DE102007043452B4 - Verfahren zur Herstellung eines Bildsensors - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines Bildsensors Download PDFInfo
- Publication number
- DE102007043452B4 DE102007043452B4 DE102007043452A DE102007043452A DE102007043452B4 DE 102007043452 B4 DE102007043452 B4 DE 102007043452B4 DE 102007043452 A DE102007043452 A DE 102007043452A DE 102007043452 A DE102007043452 A DE 102007043452A DE 102007043452 B4 DE102007043452 B4 DE 102007043452B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- forming
- oxide layer
- microlens array
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 23
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 15
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims abstract description 14
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012858 packaging process Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical class [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000035876 healing Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002829 nitrogen Chemical class 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L27/14627—Microlenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14621—Colour filter arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14685—Process for coatings or optical elements
Abstract
Verfahren zur Herstellung eines Bildsensors, wobei das Verfahren umfasst: Ausbilden einer unteren Struktur (11) mit einer Fotodiode und einer Verbindung; Ausbilden einer Passivierungsschicht (15) auf der unteren Struktur (11); Ausbilden einer Farbfilteranordnung (21) auf der Passivierungsschicht (15); Ausbilden einer Mikrolinsenanordnung (23) auf der Farbfilteranordnung (21); Ausbilden einer Niedertemperaturoxid-(LTO)-Schicht (25) auf der Mikrolinsenanordnung (23); und Freilegen eines Pad-Bereichs (13) auf der unteren Struktur (11) durch Ätzen der Niedertemperaturoxidschicht (25) und der Passivierungsschicht (15), wobei das Ausbilden der Passivierungsschicht (15) umfasst: Ausbilden einer Oxidschicht (15) auf der unteren Struktur (11); Ausbilden einer Nitridschicht (17) auf der Oxidschicht (15); Ausheilen der Nitridschicht (17) in einer reduzierenden Atmosphäre; Freilegen der Oxidschicht (15) durch Entfernen der Nitridschicht (17); und Ausbilden einer Schicht aus wärmehärtendem Harz (19) auf der freigelegten Oxidschicht (15), auf der die Farbfilteranordnung (21) angeordnet wird.
Description
- HINTERGRUND
- Ausführungsformen der Erfindung betreffen ein Verfahren zur Herstellung eines Bildsensors.
- Ein Bildsensor ist ein Halbleiterbauelement, das ein optisches Bild in elektrische Signale umwandelt. Solch ein Bildsensor umfasst eine Mikrolinsenanordnung, welche einfallendes Licht auf eine Fotodiode lenkt.
- Ein Faktor, den es bei der Herstellung eines Bildsensors zu klären gilt, ist die Steigerung einer Rate (z. B. die Empfindlichkeit) der Umwandlung einfallenden Lichts in elektrische Signale. Entwicklung und Forschung werden betrieben, um eine Null-Lücke zu verwirklichen, bei der es zwischen aneinander angrenzenden Linsen in der Mikrolinsenanordnung keine Lücke gibt.
- Allerdings kann es bei einem Verfahren zur Herstellung eines CMOS-Bildsensors aufgrund der Spannungsdifferenz zwischen Schichten des Pads und/oder Schichten über dem Pad zum Ablösen der Deckschicht in einem Pad-Öffnungsbereich kommen, dessen Pad für die Signalverbindung mit externen Signalleitungen dient. Ferner können in einem Prozess zum Schleifen der Waferrückseite, in einem Packaging-Prozess und Ähnlichem von der Fotolackschicht und Ähnlichem stammende Polymerpartikel erzeugt werden und an der Mikrolinsenanordnung anhaften. Daher kann die Empfindlichkeit eines Bildsensors gemindert und die Ausbeute aufgrund der Schwierigkeit des Reinigens der Mikrolinsenanordnung gesenkt werden.
- In der
US 2005/0090035 A1 - In der
US 4 600 833 A ist ein Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung beschrieben, bei der die Farbfilteranordnung auf einer transparenten Glasplatte separat von den Fotoelementen hergestellt wird. Die Fotoelemente werden mit einer Harzschicht bedeckt, so dass anschließend fotosensitive Elemente und Filteranordnung miteinander gebondet werden können. - ZUSAMMENFASSUNG
- Eine Ausführungsform stellt ein Verfahren zur Herstellung eines Bildsensors bereit, wobei das Verfahren umfasst: Ausbilden einer unteren Struktur mit einer Fotodiode und einer Verbindung; Ausbilden einer Passivierungsschicht auf der unteren Struktur; Ausbilden einer Farbfilteranordnung auf der Passivierungsschicht; Ausbilden einer Mikrolinsenanordnung auf der Farbfilteranordnung; Ausbilden einer Niedertemperaturoxid-(LTO)-Schicht auf der Mikrolinsenanordnung und Freilegen eines Pad-Bereichs auf der unteren Struktur durch Ätzen der Niedertemperaturoxidschicht und der Passivierungsschicht, wobei das Ausbilden der Passivierungsschicht umfasst: Ausbilden einer Oxidschicht auf der unteren Struktur; Ausbilden einer Nitridschicht auf der Oxidschicht; Ausheilen der Nitridschicht in einer reduzierenden Atmosphäre; Freilegen der Oxidschicht durch Entfernen der Nitridschicht; und Ausbilden einer Schicht aus wärmehärtendem Harz auf der freigelegten Oxidschicht, auf der die Farbfilteranordnung angeordnet wird.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
-
1 bis6 sind Querschnittsansichten, die in einem beispielhaften Verfahren zur Herstellung eines Bildsensors ausgebildete Strukturen zeigen. - DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
- In der nachstehenden Beschreibung versteht es sich, dass, wenn von einer Schicht (oder einem Film) gesagt wird, dass sie ”auf/über” einer anderen Schicht oder einem anderen Substrat ist, sich diese Schicht unmittelbar auf einer anderen Schicht oder einem anderen Substrat befinden kann oder auch Zwischenschichten vorhanden sein können. Ferner versteht es sich, dass, wenn von einer Schicht gesagt wird, dass sie ”unter/unterhalb” einer anderen Schicht ist, sich diese Schicht unmittelbar unter einer anderen Schicht befinden kann oder auch eine oder mehrere Zwischenschichten vorhanden sein können. Des Weiteren versteht es sich, dass, wenn von einer Schicht gesagt wird, dass sie ”zwischen” zwei Schichten ist, es sich um die einzige Schicht zwischen den zwei Schichten handeln kann oder außerdem eine oder mehrere Zwischenschichten vorhanden sein können. Daher muss die Bedeutung hiervon auf Grundlage des Umfangs der Ausführungsform bestimmt werden.
- Nachstehend werden verschiedene Ausführungsformen der Erfindung mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen im Einzelnen beschrieben.
- Ein beispielhaftes Verfahren zur Herstellung eines Bildsensors wird mit Bezug auf
1 bis6 beschrieben.1 bis6 sind Querschnittsansichten, die in dem beispielhaften Verfahren zur Herstellung des Bildsensors ausgebildete Strukturen zeigen. - Gemäß einer Ausführungsform, wie sie in
1 dargestellt ist, ist eine Passivierungsschicht15 auf einer unteren Struktur11 ausgebildet, die eine Fotodiode (nicht dargestellt) und eine Verbindung (nicht dargestellt) umfasst. Ein Pad-Bereich13 , der für die Signalverbindung von der die Fotodiode enthaltenden Bildpunkteinheit mit einer externen Signalleitung dient, ist auf der unteren Struktur11 ausgebildet und die Passivierungsschicht15 ist auf dem Pad-Bereich13 ausgebildet. Die Passivierungsschicht kann eine Oxidschicht15 und wahlweise eine Nitridschicht17 umfassen. Beim Ausbilden der Passivierungsschicht kann die Oxidschicht15 auf der unteren Struktur11 ausgebildet werden (z. B. durch chemische Gasphasenabscheidung [CVD], die plasmaaktiviert [PE-CVD] oder mit hochdichtem Plasma unterstützt [HDP-CVD] sein kann, aus siliziumhaltigen Ausgangsstoffen wie Silan oder Tetraethylorthosilikat (TEOS) und sauerstoffhaltigen Ausgangsstoffen wie Disauerstoff und/oder Ozon) und die Nitridschicht17 kann auf der Oxidschicht15 ausgebildet werden (z. B. durch CVD [z. B. PE-CVD] aus siliziumhaltigen Ausgangsstoffen wie Silan und stickstoffhaltigen Ausgangsstoffen wie Ammoniak oder Distickstoff [letzterer kann darüber hinaus Wasserstoff enthalten]). - Wenn die Nitridschicht
17 als die Passivierungsschicht ausgebildet wird, kann die Nitridschicht17 einer Ausheilung in einer reduzierenden Atmosphäre (die z. B. H2, Ammoniak, Silan, andere hydrierte stickstoff- und/oder siliziumhaltige Spezies wie Aminosilane und Silylamine, Kombinationen hiervon oder Gemische hiervon mit einem Inertgas wie Distickstoff, Helium, Neon, Argon usw. enthält) unterzogen werden, so dass Defekte in der Nitridschicht17 behoben und Eigenschaften des Bildsensors in einer schwach beleuchteten Umgebung verbessert werden können. Die Nitridschicht17 kann Material auf der Basis von SiN umfassen. Zum Beispiel können ungesättigte Bindungen in der Nitridschicht17 durch den Ausheilungsprozess beseitigt werden. Ferner können bei der Ausführung des Ausheilungsprozesses Risse in der Oxidschicht15 aufgrund von Spannung gegenüber einer anschließend ausgebildeten LTO-Schicht reduziert oder verhindert werden. - Wie in
2 dargestellt, kann die Nitridschicht17 entfernt werden, so dass die Oxidschicht15 freiliegt. Beim Entfernen der Nitridschicht17 kann die Nitridschicht17 durch einen Rückätzprozess oder einen chemisch-mechanischen Polierprozess (CMP) entfernt werden. Alternativ kann die Nitridschicht17 durch Nassätzen entfernt werden (z. B. mit warmer oder heißer wässriger Phosphorsäure). Obgleich die Nitridschicht17 entfernt wird, liegt der Pad-Bereich13 nicht frei und wird durch die Oxidschicht15 geschützt, da die Oxidschicht15 auf dem Pad-Bereich ausgebildet wurde. - Wie in
3 dargestellt, wird eine Schicht aus wärmehärtendem Harz19 auf der freiliegenden Oxidschicht15 ausgebildet, indem im Allgemeinen eine Lösung des wärmehärtenden Harzes im Rotationsbeschichtungsverfahren auf die Oxidschicht15 aufgebracht wird und dann das wärmehärtende Harz getrocknet und durch Erwärmung ausgehärtet wird (bei einer Temperatur von 100 bis 400°C, wahlweise zum Teil oder vollständig im Vakuum oder in einem Inertgasstrom, und möglicherweise in Phasen wie zum Beispiel einer Trockenphase, die ein Erwärmen auf eine Temperatur von 100 bis 150°C für eine Zeitdauer beinhaltet, die ausreicht, um das gesamte Lösungsmittel aus der Lösung des wärmehärtenden Harzes zu entfernen, gefolgt von einer Härtungsphase, die ein Erwärmen auf eine Temperatur von 200 bis 350°C für eine Zeitdauer beinhaltet, die ausreicht, um das wärmehärtende Harz auszuhärten). Dementsprechend können Defekte in der Oxidschicht15 reduziert oder verhindert werden. Ferner können Hafteigenschaften mit einer darauf auszubildenden Schicht verbessert werden. - Nach dem Ausbilden der Schicht aus wärmehärtendem Harz
19 wird eine Farbfilteranordnung21 auf der Schicht aus wärmehärtendem Harz19 ausgebildet. Die Farbfilteranordnung kann eine Anordnung aus roten, grünen und blauen Filtern (einen so genannten ”RGB” Farbfilter) oder aus gelben, cyanfarbenen und magentafarbenen Filtern (einen so genannten ”YCM” Farbfilter) umfassen. Im Allgemeinen umfassen die Farbfilter in der Anordnung21 ein herkömmliches Fotolackmaterial und einen Farbstoff, der vorbestimmte Wellenlängen des Lichts entsprechend der Farbe des Filters absorbiert. - Dann wird eine Mikrolinsenanordnung
23 auf der Farbfilteranordnung21 ausgebildet. Beispielsweise kann die Mikrolinsenanordnung23 durch Prozesse zum Strukturieren und Wärmebehandeln einer Fotolackschicht ausgebildet werden. Ferner kann die Mikrolinsenanordnung23 auch nach dem Ausbilden einer Planarisierungsschicht (die z. B. eine Oxid- und/oder Nitridschicht, wie hier beschrieben, umfasst) auf der Farbfilteranordnung21 ausgebildet werden. - Nach dem Ausbilden der Mikrolinsenanordnung
23 kann ferner ein Ausheiz-(oder Reflow-)Prozess für die resultierende Struktur ausgeführt werden. Ein derartiger Ausheizprozess kann beispielsweise bei einer Temperatur von 150°C bis 180°C für die Dauer von 2 bis 3 Stunden ausgeführt werden. Ein derartiger Ausheizprozess kann in einem Umluftofen ausgeführt werden. - Wie in
4 dargestellt, ist eine Niedertemperaturoxid-(LTO)-Schicht25 auf der Mikrolinsenanordnung23 ausgebildet. Die LTO-Schicht25 kann über dem Pad-Bereich13 ausgebildet sein. In einem solchen Fall sind die Oxidschicht15 , die Schicht aus wärmehärtendem Harz19 und die LTO-Schicht25 auf den Pad-Bereich13 geschichtet. Die LTO-Schicht25 kann eine Dicke von 300 nm (3000 Å) bis 800 nm (8000 Å) aufweisen. - Ferner ist die LTO-Schicht
25 konform längs der Krümmung der Mikrolinsenanordnung23 ausgebildet, so dass die LTO-Schicht25 die Form einer Mikrolinsenanordnung und vorzugsweise eine Null-Lücke aufweisen kann. In der Mikrolinsenanordnung23 kann es eine Lücke zwischen aneinander angrenzenden Linsen geben. Doch kann die LTO-Schicht25 eine Null-Lücke aufweisen, bei der es keine Lücke zwischen aneinander längs horizontaler und/oder vertikaler Achsen angrenzenden Linsenbereichen gibt (es kann, und oft ist dem so, eine Lücke entlang einer diagonalen Achse der Anordnung geben). Die LTO-Schicht25 kann unter Verwendung eines PECVD-Verfahrens bei einer Temperatur von 200°C oder darunter ausgebildet werden. Beispielsweise kann die LTO-Schicht25 aus einem siliziumhaltigen Ausgangsstoff wie Silan oder TEOS und einem Sauerstoff-Ausgangsstoff wie Disauerstoff und/oder Ozon unter Verwendung des PECVD-Verfahrens bei einer Temperatur von 150°C bis 200°C ausgebildet werden. - Da die LTO-Schicht
25 wie oben beschrieben bei einer relativ niedrigen Temperatur ausgebildet wird, kann eine Verschlechterung der Farbfilteranordnung21 und der Mikrolinsenanordnung23 verhindert werden. Des Weiteren können nach dem Ausbilden der LTO-Schicht25 Polymerpartikel daran gehindert werden, beim anschließenden Packaging-Prozess und Ähnlichem an der Mikrolinsenanordnung23 anzuhaften. - Wie in
5 dargestellt, werden die LTO-Schicht25 , die Schicht aus wärmehärtendem Harz19 und die Oxidschicht15 so geätzt, dass der Pad-Bereich13 auf der unteren Struktur11 freiliegt. Beispielsweise wird nach dem Ausbilden einer Fotolackstruktur27 auf der LTO-Schicht25 die Fotolackstruktur27 so geätzt, dass der Pad-Bereich13 freiliegen kann. - Gemäß dem Verfahren der oben beschriebenen Ausführungsform kann der Pad-Bereich
13 durch einmalige Ausführung eines Pad-Öffnungsprozesses in einfacher Weise freigelegt werden. Dann wird die Fotolackstruktur27 entfernt, so dass der Bildsensor gemäß der Ausführungsform wie in6 gezeigt hergestellt werden kann. - Der Bildsensor gemäß verschiedenen Ausführungsformen umfasst die untere Struktur
11 mit der Fotodiode und der Verbindung sowie die Oxidschicht15 (Passivierungsschicht) auf der unteren Struktur11 . Der Pad-Bereich13 ist auf der unteren Struktur11 ausgebildet und dient für die Signalverbindung vom CMOS-Bildsensor zu einem externen Signalpfad (z. B. Bonddraht, Kugelkontaktierung und/oder Leiterbahn auf einer Leiterplatte). - Der Bildsensor gemäß verschiedenen Ausführungsformen umfasst die Schicht aus wärmehärtendem Harz
19 auf der Oxidschicht15 und die Farbfilteranordnung21 auf der Schicht aus wärmehärtendem Harz19 . - Ferner umfasst der Bildsensor gemäß verschiedenen Ausführungsformen der Mikrolinsenanordnung
23 auf der Farbfilteranordnung21 und die LTO-Schicht25 auf der Mikrolinsenanordnung23 . Die LTO-Schicht25 ist konform längs der Krümmung der Mikrolinsenanordnung23 ausgebildet, so dass die LTO-Schicht25 die Form einer Mikrolinsenanordnung und vorzugsweise eine Null-Lücke haben kann. Das heißt, dass es in der Mikrolinsenanordnung23 eine Lücke zwischen aneinander angrenzenden Linsen geben kann. Doch kann die LTO-Schicht25 eine Form mit einer Null-Lücke haben, bei der es keine Lücke zwischen aneinander angrenzenden Linsenbereichen gibt. Die LTO-Schicht25 kann eine Dicke von 300 nm (3000 Å) bis 800 nm (8000 Å) haben und die Dicke der LTO-Schicht25 kann sich in Abhängigkeit vom Design des Bildsensors oder der Gestaltung der Null-Lücke ändern. - Gemäß den oben beschriebenen Ausführungsformen kann verhindert werden, dass es zu einem Ablösen der LTO-Schicht im Pad-Bereich aufgrund einer Spannungsdifferenz zwischen den Schichten des Pad-Bereichs oder über dem Pad-Bereich kommt. Ferner können in einem Prozess zum Schleifen der Waferrückseite, in einem Packaging-Prozess und Ähnlichem von einer Fotolackschicht und Ähnlichem stammende Polymerpartikel daran gehindert werden, an der zum Lichtsammeln ausgebildeten Mikrolinsenanordnung anzuhaften. Dementsprechend können die Empfindlichkeit des Bildsensors maximiert und die Ausbeute verbessert werden.
Claims (7)
- Verfahren zur Herstellung eines Bildsensors, wobei das Verfahren umfasst: Ausbilden einer unteren Struktur (
11 ) mit einer Fotodiode und einer Verbindung; Ausbilden einer Passivierungsschicht (15 ) auf der unteren Struktur (11 ); Ausbilden einer Farbfilteranordnung (21 ) auf der Passivierungsschicht (15 ); Ausbilden einer Mikrolinsenanordnung (23 ) auf der Farbfilteranordnung (21 ); Ausbilden einer Niedertemperaturoxid-(LTO)-Schicht (25 ) auf der Mikrolinsenanordnung (23 ); und Freilegen eines Pad-Bereichs (13 ) auf der unteren Struktur (11 ) durch Ätzen der Niedertemperaturoxidschicht (25 ) und der Passivierungsschicht (15 ), wobei das Ausbilden der Passivierungsschicht (15 ) umfasst: Ausbilden einer Oxidschicht (15 ) auf der unteren Struktur (11 ); Ausbilden einer Nitridschicht (17 ) auf der Oxidschicht (15 ); Ausheilen der Nitridschicht (17 ) in einer reduzierenden Atmosphäre; Freilegen der Oxidschicht (15 ) durch Entfernen der Nitridschicht (17 ); und Ausbilden einer Schicht aus wärmehärtendem Harz (19 ) auf der freigelegten Oxidschicht (15 ), auf der die Farbfilteranordnung (21 ) angeordnet wird. - Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Nitridschicht (
17 ) unter Verwendung eines Rückätzverfahrens entfernt wird. - Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die Niedertemperaturoxidschicht (
25 ) eine Dicke von 300 nm bis 800 nm aufweist. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Niedertemperaturoxidschicht (
25 ) derart konform auf der Mikrolinsenanordnung (23 ) aufgebracht wird, dass es eine Null-Lücke aufweist. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem das Ausbilden der Niedertemperaturoxidschicht (
25 ) das Aufbringen der Niedertemperaturoxidschicht (25 ) durch plasmaaktivierte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) umfasst. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem das Ausbilden der Mikrolinsenanordnung (
23 ) das Erwärmen einer resultierenden Struktur auf eine Temperatur von 150°C bis 180°C für die Dauer von 2 bis 3 Stunden nach dem Strukturieren einer Mikrolinsenmaterialschicht umfasst. - Verfahren nach Anspruch 6, bei dem das Erwärmen in einem Umluftofen ausgeführt wird.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060093575A KR100812078B1 (ko) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 이미지 센서 및 그 제조방법 |
KR10-2006-0093575 | 2006-09-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102007043452A1 DE102007043452A1 (de) | 2008-04-03 |
DE102007043452B4 true DE102007043452B4 (de) | 2013-06-27 |
Family
ID=39134656
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102007043452A Expired - Fee Related DE102007043452B4 (de) | 2006-09-26 | 2007-09-12 | Verfahren zur Herstellung eines Bildsensors |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7695995B2 (de) |
JP (1) | JP2008085335A (de) |
KR (1) | KR100812078B1 (de) |
CN (1) | CN100559603C (de) |
DE (1) | DE102007043452B4 (de) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100881458B1 (ko) * | 2007-02-23 | 2009-02-06 | 삼성전자주식회사 | 마이크로렌즈 보호패턴을 갖는 촬상소자, 카메라모듈, 및그 제조방법 |
JPWO2009087836A1 (ja) * | 2008-01-11 | 2011-05-26 | コニカミノルタオプト株式会社 | 光学素子の製造方法、光学素子、電子機器の製造方法及び電子機器 |
US7811840B2 (en) * | 2008-05-28 | 2010-10-12 | Micron Technology, Inc. | Diodes, and methods of forming diodes |
JP5185019B2 (ja) * | 2008-08-25 | 2013-04-17 | パナソニック株式会社 | 半導体装置及びそれを用いた電子機器 |
JP5453947B2 (ja) * | 2009-06-17 | 2014-03-26 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子の製造方法 |
FR2947952B1 (fr) * | 2009-07-07 | 2011-11-25 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif photo-detecteur et procede de realisation de dispositif photo-detecteur |
KR100976813B1 (ko) * | 2010-04-23 | 2010-08-20 | 옵토팩 주식회사 | 전자 소자 패키지 및 그 제조 방법 |
JP2013077740A (ja) | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Sony Corp | 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、及び、電子機器 |
EP3030870B1 (de) | 2013-08-07 | 2021-04-07 | Wayne State University | Tragbares mikro-raman-detektionsinstrument und verfahren zur detektion |
KR102149772B1 (ko) * | 2013-11-14 | 2020-08-31 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 이를 제조하는 방법 |
KR102055840B1 (ko) * | 2014-02-20 | 2019-12-17 | 삼성전자 주식회사 | 이미지 센서 패키지 |
US9324755B2 (en) * | 2014-05-05 | 2016-04-26 | Semiconductor Components Industries, Llc | Image sensors with reduced stack height |
US9343493B1 (en) * | 2015-02-03 | 2016-05-17 | United Microelectronics Corporation | Image sensor |
WO2017052905A1 (en) * | 2015-09-22 | 2017-03-30 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for selective deposition |
CN108227050B (zh) * | 2016-12-15 | 2020-11-13 | 日月光半导体(韩国)有限公司 | 光学芯片及其制造方法 |
CN108511474A (zh) * | 2018-04-04 | 2018-09-07 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 一种图像传感器的器件邻近结构的制备方法 |
US11698304B2 (en) | 2019-02-15 | 2023-07-11 | Wayne State University | Apparatuses, systems, and methods for detecting materials based on Raman spectroscopy |
CN111916393B (zh) * | 2020-08-11 | 2022-04-15 | 广州粤芯半导体技术有限公司 | 半导体器件的制备方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4600833A (en) * | 1982-03-29 | 1986-07-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Solid state image sensing device with a color filter |
US20050090035A1 (en) * | 2003-10-24 | 2005-04-28 | Mangnachip Semiconductor, Ltd. | Method for fabricating CMOS image sensor protecting low temperature oxide delamination |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3166220B2 (ja) * | 1991-08-09 | 2001-05-14 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置 |
JP3234691B2 (ja) * | 1993-10-21 | 2001-12-04 | 富士写真フイルム株式会社 | カラーフィルターの製造方法 |
JPH07120613A (ja) * | 1993-10-26 | 1995-05-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
JP2000164836A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-06-16 | Nikon Corp | 固体撮像装置等の半導体装置の製造方法 |
KR100533166B1 (ko) * | 2000-08-18 | 2005-12-02 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 마이크로렌즈 보호용 저온산화막을 갖는 씨모스이미지센서및 그 제조방법 |
KR20030040865A (ko) * | 2001-11-16 | 2003-05-23 | 주식회사 하이닉스반도체 | 암전류를 감소시키기 위한 이미지센서의 제조 방법 |
TW513809B (en) | 2002-02-07 | 2002-12-11 | United Microelectronics Corp | Method of fabricating an image sensor |
JP2003332548A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-21 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2003332547A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-21 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
KR20050079495A (ko) * | 2004-02-06 | 2005-08-10 | 삼성전자주식회사 | 이미지 소자의 패드 형성 방법 |
JP4561365B2 (ja) * | 2005-01-07 | 2010-10-13 | 凸版印刷株式会社 | マイクロレンズの製造方法及び固体撮像素子の製造方法 |
-
2006
- 2006-09-26 KR KR1020060093575A patent/KR100812078B1/ko active IP Right Grant
-
2007
- 2007-09-10 US US11/900,319 patent/US7695995B2/en active Active
- 2007-09-12 DE DE102007043452A patent/DE102007043452B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2007-09-25 JP JP2007246708A patent/JP2008085335A/ja active Pending
- 2007-09-26 CN CNB2007101543556A patent/CN100559603C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4600833A (en) * | 1982-03-29 | 1986-07-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Solid state image sensing device with a color filter |
US20050090035A1 (en) * | 2003-10-24 | 2005-04-28 | Mangnachip Semiconductor, Ltd. | Method for fabricating CMOS image sensor protecting low temperature oxide delamination |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100812078B1 (ko) | 2008-03-07 |
CN100559603C (zh) | 2009-11-11 |
JP2008085335A (ja) | 2008-04-10 |
US20080073736A1 (en) | 2008-03-27 |
DE102007043452A1 (de) | 2008-04-03 |
US7695995B2 (en) | 2010-04-13 |
CN101154676A (zh) | 2008-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102007043452B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Bildsensors | |
CN1901161B (zh) | 连续电镀制作线路组件的方法及线路组件结构 | |
US9985065B2 (en) | Solid-state imaging device | |
US7666705B2 (en) | Image sensor and method of manufacturing the same | |
US7288428B2 (en) | Solid state image pickup device and manufacturing method thereof and semiconductor integrated circuit device and manufacturing method thereof | |
US6632700B1 (en) | Method to form a color image sensor cell while protecting the bonding pad structure from damage | |
US7678604B2 (en) | Method for manufacturing CMOS image sensor | |
US7282696B2 (en) | Photoelectric converter device and manufacturing method thereof | |
US20090124037A1 (en) | Method of preventing color striation in fabricating process of image sensor and fabricating process of image sensor | |
JPH09510797A (ja) | アクティブ・マトリックス・ピクセル電極の製造方法 | |
DE102010040275A1 (de) | Antireflex-Bildsensor und Verfahren zur Herstellung desselben | |
DE112008001588B4 (de) | Verfahren zum herstellen einer bildaufnahmevorrichtung | |
CN107170766B (zh) | 光栅的制作方法以及背照式cmos图像传感器 | |
EP3376542A1 (de) | Festkörperabbildungselement und verfahren zur herstellung davon | |
US6242730B1 (en) | Semiconductor color image sensor | |
CN101971235B (zh) | 显示装置用基板、其制造方法、显示装置、多层配线的形成方法以及多层配线基板 | |
CN101118379A (zh) | Cmos图像传感器的微透镜及其制造方法 | |
DE102007060012A1 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Bildsensors | |
US6916680B2 (en) | Method for fabricating image sensor | |
DE102007059622A1 (de) | Bildsensor und Herstellungsverfahren dafür | |
US20050181522A1 (en) | Solid-state imaging device and method for producing the same | |
DE102008051583A1 (de) | CMOS-Bildsensor und Verfahren zu dessen Herstellung | |
US7972891B2 (en) | Image sensor and method for manufacturing the same | |
CN100536158C (zh) | 图像传感器及其制造方法 | |
JP2000323691A (ja) | 半導体イメージセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |
Effective date: 20130928 |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20140401 |