-08-09 Photran Corporation Broad band pass filter including metal layers and dielectric layers of alternating refractive index

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1842503B (zh) * 2003-06-26 2010-06-16 法国圣戈班玻璃厂 有反射红外线和/或太阳辐射的多个薄层的叠层的玻璃板
CN100419473C (zh) * 2005-07-14 2008-09-17 甘国工 等离子体显示器的具有防电磁辐射及滤光功能的滤光板
CN101304956B (zh) * 2005-11-08 2012-05-30 法国圣戈班玻璃厂 备有具有热性能的多层涂层的基材
CN101244898B (zh) * 2008-01-25 2011-05-11 东莞南玻工程玻璃有限公司 金色低辐射镀膜玻璃及其制作方法
CN102272065A (zh) * 2008-11-04 2011-12-07 顶峰企业公司 经涂布的玻璃表面和涂布玻璃基片的方法
CN102272065B (zh) * 2008-11-04 2015-06-03 顶峰企业公司 经涂布的玻璃表面和涂布玻璃基片的方法
CN101887134A (zh) * 2010-05-31 2010-11-17 北京科技大学 一种红外窗口保护膜材料、其应用及其制备方法
TWI410324B (zh) * 2011-07-29 2013-10-01
CN110104961A (zh) * 2013-08-16 2019-08-09 葛迪恩实业公司 一种具较低可见光透射率低辐射涂层的涂层制品
CN110104961B (zh) * 2013-08-16 2022-03-01 佳殿玻璃有限公司 一种具较低可见光透射率低辐射涂层的涂层制品
CN106536848A (zh) * 2014-07-30 2017-03-22 乐金华奥斯有限公司 低辐射涂层及包括低辐射涂层的窗户用功能性建筑材料
US10415300B2 (en) 2014-07-30 2019-09-17 Lg Hausys, Ltd. Low-emissivity coating and functional construction material for window/door comprising low-emissivity coating
CN106536848B (zh) * 2014-07-30 2019-01-15 乐金华奥斯有限公司 低辐射涂层及包括低辐射涂层的窗户用功能性建筑材料
CN110418710A (zh) * 2016-12-20 2019-11-05 墨西哥平板玻璃可变资本股份有限公司 用于玻璃基材的低发射率涂层
CN110461790A (zh) * 2017-02-23 2019-11-15 佳殿玻璃有限公司 具有基于氮化钛和ito的ir反射层的可热处理涂覆制品
CN110506033A (zh) * 2017-03-09 2019-11-26 佳殿玻璃有限公司 具有带有ir反射层和含铪的高折射率氮化电介质层的低e涂层的涂覆制品
CN117266423A (zh) * 2023-11-21 2023-12-22 天津包钢稀土研究院有限责任公司 一种用于被动房和绿色建筑的保温隔热节能玻璃幕墙
CN117266423B (zh) * 2023-11-21 2024-02-09 天津包钢稀土研究院有限责任公司 一种用于被动房和绿色建筑的保温隔热节能玻璃幕墙

Also Published As

Publication number Publication date
DE69421746T2 (de) 2000-07-06
CA2120875A1 (en) 1994-10-29
ATE186991T1 (de) 1999-12-15
AU678207B2 (en) 1997-05-22
JP2625079B2 (ja) 1997-06-25
DE69421746D1 (de) 1999-12-30
CA2120875C (en) 1999-07-06
AU5934994A (en) 1994-11-03
EP0622645B1 (en) 1999-11-24
US5563734A (en) 1996-10-08
ES2139050T3 (es) 2000-02-01
JPH06347640A (ja) 1994-12-22
EP0622645A1 (en) 1994-11-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1100812A (zh) 低热辐射系数控制阳光的耐用薄膜覆盖层
CN1111140C (zh) 带涂层的制品
CN1209489C (zh) 锌锡合金溅射靶
CN1777690A (zh) 采用钛与铝材料的混合物涂覆的衬底,制备该衬底的方法和钛与铝金属的阴极靶材
CN1195694C (zh) 涂覆的玻璃基体及其制法、用途
CN1747907A (zh) 载有涂层叠层的玻璃板
CN112130233B (zh) 硬质抗反射涂层及其制造和用途
CN1134921A (zh) 双银层、低辐射率玻璃涂层系统和用其制造的绝热玻璃构件
JP5529528B2 (ja) 透明支持体の高耐熱性低輻射率多層系
CN1047578C (zh) 镜子的生产方法和包括带有涂层的玻璃基底的镜子
WO2013168592A1 (ja) 積層体用の前面ガラス板および積層体
CN1111217A (zh) 热处理可转变的镀膜玻璃及其转变方法
CN1867522A (zh) 包括抗反射涂层的透明基材
MX2008002527A (es) Pilas de recubrimiento delgadas, de baja emisividad (baja e) con capas antidifusion intermedias.
CN1078219A (zh) 高性能和耐久的低辐射率玻璃及其制造方法
CN1142469A (zh) 能热处理的、耐久的、红外反射的溅射镀膜玻璃及其制造方法
CN100345005C (zh) 反射体、反射体的用途以及反射体的制造方法
US20090233037A1 (en) Reflective article having multiple reflective coatings
CN1365344A (zh) 制造低浑浊度涂层的方法及用该方法制造的涂层和涂装制品
JP4498273B2 (ja) 反射体及びその用途
CN1213958C (zh) 制备一种多层的、并经紫外线照射交联化/致密的光学材料的方法以及由该方法制备的光学材料
CN1332672A (zh) 层叠体及其制造方法
EP2998112B1 (en) Protective film, reflective member, and production method for protective film
US20100255294A1 (en) Heat reflecting glass and process for producing heat reflecting glass
JP2008543713A (ja) 被覆ガラス板

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
AD01 Patent right deemed abandoned
C20 Patent right or utility model deemed to be abandoned or is abandoned