CN1254154A - 浮起式磁头的冠顶形成方法及冠顶形成装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的浮起式磁头的冠顶形成方法为使用曲率半径分别为R1、R2的夹具和研磨平台,将磁头元件构成的方条上表面放在研磨平台上,方条通过弹性片放在夹具上,变形成弧形紧贴在凸曲面上,使上表面与加工面接触并相对移动,对上表面进行研磨处理。沿方条的宽度度方向,在磁头元件间做出多个槽;将上表面做出多个分割面的方条,变形成弧形紧贴在夹具上,使各分割面与研磨平台的加工面接触,使方条和加工面相对移动,对各分割面进行研磨处理。

Description

浮起式磁头的冠顶形成方法及冠顶形成装置
本发明涉及在浮起式磁头的浮起表面上，形成冠顶的方法，以及浮起式磁头的冠顶形成装置。
浮起式磁头可从磁性记录媒体上浮起，并在磁性记录媒体上进行信息的记录和再现。
这种浮起式磁头，利用磁性记录媒体的移动，从磁性记录媒体上浮起，并可利用磁性记录媒体的停止，再一次基于设置在磁性记录媒体上的所谓CSS方式动作。
浮起式磁头和磁性记录媒体，由于各自相对的表面很光滑，因此容易相互吸附，对浮起式磁头和磁性记录媒体都很不方便。
如果将浮起式磁头的浮起表面做成凸曲面，减小浮起表面与磁性记录媒体的接触面积，则可以防止互相吸附。
在浮起表面上做出的凸曲面，称为冠顶。从现有直到目前，采用多种方法来形成冠顶。
这里，参照附图来说明现有的浮起式磁头的冠顶的形成方法。
图15表示现有的浮起式磁头的冠顶形成方法的第一个例子。
在图15中，提供了浮起式磁头元件连成一列形成的大致为长方体的方条61和带有槽的夹具62。
在方条61的一个表面(左侧面)61a上，做出多个磁头元件。方条61是将形成多个磁头元件的晶片，切成大致为长方体，研磨另一个表面(底面)61c，调整磁头元件的线圈和间隙的间隔而形成的。另外，在带有槽的夹具62的一个表面(上表面)上，做出槽62a。
其次，将熔融的蜡63涂在槽62a上，使另一个表面61c在下面，将该方条61放置在该带槽的夹具62上，使该另一个表面61c与蜡63接触。
接着，通过使蜡63冷却固化，使蜡63收缩，将该方条变形成弧形。利用蜡63，将该方条61固定在带有槽的夹具62上。这时，弯曲的方条的另一表面61c，就变成凸曲面。
其次，研磨与该方条61的另一表面61c相对的弯曲表面61b，得出平面61d。
再从该带槽的夹具62中取出该方条61，将方条61相对于其长度方向等间隔地切断，就得到浮起式磁头。
在该浮起式磁头上，形成由该方条61的变形而形成的凸曲面的冠顶。
图16表示现有的浮起式磁头的冠顶形成方法的第二个例子。
在图16中，首先准备一块大致为长方体的磁头滑块71。预先在该磁头滑块71上，设置磁头元件(图中没有示出)。另外，在该磁头滑块71的浮起表面72上，做出两条轨道72a，72a。
其次，将激光74照射至磁头滑块71的轨道72a，72a之间，形成沿着该磁头滑块71宽度方向的多个裂缝73...。
接着，沿着长度方向，将该磁头滑块71变形成弧形，将浮起表面72做成凸曲面。由于在浮起表面72上形成裂缝73...，因此，该磁头滑块71容易变形。这样，可在该磁头滑块71的浮起表面72上，形成冠顶。
图17为表示现有的浮起式磁头的冠顶形成方法的第三个例子。
在图17中，首先准备一块大致为长方体的磁头滑块81。另外，准备一块加工面85a为凹曲面形状的研磨平台85。
在磁头滑块81上，预先设置磁头元件(图中没有示出)。另外，在磁头滑块81的浮起表面82上，做出两条轨道82a，82a。
其次，使浮起表面82向上，而且通过弹性片83，将该磁头滑块81固定在夹具84的平面84a上。
接着，将固定着磁头滑块81的夹具84，放置在平台85上，使磁头滑块81的浮起表面82与研磨平台85的加工面85a接触。
再接着，将研磨剂散布在加工面85a上，将夹具84产生的负载加在该磁头滑块81上，使浮起表面82与加工面85a接触。另外，在使研磨平台85旋转的同时，使夹具84旋转，使磁头滑块81的浮起表面82与加工面85a相互滑动，进行研磨处理。
这时，由于加工面85a的形状复制上去，该浮起表面82变成凸曲面，该凸曲面的曲率与加工面85a的曲率相同。
在这样得出的磁头滑块81上，沿着其长度方向和宽度方向，形成了凸曲面形状的冠顶87。
图19表示现有的浮起式磁头冠顶形成方法的第四个例子。
在图19中，首先准备一块大致为长方体的方条127。方条127是在由该浮起式磁头的滑块材料制成的晶片的一个表面上，采用薄膜生成技术等，做出多个磁头元件之后，将该晶片的一部分切去，做成大致为长方体而形成的。多个磁头元件128...，连成一列地配置在该方条127的侧壁表面上。
其次，将弹簧式凹凸夹具129安装在该方条127上。
弹簧式凹凸夹具129由弹簧130和与该弹簧板两端接合的凹凸板131构成。在该凹凸板131上，以规定的间隔，做出槽132。弹簧式凹凸夹具129，可以沿着其长度方向，自由地弹性变形。
方条127安装在该弹簧式凹凸夹具129上，使弹簧式凹凸夹具129的槽132位于各个磁头元件128，128之间。
其次，沿着宽度方向，等间隔地将方条127切断，做成基片138。切断位置就是弹簧式凹凸夹具129的槽132的位置。
接着，将弹簧式凹凸夹具129安装在圆柱形夹具133上。在该弹簧式凹凸夹具129和圆柱形夹具133之间，放置弹性材料134。
另外，使各个基片138的一个表面136，与凹曲面形状的加工面135接触，使圆柱形夹具133和加工面135相对移动，对各个表面136进行研磨处理。
由于加工面135为凹曲面，弹簧式凹凸夹具129和弹性材料134产生弹性变形，基片138的所有表面136与加工面135接触。
通过研磨处理，加工面135的形状复制在该基片138的一个表面136上。
最后，将各个基片138从弹簧式凹凸夹具129中取出，即得到浮起式磁头137。在该浮起式磁头137的一个表面136(浮起表面)上，同时形成在浮起式磁头长度方向上的凸的冠顶，和在宽度方向上的凸的交叉冠顶。
但是，在现有的浮起式磁头的冠顶形成方法的第一个例子中，由于该冠顶是通过蜡63的收缩和带槽的夹具62的槽62a的作用形成的，因此冠顶的形状容易产生误差。
另外，在现有的浮起式磁头的冠顶形成方法的第二个例子中，由于要多次照射激光74，形成裂缝73，因此工序复杂，生产效率低。
再者，在现有的浮起式磁头的冠顶形成方法的第三个例子中，由于要一个一个地处理磁头滑块81，因此，生产效率低；另外，冠顶的形状做成在磁头滑块81的长度方向和宽度方向上呈凸形的凸曲面(交叉冠顶)，不能只在磁头滑块81的长度方向上形成凸形的冠顶。
又，在现有的浮起式磁头的冠顶形成方法的第四个例子中，由于必须多次照射激光74，形成裂缝73，因此工序复杂，生产效率低，另外，冠顶和交叉冠顶各自的曲率，不能独立调整。
此外，在现有的浮起式磁头的冠顶形成方法的第五个例子中，由于冠顶和交叉冠顶的形状是加工面135复制上去的，因此，当要改变冠顶和交叉冠顶的形状时，必须改变加工面135的形状。
本发明是为了解决前述问题而提出的，其目的是要提供一种生产效率高，冠顶形状误差小，可以只在滑块的长度方向上，形成凸形冠顶的冠顶形成方法。
另外，本发明还有一个目的是要提供一种生产效率高，冠顶形状误差小，可以只在滑块的长度方向上形成凸形冠顶的冠顶形成装置。
本发明的另一个目的是要提供一种生产效率高，可以同时形成冠顶和交叉冠顶，冠顶和交叉冠顶的形状误差小，可以容易改变冠顶和交叉冠顶的形状的浮起式磁头的冠顶形成方法。
再者，本发明还有一个目的是要提供一种生产效率高，可以同时形成冠顶和交叉冠顶，冠顶和交叉冠顶的形状误差小，可以容易改变冠顶和交叉冠顶形状的冠顶形成装置。
为了达到前述目的，本发明采用下述结构。
本发明的浮起式磁头的冠顶形成方法为，通过对与由侧壁面上的一个以上的磁头元件连成一列构成的，大致为长方体的方条的前述侧壁面相邻的被加工面，进行研磨处理，和沿其宽度方向切断该方条，前述被加工面即成为浮起表面，而且当制造具有至少一个前述磁头元件的浮起式磁头时，使用具有曲率半径为R1的凸曲面的夹具，和具有曲率半径为R2的凹曲面形的加工面的研磨平台，而且R1≥R2，将前述方条的前述被加工面放置在研磨平台上，将前述方条，通过弹性片放置在前述夹具的前述凸曲面上，沿长度方向，使前述方条变形成弧形，和弹性片一起紧贴在前述凸曲面上，使前述方条的被加工面与前述研磨平台的前述加工面接触，通过使前述被加工面和前述加工面相对移动，对前述被加工面进行研磨处理，可以在前述浮起式磁头的前述浮起表面上形成冠顶。
另外，在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，最好使前述研磨平台旋转，而且使前述方条在与前述研磨平台的旋转方向垂直的方向上摇动，使前述方条的被加工面与前述研磨平台的前述加工面相对移动。
又，在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，最好将与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一段距离地，通过弹性片紧贴在前述夹具的前述凸曲面上。
另外，本发明的冠顶形成装置具有带有凹曲面形的加工面的研磨平台，带有凸曲面的夹具，和使前述夹具的前述凸曲面与前述研磨平台的前述加工面相对，使前述夹具与前述加工面相对移动的驱动装置；前述夹具的前述凸曲面的曲率半径R1和前述研磨平台的前述加工面的曲率半径R2的关系为R1≥R2，在侧壁面上，一个以上的浮起式磁头元件连成一列构成的大致为长方体的方条的被加工面，放置在研磨平台上，沿方条的长度方向，使方条变形成弧形，通过弹性片将该方条贴紧在前述夹具的前述凸曲面上，前述方条的前述被加工面与前述加工面接触。
另外，前述驱动装置由使前述研磨平台旋转的旋转机构，和夹持前述夹具，使前述方条的前述被加工面与前述研磨平台的前述加工面接触，在与前述研磨平台的旋转方向垂直的方向上，使前述夹具摇动的摇动机构构成；前述方条安装在前述夹具上，使前述方条的长度方向与前述夹具的摇动方向一致。
再者，在前述冠顶形成装置中，最好，将与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一定距离地，借助弹性片紧贴在前述夹具的前述凸曲面上。
另外，本发明的浮起式磁头的制造方法为，通过对与由侧壁面上一个以上的磁头元件连成一列或数列构成的大致为长方体的方条的前述侧壁面相邻的被加工面，进行研磨处理，沿宽度方向切断该方条，前述被加工面即成为浮起表面；而且在制造具有至少一个前述磁头元件的浮起式磁头时，在前述方条的前述被加工面上，做出至少一个以上沿前述方条宽度方向，在前述各个磁头元件之间的槽，将前述被加工面分成多个分割面，使用具有凸曲面的夹具和具有凹曲面形加工面的研磨平台，通过将前述方条的前述各分割面放置在研磨平台上，使该方条沿着其长度方向变形成弧形，紧贴在前述夹具的前述凸曲面上，使前述方条的前述各分割面置于研磨平台上，使研磨平台沿长度方向变形为弧形，与前述夹具的前述凸曲面贴紧，前述研磨平台的各分割面与前述研磨平台的前述加工面接触，使前述各个分割面与前述加工面相对移动，对前述各个分割面进行研磨处理，这样便在前述浮起式磁头的前述浮起表面上，形成冠顶。
另外，最好，在前述各个磁头元件之间，做出一个前述的槽。
在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，最好是使前述研磨平台旋转，而且使前述方条在与前述研磨平台的旋转方向垂直的方向上摇动，使前述方条的前述各分割面和前述研磨平台的前述加工面相对移动。
另外，在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，最好将与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一段距离地，通过弹性片紧贴在前述夹具的前述凸曲面上。
本发明的冠顶形成装置为，具有带有凹曲面形的加工面的研磨平台，带有凸曲面的夹具，和使前述夹具的前述凸曲面与前述研磨平台的前述加工面相对，使前述夹具与前述加工面相对移动的驱动装置；通过在侧壁表面上排成一列地设置一个以上的磁头元件，而且在被加工面上，在前述各个磁头元件之间，沿该被加工面的宽度方向，做出至少一个以上的槽，从而使前述被加工面上形成多个分割面的，大致为立方体的方条，沿其长度方向变形成弧形，紧贴在前述夹具的前述凸曲面上，而其前述各个分割面则压紧在前述研磨平台上，前述方条的前述各个分割面，与前述研磨平台的前述加工面接触。
另外，最好在前述各个磁头元件之间做出一个前述槽。
前述驱动机构由使前述研磨平台旋转的旋转机构，和夹持前述夹具，使前述方条的前述各个分割面与前述研磨平台的前述加工面接触，使前述夹具在与前述研磨平台的旋转方向垂直的方向上摇动的摇动机构组成；前述方条安装在前述夹具上，使前述方条的长度方向与前述夹具的摇动方向一致。
另外，在前述冠顶形成装置中，最好使与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一定距离地紧贴在前述夹具的前述凸曲面上。
另外，若前述加工面的曲率半径为R2，前述凸曲面的曲率半径为R1，则最好R1≥R2。
下面，参照附图来说明作为本发明的实施例的浮起式磁头的冠顶形成方法和冠顶形成装置。
图1为表示作为本发明的实施例的冠顶形成装置的立体图；
图2A为表示作为本发明的实施例的研磨平台的立体图，图2B为其侧面截面图；
图3为表示作为本发明的实施例的冠顶形成装置的夹具的立体图；
图4A为表示作为本发明的实施例的冠顶形成装置的夹具的立体图，图4B为其正面截面图，图4C为其侧面截面图；
图5A、图5B、图5C为说明将方条安装在夹具上的工序的说明图；
图6为表示作为本发明的实施例的冠顶形成装置的主要部分的正面截面图；
图7为表示作为本发明的实施例的冠顶形成装置的主要部分的侧面截面图；
图8为表示对方条进行研磨处理过程的说明图；
图9A、图9B为说明从方条得出浮起式磁头的工序的说明图；
图10A、图10B、图10C为表示将方条安装在作为本发明的实施例的冠顶形成装置的夹具中的工序的工序图；
图11A为表示作为本发明的实施例的冠顶形成装置的夹具的立体图；图11B为其侧面截面图；图11C为其正面截面图；
图12为表示作为本发明的实施例的冠顶形成装置的主要部分的侧面截面图；
图13为表示作为本发明的实施例的冠顶形成装置的主要部分的正面截面图；
图14A、图14B、图14C为说明对方条进行研磨处理，得出浮起式磁头的工序的说明图；
图15为说明现有的浮起式磁头的冠顶形成方法的第一个例子的工序图；
图16为说明现有的浮起式磁头的冠顶形成方法的第二个例子的工序图；
图17为说明现有的浮起式磁头的冠顶形成方法的第三个例子的工序图；
图18为表示作为本发明的实施例的冠顶形成装置的驱动机构的主要部分的示意图；
图19为说明现有的浮起式磁头的冠顶形成方法的第四个例子的工序图；
图20A、图20B、图20C为表示R2＞R1时的磁头元件设置位置与方条的冠顶高度的关系的图；图20A为表示80个孔的方条的冠顶高度的图，图20B为表示85个孔的方条的冠顶高度的图，图20C为表示90个孔的方条的冠顶高度的图；
图21A、图21B、图21C为表示R2＝R1时的磁头元件设置位置与方条的冠顶高度的关系的图；图21A为表示80个孔的方条的冠顶高度的图，图21B为表示85个孔的方条的冠顶高度的图，图21C为表示90个孔的方条的冠顶高度的图；
图22A、图22B为表示槽的深度与冠顶形状的关系的图；图22A为表示槽的深度与冠顶高度的关系的图；图22B为表示槽的深度与交叉冠顶的高度的关系的图；
图23A、图23B为表示槽的宽度与冠顶形状的关系的图；图23A为表示槽的宽度与冠顶高度的关系的图；图23B为表示槽的宽度与交叉冠顶的高度的关系的图；
图24A、图24B为表示做出槽的砂轮的粗糙度与冠顶形状的关系的图；图24A为砂轮粗糙度与冠顶高度的关系的图；图24B为砂轮的粗糙度与交叉冠顶的高度的关系的图。
先从第一个例子开始详细说明。
图1表示本发明的冠顶形成装置1。这个冠顶形成装置1是以设在工作台T的研磨平台2，装在研磨平台上的夹具3，驱动装置10，竖立在研磨平台2后面的控制板S，支承在该控制板S上的摇动板11，研磨液喷出喷嘴16，和修正圆环15为主体构成的。
如图2A和图2B所示，研磨平台2的整体形状做成大致为圆盘形，在它的上表面上，做出凹曲面形状的加工面4。加工面4向着研磨平台2的中心，向下方倾斜。
叉如图3所示，夹具3为圆柱形，在它的上表面上，做出凸曲面6。
又如图4A至图4C所示，在该凸曲面6上，安装着方条21。
方条21是在由浮起式磁头滑块的材料制成的晶片的一个表面上，采用薄膜生成技术等方法，形成多个磁头元件之后，将该晶片的一部分切去，做成大致为长方体而形成的。
如图5A所示，方条21是从晶片切出的，在其侧壁表面23上，连成一列配置着多个磁头元件29...。与方条21的侧壁表面23连接的上表面(被加工面)24，就是最终得出的浮起式磁头的浮起表面。
又如图5B和图5C所示，方条21以其上表面(被加工面)24向上，与该上表面24相对的底面25向下，沿方条21的长度方向，变形成弧形，紧贴在夹具3上。在使方条21变形时，最好预先加热该方条21。
如图4A所示，与方条21形状相同，而且由相同材料制成的空白方条22，与方条21的长度方向平行，并且与方条21离开一段距离地贴附在夹具3的凸曲面6上。
另外，又如图4A所示，也可以在方条21和空白方条22，与凸曲面6之间，放置一个弹性片30。弹性片30由(例如)聚氨酯制成，表面有粘附性，因此，可将方条2 1固定在凸曲面6上。
另外，也可以省去弹性片30。在这种情况下，也可用粘接剂，蜡等将方条21和空白方条22固定在凸曲面6上。
研磨平台2的加工面4的曲率半径，和夹具3的凸曲面6的曲率半径相同。
如图1所示，驱动装置10由使研磨平台2旋转的旋转机构17；和使夹具3与研磨平台2的加工面4接触，使夹具3在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向摇动的摇动机构18组成。
旋转机构17只要为使研磨平台2旋转的机构就可以。例如，如图1所示，旋转机构17也可以是与研磨平台2的中心连接，使该研磨平台2按箭头A方向旋转的电机7。
摇动机构18由装在控制板S前面的摇动板11，设在摇动板11的前表面上部的凸部12，从凸部12向下方突出的左右两根负载棒13，13，吊在负载棒13，13上的负载重块14构成。
如图1所示，在摇动板11的背面设有支承面19，在支承面19的研磨平台2的前面上安装着图18所示的轨道构件118，118。轨道支承构件119，119设置为与这些轨道构件118，118接合。轨道支承构件119，119与摇动板的背面连接，摇动板11可以沿着轨道构件118，118，左右往复移动。
又如图18所示，在支承面19的前面，电机120和连杆臂123位于摇动板11和支承面19之间。连杆臂123的一端，利用销子125与安装在电机120的旋转轴121上的臂板122的端部连接，可以自由旋转，该连杆臂123的另一端，利用销子127，与驱动板126的中心连接，可以自由旋转。同时，在驱动板126的上部和下部，分别安装着轨道支承构件119，119。
由于这样的结构，随着电机120的旋转，臂板122旋转，这样，连杆臂123的一端做偏心旋转。同时，由于连杆臂123的另一端可沿着轨道构件118，118使驱动板126左右往复移动，所以摇动板11可以按图1所示箭头X的方向摇动。
如图1所示，凸曲面6安装在负载重块14上，与研磨平台2的加工面4相对；安装在负载棒13，13内的图中没有示出的弹性件，使夹具3压在研磨平台2上。这样，方条21和空白方条22与加工面4接触。
如图6和图7所示，夹具3配置在加工面4上，使方条21的上表面(被加工面)24与研磨平台2的加工面4接触。
另外，最好将方条21和空白方条22安装在夹具3上，使方条21和空白方条22的长度方向，与夹具3的摇动方向一致。
如图1所示，研磨液喷出喷嘴16是向着研磨平台2的加工面4，喷出研磨液的。
修正圆环15与研磨平台2的加工面4接触，并且是固定的。研磨平台2的旋转，使加工面4与修正圆环15产生滑动，可以使研磨液均匀地涂布在整个加工面4上。
利用前述的冠顶形成装置1，在方条21的上表面(被加工面)24上形成冠顶时，要进行下列的操作。
首先，使研磨液从研磨液喷出喷嘴16，喷出散布在加工面4上。
其次，使研磨平台2旋转，使安装在夹具3上的方条21和空白方条22与加工面4接触，同时，利用摇动机构18，在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上，摇动该方条21和空白方条22，使方条21及空白方条22相对加工面4移动，使方条21的上表面(被加工面)24和空白方条22与加工面4相互滑动，对方条21的上表面24进行研磨处理。
这时，空白方条22，与方条21同样，利用加工面4进行研磨处理。
冠顶形成装置1的主要部分，如图4A～图4C，图6，图7所示。
如图4A和图4B所示，为了使当方条21安装在夹具3上时，方条21沿着长度方向容易变形成弧形，与夹具3的凸曲面6紧密接合，方条21的上表面24要沿长度方向成为曲面。该曲率半径，比凸曲面6的曲率半径大一个方条21和弹性片30的厚度。
由于凸曲面6和加工面4的曲率半径相同，因此，方条21的上表面24的曲率半径，比加工面4的曲率半径大。
其次，如图6所示，当方条21与加工面4接触时，方条21的长度方向的两端被压在加工面4上，弹性片30变形，这样，上表面24的曲率半径，与加工面4的曲率半径大致相等。
另外，在不使用弹性片30，而利用粘接剂，蜡等，将方条21直接安装在凸曲面6上的情况下，当方条21与加工面4接触时，方条21的长度方向的两端，压在加工面4上，产生变形，这样，上表面24的曲率半径与加工面4的曲率半径大致相等。
由于方条21的上表面24在长度方向上和加工面4的曲率半径大致相等，夹具3使该方条21在与方条21的长度方向平行的方向上摇动，因此，该方条21的上表面24，可在该方条21的长度方向上，被均匀地研磨处理。
其次，如图4C和图7所示，在方条21的宽度方向上，由于方条21宽度方向的刚性高，不容易挠曲，因此，该方条21的上表面24，在宽度方向上是平坦的。
又如图8所示，方条21的上表面24的宽度方向的两端(图中斜线部分)，与前述同样，是用磨粒进行研磨处理的，因此，该上表面24，向着其宽度方向，变成凸曲面。这时，由于加工面4的凹曲面复制至方条21的上表面24上，并进行研磨处理，该上表面24宽度方向的曲率半径，与加工面的曲率半径相同。
这样，如图9A所示，经过研磨处理后的方条21的上表面24，在该方条21的宽度方向上，成为凸形的凸曲面。
通过在长度方向上等间隔地切断该方条21，就可得出浮起式磁头26(图9B)。这种浮起式磁头26的浮起表面27，即为方条21的上表面24，在该浮起表面27上，做出曲率半径与加工面4相同的冠顶28。
前述浮起式磁头的冠顶形成方法，由于是将多个磁头元件连接成一列构成的方条21，安装在夹具3的凸曲面6上，使该方条21与凹曲面形的加工面4接触，进行研磨处理的，因此，可以同时研磨处理多个浮起式磁头的浮起表面，提高浮起式磁头的生产效率。
在前述的浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于研磨平台2的加工面4和夹具3的凸曲面6的曲率半径相同，又由于当将方条21与加工面4接触时，方条21的两端总是压在加工面4上，因此，总是可以在该方条21变形成弧形的情况下，进行研磨处理。
另外，在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于当方条21与加工面4接触时，可以沿着夹具3的凸曲面6，使该方条21弹性变形，从而使该方条21的上表面(被加工面)24的长度方向的曲率半径，与加工面4的曲率半径相同，因此，可以在相对于该方条21的长度方向，均匀地对方条21的上表面24进行研磨处理的同时，形成在方条的宽度方向上，与加工面4具有相同曲率半径的凸曲面。
又由于前述的凸曲面，是加工面4的形状复制形成的，因此可得到形状尺寸精度好的冠顶。
在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于研磨平台2旋转，而且，夹具3在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动，方条21和加工面4做相对移动，因此可以高效率地进行研磨处理。
另外，由于在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动该方条21，因此，在该方条21的上表面(被加工面)24上，不会残留沿着研磨平台2的旋转方向的伤痕。
另外，由于通过在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上，摇动夹具3，使方条21与整个加工面4均匀接触，进行研磨处理，因此，加工面4的一部分不会偏心磨损，整个加工面4是均匀磨损的，所以可以防止加工面4的变形。
再者，在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于方条21和空白方条22，是分别相对于长度方向，相互平行地安装在夹具3上，方条21和空白方条22总是与加工面4压紧的；这样，方条21可以在其宽度方向上，稳定地与加工面4接触，进行研磨处理，因此，可以形成形状尺寸精度高的冠顶。
前述的冠顶形成装置1，由于具有安装着由多个磁头元件连成一列构成的方条21的夹具3，带有凹曲面形状的加工面4的研磨平台2和驱动装置10，因此，可以同时研磨处理多个浮起式磁头的浮起表面。
另外，由于夹具3具有凸曲面6，因此，可以保持使方条21在其长度方向变形成弧形；这样，就可以在方条21的上表面24上，形成沿着方条21的宽度方向呈凸形的冠顶。
再者，前述的冠顶形成装置1，由于夹具3的凸曲面6的曲率半径与研磨平台2的加工面4的曲率半径相同，当方条21与加工面4接触时，方条21的两端，总是压紧在加工面4上；又由于可以在总是将方条21变形成弧形的情况下，对该方条21进行研磨处理的同时，在该方条21的上表面24的宽度方向上，复制加工面4的形状，形成凸曲面；因此，可以形成形状尺寸精度高的冠顶。
前述的冠顶形成装置1，由于具有能使研磨平台2旋转，而且，可在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上，摇动夹具3的驱动装置10，因此，可以高效率地进行研磨处理。
又由于方条21在其长度方向上摇动，因此可以在该方条21的长度方向上，均匀地进行研磨处理。
又由于方条21在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动，因此，在该方条21的上表面(被加工面)24上，不会残留沿着研磨平台2的旋转方向的伤痕。
再者，由于通过夹具3在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动，方条21与整个加工面4均匀接触，进行研磨处理，因此，加工面4的一部分不会偏心磨损，整个加工面4是均匀磨损的，所以可防止加工面4的变形。
另外，前述冠顶形成装置1，由于前述方条21和空白方条22是分别在各自长度方向上，相互平行地安装在夹具3上的，因此，通过该方条21在其宽度方向上不摇动而稳定地与加工面4接触，可以形成形状尺寸精度高的冠顶。
下面，对第二个例子进行详细说明。
图1表示本发明的冠顶形成装置1。该冠顶形成装置1是以安装在工作台T上的研磨平台2，装在该平台2上的夹具3，驱动装置10，竖立在研磨平台2的后面的控制板S，支承在该控制板S上的摇动板11，研磨液喷出喷嘴16，和修正圆环15为主体构成的。
如图2A和图2B所示，研磨平台2的形状，做成大致为圆盘形，在它的上表面上，形成凹曲面形的加工面4。加工面4向着研磨平台2的中心，向下方倾斜。
又如图3所示，夹具3为圆柱形，在其上表面上做出凸曲面6。
另外，如图4A至图4C所示，在凸曲面6上安装着方条21。
方条21是在由浮起式磁头的滑块材料制成为晶片的一个表面上，利用薄膜生成技术等方法，形成多个磁头元件之后，切去该晶片的一部分，做成大致为长方体而形成的。
如图5A所示，方条21是从晶片上切出来的，在它的侧壁表面23上，连成一列地配置着多个磁头元件29...。与方条21的侧壁表面23相邻的上表面(被加工面)24，即为最终得出的浮起式磁头的浮起表面。
如图5B和图5C所示，该方条21安装在夹具3上；该方条21可以其上表面(被加工面)24向上，而与该上表面24相对的底面25向下，沿着方条21的长度方向变形成弧形。最好，在使方条21变形时，预先加热该方条21。
如图4A所示，形状与方条21相同，而且用相同材料制成的空白方条22，安装在夹具3的凸曲面6上；该空白方条22与方条21的长度方向平行，而且与方条21离开一段距离。
又如图4A所示，在该方条21和空白方条22，与凸曲面6之间，可放置弹性片30。该弹性片30，(例如)可由聚氨酯制成，其表面具有粘接性，可将方条21固定在凸曲面6上。
另外，弹性片30的硬度(JISA)最好为6～40；更理想是10～20。弹性片的厚度，最好为0.1～3毫米，更理想是0.5～1毫米。
研磨平台2的加工面4的曲率半径R1，和夹具3的凸曲面6的曲率半径R2的关系为：R1＞R2。
又如图1所示，驱动装置10由使研磨平台2旋转的旋转机构17，和使夹具3与研磨平台2的加工面4接触，使夹具3在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动的摇动机构18构成。
旋转机构17，只要是能使研磨平台2旋转的机构就可以。例如图1所示，可以为与研磨平台2的中心连接，使研磨平台2按箭头A的方向旋转的电机7。
摇动机构18由设在控制板S前表面上的摇动板11，装在该摇动板11的前面上部的凸出部分12，从凸出部分12向下方突出出来的左右两根负载棒13，13，和吊在该负载棒13，13上的负载重块14构成。
如图1所示，在摇动板11的背面设有支承面19，图18所示的轨道构件118，118安装在支承面19的研磨平台2的前面。在这些轨道构件118，118上，装有轨道支承构件119，119。轨道支承构件119，119与轨道构件118，118接合，并与摇动板11的背面连接。因此，摇动板11可以沿着轨道构件118，118，左右往复移动。
又如图18所示，电机120和连杆臂123，位于支承面19的前面，在摇动板11和支承板19之间。该连杆臂123的一端，利用销子125，与安装在电机120的旋转轴121上的臂板122的端部连接，可自由旋转；该连杆臂123的另一端，利用销子127，与驱动板126的中心连接，可自由旋转。同时，在驱动板126的上部和下部，分别安装着轨道支承构件119，119。
利用以上的结构，随着电机120的旋转，臂板122旋转；这样，连杆臂123的一端做偏心旋转。同时，由于连杆臂123的另一端，使驱动板126沿着轨道构件118，118左右往复移动，因此，摇动板11可以按照图1的箭头X方向摇动。
如图1所示，凸曲面6与研磨平台2的加工面4相对，安装在负载重块14上。放置在负载棒13，13内的图中没有示出的弹性材料，使夹具3向着研磨平台2施加压力。这样，方条21和空白方条22，与加工面4接触。
如图6和图7所示，夹具3配置在加工面4上，方条21的上表面(被加工面)24与研磨平台2的加工面4接触。
另外，方条21和空白方条22，最好安装在夹具上，使方条21和空白方条22的长度方向，与夹具3的摇动方向一致。
如图1所示，研磨液喷出喷嘴16向着研磨平台2的加工面4，喷出研磨液。在研磨液中含有(例如)金刚石磨粒。
修正圆环15与研磨平台2的加工面4接触，并是固定的。研磨平台2的旋转，使加工面4与修正圆环15产生滑动，因此可以将研磨液均匀地涂布在整个加工面4上。
采用前述冠顶装置1，在方条21的上表面(被加工面)24上形成冠顶时，要进行下列操作。
首先，使研磨液从研磨液喷出喷嘴16喷出，散布在加工面4上。
其次，使研磨平台2旋转，摇动机构18使安装在夹具上的方条21和空白方条22，与加工面4接触，并且在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动，使方条21和空白方条22，与加工面4相对移动，使方条21的上表面(被加工面)24和空白方条，与加工面4相互滑动，这样，可对方条21的上表面24进行研磨处理。
这时，空白方条22，与方条21同样，由加工面4进行研磨处理。
冠顶形成装置1的主要部分表示在图4A～图4C，图6和图7中。
如图4A和图4B所示，当将方条21安装在夹具3上时，为了使方条21沿着长度方向容易变形成弧形，与夹具3的凸曲面6紧密接合，因此，方条21的上表面24，沿着长度方向变成曲面，其曲率半径只比凸曲面6的曲率半径大一个方条21和弹性片30的厚度。
另外，由于凸曲面6的曲率半径比加工面4的曲率半径大，因此，方条21的上表面24的曲率半径也比加工面4的曲率半径大。
其次，如图6所示，当方条21与加工面4接触时，方条21的长度方向的两端，压紧在加工面4上，弹性片30变形；这样，该上表面24的曲率半径大致与加工面4的曲率半径相等。
这时，由于在方条21的两端，弹性片30从该方条21伸出变形，  因此，由夹具3所加的负载，在该方条的两端要比在该方条的中心部分小。
这时，当加工面4的曲率半径R2和凸曲面6的曲率半径R1的关系为R1＞R2时，凸曲面6压紧该方条21的两端，可以使该方条21的整个上表面24，均匀地与加工面4接触。
由于方条21的上表面24的曲率半径，在其长度方向上与加工面4的曲率半径大致相等，夹具3可使方条21，在与方条21的长度方向平行的方向上摇动，因此，可在方条21的长度方向上，均匀地进行研磨处理。
如上所述，弹性片30的硬度(JISA)最好为10～20。当硬度在10以下时，弹性片30的弹性变形大，容易从方条21中伸出，不能使方条21的整个上表面24，均匀地与加工面4接触，这是不好的。另外，当硬度超过20时，弹性片30的弹性变形小；当方条21与加工面接触时，不能使方条21的上表面24与加工面4的曲率半径一致；这样，就不能在方条21的长度方向上，形成均匀的冠顶，这也是不好的。
另外，如上所述，弹性片的厚度最好为0.1～3毫米。当厚度小于0.1毫米时，弹性片30太薄，方条21的长度方向的两端，与凸曲面6干扰，不能使方条21的上表面24与加工面4的曲率半径一致，这是不好的。另外，当厚度超过3毫米时，由于弹性片30太厚，方条21与凸曲面6的距离加大，因此，不可能使方条21稳定地变形成弧形，这也是不好的。
又如图4C和图7所示，由于在方条21的宽度方向上，方条21的刚性高，不易挠曲，因此，上表面(被加工面)24在宽度方向上是平坦的。
又如图8所示，方条21的上表面24的宽度方向的两端(图中斜线部分)，与前述一样，是用磨粒研磨处理的，因此，上表面24在宽度方向成为凸曲面。这时，由于方条21的上表面24是加工面4的凹曲面复制和经过研磨处理形成的，因此，该上表面24在宽度方向上的曲率半径，与加工面的曲率半径相同。
这样，如图9A所示，经过研磨处理后的方条21的上表面(被加工面)24，在方条21的宽度方向上，成为一个凸形的凸曲面。
通过在长度方向上，等间隔地切断该方条21，可得出浮起式磁头26(图9B)。这个浮起式磁头26的浮起表面27，即为方条21的上表面(被加工面)24，在该浮起表面27上，可形成与加工面4的曲率半径相同的冠顶28。
前述浮起式磁头的冠顶形成方法，由于是将由多个磁头元件连成一列构成的方条21贴紧在夹具3的凸曲面6上，使方条21与凹曲面形的加工面4接触进行研磨处理的，因此，可以同时研磨处理多个浮起式磁头的浮起表面，可提高浮起式磁头的生产效率。
另外，在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于在方条21和凸曲面6之间放置了弹性片30，又由于使方条21与加工面4接触时，弹性片30的变形使方条21产生弹性变形，使方条21的上表面(被加工面)24长度方向的曲率半径，与加工面4的曲率半径相同；因此，可以在方条21的长度方向上，对方条21的上表面24均匀地进行研磨处理；同时，可以形成在方条21的宽度方向上，曲率半径与加工面4相同的冠顶。
另外，在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于加工面4的曲率半径R2和凸曲面的曲率半径R1的关系为R1＞R2，因此，凸曲面6压紧方条21的长度方向的两端，可以使方条21的整个上表面(被加工面)24，均匀地与加工面4接触，可以均匀地在方条21的长度方向上进行研磨处理。
另外，当方条21与加工面4接触时，由于方条21的两端总是压紧在加工面4上，因此，可以在使方条21总是变形成弧形的情况下，进行研磨处理。
再者，由于前述凸曲面是加工面4的形状复制形成的，因此可以得到形状尺寸精度好的冠顶。
在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于使研磨平台2旋转，而且使夹具3在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动，方条21和加工面4相对移动，因此，可以高效率地进行研磨处理。
另外，在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于方条21和空白方条22，分别在其长度方向上相互平行地贴紧夹具3，使方条21和空白方条22总是压紧在加工面4上；因此，可使方条21在其宽度方向上，稳定地与加工面4接触，进行研磨处理，所以，可以形成形状尺寸精度高的冠顶。
前述冠顶形成装置1，由于具有紧压着由多个磁头元件连成一列构成的方条21的夹具3，带有凹曲面形的加工面4的研磨平台2和驱动装置10，因此可以同时研磨处理多个浮起式磁头的浮起表面。
另外，由于夹具3具有凸曲面6，因此可以保持使方条21在长度方向上变形成弧形，在方条21的上表面(被加工面)24上，形成沿方条21的宽度方向呈凸形的冠顶。
又，在前述冠顶形成装置1中，由于在方条21和凸曲面6之间放置了弹性片30，又由于当方条21与加工面4接触时，弹性片30的变形，使方条21产生弹性变形，使方条21的上表面24的长度方向的曲率半径与加工面4的曲率半径相同；因此，可以对方条21的上表面24，在方条21的长度方向上均匀地进行研磨处理；同时可以得到在方条的宽度方向上，曲率半径与加工面4的曲率半径相同的冠顶。
再者，在前述冠顶形成装置1中，由于加工面4的曲率半径R2和凸曲面的曲率半径R1的关系为R1＞R2，因此，方条21的两端可压紧凸曲面6，并可以用均匀的力使方条21的整个上表面(被加工面)24与加工面4接触。
此外，当方条21与加工面4接触时，由于方条21的两端总是压紧在加工面4上，因此可以在方条21总是变形成弧形的状态下，对方条21进行研磨处理；同时，由于凸曲面是在方条21的上表面24的宽度方向上，由加工面4的形状复制形成的，因此可以形成形状尺寸精度好的冠顶。
前述的冠顶形成装置1，由于具有使研磨平台2旋转，而且使夹具3在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动的驱动装置10，因此可以高效率地进行研磨处理。
另外，由于方条21在其长度方向上摇动，因此，可以均匀地对方条21的长度方向进行研磨处理。
另外，前述的冠顶形成装置1，由于方条21和空白方条22，分别在其长度方向上相互平行地与夹具3贴紧，因此，可通过方条21在其宽度方向上不摇动地与加工面4稳定接触，可以形成形状尺寸精度高的冠顶。
下面详细说明本发明的第三个例子。
图1表示本发明的冠顶形成装置1。这个冠顶形成装置1是以设在工作台T的研磨平台2，装在研磨平台上的夹具3，驱动装置10，竖立在研磨平台2后面的控制板S，支承在该控制板S上的摇动板11，研磨液喷出喷嘴16为主体构成的。
如图2A和图2B所示，研磨平台2的整体形状做成大致为圆盘形，在它的上表面上，做出形状为凹曲面的加工面4。加工面4向着研磨平台2的中心，向下方倾斜。
又如图3所示，夹具3为圆柱形，在其上表面上做出凸曲面6。
另外，如图11A至图11C所示，方条21安装在凸曲面6上。
方条21是在由浮起式磁头的滑块材料制成的晶片的一个表面上，采用薄膜生成技术等方法，形成多个磁头元件之后切去晶片的一部分，做成大致为长方体而形成的。
如图10A所示，方条21是从晶片上切出形成的，五个磁头元件29...连成一列配置在其侧壁表面23上。
又如图10B所示，在与方条21的侧壁表面23相邻的上表面(被加工面)24上，设有槽26...。槽26...位于各个磁头元件29...之间。
方条21上设有槽26的部分的厚度，比其它部分的厚度薄一个槽26的深度。这个部分称为薄壁部分27。
另外，槽26...将方条21的上表面24分割开来，形成五个分割面24a。这些分割面24a就是最终得出的浮起式磁头的浮起表面。
槽26是利用(例如)砂轮等切削方条21的上表面24而形成的。
另外，设在方条21上的磁头元件29的数目，在图10B中为五个，但并不是只限于五个。
另外，在图10B中，两个磁头元件29，29之间设有一个槽26，但槽26的数目不限于一个；在磁头元件29，29之间设置多个槽也可以。
又如图10C所示，方条21是以分割面24a...向上，与分割面24a...相对的另一表面25向下，沿方条21的长度方向变形成弧形，安装在夹具3上的。当使方条21变形时，最好预先加热方条21。
又如图11A所示，与方条21形状相同，而且用相同材料制成的空白的方条22与方条21的长度方向平行，并与方条21离开一段距离地安装在夹具3的凸曲面6上。在该空白方条22上也可与方条21同样设置多个槽。
另外，在方条21和空白方条22与凸曲面6之间，也可加入弹性片30。弹性片，例如可用聚氨酯制造，表面具有粘接性，可将方条21与凸曲面6固定在一起。
另外，弹性片30省去也可以。这种情况下，方条21和空白方条22可用粘接剂、蜡等固定在凸曲面6上。
研磨平台2的加工面4的曲率半径R2和夹具3的凸曲面6的曲率半径R1的关系为R1≥R2。
如图1所示，驱动装置10由使研磨平台2旋转的旋转机构17；和使夹具3与研磨平台2的加工面接触，使夹具3在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向摇动的摇动机构18组成。
旋转机构17只要为使研磨平台2旋转的机构就可以。例如，如图1所示，旋转机构17也可以是与研磨平台2的中心连接，使该研磨平台2按箭头A方向旋转的电机7。
摇动机构18由装在控制板S前面的摇动板11，设在摇动板11的前表面上部的凸部12，从凸部12向下方突出的左右一对负载棒13，13，吊在负载棒13，13上的负载重块14构成。
如图1所示，在摇动板11的背面设有支承面19，在支承面19的研磨平台2的前面上安装着图18所示的轨道构件118，118。轨道支承构件119，119设在这些轨道构件118，118上，与轨道构件接合。轨道支承构件119，119与摇动板11的背面连接，摇动板11可以沿着轨道构件118，118左右往复移动。
又如图18所示，在支承面19的前面，电机120和连杆臂123位于摇动板11和支承面19之间。连杆臂123的一端，利用销子125与安装在电机120的旋转轴121上的臂板122的端部连接，可以自由旋转，该连杆臂123的另一端，利用销子127，与驱动板126的中心连接，可以自由旋转。同时，在驱动板126的上部和下部，分别安装着支承构件119，119。
由于这样的结构，随着电机120的旋转，臂板122旋转，这样，连杆臂123的一端做偏心旋转。同时，由于连杆臂123的另一端，可沿着轨道构件118，118，使驱动板126左右往复移动，所以摇动板11可以按图1所示的箭头X的方向摇动。
如图1所示，凸曲面6安装在负载重块14上，与研磨平台2的加工面4相对；安装在负载棒13，13内的图中没有示出的弹性件，使夹具3压在研磨平台2上。这样，方条21和空白方条22与加工面4接触。
又如图12和图13所示，夹具3配置在加工面4上，方条21的分割面24a...(上表面24)和研磨平台2的加工面4接触。
另外，最好是方条21和空白方条22安装在夹具3上，使方条21和空白方条22的长度方向与夹具3的摇动方向一致。
如图1所示，研磨液喷出喷嘴16向着研磨平台2的加工面4喷出研磨液。
采用前述的冠顶形成装置1，在方条21的分割面24a...(上表面24)上形成冠顶时，要进行下列操作。
首先，使研磨液从研磨液喷出喷嘴16喷出，散布在加工面4上。
其次，使研磨平台2旋转，使安装在夹具3上的方条21和空白方条22与加工面4接触，并利用摇动机构18，在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上，摇动该方条21和空白方条22，使方条21和空白方条22与加工面4相对移动，使方条21的分割面24a...和空白方条22与加工面4相互滑动，对方条21的分割面24a...进行研磨处理。
这时，空白方条22也与方条21一样，由加工面4进行研磨处理。
该冠顶形成装置1的主要部分表示在图11A～图11C，图12和图13中。
如图11A和图11B所示，当将方条21安装在夹具3上时，方条21在其长度方向上变形成弧形。由于方条21的薄壁部分27...的刚性低，白方条21主要在薄壁部分27上变形。因此，方条21的分割面24a...，沿方条21的长度方向大致是平坦的。
另外，方条21的全部分割面24a...的近似的曲率半径，比凸曲面6的曲率半径大一个方条21的厚度。
又如图11C和图13所示，在方条21的宽度方向上，即使方条21安装在凸曲面6上，由于方条21在宽度方向的刚性高，不易挠曲，因此，分割面24a...在方条21的宽度方向上大致是平坦的。
这样，安装在凸曲面6上的方条21的各个分割面24a...大致为平面。
如图12和图13所示，当方条21与加工面4接触时，由于凸曲面6和加工面4的曲率半径相同或凸曲面6的曲率半径较大，因此，方条21长度方向的两端压紧在加工面4上，弹性片30变形，方条21的全部分割面24a...的近似的曲率半径与加工面4的曲率半径大致相等，各个分割面24a...的拐角24b...与加工面4接触。
另外，在不用弹性片30，而用粘接剂、蜡等直接将方条21安装在凸曲面6上的情况下，当方条21与加工面4接触时，通过将方条21的长度方向的两端压紧在加工面4上，可使方条21沿夹具3的凸曲面6弹性变形，这样，全部分割面24a...的近似曲率半径大致与加工面4的曲率半径相等。
如图14B所示，由于方条21的分割面24a...分别在平面状态下与加工面4接触，因此，方条21的分割面24a...被加工面4研磨处理，分割面24a...在方条21的长度方向和宽度方向上，成为凸形的凸曲面。这样，可以同时形成冠顶24c和交叉冠顶24d。
将如上所述，分割面24a...成为凸曲面的方条21，从夹具3和弹性片30中取出，通过在长度方向上等间隔地切断该方条21，可得出浮起式磁头29(图14C)。这种浮起式磁头28的浮起表面31就是方条21的分割面24a，在浮起表面31上可以形成冠顶24c和交叉冠顶24d。
前述浮起式磁头的冠顶形成方法，由于是将由多个磁头元件连成一列构成的方条21，安装在夹具3的凸曲面6上，使方条21与凹曲面形的加工面4接触进行研磨处理的；因此，可以同时研磨处理多个浮起式磁头的浮起表面，提高浮起式磁头的生产效率。
另外，由于在方条21的上表面(被加工面)24上，在磁头元件29...之间做出多个槽26，将该上表面24做出多个分割面24a...，并安装在夹具3的凸曲面6上，使方条21沿其长度方向变形成弧形，并研磨处理各个分割面24a...，因此，可以一次就做出冠顶24c和交叉冠顶24d。
在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于使研磨平台2旋转，而且，在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动夹具3，方条21和加工面4相对移动，因此，可以高效率地进行研磨处理。
另外，由于在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动方条21，在方条21的上表面(被加工面)24上，不会残留沿着研磨平台2的旋转方向的伤痕。
又由于通过在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动夹具3，方条21可以与整个加工面4均匀接触，因此，加工面4的一部分不会偏和产生磨损，整个加工面4磨损均匀，可以防止加工面4的变形。
另外，在前述浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于方条21和空白方条22，分别在其长度方向上互相平行地安装在夹具3上，方条21和空白方条22总是压紧在加工面4上，因此，方条21可在其宽度方向上稳定地与加工面4接触，进行研磨处理，所以可形成形状尺寸精度好的冠顶。
前述冠顶形成装置1，由于具有安装着由多个磁头元件29连成一列组成的方条21的夹具3，带有凹曲面形的加工面4的研磨平台2和驱动装置10，因此，可同时研磨处理多个浮起式磁头的浮起表面。
另外，  由于夹具3具有凸曲面6，又由于在上表面24上做有多个槽26，可以使在其上表面24上形成多个分割面24a...的方条21，沿其长度方向的呈弧形的变形固定起来，从而可以可靠地使各个分割面24a...与加工面4接触，因此，可以在各个分割面24a...上形成同一形状的冠顶24c和交叉冠顶24d。
另外，在前述冠顶形成装置1中，由于当方条21与加工面4接触时，弹性片30或蜡等的变形，使方条21产生弹性变形，在方条21的长度方向上的全部分割面24a...的近似曲率半径可做成与加工面4的曲率半径相同，因此，各个分割面24a...可以可靠地与加工面4接触，可以在各个分割面24a...上形成同一形状的冠顶24c和交叉冠顶24d。
另外，由于加工面4的形状复制在前述分割面24a...上，因此可得出形状的尺寸精度高的冠顶24c和交叉冠顶24d。
前述的冠顶形成装置1，由于具有使研磨平台2旋转，使夹具3与加工面4接触，同时在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上，摇动该夹具3的驱动装置10，因此，可以高效率地进行研磨处理。
另外，由于方条21，在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动，因此，在方条21的上表面(被加工面)24上，不会残留沿研磨平台2的旋转方向的伤痕。
另外，由于通过夹具3在与研磨平台2的旋转方向垂直的方向上摇动，方条21与整个加工面4均匀接触，进行研磨处理，因此，加工面4的一部分不会偏和产生磨损，整个加工面4磨损均匀，可以防止加工面4的变形。
再者，前述的冠顶形成装置1，由于方条21和空白方条22，分别在其长度方向上互相平行地安装在夹具3上，因此，方条21可在其宽度方向上不摇动地与加工面4稳定接触，可以形成形状尺寸精度高的冠顶24c和交叉冠顶24d。
另外，在前述冠顶形成装置1中，当加工面4的曲率半径为R2，凸曲面6的曲率半径为R1时，有R1≥R2的关系；当方条21与加工面4接触时，方条21的两端总是压紧在加工面4上，同时，方条21的各个分割面24a...可靠地与加工面4接触，因此，可在方条21总是变形成弧形的情况下，对方条21进行研磨处理，加工面4的形状可复制到方条21的分割面24a...上，可以形成形状尺寸精度高的冠顶24c和交叉冠顶24d。
实施例1
研究研磨平台的加工面的曲率半径R2和夹具的凸曲面的曲率半径R1的关系，对方条的冠顶高度的影响。
首先，将用Al2O3-TiC系的陶瓷制成的晶片切断，切成大致为长方体状的方条。
另外，再准备一块与方条形状相同，由Al2O3-TiC系陶瓷制成的空白方条。
其次，准备一个具有凸曲面的夹具，将厚度为1毫米的聚氨酯制的弹性片贴附在该凸曲面上，使方条和空白方条呈弧形变形，并将它们贴附在凸曲面上的弹性片上。方条和空白方条互相在长度方向平行，而且彼此离开一段距离地贴紧在夹具上。
采用夹具的凸曲面曲率半径(R1)为10.0米和12.0米。
再准备一个有凹曲面形加工面的研磨平台。加工面的曲率半径(R2)为10.0米。
再将夹具和研磨平台安装在图1所示的冠顶形成装置上，通过摇动夹具并使研磨平台旋转，对方条进行研磨处理，在该方条的被加工面上形成冠顶。
接着，取出研磨处理完的方条和空白方条，将新的方条和空白方条安装在夹具上，再次驱动夹具和研磨平台，进行研磨处理。重复这个操作，得到多个形成冠顶的方条。测定所得出的方条的冠顶高度。
这样，就可以研究R1和R2的关系对冠顶高度的影响。结果表示在图20A～图20C和图21A～图21C中。
图20A至图20C表示当R1为12.0米，R2为10.0米时，方条长度方向上的冠顶高度的分布。
图21A至图21C表示R1，R2都为10.0米时的方条长度方向上的冠顶高度分布。
冠顶高度是在沿方条的长度方向等间隔地设定的37个地方的测定位置上测量的。图20A至图20C和图21A至图21C的横轴表示这些测量位置。
图20A和图21A表示80个孔、图20B和图21B表示85个孔、图20C和图21C表示90个孔的方条的冠顶高度分布。
将图20A至图21C的结果进行统计处理，求出各个方条的冠顶高度的平均值和标准偏差。平均值表示在表1中，标准偏差表示在表2中。
从图20A至图20C可看出，当R1＞R2时，在研磨处理90个孔的方条时，方条两端的冠顶高度最初是低下去的。
另一方面，从图21A至图21C可看出，当R1＝R2时，在研磨处理85个孔的方条时，方条两端的冠顶高度是低下去的。
另外，如表2所示，当R1＝R2时，在研磨处理85个孔的方条时，冠顶高度的标准偏差为1.43；比当R1＞R2时，研磨处理90个孔的方条的标准偏差(0.58)大，显示出方条两端的冠顶高度低下去的影响。
因此，采用本发明的浮起式磁头的冠顶形成方法和冠顶形成装置，可以使方条长度方向上的冠顶形状均匀。
表1
   R1＞R2    R1＝R2
    80个孔     40.1     40.1
    85个孔     40.1     39.7
    90个孔     39.9     39.1
表2
    R1＞R2    R1＝R2
    80个孔     0.29     0.34
    85个孔     0.17     1.43
    90个孔     0.58     3.31
实施例2
研究做在方条上的槽的深度，研磨处理后的方条的冠顶高度和交叉冠顶高度的关系。
首先，在由Al2O3-TiC系陶瓷制成的晶片上，利用薄膜生成技术，形成多个磁头元件；其次切断晶片，切成大致为长方体的方条。这时，切断方条，使多个薄膜磁头元件连成一列配置在方条的侧壁表面上。
另外，在方条的一个表面的各个磁头元件间的位置上做出多个槽。
准备一块槽宽约为125微米，槽深为0～0.15微米的方条。
另外，准备一块与方条形状相同，由Al2O3-TiC系陶瓷制成的空白方条。
其次，准备一个具有凸曲面的夹具，将厚度为1毫米的由聚氨酯制成的弹性片贴紧在该凸曲面上，再将方条和空白方条贴附在凸曲面上的弹性片上，使方条和空白方条变形成弧形。方条和空白方条，彼此在长度方向互相平行，并互相离开一定间隔地贴附在夹具上。
另外，再准备一个有凹曲面形状的加工面的研磨平台。
其次，将夹具和研磨平台安装在图1所示的冠顶形成装置上，通过摇动夹具，同时旋转研磨平台，进行研磨处理，在方条的分割面上形成冠顶和交叉冠顶。
测定所得出的方条的各个分割面上的冠顶高度和交叉冠顶的高度，得出各个特性值的平均值，结果表示在图22A、图22B中。
如图22A所示，当槽深从0微米增加至0.15微米时，冠顶高度从27纳米减少至19纳米。
又如图22 B所示，当槽深从0微米增加至0.15微米时，交叉冠顶的高度从-2.7纳米直线增加至13纳米。
这样，通过改变槽深，可以调整冠顶高度和交叉冠顶高度。
槽深对冠顶高度和交叉冠顶高度值的影响原因还没有确定，估计由于槽深改变，使方条长度方向的刚性变化是其起因。
实施例3
研究做在方条上的槽宽与研磨处理后的方条的冠顶高度和交叉冠顶高度的关系。
除了准备槽深约为75微米，槽宽为125～190微米的方条以外，与实施例1同样做出方条，使用这些方条进行研磨处理。
测定所得出的方条的各个分割面上的冠顶高度和交叉冠顶高度。结果表示在图23A、图23B中。
如图23A所示，当槽宽从125微米增加至190微米时，冠顶高度平均有从23纳米减小至20纳米的倾向。每个槽宽的冠顶高度的误差没有大的变化。
又如图23B所示，当槽宽从125微米增加至190微米时，交叉冠顶高度从2纳米直线地增加至6纳米。可看出，每个槽宽的交叉冠顶的高度误差，有随着槽的宽度增大而变大的倾向。
当槽宽变化时，冠顶高度没有看到有大的变化，但交叉冠顶高度呈直线地增加。
槽宽对交叉冠顶高度值影响的原因还没有确定，但与实施例1的情况一样，方条长度方向刚性的变化可能是其起因。
实施例4
研究做在方条上的槽底面的表面粗糙度与研磨处理后的方条冠顶高度及交叉冠顶高度的关系。
除了用600～2000目的砂轮磨削方条，做出深约为75微米，宽约为125微米的槽以外与实施例1一样做出方条，利用这些方条进行研磨处理。
测量所得出的方条的各分割面上的冠顶高度和交叉冠顶高度。结果表示在图24A、图24B中。
如图24A所示，当砂轮的粗糙度从600目增加至2000目时，冠顶高度多少有些平均从20纳米增加至23纳米的倾向。每种砂轮粗糙度的冠顶高度误差变化不大。
又如图24B所示，当砂轮粗糙度从600目增加至2000目时，交叉冠顶高度从3纳米直线地减少至1纳米。每一种砂轮粗糙度的交叉冠顶高度误差变化不大。
当任意改变槽宽时，冠顶高度变化不大，但交叉冠顶高度呈直线减少一些。
从以上实施例1至3的结果可看出，不改变研磨平台的加工面和夹具的凸曲面的曲率半径，通过改变槽宽、槽深和槽底面的粗糙度，可以改变方条分割面上形成的交叉冠顶的高度。
另外，通过改变槽深，可以改变方条分割面上形成的冠顶的冠顶高度。
如以上详细说明的那样，本发明的第一和第二实施例的浮起式磁头的冠顶形成方法，由于将由多个磁头元件连成一列构成的方条，安装在夹具的凸曲面上，与凹曲面形的加工面接触，进行研磨处理，因此可以同时研磨处理多个浮起式磁头的浮起表面，提高浮起式磁头的生产效率。
在本发明的浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于当方条与加工面接触时，弹性片的变形使方条产生弹性变形，方条的被加工面长度方向上的曲率半径与加工面的曲率半径相同，因此，可以在方条的长度方向上，对方条的被加工面均匀地进行研磨处理；同时，可以在方条的宽度方向上形成与加工面曲率半径相同的凸曲面。
另外，在本发明的浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于加工面的曲率半径R2和凸曲面的曲率半径R1的关系为R1≥R2，因此，凸曲面可以压紧方条长度方向的两端，方条的整个被加工面可以以均等的力与加工面接触，因此，可在方条的长度方向上均匀地进行研磨处理。
又当方条与加工面接触时，由于方条两端总是压紧在加工面上，因此，可在方条总是变形成弧形的状态下进行研磨处理。
另外，由于前述凸曲面是加工面的形状复制上去形成的，因此，可以得出形状尺寸精度高的冠顶。
在本发明的浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于使研磨平台旋转，而且在与研磨平台的旋转方向垂直的方向上，使夹具摇动，方条与加工面相对移动，因此，可以高效率地进行研磨处理。
另外，在本发明的浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于方条和空白方条分别在其长度方向上相互平行地安装在夹具上，方条和空白方条总是压紧在加工面上，因此，可以在方条宽度方向上，使方条稳定地与加工面接触，进行研磨处理，可以得出形状尺寸精度高的冠顶。
本发明的冠顶形成装置，由于具有安装着由多个磁头元件连成一列构成的方条的夹具，带有凹曲面的加工面的研磨平台和驱动装置，因此，可以同时研磨处理多个浮起式磁头的浮起表面。
又由于本发明的冠顶形成装置的夹具具有凸曲面，因此可以保持方条在长度方向变形成弧形，并在方条的被加工面上形成沿方条宽度方向为凸形的冠顶。
另外，在本发明的冠顶形成装置中，由于在方条和凸曲面之间放置弹性片，又由于当方条与加工面接触时，弹性片的变形使方条产生弹性变形，使方条的被加工面长度方向的曲率半径与加工面的曲率半径相等，因此，方条的被加工面可在其长度方向上均匀地进行研磨处理，并在方条的宽度方向上形成曲率半径与加工面相同的冠顶。
在本发明的冠顶形成装置中，由于加工面的曲率半径R2和凸曲面的曲率半径R1的关系为R1≥R2，因此，方条的两端可压紧在凸曲面上，方条21的整个被加工面，以均等的力与加工面接触。
另外，当方条与加工面接触时，由于方条两端总是与加工面压紧，因此可以在方条总是变形成弧形的情况下，对方条进行研磨处理；同时，凸曲面是在方条的被加工面宽度方向，由加工面形状复制形成的，因此可以形成形状尺寸精度高的冠顶。
在本发明冠顶形成装置中，由于前述驱动装置使研磨平台旋转，而且可在与研磨平台旋转方向垂直的方向，使夹具摇动，因此可以高效率地进行研磨处理。
另外，由于前述方条在前述方条长度方向摇动，因此，可以在前述方条长度方向上均匀地进行研磨处理。
另外，本发明的冠顶形成装置，由于方条和空白方条分别在其长度方向相互平行地紧贴在夹具上，因此，方条可在方条宽度方向不摇动地与加工面稳定接触，从而形成形状尺寸精度高的冠顶。
如上所述，本发明实施例3的浮起式磁头的冠顶形成方法，由于多个磁头元件连成一列构成的方条安装在夹具的凸曲面上，方条与凹曲面形的加工面接触，进行研磨处理，因此可以同时研磨处理多个浮起式磁头的浮起表面，提高浮起式磁头的生产效率。
另外，由于在方条的被加工面上，在磁头元件之间，做出多个槽，在被加工面上做出多个分割面，使方条在沿长度方向变形成弧形，安装在具有凸曲面的夹具上，对各分割面进行研磨处理，因此，可以一次形成冠顶和交叉冠顶。
如果在磁头元件间做出的槽数为一个，则形成槽的工序可简化，提高浮起式磁头的生产效率。
另外，在本发明的浮起式磁头的冠顶形成方法中，通过适当改变槽宽、槽深和槽底面粗糙度等，可以独立地分别改变方条的冠顶以及交叉冠顶的曲率半径，因此，可以一次形成曲率互不相同的冠顶和交叉冠顶。
在本发明的浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于使研磨平台旋转，而且在与研磨平台旋转方向垂直的方向上，使夹具摇动，方条的各个分割面与加工面相对移动，因此，可以高效率地进行研磨处理。
另外，由于在与研磨平台旋转方向垂直的方向上摇动方条，因此，在方条的被加工面上，不会残留沿研磨平台旋转方向的伤痕。
由于通过使夹具在与研磨平台旋转方向垂直的方向上摇动，方条与整个加工面均匀接触而进行研磨处理，因此，加工面的一部分不会偏移而被磨损，加工面磨损均匀，可防止加工面的变形。
另外，在本发明的浮起式磁头的冠顶形成方法中，由于方条和空白方条分别其长度方向相互平行地安装在夹具上，方条和空白方条总是压紧在加工面上，因此可以在方条的宽度方向，使方条稳定地与加工面接触，进行研磨处理，形成形状尺寸精度高的冠顶。
本发明的冠顶形成装置，由于具有安装着由多个磁头元件连成一列构成的方条的夹具，带有凹曲面形的加工面的研磨平台和驱动装置，因此可以同时研磨处理多个浮起式磁头的浮起表面。
另外，由于本发明的冠顶形成装置的夹具具有凸曲面，又由于可以在沿长度方向使方条变形成弧形固定，使各个分割面可靠地与加工面接触，因此可以一次在各分割面上形成冠顶和交叉冠顶。
另外，在本发明的冠顶形成装置中，由于当方条与加工面接触时，方条沿夹具的凸曲面弹性变形，在方条长度方向上的全部分割面的近似的曲率半径，可以与加工面的曲率半径相同，因此，各个分割面可以可靠地与加工面接触，可以在各分割面上一次形成冠顶和交叉冠顶。
另外，由于加工面的形状复制在前述分割面上，因此可以得到形状尺寸精度高的冠顶和交叉冠顶。
本发明的冠顶形成装置由于具有使研磨平台旋转，使夹具与加工面接触，同时，使夹具在与研磨平台旋转方向垂直的方向上摇动的驱动装置，因此可以高效率地进行研磨处理。
又由于方条在与研磨平台旋转方向垂直的方向上摇动，因此在方条的被加工面上，不会残留沿研磨平台旋转方向的伤痕。
另外，由于通过夹具在与研磨平台旋转方向垂直的方向上摇动，可使方条与整个加工面均匀地接触，进行研磨处理，因此，加工面的一部分不会偏移而磨损，整个加工面磨损均匀，可以防止加工面4的变形。
另外，本发明的冠顶形成装置，由于方条和空白方条分别在其长度方向上相互平行地安装在夹具上，方条在其宽度方向可以不摇动地与加工面稳定接触，因此，可形成形状尺寸与精度高的冠顶和交叉冠顶。
另外，在本发明的冠顶形成装置中，由于加工面的曲率半径R2和凸曲面的曲率半径R1的关系为R1≥R2，当方条与加工面接触时，方条两端总是紧压在加工面上，同时，方条的各个分割面可以可靠地与加工面接触，因此，可以在使方条总是变形成弧形的情况下，对方条进行研磨处理，并可将加工面的形状复制在方条的分割面上形成形状尺寸精度高的冠顶和交叉冠顶。

Claims (24)

1.一种浮起式磁头的冠顶形成方法，其特征为，通过对与由侧壁面上的一个以上的磁头元件连成一列构成的，大致为长方体的方条的前述侧壁面相邻的被加工面，进行研磨处理，和沿其宽度方向切断该方条，前述被加工面即成为浮起表面，而且当制造具有至少一个前述磁头元件的浮起式磁头时，使用具有曲率半径为R1的凸曲面的夹具，和具有曲率半径R2的凹曲面形的加工面的研磨平台，而且R1≥R2，将前述方条的前述被加工面放置在研磨平台上，将前述方条通过弹性片放置在前述夹具的前述凸曲面上，沿长度方向，使前述方条变形成弧形，紧贴在前述弹性片和前述凸曲面上，使前述方条的被加工面与前述研磨平台的前述加工面接触，通过使前述被加工面和前述加工面相对移动，对前述被加工面进行研磨处理，可以在前述浮起式磁头的前述浮起表面上形成冠顶。
2.如权利要求1所述的浮起式磁头的冠顶形成方法，其特征为，使前述研磨平台旋转，而且使前述方条在与前述研磨平台的旋转方向垂直的方向上摇动，使前述方条的被加工面与前述研磨平台的前述加工面相对移动。
3.如权利要求2所述的浮起式磁头的冠顶形成方法，其特征为，将与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行而且与前述方条离开一段距离地，通过弹性片紧贴在前述夹具的前述凸曲面上。
4.如权利要求1所述的浮起式磁头的冠顶形成方法，其特征为，将与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一段距离地，通过弹性片紧贴在前述夹具的前述凸曲面上。
5.一种浮起式磁头的冠顶形成方法，其特征为，通过对与由侧壁面上一个以上的磁头元件连成一列或数列构成的大致为长方体的方条的前述侧壁面相邻的被加工面，进行研磨处理，沿宽度方向切断该方条，前述被加工面即成为浮起表面；而且在制造具有至少一个前述磁头元件的浮起式磁头时，在前述方条的前述被加工面上，做出至少一个以上沿前述方条宽度方向，位于前述各个磁头元件之间的槽，将前述被加工面分成多个分割面，利用具有凸曲面的夹具和具有凹曲面形加工面的研磨平台，将前述方条的前述各个分割面放置在研磨平台上，沿长度方向使该方条变形成弧形，紧贴在前述夹具的前述凸曲面上，使前述方条的前述各个分割面，与前述研磨平台的前述加工面接触，使前述各个分割面和前述加工面相对移动，对前述各个分割面进行研磨处理，从而可在前述浮起式磁头的前述浮起表面上形成冠顶。
6.如权利要求5所述的浮起式磁头的冠顶形成方法，其特征为，设在前述各个磁头元件之间的槽为一个。
7.如权利要求6所述的浮起式磁头的冠顶形成方法，其特征为，使前述研磨平台旋转，而且，在与前述研磨平台旋转方向垂直的方向上，摇动前述方条，使前述方条的前述各分割面和前述研磨平台的前述加工面相对移动。
8.如权利要求7所述的浮起式磁头的冠顶形成方法，其特征为，将与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条长度方向平行，而且与前述方条离开一段距离地紧贴在前述夹具的前述凸曲面上，进行研磨处理。
9.如权利要求6所述的浮起式磁头的冠顶形成方法，其特征为，将与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条长度方向平行，而且与前述方条离开一段距离地紧贴在前述夹具的前述凸曲面上，进行研磨处理。
10.如权利要求5所述的浮起式磁头的冠顶形成方法，其特征为，使前述研磨平台旋转，而且在与前述研磨平台旋转方向垂直的方向上，摇动前述方条，使前述方条的前述各分割面和前述研磨平台的前述加工面相对移动。
11.如权利要求10所述的浮起式磁头的冠顶形成方法，其特征为，将与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一定距离地，紧贴在前述夹具的前述凸曲面上，进行研磨处理。
12.如权利要求5所述的浮起式磁头的冠顶形成方法，其特征为，将与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一定距离地，紧贴在前述夹具的前述凸曲面上，进行研磨处理。
13.一种冠顶形成装置，其特征为，它具有带有凹曲面形的加工面的研磨平台，带有凸曲面的夹具，和使前述夹具的前述凸曲面与前述研磨平台的前述加工面相对，使前述夹具与前述加工面相对移动的驱动装置；前述夹具的前述凸曲面的曲率半径R1和前述研磨平台的前述加工面的曲率半径R2的关系为R1≥R2，在侧壁面上，一个以上的浮起式磁头元件连成一列构成的大致为长方体的方条的被加工面，放置在研磨平台上，沿方条的长度方向，使方条变形成弧形，通过弹性片将该方条贴紧在前述夹具的前述凸曲面上，使前述方条的前述被加工面与前述加工面接触。
14.如权利要求13所述的冠顶形成装置，其特征为，前述驱动装置由使前述研磨平台旋转的旋转机构，和夹持前述夹具，使前述方条的前述被加工面与前述研磨平台的前述加工面接触，在与前述研磨平台的旋转方向垂直的方向上，使前述夹具摇动的摇动机构构成；前述方条安装在前述夹具上，使前述方条的长度方向与前述夹具的摇动方向一致。
15.如权利要求14所述的冠顶形成装置，其特征为，与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一定距离地，通过弹性片贴紧在前述夹具的前述凸曲面上。
16.如权利要求13所述的冠顶形成装置，其特征为，与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一定距离地，通过弹性片紧贴在前述夹具的前述凸曲面上。
17.一种冠顶形成装置，其特征为，它具有带有凹曲面形的加工面的研磨平台，带有凸曲面的夹具，和使前述夹具的前述凸曲面与前述研磨平台的前述加工面相对，使前述夹具与前述加工面相对移动的驱动装置；通过在侧壁面上排成一列地设置一个以上的磁头元件，而且在被加工面上，在前述各个磁头元件之间，沿该被加工面的宽度方向，做出至少一个以上的槽，而使前述被加工面上形成多个分割面的，大致为长方体的方条，沿其长度方向变形成弧形，紧贴在前述夹具的前述凸曲面上，而其前述各个分割面则压紧在前述研磨平台上，前述方条的前述各个分割面，与前述研磨平台的前述加工面接触。
18.如权利要求17所述的冠顶形成装置，其特征为，在前述各个磁头元件之间，做出一个前述的槽。
19.如权利要求18所述的冠顶形成装置，其特征为，前述驱动装置由使前述研磨平台旋转的旋转机构，和夹持前述夹具，使前述方条的前述各个分割面与前述研磨平台的前述加工面接触，使前述夹具在与前述研磨平台的旋转方向垂直的方向摇动的摇动机构组成；前述方条安装在前述夹具上，使前述方条的长度方向与前述夹具的摇动方向一致。
20.如权利要求19所述的冠顶形成装置，其特征为，与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一定距离地，紧贴在前述夹具的前述凸曲面上。
21.如权利要求18所述的冠顶形成装置，其特征为，与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一定距离地紧贴在前述夹具的前述凸曲面上。
22.如权利要求17所述的冠顶形成装置，其特征为，前述驱动机构由使前述研磨平台旋转的旋转机构，和夹持前述夹具，使前述方条的前述各个分割面与前述研磨平台的前述加工面接触，使前述夹具在与前述研磨平台的旋转方向垂直的方向上摇动的摇动机构组成；前述方条安装在前述夹具上，使前述方条的长度方向与前述夹具的摇动方向一致。
23.如权利要求22所述的冠顶形成装置，其特征为，与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一定距离地，紧贴在前述夹具的前述凸曲面上。
24.如权利要求17所述的冠顶形成装置，其特征为，与前述方条形状相同，而且由同样材料制成的空白方条，与前述方条的长度方向平行，而且与前述方条离开一定距离地，紧贴在前述夹具的前述凸曲面上。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1300769C (zh) * 2003-03-04 2007-02-14 日立环球储存科技荷兰有限公司 在研磨以提高工件平面度特征的过程中用来约束工件及施加可变压力的多室柔性装置
CN103310808A (zh) * 2012-03-14 2013-09-18 西部数据技术公司 利用补偿研磨校正滑块平行度误差的系统和方法
WO2019037282A1 (zh) * 2017-08-21 2019-02-28 大连理工大学 一种纳米切深高速单点划擦试验装置及其试验方法

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1146866C (zh) * 1998-11-17 2004-04-21 阿尔卑斯电气株式会社 浮起式磁头的冠顶形成方法及冠顶形成装置
US9262383B2 (en) 1999-05-21 2016-02-16 E-Numerate Solutions, Inc. System, method, and computer program product for processing a markup document
US9268748B2 (en) 1999-05-21 2016-02-23 E-Numerate Solutions, Inc. System, method, and computer program product for outputting markup language documents
US9262384B2 (en) 1999-05-21 2016-02-16 E-Numerate Solutions, Inc. Markup language system, method, and computer program product
JP2001121394A (ja) * 1999-10-25 2001-05-08 Tdk Corp 磁気ヘッドの研磨装置および方法
US6663477B1 (en) * 2000-05-11 2003-12-16 International Business Machines Corporation Complaint membrane for restraining a workpiece and applying uniform pressure during lapping to improve flatness control
US9600842B2 (en) 2001-01-24 2017-03-21 E-Numerate Solutions, Inc. RDX enhancement of system and method for implementing reusable data markup language (RDL)
US6926582B2 (en) * 2002-04-16 2005-08-09 Hitachi Global Storage Technologies Nethrlands B.V. System and method for rounding disk drive slider corners and/or edges using a flexible slider fixture, an abrasive element, and support elements to control slider orientation
US6942544B2 (en) * 2003-09-30 2005-09-13 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Method of achieving very high crown-to-camber ratios on magnetic sliders
US6913515B2 (en) * 2003-09-30 2005-07-05 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. System and apparatus for achieving very high crown-to-camber ratios on magnetic sliders
JP4405234B2 (ja) * 2003-10-29 2010-01-27 新科實業有限公司 薄膜磁気ヘッドの研磨方法
US6932684B1 (en) * 2004-03-08 2005-08-23 Roy H. Hunt Reciprocal blade lapping machine
US20110028074A1 (en) * 2009-08-03 2011-02-03 Canon Kabushiki Kaisha Polishing method for a workpiece and polishing tool used for the polishing method
US8147848B2 (en) * 2009-08-26 2012-04-03 Allergan, Inc. Method for treating premature ejaculation with a botulinum neurotoxin
JP5635957B2 (ja) 2010-09-09 2014-12-03 日本碍子株式会社 被研磨物の研磨方法、及び研磨パッド
US20140295740A1 (en) * 2013-03-26 2014-10-02 HGST Netherlands B.V. Ultra fine lapping substrate through use of hard coated material on lapping kinematics
US10493591B1 (en) * 2016-11-09 2019-12-03 Seagate Technology Llc Lapping system including one or more lasers, and related methods
US11389924B2 (en) 2018-06-18 2022-07-19 Seagate Technology Llc Methods of lapping while heating one or more features, and related sliders, row bars, and systems
US11331765B1 (en) 2019-04-12 2022-05-17 Seagate Technology Llc Methods of lapping a substrate while heating at least a portion of the substrate, and related substrates and systems

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63268111A (ja) * 1987-04-24 1988-11-04 Nec Kansai Ltd 磁気ヘツドコア形成方法
JPH0828086B2 (ja) * 1991-06-04 1996-03-21 富士通株式会社 磁気ヘッドスライダの製造装置及び製造方法
JP2808208B2 (ja) 1992-04-15 1998-10-08 富士通株式会社 磁気ヘッドの製造方法
JPH06223524A (ja) 1993-01-29 1994-08-12 Sony Corp 浮上型磁気ヘッド装置の製造方法
JP2790043B2 (ja) * 1994-06-03 1998-08-27 ヤマハ株式会社 磁気ヘッドの製造方法
US5603156A (en) * 1994-12-16 1997-02-18 International Business Machines Corporation Lapping process for minimizing shorts and element recession at magnetic head air bearing surface
US5951371A (en) * 1996-11-04 1999-09-14 Seagate Technology, Inc. Multi-point bending of bars during fabrication of magnetic recording heads
CN1146866C (zh) * 1998-11-17 2004-04-21 阿尔卑斯电气株式会社 浮起式磁头的冠顶形成方法及冠顶形成装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1300769C (zh) * 2003-03-04 2007-02-14 日立环球储存科技荷兰有限公司 在研磨以提高工件平面度特征的过程中用来约束工件及施加可变压力的多室柔性装置
CN103310808A (zh) * 2012-03-14 2013-09-18 西部数据技术公司 利用补偿研磨校正滑块平行度误差的系统和方法
WO2019037282A1 (zh) * 2017-08-21 2019-02-28 大连理工大学 一种纳米切深高速单点划擦试验装置及其试验方法
US11313783B2 (en) 2017-08-21 2022-04-26 Dalian University Of Technology Nanometer cutting depth high-speed single-point scratch test device and test method thereof

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