CN1129980A - 电容压力传感器 - Google Patents

Abstract

电容压力传感器(10)包括设在两个气密地分开的腔室(60，64)之间的薄膜(20)。薄膜的外周由凹形的基座(30)所支撑。电极组件(40)具有一个与该导电薄膜相对置并且被一个标称的缝隙所分隔开的基本上为平面的导电表面(42a)。该电极组件包括该导电表面和一个固定到基座部件并通过其而延伸的支撑部件(44)。玻璃绝缘部件(46)将该支撑部件固定到一个环套(48)上，环套(48)可熔接、硬焊或焊接到基座部件上。玻璃绝缘部件在电极和外罩之间提供机械支撑和电绝缘。通过预制成带环套的电极支撑部件和在绝缘部件固定后将环套固定到外罩上，可以低成本来避免热膨胀带来的问题并准确地控制标称缝隙的尺寸。

Description

电容压力传感器

本发明的背景技术

本发明是关于压力传感器，更具体地说，这种压力传感器依靠电容变化来指示压力的涨落。

在先有技术中，电容压力传感器是众所周知的。这种传感器通常包括一个具有刚性平面导电表面的固定元件，构成基本上平行的平板电容器的一个极板。一个可变形导电元件，例如金属箔薄膜，构成该电容器的另一极板。通常，这个薄膜是由边缘支撑的，从而使其中央部分基本上平行于固定极板并与之相对。由于传感器一般具有平行板电容器的形状，所以传感器的特征电容与薄膜中央部分和固定元件导电表面之间的缝隙宽度d成反比。为了允许在薄膜两侧形成一个压力差，在薄膜一侧的区域被密封成与另一侧的区域隔绝。

在实践中，对薄膜的弹性加以选择，以使加在薄膜上的具有特定感兴趣范围的压力差引起薄膜中央部分的位移。这些由压力差引起的位移造成两个电容极板间缝隙d的相应变化，从而造成由传感器电容器产生的电容变化。为了有较高的灵敏度，这种传感器要求能以大的电容变化来响应相对较小的缝隙变化。为了从一个单元到一个单元地实现这种灵敏度，标称的缝隙尺度通常要求所制造的各组成部件具有很高精度的公差，以建立起所需要的尺度关系。此外，其结构和材料还必须在所使用的温度范围上保持这些关系。

以本发明的受让人Setra Systems公司制造的237型换能器中的传感器为例，这种先有技术的传感器的构成形式是：利用一个不导电的玻璃部分将固定的金属电极相对于薄膜支持部分支撑起来。由于玻璃部分、金属电极以及薄膜支持部件三者之间热膨胀系数的差异，所以温度变化会引起固定电极和薄膜(亦即电容器两极板)之间缝隙大小的变化，使得这种传感器在一个较小的温度区间才能给出可靠的压力读数。此外，这种传感器的制造费用较高。

再有，在制造这种传感器的过程中，通常是在玻璃处于熔融状态时将固定电极置入玻璃部分之中的。随着该组合件的冷却，形成了机械应力，这种机械应力通常会改变所希望的初始缝隙尺度或降低电容极板之间的平行程度。在组合件冷却之后，可能需要对固定电极进行机械加工(例如研磨或抛光)以重建这个至关重要的缝隙和平行度。考虑到这些处理步骤，这种传感器比较难于制造，相应地其制造费用也较高。

另一种类型的先有技术传感器是转让给本发明受让人的美国专利4,358,814号中披露的一种传感器。这种先有技术的传感器以Setra Systems公司制造的264型和C264型换能器和发射机为实例，它包括一个杯状或者凹形的金属基座部件，它与该基座部件底部中心处的一个基座支撑物相耦合。该基座部件包括一个从基座边缘向外扩展的外围凸缘部分，这个凸缘除了外缘降低之外总体上是一个平面。一个较薄的可变形的导电薄膜跨越基座部件的外围凸缘放置。一个其表面与基座凸缘互补的锁固环被固定在薄膜边缘及凸缘上，从而使薄膜在张力下锁固在凸缘上。

一个电极组合部件固定在基座支撑物上，并且处于基座部件和薄膜组合件形成的闭合空间中。该电极组合件包括一个具有平面部分的导电电极和一个不导电支撑部件。该支撑部件与基座支撑物相连，从而使电极的平面部分基本上平行基座部件凸缘并与其相距一个预先确定的距离d。在这种结构中，薄膜和电极平面部分构成一个平行板电容器。再有，响应于压力差，薄膜发生位移，造成相应的电容变化。与电容器的电连接是这样实现的：对基座部件的直接连接实现了与一个极板的电连接，而与电极平面部分形成的极板是通过引线来连接的。

后一种先有技术传感器在测量压力方面是有效的。再有，这里几乎没有高精度部件和复杂的组装操作，唯一的关键的尺度组合操作是使电极相对于基座部件凸缘的初始对位。因为这一步骤只涉及室温下的固体材料，所以建立的机械应力极小。再有，因为没有玻璃—金属支撑物，所以没有温度系数不匹配问题。因此，这种先有技术提供了一种高灵敏度宽温度范围的电容压力传感器。

然而，后一种类型的先有技术传感器由于其较为复杂和较高的制作费用，使得尚未实际投入某些市场。高制作费用的部分原因是必须控制该传感器金属电极的厚度及主容器的尺度公差。通常被支持在陶瓷盘上的金属电极也需要高成本。此外，还需要一个外壳来容纳传感器和测量电路。

本发明的目的是提供一种改进的压力传感器。

另一个目的是提供一种较便宜且易于制造的高性能压力传感器。

本发明概要

本发明是一种改进的电容压力传感器，使之适应于使用低成本而且易于组装的构造进行高精度压力测量。该传感器包括一个导电薄膜或具有导电部分的薄膜，它位于两个由空气分开的腔室之间。该薄膜在其边缘处由一凹形基座部件支撑，限定了一个处在该基座部件内部的一个区间，而且这个区间部分地以薄膜的第一侧面为边界面。一个电极组合体刚性耦合在基座部件上并形成一个与导电薄膜相对的、由一个标称缝隙均匀分开的导电表面。这个导电表面最好是平面，但也可以稍有不同，例如稍稍凹陷，以适应于该薄膜在使用中的预期的最大形变。

电极组合体包括一个导电表面，它与薄膜由一个缝隙d均匀分开。这里所使用的术语“均匀分开”或“均匀分离”被定义为在两个表面的相邻位置之间的距离基本上是一常数。两个基本上是平面的表面也可以认为是基本上平行的。两个不为平面的表面可以是基本上互补的。在某些结构中也可能希望一个或两个表面是不连续的。例如，表面可能有一个孔或者有一部分距另一表面的距离大于缝隙标称值d。

导电表面由一电极支撑部件来支撑，该支撑部件基本上垂直于导电表面延伸。电极支撑部件包括一个导电部分，它与导电表面电连接，以把电容值传送穿过基座部件。电极支撑部件与一圆柱状环套呈同心放置并用绝缘材料使其固定于该环套上，于是该支撑部件(因而其导电表面)与基座部件电绝缘。作为举例，这种绝缘材料可以是玻璃或环氧树脂。在绝缘材料硬化或凝固之后，由胶粘或焊接使圆柱状环套固定到基座部件上，以使电极相对于薄膜处于适当的位置。当使用绝缘胶时，可以提供一个跨接导线将环套与基座部件电连接。

利用这种结构，便可在薄膜和电极支撑物之间耦合成一个电容检测电路，于是当薄膜两侧压力差发生变化造成薄膜相对于电极发生位移时能够测量其电容的变化。

在一个实施例中，电极的导电表面被气密地封闭于由该基座部件和薄膜所确定的腔室内。这种结果允许使腔室抽成真空，从而使传感器能用于测量绝对压力。

在另一个实施例中，上外罩可以由类似于基座部件和电极组合件但是面向薄膜的第二侧面的元件代替，并包括第二电容检测电路。这后一种结构提供了与传统压力传感器不同的推挽式(push-pull)传感方式。

在另一个实施例中，上外罩可以由上基座部件和电极组合件代替，它们类似于下基座部件和电极组合件，但面向下基座部件，在二者之间没有薄膜。在这个实施例中，任一个或两个基座部件可以基本上是柔性的，而且两个电极气密地封闭于由上下基座部件构成的单个腔室中。在密封后，这种结构适用于测量绝对压力，包括测量大气压。附图简述

结合所附图阅读下文中的描述，可以更充分地理解本发明的前述目的及其他目的、本发明的各种特点以及发明本身。这些附图是：

图1给出根据本发明的一种传感器的透视图；

图2A是图1所示传感器的一个实施例的截面图；

图2B是图1所示传感器的第一替代实施例的截面图；

图2C是图1所示传感器的第二替代实施例的截面图；

图2D是图1所示传感器的第三替代实施例的截面图；

图3A是图2中电极组合件的详细图；

图3B是图2中电极组合件的分解图；

图4A是本发明的第一替代实施例的截面图；

图4B是本发明的第二替代实施例的截面图；

图5显示出根据本发明的传感器的制造方法。

最佳实施例描述

图1和图2A-2D显示的电容传感器10包括一个凹形或杯状基座部件30，它有一个环形外缘28处在一个平面内(在图2A-2D中由虚线15表示)并围绕一参考轴线32对称地延伸。提供了一个第一开口34，以允许电极组合体40的一部分穿过基座部件30延伸。在该最佳实施例中，基座部件是由冲压成形的金属薄片(最好是不锈钢)制成的，当然也可以使用其他金属或合金以及其他构造技术。

如图2A所示，一个相对较薄的可变形导体薄膜20穿过基座30延伸，从而使其外边缘复盖在边缘28之上。在一种结构中，薄膜20可以由不锈钢制成，其厚度在0.0002至0.030英寸范围内。另一种结构如图2B所示，薄膜20a可以有皱纹，从而允许更大的线性运动。这种薄膜的一种形式由美国专利4,434,203号披露，它在本文中引入作为参考。该薄膜可以是一金属箔，或者是带有一个导电部分的非导体材料，例如，可由沉积的导体膜形成这一导电部分。在图2C和2D中所示的另一实施例中，薄膜可以是非平面形的。

一个凹形或杯状外罩50置于薄膜20之上。外罩50包括一个压力口52和一个外围凸缘54，该凸缘54可以通过折叠、卷曲或其他方法附着在基座部件外边缘28上，使薄膜20的外缘被压住从而基本上形成一个平板，并在边缘形成不透气的密封。其结果是建立了两个有意义的分开的腔室60和64：如图2所示第一腔室60位于薄膜20下方，如图2所示第二腔室64位于薄膜上方。通过与压力口36和52相连的接头可分别对这两个腔室加压力，从而在薄膜20两侧建立压力差。薄膜20的中央部分可以根据这个压力差沿轴32方向运动。

电极组合件40置于腔室60中。如图3A和图3B中所展示的那样，电极组合体40包括一个电极部件42，一个支持部件44，一个绝缘部件46以及一个圆柱状环套48。电极部件42最好是金属冲压成形的、由不锈钢制成的、基本上是平面的圆盘。电极部件42最好具有一基本上是平面的顶表面12a，但在本发明的某些构成形状中，该表面可以有弯曲(如图3A和3B中虚线所示)，以与薄膜的弯曲或当偏斜或变形(例如由于压力差)时的预期弯曲相匹配，但这种弯曲仍限于本文所用术语“基本上是平面”这一意义之内。如图2C和2D所未，在本发明的其他构成形式中，电极部件顶表面42a可以是曲面或与薄膜20形状互补的其他形状。如图2D中所示的平面的带凹陷部分的电极部件顶表面42b也可以有效地与图2C中所示弯曲薄膜一起使用。

如图3B所示，支撑部件44最好是圆柱状的针形，最好是不锈钢制作的，它可以有一个平头43和尖顶45。支撑部件44不仅用于支持电极部件42使其处在腔室60内的位置上，而且用于将电容信号传导到基座部件30的外部。支撑部件44的一端牢固地固着于电极部件42上，例如通过熔接、焊接或硬焊。在最佳实施例中，对支持部件44的平头43提供了一个尖顶45以便于将支撑部件44熔焊到电极部件42上。

首先，在支撑部件44固定于电极部件42之前，先由绝缘部件46将支撑部件44的另一端按同心方式与圆柱状环套48相固定。在本发明的最佳构成形式中，绝缘部件46是由具有(与基座30)匹配温度系数的介电粘接材料制成(从而使电极42与薄膜20电绝缘)，例如使用环氧树脂、玻璃或塑料，这种材料由于温度或催化反应而硬化或恢复，从液态变成固态。在绝缘部件46上完全硬化之后，例如通过熔焊连接将电极部件42牢固地连接于部件44上。这种处理过程允许部件44在空间上与部件42最佳地对位。然后再用粘接、熔焊、焊接或硬焊将圆柱状环套固定在基座30上。

如图2A-2D所示，圆柱状环套48可以以多种不同的方式固定于基座部件30上。第一开口34略大于圆柱状环套48的直径，于是在基座部件30和环套48之间的缝隙中形成接合部38。如图2A所示，接合部38是由焊接或硬焊形成的，因而基座30与圆柱状环套48呈电连接。当由粘胶之类的介电材料形成接合部38a(如图2B所示)时，可增加一跨接线39以提供电连接。图2C和2D所示的焊接接合部38b可以由例如TIG焊接来实现。在需要气密封的结构中最好使用这类接合部。

在最佳实施例中，首先将电极组合件40和基座部件30设置于固定位置，以建立所需缝隙d，然后再将环套48固定在基座部件30上。绝缘部件46与环套48结合，提供了双重功能：使电极42相对于基座部件外缘精确定位，同时提供所需要的电绝缘。作为举例，可以用一种根据部件44和48的热胀系数而选定其热胀系数的玻璃来制作绝缘部件46，以形成压缩密封，或者当需要时形成零应变密封。

在可变温度条件下，构成绝缘部件46的绝缘材料可能引起电极和主外罩之间的极小的相对运动。众所周知，金属材料的热胀系数常常与介电材料的热胀系数显著不同。上面描述的结构使电极部件44相对于基座部件30的位置移动达到极小。在温度变化条件下，在接合部的应力可能会变化，但在电极支撑部件44和基座部件30之间基本上没有净相对运动。

绝缘部件46的绝缘材料的介电常数最好是对温度和湿度比较不敏感。本发明的一种构成形式中，绝缘材料中含有某种稳定介电材料的粉末(例如矾土粉末)颗粒。这种粉末填充物控制接合部材料的热特性。它也减小粘接材料对湿汽的吸收。

借助支撑部件44和环套48的筒式内轮廓之间的接合部，绝缘部件46构成了支持部件44和圆柱状环套48之间的强固而稳定的粘接。结果，电极42和基座部件30构成很稳定的刚性结构，它可抵抗各个方向上的冲击和振动效应。

利用上述结构，一个电容压力传感便构成了，这里的薄膜20和电极部件42有效地构成了一个“平行”板电容器，其特征电容的变化与d成反比(d之值与薄膜20两侧的压力差有关)。

除了本发明的上述实施例造价低和结构简单外，因为可以使用简单的低成本的技术来组装传感器10，从而获得更大的优越性。更具体地说，在分别构成部件30和40之后，如图5所示，可以把电极组合件40以其表面42a向下地安置于由平面工作面68支持的垫片上，该垫片的厚度为do(这里do对应于薄膜20在预期的零偏移时到表面42a的距离)。然后，可以倒转基座部件30并放置到电极组合件40之上，以其电极支撑44的末端穿过基座部件30的第一开34。然后把环套48粘到基座部件30上，于是组合的电极和基座部件结构可以倒置，薄膜20可以与外罩部件50一起固定到位，从而完成组装，不需要特殊的研磨或抛光来修复电极的缝隙或平行性。

图4A示出传感器10′，它与图2A-2D的传感器10类似，但其外罩50已由类似于于基座部件30和电极组合件40的一个组合件代替。图4A中相应于图2中部件的那些部件用同样数字加(′)表示。图4A中的传感器10′的操作方式与系统10的操作方式类似，但有推挽结构；更具体地说，固定平面电极表面42a和42a′之间的距离是固定的(D)，即d＋d′＝D。这种推挽传感器在已知的先有技术电路结构中是有用的，例如由美国专利4,386,312和4,054,833号(已转让给本发明的受让人)中提出的那些传感器。

图4B给出的传感器10″与图4A中的传感器10′类似，只是传感器10″中的上基座部件30′和下基座部件30之间没有薄膜。上基座部件30″和下基座部件30连在一起构成密封腔室60。在这个实施例中，两个基座部件中任何一个或两个实际上是可变形的，从而允许上电极40′和下电极40之间的缝隙随着密封腔室60内的压强与腔室外部压强之差而变化。在一个实施例中，腔室60可通过压力通道36抽成真空，然后再把该通道密封。这种结构对测量绝对压强(包括测量大气压强)有用。

除了如上面描述的传感器10、10′和10″结构外，每个传感器可包括一个电子电路。这个电路可设于一个印刷电路板上，它可由基座部件30支持或由外部容器支持。该电路可通过支撑部件44经由从电路板延伸出来的弹簧触点与电极42相连。

本发明也可以以其他具体形式实现而不偏离本发明的精神或基本特征。所以这里提供的实施例在各方面都应理解为示例而不是限制，本发明的范围由所附权利要求书指明而不是由前面的描述指明，所以，在权利要求书的等效的含义和范围内所做的一切改变都将认为是被包含其中的。

Claims (30)

1.一种电容压力传感器，包括：

一个薄膜，它有导电的可位移的部分；

一个第一刚性凹形基座部件，围绕一中心轴线向外延伸，并有一个外缘位于第一平面上，所述第一平面垂直于所述中心线；

用于将所述薄膜的第一侧面的外缘固定于所述第一基座部件的所述外缘的装置，从而使所述薄膜的一部分基本上位于所述第一平面中，并与所述第一基座部件构成一个第一腔室；

固定连接于所述第一基座部件的第一电极组合件，并包括

第一导电表面，它与所述薄膜之间由缝隙d基本上均匀地分开，以及

第一电极支撑装置，沿所述中心轴线延伸，用于相对于所述第一基座部件固定地支撑所述导电表面、用于提供穿过所述第一基座部件的与所述导电表面的电连接、还用于使所述第一电极支撑装置与所述第一基座部件电绝缘。

其中，所述第一电极支撑装置由沿着所述中心轴延伸的细长针构成，该细长针的一端连接所述第一导电表面，以及一个圆柱状环套，与所述长针同心地安排在所述细长针一部分的周围，而且

其中，所述第一电极支撑装置还包含一个介电材料，它所述环套同心地设置以支持所述细长针，还具有用于将所述环套固定连接于所述第一基座部件的固定装置。

2.根据权利要求1的传感器，其特征在于，所述介电材料包含玻璃材料。

3.根据权利要求1的传感器，其特征在于，

所述第一导电表面被气密地封闭于由所述薄膜、所述第一刚性凹形基座部件和所述第一电极支撑装置构成的所述第一腔室内。

4.根据权利要求1的传感器，其特征在于，

所述第一导电表面是平面。

5.根据权利要求1的传感器，其特征在于，

所述第一导电表面是凹形的。

6.根据权利要求1的传感器，其特征在于，

所述第一导电表面包括一个与所述薄膜在空间上隔开的凹槽部分。

7.根据权利要求1的传感器，其特征在于，

所述第一电极支撑装置被熔焊于所述基本上是平面的导电表面。

8.根据权利要求1的传感器，其特征在于，包括：

一个凹形外罩部件，其边缘固定于所述第一基座部件的所述外缘上。

9.根据权利要求1的传感器，其特征在于，

所述薄膜的中央部分受到径向张力。

10.根据权利要求9的传感器，其特征在于，

所述第一基座部件的所述外缘包括第一基座凸缘，并且所述固定装置包括

一个固定凸缘，它有与所述第一基座凸缘互补的表面；以及用于把所述第一基座凸缘和所述固定用凸缘固定在所述薄膜边缘的相对两个侧面的装置。

11.根据权利要求10的传感器，其特征在于，

所述第一基座凸缘是平面。

12.根据权利要求10的传感器，其特征在于，

所述第一基座凸缘是圆锥形的。

13.根据权利要求10的传感器，其特征在于，

所述第一基座凸缘包括一个周边凹陷。

14.根据权利要求1的传感器，其特征在于，还包括

第二刚性凹形基座部件，它围绕所述中心轴向外延伸，其外缘位于第二平面上，所述第二平面垂直于所述中心轴；

用于将所述薄膜的第二侧面的外缘固定于所述第二基座部件的所述外缘的装置，从而使所述薄膜的一部分基本上位于所述第二平面中并与所述第二基座部件形成第二腔室，

第二电极组合件，固定连接于所述第二基座部件上，并包括

第二导电表面，它与所述薄膜之间基本上由缝隙d均匀分开，以及

第二电极支撑装置，沿所述中心轴延伸，用于相对于所述第一基座部件固定地支撑所述导电表面、用于提供穿过所述第二基座部件的与所述导电表面的电连接、还用于使所述第二电极支撑装置与所述第一基座部件电绝缘。

其中，所述第一电极支撑装置和所述第二电极支撑装置当中至少有一个包含一个沿所述中心轴线延伸的细长针，它的一端与所述相应的导电表面相连，还有一个圆柱状环套，与所述细长针同轴安排在所述细长针的一部分的周围，并且

其中所述第一电极支撑装置和所述第二电极支撑装置中至少有一个还包含一个介电材料与所述相应的环套同心放置以便支撑所述相应的细长针，

15.根据权利要求14的传感器，其特征在于，所述介电材料包含玻璃材料。

16.根据权利要求14的传感器，其特征在于，

所述第一导电表面和所述第二导电表面中至少有一个被气密地封闭于由所述薄膜、所述相应的刚性凹形基座部分和所述相应的电极支撑装置构成的所述相应的腔室内。

17.根据权利要求14的传感器，其特征在于，

所述第一导电表面和所述第二导电表面中至少有一个是平面。

18.根据权利要求14的传感器，其特征在于，

所述第一导电表面和所述第二导电表面中至少有一个是略呈凹形的。

19.根据权利要求14的传感器，其特征在于，

所述第一导电表面和所述第二导电表面中至少有一个包含一个与所述薄膜在空间上隔开的凹槽。

20.根据权利要求14的传感器，其特征在于，

所述第一电极支撑装置和所述第二电极支撑装置中至少有一个被熔焊于所述相应的基本上是平面的导电表面。

21.一个电容压力传感器，包括：

一个薄膜，它有一导电的可位移的部分，

一个第一刚性凹形基座部件，它围绕一中心线向外延伸，并有一外缘位于第一平面上，所述第一平面垂直于所述中心轴线，

用于将所述薄膜的第一侧面的外缘固定于所述第一基座部件的所述外缘的部件，从而使所述薄膜基本上位于所述第一平面中，并构成具有所述第一基座部件的第一腔室，

第一电极组合件，它固定连接于所述第一基座部件，并包括：

一个基本上是平面的导电表面，它基本上与所述薄膜平行并与所述薄膜相距一缝隙d，

第一电极支撑部件，沿所述中心轴延伸，它包括一个导电部分与所述第一导电表面相连，

一个圆柱状环套，其中心纵轴线与所述中心轴线对齐，并固定于所述第一基座部件上，以及

一个绝缘部分，沿所述纵轴线中心固定所述第一电极，并将所述导电部分与所述第一基座部件绝缘。

22.根据权利要求21的电容压力传感器，其特征在于，

所述基本是平面的导电表面被气密地封闭于所述第一腔室内。

23.根据权利要求21的电容压力传感器，其特征在于，

所述介电体为玻璃材料，而且

所述第一电极支撑部件和所述圆柱状环套为不锈钢材料的。

24.一种电容压力传感器，包括：

第一凹形基座部件，它围绕一中心轴线向外延伸，并具有一外缘处于第一平面中，所述第一平面与所述中心轴垂直，

第一电极组合件，它固定连接于所述第一基座部件，并包括

第一导电表面，它与所述第一平面由缝隙d1基本上均匀地分开。

第一电极支撑装置，它沿所述中心轴延伸，用于支撑所述导电表面，以便用于提供穿过所述第一基座部件的与所述导电表面的电连接，还用于使所述第一电极支撑部件与所述第一基座装置电绝缘，

第二凹形基座部件，它围绕所述中心轴向外延伸，并有一外缘处于第二平面中，所述第二平面与所述中心轴垂直，

用于将所述第一基座部件的外缘固定于所述第二基座部件的装置，从而使所述第一平面基本上平行于所述第二平面，并在所述第一基座部件和所述第二基座部件之间形成第一腔室，

第二电极组合件，它固定连接于所述第二基座部件，并包括

第二导电表面，它与所述第二平面之间由缝隙d2基本上均匀地分开，

第二电极支撑装置，它沿所述中心轴线延伸，用于支撑所述导电表面，用于提供穿过所述第二基座部件的与所述导电表面的电连接，还用于使所述第二电极支撑装置与所述第二基座部件电绝缘，

其中所述基座部件中至少有一个沿所述中心轴线方向是柔性的，从而使d₁＋d₂之和至少部分地依赖于所述腔室内外压强差。

25.根据权利要求24的传感器，其特征在于，

所述第一电极支撑装置和所述第二电极支撑装置中至少包括一个带有沿所述中心轴延伸的细长针，该细长针的一端固定于所述相应的导电表面。

26.根据权利要求24的传感器，其特征在于，

所述第一电极支撑装置和所述第二电极支撑装置中至少有一个包括沿所述中心轴线延伸的细长针，该细长针的一端固定于所述相应的导电表面，还具有一圆柱状环套同轴安置于所述细长针一部分的周围。

27.根据权利要求26的传感器，其特征在于，

所述第一电极支撑装置和所述第二电极支撑装置中至少包括与所述相应环套同轴设置的支撑所述细长针的介电材料。

28.根据权利要求27的传感器，其特征在于，所述介电材料含有玻璃材料。

29.根据权利要求24的传感器，其特征在于，

所述第一导电表面和所述第二导电表面被气密地封闭于所述腔室之内。

30.根据权利要求24的传感器，其特征在于，

所述第一电极支撑装置和所述第二电极支撑装置中至少有一个被熔焊于所述相应的平面导电表面。

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