CN1389766A - 远程维护方法、工业装置和半导体器件 - Google Patents

远程维护方法、工业装置和半导体器件 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种远程维护方法、一种远程维护系统和一种工业装置,用于根据该远程维护操作的内容和维护的请求目标实现控制和全面服务以及付帐,并且实现根据业务人员的属性的接入限度、根据该装置状态的接入限度以及根据该输出模式的输出限度。安装在工厂120的工业装置123和安装在维护中心110的操作装置113经由网络100连接。操作装置113把指示涉及对该工业装置123维护的一个指令的指令信息发送到工业装置123,并且工业装置123根据接收的指令信息执行一个处理,根据执行处理的内容产生指示涉及维护的一个收费的收费信息,并且把该产生的收费信息的全部或一部分输出到该工业装置123的输出装置。

Description

远程维护方法、工业装置和半导体器件
发明背景
<发明领域>
本发明涉及用于工业装置的远程维护系统的付帐方法与装置，尤其涉及一种远程维护方法和一种远程维护系统和装置，用于实现控制和全面服务，以及根据维护内容的付帐。
<已有技术>
通常，建议通过公用电话线或互联网络把生产商的工业装置连接到一个装置供应商的维修中心并且从该维修中心远程维护该工业装置。日本待公开专利申请No.平成11-15520建议一种使用网络的远程维护系统，通过该系统的使用，不管一个工业装置的安装区域如何，该工业装置都能够被维护。
近年来，尤其在半导体工业中，由于资本投资的剧增而引起安装工业装置的数量迅速增加。在这种状态中，可能增加工业装置的维护成本以及如何抑制该维护费用成了一个问题。但是，这种事先为了维护而进行付帐的一般方法是一种即使当没有实际的设备维护也要根据一个工业装置的造价和业务人员的劳动成本对一个生产商做固定支出的付帐方法，实际存在的一个情况是该生产商必须支付该固定支出。而且，在日本待公开专利申请No.平成11-15520中没有描述付帐方法。
本发明概要
本发明是随着考虑上述问题出现的，本发明力图提供一种远程维护方法、一种远程维护系统和一种工业装置，用于根据该远程维护操作的内容和维护的请求目标实现控制和全面服务以及付帐，并且实现根据业务人员的属性的接入限度、根据该装置状态的接入限度以及根据该输出模式的输出限度。
本发明的一个实施例是一个远程维护系统，用于执行具体处理的一个工业装置和为了维护该工业装置的一个操作装置通过一个网络彼此连接，本发明的实施例提供一种远程维护方法，特征在于该操作装置把指示一个维护命令的指令信息发送到该工业装置，并且该工业装置根据该接收的指令信息执行该处理，根据这执行的处理内容产生指示用于维护的价值的收费信息，并且输出该产生的收费信息的全部或一部分。通过使用本方法，能够完成由该工业装置根据该维护操作内容执行的控制和全面服务和付帐。以利用由此付帐方法管理的一个工业装置所制造为特征的半导体器件也包括在本发明的范畴中。
本发明的另一实施例是一个远程维护系统，用于执行一个特定处理的一个或多个工业装置和用于维护该工业装置的一个或多个操作装置通过一个网络彼此连接，其提供一种远程维护方法，特征在于每一个工业装置监视在每一个工业装置中的故障出现，产生用于标识该故障条件的状态信息，决定将要被通知该产生的状态信息的操作装置，并且把产生的状态信息通知到该决定的操作装置，并且该操作装置根据该通知的状态信息决定针对该工业装置的故障解决方法，并且根据该解决方法把指示一个维护指令的指令信息发送到该工业装置，以及该工业装置根据该接收的指令信息执行该处理，根据被通知了状态信息的操作装置的标识符产生指示该维护价值的收费信息，并且输出该产生的收费信息的全部或一部分。通过使用本方法，能够执行根据该维护的请求目标的控制和全面服务和付帐。
附图的简要描述
图1是表示根据本发明第一实施例系统的结构方框图。
图2是表示图1所示的半导体制造装置的结构的方框图。
图3是表示由图1示出的该半导体制造装置管理的一个业务人员属性管理表格的结构。
图4是表示由图1示出的由该半导体制造装置管理的装置状态管理表格的结构。
图5是表示储在图1示出的该半导体制造装置中的一个程序管理表格的结构。
图6是表示储在图1所示半导体制造装置中的一个执行权限管理表格的结构。
图7是表示储在图1所示半导体制造装置中的一种程序执行历史管理表格的结构。
图8是表示储在图1所示半导体制造装置中的一种传感器状态历史管理表格的结构。
图9是表示储在图1所示半导体制造装置中的一种处理结果管理表格的结构。
图10是表示储在图1所示半导体制造装置中的一个输出控制管理表格的结构。
图11是表示储在图1所示半导体制造装置中的一种维护结果管理表格的结构。
图12是表示储在图1所示半导体制造装置中的一种维护费用管理表格的结构。
图13是表示在图1所示的该半导体制造装置和该操作装置之间发送与接收的一个信息的结构。
图14是表示图1所示的半导体制造装置的通信单元的操作流程图。
图15是表示图1所示的操作装置的操作流程图。
图16是表示图1所示的半导体制造装置的通信单元的操作流程图。
图17是表示图1所示的半导体制造装置的控制单元的操作流程图。
图18是表示图1所示的半导体制造装置的I/O单元的操作流程图。
图19表示在图1所示操作装置上显示的维护操作屏幕。
图20表示将要被显示在图1所示半导体制造装置上的执行状态输出屏幕。
图21表示将要被显示在图1所示半导体制造装置上的维护费用通知屏幕。
图22是表示图1所示的半导体制造装置的操作装置的操作流程图。
图23是表示图1所示的半导体制造装置的通信单元的操作流程图。
图24表示将要被显示在图1所示操作装置上的维护费用列表设置屏幕。
图25是表示图1所示的半导体制造装置的操作装置的操作流程图。
图26是表示图1所示的半导体制造装置的通信单元的操作流程图。
图27表示在图1所示操作装置上显示的输出控制设置屏幕。
图28是表示根据本发明第二实施例系统的结构方框图。
图29是表示图28所示的半导体制造装置的通信单元的操作流程图。
图30表示将要被显示在图28所示半导体制造装置上的维护请求传输目标设置屏幕。
本发明的描述
下面详细说明本发明的第一实施例。本实施例是应用本发明的一种半导体制造装置的远程维护系统。该系统能够实现根据维护内容的全面付帐。除了一个内置计算机之外，没有对于能够由本发明操作的工业装置的限制。但是在本实施例的说明中，假设是在用于半导体制造的一半导体制造工厂的工业装置中的各种装置和系统，例如一个曝光装置、一种敷层生成装置、一个热处理装置、一个装配装置以及一个检验装置。其中，这些装置和系统通常被叫做半导体制造装置。
图1是应用了本发明的半导体制造装置的远程维护系统的结构的实例方框图。数字110表示提供一个半导体制造装置的公司(在下文记载为装置供应商)的一个维护中心。数字120表示一家使用该半导体制造装置进行半导体制造的公司的工厂(在下文记载为半导体生产商)。在图1所示的系统中，显示两个工厂120。然而，实际上可以有三家或更多的工厂120。而且，该工厂120可以属于不同的半导体生产商或同一个半导体生产商。
在该维护中心110中，设置有一个或多个用于维护该半导体制造装置的操作装置113以及用于管理与该维护中心110通信的一个管理装置112。每一操作装置113和管理装置通过一个内部网络111与该管理装置112彼此连接。在每一个工厂120，设置了一个或多个用于制造半导体器件的半导体制造装置123和用于管理与工厂120通信的一个管理装置122。每一半导体制造装置123通过一个内部网络121与该管理装置122彼此连接。设置在维护中心110中的管理装置112通过一个互联网络100连接到设置在每一个工厂120的管理装置122。图1所示的每一装置是使用单一计算机的一个装置。然而实际上一个单一装置可以使用多个计算机，或多个装置可以使用单一计算机。
设置在维修中心110的每一操作装置113是一个通过该维护中心110的业务人员遥控的用于维护每一个半导体制造装置123的装置。当从该管理装置112接收指示一个维护请求的信息(在下文记载为一个维护请求)时，每一操作装置112具有在例如一个显示单元上显示包括在该维护请求中的信息的功能。包括在该维护请求中的信息包含用于标识一个故障条件的数据(在下文记载为一个状态)，以及用于标识该状态的数据，以便把该维护操作的状态输出到每一半导体器件(以下记载为一个输出状态)。该维护请求例如包括：故障检测日期和时间、半导体工厂标识符、半导体制造装置标识符和半导体制造装置种类。
业务人员读出该显示信息，并且随后判断是否需要在线故障诊断。当业务人员判断需要在线故障诊断时，其使用键盘输入他的标识符和口令以便通知该维护操作的起动结果并且使用鼠标按下该起动通知传输按钮。每一个操作装置113具有通过该管理装置112和该管理装置122把一个信息发送在线到每一个半导体制造装置123的功能，该信息包括由该业务人员输入的该业务人员的标识符和口令以及从该维护请求取出的输出状态(以下记载为一个起动通知)。一经收到该起动通知，每一半导体制造装置123确认该业务人员。通过此确认，该业务人员由一个唯一标识符识别，例如D1、D2----。
确认的业务人员为了把一个指令发送到该半导体制造装置123而使用该键盘并且使用鼠标按下该维护操作传输按钮来输入指令，该指令包括由该半导体制造装置123执行的程序的标识符和将被给到该程序的参数以及用于存储该程序执行结果的提交的标识符。该业务人员可以输入多个指令和文件标识符。该操作装置113具有通过该管理装置112和该管理装置122把一个信息在线发送到该半导体制造装置123的功能，该信息包括由该业务人员输入的一个或多个指令(在下文记载为一个维护操作)。
一经从该操作装置113收到该维护操作，该半导体制造装置装置123从该维护操作取出所有的指令，使用对应于每一个程序的参数执行由每一个指令指定的程序，在执行由全部指令指定的程序之后产生包括针对每一指令的该程序的执行结果的一个命令响应，并且把包括这些命令响应(在下文记载为维护操作响应)的信息分批发送到操作装置113。
当该装置113从该半导体制造装置123接收该维护操作响应时，该操作装置113具有一个功能，用于取出储在该维护操作响应中的所有的指令响应，把该储在每一个指令响应中的该程序的执行结果存储在对应于每一个指令的文件中，并且在该显示单元上显示该维护操作响应的接收效果。
读出该显示信息的该业务人员使用鼠标按下其中存储该程序执行结果的该文件的标识符。该操作装置113具有在该显示单元上显示该按下的文件内容的功能。读出该显示内容的业务人员判断进一步故障诊断的必要性，当有必要时则使用该鼠标按下该继续按钮，使用键盘输入一个新的指令和文件标识符，并且使用鼠标按下该维护操作传输按钮。该业务人员重复该维护操作的传输，直到该故障诊断的结束。
当故障诊断结束时，该业务人员使用鼠标按下该完成通知传输按钮。该操作装置113具有通过该管理装置112和该管理装置122把一个信息在线发送到该半导体制造装置123的功能，该信息指示该维护操作的完成效果(在下文记载为一个完成通知)。一经收到该结束通知，该半导体制造装置123根据在该起动通知和该完成通知的接收之间的该程序的处理内容计算用于涉及该维护的收费，并且在该显示单元上显示该计算的维护费用。可以由管理装置122或外部安装而不是该半导体制造装置123的一个计算装置(图中没所示)执行该维护费用的计算。在本实施例中，从该起动通知的发送到该完成通知的传输的操作是一个维护操作。
设置在该维护中心110中的管理装置112是一个用于管理对该维护中心110的通信的装置。管理装置112具有一个功能，用于周期地监视是否从设置在每一个工厂120的管理装置122接收了一个维护请求，并且当收到一个维护请求时则根据一个预定规则把该维护请求发送到由一个具体的业务人员使用的该操作装置113。而且，该管理装置112具有一个功能，用于响应该维护请求把该起动通知、维护操作和从该操作装置113发送的完成通知的每一个信息发送到发送该维护请求的该工厂120的管理装置122。
设置在该工厂120中的管理装置122是一个用于管理对该工厂120的通信的装置。该管理装置122具有一个功能，用于周期地监视是否从每一个半导体制造装置123接收了一个维护请求，并且当收到一个维护请求时，把该维护请求发送到该维护中心110的管理装置122。而且，该管理装置122具有一个功能，用于响应该维护请求把该起动通知、维护操作和从该维护中心110的管理装置112发送的完成通知的每一个信息发送到发送该维护请求的半导体制造装置123。
安装在每一个工厂120的半导体制造装置123是由在该工厂120的一个工程师用于制造半导体器件的装置。图2是表示该半导体制造装置123的结构的方框图。该半导体制造装置123包括：一个I/O单元130，用于输入由该工程师所需要的半导体器件的制造的数据(在下文记载为制造操作)；一个通信单元131，用于发送和接收该维护请求、开始通知在该半导体制造装置123和该管理装置122之间的完成通知；一个控制单元132，用于根据该维护操作和制造操作执行该程序，以及由控制单元132的部分133。
该I/O单元130具有一个功能，用于每当一个工程师起动该半导体制造装置123的使用时确认该工程师。该工程师通过由此确认的一个唯一标识符识别，例如U1、U2---。当该工程师结束该确认时，其将该制造操作输入到该I/O单元130，以便制造半导体器件。
该I/O单元130还具有一个功能，用于根据该输入的制造操作而把包括程序标识符和参数的数据发送(以下记载为一个执行请求)到控制单元132，并且当其从该控制单元132接收存储该程序执行结果(以下记载为一个执行请求应答)的数据时，从该执行请求应答中取出该程序执行结果，并且在该显示单元上显示该程序执行结果。
该I/O单元130还具有一个功能，用于在输出权限管理表格中记载数据，表明为了输出该维护操作的状态所需要的输出模式条件(以下记载为状态输出权限)。该状态输出权限在交货时由该装置供应商的工厂输入。在该状态输出权限中，根据用于标识该状态的输出模式将允许或不允许指示是否显示该执行日期和时间、标识符和由控制单元132执行的程序的参数的每一选项的数据，以便把用于输出该维护操作的状态标识到该半导体制造装置的状态。
当该单元131接收包括该程序执行日期和时间、程序标识符和参数(以下记录为执行状态)以及为了标识把用于将该维护操作状态从该控制单元132输出到半导体制造装置123的状态的输出状态时，该I/O单元130具有一个功能，用于从该输出权限管理表格读出该状态输出权限，根据该接收的输出状态来确认该执行状态的每一个选项的输出权限是否被给出，并在该显示单元上显示该输出权限被给出的该执行状态的选项。
通信单元131还具有一个功能，用于周期地监视该半导体制造装置123的操作条件，当该单元131检测到一个故障的出现时则产生包括该状态和输出模式的一个维护请求，并且通过该管理装置122把该产生的维护请求发送到维护中心110的管理装置122。每一故障内容在状态的对应关系被预定。而且，由该工程师预先输入该输出模式的值。除了上述的状态和输出模式之外，该维护请求可以包括例如该故障检测日期和时间、半导体工厂的标识符、半导体制造装置的标识符和半导体制造装置种类。
该通信单元131还具有一个功能，用于在业务人员属性管理表格中记录指示一个业务人员属性的数据(在下文记载为一个业务人员属性)。该业务人员属性数据由该工程师预先输入。在该业务人员属性数据中存储有该业务人员的口令和技术等级。
该通信单元131还具有一个功能，用于在该执行权限管理表格中记载指示该程序执行权限的数据(以下记载为程序执行权限)。该执行权限数据由该工程师预先输入。在该执行权限数据中，根据指示该业务人员的属性而指示是否允许程序执行的数据以及指示在该时间点的状态的数据(在下文记载为一个装置状态)被存储。针对该装置状态，存储例如产品价值、备用设备、工程、计划停止时间、截止计划停止时间、非计划时间和未确定的内容。
该通信单元131还具有一个功能，用于识别由一个业务人员通过例如O1、O2---的唯一标识符执行的维护操作，以及每当该单元131从该管理装置122接收起动通知、维护操作和完成通知的每一信息时，把指示这些信息的内容的数据(在下文记载为维护结果)对应到一个具体的标识符，并且将其记载在该维护结果管理表中。针对该维护结果，记录有关的信息，该信息关于在何时有何种技术等级的哪些业务人员在何种装置的设置状态中以何种输出模式发送了什么信息内容。
该通信单元131还具有一个功能，用于在该维护费用列表一个维护费用列表管理表格中记载用于指定该维护价值的数据(以下记载一个维护费用列表)。该维护费用列表在交货时在该装置供应商的工厂输入。根据该业务人员的技术等级，在该维护费用清单中记录当执行该程序时的装置状态、读出的使用历史信息的种类、以及输出模式、关于由该装置供应商付帐给该半导体生产商的价值的信息。该维护价值随着业务人员的技术等级的增加而提高、随着对于一个半导体生产商的制造过程的不利影响的可能性的增加而提高、随着更多读出该半导体生产商的秘密信息而降低、并且随着该维护操作的条件被更详细地显示而提高。
该通信单元131还具有一个功能，当该单元131从管理装置122接收一个起动通知时，用于把从该起动通知取出的口令与从该业务人员属性管理表格读出的业务人员属性比较，并且确认该业务人员。如上所述，通过此确认，该业务人员由一个唯一标识符识别，例如D1、D2----。
该通信单元131具有一个功能，当该单元131从管理装置122接收该起动通知时，用于存储把从该起动通知取出的输出模式，直到其接收到一个结束通知为止。
该通信单元131还具有一个功能，当该单元131从该管理装置122接收该维护操作时，用于从该维护操作取出所有的指令、执行由每一指令指定的程序、产生包括在每一程序结束的执行时针对每一指令的程序执行结果的指令响应、并且把包括这些指令响应的维护操作发送到该操作装置113。
该通信单元131还具有一个功能，为了执行由每一指令指定的程序，用于从该业务人员属性管理表格读出一个业务人员的业务人员属性、从控制单元132读出该时间点的装置状态、读出由每一命令指定的该程序的程序执行权限、根据该业务人员属性和装置状态来确认由每一指令指定的该程序执行权限被给到该业务人员，仅当该程序执行权限被给定时才把包括该程序标识符和参数以及该存储器输出模式的一个执行请求发送到该控制单元132、并且从该控制单元132接收存储该程序执行结果的一个执行请求应答。
该通信单元131还具有一个功能，当该单元131从该管理装置122接收该完成通知时用于分别从该维护结果管理表格和维护费用列表管理表格中读出该维护结果和维护费用清单、使用该维护费用列表数据和维护结果数据计算用于该涉及维护的维护费用，并且请求显示涉及该维护费用的信息，例如通过控制单元132在连接I/O单元130的显示单元上显示该信息。
该控制单元132具有一个功能，用于在该程序管理表中存储指示由该控制单元132执行的该处理的条件和过程的一个程序。在每一程序中，存储关于用于执行该处理的条件和过程的信息。
该控制单元132还具有一个功能，当该控制单元132从该I/O单元130接收一个执行请求时，用于执行由使用对应参数的执行请求所指定的程序。
该控制单元132还具有一个功能，当该控制单元132从该通信单元131接收一个执行请求时，用于执行由使用该对应参数的执行请求所指定的程序，把包括程序执行日期和时间、程序标识符和参数以及由该执行请求指定的输出模式的主行状态发送到该I/O单元130，并且把存储该程序执行结果的一个执行请求应答发送到通信单元131。
该控制单元132还具有一个功能，用于把指示根据从该I/O单元130接收的执行请求所执行的程序的数据(在下文记载为程序执行历史)记录在该程序执行历史管理表中。在该程序执行历史中存储关于哪个工程师使用什么参数执行何种程序的信息。
该控制单元132还具有一个功能，用于把指示由该控制单元132控制的每一部分134的状态的数据(在下文记载为一个传感器状态历史)记录在该传感器状态历史管理表中。在该传感器状态历史中，存储关于什么部分过渡到何种状态的时间信息。
该控制单元132还具有一个功能，用于在该处理结果管理表中记录指示由每一部分134处理的一个晶片的状态的数据(在下文记载为处理结果)。在该处理结果中存储关于何种晶片被安置成何种状态的信息。
该控制单元132还具有一个功能，用于把指示由该该装置状态的历史的数据(在下文记载为一个装置状态历史)记录在该装置状态历史管理表中。在该装置条件历史中，存储关于该装置过渡到何种状态的时间信息。针对该装置状态，存储例如产品价值、备用设备、工程、计划停止时间、截止计划停止时间、非计划时间和未确定的内容。
控制单元132还具有一个功能，当该控制单元132从该通信单元131接收一个请求时，用于从该装置状态历史管理表中读出指示在该时间点的该装置的状态的装置状态，并且把该装置状态提供到该通信单元131。
随后将说明由半导体制造装置123管理的该表的结构。图3示出由该半导体制造装置123的通信单元131管理的该业务人员属性管理表的一个实例。一个业务人员属性管理表格140的每一行存储该业务人员的属性，指示由顶端的该业务人员的ID值识别的该业务人员的属性。该业务人员属性包括选项″业务人员ID″、″口令″、和″技术等级″。
选项″业务人员ID″存储指示该业务人员的标识符的数据。选项″口令″存储指示该业务人员的口令的数据。选项″技术等级″存储指示该业务人员的技术等级的数据。本实例指示该业务人员D1的口令是1234，并且技术等级是一个较高的等级，该业务人员D2的口令是5678，并且该技术等级是一个中间等级。
图4示出由该半导体制造装置123的控制单元132管理的该装置状态管理表的一个实例。装置状态管理表141的每一行存储指示该装置状态的历史的装置状态历史。装置状态历史包括选项″过渡日期和时间″和″装置状态″。选项″过渡日期和时间″存储指示在装置状态过渡时的日期和时间的数据。选项″装置状态″存储指示该过渡装置的状态的数据。该实例指示该装置在2001年1月2日10：10：10被过渡到生产状态而在2001年1月2日10：15：10被过渡到备用状态。在该选项″装置状态″中可以设置产品价值、备用设备、工程、计划停止时间、截止计划停止时间、非计划时间和未确定的内容。
图5示出由该半导体制造装置123的控制单元132管理的该程序管理表的一个实例。程序管理表142的每一行存储表示将要由控制单元132执行的该处理的条件和过程的一个程序。每一程序包括选项″程序ID″、″程序种类″、″名称″、″处理条件″和″处理过程″。
选项″程序ID″是指示分配给每一程序的唯一标识符的数据。选项″程序种类″是指示该程序种类的数据。选项″名称″被指示该程序名的数据。选项″处理条件″是指示将要由该控制单元132执行的该处理的条件数据。选项″处理过程″是指示将要由该控制单元132执行的该处理的过程数据。有的程序可以无需设置处理条件。
在本实例中，程序P1用于读出一个程序，指示该程序具有使用历史读出种类以及执行称作程序读出的过程。
程序P2用于读取该程序执行历史，指示该程序具有使用历史读出种类以及执行称作程序执行历史读出的过程。
程序P3用于读取该传感器状态历史，指示该程序具有使用历史读出种类以及执行称作传感器状态历史读出的过程。
程序P4用于读取该处理结果，指示该程序具有使用处理结果读出种类以及执行称作处理结果读出的过程。
程序P5用于产生一个程序，指示该程序具有程序操作种类以及执行称作程序产生的过程。
程序P6用于编辑一个程序，指示该程序具有程序操作种类以及执行称作程序编辑的过程。
程序P7用于删除一个程序，指示该程序具有程序操作种类以及执行称作程序删除的过程。
程序P8用于以自动化模式处理一个晶片，指示在该程序具有晶片处理种类、自动处理晶片、使用No.1槽、执行晶片单元中的处理并且把测量晶片图像存储为图像1的条件下，该程序顺序执行称作晶片加载、晶片校准、编址、测量、和晶片卸载的过程。
程序P9用于以手动方式处理一个晶片，指示在该程序手动地处理晶片、具有晶片处理种类、使用No.2槽、执行晶片单元中的处理、以及把测量的晶片图像存储为图像1的条件下执行与程序P8相同的过程。
图6示出由该半导体制造装置123的通信单元131管理的该执行权限管理表的一个实例。执行权限管理表格143的每一行存储该程序执行权限，指示由在顶端的该程序的ID值识别的该程序的执行权限。该程序执行权限包括选项″程序ID″和″执行权限″。
选项″程序ID″存储指示该程序标识符的数据。选项″执行权限″存储的数据根据请求程序执行的业务人员的业务人员属性和在该时间点的装置状态而指示是否允许执行针对一个业务人员的程序。
在本实例中，该执行权限由4字符的字符串表示。前两个字符指示针对该业务人员属性的选项″技术等级″是一个高级别的一个业务人员的执行权限，并且当前两个字符是″XX″时，是指不管装置状态值如何都许可执行，″X-″是指当装置状态的值是生产状态时则许可执行而当该值不是生产状态时则拒绝执行，″-X″是指当装置状态的值是生产状态时拒绝执行而当该值不是生产状态时允许执行，而″--″是指不管装置状态的值如何都拒绝执行。
随后两个字符指示该业务人员属性的选项″技术等级″是一个中等级的值的一个业务人员的执行权限，并且该含意与前两个字符的含意相同。
程序P1和P2指示不管装置状态的值如何都对于业务人员属性的选项″技术等级″是一个高级别值的业务人员的执行许可，并且拒绝业务人员属性的选项″技术等级″是一个中等级值的业务人员的执行。
而且，程序P2、P3、P5、P6和P7指示当装置状态的值是″生产″时对于业务人员属性的选项″技术上等级″的值是一个高级别的一个业务人员的执行拒绝，并且当装置状态的值是″其它″时的执行许可以及不管装置状态的值如何都对于业务人员属性的选项″技术等级″的值是一个中等级的一个业务人员的执行拒绝。
而且，程序P8和P9指示对于每一业务人员的执行拒绝。
图7示出由该半导体制造装置123的通信单元132管理的该程序执行历史管理表格的一个实例。程序执行历史管理表144的每一行存储指示该执行的程序历史的程序执行历史。该程序执行历史包括选项″执行日期和时间″、″工程师ID″、″程序ID″和″参数″。
选项″执行日期和时间″存储指示在程序执行时的日期和时间的数据。选项″工程师ID″存储指示执行该程序的工程师的标识符的数据。选项″程序ID″存储指示该被执行的程序标识符的数据。选项″参数″存储指示该给定到被执行程序的参数的数据。本实例指示一个工程师U1在2001年1月2日10：10：10执行该程序P8，而工程师U1在2001年1月2日10：15：10执行该程序P9。
图8示出由该半导体制造装置123的通信单元132管理的该传感器状态管理表格的一个实例。传感器状态历史管理表145的每一行存储该传感器的状态历史，指示每一部分133的状态历史。该传感器条件历史包括选项″记录日期和时间″、″传感器S1″、″传感器S2″，---。选项″记录日期和时间″存储指示在每一部分127的状态值被记录时的日期和时间的数据。
″传感器S1″、″传感器S2″的每一选项存储指示使用每一传感器测量的每一部分133的条件的数据。本实例指示在2001年1月2日10：10：10的该部分133的条件值分别是0.01、0.10---，而在2001年1月2日10：10：11的该部分133的条件值分别是0.02、0.20---。
图9示出由该半导体制造装置123的通信单元132管理的该处理结果管理表格的一个实例。处理结果管理表格146的每一行存储处理结果，指示由顶端的晶片ID值识别的该晶片的处理结果。该处理结果包括选项″晶片ID″和″晶片图像″。
选项″晶片ID″存储该指示分配给每一晶片的唯一标识符的数据。选项″晶片图像″存储指示该晶片表面状态的图像数据。本实例表示该晶片W1的表面状态是一个标准图形，而该晶片W2的表面状态是一个异常图形。
图10示出由该半导体制造装置123的I/O单元130管理的该输出权限管理表格的一个实例。一个输出权限管理表格147的每一行存储该状态输出限度，指示该维护操作的状态输出权限。该输出限度包括″选项″和″输出权限″的选项。
″选项″的选项是指示执行状态的每一选项的数据。选项″输出权限″存储的数据指示是否允许显示根据该输出模式的该执行状态的每一选项。在本实例中，该输出限度由2字符的字符串表示。字符串″XX″是指不管输出模式如何都允许输出，而″X-″是指当输出模式的值是全部显示时允许输出而当该输出模式的值是部分显示时拒绝输出，而″-X″是指是指当输出模式的值是全部显示时拒绝输出而当该输出模式的值是部分显示时允许输出，而″--″是指不管输出模式如何都拒绝输出。
选项″执行日期和时间″、″程序种类″表示不管该输出模式的值如何都允许输出，而选项″程序ID″和″参数″表示当该输出模式的值是全部显示时允许输出，而当该输出模式的值是部分显示时拒绝输出。
图11示出由该半导体制造装置123的通信单元131管理的该维护结果管理表格的一个实例。维护结果管理表格148的每一行存储维护结果，指示从该管理装置122接收的信息内容。该维护结果包括″操作ID″、″记录日期和时间″、″技术等级″、″业务人员ID″、″操作条件″、″程序ID″、″参数″、″装置条件″和″输出模式″。
选项″操作ID″存储表示该维护操作的标识符的数据。选项″记录日期和时间″存储指示在维护结果被记录时的日期和时间的数据。选项″技术等级″存储表示一个发送该维护操作的业务人员的技术等级的数据。选项″业务人员ID″存储表示一个发送一则信息的业务人员的标识符的数据。选项″操作状态″存储表示该维护操作的进展的数据。选项″程序ID″存储表示由该维护操作执行的程序标识符的数据。选项″参数″存储表示将要被给定到该程序的参数的数据。选项″装置状态″存储当该程序被执行时的装置状态。选项″输出模式″存储该维护操作的输出模式。
本实例表示该业务人员是一个业务人员D1、技术等级是高级别、而输出模式是局部显示。而且，该实例指示该半导体制造装置123的通信单元131在2001年1月3日11：10：10接收一个起动通知，在2001年1月3日11：15：10接收该程序执行历史的请求读出的一个维护操作(P2)、在2001年1月3日11：25：10接收该处理结果的请求读出的维护操作(P4)、在2001年1月3日11：30：10接收该程序P8的请求读出的维护操作(P1)、在2001年1月3日11：35：10接收该程序P8的请求编辑的维护操作(P6)、在2001年1月3日11：40：10接收该程序P8的请求执行的维护操作(P8)、在2001年1月3日11：45：10接收该该处理结果的请求读出的一个维护操作(P4)、以及在2001年1月3日11：50：10接收一个完成通知。而且，本实例显示，当单元131接收该起动通知和该第一维护操作时该装置状态的值是生产状态，而当单元131接收其余的维护操作时该装置状态的值是备用状态。
图12示出由该半导体制造装置123的通信单元131管理的该维护费用列表管理表格的一个实例。每一表格包括一个维护费用列表管理表格149，存储该维护费用列表，指示由装置供应商对一个半导体生产商付帐的值，作为用于该维护操作的担保。维护费用列表管理表格149包括一个固定支出管理表格150、折扣收费管理表格151和一个额外收费管理表格152。
固定支出管理表格150存储的数据指示当请求针对每一维护中心的维护操作时，用于每一维护操作的维护操作固定收费。折扣收费管理表格151存储的数据指示当在维护操作中执行每一程序时用于一个程序执行的折扣费用。额外收费管理表格152存储的数据指示当该输出模式被设置为每一值时一个维护操作的额外收费。在本实例中，一个高等级业务人员能够在比一个中等级业务人员短的时间内完成维护，因此该表格152指示当该高技术等级的业务人员执行维护时，针对一个半导体生产商的帐单是比针对中技术等级的一个业务人员高的固定收费。
而且，该程序和处理结果包括一个半导体生产商的秘密信息多于该程序执行历史数据和传感器条件历史数据，因此该表格151显示当执行程序P1、P4和P6时，收费被打折的折扣率高于当执行程序P2和P3时。
而且，当该装置是在产品状态时，其维护要难于当该装置是在其它状态时，因此表格151显示当维护是在装置状态数据为生产状态的值执行时，该收费被打折的折扣率低于当维护是在其它状态执行时的折扣率。
而且，当全部显示被指定到该输出模式时，被给到该半导体生产商涉及维护的密诀要多于当指定部分显示时，因此该表格152显示当全部显示被指定到该输出模式并且将执行维护时，被记帐的额外收费的额外费率要高于当局部显示被指定到该输出模式并且执行维护时的额外费率。
随后说明在半导体制造装置123和操作装置113之间的信息发送与接收的结构。图13示出在半导体制造装置123和操作装置113之间发送与接收的维护请求的信息、起动通知、维护操作、维护操作响应、和完成通知的实例。维护请求160是将要发送的一个信息，使得由该半导体制造装置123请求对该操作装置113的维护，并且其包括选项″故障检测日期和时间″、″半导体工厂ID″、″半导体制造装置ID″、″半导体制造装置种类″、″状态″和″输出模式″。
选项″故障检测日期和时间″存储指示在一个出现故障的故障检测时的日期和时间的数据。选项″半导体工厂ID″存储的数据表示该工厂的标识符，其工厂中安装的半导体制造装置被检测到一个故障的出现。选项″半导体制造装置ID″存储的数据表示该半导体制造装置的标识符，该装置被检测到一个故障的出现。选项″半导体制造装置种类″存储的数据表示该半导体制造装置的种类的数据，该装置被检测到一个故障的出现。选项″状态″存储用于标识该故障的情况的状态。选项″输出模式″存储用于标识把维护操作条件输出到半导体器件的状态的输出模式。
起动通知161是一个被发送的信息，使得该维护操作的起动结果从操作装置113通知到半导体制造装置123，并且其包括选项″业务人员ID″、″口令″和″输出模式″。
选项″业务人员ID″存储的数据表示一个执行该维护操作的业务人员的标识符。选项″口令″存储的数据表示一个执行该维护操作的业务人员的口令。选项″输出模式″存储由一个维护请求指定的输出模式。
维护操作162是一个将被发送的信息，使得一个指令从该操作装置113通知到该半导体制造装置123，并且其包括选项″指令号码″、″程序ID″、″参数″、″程序ID″、″参数″，---。选项″指令号码″是指示储在该维护操作中的指令数目的数据。选项″程序ID″是表示由该半导体制造装置执行的程序标识符的数据。选项″参数″是将要被传送到由该半导体制造装置执行的程序的参数。
维护操作响应163是一个被发送的信息，使得一个指令的结果从半导体制造装置123通知到操作装置113，并且其包括选项″结果的号码″、″结果″，---。选项″结果号码″是指示储在该维护操作响应中的指令响应数目的数据。选项″结果″是指示一个程序的执行结果的数据。
完成通知164是一个被发送的信息，使得该维护操作的完成结果从操作装置113通知到半导体制造装置123，并且其包括选项″指令的总数″。选项″指令的总数″是表示在该起动通知的发送和该完成通知的发送之间发送的指令数目的数据。
随后说明图1所示的半导体制造装置123和操作装置113的处理流程。图14是表示半导体制造装置123的通信单元131的操作流程图。通信单元131周期地执行该流程图中指示的处理，由此周期地监视该半导体制造装置123的操作状态。
首先，通信单元131确认该单元131是否检测到在该半导体制造装置123中的故障出现(步骤201)。当通信单元131检测到一个故障的出现时，产生维护请求160，包括用于标识该故障条件的状态和用于标识该状态的输出模式，以便把该维护操作条件输出到该半导体器件(步骤203)，并且当该单元131没有检测到一个故障的出现时，该单元131结束该处理(步骤205)。随后，通信单元131把维护请求160发送到维护中心110的管理装置112(步骤204)并且结束该处理(步骤205)。
图15是该操作装置113的操作流程图。操作装置113周期地执行流程图中表示的处理，从而在该操作装置113和被检测有故障的该半导体制造装置123之间发送与接收不同信息，这些信息包括维护请求160、起动通知161、维护操作162、维护操作响应163、和完成通知。
首先，该操作装置113确认是否从该半导体制造装置123接收了维护请求160。当该操作装置113接收该维护请求160时，该操作装置113在例如显示单元上显示包含在该维护请求160中的信息(步骤213)，并且当该操作装置113没有接收该维护请求160时，操作装置113结束该处理(步骤224)。随后，操作装置113接收一个业务人员的标识符和口令，该标识符和口令由需要判断该在线故障诊断的业务人员从该键盘输入(步骤214)。随后，当该业务人员使用鼠标按下该起动通知发送按钮时，该操作装置113把包括由该业务人员输入的该业务人员的标识符和口令的起动通知161以及从该维护请求取出的输出模式发送到发送该维护请求160的该半导体制造装置123(步骤215)。随后，操作装置113接收由该业务人员从键盘输入的指令，以便把该指令发送到该半导体制造装置123，以及该文件的标识符，用于存储该程序执行结果(步骤216)。在步骤216，操作装置113可以从该业务人员接收多个指令和文件标识符。
随后，当该业务人员使用鼠标按下该维护操作传输按钮时，该操作装置113把包括由业务人员输入的指令的维护操作162发送到发送该维护请求160的该半导体制造装置123(步骤217)。随后，该操作装置113响应该发送的维护操作162而接收从该半导体制造装置123发送的该维护操作响应163(步骤218)。随后，该操作装置113取出储在维护操作响应163中的全部指令响应，并且把在分别指令响应中的程序执行结果存储在对应于该指令响应的文件中(步骤219)。随后，操作装置113在显示单元上显示该维护操作响应的接收的效果(步骤220)。随后，该操作装置113从该业务人员接收一个输入信号(步骤221)。
当该业务人员使用鼠标按下继续按钮时，该操作装置113返回到步骤216而继续该处理，并且当该业务人员按下该结束通知发送按钮时，该操作装置113把该完成通知164发送到发送该维护请求160的该半导体制造装置123(步骤223)，并且结束该处理(步骤224)。
图16是表示半导体制造装置123的通信单元131的操作流程图。该通信单元131周期地执行在该流程图中显示的流程，由此执行对应于起动通知161、维护操作162、和完成通知164的分别信息的处理。
首先，通信单元131确认是否有从该操作装置到达的信息(步骤231)。当一则信息到达时，该通信单元131确认该信息是开始通知161、或维护操作162、或完成通知164的哪则信息(步骤233)，并且当没有信息到达时，该通信单元131结束该处理(步骤250)。
当在步骤233确认该信息是起动通知161时，通信单元131从该业务人员属性管理表格140中读出该业务人员属性(步骤235)，使用该读出的业务人员属性确认该业务人员(步骤236)，存储从该起动通知取出的输出模式(步骤237)，把该起动通知的内容记录在该维护结果管理表格147中(步骤249)，并且结束该处理(步骤250)。当在步骤233确认该信息是维护操作162时，该通信单元131从该维护操作162中取出全部指令(步骤238)。通信单元131针对分别的取出指令而重复步骤239到245(步骤246，247)。通信单元131首先从控制单元132读出该装置状态(步骤239)，该装置状态表明在该时间点的装置条件。随后，通信单元131从该执行权限管理表格143中读出由该指令指定的程序执行权限(步骤240)。随后，通信单元131根据该业务人员属性和装置状态确认由该指令指定的程序执行权限是否被给到该业务人员(步骤241)。
当该执行权限被给出时，该通信单元131把包括由该指令指定的程序和参数的一个执行请求和该存储的输出模式发送到该控制单元132(步骤243)，从该控制单元132接收一个执行请求应答(步骤244)并且把从该执行请求应答中取出的程序执行结果存储在该维护操作响应163中(步骤245)；并且当该执行权限没被给出时，该通信单元131把该结果存储在该维护操作响应163中(步骤245)。通信单元131针对分别提取的指令重复步骤239到245，随后把维护操作响应163发送到操作装置113(步骤248)，把维护操作162的内容记录在该维护结果管理表147中(步骤249)，并且结束该处理(步骤250)。当在步骤233确认该信息是完成通知164时，该通信单元131从维护结果管理表147中读出该维护结果(步骤251)，从该维护费用列表管理表格148中读出该维护费用列表(步骤252)，使用该维护费用列表和维护结果计算用于涉及维护的维护费用(步骤253)，通过该控制单元132请求该I/O单元130，使得在例如显示单元上显示涉及该维护费用的信息(步骤254)，把该完成通知164的内容记录在该维护结果管理表格147中(步骤249)，并且结束该处理(步骤250)。步骤239和240可以在处理顺序上互换。
图17是表示半导体制造装置123的控制单元132的操作流程图。控制单元132周期地执行在该流程图中指示的处理，由此根据从通信单元131接收的执行请求来执行该程序。
首先，该控制单元132确认是否从通信单元131接收执行请求和输出模式(步骤261)。当已收到该执行请求和输出模式时，该控制单元132使用对应于该执行请求的参数执行由该请求指定的程序(步骤263)，并且当没有到达的程序执行请求时，该控制单元132结束该处理(步骤266)。随后，该控制单元132把包括程序执行日期和时间、程序标识符、和参数及输出模式的执行条件从该控制单元132发送到I/O单元130(步骤264)。随后，该控制单元132把包括程序执行结果的一个执行请求应答发送到通信单元(步骤265)并且结束该处理(步骤266)。
图18是表示半导体制造装置123的I/O单元130的操作流程图。该I/O单元130周期地执行该流程图中指示的处理，由此在例如显示单元上输出执行条件。
首先，该I/O单元130确认是否该I/O单元130从该控制单元132接收了执行状态和输出模式(步骤271)。当接收到该执行状态和输出模式时，该，I/O单元130从该输出权限管理表格读出该状态输出权限(步骤273)，并且当没接收该执行状态和输出模式时，该I/O单元130结束该处理(步骤276)。随后，该I/O单元130根据该接收的输出模式确认是否给出了该执行状态的每一选项的输出权限(步骤274)。随后，该I/O单元130在例如该显示单元上显示给出了输出权限的该执行状态的选项(步骤275)，并且结束该处理(步骤276)。
然后将说明其上显示图1所示的半导体制造装置123和操作装置113的显示单元的屏幕。图19示出一个实例，在操作装置113的显示单元上显示图15所示流程图的步骤213的维护操作的屏幕。
维护操作屏幕280是用于显示该维护请求160内容的一个屏幕，包括对于一个业务人员的状态和输出模式和从该业务人员接收的起动通知161的发送指令、维护操作162的发送指令、该维护操作162的继续发送指令、或完成通知164的发送指令，其屏幕280包括一个维护请求面板281、一个反应面板282、一个起动通知面板287和一个维护操作面板290。
维护请求面板281是对一个业务人员显示从该半导体制造装置123接收的维护请求160的内容的一个面板。本实例指示该故障检测日期和时间是2001：0102：10：15：10，半导体工厂的标识符是F1，半导体制造装置的标识符是E1半导体制造装置的种类是检验装置，状态是01234，并且输出模式是部分显示。
反应面板282是一个用于发送指令的面板，用于由一个业务人员指令起动通知161的发送、维护操作162的发送、维护操作162的继续发送或完成通知164的发送，并且其包括一个起动通知发送按钮283、一个维护操作发送按钮284、一个维护操作继续按钮285和一个完成通知按钮286。起动通知发送按钮283用于由一个业务人员指令该起动通知152的发送，并且当该业务人员使用该鼠标按下按钮时，该按钮283把包括由业务人员通过起动通知面板287输入的业务人员ID和口令的以及从维护请求160取出的输出模式的起动通知161发送到发送该维护请求160的半导体制造装置123。维护操作发送按钮284用于由一个业务人员指令该维护操作162的发送，并且当该业务人员使用鼠标按下按钮时，该按钮284把包括由业务人员通过维护操作面板290输入的一个或多个指令的维护操作162发送到发送该维护请求160的半导体制造装置123。维护操作继续按钮285用于由一个业务人员指令该维护操作162的继续发送，并且当该业务人员使用鼠标按下按钮时，该按钮285清除由该业务人员通过维护操作面板290输入的指令数据。业务人员能够通过清除维护操作面板290而输入一个新指令。完成通知发送按钮286用于由一个业务人员指令该完成通知164的发送，并且当该业务人员使用该鼠标按下按钮时，该按钮286把包括指示在该起动通知161的发送和该完成通知164的发送之间发送的指令数目的数据的完成通知164发送到发送该维护请求160的半导体制造装置123。
起动通知面板287用于由一个业务人员输入将被存储在该起动通知161中的该业务人员的标识符和口令，并且其包括一个业务人员ID字段288和一个口令字段289。
业务人员ID字段288用于由业务人员使用键盘输入自己的业务人员ID而口令字段289用于由业务人员使用键盘输入的口令。
维护操作面板290用于由一个业务人员输入将被存储在该维护操作162中的一个或多个指令以及用于存储该程序执行结果的的文件的标识符，并且当接收维护操作响应163时显示该结果，其包括一个指令列表291和一个状态面板296。指令列表291用于由一个业务人员输入将被存储在该维护操作153中的一个或多个指令，并且其包括一个号码字段292、一个程序ID字段293、一个参数字段294和一个结果文件ID字段295。号码字段292用于通过业务人员使用键盘输入指令执行顺序，程序ID字段293用于由业务人员使用键盘输入将由该半导体制造装置123执行的该程序的标识符，而结果文件ID字段295用于由该业务人员使用键盘输入用于存储该程序执行结果的该文件的标识符。
状态面板296是一个用于显示的面板，当接收该维护操作响应163时，用于显示该效果，并且当业务人员按下该维护操作发送按钮时，该状态面板296显示例如″维护操作被发送″的一个字符串，而当从该半导体制造装置123接收该维护操作响应163时，该状态面板296显示例如″维护操作响应被接收″的一个字符串。
图20示出一个实例，在半导体制造装置123的显示单元上显示图18所示流程图的步骤275的执行状态输出屏幕。执行状态输出屏幕300用于把该维护操作的状态显示给一个工程师，并且其包括一个执行状态面板301。执行状态面板301用于把该维护操作的状态显示给工程师，并且其包括一个执行状态列表302。
执行状态列表302用于把维护操作的状态显示给一个工程师，并且其包括一个执行日期和时间字段303、一个程序种类字段304、一个程序ID字段305和一个参数字段306。执行日期和时间字段303显示指示该程序被执行时的日期和时间的数据。程序种类字段304显示指示该程序种类的数据。程序ID字段305显示表示将由该维护操作执行的程序标识符的数据。参数字段306显示表示将要被给定到该程序的参数的数据。本实例是输出模式是局部显示时的实例。实际上，程序执行历史的读出(P2)在2001年1月3日的11：15：10执行，而传感器条件历史的读出(P3)在2001年1月3日的11：20：10执行，该处理结果的读出(P4)在2001年1月3日的11：25：10执行，程序P8的读出(P1)在2001年1月3日的11：30：10执行，该程序P6的编辑(P6)在2001年1月3日的11：35：10执行，程序P8的执行(P8)在2001年1月3日的11：40：10执行，该处理结果的读出(P4)在2001年1月3日的11：45：10执行，尽管只显示了该执行日期和时间和程序种类。
图21显示维护费用通知屏幕的一个实例，在图16中所示的处理流程图的步骤254显示在半导体制造装置123的显示单元上。维护费用通知屏幕310用于把涉及维护费用的信息显示给一个工程师，并且其包括一个维护费用通知面板311。
维护费用通知面板311用于把将由装置供应商对一个半导体生产商收帐的价值显示给该工程师。本实例指示，维护费用是6000日圆、标记收费是30000日圆、折扣收费是25000日圆、额外收费是1000日圆。该实例还显示，标记收费是30000日圆，因为业务人员的技术等级是高级别，而2000日圆被打折，因为读出了在该产品状态中的程序执行历史，并且2000日圆被打折，因为读出了在生产状态中的该传感器状态历史，7000日圆被进一步打折，因为该处理结果是读入该备用状态，并且7000日圆被打折，因为该程序被读入备用状态，并且7000日圆被打折，因为该程序被编辑成备用状态，并且1000日圆被附加收费，因为部分显示被指定到该输出模式。
如上所述，在本实施例的系统中，半导体制造装置和操作装置是经由互联网络连接，并且操作装置把维护操作发送到该半导体制造装置，而该半导体制造装置根据该接收的维护操作执行该处理，根据该执行处理该内容产生维护费用信息，并且在该半导体制造装置的屏幕上输出该产生的收费信息，使得其有可能执行控制和全面服务，并且根据由该半导体制造装置所执行的维护操作的内容付帐。
而且，该半导体制造装置把显表示业务人员的技术等级的数据保持在该业务人员属性中并且根据发送该维护操作的一个业务人员的维护属性数据而产生维护费用信息，因此有可能执行控制和全面服务并且根据一个业务人员保持的技术程度付帐。
而且，该半导体制造装置把表示该半导体制造装置的过程状态的数据保持在该装置状态数据中并且根据在执行该处理的时间点的装置状态产生维护费用信息，以使其有可能执行控制和全面服务，并且根据对于一个半导体生产商的生产过程的不利影响的可能性付帐。
而且，该半导体制造装置存储指示该半导体制造装置使用历史的使用历史信息，并且根据对应该维护操作读出的使用历史信息的种类产生维护费用信息，以使其有可能执行控制和全面业务，并且根据从一个半导体生产商获得的秘密信息而付帐。
而且，该半导体制造装置根据该维护操作把执行的处理状态输出给一个工程师，并且根据该输出状态的内容产生维护费用信息，使得其有可能执行控制和全面服务，并且根据涉及由该装置的供应商提供的维护密诀而付帐。
而且，该半导体制造装置保持表示业务人员的属性的业务人员属性以及指示针对处理执行所需要的属性条件的程序执行权限，并且当从该操作装置接收该维护操作时，读出该业务人员属性和程序执行权限，并且只当该业务人员属性的属性不满足该程序执行条件的情况时，才能够根据该业务人员的属性而限制该接入。
而且，该半导体制造装置保持表示该半导体制造装置的状态的装置状态以及表示针对处理执行所需要的状态的程序执行权限，并且当从该操作装置接收该维护操作时，读出在该时间点的装置状态和程序执行权限，并且只当在该装置状态中的状态满足在该程序执行条件中的条件时，才执行根据该维护操作的处理，以使其有可能根据该装置状态限制接入。
而且，该半导体制造装置保持着用于标识该状态的输出模式，用于把该维护操作状态输出到半导体器件，并且保持着指示为了输出该维护操作状态所需要的输出模式条件的状态输出权限，并且当从该操作装置接收该维护操作时，读出该输出模式和状态输出权限，并且仅当该输出模式中的状态满足该状态输出权限中的条件时，才把该维护操作状态输出到该半导体器件，以使其有可能根据该输出模式限制该输出。
上面已经说明了本发明的实施例。但是除了该实施例之外，本发明可以有各种改变。第二实施例是该第一实施例的一个修改。在第一实施例中，半导体制造装置123使用在交货期由装置供应商的工厂输入的维护费用清单计算一个维护费用。然而，在本实施例中的维护费用是在工厂交货以后使用该维护中心110的操作装置113提供的维护费用列表计算的。
在应用本发明的系统中，下面指出的一个新功能被添加到该半导体制造装置123的操作装置113和通信单元131。然而，除此之外的结构与第一实施例中说明的系统的结构相同。
当业务人员断定需要在线提供该维护费用列表时，使用键盘输入该维护费用列表并且使用鼠标按下该收费清单操作按钮。该操作装置113还具有通过该管理装置112和该管理装置122把一个信息在线发送到该半导体制造装置123的功能，该信息包括由该业务人员输入的维护费用清单(在下文记载为一个收费清单操作)。
半导体制造装置123的通信单元131还具有一个功能，当单元131从该管理装置122接收该收费清单操作时，用于从该接收的收费清单操作取出该维护费用清单并且把该清单记录在该维护费用清单管理表149中。
随后说明图1所示的操作装置113和半导体制造装置123的处理流程。图22是该操作装置113的操作流程图。操作装置113执行在流程图中表示的流程，从而把该收费清单操作发送到具体的半导体制造装置123。
首先，操作装置113接收由一个业务人员使用键盘输入的维护费用清单(步骤321)，该业务人员断定其需要在线提供维护费用清单。随后，操作装置113接收由使用键盘输入维护费用清单的业务人员输入的该收费清单操作的发送目的地(步骤322)。随后，当该业务人员使用鼠标按下该收费清单操作发送按钮时，该操作装置113把包括由业务人员输入的维护费用清单的收费清单操作发送到由该业务人员指定的该半导体制造装置123(步骤323)，并且结束该处理(步骤324)。步骤321和322的处理顺序可以互换。
图23是表示半导体制造装置123的通信单元131的操作流程图。控制单元132周期地执行在该流程图中指示的处理，由此根据从操作装置113接收的收费清单操作来执行该处理。
首先，通信单元131确认是否从操作装置113接收了收费清单操作(步骤331)。当单元131接收该收费清单操作时，单元131从该收费清单操作取出该维护费用列表并且将其存储在该维护费用清单管理表格149中(步骤333)并且结束该处理(步骤334)。即使当没有收费清单操作到达时，该通信单元131也结束该处理(步骤334)。
随后将说明图1所示的操作装置113的显示单元上的显示屏幕。图24显示维护费用设置屏幕的一个实例，在图22中所示的处理流程图的步骤321显示在操作装置113的显示单元上。
维护费用设置屏幕340用于从一个业务人员接收维护费用列表和收费清单操作的发送指令，其包括一个维护费用清单面板341、一个发送目的地面板347和一个反应面板345。维护费用清单面板341用于从业务人员接收维护费用清单，其包括一个标记收费清单342、打折收费清单343和一个附加费收费清单344。标记收费清单342用于由业务人员输入涉及将存储在该收费清单操作中的标记收费的数据。被存储在该清单中的数据项与图12中解释的构成维护费用清单管理表格149的该标记收费管理表150的那些数据项相同，所以其说明被省略。打折收费清单343用于由业务人员输入涉及将存储在该收费清单操作中的打折收费的数据。被存储在该清单中的数据项也与图12中解释的构成维护费用清单管理表格149的该打折收费管理表151的那些数据项相同，所以其说明被省略。附加收费清单344用于由业务人员输入涉及将存储在该收费清单操作中的附加收费的数据。被存储在该清单中的数据项也与图12中解释的构成维护费用清单管理表格149的该附加收费管理表152的那些数据项相同，所以其说明被省略。
发送目的地面板347用于从业务人员接收该收费清单操作的发送目的地，其包括一个半导体工厂清单348、一个发送目的地面板351、一个半导体制造装置清单352和一个发送目的地面板355。半导体工厂清单用于表示能够把该收费清单操作发送到业务人员的该半导体工厂120的标识符，其包括一个号码字段349和一个半导体工厂字段350。号码字段349用于表示该清单连续号码，半导体工厂字段350用于表示能够发送该收费清单操作的半导体工厂120的标识符。发送目的地面板351用于显示由该业务人员指定的该半导体工厂120的标识符，并且当该业务人员使用鼠标按下该半导体工厂列表347的一个具体的候选工厂的标识符时，该被按下的半导体工厂120的标识符被结合该列表显示。
半导体制造装置清单352用于表示能够把该收费清单操作发送到业务人员的该半导体制造装置123的标识符，其包括一个号码字段353和一个半导体制造装置字段354。号码字段353用于显示该清单的串行号码，半导体制造装置字段354用于显示能够发送该收费清单操作的半导体制造装置123的标识符，并且当业务人员使用鼠标按下该半导体工厂清单348的一个具体候选的工厂的标识符时，在按下的半导体工厂中的能够发送该收费清单操作的该半导体制造装置123的标识符被结合该清单显示。
发送目的地面板355用于显示由该业务人员指定的该半导体制造装置123的标识符，并且当该业务人员使用鼠标按下该半导体制造装置列表353的一个具体的候选制造装置的标识符时，该被按下的半导体制造装置123的标识符被结合该清单显示。
反应面板345用于从一个业务人员接收该收费清单操作的发送指令，其包括一个收费清单操作发送按钮346。收费清单操作发送按钮346用于由一个业务人员指令该收费清单操作的发送，并且当该业务人员使用鼠标按下按钮时，该按钮346把包括由业务人员通过维护费用清单面板241输入的维护费用清单的收费清单操作发送到由该业务人员通过发送目的地面板346指定的该半导体制造装置123。
如上所述，在本实施例的系统中，该第一实施例的系统被修改，以使该操作装置113发送该维护费用清单到该半导体制造装置123，并且该半导体制造装置123使用该接收的维护费用清单产生收费信息，因此能够容易地改变该维护费用清单。
第三实施例是该第一实施例的一个修改。在该第三实施例中，半导体制造装置123使用在交货期该装置供应商在工厂输入的状态输出权限来限制对该I/O单元的输出。然而在本实施例中，使用在工厂交货以后从维护中心110的操作装置113提供的条件输出权限来限制对于该I/O单元130的输出。
在应用本发明的系统中，下面指出的一个新功能被添加到该半导体制造装置123的操作装置113和通信单元131。然而，除此之外的结构与第一实施例中说明的系统的结构相同。
当业务人员断定需要在线提供该状态输出权限时，使用键盘输入该状态输出权限并且使用鼠标按下该状态输出操作发送按钮。该操作装置113还具有通过该管理装置112和该管理装置122把一个信息在线发送到该半导体制造装置123的功能，该信息包括由该业务人员输入的状态输出权限(在下文记载为一个输出权限操作)。
半导体制造装置123的通信单元131还具有一个功能，当该单元131从该管理装置122接收该输出权限操作时用于从该接收的输出权限操作取出该状态输出权限，并且通过该控制单元132把取出的状态输出权限发送到I/O单元130。该半导体制造装置123的I/O单元130还具有一个功能，当该单元130从该通信单元131接收条件输出权限时，用于把接收的状态输出权限存储在该输出权限管理表格146中。
随后说明图1所示的操作装置113和半导体制造装置123的处理流程。图25是该操作装置113的操作流程图。操作装置113执行在流程图中表示的流程，从而把该输出权限操作发送到具体的半导体制造装置123。
首先，操作装置113接收由一个业务人员使用键盘输入的条件输出权限(步骤361)，该业务人员断定其需要在线提供条件输出权限。随后，操作装置113接收由使用键盘输入条件输出权限的业务人员输入的该输出权限操作的发送目的地(步骤362)。随后，当该业务人员使用鼠标按下该输出权限操作发送按钮时，该操作装置113把包括由业务人员输入的条件输出权限的输出权限操作发送到由该业务人员指定的该半导体制造装置123(步骤363)，并且结束该处理(步骤364)。步骤361和362的处理顺序可以互换。
图26是表示半导体制造装置123的通信单元131的操作流程图。控制单元132周期地执行在该流程图中指示的处理，由此根据从操作装置113接收的输出权限操作来执行该处理。
首先，通信单元131确认是否从操作装置113接收了输出权限操作(步骤371)。当该通信单元131接收该输出权限操作时，该单元131从该输出权限操作中取出该状态输出权限，通过该控制单元132把该取出的状态输出权限发送到I/O单元130，并且结束处理(步骤374)。即使当没有接收该输出权限操作时，该通信单元131也结束该处理(步骤374)。
随后将说明图1所示的操作装置113的显示单元上的显示屏幕。图27示出一个状态输出权限设置屏幕的实例，在图25所示处理流程的步骤361显示在该操作装置113的显示单元上。状态输出权限设置屏幕380用于从一个业务人员接收状态输出权限的和输出权限操作的发送指令，其包括一个状态输出权限面板381、一个发送目的地面板385和一个反应面板383。
状态输出权限面板381用于从业务人员接收该状态输出权限，并且其包括一个状态输出权限清单382。该状态输出权限清单382用于由该业务人员输入将被存储在该输出权限操作的状态输出权限。被存储在该清单中的数据项与图10中解释的构成输出权限管理表格147的该状态输出权限的那些数据项相同，所以其说明被省略。该发送目的地面板385用于从业务人员接收一个维护请求的发送目的地。该面板与图24在说明的目的发送地面板347相同，因此其说明被省略。
反应面板383用于从该业务人员接收该输出权限操作的发送指令，其包括一个输出权限操作发送按钮384。输出权限操作发送按钮384用于由一个业务人员指令该输出权限操作的发送，并且当该业务人员使用鼠标按下按钮时，该按钮384把包括由业务人员通过状态输出权限面板381输入的状态输出权限的输出权限操作发送到由该业务人员通过发送目的地面板385指定的该半导体制造装置123。
如上所述，在本实施例的系统中，该第一实施例的系统被修改，以使该操作装置发送该状态输出权限到该半导体制造装置123，并且该半导体制造装置123使用该接收的输出权限数据来限制该维护操作状态的输出，因此能够容易地改变该状态输出权限。
现将详细说明本发明的第四实施例。图28是应用了本发明的半导体制造装置的远程维护系统结构的实例方框图。在第一实施例中，维护中心110和一个或多个半导体工厂120经由互联网络100连接，并且一个维护请求被发送到同一个维护中心。然而在本实施例中，一个或多个维护中心110和一个或多个半导体工厂120被经由互联网络100连接，并且根据一个维护请求的发送目的地实现全面付帐。
在图28所示的系统，显示了两个维护中心110和两个工厂120。然而实际上可以设置多于两个维护中心110和工厂120。而且，该维护中心110可以分别属于不同供应商或同一个维护供应商，并且该工厂120可以分别属于不同的半导体生产商或同一个半导体生产商。
在应用本发明的系统中，下面说明的一个新功能被添加到该半导体制造装置123的通信单元131。然而，除此之外的每一装置的结构与第一实施例中说明的系统的结构相同。
半导体制造装置123的通信单元131具有一个功能，用于周期地监视该半导体制造装置123的操作条件，当该单元131检测一个故障的出现时产生一个维护请求，该维护请求包括用于标识该故障条件的状态和用于标识该状态的输出模式，以便把该维护操作状态输出到该半导体制造装置123，选择将要被通知该产生的维护请求的一个或多个维护中心110或候选的操作装置113，在例如该I/O单元130的显示单元上显示该选择的操作装置113，并且把该维护请求160发送到由一个工程师从这个显示的操作装置113指定的该维护中心110的管理装置112。
随后说明图28所示的半导体制造装置123的处理流程。图29是表示半导体制造装置123的通信单元131的操作流程图。通信单元131周期地执行该流程图中指示的处理，由此周期地监视该半导体制造装置123的操作条件。
首先，通信单元131确认该单元131是否检测到在该半导体制造装置123中的故障出现(步骤401)。当通信单元131检测到一个故障的出现时，产生维护请求160，包括用于标识该故障条件的状态和用于标识该状态的输出模式，以便把该维护操作状态输出到该半导体器件(步骤403)，并且当该单元131没有检测到一个故障的出现时，该单元131结束该处理(步骤408)。
随后，根据一个预定的规则(步骤404)，通信单元131选择将要被通知该产生的维护请求160的一个或多个候选的维护中心110。随后，该通信单元131在例如该I/O单元130的显示单元上显示该选择的维护中心(步骤405)。随后，该通信单元131接收由一个工程师从该显示的维护中心选择的一个实际发送目的地(步骤406)。随后，通信单元131把维护请求160发送到由该工程师指定的维护中心110的管理装置112(步骤407)，并且结束该处理(步骤408)。
随后说明将要被显示在图28所示的半导体制造装置123的I/O单元130的显示单元上的屏幕。图30示出一个维护请求发送目的地设置屏幕的实例，将在图29所示处理流程的步骤405显示在半导体制造装置123的I/O单元130的屏幕上。
维护请求发送目的地设置屏幕410用于把选择的维护中心110显示给一个工程师，并且从该工程师接收该维护请求160的发送目的地和该维护请求160的发送指令，并且该维护请求发送目的地设置屏幕410包括一个维护请求面板411、一个反应面板412和发送目的地面板414。
维护请求面板411用于把要被发送的该维护请求160的内容显示给该工程师。在此实例中，该维护请求面板281的内容与图19显示的内容相同。反应面板412用于由该工程师指令该维护请求160的发送，并且其包括一个维护请求发送按钮413。维护请求发送按钮413用于由该工程师指令该维护请求160的发送，并且当工程师使用鼠标按下按钮时，该按钮413把该维护请求160发送到由该工程师通过该发送目的地面板414从候选的发送目标指定的该发送目标。
发送目的地面板414用于把由通信单元131选择的该维护中心110指示给该工程师，并且从该工程师接收该维护请求160的发送目的地，并且其包括一个维护中心候选清单415和一个发送目的地面板418。维护中心候选清单415用于把由该通信单元131选择的该候选维护中心110指示给该工程师，并且其包括一个号码面板字段416和一个维护中心候选字段417。该号码字段416用于显示候选维护中心的串行号码，而维护中心候选字段417用于显示这个候选维护中心110的标识符。
该发送目的地面板418用于显示由该工程师指定的发送目的地，并且当该工程师使用鼠标按下维护中心候选清单415的候选维护中心时，该按下的维护中心110的标识符被结合该维护中心110显示。
而且，业务人员可以从该显示的候选维护中心直接把一个不同维护中心110的标识符输入到发送目的地面板418。
如上所述，在本实施例的系统中，通过因特网100连接一个或多个半导体制造装置123和一个或多个操作装置113，并且该半导体制造装置123监视在该半导体制造装置123中的故障出现，并且当装置123检测到一个故障的出现时，该装置123产生用于标识该故障条件的一个状态，确定将要被通知该状态的操作装置113，并且通知该被确定的操作装置113的状态，并且该操作装置113根据通知的状态决定对于该半导体器件123的故障诊断，并且根据该故障诊断把维护操作发送到半导体制造装置123，并且该半导体制造装置123根据接收的维护操作执行处理，根据被通知了状态信息的操作装置的标识符产生涉及维护的收费信息，并且在该半导体制造装置123的屏幕上输出该产生的收费信息，使得能够根据该维护请求目的地执行全面付帐。而且，当半导体制造装置123检测一个故障的存在时，该装置123产生表示将被通知该状态的该操作装置113的一个或多个候选操作装置，输出该产生的候选操作装置113的信息，并且把该状态通知到由该半导体制造装置123的用户指定的操作装置113，以使能够容易地指定该维护请求目的地。而且，该半导体制造装置123还把该状态通知到由该工程师指定和显示的不同维护中心110，以使能够灵活地指定该维护请求目的地。
如上所述，根据本发明，能够执行控制和全面服务并且根据由半导体制造装置执行的维护操作内容和该维护请求目的地进行付帐。而且，能够执行根据业务人员的属性的接入限制、根据装置的状态的接入限制以及根据该输出模式的输出限制。

Claims (51)

1.用于一个系统的远程维护方法，用于执行一个具体的处理的工业装置和用于维护所说工业装置的一个操作装置通过一个网络彼此连接，特征在于，所说的操作装置把指示一个维护指令的指令信息发送到所说的工业装置，并且所说的工业装置根据接收的指令信息执行所说的处理，根据所说的执行处理的内容产生指示用于维护值的收费信息，并且把产生的收费信息的全部或一部分输出到所说工业装置的一个输出装置。
2.根据权利要求1的远程维护方法，其中所说的工业装置保持所说的操作装置的一个用户以及属性信息，该属性信息指示由彼此结合的所说的用户保持的技术等级，并且根据相关于发送所说的指令信息的用户的所说的属性信息而产生所说的收费信息。
3.根据权利要求2的远程维护方法，其中根据在所说的属性信息中指示的所说的技术等级附加收费所说的用于维护的价值。
4.根据权利要求1的远程维护方法，其中所说的工业装置保持指示所说工业装置的一个处理状态的状态信息，并且根据在根据所说的指令信息执行所说处理时的一个时间点的条件信息产生所说的收费信息。
5.根据权利要求4的远程维护方法，其中当所说的状态信息指示该工业装置是在一个生产状态中时，所说的用于维护的价值被打折。
6.根据权利要求1的远程维护方法，其中所说的工业装置存储使用历史信息，该使用历史信息指示所说的工业装置的使用历史，并且根据按照所说的指令信息读出的所说的使用历史信息的种类而产生所说的收费信息。
7.根据权利要求1的远程维护方法，其中所说的工业装置输出指示一个维护操作的状态的状态信息，并且根据所说的输出状态信息的内容产生所说的收费信息。
8.根据权利要求1的远程维护方法，其中当涉及所说工业装置的使用的秘密信息被公开时，所说的工业装置打折用于维护的所说的价值。
9.根据权利要求1的远程维护方法，其中当涉及所说工业装置维护的秘密信息被公开时，所说的工业装置附加收费用于维护的所说的价值。
10.根据权利要求1的远程维护方法，其中所说的工业装置输出指示一个维护操作的状态的状态信息，并且根据所说输出的状态信息的内容产生所说的收费信息。
11.根据权利要求1的远程维护方法，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
12.用于一个系统的远程维护方法，用于执行一个具体的处理的工业装置和用于维护所说工业装置的一个操作装置通过一个网络彼此连接，特征在于，所说的操作装置把指示一个维护指令的指令信息发送到所说的工业装置，并且所说的工业装置执行根据接收的指令信息执行处理，保持指示所说的操作装置的一个用户的属性的属性信息和条件信息，该条件信息指示为了按照所说的指令信息执行所说的处理所需要的所说的属性的一个条件，当所说的工业装置从所说的操作装置接收所说的指令信息时读出所说的属性信息和所说的条件信息，并且仅当在所说的属性信息中的属性满足的在所说的条件信息中的条件时才根据所说的指令信息执行所说的处理。
13.根据权利要求12的一个远程维护方法，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
14.用于一个系统的远程维护方法，用于执行一个具体的处理的工业装置和用于维护所说工业装置的一个操作装置通过一个网络彼此连接，特征在于，所说的操作装置把指示一个维护指令的指令信息发送到所说的工业装置，并且所说的工业装置根据接收的指令信息执行所说的处理，保持指示所说的工业装置的处理的一个状态的状态信息和条件信息，该条件信息指示为了根据所说的指令信息执行所说的处理所需要的涉及所说的状态信息的条件，当所说的工业装置从所说的操作装置接收所说的指令信息时读出所说的状态信息和所说的条件信息，并且仅当在所说的状态信息中的所说的状态满足的在所说的条件信息中的所说的条件时才根据所说的指令信息执行所说的处理。
15.根据权利要求14的远程维护方法，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
16.用于一个系统的远程维护方法，用于执行一个具体的处理的工业装置和用于维护所说工业装置的一个操作装置通过一个网络彼此连接，特征在于，所说的操作装置把指示一个维护指令的指令信息发送到所说的工业装置，并且所说的工业装置根据接收的指令信息执行所说的处理，保持用于标识为了把一个维护操作的状态输出到所说的工业装置的一个状态的模式信息和条件信息，该条件信息指示涉及为了输出所说的维护操作的状态而需要的所说的状态的一个条件，当所说的工业装置从所说的操作装置接收所说的指令信息时读出所说的模式信息和所说的条件信息，并且仅当在所说的模式信息中的所说的状态满足在所说的条件信息中的所说的条件时才把所说的维护操作的状态输出到所说的工业装置的一个输出装置。
17.根据权利要求16的远程维护方法，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
18.用于一个系统的远程维护方法，用于执行一个具体的处理的工业装置和用于维护所说工业装置的一个操作装置通过一个网络彼此连接，特征在于，所说的操作装置把指示一个维护指令的指令信息和用于指定维护价值的收费清单信息发送到所说的工业装置，并且所说的工业装置根据接收的指令信息执行所说的处理，使用接收的收费清单信息产生指示用于维护的所说价值的收费信息，并且把所说产生的收费信息的全部或一部分输出到所说的工业装置的一个输出装置。
19.根据权利要求18的远程维护方法，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
20.用于一个系统的远程维护方法，用于执行一个具体的处理的工业装置和用于维护所说工业装置的一个操作装置通过一个网络彼此连接，特征在于，所说的操作装置把指示一个维护指令的指令信息和指示一个条件的条件信息发送到所说的工业装置，该条件信息指示涉及为了输出一个维护操作的状态所需要的一个状态的条件，并且所说的工业装置根据接收的指令信息执行所说的处理，保持用于标识把所说的维护操作的状态输出到所说的工业装置的一个状态的模式信息以及所说的条件信息，当所说的工业装置从所说的操作装置接收所说的指令信息时读出所说的模式信息和所说的条件信息，并且仅当由所说的模式信息标识的所说的状态标识满足的在所说的条件信息中的所说的条件时才把所说的维护操作的所说的状态输出到所说的工业装置的一个输出装置。
21.根据权利要求20的远程维护方法，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
22.一个工业装置，用于从通过一个网络遥控连接的一个操作装置接收一个维护操作，包括：通信装置，用于从所说操作装置接收指示一个维护指令的指令信息；处理装置，根据由所说的通信装置接收的所说的指令信息执行一个处理；计算装置根据用所说的处理装置执行的所说的处理的内容产生指示用于所说维护价值的收费信息；以及输出装置，把由所说的计算装置产生的所说的收费信息的全部或一部分输出到一个输出装置。
23.根据权利要求22的一个工业装置，其中所说的通信装置保持所说操作装置的一个用户和指示由该用户持有的相互联系的技术等级的属性信息，并且所说的计算装置从所说的通信装置获得发送该指令信息的该操作装置的用户相关的属性信息，以及所说的计算装置根据获得的属性信息产生所说的收费信息。
24.根据权利要求23的一个工业装置，其中所说的计算装置根据在所说的属性信息中指示的该技术等级附加收费用于维护的价值。
25.根据权利要求22的一个工业装置，其中所说的处理装置保持指示所说的工业装置的一个处理状态，并且所说的计算装置根据来自该处理装置的指令信息获得在执行所说的处理时的时间点的所说的状态信息，并且根据该获得的状态信息产生所说的收费信息。
26.根据权利要求25的一个工业装置，其中当由所说的处理装置保持的所说的状态信息指示所说的工业装置是处在一种生产状态时，所说的计算装置打折所说的用于维护的价值。
27.根据权利要求22的一个工业装置，其中所说的处理装置存储使用历史信息，该使用历史信息指示所说的处理装置的使用历史，并且所说的计算装置根据由所说的处理装置根据所说的指令信息读出的所说的使用历史信息的种类而产生所说的收费信息。
28.根据权利要求22的一个工业装置，其中所说的输出装置输出指示所说的维护操作的一个状态的状态信息，并且所说的计算装置根据由所说的输出装置输出到所说的输出设备的状态信息而产生所说的收费信息。
29.根据权利要求22的一个工业装置，其中当涉及所说计算装置的使用的秘密信息被公开时，所说的计算装置打折用于维护的所说的价值。
30.根据权利要求22的一个工业装置，其中当涉及所说工业装置的维护的秘密信息被公开时，所说的计算装置打折用于维护的附加收费。
31.根据权利要求22的一个工业装置，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
32.一个工业装置，用于从通过一个网络遥控连接从一个操作装置接收一个维护操作，包括：包括用于从所说操作装置接收指示一个维护指令的指令信息的通信装置，和用于根据由所说的通信装置接收的所说的指令信息执行一个处理的处理装置，其中所说的通信装置保持指示该操作装置的一个用户的属性的属性信息和指示为了根据所说的指令信息执行该处理所需要的所说属性的一个条件的条件信息，当所说的通信装置从所说的操作装置接收所说的指令信息时读出所说的属性信息和所说的条件信息，并且仅当该属性信息中的所说的属性满足该条件信息中的所说的条件时才允许根据所说的指令信息执行所说的处理。
33.根据权利要求32的一个工业装置，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
34.一个工业装置，用于从通过一个网络遥控连接从一个操作装置接收一个维护操作，包括：包括用于从所说操作装置接收指示一个维护指令的指令信息的通信装置，和用于根据由所说的通信装置接收的所说的指令信息执行一个处理的处理装置，其中所说的处理装置保持指示该工业装置的一个处理状态的状态信息，并且所说的通信装置保持指示涉及为了根据所说的指令信息执行所说处理所需要的所说状态的条件信息，当所说的通信装置从所说的操作装置接收所说的指令信息时从所说的处理装置获得所说的状态信息，读出所说的条件信息，并且仅当所说的状态信息的状态满足所说的条件信息的条件时才允许根据所说的指令信息执行所说的处理。
35.根据权利要求34的一个工业装置，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
36.一个工业装置，用于从通过一个网络遥控连接从一个操作装置接收一个维护操作，包括：包括用于从所说操作装置接收指示一个维护指令的指令信息的通信装置，和用于根据由所说的通信装置接收的所说的指令信息执行一个处理的处理装置，以及输出装置，用于保持标识一个状态的模式信息，以便输出所说的维护操作的状态和指示涉及为了输出该维护操作的所说的状态所需要的一个条件的条件信息，当所说的处理装置执行所说的处理时读出所说的模式信息和所说的条件信息，并且仅当该模式信息的所说的状态满足该条件信息的所说的条件时才被所说的维护操作的所说的状态输出到所说的工业装置的一个输出设备。
37.根据权利要求36的一个工业装置，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
38.一个工业装置，用于从通过一个网络遥控连接从一个操作装置接收一个维护操作，包括：通信装置，用于从所说操作装置接收指示一个维护指令的指令信息；处理装置，根据由所说的通信装置接收的所说的指令信息执行一个处理；计算装置根据用所说的处理装置执行的所说的处理的内容产生指示用于所说维护价值的收费信息；以及输出装置，把由所说的计算装置产生的所说的收费信息的全部或一部分输出到一个输出装置，其中所说的通信装置从所说的操作装置接收指定用于所说的维护的价值的收费清单信息，并且所说的计算装置使用由所说的通信装置接收的所说的收费清单信息产生所说的收费信息。
39.根据权利要求38的一个工业装置，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
40.一个工业装置，用于从通过一个网络遥控连接从一个操作装置接收一个维护操作，包括：通信装置，用于从所说的操作装置接收指示维护指令的指令信息，处理装置，用于根据由所说的通信装置接收的所说的指令信息执行一个处理，以及输出装置，用于保持标识一个状态的模式信息，以便输出所说的维护操作的状态和指示涉及为了输出该维护操作的所说的状态所需要的一个条件的条件信息，当所说的处理装置执行所说的处理时读出所说的模式信息和所说的条件信息，并且仅当该模式信息的所说的状态满足该条件信息的所说的条件时才被所说的维护操作的所说的状态输出到所说的工业装置的一个输出设备，其中所说的通信装置从所说的操作装置接收所说的条件信息，并且所说的输出装置保持由所说的通信装置接收的所说的条件信息，当所说的处理装置执行所说的处理时读取所说的模式信息和所说的已收条件信息，并且仅当在所说的模式信息中的状态满足在所说的条件信息中的所说的条件时才把所说的维护操作的所说的状态输出到所说的工业装置的一个输出设备。
41.根据权利要求40的一个工业装置，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
42.用于一个系统的远程维护方法，用于执行一个具体的处理的一个或多个工业装置和用于维护所说工业装置的一个或多个操作通过一个网络彼此连接，其中每一工业装置监视在所说的工业装置本身中的一个故障的出现，当所说的工业装置检测到一个故障的出现时，产生用于标识所说的故障的一个条件的状态信息，决定将被通知该产生的状态信息的一个操作装置，并且把该产生的状态信息通知到该被确定的操作装置，并且所说的操作装置根据该通知的状态信息确定用于所说的工业装置的故障的一个故障诊断方法，并且根据所说的故障诊断方法把指示一个维护的指令的指令信息发送到所说的工业装置，并且所说的工业装置根据所说的已收指令信息执行所说的处理，根据被通知了所说的状态信息的该操作装置的一个标识符产生指示用于维护的价值的收费信息，并且把该产生的收费信息的全部或一部分输出到所说工业装置的一个输出设备。
43.根据权利要求42的远程维护方法，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
44.根据权利要求42的远程维护方法，其中当所说的工业装置检测到一个故障的出现时，所说的工业装置产生指示将被通知该状态信息的所说的操作装置的一个或多个候选操作装置的候选信息，把该产生的候选信息输出到所说的输出设备，并且根据所说的候选信息的的候选装置把所说的状态信息通知到由所说的工业装置的用户指定的一个操作装置。
45.根据权利要求44的远程维护方法，其中所说的工业装置还把所说的状态信息从由所说的用户指定的候选装置通知到一个不同的操作装置。
46.根据权利要求42的远程维护方法，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
47.一个工业装置，用于从通过一个网络遥控连接从一个或多个操作装置接收一个维护操作，包括：监视的装置，用于监视在所说的工业装置中的一个故障的出现，当所说的工业装置检测到一个故障的出现时，产生用于标识所说故障的一个条件的状态信息，确定将被通知该产生的状态信息的一个操作设备，并且把该产生的状态信息通知到该确定的操作装置，通信装置，用于根据由所说的操作装置通知的状态信息确定用于所说工业装置的故障的一个故障诊断方法，并且根据来自该工业装置的所说的故障诊断方法接收指示一个维护命令的指令信息，处理装置，用于根据由所说的通信装置接收的所说的指令信息执行所说的处理，计算装置，用于根据被所说的监视器装置通知了所说的状态信息的所说的操作装置的一个标识符而产生指示用于维护的一个价值的收费信息，以及输出装置，用于把由所说的计算装置产生的所说的收费信息的全部或一部分输出到一个输出装置。
48.根据权利要求47的一个工业装置，其中当所说的监视装置检测到一个故障的出现时，该监视装置产生指示将被通知所说的状态信息的操作装置的一个或多个候选装置的候选信息，并且把由所说的监视装置产生的所说的候选信息输出到所说的输出设备，并且所说的通信装置把所说的状态信息从由所说的输出装置输出的所说的候选装置通知到由所说的工业装置的一个用户指定的操作装置。
49.根据权利要求47的远程维护方法，其中所说的通信装置还把所说的状态信息从由所说的用户指定的候选装置通知到一个不同的操作装置。
50.根据权利要求47的远程维护方法，其中所说的工业装置是一个半导体制造装置。
51.一个半导体器件，特征在于所说的半导体器件是在这样的条件下制造的：用于执行一个具体的处理的工业装置和用于维护所说工业装置的一个操作装置通过一个网络彼此连接，并且所说的操作装置把指示一个维护指令的指令信息发送到所说的工业装置，并且所说的工业装置根据接收的指令信息执行所说的处理，根据所说的执行处理的内容产生指示用于维护值的收费信息，并且把产生的收费信息的全部或一部分输出到所说工业装置的一个输出装置。
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