DE1572713A1 - Laser-Interferometer - Google Patents

Laser-Interferometer

Info

Publication number
DE1572713A1
DE1572713A1 DE19671572713 DE1572713A DE1572713A1 DE 1572713 A1 DE1572713 A1 DE 1572713A1 DE 19671572713 DE19671572713 DE 19671572713 DE 1572713 A DE1572713 A DE 1572713A DE 1572713 A1 DE1572713 A1 DE 1572713A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
poincare
vectors
beams
vector
rays
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19671572713
Other languages
English (en)
Other versions
DE1572713B2 (de
Inventor
Erickson Kent E
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Keuffel and Esser Co
Original Assignee
Keuffel and Esser Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Keuffel and Esser Co filed Critical Keuffel and Esser Co
Publication of DE1572713A1 publication Critical patent/DE1572713A1/de
Publication of DE1572713B2 publication Critical patent/DE1572713B2/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
    • G01B9/02017—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations
    • G01B9/02018—Multipass interferometers, e.g. double-pass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
    • G01B2290/15—Cat eye, i.e. reflection always parallel to incoming beam
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
    • G01B2290/70—Using polarization in the interferometer

Claims (1)

  1. Patentansprüche
    Vom TVutp Vn Pater»'"1!»1* -Hip J--!ο C ■■ · · <
    1. Interferometer, gekennzeichnet durch eine Einrichtung, mittels welcher ein kohärenter Lichtquellenstrahl in einen ersten und einen zweiten Strahl mit antiparallelen POINCARE-Vektoren unterteilbar ist,
    eine Einrichtung, durch welche der erste und der zweite Strahl zu einem zusammengesetzten Strahl eines resultierenden POINCARE-Vektors zusammenfügbar sind,
    eine in den Lichtwegen des ersten- und des zweiten Strahls angeordnete Einrichtung, durch welche diese Strahlen auf die Vereinigungseinrichtung richtbar sind und
    eine Einrichtung, welche in dem Weg des zusammengesetzten Strahls angeordnet ist, durch welche die Ausrichtung des resultierenden POINCARE-Vektors unterscheidbar ist.
    2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Strahlrichtungseinrichtungen beweglich und somit die Länge des Strahls, in dem sie angeordnet ist, veränderbar ist, so daß die Phase dieses Strahlbestandteiles des zusammengesetzten Strahls veränderbar ist.
    er 3· Interferometer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, ο
    daß die Ausrichtung des resultierenden POINCARE-Vektors mit cx>
    m der Phasendifferenz des ersten und des zweiten Strahls ver-O änderbar ist und daß die die Ausrichtung unterscheidende
    φ Einrichtung mehrere in dem zusammengesetzten Strahl angeordnete Elemente aufweist, von denen jedes auf eine verschiedene Ausrichtung des resultierenden POINCARE-Vektors an-
    BAD
    spricht und ein verschiedenes Anzeigesignal erstellbar ist.
    4. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Strahlvektoren in der POINCARE-Kugel in Nord-Süd-Polarität angeordnet und der resultierende POINCARE-Vektor in der Äquatorialebene der Kugel gelegen ist.
    5. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Strahlvektoren in der Äquatorialebene der POINCARE-Kugel angeordnet und Einrichtungen in den Wegen dieser Strahlen vorgesehen sind, durch welche die POINCARE-Vektoren der Strahlen in die antiparallele Nord-Süd- An Ordnung wieder ausrichtbar sind, indem die Strahlen Bestandteile des zusammengesetzten Strahls enthalten.
    6. Interferometer nach Anspruch 1t dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlteileinrichtung einen polarisierenden Strahlspalter aufweist, welcher derart aufgebaut ist, daß er im wesentlichen einen Lichtstrahl des ersten POINCARE-Vektors vollständig durchlaßt und im wesentlichen einen Lichtstrahl des zweiten POINCARE-Vektors, antiparallel zum ersten Vektor, vollständig reflektiert,
    die Sfcrahlvereinigungseinrichtung polarisierende Strahl-
    o spalter aufweist,
    ο
    oo die Strahllenkungseinrichtung Retro-Reflektoren aufweist, m welche in den entsprechenden Lichtstrahlen liegen, angeord- ι net sind, und in den Wegen des ersten und des zweiten Strahls a> eine Einrichtung angeordnet ist, durch welche die Ausrichtungen der antiparallelen POINCARE-Vektoren des ersten und des zweiten Strahls während des Durchgangs der Strahlen von und bei der Rückkehr au des Strahls-, alter übertragbar sind.
    BAD ORIGINAL
    7· Interferometer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
    die ersten und die zweiten antiparallelen POINCARE-Vektoren in der Äquatorialebene liegen,
    daß dieEetro -Reflektoren an den Mittelpunkten der entsprechenden Strahlwege liegen und durch diese der entsprechende Lichtstrahl an einen gemeinsamen Punkt an dem polarisierenden Strahlspalter richtbar ist, wobei einer der Retro-Reflek toren längs seines entsprechenden Strahlweges bewegbar ist und somit eine Einrichtung vorgesehen ist, durch welche die Länge des Weges veränderbar ist,
    daß in dem Weg des zusammengesetzten Lichtstrahles eine Einrichtung angeordnet ist, durch welche die POINCARE-Vektoren der ersten und der zweiten Strahlkomponenten des zusammengesetzten Strahles wieder in die Ncrd-Süd-polare, antiparallele Stellung ausrichtbar sind und daß die die Ausrichtung unterscheidende Einrichtung
    mehrere polarisierende Strahlspalter in Längsausricht'jng im Wege des zusammengesetzten Strahles enthält, diese Strahlspalter so aufgebaut sind, daß im wesentlichen ein Strahl einer Ausrichtung eines POINCARE-Vektors übertragen und die abweichenden Hauptbestandteile von Strahlen anderer FCIIiCARE-Vektorausrichtung reflektiert werden, daß die Strahlspalter weiterhin verschiedenartig zueinander angeordnet sind, so daß vollständig Strahlen verschiedener PCIIiCARE-Vektor-Ausrichtungen übertragen werden und
    ein getrenntes photoelektrisches Element, durch welches die von jedem der vielen Strahlspalter reflektierten Lichtstrahlen aufnehmbar sind, so daß getrennt erfaßbare Signale im
    009826/0309
    Hinblick auf die entstehenden Azimuthe der POINOARE-Vektoren erstellbar sind, aufweist.
    8. Interferometer nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß die die Ausrichtung unterscheidende Einrichtung erfaßbare Signale in bezug auf die resultierenden POINCARE-Vektorausrichtungen erstellt, welche Vektoren in der Äquatorialebene relativ um 0°, 90° und 180° zueinander versetzt sind.
    9. Interferometer, gekennzeichnet durch
    eine Einrichtung, durch welche ein kohärenter Lichtstrahl in ein Paar sekundärer Strahlen mit antiparallelen POINOARE-Vektoren unterteilbar ist,
    eine Einrichtung, durch welche die Strahlen vereinigbar und zu einem Strahl mit einem resultierenden POINCARE-Vektor zusammensetzbar sind,
    eine in den Wegen der sekundären Strahlen angeordnete Einrichtung zwischen der Teilungseinrichtung und der Vereinigungseinrichtung, durch welche zwischen den Phasen der sekundären Strahlen eine zyklische Differenz erstellbar ist, so daß der resultierende POINCARE-Vektor einen geometrischen Ort der Ausrichtung beschreibt, der symmetrisch zu ° den antiparallelen Vektoren liegt,
    *° eine Vorrichtung, durch welche der zusammengesetzte Strahl
    Q in mehrere tertiäre Strahlen unterteilbar ist, ο eine polarisierende, in bezug auf die tertiären Strahlen angeordnete Einrichtung, durch welche die Stärke jedes Strahles entsprechend der Ausrichtung des resultierenden POINOARE-Vektors in dem geometrischen Ort modulierbar ist, wobei die
    polarisierenden Einrichtungen in bezug aufeinander derart angeordnet ist, daß die Stärken ihrer entsprechenden tertiären Strahlen bei verschiedenen Ausrichtungen des resultierenden POINCARE-Vektors minimal werden und
    daß Mittel vorgesehen sind, welche auf die Modulation in der Stärke der tertiären Strahlen ansprechen und durch welche elektrische Signale entsprechend der Stärkemodulation erstellbar sind.
    10. Interferometer nach Anspruch 9» dadurch gekennzeichnet, daß
    durch die Teilungseinrichtung für den zusammengesetzten Strahl wenigstens drei tertiäre Strahlen erstellbar sind, daß
    die polarisierenden Einrichtungen so in bezug aufeinander angeordnet sind, daß minimale Stärken der tertiären Strahlen bei Ausrichtungen des resultierenden POINCARE-Vektors erzeugt werden, welche relativ zu den antiparallelen Vektoren bei Azimuthwinkeln von 0°, 90°, 180° ausgerichtet
    sind, so daß Stärkemodulationen ersteilbar sind, welche in der Phase um Inkremente von 90 veränderlich sind und daß
    Mittel vorgesehen sind, durch welche dieses Paar von elektrischen Signalen, deren Modulationsphasen sich um 90 unterscheiden, differenzierbar sind, so daß dadurch ein elektrisches Signalpaar erzeugbar ist, dessen Signale als Eingangssignale einem reversiblen Digitalzähler zuführbar sind,
    11. Interferometer mit einer Laserstrahllichtquelle, einer Unterteilungseinrichtung für den Strahl in ein Paar sekun-
    009826/0308 bad original
    därer Strahlen, Mittel zur Fadenveränderung eines der sekundären Strahlen, Mittel zur Vereinigung der sekundären Strahlen zu einem zusammengesetzten Strahl mit Interferenzringen, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, durch welche die Rückspeisung eines wesentlichen Betrages des Leserstrahles zur Leserquellenhöhlung verhinderbar ist und diese Mittel
    eine Unterteilungseinrichtung mit einem polarisierenden Strahlspalter umfassen, durch welchen sekundäre Strahlen erstellbar sind, welche von dem Strahlspalter ausgehen und antiparallele POINCARE-Vektoren aufweisen, wobei der Strahlspalter im wesentlichen vollständig das Licht des ersten Strahls durchläßt, welcher den einen der Vektoren enthält und praktisch vollständig das Licht des anderen Strahles reflektiert, welcher den anderen der Vektoren hat,
    daß Einrichtungen vorgesehen sind, durch welche die sekundären Strahlen,zurück zu einem gemeinsamen Punkt auf dem Strahlspalter entlang Wegen richtbar sind, welche im wesentlichen mit den Wegen der austretenden Strahlen zusammenfallen und daß
    Mittel in den Wegen der sekundären Strahlen angeordnet sind, durch welche die Ausrichtung der POINGARE-Vektoren übertragbar sind, wodurch der Strahlspalter im wesentlichen vollständig das Licht des zweiten Strahles durchläßt, welcher den einen der Vektoren aufweist und praktisch vollständig das Licht des ersten Strahles reflektiert, welcher dann den anderen der Vektoien aufweist«
    JQ9826/Ö303
    BAD ORIGINAL
DE19671572713 1966-12-30 1967-12-28 Laser interferometer Withdrawn DE1572713B2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US60636466A 1966-12-30 1966-12-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE1572713A1 true DE1572713A1 (de) 1970-06-25
DE1572713B2 DE1572713B2 (de) 1971-12-02

Family

ID=24427670

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19671572713 Withdrawn DE1572713B2 (de) 1966-12-30 1967-12-28 Laser interferometer

Country Status (7)

Country Link
US (1) US3601490A (de)
CH (1) CH486003A (de)
DE (1) DE1572713B2 (de)
FR (1) FR1549111A (de)
GB (1) GB1210930A (de)
NL (1) NL150226B (de)
SE (1) SE330446B (de)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2127483A1 (de) * 1971-06-03 1972-12-14 Leitz Ernst Gmbh Verfahren zur interferentiellen Messung von Langen, Winkeln, Gangunter schieden oder Geschwindigkeiten
US3771875A (en) * 1971-11-15 1973-11-13 Perkin Elmer Corp Interferometer having d.c. level compensation
US3976379A (en) * 1972-12-28 1976-08-24 Olympus Optical Co., Ltd. Interferometers
US4105336A (en) * 1976-05-25 1978-08-08 Pond Charles Ray Electro-optical device for use in improved interferometers
US4360271A (en) * 1978-01-13 1982-11-23 National Research Development Corporation Interferometer systems
US4213697A (en) * 1978-11-06 1980-07-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Phase measuring device
GB2070276B (en) * 1980-02-21 1983-10-12 Rank Organisation Ltd Polarising optical system
DD201191B1 (de) * 1981-09-24 1987-07-15 Ilmenau Tech Hochschule Kippinvariantes interferometer mit ebenen spiegeln
DE3370186D1 (en) * 1982-05-18 1987-04-16 Nat Res Dev Apparatus and method for measuring refractive index
GB2127960B (en) * 1982-09-29 1985-12-11 British Aerospace Ring laser gyroscope readout arrangements
JPH0621801B2 (ja) * 1985-07-03 1994-03-23 キヤノン株式会社 ロ−タリ−エンコ−ダ−
US4702603A (en) * 1985-07-23 1987-10-27 Cmx Systems, Inc. Optical phase decoder for interferometers
US4844593A (en) * 1988-05-16 1989-07-04 Hewlett-Packard Company Optical feedback isolator
US6094268A (en) * 1989-04-21 2000-07-25 Hitachi, Ltd. Projection exposure apparatus and projection exposure method
EP0426866B1 (de) * 1989-04-21 1996-07-10 Hitachi, Ltd. Projektions- und wiedergabeschaltung sowie projektions- und wiedergabeverfahren
US5286313A (en) * 1991-10-31 1994-02-15 Surface Combustion, Inc. Process control system using polarizing interferometer
US5430537A (en) * 1993-09-03 1995-07-04 Dynamics Research Corporation Light beam distance encoder
US5638396A (en) * 1994-09-19 1997-06-10 Textron Systems Corporation Laser ultrasonics-based material analysis system and method
US5724138A (en) * 1996-04-18 1998-03-03 Textron Systems Corporation Wavelet analysis for laser ultrasonic measurement of material properties
US7110121B2 (en) * 1997-03-04 2006-09-19 Excel Precision, Inc. Rotation and translation measurement
US6480330B1 (en) * 2000-02-24 2002-11-12 Silicon Valley Group, Inc. Ultraviolet polarization beam splitter for microlithography
US7414785B2 (en) * 2000-02-24 2008-08-19 Asml Holding N.V. Ultraviolet polarization beam splitter with minimum apodization
US7527186B2 (en) * 2001-07-24 2009-05-05 Kulicke And Soffa Industries, Inc. Method and apparatus for mapping a position of a capillary tool tip using a prism
US6729530B2 (en) * 2001-07-24 2004-05-04 Kulicke & Soffa Investments, Inc. Fiber alignment apparatus and process using cornercube offset tool
US6412683B1 (en) * 2001-07-24 2002-07-02 Kulicke & Soffa Investments, Inc. Cornercube offset tool
US6705507B2 (en) * 2001-07-24 2004-03-16 Kulicke & Soffa Investments, Inc. Die attach system and process using cornercube offset tool
US7523848B2 (en) * 2001-07-24 2009-04-28 Kulicke And Soffa Industries, Inc. Method and apparatus for measuring the size of free air balls on a wire bonder
US20030202186A1 (en) * 2002-04-24 2003-10-30 Hong Kong Baptist University Method and apparatus for ultra high-resolution interferometry
EP1509747B1 (de) * 2002-06-04 2011-10-19 Zygo Corporation Metrologiesystem für präzisions-3d-bewegung
US7130057B2 (en) * 2002-12-20 2006-10-31 International Business Machines Corporation Method and apparatus for controlling the position of a probe location relative to a fixed reference point of a probe processing equipment
US20050259270A1 (en) * 2004-05-21 2005-11-24 The Regents Of The University Of California Fiberoptic fabry-perot optical processor
US9551569B2 (en) * 2014-10-13 2017-01-24 Hermes-Epitek Corporation Apparatus and method for curvature and thin film stress measurement
US10288482B2 (en) * 2015-03-10 2019-05-14 National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc Extended cavity laser absorption spectroscopy
DE102019002278B4 (de) 2019-03-29 2023-01-19 OndoSense GmbH Radareinheit zur Vermessung eines Abstands zu einer reflektierenden Oberfläche

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1085350B (de) * 1957-07-02 1960-07-14 Leitz Ernst Gmbh Interferometer
GB1076835A (en) * 1964-07-01 1967-07-26 Nat Res Dev Interferometers and apparatus for use therewith
US3409375A (en) * 1964-10-21 1968-11-05 Cutler Hammer Inc Gauging interferometer systems
US3420600A (en) * 1964-10-26 1969-01-07 North American Rockwell Interferometric optical modulator

Also Published As

Publication number Publication date
DE1572713B2 (de) 1971-12-02
SE330446B (de) 1970-11-16
NL6717713A (de) 1968-07-01
FR1549111A (de) 1968-12-06
NL150226B (nl) 1976-07-15
US3601490A (en) 1971-08-24
GB1210930A (en) 1970-11-04
CH486003A (fr) 1970-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1572713A1 (de) Laser-Interferometer
WO2021209514A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur scannenden messung des abstands zu einem objekt
DE2237564C3 (de) Verfahren zur berührungslosen optischen Messung von Bewegungsgrößen, wie Geschwindigkeiten und Verschiebestrecken und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE2643990A1 (de) Vorrichtung zum optischen lesen einer aufzeichnung
DE60118871T2 (de) Lichtwellenlängenmessvorrichtung und Verfahren unter Verwendung eines Zweistrahlinterferometers
DE1939005B2 (de) Fotoelektrische Vorrichtung zur Bestimmung der Bewegung eines Gegenstandes
DE3244713A1 (de) Einrichtung zur messung der rotationsgeschwindigkeit
EP0113889B1 (de) Einrichtung zur Messung der Rotationsgeschwindigkeit
CH467443A (de) Fotoelektrischer Schrittgeber zum Messen von relativen Winkel- oder Linearbewegungen eines Gegenstandes
DE2255446A1 (de) Interferometer
DE3634563A1 (de) Einrichtung zur aenderung der phase der intensitaetsmodulation eines optischen signals
DE3926313C2 (de)
DE2926738C2 (de) Verfahren zur interferometrischen Oberflächenformanalyse
DE202017003048U1 (de) Optischer Kaskaden-Strahlteiler
DE2104068C3 (de)
DE2012946C3 (de) Vorrichtung zur Bestimmung des Abstandes eines Gegenstandes in Bezug auf eine definierte Lage mit Hilfe eines Interferometers
EP0151682A3 (de) Optische Einrichtung zur Erzeugung zweier sich unter bestimmtem Winkel durchdringender koplanarer Strahlenbündel
DE2058418A1 (de) Vorrichtung zur Bestimmung der Lage eines Gegenstandes in einem beliebigen Schnitt eines Strahlungsbuendels
DE975217C (de) Interferenz-Mikroskop
DE1488816C (de) Einrichtung zur Frequenzvervielfachung unter Verwendung von Doppelweggleichrich tern als Vervielfachstufen
DE2016210A1 (de) Optische Vorrichtung zum Ausrichten eines in einer beliebigen Entfernung von der Vorrichtung liegenden Gegenstandes
DE1623768B1 (de) Fotoelektrische einrichtung
DE1957198C (de) Verfahren und Vorrichtung zur Kon trastmikroskopie mit variabler Phase
DD139760A1 (de) Interferometrische einrichtung zum messen von abstaenden und abstandsaenderungen
DE2405412A1 (de) Optisches system zum messen von entfernungen oder geschwindigkeiten

Legal Events

Date Code Title Description
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
EHJ Ceased/non-payment of the annual fee