CN1577503A - 磁头滑块和包括它的磁盘装置 - Google Patents

磁头滑块和包括它的磁盘装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1577503A
CN1577503A CNA2004100060687A CN200410006068A CN1577503A CN 1577503 A CN1577503 A CN 1577503A CN A2004100060687 A CNA2004100060687 A CN A2004100060687A CN 200410006068 A CN200410006068 A CN 200410006068A CN 1577503 A CN1577503 A CN 1577503A
Authority
CN
China
Prior art keywords
distolateral
head
guide rail
anger
slider
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2004100060687A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1295683C (zh
Inventor
洼寺裕之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Publication of CN1577503A publication Critical patent/CN1577503A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1295683C publication Critical patent/CN1295683C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • G11B5/6082—Design of the air bearing surface
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
    • G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
    • G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion

Abstract

一种根据本发明的磁头滑块，包括：具有一进气端和一出气端的向盘表面、进气端侧导轨、负压部分、三个增设导轨、一对侧轨、进气端侧正压部分和出气端侧正压部分、以及出气端导轨。所述增设导轨朝着负压部分伸出，并被形成得低于进气端侧正压部分。在从进气端流入的空气的作用下，向进气端侧正压部分施加了一正压(悬浮力)，并且向负压部分施加了一负压。用于抵消正压的负压起到了不受大气压变化的影响的适当作用，从而不管海拔高度(大气压)如何变化，也可将悬浮量控制为一个固定值。

Description

磁头滑块和包括它的磁盘装置
技术领域
本发明涉及一种适合用于计算机等的磁盘装置(硬盘驱动器)的磁头滑块，并且涉及包括这种磁头滑块的磁盘装置。
背景技术
磁盘装置包括一个磁头滑块。例如，如图1所示，当在磁盘装置100的磁盘5上写入信息或从其中读出信息时，磁头滑块1被定位得紧挨着磁盘5。然后，例如如图2所示，在旋转的磁盘5的表面上所产生的气流的作用下，磁头滑块1悬浮在磁盘5上方。此时，如果磁头滑块1的悬浮量(即，磁头滑块1与磁盘5之间的间隙)太大的话，就不能再进行记录了。因此，在现有技术的磁头滑块1中，例如如图3所示，配备了一个负压部分10，该负压部分10在磁头滑块1面对磁盘5的表面(ABS：气浮面(Air Bearing Surface))上产生负压，该负压把磁头滑块1吸向磁盘5，该负压部分10通过所述负压保持了悬浮的平衡，从而将磁头滑块1的悬浮控制为一个固定量。
不过，磁头滑块的悬浮量(即，磁头滑块与旋转的磁盘之间的间隙)仅为大约几个纳米。例如，设想一下病毒的直径大约为200nm，就能够意识到这个数量有多小了。为了实现使用磁盘装置进行稳定的记录，当磁头滑块在使用中时，必须与旋转的磁盘之间保持几十纳米的间隔。因此，磁头滑块的设计是极端困难的。
磁头滑块的设计有如下要求：
(1)从磁盘的内侧区域到外侧区域，磁头滑块必须能够保持一致的悬浮量(由于磁盘外侧区域的速度是内侧区域速度的约两倍，并且速度向量的方向变化了约25°，所以考虑到这一点，必须能够保持一致的悬浮量)，
(2)在寻道操作期间，磁头滑块必须能够保持一固定的悬浮量(由于流速方向变化了约15°，所以考虑到这一点，必须能够保持一固定的悬浮间隙)，
(3)即使当大气压发生了变化时，磁头滑块也必须可以使用(保证可以在3000米的海拔高度处使用)，以及
(4)即使存在加工误差或装配误差，磁头滑块也必须可以使用(考虑到磁头滑块与磁盘之间的间隙仅为大约几十纳米，加工或装配误差是通常不允许的严重缺陷，但是即使是在这些条件下，也必须可以使用磁头滑块)。
近年来，随着磁盘记录密度的提高，出现了进一步减小磁头滑块悬浮量的要求。不过，如果进一步减小该悬浮量，当在高海拔处使用所述滑块时，由于大气压下降，该悬浮量还将进一步减小，并且磁头滑块和磁盘可能会接触到一起，这将对磁盘造成损伤，导致无法再继续进行记录，这是个严重的问题。因此，在前面所述的磁头滑块设计中的要求(1)-(4)之中，(3)，即，即使大气压发生变化时，也可使用磁头滑块的能力(保证在3000米的海拔高度处可以使用)是个关键点。
在现有技术中，为了解决这个问题，已经提出了一些方案，例如在日本专利公开(JP-A)第2000-57724号中采用了这样一种设计方案，其中，在前述的磁头滑块中，“深槽深度R”与“浅槽深度δs”之间的比率(深槽深度R/浅槽深度δs)大于5。不过，在此情况下，由于悬浮量的变化比槽深变化相对要小的范围实际上是很窄的，所以槽深受到了限制，并且相对于加工过程中的分散来说难于将槽深设为最佳值。另外还提出了一种方案：在磁头滑块内配备一个标准大气压气囊，并且进行该标准压力气囊的压力控制，以便抑制由于压力下降所造成的悬浮量的减小。不过，在这一方案中，由于必须配备该标准大气压气囊，所以结构变得更加复杂，并且增加了制造成本。
因此，还没有提出这样一种磁头滑块及包含这种磁头滑块的高性能磁盘装置，该磁头滑块特征如下：从磁盘的内侧区域到外侧区域保持一致的悬浮量；即使在寻道操作期间也保持一固定的悬浮间隙；对于悬浮量相对于槽深的波动可以被最佳化的槽深没有限制；不需要额外增加结构或制造成本；不受加工误差和装配误差的限制；以及，即使大气压发生变化时也可以使用(即使在3000米的海拔高度处也可以使用)。
发明内容
因此，本发明的目的就是为解决前述的现有技术中所固有的问题而被构想出来的，该目的是要提供一种磁头滑块和一种包括这种磁头滑块的高性能磁盘装置，该磁头滑块特征如下：从磁盘的内侧区域到外侧区域保持一致的悬浮量；即使在寻道操作期间也保持一固定的悬浮间隙；对于悬浮量相对于槽深的波动可以被最佳化的槽深没有限制；不需要额外增加结构或制造成本；不受加工误差和装配误差的限制；以及，即使大气压发生变化时也可以使用(即使在3000米的海拔高度处也可以使用)。
本发明的磁头滑块包括：向盘表面，其具有一用于空气流入的进气端和一用于空气流出的出气端；进气端侧导轨，其沿着进气端延伸；负压部分，位于比进气端侧导轨更靠近出气端的位置处，该负压部分在使用的时候将产生一负压；以及两个或更多个增设导轨，在负压部分内从进气端侧向出气端侧延伸。在本发明的磁头滑块中，在负压部分中有两个或更多个增设导轨从进气端侧向出气端侧延伸，所以即使大气压发生了变化(例如，在3000米的海拔高度处)该磁头滑块也可以使用；对负压部分的负压进行了适当的控制；并且该磁头滑块与旋转的磁盘相接触的风险非常之小。这样，就将磁盘与磁头元件附近的磁头滑块的部分之间的距离控制为最短距离。
本发明的磁盘装置至少包括本发明的磁头滑块。结果，即使大气压发生了变化(即使在3000米的海拔高度处)也可以使用该磁盘装置，对负压部分的负压进行了适当的控制，并且磁头滑块与旋转的磁盘相接触的风险非常之小。
附图说明
图1是示出配备有一个磁头滑块的磁盘装置的一个示例的示意图；
图2是示出磁头滑块悬浮在旋转着的磁盘上方的状态的示例的示意图；
图3是示出磁头滑块的悬浮面(空气流入表面：ABS(气浮面))的现有技术示例的示意图；
图4是示出在本发明的磁头滑块中的悬浮面(面向磁盘的表面)的第一方案(示例1：齿梳导轨)的一个示例的平面图；
图5是示出在本发明的磁头滑块中的悬浮面(面向磁盘的表面)的第二方案(示例2：齿梳导轨)的一个示例的平面图；
图6是示出在本发明的磁头滑块中的悬浮面(面向磁盘的表面)的第三方案(示例3：齿梳导轨)的一个示例的平面图；
图7是示出在本发明的磁头滑块中的悬浮面(面向磁盘的表面)的第四方案(示例4：齿梳导轨)的一个示例的平面图；
图8是示出在本发明的磁头滑块中的悬浮面(面向磁盘的表面)的第五方案(示例5：U形导轨)的一个示例的平面图；
图9是示出在0米和3000米的海拔高度处现有技术磁头滑块位于磁盘上方的的径向位置与磁头滑块的悬浮量之间的关系的一个示例的曲线图数据；
图10是示出在0米和3000米的海拔高度处本发明的磁头滑块(包括一齿梳导轨)位于磁盘上方的径向位置与磁头滑块的悬浮量之间的关系的一个示例的曲线图数据；
图11是示出针对本发明的磁头滑块和现有技术的磁头滑块的槽深与悬浮量变化之间的关系的曲线图数据；
图12是示出在0米和3000米的海拔高度处现有技术磁头滑块位于磁盘上方的径向位置与磁头滑块的悬浮量之间的关系的一个示例的曲线图数据；以及
图13是示出在0米和3000米的海拔高度处本发明的磁头滑块(包括一U形导轨)位于磁盘上方的径向位置与磁头滑块的悬浮量之间的关系的一个示例的曲线图数据。
具体实施方式
(磁头滑块)
本发明的磁头滑块至少包括进气端、出气端、进气端侧导轨、负压部分以及两个或更多个增设导轨。该磁头滑块还可以包括侧轨、进气端侧正压部分、出气端侧正压部分和出气端导轨，所有这些都根据需要来适当地选择。这些部件都安装在面向磁盘的表面(即，空气流出/流入表面(ABS(气浮面))上。在本说明书中，并且包括在权利要求书中，可将该表面称为“向盘面(disk-facing surface)”、“悬浮面”、“磁盘相对面”等，根据上下文将清楚它们的含义。
进气端用作在旋转磁盘上方所产生的气流的入口，即，用作空气流入其中的末端部分。进气端的形状、结构和尺寸没有具体的限制，而是可以根据需要从本领域所公知的形状、结构和尺寸中适当地进行选择。
出气端用作在旋转磁盘上方所产生的气流的出口，即，用作空气从其中流出的末端部分。出气端的形状、结构和尺寸没有具体的限制，而是可以根据需要从本领域所公知的形状、结构和尺寸中适当地进行选择。
进气端侧导轨(下文中可以称为“前导轨”)沿着进气端延伸。进气端侧导轨设置在进气端侧，不过也可以设置成与进气端相接触。可以将进气端侧导轨设置得沿着进气端是不连续的，不过最好将其设置得沿着进气端是连续的。进气端侧导轨的形状没有具体的限制，而是可以根据需要进行选择，例如它可以是实用的带状。进气端侧导轨的宽度也没有具体的限制，并且可以根据需要进行选择，不过它最好是基本恒定的。
负压部分位于比进气端侧导轨更靠近出气端侧的位置，在使用的时候，该负压部分将产生负压。用于形成负压部分的方法并没有具体的限制，而是可以根据需要从本领域所公知的方法中进行选择。例如，在一个优选方案中，该负压部分的边界是由多个侧轨限定的，该多个侧轨比进气端侧导轨更靠近出气端、位于相对于从进气端到出气端的方向的两侧并且沿着这个方向延伸。在一个更为优选的方案中，该负压部分是由所述多个侧轨和设置在进气端侧导轨的出气端侧的出气端侧正压部分所限定的。
此时，当磁头滑块是以所述表面对着磁盘的方式(即，以空气流出/流入面(ABS(气浮面))朝下的方式)安装的时候，所述多个侧轨最好比负压部分向下伸出得更远，并且进气端侧正压部分最好比进气端侧导轨和所述多个侧轨向下伸出得更远。在这种情况下，在从进气端流入的空气的作用下，磁头滑块中伸出得最靠近磁盘的进气端侧正压部分向上浮起，向该进气端侧正压部分施加了一用于使其与磁盘分离的正压(悬浮力)，并且在空气流过该进气端侧正压部分之后，向磁头滑块中的离磁盘最远的负压部分施加了一吸向磁盘的负压。
侧轨的形状、尺寸(宽度、长度)没有具体的限制，而是可以根据需要来适当地选择。例如，其形状优选地为带形形状，其宽度最好基本相同，并且更为优选的是其宽度与后面将说明的多个增设导轨的宽度基本相同。其长度优选地要短于后面将说明的所述多个增设导轨的长度，其出气端侧的末端部分比增设导轨在出气端侧的末端部分更靠近进气端，或者另选地，其具有同样的长度(位于同样的位置上)。
而且，进气端侧正压部分位于比进气端侧导轨更靠近出气端侧、并且比所述多个增设导轨和多个侧轨更靠近进气端的位置处，并且该进气端侧正压部分是一个在使用的时候产生正压的地方。不过，如果磁头滑块包括这个进气端侧正压部分的话，优选的是：该进气端侧正压部分在宽度方向上沿着进气端侧导轨并与该进气端侧导轨相接触着延伸，并且所述多个增设导轨和多个侧轨在进气端侧的多个末端部分中的至少一个(或全部)与该进气端侧正压部分相接触。在本说明书中，包括在权利要求书中，磁头滑块的“宽度方向”实质上是与从进气端到出气端的方向相垂直的。因此，“宽度方向上的两端”实质上意指两侧。
本发明的磁头滑块在负压部分中必须包括两个或更多个增设导轨，并且最好包括三个或更多个增设导轨。在本发明的磁头滑块中，两个或更多个增设导轨看起来如同一把梳子的齿，所以可将这些两个或更多个增设导轨称为“梳齿导轨”。
增设导轨的形状、增设导轨末端部分的形状、该增设导轨的尺寸(长度、宽度)、增设导轨之间的间隙以及增设导轨在负压部分区域中所占的表面积百分数都没有具体的限制，而是可以根据需要适当地选择。
例如，增设导轨的形状优选地是带形形状或类似形状。增设导轨在出气端侧的末端部分的形状优选地是具有与磁头滑块的宽度方向相平行的平面的形状。例如，增设导轨的宽度(在图4-8中用附有“L”的双箭头表示)可以近似恒定或不恒定，不过前者通常是优选的，并且更为优选的是，该宽度与前面所述的侧轨的宽度大约相等。具体来讲，该尺寸优选地是5μm到100μm，更为优选地是10μm到50μm，并且最为优选地是20μm到40μm。例如，增设导轨之间的距离(图4-8中用附有“S”的双箭头表示)可以是近似恒定并相等的，也可以不是近似恒定并相等的。具体来讲，该距离优选地是10μm到120μm，更为优选地是40μm到90μm，最为优选地是50μm到80μm。在负压部分中增设导轨所占用的表面积优选地是10％到80％，而更为优选地是20％到70％。前述的形状和宽度可以相同或不同，不过从易于加工的角度看，前者通常是优选的。
优选的是，所有增设导轨的长度与侧轨的长度是相近的，即，所有增设导轨在出气端侧的末端部分优选地与侧轨在出气端侧的末端部分伸出近似相同的量。并且更为优选的是，至少一个增设导轨在出气端侧的末端部分延伸得比侧轨在出气端侧的末端部分向出气端侧伸出更多(下文中，这可以被称为“伸出方案”)。
对于前面所述的伸出方案，在一种优选的方案中，设置有位于靠近这些增设导轨的中央位置处的一个或更多个增设导轨(下文中，可以称为“中央增设导轨”)，其中，该(多个)中央增设导轨在出气端侧的(多个)末端部分比其它增设导轨在出气端侧的末端部分向出气端侧伸出得更多。具体来讲，更为优选的是，在第一方案中，有奇数个增设导轨，其中，中央增设导轨在出气端侧的末端部分比其它增设导轨在出气端侧的末端部分向出气端侧伸出得更多，所述中央增设导轨位于从宽度方向上的两端的侧轨开始经过了相等数量的导轨并且在宽度方向上靠近中央的位置处。而在第二方案中，有偶数个增设导轨，其中，两个中央增设导轨在出气端侧的末端部分比其它增设导轨在出气端侧的末端部分向出气端侧伸出得更多，该两个中央增设导轨位于从宽度方向上的两端的侧轨开始经过了相等数量的导轨并且在宽度方向上靠近中央的位置处。
对于前述的伸出方案，按照从与侧轨相邻的增设导轨到位于中央附近的增设导轨的顺序，优选地该多个增设导轨在出气端侧的末端部分一个比一个伸出得更加靠近出气端侧。而且，对于这种伸出方案，将侧轨和增设导轨在出气端侧的末端部分在宽度方向上的相邻中心点连接起来的线优选地是一条从侧轨到中央增设导轨的直线。
在本发明的磁头滑块中，所述多个增设导轨和所述多个侧轨在进气端侧的多个末端部分中的至少两个可以由一个在宽度方向上延伸的连接导轨互连起来。例如，如果两个增设导轨由这个连接导轨连接起来，每个增设导轨与该连接导轨的两个末端部分中的一个相连，则由这两个增设导轨和所述连接导轨接合而成的导轨类似一个“U”形，所以这样接合而成的导轨可以称为“U形导轨”。
连接导轨的数量没有具体的限制，可以根据需要适当地选择，例如，选择两个或更多个。在这种情况下，可以形成多个U形导轨。如果形成了多个U形导轨，则这些U形导轨可以成行地排列或者把小的U形导轨包含在大的U形导轨中，并且可将这些排列方式结合起来使用，或者可将它们与前面所述的齿梳导轨结合起来使用。在这种情况下，可将齿梳导轨放置在U形导轨的内部，可将U形导轨放置在前述的齿梳导轨之间，可将U形导轨与齿梳导轨并排放置，或者可将这些排列方式组合起来使用。连接导轨的宽度没有具体的限制，可以根据需要适当地选择，不过，例如，优选的是与增设导轨的宽度相当。
出气端侧正压部分位于比所述多个增设导轨和多个侧轨更加靠近出气端侧的位置，并且在使用的时候该出气端侧正压部分是产生正压的地方。如果磁头滑块包括这个出气端侧正压部分，则在磁头滑块的悬浮力(正压)与吸向磁盘的负压之间可以实现平衡，从而可以有效地抑制由于大气压变化所造成的磁头滑块与磁盘之间的间隙(悬浮量)的减小，这是非常有益的。
前述出气端侧正压部分的形状、数量和尺寸(宽度、长度)都没有具体的限制，可以根据需要进行适当的选择。例如，所述形状不必是沿着出气端连续地形成的，优选的是块状。所述数量例如可以是一个或更多个，不过更为优选的是大约2到4个。所述宽度例如优选地要大于增设导轨的宽度。所述长度例如优选地要短于增设导轨的长度。优选地将多个块状出气端侧正压部分沿着出气端来设置，并且在这种情况下，位于磁头滑块的宽度方向上的中央附近的出气端侧正压部分在出气端侧的末端部分更为优选的是位于比其它出气端侧正压部分在出气端侧的末端部分更加靠近出气端侧的位置处。
在本发明的磁头滑块中，当磁头滑块以表面对着磁盘的方式(即，空气流出/流入面(ABS(气浮面))面向下的方式)定位时，进气端侧导轨、侧轨和增设导轨优选地比负压部分更加向下伸出更多，而进气端侧正压部分和出气端侧正压部分优选地比进气端侧导轨、侧轨和增设导轨向下伸出更多。在该方案中，对与作为基准面的负压部分相比其它部件向下伸出多远进行了说明，不过现在，反过来，考虑这样一个问题：与作为基准面的进气端侧正压部分和出气端侧正压部分相比，由其它部件形成的槽有多深。在这种情况下，在该方案中，进气端侧导轨、增设导轨、侧轨或出气端导轨都被形成得低于进气端侧正压部分和出气端侧正压部分(浅槽)，并且负压部分被形成得比进气端侧导轨、增设导轨、侧轨或出气端导轨更低(深槽)。在该方案中，在从进气端流入的空气的作用下，磁头滑块中伸出得最靠近磁盘的进气端侧正压部分向上浮起，向进气端侧正压部分施加了一个用于使其与磁盘相分离的正压(悬浮力)，而在空气流过进气端侧正压部分之后，向磁头滑块中距离磁盘最远的负压部分施加了一个吸向磁盘的负压。在流过负压部分的空气的作用下，磁头滑块内伸出得最靠近磁盘的进气端侧正压部分和出气端侧正压部分向上浮起。而且，此时，在负压部分内，设置了两个或更多个增设导轨，所以不管大气压(海拔高度)如何变化，总可以对负压进行适当的控制。
如果设置了这个出气端侧正压部分，当将磁头滑块设置得对着磁盘的表面(即，空气流入/流出面(ABS(气浮面)))面向下时，多个出气端导轨(下文中，可以称为“后导轨”)优选地被设置得与出气端侧正压部分的进气端侧相邻，并且以如下方式来设置：它们并不比出气端侧正压部分向下伸出更多，但是比负压部分向下伸出要多一些。
如果设置了这个出气端导轨，则出气端导轨面向负压部分的接触边沿与将侧轨和增设导轨在出气端侧的末端部分在宽度方向上的相邻中心点相互连接的线可以基本上是平行的。
在本发明的磁头滑块中，负压部分与进气端侧导轨、多个增设导轨、多个侧轨和出气端导轨中的每一个之间的伸出程度的差别，即，这些导轨相对于负压部分伸出多远，并没有具体的限制，可以根据需要进行适当的选择，例如优选地约为1μm到2μm。而且，进气端侧导轨、多个增设导轨、多个侧轨和出气端导轨中的每一个与进气端正压部分和出气端侧正压部分中的每一个之间的伸出程度的差别也没有具体的限制，可以根据需要进行适当的选择，例如优选地约为0.1μm到0.2μm。
本发明的磁头滑块优选地具有一对称的形状，它具有一个中心位于从进气端侧向出气端侧延伸的中心轴的对称面。
本发明的磁头滑块从磁盘的内侧区域到外侧区域保持一致的悬浮量，即使在寻道操作期间也保持恒定的悬浮间隙，对槽深没有限制，并且允许相对于槽深对悬浮量变化进行最佳化。而且，该磁头滑块不需要额外增加结构或制造成本，不受加工误差和装配误差的限制，并且即使当大气压发生变化时(即使处于3000米的海拔高度处)也可以使用。为此，除了对着磁盘的表面(即，空气流入/流出面(ABS(气浮面)))具有上面说明的特殊形状外，其它的设计均与现有技术磁头滑块相同。
磁头滑块的材料没有具体的限制，可以根据需要从本领域公知的材料中进行选择，不过现成的示例包括诸如铝-钛碳化物(Al/Ti/C)的陶瓷材料。
磁头滑块的制造方法没有具体的限制，可以根据需要从本领域公知的方法中进行选择，不过现成的示例包括反应刻蚀、离子成型和离子研磨。
现在，将对本发明的磁头滑块的加工制造的一个典型示例进行说明。例如，首先，在Al2O3TiC(AlTiC)晶片上形成一Al2O3(氧化铝)层，根据本领域公知的方法形成一磁头元件，并且用一Al2O3(氧化铝)层覆盖该磁头元件。然后，对晶片进行切割，并通过一Si粘接层在切割面上形成DLC(类金刚石碳)层。通过一Si粘接层在该DLC层上叠置一DLC层。然后在该DLC层上涂覆图案化的光致抗蚀剂，以形成一抗蚀剂层，然后对该抗蚀剂层进行曝光并显影，以形成一图案，并进行离子研磨以磨蚀所述DLC层、Si粘接层和晶片。在该磨蚀的作用下，除去了抗蚀剂层。然后，使用图案化的光致抗蚀剂来构图进气端侧导轨、多个侧轨和出气端导轨，并除去该抗蚀剂层以形成磁头滑块与磁盘相对的表面，即，空气流出/流入面(ABS(气浮面))。
本发明的磁头滑块从磁盘的内侧区域到外侧区域保持一致的悬浮量，即使在寻道操作期间也保持恒定的悬浮间隙，对槽深没有限制，并且允许相对于槽深对悬浮量变化进行最佳化。而且，该磁头滑块不需要额外增加结构或制造成本，不受加工误差和装配误差的限制，并且即使当大气压发生变化时(即使处于3000米海拔高度处)也可以使用。因此该磁头滑块便于由各种不同的磁盘装置使用，并且尤其适于由本发明的磁盘装置使用。
(磁盘装置)
本发明的磁盘装置包括本发明的磁头滑块，并且还包括根据需要适当选取的其它装置或部件。
这些其它装置或部件的示例有：磁盘；磁盘旋转装置，用于转动磁盘；托架臂，用于在其端部保持磁头滑块，其可以将磁头滑块定位得悬浮在旋转着的磁盘上方并且面对着该旋转着的磁盘的表面；转轴，用于支撑托架臂使其自由转动；致动器，用于转动托架臂；以及机壳，用于容纳这些单元。
用于在磁盘上进行记录的磁头没有具体的限制，可以根据需要来适当地选择，其示例有水平磁记录头和垂直磁记录头。在它们当中，优选的是垂直磁记录头。这种垂直磁记录头没有具体的限制，可以根据需要来适当地选择，一个示例是单极头。这种垂直磁记录头可以是只写的，或者它也可以利用一种具有诸如GMR磁头等的读磁头的单片组合结构来既用于写入又用于读取。
这里，将参照图1对本发明的磁盘装置的示例进行说明。图1中所示的磁盘装置100包括一个机壳110，以及机壳110中的磁盘5、主轴电机120、磁头滑块1、转轴150、托架臂160和致动器170。
磁盘5可以由主轴电机120来转动，并且在记录等期间由主轴电机120来转动。磁头滑块1是本发明的磁头滑块，它由转轴150可转动地支撑，并安装在托架臂160的端部，该托架臂160由致动器170来转动。
在这个磁盘装置100中，当记录或读取信息时，磁盘5在主轴电机120的作用下转动。同时，由致动器170驱动的托架臂160围绕着转轴150转动，从而远离磁盘5的磁头滑块1朝向旋转着的磁盘5的记录面的最内侧区域移动。然后，在致动器170的作用下，磁头滑块1从磁盘5的最内侧区域向最外侧区域移动，并进行向磁盘5记录(写入)信息和/或从磁盘5读出信息的操作。在完成了信息的记录或读出之后，磁头滑块1从磁盘5上方收回，并且磁盘5的转动停止。
当磁头滑块1在旋转着的磁盘5上方移动时，如图2所示，磁头滑块1的端部(即，磁头滑块1的进气端)在旋转着的磁盘5表面上产生的气流的作用下受到一个悬浮力，于是向上浮起从而高于后端(即，出气端)。具体来说，在磁头滑块1中，在面向磁盘5的表面上，即，在空气流出/流入面(ABS(气浮面))上，在从进气端流入的空气的作用下，向进气端侧正压部分12施加了一使其与磁盘5相分离的正压(悬浮力)，从而该进气端侧正压部分12向上浮起，并且在流过进气端侧正压部分12的空气的作用下，向负压部分10施加了一吸向磁盘5的负压，该负压部分10在磁头滑块1中距离磁盘5最远。在流过负压部分10的空气的作用下，按照与磁头滑块1中的进气端侧正压部分12相同的方式，向伸出得最靠近磁盘5的出气端侧正压部分16施加了一使其与磁盘5相分离的正压(悬浮力)，这样该出气端侧正压部分16将向上浮起。此外，在该负压部分10中，安装了两个或更多个增设导轨，图2中未示出，所以不管大气压(海拔高度)如何变化，负压总是得到适当的控制。
本发明的磁盘装置包括本发明的磁头滑块，这样，在记录等等期间从磁盘的内侧区域到外侧区域保持了一致的悬浮量，即使在寻道操作过程中也保持了恒定的悬浮间隙，对槽深没有限制，并且可以相对于槽深对悬浮量的变化进行最佳化。而且，该磁盘装置不需要额外增加结构或制造成本，不受加工误差和装配误差的限制，并且即使大气压发生变化(即使处于3000米的海拔高度)时也可以使用，允许高密度的记录，并且具有很高的性能。
本发明的磁盘装置例如可以用在各种记录/回放装置(例如，硬盘驱动器(HDD))中。
下面对本发明的一个实施例进行说明，不过应当明白，并不能认为本发明以任何方式受到这个实施例的限制。
(实施例1)
现在参照图4(平面图)对实施例1的磁头滑块中的面向磁盘的表面(即，空气流出/流入表面(ABS(气浮面))的形状进行说明。如图4所示，磁头滑块1包括进气端、出气端、进气端侧导轨11、负压部分10、三个增设导轨13、一对侧轨14、进气端侧正压部分12、出气端侧正压部分16和多个出气端导轨17。
进气端侧导轨11在磁头滑块1的宽度方向上延伸并与进气端相接触，并且具有宽度固定的带形形状。该进气端侧导轨11比负压部分10要高出一些，结果，在进气端侧导轨11与负压部分10之间的交界处形成一垂直部分(水平面差)。
进气端侧正压部分12沿着磁头滑块1的宽度方向延伸，与进气端侧导轨11相接触，而且比进气端侧导轨11更加靠近出气端侧，并且具有宽度固定的带形形状。进气端侧正压部分12比进气端侧导轨11伸出得更高，结果，在进气端侧正压部分12与进气端侧导轨11之间的交界处形成了另一个垂直部分(水平面差)。
一对侧轨14中的每一个在磁头滑块1的宽度方向的两端处分别从进气端向出气端侧延伸，并且具有宽度固定的带形形状。对于每个侧轨14来说，其一端与进气端侧正压部分12相接触，而另一端的末端部分形状具有一与磁头滑块1的宽度方向相平行的平面。侧轨14伸出于负压部分10之上，并且被形成得低于进气端侧正压部分12，结果，在进气端侧正压部分12与侧轨14之间的交界处以及在侧轨14与负压部分10之间的交界处形成了垂直部分(水平面差)。
三个增设导轨13各自从进气端向出气端延伸，并且具有宽度固定的带形形状。对于每个增设导轨13来说，其一端与进气端侧正压部分12相接触，而其另一端的端部形状具有一与磁头滑块1的宽度方向相平行的平面。增设导轨13伸出于负压部分10之上，并且被形成得低于进气端侧正压部分12。结果，在进气端侧正压部分12与增设导轨13之间的交界处以及在增设导轨13与负压部分10之间的交界处形成了垂直部分(水平面差)。在所有情况下，三个增设导轨13和一对侧轨14都具有30μm的宽度(L)，并且相邻导轨之间的间隔(S)为150μm。在实施例1的磁头滑块1中，这三个增设导轨13和一对侧轨14都朝着出气端伸出相同的长度，这些导轨形成了五个梳状齿(齿梳导轨)。
三个出气端侧正压部分16以近似相等的间隔设置在磁头滑块1的出气端侧，并且具有带形形状。在出气端侧正压部分16中，位于磁头滑块1的宽度方向上的两端的两个部分的宽度是相等的。出气端侧正压部分16在磁头滑块1的宽度方向上延伸并且伸出于负压部分10之上，结果，在出气端侧正压部分16与负压部分10之间的交界处形成了垂直部分(水平面差)。
设置得与出气端侧正压部分16相接触的三个出气端导轨17伸出得比出气端侧正压部分16靠近进气端，并且比增设导轨13和侧轨14在出气端侧的端部靠近出气端侧，而且是带形的。在出气端导轨17中，位于磁头滑块1的宽度方向上的两端的两个导轨的宽度是相等的。出气端导轨17在磁头滑块1的宽度方向上延伸，伸出于负压部分10之上，并且被形成得低于出气端侧正压部分16。结果，在出气端侧正压部分16与出气端导轨17的交界处以及在出气端导轨17与负压部分10之间的交界处形成了垂直部分(水平面差)。组合起来，可将出气端侧正压部分16和出气端导轨17称为“出气端块15”。
换句话说，在磁头滑块1中，在空气流出/流入表面(ABS(气浮面))内，进气端侧导轨11、三个增设导轨13、一对侧轨14和多个出气端导轨17都伸出于负压部分10之上，所以在负压部分10与进气端侧导轨11、三个增设导轨13、一对侧轨14或多个出气端导轨17之间的各个交界处都形成了一垂直部分(水平面差)。而且，进气端侧正压部分12和出气端侧正压部分16比进气端侧导轨11、三个增设导轨13、一对侧轨14和多个出气端导轨17伸出得更多，所以在进气端侧导轨11、三个增设导轨13、一对侧轨14或多个出气端导轨17与进气端侧正压部分12或出气端侧正压部分16之间的各个交界处都形成了一垂直部分(水平面差)。
在上文中，对与作为基准面的负压部分10相比其它部件伸出的程度进行了说明，不过现在，反过来，将考虑这样一个问题：与作为基准面的进气端侧正压部分12和出气端侧正压部分16相比，由其它部件形成的槽有多深。在这种情况下，进气端侧导轨11、三个增设导轨13、一对侧轨14或出气端导轨17都被形成得低于进气端侧正压部分12和出气端侧正压部分16(浅槽)，并且负压部分10被形成得比进气端侧导轨11、三个增设导轨13、一对侧轨14或多个出气端导轨17更低(深槽)。
在图1所示的磁盘装置100中，磁头滑块1固定在托架臂160的端部，并且当其在旋转着的磁盘5上方移动时，如图2所示，磁头滑块1在磁盘5上方被悬浮着托起。具体来讲，在磁头滑块1的空气流出/流入面(ABS(气浮面))内，在从进气端流入的空气的作用下，向进气端侧正压部分12施加了一个用于使其与磁盘5相分离的正压(悬浮力)，从而进气端侧正压部分12向上浮起。接着，在已经流过进气端侧正压部分12的空气的作用下，向负压部分10施加了一个吸向磁盘5的负压。该负压起到了抵消所述正压的作用。因此，如图2所示，在由于磁盘5的旋转而在其表面上产生的气流的作用下，磁头滑块1的前端(即，进气端)受到了一正压(悬浮力)的作用，该正压用于将进气端抬起，反之，后端(即，出气端)受到了用于将出气端压向磁盘5的负压的作用。结果，磁头滑块1保持为进气端悬浮得高于出气端的状态。在磁头滑块1中，由于流过负压部分10之后的空气的通过，按照与进气端侧正压部分12相同的方式，伸出得最靠近磁盘5的出气端侧正压部分16受到了一个正压(悬浮力)的作用，并且向上浮起。由出气端侧正压部分16所引起的正压(悬浮力)起到了抵消由负压部分10所引起的负压的作用。因此，如图2所示，有效地防止了磁头滑块1的后端(即，出气端侧)向着磁盘5降下并与磁盘5相接触，并且磁头滑块1被悬浮着保持在距离磁盘5一固定间隔的位置处。
在负压部分10内，三个增设导轨13(图2中未示出)以相等的间隔安装在一对侧轨14内侧，所以不管大气压(海拔高度)如何变化，负压部分10内的负压的力始终得到了适当的控制。结果，实施例1的磁头滑块1从磁盘5的内侧区域到外侧区域可以保持一致的悬浮量，即使在寻道操作期间也可以保持固定的悬浮间隙，不会受到“浅槽”或“深槽”的槽深的限制，允许相对于槽深对悬浮量变化进行最佳化，不需要额外增加结构或制造成本，不会受到加工误差或装配误差的限制，特别是，即使当大气压发生变化时也可以使用(即使在3000米的海拔高度处也可以使用)。
针对0米和3000米的海拔高度，对实施例1的磁头滑块在磁盘上方的径向位置与悬浮量之间的关系进行了仿真，如图10所示(纵轴和横轴均以无量纲的单位表示)，海拔高度3000米处的悬浮量略小于0米处的悬浮量，不过在各个海拔高度(大气压)条件下，发现不管海拔高度是0米还是3000米，在磁盘的任何径向位置上都可以保持恒定的悬浮量。
另一方面，对于如上所述没有配备实施例1中的磁头滑块的增设导轨的现有技术磁头滑块，针对0米和3000米的海拔高度对磁头滑块在磁盘上方的径向位置与悬浮量之间的关系进行了仿真，如图9所示(纵轴和横轴均以无量纲的单位表示)，海拔高度3000米处的悬浮量比0米处的小很多，并且发现，在海拔高度3000米处使用时，悬浮量根据磁盘的径向位置而改变，而不能保持恒定的悬浮量。
而且，对实施例1的磁头滑块的深槽深度(与作为基准面的进气端侧正压部分或出气端侧正压部分相比较而得到的负压部分的槽深)与悬浮量比率(海拔高度0米/海拔高度3000米)之间的关系进行了仿真，如图11所示(纵轴和横轴均是无量纲的)，发现：即使深槽深度发生了变化，悬浮量比率基本上也是恒定的，而且在实施例1的磁头滑块中，槽深对大气压的依赖性很小，大气压(海拔高度)的影响也很小。
另一方面，对于如上所述没有配备实施例1的磁头滑块的增设导轨的现有技术磁头滑块，对深槽深度(与作为基准面的进气端侧正压部分或出气端侧正压部分相比较而得到的负压部分的槽深)与悬浮量比率(海拔高度0米/海拔高度3000米)之间的关系进行了仿真，如图11所示，发现：当深槽深度发生变化时，悬浮量比率变化很大，而且在该现有技术磁头滑块中，槽深对大气压的依赖性很大，大气压(海拔高度)的影响也很大。
(实施例2)
如图5(平面图)所示，实施例2的磁头滑块与实施例1的磁头滑块1大致相同，只是在实施例2的磁头滑块1中，与位于相邻位置的增设导轨13在出气端侧的末端部分以及位于增设导轨13外侧的侧轨14在出气端侧的末端部分相比，中央的增设导轨13在出气端侧的末端部分朝着出气端伸出得更远。该磁头滑块与实施例1的磁头滑块具有相同的效果。
(实施例3)
如图6(平面图)所示，实施例3的磁头滑块与实施例1的磁头滑块1大致相同，只是在实施例3的磁头滑块1中，中央的增设导轨13在出气端侧的末端部分比位于相邻位置的增设导轨13在出气端侧的末端部分朝向出气端伸出得更远，并且这些相邻的增设导轨13在出气端侧的末端部分比位于这些相邻的增设导轨13外侧的侧轨14在出气端侧的末端部分朝向出气端侧伸出得更远。该磁头滑块与实施例1的磁头滑块具有相同的效果。
在实施例3的磁头滑块中，侧轨14在出气端侧的末端部分的中心点、与这些侧轨14相邻设置的增设导轨13在出气端侧的末端部分的中心点以及与这些增设导轨13相邻的中央增设导轨13在出气端侧的末端部分的中心点可以由两条直线(末端部分中心点连接线)连接起来。
(实施例4)
如图7(平面图)所示，实施例4的磁头滑块与实施例3的磁头滑块1大致相同，只是在实施例4的磁头滑块1中，位于两端的出气端导轨17a面向负压部分10的边界线与前面所述的末端部分中心点连接线相平行。该磁头滑块与实施例3的磁头滑块具有相同的效果。
(实施例5)
如图8(平面图)所示，实施例5的磁头滑块与实施例1的磁头滑块1大致相同，只是在实施例5的磁头滑块1中，三个增设导轨13(齿梳导轨)由一个U形导轨(是通过用一个连接导轨13a将进气端侧的两个增设导轨的末端部分连接起来而形成的)代替了。
对于实施例5的磁头滑块，针对0米和3000米的海拔高度对磁头滑块在磁盘上方的径向位置与悬浮量之间的关系进行了仿真，如图13所示(纵轴和横轴都是无量纲)，海拔高度3000米处的悬浮量比0米处的悬浮量略小，不过在各个海拔高度(大气压)条件下，发现：不管海拔高度是0米还是3000米，在磁盘的任何径向位置上都可以保持恒定的悬浮量。
另一方面，对于如上所述的没有配备实施例5中的磁头滑块的增设导轨的现有技术磁头滑块，针对0米和3000米的海拔高度对磁头滑块在磁盘上方的径向位置与悬浮量之间的关系进行了仿真，如图12所示(纵轴和横轴均以无量纲的单位表示)，海拔高度3000米处的悬浮量比0米处的悬浮量小很多，并且发现：在海拔高度3000米处使用时，悬浮量根据磁盘的径向位置发生变化，从而不能保持恒定的悬浮量。
本发明的磁头滑块从磁盘的内侧区域到外侧区域保持一致的悬浮量，即使在寻道操作期间也保持恒定的悬浮间隙，没有槽深的限制，并且可以相对于槽深对悬浮量变化进行最佳化。而且，该磁头滑块不需要额外增加结构或制造成本，不受加工误差和装配误差的限制，并且即使当大气压发生变化(即使在3000米的海拔高度处)时也可以使用。该磁头滑块可以方便地在诸如硬盘驱动器(HDD)的磁盘装置以及其它记录装置中使用。
本发明的磁盘装置可以方便地在诸如硬盘驱动器(HDD)的磁盘装置以及其它记录装置中使用。由于它包括本发明的磁头滑块，所以从磁盘的内侧区域到外侧区域都保持了一致的悬浮量，即使在寻道操作期间也保持了恒定的悬浮间隙，没有槽深的限制，并且可以相对于槽深对悬浮量变化进行最佳化。而且，该磁盘装置不需要额外增加结构或制造成本，不受加工误差和装配误差的限制，并且即使当大气压发生变化(即使在3000米的海拔高度处)时也可以使用，所以海拔高度约3000米的高地上也可以使用，而没有任何明显的性能损失。

Claims (26)

1.一种磁头滑块，其包括：
向盘表面，具有一用于空气流入的进气端和一用于空气流出的出气端；
进气端侧导轨，位于所述向盘表面上，并且沿着所述进气端延伸；
负压部分，位于所述向盘表面上，比所述进气端侧导轨更靠近所述出气端，该负压部分在使用的时候产生一负压；以及
两个或更多个增设导轨，位于所述向盘表面上，并在所述负压部分中从所述进气端向所述出气端延伸。
2.根据权利要求1所述的磁头滑块，其中，所述增设导轨的数量是三个或更多个。
3.根据权利要求1所述的磁头滑块，其中，所述进气端侧导轨沿着所述进气端连续地延伸。
4.根据权利要求1所述的磁头滑块，还包括两个或更多个侧轨，该多个侧轨位于所述向盘表面上，并在所述磁头滑块的宽度方向上的两端处至少部分地从所述进气端向所述出气端延伸，
其中，所述负压部分比所述进气端侧导轨更加靠近所述出气端，并且以所述多个侧轨为边界。
5.根据权利要求4所述的磁头滑块，其中，所述多个增设导轨在所述出气端侧的多个末端部分中的至少一个比所述多个侧轨在所述出气端侧的多个末端部分向所述出气端侧伸出得更远。
6.根据权利要求4所述的磁头滑块，其中，所述多个增设导轨在所述出气端侧的多个末端部分比所述多个侧轨在所述出气端侧的多个末端部分向所述出气端侧伸出得更远。
7.根据权利要求4所述的磁头滑块，其中，在所述多个增设导轨中，位于从宽度方向上的两端处的所述多个侧轨开始经过相等数量的导轨的位置处并且在宽度方向上靠近中央的多个增设导轨在所述出气端侧的多个末端部分中的至少一个比其它的多个增设导轨在所述出气端侧的多个末端部分向所述出气端侧伸出得更远。
8.根据权利要求4所述的磁头滑块，其中，按照从位于与所述多个侧轨相邻的位置处的多个增设导轨开始到位于中央附近的多个增设导轨的顺序，所述多个增设导轨在所述出气端侧的多个末端部分向所述出气端侧一个比一个伸出得更远。
9.根据权利要求1所述的磁头滑块，其中，所述多个增设导轨在所述出气端侧的末端部分的形状具有一与宽度方向相平行的平面。
10.根据权利要求4所述的磁头滑块，其中，将所述多个侧轨和所述多个增设导轨在所述出气端侧的多个末端部分在宽度方向上的相邻中心点连接起来的线，是一条从所述多个侧轨到所述中央附近的直线。
11.根据权利要求4所述的磁头滑块，还包括一进气端侧正压部分，其比所述进气端侧导轨更加靠近所述出气端，并且比所述多个增设导轨和所述多个侧轨更加靠近进气端，该进气端侧正压部分在使用的时候产生一正压。
12.根据权利要求11所述的磁头滑块，其中，所述进气端侧正压部分沿着所述进气端侧导轨并且与所述进气端侧导轨相接触着在宽度方向上延伸，并且所述多个增设导轨和所述多个侧轨在所述进气端侧的多个末端部分中的至少一个与所述进气端侧正压部分相接触。
13.根据权利要求4所述的磁头滑块，还包括一位于所述向盘表面上的连接导轨，
其中，所述多个增设导轨和所述多个侧轨在所述进气端侧的多个末端部分中的至少两个由在宽度方向上延伸的所述连接导轨连接起来。
14.根据权利要求13所述的磁头滑块，其中，所述连接导轨的数量是两个或更多。
15.根据权利要求4所述的磁头滑块，其中，所述多个增设导轨和所述多个侧轨具有宽度固定的带形形状。
16.根据权利要求1所述的磁头滑块，其中，相邻的多个增设导轨之间的距离是10μm到120μm。
17.根据权利要求1所述的磁头滑块，其中，所述多个增设导轨的宽度是5μm到100μm。
18.根据权利要求4所述的磁头滑块，包括一出气端侧正压部分，其位于所述向盘表面上，并且比所述多个增设导轨和所述多个侧轨更加靠近所述出气端，出气端侧正压部分在使用的时候产生一正压。
19.根据权利要求18所述的磁头滑块，其中，所述出气端侧正压部分的数量是2到4个。
20.根据权利要求18所述的磁头滑块，其中，所述多个出气端侧正压部分基本上是块状的，并且位于宽度方向上的中央附近的多个出气端侧正压部分在所述出气端侧的多个末端部分中的至少一个比其它出气端侧正压部分在所述出气端侧的多个末端部分更加靠近所述出气端。
21.根据权利要求11所述的磁头滑块，其中，当所述向盘表面是面向下定位的时候，所述进气端侧导轨、多个侧轨和多个增设导轨比所述负压部分向下伸出得更远，并且所述进气端侧正压部分比所述进气端侧导轨、多个侧轨和多个增设导轨向下伸出得更远。
22.根据权利要求18所述的磁头滑块，其中，当所述向盘表面是面向下定位的时候，所述进气端侧导轨、多个侧轨和多个增设导轨比所述负压部分向下伸出得更远，并且所述进气端侧正压部分和所述出气端侧正压部分比所述进气端侧导轨、多个侧轨和多个增设导轨向下伸出得更远。
23.根据权利要求22所述的磁头滑块，还包括一与所述出气端侧正压部分的进气端侧相邻的出气端导轨，该出气端导轨伸出得低于所述出气端侧正压部分而高于所述负压部分。
24.根据权利要求23所述的磁头滑块，其中，所述出气端导轨与所述负压部分相接触的边沿与将所述多个侧轨和多个增设导轨在所述出气端侧的多个末端部分在宽度方向上的相邻中心点相互连接起来的线基本上平行。
25.根据权利要求1所述的磁头滑块，具有一对称面中心位于从所述进气端向所述出气端延伸的中心轴上的对称形状。
26.一种包括至少一个磁头滑块的磁盘装置，该磁头滑块包括：
向盘表面，具有一用于空气流入的进气端和一用于空气流出的出气端；
进气端侧导轨，位于所述向盘表面上，并且沿着所述进气端延伸；
负压部分，位于所述向盘表面上，比所述进气端侧导轨更加靠近所述出气端，该负压部分在使用的时候产生一负压；以及
两个或更多个增设导轨，位于所述向盘表面上，并且在所述负压部分中从所述进气端向所述出气端延伸。
CNB2004100060687A 2003-07-15 2004-02-27 磁头滑块和包括它的磁盘装置 Expired - Fee Related CN1295683C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP274978/2003 2003-07-15
JP2003274978A JP4198557B2 (ja) 2003-07-15 2003-07-15 ヘッドスライダ及びそれを備えた磁気ディスク装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1577503A true CN1577503A (zh) 2005-02-09
CN1295683C CN1295683C (zh) 2007-01-17

Family

ID=34056104

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2004100060687A Expired - Fee Related CN1295683C (zh) 2003-07-15 2004-02-27 磁头滑块和包括它的磁盘装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7236329B2 (zh)
JP (1) JP4198557B2 (zh)
KR (1) KR20050008457A (zh)
CN (1) CN1295683C (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8815060B2 (en) * 2004-08-30 2014-08-26 HGST Netherlands B.V. Method for minimizing magnetically dead interfacial layer during COC process
KR100660906B1 (ko) 2005-12-29 2006-12-26 삼성전자주식회사 헤드슬라이더 및 이를 구비한 하드디스크 드라이브
JP2008059660A (ja) * 2006-08-30 2008-03-13 Fujitsu Ltd ヘッドスライダ
DE102007056296B4 (de) * 2007-11-22 2014-12-04 Seuffer gmbH & Co. KG Kontaktvorrichtung mit Federkontakten

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2408897A1 (fr) * 1977-11-15 1979-06-08 Cii Honeywell Bull Procede du temps de decollage d'une plate-forme comportant au moins un transducteur de lecture/ecriture d'un support d'information, plate-forme resultant de l'execution du procede, et procede de fabrication d'une telle plate-forme
US5438467A (en) * 1992-10-28 1995-08-01 International Business Machines Corporation Negative pressure air bearing design
JPH08263823A (ja) 1995-03-20 1996-10-11 Sony Corp 浮上型ヘッドスライダ及びディスクドライブ装置
JP2874667B2 (ja) * 1996-10-23 1999-03-24 日本電気株式会社 浮動ヘッドスライダ
JP3105850B2 (ja) 1997-11-14 2000-11-06 日本電気株式会社 磁気ヘッド
JP2000030389A (ja) * 1998-07-08 2000-01-28 Fujitsu Ltd ヘッドスライダ及びディスク装置
JP2000057724A (ja) 1998-08-04 2000-02-25 Hitachi Ltd 磁気ヘッドスライダ及びそれを用いた磁気ディスク装置
JP3674347B2 (ja) 1998-09-28 2005-07-20 富士通株式会社 負圧ヘッドスライダ
JPWO2001069601A1 (ja) * 2000-03-14 2004-01-08 富士通株式会社 負圧ヘッドスライダ及びディスク装置
KR100382757B1 (ko) * 2000-06-22 2003-05-01 삼성전자주식회사 부압 공기 윤활 베어링 슬라이더
US6710976B2 (en) * 2000-10-04 2004-03-23 Seagate Technology Llc Disk head slider having air bearing pressure relief features
US6920015B2 (en) * 2001-04-03 2005-07-19 Seagate Technology Llc Disc head slider designs to reduce particle sensitivity
US6809904B2 (en) * 2001-09-27 2004-10-26 Seagate Technology Llc Disc head slider designs with particle flushing channels
JP3917409B2 (ja) * 2001-11-16 2007-05-23 富士通株式会社 ヘッドスライダ及びディスク装置
US6744599B1 (en) * 2002-04-30 2004-06-01 Western Digital Technologies, Inc. Air bearing slider with an angularly disposed channel formed between a side rail and a leading side air bearing surface

Also Published As

Publication number Publication date
CN1295683C (zh) 2007-01-17
US7236329B2 (en) 2007-06-26
JP2005038522A (ja) 2005-02-10
JP4198557B2 (ja) 2008-12-17
US20050013049A1 (en) 2005-01-20
KR20050008457A (ko) 2005-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1314005C (zh) 磁记录媒体的制造方法以及磁记录媒体
CN1248229C (zh) 含磁头滑动器的记录媒体驱动装置及磁头滑动器的制造方法
CN1655238A (zh) 用空气轴承面镶嵌工艺制造的垂直磁记录头
CN1267926C (zh) 具有磁头滑块的磁头装置及使用磁头装置的磁盘装置
CN1438627A (zh) 磁头滑块和设有磁头滑块的磁盘装置
CN1851809A (zh) 头、头悬架组件和设有该头悬架组件的盘装置
CN1677508A (zh) 浮动磁头滑动件以及磁盘设备
CN1684147A (zh) 磁头浮动块和磁盘驱动器
JP2004014073A (ja) 薄膜磁気ヘッド
CN1295683C (zh) 磁头滑块和包括它的磁盘装置
CN1204560C (zh) 光盘托架和使用该托架的光盘驱动器
CN1598931A (zh) 磁头滑动器以及使用该构件的磁盘驱动装置
CN1762658A (zh) 磁头研磨用夹具、研磨装置以及研磨方法
US10832718B2 (en) Slider gas-bearing surface designs with leading-edge pockets
CN1249674C (zh) 磁头和具备该磁头的磁记录装置
CN1677498A (zh) 磁头滑动件的制造方法、磁头滑动件和磁盘装置
US20050231852A1 (en) Slider for high density magnetic recording
JP2003151103A (ja) 記録装置
US11587584B1 (en) Slider air bearing design with ultra-low pressure for low power-consumption data storage devices
CN1612217A (zh) 用于研磨薄膜磁头的装置和方法
CN1991987A (zh) 盘片装置的读写头滑块
CN1920960A (zh) 磁头滑块的制造方法
US20060132978A1 (en) Slider for high density magnetic recording
US6852013B2 (en) Method of burnishing a burnishable rear pad slider in a disk drive
CN1132181C (zh) 头滑动器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: TOSHIBA STORAGE DEVICE CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: FUJITSU LIMITED

Effective date: 20091204

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20091204

Address after: Tokyo, Japan

Patentee after: Fujitsu Ltd.

Address before: Kawasaki, Kanagawa, Japan

Patentee before: Fujitsu Ltd.

C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20070117

Termination date: 20100227