DE102007030390A1

DE102007030390A1 - Koordinaten-Messmaschine und Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine

Info

Publication number: DE102007030390A1
Application number: DE102007030390A
Authority: DE
Inventors: Wolfgang Fricke; Klaus Rinn; Slawomir Czerkas
Original assignee: Vistec Semiconductor Systems GmbH
Current assignee: KLA Tencor MIE GmbH
Priority date: 2007-06-29
Filing date: 2007-06-29
Publication date: 2009-01-02
Anticipated expiration: 2027-06-30
Also published as: DE102007030390B4; US20090002486A1; US8115808B2; JP2009014717A

Abstract

Es ist eine Koordinaten-Messmaschine offenbart, der eine Einrichtung zum automatischen Orientieren eines Substrats zugeordnet ist. Der Koordinaten-Messmaschine ist ferner eine Steuer- und Recheneinheit zugeordnet, so dass auf der Grundlage von mindestens zwei unterschiedlichen und automatisch eingestellten Orientierungen des Substrats eine Selbstkalibrierung durchführbar ist.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Koordinaten-Messmaschine.
Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine.
Ein Koordinaten-Messgerät ist hinlänglich aus dem Stand der Technik bekannt. Beispielsweise wird dabei auf das Vortragsmanuskript „Pattern Placement Metrology for Mask maging" von Frau Dr. Carola Bläsing verwiesen. Der Vortrag wurde gehalten anlässlich der Tagung Semicon, Edjucation Program in Genf am 31. März. 1998, in dem die Koordinaten-Messmaschine ausführlich beschrieben worden ist. Der Aufbau einer Koordinaten-Messmaschine, wie er z. B. aus dem Stand der Technik bekannt ist, wird in der nachfolgenden Beschreibung zu der 1 näher erläutert. Ein Verfahren und ein Messgerät zur Positionsbestimmung von Strukturen auf einem Substrat ist aus der Deutschen Offenlegungsschrift DE 10047211 A1 bekannt. Zu Einzelheiten der genannten Positionsbestimmung sei daher ausdrücklich auf diese Schrift verwiesen.
Aufgabe der gegenwärtigen Erfindung ist es, eine Koordinaten-Messmaschine zu schaffen, mit der eine automatische Selbstkalibrierung durchführbar ist.
Die obige Aufgabe wird gelöst durch eine Koordinaten-Messmaschine, die die Merkmale des Anspruchs 1 umfasst.
Ferner ist es Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zu schaffen, mit dem eine Selbstkalibrierung der Koordinaten-Messmaschine durchgeführt werden kann.
Die obige Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren, das die Schritte des Anspruchs 13 umfasst.
Es ist von besonderem Vorteil, wenn der Koordinaten-Messmaschine eine Einrichtung zum automatischen Orientieren des Substrats zugeordnet ist. Ferner ist der Koordinaten-Messmaschine eine Steuer- und Recheneinheit zugeordnet, so dass auf der Grundlage von mindestens zwei unterschiedlichen und automatisch eingestellten Orientierungen des Substrats eine Selbstkalibrierung durchführbar ist.
Es ist eine Übergabestation vorgesehen, der ein Roboter zugeordnet ist, der das Substrat an die Einrichtung zum Orientieren übergibt. Nach dem Orientieren entnimmt der Roboter das Substrat aus der Einrichtung zum Orientieren und legt das neu orientierte Substrat in die Koordinaten-Messmaschine ein.
Es ist ein in X-Koordinatenrichtung und in Y-Koordinatenrichtung beweglicher Messtisch vorgesehen, auf dem das automatisch neu orientierte Substrat abgelegt ist. Ferner ist eine Kamera vorgesehen, die mindestens ein Messfenster zur Vermessung der Struktur ausgebildet hat. Ebenso ist eine Beleuchtungseinrichtung zum Beleuchten des Substrats vorgesehen. Die Beleuchtungseinrichtung umfasst eine Auflichtanordnung und/oder eine Durchlichtanordnung. Ob das Substrat mit Auflicht und/oder mit Durchlicht beleuchtet wird, entscheidet sich nach den Gegebenheiten der Messung.
Es kann von Vorteil sein, wenn die Koordinaten-Messmaschine, die Einrichtung zum Orientieren, die Beleuchtungseinrichtung, die Kamera, ein Magazin und mindestens eine Transporteinrichtung in einer gemeinsamen Klimakammer angeordnet sind. Hinzu kommt, dass es ebenfalls von Vorteil ist, wenn die Einrichtung zum Orientieren in einem Luftstrom der Klimakammer angeordnet ist. Dies hat den Vorteil, dass in dem Luftstrom evtl. auf dem Substrat anhaftende Partikel oder Staubteilchen weggeblasen werden können.
Die Einrichtung zum Orientieren umfasst eine Beleuchtungseinrichtung der eine Kamera zugeordnet ist, die ein Bild des Substrats aufnimmt, auf dem sich die Orientierung ermitteln lässt. Die Kamera weist eine Auswerteeinheit für eine Identifikation des Substrats auf. Dabei ist die Identifikation auf einem freien Teil der Oberfläche des Substrats aufgebracht. Ebenso ist es denkbar, dass der Einrichtung zum Orientieren eine Extraaufnahmeeinheit für die Identifikation des Substrats zuordenbar ist.
Der Einrichtung zum Orientieren kann ein Rechner zugeordnet sein, mit dessen Hilfe der Benutzer eine vorgegebene Orientierung des Substrats einstellen kann. Ebenso kann der Rechner zu der Bildauswertung herangezogen werden, um die von der Kamera aufgenommenen Bilder des Substrats auszuwerten und anhand der Auswer tung die Orientierung des Substrats festzustellen. Ebenso kann der Rechner dazu verwendet werden, ein vordefiniertes Rezept abzuarbeiten und dabei vorgegebene Orientierungen des Substrats einzustellen.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine ist durch die folgenden Schritte gekennzeichnet. Zunächst wird mindestens eine Struktur auf dem Substrat in einer ersten Orientierung des Substrats gemessen. Anschließend wird eine zweite Orientierung automatisch mit der Einrichtung zum Orientieren eingestellt. Das Substrat wird in einer zweiten Orientierung gemessen, wobei die mindestens eine Struktur an der gleichen Stelle, wie bei der ersten Messung, gemessen wird. Aus den unterschiedlichen Orientierungen des Substrats werden Datensätze gewonnen, die zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine herangezogen werden. Es ist von Vorteil, wenn die Datensätze zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine automatisch verrechnet werden. Ebenso können die Datensätze in einem Rechner abgespeichert werden. Durch eine Ausgabe kann angezeigt werden, wenn das Ergebnis der Kalibration innerhalb eines festgelegten Toleranzbereichs liegt.
Die Kalibrierung kann in definierten Zeitabständen automatisch durch die Koordinaten-Messmaschine ausgeführt werden. Ebenso ist es denkbar, dass die Kalibrierung auf Benutzeranforderung durchgeführt wird. Dem Benutzer kann eine Vielzahl von Arbeitsanweisungen zur Verfügung gestellt werden, die zur Abarbeitung in gewünschter Art und Weise zusammengestellt werden können, um die Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine zu erzielen.
Im Folgenden sollen Ausführungsbeispiele die Erfindung und ihre Vorteile anhand der beigefügten Figuren näher erläutern.
1 zeigt schematisch ein Koordinaten-Messgerät gemäß dem Stand der Technik;
2 eine schematische Darstellung der Vorrichtung zum Vermessen von Koordinaten von Strukturen auf einem Substrat, wobei alle hierzu erforderlichen Elemente und Einrichtungen innerhalb einer Klimakammer angeordnet sind.
3 zeigt schematisch eine andere Ausführungsform der Erfindung, wobei die Einrichtung zum Orientieren der Substrate außerhalb der Klimakammer angeordnet ist;
4 zeigt eine schematische Frontansicht der Koordinaten-Messmaschine und der der Koordinaten-Messmaschine zugeordneten Einrichtungen, wobei mindestens eine Einrichtung in einem Luftstrom innerhalb der Klimakammer angeordnet ist;
5 zeigt ein Substrat, das mit mindestens einer Kennzeichnung für das Substrat versehen ist;
6 zeigt eine schematische Anordnung einer Kamera in Wirkzusammenhang mit einer Einrichtung zum Orientieren des Substrats.
Ein Koordinaten-Messgerät der in 1 dargestellten Art ist bereits ausführlich im Stand der Technik beschrieben und somit auch ausführlich aus dem Stand der Technik bekannt. Das Koordinaten-Messgerät 1 umfasst einen in X-Koordinatenrichtung und in Y-Koordinatenrichtung beweglichen Messtisch 20. Der Messtisch 20 trägt ein Substrat, bzw. eine Maske für die Halbleiterherstellung. Auf einer Oberfläche des Substrats 2 sind mehrere Strukturen 3 aufgebracht. Der Messtisch selbst ist auf Luftlagern 21 gestützt, die ihrerseits auf einem Granitblock 25 abgestützt sind. Für die Beleuchtung des Substrats 2 sind mindestens eine Auflichtbeleuchtungseinrichtung 14 und/oder eine Durchlichtbeleuchtungseinrichtung 6 vorgesehen. In der hier dargestellten Ausführungsform wird das Licht der Durchlichtbeleuchtungseinrichtung 6 mittels eines Umlenkspiegels 7 in die Beleuchtungsachse 4 für das Durchlicht eingekoppelt. Das Licht der Beleuchtungseinrichtung 6 gelangt über einen Kondensor 8 auf das Substrat 2. Das Licht der Auflichtbeleuchtungseinrichtung 14 gelangt durch das Messobjektiv 9 auf das Substrat 2. Das von dem Substrat 2 ausgehende Licht wird durch das Messobjektiv 9 gesammelt und von einem halbdurchlässigen Spiegel 12 aus der optischen Achse 5 ausgekoppelt. Dieses Messlicht gelangt auf eine Kamera 10, die mit einem Detektor 11 versehen ist. Dem Detektor 11 ist eine Recheneinheit 16 zugeordnet, mit der aus dem aufgenommenen Daten digitale Bilder erzeugt werden können.
Die Position des Messtisches 20 wird mittels eines Laser-Interferometers 24 gemessen und bestimmt. Das Laser-Interferometer 24 sendet hierzu einen Messlichtstrahl 23 aus. Ebenso ist das Messmikroskop 9 mit einer Verschiebeeinrichtung in Z-Koordinatenrichtung verbunden, damit das Messobjektiv 9 auf die Oberfläche des Substrats 2 fokussiert werden kann. Die Position des Messobjektivs 9 kann z. B. mit einem Glasmaßstab (nicht dargestellt) gemessen werden. Der Granitblock 25 ist ferner auf schwingungsgedämpft gelagerten Fliesen 26 aufgestellt. Durch diese Schwingungs dämpfung sollen alle möglichen Gebäudeschwingungen und Eigenschwingungen des Koordinaten-Messgerätes weitestgehend reduziert, bzw. eliminiert werden.
2 zeigt eine schematische Ansicht der Anordnung von dem Koordinaten-Messgerät 1 und weiteren Einrichtungen, die dem Koordinaten-Messgerät 1 zugeordnet sind, um damit eine effiziente Untersuchung, bzw. Vermessung der Substrate 2 zu gewährleisten. In der in 2 dargestellten Ausführungsform ist das Koordinaten-Messgerät 1 vereinfacht dargestellt. Das Koordinaten-Messgerät 1 ist in 2 lediglich mit dem Messtisch 20 und dem auf dem Messtisch 20 befindlichem Substrat 2 dargestellt. Die Koordinaten-Messeinrichtung 1 befindet sich zusammen mit anderen Einrichtungen in einer Klimakammer 30. Der Koordinaten-Messeinrichtung 1 ist in der hier dargestellten Ausführungsform ein Magazin 32 für die Aufbewahrung von Substraten 2, bzw. Masken innerhalb der Klimakammer 30 zugeordnet. Ebenso ist innerhalb der Klimakammer eine Einrichtung zum Orientieren 34 der Substrate angeordnet. In einer Wand 30a der Klimakammer 30 ist eine Übergabestation 35 vorgesehen. Innerhalb der Klimakammer 30 können ferner ein Transportroboter 36 und eine weitere Transporteinrichtung 38 vorgesehen sein. Obwohl hier ein Magazin 32 zur Aufbewahrung von Substraten 2, bzw. Temperieren von Substraten 2 vorgesehen ist, ist es für jeden Fachmann selbstverständlich, dass man auf ein Magazin innerhalb der Klimakammer 30 verzichten kann. Der Roboter 36 kann sich innerhalb der Klimakammer entlang der durch den Doppelpfeil 40 dargestellten Richtung bewegen. Über die Übergabeöffnung 35 können die Substrate 2 in die Klimakammer verbracht werden. Die Transporteinrichtung 38 stellt dabei eine Übergabestation dar. Der Roboter 36 entnimmt das Substrat 2 aus der Übergabestation 38 und legt es je nach Rezept auf die Einrichtung 35 zum Orientieren, auf dem Messtisch 20 oder in das Magazin 32.
In 3 ist eine andere Ausführungsform der Anordnung, die mit einer Koordinaten-Messmaschine 1 in Verbindung stehen, dargestellt. Dabei werden gleiche Elemente durch gleiche Bezugszeichen bezeichnet. Der in 3 dargestellten Ausführungsform ist die Einrichtung 34 zum Orientieren außerhalb der Klimakammer 30 angeordnet. Die Einrichtung 34 zum Orientieren ist mittels eines Interfaces 42 mit der Klimakammer verbunden, so dass über das Interface 42 die orientierten Substrate an die Koordinaten-Messmaschine 1 übergeben werden können.
4 zeigt eine Seitenansicht der Anordnung der verschiedenen Einrichtungen in der Klimakammer 30 einer Koordinaten-Messeinrichtung. Die Klimakammer 30 ist dabei mit einer Ventilatoreinrichtung 50 verbunden, die Luft eines gewissen Rein raumgrades in die Klimakammer 30 einbläst. In der Klimakammer 30 kann ein Luftleitblech 52 vorgesehen sein, mit dem ein Luftstrom 54 erzeugbar ist, der entsprechend auf die Einrichtung 34 zum orientieren der Substrate gerichtet ist. Der Luftstrom kann den Vorteil haben, dass evtl. auf dem Substrat 2 anhaftende Partikel weggeblasen werden können.
5 zeigt eine schematische Darstellung eines Substrats 2. Das Substrat 2 ist mit mehreren Kennzeichnungen 54 und 56 versehen. Dabei kann die erste Kennzeichnung 54 ein Barcode sein. Die zweite Kennzeichnung 56 kann eine alphanumerische Kennzeichnung des Substrats 2 darstellen. Anhand der Kennzeichnungen 54 und 56 ist es möglich, die Orientierung des Substrats 2 festzustellen.
6 zeigt eine schematische Anordnung einer Detektionseinrichtung 60 für die Orientierung des Substrats 2. Das Substrat 2 ist auf die Einrichtung 34 zum Orientieren des Substrats 2 aufgelegt. Im Wesentlichen umfasst die Einrichtung 34 zum Orientieren des Substrats 2 einen Drehteller 34a, der das Substrat 2 trägt. Die Einrichtung 34 zum Orientieren des Substrats 2 ist mit einer Recheneinheit 61 verbunden, mit der die Orientierung des Substrats automatisch eingestellt werden kann. Gegenüber dem Substrat 2 ist eine Kamera 60 vorgesehen, mit der Bilder von dem Teil des Substrats aufgenommen werden können, welche die Kennzeichnungen 54 und 56 tragen. Ebenso ist es denkbar, dass mit der Kamera 60 die gesamte Oberfläche des Substrats 2 aufgenommen werden kann. Aus dem Bild der Oberfläche des Substrats 2 kann dann mittels Bildverarbeitung im Rechner 61 die Orientierung des Substrats ermittelt werden. Auf einem Display 62 kann dem Benutzer die aktuelle, bzw. die neu eingestellte Orientierung des Substrats 2 angezeigt werden. Ebenso ist es denkbar, dass der Benutzer über das Display 62 Eingaben hinsichtlich der Orientierung des Substrats machen kann. Eine Erstellung von Rezepten, mit denen bestimmte Kalibrierungsschritte durchgeführt werden können, können ebenfalls mittels des Displays eingegeben werden und so an den Rechner 61 übermittelt werden.
Zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine 1 ist es erforderlich, das mindestens eine Struktur 3 auf dem Substrat 2 in einer ersten Orientierung des Substrats 2 gemessen wird. Mittels der Einrichtung 34 zum Orientieren des Substrats wird eine zweite Orientierung eingestellt. Anschließend wird das Substrat in der zweiten Orientierung der mindestens einen Struktur an der gleichen Stelle, wie bei der ersten Messung, gemessen. Aus den unterschiedlichen Orientierungen werden dann Daten hinsichtlich der Position, bzw. Dimension der Struktur 3 auf dem Substrat gewonnen. Diese Daten sätze werden zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine herangezogen. Die aus der Vermessung der verschiedenen Orientierungen des Substrats gewonnenen Datensätze können zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine 1 automatisch verrechnet werden. Ebenso ist es denkbar, dass die Datensätze in dem Rechner 61 abgespeichert werden und für eine spätere Kalibration, bzw. Korrektur der realen Messwerte herangezogen werden. Ebenso ist es denkbar, dass auf dem Display 62 eine Ausgabe für den Benutzer erfolgt, wenn das Ergebnis der Kalibration innerhalb eines festgelegten Toleranzbereichs liegt. Die Kalibration der Koordinaten-Messmaschine kann in definierten Zeitabständen automatisch durchgeführt werden. Ebenso kann die Kalibration auf Benutzeranforderungen durchgeführt werden. Dem Benutzer kann auf dem Display 62 eine Vielzahl von Arbeitsanweisungen zur Verfügung gestellt werden, die zur Abarbeitung in gewünschter Art und Weise aus dem Display 62 zusammengestellt werden können. Anhand dieser beliebig zusammenstellbaren Arbeitsanweisungen ist eine Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine 1 erzielbar.
Die Erfindung wurde unter Berücksichtigung spezieller Ausführungsformen beschrieben. Es ist jedoch denkbar, dass Abwandlungen und Änderungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

- DE 10047211 A1 [0003]

Zitierte Nicht-Patentliteratur

- „Pattern Placement Metrology for Mask maging" von Frau Dr. Carola Bläsing verwiesen. Der Vortrag wurde gehalten anlässlich der Tagung Semicon, Edjucation Program in Genf am 31. März. 1998 [0003]

Claims

Koordinaten-Messmaschine, dadurch gekennzeichnet, dass der Koordinaten-Messmaschine eine Einrichtung zum automatischen Orientieren eines Substrats zugeordnet ist, dass der Koordinaten-Messmaschine ferner eine Steuer- und Recheneinheit zugeordnet ist, so dass auf der Grundlage von mindestens zwei unterschiedlichen und automatisch eingestellten Orientierungen des Substrats eine Selbstkalibrierung durchführbar ist.
Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Übergabestation vorgesehen ist, wobei ein Roboter der Übergabestation zugeordnet ist, der das Substrat an die Einrichtung zum Orientieren übergibt und nach der Orientierung das Substrat aus der Einrichtung zum Orientieren entnimmt und der Koordinaten-Messmaschine in der neu eingestellten Orientierung zuführt.
Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein in X-Koordinatenrichtung und in Y-Koordinatenrichtung beweglicher Messtisch vorgesehen ist, auf dem das automatisch orientierte Substrat abgelegt ist, wobei eine Kamera vorgesehen ist, die mindestens ein Messfenster zur Vermessung einer Struktur ausgebildet hat.
Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine Beleuchtungseinrichtung zum Beleuchten des Substrats vorgesehen ist, wobei die Beleuchtungseinrichtung eine Auflichtanordnung und/oder eine Durchlichtanordnung umfasst.
Koordinaten-Messmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Koordinaten-Messmaschine, die Einrichtung zum Orientieren, die Beleuchtungseinrichtung, die Kamera, ein Magazin und mindestens eine Transporteinrichtung in einer gemeinsamen Klimakammer angeordnet sind.
Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung zum Orientieren im Luftstrom der Klimakammer angeordnet ist.
Koordinate-Messmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Einrichtung zum Orientieren eine Beleuchtungseinrichtung und eine Kamera zugeordnet ist, die ein Bild des Substrats aufnimmt, aus dem sich die Orientierung ermitteln lässt.
Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Kamera eine Auswerteeinheit für eine Identifikation des Substrats umfasst.
Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Einrichtung zum Orientieren eine extra Aufnahmeeinheit für die Identifikation des Substrats zugeordnet ist.
Koordinaten-Messmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Einrichtung zum Orientieren ein Rechner zugeordnet ist, der eine vom Benutzer vorgegebene Orientierung des Substrats einstellt.
Koordinaten-Messmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Einrichtung zum Orientieren ein Rechner zugeordnet ist, der eine definierte nach einem vordefinierten Rezept bestimmte und vorgegebene Orientierung des Substrats einstellt.
Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 10 und 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Rechner für die Bildauswertung vorgesehen ist.
Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: – dass mindestens eine Struktur auf dem Substrat in einer ersten Orientierung des Substrats gemessen wird, – dass eine zweite Orientierung automatisch mit einer Einrichtung zum Orientieren eingestellt wird, – dass die mindestens eine Struktur auf dem Substrat in der zweiten Orientierung an der gleichen Stelle wie bei der ersten Messung gemessen wird, und – dass die aus den unterschiedlichen Orientierungen der Struktur gewonnenen Datensätze zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine herangezogen werden.
Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Datensätze zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine automatisch verrechnet werden.
Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Datensätze in einem Rechner abgespeichert werden.
Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass durch eine Ausgabe angezeigt wird, wenn das Ergebnis der Kalibration innerhalb eines festgelegten Toleranzbereichs liegt.
Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Toleranzbereich einen einstelligen nm-Bereich oder sub nm-Bereich umfasst.
Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Kalibrierung in definierten Zeitabständen automatisch durchgeführt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Kalibrierung auf Benutzeranforderung durchgeführt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass dem Benutzer eine Vielzahl von Arbeitsanweisungen zur Verfügung gestellt werden, die zur Abarbeitung in gewünschter Art und Weise zusammengestellt werden können, um eine Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine zu erzielen.