DE10111789A1

DE10111789A1 - Mehrschicht-Induktor

Info

Publication number: DE10111789A1
Application number: DE10111789A
Authority: DE
Inventors: Satoshi Murata; Hideyuki Mihara; Etsuji Yamamoto; Yoshihiro Nishinaga; Minoru Tamada
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2000-03-10
Filing date: 2001-03-12
Publication date: 2001-09-20
Also published as: KR20010088448A; US6525635B2; TW490689B; JP2001326122A; US20010022547A1

Abstract

Es wird ein kleiner Mehrschicht-Induktor geschaffen, der in der Lage ist, einen hohen Induktivitätswert aufzuweisen. Zwei Dünnfilmspulen mit einer dazwischen angeordneten isolierenden Schicht sind auf einem Spulenwicklungs-Abschnitt eines umwickelten Kernbauglieds angebracht. An Positionen, die den Flanschen des umwickelten Kernbauglieds gegenüber liegen, sind jeweils zwei Anschlußelektroden für eine erste Dünnfilmspule gebildet. Das Anfangsende der ersten Dünnfilmspule ist über eine Verbindungsöffnung mit einer der zwei Anschlußelektroden elektrisch verbunden, während das Abschlußende der ersten Dünnfilmspule über die andere Verbindungsöffnung mit der anderen Anschlußelektrode elektrisch verbunden ist. Gleichartig dazu sind an Positionen, die den Flanschen des umwickelten Kernbauglieds gegenüber liegen, jeweils zwei Anschlußelektroden, die mit einer zweiten Dünnfilmspule elektrisch verbunden sind, gebildet.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Mehrschicht- Induktoren, und insbesondere auf einen Oberflächenbefesti gungstyp-Mehrschichtinduktor für die Verwendung bei Dros selspulen, LC-Filtern, Transformatoren und Balun- Transformatoren (balun = balanced-to-unbalanced = symmet risch-zu-unsymmetrisch).

Ein Spulenelement, das in der japanischen ungeprüften Pa tentanmeldungsveröffentlichung Nr. 5-41324 offenbart ist, ist beispielsweise als herkömmliche Technik bekannt. Das Spulenelement ist mit einem säulenförmigen Magnetkern ver sehen, der einen Magnetkörper wie z. B. ein Ferrit mit ei nem isolierenden Widerstand umfaßt. Auf der Oberfläche des Magnetkerns ist ein leitfähiger Film gebildet, und der leitfähige Film wird mit einem Laserstrahl bestrahlt und in die Axialrichtung bewegt, während er gedreht wird, so daß eine Spiralrille zum Bilden einer Spule gebildet wird, und eine Spule, die sich spiralförmig um den Magnetkern wickelt, wird mit Resten des leitfähigen Films gebildet. Die obige Veröffentlichung offenbart außerdem, daß durch Schneiden des leitfähigen Films zwei oder mehr Spulen her gestellt werden können.

Bei herkömmlichen Spulenelementen ist eine Einrichtung zum Erhalten eines großen Induktivitätswerts vorgesehen: ein Magnetkern mit einem großen Querschnitt wird verwendet; die Anzahl von Windungen der Spule wird erhöht, und ein Materi al des Magnetkerns mit einem hohen Permeabilitätswert µ wird verwendet. Der Magnetkern ist jedoch von Natur her be schränkt in der Permeabilität µ und in der Größe (Quer schnittsbereich, Länge), so daß es schwierig war, einen ge wünschten Induktivitätswert zu erhalten. Es ist im wesent lichen unmöglich, einen gewünschten Induktivitätswert zu erreichen, insbesondere beim Bilden mehrerer Spulen auf ei nem Magnetkern.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen klei nen Mehrschicht-Induktor zu schaffen, der in der Lage ist, einen großen Induktivitätswert aufzuweisen.

Diese Aufgabe wird durch einen Mehrschicht-Induktor gemäß Anspruch 1 gelöst.

Um die obige Aufgabe zu lösen, umfaßt ein Mehrschicht- Induktor gemäß der vorliegenden Erfindung: (a) ein Kernbau glied; (b) eine Mehrzahl von Dünnfilmspulen, die auf der Oberfläche des Kernbauglieds angeordnet sind, und zwischen denen eine isolierende Schicht angeordnet ist, wobei die Dünnfilmspulen um den äußeren Umfang des Kernbauglieds ge wickelt sind; und (c) Anschlußelektroden, die an den Enden des Kernbauglieds angeordnet sind, um mit jedem Ende der Dünnfilmspulen verbunden zu sein, wobei (d) jede der Anschlußelektroden durch Bilden einer Teilungsrille auf dem Kernbauglied von einer Endseite desselben zu dem äußeren Umfang desselben definiert ist, so daß die Anschlußelektro de von der anderen Anschlußelektrode elektrisch isoliert ist. Jede der Dünnfilmspulen kann vorzugsweise durch Bilden einer Spiral-spulenbildenden Rille gebildet sein, die auf einem Dünnfilm-Leiter gebildet ist, der auf dem äußeren Um fang des Kernbauglieds gebildet ist.

Das Kernbauglied kann beispielsweise trommelförmig sein, und kann vorzugsweise einen Unterscheidungsabschnitt umfas sen, der auf mindestens einer der Endseiten des Kernbau glieds und einer Seite desselben zum Unterscheiden der Aus richtung des Kernbauglieds gebildet ist. Ferner ist das An fangs- und das Abschlußende von mindestens einer der Dünn filmspulen vorzugsweise über Verbindungsöffnungen, die in der isolierenden Schicht gebildet sind, mit den jeweiligen Anschlußelektroden elektrisch verbunden.

Durch die oben beschriebene Struktur kann die Länge des Kernbauglieds reduziert und die Anzahl von Windungen der Dünnfilmspulen im Vergleich zu einem Induktor, bei dem zwei Dünnfilmspulen in einer Reihe in der Axialrichtung eines Kernbauglieds angeordnet sind, erhöht werden. Außerdem sind mehrere Dünnfilmspulen, zwischen denen die isolierende Schicht angeordnet ist, koaxial auf dem Kernbauglied ange ordnet, so daß die verteilte Kapazität zwischen den Dünn filmspulen gleichmäßig erzeugt wird. Ferner sind das An fangs- und das Abschlußende jeder spulenbildenden Rille zu einander um wesentlich 180° in die Wickelrichtung des Kern bauglieds verschoben, und die Anfangsenden von zwei benach barten Dünnfilmspulen, zwischen denen die isolierende Schicht angeordnet ist, werden zueinander um wesentlich 180° in die Wickelrichtung des Kernbauglieds verschoben, so daß jede Anschlußelektrode die gleiche Form und den glei chen Bereich wie die andere haben kann.

Die Dünnfilmspule wickelt sich mit einem vorbestimmten Ab stand spiralförmig um den äußeren Umfang des Kernbauglieds. Daher kann die Länge der Teilungsrille zwischen einem Punkt, der eine Spiral-spulenbildenden Rille schneidet, und einer Endseite des Kernbauglieds größer sein als die Längen der Teilungsrille zwischen dem Anfangsende der Spiral spulenbildenden Rille und jeder Endseite des Kernbauglieds, und zwischen dem Abschlußende der Spiral-spulenbildenden Rille und jeder Endseite des Kernbauglieds, so daß die Anschlußelektroden zuverlässig und voneinander elektrisch isoliert angeordnet werden können.

Wenn eine Teilungsrille, die sich von der Endseite des Kernbauglieds in Richtung des äußeren Umfang desselben wi ckelt, gewählt wird, können ähnliche Vorteile erreicht wer den. In diesem Fall sind das Anfangs- und das Abschlußende der Spiral-spulenbildenden Rille für jede Dünnfilmspule je weils auf einer einzigen Ebene des Kernbauglieds positio niert, so daß jede Anschlußelektrode die gleiche Form und den gleichen Bereich haben kann wie die andere.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich nungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Mehrschicht- Induktors gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, die den Herstel lungsprozeß desselben zeigt;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 1 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 3 eine schematische Entwicklung des in Fig. 2 ge zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 4 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 2 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 5 eine schematische Entwicklung des in Fig. 4 ge zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 6 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 4 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 7 ist eine schematische Entwicklung des in Fig. 6 gezeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 6 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 9 eine schematische Entwicklung des in Fig. 8 ge zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 10 eine perspektivische Außenansicht des Mehr schicht-Induktors gemäß dem ersten Ausführungs beispiel;

Fig. 11 eine schematische Entwicklung des in Fig. 10 ge zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 12 eine horizontale Schnittansicht des in Fig. 10 gezeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 13 ein elektrisches Ersatzschaltbild des in Fig. 10 gezeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 14A-14D Beispiele eines Unterscheidungsabschnitts, der auf einer Endseite eines umwickelten Kernbau glieds gebildet ist;

Fig. 15A-15D Beispiele eines Unterscheidungsabschnitts, der auf einer Seite des umwickelten Kernbauglieds ge bildet ist;

Fig. 16 eine perspektivische Ansicht eines Mehrschicht- Induktors gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, die den Herstel lungsprozeß desselben zeigt;

Fig. 17 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 16 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 18 eine schematische Entwicklung des in Fig. 17 ge zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 19 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 17 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 20 eine schematische Entwicklung des in Fig. 19 ge zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 21 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 19 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 22 eine schematische Entwicklung des in Fig. 21 ge zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 23 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 21 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 24 eine schematische Entwicklung des in Fig. 23 ge zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 25 eine perspektivische Außenansicht des Mehr schicht-Induktors gemäß dem zweiten Ausführungs beispiel;

Fig. 26 eine schematische Entwicklung des in Fig. 25 ge zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 27 eine horizontale Schnittansicht des in Fig. 25 gezeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 28 eine perspektivische Ansicht eines Mehrschicht- Induktors gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, die den Herstel lungsprozeß desselben zeigt;

Fig. 29 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 28 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 30 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 29 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 31 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 30 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 32 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 31 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 33 eine perspektivische Außenansicht des Mehr schicht-Induktors gemäß dem dritten Ausführungs beispiel;

Fig. 34 eine schematische Entwicklung des in Fig. 33 ge zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 35 eine schematische Entwicklung einer Schicht, auf der eine erste Dünnfilmspule des in Fig. 33 ge zeigten Mehrschicht-Induktors gebildet ist;

Fig. 36 eine horizontale Schnittansicht des in Fig. 33 gezeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 37 eine perspektivische Ansicht eines Mehrschicht- Induktors gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, die den Herstel lungsprozeß desselben zeigt;

Fig. 38 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 37 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 39 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 38 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 40 eine perspektivische Ansicht des Mehrschicht- Induktors, die die Fortsetzung des in Fig. 39 ge zeigten Herstellungsprozesses zeigt;

Fig. 41 eine schematische Entwicklung des in Fig. 40 ge zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 42 eine schematische Entwicklung einer Schicht, auf der eine erste Dünnfilmspule des in Fig. 40 ge zeigten Mehrschicht-Induktors gebildet ist;

Fig. 43 eine perspektivische Außenansicht des Mehr schicht-Induktors gemäß dem vierten Ausführungs beispiel;

Fig. 44 eine schematische Entwicklung des in Fig. 43 ge zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 45 eine schematische Entwicklung einer Schicht, auf der eine erste Dünnfilmspule des in Fig. 43 ge zeigten Mehrschicht-Induktors gebildet ist;

Fig. 46 eine horizontale Schnittansicht des in Fig. 43 gezeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 47 eine schematische Entwicklung eines Mehrschicht- Induktors gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 48 eine schematische Entwicklung eines Mehrschicht- Induktors gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 49A und 49B sind schematische Darstellungen der Ver bindungsverfahren zwischen der spulenbildenden Rille und der Teilungsrille;

Fig. 50 eine perspektivische Ansicht eines Mehrschicht- Induktors gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung; und

Fig. 51 eine schematische Entwicklung eines Mehrschicht- Induktors gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Bezugnehmend auf die beiliegenden Zeichnungen werden nach folgend Ausführungsbeispiele eines Mehrschicht-Induktors gemäß der vorliegenden Erfindung in Verbindung mit dem Her stellungsverfahren desselben beschrieben.

(Erstes Ausführungsbeispiel, Fig. 1 bis 15D)

Wie in Fig. 1 gezeigt, ist ein trommelförmiges umwickeltes Kernbauglied 11 aus einem Spulenwicklungs-Abschnitt 11c mit einem quadratischen Querschnitt, und den Flanschen 11a und 11b, die an beiden Enden des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c gebildet sind, gebildet. In der Zeichnung bezeichnen die Symbole A, B, C und D die unebenen vier Seiten des umwi ckelten Kernbauglieds 11, und die Symbole E und F bezeich nen zwei Endseiten desselben. Das umwickelte Kernbauglied 11 ist aus einem magnetischen Material wie z. B. Ferrit, einem nicht-magnetischen Keramikmaterial wie z. B. Alumini umoxid und einem Harzmaterial hergestellt. Nach Bilden ei nes isolierenden Films, der, wie in Fig. 2 gezeigt, auf der Oberfläche des umwickelten Kernbauglieds 11 nach Bedarf ge bildet ist, wird auf der gesamten Oberfläche des umwickel ten Kernbauglieds 11 durch Beschichten, Plattieren, usw. ein Dünnfilm-Leiter 12 gebildet. Der Dünnfilm-Leiter 12 be steht aus Cu, Ni, Ag, Ag-Pd, usw.

Danach wird das umwickelte Kernbauglied 11 in einen Halter einer Spindel (nicht gezeigt) einer Laserprozessiereinrich tung eingefügt. Während die Spindel gedreht und das um wickelte Kernbauglied 11 in eine vorbestimmte Richtung bewegt wird, wird das umwickelte Kernbauglied 11 mit einem Laser strahl aufeinanderfolgend entlang der Strecke, die durch die Pfeile K1 und K2 in Fig. 3 angezeigt ist, bestrahlt. Der bestrahlte Abschnitt des Dünnfilm-Leiters 12 wird da durch entfernt, um die Teilungsrillen 13 und 14 zu bilden.

Wie in den Fig. 2 und 3 gezeigt, erstreckt sich die Tei lungsrille 13 von einer Endseite des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c auf der Seite A des umwickelten Kernbau glieds 11 durch eine Neigung 31 und die Flansche 11a, so daß sie eine Endseite F des umwickelten Kernbauglieds 11 erreicht, und ferner wickelt sie um die Endseite F, so daß sie eine Endseite des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c über die Flansche 11a auf der Seite C des umwickelten Kernbau glieds 11 und die Neigung 31 auf demselben erreicht. Gleichartig dazu erstreckt sich die Teilungsrille 14 von der anderen Endseite des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c auf der Seite C des umwickelten Kernbauglieds 11 durch die Nei gung 31 und das Flansch 11b, so daß sie die andere Endseite E des umwickelten Kernbauglieds 11 erreicht, und ferner verläuft sie um die Endseite E, so daß sie die andere End seite des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c über das Flansch 11 auf der Seite A und die Neigung 31 erreicht. Außerdem ist Fig. 3 eine schematische Entwicklung von Fig. 2, und die Unebenheit der Flansche 11a und 11b ist darin nicht ge zeigt, so daß die Flansche als auf einer einzigen Ebene des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c liegend dargestellt sind.

Dann wird das umwickelten Kernbauglied wie in Fig. 4 ge zeigt mit einem Laserstrahl bestrahlt und in die longitudi nale Richtung des umwickelten Kernbauglieds 11 abgetastet, während es in die Richtung von Pfeil K3 gedreht wird. Der Abschnitt des Dünnfilm-Leiters 12, der mit einem Laser strahl bestrahlt wird, wird dadurch entfernt, so daß eine Spiralrille 17 zum Bilden einer Spule gebildet wird. Somit ist eine erste Dünnfilmspule 22 gebildet, die sich spiral förmig um die äußere Umfangsoberfläche des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c wickelt. Wie in Fig. 5 gezeigt, erstreckt sich die Spulen-bildende Rille von einem Ende 13a der Tei lungsrille 13 als ein Anfangsende, das sich auf der Seite A des umwickelten Kernbauglieds 11 befindet, durch das andere Ende 13b der Teilungsrille 13 und ein Ende 14b der Tei lungsrille 14, um so das andere Ende 14a der Teilungsrille 14 als ein Abschlußende, das sich auf der Seite C des umwi ckelten Kernbauglieds 11 befindet, zu erreichen. Dement sprechend sind das Anfangs- und das Abschlußende 13a und 14a der Spulenbildenden Rille 17 zueinander um 180° um die Achse des umwickelten Kernbauglieds 11 verschoben. Zusätz lich können die Positionen des Anfangs- und des Abschlußen des 13a und 14a durch Positionen auf den Teilungsrillen 13 und 14, usw. beschränkt sein; das Anfangs- und das Abschlu ßende 13a und 14a sind nicht notwendigerweise um 180° zu einander verschoben, so lange sich das Anfangs- und das Abschlußende 13a und 14a jeweils auf den Seiten A und C be findet.

Eine Länge L2 der Teilungsrille 13 auf der Seite C des um wickelten Kernbauglieds 11 soll um einen halben Abstand der Spirale von der Spulen-bildenden Rille 17 größer sein als eine Länge L1 auf der Seite A. Gleichartig dazu soll eine Länge L3 der Teilungsrille 14 auf der Seite A des umwickel ten Kernbauglieds 11 größer als eine Länge L4 auf der Seite C um einen halben Abstand der Spirale der Spulen-bildenden Rille 17. Dadurch schneiden sich die Enden 13a, 13b, 14a und 14b der Teilungsrillen 13 und 14 zuverlässig mit der Spulen-bildenden Rille 17. Daher ist der Dünnfilm-Leiter 12 unterteilt in einen Bereich R1 (diagonal gestrichelter Be reich in Fig. 5), der von der Teilungsrille 13 und der An fangsendseite der Spulen-bildenden Rille 17 umgeben ist, einen Bereich R2 (diagonal gestrichelter Bereich in Fig. 5), der von der Teilungsrille 14 und der Zielendseite der Spulen-bildenden Rille 17 umgeben ist, und einen Bereich der Dünnfilmspule 22. Die Bereiche R1 und R2 und der Be reich der Dünnfilmspule 22 sind voneinander elektrisch iso liert.

Danach wird, wie in den Fig. 6 und 7 (Fig. 7 ist eine sche matische Entwicklung von Fig. 6) gezeigt, auf dem Dünnfilm- Leiter 12 eine isolierende Schicht 27 gebildet, wobei die Teilungsrillen 13 und 14 und die Spulen-bildenden Rille 17 darauf gebildet sind. Die isolierende Schicht 27 weist Ver bindungsöffnungen 28 und 29 auf, die jeweils an beiden En den der Seite D des umwickelten Kernbauglieds 11 angeordnet sind. In der Verbindungsöffnung 28 ist ein Anfangsende 22a der Dünnfilmspule 22 freigelegt, während in der Verbin dungsöffnung 29 ein Abschlußende 22b der Dünnfilmspule 22 freigelegt ist. Zusätzlich kann die Form der jeweiligen Verbindungsöffnungen 28 und 29 mehrere gerade Linien, einen Fleck oder eine gebogene Linie, die anders ist als eine ge rade Linie, sein, um die elektrische Verbindung an die Anschlußelektroden 41a und 41b sicherzustellen (dies wird später beschrieben).

Dann wird, wie in Fig. 8 gezeigt, auf der gesamten Oberflä che des umwickelten Kernbauglieds 11 durch Beschichten, Plattieren usw. ein Dünnfilm-Leiter 32 gebildet. Zu diesem Zeitpunkt werden die Verbindungsöffnungen 28 und 29 außer dem mit dem Dünnfilm-Leiter 32 gefüllt. Danach wird das um wickelte Kernbauglied 11 mit einem Laserstrahl bestrahlt, um die Teilungsrillen 33 und 34 zu bilden. Wie in den Fig. 8 und 9 gezeigt, erstreckt sich die Teilungsrille 33 durch die Neigung 31 und das Flansch 11a von einer Endseite des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c auf der Seite A des um wickelten Kernbauglieds 11, so daß sie eine Endseite F des umwickelten Kernbauglieds 11 erreicht, und außerdem ver läuft sie um die Endseite F, so daß sie über das Flansch 11a auf der Seite C des umwickelten Kernbauglieds 11 und die Neigung 31 eine Endeseite des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c erreicht. Gleichartig dazu erstreckt sich die Teilungsrille 34 von der anderen Endseite des Spulen wicklungs-Abschnitts 11c auf der Seite C des umwickelten Kernbauglieds 11 durch die Neigung 31 und das Flansch 11b, so daß sie die andere Endseite E des umwickelten Kernbau glieds 11 erreicht, und ferner verläuft sie um die Endseite E, so daß sie die andere Endseite des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c über das Flansch 11b auf der Seite A und die Neigung 31 erreicht.

Außerdem soll, wie in Fig. 9 gezeigt, eine Länge L5 der Teilungsrille 33 auf der Seite A des umwickelten Kernbau glieds 11 um einen halben Abstand der Spirale einer Spulen bildenden Rille 18 länger sein als eine Länge L6 auf der Seite B (wird später beschrieben). Gleichartig dazu soll eine Länge L8 der Teilungsrille 34 auf der Seite C des um wickelten Kernbauglieds 11 um einen halben Abstand der Spi rale der Spulen-bildenden Rille 18 länger sein als eine Länge L7 auf der Seite A. Dadurch schneiden sich die Enden 33a, 33b, 34a, und 34b der Teilungsrillen 33 und 34 zuver lässig mit der Spulen-bildenden Rille 18.

Danach wird, wie in Fig. 10 gezeigt, das umwickelte Kern bauglied 11 mit einem Laserstrahl bestrahlt, und in longi tudinaler Richtung des umwickelten Kernbauglieds 11 abge tastet, während es in die Richtung des Pfeils K4 gedreht wird. Der Abschnitt des Dünnfilm-Leiters 32, der mit einem Laserstrahl bestrahlt wird, wird dadurch entfernt, so daß die Spiralrille 18 zum Bilden einer Spule gebildet wird. Somit ist eine zweite Dünnfilmspule 23 gebildet, die sich spiralförmig um den äußeren Umfangs des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c wickelt.

Wie in Fig. 11 gezeigt, erstreckt sich die Spulen-bildende Rille 18 von einem Ende 33b der Teilungsrille 33, die sich auf der Seite C des umwickelten Kernbauglieds 11 als ein Anfangsende befindet, durch das andere Ende 33a der Tei lungsrille 33 und ein Ende 34a der Teilungsrille 34, so daß sie das andere Ende 34b der Teilungsrille 34, das sich auf der Seite A des umwickelten Kernbauglieds 11 als ein Abschlußende befindet, erreicht. Das heißt, das Anfangsende 33b der Spulen-bildenden Rille 18 ist von dem Abschlußende 34 um 180° um die Achse des umwickelten Kernbauglieds 11 verschoben.

Folglich ist der Dünnfilm-Leiter 32 unterteilt in einen Be reich R3 (diagonal gestrichelter Bereich in Fig. 11), der von der Teilungsrille 33 und der Anfangsendseite der Spu len-bildenden Rille 18 umgeben ist, einen Bereich R4 (dia gonal gestrichelter Bereich in Fig. 11), der von der Tei lungsrille 34 und der Zielendseite der Spulen-bildenden Rille 18 umgeben ist, und den Bereich der Dünnfilmspule 23. Die Bereiche R3 und R4 und der Bereich der Dünnfilmspule 23 sind voneinander elektrisch isoliert. Die Bereiche R3 und R4 sind jeweils über die Verbindungsöffnungen 28 und 29 e lektrisch verbunden mit dem Anfangs- und dem Abschlußende 22a und 22b der ersten Dünnfilmspule 22. Das heißt, die Be reiche R3 und R4 sollen die Anschlußelektroden 41a und 41b der ersten Dünnfilmspule 22 sein, während das Anfangs- und das Abschlußende der zweiten Dünnfilmspule 23 die Anschlu ßelektroden 42a und 42b der ersten Dünnfilmspule 23 sein sollen.

Danach wird nach Bedarf eine isolierende Deckschicht 45 darauf gebildet, außer auf den Flanschen 11a und 11b, um die Dünnfilmspulen 22 und 23 zu schützen. Zu diesem Zeit punkt ermöglicht die Anordnung der Deckschicht 45, die auf einer einzigen Ebene der Flansche 11a und 11b oder niedri ger als diese sein soll, die Oberflächenbefestigungsopera tion eines Mehrschicht-Induktors 40 auf einem Schaltungs substrat, usw. Ferner werden die Anschlußelektroden 41a bis 42b mit Sn-Beschichtung oder Ni-Cu-Sn-Beschichtung ver sehen, wodurch die Lötbarkeit usw. verbessert wird.

Bei dem Mehrschicht-Induktor 40, der, wie in Fig. 12 ge zeigt, gebildet ist, sind zwei Dünnfilmspulen 22 und 23, zwischen denen die isolierende Schicht 27 angeordnet ist, auf dem Spulenwicklungs-Abschnitt 11c des umwickelten Kern bauglieds 11 aufgebracht. An den Positionen, die Flanschen 11a und 11b des umwickelten Kernbauglieds 11 gegenüber lie gen, sind jeweils die beiden Anschlußelektroden 41a und 41b in einem Zustand, der durch die Teilungsrillen 33 und 34 definiert ist, gebildet. Das Anfangsende 22a der ersten Dünnfilmspule 22 ist mit der Anschlußelektrode 41a über die Verbindungsöffnung 28 elektrisch verbunden, während das Abschlußende 22b der ersten Dünnfilmspule 22 mit der Anschlußelektrode 41b über die Verbindungsöffnung 29 elektrisch verbunden ist.

Gleichartig dazu, sind an Positionen, die den Flanschen 11a und 11b des umwickelten Kernbauglieds 11 gegenüber liegen, jeweils die beiden Anschlußelektroden 42a und 42b, die mit der zweiten Dünnfilmspule elektrisch verbunden sind, in ei nem Zustand gebildet, der durch die Teilungsrillen 33 und 34 definiert ist. Fig. 13 ist ein elektrisches Ersatz schaltbild des Mehrschicht-Induktors 40. Die Dünnfilmspulen 22 und 23 sind magnetisch miteinander verbunden, so daß der Mehrschicht-Induktor 40 als eine Drosselspule, usw. wirkt.

Da eine Reihe des Verarbeitens zum Bilden der Teilungsril len 13, 14, 33 und 34 und zum Bilden der Spulen-bildenden Rillen 17 und 18 kompliziert ist, ist es vorzuziehen, daß ein konkaver Unterscheidungsabschnitt 67, der beispielhaft in den Fig. 14A-14D oder Fig. 15A-15D dargestellt ist, im voraus auf einer Endseite des umwickelten Kernbauglieds 11 oder auf einer Seite desselben gebildet wird. Wenn der Un terscheidungsabschnitt 67 auf der Endseite des umwickelten Kernbauglieds 11 gebildet ist, ist er darauf angeordnet, um von der Mitte der Endseite in die Nähe von einer der vier Seiten verschoben zu werden. Wenn der Unterscheidungsab schnitt 67 auf der Seite des umwickelten Kernbauglieds 11 gebildet ist, ist er auf einem Endabschnitt der Seite ange ordnet. Dadurch kann der Unterscheidungsabschnitt 67 die Ausrichtung des umwickelten Kernbauglieds 11 unterscheiden, während er die Seite desselben von den vier Seiten A bis D des umwickelten Kernbauglieds 11 unterscheiden kann. Daher kann die Verarbeitung der Teilungsrillen 13 und 14 usw. durch Bestätigen der Ausrichtung und der Seite des um wickelten Kernbauglieds 11 in Übereinstimmung mit dem Unter scheidungsabschnitt 67 genau durchgeführt werden. Außerdem ist die Form des Unterscheidungsabschnitts 67 beliebig, er kann eine konvexe Form aufweisen.

Bei dem Mehrschicht-Induktor 40 sind die beiden Dünn filmspulen 22 und 23 auf dem Spulenwicklungs-Abschnitt 11c des umwickelten Kernbauglieds 11 aufgebracht, und die iso lierende Schicht 27 ist zwischen denselben angeordnet, so daß die Länge des umwickelten Kernbauglieds 11 reduziert werden kann, und die Anzahl von Windungen der Dünnfilmspu len 22 und 23 im Vergleich mit einem Induktor, bei dem zwei Dünnfilmspulen in einer Reihe in der Richtung eines umwi ckelten Kernbauglieds angeordnet sind, erhöht werden kann. Dadurch kann ein Mehrschicht-Induktor 40 mit kleiner Größe, der darüber hinaus eine hohe Induktivität aufweist, erhal ten werden.

Außerdem sind die beiden Dünnfilmspulen 22 und 23, zwischen denen die isolierende Schicht 27 angeordnet ist, koaxial um das umwickelte Kernbauglied 11 angeordnet, so daß die ver teilte Kapazität zwischen den Dünnfilmspulen 22 und 23 gleichmäßig über den gesamten Abschnitten der Dünnfilmspu len 22 und 23 erzeugt wird, wodurch ein Mehrschicht- Induktor 40 vom Typ mit verteilter Konstante erhalten wird. Durch Auswählen eines Materials der isolierende Schicht 27 zwischen den Dünnfilmspulen 22 und 23 kann eine unter schiedliche verteilte Kapazität erhalten werden, so daß ein Mehrschicht-Induktor 40 mit einer unterschiedlich verteil ten Konstante erhalten werden kann. Da die Anfangsenden und die Abschlußenden der jeweiligen Spulen-bildenden Rillen 17 und 18 darüber hinaus zueinander um 180° in die Richtung, die sich um die Achse des umwickelten Kernbauglieds 11 wi ckelt, verschoben sind, sind die Anschlußelektroden 41a und 41b und die Anschlußelektroden 42a und 42b, die jeweils mit jedem der beiden Enden des Paares der Dünnfilmspulen 22 und 23 verbunden sein sollen, an Positionen gebildet, die sich jeweils an beiden Enden des umwickelten Kernbauglieds 11 gegenüber liegen. Dadurch können die Anschlußelektroden 41a-42b die gleiche Form und den gleichen Bereich aufwei sen, und die entsprechende Beziehung zwischen den Anschlu ßelektroden 41a-42b und die Dünnfilmspulen 22 und 23 kann leicht unterschieden werden.

(Zweites Ausführungsbeispiel, Fig. 16-27)

Bei einem zweiten Ausführungsbeispiel ist ein Mehrschicht- Induktor beschrieben, bei dem sich eine Teilungsrille von einer Endseite eines umwickelten Kernbauglieds in Richtung einer äußeren Umfangsoberfläche derselben wickelt. Zusätz lich bezeichnen gleiche Bezugszeichen in den Fig. 16-27, die die Struktur in dem zweiten Ausführungsbeispiel zeigen, gleiche Abschnitte, die denen in den Fig. 1-15D in dem oben beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel entsprechen, und überflüssige Beschreibung derselben ist ausgelassen.

Wie in Fig. 16 gezeigt ist das trommelförmige umwickelte Kernbauglied 11 aus dem Spulenwicklungs-Abschnitt 11c mit einem quadratischen Querschnitt gebildet, und die Flansche 11a und 11b sind an beiden Enden des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c gebildet. Nach Bilden eines isolierenden Films der auf der Oberfläche des umwickelten Kernbauglieds 11 nach Bedarf wie in Fig. 17 gezeigt ist, gebildet wird, wird der Dünnfilm-Leiter 12 auf der gesamten Oberfläche des umwickelten Kernbauglieds 11 durch Beschichten, Plattieren, usw. gebildet. Der Dünnfilm-Leiter 12 besteht aus Cu, Ni, Ag, Ag-Pd, usw.

Danach wird das umwickelte Kernbauglied 11 in einen Halter einer Spindel (nicht gezeigt) einer Laserprozessiereinrich tung eingeführt. Während die Spindel gedreht wird, und das umwickelte Kernbauglied 11 in eine vorbestimmte Richtung bewegt wird, wird das umwickelte Kernbauglied 11 mit einem Laserstrahl bestrahlt, aufeinanderfolgend in der Richtung, die durch Pfeile K1 und K2 in Fig. 18 angezeigt ist. Der bestrahlte Abschnitt des Dünnfilm-Leiters 12 wird dadurch entfernt, do daß die Teilungsrillen 13 und 14 gebildet wer den.

Wie in den Fig. 17 und 18 gezeigt, erstreckt sich die Tei lungsrille 13 von der Mitte in der einen Endseite des Spu lenwicklungs-Abschnitts 11c auf der Seite A des umwickelten Kernbauglieds 11 durch die Neigung 31 und das Flansch 11a, so daß sie die Endseite F des umwickelten Kernbauglieds 11 erreicht, und ferner wickelt sie sich um die Endseite F, so daß sie eine Endseite des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c über das Flansch 11a auf der Seite C des umwickelten Kern bauglieds 11 und die Neigung 31 auf demselben erreicht. Auf diesen Abschnitt der Teilungsrille 13 wird unten als eine axiale Teilungsrille 13c Bezug genommen. Ferner macht die Teilungsrille 13 eine halbe Windung des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c in die Richtung ihres äußeren Umfangs, d. h. sie wickelt sich von der Seite C um die Seite B, so daß sie durch Erstrecken in die Richtung der Seite A die ursprüng liche Position erreicht. Auf diesen Abschnitt der Teilungs rille 13 wird unten als eine Wickel-Teilungsrille 13d Bezug genommen. Die Teilungsrille 13 ist eine Wickelrille, die durch die Endseite F und die Seiten A, B und C des um wickelten Kernbauglieds 11 auf solche Weise verläuft.

Gleichartig dazu erstreckt sich von der Mitte in der ande ren Seite des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c auf der Seite A des umwickelten Kernbauglieds 11 die Teilungsrille 14 durch die Neigung 31 und das Flansch 11b, so daß sie die andere Endseite E des umwickelten Kernbauglieds 11 er reicht, und ferner wickelt sie sich um die Endseite E, so daß sie die andere Endseite des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c über das Flansch 11b und die Neigung 31 erreicht. Auf diesen Abschnitt der Teilungsrille 14 wird unten als eine axiale Teilungsrille 14c Bezug genommen. Ferner macht die Teilungsrille 14 eine halbe Windung des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c in die Richtung ihres äußeren Umfangs, d. h. sie wickelt sich von der Seite C um die Seite B, so daß sie durch Erstrecken in Richtung der Seite A die ursprüngliche Position erreicht. Auf diesen Abschnitt der Teilungsrille 14 wird unten als eine Wickel-Teilungsrille 14d Bezug ge nommen. Die Teilungsrille 14 ist eine Wickelrille, die durch die Endseite E und die Seiten, A, B und C des umwi ckelten Kernbauglieds 11 auf solche Weise verläuft. Zusätz lich ist Fig. 18 eine schematische Entwicklung von Fig. 17, und die Ungleichmäßigkeit der Flansche 11a und 11b ist dar in nicht gezeigt, so daß die Flansche dargestellt sind als auf einer einzigen Ebene des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c liegend. Dann wird das umwickelte Kernbauglied 11, wie in Fig. 19 gezeigt, mit einem Laserstrahl bestrahlt und in die longitudinale Richtung des umwickelten Kernbauglieds 11 ab getastet, während es in die Richtung des Pfeils K3 gedreht wird. Der Abschnitt des Dünnfilm-Leiters 12, der mit einem Laserstrahl bestrahlt wird, wird dadurch entfernt, so daß die Spiralspulen-bildende Rille 17 gebildet wird. Somit ist die erste Dünnfilmspule 22, die sich spiralförmig um die äußere Umfangsoberfläche des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c wickelt, gebildet.

Wie in Fig. 20 gezeigt, erreicht die Spulen-bildenden Rille 17 von einer Ecke 13e der Teilungsrille 13 als ein Anfangs ende, das sich auf der Seite A des umwickelten Kernbau glieds 11 befindet, eine Ecke 14e der Teilungsrille 14 als ein Abschlußende, das sich auf der Seite C des umwickelten Kernbauglieds 11 befindet. Dementsprechend sind das An fangs- und das Abschlußende 13e und 14e der Spulen bildenden Rille 17 zueinander um 180° um die Achse des um wickelten Kernbauglieds 11 verschoben. Zusätzlich können die Positionen des Anfangs- und des Abschlußendes 13e und 14e durch Positionen der Teilungsrillen 13 und 14, usw. be schränkt sein; das Anfangs- und das Abschlußende 13e und 14e sind nicht notwendigerweise zueinander um 180° verscho ben, so lange sie jeweils auf den Seiten A und C angebracht sind.

Daher ist der Dünnfilm-Leiter 12 unterteilt in einen Be reich R1 (diagonal schraffiert in Fig. 20), der von der Teilungsrille 13 umgeben ist, einen Bereich R2 (diagonal schattierter Bereich in Fig. 20), der von der Teilungsrille 14 umgeben ist, und einen Bereich der Dünnfilmspule 22. Die Bereiche R1 und R2 und der Bereich der Dünnfilmspule 22 sind voneinander elektrisch isoliert.

Danach wird die isolierende Schicht 27 wie in Fig. 21 und 22 (Fig. 22 ist eine schematische Entwicklung von Fig. 21) auf dem Dünnfilm-Leiter 12 gebildet, und die Teilungsrille 13 und 14 und die Spulen-bildende Rille 17 werden darauf gebildet. Die isolierende Schicht 27 umfaßt die Verbin dungsöffnungen 28 und 29, die jeweils an beiden Enden der Seite des D des umwickelten Kernbauglieds 11 angeordnet sind. In der Verbindungsöffnung 28 ist das Anfangsende 22a der Dünnfilmspule 22 freigelegt, während in der Verbin dungsöffnung 29 das Abschlußende 22b der Dünnfilmspule 22 freigelegt ist. Zusätzlich kann die Form der jeweiligen Verbindungsöffnungen 28 und 29 mehrere gerade Linien, ein Fleck, oder eine gebogene Linie, die anders ist als eine gerade Linie, sein, um die elektrische Verbindung zu den Anschlußelektroden 41a und 41b sicherzustellen (dies wird später beschrieben).

Danach wird, wie in Fig. 23 gezeigt, auf der gesamten Ober fläche des umwickelten Kernbauglieds 11 durch Beschichten, Plattieren, usw. der Dünnfilm-Leiter 32 gebildet. Zu diesem Zeitpunkt werden die Verbindungsöffnungen 28 und 29 eben falls mit dem Dünnfilm-Leiter 32 gefüllt. Danach wird das umwickelte Kernbauglied 11 mit einem Laserstrahl bestrahlt, um so die Teilungsrillen 33 und 34 zu bilden. Wie in den Fig. 23 und 24 gezeigt erstreckt sich die Teilungsrille 33 von der Mitte einer Endseite des Spulenwicklungs-Abschnitts 12c auf der Seite A des umwickelten Kernbauglieds 11 durch die Neigung 31 und das Flansch 11a, so daß sie eine Endsei te des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c erreicht. Auf diesen Abschnitt der Teilungsrille 33 wird unten als eine axiale Teilungsrille 33c Bezug genommen. Ferner macht die Tei lungsrille 33 eine halbe Windung des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c in die Richtung ihres äußeren Umfangs, d. h. sie wickelt sich von der Seite C um die Seite D, so daß sie die ursprüngliche Position durch Erstrecken in Richtung der Seite A erreicht. Die Teilungsrille 33 ist eine Wickelril le, die sich durch die Endseite F und die Seiten A, C und D des umwickelten Kernbauglieds 11 auf solche Weise er streckt.

Gleichartig dazu erstreckt sich die Teilungsrille 34 von der Mitte in der anderen Endseite des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c auf der Seite A des umwickelten Kernbau glieds 11 durch die Neigung 31 und das Flansch 11b, so daß sie die andere Endseite E des umwickelten Kernbauglieds 11 erreicht, und ferner wickelt sie sich um die Endseite E, so daß sie die andere Endseite des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c über das Flansch 11b und die Neigung 31 auf der Seite C erreicht. Auf diesen Abschnitt der Teilungsrille 34 wird später als axiale Teilungsrille 34c Bezug genommen. Ferner macht die Teilungsrille 34 eine halbe Windung des Spulen wicklungs-Abschnitts 11c in die Richtung ihres äußeren Um fangs, d. h. sie wickelt sich von der Seite C um die Seite D, so daß sie durch Erstrecken in die Richtung der Seite A die ursprüngliche Position erreicht. Auf diesen Abschnitt der Teilungsrille 34 wird weiter unten als eine Wickeltei lungsrille 34d Bezug genommen. Die Teilungsrille 34 ist ei ne Wickelrille, die die Endseite E und die Seiten A, C, und D dem umwickelten Kernbauglieds 11 auf solche Weise durch läuft.

Dann wird das umwickelte Kernbauglied 11, wie in Fig. 25 gezeigt, mit einem Laserstrahl bestrahlt und in die longi tudinale Richtung des umwickelten Kernbauglieds abgetastet, während es in die Richtung des Pfeiles K4 gedreht wird. Der Abschnitt des Dünnfilm-Leiters 32, der mit einem Laser strahl bestrahlt wird, wird dadurch entfernt, so daß die Spiralspulen-bildende Rille 18 gebildet wird. Daher ist die zweite Dünnfilmspule 23 spiralförmig wickelnd um die äußere Umfangsoberfläche des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c gewi ckelt.

Wie in Fig. 26 gezeigt, erreicht die Spulen-bildenden Rille 18 von einer Ecke 33e der Teilungsrille 33 als ein Anfangs ende, das sich auf der Seite A des umwickelten Kernbau glieds 11 befindet, eine Ecke 34e der Teilungsrille 34 als ein Abschlußende, das sich auf der Seite C des umwickelten Kernbauglieds 11 befindet. Das heißt, das Anfangs- und das Abschlußende 32e und 34e der Spulen-bildenden Rille 18 sind zueinander um 180° um die Achse des umwickelten Kernbau glieds 11 verschoben. Außerdem sind das Anfangsende 33e der Spulen-bildenden Rille 18 und das Anfangsende 13e der Spu len-bildenden Rille 17 auf der gleichen Ebene (Seite A) des umwickelten Kernbauglieds 11 angeordnet.

Daher ist der Dünnfilm-Leiter 32 unterteilt in einen Be reich R3 (diagonal schraffierter Bereich in Fig. 26), der von der Teilungsrille 33 umgeben ist, einen Bereich R4 (di agonal schraffierter Bereich in Fig. 26), der von der Tei lungsrille 34 umgeben ist, und einen Bereich der Dünnfilm spule 23. Die Bereiche R3 und R4 und der Bereich der Dünn filmspule 23 sind voneinander elektrisch isoliert. Die Be reiche R3 und R4 sind jeweils über die Verbindungsöffnungen 28 und 29 mit dem Anfangs- und dem Abschlußende 22a und 22b der ersten Dünnfilmspule 22 elektrisch verbunden. Das heißt, die Bereiche R3 und R4 sollen die Anschlußelektroden 41a und 41b der ersten Dünnfilmspule 22 sein, während die Anfangs- und Abschlußenden der Bereiche in der zweiten Dünnfilmspule 23 die Anschlußelektroden 42a und 42b der Dünnfilmspule 23 sein sollen.

Danach wird die isolierenden Deckschicht 45 nach Bedarf darauf gebildet, außer auf den Flanschen 11a und 11b, um so die Dünnfilmspulen 22 und 23 zu schützen. Ferner werden die Anschlußelektroden 41a-42b mit Sn-Beschichtung oder Ni-Cu- Sn-Beschichtung versehen, wodurch die Lötbarkeit, usw. ver bessert wird.

Bei dem wie in Fig. 27 gebildeten Mehrschicht-Induktor 40 sind die beiden Dünnfilmspulen 22 und 23, zwischen denen die isolierende Schicht 27 angeordnet ist, auf den Spulen wicklungs-Abschnitt 11c des umwickelten Kernbauglieds 11 aufgebracht. An Positionen, die den Flanschen 11a und 11b des umwickelten Kernbauglieds 11 gegenüber liegen, sind die beiden Anschlußelektroden 41a und 41b jeweils in einem Zu stand gebildet, der durch die Teilungsrillen 33 und 34 de finiert ist. Das Anfangsende 22a der ersten Dünnfilmspule 22 ist über die Verbindungsöffnung 28 mit der Anschluße lektrode 41a elektrisch verbunden, während das Abschlußende 22b der ersten Dünnfilmspule 22 über die Verbindungsöffnung 29 mit der Anschlußelektrode 41b verbunden ist. Gleichartig dazu, an Positionen, die den Flanschen 11a und 11b des um wickelten Kernbauglieds 11 gegenüber liegen, sind die bei den Anschlußelektroden 42a und 42b, die mit der zweiten Dünnfilmspule 23 elektrisch verbunden sind, jeweils in ei nem Zustand gebildet, der durch die Teilungsrillen 33 und 34 definiert ist. Folglich weist der Mehrschicht-Induktor 40 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel den gleichen Vor teil auf wie der des ersten Ausführungsbeispiels.

(Drittes Ausführungsbeispiel, Fig. 28-36)

Bei einem dritten Ausführungsbeispiel werden die axialen Teilungsrillen 13c und 33c in dem zweiten Ausführungsbei spiel gleichzeitig gebildet, während die axiale Teilungs rille 14c und 34c gleichzeitig gebildet werden. Zusätzlich bezeichnen gleiche Bezugszeichen in den Fig. 28-36, die die Struktur bei dem dritten Ausführungsbeispiel zeigen, glei che Abschnitte, die denen in den Fig. 16-27 in dem oben be schriebenen zweiten Ausführungsbeispiel entsprechen, und überflüssige Beschreibung derselben ist ausgelassen.

Wie in Fig. 28 gezeigt, wird der Dünnfilm-Leiter 12 auf der gesamten Oberfläche des umwickelten Kernbauglieds 11 durch Beschichten, usw. gebildet. Danach werden beide Enden des Spulenwicklungs-Abschnitts 12c des umwickelten Kernbau glieds 11 mit einem Laserstrahl bestrahlt. Der bestrahlte Abschnitt des Dünnfilm-Leiters 12 wird dadurch entfernt, so daß nur die Wickel-Teilungsrillen 13d und 14d der Teilungs rillen 13 und 14 gebildet werden. Das heißt, von der Mitte in einer Endseite auf der Seite A des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c, wickelt sich die Wickel-Teilungsrille 13d um die Seite B und macht eine halbe Windung des Spulen wicklungs-Abschnitts 11c in die äußere Umfangsrichtung, so daß sie die Mitte der Seite C erreicht. Gleichartig dazu wickelt sich die Wickel-Teilungsrille 14d von der Mitte in der anderen Endseite auf der Seite A des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c um die Seite B, so daß sie die Mitte der Seite C erreicht.

Dann wird, wie in Fig. 29 gezeigt, das umwickelte Kernbau glied 11 mit einem Laserstrahl bestrahlt und in die longi tudinale Richtung des umwickelten Kernbauglieds 11 abge tastet, während es in die Richtung von Pfeil K3 gedreht wird. Der Abschnitt des Dünnfilm-Leiters 12, der mit einem Laser strahl bestrahlt wird, wird dadurch entfernt, so daß die Spiralspulen-bildende Rille 17 gebildet wird. Somit wird die erste Dünnfilmspule 22 gebildet, die sich spiralförmig um die äußere Umfangsoberfläche des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c wickelt.

Danach wird, wie in Fig. 30 gezeigt, die isolierende Schicht 27 auf dem Dünnfilm-Leiter 12 gebildet, wobei die Wickel-Teilungsrillen 13d und 14d und die Spulen-bildende Rille 17 darauf gebildet sind. Die isolierende Schicht 27 weist die Verbindungsöffnungen 28 und 29 auf, die jeweils an beiden Enden der Seite D des umwickelten Kernbauglieds 11 angeordnet sind. Das Anfangsende 23a der Dünnfilmspule 22 ist in der Verbindungsöffnung 28 freigelegt, während das Abschlußende 22b der Dünnfilmspule 22 in der Verbindungs öffnung 29 freigelegt ist.

Dann wir wie in Fig. 31 gezeigt auf der gesamten Oberfläche des umwickelten Kernbauglieds 11 der Dünnfilm-Leiter 32 durch Beschichten, usw. gebildet. Zu diesem Zeitpunkt wer den die Verbindungsöffnungen 28 und 29 außerdem mit dem Dünnfilm-Leiter 32 gefüllt. Danach wird das umwickelte Kernbauglied 11 mit einem Laserstrahl bestrahlt, so daß nur die Wickel-Teilungsrillen 33d und 34d der Teilungsrillen 33 und 34 gebildet werden. Das heißt, von der Mitte in einer Endseite auf der Seite A des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c wickelt sich die Wickel-Teilungsrille 33d um die Seite D und macht eine halbe Windung des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c in die äußere Umfangsrichtung, um so die Mitte der Sei te C zu erreichen. Gleichartig dazu wickelt sich die Wi ckel-Teilungsrille 34d von der Mitte in der anderen Endsei te auf der Seite A des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c um die Seite D, so daß sie die Mitte der Seite C erreicht. Da nach wird das umwickelte Kernbauglied 11, wie in Fig. 32 gezeigt, mit einem Laserstrahl bestrahlt, und in die longi tudinale Richtung des umwickelten Kernbauglieds 11 abge tastet, während es in die Richtung des Pfeils K4 gedreht wird. Der Abschnitt des Dünnfilm-Leiters 32, der mit einem Laser strahl bestrahlt wird, wird dadurch entfernt, so daß die Spiralspulen-bildende Rille 18 gebildet wird. Somit ist die zweite Dünnfilmspule 23 gebildet, die sich spiralförmig um die äußere Umfangsoberfläche des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c wickelt.

Danach wird, wie in Fig. 33 gezeigt, bewirkt, daß ein La serstrahl das umwickelte Kernbauglied 11 in Reihenfolge der folgenden Strecke beleuchtet. Das heißt, von einem Ende der Wickel-Teilungsrille 33d als ein Anfangsende, das sich auf der Seite A des umwickelten Kernbauglieds 11 befindet, wird ein Laserstrahl durch die Neigung 31 und das Flansch 11 ge worfen, so daß er die Endseite F des umwickelten Kernbau glieds 11 erreicht, und ferner windet er sich um die End seite F, so daß er das andere Ende der Wickel-Teilungsrille 33d als ein Abschlußende über das Flansch 11a auf der Seite C des umwickelten Kernbauglieds 11 und die Neigung 31 dar auf erreicht, so daß die axiale Teilungsrille 33c der Tei lungsrille 33 durch Bestrahlen des umwickelten Kernbau glieds 11 mit dem Laserstrahl gebildet wird. Zu diesem Zeitpunkt werden durch Anpassen der Intensität und der Be strahlungszeit des Laserstrahls, so daß die Verarbeitungs tiefe erhöht wird, die isolierende Schicht 27 und der Dünn film-Leiter 12 gleichzeitig durch den Laserstrahl entfernt. Dadurch wird wie in den Fig. 34 und 35 gezeigt, die Axial teilungsrille 13c der Teilungsrille 13 ebenfalls gleichzei tig der Axialteilungsrille 33c der Teilungsrille 33 gebil det. Fig. 34 ist eine schematische Entwicklung des in Fig. 33 gezeigten Mehrschicht-Induktors, und Fig. 35 ist eine schematische Entwicklung einer Schicht, auf der die erste Dünnfilmspule 22 des Mehrschicht-Induktors gebildet ist.

Gleichartig dazu wird, wie in Fig. 33 gezeigt, von einem Ende der Wickel-Teilungsrille 34d als ein Anfangsende, das sich auf der Seite A des umwickelten Kernbauglieds 11 be findet, ein Laserstrahl durch die Neigung 31 und das Flansch 11b erstreckt, so daß er die andere Endseite E des umwickelten Kernbauglieds 11 erreicht, und ferner windet er sich um die Endseite E, so daß das andere Ende der Wickel- Teilungsrille 34d als ein Abschlußende über das Flansch 11b auf der Seite C des umwickelten Kernbauglieds 11 und die Neigung 31 darauf erreicht wird, so daß die Axialteilungs rille 34c der Teilungsrille 34 durch Bestrahlen des um wickelten Kernbauglieds 11 mit dem Laserstrahl gebildet wird. Zu diesem Zeitpunkt werden die isolierende Schicht 27 und der Dünnfilm-Leiter 12 ebenfalls durch den Laserstrahl ent fernt. Dadurch wird, wie in den Fig. 34 und 35 gezeigt, die Axialteilungsrille 14c der Teilungsrille 14 ebenfalls gleichzeitig mit der Axialteilungsrille 34c der Teilungs rille 34 gebildet.

Daher ist der Dünnfilm-Leiter 32 unterteilt in den Bereich R3 (diagonal schraffierter Bereich in Fig. 34), der von der Teilungsrille 33 umgeben ist, den Bereich R4 (diagonal schraffierter Bereich in Fig. 34), der von der Teilungsril le 34 umgeben ist, und den Bereich der Dünnfilmspule 23. Die Bereiche R3 und R4 und der Bereich der Dünnfilmspule 23 sind voneinander elektrisch isoliert. Gleichartig dazu ist der Dünnfilm-Leiter 12 unterteilt in den Bereich R1 (diago nal schraffierter Bereich in Fig. 35), der von der Tei lungsrille 13 umgeben ist, den Bereich R2 (diagonal schraf fierter Bereich in Fig. 35), der von der Teilungsrille 14 umgeben ist, und den Bereich der Dünnfilmspule 22. Die Be reiche R1 und R2 und der Bereich der Dünnfilmspule 22 sind voneinander elektrisch isoliert. Wie in Fig. 34 gezeigt, sind die Bereiche R3 und R4 jeweils über die Verbindungs öffnungen 28 und 29 mit dem Anfangs- und dem Abschlußende 22a und 22b der ersten Dünnfilmspule 22 elektrisch verbun den. Das heißt, die Bereiche R3 und R4 sollen die Anschlu ßelektroden 41a und 41b der ersten Dünnfilmspule 22 sein, während das Anfangs- und das Abschlußende der Bereiche in der zweiten Dünnfilmspule 23 die Anschlußelektroden 42a und 42b der Dünnfilmspule 23 sein sollen. Fig. 36 ist eine ho rizontale Schnittansicht des in Fig. 33 gezeigten Mehr schicht-Induktors 40.

Bei dem wie oben gebildeten Mehrschicht-Induktor 40 werden die Axialteilungsrille 13c und 33c gleichzeitig gebildet, während die Axialteilungsrille 14c und 34c gleichzeitig ge bildet werden, so daß die Anzahl der Prozesse verringert ist, wodurch die Herstellungskosten reduziert werden, so dass ein kostengünstiger Mehrschicht-Induktor 40 erhalten wird.

(Viertes Ausführungsbeispiel, Fig. 37-46)

Bei einem vierten Ausführungsbeispiel werden die Axialtei lungsrillen 13c und 33c in dem zweiten Ausführungsbeispiel gleichzeitig gebildet, während die Axialteilungsrillen 14c und 34c gleichzeitig gebildet werden, und ferner werden die Spulen-bildenden Rillen 17 und 18 ebenfalls gleichzeitig gebildet. Zusätzlich bezeichnen gleiche Bezugszeichen in den Fig. 37-46, die die Struktur in dem vierten Ausfüh rungsbeispiel zeigen, gleiche Abschnitte, die denen in Fig. 16-27 in dem oben beschriebenen zweiten Ausführungsbeispiel entsprechen, und überflüssige Beschreibung derselben ist ausgelassen.

Wie in Fig. 37 gezeigt, ist der Dünnfilm-Leiter 12 auf der gesamten Oberfläche des umwickelten Kernbauglieds 11 durch Beschichten, usw. gebildet. Danach werden beide Enden des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c des umwickelten Kernbau glieds 11 mit einem Laserstrahl bestrahlt. Der bestrahlte Abschnitt des Dünnfilm-Leiters 12 wird dadurch entfernt, so daß nur die Wickel-Teilungsrillen 13d und 14d der Teilungs rillen 13 und 14 gebildet werden. Das heißt, die Wickel- Teilungsrille 13d wickelt sich von der Mitte in einer Seite auf der Seite A des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c um die Seite B und macht eine halbe Windung des Spulen-wickelnden Abschnitts 11c in die äußere Umfangsrichtung, so dass sie die Mitte der Seite C erreicht.

Gleichartige dazu wickelt sich die Wickel-Teilungsrille 14d von der Mitte auf der anderen Endseite auf der Seite A des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c um die Seite B, so dass sie die Mitte der Seite D erreicht. Danach wird die isolierende Schicht 27, wie in Fig. 38 gezeigt, auf dem Dünnfilm-Leiter 12 gebildet, auf dem die Wickel-Teilungsrillen 13d und 14d gebildet sind. Die isolierende Schicht 27 weist die Verbin dungsöffnungen 28 und 29 auf, die jeweils an beiden Enden der Seite D des umwickelten Kernbauglieds 11 angeordnet sind. Das Anfangsende 22a der Dünnfilmspule 22, das später beschrieben wird, ist in der Verbindungsöffnung 28 freige legt, während das Abschlußende 22b der Dünnfilmspule 22 in der Verbindungsöffnung 29 freigelegt ist.

Danach wird, wie in Fig. 39 gezeigt, auf der gesamten Ober fläche des umwickelten Kernbauglieds 11 der Dünnfilm-Leiter 32 durch Beschichten, usw. gefüllt. Zu diesem Zeitpunkt werden die Verbindungsöffnungen 28 und 29 außerdem mit dem Dünnfilm-Leiter 32 gebildet. Danach wird das umwickelte Kernbauglied 11 mit einem Laserstrahl bestrahlt, so dass nur die Wickel-Teilungsrillen 33d und 34d der Teilungsril len 33 und 34 gebildet werden. Das heißt, die Wickel- Teilungsrille 33d wickelt sich von der Mitte in einer End seite auf der Seite A des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c um die Seite D und macht eine halbe Windung des Spulen wicklungs-Abschnitts 11c in die äußere Umfangsrichtung, so dass sie die Mitte der Seite C erreicht. Gleichartig dazu wickelt sich die Wickel-Teilungsrille 34d von der Mitte in der anderen Endseite auf der Seite A des Spulenwicklungs- Abschnitts 11c um die Seite D, so dass sie die Mitte der Seite C erreicht.

Danach wird, wie in Fig. 40 gezeigt, das umwickelte Kern bauglied 11 mit einem Laserstrahl bestrahlt und in die lon gitudinale Richtung des umwickelten Kernbauglieds 11 abgetastet, während es in die Richtung des Pfeils K4 gedreht wird. Das heißt, von einer Ecke 33e der Wickel- Teilungsrille 33d als ein Anfangsende, das sich auf der Seite A des umwickelten Kernbauglieds 11 befindet, wird ein Laserstrahl gerichtet, so daß er eine Ecke 34e der Wickel- Teilungsrille 33d als ein Abschlußende, das sich auf der Seite C des umwickelten Kernbauglieds 11 befindet, er reicht, so dass die Spulen-bildende Rille 18 durch Bestrah len derselben mit dem Laserstrahl gebildet wird. Wie in Fig. 41 gezeigt, ist so die zweite Dünnfilmspule 23 gebil det, die sich spiralförmig um die Umfangsoberfläche des Spulenwicklungs-Abschnitts 11c wickelt.

Zu diesem Zeitpunkt werden durch Anpassen der Intensität und der Bestrahlungszeit des Laserstrahls, so dass die Ver arbeitungstiefe erhöht wird, die isolierende Schicht 27 und der Dünnfilm-Leiter 12 gleichzeitig durch den Laserstrahl entfernt. Dadurch wird, wie in Fig. 42 gezeigt, die Spiral spulen-bildende Rille 17 gebildet, so dass sie die Ecke 13e der Wickel-Teilungsrille 13d als ein Anfangsende, das sich auf der Seite A des umwickelten Kernbauglieds 11 und die Ecke 14e der Wickel-Teilungsrille 14d als ein Abschlußende, das sich auf der Seite C des umwickelten Kernbauglieds 11 befindet, aufweist. Dadurch kann die Dünnfilmspule 22, die sich spiralförmig um den äußeren Umfang des Spulen wicklungs-Abschnitts 11c wickelt, gleichzeitig gebildet werden, so daß die Dünnfilmspulen 22 und 23 genau parallel zueinander gebildet werden. Dadurch wird ferner die ver teilte Kapazität zwischen den Dünnfilmspulen 22 und 23 ein heitlich gemacht. Zusätzlich ist Fig. 42 eine schematische Entwicklung von einer Schicht, auf der die erste Dünnfilm spule 22 gebildet ist.

Danach wird, wie in Fig. 43 gezeigt, bewirkt, dass ein La serstrahl das umwickelte Kernbauglied aufeinanderfolgend an der folgenden Strecke beleuchtet. Das heißt, ein Laser strahl wird von einem Ende der Wickel-Teilungsrille 33d als ein Anfangsende, das sich auf der Seite A des umwickelten Kernbauglieds 11 befindet, durch die Neigung 31 und das Flansch 11a erstreckt, so dass er eine Endseite F des umwi ckelten Kernbauglieds 11 erreicht, und ferner wickelt er sich um die Endseite F, so dass er das andere Ende der Wickel-Teilungsrille 33d als ein Abschlußende über das Flansch 11a auf der Seite C des umwickelten Kernbauglieds 11 und der Neigung 31 auf demselben erreicht, so daß die Axialteilungsrille 33c der Teilungsrille 33 durch Bestrah len des umwickelten Kernbauglieds 11 mit dem Laserstrahl gebildet wird. Zu diesem Zeitpunkt werden durch Anpassen der Intensität und der Bestrahlungszeit des Laserstrahls, so dass die Verarbeitungstiefe erhöht wird, die isolierende Schicht 27 und der Dünnfilm-Leiter 12 gleichzeitig durch den Laserstrahl entfernt. Dadurch wird die Axialteilungs rille 13c der Teilungsrille 13, wie in den Fig. 44 und 45 gezeigt, außerdem gleichzeitig mit der Axialteilungsrille 33c der Teilungsrille 33 gebildet. Fig. 4 ist eine schema tische Entwicklung des in Fig. 43 gezeigten Mehrschicht- Induktors, und Fig. 45 ist eine schematische Entwicklung einer Schicht, auf der die erste Dünnfilmspule 22 des Mul tischicht-Induktors gebildet ist.

Gleichartig dazu wird, wie in Fig. 43 gezeigt, ein Laser strahl von einem Ende der Wickel-Teilungsrille 34d als ein Anfangsende, das sich auf der Seite A des umwickelten Kern bauglieds 11 befindet, durch die Neigung 31 und das Flansch 11b gerichtet, so daß er die andere Endseite E des um wickelten Kernbauglieds 11 erreicht, und ferner wickelt er sich um die Endseite E, so dass er das andere Ende der Wickel- Teilungsrille 34d als ein Abschlußende über das Flansch 11b auf der Seite C des umwickelten Kernbauglieds 11 und die Neigung 31 auf demselben erreicht, so dass die Axialteilungsrille 34c der Teilungsrille 34 durch Bestrah len des umwickelten Kernbauglieds 11 mit dem Laserstrahl gebildet wird. Zu diesem Zeitpunkt werden die isolierende Schicht 27 und der Dünnfilm-Leiter 12 ebenfalls durch den Laserstrahl entfernt. Dadurch wird, wie in Fig. 44 und 45 gezeigt, die Axialteilungsrille 14c der Teilungsrille 14 gleichzeitig mit der axialen Teilungsrille 34c der Tei lungsrille 34 gebildet.

Daher ist der Dünnfilm-Leiter 23 unterteilt in den Bereich R3 (diagonal schraffierte Fläche in Fig. 44), der von der Teilungsrille 33 umgeben ist, den Bereich R4 (diagonal schraffierter Bereich in Fig. 44), der von der Teilungsril le 34 umgeben ist, und den Bereich der Dünnfilmspule 23. Die Bereiche R3 und R4 und der Bereich der Dünnfilmspule 23 sind voneinander elektrisch isoliert. Gleichartig dazu ist der Dünnfilm-Leiter 12 unterteilt in den Bereich R1 (diago nal schraffierter Bereich in Fig. 45), der von der Tei lungsrille 13 umgeben ist, den Bereich R3 (diagonal schraf fierter Bereich in Fig. 45), der von der Teilungsrille 14 umgeben ist, und den Bereich der Dünnfilmspule 22. Die Be reiche R1 und R2 und der Bereich der Dünnfilmspule 22 sind voneinander elektrisch isoliert. Wie in Fig. 44 gezeigt, sind die Bereiche R3 und R4 jeweils über die Verbindungs öffnungen 28 und 29 mit dem Anfangs- und dem Abschlußende 22a und 22b der ersten Dünnfilmspule 22 elektrisch verbun den. Das heißt, die Bereiche R3 und R4 sollen die Anschluß elektroden 41a und 41b der ersten Dünnfilmspule 22 sein, während die Anfangs- und Abschlußenden der Bereiche in der zweiten Dünnfilmspule 23 die Anschlußelektroden 42a und 42b der Dünnfilmspule 23 sein sollen. Fig. 46 ist eine horizon tale Schnittansicht des in Fig. 43 gezeigten Mehrschicht- Induktors 40.

Bei dem wie oben gebildeten Mehrschicht-Induktor 40 werden die Axialteilungsrillen 13c und 33c gleichzeitig gebildet, während die Axialteilungsrillen 14c und 34c gleichzeitig gebildet werden, und ferner werden die Spulen-bildenden Rillen 17 und 18 gleichzeitig gebildet, so daß die Anzahl der Prozesse verringert wird, wodurch die Herstellungskos ten reduziert werden, so dass ein kostengünstiger Mehr schicht-Induktor 40 erhalten wird.

(Andere Ausführungsbeispiele)

Die vorliegenden Erfindung ist nicht auf die oben beschrie benen Ausführungsbeispiele beschränkt, und innerhalb des Schutzbereichs der Erfindung können verschiedene Modifika tionen erhalten werden. Beispielsweise kann statt dem Kern bauglied, das die oben beschriebene Form aufweist, ein säu lenförmiges oder zylindrisches umwickeltes Kernbauglied mit einem runden, dreieckigen, fünf- oder mehreckigen Quer schnitt verwendet werden. Wenn mehrere Dünnfilmspulen ein fach mehrfach geschichtet sind, müssen die elektrisch iso lierten Bereiche R1 und R2 beim Bilden der Dünnfilmspule 22 auf der ersten Schicht nicht angeordnet werden. Da eine elektrostatische Kapazität, die zwischen den Anschluße lektroden 42a und 42b auf der zweiten Schicht erzeugt wird, und der Dünnfilm-Leiter 12 auf der ersten Schicht hinzuge fügt wird, wird in diesem Fall jedoch mehr elektrostatische Kapazität als erforderlich angelegt, so daß die Rauschver meidung des Mehrschicht-Induktors 40 reduziert sein kann.

Außerdem kann die Verarbeitung der Teilungsrille und der Spulen-bildenden Rille auf der gleichen Schicht durch Com putersteuerung in dem gleichen Prozeß durchgeführt werden. Wie in den Fig. 47 und 48 gezeigt, ist die spulenbildende Rille 18 beispielsweise aufeinanderfolgend entlang der Richtung der Pfeile K10-K14 geschnitten; nachdem einmal entlang der Endseiten F und E des umwickelten Kernbauglieds 11 verfahren wird, können die Abschnitte der Teilungsrillen 33 und 34, die sich auf den jeweiligen Seiten A und C des umwickelten Kernbauglieds 11 befinden, durch Zurückkehren um die halbe Strecke gleichzeitig gebildet werden. Zusätz lich werden, obwohl die gesamten Abschnitte entsprechend zu dem Abstand der Spirale in Fig. 47 schräg geschnitten wer den, der Schnittanfangsabschnitt und der Schnittendab schnitt jeweils parallel zu den Endseiten E und F dem umwi ckelten Kernbauglieds 11 in Fig. 48 geschnitten.

Darüber hinaus kann eine dielektrische Schicht gebildet werden, um die Dünnfilmspule zu bedecken, und eine Konden satorelektrode kann auf der dielektrischen Schicht gebildet werden, um einen Induktor zu bilden, der einen eingebauten Kondensator aufweist. Ferner kann ein elektrisches Bauteil, wie z. B. ein Widerstand, darin gebaut werden; drei oder mehr Dünnfilmspulen können aufgetragen werden, dadurch dass eine isolierende Schicht dazwischen angeordnet wird.

Darüber hinaus stimmen die Anfangs- und Abschlußenden der Spulen-bildenden Rillen 17 und 18 nicht notwendigerweise mit den Enden der Teilungsrillen 13, 14, 33, und 34 über ein; die Spulen-bildenden Rillen können, wie in Fig. 49A gezeigt, die Teilungsrillen schneiden. Der Schnittpunkt kann T-förmig sein, anstatt, wie in Fig. 49A gezeigt, kreuzförmig. Wie in Fig. 49B gezeigt, kann sich die Spulen- bildende Rille 17 außerdem erstrecken, um so die Teilungs rillen 13 zu verbinden. Die Breiten der Teilungsrillen 13, 14, 33 und 34 sind im allgemeinen größer eingestellt als die der Spulen-bildenden Rillen 17 und 18, um so die Iso lierverläßlichkeit zu verbessern; sie können selbstver ständlich gleich eingestellt sein wie die der Spulen bildenden Rillen 17 und 18.

Bei den oben beschriebenen zweiten bis vierten Ausführungs beispielen können die Axialteilungsrillen 13c, 14c, 33c und 34c außerdem, wie in Fig. 50 gezeigt, geschnittene Rillen 53 und 54 sein, bei denen beide Enden des umwickelten Kern bauglieds 11 geschnitten sind, um Schlitze zu bilden. Die Anfangs- und Abschlußenden der Spulen-bildenden Rillen 17 und 18 sind nicht notwendigerweise in Kontakt mit den Tei lungsrillen 13, 14, 33 und 34; das Anfangs- und das Abschlußende der Spulen-bildenden Rille 17 können bei spielsweise, wie in Fig. 51 gezeigt, von den Teilungsrillen 13 und 14 getrennt sein. Dies liegt daran, daß die Bereiche R1 und R2 und der Bereich der Dünnfilmspule 22 durch die Teilungsrillen 13 und 14 geteilt sind, so daß beide Berei che voneinander elektrisch isoliert sind.

Beim Bilden der Teilungsrillen und der Spulen-bildenden Rillen wird in den Ausführungsbeispielen ein Laserstrahl verwendet; ein Elektrodenstrahl oder ein Ionenstrahl und mechanisches Schneiden wie z. B. Sandstrahlen oder Diamant sägen können ebenfalls verwendet werden. Ein verwendetes Verfahren in den Ausführungsbeispielen besteht darin, dass, nachdem der Dünnfilm-Leiter auf der gesamten Oberfläche des umwickelten Kernbauglieds gebildet ist, die unnötigen Ab schnitte, wie z. B. die Teilungsrillen und die Spulenbil dungsrillen entfernt werden, um die Dünnfilmspulen zu bil den. Die Erfindung ist nicht notwendigerweise auf diese Verfahren beschränkt, ein sogenanntes Zusatzverfahren, bei dem ein Leiter durch ein Verfahren wie z. B. Plattieren, Aufdampfen oder Beschichten nur auf die notwendigen Ab schnitte aufgebracht wird, um so die Dünnfilmspulen zu bil den, kann selbstverständlich verwendet werden.

Claims

1. Mehrschicht-Induktor (40) mit:
einem Kernbauglied (11);
einer Mehrzahl von Dünnfilmspulen (22, 23), die auf der Oberfläche des Kernbauglieds vorgesehen sind, wo bei eine isolierende Schicht (27) zwischen denselben angeordnet ist, wobei die Dünnfilmspulen (22, 23) in einer Spiralform um den äußeren Umfang des Kernbau glieds (11) gewickelt sind; und
Anschlußelektroden (41a, 41b, 42a, 42b), die an Enden des Kernbauglieds (11) angeordnet sind, um mit jedem Ende der Dünnfilmspulen (22, 23) elektrisch verbunden zu sein,
wobei jede der Anschlußelektroden (41, 41b, 42a, 42b) durch eine Teilungsrille (13, 14, 33, 34) in dem Kern bauglied (11) abgeteilt ist, die sich von einer End seite desselben zu dem äußeren Umfang desselben er streckt, so daß die Anschlußelektrode von den anderen Anschlußelektroden elektrisch isoliert ist.

2. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß Anspruch 1, bei dem eine Spiralspulen-bildende Rille (18) in einem Dünn film-Leiter (12) vorgesehen ist, der an dem äußeren Umfang des Kernbauglieds (11) gebildet ist, wobei jede der Dünnfilmspulen (22, 23) durch die Spiralspulen- bildende Rille (18) definiert ist.

3. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem ein Anfangs- und ein Abschlußende der Spiralspu len-bildenden Rille (18) zum Bilden jeder der Dünn filmspulen (22, 23) zueinander um im wesentlichen 180° in der Wickelrichtung des Kernbauglieds (11) verscho ben sind.

4. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, bei dem die Anfangsenden von Spiralspulen bildenden Rillen (18) zum Bilden von zwei benachbarten Dünnfilmspulen (22, 23), zwischen denen die isolieren de Schicht (27) angeordnet ist, zueinander um im we sentlichen 180° in der Wickelrichtung des Kernbau glieds (11) verschoben sind.

5. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, bei dem die Länge der Teilungsrillen (13, 14, 33, 34) zwischen einem Punkt, an dem die Teilungsril len (13, 14, 33, 34) mit einer Spiralspulen-bildenden Rille (18) und einer Endseite des Kernbauglieds (11) verbunden ist, größer ist als die Längen der Teilungs rille (13, 14, 33, 34) zwischen dem Anfangsende der Spiralspulen-bildenden Rille (18) und jeder Endseite des Kernbauglieds (11) und zwischen dem Abschlußende der Spiralspulen-bildenden Rille (18) und jeder End seite des Kernbauglieds (11).

6. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, bei dem die Teilungsrille (13, 14, 33, 34) von der Endseite des Kernbauglieds (11) über den äußeren Umfang desselben herumgewickelt ist.

7. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß Anspruch 6, bei dem das Anfangs- und das Abschlußende einer Spiralspulen- bildenden Rille (18) zum Bilden jeder Dünnfilmspule (22, 23) in der gleichen Ebene angeordnet sind wie die des Kernbauglieds (11).

8. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß einem der Ansprüche 1-7, bei dem das Anfangs- und das Abschlußende von min destens einer der Dünnfilmspulen (22, 23) über Verbin dungsöffnungen (28, 29), die in der isolierenden Schicht (27) gebildet sind, mit den jeweiligen Anschlußelektroden (41, 41b, 42a, 42b) elektrisch ver bunden sind.

9. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß einem der Ansprüche 1-8, bei dem das Kernbauglied (11) trommelförmig ist.

10. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß einem der Ansprüche 1-9, der ferner einen Unterscheidungsabschnitt (67) um faßt, entweder auf der Endseite des Kernbauglieds (11) oder einer Seite desselben zum Unterscheiden der Aus richtung des Kernbauglieds (11) gebildet ist.