DE10123154B4 - Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung und Verfahren zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung - Google Patents

Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung und Verfahren zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung Download PDF

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Abstract

Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung für eine Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung (100), welche mehrere Halbleitervorrichtungen (200) prüft, mit:
– einer Prüfmuster-Erzeugungseinheit (10), die ein Eingabesignalmuster (12) an die Halbleitervorrichtungen (200) ausgibt und ein Übereinstimmungssignal (96) empfängt, welches die Halbleitervorrichtung (200), der das Eingabesignalmuster (12) zugeführt wurde und die die Prüfung bestanden hat, anzeigt, und
– einer Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit (20), die das Übereinstimmungssignal (96) empfängt, um eine Halbleitervorrichtung (200) zu erfassen, welche bei der Prüfung versagt hat, und die ein Nichtübereinstimmungssignal (22) zum Identifizieren der Halbleitervorrichtung (200), welche bei der Prüfung versagt hat, ausgibt,
dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung weiterhin eine Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) aufweist, die von der Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit (20) das Nichtübereinstimmungssignal (22) empfängt, das Nichtübereinstimmungssignal (22) speichert und ein erstes Anhaltesignal ausgibt, das die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200), welche bei der Prüfung versagt haben und durch das gespeicherte Nichtübereinstimmungssignal (22) identifiziert sind, anhält.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung, welche eine Prüfung gerade nach Wiederaufnahme der Prüfung nicht unterbricht und auch ein Eingangssignalmuster nicht an die Halbleitervorrichtung anlegt, welches einen Übereinstimmungsmangel bewirkt, bis zum Ende der Prüfung.
  • 1 ist ein Blockschaltbild, welches eine Konfiguration eines Mustergenerators 10, einer herkömmlichen Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung zeigt. Der Mustergenerator 10 hat eine Übereinstimmungsmangel-Erfassungsvorrichtung 20, eine Folgensteuereinheit 40 und einen Musterdatenspeicher 50. Eine Steuervorrichtung 210 steuert jede Einheit des Mustergenerators 10. Jede Einheit des Mustergenerators 10 empfängt ein Taktsignal, das von einem Bezugstaktgenerator 60 ausgegeben wird.
  • Die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung wird zum Prüfen einer logischen integrierten Schaltung wie einer integrierten Systemgroßschaltung verwendet. Insbesondere kann die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 mehrere Halbleitervorrichtungen gleichzeitig prüfen. Der Mustergenerator 10 erzeugt ein Eingangssignalmuster 12 und ein Erwartungswert-Signalmuster 14, entsprechend der vorbestimmten Steuerfolge. Das Eingangssignalmuster 12 ist ein in eine Halbleitervorrichtung, welche ein zu prüfender Gegenstand ist, einzugebendes Signal. Das Erwartungswert-Signalmuster 14 ist ein von der Halbleitervorrichtung auszugebendes Signal, wenn das Eingangssignalmuster 12 an die Halbleitervorrichtung angelegt wird.
  • Der Musterdatenspeicher 50 speichert Daten des Eingangssignalmusters 12 und des Erwartungswert-Signalmusters 14. Die Folgesteuereinheit 40 gibt ein Adressensignal 45 so an den Musterdatenspeicher 50 aus, daß der Musterdatenspeicher 50 das Eingangssignalmuster 12 und das Erwartungswert-Signalmuster 14 erzeugt. Die Folgesteuereinheit 40 empfängt ein Übereinstimmungssignal 96 von dem Übereinstimmungssignalgenerator 94. Das Übereinstimmungssignal 96 zeigt, ob das Aungangssignalmuster, welches von der Halbleitervorrichtung ausgegeben wird, wenn das Eingangssignalmuster 12 an die Halbleitervorrichtung angelegt wird, gleich dem vorbestimmten Wert wird, der auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters 14 bestimmt ist. Die Übereinstimmungsmangel-Erfassungsvorrichtung 20 gibt ein Übereinstimmungsmangelsignal 22 zu der Folgesteuereinheit 40 aus, wenn die Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20 kein Übereinstimmungssignal 96 während eines Übereinstimmungszyklus, während sie auf das Übereinstimmungssignal 96 wartet, empfangen hat.
  • Die Folgesteuereinheit 40 enthält einen Musterzähler 42, einen Adressenzähler 44 und eine Steuervorrichtung 46. Der Musterzähler 42 zählt Übereinstimmungszyklen. Der Adressenzähler 44 zählt Adressen von Steuerfolgen. Die Steuervorrichtung 46 steuert den Musterzähler 42 und den Adressenzähler 44 gemäß der vorbestimmten Steuerfolge. Die Steuervorrichtung 46 gibt auch ein Übereinstimmungszyklussignal 43 zu der Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20 aus. Das Übereinstimmungszyklussignal informiert die Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20 darüber, daß der Übereinstimmungsvorgang durchgeführt wird. Die Steuervorrichtung 46 gibt weiterhin ein Taktsteuersignal 48 zu dem Bezugstaktgenerator 60 aus, um die Erzeugung eines Taktsignals anzuhalten, wenn die Steuervorrichtung 46 ein Übereinstimmungsmangelsignal 22 von der Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20 empfängt. Das Taktsteuersignal 48 steuert den Bezugstaktgenerator 60, um die Erzeugung eines Taktsignals anzuhalten.
  • Die Steuervorrichtung 46 steuert den Musterzähler 42 und den Adressenzähler 44, um die Steuerfolge fortzusetzen, wenn die Steuervorrichtung 46 während des Übereinstimmungszyklus das Übereinstimmungssignal 96 empfängt. Wenn andererseits die Steuervorrichtung 46 das Übereinstimmungsmangelsignal 22 empfängt, steuert die Steuervorrichtung 46 den Musterzähler 42 und den Adressenzähler 44, um die Steuerfolge anzuhalten, und die Steuervorrichtung 46 führt einen Übereinstimmungsanhaltevorgang durch, der das Taktsteuersignal 48 ausgibt. Der Übereinstimmungsanhaltevorgang hält eine Prüfung an. Die Prüfung muß wieder gestartet werden, um den Prüfvorgang wieder aufzunehmen.
  • Wenn gleichzeitig mehrere Halbleitervorrichtungen geprüft werden, wird eine Prüfung durchgeführt, während bestätigt wird, ob das Schreiben des Eingangssignalmusters 12 in alle Halbleitervorrichtungen und das Lesen des Ausgangssignalmusters aus allen Halbleitervorrichtungen normal beendet wurden. Somit wird eine Reihe von Prüfungen in mehrere Schritte unterteilt, und es wird während eines Übereinstimmungszyklus festgestellt, ob der Lese- und Schreibvorgang für jede Halbleitervorrichtung 200 beendet ist. Der Übereinstimmungszyklus ist eine vorbestimmte Zeitperiode zwischen jedem Schritt der Reihe von Prüfungen. Wenn der Lese- und Schreibvorgang jeder Halbleitervorrichtung 200 während des Übereinstimmungszyklus nicht beendet wurde, wird festgestellt, daß eine fehlerhafte Vorrichtung innerhalb irgendeiner von mehreren Halbleitervorrichtungen vorhanden ist. Nachdem die Prüfung angehalten ist, wird die fehlerhafte Vorrichtung aus dem Prüfgegenstand entfernt und dann wird die Prüfung neu gestartet.
  • 2 ist ein Flußdiagramm, das einen Vorgang des Prüfens einer Halbleitervorrichtung unter Verwendung einer herkömmlichen Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung zeigt. Das Eingangssignalmuster 12 wird bei der Prüfung 1 an eine Halbleitervorrichtung angelegt (S102). Dann wird, wenn das Ausgangssignalmuster, das von der Halbleitervorrichtung ausgegeben wurde, während des Übereinstimmungszyklus mit dem vorbestimmten Wert, der auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters 14 bestimmt wurde, übereinstimmt (S104), eine Prüfung 2 (S106) kontinuierlich durchgeführt. Wenn jedoch das von der Halbleitervorrichtung ausgegebene Ausgangssignalmuster nicht mit dem vorbestimmten Wert, der auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters 14 bestimmt wurde, während des Übereinstimmungszyklus übereinstimmt (S104), wird die Prüfung an diesem Punkt aufgrund des Übereinstimmungsmangels beendet. Dann wird derselbe Vorgang in einem Übereinstimmungszyklus (5108) nach der Prüfung 2 durchgeführt (S106). Wenn die Prüfung 3 (S110) beendet ist, sind alle Prüfvorgänge beendet.
  • 3 ist ein Flußdiagramm, das einen Vorgang zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen zur selben Zeit unter Verwendung einer herkömmlichen Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung zeigt. Wie in 3 gezeigt ist, wird, wenn das von der Halbleitervorrichtung ausgegebene Ausgangssignalmuster während des Übereinstimmungszyklus mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt (S154, ja), nachdem die Prüfung 1 durchgeführt wurde (S152), eine Prüfung 2 (S156) kontinuierlich durchgeführt.
  • Wenn jedoch das von der Halbleitervorrichtung ausgegebene Ausgangssignalmuster während des Übereinstimmungszyklus nicht mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt (S154, nein), nachdem die Prüfung 1 (S152) durchgeführt ist, wird die Prüfung an diesem Punkt als Übereinstimmungsmangel angehalten (S162). Um die anderen Vorrichtungen kontinuierlich nach dem Entfernen der Halbleitervorrichtung, die den Übereinstimmungsmangel bewirkt hat, von dem Prüfgegenstand nach Anhalten der Prüfung (S164) zu prüfen, wird die Prüfung 1 (S152) wieder von Anfang an durchgeführt. Wenn die Prüfung nicht fortgesetzt wird, endet die Prüfung an diesem Punkt.
  • Nachdem die Prüfung 2 (S156) durchgeführt wurde, wird derselbe Vorgang, der den Prozeß des Übereinstimmungszyklus (S154) verwendet, in dem Übereinstimmungszyklus (S158) durchgeführt. Wenn das von der Halbleitervorrichtung ausgegebene Ausgangssignalmuster während des Übereinstimmungszyklus nicht mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt (S158, nein), nachdem die Prüfung 2 (S156) durchgeführt wurde, wird die Prüfung an diesem Punkt als Übereinstimmungsmangel (S162) angehalten. Um die anderen Vorrichtungen kontinuierlich zu prüfen, nachdem die Halbleitervorrichtung, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt hat, nach dem Anhalten der Prüfung (S164) von dem Prüfgegenstand entfernt wurde, wird die Prüfung 1 (S152) wieder vom Anfang an durchgeführt. Wenn die Prüfung nicht fortgesetzt wird, endet die Prüfung an diesem Punkt. Wenn die Prüfung 3 (S160) beendet ist, enden alle Prüfvorgänge.
  • 4 ist ein Zeitdiagramm, das einen Vorgang zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen zur selben Zeit unter Verwendung einer herkömmlichen Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung zeigt. Wie in 4 gezeigt ist, werden mehrere Halbleitervorrichtungen geprüft, um zu sehen, ob das von der Halbleitervorrichtung ausgegebene Ausgangssignalmuster während eines Übereinstimmungszyklus (S204) mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt, nachdem eine Prüfung 1 (S202) durchgeführt wurde.
  • Hier wird die Prüfung für alle Vorrichtungen angehalten, wenn irgendeine der Halbleitervorrichtungen einen Übereinstimmungsmangel bewirkt (S206). Dann wird die Halbleitervorrichtung, die den Übereinstimmungsmangel bewirkt hat, aus dem Prüfgegenstand entfernt (S208). Dann wird die Prüfung für die anderen ver bleibenden Halbleitervorrichtungen wieder von der Prüfung 1 (S210) aus begonnen. Dann werden die Prüfung 1 (S210), eine Prüfung 2 (S214) und eine Prüfung 3 (S218) aufeinander folgend durchgeführt, und wenn der Übereinstimmungsmangel nicht in jedem der Übereinstimmungszyklen (S212, S216) auftritt, enden alle Prüfvorgänge.
  • In herkömmlicher Weise wird, wenn mehrere Halbleitervorrichtungen zur gleichen Zeit geprüft werden und wenn während des Übereinstimmungszyklus der Übereinstimmungsmangel bei einer der Halbleitervorrichtungen auftritt, die Prüfung für alle Halbleitervorrichtungen angehalten, und dann wird die Halbleitervorrichtung, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt hat, aus dem Prüfgegenstand entfernt. Darüber hinaus sollte, um die Prüfung für die verbleibenden Halbleitervorrichtungen zu beenden, die Prüfung wieder vom Beginn an gestartet werden. Somit kann die Aufgabe der Herabsetzung der Gesamtprüfzeit durch Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen zur gleichen Zeit durch die vorbeschriebene Vorrichtung und das vorbeschriebene Verfahren nicht gelöst werden.
  • Weiterhin können in dem Fall der Prüfung einer integrierten Systemgroßschaltung, welche einen eingebauten Flush-Speicher enthält, wenn die Prüfung wieder vom Anfang an gestartet wird, nachdem die Prüfung durch einen Übereinstimmungsmangel auf halbem Wege angehalten wurde, die Daten übermäßig in den Flush-Speicher geschrieben werden, so daß dieser zerstört wird, da dieselben Daten wiederholt in den Flush-Speicher eingeschrieben werden. Somit kann die Prüfung im Ergebnis nicht durchgeführt werden.
  • Weiterhin muß in einem Fall der Prüfung einer inte grierten Systemgroßschaltung, welche einen eingebauten Phasenregelkreis (PLL-Vorrichtung) enthält, ein Takt kontinuierlich an die integrierte Systemgroßschaltung während einer Zeitperiode angelegt werden, um die PLL-Vorrichtung vor dem Beginn der Prüfung zu sperren. Daher muss, um die Prüfung für die verbleibenden Halbleitervorrichtungen neu zu starten, nachdem die Prüfung aufgrund des Übereinstimmungsmangels angehalten wurde, jedes Mal zum Wiederstarten der Prüfung gewartet werden, bis die PLL-Vorrichtung gesperrt ist. Daher kann die Prüfung nicht sofort gestartet werden.
  • Aus der DE 197 46 695 A1 ist ein Flashspeicher-Prüfsystem zur Prüfung eines oder mehrerer Flashspeicher bekannt, das einen Mustergenerator enthält, der ein Prüfdatensignal sowie Erwartungsdaten erzeugt. Diese Erwartungsdaten werden in einem Logikvergleicher mit den Testantworten des Prüflings verglichen, der die Vergleichsergebnisse an einen Ausfallanalyse-Speicher weitergibt. Dieser gibt an einen Wellenformatierer ein Schreibfreigabe-Sperrsignal für die gerade geprüfte Adresse des Prüflings, wenn die gespeicherten Daten, d.h. die Testantworten des Speichers mit den Erwartungswerten übereinstimmen, wodurch verhindert wird, dass die Schreibprüfung für die gleiche Adresse wiederholt wird. Die Schreiboperation wird für die übrigen Adressen wiederholt, d.h. die Prüfung wird für die weiteren Adressen jeweils durch wiederholte Schreiboperationen fortgesetzt, bis die Daten mit den Erwartungswerten übereinstimmen oder bis die maximale Anzahl von Schreiboperationen durchgeführt wurde. Wenn für alle Adressen für die Schreib-Leseoperationen Übereinstimmung gefunden wurde, endet das Verfahren durch Senden eines Übereinstimmungssignals vom Ausfallanalyse-Speicher an den Mustergenerator.
  • Weiterhin beschreibt die nachveröffentlichte, auf einer älteren Anmeldung beruhende DE 100 17 619 A1 eine Prüfvorrichtung für mindestens eine Halbleitervorrichtung mit einem Mustergenerator, der auf der Grundlage einer vorbestimmten Steuerfolge ein Eingangssignalmuster und ein Erwartungsdaten-Signalmuster erzeugt und einer Vergleichseinheit, die ein von der Halbleitervorrichtung ausgegebenes Ausgangssignalmuster und das Erwartungsdaten-Signalmuster vergleicht und ein Vergleichssignal ausgibt, wenn das Ausgangssignal mit vorbestimmten Daten, die auf der Grundlage des Erwartungsdaten-Signalmusters bestimmt wurden, übereinstimmt. Der Mustergenerator enthält eine Anhalteeinheit, welche die Steuerfolge anhält, wenn das Vergleichssignal während eines vorbestimmten Vergleichszyklus nicht aktiv wird, ein Wiederaufnahme-Adressenregister, das eine Wiederaufnahmeadresse setzt, die eine Wiederaufnahmeposition in der Steuerfolge anzeigt, und eine Wiederaufnahmeeinheit, die den Ablauf der Steuerfolge auf der Grundlage der Wiederaufnahmeadresse wieder aufnimmt.
    •
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung und ein Verfahren zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung vorzusehen, welche in der Lage sind, die obigen Nachteile des Standes der Technik zu überwinden. Die obige und andere Aufgaben können gelöst werden durch in den unabhängigen Ansprüche beschriebene Kombinationen. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden Erfindung.
  • Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist eine Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung für eine Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung, welche mehrere Halbleitervorrichtungen prüft, auf: eine Prüfmuster-Erzeugungseinheit, die ein Eingabesignalmuster an die Halbleitervorrichtungen ausgibt und ein Übereinstimmungssignals empfängt, welches anzeigt, dass die Halbleitervorrichtung, an welche das Eingangssignalmuster angelegt ist, die Prüfung bestanden hat; und eine Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit, die das Übereinstimmungssignal empfängt, um eine Halbleitervorrichtung zu erfassen, die bei der Prüfung versagt hat, und die ein Nichtübereinstimmungssignal zum Identifizieren der Halbleitervorrichtung, die bei der Prüfung versagt hat ausgibt; und eine Anhaltesignal-Ausgabeeinheit, die von der Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit das Nichtübereinstimmungssignal empfängt das Nichtübereinstimmungssignal speichert und ein erstes Anhaltesignal ausgibt, die das Zuführen des Eingangssignalmusters zu der Halbleitervorrichtung, welche bei der Prüfung versagt hat und durch das gespeicherte Nichtübereinstimmungssignal identifiziert ist, anhält.
  • Die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit kann weiterhin ein zweites Anhaltesignal ausgeben, das die Zuführung des Eingabesignalmusters an die Halbleitervorrichtungen, welche die durch das Übereinstimmungssignal angezeigte Prüfung durchlaufen, anhält. Die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit kann ein Register aufweisen, das mit der Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit verbunden ist, um von dieser das Nichtübereinstimmungssignal zu empfangen und dieses zu speichern.
  • Die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit kann weiterhin eine logische Additionsschaltung aufweisen, die mit dem Register verbunden ist, zum Empfangen des Übereinstimmungssignals und des Nichtübereinstimmungssignals, das in dem Register gespeichert ist, um das erste Anhaltesignal oder das zweite Anhaltesignal auszugeben. Die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit kann das zweite Anhaltesignal während eines vorbestimmten Zyklus ausgeben; und die Wiederstarteinheit kann das Zuführen des Eingabesignalmusters an die Halbleitervorrichtungen nach dem Ende des vorbestimmten Zyklus wieder starten.
  • Die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit kann das erste An haltesignal bis zum Ende der Prüfung ausgeben. Die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit kann das zweite Anhaltesignal während eines vorbestimmten Zyklus ausgeben; und die Prüfmuster-Erzeugungseinheit kann das Eingabesignalmuster nach dem Ende des vorbestimmten Zyklus ausgeben.
  • Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist eine Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen auf: eine Prüfmuster-Erzeugungseinheit, die ein Eingabesignalmuster zu den Halbleitervorrichtungen ausgibt und ein Erwartungswert-Signalmuster, von welchem erwartet wird, dass es von der Halbleitervorrichtung ausgegeben wird, wenn das Eingabesignalmuster zu der Halbleitervorrichtung geführt wird, ausgibt; einen Komparator, welcher Ausgangssignalmuster, die von den mehreren Halbleitervorrichtungen ausgegeben werden, und einen vorbestimmten Wert, der auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters bestimmt ist, vergleicht und ein Übereinstimmungssignal ausgibt, wenn die Ausgangssignalmuster mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen; eine Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit, die das Übereinstimmungssignal empfängt, um eine Halbleitervorrichtung zu erfassen, deren Ausgangssignalmuster nicht mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt, und ein Nichtübereinstimmungssignal zum Identifizieren der Halbleitervorrichtung, deren Ausgangssignalmuster nicht mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt, ausgibt; und eine Anhaltesignal-Ausgabeeinheit, die mit der Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit verbunden ist, um das Nichtübereinstimmungssignal von dieser zu empfangen, das Nichtübereinstimmungssignal zu speichern, und ein erstes Anhaltesignal auszugeben, welches das Anlegen des Eingabesignalmusters an die Halbleitervorrichtungen, deren Ausgangssignalmuster nicht mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen und die durch das gespeicherte Nichtübereinstimmungsmangelsignal identifiziert sind, anhält.
  • Die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit kann weiterhin ein zweites Anhaltesignal ausgeben, das das Anlegen des Eingabesignalmusters an die Halbleitervorrichtungen, deren Ausgangssignalmuster mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen, anhält. Die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit kann ein Register aufweisen, das mit der Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit verbunden ist, um das Nichtübereinstimmungssignal von dieser zu empfangen und zu speichern.
  • Die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit kann weiterhin eine logische Additionsschaltung aufweisen, die mit dem Register verbunden ist, um das Übereinstimmungssignal und das in dem Register gespeicherten Nichtübereinstimmungssignal zu empfangen, um das erste Anhaltesignal oder das zweite Anhaltesignal auszugeben. Die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung kann weiterhin eine Wellenform-Formatierungsvorrichtung aufweisen, die mit der Prüfmuster-Erzeugungseinheit und der Anhaltesignal-Ausgabeeinheit verbunden ist, um das Eingabesignalmuster von der Prüfmuster-Erzeugungseinheit zu erhalten, das erste Anhaltesignal oder das zweite Anhaltesignal von der Anhaltesignal-Ausgabeeinheit zu erhalten, und das Eingangssignalmuster zu formatieren und auszugeben, wenn sie nicht das erste Anhaltesignal oder das zweite Anhaltesignal empfängt.
  • Die Wellenform-Formatierungsvorrichtung kann das Eingabesignalmuster ausgeben, wenn sie nicht das erste Anhaltesignal bis zum Ende der Prüfung empfängt. Die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit kann das zweite Anhalte signal während eines vorbestimmten Zyklus ausgeben; und die Prüfmuster-Erzeugungseinheit kann das Eingangssignalmuster zu der Wellenform-Formatierungsvorrichtung nach dem Ende des vorbestimmten Zyklus ausgeben.
  • Gemäß dem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist ein Verfahren zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen auf: Ausgeben eines Eingabesignalmusters zu den Halbleitervorrichtungen; Ausgeben eines Erwartungswert-Signalmusters, von welchem erwartet wird, dass es von der Halbleitervorrichtung ausgegeben wird, wenn das Eingabesignalmuster an die Halbleitervorrichtung angelegt ist; Vergleichen von Ausgangssignalmustern, welche von den mehreren Halbleitervorrichtungen ausgegeben werden, mit einem vorbestimmten Wert, der auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters bestimmt ist; Ausgeben eines Übereinstimmungssignals, wenn die Ausgangssignalmuster mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen; Ausgeben eines Nichtübereinstimmungssignals, wenn das von der Halbleitervorrichtung ausgegebene Ausgangssignalmuster nicht mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt; Speichern des Nichtübereinstimmungssignals; und Ausgeben eines ersten Anhaltesignals zum Anhalten des Anlegens des Eingangssignalmusters an die durch das gespeicherte Nichtübereinstimmungssignal identifizierten Halbleitervorrichtungen.
  • Es kann ein zweites Anhaltesignal ausgegeben werden, das das Anlegen des Eingabesignalmusters an die Halbleitervorrichtungen anhält, wenn die Ausgangssignalmuster mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen. Weiterhin kann das Eingabesignalmuster formatiert und zu der Halbleitervorrichtung ausgegeben werden, wenn das erste Anhaltesignal oder das zweite Anhaltesignal nicht empfangen werden.
  • Das Eingangssignalmuster kann ausgegeben werden, wenn nicht das erste Anhaltesignal bis zum Ende der Prüfung empfangen wird. Das zweite Anhaltesignal kann während eines vorbestimmten Zyklus ausgegeben werden; und das Eingabesignalmuster kann nach dem Ende des vorbestimmten Zyklus ausgegeben werden.
  • Gemäß dem vierten Aspekte der vorliegenden Erfindung weist ein Verfahren zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen auf: einen Schritt des Anlegens eines Eingabesignalmusters an jede der mehreren Halbleitervorrichtungen; einen Schritt des Anhaltens des Anlegens des Eingangssignalmusters an die Halbleitervorrichtungen, welche ein aktives Übereinstimmungssignal ausgeben, wobei das Übereinstimmungssignal aktiv wird, wenn ein von der Halbleitervorrichtung ausgegebenes Ausgangssignalmuster mit einem vorbestimmten Wert übereinstimmt; und einen Schritt zum Wiederstarten des Anlegens des Eingabesignalmusters nur an die Halbleitervorrichtungen, welche das aktive Übereinstimmungssignal ausgeben.
  • Weiterhin kann das Anlegen des Eingabesignalmusters an die mehreren Halbleitervorrichtungen angehalten werden mit Ausnahme der Halbleitervorrichtung, bei der das Anlegen des Eingangssignalmusters wieder gestartet wird. Auch kann das Anlegen des Eingabesignalmusters an die Halbleitervorrichtungen angehalten werden, welche das aktive Übereinstimmungssignal während eines vorbestimmten Zyklus ausgeben; und das Anlegen des Eingabesignalmusters an die Halbleitervorrichtungen kann nach dem Ende des vorbestimmten Zyklus wieder gestartet werden.
  • Weiterhin kann das Anlegen des Eingabesignalmusters an die mehreren Halbleitervorrichtungen angehalten werden mit Ausnahme der Halbleitervorrichtungen, bei denen das Anlegen des Eingabesignalmusters bis zum Ende der Prüfung wieder gestartet wird.
  • Das Verfahren kann weiterhin aufweisen: Erzeugen eines Eingabesignalmusters, das in die mehreren Halbleitervorrichtungen einzugeben ist, und eines Erwartungswert-Signalmusters, von dem erwartet wird, dass es von den mehreren Halbleitervorrichtungen ausgegeben wird, wenn das Eingabesignalmuster an die Halbleitervorrichtung angelegt wird; und Vergleichen der Ausgangssignalmuster, die von den mehreren Halbleitervorrichtungen ausgegeben wurden, mit dem vorbestimmten Wert, der auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters bestimmt ist, und Ausgeben des aktiven Übereinstimmungssignals, wenn das Ausgangssignalmuster mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt.
  • Das Verfahren kann weiterhin aufweisen: einen Schritt des Formatierens einer Wellenform des Eingabesignalmusters; und einen Schritt des Ausgebens des formatierten Eingabesignalmusters zu der Halbleitervorrichtung; worin der Schritt des Formatierens enthält: einen Schritt des Anhaltens der Ausgabe zumindest eines Teils des Eingabesignalmusters zu der Halbleitervorrichtung, welche das aktive Übereinstimmungssignal ausgibt; einen Schritt des Wiederstartens der Ausgabe des Eingabesignalmusters nur zu der Halbleitervorrichtung, welche das aktive Übereinstimmungssignal ausgibt; und einen Schritt des Anhaltens des Anlegens des Eingabesignalmusters an die mehreren Halbleitervorrichtungen mit Ausnahme der Halbleitervorrichtung, bei welcher das Anlegen des Eingabesignalmuster wieder gestartet ist.
  • Es kann ein erstes Anhaltesignal ausgegeben werden, welches das Anlegen des Eingabesignalmusters an die Halbleitervorrichtungen, die das aktive Übereinstimmungssignal ausgeben, anhält. Weiterhin kann ein zweites Anhaltesignal ausgegeben werden, welches das Anlegen des Eingabesignalmusters an die Halbleitervorrichtungen anhält mit Ausnahme der Halbleitervorrichtung, an welche das Anlegen des Eingabesignalmusters wieder gestartet wird. Weiterhin kann das Anhalten die Feststellung, ob irgendeine der mehreren Halbleitervorrichtungen das aktive Übereinstimmungssignal während eines vorbestimmten Zyklus nicht ausgibt, enthalten.
  • Der Schritt des Anhaltens kann weiterhin enthalten: einen Schritt des Speicherns, welche der Halbleitervorrichtungen das aktive Übereinstimmungssignal nicht ausgibt, das während des vorbestimmten Zyklus erfasst wird; und einen Schritt der Ausgabe des ersten Anhaltesignals, wenn die Halbleitervorrichtung das aktive Übereinstimmungssignal während des vorbestimmten Zyklus ausgibt oder wenn die Halbleitervorrichtung gespeichert wird. Weiterhin kann das zweite Anhaltesignal bis zum Ende der Prüfung ausgegeben werden.
  • Gemäß dem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung weist ein Verfahren zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen auf: Wiederholtes Zuführen eines Eingabesignalmusters zu den Halbleitervorrichtungen während einer vorbestimmten Periode; und Anhalten des Zuführens des Eingabesignalmusters zu einer Halbleitervorrichtung, in welche ein Eingabesignalmuster fehlerhaft eingeschrieben ist, während die Zuführung des Eingabesignalmusters zu einer Halbleitervorrichtung fortgesetzt wird, in welche das Eingabesignal muster fehlerlos eingeschrieben ist.
    •
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand von in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher beschrieben. Es zeigen:
  • 1 ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration eines Mustergenerators einer herkömmlichen Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung zeigt,
  • 2 ein Flussdiagramm, das einen Vorgang zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung unter Verwendung einer herkömmlichen Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung zeigt,
  • 3 ein Flussdiagramm, das einen Vorgang zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen zur gleichen Zeit unter Verwendung einer herkömmlichen Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung zeigt,
  • 4 ein Zeitdiagramm, das einen Vorgang zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen zur gleichen Zeit unter Verwendung einer herkömmlichen Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung zeigt,
  • 5 ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration einer bereits vorgeschlagenen Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung zeigt,
  • 6 eine integrierte Systemgroßschaltung, welche ein Beispiel für eine zu prüfende Halbleitervorrichtung ist,
  • 7 die Konfiguration eines Mustergenerators,
  • 8 die Konfiguration eines Adressenzählers,
  • 9 ein Flussdiagramm, welches ein Vorgang zum gleichzeitigen Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen zeigt,
  • 10 ein Flussdiagramm, welches einen Vorgang zum gleichzeitigen Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen zeigt,
  • 11A bis 11B eine Steuerfolge der Folgesteuereinheit und ein entsprechendes Eingangssignalmuster sowie Erwartungswert-Signalmuster, welche in einem Musterdatenspeicher gespeichert sind,
  • 12 eine Steuerfolge des in 8 gezeigten Adressenzählers,
  • 13 die Konfiguration einer weiteren bereits vorgeschlagenen Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung,
  • 14 ein Blockschaltbild, das die Konfiguration einer Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung nach einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt,
  • 15 die Konfiguration eines Mustergenerators,
  • 16 die Konfiguration einer Wellenform-Formatierungsvorrichtung,
  • 17 ein Flußdiagramm, das den Vorgang der gleichzeitigen Prüfung mehrerer Halbleitervorrich tungen zeigt,
  • 18 ein Zeitdiagramm, das den Vorgang der gleichzeitigen Prüfung mehrerer Halbleitervorrichtungen zeigt,
  • 19 ein Blockschaltbild, das andere Konfigurationen einer Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung zeigt, und
  • 20 die Konfiguration einer Wellenform-Formatierungsvorrichtung nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel.
  • 5 ist ein Blockschaltbild, welches eine Konfiguration einer bereits in der DE 100 17 619 A1 vorgeschlagenen Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 zeigt. Wie in 5 gezeigt ist, weist die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 auf: einen Mustergenerator 10, einen Bezugstaktgenerator 60, einen Zeitgeber 62, eine Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70, eine Signaleingabe/Ausgabe-Einheit 80, eine Vergleichseinheit 90 und eine Fehleranalyse-Speichereinheit 110.
  • Die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 wird zum Prüfen einer logischen integrierten Schaltung wie einer integrierten Systemgroßschaltung verwendet. Insbesondere kann die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 mehrere Halbleitervorrichtungen 200 gleichzeitig prüfen. Wenn die integrierte Systemgroßschaltung einen eingebauten Flush-Speicher enthält, muß ein Prüfmuster kontinuierlich während einer vorbestimmten Anzahl von Malen an eine integrierte Systemgroßschaltung angelegt werden.
  • Dies ergibt sich aus der Eigenschaft eines Flush-Speichers, daß die Daten nicht in den Flush-Speicher eingeschrieben werden können, wenn nicht die Daten eine vorbestimmte Anzahl von Malen an dem Flush-Speicher angelegt werden. Die Anzahl von Malen der Zuführung der Daten zu dem Flush-Speicher, die zum Einschreiben der Daten in den Flush-Speicher erforderlich ist, wird bestimmt durch den Standard eines Flush-Speichers. Gewöhnlich ist die Anzahl von Malen der Zuführung der Daten zu dem Flush-Speicher des Standards größer als die Anzahl von Malen der Zuführung der Daten, die tatsächlich benötigt wird. Z.B. kann, selbst wenn die Daten in dem Flush-Speicher eingeschrieben werden können, durch etwa 20-maliges Zuführen der Daten zu dem Flush-Speicher, der Standard der Anzahl von Malen der Zuführung der Daten zu dem Flush-Speicher auf 100-mal eingestellt werden.
  • Um mehrere der vorbeschriebenen Flush-Speicher zu prüfen, wird die Anzahl von Malen des Zuführens der Daten für alle Flush-Speicher auf 20-mal gesetzt, um die Prüfzeit herabzusetzen, und die Prüfung wird für die verbleibenden Flush-Speicher fortgesetzt nach Entfernen des Flush-Speichers, bei welchem das Schreiben der Daten fehlgeschlagen ist, aus dem Prüfobjekt. Der Flush-Speicher, welcher aus dem Prüfobjekt entfernt wurde, kann getrennt mit anderen Flush-Speichern geprüft werden durch beispielsweise 30-faches Zuführen von Daten.
  • Wenn die mehreren Halbleitervorrichtungen 200 gleichzeitig geprüft werden, schreitet auf die Weise die Prüfung fort, während festgestellt wird, ob das Schreiben des Eingangssignalmusters 12 in die Halbleitervorrichtung 200 und Lesen des Ausgangssignalmusters 88 aus der Halbleitervorrichtung 200 für alle Halbleitervorrichtungen 200 normal beendet sind. Daher wird eine Reihe von Prüfungen in mehrere Schritt unterteilt, und es wird festgestellt, ob das Lesen oder Schreiben der Daten in die oder aus der Halbleitervorrichtung 200 innerhalb des Übereinstimmungszyklus beendet ist. Der Übereinstimmungszyklus ist eine vorbestimmte Zeitperiode zwischen jedem der Schritte.
  • Wenn das Ausgangssignalmuster 88 während des Übereinstimmungszyklus nicht mit dem erwarteten Wert übereinstimmt, wird die Vorrichtung von den mehreren Halbleitervorrichtungen 200, bei der die Übereinstimmung fehlt, nach dem Anhalten der Prüfung aus dem Prüfobjekt entfernt. Dann wird die Prüfung fortgesetzt.
  • Der Mustergenerator 10 erzeugt ein Eingangssignalmuster 12 und ein Erwartungswert-Signalmuster 14 gemäß einer vorbestimmten Steuerfolge. Das Eingangssignalmuster 12 ist ein Muster, das an die Halbleitervorrichtung 200, welche ein zu prüfender Gegenstand ist, anzulegen ist. Das Erwartungswert-Signalmuster 14 ist ein Muster, das von der Halbleitervorrichtung 200 auszugeben ist, wenn das Eingangssignalmuster 12 an die Halbleitervorrichtung 200 angelegt ist. Der Mustergenerator 10 wird in den Ansprüchen als Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung bezeichnet.
  • Der Bezugstaktgenerator 60 gibt ein Taktsignal CLK1 zu dem Mustergenerator 10 und ein Taktsignal CLK2 zu dem Zeitgeber 62 aus. Der Bezugstaktgenerator 60 wird gesteuert auf der Grundlage eines Taktsteuersignals 48, das von dem Mustergenerator 10 ausgegeben wird. Der Zeitgeber 62 erzeugt ein Zeitsignal 63 zu verschiedenen Zeitpunkten auf der Grundlage des Taktsignals CLK2. Das Zeitsignal 63 steuert die Zeitpunkte des Anlegens des Eingangssignalmusters 12 an die Halbleitervorrichtung 200.
  • Die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 formatiert die Wellenform des Eingangssignalmusters 12 auf der Grundlage des Zeitsignals 63 in der Weise, daß die Wellenform des Eingangssignalmusters 12 den Eigenschaften jeder der Halbleitervorrichtungen 200 angepaßt ist. Die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 steuert weiterhin das Anlegen des Eingangssignalmusters 12 an die Halbleitervorrichtung 200 auf der Grundlage des Zeitsignals 63.
  • Wenn der Mustergenerator 10 das Taktsteuersignal 48 zu dem Bezugstaktgenerator 60 ausgibt, wird die Ausgabe des Taktsignals CLK2 von dem Bezugstaktgenerator 60 zu dem Zeitgeber 62 angehalten, und die Ausgabe des Zeitsignals 63 von dem Zeitgeber 62 wird ebenfalls angehalten. Dann hält die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 das Anlegen des Eingangssignalmusters 12 an die Halbleitervorrichtung 200 an.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel sind vier Signaleingabe/-ausgabe-Einheiten 80A, 80B, 80C und 80D in der Signaleingabe/-ausgabe-Einheit vorgesehen. Eine Halbleitervorrichtung 200 wird in jede der Signaleingabe/-ausgabe-Einheiten 80A, 80B, 80C und 80D eingesetzt. Jede Signaleingabe/-ausgabe-Einheit 80A, 80B, 80C und 80D empfängt ein formatiertes Eingangssignalmuster von der Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 und legt dieses an die Eingangsstifte von jeder der Halbleitervorrichtungen 200 an. Jede Signaleingabe/-ausgabe-Einheit 80A, 80B, 80C und 80D empfängt weiterhin ein Ausgangssignalmuster 88 von den Ausgangsstiften von jeder der Halbleitervorrichtungen 200 und gibt dieses zu dem Komparator 92 aus. Die Signaleingabe/-ausgabe-Einheit 80 kann beispielsweise ein Eingabeschlitz sein, in welchen die Halbleitervorrichtung 200 eingeführt werden kann.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel sind vier Signaleingabe/-ausgabe-Einheiten 80A, 80B, 80C und 80D als eine Signaleingabe/-ausgabe-Einheit 80 vorgesehen, so daß vier Halbleitervorrichtungen 200 gleichzeitig geprüft werden können. Jedoch kann die Anzahl der Signaleingabe/-ausgabe-Einheit 80 und der Halbleitervorrichtungen 200 auf eine andere Zahl als vier gesetzt werden. Weiterhin brauchen nicht nur mehrere Halbleitervorrichtungen 200, sondern es kann auch eine einzelne Halbleitervorrichtung 200 allein getestet werden.
  • Die Vergleichseinheit 90 empfängt das Ausgangssignalmuster 88 von der Signaleingabe/-ausgabe-Einheit 80 und empfängt das Erwartungswert-Signalmuster 14 von dem Mustergenerator 10. Die Vergleichseinheit 90 vergleicht dann das Ausgangssignalmuster 88 und das Erwartungswert-Signalmuster 14 auf der Grundlage des Zeitsignals 63, welches von dem Zeitgeber 62 ausgegeben wird. Dann gibt die Vergleichseinheit 90 ein Übereinstimmungssignal 96 aus, wenn das Ausgangssignalmuster 88 mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt, welcher auf der Grundlage des Ausgangssignalmusters 88 und des Erwartungswert-Signalmusters 14 bestimmt ist.
  • Die Vergleichseinheit 90 enthält einen Komparator 92 und einen Übereinstimmungssignalgenerator 94. Der Komparator 92 enthält eine Exklus-Oder-Schaltung. Der Komparator 92 empfängt das Ausgangssignalmuster 88 und das Erwartungswert-Signalmuster 14. Der Komparator 92 vergleicht dann das Ausgangssignalmuster 88 mit dem Erwartungswert-Signalmuster 14 auf der logischen Grundlage des von dem Zeitgeber 62 ausgegebenen Zeitsignals 63.
  • Jedes von jeder Halbleitervorrichtung 200 ausgegebene Ausgangssignalmuster 88 enthält ein 1-Bit-Übereinstimmungsbit, welches anzeigt, daß entweder der Schreibvorgang des Eingangssignalmuster 12 oder der Lesevorgang des Ausgangssignalmusters 88 auf normale Weise beendet wurde. Ein besonderer Bitort des Übereinstimmungsbits in dem Ausgangssignalmuster 88 hängt von dem Typ der Prüfung und der Halbleitervorrichtung 200 selbst ab, und der besondere Bitort des Übereinstimmungsbits wird durch den Komparator 92 auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters 14 beurteilt.
  • Der Komparator 92 gibt das Signal zu dem Übereinstimmungssignalgenerator 94 aus, dessen Signal zeigt, ob das in jedem Ausgangssignalmuster 88 enthaltene Übereinstimmungsbit mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt, der auf der Grundlage des Erwartungswert- Signalmusters 14 bestimmt wurde. Der Übereinstimmungssignalgenerator 94 gibt ein Bit eines Übereinstimmungssignals 96 aus, wenn das Übereinstimmungsbit aller Ausgangssignalmuster 88 mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt. Hier wird bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ein Bit des Übereinstimmungssignals 96 relativ zu allen Ausgangssignalmustern 88 ausgegeben. Jedoch kann ein Bit des Übereinstimmungssignals 96 für jedes der Ausgangssignalmuster 88 ausgegeben werden.
  • Wenn das Ausgangssignalmuster 88 nicht mit dem Erwartungswert-Signalmuster 14 übereinstimmt, gibt der Komparator 92 ein Fehlsignal 95 an die Fehlanalyse-Speichereinheit 110 aus. Das Fehlsignal 95 wird in der Fehlanalyse-Speichereinheit 110 gespeichert. Die Fehlanalyse-Speichereinheit 110 analysiert aufgrund des gespeicherten Fehlsignals 95, wo der defekte Bereich innerhalb der Halbleitervorrichtung 200 ist. Weiterhin steuert die Steuervorrichtung 210 jede Einheit der Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100.
  • 6 zeigt eine integrierte Systemgroßschaltung, welche ein Beispiel der Halbleitervorrichtung 200 ist, die ein zu prüfender Gegenstand ist. Als ein Beispiel einer integrierten Systemgroßschaltung wird eine solche verwendet, die einen eingebauten Flush-Speicher oder eine eingebaute PLL-Vorrichtung enthält.
  • Die Halbleitervorrichtung 200 nach der vorliegenden Erfindung enthält eine CPU (zentrale Verarbeitungseinheit) 202, einen Flush-Speicher 204 und eine PLL-Vorrichtung 206. Da Daten nicht direkt in den eingebauten Flush-Speicher 204, der in der integrierten Systemgroßschaltung enthalten ist, geschrieben oder aus diesem ausgelesen werden können, wird das Eingangssignalmuster 12 über die CPU 202 an den Flush-Speicher 204 angelegt, indem ein CPU-Steuersignal zu der CPU 202 vorgesehen ist, um zu bewirken, daß der Flush-Speicher 204 das Ausgangssignalmuster 88 über die CPU 202 ausgibt.
  • Wenn die Prüfung der integrierten Systemgroßschaltung, welche den eingebauten Flush-Speicher 204 enthält, auf halbem Wege angehalten und wieder von Anfang an gestartet wird, wird das Eingangssignalmuster 12 wiederholt an den Flush-Speicher angelegt, so daß die Daten übermäßig in den Flush-Speicher geschrieben werden. Da jedoch der Flush-Speicher zerstört wird, wenn die Daten übermäßig in den Flush-Speicher 204 eingeschrieben werden, hat die Prüfung an dem Punkt zu starten, an welchem die Prüfung angehalten wurde, wenn die Prüfung der integrierten Systemgroßschaltung, welche einen eingebauten Flush-Speicher 204 enthält, auf halbem Wege angehalten und wieder neu gestartet wird. Somit werden bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Daten einer Wiederstartadresse gehalten, so daß das Wiederstarten der Prüfung von dem Punkt an, bei dem die Prüfung angehalten wurde, unter Verwendung der Wiederstartadresse möglich wird, wie nachfolgend erläutert wird.
  • Um die integrierte Systemgroßschaltung zu prüfen, welche die PLL-Vorrichtung 206 enthält, ist es weiterhin erforderlich, die PLL-Vorrichtung 206 zu sperren durch vorhergehendes Anlegen eines Taktsignals an die PLL-Vorrichtung 206 vor Beginn der Prüfung. Wenn das Taktsignal angehalten wird, wenn die Prüfung angehalten wird, muß daher gewartet werden, bis die PLL-Vorrichtung 206 verriegelt ist, während das Taktsignal wieder an die PLL-Vorrichtung 206 für jedes Wiederstarten der Prüfung angelegt ist. Somit wird bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel das Taktsignal kontinuierlich so an die PLL-Vorrichtung 206 angelegt, daß ein Wiederstarten der Prüfung ohne die Verriegelung der PLL-Vorrichtung 206 abzuwarten möglich wird, wie nachfolgend erläutert wird.
  • 7 zeigt eine Konfiguration des Mustergenerators 10. Wie in 7 gezeigt ist, hat der Mustergenerator 10 eine Folgesteuereinheit 40, einen Musterdatenspeicher 50, eine Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20, eine Fehlbetriebs-Auswahlvorrichtung 30 und ein Fehlbetriebsregister 32.
  • Der Musterdatenspeicher 50 speichert die Daten des Eingangssignalmusters 12 und des Erwartungswert-Signalmusters 14. Die Folgesteuereinheit 40 bewirkt, daß der Musterdatenspeicher 50 das Eingangssignalmuster 12 und das Erwartungswert-Signalmuster 14 erzeugt durch Ausgabe eines Adressensignals 45 zu dem Musterdatenspeicher 50. Weiterhin empfängt die Folgesteuereinheit 40 das Übereinstimmungssignal 96 von dem Übereinstimmungssignalgenerator 94. Die Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20 gibt ein Übereinstimmungsmangelsignal 22 zu der Fehlbetriebsauswahlvorrichtung 30 aus, wenn der Übereinstimmungsmangel auftritt. Der Übereinstimmungsmangel tritt auf, wenn das Übereinstimmungssignal 96 während des Übereinstimmungszyklus, wenn auf das Übereinstimmungssignal 96 gewartet wird, nicht aktiv wird.
  • Die Fehlbetriebs-Auswahlvorrichtung 30 gibt ein Fehlbetriebssignal 34 aus, wenn die Fehlbetriebs-Auswahlvorrichtung 30 das Übereinstimmungsmangelsignal 22 von der Übereinstimmungsmangel- Erfassungseinheit 20 empfängt, auf der Grundlage des gesetzten Wertes des Fehlbetriebsregisters 32. Das Fehlbetriebssignal 34 zeigt ein Verfahren zum Steuern der Folgesteuereinheit 40 an, wenn der Übereinstimmungsmangel auftritt.
  • Die Folgesteuereinheit 40 enthält einen Musterzähler 42, einen Adressenzähler 44, eine Steuervorrichtung 46 und ein Wiederstart-Adressenregister 47.
  • Der Musterzähler 42 zählt die Übereinstimmungszyklen. Der Adressenzähler 44 zählt die Adressen der Steuerfolge. Die Steuervorrichtung 46 steuert den Musterzähler 42 und den Adressenzähler 44 gemäß der vorbestimmten Steuerfolge. Die Steuervorrichtung 46 empfängt das Übereinstimmungssignal 96 von dem Übereinstimmungssignalgenerator 94 und gibt ein Übereinstimmungszyklussignal 43 zu der Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20 aus. Das Übereinstimmungszyklussignal 43 informiert die Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20, daß die Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20 in dem Übereinstimmungszyklusprozeß ist. Die Steuervorrichtung 46 empfängt weiterhin das Fehlbetriebssignal 34 von der Fehlbetriebs-Auswahlvorrichtung 30.
  • Weiterhin gibt die Steuervorrichtung 46 das Taktsteuersignal 48 zu dem Bezugstaktgenerator 60 auf der Grundlage des Fehlbetriebssignals 34 aus. Das Taktsteuersignal 48 hält die Erzeugung des von dem Bezugstaktgenerator 60 erzeugten Taktsignals an. Eine Wiederstartadresse zum Wiederstarten der angehaltenen Steuerfolge wird in dem Wiederstart-Adressenregister 47 gesetzt. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird die Adresse, welche der Adresse, bei der die Prüfung angehalten wurde, am nächsten ist, in dem Wiederstart-Adressenregister 47 als eine Wiederstartadresse gesetzt.
  • Als ein Verfahren zum Ausführen der Steuerfolge der Folgesteuereinheit 40, wenn der Übereinstimmungsmangel auftritt, ist ein Fehleranhalteprozeß, ein Fehlerhalteprozeß und ein Fehlerstoßprozeß vorgesehen. Der Fehleranhalteprozeß beendet den Prüfvorgang. Der Fehlerhalteprozeß startet die Prüfung wieder von der Wiederstartadresse, nachdem die Prüfung angehalten ist. Der Fehlerstoßprozeß legt dasselbe Eingangssignalmuster 12 wiederholt an die Halbleitervorrichtung 200 an, während die Prüfung angehalten ist. Die Verfahren des Fehleranhalteprozesses, des Fehlerhalteprozesses und des Fehlerstoßprozesses werden in dem Fehlbetriebsregister 32 so gespeichert, daß irgendeiner von dem Fehleranhalteprozeß, dem Fehlerhalteprozeß und dem Fehlerstoßprozeß von der Fehlbetriebs-Auswahlvorrichtung 30 aus dem Fehlbetriebsregister 32 ausgewählt wird.
  • Während des Fehleranhalteprozesses hält die Steuervorrichtung 46 die Erzeugung des Adressensignals 45 an durch Steuerung des Adressenzählers 44 in der Weise, daß die Erzeugung des Eingangssignalmusters 12 und des Erwartungswert-Signalmusters 14 angehalten wird, wenn der Übereinstimmungsmangel auftritt. Die Steuervorrichtung 46 gibt weiterhin das Taktsteuersignal 48 zu dem Bezugstaktgenerator 60 aus, um das Anlegen des Eingangssignalmusters 12 an die Halbleitervorrichtung 200 anzuhalten. In diesem Fall muß die Prüfung von dem Beginn an gestartet werden, um die angehaltene Prüfung wieder zu starten.
  • Während des Fehlerhalteprozesses wird die Ausgabe des Adressensignals in derselben Weise wie beim Fehleran halteprozeß angehalten. Jedoch wird das Taktsteuersignal 48 von der Steuervorrichtung 46 ausgegeben. Um die angehaltene Prüfung wieder zu starten, wird die Steuerfolge von der Wiederstartadresse, die in dem Wiederstart-Adressenregister 47 gesetzt ist, neu gestartet. Daher kann die für die Prüfung benötigte Zeit verkürzt werden. Weiterhin legt der Fehlerhalteprozeß das Eingangssignalmuster 12 nicht wiederholt an die Halbleitervorrichtung 200 an, so daß der Fehlerhalteprozeß nicht eine integrierte Systemgroßschaltung mit einem eingebauten Flush-Speicher 204 zerstört.
  • Während des Fehlerstoßprozesses wird die Ausgabe des Adressensignals 45 angehalten, so daß die Erzeugung des Eingangssignalmusters 12 und des Erwartungswert-Signalmusters 14 angehalten wird, wenn der Übereinstimmungsmangel auftritt. Zur selben Zeit wird dasselbe Eingangssignalmuster 12 wiederholt an die Halbleitervorrichtung 200 angelegt.
  • Da die Steuervorrichtung 46 das Taktsteuersignal 48 nicht ausgibt, gibt der Zeitgeber 62, der das Taktsignal CLK2 von dem Bezugstaktgenerator 62 empfängt, kontinuierlich ein Zeitsignal 63 aus. Somit legt die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70, welche das von dem Zeitgeber 62 ausgegebene Zeitsignal 63 empfängt, wiederholt dasselbe Eingangssignalmuster 12 an die Halbleitervorrichtung 200 an. Um die angehaltene Prüfung wieder zu starten, wird die Steuerfolge von der Wiederstartadresse aus, die in dem Wiederstart-Adressenregister 47 gesetzt ist, neu gestartet. Daher kann, selbst wenn die Prüfung für eine integrierte Systemgroßschaltung, die eine eingebaute PLL-Vorrichtung 206 enthält, durchgeführt wird, das Taktsignal kontinuierlich an die integrierte Systemgroß schaltung angelegt werden, so daß keine Zeit für das Warten auf die Verriegelung der PLL-Vorrichtung 206 benötigt wird. Somit kann die für die Prüfung benötigte Zeit verkürzt werden.
  • 8 zeigt die Konfiguration eines Adressenzählers 44. Wie in 8 gezeigt ist, enthält der Adressenzähler 44 eine Zähleinheit 150, eine Übereinstimmungserfassungseinheit 152, ein Übereinstimmungserfassungsregister 154, eine Betriebsarten-Auswahlvorrichtung 156 und ein Betriebsartenregister 158.
  • Der Adressenzähler 44 wird hauptsächlich verwendet für eine parametrische Gleichstromprüfung, welche eine elektrische Strom- und Spannungscharakteristik der Halbleitervorrichtung 200 mißt. Die elektrische Strom- und Spannungscharakteristik der Halbleitervorrichtung 200 wird gemessen durch Änderung eines elektrischen Stroms oder einer elektrischen Spannung nach dem Einstellen des Stiftes der Halbleitervorrichtung 200, welche zu messen ist, in einen vorbestimmten Zustand. Zum Einstellen des Stiftes der zu messenden Halbleitervorrichtung 200 in einen vorbestimmten Zustand wird eine Steuerfolge zum Anlegen des Eingangssignalmusters 12 an die Halbleitervorrichtung 200 ausgeführt, bis die Steuerfolge die Adresse erreicht, bei der der Stift der Halbleitervorrichtung 200 den vorbestimmten Zustand erhält. Dann wird die Steuerfolge bei der Adresse angehalten, bei der der Stift der Halbleitervorrichtung 200 den vorbestimmten Zustand erhält.
  • Die Zähleinheit 150 zählt eine Adresse der Steuerfolge der Folgesteuereinheit 40 und gibt ein Adressensignal 45 zu der Übereinstimmungserfassungseinheit 152 aus. Weiterhin gibt die Zähleinheit 150 ein Adressensignal 45 zu dem Musterdatenspeicher 50 aus. Die Adresse der Steuerfolge, bei welcher der Stift der zu messenden Halbleitervorrichtung 200 den vorbestimmten Zustand erhält, wird in dem Übereinstimmungserfassungsregister 154 gesetzt.
  • Die Übereinstimmungserfassungseinheit 152 vergleicht das von der Zähleinheit 150 empfangene Adressensignal und die Adresse, welche in dem Übereinstimmungserfassungsregister 154 gesetzt ist, und gibt ein Übereinstimmungssignal zu der Betriebsarten-Auswahlvorrichtung 156 aus, wenn das von der Zähleinheit 150 empfangene Adressensignal und die in dem Übereinstimmungserfassungsregister 154 gesetzte Adresse miteinander übereinstimmen. Die Betriebsarten-Auswahlvorrichtung 156, welche das Übereinstimmungssignal empfängt, gibt ein Steuersignal zu der Steuervorrichtung 46 auf der Grundlage des gesetzten Wertes des Betriebsartenregisters 158 aus.
  • Jede der Prozeßfolgen eines Anhalteprozesses, eines Halteprozesses oder eines Stoßprozesses ist in dem Betriebsartenregister 158 als ein Verfahren zum Steuern der Steuerfolge der Steuervorrichtung 46 gesetzt. Der Anhalteprozeß hält die Steuerfolge an. Der Halteprozeß startet die Prüfung wieder von der Adresse aus, die der Adresse am nächsten ist, bei der die Steuerfolge angehalten ist. Der Stoßprozeß hält die Steuerfolge an und zur selben Zeit legt der Stoßprozeß wiederholt dasselbe Eingangssignalmuster 12 an die Halbleitervorrichtung 200 an. Während des Anhalteprozesses hält die Steuervorrichtung 46 die Ausgabe des Adressensignals 45 von der Zähleinheit 150 an. Die Steuervorrichtung 46 gibt das Taktsteuersignal 48 zu dem Bezugstaktgenerator 60 aus, um die Erzeugung des Eingangssignalmusters 12 und des Erwartungswert-Signalmusters 14 anzuhalten. Daher wird das Anlegen des Eingangssignalmusters 12 an die Halbleitervorrichtung 200 angehalten. Die Prüfung muß von dem Beginn der Folge an gestartet werden, um die Steuerfolge wieder zu starten. Während des Halteprozesses wird die Ausgabe des Adressensignals 45 durch die Zähleinheit 150 angehalten. Die Steuervorrichtung 46 gibt das Taktsteuersignal 48 aus, um die Erzeugung des Eingangssignalmusters 12 und des Erwartungswert-Signalmusters 14 anzuhalten. Daher wird das Anlegen des Eingangssignalmusters 12 an die Halbleitervorrichtung 200 angehalten. Um die Steuerfolge wieder zu starten, wird die Steuerfolge wieder von der Adresse aus gestartet, die der Adresse am nächsten ist, welche in dem Übereinstimmungserfassungsregister 154 gesetzt ist. Daher kann die für die Prüfung benötigte Zeit verkürzt werden. Weiterhin legt der Halteprozeß nicht wiederholt das Eingangssignalmuster 12 an die Halbleitervorrichtung 200 an, so daß der Halteprozeß eine integrierte Systemgroßschaltung mit einem eingebauten Flush-Speicher 204 nicht zerstört.
  • Während des Stoßprozesses wird die Ausgabe des Adressensignals 45 von der Zähleinheit 150 angehalten. Zur selben Zeit wird dasselbe Eingangssignalmuster 12 wiederholt an die Halbleitervorrichtung 200 angelegt. Um die Steuerfolge wieder zu starten, wird die Steuerfolge von der Adresse aus wieder gestartet, welche der Adresse am nächsten ist, die in dem Übereinstimmungserfassungsregister 154 gesetzt ist. Daher kann, selbst wenn die Prüfung einer integrierten Systemgroßschaltung, welche eine eingebaute PLL-Vorrichtung 206 enthält, angehalten wird, das Taktsignal an die integrierte Systemgroßschaltung kontinuierlich angelegt werden, so daß keine Zeit für das Warten auf die Verriegelung der PLL-Vorrichtung 206 benötigt wird. Somit kann die für die Prüfung erforderliche Zeit verkürzt werden.
  • Der Musterzähler 240 hat die dieselbe Konfiguration wie der in 8 gezeigte Adressenzähler 44 mit der Ausnahme, daß die Zähleinheit 150 des Adressenzählers 44 das Adressensignal 45 zu dem Musterdatenspeicher 50 ausgibt. Der Musterzähler 42 verarbeitet die Steuerfolge in derselben Weise wie der Adressenzähler 44, wenn der Musterzähler 42 Muster zählt.
  • 9 ist ein Flußdiagramm, das einen Prozeß zum gleichzeitigen Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen 200 zeigt. Wie in 9 gezeigt ist, wird, nachdem eine Prüfung 1 (S252) durchgeführt ist, eine Prüfung 2 (S256) durchgeführt, wenn das Ausgangssignalmuster 88 mit dem vorbestimmten Wert, der auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters 14 bestimmt ist, während des Übereinstimmungszyklus (S5254) übereinstimmt.
  • Wenn das Ausgangssignalmuster 88 nicht mit dem vorbestimmten Wert, der auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters 14 bestimmt ist, während des Übereinstimmungszyklus (S254) übereinstimmt, wird die Prüfung an diesem Punkt aufgrund des Übereinstimmungsmangels angehalten (S262). Dann wird die Adresse, die der Anhalteadresse am nächsten ist, in dem Wiederstart-Adressenregister 47 als eine Wiederstartadresse gesetzt.
  • Die Fehlerbetriebs-Auswahlvorrichtung 30 wählt eine der Prozeßfolgen aus dem Fehleranhalteprozeß, dem Fehlerhalteprozeß und dem Fehlerstoßprozeß aus auf der Grundlage des gesetzten Wertes im Fehlerbetriebs register 32 (S262). Die Halbleitervorrichtung 200, bei der der Übereinstimmungsmangel aufgetreten ist, wird aus dem Prüfobjekt entfernt (S263). Dann bezieht sich die Steuervorrichtung 46 auf die Wiederstartadresse, welche in dem Wiederstart-Adressenregister 47 gesetzt ist, wenn die Prüfung für die anderen verbleibenden Vorrichtungen wieder gestartet wird (S264). Die Steuervorrichtung 46 startet die Prüfung wieder von der Prüfung 2 auf der Grundlage dieser Wiederstartadresse (S256).
  • Als nächstes wird der Prozeß für den Übereinstimmungszyklus (S266, S267, S268), welcher derselbe ist wie der Prozeß für den Übereinstimmungszyklus nach der Prüfung 1 (S254, S262, S263, und S264), durchgeführt, wenn das Ausgangssignalmuster 88 nicht mit dem vorbestimmten Wert, der auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters 14 bestimmt, während des Übereinstimmungszyklus (S258), der nach der Prüfung 2 durchgeführt wird (S256), übereinstimmt. Wenn die Prüfung 3 (S260) beendet ist, enden alle Prüfungsprozesse.
  • 10 ist ein Flußdiagramm, das einen Prozeß zum gleichzeitigen Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen 200 zeigt. Wie in 10 gezeigt ist, wird, nachdem die Prüfung 1 durchgeführt ist (S302), für mehrere Halbleitervorrichtungen 200 festgestellt, ob das Ausgangssignalmuster 88 in dem Übereinstimmungszyklus (S304) mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt. Wenn eine der Halbleitervorrichtungen 200 einen Übereinstimmungsmangel bewirkt, wird die Prüfung für alle Vorrichtungen angehalten (S306). Dann wird die Adresse, die der Anhalteadresse am nächsten ist, in dem Wiederstart-Adressenregister 47 als eine Wiederstartadresse gesetzt.
  • Als Nächstes wird die Halbleitervorrichtung 200, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt hat, aus dem Prüfobjekt entfernt (S308). Als Nächstes bezieht sich die Steuervorrichtung 46 auf die Wiederstartadresse, die in dem Wiederstart-Adressenregister 47 gesetzt ist, wenn die Prüfung für die anderen verbleibenden Halbleitervorrichtungen 200 wieder gestartet wird (S310). Die Prüfung wird wieder gestartet von der Prüfung 2 basierend auf dieser Wiederstartadresse (S312). Wenn der Übereinstimmungsmangel in dem Übereinstimmungszyklus nicht auftritt (S316) nach der Prüfung 2 (S314), wird die Prüfung 3 (S314) durchgeführt. Dann enden alle Prüfungsvorgänge, wenn die Prüfung 3 beendet ist.
  • 11A bis 11B zeigt eine Steuerfolge der Folgesteuereinheit 40 und ein entsprechendes Eingangssignalmuster 12 und ein Erwartungswert-Signalmuster 14, die in dem Musterdatenspeicher 50 gespeichert sind. 11A zeigt eine Steuerfolge, der Folgesteuereinheit 40. 11B zeigt die in dem Musterdatenspeicher 50 gespeicherten Daten. Das Eingangssignalmuster 12 und das Erwartungswert-Signalmuster 14 werden von jedem der Stifte von Stift 1 bis Stift 32 des Musterdatenspeichers 50 für drei Bits ausgegeben entsprechend dem von dem Adressenzähler 44 eingegebenen Adressensignal 45.
  • Jedes der drei Bits von Daten von 000 bis 111 zeigt eine bestimmte Bedeutung an. Z.B. zeigen die Daten 000 die Daten 0 an. Die Daten 001 zeigen die Daten 1 an. Die Daten 010 zeigen P (positiver Takt) an. Die Daten 011 zeigen N (negativer Takt) an. Die Daten 100 zeigen L (niedriger Pegel) an. Die Daten 101 zeigen H (hoher Pegel) an. Die Daten 110 zeigen Z (hohes Z) an. Die Daten 111 zeigen X (aus dem Vergleichsobjekt) an.
  • Zuerst sind die Adressen von #0000 bis #0020 die Adressen für die Prüfung 1 zur Eingabe des Eingangssignalmusters 12. Die Adressen von #0021 bis #0030 sind Adressen für den Übereinstimmungszyklus, welche eine Schleife bilden, in welcher eine Adresse von #0030 zu #0021 springt. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird diese Schleife 100-mal wiederholt. Während dieses Übereinstimmungszyklus wird festgestellt, ob die vorbestimmten Bits innerhalb des Erwartungswert-Signalmusters 14 mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen, wie in der rechten Spalte von 11B gezeigt ist. Wenn die vorbestimmten Bits innerhalb des Erwartungswert-Signalmusters 14 mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen, springt die Adresse zu der Adresse #0031. Wenn die vorbestimmten Bits innerhalb des Erwartungswert-Signalmusters 14 nicht mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen, wird die Prüfung wegen des Übereinstimmungsmangels angehalten.
  • Die Adressen von #0031 bis #0050 sind Adressen für die Prüfung 2 zum Anlegen des Eingangssignalmusters 12 an die Halbleitervorrichtung 200. Dann wird die Schleife für den Übereinstimmungszyklus von den Adressen #0051 bis #0060 100-mal wiederholt. Wenn die vorbestimmten Bits innerhalb des Erwartungswert-Signalmusters 14 mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen, springt die Adresse zur Adresse #0061. Wenn die vorbestimmten Bits innerhalb des Erwartungswert-Signalmusters 14 nicht mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen, wird die Prüfung angehalten.
  • 12 zeigt eine Steuerfolge des in 8 gezeigten Adressenzählers 44. Die Adresse #0000 ist eine Startadresse. Um den Anhalteprozeß durchzuführen, wird die Adresse #5000 in dem Übereinstimmungserfassungsregister 154 als eine Anhalteadresse gesetzt. Um den Halteprozeß oder den Stoßprozeß durchzuführen, wird die Adresse #2000 in dem Übereinstimmungserfassungsregister 154 als die Halteadresse oder die Stoßadresse gesetzt.
  • Für den Fall, daß das Eingangssignalmuster 12 von der Adresse #0000 an die Halbleitervorrichtung 200 angelegt wird und die Adresse #2000 als die Halteadresse oder die Stoßadresse gesetzt ist, erfaßt die Übereinstimmungserfassungseinheit 152, daß die gegenwärtige Adresse mit der in dem Übereinstimmungserfassungsregister 154 gesetzten Adresse übereinstimmt, wenn die Steuerfolge zu der Adresse #2000 fortschreitet. Dann gibt die Betriebsarten-Auswahlvorrichtung 156 das Steuersignal für den Halteprozeß oder den Stoßprozeß aus.
  • Für den Fall, daß die Adresse #5000 als die Anhalteadresse gesetzt ist, erfaßt die Übereinstimmungserfassungseinheit 152, daß die gegenwärtige Adresse mit der in dem Übereinstimmungserfassungsregister 154 gesetzten Adresse übereinstimmt, wenn die Steuerfolge zu der Adresse #5000 fortschreitet. Dann gibt die Betriebsarten-Auswahlvorrichtung 156 das Steuersignal für den Anhalteprozeß aus.
  • Hier wird die Steuerfolge des Musterzählers 42 in derselben Weise wie die Steuerfolge des in 12 gezeigten Adressenzählers 44 verarbeitet.
  • Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel können mehrere Halbleitervorrichtungen 200 gleichzeitig in kurzer Zeit geprüft werden. Selbst wenn die Prüfung für alle Halbleitervorrichtungen 200 angehalten wird, weil ein Übereinstimmungsmangel für eine Halbleitervorrichtung 200 während des Übereinstimmungszyklus auftritt, kann das vorliegende Ausführungsbeispiel die Halbleitervorrichtung 200, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt, von dem Prüfobjekt entfernen und die Prüfung für die verbleibenden Halbleitervorrichtungen 200 wieder von der Adresse aus starten, welche der Adresse, an der die Prüfung angehalten wurde, am nächsten ist. Somit kann das vorliegende Ausführungsbeispiel die für die Prüfung insgesamt benötigte Zeit verkürzen.
  • Weiterhin kann das vorliegende Ausführungsbeispiel die Prüfung für die verbleibenden Vorrichtungen wieder von der Adresse aus starten, die der Adresse, bei welcher die Prüfung angehalten wurde, am nächsten ist, mittels des Fehlerhalteprozesses, selbst wenn die Prüfung aufgrund des Übereinstimmungsmangels angehalten wurde, welcher während der Prüfung einer integrierten Systemgroßschaltung mit einem eingebauten Flush-Speicher als einer Halbleitervorrichtung 200 auftritt. Daher schreibt das vorliegende Ausführungsbeispiel nicht übermäßig Daten in einen Flush-Speicher, um die zu prüfende Vorrichtung zu zerstören.
  • Weiterhin kann das vorliegende Ausführungsbeispiel einen Takt kontinuierlich an die verbleibenden Halbleitervorrichtungen 200 mittels des Fehlerstoßprozesses anlegen, selbst wenn die Prüfung aufgrund des Übereinstimmungsmangels angehalten wird, welcher während der Prüfung einer integrierten Systemgroßschaltung mit einer eingebauten PLL-Vorrichtung als einer Halbleitervorrichtung 200 auftritt. Daher kann das vorliegende Ausführungsbeispiel die Prüfung unmittel bar wieder starten, ohne dass die Verriegelung der PLL-Vorrichtung abgewartet werden muss, jedes Mal, wenn die Prüfung wieder gestartet wird. Somit kann das vorliegende Ausführungsbeispiel die für die Prüfung insgesamt benötigte Zeit verkürzen.
  • 13 zeigt die Konfiguration einer ebenfalls in der DE 100 17 619 A1 vorgeschlagenen Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100. Wie in 13 gezeigt ist, ist die Konfiguration der Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 nach 13 dieselbe wie die in 5 gezeigte mit der Ausnahme, dass die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 nach 13 mehrere Mustergeneratoren 10 hat.
  • Die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 weist Mustergeneratoren 10 auf, deren Anzahl dieselbe ist, wie die Anzahl der Signaleingabe/-ausgabe-Einheiten 80. Das vorliegende Ausführungsbeispiel weise vier Mustergeneratoren 10A, 10B, 10C und 10D auf, von denen jeder den vier Signaleingabe/-ausgabe-Einheiten 80A, 80B, 80C bzw. 80D entspricht.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel gibt jeder der vier Mustergeneratoren 10A, 10B, 10C und 10D ein Eingangssignalmuster 12 und ein Erwartungswert-Signalmuster 14 für jede der entsprechenden Halbleitervorrichtungen 200 aus.
  • Wenn einer der vier Mustergeneratoren 10A, 10B, 10C und 10D das Taktsteuersignal 48 ausgibt, wird weiterhin das zu dem Zeitgeber 62 ausgegebene Taktsignal angehalten, so dass das Anlegen des Eingangssignalmusters 12 an alle Halbleitervorrichtungen 200 angehalten wird.
  • Als ein anderes Ausführungsbeispiel braucht die Vergleichseinheit 90 nicht einen Übereinstimmungssignalgenerator 94 aufzuweisen, und der Komparator 92 kann alle Ausgangssignalmuster 88 zu jedem der Mustergeneratoren 10A, 10B, 10C und 10D ausgeben, welche jeweils einer der Halbleitervorrichtungen 200 zugeordnet sind. Das Eingangssignalmuster 12 und das Erwartungswert-Signalmuster 14 werden jeweils für jede der Halbleitervorrichtungen 200 ausgegeben. Daher können mehrere Prüfungen, welche für jede der Halbleitervorrichtungen 200 unterschiedlich sind, durchgeführt werden.
  • Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend erläutert.
  • Als ein Beispiel für eine zu prüfende Halbleitervorrichtung wird eine integrierte Systemgroßschaltung mit beispielsweise einem eingebauten Flush-Speicher gewählt. Ein Flush-Speicher ist eine Vorrichtung, in welche die Daten eines Eingangssignalmusters geschrieben werden können durch wiederholtes und kontinuierliches Anlegen eines Eingangssignalmusters während einer vorbestimmten Periode.
  • Wenn Daten nicht vollständig in irgendeine von mehreren Halbleitervorrichtungen geschrieben werden können durch Anlegen eines Eingangssignalmusters während einer vorbestimmten Periode, hat die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel eine Anhaltevorrichtung, welche die Prüfung der Halbleitervorrichtung anhält, in welche die Daten unvollständig geschrieben werden, während die Anhaltevorrichtung die Prüfung der Halbleitervorrichtung fortsetzt, in welche die Daten vollständig geschrieben werden.
  • Im Folgenden wird, wenn festgestellt wird, dass die Daten vollständig in die Halbleitervorrichtung innerhalb einer vorbestimmten Periode geschrieben werden, das Ereignis als "Übereinstimmungsfall" bezeichnet. Auch wird, wenn die festgestellt wird, dass die Daten unvollständig innerhalb einer vorbestimmten Periode in die Halbleitervorrichtung geschrieben werden, dieses Ereignis als "Übereinstimmungsmangel" bezeichnet.
  • Bei den Ausführungsbeispielen nach 5 und 13 wird, wenn irgendeine der Halbleitervorrichtungen den Übereinstimmungsmangel bewirkt, die Halbleitervorrichtung, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt, aus dem Prüfobjekt entfernt, während die Prüfung unterbrochen wird. Hier ist als ein Verfahren zum Entfernen der Halbleitervorrichtung, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt hat, von dem Prüfobjekt ein Verfahren zum Abschneiden einer Signalverbindung für alle Halbleitervorrichtungen. Jedoch besteht eine Möglichkeit, dass der Übereinstimmungsmangel gerade nach dem Wiederstarten der Prüfung nach dem Ende des Übereinstimmungszyklus erfasst wird.
  • Wenn die Prüfung gerade nach dem Wiederstarten der Prüfung wieder unterbrochen wird, kann der in die Halbleitervorrichtung geschriebene Wert nicht der vorbestimmte Wert werden. Wenn diese Art der Änderung des Zustands des Halbleiters auftritt, kann es erforderlich sein, dass die Prüfung vom Beginn an wieder gestartet werden muss in Abhängigkeit von der Charakteristik der Prüfung. Daher nimmt die für die Prüfung benötigte Zeit zu, wenn die Prüfung wieder gestartet wird. Als ein anderes Verfahren zum Entfernen der Halbleitervorrichtung, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt hat, ist ein Verfahren vorgesehen, bei dem ein Mustergenerator nicht ein Übereinstimmungssignal für die Halbleitervorrichtung, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt, bis zum Ende der Prüfung erfasst. Jedoch wird gemäß diesem Verfahren ein Eingangssignalmuster an die Halbleitervorrichtung angelegt, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt. Z.B. ist es wünschenswert, das Eingangssignalmuster nicht an einen Flush-Speicher anzulegen, um ein übermäßiges Schreiben von Daten in die Halbleitervorrichtung während des Wiederprüfungsprozesses zu vermeiden.
  • Daher ergibt das vorliegende Ausführungsbeispiel eine Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung und ein Verfahren zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung, welche die Prüfung gerade nach dem Wiederstarten der Prüfung nicht unterbrechen und auch nicht ein Eingangssignalmuster an die Halbleitervorrichtung, welche einen Übereinstimmungsmangel bewirkt, bis zum Ende der Prüfung anlegen.
  • 14 ist ein Blockschaltbild, welches eine Konfiguration einer Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 nach dem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt. Die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 weist einen Mustergenerator 10, einen Bezugstaktgenerator 60, einen Zeitgeber 62, eine Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70, eine Signaleingabe/-ausgabe-Einheit 80, eine Vergleichseinheit 90 und eine Fehleranalyse-Speichereinheit 110 auf. Die Hauptkonfiguration jeder Einheit ist nahezu dieselbe wie die der Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 nach dem Ausführungsbeispiel gemäß 5. Der Mustergenerator 10 dient als eine Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung. Die Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung liefert ein Eingangssignalmuster zu der Halbleitervorrichtung 200.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Arbeitsweisen des Mustergenerators 10 und der Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 unterschiedlich gegenüber denjenigen des Mustergenerators 10 und der Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 nach dem Ausführungsbeispiel gemäß 5.
  • Der Mustergenerator 10 gibt nicht nur das Eingangssignalmuster 12 und das Erwartungswert-Signalmuster 14 aus, sondern gibt auch ein Zuführungs-Anhaltesignal 13 aus, welches der Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 vorgibt, die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Halbleitervorrichtung 200 anzuhalten. Das Zuführungs-Anhaltesignal 13 kann Bitzahlen haben, die zumindest mehr als die Anzahl der Halbleitervorrichtungen 200 sind.
  • Das Zuführungs-Anhaltesignal 13 zeigt an, welche Halbleitervorrichtung 200 von mehreren Halbleitervorrichtungen 200 die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 anhalten sollte. Hierdurch kann das vorliegende Ausführungsbeispiel die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der gewünschten Halbleitervorrichtung 200 anhalten. Der Mustergenerator 10 kann der Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 vorgeben, die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Halbleitervorrichtung 200 anzuhalten durch Ausgabe des Zuführungs-Anhaltesignals 13 zu der Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70.
  • Der Mustergenerator 10 hält die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Halbleitervorrichtung 200 an, wenn deren Zustandssignal aktiv wird. Das Zustandssignal zeigt den Zustand von jeder der mehreren Halbleitervorrichtungen 200 an. Das Zustandssignal wird aktiv, wenn die Halbleitervorrichtung durch die Prüfung hindurchgeht. Beispielsweise kann der Mustergenerator 10 die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Halbleitervorrichtung 200 anhalten, wenn das Übereinstimmungssignal 96 von dieser aktiv wird. In diesem Fall kann der Mustergenerator 10 die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Halbleitervorrichtung 200 bis zum Ende des Übereinstimmungszyklus anhalten.
  • Der Mustergenerator 10 gibt die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 von dem Anhalten der Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Halbleitervorrichtung 200 frei und startet wieder die Zuführung. Z.B. kann der Mustergenerator 10 die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 von dem Anhalten der Zuführung freigeben und die Prüfung wieder starten, nachdem der Übereinstimmungszyklus geendet hat.
  • Der Mustergenerator 10 hält die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu den Halbleitervorrichtungen 200 an mit Ausnahme der Halbleitervorrichtungen 200, bei welchen die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 wieder gestartet wird. Z.B. kann der Mustergenerator 10 die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu den Halbleitervorrichtungen 200 anhalten mit Ausnahme der Halbleitervorrichtung 200, welche das Übereinstimmungssignal 96 während des Übereinstimmungszyklus empfängt. Die Halbleitervorrichtungen 200 mit Ausnahme der Halbleitervorrichtungen 200, welche das Übereinstimmungssignal 96 während des Übereinstimmungszyklus empfangen, sind die Halbleitervorrichtungen 200, welche den Übereinstimmungsmangel bewirken. Die Halbleitervorrichtung 200, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt, ist eine Halbleitervorrichtung, wel che bei der Prüfung versagt. In diesem Fall kann der Mustergenerator 10 die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Vorrichtung, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt, bis zum Ende der Prüfung anhalten.
  • Die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 formatiert die Wellenform des Eingabesignalmusters 12 auf der Grundlage des Zeitsignals 63, so daß die Wellenform des Eingabesignalmusters 12 die Charakteristik von jeder der Halbleitervorrichtungen 200 annimmt. Weiterhin kann die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Halbleitervorrichtung 200 auf der Grundlage des Zeitsignals 63 und des Zuführungs-Anhaltesignals 13 steuern. Z.B. kann die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 zumindest einen Teil der Ausgabe des Eingabesignalmusters 12, dessen Wellenform formatiert ist, anhalten, während die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 das Zuführungs-Anhaltesignal 13 empfängt.
  • Z.B. kann in dem Fall, daß die Halbleitervorrichtung 200 eine integrierte Systemgroßschaltung mit einer eingebauten PLL-Vorrichtung 206 ist, die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 die Ausgabe des Taktsignals fortsetzen, während die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 die Ausgabe des Signals mit Ausnahme des Taktsignals anhält. Daher kann die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 die Prüfung wieder starten, ohne die Verriegelung der PLL-Vorrichtung 206 abzuwarten.
  • 15 zeigt die Konfiguration eines Mustergenerators 10. Der Mustergenerator 10 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hat eine Folgesteuereinheit 40, einen Musterdatenspeicher 50, eine Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20, ein Übereinstimmungsmangelregister 21 und eine Anhaltesignal-Ausgabeeinheit 23. Die Konfigurationen mit Ausnahme der des Übereinstimmungsmangelregisters 21 und der Anhaltesignal-Ausgabeeinheit 23 sind im Wesentlichen ähnlich den Konfigurationen bei den ersten Ausführungsbeispielen nach 5 und 13.
  • Die Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20 stellt fest, ob ein Übereinstimmungsmangel bei einer der mehreren Halbleitervorrichtungen 200 auftritt. Die Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist innerhalb des Mustergenerators 10 vorgesehen. Jedoch kann die Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20 außerhalb des Mustergenerators 10 vorgesehen sein. Darüber hinaus kann die Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20 innerhalb der Vergleichseinheit 90 vorgesehen sein.
  • Das Übereinstimmungsmangelregister 21 speichert, welche Halbleitervorrichtung 200 den Übereinstimmungsmangel bewirkt, wenn die Übereinstimmungsmangel-Erfassungseinheit 20 einen Übereinstimmungsmangel feststellt. Die Steuervorrichtung 210 führt den Schreibprozess zu dem Übereinstimmungsmangelregister 21 durch.
  • Die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit 23 gibt ein Zuführungs-Anhaltesignal 13 sowohl für die Halbleitervorrichtung 200, welche in dem Übereinstimmungsmangelregister 21 gespeichert ist, als auch für die Halbleitervorrichtung 200, deren Übereinstimmungssignal 26 während des Übereinstimmungszyklus aktiv wird, aus. Eine logische Additionsschaltung kann beispielsweise für die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit 23 verwendet werden. Hierdurch wird das Zuführungs-Anhaltesignal 13 kontinuierlich und zwangsweise zu der Halbleitervorrichtung 200, welche die Übereinstimmungsmangel bewirkt hat, ausgegeben. Die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit 23 gibt ein Zuführungs-Anhaltesignal 13 aus, um die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Halbleitervorrichtung 200, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt hat, bis zum Ende der Prüfung anzuhalten.
  • Andererseits wird das Zuführungs-Anhaltesignal 13 zu der Halbleitervorrichtung 200 ausgegeben, welche den Übereinstimmungsmangel nicht bewirkt hat, während das Übereinstimmungssignal 96 erhalten werden kann. Daher wird die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Vorrichtung, welche den Übereinstimmungsprozeß durchläuft, angehalten während der Periode von der Zeit, zu der der Übereinstimmungsfall erhalten wird, bis zu der Zeit, zu der der Übereinstimmungszyklus endet. Daher wird die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 angehalten für die Vorrichtung mit dem Übereinstimmungsfall während der Periode von der Zeit des Durchgangs des Übereinstimmungsprozesses bis zu der Zeit der Beendigung des Übereinstimmungszyklus.
  • 16 zeigt eine Konfiguration einer Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70. Die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 hat eine Signalsteuereinheit 71 und eine Formatierungseinheit 73. Die Signalsteuereinheit 71 empfängt das Eingabesignalmuster 12 und das Zuführungs-Anhaltesignal 13. Dann gibt die Signalsteuereinheit 71 ein Eingabesignalmuster 12 zu der Formatierungseinheit 73 aus, wenn das Zuführungs-Anhaltesignal 13 nicht aktiv ist.
  • Eine logische Multiplikationsschaltung kann für eine Signalsteuereinheit 71 verwendet werden. In diesem Fall kann der Wert, welcher das Zuführungs-Anhaltesignal 13 invertiert, in die Signalsteuereinheit 71 eingegeben werden. Mehrere Signalsteuereinheiten 71, deren Anzahl dieselbe ist wie die Anzahl der gleichzeitig zu prüfenden Halbleitervorrichtungen 200, können für die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 vorgesehen sein. Darüber hinaus können mehrere der Signalsteuereinheiten 71, deren Anzahl dieselbe ist wie die Anzahl der Eingangsstifte der Halbleitervorrichtungen 200, für die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 vorgesehen sein.
  • Die Formatierungseinheit 73 formatiert die Wellenform des Eingabesignalmusters 12 auf der Grundlage des Zeitsignals 63 derart, daß die Wellenform des Eingabesignalmusters 12 die Charakteristik von jeder der Halbleitervorrichtungen 200 annimmt.
  • 17 ist ein Flußdiagramm, welches den Vorgang der gleichzeitigen Prüfung mehrerer Halbleitervorrichtungen 200 zeigt. Zuerst wird eine Prüfung 1 durchgeführt (S400). Ein Übereinstimmungszyklus beginnt nach der Beendigung der Prüfung 1 (S402). Die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu den Halbleitervorrichtungen 200, welche den Übereinstimmungsprozeß während des Übereinstimmungszyklus durchlaufen, wird aufeinander folgend angehalten (S404). Der Übereinstimmungszyklus wird beendet, nachdem die vorbestimmte Periode verstrichen ist (S406). Dann wird die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Halbleitervorrichtung 200, zu welcher die Zuführung angehalten wurde, wieder gestartet (S408, Prüfung 2). Hier wird, wenn eine Halbleitervorrichtung 200 vorhanden ist, welche den Übereinstimmungsprozeß nicht durchlaufen kann (S410, ja), die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Halbleitervorrichtung 200, welche den Übereinstimmungsmangel bewirkt, angehalten (S412). Wenn andererseits alle Halbleitervorrichtungen 200 den Übereinstimmungsprozeß durchlaufen (S410, nein), wird die Prüfung beendet. Dann werden eine Prüfung und ein Übereinstimmungszyklus wiederholt durchgeführt (nicht in der Figur gezeigt) und die Prüfung wird beendet.
  • 18 ist ein Zeitdiagramm, welches den Prozeß zum gleichzeitigen Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen 200 zeigt. Zuerst wird eine Prüfung 1 durchgeführt (S502). Dann wird während des Übereinstimmungszyklus bei mehreren Halbleitervorrichtungen 200 geprüft, ob bei der Halbleitervorrichtung 200 ein Übereinstimmungsfall oder ein Übereinstimmungsmangel vorliegt. Dann wird die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Halbleitervorrichtung 200 für die Vorrichtung, welche den Übereinstimmungsfall aufweist, aufeinander folgend angehalten (S506). Nach dem Ende des Übereinstimmungszyklus wird der Zuführungs-Anhaltebefehl aufgehoben und die Prüfung wird wieder gestartet (S508). Wenn hier eine Vorrichtung vorhanden ist, welche einen Übereinstimmungsmangel bewirkt, wird die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 nur für die Vorrichtung angehalten, bei der der Übereinstimmungsmangel besteht (S512), ohne Unterbrechung der Prüfung 2 für andere Vorrichtungen (S510). Der Zuführungs-Anhaltebefehl für die den Übereinstimmungsmangel aufweisende Vorrichtung bleibt bis zum Ende der Prüfung bestehen (S512).
  • Wenn die Prüfung 2 (S510) beendet ist, wird als Nächstes während des zweiten Übereinstimmungszyklus ge prüft, ob die verbleibende Halbleitervorrichtung 200 einen Übereinstimmungsfall oder einen Übereinstimmungsmangel aufweist (S514). Dann wird die Zuführung des Eingabesignalmusters 12 zu der Halbleitervorrichtung 200 aufeinander folgend für die Vorrichtung angehalten, bei der der Übereinstimmungsfall vorliegt (S516). Nach dem Ende des Übereinstimmungszyklus wird der Zuführungs-Anhaltebefehl aufgehoben und die Prüfung wird wieder gestartet (S518). Dann wird die Prüfung bis zum Ende der Prüfung fortgesetzt ohne Unterbrechung der Prüfung 3 (S520).
  • 19 ist ein Blockschaltbild, welche andere Konfigurationen einer Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 nach der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist jeweils die Anzahl der Wellenform-Formatierungsvorrichtungen 70A – 70D und der Komparatoren 92A – 92D dieselbe wie die Anzahl der zu prüfenden Halbleitervorrichtungen 200. Die Konfiguration der in 19 gezeigten Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 ist im Wesentlichen dieselbe wie die des in 14 gezeigten Ausführungsbeispiels mit Ausnahme der Konfiguration der Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 und des Komparators 92.
  • Die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 mehrere Wellenform-Formatierungsvorrichtungen 70A – 70D. Die mehreren Wellenform-Formatierungsvorrichtungen 70A – 70D sind so vorgesehen, dass jede der Wellenform-Formatierungsvorrichtungen 70 jeweils einer der Halbleitervorrichtungen 200 entspricht.
  • Dasselbe Eingabesignalmuster 12 wird in jede der meh reren Wellenform-Formatierungsvorrichtungen 70A – 70D eingegeben. Individuelle Zuführungs-Anhaltesignale 13 werden in jede der mehreren Wellenform-Formatierungsvorrichtungen 70A – 70D eingegeben. Jede der mehreren Wellenform-Formatierungsvorrichtungen 70A – 70D formatiert die Wellenform des Eingabesignalmusters 12 auf der Grundlage des Zeitsignals 63 und gibt das formatierte Eingabesignalmuster 12 zu der entsprechenden Halbleitervorrichtung 200 aus.
  • Die Vergleichseinheit 90 hat mehrere Vergleichseinheiten 90A – 90D. Die mehreren Komparatoren 92A – 92D sind so in der Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung 100 vorgesehen, daß jeder der Komparatoren 92A – 92D jeweils den individuellen Halbleitervorrichtungen 200 entspricht. Jeder der mehreren Komparatoren 92A – 92D empfängt ein Ausgangssignalmuster von der jeweils zugehörigen Halbleitervorrichtung 200. Dasselbe Erwartungswert-Signalmuster 14 wird in die mehreren Komparatoren 92A – 92D eingegeben.
  • Jeder der mehreren Komparatoren 92A – 92D führt einen logischen Vergleich zwischen dem Ausgangssignalmuster 88 und dem Erwartungswert-Signalmuster 14 durch und gibt ein Signal aus, das jeweils Übereinstimmungsbits enthält. Der Übereinstimmungssignalgenerator 94 gibt ein Übereinstimmungssignal aus, das anzeigt, welche Vorrichtungen den Übereinstimmungsfall aufweisen, während das Übereinstimmungszyklussignal 43 von dem Mustergenerator 10 empfangen wird. Z.B. gibt der Übereinstimmungssignalgenerator 94 ein aktives Übereinstimmungssignal aus, in welchem das Bit, welches anzeigt, daß die Vorrichtung den Übereinstimmungsfall aufweist, aktiv gemacht ist.
  • 20 zeigt eine Konfiguration einer Wellenform- Formatierungsvorrichtung 70 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. Die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 70 hat mehrere Wellenform-Formatierer 70A – 70D. Jeder Wellenform-Formatierer 70A – 70D weist jeweils eine der Signalsteuereinheiten 71A – 71D und der Formatierungseinheiten 73A – 73D auf. Jede Operation der Signalsteuereinheiten 71A – 71D und der Formatierungseinheiten 73A – 73D ist dieselbe wie die der Signalsteuereinheit 71 und der Formatierungseinheit 73 bei dem Ausführungsbeispiel nach 14.
  • Wie anhand der obigen Beschreibung ersichtlich ist, kann die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Prüfzeit zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen verkürzen.

Claims (31)

  1. Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung für eine Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung (100), welche mehrere Halbleitervorrichtungen (200) prüft, mit: – einer Prüfmuster-Erzeugungseinheit (10), die ein Eingabesignalmuster (12) an die Halbleitervorrichtungen (200) ausgibt und ein Übereinstimmungssignal (96) empfängt, welches die Halbleitervorrichtung (200), der das Eingabesignalmuster (12) zugeführt wurde und die die Prüfung bestanden hat, anzeigt, und – einer Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit (20), die das Übereinstimmungssignal (96) empfängt, um eine Halbleitervorrichtung (200) zu erfassen, welche bei der Prüfung versagt hat, und die ein Nichtübereinstimmungssignal (22) zum Identifizieren der Halbleitervorrichtung (200), welche bei der Prüfung versagt hat, ausgibt, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung weiterhin eine Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) aufweist, die von der Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit (20) das Nichtübereinstimmungssignal (22) empfängt, das Nichtübereinstimmungssignal (22) speichert und ein erstes Anhaltesignal ausgibt, das die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200), welche bei der Prüfung versagt haben und durch das gespeicherte Nichtübereinstimmungssignal (22) identifiziert sind, anhält.
  2. Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) weiterhin ein zweites Anhaltesignal ausgibt, welches die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200), die die Prüfung bestanden haben und durch das Übereinstimmungssignal (96) angezeigt werden, anhält.
  3. Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) ein Register (21) aufweist, das von der Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit (20) das Nichtübereinstimmungssignal (22) empfängt und dieses speichert.
  4. Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) weiterhin eine logische Additionsschaltung (23) hat, die von dem Register (21) das Übereinstimmungssignal (96) und das in dem Register (21) gespeicherte Nichtübereinstimmungssignal (22) empfängt, um das erste Anhaltesignal oder das zweite Anhaltesignal auszugeben.
  5. Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) das zweite Anhaltesignal während eines vorbestimmten Zyklus ausgibt, und dass die Prüfmuster-Erzeugungseinheit (10) die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200) nach dem Ende des vorbestimmten Zyklus wieder startet.
  6. Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Anhaltesig nal-Ausgabeeinheit (21, 23) das erste Anhaltesignal bis zum Ende der Prüfung ausgibt.
  7. Prüfsignal-Zuführungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) das zweite Anhaltesignal während eines vorbestimmten Zyklus ausgibt und die Prüfmuster-Erzeugungseinheit (21, 23) das Eingabesignalmuster (12) nach dem Ende des vorbestimmten Zyklus ausgibt.
  8. Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen (200) mit: – einer Prüfmuster-Erzeugungseinheit (10), die ein Eingabesignalmuster (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200) ausgibt und ein Erwartungswert-Signalmuster (14), von welchem erwartet wird, dass es von der Halbleitervorrichtung (200) ausgegeben wird, wenn das Eingabesignalmuster (12) zu der Halbleitervorrichtung (200) geführt wird, ausgibt, – einem Komparator (92), welcher Ausgangssignalmuster (88), die von den mehreren Halbleitervorrichtungen (200) ausgegeben werden, mit einem vorbestimmten Wert, der auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters (14) bestimmt wurde, vergleicht und ein Übereinstimmungssignal (96) ausgibt, wenn die Ausgabesignalmuster (88) mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen, und – einer Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit (20), die das Übereinstimmungssignal (96) empfängt, um eine Halbleitervorrichtung (200) zu erfassen, deren Ausgabesignalmuster (88) nicht mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt, und ein Nichtübereinstimmungssignal (22) zum Identifizieren der Halbleitervorrichtung (200), deren Ausgabesignalmuster (88) nicht mit dem vorbe stimmten Wert übereinstimmt, ausgibt, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung (100) weiterhin eine mit der Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit (20) verbundene Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) aufweist, die das Nidhtübereinstimmungssignal (22) von der Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit (20) empfängt und dieses speichert, und die ein erstes Anhaltesignal ausgibt, welches die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200), deren Ausgabesignalmuster (88) nicht mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen und die durch das gespeicherte Nichtübereinstimmungssignal (22) identifiziert sind, anhält.
  9. Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) weiterhin ein zweites Anhaltesignal ausgibt, das die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200), deren Ausgabesignalmuster (88) mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmten, anhält.
  10. Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) ein mit der Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit (20) verbundenes Register (21) aufweist, um das Nichtübereinstimmungssignal (22) von der Nichtübereinstimmungs-Erfassungseinheit (20) zu empfangen und dieses zu speichern.
  11. Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) weiterhin eine mit dem Register (21) verbundene logische Additionsschaltung (23) aufweist, um das Übereinstimmungssignal (96) und das in dem Register (21) gespeicherte Nichtübereinstimmungssignal (22) zu empfangen, und um das erste Anhaltesignal oder das zweite Anhaltesignal auszugeben.
  12. Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung (100) weiterhin eine Wellenform-Formatierungsvorrichtung (70) aufweist, die mit der Prüfmuster-Erzeugungseinheit (10) und der Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) verbunden ist, um das Eingabesignalmuster (12) von der Prüfmuster-Erzeugungseinheit (10) zu empfangen, um das erste Anhaltesignal oder das zweite Anhaltesignal von der Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) zu empfangen, und die das Eingabesignalmuster (12) formatiert und ausgibt, wenn nicht das erste Anhaltesignal oder das zweite Anhaltesignal empfangen wird.
  13. Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Wellenform-Formatierungsvorrichtung (70) das Eingabesignalmuster (12) ausgibt, wenn nicht die Wellenform-Formatierungsvorrichtung (70) das erste Anhaltesignal bis zum Ende der Prüfung empfängt.
  14. Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Anhaltesignal-Ausgabeeinheit (21, 23) das zweite Anhaltesignal während eines vorbestimmten Zyklus ausgibt, und dass die Prüfmuster-Erzeugungseinheit (10) das Eingabesignalmuster (12) zu der Wellenform-Formatierungsvorrichtung (70) nach dem Ende des vorbestimmten Zyklus ausgibt.
  15. Verfahren zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen (200), welches aufweist: – Ausgeben eines Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200), – Ausgeben eines Erwartungswert-Signalmusters (14), von dem erwartet wird, dass es von der Halbleitervorrichtung (200) ausgegeben wird, wenn das Eingabesignalmuster (12) an die Halbleitervorrichtung (200) angelegt ist, – Vergleichen der Ausgabesignalmuster (88), welche von den mehreren Halbleitervorrichtungen (200) ausgegeben werden, mit einem vorbestimmten Wert, der auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters (14) bestimmt ist, – Ausgeben eines Übereinstimmungssignals (96), wenn die Ausgabesignalmuster (88) mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen, – Ausgeben eines Nichtübereinstimmungssignals (22), wenn das Ausgabesignalmuster (88), das von der Halbleitervorrichtung (200) ausgegeben wird, nicht mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt, gekennzeichnet durch die weiteren Schritte: – Speichern des Nichtübereinstimmungssignals (22), und – Ausgeben eines ersten Anhaltesignals zum Anhalten der Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200), die durch das Nichtübereinstimmungssignal (22) identifiziert sind.
  16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweites Anhaltesignal ausgegeben wird, welches die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200) anhält, wenn die Aungabesignalmuster (88) mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmen.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Eingabesignalmuster (12) formatiert und zu der Halbleitervorrichtung (200) ausgegeben wird, wenn das erste Anhaltesignal oder das zweite Anhaltesignal nicht empfangen werden.
  18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass das Eingabesignalmuster (12) ausgegeben wird, wenn nicht das erste Anhaltesignal bis zum Ende der Prüfung empfangen wird.
  19. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Anhaltesignal während eines vorbestimmten Zyklus ausgegeben wird, und dass das Eingabesignalmuster (12), nach dem Ende des vorbestimmten Zyklus ausgegeben wird.
  20. Verfahren zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen (200), bei dem ein Eingabesignalmuster (12) an jede der mehreren Halbleitervorrichtungen (200) angelegt wird, und bei dem die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200), welche ein aktives Übereinstimmungssignal (96) ausgeben, wobei das Übereinstimmungssignal (96) aktiv wird, wenn ein von der Halbleitervorrichtung (200) ausgegebenes Ausgabesignalmuster (88) mit einem vorbestimmten Wert übereinstimmt, angehalten wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) nur zu den Halbleitervorrichtungen (200), die das aktive Übereinstimmungssignal (96) ausgeben, wieder gestartet wird.
  21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den mehreren Halbleitervorrichtungen (200) angehalten wird mit Ausnahme der Halbleitervorrichtung (200), zu welcher die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) wieder gestartet wird.
  22. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200), welche das aktive Übereinstimmungssignal (96) während eines vorbestimmten Zyklus ausgeben, angehalten wird, und die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200) nach dem Ende des vorbestimmten Zyklus wieder gestartet wird.
  23. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den mehreren Halbleitervorrichtungen (200) angehalten wird mit Ausnahme der Halbleitervorrichtungen (200), bei denen die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) bis zum Ende der Prüfung wieder gestartet wird.
  24. Verfahren nach Anspruch 20, gekennzeichnet durch: Erzeugen eines Eingabesignalmusters (12), welches in die mehreren Halbleitervorrichtungen (200) einzugeben ist, und eines Erwartungswert-Signalmusters (14), von welchem erwartet wird, dass es von den mehreren Halbleitervorrichtungen (200) ausgegeben wird, wenn das Eingabesignalmuster (12) an die Halbleitervorrichtungen (200) angelegt ist, und Vergleichen der Ausgabesignalmuster (88), die von den mehreren Halbleitervorrichtungen (200) ausgegeben werden, mit dem vorbestimmten Wert, der auf der Grundlage des Erwartungswert-Signalmusters (14) bestimmt ist, und Ausgeben des aktiven Übereinstimmungssignals (96), wenn das Ausgabesignalmuster (88) mit dem vorbestimmten Wert übereinstimmt.
  25. Verfahren nach Anspruch 24, gekennzeichnet durch: Formatieren einer Wellenform des Eingabesignalmusters (12), und Ausgeben des formatierten Eingabesignalmusters (12) zu der Halbleitervorrichtung (200), wobei das Formatieren enthält: Anhalten der Ausgabe von zumindest einem Teil des Eingabesignalmusters (12) zu der Halbleitervorrichtung (200), welche das aktive Übereinstimmungssignal (96) ausgibt, Wiederstarten der Ausgabe des Eingabesignalmusters (12) nur zu der Halbleitervorrichtung (200), welche das aktive Übereinstimmungssignal (96) ausgibt, und Anhalten der Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den mehreren Halbleitervorrichtungen (200) mit Ausnahme der Halbleitervorrichtung (200), bei welcher die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) wieder gestartet ist.
  26. Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass ein erstes Anhaltesignal ausgegeben wird, welches die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200), welche das aktive Übereinstimmungssignal (96) ausgeben, anhält.
  27. Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin ein zweites Anhaltesignal ausgegeben wird, welches die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200) mit Ausnahme der Halbleitervorrichtung (200), bei welcher die Zuführung des Eingabesignalmusters (12) wieder gestartet wird, anhält.
  28. Verfahren nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass das Anhalten weiterhin die Feststellung enthält, ob irgendeine der mehreren Halbleitervorrichtungen (200) das aktive Übereinstimmungssignal (96) während eines vorbestimmten Zyklus nicht ausgibt.
  29. Verfahren nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass das Anhalten weiterhin enthält: Speichern, welche der Halbleitervorrichtungen (200) das aktive Übereinstimmungssignal (96), das während des vorbestimmten Zyklus erfasst wird, nicht ausgibt, und Ausgeben des ersten Anhaltesignals, wenn die Halbleitervorrichtung (200) das aktive Übereinstimmungssignal (96) während des vorbestimmten Zyklus ausgibt oder wenn die Halbleitervorrichtung (200) gespeichert wird.
  30. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Anhaltesignal bis zum Ende der Prüfung ausgegeben wird.
  31. Verfahren zum Prüfen mehrerer Halbleitervorrichtungen (200), gekennzeichnet durch die Schritte: wiederholtes Zuführen eines Eingabesignalmusters (12) zu den Halbleitervorrichtungen (200) während einer vorbestimmten Periode, und Anhalten des Zuführens des Eingabesignalmusters zu einer Halbleitervorrichtung (200), in welche ein Eingabesignalmuster (12) fehlerhaft eingeschrieben ist, während die Zuführung des Eingabesignalmusters zu einer Halbleitervorrichtung (200) fortgesetzt wird, in welche das Eingabesignalmuster (12) fehlerfrei eingeschrieben ist.
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