CN1216149A - 等离子显示器的制造方法和制造装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开等离子显示器的制造方法,特征是,在已形成了多个隔壁的基板上,由具有多个排出口的喷料板连续地排出含有荧光体粉末和有机化合物的荧光体膏料,以形成荧光体层。另外,由具有排出口的喷料板将含有发红、绿、蓝色光线的荧光体粉末的三种荧光体膏料按条状分别涂敷在基板上的隔壁之间的空间处,然后将其加热以形成荧光体层。另外,本发明公开等离子显示装置,特征是,它具有用于将一块在表面上已形成了多个隔壁的基板固定的桌台、带有多个面朝上述基板隔壁的排出口的喷料板、用于向上述喷料板供给荧光体膏料的供给装置、用于使上述桌台与上述喷料板在三维方向上进行相对移动的移动手段。
Description
技术领域
本发明涉及一种适合作为壁挂式电视或用于信息显示等的显示器使用的新式等离子显示器的制造方法及其制造装置。
近年来，由于多介质的进展，用于显示多种多样信息的显示器的作用正日益增加。与此相联系，人们力求显示器的大型化和薄型化，并且液晶显示器已被用于以笔记本计算机为首的诸多领域。然而，由于大型化时的价格和响应速度方面的原因，液晶显示器难以用于大型的电视中。因此，作为大型显示器的前景，等离子显示器正受到人们重视。
本发明涉及一种用于提供等离子显示器的装置，该装置能够形成用于该领域中的高精细等离子显示器的荧光体层。
先有技术
等离子显示器是在其前面板和背面板之间所形成的放电空间内产生放电作用。由于这种放电作用，使得氙气产生一种以波长147nm为中心的紫外线，而该紫外线又激发荧光体，从而可以显示。利用驱动回路使分别涂敷有能发出红、绿、蓝光线(RGB)的荧光体的放电元件发光，从而可以产生对应的全色显示。
另外，最近积极开发的AC型等离子显示器具有如下结构：形成有显示电极/电介质层/保护层的前面玻璃基板与形成有寻址电极/电介质层/隔壁层/荧光体层的背面玻璃基板相互粘合在一起，在被条状的隔壁分隔成的放电空间中封装入He-Xe或Ne-Xe的混合气体。
过去，作为形成为等离子显示器所必须的红、绿、蓝(RGB)的荧光体层的方法，主要是使用以一种由荧光体粉末和粘合剂树脂组成的荧光体膏料为原料的丝网印刷法。该方法是在网板上与隔壁之间的空间相符合的部位设置开口部，其余部分则用乳剂遮盖，在如此形成的网板上涂刷上述的膏料，从而使该荧光体膏料通过网孔只转印至必要的区域，也就是隔壁之间的空间处。
另外，在日特开平6-5205号公报中提出了一种在进行丝网印刷后再使用喷砂的方法，以及在日特开平5-144375号公报中提出了一种在涂敷了交联剂之后进行丝网印刷的方法。
然而，对于使用丝网印刷的方法来说，在印刷反复进行时网板的形状容易发生变化，因此其精度低，难以形成一种能适用于高精细的等离子显示器的荧光体层，这是其缺点。另外，由于需要频繁地更换高价的网板，因此使其成本增高，这是存在的问题。
另外，作为形成一种能适用于高精细的等离子显示器的荧光体层的方法，已知的有使用一种由荧光体粉末与具有光敏性的粘合剂树脂混合而成的光敏性荧光体膏料的方法。该方法具有如下工序，在已形成了隔壁的基板上全面涂敷光敏性膏料，利用光掩模进行局部的光照射，在形成了在显影液中为可溶部分与不溶部分之后对其进行显影，使其必要部分保留下来。然而，在该方法中，为了形成红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的各色荧光体层，必须进行RGB三次的涂敷-曝光-显影-干燥等复杂的工序。另外，该方法存在荧光体膏料的损失较多的缺点以及成本高的问题。
另外，有人提出了一种从喷墨嘴的前端喷出荧光体膏料，从而形成荧光体层的方法。但是，在使用该方法的情况下，必须从直径很小的喷墨嘴前端喷出膏料，因此要求膏料的粘度在0.2泊以下。因此，膏料中的荧光体粉末量不能增多，荧光体层的厚度不能控制，这是其缺点。另外，在该方法中存在喷墨嘴被荧光体粉末堵塞的问题，因此不实用。
发明的公开
本发明者们对于没有上述缺点的等离子显示器的制造手段进行了深入的研究，结果完成了下述的本发明。
本发明的一个目的是提供一种能够高精度而且简便地在高精细的隔壁之间的空间形成荧光体层的等离子显示器的制造方法。
本发明的另一个目的是提供一种用于连续而且高生产率地生产上述高质量的等离子显示器的制造装置。
本发明的其他目的可以通过下面的说明来表达清楚。
本发明的这些目的，可以通过使用具有下述构成的等离子显示器的制造方法和制造装置，能在工业上有利地达到。
本发明的等离子显示器的制造方法的特征在于，在一块已形成了多个隔壁的基板上，由一个具有多个排出口的喷料板连续地排出含有荧光体粉末和有机化合物的荧光体膏料，从而形成荧光体层。另外，本发明的等离子显示器的制造方法的特征在于，在一块已形成了多个隔壁的基板上，由具有排出口的喷料板将各自含有发红色、绿色、蓝色光线的荧光体粉末的三种荧光体膏料分别地按条状涂敷在基板上的隔壁之间的空间处，然后通过加热形成荧光体层。
另外，本发明的等离子显示器的制造方法包含如下优选的实施方案。
(1)隔壁的间隔(S)与排出口的平均孔径(D)满足下述公式的条件
10μm≤D≤S≤500μm。
(2)排出口呈平板状、喷嘴状或针管状。
(3)使用具有20～2000个，优选为150～2000个排出口的喷料板。
(4)使用排出口数目在16n±5(n为自然数)范围内的喷料板。
(5)使用排出口的间距为0.12～3mm的喷料板。
(6)使用排出口的间距等于隔壁间距的3m倍(m为1～10的整数)的喷料板。
(7)使用排出口的长度(L)与排出口的平均孔径(D)满足下述公式的喷料板：
L/D=0.1～600。
(8)使用排出口的平均孔径(D)为60～400μm的喷料板进行涂敷。
(9)按照喷料板排出口的前端部与形成于玻璃基板上的隔壁的上端部之间的距离为0.01～2mm的状态来涂敷荧光体膏料。
(10)由一个喷料板排出含有发不同颜色光线的荧光体的膏料，而且，用于排出该不同颜色的荧光体膏料的排出口相互间的最短间隔在600μm以上。
(11)由两台以上独立的喷料板同时进行涂敷，而且使该两台以上的喷料板按相同速度移动进行涂敷。
(12)每次涂敷一种颜色，而且在涂敷每一种颜色之后皆经过干燥工序。
(13)喷料板与基板按照平行于该玻璃基板上的隔壁进行相对移动。
(14)在停止荧光体膏料的排出时，使喷料板的内部成为负压状态。
(15)在喷料板与基板按照平行于该基板上的隔壁开始相对移动之后，开始排出荧光体膏料，并且，在上述的相对移动终结之前停止上述的排出。
(16)作为荧光体粉末，使用一种50重量％粒子的粒径为0.5～10μm，比表面积为0.1～2m2/g的荧光体粉末。
(17)使用一种由荧光体粉末30～60重量％、粘合剂树脂5～20重量％和溶剂组成，而且荧光体粉末与粘合剂树脂的重量比为6∶1～3∶1的荧光体膏料。
(18)粘合剂树脂是纤维素化合物。
(19)溶剂是一种含萜品醇的溶剂。
(20)一种等离子显示器的制造方法，该方法包括将各自含有发红色、绿色、蓝色光线的荧光体粉末的三种荧光体膏料分别涂敷在玻璃基板上的隔壁之间的空间处，从而形成荧光面，通过使那些存在于预定的涂敷位置以外的荧光体粘附在粘性体上而将其除去。
(21)通过使那些位于隔壁的上端部的荧光体粘附在粘性体上而将其除去。
(22)使用符合于下述关系式的荧光体膏料，
(2H+P-W)×5≤H×(P-W)×a/100≤(2H+P-W)×30式中，H为隔壁的高度(μm),P为隔壁之间的间距(μm),W为隔壁本身的线宽(μm),a为在荧光体膏料中所含的荧光体粉末的比例(体积％)。
(23)作为荧光体膏料，使用粘度为2～50Pa·s的膏料。
(24)荧光体膏料是光敏性的荧光体膏料。
(25)作为光敏性荧光体膏料，使用具有下述组成的膏料，
有机成分：15～60重量份
荧光体粉末：40～85重量份
溶剂：10～50重量份。
(26)隔壁层呈一种具有下述尺寸的条形状，
间距：100～250μm
线宽：15～40μm
高度：60～170μm。
(27)隔壁的顶面为黑色。
(28)荧光体层在隔壁高度一半的位置处的侧面厚度(T1)与底部厚度(T2)之间满足下述关系，
10≤T1≤50μm
10≤T2≤50μm
0.2≤T1/T2≤5。
另外，本发明的等离子显示器的制造装置的特征在于，它具有：用于将在表面上已形成了多个隔壁的基板固定的桌台、带有多个面向上述基板隔壁的排出口的喷料板、用于向上述喷料板供给荧光体膏料的供给装置、用于使上述桌台与上述喷料板在三维方向上进行相对移动的移动手段。
在本发明的等离子显示器的制造装置中包含有以下的优选实施方案。
(29)上述喷料板的排出口的平均孔径(D)与隔壁的间隔(S)满足以下条件，
10μm≤D≤S≤500μm。
(30)上述喷料板的排出口的形状不是圆形，而且，大体上与隔壁相垂直的开口的长度(B)和隔壁的间隔(S)满足下述条件，
10μm≤B≤S≤500μm。
(31)上述喷料板的排出口的间距为隔壁间距的3m倍(m为1～10的整数)。
(32)上述喷料板的排出口处于同一面上。
(33)上述喷料板的排出口通过配置同一形状的管子而构成。
(34)上述喷料板的排出口的数目为20～2000个。
(35)上述喷料板的排出口的数目在16n±5(n为自然数)的范围内。
(36)上述喷料板的排出口的间距为0.12～3mm。
(37)上述喷料板的排出口的平均孔径(D)与排出口的长度(L)满足下式，
L/D=0.1～600。
(38)上述喷料板的排出口的平均孔径为60～400μm。
(39)上述喷料板的排出口的中心按照处于各个隔壁之间的空间的上方来配置。
(40)在上述喷料板的排出口面和/或排出口的内壁，涂覆含氟树脂薄膜。
(41)在上述喷料板的排出口面和/或排出口的内壁，涂覆非结晶质的碳薄膜。
(42)上述喷料板具有：多个荧光体膏料贮存部、用于向上述贮存部供给荧光体膏料的荧光体膏料供给口、用于使上述贮存部与上述排出口进行流体连通的通道部，而且上述排出口的数目比该贮存部的数目多，并且，与上述各个贮存部相对应的上述排出口按一定的顺序周期性地大体上在一直线上排列。
(43)配置两个以上的喷料板。
(44)具有与多个不同种类的荧光体膏料相对应的多个喷料板，以及与各个喷料板相对应的用于供给荧光体膏料的多个荧光体膏料供给装置，以便向基板上的隔壁之间的空间处同时地涂敷多种荧光体膏料。
(45)具有能够对上述喷料板内的压力在大气压至负压之间进行任意设定的压力调整手段，以及用于对压力调整进行定时控制的控制手段。
(46)设置有：用于检测上述喷料板排出口位置的检测手段、用于检测基板的隔壁或隔壁之间的空间的位置的检测手段、用于检测基板上隔壁的上端部位置的检测手段、用于检测喷料板排出口前端部位置的检测手段、用于根据相对于上述喷料板排出口的基板的相对位置来控制荧光体膏料的排出操作的开始和终止的控制手段。
(47)具有用于调整相对于基板隔壁上端部的上述喷料板的倾斜度的调整手段、用于将上述喷料板排出口前端部相对于基板隔壁上端部呈大体上平行并按预定的间隔设置的控制手段。
(48)设置有用于检测从上述喷料板排出到基板上的荧光体膏料在基板内的位置的检测手段。
(49)设置有用于检测基板上的隔壁数目或隔壁之间的空间数目的检测手段以及用于根据已检测出的隔壁数目或隔壁之间的空间数目来认定应该涂敷的隔壁之间的空间的认定手段。
(50)设置有用于检测设置在基板上的参考点标志的参考点标志检测手段、用于根据已检测出的参考点标志的位置来使上述喷料板与隔壁进行相对移动以便使喷料板的排出口处于应该涂敷荧光体膏料的隔壁之间的空间上方的移动手段和控制手段。
(51)设置有用于清洁上述喷料板排出口表面的清洁化装置。
(52)设置有用于清除存在于基板上的预定涂敷位置以外的荧光体膏料的清除手段。
(53)对应于三种荧光体膏料的三台涂敷装置串联配置，每台涂敷装置具有用于固定已在表面上形成了隔壁的基板的桌台、带有面向基板隔壁的多个排出口的喷料板、用于向上述喷料板供给荧光体膏料的供给装置、用于使上述桌台与上述喷料板在三维方向上进行相对移动的移动手段。
附图的简单说明
图1是用于说明本发明光敏性膏料的涂敷工序之一例的涂敷装置的概略图。
图2是用于说明本发明的等离子显示器用基板与涂敷用的喷料板的关系的截面图。
图3是表示本发明的一个实施方案中所说的等离子显示器的制造装置的概略总体斜视图。
图4是用于说明图3中示出的等离子显示器的制造装置主要部件的概略图。
图5是表示本发明中使用的喷料板之一例的斜视图。
图6是表示本发明中使用的另一种喷料板之一例的斜视图。
图7是表示本发明中使用的另一种喷料板之一例的截面图和底面图。
图8是在本发明的另一个实施方案中所说的等离子显示器的制造装置的斜视图。
图9是表示在本发明的等离子显示器的制造装置中的喷料板排出口表面的清洁装置的侧面图。
在上述附图中，各符号分别表示下述定义
2 基台
4 基板
6 桌台
7 抽吸孔
8 凹槽导轨
9 滑动脚
10 进料螺杆
11 连接件
12 轴承
16 AC伺服电动机
20 喷料板
22 夹具
24 水平杆
26 直线致动器
28 升降支架
29 伸缩棒
30 升降机构
32 Y轴移动支架
34 支柱
36 横向移动机构
38 传感器支柱
40 高度传感器
41 集流腔
42 荧光体膏料
44 相出口
46 供料软管
48 排出用电磁转换阀
50 供料单元
52 抽吸软管
54 抽吸用电磁转换阀
56 荧光体膏料贮槽
58 供料装置控制器
60 总控制器
62 电动机控制器
64 传感器支架
66 位置传感器
68 位置传感器
70 摄像机支柱
72 摄像机
74 图像处理装置
76 升降机构用致动器
78 横向移动机构用致动器
501 排出口
601 管
701 荧光体膏料供给口
702 荧光体膏料贮存部
703 通道
704 排出口
801 喷料板
802 喷料板
901 清洁装置
902 排出口面
903 擦拭元件
904 支架
905 托盘
906 排放口
907 管子
908 升降部
909 导轨
910 移动单元
911 架台
912 滚珠螺旋丝杆
用于实施发明的最佳方案
等离子显示器(PDP)主要由前面板和背面板构成，在两块面板之间封装入稀有气体。
背面板必须在形成有用于施加驱动电压的电极和用于分隔放电小室的隔壁的基板上，形成荧光体层。另外，有时还在该基板上形成电介质层以使其放电稳定化。作为基板，可以使用钠玻璃或用于等离子显示器的市售PD200(旭硝子社制)等的玻璃基板，或陶瓷制的基板。作为基板，优选是使用1～3mm，更优选是2～3mm厚的玻璃。
在该基板上形成由导电性的金属构成的电极。作为优选的电极材料，可以举出含有选自金、银、铜、铬、钯、铝和镍中至少一种的金属材料。使用这些金属材料，优选是将其按照0.1～10μm，更优选是按照1～5μm的厚度，形成具有必要图形的电极。
作为用于形成电极图形的方法，可以使用一种首先将上述金属粉末与含有以乙基纤维素为代表的纤维素化合物的有机粘合剂一起混炼而获得金属膏料，然后使用网版将上述金属膏料按图形印刷在玻璃基板上的方法，或者首先通过真空蒸镀或溅射工艺在玻璃基板上形成金属膜，然后使用保护膜进行蚀刻的方法等。另外，作为其他优选的方法之一是将金属粉末与一种含有光敏性有机成分的有机粘合剂成分一起混炼而获得光敏性膏料，再将此膏料涂敷在玻璃基板上，然后用光掩模按图形进行曝光，接着通过显影操作而将显影液的可溶部分除去，然后在500～600℃下烧结，从而形成电极的方法，这样可以精确地形成一种高精细的电极。
可以通过在该电极上进而形成电介质层来使发光稳定化。该电介质层可以通过涂敷一种由玻璃粉末与含有以乙基纤维素为代表的纤维素化合物的有机粘合剂组成的玻璃膏料，然后在450～600℃下烧结来形成。
作为形成隔壁的方法，可以使用各种方法。例如，将玻璃粉末与一种含有以乙基纤维素为代表的纤维素化合物的有机粘合剂制成玻璃膏料，再使用网版将该玻璃膏料按图形进行多层印刷，然后在450～600℃下烧结来形成。
另外，隔壁也可按下述方法来形成，也就是在基板上全面涂敷玻璃膏料之后，再在上面层合一层干的保护膜，然后使用一个通过照相平版法形成的图形模片作为掩模，用喷砂法进行磨削，最后将其烧结，从而形成隔壁。作为优选的隔壁形成方法之一是在基板上全面涂敷一层由玻璃粉末与光敏性有机成分通过混炼而获得的光敏性玻璃膏料之后，使用光掩模通过照相平版法来形成图形，然后将其烧结。形成的隔壁是为了将各放电小室的放电分隔开，可以使用条状或格子状的隔壁，但是从低价格和形成简便方面考虑，优选是条状的隔壁。
特别是按照本发明，可以在已形成高精细隔壁的玻璃基板上形成一层按以往的丝网印刷法难以形成的荧光体层。例如，当隔壁层是具有下述较佳尺寸的条状隔壁时，能够形成一层与丝网印刷法相比是几乎没有缺陷的荧光体层，所说较佳尺寸为：
间距：100～250μm
线宽：15～40μm
高度：60～170μm
当将排出口设定在隔壁与隔壁之间时，可以把形成于基板上的隔壁的顶面做成黑色，这样可以使图像更容易被认识。
在本发明中，通过具有多个排出口的喷料板将一种含有荧光体粉末的膏料排出到已形成了上述隔壁的玻璃基板上，从而形成荧光体层。
作为适用的荧光体粉末，可以使用发红、蓝、绿三种光线的荧光体粉末。作为适用于本发明的荧光体粉末，例如，在红色的情况下可以举出：Y2O3:Eu、YVO4:Eu、(Y,Gd)BO3:Eu、Y2O3S:Eu、γ-Zn3(PO4)2:Mn、(ZnCd)S:Ag+In2O3等。在绿色的情况下可以举出：Zn2GeO2:M、BaAl12O19:Mn、Zn2SiO4:Mn、LaPO4:Tb、ZnS:Cu,Al、ZnS:Au,Cu,Al、(ZnCd)S:Cu,Al、Zn2SiO4:Mn,As、Y3Al5O12:Ce、CeMgAl11O19:Tb、Gd2O2S:Tb、Y3Al5O12:Tb、ZnO:Zn等。在蓝色的情况下可以举出：Sr5(PO4)3Cl:Eu、BaMgAl14O23:Eu、BaMgAl16O27:Eu、BaMg2Al14O24:Eu、ZnS:Ag+红色颜料、Y2SiO3:Ce等。
另外，在本发明中可以利用钽酸稀土类荧光体，其中，作为母体构成的稀土类元素，选自钇(Y)、钆(Gd)和镥(Lu)中的至少一种元素被选自铥(Tm)、铽(Tb)和铕(Eu)中的至少一种元素取代。优选的钽酸稀土类荧光体是以化学式Y1-xEuxTaO4(式中，X约为0.005～0.1)表示的铕活化的钽酸钇荧光体。红色荧光体优选是铕活化的钽酸钇。绿色荧光体的钽酸稀土类荧光体优选是以化学式Y1-xTbxTaO4(式中，X约为0.001～0.2)表示的铽活化的钽酸钇。蓝色荧光体的钽酸稀土类荧光体优选是以化学式Y1-xTbxTaO4(式中，X约为0.001～0.2)表示的铥活化的钽酸钇。另外，优选的绿色荧光体还包括以(Zn2SiO4:Mn)表示的锰活化硅酸锌荧光体，其中，相对于硅酸锌(Zn2SiO4)母体量，锰的含量在0.2重量％以上至0.1重量％以下，其平均粒径在2.0μm以上至8.0μm以下；和以通式(Zn1-xMnx)O·αSiO2(式中，X和α的数值范围分别为0.01≤X≤0.2和0.5＜α≤1.5)表示的锰活化硅酸锌荧光体。
上述适用的荧光体粉末的粒径可以根据所需制造的荧光体层图形的线宽、线间距离(space)和厚度来选择，但是优选有50重量％的粒子的粒径为0.5～10μm，比表面积为0.1～2m2/g。更优选是有50重量％的粒子的粒径为0.5～5μm，比表面积为0.2～1.0m2/g。如果粒径和比表面积处于上述范围内，则可以提高膏料的混炼性，从而可以形成致密的荧光体层，因此可以提高发光效率并延长其使用寿命。如果粉末的粒径不足0.5μm，比表面积在2m2/g以上，则其粉末过细，从而导致以发光亮度降低为标志的寿命缩短。
作为荧光体粉末的形状，优选是使用多面体状(粒状)的粉末，但最好使用不结块的粉末。其中，优选的是球状的粉末，因为它能形成致密的荧光体层，从而可以提高发光效率，并且在曝光时较少地受到散射的影响。荧光体粉末优选是具有球形率在80个数％以上的粒子形状。更优选是其球形率在90个数％以上。当球形率不足80个数％时，则在接受紫外线曝光时由于荧光粉末受到散射的影响而难以获得高精细的图形。球形率的测定方法是用光学显微镜在放大300倍的条件下对荧光粉末进行摄影，对其中可以计数的粒子进行计数，以球形粉末所占的百分比作为球形率。
在本发明中使用的有机成分中含有粘合剂树脂、溶剂和根据需要加入的增塑剂、分散剂、均化剂等添加物。
作为粘合剂的具体例子，可以举出：聚乙烯醇缩丁醛、聚乙酸乙烯酯、聚乙烯醇、聚乙烯、硅氧烷聚合物(例如聚甲基硅氧烷、聚甲基苯基硅氧烷)、聚苯乙烯、丁二烯/苯乙烯共聚物、聚苯乙烯、聚乙烯基吡咯烷酮、聚酰胺、高分子量聚醚、环氧乙烷与环氧丙烷的共聚物、聚丙烯酰胺和各种丙烯酸聚合物(例如聚丙烯酸钠、聚丙烯酸低级烷基酯、聚甲基丙烯酸低级烷基酯以及由丙烯酸低级烷基酯和甲基丙烯酸低级烷基酯形成的各种共聚物和多元聚合物。另外，作为优选的粘合剂树脂，可以使用纤维素化合物(例如甲基纤维素、乙基纤维素、羟乙基纤维素、甲基羟乙基纤维素)等，这样可以形成一种在烧结后的粘合剂残留量少的荧光体层。
作为增塑剂的具体例子，可以举出：邻苯二甲酸二丁酯、邻苯二甲酸二辛酯、聚乙二醇、甘油等。
作为溶剂的具体例子，可以使用：萜品醇、异丁醇、异丙醇、苄醇、2-苯氧基乙醇、γ-苯基烯丙醇、二甲基苄基甲醇、β-苯乙醇、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、丁基溶纤剂等的醇类溶剂；丁酮、二噁烷、丙酮、环己酮、环戊酮、四氢呋喃、丁基卡必醇乙酸酯、二甲亚砜、γ-丁内酯、溴苯、氯苯、二溴苯、二氯苯、溴苯甲酸、氯苯甲酸等，或者含有其中一种以上的有机溶剂混合物。特别是醇类溶剂有利于使粉末分散。其中特别优选的是萜品醇。另外，通过将萜品醇与苄醇等其他醇类溶剂混合使用，可以更容易地调整膏料的粘度。
通过将上述荧光体粉末、粘合剂和溶剂按所需比例混合并混炼，可以制得荧光体膏料，但优选是使用粘度为2～50Pa·s的膏料，这样，在涂敷膏料时可以容易地控制隔壁侧面的厚度，并且可以有效地提高亮度和显示的均一性。
如果使用一种荧光体粉末与粘合剂树脂的重量比为6∶1～3∶1的荧光体膏料，则在制造高精细的PDP时，可以进一步地提高厚度的均一性。优选的膏料的组成是发红、绿、蓝中任一种颜色光线的荧光体粉末占30～60重量％、粘合剂树脂占5～20重量％和溶剂占20～65重量％，只要按照这样的组成，即使不按照膏料涂敷后的干燥条件，也能在隔壁侧面和放电空间底部形成均一厚度的荧光体层。
另外，关于膏料的组成，当所需制造的等离子显示器的隔壁高度为H(μm)、隔壁间距为P(μm)、隔壁线宽为W(μm)时，只要荧光体膏料中所含的荧光体粉末的比例a(体积％)与上述参数符合下述关系式，就可以在隔壁的侧面和放电空间的底部形成均匀厚度的荧光体层
(2H+P-W)×5≤H×(P-W)×a≤(2H+P-W)×30。
按照本发明，通过向荧光体膏料中加入有机染料，可以很容易地分辨出已涂敷膏料的区域和未涂敷的区域。在此情况下，通过向RGB各自的荧光体层中加入发不同颜色的有机染料，就能更容易地检查出涂敷后的缺陷。作为有机染料，可以使用：隐色体类染料、偶氮类染料、氨基酮类染料、呫吨类染料、喹啉类染料、氨基酮类染料、蒽醌类、二苯甲酮类、氰基丙烯酸二苯酯类、三嗪类、对氨基苯甲酸类染料等。具体地可以使用：苏丹蓝、苏丹4、维多利亚纯蓝、尼罗蓝、亮绿、中性红、甲基紫等。
在本发明中，作为粘合剂树脂，可以使用含有光敏性化合物的光敏性荧光体膏料。使用光敏性荧光体膏料，就能通过使用光掩模进行曝光、显影来除去粘附在不需要的区域上的荧光体膏料。特别是当涂敷的荧光体膏料粘附在隔壁的上表面时，或者溢出到与应该涂敷的小室相邻的小室中时，只对应该涂敷的区域照射光线，这样就可以将没有被光照射的部分通过显影来除去，从而能够防止混色和放电缺陷。
在光敏性荧光体膏料中使用的所谓含有光敏性化合物的有机成分是指含有从光敏性聚合物、光敏性单体和光敏性低聚物中选择的至少一种光敏性成分，以及根据需要添加了光聚合引发剂、敏化剂和紫外线吸收剂等添加剂的成分。
作为光敏性荧光体膏料，使用由有机成分15～60重量份、荧光体粉末40～85重量份、溶剂10～50重量份组成的膏料，可以有效地提高厚度的均一性和图形的形成性。
在本发明中使用的，含有光敏性化合物的有机成分的量优选为15～60重量％。如果不足15重量％，则导致感光不足，从而使图形的成型性变差，如果超过60重量％，则在烧结使图形模片的脱模性变差，从而显示烧结不足的倾向。
作为适用于本发明中的光敏性成分，有光不溶型的光敏性成分和光可溶型的光敏性成分。作为光不溶型的光敏性成分，可以举出：
(A)含有那些在其分子内具有一个以上不饱和基等的官能性的单体、低聚物或聚合物的成分；
(B)含有芳香族重氮化合物、芳香族叠氮化合物、有机卤化物等光敏性化合物的成分；以及
(C)诸如由重氮类胺与甲醛缩合而成的缩合物之类被称为重氮树脂的成分等。
另外，作为光可溶型的成分，可以举出：
(D)含有重氮化合物与无机盐或有机酸形成的配合物、醌重氮化物类的成分；
(E)由醌重氮化物类与适当的聚合物粘合剂结合而形成的成分，例如苯酚或可溶可熔酚醛树脂的萘醌1,2-二叠氮基-5-磺酸酯等。
作为适用于本发明中的光敏性成分，上述所有光敏性成分都可使用，其中特别优选的是上述(A)项记载的光敏性成分。另外，按照本发明，也可以将无机微粒子简单地混合到光敏性膏料中使用。
光敏性单体是含有碳-碳不饱和键的化合物。作为具体的例子，可以举出：丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸异丙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸仲丁酯、丙烯酸仲丁酯、丙烯酸异丁酯、丙烯酸叔丁酯、丙烯酸正戊酯、丙烯酸烯丙酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸丁氧基乙酯、丙烯酸丁氧基三甘醇酯、丙烯酸环己酯、丙烯酸二环戊基酯、丙烯酸二环戊烯酯、丙烯酸2-乙基环己基酯、丙烯酸甘油酯、丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸十七氟癸基酯、丙烯酸2-羟乙酯、丙烯酸异冰片酯、丙烯酸2-羟丙酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸异辛酯、丙烯月桂酯、丙烯酸2-甲氧乙基酯、丙烯酸甲氧基乙二醇酯、丙烯酸甲氧基二乙二醇酯、丙烯酸八氟戊基酯、丙烯酸苯氧乙基酯、丙烯酸硬脂酸酯、丙烯酸三氟乙基酯、二丙烯酸烯丙基化环己酯、二丙烯酸1,4-丁二醇酯、二丙烯酸1,3-丁二醇酯、二丙烯酸乙二醇酯、二丙烯酸二甘醇酯、二丙烯酸三甘醇酯、聚(二丙烯酸乙二醇酯)、六丙烯酸双季戊四醇酯、一羟基五丙烯酸双季戊四醇酯、四丙烯酸双三羟甲基丙烷酯、二丙烯酸甘油酯、二丙烯酸甲氧基化环己酯、二丙烯酸新戊二醇酯、二丙烯酸丙二醇、聚(二丙烯酸丙二醇酯)、二丙烯酸三甘油酯、三丙烯酸三羟甲基丙烷酯、丙烯酰胺、丙烯酸氨乙基酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苯氧乙基酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸1-萘酯、丙烯酸2-萘酯、二丙烯酸双酚A酯、双酚A-环氧乙烷加成物的二丙烯酸酯、双酚A-环氧丙烷加成物的二丙烯酸酯、丙烯酸苯硫酚酯、丙烯酸苄基硫醇酯，以及，在这些芳香环的氢原子中有1～5个被氯原子或溴原子取代的单体，或者，苯乙烯、对甲基苯乙烯、邻甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、氯化苯乙烯、溴化苯乙烯、α-甲基苯乙烯、氯化α-甲基苯乙烯、溴化α-甲基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、羟甲基苯乙烯、羧甲基苯乙烯、乙烯基萘、乙烯基蒽、乙烯基咔唑、和在上述每种化合物分子中的丙烯酸酯部分地或全部地被甲基丙烯酸酯取代而获得的化合物、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、1-乙烯基-2-吡咯烷酮等。在本发明中，这些化合物可以按一种或两种以上混合使用。
作为光敏性膏料，除了上述的以外，还可以向其中加入例如不饱和羧酸等的不饱和酸，这样可以进一步地提高感光后的显影性。作为不饱和羧酸的具体例子，可以举出丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、马来酸、富马酸、乙烯基乙酸和这些酸的酸酐等。
作为粘合剂，可以举出：聚乙烯醇、聚乙烯醇缩丁醛、甲基丙烯酸酯聚合物、丙烯酸酯聚合物、丙烯酸酯-甲基丙烯酸酯共聚物、α-甲基苯乙烯聚合物、甲基丙烯酸丁酯树脂等。
另外，由上述具有碳-碳双键的化合物中至少一种化合物进行聚合而获得的低聚物或聚合物也可以使用。也可以与其他光敏性的单体进行共聚，在聚合时，这些单体的含有率优选在10重量％以上，更优选在35重量％以上。
作为共聚的单体，可以与不饱和羧酸等的不饱和酸进行共聚，这样可以进一步地提高感光后的显影性。作为不饱和羧酸的具体例子，可以举出：丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、马来酸、富马酸、乙烯基乙酸或者这些酸的酸酐。
如此获得的在侧链上具有羧基等酸性基团的聚合物或低聚物的酸值(AV)优选在50～180的范围内，更优选在70～140的范围内。如果酸值超过180，则显影所允许的范围变窄，另一方面，如果酸值不足50，则未曝光部分在显影液中的溶解度降低，因此必须提高显影液的浓度，从而导致曝光部分发生剥离现象，难以获得高精细的图形。
根据本发明，对于上述的聚合物或低聚物来说，通过在其侧链或分子末端上引入光敏性基团，就可以将其作为具有光敏性的光敏性聚合物或光敏性低聚物使用。优选的光敏性基团是那些具有烯键不饱和基的基团。作为烯键不饱和基，可以举出：乙烯基、烯丙基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基等。
作为将这样的侧基引入低聚物或聚合物中的方法，对于聚合物中的巯基、氨基、羟基或羧基来说，可以采用使其与具有缩水甘油基或异氰酸基的烯键不饱和化合物或丙烯酰氯、甲基丙烯酰氯或烯丙基氯进行加成反应的方法。
作为具有缩水甘油基的烯键不饱和化合物，可以举出：丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、烯丙基缩水甘油基醚、乙基丙烯酸缩水甘油酯、巴豆酰基缩水甘油基醚、巴豆酸缩水甘油基醚、异巴豆酸缩水甘油基醚等。
作为具有异氰酸基的烯键不饱和化合物，可以举出(甲基)丙烯酰异氰酸酯、(甲基)丙烯酰乙基异氰酸酯等。
另外，具有缩水甘油基或异氰酸酯基的烯键不饱和化合物或丙烯酰氯、甲基丙烯酰氯、或烯丙酰氯的加入量优选是聚合物中的巯基、氨基、羟基或羧基的0.05～1mol当量。
作为光聚合引发剂的具体例子，可以举出：二苯甲酮、邻苯甲酰苯甲酸甲酯、4,4-双(二甲氨基)二苯甲酮、4,4-双(二乙氨基)二苯甲酮、4,4-二氯二苯甲酮、4-苯甲酰基-4-甲基二苯基酮、二苄基酮、芴酮、2,2-二乙氧基苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基-2-苯基苯乙酮、2-羟基-2-甲基苯丙酮、对叔丁基二氯苯乙酮、噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、二乙基噻吨酮、苄基、苄基二甲基酮缩醇(benzyldimethyl ketanol)、苄基甲氧乙基乙缩醛、苯偶因、苯偶因甲基醚、苯偶因丁基醚、蒽醌、2-叔丁基蒽醌、2-戊基蒽醌、β-氯蒽醌、蒽酮、苯并蒽、二苯并环庚酮、亚甲基蒽酮、4-叠氮基亚苄基苯乙酮、2,6-双(对叠氮基亚苄基)环己酮、2,6-双(对叠氮基亚苄基)-4-甲基环己酮、2-苯基-1,2-丁二酮-2-(邻甲酯基)肟、1-苯基-丙二酮-2-(邻乙酯基)肟、1,3-二苯基-丙三酮-2-(邻乙酯基)肟、1-苯基-3-乙氧基-丙三酮-2-(邻苯甲酰基)肟、米蚩酮、2-甲基-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代-1-丙酮、萘磺酰氯、喹啉磺酰氯、N-苯硫基吖啶酮、4,4-偶氮双异丁腈、二苯二硫、苯并噻唑二硫、三苯基膦、樟脑醌、四溴化碳、三溴二苯砜、过氧化苯甲酰以及由诸如曙红、乙烯蓝等光还原性的染料与诸如抗坏血酸、三乙胺等还原剂组成的组合物等。根据本发明，这些化合物可以按一种或两种以上混合使用。
光聚合引发剂的添加量，相对于光敏性成分，优选在0.1～6重量％的范围内，更优选在0.2～5重量％的范围内。如果光聚合引发剂的量过少，则对光的灵敏度迟钝，如果光聚合引发剂的量过多，则会导致曝光区域的残存量过少。
向光敏性膏料中加入紫外线吸收剂也是有效的。通过添加入紫外线吸收效果好的光吸收剂，可以获得高纵横比、高精确性和高解像度。作为紫外线吸收剂，优选使用由有机染料构成的光吸收剂，其中更优选是在350～450nm的波长范围内具有高UV吸收系数的有机类染料。具体地可以使用：偶氮类染料、氨基酮类染料、呫吨类染料、喹啉类染料、氨基酮类染料、蒽醌类染料、二苯甲酮类染料、氰基丙烯酸二苯酯类染料、三嗪类染料、对氨基苯甲酸类染料等。在将有机类染料作为光吸收剂添加的情况下，它不会残存于烧结后的绝缘膜中，因此由于光吸收剂而导致的绝缘膜性能降低程度可以很小，这样较为有利。其中以偶氮类和二苯甲酮类染料特别优选。有机染料的添加量优选为0.05～5重量％。如果有机染料过少，则作为紫外线吸收剂的效果减少，如果过多，则在烧结后绝缘膜的性能降低，因此也不好。有机染料的添加量更优选为0.15～1重量％。
由有机颜料组成的紫外线吸收剂的添加方法，除了上面举出的一个例子外，还可以将有机颜料预先溶解于有机溶剂中制成溶液，接着将玻璃粉末混合到该有机溶剂中，然后将其干燥。按照该方法，可以在玻璃粉末的每一个粉末粒子表面上覆盖一层有机膜，从而制成了所谓密封包裹状的粉末。
敏化剂的添加，其目的是为了提高光敏性膏料的灵敏度。作为敏化剂的具体例子，可以举出：2,4-二乙硫基呫吨酮、异丙硫基呫吨酮、2,3-双(4-二乙氨基亚苄基)环戊酮、2,6-双(4-二甲氨基亚苄基)环己酮、2,6-双(4-二甲氨基亚苄基)-4-甲基环己酮、米蚩酮、4,4-双(二乙氨基)-二苯甲酮、4,4-双(二甲氨基)查尔酮、4,4-双(二乙氨基)查尔酮、对二甲氨基亚肉桂基茚满酮、对二甲氨基亚苄基茚满酮、2-(对二甲氨基苯基亚乙烯基)-异萘噻唑、1,3-双(4-二甲氨基亚苄基)丙酮、1,3-羰基-双(4-二乙氨基亚苄基)丙酮、3,3-羰基-双(7-二乙氨基邻吡喃酮)、N-苯基-N-乙基乙醇胺、N-苯基乙醇胺、N-甲苯基二乙醇胺、N-苯基乙醇胺、二甲氨基苯甲酸异戊酯、二乙氨基苯甲酸异戊酯、3-苯基-5-苯甲酰硫基四唑、1-苯基-5-乙氧羰硫基四唑等。根据本发明，这些化合物可以按一种或两种以上混合使用。另外，在敏化剂中，有一些也可作为光聚合引发剂使用。当将敏化剂添加到本发明的光敏性膏料中时，其添加量相对于光敏性成分通常为0.05～10重量％，更优选为0.1～10重量％。敏化剂的量如果过少，则不能发挥提高感光灵敏度的效果，如果敏化剂的量过多，则在曝光区域的残留率过小。
光敏性荧光体膏料的制备方法通常是将荧光体粉末、紫外线吸收剂、光敏性聚合物、光敏性单体、光聚合引发剂和溶剂的各种成分按照预定的组成混合后，用一台三辊轧机或混炼机将其均匀混合分散而制得。
膏料的粘度可以根据荧光体粉末、有机溶剂、增塑剂和防沉淀剂等的添加比例来适宜地调节，但其粘度范围优选为2～50Pa·s，更优选为5～20Pa·s。
下面解释本发明荧光体层的形成方法。把按照上述步骤制备的荧光体膏料涂敷在一块设置有多个隔壁的基板上的隔壁之间的空间(隔壁与隔壁之间)。图1示出了荧光体膏料由喷料板的排出口排出并涂敷到一块设置有电极、电介质层、隔壁的基板上的隔壁之间的状态。另外，图2是一个用于说明上述基板与喷料板的位置关系的示意图，通过以下说明，可以更好地理解本发明。
作为用于排出上述荧光体膏料的排出口，可以使用一种在其端部具有排出孔或喷嘴、针管的由金属、陶瓷或塑料制的喷料板。可以使用一种孔径(内径)为10～500μm的排出口，但优选的孔径为50～500μm。当孔径小于10μm时，容易被荧光体粉末堵塞，另一方面，当孔径大于500μm的情况下，在进行高精细的涂敷时，会产生荧光体膏料漏出到相邻小室中的问题。另外，如果相邻隔壁的间距(S)与排出口的平均孔径(D)满足下面公式的条件，就可以进一步抑制荧光体膏料粘附到隔壁的上部，
10μm≤D≤S≤500μm。
排出口的数目(孔数)可以是1～6000个孔，但优选是20～2000个孔。如果排出孔数目过少，则用于涂敷所需的时间过多，所以优选在150个以上，这样可以在短时间内形成与高精细的PDP相对应的荧光层。当孔数超过2000个时，难以确保排出口部分的加工精度，因此也难以形成适用于高精细的PDP的荧光层。另外，如果使排出口数目处于16n±5(n为自然数)的范围内，就可以容易地形成适用于利用通用回路可以驱动的PDP的荧光体层。
排出口的间距优选为0.12～3mm。如果排出口与排出口之间的间隔不足0.12mm，则喷料板的制造发生困难，另外，如果大于3mm，则在已形成300μm以下间距隔壁的玻璃基板上进行涂敷时，难以控制涂敷操作。另外，通过使排出口的间距等于隔壁间距的3m倍(m为1～10的整数)，就能进行精度优良和高效率的涂敷。另外，如果使用一种排出口的长度(L)与排出口的平均孔径(D)符合下式的喷料板，则可以提高膏料的排出性能，
L/D=0.1～600。
当L/D超过600时，压力的损失过大，因此膏料的排出量过少，导致荧光层的厚度过薄。另外，当L/D不足0.1时，由排出口排出的膏料过多。
为了将荧光体膏料从排出口排出，优选是以一定范围内的压力连续地向膏料加压，利用该压力来排出膏料。这样可以将膏料的排出量保持一定，从而能够获得稳定的涂敷层厚度。
如图1所示，一边使膏料从排出口排出，一边使喷料板与基板按照平行于基板上隔壁的方向相对地移动，在此条件下涂敷荧光体膏料。在此情况下，可以使基板固定而令喷料板移动，也可以使喷料板固定而令基板移动。或者，也可使二者同时相对移动。
在要使荧光体膏料停止从喷料板的排出口排出时，可以使喷料板内部成为负压状态，这样在涂敷的端部就不会形成液滴，从而不会出现膏料的涂敷厚度不均匀的现象。
另外，在喷料板与玻璃基板沿着平行于基板上隔壁的方向开始相对移动以后才开始荧光体膏料的排出，并且在停止这种相对移动之前停止膏料的排出，这样就能抑制由于涂敷端部的液滴导致的厚度不均匀。
在进行排出操作时，排出口前端部与形成于玻璃基板上的隔壁上端部之间的距离优选为0.01～2mm，更优选为0.05～0.5mm。为了防止排出口与隔壁的上端部接触，该距离优选在0.01mm以上，更优选在0.05mm以上。另外，为了防止由排出口排出的膏料中断，该距离优选在2mm以下，更优选在0.5mm以下。
另外，通过在装置上安装多个喷料板来同时地进行涂敷，这样就可以高效率地在短时间内完成涂敷。在此情况下，通过使多个喷料板按照相同速度移动，可以进行均一厚度的涂敷。另外，通过安装3个以上的喷料板，使含有发不同颜色的荧光体的膏料分别从3个以上的喷料板排出，这样就能以一次操作涂敷RGB三种颜色。另外，也可以从一个喷料板同时排出三种颜色的荧光体膏料。在此情况下，用于排出不同颜色的荧光体膏料的各排出口相互间的最短间距在600μm以上，就可以防止RGB各种荧光体相互混色。
另外，当在高精细的隔壁上形成荧光体层的情况下，可以在涂敷一色之后，使该涂敷的一色膏料通过干燥工序，这样就可以防止混色。
根据本发明，在荧光体膏料从排出口排出之后，利用干燥工序、烧结工序等加热工序使水和有机溶剂、有机成分等蒸发或分解而将其除去，从而形成荧光体层。
在该情况下的加热工序中，通常是使荧光体涂敷面朝上进行干燥，但是也可以使荧光体涂敷面朝下进行干燥。在将荧光体涂敷面朝下时，荧光体膏料就流到隔壁的侧面上，从而能在隔壁的侧面上形成荧光体层。这样不仅在隔壁之间的底部，同时也在隔壁的侧面，形成了荧光体层，因此尽可能地扩大了荧光体层的面积，从而可以提高等离子显示器的发光度。
另外，作为荧光体膏料，如果使用光敏性荧光体膏料，就可以利用照相平版法来进行图形加工。在此情况下，可以有效地除去形成在隔壁的上部等不需要的区域内通过涂敷工序形成的荧光体。
在RGB各色的光敏性荧光体膏料从排出口排出而进行涂布之后，通过掩模进行曝光，通过使曝光部分的膏料转变成在显影液中为可溶的或不溶的，就可以通过显影工序来将不需要的部分除去，从而形成了荧光体层。作为显影液，可以使用能够将光敏性膏料中的有机成分溶解的有机溶剂。另外，也可向该有机溶剂中加入一定量水，其加入量应在不使其溶解力损失的范围内。当光敏性膏料中存在具有羧基等酸性基团的化合物时，可以在碱性水溶液中进行显影。作为所说的碱性水溶液，可以使用氢氧化钠或氢氧化钙水溶液等金属碱性化合物的水溶液，但优选是使用有机碱的水溶液，这样在烧结时可以容易地将碱性成分除去。
作为有机碱，可以使用胺化合物。作为胺化合物的具体例，可以举出：氢氧化四甲铵、氢氧化三甲苄铵、一乙醇胺、二乙醇胺等。碱水容易的浓度通常为0.01～10重量％，更优选为0.1～5重量％。如果碱浓度过低，则未曝光部分难以除去，如果碱浓度过高，则可能发生图形部分被剥离，以及曝光部分被腐蚀的现象，因此不好。另外，显影时的显影温度优选为20～50℃，这样有利于工艺控制。
关于荧光体层的厚度，如果使侧面(隔壁高度一半的位置)的荧光体层厚度(T1)与底部厚度(T2)之间的关系满足下述关系式，则可以制得一种发光度优良的等离子显示器，
10≤T1≤50μm
10≤T2≤50μm。
如果T1或T2不足10μm，则在放电使产生的紫外线会穿透荧光体层，难以获得足够的发光度，另外，如果超过50μm，则会产生放电电压过高等问题。
另外，T1与T2的关系优选满足下式
0.2≤T1/T2≤5。
侧面厚度与底部厚度的比例过大或过小时都容易发生显示荧光屏对视野角度的依赖性，这样在使荧光屏大型化时就会出现问题。
在将荧光体膏料涂敷到预定位置上之后，将其置于烧结炉中烧结以除去有机成分，从而形成了荧光体层。烧结时的气氛气和温度可以根据膏料和基板的种类而异，可在空气、氮气、氢气等气氛中烧结。烧结温度优选为300～550℃，更优选为350～500℃。
如果荧光体粘附在隔壁的上端部表面上，则在将其与前面板粘合来进行密封时，由于不能依靠隔壁将各小室充分地分隔开而容易发生放电泄漏现象，在此情况下可以通过使粘附在隔壁上端部表面的荧光体粘附到一种粘性体上而将其除去。
为了将有机成分完全除去，必须加热至300℃，优选加热至350℃，但是为了抑制荧光体由于受热而劣化，温度应在550℃以下，优选在500℃以下。作为烧结炉，可以使用间歇式的烧结炉或者带式或辊道式的连续型烧结炉。
通过将前面和背面的两块玻璃基板粘合在一起而将已形成了荧光体层的基板密封起来。在前面板上形成了由ITO和公用电极构成的放电维持电极、由玻璃层构成的电介质、用于保护电介质不受放电影响的保护膜(通常为氧化镁)，根据需要，还可以形成滤色器或黑色矩阵、黑色条。前面板与背面板的密封可以使用玻璃粉等来进行。
然后，可以通过在前面板与背面板之间封装入氦、氖和氙等稀有气体来制造等离子显示器的屏面部分。进而安装上驱动用的驱动器IC，从而制得等离子显示器。然后，通过对前面板和背面板的电极进行矩阵驱动，就可以实现显示。
下面解释用于涂敷本发明荧光体膏料的装置。本发明的等离子显示器的制造装置具有用于载置已形成多个隔壁的基板的桌台和带有多个排出口的喷料板，这些排出口与隔壁的配置相对应，以便在该基板上的隔壁之间的空间形成条状的荧光体膏料。
图3是本发明一个实施方案中的等离子显示器的制造装置的总体斜视图。图4是图3中桌台6和喷料板20周围的概略图，是用于说明该制造装置的主要部件的附图。
在图3和图4中，在基台2上设置有一对凹槽导轨8，在该凹槽导轨8上配置桌台6。在该桌台6上设置有许多抽吸孔7，具有多个按一定间距排列的隔壁的基板4通过真空抽吸而被固定在桌台6的表面上。另外，借助于图中没有示出的升降杆来使基板4在桌台6上进行升降。另外，桌台6通过滑动脚9在凹槽导轨8上沿X轴方向自由地往复运动。
在一对凹槽导轨8之间，具有螺旋结构的进料螺杆10穿过固定在桌台6下面的螺帽状连接件11而延伸。进料螺杆10的两端被轴承12按自由旋转的方式支持着，进料螺杆10的一端与一台AC伺服电动机16相连接。
在桌台6的上方，用于排出荧光体膏料的喷料板20借助于夹具22而与升降机构30和横向移动机构36相连接。升降机构30具有可以升降的升降支架28，升降支架28按自由升降的方式安装在升降机构30壳体内部的一对导杆上。另外，在该壳体内部，在导杆之间的位置还按自由旋转的方式配置有由滚珠螺旋丝杆构成的进料螺杆(图中未示出)，它通过螺帽型连接件与升降支架28相连接。另外，图中未示出的进料螺杆的上端与图中未示出的AC伺服电动机相连接，借助于AC伺服电动机的旋转来使升降支架28随意地升降。
另外，升降机构30通过Y轴移动支架32与横向移动机构36相连接。横向移动机构36可以使Y轴移动支架32沿Y轴方向往复自由地移动。为了各种动作所必须的导杆、进料螺杆、螺帽型连接件、AC伺服电动机等与升降机构30同样地配置在壳体内。横向移动机构36通过支柱34而被固定在基台2上。
由于具有这样的结构，从而使得喷料板20能够沿着Z轴和Y轴方向自由地移动。喷料板20沿着与桌台6往复移动的方向相垂直的方向，也就是沿着Y轴方向水平地延伸，用于直接保持喷料板20的夹具22在升降支架28内按照旋转自由的方式被支持着，它可以在垂直面内按照图3的箭头方向自由地旋转。
位于夹具22上方的水平杆24也固定在升降支架28上。在水平杆24的两端部安装有电磁动作型直线致动器26。直线致动器26具有从水平杆24下面突出的伸缩棒29，该伸缩棒29与夹具22的两端接触，从而能够控制夹具22的旋转角度，结果就可以任意地设定喷料板20的倾斜角度。
在基台2上面固定着逆L字形的传感器支柱38和摄像机支柱70。在传感器支柱38的前端，安装有高度传感器40，以便测定桌台6上基板4表面上的隔壁上端部的高度。另外，在桌台6的一端，通过传感器支架64安装有位置传感器66，该位置传感器66用于检测喷料板20的排出口下端相对于桌台6的垂直方向的位置。
在摄像机支柱70的前端，安装有摄像机72，以便检测基板4表面上的隔壁或隔壁之间的空间的位置或者处于隔壁区域之外的参考点标志的位置。如图4所示，摄像机72与图像处理装置74实现电连接，通过该摄像机72，定量地求出基板4的隔壁或隔壁之间的空间的位置和隔壁之间空间的数目，以及参考点标志的位置。
在图4中，喷料板20具有集流腔41，在集流腔41内充入荧光体膏料42，荧光体膏料42通过排出口44排出。喷料板20与供料软管46相连接，并顺次地与排出用电磁转换阀48、供料单元50、抽吸软管52、抽吸用电磁转换阀54、荧光体膏料贮槽56相连通。在荧光体贮槽56中贮存有荧光体膏料42。
作为供料单元50可以是活塞型或隔膜型等计量泵、涡轮泵、齿轮泵、单式泵(monopump)或借助气体压力将液体压出的压送控制器等。
一旦接到来自供料装置控制器58的控制信号，供料单元50和各个电磁转换阀就发出动作，从荧光体膏料贮槽56中抽吸荧光体膏料42并将其供给到喷料板20中。
供料装置控制器58进一步与总控制器60实现电连接。总控制器60分别与来自电动机控制器62、高度传感器40的电流输入、摄像机72的图像处理装置74、升降机构用致动器76和横向移动机构用致动器78的信息等的所有控制信息实现电连接，以便对整个系统进行控制。总控制器60可以是例如计算机或程序装置等具有控制功能的任何装置。
另外，电动机控制器62接受来自用于驱动桌台6的AC伺服电动机16的信号、分别用于升降机构30和横向移动机构36的AC伺服电动机的信号、用于检测桌台6的移动位置的位置传感器68的信号、用于检测喷料板20的动作位置的Y、Z轴各自的线性传感器(图中未示出)的信号。另外，也可以不使用位置传感器68而是将一个编码器与AC伺服电动机16组装在一起，根据编码器输出的脉冲信号来检出桌台6的位置。
下面解释使用上述等离子显示器制造装置来涂敷荧光体膏料的方法。
首先，使各个动作部件回到它们原有的位置并使桌台6和喷料板20各自移动到它们备用位置。这时，从荧光体膏料贮槽56到喷料板20已充满荧光体膏料，排出用电磁转换阀48处于开的状态，而抽吸用电磁转换阀54则处于闭的状态。然后，在桌台6的表面上升起图中没有示出的升降杆，由图中没有示出的装载机将基板4载置在升降杆的上部。
然后，使升降杆下降，从而将基板4载置在桌台上面，利用图中没有示出的对准装置来决定基板4在桌台6上的位置，然后利用真空抽吸来固定基板4。
然后使桌台6移动，当基板4的隔壁区域到达摄像机72和高度传感器41的下方时，桌台6停止移动。预先调整好摄像机72的位置以便拍摄出已位于桌台6上的基板4上的隔壁端部，然后通过图像处理测出最端部的隔壁之间的空间的位置，最后求出它与摄像机72的基准点之间的距离。另一方面，在进行预先调整时测出在摄像机72的基准点与处于预定的Y轴坐标位置上位于喷料板20最端部的排出口44之间的距离，并将其作为信息输入总控制器60中。因此，一旦将摄像机基准点与隔壁间的空间之间的距离输入图像处理装置7，就可以计算出喷料板20最端部的排出孔44在隔壁端部的隔壁之间的空间上方的Y轴坐标值，然后使喷料板20移动到这个位置。这样，喷料板20的全部排出口的中心都移动到需要涂敷荧光体膏料的各个隔壁之间的空间的上方，这时对喷料板20与基板4的相对位置的决定就完成了。
另外，作为另一种决定位置的方法是用摄像机72检测出处于基板4的隔壁区域以外的参考点标志的位置。在预先调整时测出在摄像机基准点与位于喷料板20最端部的排出口44之间的距离以及在参考点标志与需要涂敷的隔壁间的空间的端部之间的距离，并将其作为信息输入总控制器60中。因此，一旦将摄像机基准点与参考点标志的距离输入图像处理装置74，喷料板20就会移动至需要涂敷的位置。
另外，作为计算摄像机基准点与喷料板20排出口的距离的方法，是通过喷料板20将荧光体膏料排出到一块表面呈平面状的平滑基板上以形成荧光体膏料的条，然后通过图像处理来测出该条的位置，最后求出其绝对位置。这样，由于可以知道喷料板20的排出口的位置，因此最终可以求出喷料板的绝对位置。按照该方法，可以使喷料板20的排出口对准基板4表面上隔壁之间的空间进行涂敷。
高度传感器40可以测出基板4的隔壁上端部在垂直方向的位置，从而可以根据它与桌台上表面的位置差来算出基板4的隔壁上端部的高度。将这一高度值与预先测得的由喷料板20的排出口至基板4的隔壁上端部之间的距离相加，就能算出喷料板20在Z轴的线性传感器上应该下降的数值，从而使喷料板20移动到它应处的位置。这样，即使桌台6上基板4的隔壁上端部的位置随基板而变化，但在涂敷时重要的从涂敷器20的排出口至基板4的隔壁上端部的间距仍经常保持恒定。
作为适用于本发明的高度传感器40，可以是利用激光或超声波等非接触测定形式的传感器，也可以是利用刻度表或差动变压器等接触测定形式的传感器等，凡是符合测定原理的任何传感器均可使用。
然后使桌台6开始朝向喷料板20的方向移动，在基板4的涂敷开始位置到达喷料板20的排出口的下方之前，桌台6加速到预定的涂敷速度。桌台6的动作开始位置与涂敷开始位置之间的距离，必须能够充分确保桌台6能够增速到涂敷速度。
另外，在直到基板4的涂敷开始位置到达喷料板20的排出口下方的地点，配置一个用于检测桌台6的位置的位置传感器68，当桌台6到达该位置时，供料单元便开始动作，于是开始向喷料板20供应荧光体膏料42。也可以不用位置传感器68，而是将一个编码器与一个电动机或进料螺杆相连接，按照编码器的数值来测出相应的位置。
荧光体膏料的涂布继续进行，直到基板4上的涂敷终止位置到达喷料板20的排出口下方附近位置。也就是说，由于基板4经常地处于桌台6上的预定位置，因此可以将位置传感器或其编码器的数值预先设定为桌台6上相当于基板涂敷终止的位置正好在排出口下的位置处，这样，当桌台6一旦到达相应的位置时，总控制器60便向供料装置控制器58发出停止的指令，于是向喷料板20供入荧光体膏料42的供料操作便停止了。这时，将喷料板20升高，以便完全断绝荧光体膏料的供应。
在荧光体膏料是一种粘度较高的液体时，由于残余压力的作用，使得单单依靠停止膏料的供给就难以在瞬间停止膏料由喷料板20的排出口排出。因此，在停止供给荧光体膏料42的同时，立即将喷料板20的集流腔41的压力转变成大气压或者转变成负压，使它对由喷料板20的排出口出来的荧光体膏料产生一种吸引作用，从而能够在短时间内使荧光体膏料停止从排出口排出。作为使集流腔41的压力转变成负压的方法，如果在供料单元50中使用的是泵，那么只要将泵改为逆动作即可，也就是使它朝向吸引荧光体膏料的方向动作。在采用压力输送的情况下，只要将供料单元50与真空源相连接，即可以将集流腔41的压力转变为负压。
另外，作为使集流腔41的压力转变为负压的其他方法，可以在排出用电磁转换阀48至喷料板20之间，或者直接在喷料板20处，设置一个与真空源连接的电磁转换阀，通过换向操作，即可以将压力转变为负压。这时，只要将真空源的压力由大气压调整至任意的负压，就可以调整由排出口吸引荧光体42的吸引速度。作为真空源，可以使用真空泵、吸气泵，或者使活塞型泵进行逆动作。另外，这些压力的定时调整，可以通过供料装置控制器58和总控制手段60来控制。
桌台6即使通过涂敷终止位置之后还继续动作，在它到达终点位置时才停止。这时，如果仍有一部分应该涂敷的区域残留下来，则在此情况下，喷料板20沿Y轴方向移动，直到它到达下一次应该涂敷的开始位置时为止，然后，除了桌台6向相反方向移动之外，其余皆按照与上述相同的步骤涂敷。在按照与第一次相同的桌台6的移动方向进行涂敷时，喷料板20沿Y轴方向移动到下一次应该涂敷的开始位置，同时桌台6回归到X轴的准备位置。
在该涂布工序结束后，桌台6移动到基板4被卸料机转移的场所并停止，这时解除对基板4的抽吸，同时与大气连通，然后使升降杆上升，于是基板4离开桌台6的表面并被夹持向上升起。
这时，基板4的下面被图中没有示出的卸料机托着，然后该基板4被送往下一道工序。当基板4被卸料机接受后，桌台6就随着升降杆的下降而回到原来的位置。
这时，指令排出用电磁转换阀48处于关闭状态，抽吸用电磁转换阀54处于打开状态，使供料单元50动作，从荧光体膏料槽56向喷料板20供给仅仅足够涂敷一块基板所需量的荧光体膏料42。
在上述的涂敷工序中，为了提高在规定的有效区域内涂层厚度的精度，重要的是开始向与涂敷开始位置相对应的喷料板20供给荧光体膏料的定时以及停止向与涂敷终止位置相对应的喷料板20供给荧光体膏料的定时，各自动作都必须在最适合的时间点进行。
另外，根据本发明的该实施方案，在喷料板20的排出口与基板4的隔壁上端之间的距离达到设定值后，就开始供给荧光体膏料42。这是因为，如果在二者的距离达到设定值之前就开始供给荧光体膏料42，则当荧光体膏料42从排出口排出时，就在排出口的前端表面处扩大，从而污染排出口以外的区域，在极端的情况下，由相邻的排出口排出的荧光体膏料42发生合流在一起的不利情况，不能获得高精度的涂敷。由于喷料板20的排出口的前端面与基板4接近，因此，当开始供给荧光体膏料42时，在荧光体膏料42于排出口前端面上扩大之前就被引导入隔壁之间的空间处，所以不会发生不利的情况。
另外，在该实施方案中，说明了基板4沿X轴方向移动，而喷料板20则沿Y轴和Z轴方向移动的应用例，但是，也可以是喷料板20与基板4具有相对地进行三维移动的结构和形式，从而使桌台与喷料板可以按任一种移动方式移动。
另外，在该实施方案中详细地说明了涂敷一种荧光体膏料的情况，但是本发明也适用于同时涂敷红、蓝和绿等三种颜色的荧光体的情况。
图5和图6是用于示出本发明中所用的喷料板的概略斜视图。在图5中，在平坦的表面上按预定间距设置预定直径的孔作为排出口501。另外，该排出口也可以象图6所示那样，配备相同形状的管子601而构成，在使用这种喷料板的情况下，喷料板不易被污染，因此较为有利。
另外，喷料板的全部排出口的中心，优选配置在应该涂敷荧光体膏料的各个隔壁之间的空间上方的位置。
喷料板排出口的平均孔径应在10μm以上至500μm以下，优选在隔壁之间的间隔以下，这样可以防止相邻的色料混色。
另外，喷料板排出口的形状也可以不是圆形，大体上垂直于隔壁的开口长度在10μm以上至500μm以下，比隔壁之间的间隔小。作为这时的排出口形状，有狭长形、椭圆形和长方形等。另外，通过在喷料板的排出口面和/或排出口的内壁上涂覆一层诸如聚四氟乙烯之类的含氟类树脂薄膜，可以提高荧光体膏料在排出口面和排出口内壁上的脱模性，并且可以防止排出口面被污染。
另外，通过在喷料板的排出口面和/或排出口内壁上涂覆一层非结晶质的碳薄膜(DLC)，可以提高排出口面和排出口内壁的表面硬度，从而可以提高其耐磨性。
图7是表示本发明另一种喷料板一个例子的截面图和底面图。在一台喷料板上具有多个荧光体膏料贮存部704、705、706；用于向荧光体膏料贮存部704、705、706供给荧光体膏料的荧光体膏料供给口701、702、703；用于使贮存部704、705、706与排出口710、711、712进行流体连通的通路部707、708、709。另外，如底面图所示，排出口710、711、712的数目比贮存部704、705、706的数目多，并且在直线上排列。这样，可以从一台喷料板中排出不同种类的荧光体膏料。另外，由于排出不同颜色的荧光体膏料的排出口之间的最短距离在600μm以上，因此可以防止与其他颜色的混色。
图8是用于说明本发明另一个实施方案中所说的等离子显示器的制造装置的主要部件的概略斜视图。其中的喷料板不是只有一台，而是在Y方向上配置2台以上。喷料板801、802由图中没有示出的控制手段来驱动，以便使它们能共同沿X方向和Y方向同期地或非同期地驱动。这样，由于有2台以上的喷料板共同分担向桌台6上的基板4涂敷荧光体膏料的涂敷作业，因此可以缩短涂敷时间。
这时，作为2台以上的喷料板，可以是一种排出只发同样颜色光线的荧光体膏料的喷料板，也可以是排出发不同颜色光线的荧光体膏料的喷料板，或者是排出发2种以上不同颜色光线的荧光体膏料的喷料板。
另外，当这些2台以上的喷料板在垂直于隔壁的方向上按照相当于隔壁间距整数倍的尺寸错开，使得相邻2台以上喷料板的位置符合(错开距离)＜(喷料板本身的外形尺寸)时，在平行于隔壁的方向也按错开的位置配置，这样就能有更好的效率。
另外，上述的涂敷装置按照对应于荧光体膏料的红色、绿色、蓝色的三台喷料板而呈串联配置，这样可以在隔壁之间的空间高效地形成3色的荧光体层。
图9是一个表示喷料板的排出口面的清洁装置的概略图侧面。
清洁装置901的配置方式使得擦拭元件903接触到喷料板20的排出口面902。擦拭元件903可以做成能包裹排出口面前端部的形状，但是也可以做成仅仅与排出口面902接触的形状。擦拭元件903固定于一个安装在托盘905中的支架904上，并随着托盘905一起沿横方向(Y轴方向)移动。由于擦拭元件903在与排出口面902接触的条件下沿横向移动，因此可以刮掉粘附在排出口面的荧光体膏料。被刮落的荧光体膏料通过与排出口906相连接的管子907而被导入图中未示出的废液罐中。在仅仅依靠重力不能到达废液罐的情况下，最好使用真空泵等的真空源进行抽吸。另外，当托盘905到达图9的最右端时，擦拭元件903就处于喷料板20的开口部的右侧，这时处于与从喷料板20排出的荧光体膏料接触不到的位置。另外，托盘905的容积允许它能回收全部从喷料板20排出的荧光体膏料。
另外，托盘905与升降部908相连接。升降部908借助于图中未示出的气缸的作用，在移动单元910上沿着导轨909按上下方向升降。当升降部908处于最低点时，擦拭元件903也处于最低点，从而与喷料板20的排出口面902产生一定距离而使其不相互接触。可以调节升降部908，以便使擦拭元件903接触到喷料板20的排出口面902。
移动单元910沿着架台911上图中未示出的导轨，被滚珠螺丝杆912驱动而沿横方向移动。滚珠螺丝杆912与图中未示出的伺服电动机相连接，通过动作控制而使其产生随意的动作。
擦拭元件903的材质可以是任何的材质，但优选是树脂或橡胶，以免损伤喷料板的排出口面，其中，可以根据它们耐荧光体膏料的腐蚀性能来选择。
使用擦拭装置901的涂敷步骤顺序如下。首先，当擦拭元件903处于最低点的状态时，托盘905移动到喷料板20的下方，使荧光体膏料供给装置动作，以便使荧光体膏料从喷料板20排出。在排出结束后，使升降部908上升，同时使擦拭元件903与喷料板20的排出口面902接触。然后，开动图中没有示出的伺服电动机，使擦拭元件903沿着横向移动到图8的左侧，从而擦拭除去粘附在排出口面902上的荧光体膏料。接着，使喷料板20移动到预定的位置，将荧光体膏料涂敷到隔壁之间的空间处。
然后，可以在向隔壁之间的空间完成了一次涂敷荧光体膏料之后就进行上述的擦拭操作，也可以在完成了多次涂敷作业之后再进行擦拭操作。进行擦拭操作的定时性要根据荧光体膏料粘附到排出口面902上的程度来决定。
安装这种擦拭动作，可以在喷料板的排出口面经常保持清洁化的状态下进行涂敷作业，因此既可以防止多余的荧光体膏料粘附到基板隔壁的上端部，又可以防止荧光体膏料涂敷到与应该涂敷的隔壁之间的空间相邻的隔壁之间的空间处，而且可以均匀而稳定地将荧光体膏料涂敷到隔壁之间的空间处。
另外，在荧光体膏料粘附到隔壁的上端部的情况下，优选是设置一种用于除去处于预定涂敷位置以外的荧光体膏料的装置。
作为除去荧光体膏料的方法，可以使用刮勺刮除，或者用粘性体与隔壁的上端部接触来除去荧光体膏料，或者用压缩空气通过空气喷嘴吹喷来除去荧光体膏料的方法。作为粘性体的材质，只要是具有上述特性的材料即可，对此没有特殊限定，但是可以举出，例如聚氨酯橡胶、聚乙烯橡胶、硅橡胶以及它们的凝胶体等。
作为由上述粘性物质构成的粘性体的形状，没有特殊限定，但优选是适合于与基板的表面接触的带状物或辊状物。如果是带状物，则最好是该带一边在送出辊与卷收辊之间作回转运动，一边与正在运输中的基板接触。由于这种接触，使得粘附在基板隔壁顶部的荧光体膏料被粘性物质粘住和除去。
实施例
下面利用实施例具体地解释本发明，但本发明不受这些实施例的限定。另外，如果没有特别的说明，则在实施例和比较例中的浓度(％)皆是指重量％。另外，对已形成的荧光体层的评价，按照下述的7项参数来进行。
·膏料从排出口的排出性
·涂敷时间(用于涂布荧光体膏料所需的总时间(干燥时间除外))
·侧面厚度(在隔壁高度中部的表面内取9点所获的平均厚度)
·底部厚度(在电介质层上的一面取9点所获的平均厚度)
·厚度的分布(在测定9点时所获的最大厚度与最小厚度之差)
·在隔壁的上部有无膏料粘附
·混色(荧光体膏料泄漏到与应该形成涂层的隔壁之间的空间相邻的隔壁之间的空间处)实施例1
在一块尺寸为宽340mm×长440mm×厚2.8mm的钠玻璃基板的全部表面上，用丝网印刷法印制一层5μm厚的光敏性银膏料，然后用光掩模进行曝光、显影和烧结各个工序，形成了1920条间距为220μm的条状银电极。将一种由玻璃与粘合剂组成的玻璃膏料通过丝网印刷法形成在上述电极上，然后将其烧结，从而形成了电介质层。接着，将一种由玻璃粉与光敏性有机成分组成的光敏性玻璃膏料用丝网印刷法形成一层厚度为200μm的涂层，然后将其干燥。接着，使用一种设计好的光掩模进行曝光、显影和烧结，以便在相邻的两个电极之间形成隔壁。隔壁的形状参数为：间距220μm、线宽30μm、高度130μm，隔壁数目为1921条。
使用图3所示的装置在已形成了隔壁的玻璃基板上涂敷具有如下组成的荧光体膏料。
荧光体膏料：将以下的荧光体粉末各40g分别与乙基纤维素10g、萜品醇10g和苄醇40g一起混合，然后用一台陶瓷制的三辊轧机将其混炼，如此分别生产红、绿、蓝三种颜色的荧光体膏料。
荧光体粉末：
红：(Y,Gd,Eu)BO3
50体积％的粒径2.5μm，比表面积2.3m2/g
绿：(Zn,Mn)2SiO4
50体积％的粒径2.9μm，比表面积1.8m2/g
蓝：(Ba,Eu)MgAl10O17
50体积％的粒径3.1μm，比表面积2.5m2/g
所获荧光体膏料的粘度分别为，红14Pa·s、绿18Pa·s、蓝15 Pa·s。
在涂敷荧光体膏料时使用的喷料板，是一台排出口的平均孔径为150μm，排出口间距为660μm，排出口数目为64个，排出口长度为2mm的喷料板。
使用上述的红色荧光体膏料和喷料板，在保持喷料板排出口的前端部与形成在玻璃基板上的隔壁的上端部之间的距离为0.1mm的条件下进行涂敷作业。涂敷操作是通过向已充满荧光体膏料的喷料板加压来使膏料连续地排出，使喷料板与隔壁平行地以50mm/sec的速度移动。
在涂敷开始以后，向红色、蓝色膏料施加2.6kg/cm2的压力，向绿色膏料施加3kg/cm2的压力，当喷料板到达基板端部时停止涂敷操作，但是在到达隔壁端部之前0.1秒即施加负压以使喷料板内部减压。然后使喷料板沿隔壁的垂直方向移动42.24mm，并涂敷荧光体膏料。通过10次涂敷，在相邻的隔壁之间的空间处每空两行空间地涂敷640条膏料。接着，在80℃下干燥15分钟，然后同样地，在已涂敷了红色荧光体膏料的右边的隔壁之间的空间处涂敷绿色的荧光体，在左边的隔壁之间的空间处涂敷蓝色的荧光体。
把已经涂敷了RGB荧光体膏料的基板在460℃下烧结15分钟，然后进行评价。评价结果示于表1中。实施例2
除了将喷料板的数目由1台改变为2台，以及在喷料板的移动速度为50mm/sec的条件下进行涂敷之外，其余与实施例1同样地形成荧光体层。评价结果示于表1中。实施例3
除了将喷料板的数目由1台改变为3台，以及向这3台喷料板中分别注入RGB各色荧光体膏料，通过排出膏料来进行涂敷之外，其余与实施例1同样地形成荧光体层。评价结果示于表1中。实施例4
除了将排出口的数目由64条改变为640条，以及对1色的荧光体膏料的涂布只通过1次喷料板移动即完成涂敷操作之外，其余与实施例1同样地形成荧光体层。评价结果示于表1中。实施例5
基本上与实施例1同样地形成荧光体层，所不同的包括：使用电极间距为120μm，隔壁间距为120μm，线宽为30μm，高度为90μm的基板，以及使用一台排出口的孔径为75μm，间距为720μm的喷料板进行了一次涂敷之后，再使喷料板移动0.36mm、46.08mm、0.36mm、46.08mm、0.36mm、46.08mm、0.36mm、46.08mm、0.36mm，共进行10次的涂敷操作。评价结果示于表1中。实施例6
基本上与实施例1同样地形成荧光体层，所不同的包括：使用电极间距为120μm，隔壁间距为120μm，线宽为30μm，高度为90μm的基板，以及使用一台排出口的孔径为150μm，间距为720μm的喷料板进行了一次涂敷之后，再使喷料板移动0.36mm、46.08mm、0.36mm、46.08mm、0.36mm、46.08mm、0.36mm、46.08mm、0.36mm，共进行10次的涂敷操作。另外，在将荧光体层烧结之后，使用一个宽度为500mm，直径为250mm的粘性辊子，转动该辊子以使全部隔壁的上部与该辊子接触。评价结果示于表1中。实施例7
除了将荧光体膏料改变为以下组成的膏料之外，其余与实施例5同样地涂敷荧光体膏料，然后使用一种具有1920条开口线，线宽为80μm、间距为120μm的光掩模进行曝光。接着，使用0.5重量％三乙醇胺的水溶液进行显影，然后将其烧结，形成了荧光体层。评价结果示于表1中。
荧光体膏料：将以下的荧光体粉末各50g分别与粘合剂(甲基丙烯酸异丁酯-丙烯酸的1∶1共聚物，重均分子量2.4万)20g、光敏性单体(三丙烯酸三羟甲基丙烷酯)15g、γ-丁内酯20g、聚合引发剂(Ciba Geigy公司制的Irgacure 907)3g一起混合，然后用一台三辊轧机将其混炼，制成膏料。
荧光体粉末：
红：(Y,Gd,Eu)BO3
50体积％的粒径2.5μm，比表面积2.3m2/g
绿：(Zn,Mn)2SiO4
50体积％的粒径2.9μm，比表面积1.8m2/g
蓝：(Ba,Eu)MgAl10O17
50体积％的粒径3.1μm，比表面积2.5m2/g
所获荧光体膏料的粘度分别为，红20Pa·s、绿32Pa·s、蓝19Pa·s。实施例8
将实施例1的荧光体膏料改变成一种由荧光体粉末50g和粘合剂聚合物(一种重均分子量为43,000，酸值为95的光敏性聚合物，它是通过相对于由40％甲基丙烯酸、30％甲基丙烯酸甲酯、30％苯乙烯生成的共聚物中的羧基，加入0.4当量的甲基丙烯酸甘油酯进行加成反应而获得的)40g、溶剂(γ-丁内酯)30g和分散剂4g组成的荧光体膏料，在80℃下加热以使各种有机成分熔化，然后向其中加入荧光体粉末，用一台混炼机将其混炼，从而制得膏料。该荧光体膏料的粘度，对于红、绿、蓝三种颜色的膏料，皆为0.05Pa·s。
另外，将基板改变成一种形成有2000条间距为150μm，高度为120μm，宽度为30μm的隔壁的玻璃基板，将喷料板改变成一种具有640个孔径为80μm的排出口，排出口的间距为450μm的喷料板，在排出红色荧光体膏料之后，使涂敷面朝下地在80℃下干燥60分钟，然后在排出绿色荧光体膏料之后，使涂敷面朝下地在80℃下干燥60分钟，进而在排出蓝色荧光体膏料之后，使涂敷面朝下地在80℃下干燥60分钟，最后在500℃下烧结30分钟。其他条件与实施例1同样地形成荧光体层。评价结果示于表1中。实施例9
除了将荧光体膏料改变成由荧光体粉末50g、粘合剂聚合物40g、溶剂(γ-丁内酯)30g和分散剂4g组成的荧光体膏料，荧光体膏料的粘度，红、绿、蓝三种颜色皆为0.03Pa·s以外，其余与实施例8同样地制得荧光体膏料。
另外，除了将基板改变成一种形成有2000条间距为360μm，高度为140μm，宽度为50μm的隔壁的玻璃基板，将喷料板改变成一种具有1940个孔径为100μm的排出口，排出口的间距为360μm，能将红色、蓝色、绿色三种荧光体膏料分别地同时排出的喷料板，以及在排出各色的荧光体之后，在80℃下干燥45分钟之外，其余与实施例8同样地形成荧光体层。评价结果示于表1中。实施例10
除了将荧光体膏料改变成由荧光体粉末50g、粘合剂聚合物20g、三丙烯酸三羟甲基丙烷酯20g、溶剂(γ-丁内酯)30g和分散剂4g、光聚合引发剂(由Ciba Geigy公司生产的“Irgacure 907”)组成的荧光体膏料，以及荧光体膏料的粘度，红、绿、蓝三种颜色皆为0.03Pa·s以外，其余与实施例8同样地形成荧光体层。
接着使用一个具有1920条开口线，线宽为80μm，间距为120μm的光掩模进行曝光，然后用三乙醇胺0.5重量％的水溶液进行显影，最后将其烧结，从而形成了荧光体层。
接着使用一个具有1920条开口线，线宽为60μm，间距为150μm的光掩模进行曝光，然后用三乙醇胺0.5重量％的水溶液进行显影，最后在500℃下烧结30分钟，从而形成了荧光体层。评价结果示于表1中。比较例1
在一块电极间距为120μm，隔壁间距为120μm，线宽为30μm，高度为90μm的基板上，使用一块开口线宽为80μm，间距为360μm的印刷网版，分别印刷RGB的各种荧光体膏料。然后将该基板在460℃下烧结15分钟，从而形成荧光体层。评价结果示于表1中。
表1荧光体层的评价结果
| 膏料的排出性 | 涂敷时间(秒) | 侧面厚度(μm) | 底部厚度(μm) | 厚度分布(μm) | 粘附到隔壁上部 | 混色 | |
| 实施例1 | 良好 | 280 | 17 | 19 | 3 | 无 | 无 |
| 实施例2 | 良好 | 155 | 19 | 19 | 4 | 无 | 无 |
| 实施例3 | 良好 | 103 | 21 | 20 | 3 | 无 | 无 |
| 实施例4 | 良好 | 24 | 20 | 20 | 3 | 无 | 无 |
| 实施例5 | 良好 | 310 | 18 | 16 | 0 | 无 | 无 |
| 实施例6 | 良好 | 310 | 17 | 17 | 1 | 无 | 无 |
| 实施例7 | 良好 | 330 | 18 | 18 | 3 | 无 | 无 |
| 实施例8 | 良好 | 24 | 20 | 30 | 4 | 无 | 无 |
| 实施例9 | 良好 | 10 | 10 | 40 | 4 | 无 | 无 |
| 实施例10 | 良好 | 24 | 23 | 30 | 6 | 无 | 无 |
| 比较例1 | --- | 58 | 8 | 27 | 8 | 有 | 有 |
工业上利用的可能性
按照本发明，可以在高精细的隔壁之间的空间处简便地形成高精度的荧光体层，因此可以获得一种具有适用于高精细等离子显示器的荧光体层，用途广泛的，高质量的等离子显示器。而且，由于这种等离子显示器可以连续地以高生产率制造，因此在工业上很有利。
按照本发明制得的高精细等离子显示器可以广泛地应用于，例如，壁挂式电视或信息显示用等的显示器领域中。
Claims (58)
1．一种等离子显示器的制造方法，其特征在于，在一块已形成了多个隔壁的基板上，由具有多个排出口的喷料板连续地排出含有荧光粉末和有机化合物的荧光体膏料，从而形成荧光体层。
2．一种等离子显示器的制造方法，其特征在于，在一块已形成了多个隔壁的基板上，由具有排出口的喷料板将各自含有发红色、绿色、蓝色光线的荧光体粉末的三种荧光体膏料分别地按条状涂敷在基板上的隔壁之间的空间处，然后通过加热使其形成荧光体层。
3．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，隔壁的间隔(S)与排出口的平均孔径(D)满足下述公式的条件
10μm≤D≤S≤500μm。
4．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中的排出口呈平板状、喷嘴状或针管状。
5．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中使用具有20～2000个排出口的喷料板。
6．如权利要求5所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中使用具有150～2000个排出口的喷料板。
7．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中使用排出口数目在16n±5(n为自然数)范围内的喷料板。
8．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中使用排出口的间距为0.12～3mm的喷料板。
9．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中使用排出口的间距等于隔壁间距的3m倍(m为1～10的整数)的喷料板。
10．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中使用排出口的长度(L)与排出口的平均孔径(D)满足下述公式的喷料板，
L/D=0.1～600。
11．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中使用排出口的平均孔径(D)为60～400μm的喷料板进行涂敷。
12．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，按照喷料板排出口的前端部与形成于玻璃基板上的隔壁的上端部之间的距离为0.01～2mm的状态来涂敷荧光体膏料。
13．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，由一个喷料板排出含有发不同颜色光线的荧光体的膏料，而且，用于排出该不同颜色的荧光体膏料的排出口相互间的最短间隔在600μm以上。
14．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，且有两台以上独立的喷料板，由该两台以上的喷料板同时进行涂敷。
15．如权利要求14所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，两台以上的喷料板按相同速度移动进行涂敷。
16．如权利要求2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，每次涂敷一种颜色，而且在涂敷每一种颜色之后皆经过干燥工序。
17．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，喷料板与基板按照平行于该玻璃基板上的隔壁进行相对移动。
18．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，在停止荧光体膏料的排出时，使喷料板的内部成为负压状态。
19．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，在喷料板与基板按照平行于该基板上的隔壁开始相对移动之后，开始排出荧光体膏料，并且，在上述的相对移动终结之前停止上述的排出。
20．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，作为荧光体粉末，使用50重量％粒子的粒径为0.5～10μm，比表面积为0.1～2m2/g的荧光体粉末。
21．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，使用含有荧光体粉末30～60重量％、粘合剂树脂5～20重量％和溶剂，而且荧光体粉末与粘合剂树脂的重量比为6∶1～3∶1的荧光体膏料。
22．如权利要求21所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中的粘合剂树脂是纤维素化合物。
23．如权利要求21所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中的溶剂是一种含萜品醇的溶剂。
24．如权利要求2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，该方法包括将各自含有发红色、绿色、蓝色光线的荧光体粉末的三种荧光体膏料分别涂敷在玻璃基板上的隔壁之间的空间处，从而形成荧光面，通过使那些存在于预定的涂敷位置以外的荧光体粘附在粘性体上而将其除去。
25．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，通过使那些位于隔壁的上端部的荧光体粘附在粘性体上而将其除去。
26．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，使用符合于下述关系式的荧光体膏料，
(2H+P-W)×5≤H×(P-W)×a/100≤(2H+P-W)×30式中，H为隔壁的高度(μm),P为隔壁间距(μm),W为隔壁本身的线宽(μm),a为在荧光体膏料中所含的荧光体粉末的比例(体积％)。
27．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，作为荧光体膏料，使用粘度为2～50Pa·s的膏料。
28．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中的荧光体膏料是光敏性的荧光体膏料。
29．如权利要求28所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，作为光敏性荧光体膏料，使用具有下述组成的膏料，
有机成分：15～60重量份
荧光体粉末：40～85重量份
溶剂：10～50重量份。
30．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中的隔壁层是具有下述尺寸的条形状，
间距：100～250μm
线宽：15～40μm
高度：60～170μm。
31．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中的隔壁的顶面为黑色。
32．如权利要求1或2所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，其中的荧光体层在隔壁高度一半的位置处的侧面厚度(T1)与底部厚度(T2)之间满足下述关系，
10≤T1≤50μm
10≤T2≤50μm
0.2≤T1/T2≤5。
33．一种等离子显示器的制造装置，其特征在于，它具有：用于将在表面上已形成了多个隔壁的基板固定的桌台、带有多个面朝上述基板隔壁的排出口的喷料板、用于向上述喷料板供给荧光体膏料的供给装置、用于使上述桌台与上述喷料板在三维方向上进行相对移动的移动手段。
34．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，上述喷料板的排出口的平均孔径(D)与隔壁的间隔(S)满足以下条件：
10μm≤D≤S≤500μm。
35．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，上述喷料板的排出口的形状不是圆形，而且，大体上与隔壁相垂直的开口的长度(B)和隔壁的间隔(S)满足下述条件，
10μm≤B≤S≤500μm。
36．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，上述喷料板的排出口的间距为隔壁间距的3m倍(m为1～10的整数)。
37．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，上述喷料板的排出口处于同一面上。
38．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，上述喷料板的排出口通过配置同一形状的管子而构成。
39．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，上述喷料板的排出口的数目为20～2000个。
40 ．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，上述喷料板的排出口的数目在16n±5(n为自然数)的范围内。
41．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，上述喷料板的排出口的间距为0.12～3mm。
42．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，上述喷料板的排出口的平均孔径(D)与排出口的长度(L)满足下式，
L/D=0.1～600。
43．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，上述喷料板的排出口的平均孔径为60～400μm。
44．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，上述喷料板的排出口的中心按照处于各个隔壁之间的空间的上方来配置。
45．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，在上述喷料板的排出口面和/或排出口的内壁，涂覆含氟树脂薄膜。
46．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，在上述喷料板的排出口面和/或排出口的内壁，涂覆非结晶质的碳薄膜。
47．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，上述喷料板具有：多个荧光体膏料贮存部、用于向上述贮存部供给荧光体膏料的荧光体膏料供给口、用于使上述贮存部与上述排出口进行流体连通的通道部，而且上述排出口的数目比该贮存部的数目多，并且，与上述各个贮存部相对应的上述排出口按一定的顺序周期性地大体上在一直线上排列。
48．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，其中配置两个以上的喷料板。
49．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，该装置具有与多个不同种类的荧光体膏料相对应的多个喷料板，以及与各个喷料板相对应的用于供给荧光体膏料的多个荧光体膏料供给装置，以便向基板上的隔壁之间的空间处同时地涂敷多种荧光体膏料。
50．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，该装置具有能够对上述喷料板内的压力在大气压至负压之间进行任意设定的压力调整手段，以及用于对压力调整进行定时控制的控制手段。
51．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，该装置设置有：用于检测上述喷料板排出口位置的检测手段、用于检测基板的隔壁或隔壁之间的空间的位置的检测手段、用于检测基板上隔壁的上端部位置的检测手段、用于检测喷料板排出口前端部位置的检测手段、用于根据相对于上述喷料板排出口的基板的相对位置来控制荧光体膏料的排出操作的开始和终止的控制手段。
52．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，该装置具有用于调整相对于基板隔壁上端部的上述喷料板的倾斜度的调整手段、用于将上述喷料板排出口前端部按照相对于基板隔壁上端部呈大体上平行并按预定的间隔设置的控制手段。
53．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，该装置设置有用于检测从上述喷料板排出到基板上的荧光体膏料在基板内的位置的检测手段。
54．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，该装置设置有用于检测基板上的隔壁数目或隔壁之间的空间数目的检测手段以及用于根据已检测出的隔壁数目或隔壁之间的空间数目来认定应该涂敷的隔壁之间的空间的认定手段。
55．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，该装置设置有用于检测设置在基板上的参考点标志的参考点标志检测手段、用于根据已检测出的参考点标志的位置来使上述喷料板与隔壁进行相对移动以便使喷料板的排出口处于应该涂敷荧光体膏料的隔壁之间的空间上方的移动手段和控制手段。
56．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，该装置设置有用于清洁上述喷料板排出口表面的清洁化装置。
57．如权利要求33所述的等离子显示器的制造装置，其特征在于，该装置设置有用于清除存在于基板上的预定涂敷位置以外的荧光体膏料的清除手段。
58．一种等离子显示器的制造装置，其特征在于，对应于三种荧光体膏料的三台涂敷装置串联配置，每台涂敷装置具有用于固定已在表面上形成了隔壁的基板的桌台、带有面朝基板隔壁的多个排出口的喷料板、用于向上述喷料板供给荧光体膏料的供给装置、用于使上述桌台与上述喷料板在三维方向上进行相对移动的移动手段。
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1294231C (zh) * | 2001-12-13 | 2007-01-10 | 奥斯兰姆施尔凡尼亚公司 | 发光体糊剂组合物 |
| CN100399490C (zh) * | 2003-11-28 | 2008-07-02 | 三星Sdi株式会社 | 等离子体显示面板 |
| CN100403480C (zh) * | 2003-11-24 | 2008-07-16 | 三星Sdi株式会社 | 等离子体显示面板 |
| CN102019256A (zh) * | 2009-08-26 | 2011-04-20 | 卡西欧计算机株式会社 | 涂敷装置以及使用涂敷装置的制造方法 |
| CN107115999A (zh) * | 2013-03-15 | 2017-09-01 | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 | 用于将粘性介质喷射在工件上的方法和设备 |
| US10239084B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-03-26 | Mycronic AB | Methods and devices for jetting viscous medium on workpieces |
| CN115025934A (zh) * | 2022-06-27 | 2022-09-09 | 宜春宇泽新能源有限公司 | 一种用于树脂板的自动粘棒线抹胶装置 |
Families Citing this family (50)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100565757C (zh) | 1998-07-08 | 2009-12-02 | 松下电器产业株式会社 | 等离子体显示面板的制造方法及荧光体墨涂敷装置 |
| TW512543B (en) * | 1999-06-28 | 2002-12-01 | Semiconductor Energy Lab | Method of manufacturing an electro-optical device |
| US6767577B1 (en) * | 1999-10-06 | 2004-07-27 | Allied Photochemical, Inc. | Uv curable compositions for producing electroluminescent coatings |
| TW480722B (en) * | 1999-10-12 | 2002-03-21 | Semiconductor Energy Lab | Manufacturing method of electro-optical device |
| TW468283B (en) * | 1999-10-12 | 2001-12-11 | Semiconductor Energy Lab | EL display device and a method of manufacturing the same |
| TW471011B (en) | 1999-10-13 | 2002-01-01 | Semiconductor Energy Lab | Thin film forming apparatus |
| JP3374807B2 (ja) * | 1999-10-19 | 2003-02-10 | 松下電器産業株式会社 | ディスプレイパネル及びその製造方法 |
| TW495808B (en) * | 2000-02-04 | 2002-07-21 | Semiconductor Energy Lab | Thin film formation apparatus and method of manufacturing self-light-emitting device using thin film formation apparatus |
| JP2001341296A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-12-11 | Seiko Epson Corp | インクジェット法による薄膜形成方法、インクジェット装置、有機ｅｌ素子の製造方法、有機ｅｌ素子 |
| DE10024836A1 (de) * | 2000-05-19 | 2001-11-22 | Philips Corp Intellectual Pty | Plasmabildschirm mit einem Terbium (III)-aktivierten Leuchtstoff |
| US6612889B1 (en) * | 2000-10-27 | 2003-09-02 | Science Applications International Corporation | Method for making a light-emitting panel |
| US6801001B2 (en) * | 2000-10-27 | 2004-10-05 | Science Applications International Corporation | Method and apparatus for addressing micro-components in a plasma display panel |
| US6935913B2 (en) * | 2000-10-27 | 2005-08-30 | Science Applications International Corporation | Method for on-line testing of a light emitting panel |
| US6796867B2 (en) * | 2000-10-27 | 2004-09-28 | Science Applications International Corporation | Use of printing and other technology for micro-component placement |
| US7288014B1 (en) | 2000-10-27 | 2007-10-30 | Science Applications International Corporation | Design, fabrication, testing, and conditioning of micro-components for use in a light-emitting panel |
| US6822626B2 (en) * | 2000-10-27 | 2004-11-23 | Science Applications International Corporation | Design, fabrication, testing, and conditioning of micro-components for use in a light-emitting panel |
| US6545422B1 (en) * | 2000-10-27 | 2003-04-08 | Science Applications International Corporation | Socket for use with a micro-component in a light-emitting panel |
| US6620012B1 (en) * | 2000-10-27 | 2003-09-16 | Science Applications International Corporation | Method for testing a light-emitting panel and the components therein |
| US6764367B2 (en) * | 2000-10-27 | 2004-07-20 | Science Applications International Corporation | Liquid manufacturing processes for panel layer fabrication |
| JP4093059B2 (ja) * | 2001-03-06 | 2008-05-28 | 東レ株式会社 | ディスプレイパネルの検査方法および検査装置ならびに製造方法 |
| US20030166311A1 (en) * | 2001-09-12 | 2003-09-04 | Seiko Epson Corporation | Method for patterning, method for forming film, patterning apparatus, film formation apparatus, electro-optic apparatus and method for manufacturing the same, electronic equipment, and electronic apparatus and method for manufacturing the same |
| SG135957A1 (en) * | 2001-12-26 | 2007-10-29 | Toray Industries | Die, application apparatus for application fluid, and application method |
| TWI237287B (en) * | 2002-04-24 | 2005-08-01 | Fujitsu Hitachi Plasma Display | Fluorescent layer forming apparatus |
| JP3657930B2 (ja) * | 2002-07-05 | 2005-06-08 | パイオニアプラズマディスプレイ株式会社 | プラズマディスプレイパネルの製造方法、蛍光体層の検査方法及び蛍光体層の検査装置 |
| US20060033906A1 (en) * | 2002-11-15 | 2006-02-16 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Exposure device |
| ATE467665T1 (de) | 2003-08-25 | 2010-05-15 | Dip Tech Ltd | Tinte für keramische oberflächen |
| KR100550548B1 (ko) * | 2003-09-30 | 2006-02-10 | 엘지전자 주식회사 | 평판 디스플레이 패널의 형광막 형성장치 |
| KR100987897B1 (ko) * | 2003-11-25 | 2010-10-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정 표시패널의 디스펜서 및 이를 이용한 디스펜싱 방법 |
| US20050189164A1 (en) * | 2004-02-26 | 2005-09-01 | Chang Chi L. | Speaker enclosure having outer flared tube |
| KR100591693B1 (ko) * | 2004-04-13 | 2006-06-22 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 페이스트 도포기 및 그 제어 방법 |
| US20050281948A1 (en) * | 2004-06-17 | 2005-12-22 | Eastman Kodak Company | Vaporizing temperature sensitive materials |
| US20060066235A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-03-30 | Brody Thomas P | Receptacles for inkjet deposited PLED/OLED devices and method of making the same |
| KR20060033244A (ko) * | 2004-10-14 | 2006-04-19 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
| US20060204868A1 (en) * | 2005-03-08 | 2006-09-14 | Leiser Judson M | Material deposition method and/or system |
| JP2006294579A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-10-26 | Fujitsu Ltd | 突起体の製造方法 |
| TWI298268B (en) * | 2005-07-08 | 2008-07-01 | Top Eng Co Ltd | Paste dispenser and method of controlling the same |
| US7569406B2 (en) * | 2006-01-09 | 2009-08-04 | Cree, Inc. | Method for coating semiconductor device using droplet deposition |
| KR20070079817A (ko) * | 2006-02-03 | 2007-08-08 | 삼성전자주식회사 | 인쇄장치, 이를 이용한 그라비아 인쇄법과 표시장치의제조방법 |
| TW200804878A (en) * | 2006-07-07 | 2008-01-16 | Innolux Display Corp | Coating apparatus and method for fabricating color filter |
| JP4725577B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2011-07-13 | カシオ計算機株式会社 | 表示装置の製造方法 |
| TWI438262B (zh) | 2008-02-07 | 2014-05-21 | Mitsubishi Chem Corp | A semiconductor light emitting device, a backlight, a color image display device, and a phosphor |
| JP4577395B2 (ja) * | 2008-04-03 | 2010-11-10 | ソニー株式会社 | 実装装置及び実装方法 |
| JP4589980B2 (ja) * | 2008-06-04 | 2010-12-01 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
| US20100323577A1 (en) * | 2009-06-22 | 2010-12-23 | Panasonic Corporation | Method for producing plasma display panel |
| JP5583526B2 (ja) * | 2009-09-17 | 2014-09-03 | 日本発條株式会社 | 液剤塗布装置 |
| DE102010025769A1 (de) * | 2010-07-01 | 2012-01-05 | Basf Coatings Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer farb- und/oder effektgebenden mehrschichtigen Lackierung |
| DE102010044349A1 (de) * | 2010-09-03 | 2012-04-19 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer metallischen Kontaktstruktur zur elektrischen Kontaktierung einer photovoltaischen Solarzelle |
| CN102688822A (zh) * | 2011-03-22 | 2012-09-26 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 点胶装置 |
| DE102014215142A1 (de) * | 2014-08-01 | 2016-02-04 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zum flächigen Auftragen eines Dämpfungsmaterials auf ein Trägerelement eines Kraftfahrzeugbauteils |
| KR101740146B1 (ko) * | 2015-10-30 | 2017-05-26 | 주식회사 프로텍 | 펌프 위치 피드백 방식 디스펜서 및 디스펜싱 방법 |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5010071A (zh) * | 1973-05-23 | 1975-02-01 | ||
| JPS59226500A (ja) * | 1983-06-04 | 1984-12-19 | アルプス電気株式会社 | 分散型エレクトロルミネツセンス |
| JPS61127783A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-16 | Futaba Corp | 低速電子線励起螢光体およびその製造方法 |
| DE3545743A1 (de) * | 1985-12-21 | 1987-06-25 | Bramlage Gmbh | Spender fuer pastoese massen |
| JP2679036B2 (ja) * | 1986-12-18 | 1997-11-19 | 富士通株式会社 | ガス放電パネルの製造方法 |
| US5132045A (en) * | 1988-03-16 | 1992-07-21 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Acrylic phosphor paste compositions and phosphor coatings obtained therefrom |
| EP0382260B1 (en) * | 1989-02-10 | 1995-05-03 | Dai Nippon Insatsu Kabushiki Kaisha | Plasma display panel and method of manufacturing same |
| JP3169628B2 (ja) * | 1991-02-26 | 2001-05-28 | 日本電気株式会社 | プラズマディスプレイパネル |
| JPH0511105A (ja) * | 1991-07-01 | 1993-01-19 | Toshiba Corp | カラーフイルタの製造方法 |
| JP3091001B2 (ja) | 1991-11-21 | 2000-09-25 | 大日本印刷株式会社 | 蛍光面形成方法 |
| JPH065205A (ja) | 1992-06-23 | 1994-01-14 | Dainippon Printing Co Ltd | プラズマディスプレイ基板の蛍光面形成方法 |
| EP0554172B1 (en) * | 1992-01-28 | 1998-04-29 | Fujitsu Limited | Color surface discharge type plasma display device |
| US5556665A (en) * | 1992-11-03 | 1996-09-17 | Zenith Electronics Corporation | Meniscus coating of CRT screens |
| US5466325A (en) * | 1993-06-02 | 1995-11-14 | Nitto Denko Corporation | Resist removing method, and curable pressure-sensitive adhesive, adhesive sheets and apparatus used for the method |
| US5767876A (en) * | 1994-08-19 | 1998-06-16 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Ink jet recording method, a color image processing method, a color image processing apparatus, and an ink jet recording apparatus |
| JPH08162019A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-06-21 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイの製造方法 |
| US5656574A (en) * | 1995-01-13 | 1997-08-12 | University Of Houston | Fabrication of superconducting wires and rods |
| US5741746A (en) * | 1995-03-02 | 1998-04-21 | Kohli; Jeffrey T. | Glasses for display panels |
| AUPN230795A0 (en) * | 1995-04-12 | 1995-05-04 | Eastman Kodak Company | Nozzle placement in monolithic drop-on-demand print heads |
| US5850241A (en) * | 1995-04-12 | 1998-12-15 | Eastman Kodak Company | Monolithic print head structure and a manufacturing process therefor using anisotropic wet etching |
| JP3212837B2 (ja) * | 1995-06-30 | 2001-09-25 | 富士通株式会社 | プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 |
| JPH0992134A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-04-04 | Dainippon Printing Co Ltd | ノズル塗布方法及び装置 |
| US5723945A (en) * | 1996-04-09 | 1998-03-03 | Electro Plasma, Inc. | Flat-panel display |
| JP3113212B2 (ja) * | 1996-05-09 | 2000-11-27 | 富士通株式会社 | プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置および蛍光体塗布方法 |
| EP0966016B1 (en) * | 1996-09-18 | 2003-06-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Production method of plasma display panel suitable for minute cell structure, and plasma display panel |
-
1997
- 1997-12-16 ID IDW980064D patent/ID21831A/id unknown
- 1997-12-16 EP EP97947965A patent/EP0884754B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-16 WO PCT/JP1997/004643 patent/WO1998027570A1/ja active IP Right Grant
- 1997-12-16 CN CN97193748.6A patent/CN1123040C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-16 US US09/125,128 patent/US7455879B2/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-16 DE DE69735666T patent/DE69735666T2/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1294231C (zh) * | 2001-12-13 | 2007-01-10 | 奥斯兰姆施尔凡尼亚公司 | 发光体糊剂组合物 |
| CN100403480C (zh) * | 2003-11-24 | 2008-07-16 | 三星Sdi株式会社 | 等离子体显示面板 |
| US7495395B2 (en) | 2003-11-24 | 2009-02-24 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Plasma display panel with defined phosphor layer thicknesses |
| CN100399490C (zh) * | 2003-11-28 | 2008-07-02 | 三星Sdi株式会社 | 等离子体显示面板 |
| CN102019256A (zh) * | 2009-08-26 | 2011-04-20 | 卡西欧计算机株式会社 | 涂敷装置以及使用涂敷装置的制造方法 |
| CN102019256B (zh) * | 2009-08-26 | 2013-06-05 | 卡西欧计算机株式会社 | 涂敷装置以及使用涂敷装置的制造方法 |
| US8464653B2 (en) | 2009-08-26 | 2013-06-18 | Casio Computer Co., Ltd. | Application device and method of producing application layer using same |
| CN107115999A (zh) * | 2013-03-15 | 2017-09-01 | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 | 用于将粘性介质喷射在工件上的方法和设备 |
| US10239084B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-03-26 | Mycronic AB | Methods and devices for jetting viscous medium on workpieces |
| CN107115999B (zh) * | 2013-03-15 | 2019-11-15 | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 | 用于将粘性介质喷射在工件上的方法和设备 |
| US10549306B2 (en) | 2013-03-15 | 2020-02-04 | Mycronic AB | Methods and devices for jetting viscous medium on workpieces |
| CN115025934A (zh) * | 2022-06-27 | 2022-09-09 | 宜春宇泽新能源有限公司 | 一种用于树脂板的自动粘棒线抹胶装置 |
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