DE19514815A1 - Meßeinrichtung mit einem auf einer Führungseinheit entlang eines Maßstabs verfahrbaren Meßkopf und mit einem Taster - Google Patents

Meßeinrichtung mit einem auf einer Führungseinheit entlang eines Maßstabs verfahrbaren Meßkopf und mit einem Taster

Info

Publication number
DE19514815A1
DE19514815A1 DE19514815A DE19514815A DE19514815A1 DE 19514815 A1 DE19514815 A1 DE 19514815A1 DE 19514815 A DE19514815 A DE 19514815A DE 19514815 A DE19514815 A DE 19514815A DE 19514815 A1 DE19514815 A1 DE 19514815A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
scale
coordinate
workpiece
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19514815A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19514815C2 (de
Inventor
Dieter Dipl Ing Gerlach
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19514815A priority Critical patent/DE19514815C2/de
Priority to US08/639,103 priority patent/US5646732A/en
Priority to JP8122853A priority patent/JPH08338708A/ja
Publication of DE19514815A1 publication Critical patent/DE19514815A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19514815C2 publication Critical patent/DE19514815C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G01B11/005Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines

Description

Die Erfindung betrifft eine Koordinaten-Meßeinrichtung mit einem auf einer Führungseinheit entlang eines Maßstabs auf einem Schlitten verfahrbaren Meßkopf und mit einem Taster zum Vermessen eines Werkstückes.
Neue industrielle Fertigungsverfahren und damit verbundene höhere Anforderungen an die Fertigungsmeßtechnik haben dazu geführt, daß auch die Koordinaten-Meßgeräte immer stärker in den Bereich der Fertigung einbezogen werden. Auf der Grundlage eines photogrammetrischen Meßprinzips ist eine neue Meßtechnik entwickelt worden, die es erlaubt, Präzisionsmessungen auch außerhalb eines Feinmeßraumes vorzunehmen.
Diese Meßtechnik ist in der DE 39 09 856 C2 beschrieben. Grundlage der neuen Methode für die Wegmessung ist ein photogrammetrisches Meßprinzip, das die simultane Erfassung von zwei Koordinaten durch einen Meßaufnehmer gestattet, wobei die Qualität der Meßwerte nicht von der Präzision der Führungsbahn des Meßaufnehmers abhängt.
Die bekannte Vorrichtung besteht im wesentlichen aus einem Längenmaßstab und einer Meßkamera. Während des Meßvorgangs werden die Markierungen des Maßstabes über eine Optik auf eine CCD-Zeile projiziert. Aus den Meßsignalen werden Lage und Höhe des Projektionszentrums der Meßkamera über dem Maßstab mit Hilfe eines Rechners bestimmt. Diese Lage- und Höhenbestimmungen erfolgen für jeden Meßzeitpunkt gleichzeitig. Durch eine spezielle Codierung der Maßstabslinien wird weiterhin erreicht, daß die Lagekoordinate absolut bestimmt wird. Eine mögliche Fehlerfortpflanzung ist damit ausgeschlossen. Mit diesem Meßprinzip ist es bereits möglich, ein Meßsystem mit einem Absolutmaßstab zu schaffen, das gleichzeitig eine Koordinate in Maßstabslängsrichtung und eine Koordinate rechtwinklig zur Maßstabsoberfläche liefert. Durch die simultane Erfassung der zweiten Koordinate ist es möglich, mit Hilfe eines Rechners z. B. Ungenauigkeiten und Verschleiß von Führungen zu erfassen. Damit wird die Genauigkeit von Meß- und Fertigungsmaschinen von der Qualität der mechanischen Führungen unabhängig. Dermaßen ausgerüstete Maschinen sind in der Lage, eigene Fehler zu kompensieren.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, insbesondere auch die Präzision der Messungen mittels der vorstehend beschriebenen Meßsysteme nochmals zu steigern.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Die weitere Ausgestaltung ist den Unteransprüchen zu entnehmen.
Dadurch, daß der Taster an einem Schwenkkörper befestigt ist, der um einen Drehpunkt verschwenkbar an einem auf der Führungseinheit verfahrbaren Schlitten angeordnet ist, daß an dem Schwenkkörper beidseitig des Drehpunktes dem Maßstab zugeordnete Meßköpfe in Abstand zum Maßstab und zum Drehpunkt angeordnet sind, derart, daß beim Messen der Schwenkkörper parallel zum Maßstab verschoben wird, wobei zur groben Positionierung eine Koordinate als Maß in Maßstabslängsrichtung erfaßt und ausgewertet und nach einem Anlegen des Tasters an die Oberfläche des Werkstücks ein Verschwenken des Schwenkkörpers um seinen Drehpunkt erfolgt und zur Feinpositionierung eine Koordinate rechtwinklig zur Oberfläche des Maßstabs als Maß für den Abstand der Meßköpfe vom Maßstab erfaßt und ausgewertet wird, wurde nunmehr erreicht, daß zusätzlich die Schwenkbewegung des Tasters, d. h. des Schwenkkörpers, zur Feinpositionierung erfaßt und ausgewertet werden kann.
Die Erfindung geht dabei von der Erkenntnis aus, daß durch die Anordnung in der Regel zweier Meßköpfe an zwei durch den Taster verschwenkbaren Hebelarmen, entsprechend der Auslenkbewegung des Tasters, eine relativ große, zusätzlich sehr exakt meßbare Abstandsveränderung erzielbar ist. Durch eine Anordnung langer Hebelarme ist eine fast beliebig vergrößerbare, vom Meßweg direkt abhängige Abstandsänderung erzielbar, die es ermöglicht, die Präzision der Messungen unter Einsatz einfachster Mittel fast beliebig zu steigern.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Meßköpfe als Meßkameras ausgebildet sind, in denen definierte Markierungen des Maßstabes mit Hilfe eines optischen Systems auf eine von einer CCD-Zeile gebildete Bildebene projiziert und aus den Meßsignalen die Lage und die Höhe des Projektionszentrums der Meßkameras mit Hilfe eines Rechners bestimmt werden. In diesem Fall lassen sich die bereits genannten Vorteile eines derartigen Meßsystems zusätzlich voll nutzen.
Im Rahmen der Erfindung ist es weiterhin vorgesehen, daß an dem Schwenkkörper wenigstens eine Feder angreift, deren Rückstellkraft einstellbar ist und die eine Einstellung einer definierten Meßkraft ermöglicht. Eine derartig definierte Meßkraft ermöglicht es, die Anpressung des Tasters der Meßeinrichtung an ein zu vermessendes Werkstück sehr genau an die jeweiligen Erfordernisse anzupassen. Insbesondere ist es somit möglich, die Anpressung zu eichen und somit reproduzierbare Meßergebnisse unter stets gleichen Bedingungen zu erhalten. Insgesamt führt auch diese Maßnahme nochmals zu einer Steigerung der Präzision der Messungen.
Zur Anpassung an die Abmessungen der zu vermessenden Werkstücke und zur Auswahl der erforderlichen Meßpunkte kann es zusätzlich vorgesehen sein, daß an der Führungseinheit beidseitig Vertikalantriebe zur Verstellung der Meßposition des Tasters rechtwinklig zur Meßebene vorgesehen sind.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es außerdem vorgesehen, daß das zu vermessende Werkstück auf einem Drehtisch mittels Unterdruck befestigt ist. Der Drehtisch ist insbesondere dann von Vorteil, sofern Rotationskörper in unterschiedlichen Richtungen vermessen werden sollen. Die Unterdruck-Befestigung stellt insbesondere auch eine schnelle und verspannungsfreie Befestigung sicher.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1, eine Koordinaten-Meßeinrichtung in der Seitenansicht;
Fig. 2, eine vergrößerte schematische Darstellung des Schwenkkörpers mit den Meßköpfen und des Maßstabs.
Die Fig. 1 der Zeichnung zeigt eine Koordinaten-Meßeinrichtung 1, mit einem an einem Schwenkkörper 2 befestigten Taster 3. Der Schwenkkörper 2 mit dem Taster 3 ist um einem Drehpunkt 4 verschwenkbar an einem auf einer Führungseinheit 5 verfahrbaren Schlitten 6 angeordnet. An dem Schwenkkörper 2 sind beidseitig des Drehpunktes 4 einem Maßstab 7 zugeordnete Meßköpfe 8 in Abstand zum Maßstab 7 und zum Drehpunkt 4 angeordnet. Der Maßstab 7 ist am Gehäuse 16 der Koordinaten-Meßeinrichtung 1 befestigt. Beidseitig des Tasters 3 greifen zwei Federn 9 an, deren auf den Taster 3 einwirkende Federkraft mittels Stellglieder 10 einstellbar ist.
Im Bereich des Tasters 3 ist auf einem Drehtisch 11 ein Werkstück 12 mit zu vermessenden Flächen 15 im Innern eines Hohlzylinders angeordnet. Das Werkstück 12 ist mittels Unterdruck auf dem Drehtisch 11 verspannt. An der Führungseinheit 5 sind im übrigen beidseitig Pneumatikzylinder 13 zur Unterstützung eines Vertikalantriebs 14 angeordnet, über den eine Verstellung der Meßposition des Tasters 3 rechtwinklig zur Meßebene am Werkstück 12 erfolgt. Die Pneumatikzylinder 13 bewirken eine Dämpfung der Stellbewegung und ermöglichen somit eine ruckfreie Verstellung.
Die Meßköpfe 8 sind als Meßkameras ausgebildet, in denen definierte Markierungen des Maßstabes 7 mit Hilfe eines optischen Systems auf eine von einer CCD-Zeile gebildete Bildebene projiziert werden. Aus den Meßsignalen wird die Lage und die Höhe des Projektionszentrums der Meßköpfe 8 mit Hilfe eines in der Zeichnung nicht dargestellten Rechners bestimmt. In die Fig. 2 sind die für die Messung von den Meßköpfen 8 erfaßbaren Koordinaten X₁, X₂ und Z₁, Z₂ eingezeichnet, mit denen die Lage und Höhe des Projektionszentrums der hier als Meßköpfe 8 eingesetzten Meßkameras ermittelt wird. Der Abstand zwischen dem Drehpunkt 4 und einem während der Feinmessung an der zu vermessenden Fläche 15 des Werkstücks 12 anliegenden Abtaster 17 des Tasters 3, ist mit L bezeichnet.
Vor der Durchführung einer Messung wird mittels der Stellglieder 10 die auf den Taster 3 einwirkende Kraft der Federn 9 eingestellt. Es ist somit die Meßkraft einstellbar, mit der der Taster 3 während der Feinpositionierung an den zu vermessenden Flächen 15 des Werkstücks 12 anliegt. Sodann wird der Taster 3 mittels des an der Führungseinheit angreifenden Vertikalantriebs 14 in die am Werkstück 12 zu vermessende Ebene bewegt. Es erfolgt dann durch ein Verfahren des Schlittens 6 auf der Führungseinheit 5 die Anlage des Tasters 3 an die zu vermessenden Flächen 15 im Innern des Werkstücks 12. Hierdurch wird beim Überschreiten der Meßkraft der Taster 3, zusammen mit seinem Schwenkkörper 2 und den dort angeordneten Meßköpfen 8, um seinen Drehpunkt 4 verschwenkt. Hieraus ergibt sich in diesem Meßbereich bereits bei einer geringen Verschiebung des Schwenkkörpers 2 in Richtung der X-Koordinate, d. h. parallel zum Maßstab 7, eine relativ große Abstandsänderung der Meßköpfe 8 zum Maßstab 7 in Richtung der Z-Koordinaten. Diese Abstandsänderung ist zusätzlich zu der Bewegung in Richtung der X-Koordinate sehr präzise erfaßbar. Mit zunehmendem Abstand der Meßköpfe 8 zum Drehpunkt 4 vergrößert sich die Abstandsänderung relativ zum Schwenkwinkel des Tasters 3, so daß die Präzision der Messung mit sehr einfachen Mitteln weiter gesteigert werden kann.
Die jeweilige Position wird von den Meßköpfen 8 ermittelt, indem die X- und Z-Koordinaten erfaßt und nach folgender Formel ausgewertet werden:
X = (X₁ + X₂)/2 + L×(Z₂ - Z₁)/(X₂ - X₁).
Während der sich anschließenden Meßbewegung des Tasters 3 an die entgegengesetzte, zu messende Fläche 15 des Werkstückes 12 erfolgt vorzugsweise eine Auswertung der X- Koordinaten, wobei eine grobe Positionierung durchaus ausreichend ist. Durch die ständige, zusätzliche simultane Erfassung der Z-Koordinaten ist es jedoch stets möglich, mit Hilfe des Rechners auch z. B. topographische Ungenauigkeiten des Maßstabs 7 in seiner Geradheit und das Spiel bzw. den Verschleiß in den Führungen zu erfassen. Damit wird die Genauigkeit der Meßeinrichtung von der Qualität der mechanischen Führungen unabhängig. Dermaßen ausgerüstete Maschinen sind dazu in der Lage, eigene Fehler zu kompensieren.
Sobald der Taster 3 mit seinem Abtaster 17 erneut gegen eine zu messende Fläche 15 des Werkstückes 12 gefahren wird, so wiederholt sich der bereits beschriebene Vorgang der Feinpositionierung. In der erfindungsgemäßen Koordinaten-Meßeinrichtung 1 ist es möglich, alle Arten von Meßköpfen 8 einzusetzen, sofern diese dazu in der Lage sind, Verschiebungen parallel zum Maßstab 7 und/oder Abstandsänderungen zum Maßstab 7 zu messen.

Claims (5)

1. Koordinaten-Meßeinrichtung (1) mit einem auf einer Führungseinheit (5) entlang eines Maßstabs (7) auf einem Schlitten (6) verfahrbaren Meßkopf (8) und mit einem Taster, (3) zum Vermessen eines Werkstückes (12), dadurch gekennzeichnet, daß der Taster (3) an einem Schwenkkörper (2) befestigt ist, der um einen Drehpunkt (4) verschwenkbar an einem auf der Führungseinheit (5) verfahrbaren Schlitten (6) angeordnet ist, daß an dem Schwenkkörper (2) beidseitig des Drehpunktes (4) dem Maßstab (7) zugeordnete Meßköpfe (8) in Abstand zum Maßstab (7) und zum Drehpunkt (4) angeordnet sind, derart, daß beim Messen der Schwenkkörper (2) parallel zum Maßstab verschoben wird, wobei zur groben Positionierung eine Koordinate als Maß in Längsrichtung des Maßstabs (7) erfaßt und ausgewertet und nach einem Anlegen des Tasters (3) an die Oberfläche des Werkstücks (12) ein Verschwenken des Schwenkkörpers (2) um seinen Drehpunkt (4) erfolgt und zur Feinpositionierung eine Koordinate rechtwinklig zur Oberfläche des Maßstabs (7) als Maß für den Abstand der Meßköpfe (8) vom Maßstab (7) erfaßt und ausgewertet wird.
2. Koordinaten-Meßeinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßköpfe (8) als Meßkameras ausgebildet sind, in denen definierte Markierungen des Maßstabes (7) mit Hilfe eines optischen Systems auf eine von einer CCD-Zeile gebildete Bildebene projiziert und aus den Meßsignalen die Lage und die Höhe des Projektionszentrums der Meßköpfe (8) mit Hilfe eines Rechners bestimmt werden.
3. Koordinaten-Meßeinrichtung (1) nach Anspruch 1 und gegebenenfalls Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß an dem Taster (3) wenigstens eine Feder (9) angreift, deren Rückstellkraft einstellbar ist und die eine Einstellung einer definierten Meßkraft ermöglicht.
4. Koordinaten-Meßeinrichtung (1) nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an der Führungseinheit (5) beidseitig Vertikalantriebe (14) zur vertikalen Verstellung der Meßposition des Tasters (3) rechtwinklig zur Meßebene vorgesehen sind.
5. Koordinaten-Meßeinrichtung (1) nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das zu vermessende Werkstück (12) auf einem Drehtisch (11) mittels Unterdruck befestigt ist.
DE19514815A 1995-04-21 1995-04-21 Meßeinrichtung mit einem auf einer Führungseinheit entlang eines Maßstabs verfahrbaren Meßkopf und mit einem Taster Expired - Fee Related DE19514815C2 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19514815A DE19514815C2 (de) 1995-04-21 1995-04-21 Meßeinrichtung mit einem auf einer Führungseinheit entlang eines Maßstabs verfahrbaren Meßkopf und mit einem Taster
US08/639,103 US5646732A (en) 1995-04-21 1996-04-22 Coordinate measuring system
JP8122853A JPH08338708A (ja) 1995-04-21 1996-04-22 測定手段

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19514815A DE19514815C2 (de) 1995-04-21 1995-04-21 Meßeinrichtung mit einem auf einer Führungseinheit entlang eines Maßstabs verfahrbaren Meßkopf und mit einem Taster

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19514815A1 true DE19514815A1 (de) 1996-10-24
DE19514815C2 DE19514815C2 (de) 1997-02-13

Family

ID=7760103

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19514815A Expired - Fee Related DE19514815C2 (de) 1995-04-21 1995-04-21 Meßeinrichtung mit einem auf einer Führungseinheit entlang eines Maßstabs verfahrbaren Meßkopf und mit einem Taster

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5646732A (de)
JP (1) JPH08338708A (de)
DE (1) DE19514815C2 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19721903C1 (de) * 1997-05-26 1998-07-02 Aicon Industriephotogrammetrie Verfahren und Anlage zur meßtechnischen räumlichen 3D-Lageerfassung von Oberflächenpunkten
WO1998057121A1 (de) * 1997-06-12 1998-12-17 Werth Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät mit tastelement und dieses vermessenden optischen sensor

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19821274A1 (de) * 1998-05-13 1999-11-18 Zeiss Carl Fa Koordinatenmeßgerät in Brückenbauweise
FR2837567B1 (fr) * 2002-03-19 2005-05-06 Romain Granger Capteur pour machine de mesure de coordonnees tridimensionnelles
SE527899C2 (sv) * 2004-12-15 2006-07-04 Hexagon Metrology Ab Koordinatmätmaskin med inbördes förflyttbara ben
EP2053345B1 (de) * 2007-10-24 2010-06-02 Klingelnberg AG Messvorrichtung für schwere Werkstücke
EP2056063A1 (de) * 2007-11-05 2009-05-06 Leica Geosystems AG Messkopfsystem für eine Koordinatenmessmaschine und Verfahren zum optischen Messen von Verschiebungen eines Tastelements des Messkopfsystems
CN103335583A (zh) * 2013-07-05 2013-10-02 南京德邦金属装备工程股份有限公司 大直径封头形状偏差检验装置
CN109269458A (zh) * 2018-11-08 2019-01-25 中信戴卡股份有限公司 一种三坐标测量系统和方法
DE102020105871B4 (de) * 2020-03-04 2023-01-26 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Drehtischmodul und koordinatenmessgerät mit drehtischmodul und verfahren zum betrieb derselben

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3150977A1 (de) * 1981-12-23 1983-06-30 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Verfahren und einrichtung zur ermittlung und korrektur von fuehrungsfehlern
EP0418203A1 (de) * 1989-09-11 1991-03-20 Hans Rudolf Weber Vertikal/Horizontalmessgerät und Verfahren zu dessen Betrieb
DE4005292A1 (de) * 1990-02-20 1991-08-22 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet
DE3909856C2 (de) * 1989-03-25 1991-11-07 E.M.S. Technik Gmbh, 2950 Leer, De

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3150977A1 (de) * 1981-12-23 1983-06-30 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Verfahren und einrichtung zur ermittlung und korrektur von fuehrungsfehlern
DE3909856C2 (de) * 1989-03-25 1991-11-07 E.M.S. Technik Gmbh, 2950 Leer, De
EP0418203A1 (de) * 1989-09-11 1991-03-20 Hans Rudolf Weber Vertikal/Horizontalmessgerät und Verfahren zu dessen Betrieb
DE4005292A1 (de) * 1990-02-20 1991-08-22 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19721903C1 (de) * 1997-05-26 1998-07-02 Aicon Industriephotogrammetrie Verfahren und Anlage zur meßtechnischen räumlichen 3D-Lageerfassung von Oberflächenpunkten
US6175647B1 (en) 1997-05-26 2001-01-16 Daimler-Benz Aktiengesellschaft Method and system for three-dimensional spatial position detection of surface points
WO1998057121A1 (de) * 1997-06-12 1998-12-17 Werth Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät mit tastelement und dieses vermessenden optischen sensor

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08338708A (ja) 1996-12-24
US5646732A (en) 1997-07-08
DE19514815C2 (de) 1997-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0881461B1 (de) Anlage zur messtechnischen räumlichen 3D-Lageerfassung von Oberflächenpunkten
EP2662662B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Messen von Form-, Lage- und Dimensionsmerkmalen an Maschinenelementen
DE3740070A1 (de) Dreh-schwenk-einrichtung fuer tastkoepfe von koordinatenmessgeraeten
EP0703517A1 (de) Verfahren zur Messung von Werkstücken mit einem handgeführten Koordinatenmessgerät
DE4420137A1 (de) Meßgerät zur Überprüfung der Abmessungen von zylindrischen Werkstücken
DE19514815C2 (de) Meßeinrichtung mit einem auf einer Führungseinheit entlang eines Maßstabs verfahrbaren Meßkopf und mit einem Taster
DE102004007828A1 (de) Verfahren und System zur Inspektion von Oberflächen
EP0789221B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur koordinatenmässigen Vermessung von Werkstücken auf Bearbeitungsmaschinen
EP3710777A1 (de) Vorrichtung zur optischen vermessung des aussengewinde-profils von rohren
EP2010865B1 (de) Profilmessung von rohrenden
EP1412825B1 (de) Verfahren zum messen eines objektes mit einem koordinatenmessgerät mit bildverarbeitungssensor
EP1322909B2 (de) Koordinatenmessgerät
DE4421302C1 (de) Verfahren zur Eliminierung des Rollwinkels einer Meßachse einer Koordinatenmeßmaschine sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE4119564A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur pruefung der haerte eines werkstueckes nach dem eindringverfahren
DE102017105814B3 (de) System zum Messen der Rauheit einer Oberfläche eines Werkstücks
DE102020104708B4 (de) Schnelles Messmodul
DE10319711B4 (de) Verfahren zur hochgenauen dimensionalen Messung an Messobjekten
WO2003052347A2 (de) Verfahren zur dreidimensionalen messung einer oberfläche
DE3502388A1 (de) Verfahren und anordnung zur optischen kontrolle mechanischer messobjektantastung
DE19753028A1 (de) Meßwagen für rotationssymmetrische Körper
DE102020103500A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Rauheit und der Welligkeit einer Oberfläche eines Werkstücks
DE19926439C1 (de) Verfahren zur Bestimmung eines Koordinatensytems für Messpunktskoordinaten an einer Vorrichtung zur berührungslosen dreidimensionalen Vermessung von Körpern
WO2003008900A1 (de) Verfahren zum scannenden messen einer oberflächenkontur
DE102020111509B4 (de) Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zum Messen von Koordinaten eines Werkstücks
DE10131038A1 (de) Koordinatenmessgerät

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee