DE19731183C2 - Behälter für Halbleiterplättchen (Wafer) - Google Patents
Behälter für Halbleiterplättchen (Wafer)Info
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Description
Die Erfindung betrifft einen Behälter für Halbleiterplättchen
(Wafer) nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein derartiger Behälter ist aus der US 4,697,704 A bekannt.
Dort wird eigentlich ein verschließbarer Behälter für Floppy-
Memory Disketten für Computer offenbart, die auf einer ihrer
Seitenkanten in Schlitzen senkrecht stehen.
Es werden verschiedene Verfahren zur Aufnahme von Wafern in Be
hälter für deren Lagerung oder Versand verwendet. Einige Behäl
ter besitzen vertikale Schlitze für die Wafer sowie einrastbare
obere Abdeckungen oder Deckel aus elastischem Kunststoff. Pas
sive Kissen, die an der oberen Abdeckung angebracht sind, wer
den durchgebogen, wenn die Wafer durch das Aufrasten der oberen
Abdeckung gesichert werden.
Die Halbleiterindustrie verarbeitet mittlerweile größere Wafer
mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm und geht mehr und mehr
dazu über, Träger und Transportbehälter mit einer ausschließ
lich horizontalen Waferausrichtung zu verwenden. Die größeren
Behälter, die zur Aufnahme der größeren Wafer erforderlich
sind, führen dazu, daß die Herstellung und Verwendung herkömm
licher passiver elastischer Kissen schwieriger ist.
Ferner ist aus der DE 22 57 297 B2 eine Verriegelungsvorrich
tung einer Frachtbehältertür bekannt. Von Halbleiterplättchen
und deren Halterung/Einspannung ist jedoch nicht die Rede. Es
liegen vielmehr völlig andere Größen- und Sachverhältnisse dort
vor.
Der vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde,
den eingangs genannten Behälter derart zu verbessern, daß er
zerbrechliche, steife Wafer, die in integrierte Schaltkreise
eingebaut werden, in horizontaler Weise mit ihren Randbereichen
aufzunehmen und ihnen eine sichere Festhalteposition zu ermög
lichen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch den Behälter gemäß An
spruch 1 gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen beschreiben die Unteransprüche 2 bis 5.
Der erfindungsgemäße Waferbehälter besitzt also eine offene
Vorderseite, die mit einem Türaufnahmerahmen und einer in ihrer
Größe dem Türaufnahmerahmen angepaßten Tür versehen ist. Der
Türaufnahmerahmen besitzt auf zwei gegenüberliegenden Seiten
Schlitze, und die Tür ist mit Verriegelungselementen versehen,
die aus dem Randbereich der Tür ausgefahren und eingezogen wer
den, wenn die Tür in die Schlitze eingesetzt bzw. aus den
Schlitzen herausgenommen wird, um die Tür am Türaufnahmerahmen
zu verriegeln bzw. zu entriegeln. Die Tür besitzt außerdem Wa
feraufnahmearme, die nach innen auf die Wafer gerichtet sind,
um die genannten Wafer zu sichern, wenn die Tür aufgerastet
ist. Die einziehbaren Verriegelungselemente und die Waferhalte
arme sind mit einer im Innern der Tür angebrachten drehbaren
Nocke verbunden. Die Nocke ist mit genockten Oberflächen verse
hen, die so ausgelegt sind, daß zuerst die Tür verriegelt wird
und anschließend die Waferhaltearme ausgefahren werden.
Ein Vorteil und ein besonderes Merkmal der vorliegenden Erfin
dung besteht darin, daß die Tür neben der Verriegelungseinrich
tung auch eine Waferhalterung enthält. Diese Verriegelung und
Halterung erfolgt durch eine einzige Drehung eines Türgriffs.
Ein weiteres vorteilhaftes Merkmal der vorliegenden Erfindung
besteht darin, daß der Mechanismus im Innern der Tür angeordnet
ist, wodurch die Erzeugung und die Verteilung von Partikeln
durch den Türmechanismus auf ein Mindestmaß reduziert werden
kann.
Ein weiteres vorteilhaftes Merkmal der vorliegenden Erfindung
besteht darin, daß der Türmechanismus die Verriegelung und die
Waferaufnahme in einer geeigneten Abfolge ausführt.
Ein weiteres vorteilhaftes Merkmal der vorliegenden Erfindung
besteht darin, daß die genockten Oberflächen in der drehbaren
Nocke eine Feststellvorrichtung
enthalten können, mit der es auf einfache Weise möglich ist, die Tür in der
verriegelten Position und den Waferaufnahmearm in der Halteposition zu sichern.
Fig. 1 ist eine Perspektivansicht eines Waferbehälters mit Tür.
Fig. 2 ist eine Perspektivansicht der Waferbehältertür, bei der ein Teil der oberen
Abdeckung entfernt ist, um den Mechanismus sichtbar zu machen.
Fig. 3 ist eine Perspektivansicht der drehbaren Nocke.
Fig. 4 ist eine Perspektivansicht eines Verriegelungsarms.
Fig. 5 ist eine Perspektivansicht eines Waferaufnahmearms.
Fig. 6 ist eine Perspektivansicht einer Stellgliedplatte eines
Waferaufnahmearms.
Fig. 7 ist eine Querschnittansicht eines mit der Rückwand verbundenen
Kniehebels.
Fig. 8 ist eine Perspektivansicht einer Waferaufnahmeschiene.
Fig. 9 ist eine Vorderansicht des Innern der Türrückwand.
Fig. 10A ist eine schematische Ansicht der Tür in geschlossenem Zustand.
Fig. 10B ist eine schematische Ansicht der Anordnung der Waferaufnahmearme.
Fig. 11A ist eine schematische Ansicht des Türmechanismus mit ausgefahrenen
Verriegelungsarmen.
Fig. 11 B ist eine schematische Ansicht der Waferaufnahmearme in einer
Position, in der sie die Wafer nicht festhalten, wobei diese Position mit der in Fig.
11A dargestellten Position des Mechanismus übereinstimmt.
Fig. 12A ist eine schematische Ansicht des Mechanismus in einer vollständig
verriegelten Position mit ausgefahrenen Verriegelungsarmen.
Fig. 12B ist eine schematische Ansicht, die mit der Position des Mechanismus
entsprechend Fig. 12A übereinstimmt, wobei die Waferaufnahmearme distal
angeordnet sind und die Wafer festhalten.
Fig. 13A ist eine schematische Ansicht der Tür während einer Öffnungsphase mit
vollständig ausgefahrenen Verriegelungsarmen.
Fig. 13B entspricht der Position des Mechanismus gemäß Fig. 13A, wobei die
Waferaufnahmearme in ihrer eingezogenen Position von den Wafern losgelöst
sind.
Fig. 14A ist eine schematische Ansicht der Tür, wobei sich der
Wafermechanismus in seiner vollständig entriegelten Position befindet, um die
genannte Tür öffnen zu können.
Fig. 14B entspricht der Position des Mechanismus gemäß Fig. 14A und zeigt
die von den Wafern losgelöst bleibende Waferaufnahmearme.
Fig. 15 ist eine Frontansicht einer weiteren Ausführungsform einer Tür nach der
Erfindung.
Wir betrachten Fig. 1. Darin ist ein Waferbehälter 20 dargestellt, der, allgemein
ausgedrückt, aus einem Behälterteil 22 und einer dazugehörigen Tür 24 besteht.
Der Behälterteil besitzt eine Mehrzahl an Waferschlitzen 28, um Wafer W in
horizontale Ebenen einschieben und aus diesen Ebenen herausziehen zu können.
Diese Schlitze werden durch die Waferrillen 32 und die Waferhalterippen 36
gebildet. Der Behälterteil besitzt allgemein eine offene Vorderseite 40, eine
geschlossene Oberseite 42, eine geschlossene linke Seite 44, eine geschlossene
Rückseite 46, eine geschlossene rechte Seite 48 und eine geschlossene
Unterseite 50. In der Figur wird der Behälter auf einer Geräteschnittstelle 52
angebracht dargestellt.
Die Tür 24 läßt sich auf einem Türaufnahmerahmen 60 aufsetzen und einrasten.
Der Türaufnahmerahmen 60 besitzt zwei Paare gegenüberliegender
Rahmenelemente, ein vertikales Paar 64 und ein horizontales Paar 68. Die
vertikalen Rahmenelemente besitzen ein Paar Öffnungen oder Schlitze 72, 74, die
zur Aufnahme und Verriegelung der Tür am Behälterteil 22 verwendet werden. Die
Tür besitzt ein in der Mitte angebrachtes drehbares Element 80 mit einem
Handgriff 81, der sich in einer Vertiefung 84 der vorderen Abdeckung 86 befindet.
Die vordere Abdeckung 86 ist Teil der Türeinfassung 90, die auch den Türrandteil
94 und eine Rückwand 96, die in dieser Darstellung nicht sichtbar ist, enthält. Die
vordere Abdeckung 86 ist mit geeigneten mechanischen Halterungen 98 befestigt.
Fig. 2 zeigt eine Perspektivansicht der Tür 20, bei der ein Teil der vorderen
Abdeckung 86 entfernt ist, wodurch der Türmechanismus 100 sichtbar wird.
Einzelne Komponenten des Mechanismus sind in den Fig. 3, 4, 5 und 6
dargestellt, darunter eine drehbare Nocke 110, ein Waferaufnahmearm 112 mit
daran angebrachten Kniehebeln 113 und eine Stellgliedplatte 120 des
Waferaufnahmearms.
Wir betrachten die Fig. 2 und 3. Die drehbare Nocke 110 besitzt ein Paar
Verriegelungsarm-Nockenöffnungen 114, die die Nockenoberflächen 116 bilden.
Die Nockenöffnungen 114 besitzen gegenüberliegende Enden 123 mit einer
Feststellvorrichtung 122, die an einem der Enden durch ein hervorstehendes
Kunststoffelement gebildet wird. Die Feststellvorrichtung 122 wird durch das
Hinzufügen einer Feststellvorrichtungsöffnung 124 elastisch gemacht. Die
drehbare Nocke 110 besitzt außerdem ein Paar gegenüberliegender
Waferaufnahmenockenöffnungen 130, die die genockten
Waferaufnahmeoberflächen 132 bilden. Darüber hinaus wird durch ein in einer der
Nockenoberflächen 132 hervorstehendes Element eine Nockenfeststellvorrichtung
zur Waferhalterung 134 geschaffen, die durch eine Feststellvorrichtungsöffnung
136 neben einem Ende 138 der Waferaufnahmenockenöffnung 130 elastisch
gemacht wird. Die drehbare Nocke besitzt in der Mitte eine Bohrung 150, die zur
Positionierung und Befestigung der drehbaren Nocke 110 auf der Rückwand 96
der Tür mit Hilfe der Welle 152 verwendet wird.
Wir betrachten die Fig. 2 und 4. Jeder Verriegelungsarm 118 umfaßt einen
Verbindungsteil 160 und ein Paar ausfahrbarer Teile 162, die einen
Verriegelungsteil 164 umfassen, der so ausgelegt ist, daß er in die Vertiefungen
oder Öffnungen 72, 74 im Türaufnahmerahmen 60 einrastet. Jeder
Verriegelungsarm ist außerdem mit einem Nockenfolgestift 166 versehen, der als
aus dem im allgemeinen flachen Teil 168 des Arms 118 herausragender Teil
ausgeprägt ist.
Wir betrachten die Fig. 5, 7 und 8. Jeder Waferaufnahmearm 112 enthält
einen Waferrand-Aufnahmeteil 170, die Kniehebel 113 mit einem Anschlußschlitz
174 und eine Drehzapfenoberfläche 176. Der Waferrand-Aufnahmeteil 170
besteht aus Hytrel.
Wir betrachten Fig. 6. Dargestellt ist die Stellgliedplatte 120 des
Waferaufnahmearms, die mit einem Nockenfolgestift 196 und mit Scharnieren 195
ausgestattet ist.
Die Verriegelungsarme 118 befinden sich zwischen der drehbaren Nocke 110 und
der Stellgliedplatte 120. Die Größe der Verriegelungsteile ist so bemessen, daß
sie durch die im Türrandteil 94 befindlichen Schütze 216 ausgefahren und
eingezogen werden können. Die Nockenfolgestifte 166 laufen in die
Nockenfolgeöffnung 118 und weiter in die Rückwandrille 200. Die obere
Abdeckung ist am Türrandteil 94 montiert und bildet zusammen mit ihm den
Türrahmen 90. Der relativ begrenzte Platz zwischen der Vorderwand und der
Rückwand dient zur Stabilisierung und Halterung des Mechanismus 100.
Die Bestandteile sind wie folgt montiert. Wir betrachten die Fig. 2 und 9. Die
Rückwand 96 der Tür besitzt vier Öffnungen 186, die wie die Ecken eines
Rechtecks angeordnet sind. Die Rückwand besitzt vier zylinderförmige Stifte 190,
von denen jeder in einer der Öffnungen steckt und fest mit der Rückwand
verbunden ist. Die Stifte 190 sind in ihrer Größe so bemessen, daß sie in den
Kniehebel 113 einrasten, so daß eine Drehung des Kniehebels 113 auf dem Stift
190 möglich ist. Der Schlitz 174 des Kniehebels 113 ist über einen Stift 194 im
Scharnier 195 mit der Stellgliedplatte 120 des Aufnahmearms verbunden. Jede
Stellgliedplatte 120 ist mit einem Nockenfolgestift 196 ausgestattet, der auf den
Nockenoberflächen 132 des Waferaufnahmearms entlang läuft und auch in den in
der Rückwand 96 befindlichen Vertiefungen oder Rillen 200 entlang läuft. Die
genannten Rillen befinden sich in erhöhten Flächen 202, die von der Rückwand
aus in Richtung der Vorderwand abgesetzt sind. Ebenfalls von der Rückwand 96
aus nach oben abgesetzt ist eine Mehrzahl drehbarer Nockenhalteleisten 210, auf
denen die drehbare Nocke 80 entlang läuft. Die genannten Leisten können mit
Nasen 212 versehen sein, mit denen die Halterung der Tischnocke 110 erleichtert
wird. Das in Fig. 7 dargestellte Ausführungsbeispiel verwendet Schlitze 186
anstatt der im allgemeinen quadratischen Öffnungen, wie sie in Fig. 2 dargestellt
sind. Darüber hinaus befinden sich die Stifte 190 jeweils in der Mitte der Schlitze
186 und nicht, wie in Fig. 2, seitlich in der Öffnung.
Die Vorrichtung funktioniert folgendermaßen. Wie aus der Darstellung in Fig. 2
sowie nachfolgend in den Fig. 10A und 10B bis 14A und 14B ersichtlich ist,
wird die Tür entweder von Hand oder von einem Roboterarm zuerst in den
Türaufnahmerahmen 60 des Behälterteils 22 eingesetzt. Im Ausführungsbeispiel
von Fig. 2 wird die drehbare Nocke gegen den Uhrzeigersinn gedreht. Der
Kontakt des Nockenfolgestifts 166 des Verriegelungsarms mit den genockten
Oberflächen 116 in der drehbaren Nocke führt dazu, daß der Verriegelungsarm
aufgrund der bestimmten Form der genannten Nockenöffnung 114 nach außen
gleitet. Wenn der Verriegelungsarm 118 ausfährt, dann erstrecken sich die
Verriegelungsteile 164 durch die Öffnungen 216 und in die Schlitze 72, 74 auf den
vertikalen Rahmenteilen des Türaufnahmerahmens 60. Siehe hierzu insbesondere
Fig. 11A. Die Waferaufnahmearme werden an dieser Stelle nicht ausgefahren.
Durch eine weitere Drehung des genockten Waferteils gemäß Darstellung in Fig.
12A wird der Verriegelungsarm 118 nicht wesentlich bewegt, jedoch werden
dadurch die Nockenfolgestifte 196 der Stellgliedplatten 120 der
Waferaufnahmearme nach außen gedrängt, wodurch sich die Kniehebel 113
drehen und die seitliche Bewegung der Stellgliedplatte 120 in eine nach außen zu
den Wafern hin gerichtete Bewegung des Waferaufnahmearms 112 umwandeln.
In diesem Sinne stellt Fig. 12B die Waferaufnahmearme bezüglich des
Türrahmens in einer entfernten Position und in einer Waferhalteposition dar.
Wenn die Nocke um 90° im Gegenuhrzeigersinn gedreht wird, bewegen sich die
Nockenfolgestifte 196 und 166 an den Feststellvorrichtungen 134, 122 vorbei und
verriegeln dadurch die Nocke in der in den Fig. 12A und 12B dargestellten
Position. Um die genannte Tür zu entriegeln und zu entfernen, wird die Nocke im
Uhrzeigersinn gedreht, und zwar zuerst in die in den Fig. 13A und 13B
dargestellte Position, in der die Waferaufnahmearme 112 von den Wafern weg in
die in den Fig. 13A und 13B dargestellte Position eingezogen werden, an der
auch die Verriegelungsarme 118 aus den Schlitzen im Türaufnahmerahmen
eingezogen werden.
Fig. 15 zeigt ein anderes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, in
dem das Mittel für das Ausfahren und das Einziehen der Verriegelungsteile und
das Mittel zur Bewegung des Waferhalteglieds zwischen einer nahen und einer
entfernten Position anstatt genockter Oberflächen und Nockenfolgestifte die
Verbindungen 211, 212 und die Gelenke 213 umfassen. In dieser Konfiguration
kann das drehbare Glied 110 in der über der Mitte gelegenen
Verriegelungsposition des Glieds 212, die durch die gestrichelten Linien und die
Kennzeichnung durch die Ziffer 216 dargestellt ist, verriegelt werden. In der in
dieser Figur dargestellten Konfiguration werden die vollständige Betätigung des
Verriegelungsarms und des Waferaufnahmearms ungefähr durch eine
Achteldrehung des drehbaren Glieds 110 erreicht. Der Pfeil 219 gibt die
Drehrichtung zum vollständigen Ausfahren der Verriegelungsarme 118 und der
Waferaufnahmearme 112, die in dieser Ansicht nicht dargestellt sind, an.
Die einzelnen Teile des Türmechanismus 100 können aus Kohlefaser-
Polycarbonat bestehen, um eine statische Dissipationseigenschaft zu
gewährleisten. Die Vorderwand und die Rückwand der Tür können aus
Polycarbonat bestehen.
Claims (5)
1. Behälter (20) für Halbleiterplättchen (Wafer) zur Auf
nahme von kreisförmigen Wafern (W) mit Randbereichen,
wobei der Behälter (20) einen Behälterbereich und eine
dazu passende Tür (24) umfaßt, und wobei der Behälter
teil (22) folgendes umfaßt:
eine offene Vorderseite (40), eine geschlossene lin ke Seite (44), eine geschlossene Rückseite (46), ei ne geschlossene rechte Seite (48), eine geschlossene Oberseite (42), eine geschlossene Unterseite (50), einen offenen Innenraum und einen im allgemeinen rechtwinkligen Türrahmen (60), der mit einem Türsitz zur Aufnahme der Tür (24) versehen ist, wobei, wenn die Tür (24) vom genannten Türrahmen (60) aufgenom men wird, die Tür (24) an den Randbereichen der Wa fer (W) anliegt, und wobei der Türrahmen (60) mit einem Verriegelungsteil (164) versehen ist;
wobei die passende Tür (24) folgendes umfaßt:
einen Türrahmen (60) mit einem äußeren Sitzbereich, auf den der Türrahmen (60) paßt;
gekennzeichnet durch:
eine drehbare Nocke (110) innerhalb des Rahmens (60), die mit diesem Rahmen (60) drehbar verbunden ist, wo bei die Nocke (110) von außerhalb des Gehäuses aus drehbar ist,
wobei die Nocke (110) eine genockte Verriegelungsarm oberfläche (116) und eine genockte Waferaufnahmearm oberfläche (132) besitzt;
einen nach außen beweglichen Verriegelungsarm (118), der mit einem Nockenfolgestift (166) ausgestattet ist, der mit der genockten Verriegelungsarmoberflä che (116) verbunden ist, wobei, wenn die Nocke (110) gedreht wird, der Verriegelungsarm (118) den Verrie gelungsteil des Türrahmens (60) einrastet;
einen Waferhaltemechanismus, der einen nach innen und nach außen beweglichen Waferaufnahmearm (112) und einen Stellgliedarm (120), der mit dem Waferauf nahmearm (112) verbunden ist, umfaßt, wobei der Stellgliedarm (120) mit einem Nockenfolgestift (196) ausgestattet ist, der mit der genockten Waferaufnah mearmoberfäche (132) verbunden ist, wobei, wenn die Nocke (110) gedreht wird, der Stellgliedarm (120) den Waferaufnahmearm (112) nach außen ausfährt, um die Randbereiche der Wafers (W) in einer horizontal axial ausgerichteten Konfiguration aufzunehmen, wo durch die Wafers (W) in eine sichere Festhalteposi tion gelangen.
eine offene Vorderseite (40), eine geschlossene lin ke Seite (44), eine geschlossene Rückseite (46), ei ne geschlossene rechte Seite (48), eine geschlossene Oberseite (42), eine geschlossene Unterseite (50), einen offenen Innenraum und einen im allgemeinen rechtwinkligen Türrahmen (60), der mit einem Türsitz zur Aufnahme der Tür (24) versehen ist, wobei, wenn die Tür (24) vom genannten Türrahmen (60) aufgenom men wird, die Tür (24) an den Randbereichen der Wa fer (W) anliegt, und wobei der Türrahmen (60) mit einem Verriegelungsteil (164) versehen ist;
wobei die passende Tür (24) folgendes umfaßt:
einen Türrahmen (60) mit einem äußeren Sitzbereich, auf den der Türrahmen (60) paßt;
gekennzeichnet durch:
eine drehbare Nocke (110) innerhalb des Rahmens (60), die mit diesem Rahmen (60) drehbar verbunden ist, wo bei die Nocke (110) von außerhalb des Gehäuses aus drehbar ist,
wobei die Nocke (110) eine genockte Verriegelungsarm oberfläche (116) und eine genockte Waferaufnahmearm oberfläche (132) besitzt;
einen nach außen beweglichen Verriegelungsarm (118), der mit einem Nockenfolgestift (166) ausgestattet ist, der mit der genockten Verriegelungsarmoberflä che (116) verbunden ist, wobei, wenn die Nocke (110) gedreht wird, der Verriegelungsarm (118) den Verrie gelungsteil des Türrahmens (60) einrastet;
einen Waferhaltemechanismus, der einen nach innen und nach außen beweglichen Waferaufnahmearm (112) und einen Stellgliedarm (120), der mit dem Waferauf nahmearm (112) verbunden ist, umfaßt, wobei der Stellgliedarm (120) mit einem Nockenfolgestift (196) ausgestattet ist, der mit der genockten Waferaufnah mearmoberfäche (132) verbunden ist, wobei, wenn die Nocke (110) gedreht wird, der Stellgliedarm (120) den Waferaufnahmearm (112) nach außen ausfährt, um die Randbereiche der Wafers (W) in einer horizontal axial ausgerichteten Konfiguration aufzunehmen, wo durch die Wafers (W) in eine sichere Festhalteposi tion gelangen.
2. Der Behälter gemäß Anspruch 1, wobei der Türaufnahmerah
men (60) eine Öffnung (72, 74) und der Verriegelungsarm
(118) einen Einschubteil besitzt, wobei dieser Einschub
teil in die Öffnung eingeschoben werden kann, um die ge
nannte Tür (24) im Behälterteil zu verriegeln,
3. Der Behälter gemäß Anspruch 1, wobei die genockten Ober
flächen (112) so konfiguriert sind, daß der Verriege
lungsarm (118) den Verrieglungsteil betätigt, bevor der
Waferaufnahmearm (112) die Randteile der Wafer (W)
greift.
4. Der Behälter gemäß Anspruch 1, wobei der Waferaufnahme
mechanismus weiterhin einen Kniehebel (113) umfaßt, der
über einen Drehzapfen mit dem Türrahmen verbunden ist,
wobei der Kniehebel (113) zwei Enden aufweist, von denen
ein Ende mit dem Waferaufnahmearm (112) und das andere
Ende mit dem Stellgliedarm (120) verbunden ist, so daß
die Längsbewegung des Stellgliedarms (120) innerhalb des
Rahmens in eine nach innen gerichtete Bewegung des Wa
feraufnahmearms (112) umgewandelt wird.
5. Der Behälter gemäß Anspruch 1, wobei mindestens eine der
genockten Oberflächen (132) eine Feststellvorrichtung
(122) aufweist, die so positioniert ist, daß sie den be
treffenden Nockenfolgestift (116) festhält, wenn der Wa
feraufnahmearm (112) ausgefahren wird.
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