DE102004036407A1

DE102004036407A1 - Prüfkarte und Verbinder für diese

Info

Publication number: DE102004036407A1
Application number: DE102004036407A
Authority: DE
Inventors: Chikaomi Amagasaki Mori; Katsuhiko Amagasaki Satou
Original assignee: Japan Electronic Materials Corp
Current assignee: Japan Electronic Materials Corp
Priority date: 2003-08-27
Filing date: 2004-07-26
Publication date: 2005-06-09
Also published as: KR20050022300A; US20050083072A1; CN1591812A; TW200510729A; US7106080B2; US6967493B2; US20060076966A1

Abstract

Die Erfindung soll die Probleme einer konventionellen Prüfkarte lösen. Es ist ein Ziel der Erfindung, eine Prüfkarte zur Verfügung zu stellen, in welcher exzellente Kontaktstabilität mit einem zu testenden Objekt gewährleistet ist und nur ein Verbinder, welcher wegen wiederholter Kontakte deformiert oder beschädigt ist, leicht ausgetauscht werden kann. Hierzu sieht die Erfindung eine Prüfkarte mit einem Verbindermontageträger vor, auf welchem eine Vielzahl von Verbindern eingerichtet sind, wobei der Verbinder umfasst, ein Einsteckteil zur Montage des Verbinders auf dem Verbindermontageträger, ein Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit einer Oberfläche des Verbindermontageträgers, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Armteil und ein an einem Spitzenende des Armteils angeordnetes Kontaktteil zum in Kontaktkommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes, und wobei das Einsteckteil lösbar auf einem in der Oberfläche des Verbindermontageträgers angeordneten und mittels eines Verdrahtungsmusters leitfähig gemachten Elektrodenloch montiert ist.

Description

[Hintergrund der Erfindung]
[Gebiet der Erfindung]
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Prüfkarte, welche elektrische Eigenschaften eines Halbleiterelementes, wie ein LSI Chip, misst, und betrifft eine Montagestruktur eines Verbinders, welcher in Verbindung mit dem Halbleiterelement kommt.
[Beschreibung des Standes der Technik]
Es gibt einen Auslegertyp genannten lateralen Typ und einen senkrechten Typ genannten vertikalen Typ in einer Prüfkarte, welche elektrische Eigenschaften eines Halbleiterelementes, wie ein LSI Chip, misst. Der laterale Typ weist einen Aspekt auf, welcher nicht brauchbar zur Messung vielen Chips zur gleichen Zeit ist, was erforderlich ist unter Umständen, in welchen Hochintegration des LSI Chips realisiert und ein Tester gemultiplext ist, wodurch die Brauchbarkeit reduziert ist. Derweil, weil der vertikale Typ einer Prüfkarte viele Proben verwenden kann und einen hohen Freiheitsgrad für eine Probenanordnung aufweist und er brauchbar ist zur Messung vieler Chips zur gleichen Zeit, ist er gegenwärtig hauptsächlich verwendet.
Wie in der 8 gezeigt, umfasst ein vertikaler Typ einer Prüfkarte A einen Hauptträger 1 mit einer ersten Verbindungselektrode 4, welche in Kontakt kommt mit einer Messvorrichtung zum Testen, wie einen Tester (nicht gezeigt), einen Unterträger 3 mit einer Vielzahl von Durchgangslöchern 9, welche elektrisch mit der ersten Verbindungselektrode verbunden sind, einen Verbindungspin 7, welcher lösbar in das Durchgangsloch 9 eingeführt ist, ein Reduzierelement 2, welches mit einer Vielzahl von Verbindern 6, in die der Verbindungspin 7 hineinragt von einer Hauptfläche 2a, und eine Vielzahl von Verbindern 6, welche auf der anderen Hauptfläche 2b angeordnet ist, kommt in Kontakt mit einem Halbleiterelement (nicht gezeigt), welches ein zu messendes Objekt, wie ein IC Chip ist, und einen Halter 10 durch lösbaren Montage des Reduzierelements 2 auf dem Hauptträger 1.
Wenn ein Halbleiterelement, wie ein LSI Chip, getestet wird, ist es erforderlich, dass eine Vielzahl von Chips zur gleichen Zeit gemessen werden. Unlängst ist ein Bedarf für eine Prüfkarte mit hoher Stabilität im elektrischen Kontakt, einer hoher Performance und einer hohen Zuverlässigkeit, selbst wenn die Anzahl der Elektroden der in dem Test verwendeten Prüfkarte weiter gesteigert wird. Des Weiteren, da ein Betriebsstrom sehr gering ist und Kontakte vielmals wiederholt sind in der oben genannten Prüfkarte, sind die Stabilität des Kontaktdruckes seines Verbinders und Stabilität und Bewahrung seiner elektrischen Leitungseigenschaften besonders erfordert. Des Weiteren, Reaktionen sind erforderlich auf Deformationen oder Schäden, welche durch Schlag oder Vibration der Kontakte erzeugt werden könnten.
[Nachteile des Standes der Technik und technisches Problem der Erfindung]
Das Halbleiterelement wird in der Weise gemessen, dass der Verbinder 6 der Prüfkarte gegen ein zu testendes Objekt, wie einen IC Chip (nicht gezeigt) gepresst wird, und eine Messvorrichtung zum Testen, wie ein Tester (nicht gezeigt), in Kontakt gebracht wird mit der ersten Verbindungselektrode 4 des Haupt-Verbindermontageträgers 1. Jedoch, wie in der 8 gezeigt, ist es notwendig, den Verbindermontageträger (Reduzierelement 2) selbst auszuwechseln, wenn Deformation oder Schaden des Verbinders 6 wegen wiederholter Kontakte erzeugt ist, da der Verbinder 6 durch direktes Verlöten mit dem Verbindermontageträger (Reduzierelement 2) befestigt ist, was sehr ineffektiv in Bezug auf Zeit und ökonomischer Effizienz ist.
9 zeigt auch ein konventionelles Beispiel, worin ein Verbindermontageträger (Reduzierelement 2) separiert ist. Obwohl dies eine Verbesserung ist, verglichen mit einem Beispiel, wie in 8 gezeigt, ist die ökonomische Effizienz immer noch ineffektiv.
Die vorliegende Erfindung wurde gemacht, um die obigen Probleme einer konventionellen Prüfkarte zu lösen. Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Prüfkarte zur Verfügung zu stellen, in welcher exzellente Kontaktstabilität mit einem zu testenden Objekt gewährleistet ist, und nur ein Verbinder, welcher deformiert oder beschädigt ist wegen wiederholter Kontakte, leicht ausgetauscht werden kann.
Des Weiteren ist es ein zusätzliches Ziel der vorliegenden Erfindung, einen Verbinder zur Verfügung zu stellen, in welchem exzellente Kontaktstabilität mit einem zu messenden Objekt gewährleistet ist, und bei Deformation oder Beschädigung wegen wiederholter Kontakte, leicht ausgetauscht werden kann.
[Zusammenfassung der Erfindung]
Um die obigen Ziele zu erreichen hat eine Prüfkarte einen Verbindermontageträger, auf welchem einer Vielzahl von Verbindern eingerichtet sind, wobei der Verbinder umfasst ein Einsteckteil zur Montage des Verbinders auf dem Verbindermontageträger, ein Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit der Oberfläche des Verbindermontageträgers, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Armteil, und ein an einem Spitzenende des Armteils angeordnetes Kontaktteil zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes, und das Einsteckteil ist lösbar auf einem in der Oberfläche des Verbindermontageträgers angeordneten und mittels eines Verdrahtungsmusters leitfähig gemachten Elektrodenloch montiert.
Weiterhin hat gemäß der Prüfkarte der vorliegenden Erfindung das Einsteckteil des Verbinders Federeigenschaften und kommt in Kontakt mit einem inneren Teil des Elektrodenlochs durch gepresst-werden zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin sind gemäß der Prüfkarte der vorliegenden Erfindung eine Vielzahl von Elektrodenlöchern, welche mittels eines Verdrahtungsmusters auf der Oberfläche des Verbindermontageträgers leitfähig gemacht sind, für einen Verbinder eingerichtet zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin ist ein Verbinder der vorliegenden Erfindung ein auf einem Verbindermontageträger zu montierender Verbinder für eine Prüfkarte, wobei der Verbinder umfasst ein Einsteckteil mit Federeigenschaften zur Montage des Verbinders auf dem Verbindermontageträger, ein Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit der Oberfläche des Verbindermontageträgers, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Armteil, und ein an einem Spitzenende des Armteils angeordnetes Kontaktteil zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin hat ein Verbinder der vorliegenden Erfindung eine Vielzahl von in den Verbindermontageträger einzusteckenden Einsteckteilen, dessen Anzahl die gleiche oder weniger als die Anzahl der Elektrodenlöcher für einen Verbinder ist zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin, gemäß dem Verbinder der vorliegenden Erfindung hat der Armteil des Verbinders Federeigenschaften zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin, gemäß dem Verbinder der vorliegenden Erfindung hat der Armteil des Verbinders eine gebogene Konfiguration zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin, gemäß dem Verbinder der vorliegenden Erfindung ist der Armteil des Verbinders linear und ein Plattenfederteil ist benachbart zum linearen Armteil und gesandwicht zwischen dem Armteil und dem Einsteckteil eingerichtet zum Erreichen der obigen Ziele.
Zum Erreichen der obigen Ziele hat eine Prüfkarte der vorliegenden Erfindung einen Verbindermontageträger, auf welchem einer Vielzahl von Verbindern eingerichtet sind, wobei der Verbinder umfasst ein Einsteckteil zur Montage des Verbinders auf dem Verbindermontageträger, ein Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit einer Oberfläche des Verbindermontageträgers, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Elektrodenteil, ein sich ebenfalls von dem Stützteil erstreckendes Armteil, und ein an einem Spitzenende des Armteils angeordnetes Kontaktteil zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes, das Einsteckteil ist lösbar auf einem in der Oberfläche des Verbindermontageträgers angeordneten Verbindermontageloch montiert, und das Elektrodenteil ist in Verbindung mit einem Verdrahtungsmuster auf dem Verbindermontageträger.
Weiterhin hat gemäß der Prüfkarte der vorliegenden Erfindung das Einsteckteil des Verbinders Federeigenschaften und kommt in Kontakt mit einem inneren Teil des Verbindermontagelochs durch gepresst-werden zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin sind gemäß der Prüfkarte der vorliegenden Erfindung eine Vielzahl von Verbindermontagelöcher des Verbindermontageträgers für einen Verbinder eingerichtet zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin hat gemäß der Prüfkarte der vorliegenden Erfindung das Elektrodenteil des Verbinders Federeigenschaften und kommt in Kontakt mit dem Verdrahtungsmuster auf dem Verbindermontageträger durch gepresst-werden zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin ist ein Verbinder der vorliegenden Erfindung ein auf einem Verbindermontageträger zu montierender Verbinder für eine Prüfkarte, wobei der Verbinder umfasst ein Einsteckteil mit Federeigenschaften zur Montage des Verbinders auf dem Träger, ein Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit der Oberfläche des Verbindermontageträgers, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Elektrodenteil, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Armteil, und ein an einem Spitzenende des Armteils angeordnetes Kontaktteil zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin hat ein Verbinder der vorliegenden Erfindung eine Vielzahl von in den Verbindermontageträger einzusteckenden Einsteckteilen, dessen Anzahl die gleiche oder weniger als die Anzahl der Verbindermontagelöcher für einen Verbinder ist zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin weist gemäß dem Verbinder der vorliegenden Erfindung das Elektrodenteil Federeigenschaften auf zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin weist gemäß dem Verbinder der vorliegenden Erfindung das Armteil Federeigenschaften auf zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin weist gemäß dem Verbinder der vorliegenden Erfindung der Armteil des Verbinders eine gebogene Konfiguration aufweist zum Erreichen der obigen Ziele.
Weiterhin ist gemäß dem Verbinder der vorliegenden Erfindung der Armteil des Verbinders linear und ein Plattenfederteil ist benachbart zum linearen Armteil und gesandwicht zwischen dem Armteil und dem Einsteckteil eingerichtet zum Erreichen der obigen Ziele.
[Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele]
Folgend werden Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Figuren beschrieben.
[Ausführungsform 1]
1 ist eine einen Teil einer Prüfkarte A, welche mit einem lösbaren Verbinder 6 der vorliegenden Erfindung versehen ist, darstellende Schnittansicht, 2 ist eine einen lösbaren Verbinder 6 der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Ansicht, 3a bis 3d sind Ansichten, welche eine Variante von Formen von Einsteckteilen 61 zeigen, 4a bis 4d sind Ansichten, welche eine andere Variante von Formen von Einsteckteilen 61 zeigen, 5 ist eine einen anderen lösbaren Verbinder 6 der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Ansicht, 6 ist eine einen nochmals anderen lösbaren Verbinder 6 der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Ansicht, 7 ist eine einen nochmals anderen lösbaren Verbinder 6 der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Ansicht, 8 ist eine eine Querschnittsstruktur einer Prüfkarte mit konventionellem Verbindungsmuster eines Verbinders darstellende Explosionsansicht, und 9 ist eine eine andere Querschnittsstruktur einer Prüfkarte mit konventionellem Verbindungsmuster eines Verbinders darstellende Explosionsansicht.
1 ist eine einen Teil einer Prüfkarte A, welche mit einem lösbaren Verbinder 6 der vorliegenden Erfindung versehen ist, darstellende Schnittansicht. Die Prüfkarte A umfasst einen Hauptträger 1 mit einer ersten Vebindungselektrode 4, welche elektrisch in Kontakt kommt mit einer Messvorrichtung zum Testen, wie einen Tester (nicht gezeigt), einen Unterträger 3 mit einer Vielzahl von Durchgangslöchern 9 (nur eines davon ist gezeigt), welche elektrisch mit der ersten Verbindungselektrode verbunden sind, einen Verbindungspin 7, welcher lösbar in das Durchgangsloch 9 eingesteckt ist, ein Reduzierelement 2, mit einer Vielzahl von Verbindern (nur einer hiervon ist gezeigt) 6, in welchen der Pin 7 von einer Hauptfläche 2b ragt, und der Verbinder 6, welcher in der anderen Hauptfläche 2b eingerichtet ist, kommt in Kontakt mit einem Halbleiterelement (nicht gezeigt), welches ein zu testendes Objekt, wie ein IC Chip ist. Obwohl eine Beschreibung angebracht ist unter der Annahme, dass ein Verbindermontageträger, auf welchem Verbinder 6 montiert sind, das folgende Reduzierelement 2 ist, ist es überflüssig zu sagen, das der Träger nicht auf das Reduzierelement beschränkt ist und dieser ein Träger sein kann, in welchem eine Raumtransformation nicht durchgeführt wird.
Der Haupträger 1 umfasst eine Vielzahl von ersten Verbindungselektroden 4 (nur eine hiervon ist gezeigt) auf einer ersten Hauptfläche 1a, welche elektrisch verbunden sind mit der Messvorrichtung zum Testen, und eine Vielzahl von zweiten Verbindungselektroden 5 (nur eine hiervon ist gezeigt) auf einer zweiten Hauptfläche 1b, welche elektrisch mit dem folgend zu beschreibenden Unterträger 3 verbunden sind, und die zweite Verbindungselektrode 5 und die erste Verbindungselektrode 4 sind elektrisch über eine Verdrahtung auf dem Hauptträger 1 verbunden.
Die ersten Verbindungselektroden 4 sind auf der ersten Hauptfläche 1a des Hauptträgers 1 so angeordnet, dass sie weit beabstandet sind zum Zecke der Entsprechung des Abstandes zwischen Elektroden der Messvorrichtung, indem der enge Abstand zwischen benachbarten zweiten Verbindungselektroden auf der zweiten Hauptfläche 1b zum weiten Abstand zwischen benachbarten ersten Verbindungselekaroden auf der ersten Hauptfläche 1a transformiert ist.
Der Unterträger 3 umfasst eine erste Hauptfläche 3a, welche der zweiten Hauptfläche 1b des Hauptträgers 1 gegenüberliegt, eine zweite Hauptfläche 3b, welche der ersten Hauptfläche 2a des später zu beschreibenden Reduzierelements 2 gegenüberliegt, und eine Vielzahl von Durchgangslöchern 9 (nur eines hiervon ist gezeigt) zwischen der ersten Hauptfläche 3a und der zweiten Hauptfläche 3b.
Die eine elektrisch leitfähige Beschichtung aufweisenden Durchgangslöcher 9 durchdringen die erste Hauptfläche 3a und die zweite Hauptfläche 3b und sie sind elektrisch verbunden mit einer Vielzahl von dritten Verbindungselektroden 15 (nur eine hiervon ist gezeigt), welche auf der ersten Hauptfläche 3a angeordnet sind.
Der Abstand zwischen der dritten Verbindungselektrode 15 des Unterträgers 3 und die zweite Verbindungselektrode 5 des Hauptträgers 1 sind verbunden über ein elektrisch leitfähiges Material 13, wie Lot oder ein leitfähiges Harz, und anderer Raum zwischen der zweiten Hauptfläche 1b des Hauptträgers 1 und der gegenüberliegenden ersten Hauptfläche 3a des Unterträgers 3 ist mit einem klebenden Harzmaterial 14 gefüllt. Folglich ist der Unterträger 3 integral mit dem Hauptträger versehen, während sie mit ihm elektrisch verbunden sind.
Der in dem Reduzierelement 2 eingerichtete Verbindungspin 2 ist in das Durchgangsloch 24 des Reduzierelements 2 eingesteckt und auch lösbar in das Durchgangsloch 9 des Unterträgers 3 so eingesteckt, dass er elastisch in Kontakt ist mit dem mit einer leitfähigen Beschichtung versehenen Durchgangsloch 9.
Das Reduzierelement 2 umfasst eine erste Hauptfläche 2a, welche gegenüberliegend der zweiten Hauptfläche 3b des Unterträgers 3 ist, und die zweite Hauptfläche 2b, auf welcher eine Vielzahl von mit einem Elektrodenkissen (nicht gezeigt) zu verbindenden Verbindern 6 (nur einer hiervon ist gezeigt) in hoher Dichte in einem Halbleiterelement eingerichtet sind.
In dem Reduzierelement 2 sind als Sacklöcher ausgebildete Elektrodenlöcher eingerichtet, in welche Verbinder 6 (nur einer hiervon ist gezeigt), eingesteckt sind, und die Verbinder Einsteckteile 61 sind in die Sacklöcher eingesteckt.
Alternativ sind Verdrahtungsmuster auf Vorder- und Rückoberflächen des Reduzierelements 2 mit Durchgangslöchern (nicht gezeigt), welche das Reduzierelement 2 penetrieren, eingerichtet, und die Verbinder Einsteckteile 61 sind in die Durchgangslöcher, welche als Elektrodenlöcher dienen, eingesteckt.
Eine Vielzahl von Elektrodenlöchern des Reduzierelements 2 sind für einen Verbinder 6 vorgesehen und der Verbinder 6 hat eine Vielzahl von Einsteckteilen 61, deren Anzahl die gleiche ist, wie die der Elektrodenlöcher, oder weniger. Der Kontakt umfasst eine Vielzahl von Einsteckteilen, so dass die Richtung des Kontaktes ausgewählt werden kann. Zusätzlich können sie sicher positioniert, montiert, fixiert und elektrisch verbunden werden, da sie mit Federeigenschaften in die Elektrodenlöcher eingepresst sind.
Der Verbinder 6 umfasst eine Vielzahl von Einsteckteilen 61 zur Montage des Verbinders 6 auf dem Reduzierelement 2, wie in 2 gezeigt, ein Stützteil 62 zum Stützen der Einsteckteile 61 und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit einer Oberfläche des Reduzierelements 2, ein sich von dem Stützteil 62 erstreckendes Armteil 64 einschließlich Kurventeil 63, und ein an einem Spitzenende des Armteils 64 angeordnetes Kontaktteil 65 zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes. Die Einsteckteile 61 sind lösbar in die Elektrodenlöcher eingesteckt, welche in der Oberfläche des Reduzierelements 2 eingerichtet sind, und elektrisch leitfähig gemacht mit einem Verdrahtungsmuster.
Wie in 1 gezeigt, ist der Verbindungspin 7 verbunden mit dem Einsteckteil 61 des Verbinders 6 mittels eines Verdrahtungsmusters (fünfte Verbindungselektrode 17), welches auf der Oberfläche 2b des Reduzierelements 2 eingerichtet ist. Folglich kann die erste Verbindungselektrode 4 mit dem Kontaktteil 65 so verbunden werden, dass ein Abstand transformiert ist von einem ersten Abstand zu einem zweiten Abstand.
Die in die Elektrodenlöcher des Reduzierelements 2 einzusteckenden Einsteckteile 61 des Verbinder 6 haben Federeigenschaften in der Form eines doglegs oder umgekehrten doglegs, wie in 3a bis 3d gezeigt, oder in der Form eines "C" oder umgekehrten "C", wie in den 4a bis 4d gezeigt, welche unter Druck in Kontakt kommen mit dem Inneren der Elektrodenlöcher.
Die Einsteckteile 61 können eine Kombination in der Form eines doglegs oder eine Kombination in der Form eines umgekehrten doglegs sein, jeweils in umgekehrter Richtung, wie in 2 oder 3a und 3b gezeigt, oder können eine Kombination in der Form eines doglegs oder eine Kombination in der Form eines umgekehrten doglegs sein, jeweils in gleicher Richtung, wie in 3c und 3d gezeigt.
Die Einsteckteile 61 können alternativ eine Kombination in der Form eines "C" oder eine Kombination in der Form eines umgekehrten "C" sein, jeweils in umgekehrter Richtung, wie in 4a und 4b gezeigt, oder können eine Kombination in der Form eines "C" oder eine Kombination in der Form eines umgekehrten "C" sein, jeweils in gleicher Richtung, wie in 4c und 4d gezeigt.
Zusätzlich können die Einsteckteile 61 eine Kombination der dogleg Konfiguration und der C-förmigen Konfiguration sein, oder können eine Kombination hiervon in der verschiedenen Richtung sein, obwohl die nicht gezeigt sind.
Da es ein wesentlicher Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist, dass die Einsteckteile 61 in Kontakt mit den Elektrodenlöchern mit Federeigenschaften sind, ist es hierbei entbehrlich zu sagen, dass sie nicht beschränkt sind auf die dogleg Konfiguration noch auf die C-förmige Konfiguration.
In Hinblick auf die Verhinderung der Erzeugung eines Kurzschlusses oder Störungen oder die Vermeidung der Verbindungslösung eines Verdrahtungsmusters, ist es bevorzugt, dass der Stützteil 62 dicker ist als andere Teile in dem Verbinder 6, so dass es kaum geknickt werden kann und sicher die Stützteile 61 stützt, und ein Abstand gezeigt als "x" in 2 ist eingerichtet, wenn die Einsteckteile 61 montiert sind, um Kontakt zwischen dem Kurventeil 61 mit der Oberfläche des Reduzierelements 2 zu vermeiden.
Der Verbinder 6 ist vorzugsweise aus einem elektrisch gut leitenden Material, wie Kupfer (Cu), Nickel (Ni), oder dergleichen durch Ätzen, Pressen, oder Elektroformen gemacht und mit Gold (Au) oder Zinn (Sn) beschichtet nachdem der Kontaktteil 65 geformt und poliert ist. Gemäß diesem Herstellungsverfahren, da es geformt werden kann ohne das Metall zu biegen, bleibt keine Metallermüdung durch Biegen, so dass die Federeigenschaften selbst nach wiederholtem Gebrauch nicht nachlassen werden und ausgezeichnete Haltbarkeit gewährleistet ist.
5 zeigt ein Beispiel, in welchem das Stützteil 62 von dem Reduzierelement 2 weg ist, so dass der Abstand, gezeigt durch "x" hierin, eingerichtet ist, um das Verdrahtungsmuster zwischen den beiden Einsteckteilen 61 hindurch zulassen. Der in 5 gezeigte Abstand "x" ist eingerichtet, wenn das Einsteckteil wie in 2 eingesteckt ist, um Kontakt zwischen dem Kurventeil 61 mit der Oberfläche des Reduzierelements 2 zu vermeiden.
6 zeigt ein Beispiel in welchem das Armteil 64 nicht ein Kurventeil sondern eine lineare Konfiguration hat. Die Konfiguration des Armteiles 64 kann angemessenerweise geändert werden, abhängig von der Konfiguration des zu testenden Halbleiterelementes.
7 zeigt ein Beispiel, in welchem ein Plattenfederteil 67 benachbart zum linearen Armteil 4 und gesandwicht zwischen dem Armteil 64 und dem Einsteckteil 61 eingerichtet ist. In dieser Struktur wird Federdruck graduell erhöht, abhängig von dem Grad der Deformation des Armteiles 64, und der Kontaktteil 65 kann sicher in Kontakt mit der Elektrode des zu testenden Objektes sein. Obwohl zwei Plattenfederteile 67 in 7 eingerichtet sind, ist es entbehrlich zu sagen, dass sie einfach, zweifach oder öfter eingerichtet sein können.
Weiterhin ist es ersichtlich, dass die vorliegende Erfindung nicht beschränkt ist auf die detaillierten Konfigurationen des Verbinders, wie vorstehend illustriert.
[Ausführungsform 2]
10 ist eine einen Teil einer Prüfkarte A, welche mit einem lösbaren Verbinder 6 der vorliegenden Erfindung versehen ist, darstellende Schnittansicht, 11 ist eine einen lösbaren Verbinder 6 der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Ansicht, 12a bis 12d sind Ansichten, welche eine Variante von Formen von Einsteckteilen 61 zeigen, 13a bis 13d sind Ansichten, welche eine andere Variante von Formen von Einsteckteilen 61 zeigen, 14 ist eine einen anderen lösbaren Verbinder 6 dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Ansicht, 15 ist eine einen nochmals anderen lösbaren Verbinder 6 dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Ansicht, 16 ist eine einen nochmals anderen lösbaren Verbinder 6 dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Ansicht, 17 zeigt ein Beispiel in welchem ein Elektrodenteil 66 des in 10 gezeigten Beispiels in entgegengesetzter Richtung von dem Armteil 64 (einschließlich des Kurventeils 63) hervorragt, 18 zeigt ein Beispiel in welchem ein Elektrodenteil 66 des in 10 gezeigten Beispiels von beiden Seiten eines Stützteils 62 hervorragt, 19 zeigt ein Beispiel in welchem ein Elektrodenteil 66 des in 15 gezeigten Beispiels in gleicher Richtung wie ein Armteil 64 hervorragt, 20 zeigt ein Beispiel in welchem ein Elektrodenteil 66 des in 15 gezeigten Beispiels von beiden Seiten eines Stützteils 62 hervorragt, 21 zeigt ein Beispiel in welchem ein Elektrodenteil 66 des in 16 gezeigten Beispiels in gleicher Richtung wie ein Armteil 64 und ein Federteil 67 hervorragt, und 22 zeigt ein Beispiel in welchem ein Elektrodenteil 66 des in 16 gezeigten Beispiels von beiden Seiten eines Stützteils 62 hervorragt.
10 ist eine einen Teil einer Prüfkarte A, welche mit einem lösbaren Verbinder 6 der vorliegenden Erfindung versehen ist, darstellende Schnittansicht. Die Prüfkarte A umfasst einen Hauptträger 1 mit einer ersten Vebindungselektrode 4, welche elektrisch in Kontakt kommt mit einer Messvorrichtung zum Testen, wie einen Tester (nicht gezeigt), einen Unterträger 3 mit einer Vielzahl von Durchgangslöchern 9 (nur eines davon ist gezeigt), welche elektrisch mit der ersten Verbindungselektrode verbunden sind, einen Verbindungspin 7, welcher lösbar in das Durchgangsloch 9 eingesteckt ist, ein Reduzierelement 2, mit einer Vielzahl von Verbindern (nur einer hiervon ist gezeigt) 6, in welchen der Pin 7 von einer Hauptfläche 2b ragt, und der Verbinder 6, welcher in der anderen Hauptfläche 2b eingerichtet ist, kommt in Kontakt mit einem Halbleiterelement (nicht gezeigt), welches ein zu testendes Objekt, wie ein IC Chip ist. Obwohl eine Beschreibung angebracht ist unter der Annahme, dass ein Verbindermontageträger, auf welchem Verbinder 6 montiert sind, das folgende Reduzierelement 2 ist, ist es überflüssig zu sagen, dass der Träger nicht auf das Reduzierelement beschränkt ist und dieser ein Träger sein kann, in welchem eine Raumtransformation nicht durchgeführt wird.
Der Haupträger 1 umfasst eine Vielzahl von ersten Verbindungselektroden 4 (nur eine hiervon ist gezeigt) auf einer ersten Hauptfläche 1a, welche elektrisch verbunden sind mit der Messvorrichtung zum Testen, und eine Vielzahl von zweiten Verbindungselektroden 5 (nur eine hiervon ist gezeigt) auf einer zweiten Hauptfläche 1b, welche elektrisch mit dem folgend zu beschreibenden Unterträger 3 verbunden sind, und die zweite Verbindungselektrode 5 und die erste Verbindungselektrode 4 sind elektrisch über eine Verdrahtung auf dem Hauptträger 1 verbunden.
Die ersten Verbindungselektroden 4 sind auf der ersten Hauptfläche 1a des Hauptträgers 1 so angeordnet, dass sie weit beabstandet sind zum Zecke der Entsprechung des Abstandes zwischen Elektroden der Messvorrichtung, indem der enge Abstand zwischen benachbarten zweiten Verbindungselektroden auf der zweiten Hauptfläche 1b zum weiten Abstand zwischen benachbarten ersten Verbindungselektroden auf der ersten Hauptfläche 1a transformiert ist.
Der Unterträger 3 umfasst eine erste Hauptfläche 3a, welche der zweiten Hauptfläche 1b des Hauptträgers 1 gegenüberliegt, eine zweite Hauptfläche 3b, welche der ersten Hauptfläche 2a des später zu beschreibenden Reduzierelements 2 gegenüberliegt, und eine Vielzahl von Durchgangslöchern 9 (nur eines hiervon ist gezeigt) zwischen der ersten Hauptfläche 3a und der zweiten Hauptfläche 3b.
Die eine elektrisch leitfähige Beschichtung aufweisenden Durchgangslöcher 9 durchdringen die erste Hauptfläche 3a und die zweite Hauptfläche 3b und sie sind elektrisch verbunden mit einer Vielzahl von dritten Verbindungselektroden 15 (nur eine hiervon ist gezeigt), welche auf der ersten Hauptfläche 3a angeordnet sind.
Der Abstand zwischen der dritten Verbindungselektrode 15 des Unterträgers 3 und die zweite Verbindungselektrode 5 des Hauptträgers 1 sind verbunden über ein elektrisch leitfähiges Material 13, wie Lot oder ein leitfähiges Harz, und anderer Raum zwischen der zweiten Hauptfläche 1b des Hauptträgers 1 und der gegenüberliegenden ersten Hauptfläche 3a des Unterträgers 3 ist mit einem klebenden Harzmaterial 14 gefüllt. Folglich ist der Unterträger 3 integral mit dem Hauptträger versehen, während sie mit ihm elektrisch verbunden sind.
Der in dem Reduzierelement 2 eingerichtete Verbindungspin 2 ist in das Durchgangsloch 24 des Reduzierelements 2 eingesteckt und auch lösbar in das Durchgangsloch 9 des Unterträgers 3 so eingesteckt, dass er elastisch in Kontakt ist mit dem mit einer leitfähigen Beschichtung versehenen Durchgangsloch 9.
Das Reduzierelement 2 umfasst eine erste Hauptfläche 2a, welche gegenüberliegend der zweiten Hauptfläche 3b des Unterträgers 3 ist, und die zweite Hauptfläche 2b, auf welcher eine Vielzahl von mit einem Elektrodenkissen (nicht gezeigt) zu verbindenden Verbindern 6 (nur einer hiervon ist gezeigt) in hoher Dichte in einem Halbleiterelement eingerichtet sind.
In dem Reduzierelement 2 sind als Sacklöcher ausgebildete Elektrodenlöcher eingerichtet, in welche Verbinder 6 (nur einer hiervon ist gezeigt), eingesteckt sind, und die Verbinder Einsteckteile 61 sind in die Sacklöcher eingesteckt.
Obwohl die innere Oberfläche des Verbindermontagelochs, welches in dem Reduzierelement 2 als Sackloch eingerichtet ist, beschichtet oder nicht beschichtet sein kann, ist es in Hinblick auf die Haltbarkeit vorzugsweise beschichtet. Da es jedoch auf Grund des Einflusses der Oberflächenspannung nicht einfach ist, eine Beschichtungslösung in ein kleines Loch zu infiltrieren, ist der Besehichtungsprozess nicht erforderlich.
Eine Vielzahl von Elektrodenlöchern des Reduzierelements 2 sind für einen Verbinder 6 vorgesehen und der Verbinder 6 hat eine Vielzahl von Einsteckteilen 61, deren Anzahl die gleiche ist, wie die der Elektrodenlöcher, oder weniger. Der Verbinder umfasst eine Vielzahl von Einsteckteilen, so dass die Richtung des Verbinders ausgewählt werden kann. Zusätzlich können sie sicher positioniert, montiert, fixiert und elektrisch verbunden werden, da sie mit Federeigenschaften in die Elektrodenlöcher eingepresst sind. Folglich kann der gepresste Kontakt des Elektrodenteils 66 durch Federdruck genügend gewährleistet sein und der elektrische Kontakt kann stabil sein. Weiterhin, da die spezifische Elektrode anders als das Verbindermontageloch eingerichtet ist, wird die Verbindung nicht instabil wegen eines Beschichtungsfehlers in dem Verbindermontageloch.
Der Verbinder 6 umfasst eine Vielzahl von Einsteckteilen 61 zur Montage des Verbinders 6 auf dem Reduzierelement 2, wie in 11 gezeigt, ein Stützteil 62 zum Stützen der Einsteckteile 61 und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit einer Oberfläche des Reduzierelements 2, ein sich von dem Stützteil 62 erstreckendes Elektrodenteil 66, wobei das Armteil 64 sich ebenfalls von dem Stützteil 62 erstreckt und ein Kurventeil 63 umfasst, und ein an einem Spitzenende des Armteils 64 angeordnetes Kontaktteil 65 zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes. Die Einsteckteile 61 sind lösbar in die Verbindermontagelöcher eingesteckt, welche in der Oberfläche des Reduzierelements 2 eingerichtet sind, und das Elektrodenteil 66 ist elektrisch verbunden mit dem auf dem Reduzierelement 2 angeordneten Verdrahtungsmuster.
Wie in 10 gezeigt, ist der Verbindungspin 7 verbunden mit dem Einsteckteil 61 des Verbinders 6 mittels eines Verdrahtungsmusters (fünfte Verbindungselektrode 17), welches auf der Oberfläche 2b des Reduzierelements 2 eingerichtet ist. Folglich kann die erste Verbindungselektrode 4 mit dem Kontaktteil 65 so verbunden werden, dass ein Abstand transformiert ist von einem ersten Abstand zu einem zweiten Abstand.
Die in die Elektrodenlöcher des Reduzierelements 2 einzusteckenden Einsteckteile 61 des Verbinder 6 haben Federeigenschaften in der Form eines doglegs oder umgekehrten doglegs, wie in 12a bis 12d gezeigt, oder in der Form eines "C" oder umgekehrten "C", wie in den 13a bis 13d gezeigt, welche unter Druck in Kontakt kommen mit dem Inneren der Elektrodenlöcher.
Die Einsteckteile 61 können eine Kombination in der Form eines doglegs oder eine Kombination in der Form eines umgekehrten doglegs sein, jeweils in umgekehrter Richtung, wie in 11 oder 12a und 12b gezeigt, oder können eine Kombination in der Form eines doglegs oder eine Kombination in der Form eines umgekehrten doglegs sein, jeweils in gleicher Richtung, wie in 12c und 12d gezeigt.
Die Einsteckteile 61 können alternativ eine Kombination in der Form eines "C" oder eine Kombination in der Form eines umgekehrten "C" sein, jeweils in umgekehrter Richtung, wie in 13a und 13b gezeigt, oder können eine Kombination in der Form eines "C" oder eine Kombination in der Form eines umgekehrten "C" sein, jeweils in gleicher Richtung, wie in 13c und 13d gezeigt.
Zusätzlich können die Einsteckteile 61 eine Kombination der dogleg Konfiguration und der C-förmigen Konfiguration sein, oder können eine Kombination hiervon in der verschiedenen Richtung sein, obwohl die nicht gezeigt sind.
Da es ein wesentlicher Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist, dass die Einsteckteile 61 in Kontakt mit den Verbindermontagelöchern mit Federeigenschaften sind, ist es hierbei entbehrlich zu sagen, dass sie nicht beschränkt sind auf die dogleg Konfiguration noch auf die C-förmige Konfiguration.
Es ist bevorzugt, dass der Stützteil 62 dicker ist als andere Teile in dem Verbinder 6 ist, so dass es kaum geknickt werden kann und sicher die Stützteile 61 stützt.
Der Verbinder 6 ist vorzugsweise aus einem elektrisch gut leitenden Material, wie Kupfer (Cu), Nickel (Ni), oder dergleichen durch Ätzen, Pressen, oder Elektroformen gemacht und mit Gold (Au) oder Zinn (Sn) beschichtet nachdem der Kontaktteil 65 und der Elektrodenteil 66 geformt und poliert sind. Gemäß diesem Herstellungsverfahren, da es geformt werden kann ohne das Metall zu biegen, bleibt keine Metallermüdung durch Biegen, so dass die Federeigenschaften selbst nach wiederholtem Gebrauch nicht nachlassen werden und ausgezeichnete Haltbarkeit gewährleistet ist.
14 zeigt ein Beispiel, in welchem das Stützteil 62 von dem Reduzierelement 2 weg ist, so dass der Abstand, gezeigt durch "x" hierin, eingerichtet ist, um das Verdrahtungsmuster zwischen den beiden Einsteckteilen 61 hindurch zulassen. Dies ist angewandt auf einen Fall, wo Stabilität zum Zeitpunkt der Montage verstärkt ist durch Nahme von viel Raum zwischen Einsteckteilen 61 und den Verbindermontagelöchern.
15 zeigt ein Beispiel in welchem das Armteil 64 nicht ein Kurventeil sondern eine lineare Konfiguration hat. Die Konfiguration des Armteiles 64 kann angemessenerweise geändert werden, abhängig von der Konfiguration des zu testenden Halbleiterelementes.
16 zeigt ein Beispiel, in welchem ein Plattenfederteile 67 benachbart zum linearen Armteil 4 und gesandwicht zwischen dem Armteil 64 und dem Einsteckteil 61 eingerichtet ist. In dieser Struktur wird Federdruck graduell erhöht, abhängig von dem Grad der Deformation des Armteiles 64, und der Kontaktteil 65 kann sicher in Kontakt mit der Elektrode des zu testenden Objektes sein. Obwohl zwei Plattenfederteile 67 in 16 eingerichtet sind, ist es entbehrlich zu sagen, dass sie einfach, zweifach oder öfter eingerichtet sein können.
17 zeigt ein Beispiel in welchem ein Elektrodenteil 66 des in 10 gezeigten Beispiels in entgegengesetzter Richtung von dem Armteil 64 (einschließlich des Kurventeils 63) hervorragt. Es kann angemessenerweise ausgetauscht werden, abhängig von der Konfiguration des zu messenden Halbleiterelementes.
18 zeigt ein Beispiel in welchem ein Elektrodenteil 66 des in 10 gezeigten Beispiels von beiden Seiten eines Stützteils 62 hervorragt. Die Kombination des Verbinders 6 und des Reduzierelements 2 in dieser Struktur kann auf ein Teil angewandt werden, bei welchem insbesondere die Leitung erhöht werden muss und Kontaktwiderstand reduziert werden muss, wie eine Stromversorgungsleitung und dergleichen.
19 zeigt ein Beispiel in welchem ein Elektrodenteil 66 des in 15 gezeigten Beispiels in gleicher Richtung wie ein Armteil 64 hervorragt, 20 zeigt ein Beispiel in welchem ein Elektrodenteil 66 des in 15 gezeigten Beispiels von beiden Seiten eines Stützteils 62 hervorragt, 21 zeigt ein Beispiel in welchem ein Elektrodenteil 66 des in 16 gezeigten Beispiels in gleicher Richtung wie ein Armteil 64 und ein Federteil 67 hervorragt, und 22 zeigt ein Beispiel in welchem ein Elektrodenteil 66 des in 16 gezeigten Beispiels von beiden Seiten eines Stützteils 62 hervorragt. Sie werden wahlweise verwendet entsprechend dem Bedarf, wie in 17 und 18 gezeigt.
Wie oben beschrieben und obwohl verschiedene Arten von Beispielen von Konfigurationen illustriert sind, ist es entbehrlich zu sagen, dass die vorliegende Erfindung nicht beschränkt ist auf die illustrierten Konfigurationen des Verbinders.
Wie vorstehend beschrieben, ist die Prüfkarte der vorliegenden Erfindung eine Prüfkarte mit einem Verbindermontageträger (Reduzierelement), auf welchem eine Vielzahl von Verbindern eingerichtet sind, wobei der Verbinder umfasst ein Einsteckteil zur Montage des Verbinders auf dem Verbindermontageträger, ein Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit einer Oberfläche des Verbindermontageträgers, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Armteil, und ein an einem Spitzenende des Armteils angeordnetes Kontaktteil zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes, und wobei das Einsteckteil lösbar auf einem in der Oberfläche des Verbindermontageträgers angeordneten und mittels eines Verdrahtungsmusters leitfähig gemachten Elektrodenloch montiert ist. Folglich kann allein der Verbinder ausgetauscht werden ohne Trennung des Verbindermontageträgers (Reduzierelements), so da es hoch effektiv in Hinblick auf Zeit und ökonomische Effizienz sein kann.
Weiterhin, da gemäß der Prüfkarte der vorliegenden Erfindung eine Vielzahl von Elektrodenlöchern, welche mittels eines Verdrahtungsmusters auf der Oberfläche des Verbindermontageträgers (Reduzierelements) leitfähig gemacht sind, für einen Verbinder eingerichtet sind, und der eine Verbinder eine Vielzahl von Einsteckteilen aufweist, kann der Verbinder zuverlässig positioniert, montiert, fixiert werden, so dass er zuverlässig für eine lange Zeit in Kontakt kommt mit dem zu messenden Objekt.
Weiterhin, da gemäß der Prüfkarte der vorliegenden Erfindung das Einsteckteil des Verbinders Federeigenschaften hat und in in der Oberfläche des Verbindermontageträgers (Reduzierelements) eingerichteten Elektrodenlöchern eingesteckt ist und leitfähig gemacht ist mittels des Verdrahtungsmusters und in dem Inneren des Elektrodenlochs gepresst in Kontakt kommt, kann der Verbindermontageträger sicher mit dem Verbinder verbunden werden und ihr Kontakt kann zuverlässig für eine lange Zeit gewährleistet werden, selbst wenn der Verbinder wiederholt ausgetauscht wird.
Weiterhin, da gemäß der Prüfkarte der vorliegenden Erfindung der Verbinder umfasst das Einsteckteil mit Federeigenschaften, das Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung der Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit dem Verbindermontageträger, das sich von dem Stützteil erstreckende Armteil, und das an einem Spitzenende des Armteils angeordnete und mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes in Kontakt kommende Kontaktteil, kann es leicht auf dem Träger ohne Löten und dergleichen montiert werden, wenn es auf dem Verbindermontageträger montiert wird, so dass ein stabiler Kontakt eingerichtet werden kann.
Weiterhin hat der Verbinder für eine Prüfkarte der vorliegenden Erfindung eine Vielzahl von in den Verbindermontageträger eingesteckten Einsteckteilen, deren Anzahl die gleiche oder weniger als die Anzahl der Elektrodenlöcher ist. Da der Verbinder eine Vielzahl von Einsteckteilen hat, kann die Richtung des Verbinders entschieden werden und der Verbinder kann mit höherer Sicherheit positioniert, montiert und fixiert werden.
Daneben, gemäß dem Verbinder für eine Prüfkarte der vorliegenden Erfindung, da der Armteil des Verbinders Federeigenschaften aufweist, kann der gegen die Elektrode des zu messenden Objekts drückende Kontaktdruck kontrolliert werden und kann der Kontaktdruck stabil eingerichtet werden.
Daneben, gemäß dem Verbinder für eine Prüfkarte der vorliegenden Erfindung, da der Armteil gebogen ist, kann es mit einem Arrangement mit geringem Abstand korrespondieren, so dass verschiedene Arten von zu messenden Objekten, welche hochintegriert sind, gemessen werden können.
Daneben, gemäß dem Verbinder für eine Prüfkarte der vorliegenden Erfindung, da der Armteil linear ist und das Plattenfederteil benachbart zum linearen Armteil und gesandwicht zwischen dem Armteil und dem Einsteckteil eingerichtet ist, ist der Federdruck graduell erhöht in Übereinstimmung mit dem Verschiebungsbetrag des Armteils und der Kontakt mit der Elektrode des zu testenden Objekts kann zuverlässig gewährleistet werden.
Die Prüfkarte der vorliegenden Erfindung ist eine Prüfkarte mit einem Verbindermontageträger (Reduzierelement), auf welchem einer Vielzahl von Verbindern eingerichtet sind, wobei der Verbinder umfasst ein Einsteckteil zur Montage des Verbinders auf dem Verbindermontageträger, ein Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit der Oberfläche des Verbindermontageträgers, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Elektrodenteil, ein sich ebenfalls von dem Stützteil erstreckendes Armteil, und ein an einem Spitzenende des Armteils angeordnetes Kontaktteil zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode des zu testenden Objektes, das Einsteckteil ist lösbar auf dem in der Oberfläche des Verbindermontageträgers angeordneten Verbindermontageloch montiert ist, und das Elektrodenteil leitfähig gemacht ist durch Kontaktieren der in dem auf dem Verbindermontageträger angeordneten Verdrahtungsmuster eingerichteten Elektrode. Folglich kann nur der Verbinder ohne Trennen des Verbindermontageträgers (Reduzierelements) ausgetauscht werden, so dass er hoch effektiv in Hinblick auf Zeit und ökonomischer Effizienz ist.
Weiterhin, da gemäß der Prüfkarte der vorliegenden Erfindung eine Vielzahl von Verbindermontagelöchern, welche auf der Oberfläche des Verbindermontageträgers (Reduzierelements) eingerichtet sind, für einen Verbinder eingerichtet sind, und der eine Verbinder eine Vielzahl von Einsteckteilen aufweist, deren Anzahl kleiner als die Anzahl der Verbindermontagelöcher ist, kann der Verbinder zuverlässig positioniert, montiert, fixiert werden, so dass er zuverlässig für eine lange Zeit in Kontakt kommt mit dem zu messenden Objekt.
Weiterhin, da gemäß der Prüfkarte der vorliegenden Erfindung das Elektrodenteil des Verbinders Federeigenschaften aufweist, und es gegen die auf der Oberfläche des Verbindermontageträgers (Reduzierelements) eingerichtete Elektrode gepresst wird, und Leitfähig gemacht ist mittels des Verdrahtungsmusters so dass es mit Druck in Kontakt mit der Elektrode ist, kann der Verbindermontageträger sicher mit dem Verbinder verbunden werden und kann ihr Kontakt zuverlässig für eine lange Zeit gewährleistet werden, selbst wenn der Verbinder wiederholt ausgetauscht wird.
Weiterhin, da gemäß der Prüfkarte der vorliegenden Erfindung die spezifische Elektrode eingerichtet ist, ist Beschichtung des Loches nicht erforderlich, so dass instabile Leitung wegen Beschichtungsfehlern in dem Loch verhindert werden kann, verglichen mit dem Fall dass das Innere des Verbindermontagelochs beschichtet ist, um ein Elektrodenloch mittels des Verdrahtungsmusters zu werden.
Weiterhin, da gemäß dem Verbinder für die Prüfkarte der vorliegenden Erfindung der Verbinder umfasst ein Einsteckteil mit Federeigenschaften zur Montage des Verbinders auf dem Träger, das Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit der Oberfläche des Verbindermontageträgers, das sich von dem Stützteil erstreckendes Elektrodenteil, das sich ebenfalls von dem Stützteil erstreckendes Armteil, und das an einem Spitzenende des Armteils angeordnete und in Kontakt mit der Elektrode eines zu testenden Objektes kommenden Kontaktteil, kann es einfach ohne Löten und dergleichen auf dem Träger montiert werden und ein stabile Kontakt kann gewährleistet werden.
Der Verbinder für eine Prüfkarte der vorliegenden Erfindung hat weiterhin eine Vielzahl von in den Verbindermontageträger eingesteckten Einsteckteilen, dessen Anzahl die gleiche oder weniger als die Anzahl der Elektrodenlöcher für einen Verbinder ist. Da er eine Vielzahl von Einsteckteilen hat, kann die Richtung des Verbinders entschieden werden und der Verbinder kann sicher positioniert, montiert und fixiert werden
Des Weiteren, gemäß dem Verbinder für eine Prüfkarte der vorliegenden Erfindung, ist der gepresste Kontakt hinreichend eingerichtet durch das Elektrodenteil mit den Federeigenschaften, so dass der Verbindermontageträger sicher mit dem Verbinder verbunden werden kann.
Daneben, gemäß dem Verbinder für eine Prüfkarte der vorliegenden Erfindung, da der Armteil Federeigenschaften aufweist, kann der gegen die Elektrode des zu messenden Objekts drückende Kontaktdruck kontrolliert werden und kann der Kontaktdruck stabil eingerichtet werden.
Daneben, gemäß dem Verbinder für eine Prüfkarte der vorliegenden Erfindung, da der Armteil gebogen ist, kann es mit einem Arrangement mit geringem Abstand korrespondieren, so dass verschiedene Arten von zu messenden Objekten, welche hochintegriert sind, gemessen werden können.
Daneben, gemäß dem Verbinder für eine Prüfkarte der vorliegenden Erfindung, ist der Armteil linear und das Plattenfederteil ist benachbart zum linearen Armteil und gesandwicht zwischen dem Armteil und dem Einsteckteil eingerichtet, ist der Federdruck graduell erhöht in Übereinstimmung mit dem Verschiebungsbetrag des Armteils und der Kontakt mit der Elektrode des zu testenden Objekts kann zuverlässig gewährleistet werden.
[Figuren zu Ausfürhungsformen der Erfindung]
1 ist eine schematische Ansicht eines Querschnitts und zeigt einen Teil einer Prüfkarte, welche mit einem lösbaren Verbinder der vorliegenden Erfindung versehen ist.
2 ist eine einen lösbaren Verbinder der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Ansicht.
3(a) ist eine vergrößerte Seitenansicht und zeigt eine Ausführungsform eines lösbaren Verbinders gemäß der vorliegenden Erfindung, 3(b) ist eine vergrößerte Seitenansicht und zeigt eine andere Ausführungsform eines lösbaren Verbinders gemäß der vorliegenden Erfindung, 3(c) ist eine vergrößerte Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines lösbaren Verbinders gemäß der vorliegenden Erfindung und 3(d) ist eine vergrößerte Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines lösbaren Verbinders gemäß der vorliegenden Erfindung.
4(a) ist eine vergrößerte Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines lösbaren Verbinders gemäß der vorliegenden Erfindung, 4(b) ist eine vergrößerte Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines lösbaren Verbinders gemäß der vorliegenden Erfindung, 4(c) ist eine vergrößerte Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines lösbaren Verbinders gemäß der vorliegenden Erfindung und 4(d) ist eine vergrößerte Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines lösbaren Verbinders gemäß der vorliegenden Erfindung.
5 ist eine einen anderen lösbaren Verbinder der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Seitenansicht.
6 ist eine einen nochmals anderen lösbaren Verbinder der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Seitenansicht.
7 ist eine einen nochmals anderen lösbaren Verbinder 6 der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Seitenansicht.
8 ist eine eine andere Querschnittsstruktur einer Prüfkarte mit konventionellem Verbindungsmuster eines Verbinders darstellende Explosionsansicht.
9 ist eine eine andere Querschnittsstruktur einer Prüfkarte mit konventionellem Verbindungsmuster eines Verbinders darstellende Explosionsansicht.
10 ist eine einen Teil einer Prüfkarte, welche mit einem anderen lösbaren Verbinder der vorliegenden Erfindung versehen ist, darstellende schematische Schnittansicht.
11 ist eine einen anderen lösbaren Verbinder der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Seitenansicht.
12(a) ist eine Seitenansicht und zeigt eine Ausführungsform eines weiterhin anderen lösbaren Verbinders der vorliegenden Erfindung, 12(b) ist eine Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines weiterhin anderen lösbaren Verbinders der vorliegenden Erfindung, 12(c) ist eine Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines weiterhin anderen lösbaren Verbinders der vorliegenden Erfindung und 12(b) ist eine Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines weiterhin anderen lösbaren Verbinders der vorliegenden Erfindung.
13(a) ist eine Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines weiterhin anderen lösbaren Verbinders der vorliegenden Erfindung, 13(b) ist eine Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines weiterhin anderen lösbaren Verbinders der vorliegenden Erfindung,13(c) ist eine Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines weiterhin anderen lösbaren Verbinders der vorliegenden Erfindung und 13(b) ist eine Seitenansicht und zeigt eine weiterhin andere Ausführungsform eines weiterhin anderen lösbaren Verbinders der vorliegenden Erfindung.
14 ist eine einen weiterhin anderen lösbaren Verbinder dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Seitenansicht.
15 ist eine einen weiterhin anderen lösbaren Verbinder dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Seitenansicht.
16 ist eine einen weiterhin anderen lösbaren Verbinder dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Seitenansicht.
17 ist eine schematische Ansicht eines Querschnitts und zeigt einen Teil einer Prüfkarte, welche mit einem weiterhin anderen lösbaren Verbinder der vorliegenden Erfindung ausgestattet ist.
18 ist eine schematische Ansicht eines Querschnitts und zeigt einen Teil einer Prüfkarte, welche mit einem weiterhin anderen lösbaren Verbinder der vorliegenden Erfindung ausgestattet ist.
19 ist eine einen weiterhin anderen lösbaren Verbinder dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Seitenansicht.
20 ist eine einen weiterhin anderen lösbaren Verbinder dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Seitenansicht.
21 ist eine einen weiterhin anderen lösbaren Verbinder dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Seitenansicht.
22 ist eine einen weiterhin anderen lösbaren Verbinder dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellende vergrößerte Seitenansicht.

A: Prüfkarte
1: Hauptträger
2: Reduzierelement
3: Unterträger
4: erste Verbindungselektrode
5: zweite Verbindungselektrode
6: Verbinder
7: Verbindungspin
8: Verstärkungsplatte
9, 24: Durchgangsloch
10: Halter
13: elektrisch leitfähiges Material
14: klebendes Harzmaterial
15: dritte Verbindungselektrode
16: vierte Verbindungselektrode
17: fünfte Verbindungselektrode
61: Einsteckteil
62: Stützteil
63: Kurventeil
64: Armteil
65: Kontaktteil
66: Elektrodenteil
67: Federteil
1a: erste Hauptfläche des Haupträgers
1b: zweite Hauptfläche des Haupträgers
2a: erste Hauptfläche des Reduzierelements
2b: zweite Hauptfläche des Reduzierelements
3a: erste Hauptfläche des Unterträgers
3b: zweite Hauptfläche des Unterträgers

[Zusammenfassung]
[Aufgabe der Erfindung]
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Prüfkarte, welche elektrische Eigenschaften eines Halbleiterelementes, wie eines LSI Chips, misst, und es ist ein Ziel, eine Montagestruktur eines Verbinders, welcher in Kontakt mit dem Halbleiterelement kommt, zu schaffen.
[Grundzüge der Erfindung]
Die Prüfkarte hat einen Verbindermontageträger, auf welchem eine Vielzahl von Verbindern eingerichtet sind, wobei der Verbinder umfasst ein Einsteckteil zur Montage des Verbinders auf dem Verbindermontageträger, ein Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit einer Oberfläche des Verbindermontageträgers, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Armteil, und ein an einem Spitzenende des Armteils angeordnetes Kontaktteil zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes, und wobei das Einsteckteil lösbar auf einem in der Oberfläche des Verbindermontageträgers angeordneten und mittels eines Verdrahtungsmusters leitfähig gemachten Elektrodenloch montiert ist.
[Zusammenfassungsfigur]

1

Anm. des Übersetzers: folgend die Übersetzungen der sachlichen Inhalte der Figuren:
[1]
erste Raumtransformation I
zweite Raumtransformation II
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
erste Raumtransformation I
zweite Raumtransformation II
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
[21]
[22]

Claims

Eine Prüfkarte mit einem Verbindermontageträger, auf welchem eine Vielzahl von Verbindern eingerichtet sind, wobei der Verbinder umfasst ein Einsteckteil zur Montage des Verbinders auf dem Verbindermontageträger, ein Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit einer Oberfläche des Verbindermontageträgers, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Armteil, und ein an einem Spitzenende des Armteils angeordnetes Kontaktteil zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes, und wobei das Einsteckteil lösbar auf einem in der Oberfläche des Verbindermontageträgers angeordneten und mittels eines Verdrahtungsmusters leitfähig gemachten Elektrodenloch montiert ist.
Die Prüfkarte nach Anspruch 1, wobei das Einsteckteil des Verbinders Federeigenschaften aufweist und in Kontakt kommt mit einem inneren Teil des Elektrodenlochs durch gepresst-werden.
Die Prüfkarte nach den Ansprüchen 1 und 2, wobei eine Vielzahl von Elektrodenlöchern, welche mittels eines Verdrahtungsmusters auf der Oberfläche des Verbindermontageträgers leitfähig gemacht sind, für einen Verbinder eingerichtet sind.
Ein auf einem Verbindermontageträger zu montierender Verbinder für eine Prüfkarte, wobei der Verbinder umfasst ein Einsteckteil mit Federeigenschaften zur Montage des Verbinders auf dem Träger, ein Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit einer Oberfläche des Verbindermontageträgers, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Armteil, und ein an einem Spitzenende des Armteils angeordnetes Kontaktteil zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes.
Der Verbinder für eine Prüfkarte nach Anspruch 4, wobei der Verbinder eine Vielzahl von in den Verbindermontageträger einzusteckenden Einsteckteilen aufweist, dessen Anzahl die gleiche oder weniger als die Anzahl der Elektrodenlöcher für einen Verbinder ist.
Der Verbinder für eine Prüfkarte nach den Ansprüchen 4 und 5, wobei der Armteil des Verbinders Federeigenschaften aufweist.
Der Verbinder für eine Prüfkarte nach den Ansprüchen 4 bis 6, wobei der Armteil des Verbinders eine gebogene Konfiguration aufweist.
Der Verbinder für eine Prüfkarte nach den Ansprüchen 4 bis 6, wobei der Armteil des Verbinders linear ist und ein Plattenfederteil benachbart zum linearen Armteil und gesandwicht zwischen dem Armteil und dem Einsteckteil eingerichtet ist.
Eine Prüfkarte mit einem Verbindermontageträger, auf welchem einer Vielzahl von Verbindern eingerichtet sind, wobei der Verbinder umfasst ein Einsteckteil zur Montage des Verbinders auf dem Verbindermontageträger, ein Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit einer Oberfläche des Verbindermontageträgers, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Elektrodenteil, ein sich ebenfalls von dem Stützteil erstreckendes Armteil, und ein an einem Spitzenende des Armteils angeordnetes Kontaktteil zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes, das Einsteckteil lösbar auf einem in der Oberfläche des Verbindermontageträgers angeordneten Verbindermontageloch montiert ist, und das Elektrodenteil in Verbindung ist mit einem Verdrahtungsmuster auf dem Verbindermontageträger.
Die Prüfkarte nach Anspruch 9, wobei das Einsteckteil des Verbinders Federeigenschaften aufweist und in Kontakt kommt mit einem inneren Teil des Verbindermontagelochs durch gepresst-werden.
Die Prüfkarte nach den Ansprüchen 9 und 10, wobei eine Vielzahl von Verbindermontagelöcher des Verbindermontageträgers für einen Verbinder eingerichtet sind.
Die Prüfkarte nach den Ansprüchen 9 bis 11, wobei das Elektrodenteil des auf dem Verbindermontageträger zu montierenden Verbinders Federeigenschaften aufweist und in Kontakt kommt mit einem Verdrahtungsmuster auf dem Verbindermontageträger durch gepresst-werden.
Ein auf einem Verbindermontageträger zu montierender Verbinder für eine Prüfkarte, wobei der Verbinder umfasst ein Einsteckteil mit Federeigenschaften zur Montage des Verbinders auf dem Träger, ein Stützteil zum Stützen des Einsteckteils und zur Ausführung einer Positionierung in Höhenrichtung durch Verbinden mit einer Oberfläche des Verbindermontageträgers, ein sich von dem Stützteil erstreckendes Elektrodenteil, ein sich ebenfalls von dem Stützteil erstreckendes Armteil, und ein an einem Spitzenende des Armteils angeordnetes Kontaktteil zum in Kontakt kommen mit einer Elektrode eines zu testenden Objektes.
Der Verbinder für eine Prüfkarte nach Anspruch 13, wobei der Verbinder eine Vielzahl von in den Verbindermontageträger einzusteckenden Einsteckteilen aufweist, dessen Anzahl die gleiche oder weniger als die Anzahl der Verbindermontagelöcher für einen Verbinder ist.
Der Verbinder für eine Prüfkarte nach den Ansprüchen 13 und 14, wobei das Elektrodenteil des Verbinders Federeigenschaften aufweist.
Der Verbinder für eine Prüfkarte nach den Ansprüchen 13 bis 15, wobei das Armteil des Verbinders Federeigenschaften aufweist.
Der Verbinder für eine Prüfkarte nach den Ansprüchen 13 bis 16, wobei der Armteil des Verbinders eine gebogene Konfiguration aufweist.
Der Verbinder für eine Prüfkarte nach den Ansprüchen 13 bis 16, wobei der Armteil des Verbinders linear ist und ein Plattenfederteil benachbart zum linearen Armteil und gesandwicht zwischen dem Armteil und dem Einsteckteil eingerichtet ist.