DE19734646A1

DE19734646A1 - Ellipsometer-Meßvorrichtung

Info

Publication number: DE19734646A1
Application number: DE19734646A
Authority: DE
Inventors: Juergen Hahn; Goetz Dr Kuehnle
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1997-08-11
Filing date: 1997-08-11
Publication date: 1999-03-04
Also published as: DE59811015D1; CN1265737A; EP1034413A1; EP1034413B1; WO1999008068A1; KR20010022767A; KR100568439B1; JP2001512816A; US7088448B1; ES2217586T3; CN1155797C

Description

Stand der Technik

Die Erfindung bezieht sich auf eine Ellipsometer-Meßvorrichtung zum Bestimmen der Dicke einer auf einem Substrat aufgebrachten Schicht mit einer einen Ein gangsstrahl abgebenden Lichtquelle, einer den polarisierten Eingangsstrahl zu einem Auftreffpunkt des Substrats leitenden Sendeoptik und einer den am Auf treffpunkt gebildeten Reflexionsstrahl zu einer Fotoempfängereinrichtung lei tenden, einen Analysator aufweisenden, Empfangsoptik, wobei die Polarisations richtung des Eingangsstrahls und des Analysators zeitlich relativ zueinander geändert und die dadurch erzeugten Intensitätsänderungen mittels einer Aus werteeinrichtung zur Bestimmung der Schichtdicke ausgewertet werden.

Eine derartige Ellipsometer-Meßvorrichtung ist in Bosch Technische Berichte Band 4 (1974), Heft 7, Seiten 315 bis 320 beschrieben. Mit einer derartigen Meßvorrichtung kann z. B. die Dicke von Schutzschichten auf aluminiumbe schichteten Scheinwerferreflektoren in Form eines Spiegelparaboloids mit großem Öffnungsverhältnis gemessen werden, wobei die Schichtdicken im Be reich von 10 bis 50 nm liegen und eine Auflösung in der Größenordnung eines Nanometers erreichbar ist. Hierzu wird ein polarisierter Einfallsstrahl unter vorgegebenem Einfallswinkel auf einen Meßpunkt des Scheinwerferreflektors gerichtet und unter einem ebenfalls fest vorgegebenen Winkel reflektiert. Der reflektierte Strahl ist elliptisch polarisiert und wird zum Bestimmen der Elliptizität durch einen rotierenden Analysator auf einen Fotoempfänger geleitet, an dem entsprechend der Elliptizität Intensitätsschwankungen des Lichtsignals erfaßt werden. Die Elliptizität und damit die Intensitätsänderung ist abhängig von der Schichtdicke, so daß diese in einer nachgeschalteten Auswerteeinrichtung be stimmt werden kann. Der Winkel des Einfallsstrahls bzw. des Reflexionsstrahls bezüglich der Tangentialebene bzw. der Normalen im Meßpunkt ist häufig schwierig einstellbar, und eine genaue Justierung ist an schwer zugänglichen Stellen oder wechselnden Krümmungsverläufen, wie bei modernen Scheinwer fern, kaum möglich.

Vorteile der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Ellipsometer-Meßvorrichtung der eingangs angegebenen Art bereitzustellen, die bei einfacher Justierung und Handhabung auch an schwer zugänglichen Stellen und bei unterschiedlichen Krümmungsverläufen genaue Meßergebnisse liefert.

Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Hiernach ist also eine Winkelmeßeinrichtung vorgesehen, mit der der Winkel des Refle xionsstrahls relativ zu einer Tangentialebene des Substrats am Auftreffpunkt erfaßbar ist und daß die Schichtdicke mittels der Auswerteeinrichtung in Abhängigkeit des erfaßten Winkels bestimmbar ist. Dadurch, daß der Winkel des Reflexionsstrahls erfaßt und zur Berechnung der Schichtdicke mit ausgewertet wird, kann die Meßvorrichtung auf einfache Weise auf der Schicht aufgesetzt und die Messung leicht vorgenommen werden. Der sich ergebende Winkel wird dabei automatisch genau berücksichtigt und bei der Berechnung der Schicht dicke nach an sich bekannten Algorithmen einbezogen.

Die Messung des Winkels kann auf einfache Weise dadurch erfolgen, daß die Winkelmeßeinrichtung eine in x- und/oder y-Richtung positionsempfindliche Fotoempfängereinheit sowie eine Auswertestufe aufweist, mit der aus den Positionsdaten und aus Abstandsdaten der Reflexionswinkel errechenbar ist. Untersuchungen haben ergeben, daß bereits eine eindimensionale Winkeler fassung zu guten Meßergebnissen für die Schichtdicke führt.

Der einfache Aufbau wird dadurch begünstigt, daß die Intensitätsänderungen und die Position des Reflexionsstrahls mit demselben Fotoempfänger der Foto empfängereinrichtung erfaßt werden.

Eine weitere Möglichkeit für eine einfache Bestimmung des Winkels besteht darin, daß die Fotoempfängereinheit zwei in unterschiedlichem Abstand von dem Auftreffpunkt im Strahlengang des Reflexionsstrahls angeordnete positions empfindliche Fotoempfänger aufweist und daß der Winkel auf der Grundlage der unterschiedlichen Positionen des Reflexionsstrahls auf den beiden Fotoem pfängern errechnet wird. Auch hierbei kann einer der Fotoempfänger gleichzeitig zur Messung der Intensitätsänderungen des Reflexionsstrahls ausgenutzt wer den.

Bei Bestimmung des Winkels mittels zweier Fotoempfänger kann der Aufbau bei spielsweise derart sein, daß in dem Strahlengang des Reflexionsstrahls vor den beiden Fotoempfängern ein Strahlteiler angeordnet ist und daß jeder Foto empfänger einen Teilstrahl des Reflexionsstrahls empfängt. Alternativ können die beiden Fotoempfänger auch hintereinander angeordnet sein, wobei ein Teil des Reflexionsstrahls den vorderen Fotoempfänger durchläuft.

Bei Verwendung nur eines Fotoempfängers ist vorteilhaft vorgesehen, daß vor der Fotoempfängereinrichtung eine Sammellinse angeordnet ist.

Die einfache Handhabung wird dadurch unterstützt, daß die Sendeoptik und die Empfangsoptik in einem gemeinsamen Träger integriert sind und daß der Träger zum Aufstellen auf der Schicht eine Dreipunktauflage aufweist. Durch diesen Aufbau wird stets auch eine eindeutige Auflage auf der Schicht gewährleistet. Die Dreipunktauflage kann dabei z. B. in einer Kugelauflage bestehen, durch die einerseits eine punktuelle Auflage an den drei Auflagestellen gewährleistet ist und andererseits eine Beschädigung der Schicht vermieden wird.

Zum Erzielen zuverlässiger Meßergebnisse hat sich ein Aufbau als vorteilhaft erwiesen, bei dem die Sendeoptik im Strahlengang des Eingangsstrahls einen Polarisator und eine λ/4-Platte aufweist und daß der Polarisator oder der Analy sator um eine zu seiner Fläche normale Achse rotierend antreibbar angeordnet ist.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezug nahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Ellipsometer-Meßvorrichtung in teilweise geschnittener Seitenansicht und

Fig. 2 eine Seitenansicht einer weiteren Ellipsometer-Meßvorrichtung.

Fig. 1 zeigt ein Meßobjekt 1 aus einem Substrat und einer auf dessen konkav gewölbten Innenseite aufgebrachten Schicht, deren Dicke an einem Meßpunkt P mittels einer Meßanordnung 2 gemessen werden soll.

Die Meßanordnung 2 besitzt einen Laser 3, eine diesem vorgeschaltete Linse 4, einen Lichtleiter 6, eine Meßsonde 5 sowie eine Auswerteeinrichtung 7. Der von dem Laser 3 erzeugte Lichtstrahl gelangt über die vorgeschaltete Linse 4 und den Lichtleiter 6 als Eingangsstrahl 9 in die Meßsonde 5 und wird mit dieser über eine Sendeoptik mit einer Linse 5.1, einem Polarisator 5.2 und einer λ/4- Platte 5.3 auf den Meßpunkt bzw. Auftreffpunkt P des Meßobjekts 1 gerichtet.

Der an dem Auftreffpunkt P reflektierte Strahl in Form des Reflexionsstrahls 10 durchläuft in einer Empfangsoptik einen rotierend angetriebenen Analysator 5.4, einen Filter 5.5 sowie eine Sammellinse 5.6 und wird von dieser auf einem Foto empfänger 5.7 fokussiert. Der Fotoempfänger 5.7 gehört zu einer Fotoemp fängereinrichtung, die einerseits Intensitätsschwankungen des Reflexionsstrahls 10 und andererseits den Auftreffort auf dem Fotoempfänger 5.7 feststellt. Der Fotoempfänger 5.7 kann beispielsweise ein positionsempfindlicher Detektor (PSD) oder eine CCD-Kamera sein. In der Auswerteeinrichtung 7 ist ein Posi tionsmesser 7.1 für eine x- und/oder y-Position vorgesehen. Unter Berück sichtigung des Abstands von dem Auftreffpunkt P wird der x- und/oder y-Winkel berechnet. Zum andern ist ein Intensitätsmesser 7.2 vorgesehen, der die durch die Rotation des Analysators 5.7 erzeugten Intensitätsschwankungen des Reflexionsstrahls 10 erfaßt und zur Berechnung der Elliptizität dient.

Aus der Elliptizität läßt sich unter Einrechnung des aus dem x- und/oder dem y- Winkel ermittelten Reflexionswinkels die Schichtdicke nach an sich bekannten Algorithmen ermitteln. Zur Bestimmung der Schichtdicke können dabei z. B. auch empirische, tabellierte Werte herangezogen werden, die in einem Speicher abgelegt sind.

Während bei dem Aufbau nach Fig. 1 derselbe Fotoempfänger 5.7 für die Mes sung der Intensitätsänderung und die Berechnung des Winkels ausgenutzt wird, sind bei dem ansonsten entsprechenden Aufbau gemäß Fig. 2 zwei Fotoempfän ger 5.7 und 5.8 zur Bestimmung des Winkels vorgesehen, die von dem Auftreff punkt P unterschiedlichen Abstand haben. Der Reflexionsstrahl 10 wird an einem Strahlteiler 5.9 in zwei Teilstrahlen aufgeteilt, die unterschiedliche Weglängen bis zu den zugeordneten Fotoempfängern 5.7 bzw. 5.8 durchlaufen. Aus den auf den beiden Fotoempfängern 5.7 und 5.8 unterschiedlichen x- und/oder y-Positionen können in Abhängigkeit von den unterschiedlichen Weglängen der x- und y-Winkel und daraus der Reflexionswinkel ermittelt werden. Einer der beiden Fotoempfänger 5.7 und 5.8 kann gleichzeitig für die Intensitätsmessung herangezogen werden. In Fig. 2 sind auch der Winkel a des Einfallstrahls 9 bezüglich einer Tangentialebene am Auftreffpunkt P, der Winkel β des Reflexionsstrahls 10 ebenfalls bezüglich der Tangentialebene sowie ein Winkel y zwischen dem Einfallsstrahl und dem Reflexionsstrahl angegeben.

Anstelle des in Fig. 1 gezeigten, um eine Flächennormale drehbaren Analysators 5.4 kann dieser auch durch einen feststehenden Analysator ersetzt werden und statt dessen ein rotierender Polarisator 5.2 in der Sendeoptik vorgesehen werden. Es hat sich gezeigt, daß damit die Zuverlässigkeit der Meßergebnisse erhöht werden kann.

Die Sendeoptik und die Empfangsoptik sind in einem gemeinsamen Träger einge baut, der mit einer Dreipunktauflage, vorzugsweise in Form von Kugeln oder Kugelkalotten versehen, so daß eine eindeutige Auflage der Meßvorrichtung auf dem Meßobjekt 1 auch an schwer zugänglichen Stellen und bei unterschiedli chen Krümmungen erzielt wird. Die Meßvorrichtung ist als Sonde leicht hand habbar und wegen der automatischen Erfassung des Winkels des Reflexions strahls einfach zu justieren.

Claims

1. Ellipsometer-Meßvorrichtung zum Bestimmen der Dicke einer auf einem Substrat aufgebrachten Schicht mit einer einen Eingangsstrahl (9) ab gebenden Lichtquelle (3), einer den polarisierten Eingangsstrahl (9) zu einem Auftreffpunkt (P) des Substrats leitenden Sendeoptik und einer den am Auftreffpunkt (P) gebildeten Reflexionsstrahl (10) zu einer Foto empfängereinrichtung (5.7, 5.8) leitenden, einen Analysator (5.4) aufweisenden Empfangsoptik, wobei die Polarisationsrichtung des Ein gangsstrahls (9) und des Analysators (5.4) zeitlich relativ zueinander geändert und die dadurch erzeugten Intensitätsänderungen mittels einer Auswerteeinrichtung (7) zur Bestimmung der Schichtdicke ausgewertet werden, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Winkelmeßeinrichtung (5.7, 5.8, 7.1) vorgesehen ist, mit der der Winkel (β) des Reflexionsstrahls (10) relativ zu einer Tangentialebene des Substrats (1) am Auftreffpunkt (P) erfaßbar ist und
daß die Schichtdicke mittels der Auswerteeinrichtung (7) in Abhängigkeit des erfaßten Winkels (β) bestimmbar ist.

2. Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Winkelmeßeinrichtung eine in x- und/oder y-Richtung posi tionsempfindliche Fotoempfängereinheit (5.7, 5.8) sowie eine Aus wertestufe aufweist, mit der aus den Positionsdaten und aus Ab standsdaten der Reflexionswinkel (β) errechenbar ist.

3. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Intensitätsänderungen und die Position des Reflexionsstrahls (10) mit demselben Fotoempfänger (5.7) der Fotoempfängereinrichtung erfaßt werden.

4. Meßvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Fotoempfängereinheit zwei in unterschiedlichem Abstand von dem Auftreffpunkt (P) im Strahlengang des Reflexionsstrahls (10) ange ordnete positionsempfindliche Fotoempfänger (5.7, 5.8) aufweist und daß der Winkel (β) auf der Grundlage der unterschiedlichen Positionen des Reflexionsstrahls (10) auf den beiden Fotoempfängern (5.7, 5.8) errech net wird.

5. Meßvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß in den Strahlengang des Reflexionsstrahls (10) vor den beiden Foto empfängern (5.7, 5.8) ein Strahlteiler (5.9) angeordnet ist und daß jeder Fotoempfänger (5.7, 5.8) einen Teilstrahl des Reflexionsstrahls (10) empfängt.

6. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Fotoempfängereinrichtung (5.7) eine Sammellinse (5.6) an geordnet ist.

7. Meßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Sendeoptik und die Empfangsoptik in einem gemeinsamen Träger integriert sind und daß der Träger zum Aufstellen auf der Schicht eine Dreipunktauflage auf weist.

8. Meßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Sendeoptik im Strahlengang des Eingangsstrahls (9) einen Pola risator (5.2) und eine λ/4-Platte aufweist und daß der Polarisator (5.2) oder der Analysator (5.4) um eine zu seiner Flä che normale Achse rotierend antreibbar angeordnet-ist.