DE1521564B2 - Verdampfertiegel für Metalle - Google Patents

Verdampfertiegel für Metalle

Info

Publication number
DE1521564B2
DE1521564B2 DE1521564A DE1521564A DE1521564B2 DE 1521564 B2 DE1521564 B2 DE 1521564B2 DE 1521564 A DE1521564 A DE 1521564A DE 1521564 A DE1521564 A DE 1521564A DE 1521564 B2 DE1521564 B2 DE 1521564B2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
wall
crucible
container
vessel
metals
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE1521564A
Other languages
English (en)
Other versions
DE1521564C3 (de
DE1521564A1 (de
Inventor
Joseph Keener Manhattan Beach Calif. Swindt (V.St.A.)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
United States Steel Corp
Original Assignee
United States Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by United States Steel Corp filed Critical United States Steel Corp
Publication of DE1521564A1 publication Critical patent/DE1521564A1/de
Publication of DE1521564B2 publication Critical patent/DE1521564B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE1521564C3 publication Critical patent/DE1521564C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/26Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/243Crucibles for source material
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B14/00Crucible or pot furnaces
    • F27B14/08Details peculiar to crucible or pot furnaces
    • F27B14/10Crucibles
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D1/00Casings; Linings; Walls; Roofs
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S264/00Plastic and nonmetallic article shaping or treating: processes
    • Y10S264/57Processes of forming layered products

Description

5. Verdampfertiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die !compressible Isoliermaterialfüllung (13, 14) aus Aluminiumsilikatfasern besteht.
1. Verdampfertiegel für Metalle, mit einem aus
hitzebeständigem Material bestehenden, das geschmolzene Metall aufnehmenden Behälter, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter
(10) von einem doppelwandigen Wärmeisoliergefäß (12) umgeben ist, zwischen dessen Innenwand (12 a) und Außenwand (12 b) sich eine io der Temperaturgradient des doppelwandigen Wärkompressible Isoliermaterialfüllung (13, 14) be- meisoliergefäßes so wählen, daß bei einer Rißbildung findet. im Schalter die austretende Metallschmelze auf der
2. Verdampfertiegel nach Anspruch 1, dadurch Außenwand des doppelwandigen Isoliergefäßes ergekennzeichnet, daß der Temperaturgradient des starrt. Jedes Leck wird somit durch das erstarrende Wärmeisoliergefäßes (12) so gewählt ist, daß bei 15 Material selbst verstopft, wodurch die Weiterbenuteiner Rißbildung im Behälter (10) die austretende zung des Tiegels ermöglicht wird. Die Erfindung Metallschmelze an. der Außenwand des doppel- wird nachfolgend an Hand des in der Zeichnung darwandigen Isoliergefäßes erstarrt. gestellten Ausführungsbeispieles, das eine perspekti-
3. Verdampfertiegel nach Anspruch 1 oder 2, vische Querschnittsansicht eines Verdampfertiegels dadurch gekennzeichnet, daß das Wärmeisolier- 20 zeigt, näher erläutert.
gefäß (12) von einem Metallmantel (15) umgeben Der Innenbehälter 10 ist so bemessen, daß er eine
ist. ■ bestimmte Menge geschmolzenen Metalls 11 aufneh-
4. Verdampfertiegel nach Anspruch 3, dadurch men kann, das verdampft werden soll. Die äußere gekennzeichnet, daß der Metallmantel (15) von Form des Verdampfungstiegels ist an sich beliebig, dem Wärmeisoliergefäß (12) durch eine Isolier- 25 gewöhnlich aber rechteckig. Der Tiegel besteht aus pulverschicht (16) getrennt ist. einem hochhitzebeständigen Material, beispielsweise
Bornitrid, Aluminiumnitrid oder Siliziumnitrid, das aber beim Erwärmen und Abkühlen nicht unbedingt von jeglicher Rißbildung frei zu sein braucht.
30 Der Behälter 10 befindet sich innerhalb eines doppelwandigen Wärmeisoliergefäßes 12, zwischen des-
sen Innenwand 12 α und Außenwand 12 b eine kom-
pressible Isoliermaterialfüllung 13, 14 angeordnet ist.
Die Wände des Wärmeisoliergefäßes 12 bestehen
35 vorzugsweise aus einem gießfähigen Isoliermaterial
Die Erfindung betrifft einen Verdampfertiegel für mit hohem Aluminiumgehalt. Die Isoliermaterialfül-Metalle, mit einem aus hitzebeständigem Material lung 13 besteht aus einem Material, das sich beim bestehenden, das geschmolzene Metall aufnehmen- Ausdehnen der Innenwand 12 α auf Grund der Erden Behälter, wärmung durch die Metallschmelze zusammenpreßt Bei der Beschichtung von Materialien mit Metall 40 oder verdichtet.■■·■ Ein solches · Material bilden beidurch Bedampfung unter Vakuum ist ein Verdamp- spielsweise Aluminiumsilikatfasern, hitzebeständige fertiegel zur Aufbewahrung des geschmolzenen Be- Steine oder brüchige Formkörper. Dadurch werden Schichtungsmetalls, beispielsweise Aluminium, erfor- beim Ausdehnen der Innenwand 12 α auf die Außenderlich, während die Metalloberfläche erhitzt wird, wand 12 & keine wesentlichen Druckkräfte übertrabeispielsweise mit Hilfe eines Lichtbogens, um eine 45 gen. Der Bodenbereich 14 der Isoliermaterialfüllung hohe Verdampfungsgeschwiridigkeit zu erzielen. kann aus einem Granulat, beispielsweise Aluminium-
Solche Verdampfertiegel müssen den hohen Tem- pulver, bestehen.
peraturbeanspruchungen standhalten, denen sie wäh- Der Verdampfungstiegel wird von einem Metall-
rend des Bedampfungsvofganges ausgesetzt sind. mantel 15 umgeben, der von der Außenwand 12 6 Viele in anderer Hinsicht geeignete, hitzebeständige 5° mit Abstand getrennt ist: In diesem Zwischenraum Materialien sind diesen Beanspruchungen, die zu befindet sich eine weitere Schicht 16 Pulvermaterial, plötzlichen Materialdehnungen und -kontraktionen
führen, nicht gewachsen und gehen daher zu Bruch.
Andere Materialien wiederum werden von der Metallschmelze angegriffen. Gekühlte Verdampfungstie- 55
gel weisen aber in der Regel einen zu geringen thermischen Wirkungsgrad auf.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, einen Verdampfertiegel der genannten Art zu schaffen, der so
gebaut ist, daß sich sein Material zyklisch erwärmen 60 kann. Andererseits läßt sich der Temperaturgradient und abkühlen und die danach verursachte Expansion des doppelwandigen Wärmeisoliergefäßes so wählen, und Kontraktion aushalten kann und darüber hinaus daß bei einer Rißbildung im Behälter die möglicherauch für den Fall eines Materialrisses ein Entweichen weise noch durch die Außenwand 12 b hindurchtregeschmolzenen Metalls verhindert, so daß ein konti- tende Metallschmelze auf der Außenwand erstarrt, nuierlicher Betrieb bei der Metallbedampfung auf- 65 Jedes Leck wird damit durch das erstarrende Materechterhalten werden kann. rial selbst verstopft, wodurch die Weiterbenutzung
Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß des Tiegels ermöglicht wird, der Behälter von einem doppelwandigen Wärmeiso- Des weiteren wirkt die auf der Außenseite der
beispielsweise Aluminiumpulver, das dem Material des Bodenabschnitts 14 der Isoliermaterialfüllung entsprechen kann.
Ein wesentliches Merkmal des hier beschriebenen Verdampfungstiegels besteht nun darin, daß bei einer Rißbildung im Behälter 10 die durch diesen Riß ausströmende Metallschmelze von den Wänden 12 a, 12 b des Wärmeisoliergefäßes 12 aufgefangen werden
Außenwand 12 & herrschende relativ niedrige Temperatur jeglicher Reaktion der Metallschmelze mit den Wandteilen des Tiegels entgegen. Der Maßstab für die Auswahl des Materials, aus dem der Behälter 10 gefertigt wird, ist deshalb im wesentlichen die Resistenz gegen chemische Reaktionen mit dem Schmelzmaterial und weniger die mögliche Rißbildung bei rascher Erwärmung und Abkühlung. Die ausdehnbare Schicht 13 zwischen den Wänden des Wärmeisoliergefäßes 12 ermöglicht eine Expansion und Kontraktion der Innenwand 12 a, die von der Außenwand 12 b unabhängig ist, wobei letztere für die Innenwand 12 a einen stabilen, hitzebeständigen Träger bildet. Die Isolierschicht 16 bildet für den Fall, daß wider Erwarten infolge von Rißbildung durch die Tiegelwand hindurchtretende Schmelze nicht vollständig auf der Außenwand des doppelwandigen Wärmeisoliergefäßes erstarrt, eine zusätzliche Sicherung dagegen, daß diese Schmelze mit dem Me-
o tallmantel 15 in Berührung kommt.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

  1. Patentansprüche:
    liergefäß umgeben ist, zwischen dessen Innenwand und Außenwand sich eine !compressible Isoliermaterialfüllung befindet.
    Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß 5 der Behälter von einem doppelwandigen Wärmeisoliergefäß umgeben ist, zwischen dessen Innenwand und Außenwand sich eine !compressible Isoliermaterialfüllung befindet.
    Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung läßt sich
DE1521564A 1965-03-12 1966-03-10 Verdampfertiegel f Ur Metalle Expired DE1521564C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US439238A US3345059A (en) 1965-03-12 1965-03-12 Crucible for holding molten metal

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1521564A1 DE1521564A1 (de) 1969-10-23
DE1521564B2 true DE1521564B2 (de) 1974-06-12
DE1521564C3 DE1521564C3 (de) 1975-01-23

Family

ID=23743882

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1521564A Expired DE1521564C3 (de) 1965-03-12 1966-03-10 Verdampfertiegel f Ur Metalle

Country Status (6)

Country Link
US (1) US3345059A (de)
BE (1) BE677752A (de)
DE (1) DE1521564C3 (de)
FR (1) FR1470946A (de)
GB (1) GB1098238A (de)
NL (1) NL6603129A (de)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3437328A (en) * 1967-04-13 1969-04-08 Air Reduction Powder crucibles
CH476272A (de) * 1967-05-12 1969-07-31 Sulzer Ag Verfahren zur Herstellung einer Auskleidung für Schmelzbehälter und -öfen
US3973076A (en) * 1973-06-07 1976-08-03 Lukens Steel Company Furnace for melting highly corrosive slag
JPS548448B2 (de) * 1973-07-30 1979-04-16
JPS5338282B2 (de) * 1973-12-19 1978-10-14
US3914527A (en) * 1974-03-28 1975-10-21 Wheeling Pittsburgh Steel Corp Lining for zinc pot induction heater
US4149705A (en) * 1977-06-08 1979-04-17 Caterpillar Tractor Co. Foundry ladle and method of making the same
JPS5418428A (en) * 1977-07-08 1979-02-10 Graenges Weda Ab Holding container
FR2451789A1 (fr) * 1979-03-22 1980-10-17 Daussan & Co Revetement thermiquement isolant pour recipients metallurgiques et procede s'y rapportant
ATE10876T1 (de) * 1980-10-01 1985-01-15 Ants Noemtak Gefaess fuer geschmolzenes metall sowie verfahren zu dessen herstellung.
JPS5781945A (en) * 1980-11-10 1982-05-22 Aikoo Kk Container for molten metal
US4367866A (en) * 1981-04-10 1983-01-11 Sunbeam Equipment Corporation Furnace adapted to contain molten metal
US4773852A (en) * 1985-06-11 1988-09-27 Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Pyrolytic boron nitride crucible and method for producing the same
FR2585273B1 (fr) * 1985-07-24 1988-05-13 Daussan & Co Revetement pour proteger l'interieur d'un recipient metallurgique et procede pour realiser ce revetement
GB8526669D0 (en) * 1985-10-30 1985-12-04 Micropore International Ltd Vessel
US5120029A (en) * 1988-02-19 1992-06-09 Durbin Robert J Linings for crucible furnaces and transfer vessels and method of applying same
US5158750A (en) * 1990-06-06 1992-10-27 Praxair S.T. Technology, Inc. Boron nitride crucible
US6245287B1 (en) 1998-03-24 2001-06-12 Nippon Crucible, Co., Ltd. Molten metal vessel and molten metal holding furnace
US7194197B1 (en) * 2000-03-16 2007-03-20 Global Solar Energy, Inc. Nozzle-based, vapor-phase, plume delivery structure for use in production of thin-film deposition layer
FR2807151B1 (fr) * 2000-03-30 2002-09-13 Novatherm Garnissage refractaire pour des fours contenant du metal en fusion
DE102006031244B4 (de) * 2006-07-06 2010-12-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zum Verdampfen eines Materials mittels eines Elektronenstrahls und zum Abscheiden des Dampfes auf ein Substrat
US8980008B2 (en) 2008-04-15 2015-03-17 Hanergy Hi-Tech Power (Hk) Limited Apparatus and methods for manufacturing thin-film solar cells
DE102009014891B4 (de) * 2009-03-25 2012-12-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zum Verdampfen eines Materials in einer Vakuumkammer
WO2011082179A1 (en) * 2009-12-28 2011-07-07 Global Solar Energy, Inc. Apparatus and methods of mixing and depositing thin film photovoltaic compositions
CN103430625B (zh) * 2011-03-15 2015-09-23 夏普株式会社 蒸镀装置、蒸镀方法和有机el显示装置的制造方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2557834A (en) * 1949-02-23 1951-06-19 Carborundum Co Refractory glass wool
US3079136A (en) * 1961-04-26 1963-02-26 Tyler S Soine Reusable reaction vessel
US3227431A (en) * 1961-11-22 1966-01-04 Nat Res Corp Crucible externally lined with filamentary carbon

Also Published As

Publication number Publication date
NL6603129A (de) 1966-09-13
DE1521564C3 (de) 1975-01-23
FR1470946A (fr) 1967-02-24
GB1098238A (en) 1968-01-10
BE677752A (de) 1966-09-12
US3345059A (en) 1967-10-03
DE1521564A1 (de) 1969-10-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1521564C3 (de) Verdampfertiegel f Ur Metalle
DE3725615C3 (de) Tauchpyrometer zum Messen hoher Temperaturen
DE3836392C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung rohrförmiger keramischer Körper
DE4404068C1 (de) Wärmetauscher
DE2553651B2 (de) Formkörper aus gesintertem Siliciumcarbid für die Halbleiter-Diffusionstechnik und Verfahren zu deren Herstellung
DE1667326A1 (de) Verfahren zum isostatischen Heisspressen von Materialien und Vorrichtung zu dessen Ausfuehrung
DE7244587U (de) Zwischenbehaelter fuer stranggussanlagen
DE7425440U (de) Zwischenbehaelter fuer stranggussanlagen
DE2945513C2 (de) Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus Siliziumkeramik durch Heißisostatpressen
DE3441622A1 (de) Keramische struktur und verfahren zu ihrer herstellung
DE3709905C2 (de)
CH657793A5 (de) Verfahren zur herstellung eines sintererzeugnisses.
DE1458261A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Gegenstaenden aus pulverfoermigen Materialien
DE1945191A1 (de) Vertikaler Rohrofen fuer hohen Arbeitsdruck
DE3024709C2 (de)
DE3545518C1 (en) Insulated vessel for household purposes
DE19540944A1 (de) Großformatiger Schamottestein, insbesondere Zinnbadbodenstein
DE2617288C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Aluminatspinell-Fadeneinkristallen und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
DE2218865A1 (de) Reiter fuer waermguttraeger in industrieoefen
AT223525B (de) Feuerfester Verbundstein von länglicher Gestalt und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2159667B2 (de) Boden eines Hochofens für die Roheisenproduktion
DE10249333B4 (de) Metallurgisches Schmelzgefäß
DE1954778C3 (de) Schwimmwanne für die Herstellung oder Behandlung von Glas auf einem Bad aus einem geschmolzenen Material
DE1016676B (de) Verfahren und Vorrichtung zum Strangpressen von Metallen
DE536272C (de) Presse zum Herstellen von nahtlosen Bleirohren, insbesondere von Kabelmaenteln

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
EHJ Ceased/non-payment of the annual fee