DE10044516A1

DE10044516A1 - Prozeßausrüstungsauswahlsystem und Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung

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Publication number: DE10044516A1
Application number: DE10044516A
Authority: DE
Inventors: Yasuhiro Sato; Masaki Otani; Takamasa Inobe; Katsuya Ota; Yasuhiro Marume; Ryuji Takechi; Kenji Sakaguchi; Toshiyuki Watanabe
Original assignee: Renesas Semiconductor Engineering Corp; Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Renesas Semiconductor Engineering Corp; Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1999-12-03
Filing date: 2000-09-08
Publication date: 2001-06-28
Also published as: US6529792B1; JP2001159910A; TW459282B

Abstract

Ein Prozeßausrüstungsauswahlsystem und ein Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung werden vorgeschlagen, die automatische Steuerung der Spezifikation der geeignetsten Ausrüstung ermöglichen, wenn die Verarbeitung mit der speziellen Ausrüstung, die für jedes Los am geeignetsten ist, notwendig ist. Verarbeitung, die diese spezielle Ausrüstung benutzt, kann durch weiteres Auswählen der geeignetsten Ausrüstung aus der Ausrüstung durchgeführt werden, die für den Produkttyp benutzt wird. Da eine Mehrzahl von Einheiten der Ausrüstung, die für jedes Los spezifiziert werden können, eingestellt werden können, kann die Ausrüstung von einer Ausrüstungsgruppe mit dieser Mehrzahl von Einheiten von Ausrüstung spezifiziert werden. Die geeignete Zahl von Produkten im Prozeß für jede ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id kann auf der Grundlage des Verteilungsprozentsatzes ri, durch Sammeln der Ausrüstung spezifischen Prozeßausrüstungs-Ids in der ausrüstungsspezifischen Gruppe für das Los in der Produktionslinie und Erhalten der Zahl von Produkten im Prozeß für jedes Prozeßausrüstungs-Id berechnet werden. Die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstung mit dem maximalen Wert der Differenz zwischen der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß ni und der gesammelten tatsächlichen Zahl von Produkten im Prozeß kann bestimmt werden als die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstung für das Los.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Prozeßausrü stungsauswahlsystem und Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung, und insbesondere auf ein System und ein Verfahren zum Auswah len von Herstellungsausrüstung oder Prozeßausrüstung, die eine Ausrüstung auswählen, die am geeignetesten ist für jeden Pro zeß in der Produktionslinie, die besonders hochgenaue Prozesse verlangt.

Bei Photogravurprozessen für Halbleitervorrichtungen können verschiedene Eigenschaften wie Übereinstimmungsgenauigkeit in Abhängigkeit der Prozeßausrüstung, die für die Verarbeitung benutzt wurde, resultieren, selbst wenn die Halbleitervorrichtungen unter den gleichen Prozeßbedingungen verarbeitet wer den. Wenn bis jetzt Produkte, die eine Übereinstimmungsgenau igkeit zwischen Photogravurprozessen benötigen, hergestellt werden, sind die Prozesse, die die Übereinstimmungsgenauigkeit benötigen, nur mit der gleichen Ausrüstung oder mit Ausrüstung innerhalb einer Ausrüstungsgruppe mit den gleichen Eigenschaf ten herzustellen. Die Steuerung dieser festen Prozesse, der Ausrüstung oder der Ausrüstungsgruppen, die die Übereinstim mungsgenauigkeit verlangen, ist manuell durchgeführt worden.

Abmessungsgenauigkeit der Photogravur oder Abmessungsgenauig keit des Ätzens verlangt eine ähnlich hochgenaue Prozeßverar beitung.

Fig. 9 zeigt die Beziehung zwischen dem Prozeß und der Ausrü stung, die in Produktionsfabriken benutzt wird. In Fig. 9 enthält die Haupttabelle (Prozeßhaupttabelle) 100 zum Definie ren der Reihenfolge der Prozesse, die für die Produktion der Produkte benötigt werden (hier im folgenden als "Los" bezeich net). Die Prozeß-Id, die die Reihenfolge der Prozesse identi fiziert, die Prozeßausrüstungs-Id, die die Gruppen identifi ziert, die eine oder mehrere Einheiten der Ausrüstung enthal ten, die entsprechend der Prozeß-Id nützlich sind. Zum Bei spiel ist die Prozeß-Id in der Reihenfolge von "Prozeß 1", "Prozeß 2" und "Prozeß 3" definiert, und die Prozeßausrü stungs-Id entspricht jeder Prozeß-Id und ist als Prozeßausrü stung definiert, bei der dem "Prozeß 1" "EQPG1" entspricht. Die Prozeßausrüstungstabelle 120 definiert die Prozeßausrü stungs-Id und die Ausrüstungs-Id, die in der Gruppe der rele vanten Prozeßausrüstungs-Id enthalten ist. Die Prozeßausrü stungstabelle 120 definiert eine oder mehrere Ausrüstungs-Id entsprechend der Prozeßausrüstungs-Id, und die durch diese Ausrüstungs-Id's identifizierter Ausrüstung ist die Ausrü stung, die für die tatsächliche Verarbeitung in jedem Prozeß nützlich ist. Bei den Herstellungsfabriken wird die Ausrü stungs-Id, die in einer bestimmten Prozeß-Id benutzt wird, durch Ausführen eines Computerprogrammes 130 bestimmt zum Ge winnen der Ausrüstung, in dem die oben beschriebene Prozeß haupttabelle 100 und die Prozeßausrüstungstabelle 100 benutzt werden.

Fig. 10 ist ein Flußdiagramm, das einen Ausrüstungsgewin nungsprozeß zum Erhalten einer Ausrüstung zeigt, die zur Ver arbeitung in dem nächsten Prozeßschritt benutzt werden kann, wenn ein bestimmter Prozeßschritt eines Loses beendet worden ist und zu dem nächsten Prozeßschritt geht. Wie Fig. 10 zeigt, wird zuerst die Prozeßhaupttabelle 120 für das Los ge wonnen zum Erhalten der Prozeßausrüstungs-Id, die für die näch ste Prozeß-Id benutzbar ist (Schritt S510). Die Prozeßausrü stungstabelle 120 wird gewonnen zum Erhalten der Ausrüstungs-Id entsprechend der Prozeßausrüstungs-Id, die in Schritt S510 er halten worden ist (Schritt S520). Eine Einheit der Ausrüstung wird von einer oder mehreren Ausrüstungs-Id ausgewählt, die in Schritt S520 erhalten sind, und das Los wird tatsächlich durch die ausgewählte Ausrüstung bearbeitet (S530).

Damit die Verbesserung der Qualität oder der Genauigkeit eines Loses erreicht wird, muß die zur Verarbeitung benutzte Ausrü stung begrenzt werden, insbesondere wenn Prozeßgenauigkeit verlangt wird. Bei dem Verfahren zum Auswählen der Prozeßaus rüstung wurde jedoch nicht, da eine Einheit der Ausrüstung aus einer Gruppe der Ausrüstungen, die für die Verarbeitung eines Types des Produktes geeignet ist, wie oben beschrieben wurde, ausgewählt wird, die für jedes Los geeignetste Ausrüstung nicht unbedingt ausgewählt. Wenn eine begrenzte Einheit der Ausrüstung, die für die Verarbeitung nutzbar ist, ausgewählt wird, kann die Ausrüstung nicht ersetzt werden, wenn sie nicht mehr benutzt werden kann aufgrund eines Fehlers oder ähnli ches, dieses wird eine kritische Störung bei der Produktion des Loses.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Lösung der oben beschriebenen Probleme vorzusehen und ein Prozeßaus rüstungsauswahlsystem und ein Auswahlverfahren für Prozeßaus rüstung vorzusehen, die für jede Art des Loses ermöglichen, daß sie durch eine Einheit einer Mehrzahl von Einheiten von Ausrüstung bearbeitet werden, wobei automatisch die Auswahl der geeignetsten Ausrüstung gesteuert wird, wenn die Verarbei tung mit einer begrenzten Einheit von Ausrüstung benötigt wird, die am geeignetsten für jedes Los ist.

Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Prozeßausrüstungsauswahl system nach Anspruch 1.

Das System zum Auswählen der Prozeßausrüstung für jedes Los weist auf: eine Prozeßhauptsteuereinrichtung zum Steuern der Reihenfolge der Prozeßschritte, die das Los produzieren, zu sammen mit einer Prozeßausrüstungsgruppe, die mindestens eine Einheit der Ausrüstung enthält, die für den Prozeß benutzt wird, ein Steuertyp, der anzeigt, ob oder nicht die Spezifika tion der für den Prozeß benutzten Prozeßausrüstung gesteuert ist, und ein Elementprozeß, den der Prozeß enthalten kann, ei ne Losinformationssteuereinrichtung zum Steuern einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die mindestens ei ne Einheit von der Prozeßausrüstung enthält, die für den Ele mentprozeß für jedes Los benutzt wird, und den Elementprozeß des Loses; und eine ausrüstungsspezifizierte Prozeßausrü stungssteuereinrichtung, die die Prozeßausrüstung steuert, die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe enthal ten ist für jede der ausrüstungsspezifischen Ausrüstungsgrup pen, worin, wenn der Steuertyp der Prozeßhauptsteuereinrich tung das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrüstung zum Erzeugen des Loses anzeigt, eine ausrüstungsspezifische Pro zeßausrüstungsgruppe, die speziell benutzt wird, von der Lo sinformationssteuereinrichtung geholt wird, und die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe enthaltene Prozeßausrüstung aus der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungssteuereinrichtung geholt wird.

Bevorzugte Ausgestaltungen des Systems sind in den entspre chenden Unteransprüchen angegeben.

Die Aufgabe wird auch gelöst durch ein Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung nach Anspruch 11.

Das Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung wird in einem Pro zeßausrüstungsauswahlsystem zum Auswählen von Prozeßausrüstung für jeweils ein Los eingesetzt, wobei das Prozeßausrüstungs auswahlsystem aufweist: einen Prozeßhauptsteuerabschnitt zum Steuern der Reihenfolge der Prozeßschritte, die das Los produ zieren, zusammen mit einer Prozeßausrüstungsgruppe, die minde stens eine Einheit der Ausrüstung enthält, die für den Prozeß benutzt wird, ein Steuertyp, der anzeigt, ob oder nicht die Spezifikation der für den Prozeß benutzten Prozeßausrüstung gesteuert wird, und ein Elementprozeß, den der Prozeß enthal ten kann; einen Losinformationssteuerabschnitt zum Steuern ei ner ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die min destens eine Einheit der Prozeßausrüstung enthält, die für den Elementprozeß für jedes Los und den Elementprozeß des Loses benutzt wird; und eine ausrüstungsspezifische Steuereinrich tung, die die Prozeßausrüstung steuert, die in der ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe für jede der ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen enthalten ist, wo bei das Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung aufweist: einen Holschritt einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstung zum Holen einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die speziell benutzt wird, von dem Losinformationssteuerab schnitt, wenn der Steuertyp des Prozeßhauptsteuerabschnittes das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrüstung zum Produ zieren des Loses anzeigt; und einen Auswahlschritt zum Auswäh len der Prozeßausrüstung, die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, die durch den Hol schritt der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstung von dem ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuerabschnitt ge holt wurde.

Bevorzugte Ausgestaltungen des Verfahrens sind in den zugehö rigen Unteransprüchen angegeben.

Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsformen der Erfindung anhand der Figuren.

Von den Figuren zeigen:

Fig. 1 einen schematischen Aufbau des Computersystems, der das Prozeßauswahlsystem der vorliegenden Erfindung ausführt;

Fig. 2 die Beziehung zwischen den Prozessen zum Bearbeiten des Loses in Ausführungsform 1 der vorliegenden Er findung und der in diesen Prozessen benutzen Ausrü stung;

Fig. 3 ein Flußdiagramm, das das Ausrüstungsauswahlverfah ren in Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung zeigt, wenn die Ausrüstung, die für die Verarbeitung des Loses in dem nächsten Prozeßschritt nutzbar ist, geholt wird;

Fig. 4 ein Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung, wenn aus rüstungsspezifische Prozeßausrüstung für jedes Los gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung bestimmt ist;

Fig. 5 ein Flußdiagramm, das das Verfahren zum Bestimmen einer Kandidatenausrüstung für jedes Los zeigt, wenn die für die Verarbeitung des Loses in dem nächsten Prozeßschritt nutzbare Ausrüstung gemäß Ausführungs form 2 der vorliegenden Erfindung nutzbar ist;

Fig. 6 ein Bestimmungsverfahren einer ausrüstungsspezifi schen Prozeßausrüstungs-Id gemäß Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 7 ein Verfahren zum Anzeigen und Modifizieren der Aus rüstungsgruppe, die für jedes Produkt oder jedes Los in Ausführungsform 5 der vorliegenden Erfindung spe zifiziert wurde;

Fig. 8 ein Anzeigeverfahren für nutzbare Ausrüstungs-Id oder ähnliches für jede ausrüstungsspezifische Grup pe in Ausführungsform 5 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 9 die Beziehung zwischen dem Prozeß und der Ausrü stung, die in Produktionsfabriken benutzt werden;

Fig. 10 einen Flußdiagramm, das einen Ausrüstungsgewinnungs prozeß zum Erhalten von Ausrüstung zeigt, die zum Bearbeiten in dem nächsten Prozeßschritt benutzt werden kann, wenn ein bestimmter Prozeßschritt eines Loses beendet worden ist und zu dem nächsten Prozeß schritt gegangen wird.

Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden unten un ter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben. Es wird angemerkt, daß die gleichen Bezugszeichen in den Zeichnungen die gleichen oder entsprechende Komponenten be zeichnen.

Die Funktionen eines Computersystems, das eine Ausführungsform des Prozeßauswahlsystems ist, wird zuerst kurz beschrieben, und dann werden die Ausführungsformen der vorliegenden Erfin dung im einzelnen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen be schrieben.

Fig. 1 zeigt einen schematischen Aufbau des Computersystems, der eine Ausführungsform des Prozeßauswahlsystems ist. In Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 10 das Computersystem, das das Prozeßauswahlsystem ausführt, das Bezugszeichen 11 be zeichnet den Computer, der das Verfahren zum Auswählen von Prozessen ausführt, der Speicher (nicht gezeigt) wie einen ROM (Nurlesespeicher), der Daten speichert, die für die Verarbei tung notwendig sind, und einen RAM (Direktzugriffsspeicher) enthält. Bezugszeichen 15 bis 18 bezeichnen Lostransportgeräte oder ähnliches, das Bezugszeichen 16 bezeichnet einen Transportsteuerhostcomputer, der die Lostransportgeräte 15 und ähn liches steuert, Bezugszeichen 12 bis 14 bezeichnen Einheiten von Ausrüstung, die andere Prozesse oder ähnliches ausführen, Bezugszeichen 17 bezeichnet eine Anschlußeinrichtung, die Da ten oder Befehle zu oder von dem Computer 11, dem Transport steuerhostcomputer 16 oder der Ausrüstung 12 oder ähnliches sendet oder empfängt, Bezugszeichen 19 bezeichnet einen Bus, der den Computer 11, den Transportsteuerhostcomputer 16, die Ausrüstung 12 und ähnliches verbindet.

Das Prozeßausrüstungsauswahlprogramm kann auf einem Aufzeich nungsmedium (nicht gezeigt) wie eine CD-ROM oder FD gespei chert sein, die mit der Anschlußeinrichtung 17, dem Computer 11, dem Transportsteuerhostcomputer 16 und ähnliches verbunden sind. Das auf dem Aufzeichnungsmedium wie CD-ROM oder FD ge speicherte Prozeßausrüstungsauswahlprogramm wird von dem Com puter 11 oder ähnliches ausgeführt.

Ausführungsform 1

Das Prozeßausrüstungsauswahlsystem und das Verfahren zum Er werben der Ausrüstung, die der Kandidat zum Bearbeiten des Lo ses in der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung ist, wird unten beschrieben. Die Prozeßausrüstungsauswahl wird aus geführt, wenn das Gewinnen der Ausrüstung notwendig ist, wie wenn der Prozeß des Loses vorangegangen ist und die Erneuerung der Prozeßausrüstung durch den Bediener angewiesen wird.

Fig. 2 zeigt die Beziehung zwischen den Prozessen zum Verar beiten des Loses in Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfin dung und der in jenen Prozessen benutzten Ausrüstung. In Fig. 2 bezeichnet das Bezugszeichen 30 eine Prozeßhaupttabelle (Prozeßhauptsteuereinrichtung), die die Reihenfolge der Pro zesse definiert, die für die Produktion des Loses benötigt werden, sie weist auf die Prozeß-Id, die die Reihenfolge der zu verarbeitenden Prozesse anzeigt, die Prozeßausrüstungs-Id, die die Gruppe anzeigt, die eine oder mehrere Einheiten der Ausrü stung enthält, die entsprechend der Prozeß-Id benutzbar sind, den Steuertyp, der anzeigt, ob die Steuerung zum Spezifizieren der Ausrüstung in der Prozeß-Id benutzt wird (hier im folgenden als "ausrüstungsspezifisch" bezeichnet) und die Element-Id, die die Identifizierung zum Ausführen einer Mehrzahl von ausrü stungsspezifischen Steuerungen selbst in dem Fall eines Einpro dukttypes ist, hin. Zum Beispiel ist die Prozeß-Id in der Rei henfolge "Prozeß 1", "Prozeß 2" und "Prozeß 3" definiert. Die Prozeßausrüstungs-Id entspricht jeder Prozeß-Id, und die Pro zeßausrüstungs-Id, die dem "Prozeß 1" entspricht, ist als "EQPG1" definiert. Der Steuertyp ist als "Steuerung" für die Prozeß-Id von "Prozeß 5" definiert, und in diesem Fall ist die Element-Id als "GB" definiert. Die Element-Id kann in die Ein heit des Elementarprozesses oder ähnliches unterteilt werden.

Das Bezugszeichen 40 bezeichnet eine ausrüstungsspezifische Losinformationstabelle (Losinformationssteuereinrichtung), die eine spezifische Ausrüstung für das Los anzeigt, die die Los- Id enthält, die jedem Los zum Identifizieren des Loses oder des zu verarbeitenden Produktes zugeordnet ist, die Element- Id, die die Identifizierung ist, die durch den Prozeß zum Aus führen einer Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Steuerungen für ein Los bestimmt ist, und die Prozeßausrüstungs-Id, die für die Ausrüstung zum Identifizieren der ausrüstungsspezifi schen Gruppe von einer oder mehreren Einheiten von Ausrüstung (ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe) ähnlich zu der Los-Id oder der Element-Id spezifisch ist. Zum Beispiel enthält die Los-Id "AAA001", "AAA002" oder ähnliches, und die Element-Id, von der die Los-Id gleich "AAA001" ist, enthält "GA", "GB" oder "GC". Die ausrüstungsspezifische Prozeßausrü stungs-Id, von der die Los-Id gleich "AAA001" ist und die Ele mentidee gleich "GA" ist, ist "EQPGA1".

Das Bezugszeichen 20 bezeichnet eine Prozeßausrüstungstabelle (Prozeßausrüstungssteuereinrichtung), die die Prozeßausrü stung-Id und die Ausrüstungs-Id, die in der Gruppe der Prozeß ausrüstung-Id enthalten ist, definiert. Die Prozeßausrüstungs tabelle 20 definiert eine oder mehrere Ausrüstungs-Ids ent sprechend der Prozeßausrüstungs-Id, und die durch diese Ausrü stungs-Ids identifizierte Ausrüstung ist die tatsächlich in jedem Prozeß benutzte Ausrüstung. Zum Beispiel enthält die Prozeß-Id "EQPG1" die Einheiten der Ausrüstung, von denen die Ausrüstungs-Ids "EQP01", "EQP02", "EQP03" und "EQP04" sind.

Das Bezugszeichen 50 bezeichnet die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungstabelle (ausrüstungsspezifische Prozeßausrü stungssteuereinrichtung), die die ausrüstungsspezifische Pro zeßausrüstungs-Id und die in der Gruppe der ausrüstungsspezi fischen Prozeßausrüstungs-Id enthaltene Ausrüstungs-Id defi niert. Die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungstabelle 50 definiert eine oder mehrere Ausrüstungs-Ids entsprechend der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id, und die durch diese Ausrüstungs-Ids identifizierte Ausrüstung ist die Ausrü stung, die tatsächlich in jedem Prozeß benutzbar ist. Zum Bei spiel enthält die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id "EQPGA1" die Einheiten der Ausrüstung, von denen die Ausrüstungs-Ids "EQP11" und "EQP14" sind. Die ausrüstungsspezifi sche Prozeßausrüstungstabelle 50 weist den gleichen Aufbau wie die Prozeßausrüstungstabelle 20 auf. Daher weist in dem Fall der gleichen Prozeß-Id die Ausrüstungs-Id in der ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungstabelle 50 die Beziehung auf, die in der Ausrüstungs-Id in der Prozeßausrüstungstabelle 20 enthalten ist.

Als nächstes wird das Ausrüstungsauswahlverfahren zum Holen der Kandidatenprozeßausrüstung beschrieben, wenn es verlangt wird, daß die für die Verarbeitung des Loses in dem nächsten Prozeßschritt benutzbare Ausrüstung begrenzt wird, wie in dem Fall, in dem ein Los in einem Prozeßschritt bearbeitet worden ist und zu dem nächsten Prozeßschritt vorangeht.

Fig. 3 ist ein Flußdiagramm, das das Ausrüstungsauswahlver fahren in der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung zeigt, wenn die Ausrüstung, die geeignet zum Verarbeiten des Loses in dem nächsten Prozeßschritt ist, geholt wird. Wie Fig. 3 zeigt, werden verschiedene Steuerinformationen der Pro zeßhaupttabelle 30 des Loses zum Auswählen der Ausrüstung ge wonnen zum Erhalten des Steuertypes und der Element-Id der nächsten Prozeß-Id (Schritt S110). Aus dem in Schritt S110 er haltenen Steuertyp wird bestimmt, ob der relevante Prozeß der ausrüstungsspezifische Steuerprozeß ist oder nicht ist (Schritt S120). Wenn der Prozeß als der ausrüstungsspezifische Steuerprozeß in Schritt S120 bestimmt wird, wird die ausrü stungsspezifische Losinformationstabelle 40 gewonnen zum Er halten der relevanten Los-Id und ebenfalls der ausrüstungsspe zifischen Prozeßausrüstungs-Id, die der Element-Id entspre chen, die in Schritt S110 erhalten wurden (Schritt S130). Die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungstabelle 50 wird unter Benutzung der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id, die in dem Schritt S130 geholt wurde, zum Holen der nutzbaren Ausrüstungs-Id gewonnen (Schritt S140). Aus einer oder mehre rer Ausrüstungs-Id, die in Schritt S140 geholt wurden, wird eine Einheit der Ausrüstung, die tatsächlich für die Verarbei tung des Loses benutzbar ist, ausgewählt, und das Los wird tatsächlich durch die ausgewählte Einheit der Ausrüstung bear beitet (Schritt S150). Wenn dagegen der Prozeß als nicht der ausrüstungsspezifische Steuerprozeß in Schritt S120 bestimmt wird, werden verschiedene Steuerinformationen der Prozeß haupttabelle 30 des Loses zum Auswählen der Ausrüstung gewon nen zum Holen der Prozeßausrüstungs-Id des Typs des relevanten Loses (Schritt S160). Die Prozeßausrüstungstabelle 20 wird un ter Benutzung der Prozeßausrüstungs-Id gewonnen, die in Schritt S160 geholt wurde, zum Holen der nutzbaren Ausrü stungs-Id (Schritt S170). Aus einer oder mehreren Ausrüstungs- Id, die in Schritt S170 geholt wurden, wird eine Einheit der Ausrüstung, die tatsächlich zum Verarbeiten des Loses nutzbar ist, ausgewählt, und das Los wird tatsächlich durch die ausge wählte Einheit der Ausrüstung bearbeitet (Schritt S150).

Da gemäß der Ausführungsform 1, wie oben beschrieben wurde, die optimale Einheit der Ausrüstung für jedes Los aus den nutzbaren Einheiten der Ausrüstung ausgewählt werden kann, kann das Los unter Benutzung der spezifizierten Einheit der Ausrüstung bearbeitet werden. Da weiterhin eine Mehrzahl von Einheiten der Ausrüstung für jedes Los spezifiziert werden kann, kann die Einheit der Ausrüstung durch die Ausrüstungs gruppe spezifiziert werden, die eine Mehrzahl von Einheiten der Ausrüstung aufweist.

Ausführungsform 2

Fig. 4 zeigt ein Verfahren zum Auswählen von Prozeßausrü stung, wenn die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstung für jedes Los gemäß der Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfin dung bestimmt wird. In Fig. 2 ist, da die Tabellen mit den gleichen Bezugszeichen, wie sie in Fig. 2 benutzt wurden, die gleichen Beziehungen wie in Fig. 2 aufweisen, die Beschrei bung weggelassen.

In Fig. 4 bezeichnet das Bezugszeichen 60 die ausrüstungsspe zifische Steuertabelle (ausrüstungsspezifische Steuereinrich tung), die aufweist, die ausrüstungsspezifische Gruppe, die den Typ und die Element-Id enthält, die eindeutig aus dem Los bestimmt sind, die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id zum Identifizieren einer Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Gruppen (ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen), von denen jede eine oder mehrere Einheiten der Ausrüstung für jede ausrüstungsspezifische Gruppe aufweist, und den Vertei lungsprozentsatz zum Zuordnen der Einheit der Ausrüstung, die in einer Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppen enthalten sind, zu den Losen. Der Verteilungs prozentsatz ist ein Prozentsatz, der zum Zuordnen der geeig netsten ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id unter ei ner Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Ids in der gleichen ausrüstungsspezifischen Gruppe zu den Losen definiert ist und die Gesamtheit des Verteilungsprozentsatzes für jede ausrüstungsspezifische Gruppe beträgt 100%. Zum Bei spiel enthält die ausrüstungsspezifische Gruppe, deren Typ "AAA" ist und deren Element-Id "GB" ist, enthält zwei ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppen mit "EQPGB1" und "EQPGB2" als ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Ids. Das Bezugszeichen 70 zeigt die Verteilungszustandstabelle (Vertei lungszustandssteuereinrichtung), die die Verteilungsverhält nisse sammelt und steuert, die von den Verteilungsprozentsät zen umgewandelt sind, die in der ausrüstungsspezifischen Steu ertabelle 60 gezeigt sind, und das Resultat der Verteilung für jede ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id der ausrü stungsspezifischen Gruppe. Der anfängliche Wert der Resultate der Verteilung der Verteilungszustandstabelle 70 ist 0. Die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id, die von der Los- Id und der Element-Id bestimmt ist, wird in der ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungs-Id-Spalte der Losinformati onstabelle 40 akkumuliert. Daher ist der Zustand der ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id, die für die gegenwär tige Los-Id und Element-Id benutzt wird, bekannt und durch die Verteilungszustandstabelle 40 gesteuert.

Fig. 5 ist ein Flußdiagramm, das das Verfahren zum Bestimmen der Kandidatenausrüstung eines jeden Loses zeigt, wenn die Ausrüstung, die zum Verarbeiten des Loses in dem nächsten Pro zeßschritt gemäß der Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfin dung gegeben ist. Wie Fig. 5 zeigt, werden verschiedene Steuerinformationen zum Auswählen der Ausrüstung in der Pro zeßhaupttabelle 30 des Loses zuerst gewonnen zum Holen des Steuertypes der nächsten Prozeß-Id und der Element-Id (Schritt S210). Aus dem in Schritt S210 geholten Steuertyp wird be stimmt, ob oder nicht der gegenwärtige Prozeß der ausrüstungs spezifische Bestimmungsprozeß ist (Schritt S220). Wenn der Prozeß als der ausrüstungsspezifische Bestimmungsprozeß in Schritt S220 bestimmt wird, wird die ausrüstungsspezifische Steuertabelle 60 gewonnen zum Holen einer Mehrzahl von ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Ids entsprechend dem Typ der Los-Id und ebenfalls der Element-Id, die in Schritt S210 geholt sind. Aus der geholten Mehrzahl von ausrüstungsspezifi schen Prozeßausrüstungs-Id wird die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id bestimmt, die für das vorliegende Los die geeignetste ist (Schritt S230). Die in Schritt S230 bestimmte ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id wird in der ausrü stungsspezifischen Losinformationstabelle 40 gespeichert (Schritt S240). Wenn dagegen der Prozeß nicht als ausrüstungs spezifischer Bestimmungsprozeß in Schritt S220 bestimmt wird, werden die Schritte S230 und S240 nicht ausgeführt und der Be stimmungsprozeß endet. Die Bestimmung der geeignetsten ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id in Schritt S230 wird in der Beschreibung der Ausführungsform 3 und 4 unten be schrieben.

Gemäß der Ausführungsform 2 kann, wie oben beschrieben wurde, die ausrüstungsspezifische Gruppe, die die Ausrüstung spezifi ziert, automatisch durch dieses System bestimmt werden. Weiter kann, wie in den Ausführungsformen 1 oder 2 beschrieben wurde, die ausrüstungsspezifische Steuerung nur durch die Prozeßstufe ausgeführt werden, die für ein Produkt oder ein Los benötigt wird, durch spezifizieren der ausrüstungsspezifischen Steue rung für die Prozeß-Id der Prozeßhaupttabelle 30.

Die Bestimmung, ob oder nicht der vorliegende Prozeß der aus rüstungsspezifische Bestimmungsprozeß ist in Schritt S120 der oben beschriebenen Ausführungsform (Fig. 3) und die Bestim mung, ob oder nicht der vorliegende Prozeß der ausrüstungsspe zifische Bestimmungsprozeß ist in Schritt S220 der Ausführungsform 2 (Fig. 4), kann gemeinsam durchgeführt werden. In dem Fall des ausrüstungsspezifischen Steuerprozesses können die in Fig. 3 gezeigten Schritte S130, S140 und S150 ausge führt werden; in dem Fall des ausrüstungsspezifischen Bestim mungsprozesses können die in Fig. 5 gezeigten Schritt S230 und S240 ausgeführt werden; in dem Fall des ausrüstungsspezi fischen Steuerprozesses und ebenfalls in dem ausrüstungsspezi fischen Bestimmungsprozesses können die in Fig. 5 gezeigten Schritte S230 und S240 ausgeführt werden, bevor die in Fig. 3 gezeigten Schritte S130, S140 und S150 ausgeführt werden; und wenn der Prozeß weder der ausrüstungsspezifische Steuerprozeß noch der ausrüstungsspezifischen Bestimmungsprozeß ist, können die in Fig. 3 gezeigten Schritte S160 und S170 ausgeführt werden.

Ausführungsform 3

Fig. 6 zeigt ein Verfahren zum Bestimmen der ausrüstungsspe zifischen Prozeßausrüstungs-Id gemäß der Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung. Ausführungsform 3 ist ein Beispiel der am besten ausgerichteten Verfahren zum Bestimmen der ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id in Schritt S230 für die oben beschriebene Ausführungsform 2 (Fig. 5). Wie Fig. 6 zeigt, wird eine Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeß ausrüstungs-Ids des gleichen Produkttypes und mit der gleichen Element-Id in einer ausrüstungsspezifischen Gruppe gesammelt. Als nächstes werden für die Lose in der Produktlinie die aus rüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Ids innerhalb dieser ausrüstungsspezifischen Gruppe von der ausrüstungsspezifischen Losinformationstabelle 40 gesammelt, und die Zahl der Lose im Prozeß (Ni, i = 1. . .n, n = Zahl der Ids) wird für jede ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id (Berechnungseinrichtung für die Zahl der Lose im Prozeß) gezählt. Die gesammelte Zahl der Lose in dem Prozeß für jede ausrüstungsspezifische Prozeß ausrüstungs-Id wird korrigiert, wie es notwendig ist (Schritt S310).

Die Verteilungsprozentsätze für jede ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id in der oben beschriebenen ausrüstungsspe zifischen Gruppe (ri, i = 1. . .n) wird aus der ausrüstungsspe zifischen Steuertabelle 60 geholt (Schritt S320, Verteilungs prozentsatzholeinrichtung). Die richtige Zahl der Produkte im Prozeß für jede ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id (ni, i = 1. . .n) wird auf der Grundlage der Ausrüstungsprozent sätze ri berechnet (Schritt S330, Berechnungseinrichtung für die richtige Zahl der Produkte im Prozeß). Diese richtige Zahl der Produkte im Prozeß kann zum Beispiel durch die folgende Gleichung (1) als die richtige Zahl der Produkte im Prozeß er halten werden:

Die Differenz Gi zwischen der richtigen Zahl der Produkte im Prozeß ni, die aus der Gleichung (1) oder ähnlichem erhalten wird, und die tatsächliche Zahl der Produkte im Prozeß wird erhalten, wie in Gleichung (2) gezeigt ist:

Gi = ni - Ni (2)

Dieses Gi ist gleich dem Prioritätsgrad der ausrüstungsspezi fischen Prozeßausrüstungs-Ids in dem gegenwärtigen Prozeß (Schritt S340, Prioritätsgradberechnungseinrichtung). Der höchste Prioritätsgrad G wird aus der Gleichung 3 durch Ver gleichen der Prioritätsgrade Gi der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id für jede Einheit der Ausrüstung erhalten, und dieser höchste Prioritätsgrad G wird als die ausrüstungs spezifische Prozeßausrüstungs-Id des gegenwärtigen Loses be stimmt (Schritt S350, Bestimmungseinrichtung):

G = max (Gi) (3)

Der Verteilungsprozentsatz ri kann zum Beispiel durch gemein sames Berechnen der Zahl der registrierten Einheiten von Aus rüstung einer ausrüstungsspezifischen Gruppe, der Ausrüstungs betriebsbedingungen oder des Qualitätszustandes, des Wartungs planes und der Zahl der für die Produktion geplanten objekti ven Lose erhalten werden.

Gemäß Ausführungsform 3 kann, wie oben beschrieben wurde, die Zahl der Produkte im Prozeß (Ni, i = 1. . .n, n = Zahl der Ids) für jede ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id er halten werden durch Sammeln der ausrüstungsspezifischen Pro zeßausrüstungs-Id in der ausrüstungsspezifischen Gruppe für das Los in der Produktionslinie. Die geeignete Zahl der Pro dukte im Prozeß für jede ausrüstungsspezifische Prozeßausrü stungs-Id (ni, i = 1. . .n) kann auf der Grundlage der Vertei lungsprozentsätze ri berechnet werden. Die Ausrüstung mit der größen Differenz zwischen dieser geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß ni und der gesammelten tatsächlichen Zahl der Pro dukte im Prozeß kann als die ausrüstungsspezifische Prozeßaus rüstung des gegenwärtigen Loses bestimmt werden.

Ausführungsform 4

Ausführungsform 4 ist ein anderes Beispiel von Verfahren zum Bestimmen der am besten geeigneten ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id in Schritt S230 in der oben beschriebenen Ausführungsform 2 (Fig. 5). Wie die ausrüstungsspezifische Verteilungszustandstabelle 70 zeigt, werden die Verteilungs verhältnisse, die auf der Grundlage des Verteilungsprozentsat zes ri einer jeden ausrüstungsspezifischen Steuertabelle 60 und der Verteilungsresultate berechnet werden, für den Pro dukttyp, die Element-Id und die ausrüstungsspezifische Prozeß ausrüstungs-Id bestimmt. Für eine ausrüstungsspezifische Grup pe des gleichen Produkttypes, die durch die gleiche Element-Id bezeichnet ist, wird der Verteilungsprozentsatz ri einer jeden ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id in entsprechende Ganzzahlverhältnisse umgewandelt und als das Verteilungsver hältnis der ausrüstungsspezifischen Verteilungszustandstabelle 70 registriert. Der anfängliche Wert der Verteilungsresultate wird auf Null gesetzt. Die ausrüstungsspezifische Verteilungs zustandstabelle 70 wird zu der gleichen Zeit der Registrierung der ausrüstungsspezifischen Steuertabelle 60 vorbereitet. Wenn es nötig ist, die Ausrüstung zu spezifizieren, die in dem nächsten Prozeßschritt für jedes Los benutzbar ist, wird die ausrüstungsspezifische Verteilungszustandstabelle 70 der aus rüstungsspezifischen Gruppe, die zu dem Produkttyp des Loses paßt, und die Element-Id des Prozeßschrittes gewonnen, und das Verteilungsverhältnis und das Verteilungsresultat werden ge holt. Das entsprechende Verteilungsverhältnis wird mit dem Verteilungsresultat für jede einer Mehrzahl von ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungs-Ids verglichen, und die ausrü stungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id, von der das Vertei lungsresultat nicht das Verteilungsverhältnis erreicht hat, wird zu der ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id des gegenwärtigen Loses gemacht. Zu der gleichen Zeit wird die be stimmte ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id zu dem Verteilungsresultat addiert. Wenn das Verteilungsresultat ei ner jeden ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id das gleiche wie das entsprechende Verteilungsverhältnis in der gleichen ausrüstungsspezifischen Gruppe ist, kehrt das Vertei lungsresultat zu dem anfänglichen Wert zurück.

Wie oben gemäß Ausführungsform 4 beschrieben wurde, kann durch Vergleichen des entsprechenden Verteilungsverhältnisses mit dem Verteilungsresultat für jede der Mehrzahl von ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungs-Ids die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id, von der das Verteilungsresultat nicht das Verteilungsverhältnis erreicht hat, die ausrüstungsspezi fische Prozeßausrüstungs-Id des gegenwärtigen Loses gemacht werden. Daher kann die ausrüstungsspezifische Prozeßausrü stungs-Id des Loses durch das einfachere Verfahren als das Verfahren von Ausführungsform 3 bestimmt werden.

Ausführungsform 5

Fig. 7 zeigt ein Verfahren zum Bezeichnen und Modifizieren der Ausrüstungsgruppe, die für jedes Produkt oder jedes Los in der Ausführungsform 5 der vorliegenden Erfindung spezifiziert wurde. In Fig. 7 bezeichnet das Bezugszeichen 80 das Losin formationsanzeigebild, das ein Beispiel zeigt, das ausrü stungsspezifische Losinformation anzeigt, die auf der Grundla ge der ausrüstungsspezifischen Losinformationstabelle 70 und der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungstabelle 50 er zeugt werden kann (Losinformationsanzeigeeinrichtung). Wie Fig. 7 zeigt, kann das Losinformationsanzeigebild 80 die ausrü stungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id entsprechend einer je den registrierten Element-Id, der benutzbaren Ausrüstungs-Id oder ähliches für jede Los-Id anzeigen. Zum Beispiel sind die drei Element-Ids "GA", "GB" und "GC" angezeigt, und wenn die Element-Id gleich GA ist, wird "EQPGA1" als die ausrüstungs spezifische Prozeßausrüstungs-Id angezeigt, und "EQP11", "EQP14" oder ähnliches wird als die benutzbaren Ausrüstungs- Ids für diese ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id an gezeigt. Somit kann die für jedes Los spezifizierte Ausrü stungsgruppe angezeigt werden.

Durch Spezifizieren einer Los-Id und einer Element-Id und Her stellen einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id kann die die Benutzung spezifizierende Ausrüstungs-Id modifi ziert werden. Auf die gleiche Weise kann eine ausrüstungsspe zifische Prozeßausrüstungs-Id hinzugefügt werden oder entfernt werden (Prozeßausrüstungsänderungseinrichtung).

Fig. 8 zeigt ein Verfahren zum Anzeigen benutzbarer Ausrü stungs-Ids oder ähnliches für jede ausrüstungsspezifische Gruppe in Ausführungsform 5 der vorliegenden Erfindung. In Fig. 8 bezeichnet das Bezugszeichen 90 die ausrüstungsspezifi sche Steuertabelle, die ein Bild anzeigt, das ein Beispiel für die Anzeige benutzbarer Ausrüstungs-Ids oder ähnliches für je de ausrüstungsspezifische Gruppe zeigt, die auf der Grundlage der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungstabelle 50, der ausrüstungsspezifischen Steuertabelle 60, der ausrüstungsspe zifischen Verteilungszustandstabelle 70 oder ähnliches vorbe reitet werden kann (Steuerinformationsanzeigeeinrichtung). Wie Fig. 8 zeigt, kann die ausrüstungsspezifische Steuertabelle 90, die das Bild anzeigt, die benutzbare Ausrüstungs-Id, den Verteilungsprozentsatz ri, die Zahl der tatsächlichen Lose und ähnliches für jeden Produkttyp, jede Element-Id und jede aus rüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id anzeigen. Bei der in Fig. 7 gezeigten ausrüstungsspezifischen Losinformationsan zeige Bild 80 kann auf die Steuertabelle 90, die das Bild an zeigt, von Fig. 8 Bezug genommen werden, wenn eine ausrü stungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id modifiziert wird.

Gemäß der Ausführungsform 5 können, wie oben beschrieben wur de, Ausrüstungsgruppen, die für jedes Los spezifiziert sind, angezeigt werden. Weiter kann eine Ausrüstungs-Id für eine spezifizierte Benutzung geändert werden, und eine ausrüstungs spezifische Prozeßausrüstungs-Id kann hinzugefügt werden oder entfernt werden. Ausrüstungs-Ids, die für jede ausrüstungsspe zifische Gruppe benutzbar sind, können ebenfalls angezeigt werden.

Ausführungsform 6

Ausführungsform 6 der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Bestimmen/Steuern einer ausrüstungsspezifischen Steuerung, die eine Ausrüstung spezifiziert, die für jedes Los in der an deren Ausrüstungsgruppe für jeden spezifizierten Prozeßschritt benutzt werden soll.

Das Verfahren zum Durchführen der ausrüstungsspezifischen Steuerung, das eine Mehrzahl von unterschiedlichen Ausrü stungsgruppen des gleichen Produkttypes benutzt, kann durch Benutzen der oben beschriebenen Element-Id ausgeführt werden (Elementprozeßänderungseinrichtung). Die Element-Id ist die Identifizierung zum Ermöglichen, daß verschiedene ausrüstungs spezifische Prozeßausrüstungs-Ids des gleichen Produkttypes vorhanden sind, wie oben beschrieben wurde. Ausführungsform 6 ist die gleiche wie die oben beschriebenen Ausführungsformen 1 oder 2 mit der Ausnahme, daß der Wert der Element-Id für die Prozeß-Id in der Prozeßhaupttabelle 30 spezifiziert ist. Indem eine andere Element-Id der ausrüstungsspezifischen Steuerta belle 60 benutzt wird, auf die Bezug genommen wird, wenn die Ausrüstungsgruppe (ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs- Id) bestimmt wird, oder die ausrüstungsspezifische Losinforma tionstabelle 50, in die die ausrüstungsspezifische Prozeßaus rüstungs-Id geschrieben ist, können verschiedene ausrüstungs spezifische Prozeßausrüstungs-Ids gehalten werden. Weiter wird durch Benutzen verschiedener Element-Ids der ausrüstungsspezi fischen Losinformationstabelle 40, auf die Bezug genommen wird, wenn die Ausrüstungsgruppe gesteuert wird, die Steuerung durch die Ausrüstung durchgeführt, die in anderen ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungs-Ids registriert sind.

Wie in der Prozeßhaupttabelle 30 in Fig. 2 und 4 gezeigt ist, wird die gleiche Ausrüstung für jedes Produkt oder für jeden Produkttyp ausgewählt, da die Prozeßschritte 2, 4, 5 und 7 die gleiche Prozeßausrüstungs-Id (EQPG2) aufweisen. Wenn je doch die ausrüstungsspezifische Steuerung durchgeführt wird, indem verschiedene Element-Ids benutzt werden, können ver schiedene Einheiten der Ausrüstung gewählt werden. Wenn keine ausrüstungsspezifische Steuerung durchgeführt wird, da die Prozeßausrüstungs-Id gleich EQPG2 für alle Prozeßschritte ist, wird die Einheit der Ausrüstung zum Bearbeiten aus EQP11, EQP12, EQP13 oder EQP14 in der Prozeßausrüstungstabelle 20 ausgewählt. Wenn zum Beispiel die Element-Id der Prozeßschritte 2 und 5 des Loses, von dem die Los-Id gleich AAA02 ist, gleich GB ist, und die Element-Id der Prozeßschritte 4 und 7 gleich GA ist, wird, wenn die Losinformationstabelle 40 und die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungstabelle 50 benutzt wird, die Ausrüstung, von der die Ausrüstungs-Id gleich EQP01 oder EQP02 ist, in den Prozeßschritten 2 und 5 benutzt, und die Ausrüstung, von der die Ausrüstungs-Id gleich EQP12 ist, wird in Prozeßschritten 4 und 7 benutzt. Es ist effektiv zum Beispiel, wenn der Herstellungsprozeß den Prozeßschritt in der X-Achsenrichtung und den Prozeßschritt in der Y-Achsenrichtung enthält und eine höhere Genauigkeit zwischen den Prozeßschrit ten in der gleichen Richtung als die Genauigkeit zwischen der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung benötigt wird.

Gemäß Ausführungsform 6, kann die ausrüstungsspezifische spe zifizierende Ausrüstung, die in jedem Los benutzt wird, durch die andere Ausrüstungsgruppe für jeden Prozeßschritt be stimmt/gesteuert werden.

Ausführungsform 7

Die Ausführungsform 7 der vorliegenden Erfindung ist ein Ver fahren zum Fördern von Losen durch Auswählen von Ausrüstung zur Verarbeitung aus der ausrüstungsspezifischen Ausrüstungs gruppe für jedes Los. Die Lose können automatisch gefördert werden unter Benutzung eines herkömmlichen Verfahrens für die automatische Fördersteuerung, in dem die Ausrüstungsgruppe be nutzt wird.

Wenn ein Los automatisch gefördert wird, wird die Zielausrü stung in dem Fördersteuerhostcomputer registriert, wodurch das Los automatisch zu der Objektausrüstung gefördert wird. Bei einer herkömmlichen automatischen Fördersteuerung ist die Zie lausrüstung eine Einheit der Ausrüstung, die aus den Einheiten der Ausrüstung gewählt ist, die in einer oder mehr Ausrü stungs-Ids registriert sind, die in Schritt S170 von Fig. 3 geholt wurden. Gemäß Ausführung 7 jedoch kann die Zielausrü stung einer Einheit der Ausrüstung sein, die aus der Ausrü stungs-Id ausgewählt ist, die durch Gewinnen der ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungstabelle 50 geholt wurde, wie in Schritt S140 erläutert wurde, der in Fig. 3 gezeigt ist (För derzielauswahleinrichtung).

Da gemäß Ausführungsform 7, wie oben beschrieben wurde, die Zielausrüstung, zu der ein Los gefördert wird, eine Einheit der Ausrüstung sein kann, die aus der Ausrüstungs-Id gewählt ist, die durch Gewinnen der ausrüstungsspezifischen Prozeßaus rüstungstabelle 50 gewonnen wurde, kann das Los automatisch unter Benutzung eines herkömmlichen Verfahrens für automati sche Fördersteuerung gefördert werden.

Gemäß dem Prozeßauswahlsystem und dem Verfahren der vorliegen den Erfindung, wie es oben beschrieben wurde, kann ein Los ei nes Produkttypes durch irgendeine Einheit der Ausrüstung aus der Mehrzahl von Einheiten der Ausrüstung bearbeitet werden, während die Verarbeitung gewünscht wird, die als die geeignet ste Einheit der Ausrüstung für jedes Los spezifiziert ist, kann diese spezifizierte Einheit der Ausrüstung benutzt werden zum Bearbeiten durch Auswählen der Einheit der Ausrüstung, die die geeignetste für jedes Los, aus den Einheiten der Ausrü stung, die für den Produkttyp geeignet sind. Da weiter eine Mehrzahl von Einheiten der Ausrüstung, die für jedes Los spezifiziert werden können, aufgestellt werden kann, kann die Ausrüstung durch die Ausrüstungsgruppe mit einer Mehrzahl von Einheiten von Ausrüstungen spezifiziert werden. Als Resultat können ein Prozeßauswahlsystem und ein Verfahren vorgesehen werden, die automatisch die Spezifikation der geeignetsten Ausrüstung steuern können.

Hier kann das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter aufweisen eine Prozeßausrüstungssteuereinrichtung, die die Prozeßausrü stung steuert, die in der Prozeßausrüstungsgruppe für jede der Prozeßausrüstungsgruppen enthalten ist, worin, wenn der Steu ertyp der Prozeßhauptsteuereinrichtung nicht das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrüstung anzeigt, die zum Produzie ren des Loses benutzt wird, eine Prozeßausrüstungsgruppe von der Prozeßhauptsteuereinrichtung geholt wird, und die in der Prozeßausrüstungsgruppe enthaltene Prozeßausrüstung durch die Prozeßausrüstungssteuereinrichtung ausgewählt wird.

Bei dem Prozeßausrüstungsauswahlsystem kann der durch die Pro zeßhauptsteuereinrichtung gesteuerte Kontrolltyp weiter den Typ aufweisen, der anzeigt ob oder nicht die Spezifikation der Prozeßausrüstung, die in dem Prozeß benutzt wird, bestimmt ist; das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weist weiter auf: eine ausrüstungsspezifische Steuereinrichtung, die für jedes Los und jeden Elementprozeß des Loses eine Mehrzahl von ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuergruppen steuert, die in dem Elementprozeß benutzt werden, und ein Verteilungspro zentsatz zum Zuordnen von Prozeßausrüstung, die in der Mehr zahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuergrup pen enthalten ist; und eine Bestimmungseinrichtung einer aus rüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die eine Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen von der ausrüstungsspezifischen Steuereinrichtung holt, wenn der Steuertyp der Prozeßhauptsteuereinrichtung die Spezifikation der Prozeßausrüstung anzeigt, die zum Produzieren des Loses benutzt wird, und eine prozeßspezifische Prozeßausrüstungs gruppe aus einer Mehrzahl von geholten ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen bestimmt, worin die bestimmte ausrü stungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe zu der ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungsgruppe innerhalb der Losinforma tionssteuereinrichtung gemacht wird.

Bei dem Prozeßausrüstungsauswahlsystem kann die Bestimmungs einrichtung für die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs gruppe aufweisen: eine Einrichtung zum Berechnen der Zahl von Produkten in dem Prozeß zum Sammeln einer ausrüstungsspezifi schen Prozeßausrüstungsgruppe entsprechend dem Los im Prozeß und dem Elementprozeß des Loses von der Losinformationssteuer einrichtung und Erhalten der Zahl von Produkten im Prozeß für jede der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe; eine Holeinrichtung für einen Verteilungsprozentsatz zum Holen des Verteilungsprozentsatzes für jede ausrüstungsspezifische Pro zeßausrüstungsgruppe von der ausrüstungsspezifischen Steuer einrichtung; eine Einrichtung zum Berechnen der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß zum Erhalten der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß für jede ausrüstungsspezifische Pro zeßausrüstungsgruppe auf der Grundlage des Verteilungsprozent satzes, der von der Holeinrichtung für den Verteilungsprozent satz geholt wurde; eine Einrichtung zum Berechnen des Priori tätsgrades zum Erhalten des Prioritätsgrades für jede ausrü stungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe auf der Grundlage der Differenz zwischen der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß, die von der Einrichtung zum Berechnen der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß erhalten ist, und der Zahl von Produkten im Prozeß, die von der Einrichtung zum Berechnen der Zahl von Produkten im Prozeß erhalten ist; und eine Bestim mungseinrichtung zum Vergleichen des Prioritätsgrades einer jeden ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die von der Einrichtung zum Berechnen des Prioritätsgrades erhalten ist, und Bestimmen der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe für das Los.

Bei dem Prozeßausrüstungsauswahlsystem kann die Bestimmungs einrichtung für die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs gruppe weiter aufweisen für jedes Los und für jeden Element prozeß des Loses entsprechend jeder einer Mehrzahl von ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen, die in dem Ele mentprozeß benutzt werden, eine ausrüstungsspezifische Vertei lungszustandsteuereinrichtung zum Steuern des Verteilungsver hältnisses, das die Prozeßausrüstung in der ausrüstungsspezi fischen Prozeßausrüstungsgruppe zu dem Los und dem verteilten tatsächlichen Wert zuteilt, worin, wenn der Steuertyp der Pro zeßhauptsteuereinrichtung das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrüstung, die zum Produzieren des Loses benutzt wird, anzeigt, das entsprechende Verteilungsverhältnis und das Ver teilungsresultat von der ausrüstungsspezifischen Verteilungs zustandssteuereinrichtung geholt werden, und die ausrüstungs spezifische Prozeßausrüstungsgruppe, bei der das Verteilungs resultat nicht das Verteilungsverhältnis erreicht hat, zu der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe für das Los gemacht wird.

Hier kann das Prozeßausrüstungsauswahlsystem auf der Grundlage der ausrüstungsspezifischen Losinformationssteuereinrichtung und der ausrüstungsspezifischen Prozeßsteuereinrichtung für jedes Los aufweisen eine Losinformationsanzeigeeinrichtung zum Anzeigen der Prozeßausrüstung, die in dem Elementprozeß vor handen ist, wobei die prozeßspezifische Prozeßausrüstungsgrup pe dem Elementprozeß entspricht und die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe für jedes Los auf der Grundlage der ausrüstungsspezifischen Losinformationssteuereinrichtung und der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuereinrich tung.

Hier kann das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter aufweisen auf der Grundlage der ausrüstungsspezifischen Steuereinrich tung, der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuerein richtung und der ausrüstungsspezifischen Verteilungszustand steuereinrichtung für jedes Los eine Steuerinformationsanzei geeinrichtung zum Anzeigen des Verteilungsverhältnisses und des Verteilungsresultates entsprechend dem Elementprozeß, ei ner Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs gruppen entsprechend dem Elementprozeß, einer Prozeßausrü stung, die in der Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeß ausrüstungsgruppen enthalten ist, und der Mehrzahl von ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen.

Hier kann das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter eine Pro zeßausrüstungsmodifiziereinrichtung zum Bezeichnen des Ele mentprozesses und der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe entsprechend dem Elementprozeß für jedes Los und zum Modifizieren der Prozeßausrüstung, die in der bezeichneten ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, aufweisen.

Hier kann das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter eine Ele mentprozeßmodifiziereinrichtung zum Modifizieren des Element prozesses, den der von der Prozeßhauptsteuereinrichtung ge steuerte Prozeß enthalten kann, aufweisen.

Hier kann das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter eine För derzielauswahleinrichtung zum Auswählen einer Prozeßausrüstung aufweisen, die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe enthalten ist, die von der ausrüstungsspezifi schen Prozeßausrüstungssteuereinrichtung für jedes Los ausge wählt ist, oder der Prozeßausrüstung, die in der Prozeßausrü stungsgruppe enthalten ist, die von der Prozeßausrüstungssteu ereinrichtung für jedes Los ausgewählt ist, als die Prozeßaus rüstung zum Fördern des Loses.

Bei dem Auswahlverfahren der Prozeßausrüstung kann das Prozeß ausrüstungsauswahlsystem weiter einen Prozeßausrüstungssteuer abschnitt zum Steuern der Prozeßausrüstung aufweisen, die in der Prozeßausrüstungsgruppe für jede der Prozeßausrüstungs gruppen enthalten ist, und das Auswahlverfahren für Prozeßaus rüstung weist auf, wenn der Steuertyp des Prozeßhauptsteuerab schnitts nicht das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrü stung zum Produzieren des Loses anzeigt: einen Holschritt der Prozeßausrüstung zum Holen einer Prozeßausrüstungsgruppe von dem Prozeßhauptsteuerabschnitt und einen Auswahlschutz zum Auswählen der Prozeßausrüstung, die in der Prozeßausrüstungs gruppe enthalten ist, die durch den Holschritt für die Prozeßausrüstung geholt wird, von dem Prozeßausrüstungssteuerab schnitt.

Die gesamte Offenbarung der japanischen Patentanmeldung 11- 345418, die am 3. Dezember 1999 eingereicht wurde, einschließ lich der Beschreibung, der Ansprüche, der Zeichnung und der Zusammenfassung werden hierin durch Bezugnahme in ihrer Ge samtheit aufgenommen.

Claims

1. Prozeßausrüstungsauswahlsystem zum Auswählen einer Pro zeßausrüstung für jedes Los, mit:
einer Prozeßhauptsteuereinrichtung (30) zum Steuern der Reihenfolge der Prozeßschritte, die das Los produzieren, zusammen mit einer Prozeßausrüstungsgruppe, die minde stens eine Einheit der für den Prozeß benutzten Ausrü stung enthält, wobei ein Steuertyp anzeigt, ob oder nicht die Spezifikation der für den Prozeß benutzten Prozeßaus rüstung gesteuert ist, und einem Elementprozeß, den der Prozeß enthalten kann;
einer Losinformationssteuereinrichtung (40) zum Steuern einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe mit mindestens einer Einheit der Prozeßausrüstung, die für den Elementprozeß für jedes Los und den Elementprozeß des Loses benutzt wird;
und einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteu ereinrichtung (50), die die Prozeßausrüstung, die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, für jede der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppen steuert;
worin, wenn der Steuertyp der Prozeßhauptsteuereinrich tung (30) das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrü stung zum Produzieren des Loses anzeigt, eine speziell benutzte ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe von der Losinformationssteuereinrichtung (40) geholt wird, und die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe enthaltene Prozeßausrüstung von der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuereinrichtung (50) ausgewählt wird.

2. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach Anspruch 1, weiter mit einer Prozeßausrüstungssteuereinrichtung (20), die die Prozeßausrüstung steuert, die in der Prozeßausrü stungsgruppe für jede der Prozeßausrüstungsgruppen ent halten ist, worin, wenn der Steuertpy der Prozeßhauptsteuereinrich tung (30) nicht das Steuern der Spezifikation der Prozeß ausrüstung anzeigt, die zum Produzieren des Loses benutzt wird, eine Prozeßausrüstungsgruppe von der Prozeßhaupt steuereinrichtung (30) geholt wird, und die Prozeßausrü stung, die in der Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, von der Prozeßausrüstungssteuereinrichtung (20) ausge wählt wird.

3. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach Anspruch 1 oder 2, bei dem:
der von der Prozeßhauptsteuereinrichtung (30) gesteuerte Steuertyp weiter den Typ aufweist, der anzeigt, ob oder nicht die Spezifikation der in dem Prozeß benutzten Pro zeßausrüstung bestimmt ist;
wobei das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter aufweist:
eine ausrüstungsspezifische Steuereinrichtung (60), die für jedes Los und jeden Elementprozeß des Loses eine Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs steuergruppen, die in dem Elementprozeß benutzt werden, und einen Verteilungsprozentsatz zum Zuordnen von Prozeß ausrüstung, die in der Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuergruppen enthalten ist, steu ert; und
eine Bestimmungseinrichtung (S310, S320, S330, S340, S350) einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs gruppe, die eine Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen von der ausrüstungsspezifischen Steuereinrichtung (60) holt, wenn der Steuertyp der Pro zeßhauptsteuereinrichtung (30) die Spezifikation der für das Produzieren des Loses benutzten Prozeßausrüstung an zeigt, und eine ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs gruppe aus einer Mehrzahl von geholten ausrüstungsspezi fischen Prozeßausrüstungsgruppen bestimmt;
worin die bestimmte ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe zu der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe innerhalb der Losinformationssteuereinrich tung gemacht wird.

4. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach Anspruch 3, worin die Bestimmungseinrichtung der ausrüstungsspezifischen Pro zeßausrüstungsgruppe aufweist:
eine Einrichtung zum Berechnen der Zahl von Produkten im Prozeß (S310) zum Sammeln einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die dem Los im Prozeß und dem Elementprozeß des Loses entspricht, von der Losinformati onssteuereinrichtung und Erhalten der Zahl von Produkten im Prozeß für jede der ausrüstungsspezifischen Prozeßaus rüstungsgruppe;
eine Holeinrichtung (S320) des Verteilungsprozentsatzes zum Holen des Verteilungsprozentsatzes für jede ausrü stungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe von der ausrü stungsspezifischen Steuereinrichtung;
eine Einrichtung zum Berechnen der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß (S330) zum Erhalten der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß für jede ausrüstungsspezifi sche Prozeßausrüstungsgruppe auf der Grundlage der von der Holeinrichtung des Verteilungsprozentsatzes geholten Verteilungsprozentsatzes;
eine Einrichtung zum Berechnen des Prioritätsgrades (S340) zum Erhalten des Prioritätsgrades für jede ausrü stungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe auf der Grund lage der Differenz zwischen der geeigneten Zahl von Pro dukten im Prozeß, die von der Einrichtung zum Berechnen der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß erhalten wird, und der Zahl von Produkten im Prozeß, die von der Einrichtung zum Berechnen der Zahl von Produkten im Pro zeß erhalten wird; und
eine Bestimmungseinrichtung (S350) zum Vergleichen des Prioritätsgrades einer jeden ausrüstungsspezifischen Pro zeßausrüstungsgruppe, der von der Einrichtung zum Berech nen des Prioritätsgrades erhalten ist, und Bestimmen der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe für das Los.

5. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach Anspruch 3 oder 4, bei dem die Bestimmungseinrichtung für die ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungsgruppe weiter für jedes Los und für jeden Elementprozeß des Loses entsprechend einer jeden einer Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeß ausrüstungsgruppen, die in dem Elementprozeß benutzt wer den, eine ausrüstungsspezifische Verteilungszustandssteu ereinrichtung (70) zum Steuern des Verteilungsverhältnis ses aufweist, das die Prozeßausrüstung in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe zu dem Los und dem verteilten tatsächlichen Wert zuordnet; bei dem, wenn der Steuertyp der Prozeßhauptsteuereinrich tung (30) das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrü stung, die zum Produzieren des Loses benutzt wird, an zeigt, das entsprechende Verteilungsverhältnis und das Verteilungsresultat von der ausrüstungsspezifischen Ver teilungszustandssteuereinrichtung (70) geholt wird, und die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe, bei der das Verteilungsresultat nicht das Vorteilungsverhält nis erreicht hat, zu der ausrüstungsspezifischen Prozeß ausrüstungsgruppe für das Los gemacht wird.

6. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, das auf der Grundlage der ausrüstungsspezifischen Losin formationssteuereinrichtung (40) und der ausrüstungsspe zifischen Prozeßsteuereinrichtung (50) für jedes Los auf weist eine Losinformationsanzeigeeinrichtung (80) zum An zeigen der Prozeßausrüstung, die in dem Elementprozeß enthalten ist, der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe, die dem Elementprozeß entspricht, und der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe für jedes Los auf der Grundlage der ausrüstungsspezifischen Losin formationssteuereinrichtung und der ausrüstungsspezifi schen Prozeßausrüstungssteuereinrichtung.

7. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach Anspruch 5, das auf der Grundlage der ausrüstungsspezifischen Steuer einrichtung (60), der ausrüstungsspezifischen Prozeßaus rüstungssteuereinrichtung (60) und der ausrüstungsspezifischen Verteilungszustandssteuereinrichtung (70) für je des Los aufweist eine Steuerinformationsanzeigeeinrich tung (90) zum Anzeigen des Verteilungsverhältnis und des Verteilungsresultates entsprechend dem Elementprozeß, ei ner Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppen, die dem Elementprozeß entsprechen, der Prozeßausrüstung, die in der Mehrzahl von ausrüstungsspe zifischen Prozeßausrüstungsgruppen enthalten ist, und der Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs gruppen.

8. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach Anspruch 6 oder 7, mit einer Prozeßausrüstungsmodifiziereinrichtung zum Be zeichnen des Elementprozesses und der ausrüstungsspezifi schen Prozeßausrüstungsgruppe entsprechend dem Element prozeß für jedes Los und modifizieren der Prozeßausrü stung, die in der bezeichneten ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist.

9. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8, weiter mit einer Elementprozeßmodifiziereinrich tung zum Modifizieren des Elementprozesses, den der durch die Prozeßhauptsteuereinrichtung gesteuerte Prozeß ent halten kann.

10. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 9, mit einer Förderzielauswahleinrichtung zum Auswählen der Prozeßeinrichtung, die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, die von der ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuereinrichtung für jedes Los ausgewählt ist, oder der Prozeßausrüstung, die in der Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, die von der Prozeßausrüstungssteuereinrichtung für jedes Los ausge wählt ist, als die Prozeßausrüstung zum Fördern des Lo ses.

11. Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung in einem Prozeßaus rüstungsauswahlsystem zum Auswählen von Prozeßausrüstung für jedes Los, wobei das Prozeßausrüstungsauswahlsystem aufweist:
einen Prozeßhauptsteuerabschnitt zum Steuern der Reihen folge der Prozeßschritte, die das Los produzieren, zusam men mit einer Prozeßausrüstungsgruppe, die mindestens ei ne Einheit der Ausrüstung enthält, die für den Prozeß be nutzt wird, einen Steuertyp, der zeigt, ob oder nicht die Spezifikation der Prozeßausrüstung, die für den Prozeß benutzt wird, gesteuert wird, und ein Elementprozeß, den der Prozeß enthalten kann;
einen Losinformationssteuerabschnitt zum Steuern einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die min destens eine Einheit der Prozeßausrüstung, die für den Elementprozeß für jedes Los benutzt wird, und die den Elementprozeß des Loses enthält; und
eine ausrüstungsspezifische Steuereinrichtung, die die Prozeßausrüstung steuert, die in der ausrüstungsspezifi schen Prozeßausrüstungsgruppe für jede der ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungsgruppen enthalten ist, wo bei das Auswahlverfahren der Prozeßausrüstung aufweist:
einen Holschritt einer ausrüstungsspezifischen Prozeßaus rüstung zum Holen einer ausrüstungsspezifischen Prozeß ausrüstungsgruppe, die speziell benutzt wird, von dem Losinformationssteuerabschnitt, wenn der Steuertyp des Pro zeßhauptsteuerabschnittes das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrüstung zum Produzieren des Loses anzeigt; und
einen Auswahlschritt zum Auswählen der Prozeßausrüstung, die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgrup pe enthalten ist, die durch den Holschritt der ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstung von dem ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungssteuerabschnitt geholt wird.

12. Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung nach Anspruch 11, bei dem das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter auf weist einen Prozeßausrüstungssteuerabschnitt zum Steuern der Prozeßausrüstung, die in der Prozeßausrüstungsgruppe für jede der Prozeßausrüstungsgruppen enthalten ist, und wobei das Auswahlverfahren der Prozeßausrüstung aufweist:
wenn der Steuertyp des Prozeßhauptsteuerabschnitts nicht das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrüstung zum Produzieren des Loses anzeigt, einen Holschritt der Pro zeßausrüstung zum Holen einer Prozeßausrüstungsgruppe von dem Prozeßhauptsteuerabschnitt; und
einen Auswahlschritt zum Auswählen der Prozeßausrüstung, die in der Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, die von dem Holschritt der Prozeßausrüstung von dem Prozeßausrü stungssteuerabschnitt geholt wird.