DE1959093A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung und Bearbeitung von Gegenstaenden - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung und Bearbeitung von GegenstaendenInfo
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Description
DiPL-ING. FRANZ WERDERMANN
PATENTANWALT
2 HAMBURG 13 11. W1J1J5 9093
INNOCENTIASTRASSE 30 TELEFON 45213V
I. 69 2o2 EL.
Industrial Modular Systems, Cupertino, Kalif. (V.St.A.)
Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung und Bearbeitung
von Gegenständen.
J1Ur diese Anmeldung wird die Priorität aus der entsprechenden
U.S.-Anmeldung Serial No. 779 033 vom 26. November 1968 in
Anspruch genommen.
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und
ein Verfahren zur Behandlung von GegenständenT^riiisbesondere
solchen einer zerbrechlichen Natur. Die Erfindung wird
in dieser Beschreibung anhand eines Ausführungsbeispiels
offenbart, welches ein Verfahren und eine Vorrichtung zur
Behandlung und Bearbeitung von zerbrechlichen Gegenständen beinhaltet, vermittels welcher diese zwischen vorbestimmten
Stellen, an denen unterschiedliche Bearbeitungsvorgänge in
einer bestimmten Reihenfolge an den Gegenständen ausgeführt werden, transportiert werden. Die Gegenstände können beispielsweise
aus Siliziumplatten bestehen, die allgemein in der elektronischen Industrie zur Herstellung von integrier-,
ten Schaltungen, Transistoren und dgl. verwendet werden.
Die Erfindung gibt eine verbesserte Strömungsmittellagerung des pneumatischen Type an, die zum Transport der
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Gegenstände dient und zum Zwecke einer leichteren Bearbeitung
der Gegenstände zum Zentrieren derselben verwendet werden kann, wenn die Lagervorrichtung in die Anlage eingebaut
ist. In einer anderen Ausführung hat die Strömungsmittellagervorrichtung
eine Zweirichtungs-Bewegungsmöglichkeit der Gegenstände in zwei Richtungen in bezug auf eine
vorgegebene Stelle.
h Weiterhin betrifft die Erfindung ein verbessertes Vorratsmagazin
und ein Abgabemagazin, aus dem bzw· in welches Gegenstände vermittels der zugeordneten Strömungsmittellagervorrichtungen
automatisch eingeladen bzw· ausgeladen werden können. In Verbindung mit der Eingabe und der Ausgabe
der Strömungsmittellagerung ist eine schrittweise Schaltvorrichtung für das Magazin vorgesehen.
Weiterhin bezieht sich die Erfindung auf einen verbesserten Mechanismus zur Beschichtung von Gegenständen
) wie beispielsweise zerbrechlichen Siliziumplatten, mit einem flüssigen Werkstoff wie z.B. einem Photoresist,
das in der elektronischen Industrie in bekannter Weise zur Herstellung der vorstehend genannten Komponenten verwendet
wird.
Im weiteren Sinne bezieht sich die Erfindung auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Behandlung unterschiedlicher
Gegenstände vermittels verbesserter Strömungsmittellagerungen,
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die dazu dienern, verschiedene ^Funktionen an den Gegenständen auszuführen, beispielsweise die Gegenstände von einem
Punkt zu einem anderen Punkt zu bewegen oder die Gegenstände vor einem Bearbeitungsvorgang zu zentrieren.
Im einzelnen werden eine verbesserte Strömungsmittel-Transportvorrichtung
für Platten (wafer) und eine verbesserte Strömungsmittel-Zentriervorrichtung für Platten in Verbindung
mit einem Vorratsmagazin und einem Abgabemagazin
für Platten angegeben, wobei die Magazine automatisch weitergeschaltet
werden, um die Abgabe von Platten von dem einen Magazin bzw. die Einführung von Platten in das andere
Magazin zu gestatten. Außerdem sind Unterdruck-Übergabevorrichtungen und eine Plattenbeschichtungseinheit vorgesehen,
so daß sich eine integrale Behandlungs- und Besehichtungsvorrichtung,
sowie ein integrales Verfahren für Platten ergeben.
In der elektronischen Industrie sind Vorrichtungen zum Aufbringen einer flüssigen Beschichtung wie beispielsweise
eines Photoresistwerkstoffes auf einen Gegenstand
wie beispielsweise eine Siliziumplatte bekannt. Bei bekannten Beschichtungsverfahren muß jedoch die Handhabung
der zu bearbeitenden Gegenstände im allgemeinen von Hand erfolgen, wozu normalerweise Unterdruck-Aufnehmevorrichtungen
oder -pinzetten verwendet werden und eine stückweise
Behandlung erforderlich ist. Soweit bekannt, ist bis jetzt
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noch kein Dreh- und "Beschichtungsmechanismus als integraler
Bestandteil in einer Vorrichtung zur Behandlung und Beschichtung von Gegenständen wie z.B. Siliziumplatten
verwendet worden, ohne daß zwischenzeitlich eine Behandlung von Hand erforderlich wäre.
Das Verfahren und die Vorrichtung der Erfindung sind
so beschaffen, daß die früher von Hand erforderlichen Behandlunge- und Bearbeitungsschritte von einer einzigen,
integralen Vorrichtung ausgeführt werden können und eine zwischenzeitliche manuelle Behandlung in Fortfall kommt,
so daß die Herstellung von Gegenständen wie beispielsweise von elektronischen Bauteilen in bezug auf die Herstellungsgeschwindigkeit
und die für jedes Bauteil anfallenden Kosten verbessert wird«
Strömungsmittellagerungen verschiedener Ausführungen sind bereits bekannt und in den nachstehend angeführten
Patentschriften sind Vorrichtungen dargestellt, welche den Stand der !Technik veranschaulichen: U.S. Patentschrift
2 778 691 von Hazel, 22. Januar 1957» U.S. Patentschrift
3 1o3 388 von öole, 10. September 1963; und U.S. Patentschrift
3 318 64o von Ooville, 9. Mai 1967. Bekannte Strö- '
mungsttittellagerungen, deren Typ durch diese Patentschrif
ten veranschaulicht wird, besitzen jedoch nicht Ale in
dieser Beschreibung erläuterten verbesserten Lage rung« eigenschaften.
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Ee ist zwar bekannt, zerbrechliche Gegenstände wie
beispielsweise Siliziumplatten in Gruppen in Magazinen zu transportieren, um diese Gegenstände vor und nach ihrer
Bearbeitung zu schützen, jedoch erfolgt die Beschickung und das Entleeren derartiger Magazine von Hand wie beispielsweise
vermittels Unterdruck-Pinzetten oder anderen geeigneten Geräten« Soweit bekannt, ist die hier dargestellte neuartige
Anordnung der Verwendung einer Strömungsmittellagerung zum automatischen Be- und Entladen von Gegenständen
wie z.B. Siliziumplatten an Vorrats- oder Abgabemagazinen
nicht bekannt. Sie durch eine derartige Behändlungsweise
erzielten Einsparungen und Vorteile sind bei der Handhabung von zerbrechlichen Gegenständen besondere hoch einzuschätzen,
da die Gefahr eines Bruches der zerbreohlialien
Gegenstände praktisch ganz ausgeschaltet ist und das Auftreten von Bruch bei der manuellen Behandlung häufig vorkommt·
Bei bekannten Verfahren zur Behandlung von Siliziumplatten
in der elektronischen Induetrie aurn Zwecke der Beschichtung
der Platten mit einem Photoresiet-Werkstoff oder
dgl· werden die Gegenstände von Hand auf die Spindel einer
Drehvorrichtung gelegt. Dabei mud ebgeeohätet werden» ob
die Gegenstände vor de» Beginn dei Drehen· einwandfrei auf
der Spindel zentriert eind. Bine derartige Sofc*tiuag ist
In vielen fällen aufgrund meneofaliohen fehlere ungenau und
Ui H UM ti
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führt daher zu einer ungleichmäßigen Beschichtung oder zu Bruch. Bei der erfindungsgeniäßen Vorrichtung wird dagegen
eine Strö'mungsmittellagerung verwendet, die dazu dient, die Gegenstände automatisch zu zentrieren, bevor diese auf
els&e umlaufende Spindel aufgesetzt werden, so daß eine einwandfreie
Ausrichtung der Gegenstände gewährleistet ist.
Die zahlreichen vorteilhaften Merkmale der Erfindung
eine! in einer kompakten, auf einer Tischplatte angeordneten
Maschine enthalten, die in dem Ausführungsbeispiel dargestellt ί3!:_ Sie alar offenbarten erfindungsgemäßen Merkmale sind
,!©looli auch unabhängig voneinander für Behänd lungs- und Be-
::r^öitiangsverfahren anwendbar, die sich von dem hier darge-■
teilten Beispiel eines Verfahrene zur Bearbeitung von Plates ■"/■tillständig imtarscheiden.
Die Aicigafea cisr Erfindung ist darin zu sehen, eine ver-Verfahren
und eine verbesserte Vorrichtung zur iMä Bearbeitung von Gegenständen zu schaffen.
«sä Terfahrens und der Vorrichtung soll es mö*g~
s«9iß9 serttrecliliolM Gegenstänä· wie z.B. Sillziumplat-
«III; ί 'J ä«i? j«arlisitiiEg Toa öiatr Stell® zu einer ande-'it**''
f ". trp'sportiesen· Bis Gegenetänöe sollen von .
" \ α ι'ι '$1^ ^±^ b^ippiel«Vv8iee einem Torratsmagaain
} ,,^.«iv,-υ yjj^ ju «in«? Zentriervorrichtung tr-aas
«Si« ®«ginetünü®
is weloh«r ai·
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bearbeitet werden, indem sie "beispielsweise mit einem
flüssigen Werkstoff wie beispielsweise einem Photoresistwerkstoff
beschichtet werden. Nach der Bearbeitung sollen die Gegenstände von der Searbeitungseinheit wegtransportiert
und abgegeben werden, indem sie beispielsweise automatisch in ein Abgabemagazin eingeführt werden. Alle Arbeitsvorgänge
sollen sich in einer Reihenfolge ausführen lassen und keine zwischenzeitliche manuelle Handhabung erforderlich
machen.
Zu diesem Zweck soll eine verbesserte Strömungsmittellagerung zur Behandlung von Gegenständen unterschiedlicher
Typen und unterschiedlicher Größen geschaffen werden, die sich besonders gut zur Behandlung von zerbrechlichen Gegenständen
wie z.B. Siliziumplatten eignet. Weiterhin soll eine Zentriervorrichtung für Gegenstände verschiedener Typen
und Grüßen angegeben werden, bei welcher eine Strömungsmittellagerung
zur Zentrierung verwendet wird. Schließlich sind dazu eine verbesserte Bearbeitungsvorrichtung zum Be-
schichten, von Gegenständen wie z.B. Siliziumplatten, und
Übergabevorrichtungen zum Einführen der Gegenstände in diese Torrichtung, sowie zum Entnehmen der Gegenstände aus der
Vorrichtung erforderlich. Die Strömungemittellagerung soll
dazu dienen, Gegenstände aus Magazinen oder anderen Stationen
zu. entnehmen oder in diese einzuführen, während ein
-verbesserter Mechanismus dazu dienen soll, die Torrats-
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oder Abgabemagazine selbsttätig weiterzuschalten, damit
Gegenstände in bezug auf diese verlagert werden können. Bine Gesamtvorrichtung und ein Verfahren sollen ermöglichen,
Gegenstände wie z.B. Siliziumplatten automatisch durch mehrere Verfahrensschritte zu transportieren, ohne
daß eine zwischenzeitliche manuelle Behandlung erforderlich ist. Die Gegenstände sollen sich, in einer Reihe behandeln
und bearbeiten lassen, indem sie von einer Vorratsquelle wie z.B. einem Vorratsmagazin abgezogen, dann zentriert
und auf eine Dreheinheit aufgesetzt werden, auf welcher sie mit einem Werkstoff wie z.B* einem Hiotoresistwerkstoff
beschichtet werden, dann aus der Drehe inh.ei*t; entnommen und
in ein Abgabemagazin eingesetzt weräen,
Das sur Hisung öer Aufgabe vorgeschlagene Verfahren
iss ä^ilndimgegemäß dadurch, gekennzeichnet« üa£ ein
veil Gegenständen in eisie Beseliielamgestation
wird» »aeheicsiicler einzelne Gegenstände aus asm Vorrat
entnommen» csiimomiaene Gegenstands Mstereinanäsr auf einem
Strömungemittellager einer Bearbeittingestation zugsf 1JObTt
und nach erfolgter Bearbeitung in einer derartigen Station
hintereinander auf einem Strömungsmittellager einer Abgabe«
station zugeführt werden.
Di« erfindimgegemäSe Vorrichtung ist g*k«aixielobn«t
durob. «in Strömungtnittellagtr» das aus «!nor Schien« >j*-
Bteht} in dar eich ein« Reihe τοπ, gerichteten
009824/1823
ORIGINAL !NSPECTE
-s- 1359093
mittelkanälen befinden, die jeweils so ausgerichtet sind,
daß sie zur Lagerung dienendes Strömungsmittel gegen einen auf der oberen Oberfläche der Schiene befindlichen Gegenstand
richten und diesen Gegenstand in eine vorbestimmte Richtung drücken können, und durch Vorrichtungen zum Einführen
von Strömungsmittel in und durch die Kanäle, welches dazu dient, einen auf diesen befindlichen Gegenstand zu
lagern.
Bei dem hier dargestellten Aueführungsbeispiel der erfindungegemäßen
Vorrichtung sind die erfindungsgemäß neuartigen Merkmale in einer einzigen Maschine zusammengefaßt,
die in der Lage ist, Gegenstände unterschiedlicher Grüßen zu behandeln, ohne daß eine Verstellung oder Veränderung
der Maschinenteile erforderlich ist· Vermittele der dargestellten
Vorrichtung lassen sich Siliziumplatten behandeln, die in der elektronischen Industrie allgemein für verschiedene
bekannte Zwecke bearbeitet werden und typischerweiße unterschiedliche Größen aufweisen. Die verschiedenen neuartigen
Merkmale der Erfindung lassen sich jedoch auch für andere Zwecke verwenden.
Die neuartige und verbesserte Strömungslagerung wird vorzugsweise dazu verwendet, die hier beschriebenen Gegen
stände au transportieren und zu aentrleren, wenn die Zentrie
rung für «inen bestirnten Bearfceitungevargang trforäerlioh
ist· Die Verwendung einer verbesserten StrUBungsaitt*llage~
rung fur latnfthme von Gegenständen in einer Reihenfolge von
.«ο- 195S093
einer Vorratsquelle wie beispielsweise einem Vorrateaiagazin
oder sum Einsetzen der Gegenstände in eine Abgabestation wie ZeB. ein Abgabemagazin ohne jede manuelle Handhabung stellt
e£n wichtiges MsiSonal der Erfindung dar, das sich auch für
anö?2?e SweeJee als der Behandlung von Platten einsetzen läßtc
In Verbindung mit dem Be- und Entladen von Magazinen sind
für das Magazin vorgesehen.
Das bier verwendete Strömungsmittel ist luft und die
X&ftlagerungszentriareinheit, sowie die Luftlagerungsschiene
£Tviwfi52?leistes eine einwandfreie Zentrierung von in einer
Reihenfolge ^geführten Gegenstände sehr unterschiedlicher
?¥■/■;:..Ji mm &ö£oss sowie den transport der Gegenstände in
l'igi'/y auf einen. Bezugspunkt in einer oder in zwei Richtun-
ie äsr Irfiniimg sind aus der nachstehenden
\'. ig Aueführungsbeiepiele ia Verbindung mit den
Bcheaatisetier Arbeitsplan des vermittels
*rXindungsgemäßen Vorrichtung durchgeführten
::/:l*jngs- waä, BtaribsitungsTerfahrens.
eise DraufeieJit auf die Vorrichtung.
aiii seiti;loh«i· Aui'riS der Vorrichtung im,
"li^ae um? Linis 3-3 der I1Ig, 2«
*t 'fi3i# 'seiliifiid jDraafeloht auf sie Zentrier-
tad t,?L§ isur Abgabe ülJHtmia
όάέ^ιί ,* ι ö ä 3
— 41 ~
mitteUagerung der Vorrichtung, in der Ebene der linie 4-4 der Pig. 3.
Fig· 5 ist ein senkrechter Schnitt durch die Zentriereinheit
und die Strömungsmittellagerung in der Ebene der Linie 5-5 der Fig. 4.
Fig. 6 ist ein senkrechter Schnitt durch die zur Abgabe
dienende StrömungsmittellagerBchiene in der Ebene der Linie 6-6 der Fig. 4.
'Fig. 7 ist ein senkrechter Schnitt durch die Schiene in der Ebene der Linie 7-7 der Fig. 6.
Fig. 8 ist ein senkrechter Schnitt durch einen Stab
der Schiene in der Ebene der Linie 8-8 der
Fig. 7.
Fig. 9 ist ein senkrechter Schnitt durch die Zentriereinheit in der Ebene der Linie 9-9 der Fig. 3·.
Fig.10 ist eine teilweise Draufsicht auf die Vorrichtung,
in der Ebene der Linie 10-10 der Fig. 9*
Fig. 11 ist ein senkrechter Schnitt durch die Dreheih~
heit der Vorrichtung, in der Ebene der Linie
11-11 der Fig. 2.
Fig. 12 ist ein waagerechter Schnitt durch einen feil
der Vorrichtung, in der Ebene der Linie 12-12
öer iig.3.
Fig.13 ist ein seitlicher Aufriß des in Fig. 12 dargestellten
Abschnittes der Vorrichtung» in der der Linie 13-13 der fig. 12.
ORfQiNALJNSPECTED
a R ο ν ^ ^
14 ist ©is© teilt?® is© Bs?g.wfsiel2."fe atif fii<3 £31,2?
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platten eines SOyps beschrieben, der in großem Umfang in
der elektronischen Industrie verwendet wird» Dabei ist
darauf hinzuweisen, daß die Verwendung der neuartigen
Kombinationen und trnterkombinationen der Erfindung nicht
auf das hier dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt
ist und sich diese Merkmale auch auf anderen Gebieten' irar-Behandlung,
zum Iransport und zur Bearbeitung verschiedener
und unterschiedlicher Gegenstände anpassen lassen« Weiterhin ist anzumerken, daß die verschiedenen Merkmale der Erfindung einerseits in der Kombination ein% integrale Torrichtung
der hier beschriebenen Ausführung'ergeben* andererseits
jedoch auch unabhängig voneinander aus? - Sefeaaälung
Bearbeitung von Gegenständen «tee hier bes&l&'iebenen oöer
eines anderen 5Pyps einsetzbar sind.
der sohematisehen Darsteilung, der !ig. 1 wird
zunächst der irbeitsablatif einer Eeihe von
wie beispielsweise der dünnen Siliziumpiatten :■ (wafer)-erläutert,
die für die-spätere Yerwendimg'mm '■■ Weiterverarbeitung' zu integrierten Schaltungen, '-Ii?asi8lstoa?en vxiä
dgl. bestiamt sind» Hehrere blatten .(öie jeweils irdt ¥
in den Zeichnungen' bezeichnet'eiad}'« .beiepielBwa'ls©
zig oder mehr. Stüokf. -werden. zunäobjst in ^efeemitea?
.in ein Yorrateaagasia .1 "■e.iug*»Xegt« Bas :*%t Elairfcs
füllte J^igazin 1 wird, daim von- ϊ&ϊΐύ■ o^er asf .ssies
in ein* Beschiolcungsstatieii eingelegt ? in -wslohmg
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ausgeführt. In der hier dargestellten Ausführung besteht
die Bearbeitung aus einem Beschiehtumgssehritt, la©! welchem
jede Platte gedreht wird, während eine abgemessene Menge eines flüssigen Stoffes wie g »■$■.. einer Ihotoresistflüssigkeit
auf die Platte aufgebracht und während des Drehens durch Zentrifugalkraft gleichmäßig auf dieser verteilt wird.
ι Hach der Beschichtung werden äie Platten in einer Reihenfolge
und. dus?<3.?3.-3ine. zweite, allgesasis. mit; dem Bezugs- .'■ ■
zeichen 7 bezeichnete Aufnehme- w&ü Übergabevorrichtung,
die ebenfalls vorzugsweis© eineii Saaga^s aufweist, zu einer
Plattenabgabestation weiter-transportierte. ¥@riaittels dieser
Übergabevorrichtung werden öie 3?iattea Ia einer Eeiheiafolge
einer anderen, allgemein mit-, öse SsaixgsEsicfe.®si 6 ^®mlQh:n&;^
ten Übergabe— und Beschickungsvcsrriolifeug; s^i^ߣW-wt 0. -ί®!-=· . .-.
ehe neben der Abgabestation angeoräaet ista Die■'BssoMckoiiigs·
vorrichtung ist in der Eorm einer StrömiingsmittellagerungS"
schiene von vorzugsweise pneumatischer Ausführung und bewegt die Platten in einer Reihenfolge äur Abgabestation.
In der Abgabestation st ein Abgabemagazin 9 so angeordnet, daß es die beschichteten Platten aufnehmen Jcann,
damit diese anschließend als eine Gruppe (von Hand oder
auf andere Weise) anderen BearfeeitimgBstationen für ihre
weitere Verarbeitung zu -elefctroniscli^n Bauteilen zugeführt
werden könsistn. ^as Abgabemagaziawisi la seate@.©hter Rieh-
ÖQ9834/182l ■
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1059093
Das Torratsmagazin, besteht aus einem Körper 11 aus
geeignetem Kunststoff wie z.B. Bylon oder !Eeflon und ist
im waagerechten Querschnitt allgemein U-förmig ausgebildet, wie sich am besten aus Pig. 2 ersehen läßt. Der Magar
zinkörper ist mit einem allgemein Y-f8rmigen Ausschnitt
12 versehen, durch welchen Hatten während des Be·«·.- und
Entladens des Magazins eingesetzt oder herausgenommen werden.
Wie am besten aus den figuren 5 und 6 ereielitlieb.»
stehen mit dem Ausschnitt eins Beihe von Sippen'13 i&
Verbindung, die. in senkrechter Eißhtimg gegenseitig©' Afc**''.
stände aufweisen, ύθη Ausschnitt begi^iisea vmä s^
sich eine Heihe von-Schlitzeä 14 is. gög&iigi€z;&ig«?ä
ten Abständen bilden* in. welca® die :Piattea.¥ ©Is
werden.
.Wie aus den FigurömS unü 4 ereicJtetliefe, .;??<r. 'Imii. $ ie
Schlitze 14 zwischen ;'bQrisch.l?arten Idppsn gsi?aelialge f allgemein,
zueinander paxallsle Se;lt©nflä>3lia2i auf 9 '-die äEsea sia©
allgeanöin bogeBföreigt» EndfXäehe' miteisaü-ses? ¥O??teHö
Die' Breite und Höhe äer'-anispreeke&äön Söslits© ist
lieh größer als öle S3?SBe um: liier -aargestoll^efep is
befindlichen Platten f so äaS das Maga^tß. J?latt®s... iffit
Hoher G-räßen aufneMea icoim· Pabei ist-fSE teasät©*^ öaS ß
ϊ-fönaige Aueeohßitt 12 ies M&gasine is -'.wesosililiCih^m "bis
Sindflache. der entsprechen^ea.Sclitlt^© gsfffii^t iet8 so iaß
eich 4*r Aueechnitt im. w®ö@at?,i3lieii, Materhelß ü®s gemseji: .
OTierfläch,; -jeder,' izmerhftXb 4©ß Kagazins. MfiMIielisa Plattö
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Sperrnocken 21 zwischen der Yerriegelungsstellung mit dem
Magazin und einer Söse.stellung verschiebbar ist.
Wie aus Pig. 2 ersichtlich, wird die fragerplatte 16
von einer allgemein rechteckigen Platte mit einer ebenen
oberen Oberfläche gebildet, iron welcher Schultern 24 in
einem gegenseitigen Abstand nach oben Tors taken und zwischen
sich einen Schlitz zur Aufnahme eiaee Magasins Mläen, Die
Schultern weisen sich gegenüberliegende 9 naeHa. aiiSen hin
atiseinanderlaufanöe flächen 26 auf, die in allgemein parallele,
geradlinige Flächen 27: übergehen? welche mit den
äußeren, parallelen Seitenwinden eines Magazins In Eingriff
kommen können, wenn ein r^gazin auf äle frägerplatte aufgesetzt
ist. Die auseinanderlaufenden Seiten 26 ©rlaiehtsrn
das richtige Einführen des Magazins in. die !sscMelssngs«»
stellung für die Platten·
Die Schulterabschnitte der Trägerplatte weisen zueinander parallele, senkrechte Bohrungen 28 auf, durch welche
Führungen für die Trägerplatte hindurehgeführt sind. Diese
Führungen bestehen in der dargestellten Ausführungsform aus
zwei in einem gegenseitige^ Abstand angeordneten kreisförmigen,
zylindrischen Stäben 29, auf denen die Trägerplatte
während der senkrechten schrittweisen Schaltbewegung des Vorratsmagazins verschiebbar ist. Die Pührungsstäbe 29 sind
ihrerseits in aufrechter Weise an einer Grundplatte 31 des Maschinengcetells befestigt, wie Fig. 3 zeigt. Die Führungs-
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gart. Bei der dargestellten Ausführung bewirkt eine Drehung
der Stange 36 um eine volle Umdrehung die senkrechte Bin-*
Stillung des zugeordneten Magazine um eine Strecke, die
gleioh ist dem Abstand zwischen benachbarten Schlitzen 14 des Magazins· Selbstverständlich lassen eich, auch andere
Übersetzungsverhältnisse verwenden«
Obwohl aum Antrieb der Stellstange 36 unterschiedliche
Antriebsvorrichtungen wie beispielsweise hydraulische oder pneumatische Torrichtungen verwendet werden können, wird
in der hier dargestellten Ausführung eine elektromeohanisohe
Vorrichtung verwendet, die aus einem Servomotor 38 bekannter
Ausführung besteht, der durch Bolzen £9 an der Unterseite der Grundplatte 31 befestigt ist· Eine biegsame Kupplung
41 verbindet den Servomechanismus des Motors 38 in bekannter Vtise mit der Stellstange 36 und bewirkt eine Drehung der
Stange um vorbestimmte Beträge (vorzugsweise eine Umdrehung
für jeden Sohaltechritt, wie bereits erwähnt) in Abhängigkeit von dem Motor durch eine geeignete Steuervorrichtung
»ugeführten Signale, die jedesmal dann erscheinen, wenn eine
Platte der Reihenfolge nach au» dem Vorratamagaiin abgegeben
worden i«t. D.h., die Stange 36 wird in der "folge durch den
Servomotor jedesmal um Betrag« gedreht, die d*au auereichen,
am da« Vorratsmagazin um den Abstand zwischen zwei benachbarten Schlitten 14 des Magazins zu verschieben, eo daß aufeinanderfolgende Platten in die Plattenabgabeβteilung gebracht
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werden»
Wenn die Vorrichtung in Betrieb genommen wird und ein
gefülltes Vorratsmagazin auf die Trägerplatte 16 aufgesetzt
ist» wird zunächst die unterste Platte aus dem Magazin entnommen f wonach die Erägerplatte mit dem darauf befindlichen
Magazin schrittweise in senkrechter Richtung nach unten, geschaltet wird, um die jeweils unterste Platte in die Ent-*
nähmeβtellung zu bringen? bis aas Magazin geleert ist« In
diesem Zeitpunkt unterbricht eine geeignete Steuervorrichtung die weitere Betätigung der Entnahmevorrichtung, bis
sich die Trägerplatte wiederum in der oberen Lage befindet und ein anderes» gefülltes Magazin auf die Trägerplatte
aufgesetzt ist»
Aus den Figuren 2 und 4 ist ersichtlich, wie Schaltfolgtnateuersignale
von einem neben dor Entladestation befindlichen Steuergeber an den Servomotor 38 abgegeben wer«
den. Der Steuergeber besteht vorzugsweise aus einer Lichtquelle,
die durch die nacheinander von dem Vorratsmagazin abgegebenen Platten unterbrochen wird· Die !lichtquelle besteht
in der bevorzugten Ausführung der fig« 2 vorzugsweise aus einer neben dem Vorretsmagaein angeordneten faseroptischen
iühlvorrichtung 46 t die durch die Entnahme- und Übergabevorrichtung für die Platten gehalten wird« Wenn der vordere
Rand jeder aus dem Vorratsmagazin entnommenen Platte an der ?ühlvorrichtung 46 vorbeigeht» erzeugt die Unterbrechung
des /ιu \iv: üühlv<
: jJLvUt Lv^ "viL'.toi.-e
ein oirv *, 'iv, .Iu; ['■'cvjh,1 ■-»
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tragenden Strönnißg3mit;>
< , ϊΛΰ vlie !'^"',,y^^JL'^ig ir«! ^1J
Zentrierung der Platte beendet sind« Bisser Forgaag wia^a
im. einzelnen: weiter unten ausgefttteto Me lins®lheitea.
der hier verwendeten faseroptischen 'fühlvorriehtwng
nicht erläutert, weil eine derartige Vorrichtung raid
βteuerungsmäßige Verbindung mit einer Antriebsvorrichtung
wie z.B. einem Servomotor und einem Ventil in der Steuerungstechnik
bekannt sind.
In Verbindung mit der uchaltvorrichtung für das Vorratsmagazin sind weitere Steuervorrichtungen vorgesehen, die dazu
dienen, die schrittweise .!fortschaltung einzuleiten, sowie
automatisch zu beenden, wenn das Vorratsmagasin leer ist.
Wie 3?ig. 3 zeigt, sind zu diesem Zweck ein ol3©r@r waä ein
unterer Begrenzuiigsschalter 47 bzw, 48 auf einer S@it@ ä@r
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Vorrichtung neben einer Führungsstange in geeigneter Weise
an dem Maschinengestell vorgesehen. In der dargestellten Ausführung sind die Begrenzungsschalter einstellbar und
stehen von einem Paar in einem gegenseitigen Abstand auf der Hauptgrundplatte j>1 der Vorrichtung angeordneten aufrecht
stehenden Befestigungsplatten 49 vor. Von der Trägerplatte
16 steht nach unten ein Schalthebel 50 vor, der in der Darstellung der Pig. j>
in einer zwischen seiner obersten und untersten Stellung befindlichen Lage dargestellt ist.
Wenn die Trägerplatte 16 gegen ihre oberste Lage angehoben wird und sich ein volles Magazin auf der Platte befindet,
gelangt der Schalthebel i?0 in einen Eingriff mit dem Schaltarm 51 des Schalters 47, welcher in bekannter
Weise ein Signal zum Motor 38 überträgt und eine weitere
Bewegimg äer Trägerplatte nach oben verhindert. In dieser
Lage befindet sich der untere Schlitz des Vorratsmagaaine eine Fortsehaltstrecke oberhalb der untersten Entnahmestellung
für eine Platte.
Wenn der Schalthebel 50 mit der Trägerplatte 16 in die unterste Stellung gebracht wird, in welcher die letzte Platte
aus dem Magazin entnommen worden ist, wird der Schaltarm' 52 des unteren Begrenzungsschalters betätigt, wodurch in
bekannter Weise ein Signal zum Motor 53 übertragen und
eine weitere Bewegung der Trägerplatte 16 nach unten verhindert wird. Dadurch wird die Entnahme von Platten unter-
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- Z5 -
brochen, bis die Trägerplatte wieder in die Ausgangslage zurückgebracht und ein gefülltes Magazin anstelle des leeren
Magazins eingesetzt worden ist. Die Neueinstellung der !Trägerplatte
kann vermittels einer geeigneten (nicht dargestellten) Übersteuerungsvorrichtung erfolgen, welche den
Servomotor und die mit diesem verbundene Stellstange 3b
im umgekehrten Sinn antreibt, bis der Schalthebel 50 in der
beschriebenen Weise in Berührung mit dem Schaltarm 51 des oberen Begrenzungsschalters kommt.
Wie ebenfalls aus den Figuren 2 und 3 ersichtlich, weist die Schaltvorrichtung einen Schalter auf, der den
Schaltvorgang verhindert, wenn sich ein Yorratsmagazin nicht in der richtigen Lage auf der !Prägerplatte befindet. Normalerweise
steht von der oberen Oberfläche der !Trägerplatte der Arm eines Schalters 53 vor, der bei einwandfreier
Ausrichtung eines Magazins auf der Trägerplatte in einen entsprechenden Schlitz der Trägerplatte gedrückt wird. Wenn
kein Magazin aufgesetzt ist, bewirkt der Schalter 53 eine Übersteuerung des Servomotors und verhindert eine schrittweise Portschaltung der Trägerplatte in der beschriebenen
Weise. Somit stellt der Schalter 55 die Anwesenheit oder Abwesenheit eines Vorratsmagazine fest und verhindert eine
automatische Fortschaltung der Trägerplatte, wenn eioh kein
Magazin auf dieser befindet.
unteren Begrenzungsschalters, sowie des Schalters, der das Vorhandensein eines Magazine feststellt, bekannten Ausführungen
entsprechen, erübrigt sich hier eine ausführliche Beschreibung ihres Aufbaues undihrer Wirkungsweise.
Als nächstes soll die Entnahme- und Übergabevorrichtung
für Platten beschrieben werden. Die Entnahme aufeinanderfolgender
Platten aus dem Torratsmagazin erfolgt durch die Entnahme- und Übergabevorrichtung 2. Wie aus den. Figuren
2 bis 8 ersichtlich, weist die hier dargestellte Vorrichtung eine verbesserte Strömungsaittellagerung auf, die aus
einer Luftlagerschiene besteht, die unmittelbar neben dem Körper 11 des Yorratsmagazins angeordnet ist und sich wenigstens
teilweise unterhalb desselben befindet. ¥ie aus ei en !Figuren 2 bis 4 am klarsten ersichtlich, weist die Lagerschiene
eine allgemein T-formige Halteplatte 55 aus Metall
oder Kunststoff auf, die an ihren in Pig. 2 seitlich gegenüberliegenden Enden durch die bereits erwäainsen Befestigungspiatten
49 oberhalb der Grundplatte 31 der Torrichtung gehalten wird. Geeignete Schrauben 57 verbinden
die Ealtaplatte mit den nach oben vorstehenden Befestigungsplatten
49.
Wie aus den Piguren 4 bis ü ersichtlich, siad in der
oberen Oberfläche dar Haltaplatta Reihen paralleler, offener
Schlitae 5ö ausgebildet und erstrecken sick in Längs-
<i@r Torrichtung über die ganze Länge der Halte-
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copy
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platte. In der vorliegenden Ausführungsform sind drei Reihen von Schlitzen vorgesehen. Die Schlitze 5β sind im senkrechten
Schnitt allgemein rechteckig ausgebildet und weisen ebene, zueinander parallele Seitenwände 59 auf (Fig. 6).
Wie ebenfalls aus Fig. 6 ersichtlich, erstreckt sich quer zur Halteplatte eine Vorkammer 61, und eine Reihe von in
gegenseitigen Abständen angeordneten Öffnungen 62 sind durch die Halteplatte nach oben geführt und verbinden die
Vorkammer mit den Schlitzen 58.
Eine Verschlußplatte 63 aus Metall oder Kunststoff ist in geeigneter Weise wie beispielsweise durch Bolzen
64 mit der Unterseite der Halteplatte verbunden und dient dazu, die Vorkammer abzuschließen (Fig. 6). Um einen luftdichten
Abschluß zu erreichen, können (nicht dargestellte) Dichtungen vorgesehen sein. Durch die Verschlußplatte 63
verläuft eine Bohrung, in welche ein Anschlußstück 66 eingeschraubt ist. Das Anschlußstück 66 ist vermittels einer
Schlauchleitung 67 oder dgl. mit einer Quelle eines zur Halterung der Platten dienenden Strömungsmittels verbunden,
das durch, das Anschlußstück in die Vorkammer eingeführt wird. Die Strömungsmittelquelle besteht in der bevorzugten
Ausführung aus einem Druckluftvorrat, der in (nicht dargestellter)
bekannter Weise durch einen Verdichter erzeugt wird.
Wie aus den Figuren 4 und 5 zu ersehen, ist die J1UhI-vorrichtung
46 durch die Halteplatte 56 und die Verschluß-
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COPY
platte 63 durchgeführt und wird durch diese in der bereits dargestellten Betriebslage gehalten.
Die Strömungsmittellagerschiene wird durch mehrere Düsenstäbe 68 vervollständigt, die jeweils in einem zugeordneten
Schlitz 58 der Halteplatte angeordnet sind und diesen praktisch voll ausfüllen. Aus den Figuren 2 und 4
ist zu ersehen, daß die Formgebung der Stäbe so gewählt ist, daß die Stäbe ziemlich genau den Querabmessungen der entsprechenden
Schlitze 58 entsprechen und die Schlitze in der länge im wesentlichen ausfüllen. Außerdem ist zu ersehen,
daß der mittlere Stab Wesentlich langer ausgebildet ist als die seitlichen Stäbe, da der mittige Schlitz infolge
der T-förmigen Formgebung der Halteplatte eine größere
länge aufweist. Der mittige Stab bildet denjenigen Abschnitt der Strömungsmittellagerung, welcher in den Körper
11 des Torratsmagazins hineinragt und die Platten aus diesem
in der bereits angedeuteten Weise in einer bestimmten Reihenfolge entnimmt. Mit anderen Worten, der mittige Stab 6d
befindet sich unterhalb jeder der aufeinanderfolgenden Platten, die in die Sntnahmesteilung gebracht worden ist,
so daß durch, den mittigen Stab eingeführte Luft die Platte
von ihrer Haltelippe innerhalb des Torratsmagazins abheben und die Platte für die nachfolgende Bearbeitung aus dem
Magazin herausnehmen kann.
Zur Entnahme τοη Platten hat die durch die Hfelteplatte '
über die Düsenetäbe eingeführte Luft eine bestimmte Riohtuage-
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wirkung, die aufgrund der verbesserten und neuen Formgebung der Luftdurchlässe in den Düsenstäben erzielt wird, wie aus
den Figuren 5 bis 8 ersichtlich ist.
Wie aus den Figuren 7 und 8 zu ersehen, weist jeder
Düsenstab 68 eine allgemein T-förmige Formgebung mit allgemein parallelen Seitenflächen 69 auf, die auf der Unterseite
des Stabes weggeschnitten sind, so daß in Längsrichtung des Stabes verlaufende, langgestreckte Kanäle 71 gebildet
werden. Diese Kanäle stehen in Verbindung mit den durch die Halteplatte 56 hindurchgehenden öffnungen 62 der
Vorkammer 61, so daß die von der Vorkammer kommende Luft
durch die Stäbe in voller Länge hindurchgehen kann,, Dis
Kanäle 71 sind bis zu einer innerhalb dar entgegengesetzten Enden der Stäbe befindlichen Stelle geführt, so daS die
Enden der Schlitze 58, in welchen sich die Stäbe befinden, abgedichtet sind (siehe Fig. 6).
Die Düsenstäbe haben solche Abmessungen, daß sie die
in der Halteplatte befindlichen Schlitze 58 im wesentlichen
ganz ausfüllen und die oberen Ränder der Stäbe im wesentlichen in einer Ebene mit der oberen Oberfläche der
Halteplatte liegen, wodurch eine glatte Lagsrfläche gebildet wird, über welche die Platten hinweggeführt werden
können. Zur Befestigung der Stäbe lind in der in ?ig. 4
dargestellten Weise mehrere Schrauben 72 duroh die Halte platte nach oben geführt und in die Stäbe •ingesohraubt.
Copy
Die sich gegenüberliegenden Seitenflächen 69 der Stäbe
stellen in einem Eingriff mit den glatten, sich ebenfalls
gegenüberliegenden Seitenwänden 59 des entsprechenden Schlitzes in der Halteplatte. Zur Bildung der Luftkanäle
sind die Seitenflächen 69 der Stäbe mit Vorrichtungen versehen, die einen verbesserten Luftdüsenaufbau darstellen»
Die Luftdüsen bestehen aus einer Reihe in gegenseitigen Abständen angeordneter Nuten 73, die in den gegenüberliegenden
Seitenflächen der Stäbe ausgebildet sind. Zur Erzielung einer besonders wirkungsvollen Luftlagerung ist
jeda Nut ao ausgerichtet, daß sie den von der Luft gehaltenen
Platten eine Längsbewegung mitteilt.
Das Richtungsvermögan wird dadurch erreicht, daß jede
Hut ΪΏ. bezug auf die Längsachse des Stabes eine vor be stimmte
Austrittswinkelneigung erhält. Außerdem erhält jede Nut vorsugsweise eine düsenförmige Ausbildung, indem die Nut
an dam mit dam Kanal 71 in Verbindung stehenden Ende breiter
und tiefer ausgebildet wird und sich fortschreitend verjüngt, so daß sia an ihrem Austrittsende schmaler und
wenlgar tief ist (siehe Figuren 7 und 8). Sin derartiger
Düaenaufbau let sehr wirkungsvoll und gewährleistet eine
positive Steuerung und Bewegung der Platten oder anderer, vermittels dar hier offenbarten Strömungsmittellagerung
transportierten. Gegenstände.
Wie aus den gestrichelten Linien 70 der Pig. 5 ersichtlich,
stellt jede Düsennut 70 vorzugsweise einen Kreisbogenabschnitt eines großen Kreises dar, dessen Mittelpunkt
gegenüber der Stabachse versetzt ist. Der Austrittswinkel der von der bogenförmigen Nut abgegebenen
Luft kann entsprechend bekannter Überlegungen an die jeweiligen Erfordernisse, wie z.B. die für die transportierten
Gegenstände gewünschte Geschwindigkeit und Ausdehnung
»
der Längsbewegung angepaßt werden. Die Neigung kann auch an das Gewicht der behandelten Gegenstände und an andere
für Strömungsmittellager bekannte Paktoren angepaßt werden. Ein Austrittswinkel zwischen 15° und 25° hat sich beispielsweise
als geeignet zum Transport vialer Gegenstände wie z.B· von Platten gezeigt.
Abgesehen von der Länge ist jeder Stab 68 im wesentlichen identisch mit der hier dargestellten Ausführung,
ggf. können jedoch die einzelnen Stäbe auch unterschiedlieh ausgebildet sein. Wenn dia Luftlagerschiene beispielsweise
eine positive Zentrierungssteuerung der Platten bewirken
soll, um den Durchgang aufeinanderfolgender Platten allgemein in der Längsachse der Schiene zu gewährleisten,
können die Düsennuten in den gegenüberliegenden Seitenstäben
nach 1 Tin en zur Längsachse der Schiene gerichtet sein,
um den. abgegebenen Luftstrom nach innen zu richten. Die
Zentrierungaeteuerung kann auch durch Veränderung der formgebung oder, der Größe der Düsennuten in den Seitenstäben
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195909.
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Tif-felageriiag ein© Bewegimgsmöglio'lik^lt in swei Eieh
af weist ? so äaS α ie t^dg^astänöa ^n^iaiig sin miü üqx-
003124/1823
sein kann.
In der dargestellten Ausführung transportiert die Luftlagerschiene Platten nacheinander von dem Vorratsmagazin zu der benachbarten Zentrieretation, in welcher
für den "beschriebenen Zweck ein Zentriervorgang an den Platten ausgeführt wird.
In den Figuren 2 bis 5 und in Fig. 9 ist eine Zentriervorrichtung zum Zentrieren nacheinander von einer Beschiokungsquelle
zugeführter Platten vor ihrer Übergabe zur Behandlungsstation dargestellt* Wenngleich die hier dargestellte
Seschiokungsquelle aus einem Yorratsmagazin besteht, können
die Platten auch von anderen Quellen wie z.B. einer weiteren Bearbeitungsmaschine oder einer zur Beschickung dienenden
Fördervorrichtung geeigneter Ausführung zugeführt werden.
Die Zentriervorrichtung enthält die bereits erwähnte
Zentriereinheit 3, die aus einer allgemein flachen Sohüsael 76 aus Metall oder Kunststoff besteht und in der aus den
Figuren 2 und 4 ersichtlichen Weise i» Draufsicht allgemein
quadratisch ausgebildet ist· Die Schüssel weist eine flache, regelmäßig konkave obere Oberfläche 75 auf, deren Tiefe von
den äußeren Rändern der Schüssel aus in Richtung der in
Fig, 4 mit 77 bezeichneten Mitte regelmäßig zunimmt. Die Schüssel ist durch Kopfschrauben 79, welche durch die Halteplatte
hindurοhgeführt sind und in der in Fig. 4 dargestellten
Weise mit eines Rand 73 der Schüssel im Singriff stehen,
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unmittelbar an der Halteplatte 76 der Luftlagerung befestigt. TJm den Umfang der Schüssel herum an den anderen drei Rändern
ist eine durchgehende Lippe vorgesehen, die über die obere konkave Oberfläche der Schüssel hinaus vorsteht und aus
einer Reihe flacher Metallstreifen 81 besteht, die durch Kopfsehrauben 82 mit den Bändern der Schüssel verbunden
sind. Die kontinuierliche Lippe, welche von den Metallstreifen gebildet wird, stellt eine Haltevorrichtung dar,
welche während eines Zentriervorganges eine unbeabsichtigte Bewegung der Platten über einen Hand der Schüssel hinaus
verhindert. Aus den Figuren 2, 4 und 5 ist zu ersehen, daß die Platten von der Luftlagerung aus unmittelbar für
die Bearbeitung auf die obere konkave Oberfläche der Zentrierschüssel eingeführt werden.
Dae Zentrieren der Platten in der Schüssel 76 erfolgt
durch ein Strömungsmittel, das durch die Schüssel nach oben strömt und in einen Eingriff mit einzelnen Platten kommt,
die nacheinander auf die obere Oberfläche 75 der Schüssel gebracht werden. BaB zum Halten der Platten dienende Strömungsmittel
ist vorzugsweise ein pneumatisches Strömungsmittel, das durch Reihen τοη Luftkanälen innerhalb der
Schüssel zugeführt wird. In der dargestellten Ausführung
besteht die Schüssel aus einem Gußstück oder ist aus einer Platte aus Metall oder Kunststoff herausgearbeitet, wobei
die Luftkanäle aus einer Reihe in regelmäßigen Abständen angeordneter Löcher 8$ bestehen, die auf von der Mitte 77
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der Schüssel ausgehenden Halbmessern in konzentrischen Ringen
um die Mitte herum angeordnet sind. Bs lassen sich jedoch auch andere Konstruktionen verwenden» "beispielsweise
eine aus einem porösen Metall wie z,B, Pulverbronze hergestellte
Schüssel, die aufgrund ihrer porösen Beschaffenheit' zahllose Luftkanäle aufweist. Die hier dargestellte Schüsselkonstruktion
wird τedoch für die Behandlung von Platten bevorzugt.
Unterhalb dex Schüssel befindet s.icfc. oi.,.5,6 Vorkammer
64, die durch eine mit Kopfschrauben 87 (Fig. 5) mit der
Unterseite eines Umfangsflansches Bü ;i€c Schüssel verbundene
Verschlußplatte 6b gebildet wird» Sie Verschlußplatte
Bb läßt sich genau in den Flansch 6ö aJapaseen ιιηά eine
Schulter 89 der Platte liegt in der la Pig» 5 dargestellter;
Weise auf der Unterseite des Flansches auf. Um -da« Entweichen von Luft aus der Vorkammer zu vermeiden, ist in eine
Nut zwischen dem Flansch 88 und der Schulter 89 eine 0-B.ing-Dichtung
91 eingesetzt.
Durch die Verschlußplatte ist ein mit der Vorkammer 84 in Verbindung stehendes .anschlußstück 92 durchgeführt,
das vermittels einer Schlauchleitung 93 mit einer Druckluftquelle
wie z.B. einem herkömmlichen (nicht dargestellten) Luftverdichter verbunden ist. Die über die Schlauchleitung
93 und das Anschlußstück 92 zugeführte Luft tritt in die
Vorkammer ein und gelangt durch die in gegenseitigen Abständen
ausgebildeten Löcher 83 nach oben durch die Schüssel,
00 98 247 18.2 3 ,
wobei sie "bei ihrem Austritt aus der Schüssel in eine Berührung
mit einer auf der konkaven Oberfläche 75 befindlichen Platte kommt.
Durch Verwendung einer (nicht dargestellten) Pulsiereinrichtung für Luft läßt sich die zur oberen Oberfläche
der Schüssel zugeführte luft in schnelle Schwingungen oder Pulsationen versetzen, so daß eine mit der Luft in Eingriff
fe stehende Platte ohne Beschädigung in schneller Folge und
sich laufend wiederholend angehoben und fallengelassen wird. Durch diese Hin- und Herbewegung der Platten vermittels
pulsierender Lüftströme werden die Platten von einer am Umfang der Schüssel befindlichen Stelle zur Mitte derselben
bewegt. Die Luftpulsationen werden über einen bestimmten
Zeitraum hinweg fortgesetzt, bis die Platte so weit bewegt worden ist, daß sich ihre Mitte oberhalb der Mitte 77 der
Schüssel befindet. Sobald sich die Platte über der Schüsselmitte befindet, wird die zentrierte Lage durch weiterhin
" anhaltende Pulsationen der Luft nicht gestört. Sobald die
Pulsationen abgestellt werden, setzt sich die Platte auf der Mitte der Schüssel ab, wobei ihre Mitte konzentrisch
mit der Schüsselmitte 77 ist.
Die Frequenz der Pulsation ist abhängig von dem Typ und der Größe der zu zentrierenden Gegenstände, und für
Siliziumplatten ist eine Pulsationsfrequenz innerhalb des . Bereiches von 1 bis 10 Impulsen pro Sekunde brauchbar,
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wobei sich zwei Isis vier Impulse pro Sekunde allgemein
eignen, Wie bereits erwähnt, kann die Zentriervorrichtung Gegenstände sehr unterschiedlicher Größen zentrieren.
Weiterhin ist eine Vorrichtung vorgesehen, die dazu dient, jede einwandfrei zentrierte Platte oberhalb der
Schüssel anzuheben, damit sie in einen Eingriff mit der bereits genannten Aufnehme- und Übergabevorrichtung kommen
kann, die im nachstehenden ausführlich beschrieben wird. Die Hebevorrichtung weist einen hohlen Stift 96 auf (Piguren
4, i? und 9)» der durch eine konzentrisch zur Schüsselmitte
77 ausgebildete Bohrung 97 durchgeführt ist. Die Achse des Stiftes 96 ist ebenfalls konzentrisch mit der Schüsselmitte»
Aus den figuren b und 9 ist zu ersehen, daß die Schüssel eine nach unten vorstehende zylindrische Verlänge
rung 98 aufweist, durch welche der Stift 96 hindurchgeführt
ist. Die Verlängerung 93 ist ihrerseits in eine nach unten
vorgehende zylindrische Verlängerung 99 der bereits erwähnten Verschlußplatte 86 eingesetzt, wobei sich zwischen
den Verlängerungen in einer geeigneten Nut 101 eine O-Ring-Dichtung 100 befindet» die zur Lui'tabdichtung dient.
Die Bohrung 102 des hohlen Zentrieretiftee 96 ist
an ihrem unteren Ende mit einer Unttrdruokquelle verbunden,
dit in fig. 9 allgemein durch, das JLnachlufle-fcück 103 ange
deutet ist, Wenn dtr Stift von der in fig, 5 dargestellten
unteren Lagt In die in geetriohelten linien in dieeer fig*
i ÖÖIl24/1ta3
und in ausgezogenen Linien in Pig. 9 dargestellte obere lage angehoben wird, wird automatisch ein Unterdruck durch
die Bohrung 102 an der Unterseite einer oberhalb des Stiftes befindlichen Platte ausgeübt, durch welche die Platte
in einem festen Eingriff mit dem oberen Ende des Stiftes gehalten wird, wobei die Mitte der Platte im wesentlichen
mit der Stiftachse zusammenfällt.
fc Die Verlagerung des Stiftes 96 nach oben, sowie die
anschließende Verlagerung des Stiftes nach unten erfolgt durch einen herkömmlichen Druckluft zylinder, der in Pig. 9
allgemein mit 104 bezeichnet wird. Der Stift 96 ist innerhalb
des Zylinders mit einem in diesem gleitend verschiebbaren Kolben verbund9ZU
In bekannter Weise wird der Stift durch Einführen von Luft gegen die Unterseite des inner
halb des Zylinders befindlichen Kolbens angehoben und bei Entlüftung der Luft von der Unterseite des Kolbens und bei
Einführen von Luft in den Zylinder oberhalb des Kolbens
eingesogen. Die Steuerung für den Kolben ist daher Bit
den Anlegen de· Unterdrücke« an die Stiftbohrung gekoppelt
und erfolgt automatisch vermittele einer weiter* unten beschriebenen Steuervorrichtung.
Dem κατ Entnahm· von Platten dienenden Strbmungemittellager 2 wird icein Strömungsmittel lugeführt, während eine
Platte ientriert wird» un die Beeinträchtigung der Zentrierung durofe eine andere Platte au vermeiden.
§30114/1113
Die zentrierten Platten werden nacheinander von. der
Zentriervorrichtung vermittels der Aufnehme- und Übergabevorrichtung
an die neben der Zentriervorrichtung befindliche Bearbeitungsstation abgegeben. Die Übergabevorrichtung,
vermittels welcher die Platten von der Zentriereinheit zu der Bearbeitungsstation bewegt werden, ist betriebsmäßig
mit anderen Übergabevorrichtungen verbunden, die dazu dienen, bearbeitete Platten von der Bearbeitungsstation zu
efner Abgabestation zu bewegen. Bevor auf die Beschreibung der ersten und der zweiten Aufnehme- und Übergabevorrichtung und auf deren Antriebsvorrichtungen eingegangen wird,
sollen die Einzelheiten der in der Bearbeitungsstation befindlichen Bearbeitungseinheit beschrieben werden.
Dabei handelt es sich um die Dreh- und Beschichtungsvorrichtung. Einwandfrei zentrierte Platten werden nacheinander
der mit dem Bezugszeichen 6 bezeichneten Bearbeitungseinheit zugeführt. In der hier dargestellten Ausführung,
in welcher für die Herstellung elektronischer Bauteile bestimmte Siliziumplatten bearbeitet werden sollen,
ist die Bearbeitung^s/einheit so ausgelegt, daß sie eine
abgemessene Menge eines flüssigen Stoffes wie z.B. eines allgemein in der elektronischen Industrie verwendeten
flüssigen Photoresiststoffes auf jede in der Bearbeitungsstation befindliche Platte aufbringt und diesen Stoff gleichmäßig
auf dex* oberen Oberfläche jeder Platte verteilt.
Der Photoresiststoff kann beispielsweise aus den allgemein
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auf diesem Gebiet verwendeten Stoffen "KPR", "KMER" oder
"KTPR" der Firma Eastman Kodak bestehen.
Die Einzelheiten der Dreh- und Beschichtungseinheit zum Drehen und Beschichten der Platten sind in den Figuren
2, 3 und 11 dargestellt. An der Grundplatte J51 ist
in geeigneter Weise wie z.B. durch Schweißung eine nach oben vorstehende und in den Figuren 2 und S mit 111 be-
^ zeichnete Trägerplatte für die Ausgabe-vorrichtung aufrecht
stehend befestigt, mit deren Oberseite durch mehrere Bolzen
113 eine Befestigungsplatte 112 parallel zur Grundplatte
51 verbunden ist. Wie Fig. 11 zeigt, ist oberhalb der
Platte 112 vermittels eines durch Zapfen 117 mit der Platte 112 verbundenen Befestigungsgehäuses 116 ein allgemein mit
114 bezeichneter Flüssigkeitsausgabekopf gelagert. Weitere Zapfen 118 verbinden den Kopf 114 mit dem Gehäuse 116.
Das Gehäuse 116 weist eine mittige Bohrung 119 auf, * in welcher sich eine Ausgabedüse 121 befindet. Die Ausgabedüse
121 ist vermittels eines geeigneten Ventile 122 mit einer Schlauchleitung 12.2 verbunden, die wiederum mit einem
unter Druck stehenden Vorratsbehälter 124 (Fig· 2) bekannter Ausführung verbunden ist, in welchem eine Menge eines Photoresiststoffes
unter Druck gehalten wird, der dazu dient, in Abhängigkeit von einer Öffnung des die Düse 121 steuern
den Ventils 122 in vorbestimmten, abgemessenen Mengen abge-.
geben zu werden. In dem Behälter 124 wird vorzugsweise Stick-
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stoff als Druckmittel verwendet. Der Ausgabekopf und die
mit diesem verbundenen Vorrichtungen sind von bekannter Ausführung, so daß sich eine weitergehende Beschreibung
erübrigt.
Vie am besten aus Fig. 11 ersichtlich) befindet sich
unmittelbar unterhalb der Ausgabedüse 121 eine drehbare Spindel 126, auf deren oberes Ende aufeinanderfolgende
Platten durch die Aufnehme» und Übergabevorrichtung abgelegt werden können* Die Platten werden in einer solchen
Weise auf die Spindel aufgelegt, dafl ihr« Hittelpunkte
la wtaentliohen alt dar aankraohtan Aohit dar Spindel
126 iuianatnfalltn. Dia Spindel 126 wallt tint Ubtr ihrt
ga&ia Längt durohgaittartt Bohrunf 127 auf, dlt ytraltttla
tin·· Ana ohluBit tickte 128 und ainar Sohlauohleitung 129
1 . t
alt alnar Untardruokqualla in Verbindung eteht. Venn ein Unterdruck an di· Spindel angelegt wird, werden iuf du
obere 2nda dar Spindti aufgelegte Piatttn auch während j
hofctr Drehgeschwindigkeiten dar Spindel auf dlatar faitgaaalttn.
Dtr Drehantrieb der Spindel kann auf gttignttt Vtiat |
wit β. B* duroh tintn alt 131 b tat lohnt tau kltintn eltktjpi- aohati Strroaotor trfolgtn, dar dann is Bttritb gtattit !
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wird, naohdtm tint Platt· in dar riohtigtn Veit· auf da« '
ofetrt Spindtitndt aufgesttzt worden itt. Dia Abgabt dar
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Photoresietflüssigkeit und die Drehung der Spindel erfolgen
in einem bestimmten zeitlichen Verhältnis zueinander, so daß der auf die aufeinanderfolgenden Platten aufgebrachte Photoresiststoif
bei der Spindeldrehung durch die Zentrifugalkraft gleichförmig über die Oberfläche der Platte verteilt
wird und eine gleichförmige Beschichtung derselben bewirkt.
Palis erwünscht, können auch mehrere Lagen von Photo-
reeistitoff auf ein und die gleiche Platte aufgebracht wer-
(Jtn, was jtveil· Ton dta beabsichtigten Verwendung«■ weck
dtr Hat*· in epättrtu itaxbtitungSTorgängen abhängig ist.
¥titt»ai» kann jtdt n*tt· «uxoh dtn Motor 131 in mi
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·« 8,1. itinielMt Bit timer lama—a Drthfeiohwindifkeit,
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Mit ho)»» Drehtahl, üb «in« fleiohBMigf Verteilung 4te
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lit fora tint· tia- und «Beai«Bliv·« VBff·«! dar ia tig. 11
allgtBtin ait dt« Btiugtstiohtn 132 btitlohntt iat und Bit
dta b«rtit· erwähnten B«ititigunftgthäuit 116 iutaaBtn-
wirken kann. Der Napf besteht aus einer allgemein an ihrem
oberen Ende offenen und mit einer zylindrischen Öffnung 154 an ihrer Unterseite 135 versehenen zylindrischen Schale
133, die -vermittels der Öffnung die Spindel 126 umgeben und
sich dieser gegenüber in Längsrichtung verschieben kann.
Die zylindrische Wand der Schale ist von der Unterseite 135 um eine größere Strecke nach oben geführt, um Photoresistfasern
aufzufangen, die durch die bei der Beschichtung der Platte auftretende Zentrifugalkraft nach außen geschleudert
werden können. Wie aus Pig. 11 zu ersehen, ist eine Vorx'ichtung vorgesehen, die dazu dient, die Schale wahlweise
aus der in ausgezogenen Linien dargestellten eingezogenen Lage in die in gestrichelten Linien angedeutete
ausgefahrene Lage zu bringen.
Wie die gestrichelte Linie der Mg. 11 zeigt, umgeben
die Wände der Schale 133 in der angehobenen Lage derselben im wesentlichen ganz den unteren Abschnitt des Gehäuses
116, das einen .nach unten vorstehenden Umfangsflansch 13b
aufweist. Somit wirken die Wand der Schale 133 und der
Plansch 136 zusammen und bilden eine im wesentlichen abgeschlossene
Kammer, welche die Platte umgibt, wenn sich die Schale in der angehobenen Stellung befindet, wodurch
jede Möglichkeit ausgeschaltet wird, daß Photoresiststoffe benachbarte Teile der Torrichtung verschmutzen oder beeinträchtigen.
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M'
Fig. 11 zeigt ebenfalls, daß ein Auslaß zum Entfernen
verfestigter oder nichtverfestigter Photoresiststoffe
aus der Schale während eines Beschichtungsvorganges vorgesehen
ist, wobei der Auslaß aus einem mit der Unterseite 135 der Schale verbundenen Unterdruck-Auslaßrohr 138 und
einer Befestigungsplatte 137 für das Rohr besteht. Das Auslaßrohr ist mit einer Abzugs-Schlauchleitung 139 verbunden,
die wiederum mit einer Unterdruckquelle und einem P (nicht dargestellten) Abfallauslaß verbunden iet.
Die zum Anheben und Einziehen der Schale 133 dienende Vorrichtung ist in Fig. 11 mit dem Bezugszeichen 14-1 dargestellt.
In der bevorzugten Ausführung ist die Befestigungsplatte 1371 mit welcher die Unterseite der Schale verbunden
ist, mit einem seitlichen Vorsprung 142 versehen, an dem eine Verbindungsstange 143 befestigt ist, die einen
Sitz für eine mit dieser verbundene Kolbenstange 144 bildet. Die Stange 144 ist ihrerseits in einen Luftzylinder 146
w eingeführt und innerhalb des Zylinders mit einem (nicht
dargestellten) Kolben verbunden, durch den die Befesti gungsplatte 137 und die an diesem befestigte Schale entsprechend der Zufuhr von Luft gegen die eine oder die ande-,
re Seite des Kolbens in an sich bekannter Weise wahlweise angehoben oder eingezogen werden können. Die zeitliche
folge für die Kolbenbetätigung, um die Schale entsprechend der Arbeitsweise anderer Teile der Vorrichtung anzugeben
oder einzuziehen, wird im nachstehenden beschrieben.
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Wie aus ίig. 3 ersichtlich, ist der Zylinder H6 durch
einen Bügel 147 in geeigneter Welse mit dem Maschinengestell der Torrichtung verbunden. An dem oberen Ende des Bügels
147 ist ein Eührungslager 148 "befestigt, und eine gleitend
verschiebbare Führungsstange 149 wird durch das Lager geführt. Bas untere Ende der Pührungsstange ist durch ein
Verbindungsglied 150 mit dem unteren Ende der Kolbenstange
144 verbunden. An dem oberen und dem unteren Ende des Hubes
der Kolbenstange 144 kommt das Verbindungsglied jeweils In
Berührung alt einem oberen bzw. einem unteren, zur Steuerung dienenden Begrenzungsschalter 1 40 baw. 145·
Nachdem die einzelnen Platten in der Bearbeitungeetat lon mit einer Photoresistbesohiohtung versehen, oder
auf andere Weise bearbeitet worden sind, werden sie von der Bearbeitungeetation durch Aufnehme- und Übergabevor»
richtungen der Abgabeetation zugeführt·
Ale näohetes «ollen die Aufnehme- und Übergabevorrichtungen 4 und 7 der hier dargestellten Vorrichtung
beBohrleben werden, die dazu dienen, die Platten von einer
Station an eine andere Station abzugeben. Vermittels dieser Vorrichtungen werden die Platten In einer genauen
•eitliohen folge lunäohat von der Zentrieretation aur
learbeitungeetation und dann von der Bearbeitungsetation
zur Abgabeetation bewegt.
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In der hier dargestellten Ausführung der Erfindung
sind die entsprechenden Aufnehme- und Übergabevorrichtungen betriebsmäßig miteinander verbunden und bewirken gleichzeitig die Bewegung einer Platte von der Zentrierstation
zur Bearbeitungsstation und einer anderen Platte von der Bearbeitungestation zur Abgabestation, Es lassen sich jedoch auch betriebsmäßig vollkommen voneinander getrennte,
jedoch in einem bestimmten zeitlichen Verhältnis zueinander arbeitende Aufnehme- und Übergäbevorrichtungen anstelle
der hier dargestellten und unmittelbar miteinander verbundenen ersten und zweiten Übergabevorrichtungen verwegen.
Per Autbau der Aufnehm·- und Übergabevorrichtungen und
ihr Verhältnis zu den anderen Teilen der Vorrichtung sind
in San figuren 2, 3 und 9 bis 16 dargestellt. Sie bestehen
garn allgemein aus einem vermittels eines Druckluftsylinders
betätigten Sohieber, an dem sich Aufnahmevorrichtung·!! für
Platten befinden, die voriugawti·« au· Sftugarnsn bestehen.
Wenn der Zylinder betätigt wird, wird dtr Sohieber «wischen vorbestimmten Stellungen hin und htr bewegt, in dentn die
entsprechenden Aufnehmearm· in einen Singriff mit der auf dem Zentrieret if t 96 in der Zentrier station büw. der auf
der Drthapindtl 126 in dtr Bearbeitungestation gelagerten
Platt· kommen.
In den figuren 12 wan 1? ist «in· bevorsugte Ausführung
•in·! Sehi«b«rs dargestellt» d«r aus «1η·Γ allgemein U-för-
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migen, flachen Schieberplatte Ί5Ι mit einem langgestreckten
Schlitz 152 besteht, welcher im wesentlichen über die ganze
Länge der Platte verläuft. Die Schieberplatte befindet sich unterhalb der Zentrier- und Bearbeitungsstationen und der
Schlitz 152 gestattet eine Bewegung der Platte in bezug
auf die Drehspindel 12b, das Unterdruck-Auslaßrohr 138
und die Kolbenstange 144 zum Anheben der Schale, sowie den Druckluftzylinder I04 für den Zentrierstift, wie Fig. 12
zeigt.
Die Schieberplatte ist in bezug auf die genannten Stationen durch drei Gleitlager 153f 154 und I56 in Längsrichtung
der Vorrichtung verschiebbar gelagert. Die Gleitlager sind vermittels geeigneter Schrauben 157 an der unteren
Oberfläche der Platte befestigt und verschiebbar um
zwei zylindrische Führungsschienen 159 und 166,die sich parallel zueinander unterhalb der Schieberplatte erstrecken.
Die Führungsschienen werden an entgegengesetzten Enden durch Haltebügel 162 und 163 gehalten, die von einem Befestigungskanal
164 in der Form eines umgekehrten 11U" nach
oben vorstehen. Der Befestigungskanal 164 bildet die Hauptbasis oder -lagerung für den Schieber und ist seinerseits
auf geeignete Weise wie beispielsweise durch Bolzen oder vermittels Verschweißung an einem aufrechten Rahmenglied
166 befestigt, das mit der Grundplatte 31 der Vorrichtung verbunden ist, wie aus Fig. 3 ersichtlich. Der Befestigungs-
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kanal weist in regelmäßigen Abständen entlang seiner Länge geeignete Ausnehmungen zur Aufnahme der bereits beschriebenen,
nach, oben vorstehenden Teile der Vorrichtung auf, die sich an der Zentrier- und der Bearbeitungsstation befinden.
Aus den Figuren 12 und 13 läßt sich ersehen, daß die Führungsschiene 159 an ihren entgegengesetzten Enden ver-A
breiterte Abschnitte 167 aufweist, die Anschlagschultern 168 bilden, welche mit den Lagern in Eingriff kommen und
die Bewegung der Schieberplatte innerhalb formschlüssiger Grenzen begrenzen können. Zur Verschiebung der Schieberplatte
ist ein Druckluftzylinder 171 vorgesehen und wird
durch ein von dem Gestell der Vorrichtung in seitlicher Richtung nach oben vorstehendes Winkeleisen 172 gehalten.
Der Zylinder 171 ist an einem Ende mit dem Winkeleisen
172 durch ein mit Bolzen befestigtes Verbindungsstück
173 verbunden. Von dem anderen Ende des Zylinders steht eine Kolbenstange 174 vor, an deren äußerem Ende durch
Bolzen ein L-förmiges Verbindungsstück 176 befestigt ist.
Das Verbindungsstück ist wiederum durch Bolzen 177 mit einem benachbarten Rand der Schieberplatte 152 verbunden.
Wenn daher Luft gegen die eine oder die andere Oberfläche des innerhalb des Zylinders befindlichen und bekannter
Weise mit der Kolbenstange 174 verbundenen Kolbens eingeführt wird, kann die Schieberplatte in der Darstellung der
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Figuren 12 und 13 wahlweise nach rechts oder nach links
bewegt werden.
Von den entgegengesetzten Ecken der Schieberplatte stehen Plattenübergabearme 181 bzw. 182 nach oben vor.
Jeder Übergabearm ist so ausgelegt, daß er eine Platte an seiner oberen Oberfläche lagern und die Platte durch
Anlegen eines Unterdruckes in Eingriff halten kann. IM
eine einwandfreie Ausrichtung der Platten zu ermöglichen, während diese in oder außer Eingriff mit einem entsprechenden
Saugarm kommen, sind die Saugarme zur Ausführung einer wahlweisen senkrechten Bewegung innerhalb bestimmter Grenzwerte
gelagert.
Beide Saugarme sind jeweils in gleicher Weise auf der
Schieberplatte gelagert, so daß die Beschreibung anhand der
Figuren 12 und 13 nur auf die Lagerung des Saugarms 182
gerichtet ist. Sie Lagθrungsanordnung des Saugarme 181 ist
identisch zu der des Saugarms 182 und lediglich in umgekehrter Richtung ausgerichtet, da der Arm 181 in bezug auf
den Arm 182 in entgegengesetzte Richtung weist.
Wie am besten aus Fig. 12 ersichtlich, ist in dem etitlichen Rand der Schieberplatte 151 und allgemein zentrisch
zwischen ihren entgegengesetzten Endrändern eine Ausnehmung
183 Torgesehen, in der ein allgemein rechteckiger BefestigungBblock
184 eingesetzt und durch Schrauben 186 mit der Schieberplatte verbunden 1st. Der Befestigungsblock steht
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.so- 195909*
über die Unterseite der Schieberplatte hinaus vor und ein
Drehzapfen 187 steht in seitlicher Richtung von dem Block vor. Der Drehzapfen 187 trägt seinerseits einen drehbar
angelenkten Hebelarm 188, an dessen einem Ende 189 der
Saugarm 182 durch Schrauben 191 befestigt ist. Daher gestattet
eine Drehung des Hebelarms 188 um die Achse des Zapfens 187 eine nach oben oder nach unten gerichtete
Bewegung des Saugarms innerhalb vorbestimmter Grenzen.
Der Hebelarm 188 wird durch eine Schraubenfeder 192
gegen den Uhrzeigersinn beaufschlagt, welche in Bohrungen der Schieberplatte und an dem Ende des Hebelarms eingesetzt
ist, das sioh von dem Saugarm 182 entfernt befindet (Flg. 13). Die feder 192 beaufschlagt daher den Aufnehmearm
in die angehobene Stellung. Die im oder gegen den Uhrzeigersinn gerichtete Bewegung des Hebelarms kann
durch ein Paar von Stellschrauben 193 und 1.94 begrenzt
werden, welche von der Schieberplatte nach unten vorstehen und in einen Eingriff mit der oberen Oberfläche des Hebelarms
kommen können. Auf diese Weise lädt sich die Lage des an dem Hebelarm befestigten Aufnehmearms innerhalb
vorbestimmter Grenzwerte einstellen.
Wie aus Fig. 12 zu ersehen, weist der Hebelarm 188 einen langgestreckten Schlitz 196 zur Aufnahme des Befestigungsblockes
194 auf. Der Schlitz 196 gestattet eine Drehbewegung
des Hebelarms für den nachstehend beschriebenen Zweck.
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Wie aus den Figuren 9 und 15 am klarsten ersichtlich,
sind die Aufnehmearme 181 und 182 im wesentlichen identisch zueinander ausgebildet, wobei kleinere Unterschiede der
Arme durch das Verhältnis der Arme zu den Stationen bedingt ist, zu welchen und von welchen Platten abgegeben
bzw. aufgenommen werden. In den Figuren 9 und 15 werden entsprechende Bezugszeichen zur Bezeichnung entsprechender
Komponenten der Arme verwendet. Jeder Aufnehmearm weist einen aufrechten, allgemein flachen Körperabschnitt 196
auf, in welchem sich ein Unterdruckkanal 197 befindet. Ein waagerechter und allgemein flacher oberer Körperabschnitt
198, durch welchen eine Verlängerung oder ein Kanal 197 durchgeführt ist, ist in einem Stück mit dem aufrechten
Körperabschnitt verbunden und der waagerechte Abschnitt läuft in einen nach oben vorstehenden Kopfabschnitt 199
aus. Der Kopfabschnitt des Arms 181 ist in keinem Falle
länger als der entsprechende Kopfabschnitt des Arms 182, was auf das gegenseitige Verhältnis des Arms 182 mit der
Strömungsmittellagerschiene 8 zurückzuführen ist (Fig. 15), wenn eine Platte von der Schiene abgegeben wird.
Wie aus den Figuren 10 und 16 ersichtlich, läuft der Unterdruckkanal 197 in jedem Saugarm in eine vergrößerte,
quer verlaufende Kammer 200 aus, die durch eine flache Stirnplatte 201 verschlossen ist, welche durch Schrauben
202 an der oberen Oberfläche des Kopfabschnittes 199 der ,
entsprechenden Saugarme befestigt ist. Eine Reihe in einem
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Abstand angeordneter Öffnungen 203 sind in den entsprechenden Stirnplatten ausgebildet und gestatten das Anlegen eines
Unterdruckes an die Unterseite einer Platte, die in der in den Figuren 9 und 15 dargestellten Weise in einem Eingriff
mit einem Aufnehmearm steht.
In den Figuren 9 und 15 sind außerdem Unterdruck-Anschlußstücke
204 dargestellt, die mit den entsprechenden fc Hebelarmen 188 verbunden sind, von denen die Aufnehmearme
vorstehen. Die Anschlußstücke stehen in Verbindung mit
Bohrungen 205 in den Hebelarmen, welche mit den Unterdruckkanälen 197 der Aufnehmearme ausgerichtet sind. Die entsprechenden
Anschlußstücke sind über Schlauchleitungen 206 mit einer geeigneten Unterdruckquelle verbunden.
Der Unterdruck wird wahlweise an den einzelnen Aufnehmearm angelegt, wenn dieser in einen Eingriff mit der
Unterseite einer Platte gebracht und um die Drehachse fc seines zugeordneten Hebelarms 188 angehoben und eingefahren
wird, wenn die Platte weitertransportiert werden soll. Die zum wahlweisen Anheben und Einfahren der Aufnehmearme und
zur Betätigung der die Arme tragenden Schieberplatte dienende Steuervorrichtung wird im nachstehenden beschrieben.
Wie bereits ausgeführt, beaufschlagt die Schraubenfeder 192 den zugeordneten Hebelarm gegen den Uhrzeigersinn
(Fig. 13), wodurch wiederum der an dem Hebel befestigte
Aufnehmearm in die obere, ausgefahrene Stellung gedrückt wird.
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195909J
Um jedoch, eine einwandfreie Ausrichtung der entsprechenden
Stirnplatten 201 der Aufnehmearme in bezug auf die aufzunehmenden oder freizugebenden Platten zu gestatten, ist
eine Torrichtung vorgesehen, die dazu dient, die entsprechenden Saugarme nach unten zu ziehen und in der unteren,
eingefahrenen Stellung zu halten. In der dargestellten Ausführung besteht diese Torrichtung aus zwei Druckluftzylindern 207 (S1Ig. 13), die jeweils über eine Schlauchleitung 203 mit einer geeigneten Druckluftquelle verbunden
sind. Innerhalb jedes Zylinders 207 befindet sich ein einfachwirkender Kolben, der in einem betriebsmäßigen Eingriff
alt einem Hebelarm 183 steht. Hit anderen Worten, der Kolben 1st auf geeignete Weise mit dem Hebelarm verbunden und ein·
Kolbenstange 209 steht von dem oberen Ende desselben vor und befindet sich in einem Singriff mit der Unterseite der
Schieberplatte 151. Wenn Luft gegen die Unterseite des Kolbens drückt, wird die Kolbenstange 209 gegen die Schieberplatte nach oben gedrückt, wodurch der Kolben nach unten
verlagert und der Hebelarm gegen die Beaufschlagung der
Feder 192 im Uhrzeigersinn gedreht wird, wodurch der Aufnehmearm abgesenkt wird· Solange daher Luft gegen den Kolben in dem Zylinder 207 drückt, wird der von dem Hebelarm
getragene Aufnehmearm in der eingefahrenen Stellung gehalten.
Die eingefahrene Stellung der Aufnehmearme wird während des größten Seile dee Arbeitstaktes der Schieberplatte 151
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beibehalten. Luft wird jedoch periodisch aus den entsprechenden Zylindern 207 abgelassen, damit die Federn 192
die Aufnehmearme in der erforderlichen, zeitlich genau abgestimmten Reihenfolge anheben und die Übergabe der
Platten zwischen der Zentrier-, der Bearbeitungs- und
der Abgabestation ausführen können.
Der Arbeitsvorgang der nach oben und nach unten gerichteten Bewegung des Aufnehmearms 132 ist wie folgt.
Wenn der Aufnehmearm aus der Ruhestellung der Schieberplatte 151 bewegt wird, wird der Arm in der eingefahrenen
Stellung gehalten. Wenn der Aufnehmearm durch die Schieberplatte mit dem Zentrier·tift 96 der Zentrieretation ausgerichtet
wird, wird der Arm angehoben, wobei der Zentrierstift gleichzeitig zurückgezogen, der Unterdruck an dem
Stift abgeschaltet und ein Unterdruck an den Aufnehmearm angelegt wird, um die Platte aufzunehmen. Die Schieberplatte
151 bewegt dann den Aufnehmearm zur Bearbeitungsstation und der Arm wird eingezogen, wenn er mit der
Drehspindel 126 ausgerichtet ist. Dann wird der Unterdruck an dem Arm abgeschaltet und ein Unterdruck an die
Spindel angelegt, so daß die Platte an die Spindel abgegeben wird. Der Aufnehmearm wird so lange in der eingefahrenen
Stellung gehalten, bis er wiederum mit dem Zentrierstift in der Zentrieretation ausgerichtet ist.
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Der Arbeitsvorgang der nach, oben und nach unten gerichteten Bewegung des Aufnehmearms 131 ist wie folgt.
Wenn der Aufnehmearm 182 in die Zentrierstation bewegt
wird, wird gleichzeitig der Aufnehmearm 181 zur Bearbeitungsstation
bewegt und während dieser Bewegung in der eingefahrenen Stellung gehalten. Wenn der Aufnehmearm
mit der Drehspindel 126 ausgerichtet ist, wird der Arm angehoben und ein Unterdruck an diesen angelegt. Gleichzeitig
wird der Unterdruck an der Spindel abgeschaltet, so daß die Platte von dem Arm aufgenommen wird. Die Schieberplatte
151 bewegt dann den Aufnehmearm zur Abgabestation,
und sobald der Arm in bezug auf die Übergabe- und Beschickungsvorrichtung 8 richtig ausgerichtet ist, wird der Arm eingefahren
und der Unterdruck an dem Arm wird abgeschaltet, so daß die Platte auf die Schiene abgelegt wird und von
dieser in das Abgabemagazin eingeführt werden kann. Der Aufnehmearm wird so lange in der eingefahrenen Stellung
gehalten, bis er wiederum mit der Drehspindel in der Bearbeitungsstation ausgerichtet ist.
Die Einführung aufeinanderfolgender, beschichteter Platten in das Abgabemagazin erfolgt vermittels der mit
dem Bezugszeichen 8 bezeichneten Übergabe- und Beschickungsvorrichtung
und ist am besten aus den Figuren 2, 3, H und 15 ersichtlich. Die hier dargestellte Übergabe- und Beschickungsvorrichtung
besteht aus einer Strömungsmittel-
9824/1823
lagerschiene, die vorzugsweise in allen wichtigen Punkten
identisch ist der bereits in Verbindung mit dem Torratsmagazin 1 beschriebenen Entnahme- und Übergabevorrichtung.
Daher erübrigt sich eine ausführliche Beschreibung der zwischen der Bearbeitungsstation und dem Abgabemagazin angeordneten
Beschickungsvorrichtung in der Form einer Strömungsmittellager schiene . In den Zeichnungen werden entsprechende,
mit einem Beistrich versehene Bezugszeichen zur Be-™ zeichnung derjenigen Teile der Beschickungsvorrichtung in
der Form der Strpmungsmittellagerschiene verwendet, die Teilen der bereits beschriebenen Strömungsmittellagerschiene
der Entnahmevorrichtung entsprechen.
Die zur Beschickung dienende Schiene unterscheidet sich jedoch durch ein wichtiges Merkmal, das in der Schiene
der Entnahmevorrichtung nicht vorhanden ist. Der Unterschied im Aufbau ist am besten aus den figuren 2, H und
zu ersehen und besteht aus einem zum Einführen des Unter-" druck-Aufnehmearms dienenden Schlitz 212, der von einem
Rand her kommend in eine Halteplatte 56' eingeführt ist, so daß der Aufnehmearm 181 eine beschichtete Platte vor
dem Zurückziehen des Armes unmittelbar oberhalb der Schiene ablegen kann. Somit läßt sich eine beschichtete Platte unmittelbar
auf die obere Oberfläche der Schiene auflegen, um von dieser unmittelbar in das benachbarte Abgabemagazin
11* transportiert zu werden.
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.57- 1159093
Dabei muß darauf hingewiesen werden, daß die zur
Beschichtung dienende Strömungsmittellagerschiene eine
faseroptische kühlvorrichtung 4-b1 der bereits beschriebenen
Ausführung aufweist, welche die Luftzufuhr zu der Schiene während des Portschaltens des Abgabemagazins
in der bereits in Verbindung mit der kühlvorrichtung 46 beschriebenen Weise steuert.
Als nächstes soll das Abgabemagazin für die Platten und die schrittweise Schaltvorrichtung beschrieben werden.
In den Figuren 1 bis 3 sind die einzelnen Seile der Vorriohtung dargestellt, die in der Abgabestation 9 verwendet werden. Wie bereits ausgeführt, befindet sich in dieser Station ein Abgabemagazin 11* für Platten, in welches
mehrere Platten eingesetzt werden können, deren Anzahl der Anzahl der von dem Vorratsmagazin 11 in der Beschickungsstation 1 abgegebenen Platten entspricht.
Bas Abgabemagazin und die für dieses vorgesehene schrittweise Schaltvorrichtung entsprechen in allen wichtigen Punkten dem Vorratsmagazin 1 und dessen Schaltvorrichtung, die
bereits beschrieben worden sind. Daher erübrigt sich eine ausführliche Beschreibung des Abgabemagazine und der zugeordneten Schaltvorrichtung. Die in der Abgabeetation verwendeten !Belle der Vorrichtung, welche entsprechenden Seilen
in der Entnahmestation entepreohen, sind in den Zeichnungen
mit den gleichen Btsugezelohen, jedoch jeweils mit einem
Beistrich bezeichnet.
Die schrittweise Schaltvorrichtung in der Abgabestation unterscheidet sich jedoch von der Schaltvorrichtung
in der Entnahmestation darin, daß die Portschaltungsrichtung
des Entnahmemagazins entgegengesetzt ist der des Vorratsmagazine. Der Servomotor 38' in der Abgabestation
bewirkt eine senkrechte Verlagerung des Abgabemagazins
^ 11* nach oben, wenn das Magazin zunehmend mit Platten gefüllt
wird. Zu Beginn des Arbeitsvorganges befindet sich der oberste Schlitz des Abgabemagazins einen Schritt oberhalb
der Oberfläche der Strömungsmittellagerschiene der
Beschickungsvorrichtung 8. BtI Betätigung der Schaltvorrichtung
werden zunächst der oberste Sohlits und dann die darunter befindlichen Sohlitse nacheinander in eine Ausrichtung
mit der Schiene gebracht, wenn das Magazin vermitteis der durch den Servomotor 38· schrittweise fort-
. geschalteten Trägerplatte 16* nach oben bewegt wird.
Die nach oben gerichtete schrittweise Fortschaltung kann durch Verwendung eines Servomotors erfolgen, dessen
zugeordnete Stellstange 36· im entgegengesetzten Drehsinn
zur Stellstange 3β8 in der Entnahmestation angetrieben wird
oder dessen Stelletange 36g ein Gewinde aufweist, das dem
Sewindβ auf der Stellafeaxige 36 entgegengesetzt Ist. In
jedem Fall werden das VorrAtemagasin und äae Aisgabemagazin
vorzugsweise in entgegengeeetsten senkrechten Richtungen
009134/1823
schrittweise fortgeschaltet, um die wirksamste Behandlung der Platten zu erzielen.
Als nächstes werden die Steuer- und Synchronisiereinrichtungen der Maschine beschrieben. Die im vorstehenden
beschriebenen Teile und Einheiten der Vorrichtung werden durch eine Reihe von Druckluft- und TJnterdruckventilen
gesteuert, die durch Elektromagnete betätigt werden, welche ihrerseits in einer vorbestimmten Reihenfolge durch
eine Reihe von Schaltern betätigt werden, um den Transport und die Bearbeitung einer Reihe von Platten in der Vorrichtung
zu ermöglichen, ohne daß sich diese Vorgänge gegenseitig stören. Die Schaltung für die Steuerschalter ist
nicht dargestellt oder beschrieben worden, da eine derartige Schaltung an sich bekannt und für jeden Fachmann auf
dem Gebiet der elektrischen Steuerungstechnik ohne weiteres durchführbar ist.
In Pig. 20 sind die entsprechenden Ventile für Druckluft und die von diesen betätigten Kolben, sowie die Ventile
für den Unterdruck ganz allgemein schematisch dargestellt. Die Wirkungsweise der entsprechenden Ventile und
die dadurch ausgeführten Steuerfunktionen dürften ohne weiteres aus Fig. 20 in Verbindung mit der vorstehenden
Beschreibung der einzelnen Teile der Vorrichtung ersichtlich sein.
824/1823
Die Arbeitsweise und die Steuerung der schrittweisen Schaltvorrichtung für das Vorratsmagazin und das Abgabemagazin
sind bereits beschrieben worden. Es müssen lediglich, noch, die Arbeitsweise und die Steuerung der Unterdruck-Aufnehmearme
181 und 182 in bezug auf die Arbeitsweise und Steuerung des Zentrierstiftes 96 und der Drehspindel
126 erläutert werden.
Wie bereits ausgeführt, lassen sich die entsprechenden Aufnehmearme 181 und 182 in Abhängigkeit von der Betätigung
der Hebelarme 188, auf denen sie durch ihre zugeordneten Druckluftzylinder 207 und die Schraubenfedern
192 befestigt sind, in einer bestimmten Folge nach oben und nach unten bewegen. Wie ebenfalls erwähnt wurde, wird
jede Platte durch Unterdruck auf dem Zentrieretift und
der Drehspindel, sowie während der Übergabe der Platte auf den Aufnehmearmen gehalten. Wenn eine Platte in der
Beschichtungsstation gedreht und beschichtet wird, wird
sie auf dem Zentrierstift so lange gehalten, bis der Drehvorgang vollständig beendet ist. Während einer derartigen
Wartezeit befinden sich die entsprechenden Aufnehmearme in einer allgemein mittleren Lage zwischen den Enden ihrer
Plattenübergabewege, so daß die Arme die Wirkungsweise der
Schale 133 nicht beeinträchtigen, welche im, angehobenen
Zustand überflüssiges Photoreeistmaterial auffängt. Wie in Pig. 13 aargestellt, werden die entsprechenden Aufnehme-
0098^4/1823
arme in der in dieser Fig. in gestrichelten Linien dargestellten mittleren "Ruhestellung" gehalten.
Nach Beendigung des Drehtaktes wird die Schieberplatte 151 durch den Druckluftzylinder 171 in der Darstellung
der Pig. 13 zu dem Ende ihres Verschiebungsweges geschoben, wodurch der Aufnehmearm 182 mit dem Zentrierstift
96 ausgerichtet und gleichzeitig der Aufnehmearm 181 in eine Ausrichtung mit der Drehspindei 126 gebracht
wird. Nachdem die Arme Platten aufgenommen haben, wird die Schieberplatte in der Darstellung der Pig. 13 nach
links zu dem anderen Ende ihres Verschiebungsweges bewegt,
so daß sich der Aufnehmearm 182 an der Drehspindel und der
Aufnehmearm 181 an der Lagerschiene der Beschickungsvorrichtung befindet. Die nach oben und nach unten gerichtete Bewegung
der entsprechenden Arme erfolgt in der bereits beschriebenen Weise. Wie Pig. 20 zeigt, sind Druckluft- und
Unterdruckventile vorgesehen, die dazu dienen, die verschiedenen Arbeitsvorgänge der Aufnahmearme und der Schieberplatte
zu bewirken, um eine einwandfreie Übergabe der Platten zu erzielen. Der beschriebene Arbeitsablauf wird laufend wie
derholt, bis alle Platten aus dam Vorratsmagazin bearbeitet und in das Abgabemagazin eingeführt worden Bind. Dann
wird die Vorrichtung automatisch abgeschaltet, bis weitere Vorrate- und Abgabemagazine in die Vorrichtung eingesetzt
worden Bind.
In den Figuren 12 und 13, sowie in Fig. 20 sind die
Steuerschalter dargestellt, welche betätigt,werden, um
die Bewegungen und !funktionen bestimmter Aufnehmearme und der Schieberplatte einzuleiten. In der hier dargestellten Ausführung sind vier Steuerschalter 216, 217, 218 und 219 vorgesehen und an'dem U-formigen Befestigungskanal 164 befestigt,, Der Behälter 217 ist auf der Außenseite des Kanals 164 befestigt,, während die übrigen Schalter auf dessen
Innenseite angeordnet sind, Außerdem ist der Schalter 217 fest an dem Kanal angeordnet, während die anderen Schalter vorzugsweise vermittels Binsteilschlitzen 221 und 222 in
der Seitenwand des Kanals einstellbar sind.
Steuerschalter dargestellt, welche betätigt,werden, um
die Bewegungen und !funktionen bestimmter Aufnehmearme und der Schieberplatte einzuleiten. In der hier dargestellten Ausführung sind vier Steuerschalter 216, 217, 218 und 219 vorgesehen und an'dem U-formigen Befestigungskanal 164 befestigt,, Der Behälter 217 ist auf der Außenseite des Kanals 164 befestigt,, während die übrigen Schalter auf dessen
Innenseite angeordnet sind, Außerdem ist der Schalter 217 fest an dem Kanal angeordnet, während die anderen Schalter vorzugsweise vermittels Binsteilschlitzen 221 und 222 in
der Seitenwand des Kanals einstellbar sind.
Die Schalter weisen jeweils die Schaltariae 223, 224 3
225 üzw. 226 auf, .die in bekannter Weise niedergedrückt
werden köimen, so daß die entsprechenden Schalter in bekannter. Wsise Steuersignals an die in .fig, 20 dargestellt ten j durch eisen Slektromagiiaten betätigten ,Druckluft- oder 3HtIIe albge'ben* in des äußeren R&nä der Schieber-
werden köimen, so daß die entsprechenden Schalter in bekannter. Wsise Steuersignals an die in .fig, 20 dargestellt ten j durch eisen Slektromagiiaten betätigten ,Druckluft- oder 3HtIIe albge'ben* in des äußeren R&nä der Schieber-
platte 1.51 Ist aiae 3o&aitplatte 227 'befestigt, äis mit
dam Schaltai'is £24 ctes Schalters 217 aaagerichtet ist, wie
.3XQa aus rig. 12 sreshen läßt. Wenn die Schieberplatte la
der Sara 1OaIIiIiIg dar Fig. 12 nach links 'bewegt wird, komsit
'3 ie Seößl wplatwS 227 in ein..ö.n llrtgriff mit äsm Schal tarn
224* '»öäaröli äissas: aisäargöärückt waü äar Schaltei- 217 ■ pötä'ii^t «iiii, üio Jüii»! «»i »'S« der üwi-igöÄ üyäsiter 21S8 .213
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. λ Α Μ
ί « i 8
150 ausgerichtet. Wie aus Pig. 13 ersichtlich, befindet
sich das Gleitlager 156 in einer Lage, in der es in einen
Eingriff mit den Schaltarmen 225 und 226 der Schalter 218 bzw. 219 kommen kann. Das Gleitlager 154 befindet sich in
einer Lage, in der es in einen Eingriff mit dem Schaltarm 223 des Schalters 216 kommen kann.
Wenn der Schaltarm 226 des Schalters 219 in der in Fig. 13 dargestellten Weise durch das Gleitlager 156 niedergedrückt ist, wird ein Signal an das Magnetventil übertragen, welches den Druckluftzylinder 171 steuert, der seinerseits die Schieberplatte 151 betätigt. Die Schieberplatte
wird angehalten, so daß die Aufnehmearme 181 und 182 in
die in den Figuren 12 und 13 dargestellten Lagen gebracht werden, in welchen die Arme genau mit den entsprechenden
Achsen des Zentrierstiftes und der Drehspindel ausgerichtet sind. Wenn der Schaltarm 223 des Schalters 216 durch
das Gleitlager 154 niedergedrückt wird, wird ein Signal an das Magnetventil übertragen, welches den Druckluftzylin
der 171 steuert, wodurch die Aufnehmearme 181 und 182 genau
über der Luftlagerschiene auf der Abgabeseite bzw, über der Achse der Drehspindel angehalten werden. Die beiden Schalter
216 und 219 dienen somit zur Begrenzungseinstellung des Verschiebungsweges der Schieberplatte und der auf dieser befestigten Aufnehmearme, indem die Längsbewegung der Schieberplatte in der beschriebenen Weise durch die Schalter be-
009824/1823
1559093
grenzt wird.
Wie aus Fig. 13 ersichtlich., wird der Schaltarm 224
des Schalters 217 durch die Schaltplatte 227 niedergedrückt, wenn sich die Schieberplatte in der am weitesten links befindlichen
Lage befindet. Wenn der Schalter 217 betätigt ist, wird ein Signal an das Magnetventil abgegeben, welches
die entsprechenden Zylinder 207 steuert, welche zur Bewegung der entsprechenden Aufnehmearme nach oben oder nach
unten dienen. Zugleich mit diesem Signal wird Luft in die Zylinder eingeführt, wodurch die Aufnehmearme in der bereits
beschriebenen Weise nach unten bewegt werden.
Wie Mg. 13 zeigt, kommt das Gleitlager 156 bei einer
Bewegung der Schieberplatte von der äußersten linksseitigen Stellung nach rechts in einen Eingriff mit dem Schaltarm
225 des Schalters 218, der ein Signal abgibt, durch welches der Druckluftzylinder 171 drucklos gemacht und die Schieberplatte
zum Stillstand gebracht wird, wobei sich die Aufnehmearme in der mittleren Ruhestellung befinden, so daß
die Schale 133 während des Drehvorganges angehoben werden kann. Die Schieberplatte bleibt so lange in der Ruhestellung,
bis die Schale 133 zurückgezogen worden ist und ein vollständig neuer Arbeitstakt eingeleitet werden kann. Die
Einleitung eines neuen Arbeitstaktes erfolgt durch den Zentrieretifi 96 Ia äer nachstehend dargestellten Weise.
006024/1823
liach Ablauf einer geeignet gewählten Zeitverzögerung,
die eine Beendigung des Zentriervorganges der Platte ermöglichen soll, wird der Zentrierstift vermittels eines
übertragenen Signals angehoben, wenn eine Platte an der Pühlvorriohtung 46 vorbeigewandert ist. Durch dieses Signal
wird der Kolben 104 des Zentrierstiftes betätigt und hebt den Stift an. Sobald der Stift in seine obere Lage
gelangt ist, wird ein (nicht dargestellter) Begrenzungsschalter betätigt, der den Druckluftzylinder 171 der Schieberplatte in !Tätigkeit setzt und die Schieberplatte aus
ihrer Ruhestellung in eine in Pig. 15 ganz rechts liegende Stellung bringt, so daß der Schalter 219 betätigt wird und
die Schieberplatte anhält, der Aufnehmearm 182 durch Abstellen des Zylinders 207 angehoben, das Einfahren des
Zentrierstiftes eingeleitet, unterdruck an den Aufnehmearm angelegt und Unterdruck von dem Zentrierstift abgeschaltet
wird.
Wenn der Zentrierstift voll eingezogen ist, wird ein weiterer (nicht dargestellter) Begrenzungsschalter betätigt,
der seinerseits eine Bewegung der Schieberplatte in der Darstellung der Pig, 1? nach rechts einleitet, wobei der
Aufnehaearm 182 ausgefahren ist* Venn der Arm 182 in Aus
richtung mit der Drehapindel 126 gelangt, wird der Zylinder
171 der Schieberplatte durch den mit dem Gleitlager 154 in Singriff kommenden Schalter 216 außer Tätigkeit gesetzt.
006824/1823
Gleichzeitig "betätigt die Schaltplatte 227 den Schalter
2171 wodurch der Aufnehmearm 182 eingezogen und ein Unterdruck
an die Spindel angelegt wird, während gleichzeitig Icein Unterdruck mehr auf den Aufnehmearm einwirkt» Durch
das volle Einziehen des Aufnehmearms wird der Zylinder der Schiefeerplatte "betätigt, die Schieberplatte wird in
die Ruhestellung gebracht und in dieser angehalten, wobei die Aufnehmearme eingezogen sind.
Wenn die Schieberplatte in die Ruhestellung gelangt ist, wird der Zylinder 146 betätigt und hebt die Schale
132 an. Sobald die Schale in ihre obere Endlage gelangt
ist, wird der Begrenzungsschalter HO betätigt und leitet
die Abgabe von Photoresist und den Drehtakt ein. Der Zylinder · 146 wird wiederum betätigt, um die Schale 133 nach
einer vorbestimmten Zeitverzögerung einzuziehen, die ausreichend
groß bemessen ist, daß der Drehtakt vollständig - beendet werden kann· Wenn die Schale eingezogen wird, wird
der Begrenzungssohalter 145 betätigt und bewegt die Schieberplatte
in eier Barstellung der S1Ig. 13 nach, rechts, so
üaß ein weiterer Arbeitstakt eingeleitet wiri.
Wenn eier Aufnehmearm 182 in der beschriebenen Weise
'bewogt wird, wird gleichzeitig der Aufnehmearm 181 in
Weise durch die Schieberplatte bewegt und in der
i5®sehri©lj©nen Weis« in übt Bearbeitungsatation
tosa äor iitsgalseßtatisü angehoben und eingezogen·
Da die Merkmale der Ventile und der Steuerschalter in an sich bekannter Weise unterschiedlich sein können,
sind diese hier nicht in Einzelheiten dargestellt. Im Rahmen der zur Verfugung stehenden technischen Möglichkeiten
lassen sich zur Ausführung der "beschriebenen Arbeitsfolge von Druckluft, Unterdruck und Bewegung unterschiedliche
Steueranordnungen und Vorrichtungen verwenden.
' Als letztes soll der Aufbau der Zweirichtungs-Strömungsmittellagerschiene
beschrieben werden. Die im vorstehenden beschriebene Strömungsmittellagerung läßt sich
auch In einer auf dem Gebiet der Strömungsmittellager bisher unbekannten Weise zur Bewegung der Gegenstände in
zwei Richtungen verwenden. In diesem Zusammenhang wird Bezug genommen auf die Figuren 17» 18 und 19, in denen
ein Ausführungsbeispiel einer Zweirichtungs-Strömungsmittellagerschiene
dargestellt ist. Der in diesen Figuren dargestellte abgeänderte Schienenaufbau entspricht dem
bereits beschriebenen Aufbau und besteht aus einer allgemein T-förmigen Halteplatte 251 mit einer Reihe langgestreckter,
allgemein rechteckiger offener Nuten 252 in der oberen Oberfläche der Platte, in welche Luftlager-Düsenstäbe
253 eingesetzt und in der bereits beschriebenen Weise befestigt sind. An der Unterseite der Halteplatte
ist eine Verschlußplatte 254 befestigt. Jeder Düsenstab hat einen allgemein T-förmigen Querschnitt und bildet
00S82W1323
auf seinen gegenüberliegenden Seitenflächen in Längsrichtung verlaufende Kanäle 256, durch welche entlang der
Länge der Stäbe Luftkanäle gebildet werden. Diese Luftkanäle stehen wiederum in Verbindung mit Vorkammern, die
in der unteren Oberfläche der Halteplatte ausgebildet sind.
Ein wichtiger Unterschied der hier dargestellten Zweirichtungs-Strömungsmittellagerschiene im Vergleich
zu der bereits beschriebenen Schiene besteht darin, daß in der Halteplatte zwei, benachbarte Vorkammern vorgesehen
sind, die in Pig. 17 mit den Bezugszeichen 257 bzw.
258 bezeichnet sind. Die entsprechenden Vorkammern sind durch entsprechende Anschlußstücke 259 und 261 jeweils
mit einer Quelle eines unter Druck stehenden Strömungsmittels wie z.B. einem nicht dargestellten Luftverdichter
verbunden.
Weiterhin ist aus Pig. 17 zu ersehen, daß die beiden Vorkammern getrennt voneinander mit den Kanälen 256 auf
den gegenuberliegenäen Seiten der Düsenstäbe verbunden sind. Mit anderen Worten, die Vorkammer 257 ist durch
eine Reihe von Löchern 262 mit dem linksseitigen Kanal der Düsenstäbe verbunden (in der Darstellung der Figuren
17 und 18), während die Vorkammer 258 durch, eine Reihe
von Löchern 26? mit dem rechtsseitigen Kanal der Düsen
stäbe verbunden ist«
824/1823
Wie aus Pig. 19 ersichtlich, sind die rechtsseitigen
Seitenflächen der Düsenstäbe mit Richtungsnuten 226 versehen, die vorzugsweise jeweils die bereits beschriebene
verbesserte und sich verjüngende, gekrümmte Düsenform aufweisen. Die Muten 226 auf den rechtsseitigen Seitenflächen
der Stäbe sind in Längsrichtung nach rechts gerichtet. Auf den gegenüberliegenden linksseitigen Seitenflächen
der Stäbe sind ähnliche RiGhtungsnuten 267 ausgebildet,
die jedoch den Nuten 266 entgegengesetzt gerichtet sind, d.h. die Nuten 267 sind in Längsrichtung nach links gerichtet.
Durch wahlweises Einführen von Luft durch die entsprechenden
Torkammern 257 und 258 kann ein auf der dargestellten Zweirichtungs-Strömungsmittellagerschiene befindlicher
Gegenstand wie z.B. eine Platte in Längsrichtung der Schiene entweder nach rechts oder nach links bewegt werden, je nachdem welcher Vorkammer unter Druck
stehendes Strömungsmittel zugeführt wird.
Vermittels einer geeigneten, nicht dargestellten Ventilsteuereinrichtung ist es möglich» Luft oder ein anderes, an einen bestimmten Verwendungszweck angepaßtes Strömungsmittel in vorb«itimmter Aufeinanderfolge oder in vorbestimmten Arbeitstakten in die entsprechenden Vorkammern
einzuführen und duroh diese abzugeben. Der beschriebene
verbesserte Sohienenaufbau hat den Vorteil, daß er eich
beispielsweise dazu eignet, einzelne Gegenstände aus einer
Station (z„B. einem Plattenmagazin) zu entnehmen und einer
Bearbeitungsstation zuzuführen. Nach, der Bearbeitung in einer derartigen Station kann die gleiche Schiene dazu
verwendet werdenj den gleichen Gegenstand in einer bis
Jetst bei Strömungsmittellagerungen nicht bekannten Weise
zur gleiohen Station zurückzubringen (und ihn in dem hier
äai'gest®lltsii Aiisführiingsbeispiel in das Magazin einzuführen).
Auf diese Weise verleiht die Zweirichtungs-Strömungsmittellagersohiene
der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine besondere Fälligkeit der Behandlung von Gegenständen, wobei
zur Erzielung dieser Fähigkeit nur geringfügige Änderungen an äem grundsätzlichen Einrichtung-Schienenaufbau erforderlich
sind,,
Claims (39)
1.^Verfahren zur' Behandlung und Bearbeitung von Gegenständen,
insbesondere von Siliziumplatten, ohne Behandlung von Hand, dadurch, gekennzeichnet, daß ein Vorrat von Gegenständen
(W) in eine Beschickungsstation (1) eingebracht
wird, nacheinander einzelne Gegenstände aus dem Vorrat entnommen und auf einem Strömungsmittellager (2) einer
Bearbeitungsstation (6) zugeführt, und nach erfolgter Bearbeitung in einer derartigen Station nacheinander auf
einem Strömungsmittellager einer Abgabestation (9) zugeführt werden.
2. Verfahren nach Anspruch. 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Gegenstände in einer Zentrierstation (5) zentriert
unddie zentrierten Gegenstände vor der Bearbeitung in der
Bearbeitungsstation in einer vorbestimmten Ausrichtung
in der Bearbeitungsstation angeordnet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß in der Bearbeitungsstation eine Beschichtungsflüssigkeit
auf die nacheinander zugeführten Gegenstände aufgebracht wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß jeder Gegenstand während seiner Bearbeitung in der Bearbeitungsstation in schnelle Drehung
versetzt wird.
0 09824/18 23
19590S3
5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß jeder Gegenstand in der Zentrierstation dadurch zentriert wird, daß der Gegenstand auf eine konkave Auflagefläche (75)
aufgebracht, ein zur Auflage dienendes Strömungsmittel von unterhalb der Auflagefläche gegen den auf dieser befindlichen
Gegenstand eingeführt und das zur Auflage dienende Strömungsmittel auf dem Wege zur Auflagefläche pulsierend
gemacht, der Gegenstand dadurch intermittierend angehoben und abgesenkt und zur Mitte der Fläche bewegt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Gegenstand nach Ausrichtung seines Mittelpunktes
mit dem Mittelpunkt (77) der Auflagefläche über diese so weit angehoben wird, daß der Gegenstand zwecks Übergabe an
die Bearbeitungsstation (6) in einen Eingriff gebracht werden kann.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß jeder zentrierte Gegenstand an der Zentrierstation
angehoben und jeder angehobene Gegenstand während seiner Übergabe zur Bearbeitungsstation, und anschließend
während seiner übergabe zur Abgabestation mit einer Unterdruck-Auf
nehme vorrichtung (181, 182) in Eingriff gebracht, und jeder beschichtete Gegenstand vor seiner Einführung in
ein Abgabemagazin (11·) in der Abgabestation neben dieser auf eine StrSnraagsmittellagerf lache (8) abgesenkt wird.
012 4/1823
1359093
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenstände nacheinander von dem Vorrat vermittels
einer neben dem Vorrat angeordneten Strömungsmittellager-Schiene (2) entnommen werden, die einen unterhalb der Gegenstände
des Vorrats befindlichen Abschnitt aufweist, der Vorrat schrittweise weitergerückt wird, so daß aufeinanderfolgende
Gegenstände in eine Entnahmestellung gebracht werden, die allgemein mit dem Abschnitt der Maschine ausgerichtet
ist, das die Gegenstände lagernde Strömungsmittel durch den Sohienenaufbau hindurch eingeführt und in einen
Eingriff mit jedem der aufeinanderfolgenden, in der Entnahmestellung
befindlichen Gegenstände gebracht wird, und das Strömungsmittel auf der Schiene in eine nach außen gerichtete
Strömung, versetzt wird, die dazu dient, daß das Strömungsmittel die aufeinanderfolgenden Gegenstände aue
dem Magazin entnehmen kann.
9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenstände durch eine neben der Abgabestation befindliche Strömungsmittellagersohiene, die einen Abschnitt
aufweist, der sich unterhalb eines in der Station befindlichen Abgabemagazine befindet, an die Abgabeetation übergeben und naoh erfolgter Bearbeitung in der Bearbeitungsetation hintereinander auf die Schiene gelegt werden, das zum
Halten der Gegenstände dienende Strömungemittel durch die
Sohiene hinduroh eingeführt und in einen Singriff mit den
1S590S3 - 74 -
hintereinander auf dieser "befindlichen Gegenständen gebracht
und auf der Schiene in eine nach innen gerichtete Strömung versetzt wird, die dazu dient, daß das Strömungsmittel die
aufeinanderfolgenden Gegenstände in das Abgabemagazin bewegt
j, und dae Magazin nach dem Einsetzen eines Gegenstandes
in eine Lage weitergeschaltet wird, in welcher das Magazin
einen nachfolgenden Segenstand aufnehmen kann.
10. Torrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach
einem der Ansprüche 1 bis 9, insbesondere zum Transport von Siliziumplatten von einer Station zu einer anderen
Station, gekennzeichnet durch ein Strömungsmittellager (2, 8), das aus einer Schiene (56, 251) besteht, in der sich
eine Reihe von gerichteten Strömungsmittelkanälen (73; 266, 267) befinden, die jeweils so ausgerichtet sind, daß sie
zur lagerung dienendes Strömungsmittel gegen einen auf der oberen Oberfläche der Schiene befindlichen·Gegenstand richtan
und diesen Gegenstand in eine vorbestimmte Richtung drücken können, und durch Vonich»ungen (68) zum Einführen
von Strömungsmittel in und durch die Kanäle, welches dazu dient, einen auf diesen befindlichen Gegenstand zu lagern.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Strömungsmittelkanal (73) von seinem unteren
Ende bie zu seinem oberen Ende, das in die obere Oberfläche
dir Schiene mündet» einen allgemein gekrümmten Verlauf aufweist*
§01114/1823 .
12. Vorrichtung nach. Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorrichtung zum Einführen von Strömungsmittel in die Kanäle eine Vorrichtung enthält, die dazu dient,
durch den Kanal zugeführtes Strömungsmittel intermittierend zu pulsieren.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß die Schiene (251) eine zweite Re'ihe von durch die Schiene durchgeführten, gerichteten
Strömungsmittelkanälen (266, 267) aufweist, die in einer Richtung in die obere Oberfläche der Schiene münden, welche der Mündungsrichtung der Kanäle der ersten Reihe an
der Oberfläche allgemein entgegengesetzt ist, und die Kanäle der zweiten Reihe mit den zum Einführen von Strömungsmittel
in die Kanäle dienenden Vorrichtungen verbunden sind, wodurch die Schiene eine Zweirichtungs-Bewegungsmöglichkeit
erhält.
14. Vorrichtung naGh Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,
daß jeder Kanal der Reihen von Strömungsmittelkanälen jeweils von seinem unteren Ende bis zu seinem oberen Ende
einen allgemein gekrümmten Verlauf aufweist.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis H,
dadurch gekennzeichnet, daß jeder Kanal aus einer gekrümmten, sich verjüngenden Nut besteht, deren unteres Ende größer ist
als ihr oberes Ende, so daß der Kanal die Porm einer ge-
■ OOdfi'2'4/ 182 3 "
-Ib-
krümmten Düse aufweist.
16. Vorrichtung nach, einem der Ansprüche 10 bis 15,
dadurch gekennzeichnet, daß die Schiene eine Halteplatte (57> 251) mit einer Keine allgemein paralleler Schlitze
(5ö) in ihrer oberen Oberfläche aufweist, in der unteren Oberfläche der Halteplatte eine mit einer Strömungsmittelquelle
in Verbindung stehende Kammer (61; 257» 258) ausgebildet ist, durch die Halteplatte zwischen der Kammer und
den Schlitzen Öffnungen (62) durchgeführt sind, durch welche Strömungsmittel in die Schlitze eingeführt werden kann,
und eine Jtieihe von Stäben (68, 253) in die Schlitze eingesetzt
sind und diese im wesentlichen ausfüllen, die oberen Ränder der Stäbe allgemein mit der oberen Oberfläche der
Halteplatte ausgerichtet sind, an diese anschließen und eine Auflagefläche bilden, über welche die Gegenstände
hinweg geführt werden können, jeder Stab in einer Seitenfläche Strömungsmittelkanäle (73; 266, 267) aufweist, die
unter einem vorbestimmten Neigungswinkel in bezug auf die Längsachse des Stabes in die obere Oberfläche der Befestigungsplatte
münden.
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Stab in seiner anderen Seitenfläche eine
weitere Reihe von Strömungsmittelkanälen aufweist, die
ebenfalls in bezug auf die Längsachse des Stabes unter einem vorbestimmten Neigungswinkel in die obere Oberfläche
0 0 9 8 2 Λ / 1 823
münden.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kanäle auf der einen Seitenfläche des Stabes einen Neigungswinkel aufweisen, welcher dem Neigungswinkel
der Kanäle auf der anderen Seitenfläche des Stabes entgegengesetzt gerichtet ist, so daß die Schiene
eine Zweirichtungs-Bewegungsmöglichkeit für Gegenstände
aufweist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Kanal eine gekrümmte, sich
verjüngende düsenförmige Formgebung aufweist und an seinem
unteren Ende tiefer und breiter ist als an seinem oberen Ende, das in die obere Oberfläche der Befestigungsplatte
mündet.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 19»
gekennzeichnet durch ein in einer Entnahmestation befindliches Vorratsmagazin (11) mit mehreren Gegenständen, Vorrichtungen
(36, 38), die dazu dienen, das Magazin schrittweise forteuschalten, so daß es jeweils in eine Lage gebracht wird, in welcher Gegenstände aus diesem entnommen
werden können, wobei die Strömungsmittellagerschiene in
unmittelbarer Nahe des Gegenstandes angeordnet ist, und durch eine Steuervorrichtung, die dazu dient, die Einführung
des zur Lagerung dienenden Strömungsmittels in
und durch die Schiene entsprechend der nacheinander er-
000024/1823
_78_ 1S590S3
folgenden schrittweisen Portschaltung der Magazine durch die Schaltvorrichtung zu steuern.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß das Vorratsmagazin aus einem im waagerechten Schnitt
allgemein U-förmigen Körper (11) und einer Reihe von in dem
Körper übereinander in Abständen angeordneten Lippen (13) besteht, zwischen denen sich offene Schlitze (14) befinden,
die durch benachbarte Lippenpaare gebildet werden, jeder Schlitz in Richtung der zugeordneten Vorrichtung offen
ist, welche dazu dient, Gegenstände aus dem Körper zu entnehmen oder in den Körper einzuführen.
22. Vorrichtung nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, daß ein ähnliches Entladungsmagazin an
einer Abgabestation (9), der Gegenstände vermittels der Schiene zugeführt werden können, und Vorrichtungen (36·,
381) vorgesehen sind, die dazu dienen, das Albgabemagazin
so weiterzuschalten, daß es jeweils in eine Lage gebracht wird, in weicher Gegenstände aus dem Magazin entnommen
oder in dieses eingeführt werden können.
23. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zum schrittweisen Portschalten
des Vorratsmagazins eine Trägerplatte (16) für das Magazin, eine Führung (29) für die Trägerplatte, eine zum Antrieb
dienende Stellstange (36), die entsprechend des gegenseitigen Abstandes zwischen benachbarten Gegenständen in dem
Magazin um vor "be stimmte S treckenabsclin.it te weiterbewegt
werden kann, und einen zum schrittweisen Antrieb der Stange und der Trägerplatte dienenden Antrieb (38) aufweist.
24. Vorrichtung nach.Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet,
daß die mit der Trägerplatte in Eingriff stehende Stellstange in einer solchen Weise durch den Antrieb betätigbar
ist, daß das Magazin fortlaufend schrittweise weitergeschaltet werden kann.
25. Torrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 24>
gekennzeichnet durch eine in einer Zentrierstation befindliche Zentriereinheit, die eine niedrige, allgemein flache
Schüssel (76) mit einer konkaven oberen Oberfläche (75) aufweist, auf der einzelne Gegenstände durch die Stromungsmittellagerung
abgelegt werden können, mehrere, durch die Schüssel durchgeführte, um den Mittelpunkt (77) derselben
angeordnete Strömungsmittelkanäle (83), die mit einer Quelle zur lagerung dienenden Strömungsmittels verbunden sind, und
durch eine Vorrichtung zum Pulsieren des von der Quelle
durch die Kanäle abgegebenen Strömungsmittels, die dazu dient, einen auf der Oberfläche befindlichen Gegenstand
so lange hin und her zu bewegen, bis sich dessen Mittelpunkt über dem Mittelpunkt der Schüssel befindet.
26. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet,
daß die'Zentriervorrichtung eine durch die Schüssel
durchgeführte Bohrung (97) aufweist, deren Achse mit der
00 98 24/1823
Schüsselachse zusammenfällt, in der Bohrung ein koaxialer Zentrierstift (96) angeordnet, sowie eine zum Anheben des
Stiftes dienende Vorrichtung (104) vorgesehen ist, die dazu dient, den Stift anzuheben, wenn ein Gegenstand auf
diesem zentriert ist, und den Gegenstand über die konkave Oberfläche anzuheben, damit er in einen Eingriff mit der
erstgenannten Aufnehmevorrichtung (181) gebracht werden
kann,
27. Torrichtung nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zentriervorrichtung eine Unterdruckvorrichtung aufweist, die dazu dient, den Gegenstand auf dem Stift zu
halten, wenn dieser angehoben ist.
28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 27, gekennzeichnet durch eine in einer Bearbeitungsstation
befindliche Drehvorrichtung, die aus einer Drehspindel (126), Aufnehmevorrichtungen (181, 182) zum Aufnehmen
von Gegenständen von der Strömungsmittellagerung und zum hintereinander erfolgenden Aufsetzen derselben auf die
Spindel, einem Drehantrieb (131) für die Spindel und den auf diese aufgesetzten Gegenstand, und einer Unterdruckvorrichtung
besteht, die dazu dient, den Gegenstand während der Spindeldrehung auf dieser festzuhalten.
29. Vorrichtung nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehvorrichtung außerdem eine oberhalb der
009824/1823
Spindel angeordnete Ausgabedüse (121) für Flüssigkeit, die dazu dient, in einer "bestimmten Reihenfolge abgemessene
Flüssigkeitsmengen auf einen auf der Spindel befindlichen Gegenstand abzugeben, einen beweglich gelagerten, die Spindel
umgebenden und normalerweise unterhalb der Unterseite derselben angeordneten Napf (131)ι und eine zum Anheben
und Absenken des Napfes dienende Vorrichtung (141) aufweist,
die dazu dient, den Napf während der Spindeldrehung so weit anzuheben, daß er das obere Spindelende und den
auf diesem befindlichen Gegenstand umgibt und von dem Gegenstand während der Drehung weggeschleuderte Flüssigkeit auffängt,
und den Napf nach Beendigung der Spindeldrehung abzusenken,
damit eine weitere Aufnehmevorrichtung den Gegenstand von der Spindel abnehmen kann.
30. Vorrichtung nach Anspruch 28 oder 29, gekennzeichnet
durch eine zum Abnehmen von Gegenständen von der Spindel nach dem Drehvorgang und zur aufeinanderfolgenden Abgabe
der Gegenstände an die Abgabestation dienende Übergabevorrichtung.
31. Vorrichtung nach Anspruch 28 oder 20, dadurch gekennzeichnet,
daß die Übergabevorrichtung aus einer beweglich gelagerten Schieberplatte (151)» einem auf der Platte
befestigten und zusammen mit der Platte in bezug auf die Drehvorrichtung beweglichen Saugarm, einer Unterdruckvorrichtung,
welche dazu dient, einen Gegenstand auf dem Saug-
Ö09824/1823
arm zu halten, wenn der Arm den Gegenstand aufnimmt, und einer Vorrichtung (171) besteht, die dazu dient, die Platte
und den Arm während der Aufnahme und der Übergabe von Gegenständen in einer bestimmten Reihenfolge zu der Drehvorrichtung
hin und von dieser weg zu bewegen.
32. Torrichtung nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet,
daß die Übergabevorrichtung außerdem eine Vorrichtung (104), vermittels welcher der Saugarm in bezug auf die
Platte wahlweise auf oder ab bewegt werden kann, um die Aufnahme und Abgabe von Gegenständen durch den Arm zu erleichtern,
und eine Vorrichtung zur Betätigung der Lagerungsplatte in einer vorbestimmten zeitlichen Folge und
zum Anheben und Absenken des Saugarms während des Aufnehmens und der Abgabe von Gegenständen aufweist.
33. Vorrichtung nach Anspruch 20 oder 22, dadurch gekennzeichnet,
daß die Schiene in das Magazin hineingeführt ist und die Strömungsmittelkanäle in bezug auf das Innere
des Magazins in einer Weise ausgerichtet sind, daß sie den Gegenständen in bezug auf das Magazin eine bestimmte
Bewegungsrichtung erteilen können.
34· Vorrichtung nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanäle innerhalb der Schiene so ausgerichtet
sind, daß durch die Kanäle hindurchgehendes Strömungsmittel Gegenstände in das Innere des Magazins bewegen kann»
00982 A /1323
35. Vorrichtung nach. Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kanäle innerhalb der Schiene so ausgerichtet sind, daß durch die Kanäle hindurchgehendes Strömungsmittel
Gegenstände aus dem Magazin herausbewegen kann.
36. Vorrichtung nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch eine Steuervorrichtung für die Steuerung des den Kanälen
zugeführten AuflageStrömungsmittels, die eine Vorrichtung
aufweist, welche das wahlweise Einführen des Strömungsmittels in die eine oder die andere Reihe von Kanälen
gestattet und dazu dient, der Vorrichtung eine Zweirichtungs-Bewegungsmögiichkeit
zu erteilen.
37. Vorrichtung nach Anspruch 23 oder 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellstange in einem Gewindeeingriff
mit der Trägerplatte steht und der Antrieb aus einem Motor (38) besteht, der dazu dient, die Stange nach erfolgter
Bewegung eines Gegenstandes in bezug auf das Magazin um einen vorbestimmten Betrag zu drehen, so daß die Stange
die Trägerplatte um eine Stellung schrittweise verstellen kann und ein anderer Gegenstand zur Verfügung steht, der
in das Magazin oder aus diesem heraus bewegt werden kann.
38. Vorrichtung nach Anspruch 23 oder 24, dadurch gekennzeichnet,
daß zur Steuerung des Antriebs eine kühlvorrichtung (46) vorgesehen ist, an der jeder Gegenstand bei
seiner Bewegung in bezug auf das Magazin vorbeibewegt wird,
009824/182 3
wobei jeder vorbeibewegte Gegenstand dazu dient, die kühlvorrichtung
zu betätigen, so daß diese ein zur schrittweisen Fortschaltung dienendes Steuersignal an den Antrieb
abgeben kann.
39. Torrichtung nach Anspruch 30 oder 31» dadurch
gekennzeichnet, daß wenigstens eine Übergabevorrichtung einen drehbar an dem Plattenaufbau (151) gelagerten Hebelarm
(188) aufweist, der Saugarm (181) an dem einen Ende des Hebelarms befestigt und zwischen dem Hebelarm und dem
Plattenaufbau eine Feder (192) angeordnet ist, welche dazu dient, das eine Ende des Hebelarms zusammen mit dem Saugarm
normalerweise nach unten zu drücken, sowie eine pneumatische Vorrichtung (207), die dazu dient, das eine Ende
des Hebelarms zusammen mit dem Saugarm wahlweise nach unten zu drücken, und eine Steuervorrichtung zur Steuerung der
pneumatischen Vorrichtung vorgesehen ist, so daß sich jeder Saugarm an jeder Station wahlweise anheben oder absenken
läßt.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US77903368A | 1968-11-26 | 1968-11-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1959093A1 true DE1959093A1 (de) | 1970-06-11 |
| DE1959093C2 DE1959093C2 (de) | 1984-02-23 |
Family
ID=25115107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE1959093A Expired DE1959093C2 (de) | 1968-11-26 | 1969-11-25 | Vorrichtung zur Handhabung leicht zerbrechlicher Werkstücke, insbesondere von Plättchen für die Herstellung von Halbleiterbauelementen |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3645581A (de) |
| JP (1) | JPS549027B1 (de) |
| DE (1) | DE1959093C2 (de) |
| GB (2) | GB1301285A (de) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2225326A1 (de) * | 1971-06-01 | 1972-12-14 | Ibm | Pneumatische Transporteinrichtung für kleine flache Werkstücke |
| EP0385934A1 (de) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | SPT AG, SPANLOSE PRODUKTIONSTECHNIK i.K. | Vorrichtung zur Aufnahme eines Coil sowie Verfahren zu dessen Lagerung |
Families Citing this family (81)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6076652A (en) | 1971-04-16 | 2000-06-20 | Texas Instruments Incorporated | Assembly line system and apparatus controlling transfer of a workpiece |
| US3930684A (en) * | 1971-06-22 | 1976-01-06 | Lasch Jr Cecil A | Automatic wafer feeding and pre-alignment apparatus and method |
| US3947236A (en) * | 1971-11-29 | 1976-03-30 | Lasch Jr Cecil A | Fluid bearing transfer and heat treating apparatus and method |
| US3730595A (en) * | 1971-11-30 | 1973-05-01 | Ibm | Linear carrier sender and receiver |
| US3822025A (en) * | 1973-03-16 | 1974-07-02 | Gerber Scientific Instr Co | Pressurized gas selector mechanism |
| JPS501639A (de) * | 1973-05-07 | 1975-01-09 | ||
| US3823836A (en) * | 1973-05-22 | 1974-07-16 | Plat General Inc | Vacuum apparatus for handling sheets |
| JPS5013949U (de) * | 1973-06-01 | 1975-02-13 | ||
| JPS5013948U (de) * | 1973-06-01 | 1975-02-13 | ||
| US3982979A (en) * | 1973-06-28 | 1976-09-28 | Western Electric Company, Inc. | Methods for mounting an article on an adherent site on a substrate |
| US3948564A (en) * | 1974-01-17 | 1976-04-06 | Gca Corporation | Fluid bearing apparatus and method utilizing selective turntable diverter structure |
| US3923342A (en) * | 1974-06-10 | 1975-12-02 | Motorola Inc | Apparatus and method for handling frangible objects |
| GB1513444A (en) * | 1974-09-06 | 1978-06-07 | Chemical Reactor Equip As | Pick-up devices for lifting and moving semiconductor wafers |
| US3960277A (en) * | 1974-09-30 | 1976-06-01 | Flint Alan G | Mask plate handling apparatus |
| US4047627A (en) * | 1974-09-30 | 1977-09-13 | Gca Corporation | Mask plate handling method |
| US4009785A (en) * | 1974-10-02 | 1977-03-01 | Motorola, Inc. | Fixture and system for handling plate like objects |
| US4030622A (en) * | 1975-05-23 | 1977-06-21 | Pass-Port Systems, Inc. | Wafer transport system |
| US4014576A (en) * | 1975-06-19 | 1977-03-29 | International Business Machines Corporation | Article carrier |
| US4024944A (en) * | 1975-12-24 | 1977-05-24 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor slice prealignment system |
| US4062463A (en) * | 1976-05-11 | 1977-12-13 | Machine Technology, Inc. | Automated single cassette load mechanism for scrubber |
| US4278366A (en) * | 1977-03-18 | 1981-07-14 | Gca Corporation | Automatic wafer processing system and method |
| US4315705A (en) * | 1977-03-18 | 1982-02-16 | Gca Corporation | Apparatus for handling and treating wafers |
| US4178113A (en) * | 1977-12-05 | 1979-12-11 | Macronetics, Inc. | Buffer storage apparatus for semiconductor wafer processing |
| US4190015A (en) * | 1977-12-08 | 1980-02-26 | Machine Technology, Inc. | Apparatus for dispensing liquid to spinning workpieces |
| US4236851A (en) * | 1978-01-05 | 1980-12-02 | Kasper Instruments, Inc. | Disc handling system and method |
| US4313266A (en) * | 1980-05-01 | 1982-02-02 | The Silicon Valley Group, Inc. | Method and apparatus for drying wafers |
| US4495399A (en) * | 1981-03-26 | 1985-01-22 | Cann Gordon L | Micro-arc milling of metallic and non-metallic substrates |
| US4600471A (en) * | 1981-08-26 | 1986-07-15 | Integrated Automation, Limited | Method and apparatus for transport and processing of substrate with developing agent |
| US4392915A (en) * | 1982-02-16 | 1983-07-12 | Eaton Corporation | Wafer support system |
| US4462796A (en) * | 1982-05-19 | 1984-07-31 | Micro Component Technology, Inc. | Integrated circuit component handler movement and heating system |
| US4983093A (en) * | 1982-05-24 | 1991-01-08 | Proconics International, Inc. | Wafer transfer apparatus |
| DE3219502C2 (de) * | 1982-05-25 | 1990-04-19 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Vorrichtung zum automatischen Transport scheibenförmiger Objekte |
| NL8203318A (nl) * | 1982-08-24 | 1984-03-16 | Integrated Automation | Inrichting voor processing van substraten. |
| US4554814A (en) * | 1982-10-13 | 1985-11-26 | The Minster Machine Company | Air transfer system and method for a shell press |
| CA1226764A (en) * | 1982-10-13 | 1987-09-15 | Arthur L. Grow | Air transfer system for a shell press |
| US4502215A (en) * | 1982-12-20 | 1985-03-05 | At&T Technologies, Inc. | Feeding articles to successive stations for treatment |
| US4627264A (en) * | 1983-01-03 | 1986-12-09 | The Minster Machine Company | Cam actuated ejector for a shell press |
| US4513600A (en) * | 1983-01-03 | 1985-04-30 | The Minster Machine Company | Cam actuated ejector for a shell press |
| US4555630A (en) * | 1983-02-28 | 1985-11-26 | Tamarack Scientific Co., Inc. | Automatic system for exposing and handling double-sided printed circuit boards |
| US4539479A (en) * | 1983-02-28 | 1985-09-03 | Sheets Ronald E | Automatic apparatus and method for exposing, registering, and handling double-sided printed circuit boards |
| US4534695A (en) * | 1983-05-23 | 1985-08-13 | Eaton Corporation | Wafer transport system |
| JPS6074626A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-26 | Fujitsu Ltd | ウエハー処理方法及び装置 |
| JPS59171121A (ja) * | 1984-01-30 | 1984-09-27 | Hitachi Ltd | マスク取り扱い装置 |
| US4724621A (en) * | 1986-04-17 | 1988-02-16 | Varian Associates, Inc. | Wafer processing chuck using slanted clamping pins |
| US4924890A (en) * | 1986-05-16 | 1990-05-15 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for cleaning semiconductor wafers |
| US5040484A (en) * | 1987-05-04 | 1991-08-20 | Varian Associates, Inc. | Apparatus for retaining wafers |
| US4817556A (en) * | 1987-05-04 | 1989-04-04 | Varian Associates, Inc. | Apparatus for retaining wafers |
| US4862578A (en) * | 1987-08-20 | 1989-09-05 | Holcomb Gregory W | Tube magazine component feeder |
| DE3732113C1 (de) * | 1987-09-24 | 1988-10-20 | Convac Gmbh | Einrichtung zur Inline-Belackung von Compact-Discs |
| US4815601A (en) * | 1987-09-29 | 1989-03-28 | Fluoroware, Inc. | Carrier for flat panel displays |
| US4930634A (en) * | 1987-09-29 | 1990-06-05 | Fluoroware, Inc. | Carrier for flat panel displays |
| US4949848A (en) * | 1988-04-29 | 1990-08-21 | Fluoroware, Inc. | Wafer carrier |
| DE3912589A1 (de) * | 1989-04-17 | 1990-10-25 | Ekkehard Ueberreiter | Einrichtung zum testen von elektronischen bauelementen mit einer ladestation, einer teststation und eine entladestation fuer die bauelemente |
| JPH0727957B2 (ja) * | 1989-10-09 | 1995-03-29 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置 |
| US5111936A (en) * | 1990-11-30 | 1992-05-12 | Fluoroware | Wafer carrier |
| DE4100526A1 (de) * | 1991-01-10 | 1992-07-16 | Wacker Chemitronic | Vorrichtung und verfahren zum automatischen vereinzeln von gestapelten scheiben |
| US5271706A (en) * | 1991-10-31 | 1993-12-21 | Hkm Corporation | Self-loading paper transport system |
| US5788425A (en) * | 1992-07-15 | 1998-08-04 | Imation Corp. | Flexible system for handling articles |
| DE4308276C2 (de) * | 1993-03-16 | 1997-09-04 | Heidelberger Druckmasch Ag | Leiteinrichtung für einen Bogen |
| US5432653A (en) * | 1993-06-22 | 1995-07-11 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Loop-shaped pneumatic drive |
| US5485325A (en) * | 1994-04-04 | 1996-01-16 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Magazine storage system for recording strips |
| US5762084A (en) * | 1994-07-15 | 1998-06-09 | Ontrak Systems, Inc. | Megasonic bath |
| US5745946A (en) * | 1994-07-15 | 1998-05-05 | Ontrak Systems, Inc. | Substrate processing system |
| US5548505A (en) * | 1994-07-15 | 1996-08-20 | Oktrak Systems, Inc. | Scrubber control system |
| US5692873A (en) * | 1995-03-31 | 1997-12-02 | Motorola, Inc. | Apparatus for holding a piece of semiconductor |
| KR100191268B1 (ko) * | 1996-06-11 | 1999-06-15 | 윤종용 | 반도체 제조 장치 |
| US5924154A (en) * | 1996-08-29 | 1999-07-20 | Ontrak Systems, Inc. | Brush assembly apparatus |
| US6039059A (en) | 1996-09-30 | 2000-03-21 | Verteq, Inc. | Wafer cleaning system |
| DE19649488A1 (de) * | 1996-11-29 | 1997-11-06 | Schott Glaswerke | Vorrichtung zur Handhabung von dünnen Glasscheiben |
| SE509367C2 (sv) * | 1997-05-16 | 1999-01-18 | Cetelab Ab | Förfarande och anordning för hantering av kretsar |
| US6415804B1 (en) * | 1999-12-23 | 2002-07-09 | Lam Research Corporation | Bowl for processing semiconductor wafers |
| US20030115214A1 (en) * | 2001-12-17 | 2003-06-19 | Nir Essar | Medical reporting system and method |
| AU2003243703A1 (en) * | 2002-07-08 | 2004-01-23 | Dimension Bond Corporation | Apparatus and method for simultaneously coating and measuring parts |
| US6832577B2 (en) * | 2002-07-08 | 2004-12-21 | Dimension Bond Corporation | Apparatus and method for simultaneously coating and measuring parts |
| US6998147B2 (en) * | 2002-07-08 | 2006-02-14 | Dimension Bond Corporation | Method for simultaneously coating and measuring parts |
| US6860947B2 (en) | 2002-07-08 | 2005-03-01 | Dimension Bond Corporation | Apparatus for simultaneously coating and measuring parts |
| TWI352628B (en) * | 2006-07-21 | 2011-11-21 | Akrion Technologies Inc | Nozzle for use in the megasonic cleaning of substr |
| JP4751460B2 (ja) * | 2009-02-18 | 2011-08-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び基板処理システム |
| CN101875036A (zh) * | 2009-04-30 | 2010-11-03 | 深圳富泰宏精密工业有限公司 | 转动装置 |
| JP5316689B1 (ja) * | 2012-10-31 | 2013-10-16 | 千住金属工業株式会社 | 位置出し治具及び位置調整方法 |
| US10788762B2 (en) * | 2019-02-25 | 2020-09-29 | Applied Materials, Inc. | Dynamic cooling control for thermal stabilization for lithography system |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2778691A (en) * | 1955-06-07 | 1957-01-22 | Melpar Inc | Stapling machines |
| US3103388A (en) * | 1963-09-10 | High speed pneumatic conveyor | ||
| US3160443A (en) * | 1962-10-23 | 1964-12-08 | Western Electric Co | Apparatus for pneumatically conveying articles |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2801884A (en) * | 1955-03-31 | 1957-08-06 | Nat Machinery Co | Pneumatic elevating and handling means |
| US2842923A (en) * | 1956-06-18 | 1958-07-15 | Rca Corp | Light element transport apparatus |
| NL281857A (de) * | 1961-08-11 | |||
| US3222110A (en) * | 1964-03-11 | 1965-12-07 | American Tobacco Co | Cigarette transfer apparatus |
| US3318640A (en) * | 1965-04-23 | 1967-05-09 | Pitney Bowes Inc | Pneumatic sheet handling apparatus and method of making same |
-
1968
- 1968-11-26 US US779033A patent/US3645581A/en not_active Expired - Lifetime
-
1969
- 1969-11-25 GB GB1301285D patent/GB1301285A/en not_active Expired
- 1969-11-25 DE DE1959093A patent/DE1959093C2/de not_active Expired
- 1969-11-25 JP JP9459169A patent/JPS549027B1/ja active Pending
- 1969-11-25 GB GB1301286D patent/GB1301286A/en not_active Expired
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3103388A (en) * | 1963-09-10 | High speed pneumatic conveyor | ||
| US2778691A (en) * | 1955-06-07 | 1957-01-22 | Melpar Inc | Stapling machines |
| US3160443A (en) * | 1962-10-23 | 1964-12-08 | Western Electric Co | Apparatus for pneumatically conveying articles |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2225326A1 (de) * | 1971-06-01 | 1972-12-14 | Ibm | Pneumatische Transporteinrichtung für kleine flache Werkstücke |
| EP0385934A1 (de) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | SPT AG, SPANLOSE PRODUKTIONSTECHNIK i.K. | Vorrichtung zur Aufnahme eines Coil sowie Verfahren zu dessen Lagerung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB1301286A (de) | 1972-12-29 |
| JPS549027B1 (de) | 1979-04-20 |
| GB1301285A (de) | 1972-12-29 |
| DE1959093C2 (de) | 1984-02-23 |
| US3645581A (en) | 1972-02-29 |
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