CN1725231A - 利用图像的区域分割的表面区域的获取 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用图像的区域分割获取物体的表面区域的配置的方法。在相互不同的多个照明条件下对物体进行拍摄，获取多个图像。通过对这些多个图像分别进行区域分割，获取与物体的表面区域的配置不同的多个图像区域配置。而且，基于多个图像区域配置，获取物体的表面区域的配置。

Description

利用图像的区域分割的表面区域的获取
技术领域
本发明涉及通过图像的区域分割获取物体的表面区域的配置的技术。
背景技术
作为印刷电路板等的检测装置，采用从作为检测对象的制品的图像中，通过将作为检测对象的制品的表面的各个区域的配置与标准的制品的各个区域的配置进行比较的方式，来判断检测对象制品有无缺陷的图像检测装置。这样的图像检测装置中，为了获取物体表面的各个区域是如何配置的，而进行将物体的图像分割成多个区域的区域分割。
专利文献1特开2002-259667号公报
然而，某些情况下，在物体的表面中，存在像金属和电介质等那样的，表面的反射特性不同的区域。对拍摄这样的物体所得到的图像利用颜色或浓度等进行区域分割的情况下，即使设计了照明条件，某些情况下也无法通过图像的区域分割来获得物体表面区域的配置。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而提出的技术方案，其目的在于通过图像的区域分割获取物体表面区域的配置。
为了达到上述目的中的至少一部分，本发明的方法是一种从对具有多个表面区域的物体进行拍摄的图像中，获取上述物体上的上述多个表面区域的配置的方法，其具备：(a)在彼此不同的多个照明条件下，获取上述物体的多个图像的工序，(b)通过将上述多个图像分别进行区域分割，获得与上述物体上的上述多个表面区域的配置不同的多个图像区域配置的工序，(c)基于上述多个图像区域配置，获取上述多个表面区域的配置的工序。
根据该结构，可以获取从在单一的照明条件下拍摄的图像中无法获取的物体的表面区域的配置。
上述工序(a)包括：通过在第1照明条件下对上述物体进行拍摄，用区域分割处理，再现上述多个表面区域中的第1表面区域而得到的第1图像的工序，以及，通过在与上述第1照明条件不同的第2照明条件下，对上述物体进行拍摄，用区域分割处理，再现上述多个表面区域中的与第1表面区域不同的第2表面区域的图像区域而得到的第2图像的工序；上述第2表面区域是在区域分割上述第1图像的情况下，被分割成2种或2种以上的图像区域的区域，上述工序(b)还可以包括：(b1)通过将上述第1图像的至少一部分进行区域分割，获取包括上述第1表面区域的表面区域的图像区域的配置的工序，(b2)通过将上述第2图像进行区域分割，获取包括上述第2表面区域的表面区域的图像区域的配置的工序。
根据该结构，通过使用在第2照明条件下拍摄的图像，可以将在第1照明条件下拍摄的图像中被分割成了2种以上的图像区域的表面区域，作为1个区域再现。
上述工序(b1)包括：通过与用上述工序(b2)的上述第2图像的区域分割获取的上述第2表面区域对应的图像掩膜来对上述第1图像进行遮掩的工序，和在上述第1图像之中，对没有用上述图像掩膜进行遮掩的部分进行区域分割的工序。
根据该结构，由于可以省略遮掩了的区域的区域分割，可以缩短处理时间。
上述第1照明条件是斜光照明，上述第2照明条件是反射照明。
根据该结构，可以获取包括反射特性不同的表面区域的物体的表面区域的配置。
上述第1表面区域没有金属光泽，上述第2表面区域具有金属光泽。
根据该结构，可以获取包括没有金属光泽的表面区域和具有金属光泽的表面区域中的任何一个区域的物体的表面区域的配置。
而且，本发明还可以用多种方式实现，比如，可以用物体的表面区域配置的获取方法和装置，使用该使用结果的图像检测方法和装置，用于实现这些多种方法和装置的功能的计算机程序，存储了该计算机程序的存储媒介，具体化在包括该计算机程序的搬运波内的数据信号，等等的多种方式来实现。
附图说明
图1是表示作为本发明的一个实施例的印刷电路板检测装置100的结构的说明图。
图2是表示印刷电路板PCB的表面状态的说明图。
图3是表示第1实施例的获取印刷电路板PCB表面区域的配置的步骤的流程图。
图4是表示在斜光照明状态下获取的印刷电路板PCB的第1图像IM1的说明图。
图5是表示在反射照明状态下获取的印刷电路板PCB的第2图像IM2的说明图。
图6是表示获取在第1图像IM1的区域分割中使用的代表色的样子的说明图。
图7是表示获取在第2图像IM2的区域分割中使用的代表色的样子的说明图。
图8a，图8b是表示第1图像IM1和第2图像IM2的区域分割的结果的说明图。
图9是表示2个区域分割结果SR1，SR2的整合结果SRX的说明图。
图10是表示第2实施例的获取印刷电路板PCB的表面区域的配置的步骤的流程图。
图11a，图11b是表示将第1图像IM1用第2图像区域分割结果SR2遮掩的样子的说明图。
图12a，图12b是表示从遮掩的第1图像的区域分割结果SR1a中获取表面区域配置SRXa的样子的说明图。
具体实施方式
下面，基于用于实施例按照以下的顺序说明实施本发明的最佳方式。
A.第1实施例
B.第2实施例
C.变形例
A.第1实施例
图1是表示作为本发明的一个实施例印刷电路板检测装置100的结构的说明图。该印刷电路板检测装置100具备：用于照明印刷电路板PCB的照明部200，对印刷电路板PCB的图像进行拍摄的拍摄部300，进行装置整体的控制的计算机400。计算机400与存储有各种数据和计算机程序的外部存储装置500连接。
计算机400具有：代表色设定部610，图像获取部620，区域分割部630，表面区域配置获取部640的功能。这些各个部分的功能，通过用计算机400来实行存储在外部存储装置500中的计算机程序来实现。
照明部200，具备：斜光照明用的2个光源210，反射照明用光源220以及半透镜222。这里，所谓“斜光照明”意指向观察物体(印刷电路板PCB)照射来自方向不同于拍摄部300的方向的光的照明。而且、“反射照明”意指向观察物体照射来自拍摄部300的方向的光的照明。而且，“反射照明”也称为“同轴反射照明”。
图2是表示印刷电路板PCB的表面状态的说明图。印刷电路板PCB的表面包括：在基板基层上涂布抗蚀剂的基层抗蚀区域RBR，在铜配线的图形上涂布抗蚀剂的图形抗蚀区域RPR，在基板基层上丝网印刷黑色文字的丝网印刷区域RSG，进行了镀金的镀金区域RGP，露出基板基层的基板基层区域RSB。
图3是表示第1实施例的获取印刷电路板的表面区域的配置的步骤的流程图。
在步骤S100中，图像获取部620(图1)，获得通过斜光照明的印刷电路板PCB的彩色图像。具体而言，图像获取部620，将可以使得光源210(图1)点亮，光源220(图1)熄灭的指示，供给到照明部200(图1)。在光源210点亮，印刷电路板PCB用斜光照明来照明的状态下，图像获取部620，从拍摄部300(图1)获得印刷电路板PCB的第1图像。
而且，在步骤S100中，图像获取部620对获取的第1图像，根据需要进行平滑化处理(晕化处理)。在平滑化处理，可以使用媒体过滤器(media enfilter)，高斯过滤器，移动平均等的各种平滑化过滤器。通过进行这些平滑化处理，可以除去在图像数据内存在的特异的像素，能够得到垃圾成分(噪音成分)较少的图像数据。而且，在进行与预先获取的第1图像相关的步骤S110之后的处理的情况下，在步骤S100中，可以从外部存储装置500(图1)中读取图像数据。
图4是表示在斜光照明状态下获取的印刷电路板PCB(图2)的第1图像IM1的说明图。该第1图像IM1包括：2个绿色区域G1，G2，2个黑色区域K1，K2，金属区域GL，以及茶色区域BR。而且，在本实施例中，还可以将这2个绿色区域G1，G2一并称为“绿色区域GR”，2个黑色区域K1，K2一并称为“黑色区域BK”。
第1图像IM1中，印刷电路板PCB的基层抗蚀区域RBR用第1绿色区域G1表示，图形抗蚀区域RPR用第2绿色区域G2表示。类似的，丝网印刷区域RSG和基板基层区域RSB分别用第1黑色区域K1和茶色区域BR表示。另一方面，印刷电路板PCB的镀金区域RGP，根据其表面状态的差异，用第2黑色区域K2和金色区域GL的2个区域表示。该镀金区域RGP用颜色不同的2个区域K2，GL来表示是因为该第1图像IM1是用斜光照明获取的，在斜光照明中从金属表面的反射光入射到拍摄部300(图1)的光量容易受到该金属表面状态的影响。
在步骤S110(图3)中，图像获取部620，获取通过反射照明的印刷电路板PCB的彩色图像。具体而言，图像获取部620，将可以使得光源220点亮，光源210熄灭的指示，供给到照明部200。光源220点亮的情况下，来自光源220的光用半透镜222向印刷电路板PCB的方向反射，印刷电路板PCB通过从拍摄部300的方向来的光进行照明。这样，印刷电路板PCB用反射照明来照明的状态下，图像获取部620，从拍摄部300获得印刷电路板PCB的第2图像。
而且，在步骤S110中，图像获取部620对获取的第2图像，根据需要进行平滑化处理。而且，在进行与预先获取的第2图像相关的步骤S120之后的处理的情况下，在步骤S110中，从外部存储装置500(图1)中读取图像数据。
图5是表示在反射照明状态下获取的印刷电路板PCB(图2)的第2图像IM2的说明图。该第2图像IM2包括3个明区域S1，S2，S3，金属光泽区域MT，暗区域DK。而且，本实施例中，将这3个明区域S1，S2，S3一并称为“明区域SH”。
第2图像IM2中，印刷电路板PCB的镀金区域RGP与图4所示的第1图像IM1不同，用1种金属光泽区域MT表示。而且，基板基层区域RSB，与第1图像IM1类似，表示为1种暗区域DK。另一方面，印刷电路板PCB的基层抗蚀区域RBR，图形抗蚀区域RPR，丝网印刷区域RSG分别用第1明区域S1，第2明区域S2，第3明区域S3来表示。就这样，将在第1图像IM1中用不同颜色表示的印刷电路板PCB的3个区域RBR，RPR，RSG，表示成在第2图像IM2中表示为明区域S1，S2，S3的原因是，由于这些区域RBR，RPR，RSG具有光滑的表面，与光源220(图1)射出的光具有大致相同颜色的正反射光入射到了拍摄部300(图1)。
在图3的步骤S120中，代表色设定部610(图1)，获取第1图像的区域分割中使用的代表色。具体而言，代表色设定部610，在计算机400的显示部上显示第1图像。用户在显示的第1图像上，用鼠标等的定点指示设备来指定从第1图像以及第2图像中抽取的图像区域(下面，仅仅称为“抽取区域”)的代表点。代表色设定部610，基于代表点位置的第1图像的颜色，决定在第1图像的区域分割中使用的代表颜色。
图6是表示在第1图像的区域分割中使用的代表色的获取的样子的说明图。用户，在画面上的对话框中输入4种抽取区域ER，ES，EG，EB的名字(比如“抗蚀区域”，“丝网区域”等等)，而且，在第1图像IM1上指定用于获取各个抽取区域的代表色的代表点(用星号表示)。代表点在每个抽取区域内至少指定一个。在图6的例子中，抗蚀区域ER的代表点指定了代表点PR1，PR2。类似的，分别为丝网区域ES的代表点指定1个代表点PS，金区域EG的代表点指定3个代表点PG1，PG2，PG3，基层区域EB的代表点指定1个代表点PB。
在同一个抽取区域内指定多个代表点的时候，代表色设定部610从多个代表点中选择颜色稳定的代表点。具体而言，代表色设定部610，计算多个代表点之间的辉度差的最大值。该辉度差的最大值在预定的阈值以下的情况下，判断代表点的颜色是稳定的，选择所有的多个代表点。另一方面，辉度差的最大值比预定的阈值还大的情况下，判断为代表点的颜色是不稳定的。在代表点的颜色不稳定的情况下，除了辉度值低的代表点之外，选择剩下的代表点。抽取区域的代表色，设定为这些被选择的代表点的平均颜色。而且，在同一个抽取区域中指定1个代表点的时候，设定该代表点的颜色为代表色。在图6的例子中，分别设定丝网区域ES的代表色为代表点PS的颜色K1，基层区域EB的代表色为代表点PB的颜色BR。
在图6的例子中，指定有多个代表点的抽取区域为抗蚀区域Er和金区域EG。由于抗蚀区域ER的代表点PR1，PR2的颜色的辉度差很小，抗蚀区域ER的代表色，设定为代表点PR1的颜色G1和代表点PR2的颜色G2的平均颜色。另一方面，虽然金区域EG的代表点PG1的颜色GL和代表点PG2的颜色GL之间的辉度差很小，而他们的代表点PG1，PG2的颜色GL和代表色PG3的颜色K2之间的辉度差很大。由此，代表色设定部610，设定金区域EG的代表色为除了辉度小的代表点PG3之外的，剩下的代表点PG1，PG2的颜色的平均颜色GL。
在第1实施例中，虽然是基于代表点的辉度值选择在代表色的设定中使用的代表点，通常，还可以像设定适于区域分割的代表色那样的设定代表点。比如：当表示为了某个抽取区域而设定的代表点的颜色和另一个抽取区域的代表色之间的颜色的差的指标值(下面，称为“距离指标值”)，在预定值以下的情况下，还可以是除了该代表色的颜色之外的颜色。而且，在同一个抽取区域内指定的多个代表点之间的距离指标值比预定的值大的情况下，还可以由用户来指定代表点。而且，该距离指标值中，比如：可以使用在将RGB颜色空间作为3维欧几里德空间看的时候表示2个颜色的点的距离，或L*a*b*颜色坐标系统的色差ΔE。
在步骤S130(图3)中，代表色设定部610(图1)，在获取第2图像IM2的区域分割中使用的代表色的同时，选择在表面区域配置中使用的抽取区域。具体而言，在步骤S120中基于由用户指定的多个代表点位置的第2图像IM2的颜色，决定在第2图像IM2的区域分割中使用的代表色。在单一的抽取区域中被指定多个代表点的时候，代表色设定部610，将多个代表点的平均颜色设定为该抽取区域的代表色。另一方面，在单一的抽取区域中被指定1个代表色的时候，将该抽取区域的代表色设定为1个代表点的颜色。
图7是表示第2图像的区域分割中使用的代表色的获取的样子的说明图。作为用于获取代表色的代表点，与图6所示的代表点用同一个点。用户，使用在画面上的对话框指定从第2图像IM2中选择的区域。图7的例子中，将在表面区域配置的获取中使用的区域设定为金区域EG。图7的例子中，金区域EG的代表色设定为代表点PG1，PG2，PG3的平均颜色MT。作为非金区域EX的抗蚀区域ER的代表色设定为代表点PR1的颜色S1和代表点PR2的颜色S2的平均颜色。类似的，作为非金区域EX的丝网区域ES和基层区域EB的代表色分别设定为代表点PS的颜色S3和代表点PB的颜色DK。
而且，在第1实施例中，用户，从第2图像IM2中指定选择的区域，并分析第2图像IM2，通过该方法，可以选择代表点的颜色稳定的区域。该情况下，4个区域EG，ER，ES，EB之中的代表点的颜色稳定的区域，由于是金区域EG和丝网区域ES以及基层区域EB，所以选择区域EG，ES，EB。
在步骤S140中(图3)，区域分割部630(图1)，基于在步骤S130中设定的代表色对第2图像IM2进行区域分割。而且，在通过区域分割生成的各个区域中，抽取在步骤S130中选择的区域。
而且，在步骤S140中进行的区域分割，比如还可以通过这样的方法进行，即、求出第2图像IM2的各个像素的颜色和多个代表色之间的距离指标值，并将各像素分类到距离指标值最小的代表色。而且，步骤S150中进行的区域分割也可以同样的进行。而且，步骤S140，步骤S150中进行的区域分割方法，只要是将各个像素分类到预定的代表色的区域分割方法即可，比如：可以按照上述专利文献1所揭示的方法来进行。
图8是表示步骤S140，S150的区域分割结果的说明图。如图8a的第2图像IM2的区域分割结果SR2所示，由于为表面区域配置的获取而选择的抽取区域是金区域EG，抽取第2图像IM2进行区域分割而成的金区域EG和非金区域EX之中的金区域EG。而且，如图8b的第1图像IM1的区域分割结果SR1所示，第1图像IM1分割成抗蚀区域ER，丝网区域ES，金区域EG，基层区域EB。在如图8b所示的区域分割结果SR1中，作为原来的金区域EG的黑色区域K2(图4)分类到和黑色区域K1相同的丝网区域ES。
在步骤S160(图3)中，表面区域配置获取部640(图1)，整合第1图像的区域分割结果和第2图像的区域分割结果。具体而言，表面区域配置获取部640，通过在第1图像的区域分割结果上重叠第2图像的区域分割结果的方法，整合2个区域的分割结果。作为这2个图像的整合结果的表面区域的配置，就是在第1图像的区域分割结果上刻写从第2图像的区域分割结果中抽取的抽取区域EG的配置。
图9是表示2个区域分割结果SR1，SR2的整合结果SRX的说明图。如图9所示，分类到区域分割结果SR1中的丝状网域ES中的原本是金区域EG的区域，通过在区域分割结果SR1上重叠区域分割结果SR2的方式，变更成金区域EG。由此，印刷电路板PCB(图2)的基层抗蚀区域RBR和图形抗蚀区域RPR，一起作为抗蚀区域ER从整合结果SRX中抽取出来。类似的，丝网印刷区域RSG作为丝状区域ES，镀金区域RGP作为金区域EG，而且，基板基层区域RSB作为基层区域EB，分别从整合结果SRX中抽取出来。
这样，在第1实施例中，对在斜光照明和反射照明的2种照明条件下拍摄的印刷电路板的2个图像分别进行区域分割，从通过将该分割结果整合而抽取的图像区域的配置，可以获取印刷电路板的各个区域的配置。
表示获取的印刷电路板的各个区域的配置的数据(对象配置数据)，供给到印刷电路板检测装置100(图1)的检测部(未图示)。检测部，将对象配置数据和预先获取的表示没有缺陷的印刷电路板的各个区域的配置的参照配置数据进行比较，在两者间存在超过允许量以上的差异的情况下，将具有该差异的部分检测为印刷电路板PCB的缺陷。
而且，参照配置数据，只要是表示没有缺陷的印刷电路板的各个区域的配置数据，可以使用各种各样的数据。参照配置数据，比如，可以用图像获取部620(图1)获取没有缺陷的印刷电路板的用斜光照明和反射照明的彩色图像，从获取的2个彩色图像中获取上述各个区域来产生。而且，也可以从印刷电路板的设计数据(CAD数据)中包括的各个区域的配置中产生参照配置数据。
而且，本实施例中，在单一的抽取区域中设定多个代表点的情况下，虽然是将各个代表点的颜色的平均颜色作为该抽取区域的代表色，但是也可以将各个代表点的各个颜色作为代表色。
B.第2实施例
图10是表示获取第2实施例的印刷电路板PCB的表面区域的配置的顺序的流程图。与图3所示的第1实施例的流程图，在步骤S140之后附加步骤S142这一点上，以及将步骤S150，S160分别置换成步骤S152，S162的这一点上不同，其他的方面与第1实施例相同。
在步骤S142中，区域分割部630(图1)利用在步骤S140中产生的第2图像的区域分割结果对第1图像进行遮掩。而且，在步骤S152中，将第1图像值中没有遮掩的部分，用区域分割部630进行区域分割。
图11a是表示第2图像IM2的区域分割结果SR2的说明图。图11a的区域分割结果SR2和第1实施例的区域分割结果SR2(图8)是一样的。图11b是表示使用区域分割结果SR2被遮掩的第1图像IM1a的说明图。图11b的例子中，在第1图像IM1(图4)之中，遮掩与区域分割结果SR2的金区域EG对应的部分MK。由此，遮掩的第1图像IM1a，成为将第1图像IM1中的黑色区域K2和金色区域GL都变更成了遮掩区域MK的图像。
图12a表示用步骤S152的处理的，被遮掩的第1图像IM1a的区域分割结果SR1a的说明图。图像IM1a的区域分割仅对遮掩区域MK之外的部分进行。由此，区域分割结果SR1a，在作为没有被遮掩的金区域EG和丝网区域ES分割的镀金区域构成遮掩区域MK的这一点上与第1图像IM1的区域分割结果SR1(图8)不同。其它的方面，与第1图像IM1的区域分割结果SR1相同。
在步骤S162中，表面区域配置获取部640，将被遮掩的第1图像IM1a的区域分割结果SR1a的遮掩区域MK变更成金区域EG。通过这样的将遮掩区域MK变更成金区域EG的方法，如图12b所示那样，获取表面区域的配置SRX。该表面区域配置SRX和第1实施例中获取的表面区域配置SRX(图9)是一样的。
这样，第2实施例与第1实施例类似的，可以从在斜光照明和反射照明的2个照明条件下拍摄的印刷电路板的2个图像中，获取印刷电路板的各个区域的配置。
第2实施例在第1图像IM1被遮掩的面积较大的情况下，其可以缩短遮掩的第1图像IM1a的区域分割所需要的计算时间的方面，比第1实施例更好。
C.变形例
另外，本发明不限于上述实施例和实施方式，可以在不脱离其宗旨的范围内以各种各样的方式来实施，比如，可以进行如下的变形。
C1.变形例1
在上述各个实施例中，虽然是利用分别用斜光照明和反射照明拍摄的2个图像来获取表面区域的配置的，但是通常，还可以利用在相互不同的照明条件下获取的2个以上的任意数目的图像。该情况下，通过对从各个图像获取的抽取区域实施适当的逻辑运算，就可以获取表面区域的配置。而且，作为相互不同的照明条件，还可以利用除了斜光照明和反射照明的组合之外的各种组合方式。比如：还可以利用将照射方向或，偏光状态，或光源波长不同的照明进行任意的组合而得到的多个照明条件。
C2.变形例2
在上述各个实施例中，虽然作为对物体拍摄的图像用的是彩色图像，但是也可以使用在表面区域的获取中由单色图像或特定的颜色成分构成的图像。在表面区域的获取中使用的图像，通常使用，通过设定适当的距离指标值的方法，可以将图像分割成多个区域的图像。作为表面区域的获取中使用的图像，比如：可以使用具有2个成分以上的彩色图像的第1图像和单色图像的第2图像。
C3.变形例3
本发明的物体上的表面区域的获取，不限于印刷电路板，可以适用于具有通过照明条件拍摄的图像的区域分割结果不同的多个表面区域的任意的物体。比如：对于形成图形的半导体晶片，玻璃基板，薄膜以及印刷物，或具有复杂形状的机械部件等的物体的表面区域的获取都可以适用。通过利用本发明，由于可以获取在印刷电路板，半导体晶片，玻璃基板，薄膜以及印刷物等的物体表面上形成的图形的配置，所以本发明可以适用于针对这些物体表面上形成的图形的检测装置或检测方法。

Claims (8)

1、一种从对具有多个表面区域的物体进行拍摄的图像中，获取上述物体上的上述多个表面区域的配置的方法，其特征在于，具有如下工序：
(a)在彼此不同的多个照明条件下，获取上述物体的多个图像的工序，
(b)通过分别对上述多个图像进行区域分割，获得与上述物体上的上述多个表面区域的配置不同的多个图像区域配置的工序
(c)基于上述多个图像区域配置，获取上述多个表面区域的配置的工序。
2、如权利要求1所述的方法，其特征在于，
上述工序(a)包括：
获取第1图像的工序，其通过在第1照明条件下对上述物体进行拍摄，用区域分割处理，再现并得到上述多个表面区域中的第1表面区域的图像区域，以及，
获取第2图像的工序，其通过在与上述第1照明条件不同的第2照明条件下对上述物体进行拍摄，用区域分割处理，再现并得到上述多个表面区域中与上述第1表面区域不同的第2表面区域的图像区域；
上述第2表面区域，在区域分割上述第1图像的情况下，被分割成2种或2种以上的图像区域，
上述工序(b)包括：
(b1)通过区域分割上述第1图像的至少一部分，获取包括上述第1表面区域的表面区域的图像区域的配置的工序，
(b2)通过区域分割上述第2图像，获取包括上述第2表面区域的表面区域的图像区域的配置的工序。
3、如权利要求2所述的方法，其特征在于，
上述工序(b1)包括：
通过与用上述工序(b2)中的上述第2图像的区域分割获取的上述第2表面区域对应的图像掩膜，来遮掩上述第1图像的工序，以及，
在上述第1图像中，对没有被上述图像掩膜遮掩的部分进行区域分割的工序。
4、如权利要求2或3所述的方法，其特征在于，
上述第1照明条件是斜光照明，上述第2照明条件是反射照明。
5、如权利要求2或3所述的方法，其特征在于，
上述第1表面区域没有金属光泽，上述第2表面区域具有金属光泽。
6、一种从对具有多个表面区域的物体进行拍摄的图像中，获取上述物体上的上述多个表面区域的配置的装置，其特征在于，具备：
在彼此不同的多个照明条件下，获取上述物体的多个图像的图像获取部；
通过分别区域分割上述多个图像，获得与上述物体上的上述多个表面区域的配置不同的，且彼此不同的多个图像区域配置的图像区域获取部；
基于上述多个图像区域配置，获取上述多个表面区域的配置的表面区域配置获取部。
7、一种检测缺陷的方法，该缺陷表现为在具有多个表面区域的物体上的上述多个表面区域的配置的变化，其特征在于，包括：
如权利要求1所述的工序(a)到工序(c)，
基于在上述工序(c)中获取的上述多个表面区域的配置，检测上述缺陷的工序。
8、一种检测缺陷的装置，该缺陷表现为在具有多个表面区域的物体上的上述多个表面区域的配置的变化，其特征在于，包括：
如权利要求6所述的，图像获取部、图像区域获取部、表面区域配置获取部；
基于用上述表面区域配置获取部获取的上述多个表面区域的配置，检测上述缺陷的检测部。
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