CN1599073A - 固体摄像器件、固体摄像器件的制造方法、摄影机 - Google Patents

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Abstract

本发明的固体摄像器件，具有构成受光面的多个受光元件以及与受光元件相对应的多个微透镜(7)，在上述多个微透镜上具有平整化膜(8)，上述微透镜(7)在受光面的中心部，位于对应的光电二极管(1)的正上面，随着从受光面的中心部向端部靠近，上述微透镜(7)位于从对应的光电二极管(1)的正上面偏向中心部的位置。

Description

固体摄像器件、固体摄像器件的制造方法、摄影机
技术领域
本发明涉及在半导体基片上形成的多个受光元件上分别具有微透镜的固体摄像器件及其制造方法。
背景技术
近几年，在固体摄像器件的像素数增多的同时，摄影机也在小型化。
在数码静态摄影机和带有摄影机的携带式电话机等中，随着摄影机的小型化，出射光瞳距离不断缩短。在此，所谓出射光瞳是指从受光面一侧观察的透镜(或光圈)的虚像，所谓出射光瞳距离是指受光面和透镜的距离(参见图18)。
图18表示携带式电话机的摄影机部分的剖视图。在携带式电话机的机身111上安装有透镜110，在携带式电话机内部具有CCD图像传感器112。透镜110和CCD图像传感器112之间的距离是出射光瞳距离D。由于出射光瞳距离缩短，光垂直射入到受光面的中心附近，但在受光面的端部不能垂直射入光，而只能射入斜光。
图1是表示用于缩短出射光瞳距离的、过去的固体摄像器件中的受光元件和微透镜的位置关系的剖视图。图中来自光源的光线表示来自透镜的入射光。该图左侧表示构成受光面的有效像素中的中心部的剖视图，右侧表示构成受光面的有效像素中的端部的剖视图。如该图左侧所示，在受光面的中心部在受光元件1的正上面，形成有层内透镜3，滤色镜5和微透镜7。与此相对应，如该图右侧所示，在受光面的端部，从受光元件1的正上面，层内透镜3、滤色镜5、微透镜7依次形成在向中心部偏移的位置上。这样，在过去的固体摄像器件中，作为缩短出射光瞳距离的对策，在CCD图像传感器受光面的受光元件的上部，使微透镜错开形成。这样，能提高在受光面端部入射的斜光的聚光率。
并且，特开平6-326284号公报公开的固体摄像器件，在微透镜上，具有一层折射率比微透镜材料低的透明镜，能减少透镜光圈敞开时的灵敏度降低。
然而，根据上述现有技术，近几年对于携带式电话机用摄影机和数码静态摄影机的薄型化来说，出射光瞳距离的缩短已经到了极限。例如，对于图1的结构，若进一步缩短出射光瞳距离，则如图2所示，不能在受光元件上聚光，由于受光面端部的灵敏度不足而产生暗影。也就是说从图像的中心部起越靠近端部，灵敏度越差，越靠近图像周围越暗，图像质量下降。
再者，由于出射光瞳距离缩短，在图2的情况下，为了使微透镜偏移于适当位置而形成，在形成微透镜的工序中，必须以更高的精度对掩模进行定位，其定位在设计和制造上均很难做到。
并且，特开平6-326284号公报的固体摄像器件，虽然能抑制光圈敞开时的灵敏度降低，但对于缩短出射光瞳距离，存在同样的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种既能减少暗影又能缩短出射光瞳距离的固体摄像器件及其制造方法和摄影机。
为了解决上述问题，本发明的固体摄像器件，具有构成受光面的多个受光元件以及与受光元件相对应的多个微透镜，在上述多个微透镜上具有平整化膜；上述微透镜，在受光面的中心部位于对应的受光元件的正上面，随着从受光面的中心部向端部靠近，其位于从对应的受光元件的正上面偏向中心部的位置。
这里，上述平整化膜的折射率也可以小于微透镜的折射率。
根据这种结构，由于平整膜对入射角度的缓和、以及偏移对聚光率的提高互相结合，既能使暗影减少，又能使出射光瞳距离缩短。
这里，也可以是：上述微透镜排列成行列状，微透镜之间在行方向和列方向上无间隙地邻接。
根据这种结构，能进一步提高微透镜的聚光率。
这里，上述固体摄像器件在上述微透镜和受光元件之间还具有层内透镜；上述层内透镜，在受光面的中心部位于对应的受光元件的正上面，随着从受光面的中心部向端部靠近，其位于从对应的受光元件的正上面偏向中心部的位置；各微透镜的偏移大于对应的层内透镜的偏移。
根据这种结构，即使具有2层或2层以上的微透镜，或者2层或2层以上的层内透镜，也能既减少暗影，又缩短出射光瞳距离。
这里，也可以是，上述微透镜的曲率和厚度中的至少一种大于上述层内透镜。
根据该结构，能进一步提高微透镜的聚光率。
这里，上述微透镜也可以兼用作滤色镜。
根据该结构，能按照不需要的滤色镜层的量，相应地减小固体摄像器件的薄膜厚度。
并且，本发明的固体摄像器件的制造方法、具有固体摄像器件的摄影机也具有和上述相同的结构作用。
根据本发明的固体摄像器件，平整膜使入射角度的缓和、以及微透镜的偏移对受光面端部聚光率的提高互相结合，既能使暗影减少，又能缩短出射光瞳距离。
附图说明
图1是过去的固体摄像器件的剖视图。
图2是过去的固体摄像器件的剖视图。
图3是本发明第1实施方式中的固体摄像器件的剖视图。
图4是表示固体摄像器件的制造工序的图。
图5是表示固体摄像器件的制造工序(续)的图。
图6是表示固体摄像器件的制造工序的变形例的图。
图7是本发明第2实施方式中的固体摄像器件的剖视图。
图8是表示固体摄像器件的制造工序的图。
图9是表示固体摄像器件的制造工序(续)的图。
图10是表示固体摄像器件的制造工序的变形例的图。
图11是本发明第3实施方式中的固体摄像器件的剖视图。
图12是表示固体摄像器件的制造工序的图。
图13是表示固体摄像器件的制造工序(续)的图。
图14是表示固体摄像器件的制造工序变形例的图。
图15是本发明第4实施方式中的固体摄像器件的剖视图。
图16是表示固体摄像器件的制造工序的图。
图17是表示固体摄像器件的制造工序的变形例的图。
图18是表示摄影机透镜和CCD图像传感器的位置关系的图。
具体实施方式
<第1实施方式>
<固体摄像器件的结构>
图3是表示本发明第1实施方式的固体摄像器件的剖视图。该固体摄像器件具有由2维排列的受光元件(光电二极管)构成的受光面。在该图中，示出了受光面中的中心部的2个受光元件的剖面(该图左侧)和端部的2个受光元件的剖面(该图右侧)。此外，图中的实线表示来自光源(相当于图18所示的透镜110)的入射光的模式。
在该图中，固体摄像器件的硅半导体基片10上形成的光电二极管1上，依次层叠形成以BPSG(硼磷硅玻璃)等为材料的平整化的透明绝缘膜(保护膜)2、其上的凸形状的高折射率(n＝1.5～2.0)的层内透镜3、以丙烯酸类透明树脂为材料的层内透镜平整膜4、以含有染料或颜料的彩色抗蚀剂为材料的滤色镜5、以丙烯酸类透明树脂为材料的透明膜6、微透镜7(或称为顶部透镜)以及平整化膜8。利用以下两点，能缩短射出光瞳距离。即，(1)在微透镜7上有平整化膜8，(2)随着层内透镜3、滤色镜5和微透镜7的位置接近受光面的端部，布置在偏向中心的位置。而且，包括一个光电二极管1的各单元尺寸，例如纵横分别约为3μm或其以下，从光电二极管1到微透镜7下面的距离约为3μm～5μm程度。
对第(1)项具体说明如下：平整化膜8采用其折射率小于微透镜7的折射率(n＝1.6～1.7)的材料。例如，平整化膜8的材料是折射率为n＝1.4～1.5的丙烯酸类树脂。这样，如该图右侧所示，在受光面内的有效像素群的端部，只有(以受光面的垂直方向为0度)入射角大的入射光达到，但入射角大的入射光透射平整化膜8可缓和(减小)对微透镜7的入射角。并且，层内平整膜4采用的材料，其折射率小于层内透镜3的折射率。例如折射率n＝1.4～1.5的丙烯酸类树脂。
对第(2)项说明如下：如该图左侧所示，在受光面内的有效像素群的中心部，层内透镜3、滤色镜5、微透镜7，形成在光电二极管1的正上面重叠的位置上，与此相比，如该图右侧所示，在受光面内的有效像素群的端部，层内透镜3、滤色镜5、微透镜7，形成在向中心部偏移的位置上。该偏移量，对于各层内透镜3、滤色镜5、微透镜7，端部最大，越靠近中心部越小，在中心部为0。并且，偏移量按照微透镜7、滤色镜5、层内透镜3的顺序越靠近上层越大。利用该偏移量，能够更有效地把端部的入射角大的入射光聚集到光电二极管1上。
并且，该图的固体摄像器件，除了第(1)、第(2)项外，作为提高聚光率用的结构，(3)，二维排列的微透镜7相互之间在行方向和列方向上无间隙地邻接形成。再者，(4)，各微透镜7的曲率和厚度形成为比层内透镜3大。这样，尽量增大微透镜7的口径，增大曲率，增大厚度，与上述第(1)、(2)项相结合，以提高聚光率。
如上所述，根据本实施方式1的固体摄像器件，用平整化膜8来缓和入射角、和上述聚光率的提高相互结合，在受光面端部对于更大的入射角的斜光，也能提高灵敏度。其结果既能缩短出射光瞳距离，又能抑制暗影。
<固体摄像器件的制造方法>
图4(a)～(c)和图5(d)～(e)是对第1实施方式的固体摄像器件，按照制造工序的顺序表示其剖面的图。该制造工序在以下第(11)～(15)项中进行说明。
(11)如图4(a)所示，形成层内透镜3，并在层内透镜3上形成层内透镜平整膜4。这时，层内透镜3是通过使用这样的掩模(第1掩模)来形成，该掩模中层内透镜3的形成位置越靠近受光面的端部，就越向中心部偏移。对层内透镜平整膜4，例如通过涂敷丙烯酸类树脂而形成。
(12)如图4(b)所示，在层内透镜平整膜4上形成滤色镜。例如，作为采用RGB(红绿兰)3色的原色滤色镜，设置代表性的拜耳排列(bayerarray)的情况下，对R、G、B各色反复进行彩色抗蚀剂的涂敷、曝光、显影。该曝光时，所使用的掩模(第2掩模)中，滤色镜5的形成位置越靠近受光面端部，就越向中心部偏移。这里，第2掩模与第1掩模相比，其偏移量更大。
这样，形成与每个光电二极管1相对应的滤色镜。
而且，在不形成原色滤色镜，而形成互补色滤色镜的情况下也是一样。例如作为互补色滤色镜，代表性的互补色方格排列中，对黄(ye)、品红(Mg)、青(Cy)的各互补色和绿(G)这4色，反复进行彩色抗蚀剂的涂敷、曝光、显影即可。
(13)如图4(c)所示，在滤色镜5上形成透明膜6。例如涂敷丙烯酸类树脂。
(14)如图5(d)所示，在透明镜6上形成微透镜7。具体来说，把酚醛类树脂(折射率n＝1.5～1.7)作为抗蚀剂，以1～2μm厚度进行涂敷、曝光、显影，仅在微透镜的布置位置上形成透镜层之后，利用热流来形成透镜曲面。在该曝光时，采用一种掩模(第3掩模)，该掩模中微透镜7的形成位置越靠近受光面端部，就越向中心部偏移。这里，第3掩模的偏移量大于第2掩模。
(15)如图5(e)所示，在微透镜7上形成平整化膜8。具体来说，通过涂敷1～2μm的丙烯酸类树脂(折射率n＝1.4～1.5)透明膜，来形成平整化膜8。
通过以上制造工序，可以制造图3所示的固体摄像器件。
<制造方法的变形例>
而且，图4、图5所示的制造方法中，也可进行(15a)和(16)的工序，以取代上述(15)的工序。图6(e)～(f)是表示该变形例中的(15a)、(16)的工序中的剖面的图。以下说明(15a)、(16)。
(15a)如图6(e)所示，在微透镜7上形成平整化膜8。具体来说，涂敷0.5～2μm的丙烯酸类树脂(折射率n＝1.4～1.5)的透明膜。
(16)如图6(f)所示，对上述涂敷的透明膜进行反复腐蚀，以便调整膜厚。而且，也可以反复进行(15a)和(16)。这样能高精度地调整平整化膜8的厚度。
这样，用本变形例也能制造图3所示的固体摄像器件，能高精度地最优化平整化膜8的厚度。
<第2实施方式>
<固体摄像器件的结构>
图7是本发明第2实施方式中的固体摄像器件的剖视图。该图的结构与图3的结构相比较，不同的是去除了滤色镜5，用微透镜7a来代替微透镜7，以下省略相同点的说明，以不同点为中心进行说明。
微透镜7a不透明、且兼用作滤色镜，这一点与微透镜7不同。
根据该结构，和第1实施方式一样，既能缩短出射光瞳距离，又能拟制暗影。此外，因微透镜7a兼用作滤色镜，所以，能减小固体摄像器件的膜厚，该减小的量相当于滤色镜层的厚度。例如，第1实施方式中的固体摄像器件，从光电二极管1到微透镜7底部的距离为3.0～5.5μm的情况下，第2实施方式的固体摄像器件的膜厚能减小到2.0～4.5μm。其结果，在邻接的光电二极管之间，能减少滤色镜透射光混色，能提高图像质量。
<固体摄像器件的制造方法>
图8(a)～(c)、图9(d)～(f)表示固体摄像器件的制造工序。在以下的(21)～(26)中说明其制造工序。
(21)，如图8(a)所示，形成层内透镜3，在层内透镜3上形成层内透镜平整膜4。该工序与上述(11)相同，故其详细说明从略。
(22)如图8(b)所示，在层内透镜平整膜4上涂敷彩色抗蚀剂R(0.5～2.0μm)。在图8(b)中，表示涂敷R(红)的彩色抗蚀剂的情况。
(23)对已涂敷的彩色抗蚀剂7R进行曝光、显影，仅在与R(红)相对应的光电二极管上形成彩色抗蚀剂7R，在该曝光时，使用一种掩模(第2掩模)，该掩模中彩色抗蚀剂的形成位置越靠近受光面端部，就越向中心部偏移。
(24)如图8(c)所示，对G(绿)、B(兰)也同样地进行彩色抗蚀剂的涂敷、曝光、显影，在与各色相对应的光电二极管上形成彩色抗蚀剂。图8(c)仅表示R和G的2个像素。但形成了RGB各色的彩色抗蚀剂。
(25)如图9(d)所示，在彩色抗蚀剂上对具有热流性的抗蚀剂(例如酚醛类树脂)进行涂敷、曝光、显影、热流处理，这样来形成微透镜的形状。
(26)如图9(e)所示，利用反复腐蚀来把透镜形状转印到彩色抗蚀剂上。这样，形成微透镜7a。
(27)如图9(f)所示，在微透镜7a上形成平整化膜8。该工序与上述(15)项相同，所以其详细说明从略。
利用以上制造工序能制造出图7所示的固体摄像器件。而且，在上述工序(23)、(24)中说明了采用原色滤色镜的情况，但如上述(12)项说明的那样，在采用互补色滤色镜的情况下，也同样能形成。
<变形例>
而且，在图8(a)～(c)和图9(d)～(f)中所示的制造方法中，也可利用(27a)和(28)工序来代替上述(27)工序。图10(f)、(g)表示该变形例的(27a)、(28)工序中的剖面的图。以下说明(27a)、(28)。
(27a)如图10(f)所示，在微透镜7a上形成平整化膜8。具体来说涂敷0.5～2μm的丙烯酸类树脂(折射率n＝1.4～1.5)的透明膜。
(28)如图10(g)所示，对已涂敷的透明膜进行反复腐蚀，以调整膜厚。而且，也可以反复进行(27a)和(28)。这样，能高精度地调整平整化膜8的膜厚。
这样，用本变形例也能制造出图7所示的固体摄像器件，能高精度地最优化透明膜8的膜厚。
<第3实施方式>
<固体摄像器件的结构>
图11是本发明第3实施方式中的固体摄像器件的剖视图。该图的结构与图3的结构相比较，不同的是去除了滤色镜5，利用层内透镜3a来代替层内透镜3。以下，对相同内容的说明从略，重点说明不同的内容。
层内透镜3a不透明、且兼用作滤色镜，这一点不同于层内透镜3。
根据该结构，和第1实施方式一样，既能缩短出射光瞳距离，又能拟制暗影。此外，因层内透镜3a兼用作滤色镜，所以，能减小固体摄像器件的膜厚，该减小的量相当于滤色镜层的厚度。例如，第1实施方式中的固体摄像器件，从光电二极管1到微透镜7的距离为3.0～5.5μm的情况下，第3实施方式的固体摄像器件的膜厚能减小到2.0～4.5μm。其结果，在邻接的光电二极管之间，能减少滤色镜透射光混色，能提高图像质量。
另外，第3实施方式的固体摄像器件，与第2实施方式的固体摄像器件相比较，作为滤色镜的层内透镜3a和光电二极管1的距离短，所以能进一步减少混色。
<固体摄像器件的制造方法>
图12(a)～(d)和图13(e)～(h)是按照固体摄像器件的制造工序的顺序依次表示其剖面的图。在以下的(31)～(39)中说明该制造工序。
(31)如图12(a)所示，在绝缘膜2上涂敷彩色抗蚀剂3R(0.5～2μm)。该图(a)表示涂敷R(红)的彩色抗蚀剂的情况。
(32)对已涂敷的彩色抗蚀剂7R进行曝光、显影，仅在与R(红)相对应的光电二极管上形成彩色抗蚀剂7R，在该曝光时，使用一种掩模(第1掩模)，该掩模中彩色抗蚀剂的形成位置越靠近受光面端部，就越向中心部偏移。
(33)如图12(b)所示，对G(绿)、B(兰)也同样地进行彩色抗蚀剂3G、3B的涂敷、曝光、显影，在与各色相对应的光电二极管上形成彩色抗蚀剂。图12(b)中仅表示R和G的2个像素。但形成了RGB各色的彩色抗蚀剂。
(34)如图12(c)所示，经过对具有热流性的抗蚀剂进行涂敷、曝光、显影、热流处理，在彩色抗蚀剂上形成层内透镜形状。该曝光时也使用和上述第1掩模相同的偏移量的掩模。
(35)如图12(d)所示，通过反复腐蚀来把层内透镜形状转印到彩色抗蚀剂上。这样，形成微透镜3a。
(36)如图13(e)所示，在层内透镜7上形成层内透镜平整膜4。
(37)如图13(f)所示，在层内透镜平整膜4上涂敷微透镜材料。
(38)如图13(g)所示，对所涂敷的微透镜材料进行涂敷、曝光、显影和热流处理，来形成微透镜7。工序(38)、(39)和上述(14)相同，所以其说明从略。
(39)如图13(h)所示，在微透镜上涂敷平整化膜8。该工序与上述(15)相同，故其详细说明从略。
通过以上制造工序，可以制造出图11所示的固体摄像器件。而且在上述工序(31)～(33)中，说明了原色滤色镜的情况，但如上述(12)中说明的那样，互补色滤色镜的情况下也同样能形成。
<变形例>
而且，在图12(a)～(d)和图13(e)～(h)所示的制造方法中，也可以利用(39a)和(40)工序来代替上述(39)工序。图14(h)、(i)是表示该变形例的(39a)、(40)工序中的剖面的图。以下说明(39a)、(40)。
(39a)如图14(h)所示，在微透镜7上形成平整化膜8。具体来说，涂敷0.5～2μm的丙烯酸类树脂(折射率n＝1.4～1.5)的透明膜。
(40)如图14(i)所示，对上述涂敷的透明膜进行反复腐蚀，以调整膜厚。而且，也可以反复进行(39a)和(40)。这样，能高精度地调整平整化膜8的厚度。
这样，用本变形例也能制造图11所示的固体摄像器件，也能高精度地优化平整化膜8的厚度。
<第4实施方式>
<固体摄像器件的结构>
图15是本发明第4实施方式的固体摄像器件的剖视图。该图的结构，与图11的结构相比较，不同的是去除了层内透镜平整膜4、滤色镜5、和微透镜7；在层内透镜3上有平整化膜8。并且，平整化膜8可以使用和层内透镜平整膜4相同的材料。所以，该图的固体摄像器件与图11相比较，也可以是去除了微透镜7和平整化膜8的结构。
根据该结构，和第3实施方式一样，既能缩短出射光瞳距离，又能抑制暗影，此外，因为不同点是2层微透镜7和层内透镜3成为一层的层内透镜3a，所以能进一步减小固体摄像器件的膜厚。
<固体摄像器件的制造方法>
图16(a)～(e)是按照第4实施方式的固体摄像器件的制造工序的顺序，示出其剖面的图。其制造工序在以下(41)～(46)中说明。
(41)如图16(a)所示，在绝缘膜2上涂敷彩色抗蚀剂3R(0.5～2μm)。该工序与上述(31)相同，故其说明从略。
(42)对所涂敷的彩色抗蚀剂3R进行曝光、显影，从而仅在与R(红)相对应的光电二极管上形成彩色抗蚀剂3R。该工序与上述(32)相同，所以其说明从略。
(43)如图16(b)所示，对G(绿)、B(兰)也同样地进行彩色抗蚀剂3G、3B的涂敷、曝光、显影，在与各色相对应的光电二极管上形成彩色抗蚀剂。该工序与上述(33)相同，所以其说明从略。
(44)如图16(c)所示，在彩色抗蚀剂上形成层内透镜形状，该工序和上述(34)相同，所以其说明从略。
(45)如图16(d)所示，再将层内透镜形状转印到彩色抗蚀剂上，来形成层内透镜3a。该工序与上述(35)相同，所以其说明从略。
(46)如图16(e)所示，在层内透镜3a上形成平整化膜8，该工序与上述(15)相同，所以其说明从略。
通过以上制造工序，能制造出图15所示的固体摄像器件。而且，在上述工序(41)～(43)中说明了原色滤色镜的情况，但如上述(12)中说明的那样，在互补色滤色镜的情况下，也能同样地形成。
<变形例>
而且，在图16(a)～(e)所示的制造方法中，也可利用(46a)和(47)工序来代替上述(46)工序。图17(e)、(f)是表示该变形例的(46a)、(47)工序中的剖面的图。
(46a)如图17(e)所示，在微透镜7上形成平整化膜8。具体来说涂敷0.5～2μm的丙烯酸类树脂(折射率n＝1.4～1.5)的透明膜。
(47)如图17(f)所示，对已涂敷的透明膜进行反复腐蚀，以调整膜厚。而且，也可以反复进行(46a)和(47)。这样，能高精度地调整平整化膜8的膜厚。
这样，用本变形例也能制造出图11所示的固体摄像器件，能高精度地最优化平整化膜8的膜厚。
并且，作为滤色镜的例，说明了原色滤色镜和互补色滤色镜。但也可以在色调优先的固体摄像器件中采用原色滤色镜，在分辩率、灵敏度优先的固体摄像器件中采用的互补色方式也可以。
并且，形成滤色镜5的材料有：含有染料的彩色抗蚀剂、含有颜料的彩色抗蚀剂等。无论选择那一种均可。并且，也可通过对能染色的透明抗蚀剂进行染色，形成滤色镜。
工业上的可利用性
本发明适用于在半导体基片上形成的多个受光元件上分别具有微透镜的固体摄像器件、及其制造方法、以及具有该固体摄像器件的摄影机，例如，适用于CCD图像传感器、MOS图像传感器、数码静态摄影机、装入电话手机的像机、装入笔记本电脑的摄影机、以及与信息处理设备相连接的摄影机单元等。

Claims (17)

1、一种固体摄像器件，具有构成受光面的多个受光元件以及与受光元件相对应的多个微透镜，其特征在于：在上述多个微透镜上具有平整化膜；上述微透镜，在受光面的中心部位于对应的受光元件的正上面，随着从受光面的中心部向端部靠近，其位于从对应的受光元件的正上面偏向中心部的位置。
2、如权利要求1所述的固体摄像器件，其特征在于：上述微透镜排列成行列状，微透镜之间形成为在行方向和列方向上无间隙地邻接。
3、如权利要求1所述的固体摄像器件，其特征在于：上述平整化膜的折射率小于微透镜的折射率。
4、如权利要求3所述的固体摄像器件，其特征在于：上述微透镜排列成行列状，微透镜之间形成为在行方向和列方向上无间隙地邻接。
5、如权利要求1所述的固体摄像器件，其特征在于：上述固体摄像器件在上述微透镜和受光元件之间还具有层内透镜；上述层内透镜，在受光面的中心部位于对应的受光元件的正上面，随着从受光面的中心部向端部靠近，其位于从对应的受光元件的正上面偏向中心部的位置；各微透镜的偏移大于对应的层内透镜的偏移。
6、如权利要求5所述的固体摄像器件，其特征在于：上述微透镜的曲率和厚度中的至少一种比上述层内透镜大。
7、如权利要求5所述的固体摄像器件，其特征在于：上述固体摄像器件在上述层内透镜上具有滤色镜；滤色镜在受光面的中心部位于对应的受光元件的正上面，随着从受光面的中心部向端部靠近，其位于从对应的受光元件的正上面偏向中心部的位置。
各滤色镜的偏移小于对应的微透镜的偏移，且大于对应的层内透镜的偏移。
8、如权利要求2所述的固体摄像器件，其特征在于：上述微透镜兼用作滤色镜。
9、一种固体摄像器件的制造方法，该固体摄像器件具有构成受光面的多个受光元件以及与该受光元件相对应的多个微透镜，其特征在于，具有以下步骤：
微透镜形成步骤，在受光面的中心部，在对应的受光元件的正上面形成微透镜；随着从受光面中心部向端部靠近，在从对应的受光元件的正上面偏向中心部的位置形成微透镜，
平整化膜形成步骤，在已形成的微透镜上形成平整化膜。
10、如权利要求9所述的制造方法，其特征在于：在上述微透镜形成步骤中，将上述微透镜排列成行列状，微透镜之间形成为在行方向和列方向上无间隙地邻接。
11、如权利要求9所述的制造方法，其特征在于：在上述平整化膜形成步骤中，形成折射率比微透镜的折射率小的平整化膜。
12、如权利要求11所述的制造方法，其特征在于：在上述微透镜形成步骤中，将上述微透镜排列成行列状，微透镜之间形成为在行方向和列方向上无间隙地邻接。
13、如权利要求9所述的制造方法，其特征在于：
上述制造方法还具有层内透镜形成步骤，在微透镜形成步骤之前，在受光元件上形成层内透镜；
上述层内透镜在受光面的中心部，位于对应的受光元件的正上面，
随着从受光面的中心部向端部靠近，所述层内透镜位于从对应的受光元件的正上面偏向中心部的位置，
各微透镜的偏移量大于对应的层内透镜的偏移量。
14、如权利要求13所述的制造方法，其特征在于：上述微透镜的曲率和厚度中的至少一种大于上述层内透镜。
15、如权利要求13所述的制造方法，其特征在于：上述制造方法还具有滤色镜形成步骤，在微透镜形成步骤之前，在上述层内透镜上形成滤色镜。
16、如权利要求10所述的制造方法，其特征在于：在上述微透镜形成步骤中，形成兼用作滤色镜的微透镜。
17、一种摄影机，具有固体摄像器件，该固体摄像器件具有构成受光面的多个受光元件以及与受光元件相对应的多个微透镜，
其特征在于，上述固体摄像器件在上述多个微透镜上具有平整化膜，
上述微透镜在受光面的中心部位于对应的受光元件的正上面，随着从受光面的中心部向端部靠近，其位于从对应的受光元件的正上面偏向中心部的位置。
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