CN1248003C - 差分性能的单端通道校正 - Google Patents

Abstract

在自动测试系统中，一种用于消除驱动器电路偏移的技术，其允许差分信号在位于或接近它们的50%-点处相交。分别连接到测量电路的第一和第二输入的第一和第二驱动器电路，每个电路产生向DUT传播的边沿，并且，当它到达位于DUT的不匹配负载时，反射回来。对所述每个测量电路的输入，所述测试系统测量边沿和它反射之间的时间间隔。将可变延迟电路设置为与所述每个驱动器电路串联。响应于测得的时间间隔，所述测试系统调整可变延迟电路，以确保来自所述第一和第二驱动器电路的信号在基本上相同的时间到达DUT。

Description

差分性能的单端通道校正

本发明一般涉及电子的自动测试装置。本发明特别涉及单端信号的消除偏移(deskewing)线对，从而它们能够被用作测试不同组件的差分信号。

发明背景

自动测试装置(ATE)在半导体器件制造中扮演着重要的角色。通常制造者使用自动测试装置—或“检测器”—以检验薄片半导体器件的工作和制造过程的包装器件阶段。制造者也使用ATE以诸如速度的各种技术指标将各种器件分级。然后，标记零件，并按照它们测试的性能级别将它们售出。

图1说明了高度简化的ATE系统。如图1所示，主计算机118经过一般表示为110a-110e的多个管脚电子通道(pin electronicschannels)，运行用于测试DUT122的测试程序。每个管脚电子通道有I/O终端(120a-120e)用于连接每个对应通道到DUT122。典型地，每个管脚电子通道包括：驱动器电路112、检测器电路114、和通道附加电路116(channel overhead circuitry)。

通道附加电路116执行许多功能。通常它包括：DACs(数字模拟转换器)，其用于驱动器电路112建立驱动电平，和DACs，其用于检测器电路114建立阈值电平。它也控制驱动器电路112及时地在精确控制的瞬时应用信号边沿，和控制检测器电路114，以及时地以精确控制的瞬时采样输入信号。通道附加电路116包括：存储器，其用于通过驱动器电路112，来存储用于DUT的数字向量，和用于存储由检测器电路114采样的数字状态。

ATE系统通常关注精确地产生单端信号。然而，我们认识到也有精确地产生差分信号的需要。单端信号通过提供参照接地的一个信号来传输数字逻辑，与单端信号相相反，差分信号按照两个互补信号的差来传输数字逻辑，其中两个信号均是不接地的。

ATE系统通常使用产生差分信号的单端硬件。按照这一技术，测试系统利用了成对的驱动器，来产生按照互补变化的单端信号。为了提供足够精确的计时信号，必须使单端信号在位于它们应用于的DUT的位置，位于或接近各自50％的点处相交(cross)。为满足这些要求，测试器必须紧紧地控制计时偏移。

常规的测试系统利用了减少单端通道之间的计时偏移的过程。这些过程通常涉及调整可变延迟线，来使不同的驱动信号，在基本上相同的时间到达DUT的节点。这些方法的一实例是授与美国马萨诸塞州波士顿的Teradyne，Inc公司的公开的美国专利4660197，题目是“同步多个通道电路测试器的电路”。

我们已经认识到，用于减少偏移(或“消除偏移”)(deskewing)的常规方法遇到的问题是小量但显著的误差。例如，常规的消除偏移的方法利用通道检测器，用于测量该通道对应的驱动器的延迟。我们已经发现，不同检测器之间的小量的阈值电平差引入了计时误差，该误差影响消除偏移的精确性。因为驱动器边沿有固定的斜率，因此在阈值电平中的误差转换为计时误差，使检测器误报驱动器边沿出现的时间。

另外，检测器电路本身也有偏移(skew)。尽管多数测试系统提供了消除偏移检测器的过程，但是检测器之间的偏移残余量添加到了驱动器的偏移中，因此降低了驱动器精度。这些误差的组合可能是足够大，以至不能保证由驱动器产生的差分信号在位于或接近于它们的50％的点处相交。

发明概述

本发明涉及一种消除第一和第二驱动器电路偏移的方法，该驱动器电路用于以在其构成的组件之间的相对低的计时偏移，来产生差分信号，所述方法包括以下步骤：

(A)从第一和第二驱动器电路中的每个电路，产生一个传播到各自不匹配负载的边沿；

(B)在测量电路的第一输入，接收来自第一驱动器电路的边沿，在测量电路的第二输入，接收来自第二驱动器电路的边沿，每个边沿包括：对应于步骤A的第一电压阶跃和对应于来自各自不匹配负载的反射的第二电压阶跃；和

(C)对测量电路的第一和第二输入中的每个输入，测量第一和第二电压阶跃之间的时间差，进一步包括：

(D)对应于在步骤C测得的时间差，调整由第一和第二驱动器电路中的至少其中之一产生的边沿延迟，从而使来自第一和第二驱动器电路的边沿在基本上相同的时间到达被测试的器件。

进一步包括：产生基本上消除偏移的差分信号，所述差分信号来自第一和第二驱动器电路。

进一步包括：将所述基本上消除偏移的差分信号应用于被测试器件的差分输入；和

使用所述基本上消除偏移的差分信号来测试被测试的器件。

其中在与所述第一和第二驱动器电路一起的集成电路的内制造所述测量电路。

其中所述第一和第二驱动器电路中的每个电路到其各自测量电路的输入具有传播延迟，和

调整第一和第二驱动器电路到各自测量电路输入的传播延迟量的步骤。

其中所述第一和第二驱动器电路中的每个电路，到各自测量电路的输入具有传播延迟，和

所述驱动器与所述测量电路的对应输入之间的传播延迟是匹配的。

进一步包括：所述测量电路产生输出信号，该输出信号根据来自第一和第二驱动器电路信号的和以及它们的差的其中之一，相关地进行变化；和

比较所述测量电路的输出信号与至少一个预定的阈值。

其中当所述第一驱动器电路产生来自第一驱动器电路的边沿时，所述第二驱动器电路产生稳定的信号输出，在所述第二驱动器电路产生来自第二驱动器电路的边沿时，第一驱动器电路产生稳定的信号输出。

其中所述测量第一和第二电压阶跃之间时间差的步骤C包括：测量第一电压阶跃的50％-点与第二电压阶跃的50％-点之间的时间差。

其中在所述测量时间差的步骤C前，所述方法包括：

测量所述第一和第二驱动器电路边沿的斜率；和

调整所述第一和第二边沿的至少其中之一的斜率，以基本上均衡所述第一和第二边沿的斜率。

其中所述第一驱动器电路边沿是上升沿和下降沿的其中之一，所述方法进一步包括：

对所述上升沿和所述下降沿的另一边沿，重复测量(C)和调整(D)的步骤。

其中所述第二驱动器电路边沿是上升沿和下降沿的其中之一，所述方法进一步包括：对所述上升沿和所述下降沿之外的另一个边沿重复测量(C)和调整(D)步骤。

其中所述测量电路包括：差分放大器，其中第一输入是反向输入，第二输入是非反向输入。

其中所述测量电路包括：共模放大器，其中将第一和第二输入提供为监控来自于第一和第二驱动器电路信号的共模电压。

本发明还涉及一种使用自动测试装置来测试差分器件的方法，其包括以下步骤：

(A)消除多个单端驱动器电路对的偏移；

(B)将来自多个单端驱动器电路对的输出信号应用于被测试器件，其中来自每对单端驱动器电路的输出信号组成差分信号；和

(C)监控来自于被测试器件的响应，以确定被测试器件是否是有缺陷的，

其中所述对每对单端驱动器电路消除偏移的步骤(A)包括：

(i)从所述第一和第二驱动器电路中的每个电路，产生传播到各自不匹配负载的边沿；

(ii)在所述测量电路的第一输入，接收来自第一驱动器电路的边沿，在所述测量电路的第二输入接收来自第二驱动器电路的边沿，每个边沿包括：对应于步骤A所述的第一电压阶跃和对应于来自各自不匹配负载的反射的第二电压阶跃；和

(iii)对所述测量电路的第一和第二输入中的每个输入，测量第一和第二电压阶跃之间的时间差，

(iv)对应于在步骤iii测得的时间差，调整由第一和第二驱动器电路中的至少其中之一产生的边沿延迟，从而使来自第一和第二驱动器电路的边沿在基本上相同的时间到达被测试器件。

本发明还涉及一种用于在自动测试系统中消除驱动器电路偏移的装置，该驱动器电路用于测试具有差分输入的被测试器件，所述装置包括：

第一驱动器电路，其具有适合于向被测试器件提供第一单端信号的输出；

第二驱动器电路，其具有适合于向被测试器件提供第二单端信号的输出；

可变延迟电路，其基本上与所述第一驱动器电路串联，用于延迟所述第一驱动器电路的边沿向被测试器件的传播；

测量电路，其具有连接到所述第一驱动器电路输出的第一输入和连接到所述第二驱动器电路输出的第二输入；

其中，所述可变延迟电路响应于来自所述测量电路的输出信号是可被调整的，以基本上均衡第一和第二单端信号到达被测试器件的时间。

其中所述第一和第二驱动器电路经具有基本上相等的传播延迟的导电通路连接到所述测量电路的第一和第二输入。

其中所述可变延迟电路是第一可变延迟电路，其进一步包括：

第二可变延迟电路，其基本上与所述第二驱动器电路串联，用于延迟所述第二驱动器电路的边沿向被测试器件的传播；

其中，所述第二可变延迟电路响应于来自所述测量电路的输出信号是可被调整的，以基本上均衡第一和第二单端信号到达被测试器件的时间。

进一步包括：至少一个斜率调整电路，其连接到所述第一和第二驱动器电路的至少一个输出，

其中，至少一个所述可调整斜率电路响应于存储在数据捕获存储器中的值是可被调整的，以基本上均衡所述第一和第二单端信号的斜率。

其中所述测量电路包括：差分比较器和共模比较器的其中之一。

其中所述测量电路包括：比较器，其用于比较所述测量电路的第一和第二输入处的信号电平之间的和及它们的差的其中之一与至少一个预定阈值。

进一步包括：数据捕获电路，其连接到所述比较器，并是可操作的，以在预定的瞬时时间捕获所述比较器的输出状态。

在上述背景下，本发明的目的是以比使用常规技术更为精确地减少用于产生差分信号的单端信号之间的计时偏移(timing skew)。

为了达到上述的目的、其它目的以及优点，将测量电路连接到第一和第二驱动器电路的输出。该测量电路包括：连接到第一驱动器电路输出的第一个输入和连接到第二驱动器电路输出的第二输入。使用第一和第二驱动器电路中的每个电路来产生边沿。来自驱动器的边沿向DUT上的非终端负载和测量电路传播，在该测量电路，它们使测量电路的第一和第二输入中的每个输入产生第一电压阶跃。当这些边沿在DUT遇到各自的非终端负载时，它们反射回到测量电路，在该测量电路它们使第一和第二输入中的每个输入产生第二电压阶跃。然后，测量该测量电路的两个输入的第一和第两电压阶跃之间的时间差。对应于该时间差，将第一和第二驱动器电路中的至少一个电路的延迟调整到基本上等于从第一和第二驱动器电路到DUT的边沿的到达时间。因为一个电路(例如测量电路)测量来自两个驱动器的延迟，因此消除了与使用两个检测器电路相联系的误差，并且得到更精确的结果。

附图简述

从肯定的描述和绘图中，本发明其他的目的，优点和新颖的特征

将变得显而易见，其中：

图1是常规ATE系统的简化部分的方框图；

图2是本发明可以实现的数字通道的简化部分的方框图；

图3是表示按照本发明的用于差分应用的消除偏移的驱动器电路过程的流程图；和

图4是表示与使用图2的数字通道来消除偏移的驱动器电路有关的各种波形的计时图。

优选实施例的描述

拓扑结构

图2表示按照本发明构建的用于自动测试装置的数字通道200的拓扑结构。如图2所示，第一和第二驱动器210和212经过到DUT的第一和第二节点的、标记为DUT HI和DUT LO的、各自的传输通路，来提供单端输出信号。图2的DUT类似于图1的DUT122，图2的传输通路类似于图1的信号通路120a-120e。

可变延迟电路224和226延迟从第一和第二驱动器210和212到DUT信号的通过。另外，可变斜率电路(variable slew rate circuit)228和230改变由驱动器电路产生的驱动器信号的斜率(slew rate)。为精确地消除来自驱动器210和212信号的偏移，优选地，它们的斜率和它们到DUT的延迟应该是匹配的。

如图2所示，数字通道200包括：第一和第二单端比较器214和216。这些比较器的输入分别地连接到驱动器210和212的输出。优选地，比较器214和216中的每一个比较器提供两个可编程的阈值，并作为常规窗口比较器(window comparator)。

图2也示出了差分比较器218。差分比较器218比较两个输入信号(标记为“A”和“B”)与两个预定阈值之间的差值，以产生输出信号。该输出信号表明信号A和B与其阈值之间的差值的相对值。因此，差分比较器218的工作方式类似于位于常规窗口比较器后的常规模拟差分放大器。差分比较器基本上以独立于其输入处的共模电压进行工作。

优选地，差分比较器218包括：锁存器，其用于使其输出状态保持恒定，直到可编程的计时信号发出之时为止。能够改变计时信号的位置，以便及时地在不同的瞬间检查差分信号。测试系统在数据捕获存储器222内存储来自差分比较器218的锁存的输出信号，其中可以通过测试程序有效地读出它。

图2也说明了共模比较器220。该比较器是类似于在美国专利申请09/525,557中公开的那种，题目是“用于自动测试装置的具有共模比较器的检测器”，引入此处作为参考。

如同差分比较器218，共模比较器接收来自于驱动器210和212的输入信号A和B。共模比较器220监测它们的共模或平均值，而不是监测它们之间的差。共模比较器220比较信号A和B的平均值与可编程的阈值，以产生输出信号。因此，共模比较器220的工作方式类似于连接到常规窗口比较器的常规平均电路(averaging circuit)。

优选地，在一个专用集成电路(ASIC)内制造图2所示的电路。也可以使用包括多个ASICs和分散组件的其它实施方式。在实施的电路内，优选地，驱动器210和212与差分比较器218的输入(A和B)之间的传播延迟是匹配的。与之类似，优选地，驱动器与共模比较器220的输入之间的传播延迟是匹配的。

操作

图3说明了按照本发明的减小诸如图2所示的驱动器的两驱动器之间的计时偏移的过程。按照这一过程，测试系统使用诸如差分比较器218的测试电路，来确定每个驱动器和DUT之间的传播延迟的差。对应于测得的延迟差，调整可变延迟线224和226的至少其中之一，来补偿这一差值，从而使驱动器信号基本上同时到达DUT。

在310步骤开始，诸如驱动器210的第一驱动器产生边沿，而诸如驱动器212的第二个驱动器产生一个恒定的电平，例如零伏特。来自第一驱动器210的边沿传播到DUT，它也传播到差分比较器218的第一输入(A)。图4的波形410描绘了在差分比较器的第一输入的信号。如图4所示，当边沿到达差分比较器的第一输入时，它使输入产生第一电压阶跃412。

当边沿到达DUT时，该边沿经传输通路被反射回到源，即，返回到第一驱动器210。从精确地控制的传输通路的阻抗到开路负载之间边沿的变化，使边沿的幅度大体加倍。然后，反射的边沿反向传输到驱动器210，并到达差分比较器218的输入。在这一点上，在差分比较器218的第一输入信号产生了第二电压阶跃414，大体加倍了信号的幅度。

在这一部分的过程中，优选地从测试板或插座移去DUT，从而在DUT位置的负载基本上是开路的。优选地，传输通路有精确地一致的特征阻抗，例如50欧姆。

我们已经认识到，在差分比较器的第一输入中，分离第一和第二电压阶跃412和414的时间间隔(TDHI)大约等于在驱动器210和DUT终端之间的回程延迟(round-trip delay)。测试系统能够按照如下方式测量大约的回程延迟。

测试系统将差分比较器218的阈值设置为第一电压阶跃预期的50％-点416。例如，如果由驱动器产生的信号在1～0伏(加倍前)之间变化，则优选地将差分比较器218的阈值设置为这一波动的中点或0.5伏。然后，使用常规技术，测试系统测量边沿与比较器阈值相交的时间。例如，可以通过改变该时间做到这一点，在所述时间，当监测比较器输出时，锁存差分比较器218，以及在比较器改变状态时调零。

一旦系统确定了第一电压阶跃出现的时间，则系统将阈值调整到第二电压阶跃414的50％-点418。例如，如果反射信号在0～-1伏变化，则优选地应该将阈值设置在-0.5伏。再使用常规技术，测试系统确定反射波形与阈值相交的时间。然后，在步骤316，计算驱动器信号的大约回程延迟。回程延迟等于第二阶跃与其50％-点相交的时间减去第一阶跃与其50％-点相交的时间。

然后，对第二驱动器电路(步骤318)重复以上过程。对于测量第二驱动器212的大约回程延迟，将第一驱动器210保持在恒定的电平，优选地为0伏，用边沿来驱动第二驱动器212。除了第一和第二电压阶跃422和424出现在差分比较器218的第二输入(B)外，基本上按照如上描述进行测量。因为第二输入(B)是差分比较器的反向输入，所以在比较器内，阈值426和428应该调整为反向值。例如，假设第二驱动器212产生一个在0～1伏变化的信号(反射除外)，差分比较器218的阈值应该设置在-0.5～-1.5伏，以分别捕获第一和第二电压阶跃。

明显地，我们已经认识到，这两个回程延迟的差精确地等于在驱动器和相应的DUT终端之间偏移的两倍。但是这一关系的有效性取决于从第一驱动器210到第一输入(A)和从第二驱动器210到第二输入(B)之间延迟的匹配的精确性。通过设计，优选地将电路200构建为满足这一要求。

已知了驱动器信号到达DUT时它们之间的偏移后，通过调整可变延迟电路224和226，能够补偿这一偏移(步骤320)。例如，如果以上测量表明第一驱动器信号比第二到达DUT早，那么可以将延迟电路224编程以增加它的延迟。或者，可以调整第二延迟电路，以减少它的延迟，或者，将两个的延迟电路调整为分配的延迟差。

为了从以上技术获得最好的结果，优选地，由第一和第二驱动器210和212产生信号的斜率也应匹配，且在进行上述匹配延迟的过程之前，斜率就应该是匹配的。为了测量来自驱动器信号的斜率，优选地，测试系统利用如上对测量延迟描述的同样的差分比较器和基本技术。首先将差分比较器218的阈值设置到预期电压波动的20％-点(例如，波形430的阈值432)。然后，使用常规的技术，确定驱动器信号与该20％阈值432相交的时间。然后，将阈值移到预期电压波动的80％-点432，并确定80％相交的时间。20％和80％的相交时间的间隔正比于驱动器信号的斜率。然后，用同样的技术测量第二驱动器212的斜率。一旦测得斜率，调整斜率调整电路228和230的至少其中之一，以到均衡两信号的斜率(步骤314)。

优点

以上描述的技术提供了在常规消除偏移技术中所没有的优点。常规技术利用分开的检测器电路来测量它们对应的驱动器的延迟，按照本发明的技术使用一个测量电路。因此，瞬时技术不会产生不同检测器电路之间阈值电平的误差。另外，因为，优选地，驱动器和测量电路之间的延迟是匹配的，所以为了精确地消除驱动器的偏移，不需要消除偏移的检测器。在消除偏移的检测器中的误差不会降低驱动器的精确性。因为消除了各种误差，所以能够使驱动器210和212产生的差分信号在其50％-点或者邻近点相交，因此更可靠地传送数据。而且，因为驱动器电路210和212是固有单端的，所以它们能产生消除偏移的信号，根据测试的具体器件的测试需要，该消除偏移信号或者是单端的、或者差分的。

替代方案

在描述了一个实施例后，可以进行多个替代的实施例或变化。例如，以上描述的实施例利用差分比较器218来确定第一和第二驱动器210和212的延迟和斜率。另一种选择，可以使用共模比较器220。共模比较器220基于它们的平均值工作，而不是基于它们的第一和第二驱动器信号之间的差工作。另一种选择，可以使用合适的至少具有两个输入的任何测量电路，该输入用于接收来自驱动器的输出信号。

在优选的实施例中，对每个驱动器提供了分开的可变延迟电路和斜率调整电路。另一种选择，仅仅使用一个可变延迟电路和一个斜率调整电路。仅仅使用一个可变延迟电路的情况下，可变延迟电路与第一驱动器串联设置，将将一个固定延迟电路添加到与第二驱动器的串联中。可变延迟电路的延迟的中间值大约等于固定延迟电路的延迟，因此，能够根据固定延迟电路的延迟，正向地或负向地调整可变延迟电路。类似地，仅仅使用一个斜率调整电路的情况下，没有斜率调整电路的驱动器的斜率低于另一个驱动器的最大斜率。那么，可以改变另一个驱动器的斜率调整电路，以均衡两个驱动器的斜率。

以上描述的实施例是按照以下的特定顺序进行的：测量第一驱动器210的延迟；然后测量第二驱动器212的延迟。本领域普通技术人员容易地知道，这个顺序是随意的，并可以相反。

类似地，为了测量回程延迟，如上所示的第一驱动器210产生下降沿，所示的第二驱动器212产生上升沿。这也可以相反。或者，两驱动器都产生和测量上升沿和下降沿。

在以上公开的实施例中，用于校正偏移的技术不能区分上升和下降沿。在一些例子中，需要分开地校正上升和下降沿。因此，按照另一选择方案，对每个驱动器的上升和下降沿测量回程延迟。那么，根据产生的是上升沿还是下降沿，在可变延迟电路224和226中建立了不同的延迟。

类似地，在校正斜率中，以上公开的技术不能区分上升和下降沿。另一选择方案中，可以测量上升和下降沿的斜率，并对产生上升和下降沿能提供分开的校正。

如以上描述的，使用差分比较器218测量斜率。这一选择为了简洁和提高精确性，但并非要求的。斜率是单一信号的特征一不是信号之间的特征。因此，通过单端比较器214和216可以测量它，或者，通过共模比较器220来测量。另外，以上通过测量在20％-点和80％-点的电压阶跃，来测量斜率。随着状态变化可以变化这些测量的点，以在该情况下得到最好的结果。

在以上描述的技术中，使用单阈值电路来测量每个驱动器的回程延迟。首先，阈值电路将阈值设置在第一电压阶跃的中点；然后，将该阈值移动到第二电压阶跃的中点。可以相信，使用单阈值电路比使用两个不同的阈值电路提供了较高的精确性。然而，本发明不应该被解释为限于使用于单阈值电路。

边沿的中点是测定边沿计时的方便点，因此也是对测量驱动器信号回程时间的方便点。然而，能够使用其它点-或点组，只要在一致的方式中使用这些点或点组，该方式不会使测量结果失真。

如上描述的，通常在测量驱动器的回程延迟之前，移去DUT。当驱动器信号到达DUT通常安装的位置时，移去了DUT使驱动器信号看到了开路负载。但是，如果DUT的输入阻抗足够高，则在这些测量时使DUT保持连接，具有同样的结果。

作为提供开路负载的另一种选择方案，可以使用任何不匹配的负载，即，这些负载不能以其特征阻抗来终止传输通路。例如，可以使用短路接地负载。短路负载将使驱动器信号返回到零，而不是使驱动器信号的幅度加倍。以上描述的技术适用于测量由这种安排引起的两个电压阶跃之间的时间间隔。

另外，优选的实施例假设驱动器之间的电气延迟是匹配的，且测量电路的输入是匹配的。尽管是优选的，但是不是必需的。只要知道它们，以上描述的技术可以用于不匹配的延迟。按照这一变化，可以偏移在可编程的延迟中建立的延迟，以便补偿驱动器和测量电路的输入之间的偏移，而不需严格地要求延迟的匹配。

发明者已经考虑了这些选择和变化及其它的每一情况，并试图使其落入本发明的范围内。然而，应该理解，以上内容是通过举例的方法描述的，并且本发明仅仅限于所附权利要求的精神和范围内。

Claims (22)

1.一种消除第一和第二驱动器电路偏移的方法，该驱动器电路用于以在其构成的组件之间的相对低的计时偏移，来产生差分信号，所述方法包括以下步骤：

(A)从第一和第二驱动器电路中的每个电路，产生一个传播到各自不匹配负载的边沿；

(B)在测量电路的第一输入，接收来自第一驱动器电路的边沿，在测量电路的第二输入，接收来自第二驱动器电路的边沿，每个边沿包括：对应于步骤A的第一电压阶跃和对应于来自各自不匹配负载的反射的第二电压阶跃；和

(C)对测量电路的第一和第二输入中的每个输入，测量第一和第二电压阶跃之间的时间差，进一步包括：

(D)对应于在步骤C测得的时间差，调整由第一和第二驱动器电路中的至少其中之一产生的边沿延迟，从而使来自第一和第二驱动器电路的边沿在基本上相同的时间到达被测试的器件。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：产生基本上消除偏移的差分信号，所述差分信号来自第一和第二驱动器电路。

3.根据权利要求2所述的方法，进一步包括：

将所述基本上消除偏移的差分信号应用于被测试器件的差分输入；和

使用所述基本上消除偏移的差分信号来测试被测试的器件。

4.根据权利要求1所述的方法，其中在与所述第一和第二驱动器电路一起的集成电路的内制造所述测量电路。

5.根据权利要求1所述的方法，其中

所述第一和第二驱动器电路中的每个电路到其各自测量电路的输入具有传播延迟，和

调整第一和第二驱动器电路到各自测量电路输入的传播延迟量的步骤。

6.根据权利要求1所述的方法，其中

所述第一和第二驱动器电路中的每个电路，到各自测量电路的输入具有传播延迟，和

所述驱动器与所述测量电路的对应输入之间的传播延迟是匹配的。

7.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：

所述测量电路产生输出信号，该输出信号根据来自第一和第二驱动器电路信号的和以及它们的差的其中之一，相关地进行变化；和

比较所述测量电路的输出信号与至少一个预定的阈值。

8.根据权利要求7所述的方法，其中当所述第一驱动器电路产生来自第一驱动器电路的边沿时，所述第二驱动器电路产生稳定的信号输出，在所述第二驱动器电路产生来自第二驱动器电路的边沿时，第一驱动器电路产生稳定的信号输出。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述测量第一和第二电压阶跃之间时间差的步骤C包括：测量第一电压阶跃的50％-点与第二电压阶跃的50％-点之间的时间差。

10.根据权利要求1所述的方法，其中在所述测量时间差的步骤C前，所述方法包括：

测量所述第一和第二驱动器电路边沿的斜率；和

调整所述第一和第二边沿的至少其中之一的斜率，以基本上均衡所述第一和第二边沿的斜率。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一驱动器电路边沿是上升沿和下降沿的其中之一，所述方法进一步包括：

对所述上升沿和所述下降沿的另一边沿，重复测量(C)和调整(D)的步骤。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述第二驱动器电路边沿是上升沿和下降沿的其中之一，所述方法进一步包括：对所述上升沿和所述下降沿的另一个边沿重复测量(C)和调整(D)步骤。

13.根据权利要求1所述的方法，其中所述测量电路包括：差分放大器，其中第一输入是反向输入，第二输入是非反向输入。

14.根据权利要求1所述的方法，其中所述测量电路包括：共模放大器，其中将第一和第二输入提供为监控来自于第一和第二驱动器电路信号的共模电压。

15.一种使用自动测试装置来测试差分器件的方法，其包括以下步骤：

(A)消除多个单端驱动器电路对的偏移；

(B)将来自多个单端驱动器电路对的输出信号应用于被测试器件，其中来自每对单端驱动器电路的输出信号组成差分信号；和

(C)监控来自于被测试器件的响应，以确定被测试器件是否是有缺陷的，

其中所述对每对单端驱动器电路消除偏移的步骤(A)包括：

(i)从所述第一和第二驱动器电路中的每个电路，产生传播到各自不匹配负载的边沿；

(ii)在所述测量电路的第一输入，接收来自第一驱动器电路的边沿，在所述测量电路的第二输入接收来自第二驱动器电路的边沿，每个边沿包括：对应于步骤A所述的第一电压阶跃和对应于来自各自不匹配负载的反射的第二电压阶跃；和

(iii)对所述测量电路的第一和第二输入中的每个输入，测量第一和第二电压阶跃之间的时间差，

(iv)对应于在步骤iii测得的时间差，调整由第一和第二驱动器电路中的至少其中之一产生的边沿延迟，从而使来自第一和第二驱动器电路的边沿在基本上相同的时间到达被测试器件。

16.一种用于在自动测试系统中消除驱动器电路偏移的装置，该驱动器电路用于测试具有差分输入的被测试器件，所述装置包括：

第一驱动器电路，其具有适合于向被测试器件提供第一单端信号的输出；

第二驱动器电路，其具有适合于向被测试器件提供第二单端信号的输出；

可变延迟电路，其基本上与所述第一驱动器电路串联，用于延迟所述第一驱动器电路的边沿向被测试器件的传播；

测量电路，其具有连接到所述第一驱动器电路输出的第一输入和连接到所述第二驱动器电路输出的第二输入；

其中，所述可变延迟电路响应于来自所述测量电路的输出信号是可被调整的，以基本上均衡第一和第二单端信号到达被测试器件的时间。

17.根据权利要求16所述的装置，其中所述第一和第二驱动器电路经具有基本上相等的传播延迟的导电通路连接到所述测量电路的第一和第二输入。

18.根据权利要求16所述的装置，其中所述可变延迟电路是第一可变延迟电路，其进一步包括：

第二可变延迟电路，其基本上与所述第二驱动器电路串联，用于延迟所述第二驱动器电路的边沿向被测试器件的传播；

其中，所述第二可变延迟电路响应于来自所述测量电路的输出信号是可被调整的，以基本上均衡第一和第二单端信号到达被测试器件的时间。

19.根据权利要求16所述的装置，进一步包括：至少一个斜率调整电路，其连接到所述第一和第二驱动器电路的至少一个输出，

其中，至少一个所述可调整斜率电路响应于存储在数据捕获存储器中的值是可被调整的，以基本上均衡所述第一和第二单端信号的斜率。

20.根据权利要求16所述的装置，其中所述测量电路包括：差分比较器和共模比较器的其中之一。

21.根据权利要求20所述的装置，其中所述测量电路包括：比较器，其用于比较所述测量电路的第一和第二输入处的信号电平之间的和及它们的差的其中之一与至少一个预定阈值。

22.根据权利要求21所述的装置，进一步包括：数据捕获电路，其连接到所述比较器，并是可操作的，以在预定的瞬时时间捕获所述比较器的输出状态。

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