DE19816130A1

DE19816130A1 - Steuerverfahren für eine Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabe und eine Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabe, die in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung verwendet werden

Info

Publication number: DE19816130A1
Application number: DE19816130A
Authority: DE
Inventors: Junji Iwasaki; Junichi Katsube; Yasushi Itami
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1997-08-08
Filing date: 1998-04-09
Publication date: 1999-02-18
Also published as: DE19816127A1; US6050768A; US6151533A; US6169935B1; TW407131B; DE19816151A1; KR19990023107A; US6129496A; KR100276621B1; KR100276622B1; KR19990023106A; KR19990023104A; DE19816127B4; KR19990023105A; TW397800B; DE19816151B4; KR100323192B1; DE19816199A1; KR100283596B1; TW499385B

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Steuerverfahren für eine Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabe und auf ein Steu erverfahren für eine Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabe, die in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung verwendet werden.

Genauer gesagt bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Lagerungsvorrichtungseintritts-/-austrittsablaufsteuerprogramm einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung zum Verbes sern der Halbleiterwaferkassettentransportfähigkeit.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 15 und 16, eine herkömmliche Halb leiterwaferkassettentransportvorrichtung 230 weist Bearbeitungs vorrichtungen 32 und 34, die Halbleiterwafer in Einheiten einer Kassette 232, d. h. in einer Einheitsanzahl, die in einer ent sprechenden Kassette 232 aufgenommen ist, zum Anwenden eines Herstellungsprozesses auf eine integrierte Halbleiterschaltung, eine Lagerungsvorrichtung 234 zum Speichern beziehungsweise La gern einer Mehrzahl von Kassetten 232, einen automatischen Transportierer 38 zum Ausführen einer Transportaufgabe, d. h. ei nes Transportablaufs, für eine Kassette 232 zwischen einer Bear beitungsvorrichtung 32, 34 und einer Lagerungsvorrichtung 234 und eine Transportvorrichtung 42 für einen Transport zwischen verschiedenen Lagerungsvorrichtungen (im folgenden Zwischenlage rungsvorrichtungstransportvorrichtung 42) zum Befördern einer Kassette 232 zwischen einer Mehrzahl von Lagerungsvorrichtungen 234, die entlang der Herstellungsprozeßlinie angeordnet sind, auf.

Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet die Lagerungsvor richtung 234 als einen Lagerplatz für eine Halbleiterwaferkas sette 232 vor und nach dem Herstellungsprozeß. Zwei automatische Transportierer 38 sind mit der Transportaufgabe (dem Transport) für eine Kassette 232 beziehungsweise die Kassetten 232 zwischen der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und der Lagerungsvorrichtung 234 beschäftigt. Zum Zwecke der Bequemlichkeit und Vereinfachung ist die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 in der Zeichnung in einer abgeschnittenen Weise dargestellt. Tat sächlich ist die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrich tung 42 in einer umlaufenden Weise angeordnet, wobei eine Mehr zahl der Lagerungsvorrichtungen 234 benachbart zu dieser ange ordnet sind. Entsprechende Gruppen von Prozeßvorrichtungen 32, 34 und automatischen Transportierern 38 entsprechen jeder der anderen Lagerungsvorrichtungen 234.

Unter Bezugnahme auf insbesondere Fig. 16, die Halbleiterwafer kassettentransportvorrichtung 230 weist weiter einen Hostcompu ter (Hauptrechner) 50 zum Steuern der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34, der Lagerungsvorrichtungen 234, der automatischen Transportierer 38, und der Zwischenlagerungsvorrichtungstrans portvorrichtung 42, und ein Kommunikationskabel 58 zum Liefern der Verbindung zwischen den verschiedenen Vorrichtungen und dem Hostcomputer 50 auf.

Der Hostcomputer 50 weist einen Hauptkörper (Hauptteil) 52 zum Ausführen eines Berechnungsprozesses, ein Terminal 54 zum Einge ben von Fabrikationsstandarddaten eines Produktes und eine Mehr zahl von Bedienerterminals 56, die an der Linie vorgesehen sind, auf.

Eine Lagerungsvorrichtungsteuerung 64, die ein Element der Lage rungsvorrichtung 234 ist, steuert (treibt) die anderen Struktu relemente der Lagerungsvorrichtung 234 zum Ausführen einer vor bestimmten Aufgabe (Ablauf) entsprechend einer Aufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 an. Eine Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die ein Ele ment des automatischen Transportierers 38 ist, steuert (treibt) die anderen Strukturelemente des automatischen Transportierers 38 zum Ausführen einer vorbestimmten Aufgabe (Ablauf) entspre chend einer Aufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 an. Die Kommunikation zwischen der Steue rung 60 für den automatischen Transportierer und dem automati schen Transportierer 38 wird mittels Funk über eine Steuerstati onskommunikationseinheit 62 ausgeführt. Eine Steuerung 66 für die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung, die ein Element der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 ist, steuert (treibt) ein Strukturelement der Zwischenlagerungs vorrichtungstransportvorrichtung 42 und außerdem ein Strukture lement der Lagerungsvorrichtung 234 über das Kommunikationskabel 58 zum Ausführen einer vorbestimmten Aufgabe (Ablauf) entspre chend einer Aufgabenanweisung, die von dem Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt wurde, an.

Ein Halbleiterwafer 70 und eine Halbleiterwaferkassette 232, die durch die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230 über tragen beziehungsweise transportiert wird, und eine herkömmliche ID-Karte 240, die an der Halbleiterwaferkassette 232 angebracht ist, werden im folgenden unter Bezugnahme auf die Fig. 17A bis 17C beschrieben. Eine Mehrzahl der integrierten Halbleiterschal tungen (nicht gezeigt) werden auf einem Halbleiterwafer (im fol genden als "Wafer" bezeichnet) 70 produziert beziehungsweise ausgebildet. Die Halbleiterwaferkassette (im folgenden als "Kassette" bezeichnet) 232 ist die Minimaleinheit des Lagerns und Transportierens einer Mehrzahl von Wafern 70. Eine ID-Karte 240 ist an der Kassette 232 angebracht. Die ID-Karte 240 enthält Information, die mit der Kassette 232 und den darin gelagerten Wafern 70 verbunden ist. Einiges der Information derselben kann auf einer Anzeigeeinheit 74 geliefert beziehungsweise angezeigt werden. In der ID-Karte 240 kann die Information teilweise über eine Kommunikationseinheit 76 durch ein externes Steuersystem, das später beschrieben wird, überschrieben werden. Außerdem kann die gespeicherte Information in einer kontaktlosen Weise über tragen werden. Die Kommunikationseinheit 76 ist an der Vorder seite der ID-Karte 240 angebracht. Die Fig. 17A und 17B zeigen eine transversale Orientierung beziehungsweise eine vertikale Orientierung der Kassette 232, an der die ID-Karte 240 ange bracht ist. Genauer gesagt sind in der transversalen Orientie rung die Wafer 70 derart gelagert, daß die Scheibenfläche in ei ner senkrechten Ebene liegt. In der senkrechten Orientierung sind die Wafer 70 derart gelagert, daß die Scheibenfläche in ei ner horizontalen Ebene liegt. Die Fig. 17C zeigt die ID-Karte 240 im Detail.

Die Details der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34, der Lage rungsvorrichtung 234, das automatischen Transportierers 38 und der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 werden im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.

Unter Bezugnahme auf Fig. 10, die Bearbeitungsvorrichtung 32 weist einen Hauptkörper (Hauptteil) 170 zum Anwenden eines Her stellungsprozesses für integrierte Halbleiterschaltungen auf je den Wafer aus einer Mehrzahl von Wafern 70, zwei Kassettenstän der 172, die eine Kassette 232, die in der Einheit einer Kasset te zu bearbeiten ist, empfangen, und eine an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174 zum Liefern von Information über den Zustand des Kassettenstands 172 in Richtung des automatischen Transportierers 38, um zu bestätigen, ob irgendeine nicht korrekte Kassette 232 auf dem Kassettenstand 172 plaziert ist, bevor der automatische Transportierer 38 eine Kassette 232, die noch nicht bearbeitet ist, auf dem Kassetten stand 172 plaziert, oder ob die Kassette 232, die einer Bearbei tung unterworfen wurde, korrekt auf dem Kassenstand 172 plaziert ist, bevor diese Kassette 232 weggenommen wird, auf.

Unter Bezugnahme auf Fig. 11, die Bearbeitungsvorrichtung 34 weist einen Hauptkörper (Hauptteil) 180 zum Anwenden eines Her stellungsprozesses für eine integrierte Halbleiterschaltung auf jeden Wafer aus einer Mehrzahl von Wafern 70, zwei Kassetten ständer 182, die Kassetten 232, die in der Einheit von zwei Kas setten zu bearbeiten sind, empfangen, und eine an den automati schen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174 zum Liefern von Information über den Zustand des Kassettenstands 182 in Richtung des automatischen Transportierers 38, um zu bestäti gen, ob irgendeine nicht korrekte Kassette 232 auf dem Kasset tenstand 182 plaziert ist, bevor der automatische Transportierer eine Kassette 232, die zu bearbeiten ist, auf dem Kassettenstand 182 plaziert, oder ob die Kassette 232, die einer Bearbeitung unterworfen worden ist, korrekt auf dem Kassettenstand 182 pla ziert ist, bevor diese Kassette 232 weggenommen wird, auf.

Die Lagerungsvorrichtung 234 wird unter Bezugnahme auf die Fig. 18 bis 20 beschrieben. Die bezüglich des automatischen Transpor tierers 38 betriebsseitige Seite der Lagerungsvorrichtung 234 und die diesbezüglich gegenüberliegende Seite sind entsprechend in den Fig. 18 und 19 gezeigt. Die Fig. 20 zeigt im Detail eine Einlaßpforte (Einlaßabschnitt) 260 zur manuellen Eingabe, gese hen von dem Pfeil A in Fig. 19. Diese Figuren sind mit einer La gerungsvorrichtungswand 94, die die Außenwand ist, gezeichnet, die teilweise weggeschnitten beziehungsweise weggelassen ist, so daß das Innere gezeigt werden kann. Die Lagerungsvorrichtung 234 weist eine Lagerungsvorrichtungsplatte (Lagerungsvor richtungsregalplatte) 96, auf der eine Mehrzahl von Kassetten 232 in Transversalorientierung montiert beziehungsweise plaziert werden kann, auf. Ein Lagerplatz für eine große Anzahl von Kas setten 232 wird erhalten durch Stapeln einer Mehrzahl von Kas setten 232 auf entsprechenden Lagerungsvorrichtungsplatten 96 in der senkrechten Richtung. Die Lagerungsvorrichtung 234 weist ei ne Pforte (Abschnitt) 98, die ein Abschnitt der Lagerungsvor richtungsplatte 96 und für den Eintritt oder Austritt einer Kas sette 232, die durch die Zwischenlagerungsvorrichtungstransport vorrichtung 42 befördert wird, vorgesehen ist, eine Einlaßpforte (Einlaßabschnitt) 260, die ein Abschnitt der Lagerungsvorrich tungsplatte 96 und für einen Bediener (nicht gezeigt) zum Ein bringen einer Kassette 232 vorgesehen ist, eine Auslaßpforte (Auslaßabschnitt) 262, die ein Abschnitt der Lagerungsvorrich tungsplatte 96 und für einen Bediener zum Wegnehmen einer Kas sette 232 vorgesehen ist, eine Auslaßpforte (Auslaßabschnitt) 252 für den automatischen Transportierer 38, damit dieser eine Kassette 232 empfangen kann, eine Auslaßlieferungspforte (Auslaßlieferungsabschnitt) 100, die ein Abschnitt der Lage rungsvorrichtungsplatte 96 ist, für einen Transfer beziehungs weise eine Übertragung einer Kassette 232 zu der Auslaßpforte 252, eine Einlaßpforte (Einlaßabschnitt) 254, durch welche eine Kassette 232 von dem automatischen Transportierer 38 eingegeben wird, eine Einlaßlieferpforte (Einlaßlieferabschnitt) 104, die ein Abschnitt einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ist und auf der eine Kassette 232 von der Einlaßpforte 254 plaziert wird, einen Lagerungsvorrichtungskran (Lagerungsvorrichtungs hubvorrichtung) 80, der zwischen den Lagerungsvorrichtungsplat ten 96 angeordnet ist für die Transportaufgabe des Transportie rens einer Kassette 232 zwischen einem Kassettenlagerungsplatz auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und entsprechenden Pforten der Lagerungsvorrichtungsplatte 96, eine Übertragungs vorrichtung 82 zum Empfangen einer Kassette 232 von dem Wagen der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und zum Plazieren derselben auf der Pforte 98 oder zum Liefern einer Kassette 232 von der Pforte 98 auf einen leeren Wagen der Zwi schenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42, und eine Vor wärtsbewegungsvorrichtung 250 zum Übertragen beziehungsweise Transferieren einer Kassette 232 von der Pforte 100 zu der Pfor te 252 oder von der Pforte 254 zu der Pforte 104, auf.

Der Lagerungsvorrichtungskran 80, die Übertragungsvorrichtung 82 und die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 führen eine Transport aufgabe in der Einheit von einer Kassette, zwei Kassetten bezie hungsweise einer Kassette aus. Die Anzahl der Kassetten, die auf der Pforte 98, der Einlaßpforte 260, der Auslaßpforte 262, der Auslaßlieferpforte 100, der Einlaßlieferpforte 104, der Auslaß pforte 252 und der Einlaßpforte 254 montiert werden können, ist zwei Kassetten, eine Kassette, eine Kassette, eine Kassette, ei ne Kassette, eine Kassette, beziehungsweise eine Kassette. Zwei Vorwärtsbewegungsvorrichtungen 250 sind vorgesehen. Dementspre chend sind zwei Auslaßpforten 252, zwei Einlaßpforten 254, zwei Auslaßlieferpforten 100 und zwei Einlaßlieferpforten 104 vorge sehen. Außerdem sind zwei Einlaßpforten 260 und zwei Einlaßpfor ten 262 für eine manuelle Eingabe/Ausgabe vorgesehen.

Wie in Fig. 20 gezeigt ist, ein ID-Karten-Leser/Schreiber 270 ist an jeder Einlaßpforte 260 angebracht. Da die ID-Karten- Kommunikationseinheit 76 an der Vorderseite der ID-Karte 240 po sitioniert ist, muß der ID-Karten-Leser/Schreiber 270 entspre chend zu der Vorderseite der ID-Karte 240 vorgesehen sein. Falls der ID-Karten-Leser/Schreiber 270 so angeordnet ist, daß die Vorderseite der ID-Karte 240 zu der Betriebsseite des Bedieners gerichtet ist, kann die Kassette 232 aufgrund des Hindernisses des ID-Karten-Lesers/Schreibers 270 nicht leicht herausgenommen werden. Darum ist die Kassette 232 auf der Einlaßpforte 260 für eine manuelle Eingabe so orientiert, daß die Vorderseite der ID- Karte 240, die an der Kassette 232 angebracht ist, um 90° nach rechts bezüglich der Betriebsseite des Bedieners gerichtet ist.

Der Lagerungsvorrichtungskran 80 kann die Orientierung der Kas sette 232 beim Plazieren der Kassette 232 auf der Lagerungsvor richtungsplatte 96 nicht frei ändern. Die Kassette 232, die über die Einlaßpforte 260 eingegeben wird, wird auf der Seite der Einlaßpforte 260 der Lagerungsvorrichtungsplatte bzw. des Lagerungsvorrichtungsregals 96 aufgenommen. Die Orientierung der Kassette 232 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ist identisch zu derjenigen auf der Einlaßpforte 260. Beim Ausgeben der Kassette 232, die auf der Seite der Einlaßpforte 260 der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 plaziert ist, über die Auslaß pforte 252 greift der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 232 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 mit seinem eigenen Arm und dreht seinen Arm um 180° zum Plazieren der Kassette 232 auf der Auslaßlieferungspforte 100. Die Orientierung der Kas sette 232 wird durch diesen Transport um 180° gedreht. Die Kas sette 232 auf der Auslaßlieferungspforte 100 ist so plaziert, daß die ID-Karte 240, die an der Kassette 232 angebracht ist, bezüglich der Aufgabenebene des automatischen Transportierers 38 um 90° gedreht ist. Die Kassette 232, die über die Auslaß pforte 252 ausgegeben wird, muß so orientiert sein, daß die an gebrachte ID-Karte 240 der Aufgabenebene für den automatischen Transportierer 38 gegenüberliegt, um den Transferbetrieb durch den automatischen Transportierer 38 zu erleichtern. Darum muß die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 die Orientierung der Kas sette 232 um -90° während des Transfers der Kassette 232 än dern.

Ähnlich wird die Orientierung der Kassette 232, die auf der Einlaßpforte 254 plaziert ist, um 90 Grad durch die Vorwärtsbe wegungsvorrichtung 250 geändert. Dann wird die Kassette 232 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte (in dem Lagerungsvorrichtungs regal) 96, die auf der Seite der Einlaßpforte 254 vorgesehen ist, durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 mit derselben Ori entierung aufgenommen. Der Lagerungsvorrichtungskran 80 greift die Kassette 232 mit seinem eigenen Arm zum Plazieren der Kas sette 232 auf der Auslaßpforte 262. Durch diesen Transport wird die Orientierung der Kassette 232 um 180° gedreht.

Die Lagerungsvorrichtung 234 weist außerdem eine Bedienungstafel 121, die durch den Bediener während des Eintritts/Austritts der Kassette 232 durch die Einlaßpforte 260/Auslaßpforte 262 benutzt wird, auf.

Unter Bezugnahme auf Fig. 8, der automatische Transportierer 38 weist einen Wagen 140, der entsprechend der Führung eines Füh rungsbandes 126, das auf dem Boden befestigt ist, läuft, eine Transportiererkommunikationseinheit 142 zum Übertragen von In formation an die und von der Steuerstationskommunikationseinheit 62 der Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, einen Arm 144, eine Hand 146, und eine Handklaue 148 zum Ausführen ei ner Transportaufgabe für die Kassette 232, vier Transferhalte rungen 150 zum Halten der Kassette 40, 232, die von der Bearbei tungsvorrichtung 32, 34 oder von der Lagerungsvorrichtung 234 übernommen worden ist, während des Transports in der vertikalen Orientierung, eine Bedienungstafel 152 zum Übertragen von Infor mation an den und von dem Bediener, und einen Stoßfänger 154 zum Detektieren eines Hindernisses beziehungsweise einer Störung zum Unterbrechen der momentanen Aufgabe auf.

Unter Bezugnahme auf Fig. 9, die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung 42 weist eine Verfahrschiene 160, die eine Schleife bildet, einen Wagen 162, der sich in einer kon stanten Richtung auf der Verfahrschiene 160 bewegt, zum Trans portieren beziehungsweise Befördern von nicht mehr als zwei Kas setten 40, 232, und eine Hängevorrichtung 164 zum Aufhängen der Verfahrschiene 160 an dem entsprechenden Dach beziehungsweise zum Herabhängen lassen der Verfahrschiene 160 von einer entspre chenden Halterung.

Ein herkömmliches Verfahren zum Steuern der Halbleiterwaferkas settentransportvorrichtung 230 wird im folgenden beschrieben. Zuerst wird (1) das Steuerverfahren für eine von der Bearbei tungsvorrichtung 32, 34 bearbeitete Kassette 232, die durch den automatischen Transportierer 38 in die Lagerungsvorrichtung 234 befördert wird, und die dann durch die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung 42 zu der nächsten Lagerungsvorrich tung 234 befördert wird, beschrieben. Dann wird (2) das Steuer verfahren für eine Kassette 232, die zu bearbeiten ist, die von einer Lagerungsvorrichtung 234 der vorhergehenden Stufe in eine Lagerungsvorrichtung 234 transportiert und dann aus dieser ent sprechend einer Anforderung von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entnommen wird, um zu dieser durch den automatischen Trans portierer 38 transportiert zu werden, beschrieben. Letztlich wird (3) das Steuerverfahren für einen Eintritt durch die Ein laßpforte 260 für eine manuelle Eingabe und für einen Austritt durch die Auslaßpforte 262 für eine manuelle Ausgabe beschrie ben.

Steuerverfahren (1)

Die auf den automatischen Transportierer bezogene Einlaßpforte 254 und die auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvor richtung bezogene Pforte 98 sind beide leer, wenn der Strom für die Lagerungsvorrichtung 234 angeschaltet ist und die Initiali sierung vervollständigt ist. Ein Bericht wird über das Kommuni kationskabel 58 an den Hostcomputer 50 geliefert, daß jede Pfor te eine Kassette empfangen kann. Auf das Empfangen der Pforten verfügbarkeitsinformation hin bestimmt der Hostcomputer 50, ob die Transportaufgabe für einen Transport einer Kassette 232 in die Lagerungsvorrichtung 234 unter Verwendung des automatischen Transportierers 38 und der Zwischenlagerungsvorrichtungstrans portvorrichtung 42 möglich ist oder nicht, über die empfangene Information über die Verfügbarkeit der Pforten ohne Detektion des Lagerungsstatus der Kassette 232 in der Lagerungsvorrichtung 234.

In dem obigen Zustand sendet die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 eine Übergabeanfrage für die bearbeitete Kassette 232, die dem Her stellungsprozeß für die integrierte Halbleiterschaltung unter worfen wird beziehungsweise worden ist. Die Bearbeitungsvorrich tung 32, 34 fordert an, daß die Kassette beziehungsweise die Kassetten in der Einheit von einer Kassette oder in der Einheit einer Mehrzahl von Kassetten zu übergeben sind. Als Reaktion auf diese Übergabeanfrage liefert der Hostcomputer 50 sofort einen Transportaufgabenbefehl über das Kommunikationskabel 58 an den automatischen Transportierer 38, da die Verfügbarkeitsinformati on über die Einlaßpforte 254 für den automatischen Transportie rer 58 von der Lagerungsvorrichtung 234 im voraus geliefert wor den ist. Die verfügbare Einlaßpforte 254 wird entsprechend jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34 bestimmt. Die Daten der selben werden an den Hostcomputer 50 im voraus über den Terminal 54 geliefert. Der Hostcomputer 50 muß einen Transportaufgabenbe fehl in der Einheit von 1 Kassette an den automatischen Trans portierer 38 senden, selbst falls eine Übergabeanfrage in der Einheit von 2 Kassetten von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 geliefert wird, da der Eintritt einer Kassette über beziehungs weise durch die Einlaßpforte 254 nur in der Einheit von 1 Kas sette auf einmal ausgeführt wird beziehungsweise werden kann.

Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die den Transportaufgabenbefehl für eine Kassette von dem Hostcomputer 50 empfängt, weist die Aufgabe dem geeignetsten automatischen Transportierer aus der Mehrzahl der automatischen Transportierer 38, damit dieser die Transportaufgabe ausführt, durch Kommunika tion mit dem Hauptteil über Funk mittels der Steuerstationskom munikationseinheit 62 und der Transportiererkommunikationsein heit 142 zu. Diese Transportaufgabe, das heißt der entsprechende Transportablauf, wird im folgenden beschrieben. Zuerst bewegt sich der Wagen 140 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, aus der eine Kassette zu entladen ist, d. h. zu der Quelle des Trans port (im folgenden als "Quelle" bezeichnet), entsprechend des Führungsbandes 156, das an dem Boden des Standbyplatzes (Bereitschaftsplatzes) befestigt ist. An dem Ort der Bearbei tungsvorrichtung 32, 34 bestätigt der automatische Transportie rer 38 über die an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174, ob eine Kassette 232 an dem relevan ten Kassettenstand 172, 182 vorhanden ist. Dann werden der Arm 144, die Hand 146 und die Handklaue 148 zum Aufnehmen einer re levanten Kassette 232 von dem Kassettenstand 172, 182 und zum Plazieren derselben auf der Transferhalterung 150 angesteuert. Dieser Halteaufgabe folgend bewegt sich der Wagen 140 von dem Ort der Quellen-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in Richtung einer bezeichneten Einlaßpforte 254 einer Lagerungsvorrichtung 234, in die eine Kassette zu laden ist, das heißt zu dem Bestimmungsort des Transports (im folgenden als "Bestimmung bezeichnet).

Nach der Ankunft an der Bestimmungs-Lagerungsvorrichtung 234 plaziert der automatische Transportierer 38 die Kassette 232 von der Übertragungshalterung 150 auf der Einlaßpforte 254 in einer Abfolge, die entgegengesetzt zu derjenigen ist, die oben be schrieben wurde. Vor dem Plazieren der Kassette 232 auf der be zeichneten Einlaßpforte 254 bestätigt der automatische Transpor tierer 38 über die an den Transportierer gerichtete Kommunikati onseinheit 102, ob es eine nicht korrekte Kassette 232 auf der Einlaßpforte 254 (d. h. eine fälschlich auf der Einlaßpforte 254 plazierte Kassette 232) gibt, und gibt sofort einen Fehler be ziehungsweise eine Fehlermeldung aus, wenn es eine nicht korrek te Kassette 232 gibt. Diese Fehlermeldung basiert auf der Be stimmung, daß eine andere Kassette 232 auf derselben Pforte ei nen abnormalen Zustand impliziert, da die Kassette 232 entspre chend der Information von der Lagerungsvorrichtung 234, daß die Einlaßpforte 254 leer ist, transportiert wurde. Wenn alle be zeichneten Aufgaben vervollständigt sind, sendet die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer einen Vervollständi gungsbericht an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.

Auf das Empfangen eines Berichtes, daß die Aufgabe vervollstän digt ist, von dem automatischen Transportierer 38 hin sendet der Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 234 eine Anweisung, die Kassette 232 durch die Einlaßpforte 254 aufzunehmen (Ein trittsaufgabenanweisung). Als Reaktion auf diese Eintrittsaufga benanweisung, die über das Kommunikationskabel 58 gesendet wor den ist, ermittelt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen Lagerplatz auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und initi iert dann die Aufgabe. Wenn ein Lagerplatz nicht ermittelt wer den kann, wartet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 auf das Freiwerden eines Lagerplatzes ohne Initiierung der Aufgabe. Die Lagerungsvorrichtung 234, die das Abarbeiten einer Eintrittsauf gabe beginnt, steuert die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 zum Drehen der Kassette 232 um 90° an, die dann von der Einlaßpforte 254 zu der Einlaßlieferungspforte 104 bewegt wird. Wenn diese Übertragungsaufgabe vervollständigt ist, wird der Lagerungsvor richtungskran 80 zum Befördern der Kassette 232 auf der Einlaß lieferungspforte 104 zu einem Speicherplatz auf der Lagerungs vorrichtungsplatte 96, die durch die Lagerungsvorrichtungssteue rung 64 ermittelt worden ist, betätigt. Derart ist die Abfolge von Schritten einer Eintrittsaufgabe vervollständigt. Auf die Vervollständigung dieser Aufgabe hin liefert die Lagerungsvor richtungssteuerung 64 einen Bericht, daß die Aufgabe vervoll ständigt ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationska bel 58. Wenn die Einlaßpforte 254 während der Übertragungsaufga be von der Einlaßpforte 254 zu der Einlaßlieferungspforte 104 frei wird, liefert die Lagerungsvorrichtung 234 diese Informati on, daß die Pforte leer ist, an den Hostcomputer 50, analog zu dem Zeitpunkt der Initialisierung, um sich für die nächste Transportaufgabe unter Verwendung des automatischen Transportie rers 38 vorzubereiten.

Der Hostcomputer 50, der einen Bericht, daß die Eintrittsaufgabe vervollständigt ist, von der Lagerungsvorrichtung 234 empfängt, bestimmt die Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 für diese Kas sette 232. Außerdem wird eine Bestätigung ausgeführt, ob die Pforte 98 für die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrich tung 42 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 leer ist oder nicht. Diese Information, daß die Pforte leer ist, wird an den Hostcomputer 50 gesendet, wenn die Initialisierung beim Anschal ten der Lagerungsvorrichtung 234 vervollständigt ist, oder wenn die relevante Pforte verfügbar wird. Wenn die Pforte 98 der Be stimmungslagerungsvorrichtung 234 leer ist, sendet der Hostcom puter 50 eine Transportaufgabenanweisung für die Kassette 232, die mit der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 in Verbindung steht, d. h. eine Transportaufgabenanweisung, an die Zwischenla gerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 über das Kommunikati onskabel 58. Als Reaktion liefert die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine Anfrage zum Transfe rieren der Kassette 232 von dem Lagerplatz in Richtung der Pfor te 98 in der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234, d. h. eine Trans feraufgabenanfrage, über das Kommunikationskabel 58. Die Lage rungsvorrichtung 234, die der Transferaufgabe zugeordnet ist, bewegt die Kassette 232 unter Verwendung des Lagerungsvorrich tungskrans 80. Dann wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervoll ständigt ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvor richtungssteuerung 66 gesandt. Als Reaktion sendet die Zwischen lagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 einen leeren Wagen 162 zu einer Station, die der Quellen-Lagerungs vorrichtung 234 entspricht. Nach dieser Bewegung liefert die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine Anfrage an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 234, daß die relevante Kassette 232 auf der Pforte 98 in Richtung des leeren Wagens 162 bewegt wird. Die Lagerungsvorrichtung 234, die dieser Anfrage zugeordnet ist, bewegt die Kassette 232 mittels der Übertragungsvorrichtung 82. Dann wird ein Bericht, daß die Auf gabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt. Die Zwischenla gerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66, die diesen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, empfängt, bewegt den Wagen 162 zu der Station, die der Bestimmungslagerungsvor richtung 234 entspricht. Derart wird eine Kassette 232, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet worden ist, befördert und in die Lagerungsvorrichtung 234 durch den automa tischen Transportierer 38 eingebracht, und dann wird sie ausge geben, um an die nächste Lagerungsvorrichtung 234 durch die Zwi schenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 gesandt zu werden, während die Transportaufgabe zwischen den Lagerungsvor richtungen fortgesetzt wird.

Steuerverfahren (2)

Durch Senden der Information, daß die Pforte 98 der Bestimmungs lagerungsvorrichtung 234 leer ist, von der Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikati onskabel 58 wird eine neue Kassette 232, die zu bearbeiten ist, auf dem Wagen 162 plaziert, um zu der Bestimmungslagerungsvor richtung 234 transferiert beziehungsweise befördert zu werden. Bei der Ankunft des Wagens 162 sendet die Zwischenlagerungsvor richtungstransportvorrichtungssteuerung 66 über das Kommunikati onskabel 58 eine Anforderung an die Lagervorrichtungsteuerung 64, daß die Kassette 232 auf dem Wagen 162 auf der Pforte 98 plaziert werden soll. Die Lagerungsvorrichtung 234, die dieser Anforderung zugewiesen ist, führt die Aufgabe unter Verwendung der Übertragungsvorrichtung 82 aus. Dann wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvor richtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt.

Als Reaktion sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransport vorrichtung 66 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist. Der Hostcomputer 50, der diesen Bericht empfängt, sendet eine Anweisung an die Bestimmungslagerungsvorrichtung 234, die Kassette 232 auf der Pforte 98 aufzunehmen. Entsprechend dieser Anweisung für die Aufgabe zur Aufnahme (Eintrittsaufgaben anweisung), die über das Kommunikationskabel 58 gesendet worden ist, ermittelt die Lagerungsvorrichtungsteuerung 64 einen Lager platz auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und initiiert dann die Aufgabe beziehungsweise beginnt mit deren Abarbeitung. Wenn ein Lagerplatz nicht ermittelt werden kann, wird die Steue rung 64 die Aufgabe nicht initiieren und darauf warten, daß ein Lagerplatz frei wird. Die Lagerungsvorrichtung 234, die mit der Eintrittsaufgabe beginnt, bewegt die Kassette 232 auf der Pforte 98 zu dem ermittelten Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungs platte 96 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Wenn die angewiesene Aufgabe vervollständigt ist, sendet die La gerungsvorrichtung 234 einen Bericht, daß die Aufgabe vervoll ständigt ist, an den Hostcomputer 50. Die Kassette 232, die zu bearbeiten ist, die in der Lagerungsvorrichtung 234 gelagert ist, wird dort gelassen, um darauf zu warten, daß der Kassetten stand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 für die nach folgende Bearbeitung verfügbar wird.

Eine Kassettenladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 wird an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 in einem Zustand gesandt, in dem die Kassette 232, die zu bearbei ten ist, in der Lagerungsvorrichtung 234 gelagert ist. Der Host computer 50 identifiziert, ob es eine zu bearbeitende Kassette 232 in der Lagerungsvorrichtung 234 gibt und schreitet zu einer Austrittsaufgabe fort, wenn es eine geeignete Kassette gibt. Wenn es keine Kassette 232 gibt, wartet der Hostcomputer 50 dar auf, daß eine geeignete Kassette 232 in die Lagerungsvorrichtung 234 eintritt beziehungsweise in diese eingebracht wird. Die Be arbeitungsvorrichtung 32, 34 kann eine Ladeanfrage für eine Mehrzahl von Kassetten 232 auf einmal senden, entsprechend des Typs derselben. Da nur eine Kassette 232 auf der Auslaßpforte 252 plaziert werden kann, werden die Austrittsaufgabe aus der Lagerungsvorrichtung 234 und die Transportaufgabe von der Lage rungsvorrichtung 234 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die einer Anfrage für eine Mehrzahl von Kassetten entsprechen, wie derholt für die Anzahl der Kassetten ausführt.

Der Hostcomputer 50 wählt in der Phase der Austrittsaufgabe eine aus der Mehrzahl der Austrittspforten 252 entsprechend der Bear beitungsvorrichtung 32, 34, die die Eintrittsanforderung senden, aus. Außerdem wird eine Anweisung für eine Aufgabe zum Ausgeben einer Kassette 232, d. h. eine Austrittsaufgabenanweisung, an diese über das Kommunikationskabel 58 an die Quellen-Lagerungs vorrichtung 234 gesandt. Die verfügbare Auslaßpforte 252 wird entsprechend jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34, ähn lich zu der Einlaßpforte 254, bestimmt. Die Daten derselben wer den an den Hostcomputer 50 im voraus über das Terminal 54 ange legt. Die Lagerungsvorrichtung 234, die die Austrittsaufgabenan weisung empfängt, transferiert die relevante Kassette 232 zu der Auslaßlieferungspforte 100 unter Verwendung des Lagerungsvor richtungskrans 80. Dann steuert die Lagerungsvorrichtung 234 die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 zum Ausgeben der Kassette 232 auf der Auslaßlieferungspforte 100 an die Auslaßpforte 252 an. Desweiteren wird die Kassette 232 zum Erleichtern des Betriebes des automatischen Transportierers 38 um 90° gedreht. Derart wird die Aufgabe zum Ausgeben an der Auslaßpforte 252 (Austritts aufgabe) vervollständigt. Die Lagerungsvorrichtung 234 sendet einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Host computer 50.

Der Hostcomputer 50, der den Bericht, daß die Austrittsaufgabe vervollständigt ist, von der Lagerungsvorrichtung 234 empfängt, sendet eine Anweisung an den automatischen Transportierer 38 über das Kommunikationskabel 58, so daß die Kassette 232 auf der Auslaßpforte 252 zu dem Kassettenständer 172, 182 der Bestim mungs-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 transportiert wird. Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die diese An weisung empfängt, ordnet dem geeignetsten Transportierer aus der Mehrzahl der automatischen Transportierer 38 diese Transportauf gabe, wodurch dieser automatische Transportierer 38 eine Trans portaufgabe für die Kassette 232 ausführt, durch Kommunikation mit dem Hauptteil über Funk unter Verwendung der Steuerstations kommunikationseinheit 62 und der Transportiererkommunikations einheit 142 zu.

Diese Transportaufgabe wird im folgenden beschrieben. Der Wagen 140 des automatischen Transportierers 38 an dem Standbyplatz be wegt sich in Richtung der Auslaßpforte 252 der Lagerungsvorrich tung 234 entsprechend des Führungsbandes 156, das am Boden befe stigt ist. Wenn er an der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 an kommt, bestätigt der automatische Transportierer 38 ob es eine Kassette 232 an der Auslaßpforte 252 gibt, über die an den Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 102. Dann steu ert der automatische Transportierer 38 den Arm 144, die Hand 146 und die Handklaue 148 zum Holen der Kassette 232 von der Auslaß pforte 252 und zum Plazieren dieser auf der Transferhalterung 150 an. Wenn die Kassette 232 als ein Ergebnis der Bestätigung fehlt, wird sofort ein Fehler beziehungsweise eine Fehlermeldung ausgegeben. Der Halteaufgabe folgend bewegt sich der Wagen 140 von der Lagerungsvorrichtung 234 zu der Vorderseite eines be zeichneten Kassettenstands 172, 182 der Bestimmungs- Bearbeitungsvorrichtung 32, 34. Der automatische Transportierer 38 plaziert die Kassette 232 auf dem Kassettenstand 172, 182 aus der Halterung 150 entsprechend einer Prozedur, die entgegenge setzt zu der obigen Abfolge ist. Vor dem Plazieren der Kassette 232 auf dem bezeichneten Kassettenstand 172, 182 bestätigt der automatische Transportierer, ob es eine nicht korrekte Kassette 232 auf dem Kassettenstand 172, 182 gibt, über die an den Trans portierer gerichtete Kommunikationseinheit 174. Ein Fehler wird sofort ausgegeben, wenn es eine nicht korrekte Kassette 232 gibt. Dieser Fehler beziehungsweise diese Fehlermeldung basiert auf der Bestimmung, daß ein andere Kassette 232 auf dem relevan ten Kassettenstand einen nicht korrekten Zustand impliziert, da die Kassette 232 entsprechend der Information von der Bearbei tungsvorrichtung 32, 34, daß der Kassettenstand 172, 182 leer ist, ausgeführt wurde. Wenn alle bezeichneten Aufgaben vervoll ständigt sind, liefert die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.

Der Aufgabe, die Kassette 232 durch den automatischen Transpor tierer 38 in die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu laden (Ladeaufgabe), folgend sendet der Hostcomputer 50 eine vorbe stimmte Bearbeitungsinitiierungsanweisung an die Bearbeitungs vorrichtung 32, 34 über das Kommunikationskabel 58.

Steuerverfahren (3)

Wenn die Kassette 232 in die Lagerungsvorrichtung 234 in manuel ler Weise einzubringen ist, plaziert der Bediener zuerst die Kassette 232 auf der Einlaßpforte 260 und bedient die Bedie nungstafel 121, die integral mit der Lagerungsvorrichtung 234 vorgesehen ist. Die Bedienung der Tafel 121 erlaubt es der Lage rungsvorrichtung 234 zu detektieren, daß die Kassette 232 an der Einlaßpforte 260 plaziert worden ist. Die Information auf der ID-Karte 240 dieser Kassette 232 wird durch den ID-Karten- Leser/Schreiber 270 gelesen. Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Hostcomputer 50 hält durch diesen Bericht Kenntnis, daß der Be diener eine Kassette 232 plaziert hat. Der Hostcomputer 50 sen det eine Anweisung für eine Aufgabe zum Aufnehmen der Kassette 232 in die Lagerungsvorrichtung 234 (Eintrittsaufgabenanweisung) ohne überprüfen des Lagerungsstatus der Kassetten 232 in der La gerungsvorrichtung 234. Die verfügbare Einlaßpforte 260 wird entsprechend der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 bestimmt. Die Daten derselben werden im voraus an den Hostcomputer 50 über den Terminal 54 angelegt. Entsprechend der Eintrittsaufgabenanwei sung, die über das Kommunikationskabel 58 geliefert wird, ermit telt die Lagerungsvorrichtungsteuerung 64 einen Lagerplatz auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und initiiert dann die Auf gabe. Wenn ein Lagerplatz nicht ermittelt werden kann, wird die Lagerungsvorrichtungsteuerung 64 die Aufgabe nicht initiieren und darauf warten, daß ein Lagerplatz verfügbar wird. Die Lage rungsvorrichtung 234, die die Eintrittsaufgabenanweisung initi iert, transferiert die Kassette 232 auf der Einlaßpforte 260 auf den Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 unter Ver wendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Wenn diese Aufgabe vervollständigt ist, sendet die Lagerungsvorrichtung 234 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcompu ter 50. Derart wird die Eintrittsaufgabe von einem Bediener ver vollständigt.

Das Verfahren des Entladens einer Kassette 232, die in der Lage rungsvorrichtung 234 gespeichert ist, über die Auslaßpforte 262 für einen Bediener wird im folgenden beschrieben. Es wird der Fall angenommen, in dem eine Kassette in eine Bearbeitungsvor richtung 32, 34 aus der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 zu la den ist, wenn ein automatischer Transportierer 38 nicht vorgese hen ist. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sendet eine Kasset tenladeanforderung an den Hostcomputer 50 über das Kommunikati onskabel 58. Der Hostcomputer 50 identifiziert, ob es eine Kas sette 232, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 234 gibt. Wenn es eine zu bearbeitende Kassette gibt, schreitet der Hostcomputer 50 mit der Austrittsaufgabenphase fort. Wenn es keine Kassette gibt, wartet der Computer 50 darauf, daß eine re levante Kassette, die zu bearbeiten ist, in die Lagerungsvor richtung 234 eintritt beziehungsweise eingegeben wird. Die Bear beitungsvorrichtung 32, 34 kann eine Ladeanfrage für eine Mehr zahl von Kassetten 232 auf einmal senden, entsprechend des Typs derselben. Wenn eine Anforderung für eine Mehrzahl von Kassetten geliefert wird, wird die Austrittsaufgabe aus der Lagerungsvor richtung 234, die nachfolgend beschrieben wird, wiederholt für eine Anzahl von Malen ausgeführt, die der Anzahl der angeforder te Kassetten entspricht.

Der Hostcomputer 50 in der Austrittsaufgabenphase selektiert ir gendeine aus der Mehrzahl der Auslaßpforten 262 entsprechend der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34, die Ladeanfrage liefern. Eine Austrittsaufgabenanweisung, die mit der ausgewählten Auslaßpfor te 262 verbunden ist, wird an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Die verfügbare Auslaßpforte 262 für die manuelle Ausgabe wird abhängig von jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34 bestimmt, ähnlich zu der Auslaßpforte 252 für den automatischen Transportierer. Die Daten werden an den Hostcomputer 50 im voraus über das Terminal 54 an gelegt. Die relevante Lagerungsvorrichtung 234 überträgt die Kassette 232 an die Auslaßpforte 262 unter Verwendung des Lage rungsvorrichtungskrans 80. Außerdem wird eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 234 geliefert, die dem Bediener erlaubt, die Kassette 232 auf der Auslaßpforte 262 wegzunehmen. Als Reaktion auf diese Anzeige nimmt der Bediener die Kassette 232 von der Auslaßpforte 262 und meldet, daß die Entnahmeaufgabe vervollständigt ist, an die Lagerungsvorrichtung 234 über die Bedienungstafel 121. Als Reaktion bestimmt die La gerungsvorrichtung 234, daß die Austrittsaufgabe vervollständigt ist. Ein Vervollständigungsbericht darüber wird an den Hostcom puter 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Bediener, der die Kassette 232 entnimmt, muß diese Kassette zu dem Kasset tenstand 172, 182 der geeigneten Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Ladeanfrage ausgegeben hat, befördern. Jedoch weiß der Bediener nicht, welche Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 diese An forderung ausgegeben hat. Der Bediener muß den Bedienerterminal 56 des Hostcomputers 50 benutzen, um die geeignete Bearbeitungs vorrichtung 32, 34 zu identifizieren. Dann befördert der Bedie ner die Kassette 232 zu der identifizierten, geeigneten Bearbei tungsvorrichtung 32, 34 und plaziert sie auf dem Kassettenstand 172, 182.

Die oben beschriebene herkömmliche Halbleiterwaferkassetten transportvorrichtung 230 weist Probleme auf, wie sie im folgen den erläutert werden.

Der automatische Transportierer 38 wird die Transportaufgabe für eine bearbeitete Kassette 232 aus der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 nur dann beginnen, wenn es nicht länger irgendeine Kas sette 232 auf der Einlaßpforte 254 in der Bestimmungslagerungs vorrichtung 234 gibt. Dieses bedeutet, daß die Transportaufga benstandbyzeit der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 für die bear beitete Kassette 232 erhöht wird beziehungsweise ist. Außerdem kann der automatische Transportierer 38 eine vorbestimmte Trans portfähigkeit nicht zeigen, obwohl seine Betriebsrate (Betriebshäufigkeit) niedrig ist.

Nur eine Einlaßpforte 254 kann durch jede Bearbeitungsvorrich tung 32, 34 verwendet werden. Wenn eine Mehrzahl von Einlaßpfor ten 254 vorgesehen ist, gibt es keine Variation in der Benutzung und der Bewegung der Einlaßpforten 254 abhängig von der Bearbei tungsfähigkeit bzw. -kapazität und dem Betriebsstatus der Bear beitungsvorrichtung 32, 34.

Die Transportaufgabe für den Transport der Kassette 232 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Lagerungsvorrichtung 234 wird nur unter der Bedingung ausgeführt, daß die Einlaßpforte 254 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 leer ist. Die Bestä tigung des Lagerzustandes des Lagerplatzes in der Bestimmungsla gerungsvorrichtung 234 wird nicht gemacht. Darum wird, wenn es keinen leeren Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 234 gibt, selbst nachdem eine Eintrittsaufgabenanweisung von dem Hostcom puter 50 nach der Vervollständigung der Transportaufgabe für den Transport der Kassette 232 zu der Einlaßpforte 254 ausgegeben worden ist, diese Kassette auf der Einlaßpforte 254 ungenutzt für eine lange Zeit zurückgelassen.

Wenn eine Anweisung für eine Lagerungsaufgabe zur Lagerung der Kassette 232 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in der Lage rungsvorrichtung 234 durch den automatischen Transportierer 38 gesandt wird, hat der Hostcomputer 50 die Vorrichtungsstatusin formation nicht oder wird der Hostcomputer 50 nicht vor dem Sen den des Befehls die Vorrichtungsstatusinformation, die anzeigt, ob die dazu in Beziehung stehende Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, der automatische Transportierer 38 und die Lagerungsvorrich tung 234 verfügbar sind oder nicht, bestätigen (überprüfen). Darum wird die Transportaufgabe für die Kassette 232 unter drückt, falls es eine damit in Verbindung stehende Vorrichtung gibt, die aufgrund eines Ausfalls oder ähnlichem ausgeschaltet ist.

Ähnlich wird die Transportaufgabe für den Transport einer nach folgenden Kassette 232 in der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 durch die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 nicht initiiert werden, bis es keine vorhergehende Kassette 232 auf der Pforte 98 gibt. Darum wird die nachfolgende Kassette 232, die zu transportieren ist, für eine lange Zeit in der Quel len-Lagerungsvorrichtung 234 gelassen. Außerdem kann die Zwi schenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 nicht eine vorbestimmte Transportfähigkeit bzw. -kapazität zeigen, obwohl die Betriebsrate niedrig ist.

Die Anzahl der Auslaßpforten 252, die durch die Bearbeitungsvor richtung 32, 34 benutzt werden können, ist auf eine Auslaßpforte vorbestimmt. Wenn eine Mehrzahl von Auslaßpforten 252 vorgesehen ist, wird es eine Variation in der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforten 252 abhängig von der Bearbeitungsfähigkeit und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 geben.

Die Transportaufgabe für den Transport der Kassette 232 von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 zu der Bestimmungslagerungsvor richtung 234 wird unter der Bedingung einer leeren Pforte 98 in der Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 ausgeführt. Die Trans portaufgabe wird ohne Bestätigung des Lagerstatus des Lagerplat zes in der Lagerungsvorrichtung 234 ausgeführt. Wenn es keinen leeren Lagerplatz gibt, wird die Kassette 232 auf der Pforte 98 gelassen, selbst falls eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 234 von dem Hostcomputer 50 ausgegeben wird, nachdem die Kassette 232 auf der Pforte 98 plaziert ist.

Wenn der automatische Transportierer 38 die Transportaufgabe zum Transportieren einer Kassette 232 von der Lagerungsvorrichtung 234 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 beginnt, hat der Host computer 50 die Vorrichtungsstatusinformation nicht oder wird er nicht vor dem Ausgeben der Aufgabenanweisung die Vorrichtungs statusinformation bestätigen (überprüfen), die anzeigt, ob die dazu in Beziehung stehende Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, der automatische Transportierer 38 und die Lagerungsvorrichtung 234 verfügbar sind oder nicht. Darum wird die Aufgabe zum Transfe rieren der Kassette 232 unterdrückt werden, falls eine dazu in Beziehung stehende Vorrichtung aufgrund eines Ausfalls ausge schaltet ist.

Wenn die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 eine Kassette 232 zwischen den Lagerungsvorrichtungen 234 zu transferieren hat, hat der Hostcomputer 50 die Vorrichtungssta tusinformation nicht oder wird der Hostcomputer 50 nicht vor dem Senden einer Aufgabenanweisung die Vorrichtungsstatusinformation bestätigen (überprüfen), die anzeigt, ob die dazu in Beziehung stehende Bestimmungslagerungsvorrichtung 234, die Quellen- Lagerungsvorrichtung 234 und die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung 42 verfügbar sind oder nicht. Darum wird die Transferaufgabe für die Kassette 232 unterdrückt, falls eine dazu in Bezug stehende Vorrichtung aufgrund eines Ausfalls ausgeschaltet ist.

Die Auslaßpforte 262, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden kann, wird im voraus bestimmt. Wenn eine Mehrzahl von Auslaßpforten 262 vorgesehen ist, wird es eine Va riation in der Verwendung unter Belegung der Auslaßpforte 262 abhängig von der Bearbeitungsfähigkeit bzw. -kapazität und dem Betriebsstatus jeder der Bearbeitungsvorrichtung 32 und 34 ge ben.

Wenn die Lagerungsvorrichtung 234 eine Eintrittsaufgabe durch die Einlaßpforte 260 und eine Austrittsaufgabe durch die Auslaß pforte 262 beginnt, hat der Hostcomputer 50 die Vorrichtungssta tusinformation nicht oder wird der Hostcomputer 50 nicht vor dem Senden der Aufgabenanweisung die Vorrichtungsstatusinformation bestätigen (überprüfen), die anzeigt, ob die Lagerungsvorrich tung 234 verfügbar ist oder nicht. Darum wird die Transportauf gabe für die Kassette 232 während des Betriebs unterdrückt, falls die relevante Lagerungsvorrichtung 234 aufgrund eines Aus falls ausgeschaltet ist.

Die Kassette 232 wird auf der Einlaßpforte 260 unproduktiv für eine lange Zeit gelassen, wenn es keinen leeren Lagerplatz in der Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 gibt, selbst nachdem ei ne Eintrittsaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 ausgegeben ist.

Wenn der Bediener eine Kassette 232 aus der Auslaßpforte 262 entlädt, weiß der Bediener nicht, zu welcher Bearbeitungsvor richtung 32, 34 die Kassette 232 zu befördern ist. Der Bediener muß sich einem Terminal 56 des Hostcomputers 50 nähern, um die geeignete Bearbeitungsvorrichtung zu identifizieren. Dies ist eine Verschwendung von Aufgabenzeit.

Angesichts des vorhergehenden ist es eine Aufgabe der vorliegen den Erfindung, ein Steuerverfahren, das in einer Halbleiterwa ferkassettentransportvorrichtung verwendet wird, anzugeben, daß die Koordination der Lagerung einer Kassette in einer Lagerungs vorrichtung und andere auf eine Kassette bezogene Aufgaben ver bessert.

Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Steuerverfahren nach An spruch 1 oder 10.

Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen ange geben.

Es wird die Transportfähigkeit eines automatischen Transportie rers verbessert.

Es wird eine Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerung derart angegeben, daß eine Kassette, die durch einen automati schen Transportierer transportiert wird, nicht für eine lange Zeit auf einer Einlaßpforte einer Lagerungsvorrichtung für die Eingabe beziehungsweise das Aufnehmen in die Lagerungsvorrich tung verbleibt.

Es wird die Transportfähigkeit einer Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung verbessert.

Es wird eine Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerung derart angegeben, daß eine Kassette, die durch eine Zwischenla gerungsvorrichtungstransportvorrichtung transportiert wird, nicht für eine lange Zeit auf einer Pforte einer Lagerungsvor richtung für den Eintritt beziehungsweise die Aufnahme in die Lagerungsvorrichtung verbleibt.

Es wird eine Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerung derart angegeben, daß eine Kassette, die durch einen Bediener transportiert wird, nicht für eine lange Zeit auf einer Einlaß pforte für eine manuelle Eingabe einer Lagerungsvorrichtung für einen Eintritt beziehungsweise eine Eingabe in die Lagerungsvor richtung verbleibt.

Es wird eine Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerung oh ne Variation der Verwendung und der Belegung einer Einlaßpforte für einen automatischen Transportierer angegeben.

Es wird eine Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerung oh ne Variation der Verwendung und der Belegung einer Auslaßpforte für einen automatischen Transportierer angegeben.

Es wird eine Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerung mit zu bevorzugender Handhabbarkeit für einen Bediener angegeben.

Es wird möglich gemacht, daß ein Bediener effizient die Eingabe einer Halbleiterwaferkassette ausführt.

Es wird möglich gemacht, daß ein Bediener effizient eine Entnah me einer Halbleiterwaferkassette ausführt.

Es wird eine Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerung oh ne Variation der Verwendung und der Belegung einer Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe beziehungsweise Entnahme angegeben.

Es wird ein Steuerverfahren für eine Eingabeaufgabe in eine La gerungsvorrichtung angegeben, das in einer Halbleiterwaferkas settentransportvorrichtung verwendet wird, die eine Lagerungs vorrichtung zum Lagern einer Mehrzahl von Waferkassetten, eine Bearbeitungsvorrichtung zum Ausüben einer Bearbeitung bei einer Halbleiterwaferkassette beziehungsweise bei den Wafern der Halb leiterwaferkassette, einen automatischen Transportierer zum Aus führen einer Transportaufgabe einer Halbleiterwaferkassette, d. h. einer Aufgabe zum Transport einer Halbleiterwaferkassette, zwischen einer Lagerungsvorrichtung und einer Bearbeitungsvor richtung, eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung zum Ausführen einer Transportaufgabe einer Halbleiterwaferkas sette zwischen einer Quellen-Lagerungsvorrichtung (Ursprungs- Lagerungsvorrichtung) und einer Bestimmungslagerungsvorrich tung, und einen Hostcomputer zum Liefern einer Steuerung der La gerungsvorrichtung, der Zwischenlagerungsvorrichtungstransport vorrichtung, des automatischen Transportierers und der Bearbei tungsvorrichtung aufweist. Der Hostcomputer hält den Wert einer Maximalanzahl von Kassetten, die in einer Lagerungsvorrichtung aufgenommen werden können. Das Lagerungsvorrichtungseingabeauf gabensteuerverfahren weist die Schritte des Bestätigens, ob es einen verfügbaren Platz beziehungsweise Raum in der Bestimmungs lagerungsvorrichtung gibt, des Ermittelns eines Lagerplatzes in der Lagerungsvorrichtung, wenn es einen verfügbaren Platz in dieser gibt, und des Sendens einer Transportaufgabenanweisung, d. h. einer Anweisung zum Ausführen einer Transportaufgabe, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung oder den automatischen Transportierer, oder des Sendens einer Ein trittsaufgabenanweisung, d. h. einer Anweisung zum Ausführen ei ner Eintrittsaufgabe (Aufgabe zum Aufnehmen), an die Lagerungs vorrichtung, auf.

Bei dem Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerverfahren (oder Lagerungsvorrichtungseingabeaufgabensteuerverfahren) wird eine Transportaufgabenanweisung an die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung oder den automatischen Transportierer und eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung gesandt, nachdem bestätigt ist, daß es einen verfügbaren Raum in der Bestimmungslagerungsvorrichtung gibt. Darum wird das Pro blem, daß eine Transportrate durch die Verfügbarkeit eines auf einen automatischen Transportierer bezogenen Einlaßabschnitts (Einlaßpforte) bestimmt wird, so daß der automatische Transpor tierer einen Aufgabenbereitschaftszustand annimmt, in dem er an der Aufgabe gehindert ist, gelöst. Dementsprechend kann die Transportfähigkeit des automatischen Transportierers verbessert werden. Außerdem wird das Problem, daß eine Transportrate durch die Verfügbarkeit einer auf die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung bezogenen Pforte derart bestimmt wird, daß die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung einen Aufgabenbereitschaftszustand einnimmt, in dem sie an der Ausfüh rung der Aufgabe gehindert ist, gelöst. Dementsprechend wird die Transportfähigkeit der Zwischenlagerungsvorrichtungstransport vorrichtung verbessert. Außerdem wird eine Kassette, die durch einen Bediener transportiert wird, nicht für eine lange Zeit an der Pforte für eine manuelle Eingabe ungenutzt verbleiben.

Bevorzugterweise weist die Lagerungsvorrichtung eine auf einen automatischen Transportierer bezogene Einlaßpforte auf, so daß ein automatischer Transportierer einen Eintritts- beziehungswei se Eingabebetrieb für eine Halbleiterwaferkassette ausführen kann. Das Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerverfahren weist weiter den Schritt des Auswählens einer auf einen automa tischen Transportierer bezogenen Einlaßpforte in einer vorbe stimmten Abfolge beziehungsweise Sequenz (der Einlaßpforten) auf. Dieses liefert den Vorteil, daß keine Variation in der Ver wendung und der Belegung der auf einen automatischen Transpor tierer bezogenen Einlaßpforte beziehungsweise Einlaßpforten er zeugt wird.

Bevorzugterweise speichert der Hostcomputer ein Kennzeichen (Flag), das die Verfügbarkeit/Nicht-Verfügbarkeit von jeweils einer Lagerungsvorrichtung und/oder einer Zwischenlagerungsvor richtungstransportvorrichtung anzeigt. Das Lagerungsvorrich tungseintrittsaufgabensteuerverfahren weist weiter die Schritte des Bestimmens, ob die Quellen-Lagerungsvorrichtung, die Bestim mungslagerungsvorrichtung und die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung, die für eine Transportaufgabe benö tigt werden, in der Transportphase für eine Halbleiterwaferkas sette zwischen den Lagerungsvorrichtungen alle in der Transport phase für eine Halbleiterwaferkassette zwischen den Lagerungs vorrichtungen verfügbar wären, und des Sendens einer Transport aufgabenanweisung an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransport vorrichtung, wenn alle diese Vorrichtungen verfügbar sind, auf.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuer verfahrens wird die Transportaufgabe für einen Transport zwi schen den Lagerungsvorrichtungen begonnen, nachdem bestätigt worden ist, daß alle die Vorrichtungen, die für die Transport aufgabe benötigt werden, verfügbar sind. Darum kann ein Trans port einer Halbleiterwaferkassette durch die Zwischenlagerungs vorrichtungstransportvorrichtung effizient ausgeführt werden.

Bevorzugterweise weist die Lagerungsvorrichtung einen Einlaßab schnitt (Einlaßpforte) für eine manuelle Eingabe (einer Kassette durch einen Bediener) auf, so daß ein Bediener eine Halbleiter waferkassette eingeben beziehungsweise laden kann. Der Hostcom puter speichert ein Kennzeichen, daß die Verfügbarkeit/Nicht- Verfügbarkeit einer Lagerungsvorrichtung anzeigt. Das Lagerungs vorrichtungseintrittsaufgabensteuerverfahren weist weiter die Schritte des Bestimmens, ob die entsprechende Lagerungsvorrich tung für eine Eingabe einer Kassette in diese Lagerungsvorrich tung durch die Einlaßpforte für eine manuelle Eingabe verfügbar ist, und des Sendens einer Eintrittsaufgabenanweisung an die re levante Lagerungsvorrichtung, wenn diese Lagerungsvorrichtung verfügbar ist, auf.

Bei dem Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerverfahren wird eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung nur gesandt, wenn die Lagerungsvorrichtung verfügbar für eine Eingabe in die Lagerungsvorrichtung über die Einlaßpforte für eine manuelle Eingabe ist. Darum kann der Bediener effizient ei ne Halbleiterwaferkassette eingeben.

Es wird außerdem ein Steuerverfahren für die Aufgabe des Ausge bens aus einer Lagerungsvorrichtung (Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahren) angege ben, das in einer Halbleiterwafertransportvorrichtung verwendet wird, die eine Lagerungsvorrichtung zum Lagern einer Mehrzahl von Halbleiterwaferkassetten, eine Bearbeitungsvorrichtung zum Anwenden einer Bearbeitung bei einer Halbleiterwaferkassette bzw. den Wafern in der Halbleiterwaferkassette, einen automati schen Transportierer zum Ausführen einer Transportaufgabe, d. h. die Aufgabe zum Transport, einer Halbleiterwaferkassette zwi schen einer Lagerungsvorrichtung und einer Bearbeitungsvorrich tung, eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung zum Ausführen einer Transportaufgabe einer Halbleiterwaferkassette zwischen einer Quellen-Lagerungsvorrichtung und einer Bestim mungslagerungsvorrichtung, und einen Hostcomputer zum Liefern einer Steuerung der Lagerungsvorrichtung, der Zwischenlagerungs vorrichtungstransportvorrichtung, des automatischen Transportie rers und der Bearbeitungsvorrichtung, auf. Der Hostcomputer hält eine Lagerungsinformation der Halbleiterwaferkassetten in der Lagerungsvorrichtung, das heißt eine Information über die Lage rung der Halbleiterwaferkassetten in der Lagerungsvorrichtung. Das Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahren weist die Schritte des Ausführens einer Austrittsaufgabe, das heißt der Aufgabe des Ausgebens einer Kassette, aus einer Lagerungs vorrichtung, und des Aktualisierens der Lagerungsinformation der Halbleiterwaferkassetten in der Lagerungsvorrichtung in der Pha se der Austrittsaufgabe, d. h. in der Phase des Ausgebens, aus der Lagerungsvorrichtung auf.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuer verfahrens wird die Lagerungsinformation über die Halbleiterwa ferkassetten in der Lagerungsvorrichtung aktualisiert, wenn die Austrittsaufgabe aus der Lagerungsvorrichtung, d. h. das Ausgeben einer oder mehrerer Halbleiterwaferkassetten aus der Lagerungs vorrichtung, ausgeführt wird. Darum kann ein verfügbarer Raum des Lagerplatzes in der Lagerungsvorrichtung schnell detektiert werden. Auf die Erzeugung eines verfügbaren Raums des Lagerplat zes in der Lagerungsvorrichtung kann eine Transportaufgabe prompt ausgeführt werden, so daß die Transportfähigkeit des au tomatischen Transportierers verbessert wird. Außerdem kann die Transportfähigkeit der Zwischenlagerungsvorrichtungstransport vorrichtung aus den gleichen Gründen verbessert werden.

Bevorzugterweise weist die Lagerungsvorrichtung einen auf einen automatischen Transportierer bezogenen Auslaßabschnitt (Auslaßpforte) für eine an den automatischen Transportierer aus zugebende Halbleiterwaferkassette auf. Das Lagerungsvorrich tungsaustrittsaufgabensteuerverfahren weist weiter den Schritt des Auswählens einer auf einen automatischen Transportierer be zogenen Auslaßpforte mit einer vorbestimmten Sequenz beziehungs weise Abfolge (der Auslaßpforten) auf.

Dieses liefert den Vorteil des Eliminierens einer Variation in der Verwendung und der Belegung der auf den automatischen Trans portierer bezogenen Auslaßpforte beziehungsweise Auslaßpforten.

Bevorzugterweise weist die Lagerungsvorrichtung eine auf einen automatischen Transportierer bezogene Auslaßpforte zum Ausgeben einer Halbleiterwaferkassette an einen automatischen Transpor tierer auf. Das Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerver fahren weist weiter den Schritt des Auswählens einer auf einen automatischen Transportierer bezogenen Auslaßpforte derart, daß die Austrittsaufgabe für eine Halbleiterwaferkassette über eine auf einen automatischen Transportierer bezogene Auslaßpforte an einen automatischen Transportierer (unter den Auslaßpforten) ausgeglichen wird, auf.

Dieses liefert den Vorteil des Eliminierens einer Variation in der Verwendung und der Belegung der auf einen automatischen Transportierer bezogenen Auslaßpforte beziehungsweise Auslaß pforten.

Bevorzugterweise speichert der Hostcomputer ein Kennzeichen, das die Verfügbarkeit/Nicht-Verfügbarkeit von jeweils einer Lage rungsvorrichtung und/oder einer Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung anzeigt. Das Lagerungsvorrichtungsaus trittsaufgabensteuerverfahren weist weiter die Schritte des Be stimmens, ob die Quellen-Lagerungsvorrichtung, die Bestimmungs lagerungsvorrichtung und die Zwischenlagerungsvorrichtungstrans portvorrichtung, die für eine Transportaufgabe benötigt werden, alle in der Transportphase einer Halbleiterwaferkassette zwi schen den Lagerungsvorrichtung verfügbar wären, und des Sendens einer Transportaufgabenanweisung an die Zwischenlagerungsvor richtungstransportvorrichtung, wenn alle diese Vorrichtungen verfügbar sind, auf.

Die Transportaufgabe (für einen Transport) einer Halbleiterwa ferkassette zwischen den Lagerungsvorrichtungen wird initiiert, nachdem bestätigt worden ist, daß alle die Vorrichtungen, die für die Transportaufgabe benötigt werden, verfügbar sind. Darum kann der Transport einer Halbleiterwaferkassette durch die Zwi schenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung effizient ausge führt werden.

Bevorzugterweise speichert der Hostcomputer ein Kennzeichen, das die Verfügbarkeit/Nicht-Verfügbarkeit von jeweils einer Lage rungsvorrichtung und/oder einem automatischen Transportierer an zeigt. Das Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahren weist weiter die Schritte des Bestimmens ob die Lagerungsvor richtung und der automatische Transportierer, die für eine Transportaufgabe benötigt werden, in der Transportphase einer Halbleiterwaferkassette zwischen einer Lagerungsvorrichtung und einer Bearbeitungsvorrichtung alle verfügbar wären, und des Übertragens einer Transportaufgabenanweisung an den automati schen Transportierer, wenn alle diese Vorrichtungen verfügbar sind, auf.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuer verfahrens wird die Transportaufgabe für einen Transport einer Halbleiterwaferkassette von einer Lagerungsvorrichtung zu einer Bearbeitungsvorrichtung initiiert, nachdem bestätigt worden ist, daß alle die Vorrichtungen, die für die Transportaufgabe benö tigt werden, verfügbar sind. Darum kann der Transport einer Halbleiterwaferkassette durch den automatischen Transportierer effizient ausgeführt werden.

Bevorzugterweise weist die Lagerungsvorrichtung eine Auslaßpfor te für eine manuelle Ausgabe aus, so daß ein Bediener einer Halbleiterwaferkassette entnehmen beziehungsweise entladen kann. Der Hostcomputer speichert ein Kennzeichen, daß die Verfügbar keit/Nicht-Verfügbarkeit einer Lagerungsvorrichtung anzeigt. Das Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahren weist wei ter die Schritte des Bestimmens, ob eine relevante Lagerungsvor richtung verfügbar ist oder nicht, wenn der Bediener eine Aus trittsaufgabe zum Entnehmen einer Halbleiterwaferkassette aus der Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe ausführen will, und des Sendens einer Austrittsaufgabenanweisung an die relevante Lagerungsvorrichtung, wenn sie verfügbar ist, auf.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuer verfahrens wird die Austrittsaufgabe für eine Ausgabe einer Halbleiterwaferkassette aus der Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe nur initiiert, wenn die Lagerungsvorrichtung verfügbar ist. Darum kann der Bediener effizient eine Halbleiterwaferkas sette entnehmen beziehungsweise entladen.

Bevorzugterweise weist die Lagerungsvorrichtung eine Auslaßpfor te für eine manuelle Ausgabe auf, so daß der Bediener eine Halb leiterwaferkassette entnehmen beziehungsweise entladen kann. Das Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahren weist wei ter den Schritt des Auswählens einer Auslaßpforte für eine manu elle Ausgabe in einer vorbestimmten Sequenz beziehungsweise Ab folge für das Entladen einer Halbleiterwaferkassette auf. Dieses liefert den Vorteil des Eliminierens einer Variation in der Ver wendung und der Belegung der Auslaßpforte für eine-manuelle Aus gabe.

Bevorzugterweise weist die Halbleiterwaferkassette eine ID-Karte zum Speichern von Daten, die an diese angebracht ist, auf. Die Lagerungsvorrichtung weist eine Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe, so daß ein Bediener eine Halbleiterwaferkassette entla den kann, und eine Anzeigeeinheit zum Liefern der Nachrichtenan zeige auf. Die Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe weist ei nen ID-Karten-Leser/Schreiber zum Lesen und Schreiben von Daten von der und in die ID-Karte auf. Das Lagerungsvorrich tungaustrittsaufgabensteuerverfahren weist weiter die Schritte des Sendens einer Austrittsaufgabenanweisung für eine Halblei terwaferkassette, des Lesens von Daten von einer ID-Karte einer Halbleiterwaferkassette, die an der Auslaßpforte für eine manu elle Ausgabe entladen wird, unter Verwendung eines ID-Karten- Lesers/Schreibers, des Vergleichens der Halbleiterwaferkassette, die eine Austritts- beziehungsweise Ausgabeanfrage entspricht, und der Halbleiterwaferkassette, die an der Auslaßpforte für ei ne manuelle Ausgabe entladen wird, und, wenn die Halbleiterwa ferkassette, die der Austrittsanfrage entspricht, identisch zu der Halbleiterwaferkassette ist, die an der Auslaßpforte für ei ne manuelle Ausgabe entladen wird, des Schreibens des Namens der Bestimmungs-Bearbeitungsvorrichtung in die ID-Karte der Halblei terwaferkassette und des Gebens der Erlaubnis an den Bediener, die Halbleiterwaferkassette zu entnehmen und des Lieferns einer Anzeige der Erlaubnis des Entnehmens auf der Anzeigeeinheit, auf.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuer verfahrens werden die Entladeerlaubnis und der Name der Bestim mungs-Bearbeitungsvorrichtung auf die ID-Karte der Halbleiterwa ferkassette in der Austrittsphase einer Halbleiterwaferkassette aus der Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe geschrieben. Der Bediener kann die Bestimmung an Ort und Stelle durch überprüfen der Anzeige bestätigen. Darum kann die Tätigkeitseffizienz des Bedieners verbessert werden.

Das vorhergehende und andere Merkmale und Zweckmäßigkeiten erge ben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispie len anhand der Figuren. Von den Figuren zeigen:

Fig. 1 und 2 Ansichten aus der Vogelperspektive einer Halblei terwaferkassettentransportvorrichtung 230;

Fig. 3A, 3B und 3C Darstellungen zum Beschreiben einer Halbleiterwaferkassette 40 und einer ID-Karte 72;

Fig. 4 eine Lagerungsvorrichtung 36, die von der Seite der automatischen Transport vorrichtung gesehen wird;

Fig. 5 eine Lagerungsvorrichtung 36, die von der Seite des Bedieners gesehen wird;

Fig. 6 eine Darstellung zum Beschreiben einer Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe aus der Lagerungsvorrichtung 36;

Fig. 7A und 7B Darstellungen zum Beschreiben eines Kas settenlagerungsplatzes in einer Lage rungsvorrichtung, die von der Seite des automatischen Transportierer beziehungs weise von der Seite des Bedieners gese hen sind;

Fig. 8 ein Aussehen eines automatischen Trans portierers 38;

Fig. 9 ein Aussehen einer Zwischenlagerungsvor richtungstransportvorrichtung 42;

Fig. 10 ein Aussehen einer Bearbeitungsvorrich tung 32;

Fig. 11 ein Aussehen einer Bearbeitungsvorrich tung 34;

Fig. 12 und 13 eine Lagerungsvorrichtung 190, die von der Seite eines automatischen Transpor tierers beziehungsweise von der Seite eines Bedieners gesehen ist;

Fig. 14 eine Darstellung zum Beschreiben einer Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe der Lagerungsvorrichtung 190;

Fig. 15 und 16 Ansichten aus der Vogelperspektive einer herkömmlichen Halbleiterwaferkassetten transportvorrichtung 230;

Fig. 17A, 17B und 17C Darstellungen zum Beschreiben einer Halbleiterwaferkassette 230 und einer ID-Karte 240;

Fig. 18 und 19 eine Lagerungsvorrichtung 230, die von der Seite eines automatischen Transpor tierers beziehungsweise von der Seite eines Bedieners gesehen ist; und

Fig. 20 eine Darstellung zum Beschreiben einer Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2, eine Halbleiterwaferkas settentransportvorrichtung 30 entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist die herkömmlichen Bearbeitungs vorrichtung 32 und 34, eine neue Lagerungsvorrichtung 36, einen herkömmlichen automatischen Transportierer 38 und eine herkömm liche Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 auf. Die Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34 sind mit einer gewissen Lagerungsvorrichtung 36 als der Lagerplatz beziehungsweise die Lagerstätte für eine Kassette 40, vor und nachdem die Kassette einer Bearbeitung unterworfen wird bzw. wurde, vorgesehen bzw. verbunden. Zwei automatische Transportierer 38 sind mit der Transportaufgabe zwischen diesen befaßt bzw. in der Transport aufgabe engagiert. Zum Zwecke der Bequemlichkeit ist die Zwi schenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 99999 00070 552 001000280000000200012000285919988800040 0002019816130 00004 99880 in der Zeich nung in einer abgeschnittenen Weise gezeigt. Tatsächlich ist die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 in einer umlaufenden Weise angeordnet, wobei eine Mehrzahl von Lagerungs vorrichtungen 36 in der Nähe derselben angeordnet ist. Die Grup pe aus der Bearbeitungsvorrichtung bzw. den Bearbeitungsvorrich tungen 32, 34 und dem automatischen Transportierer bzw. den au tomatischen Transportierern 38 entspricht jeder der anderen La gerungsvorrichtungen 36 bzw. ist für jede dieser anderen Lage rungsvorrichtungen 36 vorgesehen.

Die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 weist weiter einen herkömmlichen Hostcomputer 50, einen Hauptkörper (Hauptteil) 52 desselben, ein Terminal 54, ein Bedienerterminal 56, ein Kommunikationskabel 58, das entsprechend mit dem Host computer 50, den Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34, der Lage rungsvorrichtung 36 und dem automatischen Transportierer 38 ver bunden ist, zum Liefern einer Verbindung zwischen der Lagerungs vorrichtung 36 und der Zwischenlagerungsvorrichtungstransport vorrichtung 42, eine Lagerungsvorrichtungssteuerung 64, eine Steuerung 60 für den automatischen Transportierer und eine Zwi schenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 auf. Obwohl die Kommunikation zwischen der Steuerung 60 für den auto matischen Transportierer und dem automatischen Transportierer 38 mittels Funk über eine steuerstationsseitige Kommunikationsein heit 62 ausgeführt wird, kann die Kommunikation zwischen diesen über Draht ausgeführt werden.

Unter Bezugnahme auf Fig. 3, ein Halbleiterwafer 70 und eine Kassette 40 sind vergleichbar bzw. identisch zu den herkömmli chen. Eine ID-Karte 72 enthält eine Anzeigeeinheit 74 und eine Kommunikationseinheit 76 vergleichbar bzw. identisch zu den her kömmlichen. Es ist zu bemerken, daß die Kommunikationseinheit 76 an dem Boden und nicht an der Vorderseite der ID-Karte 72 der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung angebracht ist.

Die strukturellen Elemente der Halbleiterwaferkassettentrans portvorrichtung 30 entsprechend der vorliegenden Ausführungsform werden im Detail unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrie ben.

Eine Lagerungsvorrichtung 36 wird unter Bezugnahme auf die Fig. 4 bis 6 beschrieben. In den Fig. 4 und 5 ist eine Lagerungsvor richtungswand 94 gezeigt, wobei ein Abschnitt derselben wegge schnitten beziehungsweise weggelassen ist, so daß das Innere der Lagerungsvorrichtung 36 gezeigt wird.

Die Lagerungsvorrichtung 36 weist eine Lagerungsvorrichtungs platte beziehungsweise Lagerungsvorrichtungsregalplatte 96, eine Pforte, (Einlaß- und Auslaßabschnitt) 98 für die Zwischenlage rungsvorrichtungstransportvorrichtung, eine Einlaßpforte (Einlaßabschnitt) 116 für eine manuelle Eingabe, eine Auslaß pforte (Auslaßabschnitt) 118 für eine manuelle Ausgabe, eine Auslaßpforte (Auslaßabschnitt) 86 für einen automatischen Trans portierer, eine Auslaßlieferpforte (Auslaßabschnitt) 100 für ei nen automatischen Transportierer, eine Einlaßpforte (Einlaßabschnitt) 88 für einen automatischen Transportierer, ei ne Einlaßlieferpforte (Einlaßlieferungsabschnitt) 104 für einen automatischen Transportierer, einen Lagerungsvorrichtungskran (Lagerungsvorrichtungshubvorrichtung) 80, eine Übertragungsvor richtung (Transfervorrichtung) 82, eine Vorwärtsbewegungsvor richtung 84 und eine an einen automatischen Transportierer ge richtete Kommunikationseinheit 102 auf.

Der Lagerungsvorrichtungskran 80, die Übertragungsvorrichtung 82 und die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 führen eine Transport aufgabe in der Einheit von einer Kassette, zwei Kassetten bzw. einer Kassette aus. Die Anzahl der Kassetten, die in der auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogenen Pforte 98, der Einlaßpforte 116 für eine manuelle Eingabe, der Auslaßpforte 118 für eine manuelle Ausgabe, der auf den automa tischen Transportierer bezogenen Auslaßlieferungspforte 100, der auf den automatischen Transportierer bezogenen Einlaßlieferungs pforte 104, der auf den automatischen Transportierer bezogenen Auslaßpforte 86 und der auf den automatischen Transportierer be zogenen Einlaßpforte 88 montiert beziehungsweise gehalten werden kann, ist zwei Kassetten, zwei Kassetten, eine Kassette, eine Kassette, eine Kassette, eine Kassette bzw. eine Kassette.

Zwei Vorwärtsbewegungsvorrichtungen 84 sind wie bei dem herkömm lichen Fall vorgesehen. Dementsprechend sind zwei auf den auto matischen Transportierer bezogene Auslaßpforten 86, zwei auf den automatischen Transportierer bezogene Einlaßpforten 88, zwei auf den automatischen Transportierer bezogene Auslaßlieferpforten 100 und zwei auf den automatischen Transportierer bezogene Ein laßlieferpforten 104 vorgesehen. Es gibt zwei Einlaßpforten 118 für eine manuelle Ausgabe, wohingegen es nur eine Einlaßpforte 116 für eine manuelle Eingabe gibt.

Wie in Fig. 6 gezeigt ist, ein ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ist an der Auslaßpforte 118 für eine manuelle Ausgabe angebracht. Der ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ist außerdem an der Einlaß pforte 116 für eine manuelle Eingabe wie in dem herkömmlichen Fall angebracht. In der Lagerungsvorrichtung 36 sind vier ID- Karten-Leser/Schreiber 120 vorgesehen. Die Richtung des Anbrin gens derselben unterscheidet sich von der herkömmlichen. Da die ID-Karten-Kommunikationseinheit 76 an der Unterseite der ID- Karte 72 angebracht ist, kann der ID-Karten-Leser/Schreiber 120 unter einem Kassettenempfänger 130 vorgesehen sein. Es ist daher möglich, daß die Vorderseite der ID-Karte 72 so angeordnet ist, daß sie der Seite der Arbeitsebene des Bedieners gegenüberliegt.

Wie in dem herkömmlichen Fall kann der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Richtung der Kassette 40 beim Plazieren der Kassette auf der Lagerungsvorrichtungsplatte beziehungsweise in dem Lage rungsvorrichtungsregal 96 nicht frei ändern. Die Kassette 40, die über die Einlaßpforte 116 eingegeben wird, wird auf der La gerungsvorrichtungsplatte 96 auf der Seite der Einlaßpforte 116 plaziert. Die Orientierung der Kassette 40 auf der Lagerungs vorrichtungsplatte 96 ist identisch zu der Orientierung der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116. Beim Ausgeben der Kasset te 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 über die Auslaß pforte 86 greift der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungplatte 96 mit seinem eigenen Arm und dreht seinen Arm um 180° zum Plazieren der Kassette 40 auf der Auslaßlieferungspforte 100. Die Orientierung der Kassette 40 wird durch diesen Transport um 180° gedreht. Die Kassette 40 auf der Auslaßlieferungspforte 100 ist so orientiert, daß die ID-Karte 72, die an der Kassette 40 angebracht ist, der Seite der Betriebsebene des automatischen Transportierers 38 gegen überliegt. Darum muß die Orientierung der Kassette 40 nicht ge ändert werden, wenn die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 zum Ausgeben der Kassette 40 an die Auslaßpforte 86 arbeitet.

In ähnlicher Weise wird die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte (bzw. dem Lagerungsvorrich tungsregal) 96 auf der Seite der Einlaßpforte 88 durch den La gerungsvorrichtungskran 80 plaziert, ohne daß ihre Orientierung durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 gedreht wird. Der La gerungsvorrichtungskran 80 greift die Kassette 40 mit seinem eigenen Arm, wie in dem herkömmlichen Fall, zum Plazieren der Kassette 40 auf der Auslaßpforte 118. Die Orientierung der Kas sette 40 wird durch diesen Betrieb um 180° gedreht.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 4 und 5, die Lagerungsvorrichtung 36 weist weiter eine äußere Abschirmtür 90 für die auf den auto matischen Transportierer bezogene Pforte zum Halten der Luft dichtheit, die in der senkrechten Richtung bewegbar ist und an der Außenseite der Auslaßlieferungspforte 100 und der Einlaßlie ferungspforte 104 angeordnet ist, und eine innere Abschirmtür 92 für die auf den automatischen Transportierer bezogene Pforte zum Beibehalten der Luftdichtheit, die in der senkrechten Richtung bewegbar und an der Innenseite der Auslaßlieferungspforte 100 und der Einlaßlieferungspforte 104, die weiter innerhalb der La gerungsvorrichtung 36 liegt, angeordnet ist, auf.

Obwohl die Zeichnung nur die innere und die äußere Abschirmtür 92 und 90, die auf beiden Seiten eines Paares aus Auslaßliefe rungspforte 100 und Einlaßlieferungspforte 104 vorgesehen sind, gezeigt sind, sind die innere und die äußere Abschirmtür 92 und 90 ebenfalls an den beiden Seiten der anderen Auslaßlieferungs pforte 100 und der anderen Einlaßlieferungspforte 104 vorgese hen.

Die Lagerungsvorrichtung 36 weist weiter eine äußere Abschirmtür 114 und eine innere Abschirmtür 112 entsprechend der Pforte für die manuelle Eingabe/Ausgabe auf. Die äußere Abschirmtür 110 und die innere Abschirmtür 112 können in der senkrechten Richtung zum Zweck des Beibehaltens der Luftdichtheit der Lagerungsvor richtung 36 bewegt werden. Die äußere Abschirmtür 114 ist außer halb der Einlaßpforte 116 oder der Auslaßpforte 118 angeordnet.

Die innere Abschirmtür 112 ist innerhalb der Einlaßpforte 116 oder der Auslaßpforte 118 angeordnet.

Obwohl nur die Abschirmtüren für die Einlaßpforte 116 gezeigt sind, sind ähnliche Abschirmtüren ebenfalls für die beiden Aus laßpforten 118 vorgesehen.

Die Lagerungsvorrichtung 36 weist weiter eine äußere Abschirmtür 122, die an der Außenseite der auf die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung bezogenen Pforte 98 angeordnet ist, und eine innere Abschirmtür 110 auf. Die äußere und die innere Abschirmtür 122 und 110 arbeiten beide zum Beibehalten der Luft dichtheit der Lagerungsvorrichtung 36. Die innere Abschirmtür 110 ist auf einer Seite der Pforte 98 vorgesehen, die innerhalb der Lagerungsvorrichtung 36 liegt.

Die Pforte 98 kann bei geöffneter äußerer Abschirmtür 122 mit tels einer Hubvorrichtung 124 angehoben oder abgesenkt werden. Die äußere Abschirmtür 122 wird horizontal verschoben, und die innere Abschirmtür 110 wird vertikal bewegt. Die Übertragungs vorrichtung 82 führt eine Aufgabe bezüglich der Pforte 98, die in einer durch die Hubvorrichtung 124 angehobenen Position ange ordnet ist, aus, wohingegen der Lagerungsvorrichtungskran 80 ei ne Aufgabe bezüglich der Pforte 98, die in einer durch die Hub vorrichtung 124 abgesenkten Position angeordnet ist, ausführt.

Die Fig. 7A und 7B zeigen den Lagerplatz in der Lagerungsvor richtung 36, wenn er von der Seite der Betriebsebene des automa tischen Transportierers 38 bzw. von der Seite der Betriebsebene des Bedieners gesehen wird. Die Kennungen STK01 bis STK04 be zeichnen die Lagerungsvorrichtungseinheitsnummer, welche Unter teilungen des Lagerplatzes in der Lagerungsvorrichtung 36 zum Erleichtern der Verwaltung des Lagerplatzes sind. Die Kennungen T01 bis T07 bezeichnen die Plattennummer (Regalplattennummer) der Lagerungsvorrichtungsplatte 96, was die Position der latera len Zeile, d. h. die Position der sich seitlich erstreckenden Zeile, anzeigt. Die Kennungen P01 bis P04 zeigen die Positions nummer an, die der vertikalen Zeile (der sich in senkrechter Richtung erstreckenden Zeile) für jede Lagerungsvorrichtungsein heit entsprechen.

Unter Bezugnahme auf Fig. 8, der automatische Transportierer 38 weist einen Wagen 140, der entlang eines Führungsbandes 156, das an dem Boden befestigt ist, läuft, eine Transportiererkommunika tionseinheit 142 zum Übertragen von Information an die und von der Steuerstationskommunikationseinheit 62 der Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, einen Arm 144, eine Hand 146 und eine Handklaue 148 zum Ausführen einer Aufgabe zum Transfe rieren (Transferaufgabe) einer Kassette 40, vier Transferhalte rungen 150 zum Halten der Kassette 40, die aus der Bearbeitungs vorrichtung 32, 34 oder der Lagerungsvorrichtung 36 entladen worden ist, während des Transportes in der vertikalen Orientie rung, eine Bedienungstafel 152 zum Übertragen von Information an einen und von einem Bediener, und einen Stoßfänger 154 zum De tektieren eines Hindernisses zum Unterbrechen der momentan aus geführten Aufgabe auf.

Obwohl der automatische Transportierer 38 ein Roboter ist, der durch das Führungsband 156 geführt und nicht an ein Gleis gebun den ist, kann anstelle dessen ein Roboter vom Gleis-Typ verwen det werden. Außerdem kann ein Roboter eines Typs verwendet wer den, der die Kassette 40 mittels der Handklaue 148 fortlaufend ergreift, so daß die Transferhalterung 150 verzichtbar ist. Des weiteren kann eine Hand 146, die eine Mehrzahl von Kassetten 40 zusammen auf einmal transferieren kann, vorgesehen sein.

Unter Bezugnahme auf Fig. 9, die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung 42 weist eine Schiene 160, die eine Schleife bildet, einen Wagen 162, der sich in eine Richtung (in der Richtung des Pfeiles) auf der Schiene 160 bewegt, zum Beför dern von höchstens zwei Kassetten und eine Hängevorrichtung 164 zum Aufhängen der Schiene 160 an der Decke auf.

Unter Bezugnahme auf Fig. 10, die Bearbeitungsvorrichtung 32 weist einen Hauptkörper (Hauptteil) 170 zum Anwenden eines Her stellungsprozesses für eine integrierte Halbleiterschaltung auf Wafer 70 in Einheiten von einer oder einer Mehrzahl von Wafern, zwei Kassettenstände 172 zum Empfangen von Kassetten 40, die ei ne nach der anderen zu bearbeiten sind, und eine an den automa tischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174 zum Liefern von Information über den Zustand des Kassettenstands 172 an den automatischen Transportierer 38 zum Bestätigen, ob eine nicht korrekte Kassette auf dem Kassettenstand 172 plaziert ist, bevor der automatische Transportierer 38 eine Kassette 40, die zu bearbeiten ist, auf dem Kassettenstand 172 plaziert, oder ob eine Kassette 40, die bearbeitet worden ist, korrekt auf dem Kassettenstand 172 vor dem Entladen plaziert ist, auf.

Unter Bezugnahme auf Fig. 11, eine Bearbeitungsvorrichtung 34 weist einen Hauptkörper (Hauptteil) 180 zum Anwenden eines Her stellungsprozesses für eine integrierte Halbleiterschaltung auf Wafer 70 für jeweils einen oder eine Mehrzahl von Wafern, zwei Kassettenstände 182 zum Empfangen von Kassetten 40, die in der Einheit von zwei Kassetten zu bearbeiten sind, und eine an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174 zum Liefern von Information über den Zustand des Kassetten stands 182 an den automatischen Transportierer, um zu bestäti gen, ob eine nicht korrekte Kassette 40 auf dem Kassettenstand 182 plaziert ist, bevor der automatische Transportierer 38 eine zu bearbeitende Kassette 40 auf dem Kassettenstand 182 plaziert, oder ob eine bearbeitete Kassette 40 korrekt auf dem Kassetten stand 182 plaziert ist, bevor sie entladen wird, auf.

Das Verfahren zum Steuern des Eintritts (Eintrittssteuerver fahren) der Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 in der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 wird im folgen den beschrieben, das hauptsächlich in (1) die Aufgabe des La gerns einer bearbeiteten Kassette 40 von den Bearbeitungsvor richtungen 32, 34 in der Lagerungsvorrichtung 36, (2) die Aufga be des Beförderns der Kassette 40 von einer Quellen- Lagerungsvorrichtung 36 zu einer Bestimmungslagerungsvorrichtung 36, und (3) die Aufgabe des Einbringens der Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 durch die Einlaßpforte 116 für eine ma nuelle Eingabe unterteilt ist.

Eintrittssteuerverfahren für Aufgabe (1)

Der Hostcomputer 50 hat die im voraus gespeicherte Information über die Lagerungsvorrichtungskapazität, d. h. die maximale An zahl von Kassetten 40, die auf den Lagerungsvorrichtungsplatten 96 in jeder Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert werden können. Diese Information über die Lagerkapazität wird über der Terminal 54 eingegeben. Wenn eine Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 zu speichern ist, bestimmt der Hostcomputer 50, ob es einen verfügbaren Raum in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, in dem die Anzahl der Kassetten, die zu speichern ist, von dem vorbestimm ten Wert der Lagerungsvorrichtungskapazität abgezogen wird. Da der Hostcomputer 50 eine Steuerung beziehungsweise Kontrolle des verfügbaren Raums in der Lagerungsvorrichtung 36 liefert, muß die Lagerungsvorrichtung 36 keinen Bericht über eine leere Ein laßpforte 88, die sich auf einen automatischen Transportierer bezieht, und eine leere Pforte 98, die sich auf die Zwischenla gerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezieht, an den Hostcom puter 50 liefern.

In einer herkömmlichen Weise liefert die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 eine Anforderung an den Hostcomputer 50 über das Kommuni kationskabel 58, daß die bearbeitete Kassette 40 übergeben wer den soll. Wie in den Fig. 10 und 11 gezeigt ist, liefert die Be arbeitungsvorrichtung 32, 34 eine Übergabeanfrage für eine Kas sette oder eine Mehrzahl von Kassetten entsprechend des jeweili gen Typs derselben. Der Hostcomputer 50, der die Übergabeanfrage empfängt, zieht die Anzahl der angefragten Kassetten von dem Wert der (noch verfügbaren) Speicherungskapazität ab und schrei tet zu der Phase der Transportaufgabe unter Verwendung des auto matischen Transportierers 38 fort. Wenn das Subtraktionsergebnis eine negative Zahl ergibt, bestimmt der Hostcomputer 50, daß die Kassette 40 nicht gelagert werden kann. Darum wird der Hostcom puter 50 nicht zu der Phase der Transportaufgabe unter Verwendung des automatischen Transportierers 38 fortschreiten. Wie in dem herkömmlichen Fall ist eine Einlaßpforte 88 entspre chend jeder aus der Mehrzahl der Bearbeitungsvorrichtung 32 und 34 zugeordnet. Die Zuordnungsinformation derselben ist in dem Hostcomputer 50 vorher gespeichert. Selbst wenn die Übergabean frage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entsprechend je weils zwei Kassetten geliefert wird, muß der Hostcomputer 50 ei ne Transportaufgabenanweisung für eine Kassette auf einmal an den automatischen Transportierer 38 senden, da es nur die Kapa zität für eine Kassette an der Einlaßpforte 88 gibt.

Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die eine Transportaufgabenanweisung für eine Kassette von dem Hostcompu ter 50 empfängt, sendet eine Anweisung, so daß die Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 der Bestimmungslagerungsvorrich tung 36 transportiert wird, wie in dem herkömmlichen Fall. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, sendet die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer einen Bericht, daß die Aufgabe ver vollständigt ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikati onskabel 58.

Auf das Empfangen des Berichtes, daß die Aufgabe vervollständigt ist, hin sendet der Hostcomputer 50 eine Eintrittsaufgabenanwei sung an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64, so daß die Kas sette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 über die Einlaßpforte 88 eingegeben beziehungsweise in diese aufgenommen wird. Entspre chend dieser Eintrittsaufgabenanweisung, die über das Kommunika tionskabel 58 gesandt worden ist, beginnt die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 die Eintrittsaufgabe nach Ermittlung eines La gerplatzes auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96. Nur in ei nem Fehlerzustand wird der Lagerplatz nicht ermittelt. Dieses ist so, da der Hostcomputer 50 einen verfügbaren Raum in der La gerungsvorrichtung 36 vor dem Initiieren der Transportaufgabe, die durch den automatischen Transportierer 38 ausgeführt worden ist, bestätigt hat. Die Lagerungsvorrichtung 36, die die Ein trittsaufgabe ohne ein Problem beginnt, transferiert die Kasset te 40 auf der Einlaßpforte 88 zu dem entsprechenden Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96. Dabei muß die Vorwärts bewegungsvorrichtung 84 die Kassette 40 nicht um 90° während der Transferaufgabe drehen, da die Orientierung der Kassette 40 an der Einlaßpforte 88 identisch zu der Orientierung der Kassette 40 an der Einlaßlieferungspforte 104 ist. Wenn die Aufgabe ver vollständigt ist, wird die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 ei nen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Host computer 50 über das Kommunikationskabel 58. Derart wird eine bearbeitete Kassette 40, die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet worden ist, in der Lagerungsvorrichtung 36 aufge nommen.

Eintrittssteuerverfahren für Aufgabe (2)

Wenn die Kassette 40, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet worden ist, in der Lagerungsvorrichtung 36 aufge nommen ist, setzt der Hostcomputer 50 diese Lagerungsvorrichtung 36 als die Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 und bestimmt eine Be stimmungslagerungsvorrichtung 36 entsprechend einer nachfolgen den Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die aus der gespeicherten Information in der Kassette 40 in der Quellen-Lagerungsvor richtung 36 identifiziert wird. Dann zieht der Hostcomputer 50 die Anzahl der Kassetten, die zu lagern sind, von dem Wert der Kassettenkapazität (der momentanen Anzahl von Kassetten, die in der relevanten Lagerungsvorrichtung gelagert werden können) in der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 ab. Die Steuerung schrei tet dann zu der Transportaufgabe unter Verwendung der Zwischen lagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 fort. Der Hostcom puter 50 bestimmt, daß die Kassette nicht gelagert werden kann, wenn das Subtraktionsergebnis eine negative Zahl zeigt. In die sem Fall schreitet die Steuerung nicht zu der Transportaufgabe unter Verwendung der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvor richtung 42 fort.

Der Hostcomputer 50 in einer Phase einer Transportabfgabe sendet eine Transportaufgabenanweisung an die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung 42 über das Kommunikationskabel 58 wie in dem herkömmlichen Fall. Die Bestimmung, die durch diese An weisung gesetzt wird, ist der Lagerplatz der Lagerungsvorrich tungsplatte 96 in der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36, nicht die herkömmlicherweise gesetzte Pforte 98, die auf die Zwischen lagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogen ist. Die Zwi schenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66, die die Transportaufgabenanweisung empfängt, sendet eine Anfrage an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58, so daß die Kassette 40 von dem Lagerplatz zu der Pforte 98 transferiert wird. Die Lagerungsvorrichtung 36, die die Anforde rung empfängt, führt eine vorbestimmte Aufgabe für die relevante Kassette 40 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80 aus. Dann wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteue rung 66 gesandt. Auf das Empfangen des Berichtes, daß die Aufga be vervollständigt ist, sendet die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtungssteuerung 66 einen leeren Wagen 162 zu der Station, die der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 entspricht.

Auf die Vervollständigung dieser Bewegung hin sendet die Zwi schenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine Anforderung an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 36, so daß die relevante Kassette 40 auf der Pforte 98 an den leeren Wagen 162 transferiert wird. Die Lagerungsvorrichtung 36, die diese Anfor derung empfängt, transferiert die Kassette 40 unter Verwendung der Übertragungsvorrichtung 82. Dann wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt. Auf das Empfan gen dieses Berichtes, daß die Aufgabe vervollständigt ist, hin bewegt die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungs steuerung 66 den Wagen 162 zu der Station, die der Bestimmungs lagerungsvorrichtung 36 entspricht.

Wenn diese Bewegung vervollständigt ist, sendet die Zwischenla gerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine Anfor derung an die Steuerung 64 für die Bestimmungslagerungsvorrich tung über das Kommunikationskabel 58, so daß die Kassette 40 auf dem Wagen 162 über die Pforte 98 auf der Lagerungsvorrichtungs platte 96 gespeichert beziehungsweise gelagert wird. Die Lage rungsvorrichtungssteuerung 64 steuert die Übertragungsvorrich tung 82 zum Bewegen der Kassette 40 auf der Pforte 98 an. Dann wird die Kassette 40 auf der Pforte 98 zu dem ermittelten Lager platz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 mittels des Lage rungsvorrichtungskrans 80 transferiert. Die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 wird nur in dem Fall eines Fehlers während (der Abarbeitung) der Aufgabe zum Speichern der Kassette 40 nicht in der Lage sein, einen Speicherplatz zu ermitteln. Dieses ist so, da der Hostcomputer 50 vor dem Initiieren der Transport aufgabe einen verfügbaren Raum in der Bestimmungslagerungsvor richtung 36 bestätigt hat.

Auf die Vervollständigung der Aufgabe hin berichtet die Lage rungsvorrichtungssteuerung 64 an die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtungssteuerung 66, daß die Aufgabe vervoll ständigt ist. Als Reaktion sendet die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtungssteuerung 66 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50. Derart wird eine Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) einer Kasset te von einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu einer Bestim mungslagerungsvorrichtung 36 vervollständigt.

Eintrittssteuerverfahren für Aufgabe (3)

Wenn ein Bediener (nicht gezeigt) eine Kassette 40 in die Lage rungsvorrichtung 36 eingibt, plaziert der Bediener zuerst die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116. Dann manipuliert der Be diener die Bedienungstafel 121, die an der Lagerungsvorrichtung 36 vorgesehen ist, wodurch die Lagerungsvorrichtung 36 identifi ziert, daß die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 plaziert worden ist. Die Information, die in der ID-Karte 72 der Kassette 40 gespeichert ist, wird durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120 gelesen. Die gelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt.

Als Reaktion beziehungsweise als Ergebnis wird dem Hostcomputer 50 mitgeteilt, daß ein Bediener eine Kassette 40 geladen hat. Der Hostcomputer 50 zieht die Anzahl der Kassetten, die eintre ten sollen beziehungsweise eingegeben werden sollen, von dem Wert der Kassettenkapazität in der Lagerungsvorrichtung 36 ab. Die Steuerung schreitet zu der Transportaufgabe unter Verwendung der Lagerungsvorrichtung 36 fort. Wenn das Subtraktionsergebnis eine negative Zahl zeigt, bestimmt der Hostcomputer 50, daß die Kassette 40 nicht gespeichert werden kann. Darum schreitet die Steuerung nicht zu der Eintrittsaufgabe fort. Wenn der Hostcom puter 50 in die Phase der Eintrittsaufgabe eintritt, wird eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Entsprechend der übertragenen Eintrittsaufgabenanweisung initiiert die Lagerungs vorrichtungssteuerung 64 die Aufgabe, nachdem ein Lagerplatz für die Kassette 40 auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ermit telt ist. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 wird während der Speicherung beziehungsweise Lagerung der Kassette 40 nur in dem Fall eines Fehlers nicht in der Lage sein, einen Lagerplatz zu ermitteln. Dieses ist so, da der Hostcomputer 50 einen verfügba ren Raum in der Lagerungsvorrichtung 36 bestätigt hat, bevor diese Transportaufgabe initiiert wurde.

Die Lagerungsvorrichtung 36 steuert den Lagerungsvorrichtungs kran 80 zum Transferieren der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 zu einem Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, sendet die Lagerungs vorrichtung 36 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50. Derart wird die Eintrittsaufgabe für eine Eingabe durch einen Bediener vervollständigt.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuer verfahrens für die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 ist in den Hostcomputer 50 die Lagerkapazität für die maxima le Anzahl von Kassetten, die in jeder Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert werden können, im voraus durch den Terminal 54 ein gegeben. Beim Speichern einer Kassette wird ein Lagerplatz er mittelt über die Information, die durch Subtrahieren der Anzahl der zu speichernden Kassetten von dem Wert der Lagerkapazität erhalten wird. Dementsprechend kann die Aufgabe zum Speichern (Speicheraufgabe) einer Kassette von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in der Lagerungsvorrichtung 36 oder die Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) einer Kassette zwischen Lage rungsvorrichtungen ohne die Anforderungen an eine leere Einlaß pforte 88, die sich auf einen automatischen Transportierer be zieht, oder eine leere Pforte 98, die sich auf die Zwischenlage rungsvorrichtungstransportvorrichtung bezieht, ausgeführt wer den.

Der automatische Transportierer 38 wird nicht länger am Beginnen der Aufgabe des Transportierens (Transportaufgabe) einer bear beiteten Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 ge hindert, bis es keine vorhergehende Kassette 40 auf der Einlaß pforte 88 gibt. Darum ist das Problem der bearbeiteten Kassette 40, die für eine lange Zeit bei der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 belassen wird, eliminiert. Außerdem ist das Problem, daß die vorbestimmte Transportfähigkeit nicht gezeigt beziehungsweise erreicht wird, unabhängig von einer niedrigen Betriebsrate des automatischen Transportierers 38 eliminiert.

Der Fall, in dem die Transportaufgabe für die Kassette von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Lagerungsvorrichtung 36 nur unter Bedingung einer leeren Einlaßpforte 88 der Lagerungs vorrichtung 36 ausgeführt wird, und der Fall, in dem der Lager status des Lagerplatzes in der Lagerungsvorrichtung 36 nicht be stätigt wird, wird nicht länger angetroffen. Darum ist das Pro blem, daß eine Kassette 40 eine lange Zeit auf der Einlaßpforte 88 verbleibt, selbst nachdem eine Eintrittsaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36 gesandt wor den ist, da es keinen verfügbaren Raum in dem Lagerplatz gibt, gelöst.

Der Fall, daß die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrich tung 42 an der Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) ei ner nachfolgenden Kassette 40 in der Quellen- Lagerungsvorrichtung 36 gehindert wird, bis keine Kassette 40 auf der Pforte 98 vorhanden ist, wird nicht länger angetroffen. Darum ist das Problem, daß eine nachfolgende Kassette 40 für ei ne lange Zeit in der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 verbleibt, gelöst. Außerdem ist das Problem, daß die vorbestimmte Trans portfähigkeit nicht erreicht beziehungsweise erfüllt wird, trotz einer niedrigen Betriebsrate gelöst.

Desweiteren wird der Fall, daß die Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) der Kassette 40 von der Quellen- Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 nur unter der Bedingung einer leeren Pforte 98 der Bestim mungslagerungsvorrichtung 36 ohne Bestätigung des Lagerstatus des Lagerplatzes in der Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt wird, nicht länger angetroffen. Darum wird das Problem der Kassette 40, die auf der Pforte 98 für eine lange Zeit verbleibt, selbst nachdem eine Eintrittsaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36, der Transportaufgabe zu der Pforte 98 folgend, gesandt worden ist, da kein verfügbarer Raum zur Lagerung vorhanden ist, nicht länger angetroffen.

Desweiteren wird das Problem der Kassette 40, die auf der Ein laßpforte 116 für eine lange Zeit verbleibt, selbst nachdem eine Eintrittsaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 an die Lage rungsvorrichtung 36 gesandt worden ist, da kein Speicherplatz verfügbar ist, nicht länger angetroffen.

Die Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) der Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 oder von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bestimmungs lagerungsvorrichtung 36 kann initiiert werden, solange ein La gerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 für eine nachfolgende Kassette 40 ermittelt worden ist, selbst falls es eine Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 oder der Pforte 98 gibt. Die Kassette 40 wird nicht für eine extra Zeit an der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 oder der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 belassen. Außer dem wird die Kassette 40, die an der Einlaßpforte 88, der Pforte 98 und der Einlaßpforte 116 ankommt, nicht für eine Leerlaufzeit verbleiben, da der Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplat te 96 in der Lagerungsvorrichtung 36 ermittelt ist.

Das Austrittssteuerverfahren für die Ausgabe der Kassette 40 aus der Lagerungsvorrichtung 36 in der Halbleiterwaferkassetten transportvorrichtung 30 wird im folgenden beschrieben, das hauptsächlich in (4) die Aufgabe des Entladens des automatischen Transportierers 38 durch die Auslaßpforte 86, (5) die Aufgabe des Entladens zu der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvor richtung 42 von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 durch die Pforte 98, und (6) die Aufgabe des Entladens an einen Bediener durch die Auslaßpforte 118 unterteilt ist.

Austrittssteuerverfahren für Aufgabe (4)

Wie in einem herkömmlichen Fall sucht, wenn eine Kassettenlade anfrage von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an den Hostcom puter 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt wird, der Host computer 50 nach einer Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36. Die Steuerung schreitet zu der Aus trittsaufgabe fort, wenn es eine solche Kassette 40 gibt. Der Hostcomputer 50, der in die Phase der Austrittsaufgabe eintritt, sendet an die Lagerungsvorrichtung 36 an eine Anweisung für die Aufgabe zum Ausgeben (Austrittsaufgabenanweisung) der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an die Auslaßpforte 86, die für die entsprechende der Verarbeitungsvorrichtungen 32 und 34 vorbestimmt ist. Auf das Empfangen der Austrittsaufgaben anweisung hin steuert die Lagerungsvorrichtung 36 den Lagerungs vorrichtungskran 80 zum Transferieren der relevanten Kassette 40 zu der Auslaßlieferungspforte 100 an. Dann wird die Kassette 40 auf der Auslaßlieferungspforte 100 an die Auslaßpforte 86 durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 geliefert. Die Vorwärtsbewe gungsvorrichtung 84 muß die Orientierung der Kassette 40 während dieser Aufgabe nicht um 90° drehen.

Auf die Vervollständigung der Austrittsaufgabe an die Auslaß pforte 86 hin sendet die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50. Während dieser Abfolge von Schritten der Aufgabe der Lagerungs vorrichtung 36 wird die Information des Entladens der Kassette 40 aus dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gesendet. Der Hostcomputer 50, der diese Information empfängt, addiert, im Gegensatz zu dem Subtrahieren bei der Eintrittsauf gabe, diese Anzahl der entladenen Kassetten zu dem Wert der Kas settenkapazität in der Lagerungsvorrichtung 34. Die Kassette 40, die an der Auslaßpforte 86 entladen worden ist, wird durch den automatischen Transportierer 38 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 transportiert, die die Ladeanfrage ausgegeben hat.

Austrittssteuerverfahren für Aufgabe (5)

Der Hostcomputer 50, dem einen Bericht, daß die Eintrittsaufgabe vervollständigt ist, von der Lagerungsvorrichtung 36 empfängt, bestimmt eine geeignete Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 ent sprechend einer nachfolgenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die durch die gespeicherte Information in der Kassette 40 iden tifiziert wird beziehungsweise ist. Eine Zwischenlagerungsvor richtungstransportaufgabenanweisung wird über das Kommunikati onskabel 58 an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvor richtung 42 gesendet. Die Zwischenlagerungsvorrichtungstrans portvorrichtungssteuerung 66, die die Transportanweisung emp fängt, sendet zuerst eine Anfrage an die Quellen-Lagerungsvor richtung 36 über das Kommunikationskabel 58 zum Ausführen einer Übertragungsaufgabe für die Kassette 40 von dem Lagerplatz zu der Pforte 98. Die Lagerungsvorrichtung 36, die die Anfrage emp fängt, transferiert die geeignete Kassette 40 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Dann wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvor richtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt.

Wenn der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von dem Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entlädt, sen det die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 diese Information an den Hostcomputer 50 über die Zwischenlagerungsvorrichtungstrans portvorrichtungssteuerung 66. Alternativ wird die Information direkt an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Hostcomputer 50, der diese Information empfängt, addiert die Anzahl der entladenen Kassetten zu der Anzahl der Kassettenkapazität in der Lagerungsvorrichtung 36. Die Kassette 40, die aus der Pforte 98 entladen worden ist, wird zu der Be stimmungslagerungsvorrichtung 36 entsprechend der Aufgabe (2), in der die Kassette 40 von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 befördert wird, trans portiert.

Austrittssteuerverfahren für Aufgabe (6)

Der Fall, in dem der automatische Transportierer 38 nicht in stalliert ist, wird nun betrachtet. Als Reaktion darauf, daß die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 eine Kassettenladeanfrage an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 sendet, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36.

Wenn es eine Kassette 40 gibt, schreitet der Hostcomputer 50 mit einer Phase der Austrittsaufgabe fort. Der Hostcomputer 50 sen det an die Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58 eine Transportaufgabenanweisung, d. h. die Anweisung für die Aufgabe zum Transport, der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrich tungsplatte 96 an die Auslaßpforte 118, die für die jeweilige Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 vorbestimmt ist, wie in dem Fall der Auslaßpforte 86. Als Reaktion transferiert die Lagerungsvor richtung 36 die Kassette 40 zu der Auslaßpforte 118 mittels des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Dann wird eine Anzeige, die eine Ausgabe beziehungsweise Entnahme durch die Auslaßpforte 118 er laubt, auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36 geliefert.

Der Bediener, der die Nachricht des Erlaubens des Entladens liest, nimmt die Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 und mani puliert die Bedienungstafel 121, um der Lagerungsvorrichtung 36 mitzuteilen, daß die Entladeaufgabe vervollständigt ist. Als Re aktion bestimmt die Lagerungsvorrichtung 36, daß die Aus trittsaufgabe vervollständigt ist. Ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, wird an den Hostcomputer 50 über das Kommu nikationskabel 58 gesendet. Wenn der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtungs platte 96 entlädt, liefert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 diese Information an den Hostcomputer 50 über das Kommunikati onskabel 58. Der Hostcomputer 50, der diese Information emp fängt, addiert die Anzahl der entladenen Kassetten zu dem Wert der Kassettenkapazität in der Lagerungsvorrichtung 36. Der Be diener, der die Kassette 40 entlädt, nähert sich dem Terminal 56 des Hostcomputers 50, um die Verarbeitungsvorrichtung 32, 34 zu identifizieren, die die Ladeanfrage ausgegeben hat. Dann trans portiert der Bediener die Kassette 40 zu den Kassettenständern 172, 182 der geeigneten Bearbeitungsvorrichtung 32, 34.

Bei dem obigen Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerungs verfahren addiert der Hostcomputer 50 die Anzahl der entladenen Kassetten entsprechend der Information, die von der Lagerungs vorrichtungssteuerung 64 berichtet wird, wenn die Kassette 40 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 von der Lagerungsvorrich tungsplatte 96 entladen wird, zu dem Wert der Kassettenkapazität in der Lagerungsvorrichtung 36, im Gegensatz zu der Subtraktion, die bei der Eintrittsaufgabe in die Lagerungsvorrichtung 36 aus geführt wird. Dementsprechend identifiziert der Hostcomputer 50 einen verfügbaren Raum des Lagerplatzes. Als ein Ergebnis kann der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabe zu dem Transport von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Lagerungsvorrichtung 36 oder zwischen den Lagerungsvorrichtungen 36 schneller als in dem Fall initiieren, in dem die Transportaufgabe durch die In formation einer leeren Einlaßpforte 88 bzw. einer leeren Pforte 98 getriggert wird.

Derart wird der Fall des automatischen Transportierers 38, der am Initiieren einer Transportaufgabe für einen Transport einer bearbeiteten Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gehindert wird, bis es keine vorhergehende Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 mehr gibt, nicht länger angetroffen. Darum ist das Problem, daß eine bearbeitete Kassette für eine lange Zeit bei der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verbleibt, gelöst. Außer dem ist das Problem, daß die vorbestimmte Transportfähigkeit nicht erreicht werden kann, obwohl die Betriebsrate des automa tischen Transportierers 38 niedrig ist, gelöst.

Außerdem wird der Fall der Zwischenlagerungsvorrichtungstrans portvorrichtung 42, die am Initiieren einer Transportaufgabe zum Transportieren einer nachfolgenden Kassette 40 aus der Quellen- Lagerungsvorrichtung 36 gehindert wird, bis es keine vorherge hende Kassette 40 auf der Pforte 98 mehr gibt, nicht länger an getroffen. Darum ist das Problem, daß eine nachfolgende Kassette 40 bei der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 verbleibt, elimi niert. Außerdem ist das Problem gelöst, daß eine vorbestimmte Transportfähigkeit nicht erreicht beziehungsweise gezeigt wird, obwohl die Betriebsrate der Zwischenlagerungsvorrichtungstrans portvorrichtung niedrig ist.

Daher wird die Transportaufgabe zum Transport von der Bearbei tungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 und von der Quel len-Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bestimmungslagerungsvorrich tung 36 sofort initiiert, wenn es physisch einen verfügbaren Raum in beziehungsweise auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 der Lagerungsvorrichtung 36 gibt. Es gibt einen Vorteil dahinge hend, daß die Standbyzeit für die Kassette 40 bei der Bearbei tungsvorrichtung 32, 34 und der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 reduziert werden kann.

Der Hostcomputer 50 hält die Information über den Lager- bzw. Speicherplatz jeder Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 nicht. Die Verwaltung derselben ist der Lagerungsvorrichtungs steuerung 64 überlassen. Darum identifiziert der Hostcomputer 50 in den Speicher- bzw. Lagerplatz auf der Basis eines numerischen Wertes. In anderen Worten, der Speicher- bzw. Lagerplatz wird geregelt entsprechend eines Wertes, der erhalten wird durch Sub trahieren der geeigneten Anzahl von Kassetten von der Lagerungs vorrichtungskapazität, d. h. der maximalen Anzahl von Kassetten, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert werden kann. Ein an deres Verfahren des Erkennens des Lagerplatzes wird im folgenden beschrieben.

Der Hostcomputer 50 empfängt Informationen, die sich auf den mit Kennungen versehen Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36, wie es in den Fig. 7A und 7B gezeigt ist, bezieht, über den Ter minal 54 und einen Bericht über den einer relevanten Kennung entsprechenden Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36, wenn eine Speicher- beziehungsweise Lagerungsaufgabe für eine Kasset te 40 von der Lagerungsvorrichtung 36 vervollständigt ist. Durch diese Informationen kann der Hostcomputer 50 identifizieren, daß es einen verfügbaren Raum in dem Lagerplatz der Lagerungsvor richtung 36 gibt, wenn es keine Kassette 40 in diesem Lagerplatz gibt, d. h. in diesem mit der entsprechenden Kennung versehenen Teil des Lagerplatzes.

Der Hostcomputer 50 bezeichnet der Lagerungsvorrichtung 36 bei der Eintrittsaufgabe den Lagerplatz für die Kassette 40 nicht. Der Lagerplatz wird durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 bestimmt. Es kann eine Näherung in Betracht gezogen werden, bei der der Hostcomputer 50 den Lagerplatz der Lagerungsvorrichtung 36 selbst vor einer Eintrittsaufgabe bestimmt und die Anweisung an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 sendet. In diesem Fall wird die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den Lagerplatz nicht bestimmen und speichert beziehungsweise lagert eine geeignete Kassette 40 an dem Lagerplatz, der durch den Hostcomputer 50 be zeichnet ist. Der Hostcomputer 50 kann identifizieren, daß es einen verfügbaren Raum in dem Lagerplatz der Lagerungsvorrich tung 36 gibt, wenn es keine Kassette 40 an dem Lagerplatz gibt.

Der Hostcomputer 50 kann durch den Terminal 54 eine Mehrzahl von Einlaßpforten 88 spezifizieren, die durch eine Bearbeitungsvor richtung 32, 34 benutzt werden können. Außerdem kann die Verwen dungsabfolge der Einlaßpforten 88 zusammen damit spezifiziert werden. Zum Beispiel wird in dem Fall, der in Fig. 1 gezeigt ist, zum Beispiel die Anzahl der Einlaßpforten 88, die einer Be arbeitungsvorrichtung 32, 34 entsprechen, auf 2 gesetzt, und die Verwendungsabfolge derselben wird spezifiziert. Wenn eine Über gabeanfrage für die Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32 an den Hostcomputer 50 gesandt wird, bestimmt der Hostcompu ter 50 eine entsprechende Einlaßpforte aus der Mehrzahl der Ein laßpforten 88, die der zuvor verwendeten Einlaßpforte 88 nach folgend ist, oder die erste Einlaßpforte 88 der spezifizierten Verwendungssequenz, wenn es keine weitere Einlaßpforte 88 in der Sequenz gibt, die für die Transportaufgabe der Kassette 40 zu verwenden ist.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungseintrittssteuerverfahrens kann eine Mehrzahl von Einlaßpforten 88 für einen automatischen Transportierer einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden. Durch Zuordnen von Einlaßpforten 88 mit einer vorbe stimmten Reihenfolge, können die Einlaßpforten 88 im wesentli chen gleich benutzt werden.

Desweiteren kann der Hostcomputer 50 bevorzugterweise eine Mehr zahl von Einlaßpforten 88 durch den Terminal 54 spezifizieren, die für eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benutzt werden kön nen. Außerdem kann der Hostcomputer 50 einen Datenbereich ent halten, in dem die Anzahl der Transportaufgaben, die aus den Transportaufgabenanweisungen, die an den automatischen Transpor tierer 38 bezüglich jeder Pforte 88 ausgegeben worden sind, noch nicht vervollständigt sind, gespeichert werden können. Wenn der Hostcomputer 50 eine Übergabeanfrage für eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 empfängt, sucht der Hostcom puter 50 nach einer Einlaßpforte 88, die für die Bearbeitungs vorrichtung 32, 34 verfügbar ist. Wenn es eine Mehrzahl von Ein laßpforten 88 gibt, die benutzt werden können, vergleicht der Hostcomputer 50 die Anzahl der Transportanweisungen, die in dem Datenbereich entsprechend der entsprechenden Pforte 88 gespei chert sind, um die Einlaßpforte 88 auszuwählen, die einen nied rigeren Wert zeigt. Der Hostcomputer 50 addiert 1 zu dem Wert in diesem Datenbereich, der mit der ausgewählten Pforte 88 in Be ziehung steht, und sendet eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38. Wenn eine Aufgabe vervollstän digt ist, wird der Wert in dem Datenbereich um eins erniedrigt. Wenn es eine Mehrzahl von Pforten 88 gibt, die dieselbe Anzahl von noch nicht vervollständigten Transportaufgaben zeigen, dann wählt der Hostcomputer 50 eine willkürliche beziehungsweise frei wählbare Pforte 88 aus diesen aus.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuer verfahrens kann eine Mehrzahl von Einlaßpforten 88 einer Bear beitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden. Eine Transportauf gabenanweisung kann an einen anderen automatischen Transportie rer 38 gesandt werden, so daß die Anzahl der Aufgaben, die noch nicht vervollständigt sind, ausgeglichen werden kann. Darum kann die Verwendungsfrequenz der Pforten 88 im wesentlichen ausgegli chen werden.

Darum wird das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung der Einlaßpforten 88 abhängig von der Bearbeitungsfä higkeit und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 aufgrund der Bestimmung der Anzahl der Einlaßpforten 88, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benutzt werden kön nen, auf eins, obwohl es eine Mehrzahl derselben gibt, gelöst.

Selbst falls die Bearbeitungsfähigkeit und der Betriebszustand der entsprechenden Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34 unter schiedlich sind, kann die Mehrzahl der Einlaßpforten 88 bezüg lich der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 im wesentlichen gleich verwendet werden, so daß das Problem der Variation in der Ver wendung und der Belegung der Einlaßpforten 88 eliminiert wird.

Wenn es eine Übergabeanfrage für eine Kassette 40 von der Bear beitungsvorrichtung 32, 34 gibt und ein Lagerplatz in der geeig neten Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar ist, wählt der Hostcom puter 50 eine aus der Mehrzahl der Einlaßpforten 88 aus, so daß die Einlaßpforten 88 gleichmäßig benutzt werden, und sendet eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38. Darum kann in dem Fall, in dem die Vorwärtsbewegungsvorrich tung 84, die zum Transferieren der Kassette 40 an der Einlaß pforte 88 zu der Einlaßlieferungspforte 104 arbeitet, defekt ist, der Hostcomputer 50 nicht die Fehlfunktion derselben detek tieren, so daß eine Transportaufgabenanweisung für einen Trans port der Kassette 40 zu der Einlaßpforte 88 an den automatischen Transportierer 38 gesandt wird.

Um dieses Problem zu vermeiden, kann der Hostcomputer 50 einen Datenbereich halten beziehungsweise aufweisen, in dem die Anzahl der Aufgaben, die durch den automatischen Transportierer 38 noch nicht vervollständigt sind, entsprechend jeder aus der Mehrzahl der Auslaßpforten 88, die durch den Terminal 54 eingegeben wor den sind, gespeichert ist. Ein oberer Grenzwert derselben kann ebenfalls spezifiziert werden. Beim Senden einer Transportaufga benanweisung an den automatischen Transportierer 38 unterdrückt der Computer 50 die Verwendung einer gewissen Einlaßpforte 88, wenn der Wert in dem Datenbereich, der dieser Pforte entspricht, an dem oberen Grenzwert angekommen ist. Der Hostcomputer 50 sucht nach einer anderen Einlaßpforte 88 als Kandidaten. Wenn es keine geeignete Pforte gibt, wird ein Warten auf die Vervoll ständigung einer Transportaufgabe zu der Einlaßpforte 88 ausge führt.

Der Hostcomputer 50 kann einen oberen Grenzwert für jede Einlaß pforte 88 setzen. Beim Senden einer Transportaufgabenanweisung, die mit der Einlaßpforte 88 in Verbindung steht, wird der Host computer 50 nicht länger einer Anweisung senden, die einer Ein laßpforte 88 entspricht, deren Anzahl von noch nicht vervoll ständigten Aufgaben den oberen Grenzwert überschreitet. Der Fall, in dem eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen auf grund einer Fehlfunktion der Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 bei der automatischen Transportvorrichtung 38 angesammelt wird, wird nicht angetroffen.

Desweiteren ist es zu bevorzugen, daß der Hostcomputer 50 die Vorrichtungsstatusdaten, die Verfügbarkeit/Nicht-Verfügbarkeit jeder Einlaßpforte 88 anzeigen, halten beziehungsweise speichern kann. Die Daten können über den Bedienerterminal 56 geändert werden. Wenn der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 bezüglich einer Einlaß pforte 88 sendet, überprüft der Hostcomputer 50 die Vorrich tungsstatusdaten, um die Verwendung einer gewissen Pforte zu un terdrücken, wenn die Daten eine Nicht-Verfügbarkeit anzeigen, und er sucht nach der nächsten möglichen Einlaßpforte 88 als Kandidat. Wenn es keine geeignete Pforte 88 gibt, wartet der Hostcomputer 50 darauf, daß die Vorrichtungsstatusdaten für die Einlaßpforte 88 auf "verfügbar" geändert werden.

Die Vorrichtungsstatusdaten, die in dem Hostcomputer 50 anzeigen, ob die jeweilige Einlaßpforte 88 verfügbar ist oder nicht, kön nen über den Bedienerterminal 56 in "nicht verfügbar" modifi ziert werden, wenn die Einlaßpforte 88 defekt ist. Der Hostcom puter 50 kann die defekte Einlaßpforte 88 detektieren, um die Übertragung einer Transportaufgabenanweisung bezüglich der de fekten Pforte 88 an den automatischen Transportierer 38 zu un terbinden beziehungsweise zu sperren. Der Fall, in dem eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen bei einem automati schen Transportierer 38 aufgrund einer Fehlfunktion der defekten Einlaßpforte 88 und ähnlichem angesammelt wird, wird nicht län ger angetroffen.

Der automatische Transportierer 38 initiiert eine Transportauf gabe auf das Empfangen einer Transportaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 hin, die mit der Einlaßpforte 88 von der Bear beitungsvorrichtung 32, 34 in Verbindung steht. Der automatische Transportierer 38 entlädt die Kassette 40 von der Bearbeitungs vorrichtung 32, 34 zum Plazieren der Kassette 40 auf der Einlaß pforte 88. Der automatische Transportierer 38 bestätigt, ob kei ne Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 verblieben ist, bevor er eine beziehungsweise die Kassette 40 dort plaziert. Die Bestim mung eines Fehlers wird gemacht, wenn eine andere Kassette 40 verblieben ist, und der Fehler wird sofort an den Hostcomputer 50 berichtet. Es gibt eine Möglichkeit, daß eine Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 verblieben ist. Darum kann die Transportauf gabe häufig entsprechend des Fehlerstatus, der durch den automa tischen Transportierer 38 berichtet wird, unterbrochen werden.

Dieses Problem kann vermieden werden, wie es im folgenden erläu tert wird. Wenn der automatische Transportierer 38 eine Kassette 40 auf einer Einlaßpforte 88 in dem Fall zu plazieren hat, in dem bereits eine andere Kassette 40 darauf plaziert ist, wartet der automatische Transportierer 38 eine vorbestimmte Zeit dar auf, daß die vorhergehende Kassette 40 entladen wird, ohne einen Fehler beziehungsweise eine Fehlermeldung auszugeben. Der auto matische Transportierer 38 kann sofort mit der Aufgabe des Transferierens der Kassette 40 auf der Transferhalterung 150 des automatischen Transportierers 38 zu der Einlaßpforte 88 begin nen, wenn die vorhergehende Kassette 40 weggenommen ist. Wenn die vorhergehende Kassette 40 selbst nach einem Ablauf der vor bestimmten Zeit nicht entladen wird, d. h. wenn die vorhergehende Kassette 40 nicht zu der Einlaßlieferungspforte 104 durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 transferiert wird, wird die Be stimmung, daß ein Fehlerstatus vorliegt, gemacht. Dann kann ein Fehlerbericht an den Hostcomputer 50 gesandt werden.

Derart kann der Hostcomputer 50 an den automatischen Transpor tierer 38 eine Transportaufgabenanweisung bezüglich einer gewis sen Einlaßpforte 88 senden, ohne bestätigen zu müssen, ob diese Pforte verfügbar ist oder nicht. Außerdem kann die Standbyzeit der Kassette 40, die von den Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 zu entladen ist, reduziert werden.

Herkömmlicherweise gibt der Hostcomputer 50 an den automatischen Transportierer 38 eine Transportaufgabenanweisung zum Transport von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 der Lagerungsvorrichtung 36 aus, nachdem er bestätigt hat, ob diese Einlaßpforte 88 verfügbar ist. Darum ist die Transportauf gabenanweisung, die an den automatischen Transportierer 38 durch den Hostcomputer 50 gesandt werden kann, auf die Anzahl der Pforten 88 beschränkt. Der Hostcomputer 50 wird eine Transport aufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 senden solange eine Lagerplatz für die Kassette 40 in der Lagerungsvor richtung 36 ermittelt ist. Darum gibt es eine Möglichkeit, daß eine große Anzahl von Transportaufgabenanweisungen, die der An zahl der Kassettenstände 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entspricht, an den automatischen Transportierer 38 ge sandt wird. Selbst falls eine Mehrzahl von Transportaufgabenan weisungen von dem Hostcomputer 50 an den automatischen Transpor tierer 38 gesandt wird, ist die Aufgabe, die ausgeführt wird, im wesentlichen auf die Transportfähigkeit des automatischen Trans portierers 38 begrenzt. Dieses bedeutet, daß eine Mehrzahl von Kassetten 40 verbleibt, die aufeinanderfolgend durch den automa tischen Transportierer 38 zu bearbeiten beziehungsweise zu transportieren sind. Es ist daher wertlos, eine Mehrzahl von Aufgabenanweisungen, die diese Begrenzung überschreiten, zu sen den. Desweiteren ist der automatische Transportierer 38 in sei ner Zuverlässigkeit niedriger als der Hostcomputer 50. Es gab ein Problem dahingehend, daß, wenn der automatische Transportie rer 38, der einer Mehrzahl von Aufgabenanweisungen entspricht, defekt wird, die Erholungszeit beziehungsweise Reparaturzeit desselben eine signifikante lange Zeit in Anspruch nimmt.

Um das obige Problem zu vermeiden, kann der Hostcomputer 50 über ein Terminal 54 einen vorbestimmten Grenzwert für die Anzahl von Transportaufgaben, die momentan durch den automatischen Trans portierer 38 ausgeführt wird, spezifizieren. Der Hostcomputer 50 kann außerdem einen Datenbereich halten beziehungsweise spei chern, in dem die Anzahl der momentan ausgeführten Aufgaben ge speichert wird. Beim Senden einer Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 bestätigt der Hostcomputer 50, ob die Anzahl der momentan ausgeführten Aufgaben, die in dem Datenbereich gespeichert ist, niedriger als der spezifizierte Grenzwert ist. Wenn die Anzahl der momentanen Aufgaben kleiner als der Grenzwert ist, addiert der Hostcomputer 50 zu dem Wert in diesem Datenbereich 1 hinzu. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, erniedrigt der Hostcomputer 50 den Wert in dem Datenbereich um 1. Wenn der Wert in dem Datenbereich gleich zu dem vorbe stimmten Grenzwert ist oder diesen überschreitet wird die Über tragung einer Transportaufgabenanweisung zurückgestellt bis der Wert in dem Datenbereich kleiner als der Grenzwert wird.

Der Hostcomputer 50 wird keine überflüssigen Transportaufgaben anweisungen an den automatischen Transportierer 38 senden. Darum wird der Fall, indem eine Mehrzahl von Transportaufgabenanwei sungen bei einer Steuerung 60 für einen automatischen Transpor tierer aufgrund einer Fehlfunktion des automatischen Transpor tierers 38 angesammelt wird, nicht länger angetroffen.

Entsprechend des Eintrittssteuerverfahrens für das Eingeben der Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 plaziert der Bediener die Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 und manipuliert die Be dienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36. Die Lagerungsvor richtung 36 kann durch diesen Betrieb detektieren, daß eine Kas sette 40 auf der Einlaßpforte 116 plaziert worden ist. Dement sprechend wird die Information, die in der ID-Karte 72 dieser Kassette 40 gespeichert ist, durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ausgelesen. Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcompu ter 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Hostcomputer 50 erhält Kenntnis, daß die Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 vorhanden ist und ermittelt einen Lagerplatz für die Kassette 40. Wenn eine Bestimmung gemacht wird, daß die Kassette 40 nicht gelagert werden kann, sendet der Hostcomputer 50 keine Aufgaben anweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 und wartet darauf, daß ein Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar wird. Genauer gesagt wird die Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 be lassen, bis ein Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 ver fügbar wird. Der Bediener muß die Eintrittsaufgabe für die Kas sette 40 nicht ausführen, falls er/sie weiß, daß es keinen ver fügbaren Lagerplatz gibt. In dem Fall, in dem nur eine Pforte, die als Einlaßpforte 116 und als Auslaßpforte 118 fungiert, vor gesehen ist, gibt es eine Möglichkeit, daß die Austrittsaufgabe unterdrückt wird, da es eine Kassette 40 an der Pforte gibt, die einzugeben ist.

Der Hostcomputer 50 sucht nach einem Lagerplatz für die Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 auf das Empfangen eines Be richtes von der Lagerungsvorrichtung 36, daß eine Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 angekommen ist. Wenn ein Lagerplatz nicht ermittelt werden kann, kann der Hostcomputer 50 den Bericht über das Ankommen vernachlässigen. In diesem Fall kann die Lagerungs vorrichtung 36 dem Bediener auf ihrer eigenen Bedienungstafel 121 eine Nachricht präsentieren, daß ein Lagerplatz nicht ermit telt werden kann, um auf die weitere Tätigkeit des Bedieners zu warten. Der Bediener, der die Nachricht auf der Bedienungstafel 121 liest, nimmt die Kassette 40 von der Einlaßpforte 116 weg. Dieses Wegnehmen der Kassette 40 wird an die Lagerungsvorrich tung 36 durch Betätigen der Bedienungstafel 121 berichtet. Die Lagerungsvorrichtung 36 identifiziert, daß die Kassette 40 weg genommen worden ist, und kehrt zu dem Zustand vor dem Plazieren der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 zurück.

Wenn ein Lagerplatz für die Kassette 40, die an der Einlaßpforte 116 plaziert ist, nicht ermittelt werden kann, kann der Hostcom puter 50 dieses dem Bediener über die Lagerungsvorrichtung 36 mitteilen. Damit kann der Bediener einen anderen Vorgang bezüg lich der Kassette 40 ausführen. Außerdem kann das Problem, daß eine Kassette, die die eine Pforte, die als sowohl die Einlaß pforte 116 als auch die Auslaßpforte 118 dient, belegt, in einem vergleichbaren Status die Ausführung einer Austrittsaufgabe ver hindert, eliminiert werden.

Der Hostcomputer 50 wird an den automatischen Transportierer 38 eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport einer Kas sette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu einer Ein laßpforte 88 auf das Empfangen einer Übergabeanfrage von der Be arbeitungsvorrichtung 32, 34 senden, solange ein Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 vorhanden ist. Außerdem wird eine Transportaufgabenanweisung für den Transport einer Kassette 40, die in einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, zu einer Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 an die Zwischenlage rungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 gesandt, solange es ei nen verfügbaren Lagerplatz in der Bestimmungslagerungsvorrich tung 36 gibt. Wenn ein Bericht von der Lagerungsvorrichtung 36 über die Ankunft der Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 gelie fert wird, wird eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lage rungsvorrichtung 36 gesandt, falls es einen verfügbaren Lager platz in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt. Desweiteren wird der Hostcomputer 50 eine Austrittsaufgabenanweisung an eine Lage rungsvorrichtung 36 auf das Empfangen einer Ladeanfrage für eine Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 hin ausge ben, falls die Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lage rungsvorrichtung 36 gespeichert ist. Falls die Lagerungsvorrich tung 36, der automatische Transportierer 38 oder die Zwischenla gerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 defekt ist, wird eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen von dem Hostcomputer 50 gesandt, selbst falls die Aufgabe tatsächlich nicht ausge führt werden kann. Es gab ein Problem dahingehend, daß das Zu rückkehren zu der vorhergehenden Bedingung beziehungsweise dem vorherigen Zustand, d. h. das Erholen von einer Fehlfunktion der defekten Vorrichtung und außerdem das Neusenden der Transport aufgabenanweisung, zeitraubend ist.

Wenn die Aufgabe des Lagerns einer Kassette 40 von einer Bear beitungsvorrichtung 32, 34 in einer Lagerungsvorrichtung 36, des Transportierens einer Kassette 40 von einer Lagerungsvorrichtung 36 zu einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 oder zwischen den La gerungsvorrichtungen 36 ausgeführt wird, hat der Hostcomputer 50 die Vorrichtungsstatusinformation nicht oder wird der Hostcompu ter 50 nicht vor der Übertragung die Vorrichtungsstatusinforma tion bestätigen, die anzeigt, ob die relevante Bearbeitungsvor richtung 32, 34, der automatische Transportierer 38, die Zwi schenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und/oder die Lagerungsvorrichtung 36, die mit der Aufgabe in Beziehung ste hen, verfügbar sind. Dieses wird der Grund des Problems, daß die Transportaufgabe für die Kassette 40 aufgrund eines Ausfalls der diesbezüglichen Vorrichtung unterbrochen wird, nachdem die Auf gabe initiiert worden ist.

In ähnlicher Weise hat der Hostcomputer 50 beim Initiieren einer Eintrittsaufgabe über die Einlaßpforte 116 oder einer Aus trittsaufgabe über die Auslaßpforte 118 die Vorrichtungsstatu sinformation nicht und wird der Hostcomputer 50 nicht vor dem Senden der Aufgabenanweisung die Vorrichtungsstatusinformation bestätigen, die anzeigt, ob die Lagerungsvorrichtung 36 verfüg bar ist oder nicht. Dieses wird der Grund des Problems, daß die Aufgabe, die auf die Kassette 40 bezogen ist, aufgrund eines Ausfalls der Lagerungsvorrichtung 36 unterbrochen wird, nachdem die Aufgabe initiiert worden ist.

Das obige Problem kann gelöst werden, wie es im folgenden be schrieben ist. Bei dem Lagerungsvorrichtungseintritts-/-aus trittsaufgabensteuerverfahren kann der Hostcomputer 50 die Vorrichtungsstatusdaten halten beziehungsweise speichern, die an zeigen, ob die Lagerungsvorrichtung 36, der automatische Trans portierer 38 und/oder die Zwischenlagerungsvorrichtungstrans portvorrichtung 42 verfügbar sind oder nicht. Die Vorrich tungsstatusdaten können über den Bedienerterminal 56 modifiziert werden. Wenn eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu ei ner Einlaßpforte 88 an einen automatischen Transportierer 38 zu senden ist, bestätigt der Hostcomputer 50, ob dieser automati sche Transportierer 38 und die Lagerungsvorrichtung 36 beide verfügbar sind, mittels der Vorrichtungsstatusdaten, und er sen det dann die Transportaufgabenanweisung. Wenn eine Transportauf gabenanweisung zum Transport einer Kassette 40 von einer Quel len-Lagerungsvorrichtung 36 zu einer Bestimmungslagerungsvor richtung 36 zu senden ist, bestätigt der Hostcomputer 50, daß die Quellen-Lagerungsvorrichtung 36, die Zwischenlagerungsvor richtungstransportvorrichtung 42 und die Bestimmungslagerungs vorrichtung 36 verfügbar sind, mittels der Vorrichtungsstatusda ten und sendet dann die Transportaufgabenanweisung. Wenn eine Aufgabenanweisung, die mit einer Einlaßpforte 116 in Verbindung steht, an eine Lagerungsvorrichtung 36 zu senden ist, bestätigt der Hostcomputer 50, ob die Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar ist, mittels der Vorrichtungsstatusdaten und sendet dann eine Eintrittsaufgabenanweisung. Falls es als Ergebnis der Bestäti gung der Vorrichtungsstatusdaten mindestens eine Vorrichtung gibt, die nicht verfügbar ist, wartet der Hostcomputer 50 dar auf, daß die Vorrichtung verfügbar wird. Ähnlich sendet bei der Austrittsaufgabe der Hostcomputer 50 eine Austrittsaufgabenan weisung, die mit einer Auslaßpforte 86 zu einer Lagerungsvor richtung 36 verbunden ist, nachdem er bestätigt hat, daß die La gerungsvorrichtung 36 und der automatische Transportierer 38 bei der Beförderungsaufgabe zum Befördern der Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verfügbar sind. Desweiteren wird eine Austrittsaufgabenanwei sung, die mit einer Auslaßpforte 118 verbunden ist, an die Lage rungsvorrichtung 36 gesandt, nachdem bestätigt ist, daß die La gerungsvorrichtung 36 verfügbar ist.

Die Anweisung für eine Transportaufgabe wird an die Lagerungs vorrichtung 36, den automatischen Transportierer 38 oder die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 gesandt, nachdem bestätigt ist, daß alle Vorrichtungen, die mit der Transportaufgabe für den Transport zu dem Lagerplatz in der La gerungsvorrichtung 36, der der letztendliche Bestimmungsort ist, oder eine relevante Vorrichtung verfügbar sind beziehungsweise ist. Darum wird der Fall, indem eine Mehrzahl von Transportauf gabenanweisungen bei einer Transportvorrichtung angesammelt wird, die aufgrund einer Fehlfunktion nicht arbeitet, elimi niert. Außerdem wird die Aufgabe nicht während des Betriebes un terdrückt.

Entsprechend dieses Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteu erverfahrens, bei dem eine Transportaufgabenanweisung nach der Bestätigung, daß alle die Vorrichtungen, die mit der Transport aufgabe in Beziehung stehen, verfügbar sind, gesandt wird, wird ein Standbyzustand beim Einbringen einer Kassette 40 durch eine Einlaßpforte 116 erhalten werden, wenn die Vorrichtungsstatusda ten für die Lagerungsvorrichtung 36 anzeigen, daß sie nicht ver fügbar ist. Es gibt ein Problem dahingehend, daß der Bediener die Eintrittsaufgabe für diese Kassette 40 nicht löschen bezie hungsweise stornieren kann.

Das obige Problem kann eliminiert werden, wie es nachfolgend be schrieben ist. Wenn der Hostcomputer 50 die Vorrichtungsstatusda ten für die Lagerungsvorrichtung 36 auf das Empfangen eines An kunftsberichts der Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 von der Lagerungsvorrichtung 36 bestätigt, so daß ihm kenntlich wird, daß die Lagerungsvorrichtung 36 nicht verfügbar ist, kann der Hostcomputer 50 der Lagerungsvorrichtung 36 mitteilen, daß sie nicht verfügbar ist und den Bericht der Ankunft der Kassette 40 vernachlässigen. Die Lagerungsvorrichtung 36, die den Bericht empfängt, kann dem Bediener eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 liefern, daß eine Lagerung nicht ausgeführt werden kann, um auf eine Tätigkeit des Bedieners zu warten. Der Bediener, der die Anzeige auf der Bedienungstafel 121 liest, nimmt die Kasset te 40 von der Einlaßpforte 116 weg und teilt der Lagerungsvor richtung 36 durch Betätigen der Bedienungstafel 121 mit, daß die Kassette 40 weggenommen worden ist. Als Reaktion bestimmt die Lagerungsvorrichtung 36, daß die Kassette 40 weggenommen worden ist. Ein Zustand, der dem vorherigen Zustand vor dem Plazieren der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 entspricht, wird er reicht.

Wenn die Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 nicht gelagert wer den kann, da die Vorrichtungsstatusdaten für die Lagerungsvor richtung 36 anzeigen, daß sie nicht verfügbar ist, teilt der Hostcomputer 50 dieses dem Bediener entsprechend über die Lage rungsvorrichtung 36 mit. Der Zustand vor dem Plazieren der Kas sette 40 an der Einlaßpforte 116 kann erreicht werden. Darum kann der Bediener einen unterschiedliche Vorgang beziehungsweise eine unterschiedliche Verfahrensweise für die Kassette 40 anwen den.

Die Einlaßpforte 116 der Lagerungsvorrichtung 36 kann unabhängig von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden. Es ist nicht notwendig, wie in dem herkömmlichen Fall Daten über eine verfügbare Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die diesem ent spricht, über den Terminal 54 zu liefern. Desweiteren können zwei Kassetten 40 zusammen auf einmal plaziert werden, was unter Berücksichtigung der vorzüglichen Fähigkeit des Bedieners, zu arbeiten, bestimmt worden ist.

Wenn der Bediener eine Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 lagern will, wird zuerst die maximale Anzahl von zwei Kasset ten 40 an der Einlaßpforte 116 plaziert. Dann wird die Bedie nungstafel 121, die integral mit der Lagerungsvorrichtung 36 vorgesehen ist, manipuliert. Der Bediener kann die Kassette 40 an derselben Pforte ungeachtet der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Bearbeitung der Kassette 40 vervollständigen wird, oder der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die nächste Behand lung vornehmen wird, plazieren. Die Lagerungsvorrichtung 36, der durch diesen Betrieb mitgeteilt worden ist, daß die Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 plaziert ist, liest die Information, die in der ID-Karte 72 der Kassette 40 gespeichert ist, durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120. Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt.

Der Hostcomputer 50 wird nicht bestätigen, ob die Kassette 40 über die Pforte eingegeben werden kann, wie bei der herkömmli chen Vorrichtung, und sendet eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 nach dem Ermitteln des Lagerplatzes. Entsprechend der Eintrittsaufgabenanweisung, die über das Kommu nikationskabel 58 gesandt wird, initiiert die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 die Aufgabe nach dem Bestätigen eines Lager platzes auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96.

Die Lagerungsvorrichtung 36, die die Eintrittsaufgabe initiiert, befördert die erste und die zweite Kassette 40, die an der Ein laßpforte 116 plaziert sind, zu dem Lagerplatz auf der Lage rungsvorrichtungsplatte 96 mittels der Lagerungsvorrichtungs krans 80. Wenn die bezeichnete Aufgabe vervollständigt ist, sen det die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50. Derart wird die Eintrittsaufgabe für eine Eingabe durch einen Bediener vervoll ständigt.

Die Anzahl der Kassetten 40, die an der Einlaßpforte 116 der La gerungsvorrichtung 36 plaziert werden können, kann auf 2 einge stellt werden. Zwei Kassetten sind die geeignete Anzahl, wenn die Fähigkeit des Bedieners, zu arbeiten, in Betracht gezogen wird. Es ist nicht notwendig, die verfügbare Bearbeitungsvor richtung 32, 34 für die jeweilige Pforte 116 über den Hostcompu ter 50 einzustellen beziehungsweise zu setzen. Derart wird die Fähigkeit zum Ausführen der Eintrittsaufgabe zum Eingeben der Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 durch den Bediener verbessert.

Das Problem der Variation beim Gebrauch und der Belegung der Einlaßpforte 116 abhängig von der Bearbeitungsfähigkeit und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in dem Fall, in dem eine Mehrzahl von Einlaßpforten 116 vorhanden ist und die Anzahl der Einlaßpforten 116, die durch die Bearbeitungsvorrich tung 32, 34 verwendet werden können, auf 1 begrenzt ist, kann gelöst werden.

Derart kann die verfügbare Einlaßpforte 116 entsprechend einer frei wählbaren Auswahl durch dem Bediener verwendet werden.

Der Hostcomputer 50 hat die Information, die den Lagerplatz für jede Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 betrifft, nicht. Die Verwaltung des Lagerplatzes wird der Lagerungsvorrichtungs steuerung 64 überlassen. Der Lagerplatz wurde identifiziert durch Hinzufügen der Anzahl der ausgegebenen Kassetten 40 zu dem Wert der Lagerungsvorrichtungskapazität und durch Subtrahieren der eingegebenen Anzahl von Kassetten 40 von dem Wert der Lage rungsvorrichtungskapazität auf der Basis der maximalen Anzahl der Kassetten, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert wer den können.

Die Information, die dem mit Kennungen versehenen Lagerplatz ei ner Lagerungsvorrichtung 36 zugeordnet ist, wie sie in den Fig. 7A und 7B gezeigt ist, wird im voraus über den Terminal 54 an den Hostcomputer 50 angelegt. Der Hostcomputer 50 empfängt einen Bericht über den Lagerplatz, wenn eine Lagerungsaufgabe für eine Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtung 36 vervollständigt ist. Entsprechend der Information, die von der Lagerungsvorrichtungs steuerung 64 berichtet wird, wenn die Kassette 40 auf den Lage rungsvorrichtungskran 80 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entladen wird, kann der Hostcomputer 50 detektieren, daß der La gerplatz, an dem die entladene Kassette 40 gelagert war, nun verfügbar ist.

Der Hostcomputer 50 kann über den Terminal 54 eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 zum Gebrauch durch eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 spezifizieren beziehungsweise spezifiziert bekommen. Au ßerdem kann die Verwendungssequenz eingestellt werden. Zum Bei spiel können in dem Fall aus Fig. 1 zwei Auslaßpforten 86 als für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verfügbar eingestellt werden. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sendet eine Ladean frage für eine Kassette 40 an den Hostcomputer 50 über das Kom munikationskabel 58. Der Hostcomputer 50 bestimmt eine Auslaß pforte 86, die in der Reihenfolge nachfolgend zu der Auslaßpfor te 86 ist, die zuvor verwendet worden ist, oder die erste Aus laßpforte 86, wenn es keine Auslaßpforte 86 einer nachfolgenden Rangfolge aus der Mehrzahl der Auslaßpforten 86 gibt, als die Auslaßpforte, die für die Transportaufgabe für den Transport der Kassette 40 zu verwenden ist.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuer verfahrens kann eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 einer Bear beitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden. Die Verwendungs frequenz für die Auslaßpforten 86 kann durch Verwendung der Pforten 86 in der vorbestimmten Reihenfolge ausgeglichen werden. Derart kann das folgende Problem, das in den herkömmlichen Fäl len angetroffen wird, gelöst werden.

Genauer gesagt gab es ein Problem dahingehend, daß eine Variati on bei der Verwendung und Belegung der Auslaßpforten 86 für ei nen automatischen Transportierer abhängig von der Bearbeitungs fähigkeit und der Betriebsrate der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 auftrat, wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 gibt und die Anzahl der Auslaßpforten 86, die durch eine Bearbeitungsvor richtung 32, 34 verwendet werden können, auf eins begrenzt war. Dieses Problem wird in der vorliegenden Anmeldung gelöst. Selbst wenn die Bearbeitungsfähigkeit und der Betriebszustand jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 unterschiedlich ist, kann die Verwendung der Mehrzahl von Auslaßpforten 86 durch die Bearbei tungsvorrichtungen 32, 34 ausgeglichen werden, um so das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung der Auslaßpfor ten 86 zu vermeiden.

Bevorzugterweise kann der Hostcomputer eine Mehrzahl von Auslaß pforten 86, die durch eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 be nutzt werden können, über das Terminal 54 spezifizieren. Der Hostcomputer 50 kann einen Datenbereich enthalten, in dem die Anzahl der Austrittsaufgabenanweisungen, die von einer Lage rungsvorrichtung 36 ausgegeben werden, die noch nicht vervoll ständigt sind, entsprechend für jede Pforte 86 gespeichert wer den. Auf das Empfangen einer Kassettenladeanfrage von einer Be arbeitungsvorrichtung 32, 34 sucht der Hostcomputer 50 nach ei ner Auslaßpforte 86 für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die verfügbar ist. Wenn es als Ergebnis der Suche eine Mehrzahl von verfügbaren Auslaßpforten 86 gibt, vergleicht der Hostcomputer 50 den Wert in dem Datenbereich, der mit der jeweiligen Pforte in Verbindung steht, um eine spezifische Auslaßpforte 86 mit dem kleineren Wert auszuwählen. Der Wert in dem Datenbereich, der mit der ausgewählten Pforte 86 in Verbindung steht, wird um 1 erhöht, und eine Transportaufgabenanweisung wird an einen auto matischen Transportierer 38 gesandt. Wenn die Aufgabe vervoll ständigt ist, wird der Wert in dem Datenbereich, der dieser Pforte 86 entspricht, um 1 erniedrigt. Wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 gibt, die demselben Wert entsprechen bezie hungsweise diesen aufweisen, wählt der Hostcomputer 50 eine willkürliche Pforte aus der Mehrzahl der Pforten 86 und sendet eine Transportaufgabenanweisung an einen automatischen Transpor tierer 38.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuer verfahrens kann eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 einer Bear beitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden. Eine Austrittsauf gabenanweisung wird an eine andere Lagerungsvorrichtung 36 ge sandt, so daß die Anzahl der Aufgaben, die bezüglich einer Pfor te 86 noch nicht vervollständigt sind, gleich ist. Derart kann die Verwendungsfrequenz der Pforten 86 im wesentlichen ausgegli chen werden.

Das Problem der Variation der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforten 86 abhängig von der Bearbeitungsfähigkeit und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 gibt und die Anzahl der Auslaß pforten 86, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwen det werden kann, auf 1 begrenzt ist, kann eliminiert werden.

Selbst wenn die Bearbeitungsfähigkeit und der Betriebsstatus der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sich unterscheiden, kann die Mehrzahl der Auslaßpforten 86 im wesentlichen mit einer gleichen Häufigkeit bezüglich der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwen det werden. Derart kann das Problem der Variation im Gebrauch und der Belegung der Auslaßpforten 86 eliminiert werden.

Wenn es eine Ladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 für eine Kassette 40 in dem oben beschriebenen Lagerungsvorrich tungsaustrittsaufgabensteuerverfahren gibt, wählt der Hostcompu ter 50 eine Auslaßpforte 86 aus der Mehrzahl der Auslaßpforten 86 in einer gleichen Weise aus, wenn es mindestens eine Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, und sendet eine Austrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvor richtung 36. Darum kann in dem Fall, in dem die Vorwärtsbewe gungsvorrichtung 84, die die Kassette 40 von der Auslaßliefe rungspforte 100 an die Auslaßpforte 86 transferiert, defekt ist, der Hostcomputer 50 die Fehlfunktion nicht detektieren und wird eine Austrittsaufgabenanweisung für die Kassette 40, die sich auf die Auslaßpforte 86 bezieht, an einen automatischen Trans portierer 38 senden.

Um dieses Problem zu vermeiden, kann der Hostcomputer 50 einen Datenbereich zum Speichern der Anzahl von Austrittsaufgaben, die durch die Lagerungsvorrichtung 36 noch nicht vervollständigt sind, bezüglich jeder der Auslaßpforten 86 halten und den oberen Grenzwert für die Anzahl der Aufgaben über den Terminal 54 set zen bzw. gesetzt erhalten.

In der Phase des Sendens einer Austrittsaufgabenanweisung, die sich auf die Auslaßpforte 86 bezieht, löscht beziehungsweise an nulliert der Hostcomputer 50 die Verwendung dieser Auslaßpforte 86, wenn der Wert in dem Datenbereich, der sich auf diese Aus laßpforte bezieht, an dem spezifischen oberen Grenzwert angekom men ist, und versucht die nächste mögliche Auslaßpforte 86 zu verwenden. Wenn es keine geeignete Auslaßpforte gibt, wird ein Warten auf die Vervollständigung einer Transportaufgabe, die mit einer verfügbaren Auslaßpforte in Verbindung steht, ausgeführt.

Der Hostcomputer 50 kann den oberen Grenzwert für die Anzahl der Aufgaben, die noch nicht vervollständigt sind, für jede Auslaß pforte 86 einstellen. Darum wird der Fall, in dem die Anzahl der Aufgaben, die noch nicht vervollständigt sind, den oberen Grenz wert überschreiten, in der Phase des Sendens einer Austrittsauf gabenanweisung, die mit einer Auslaßpforte 86 in Verbindung steht, nicht auftreten. Außerdem wird der Fall, in dem eine Mehrzahl von Austrittsaufgabenanweisungen bei einer Lagerungs vorrichtung 36 aufgrund einer Fehlfunktion der Vorwärtsbewe gungsvorrichtung 84 angesammelt werden, nicht länger auftreten.

Bevorzugterweise hält der Hostcomputer 50 Vorrichtungsstatusda ten, die anzeigen, ob die jeweilige Auslaßpforte 86 verfügbar ist oder nicht. Die Daten können über den Terminal 56 geändert werden. In der Phase des Sendens einer Transportaufgabenanwei sung, die mit einer Auslaßpforte 86 in Verbindung steht, an eine Lagerungsvorrichtung 36 überprüft der Hostcomputer 50 die Vor richtungsstatusdaten, um eine Verwendung der entsprechenden Aus laßpforte 86 zu streichen beziehungsweise zu annullieren, wenn die Daten anzeigen, daß sie nicht verfügbar ist. Die Verwendung der nächsten möglichen Auslaßpforte 86 wird als der Kandidat, das heißt als die nächste Möglichkeit, genommen. Wenn es keine verfügbare Auslaßpforte 86 gibt, wird ein Warten ausgeführt, bis die Vorrichtungsstatusdaten für die nicht verfügbare Auslaßpforte 86 in Daten geändert sind, die "verfügbar" anzeigen.

Da der Hostcomputer 50 Vorrichtungsstatusdaten hält, die anzei gen, ob die jeweilige Auslaßpforte 86 verfügbar ist oder nicht, können die Daten einer Auslaßpforte 86, wenn sie defekt ist, in "nicht verfügbar" durch einen Bediener über den Terminal 56 ge ändert werden. Darum kann der Hostcomputer 50 eine defekte Aus laßpforte 86 detektieren und die Übertragung einer Austrittsauf gabenanweisung, die mit dieser Pforte in Verbindung steht, an die Lagerungsvorrichtung 36 annullieren beziehungsweise sperren. Desweiteren kann der Um 99999 00070 552 001000280000000200012000285919988800040 0002019816130 00004 99880stand, bei dem eine Mehrzahl von Aus trittsaufgabenanweisungen bei einer Lagerungsvorrichtung 36 auf grund einer Fehlfunktion der Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 an gesammelt wird, nicht länger angetroffen werden.

Während der Phase der Eintrittsaufgabe bezüglich der Lagerungs vorrichtung 36 als Reaktion auf eine Ladeanfrage für eine Kas sette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 kann der Host computer 50 an einen automatischen Transportierer 38 eine Trans portaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die mit der Auslaßpforte 86 in Verbindung steht, selbst dann senden, falls die Austrittsaufgabe noch nicht vervollständigt ist, entsprechend der Information, die den Aufgabenfortschritt, d. h. den Fortschritt des Abarbei tens der Aufgabe, anzeigt, die von der Lagerungsvorrichtung 36 während der Aufgabe beziehungsweise des Abarbeitens der Aufgabe berichtet wird, d. h. von dem Beginn bis zu dem Ende der Aufgabe.

Der Hostcomputer 50 empfängt eine Ladeanfrage für eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, um eine Austrittsauf gabenanweisung, die mit einer Auslaßpforte 86 in Verbindung steht, an eine Lagerungsvorrichtung 36 zu senden. Der Hostcompu ter 50 kann auch eine Transportaufgabenanweisung an den automa tischen Transportierer 38 für einen Transport der momentanen Kassette 40 an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die mit einer Auslaßpforte 86 in Verbindung steht, senden, bevor die Aus trittsaufgabe vervollständigt ist. Dieses bedeutet, daß eine Vorwärtsaufgabe für den automatischen Transportierer 38, d. h. eine Aufgabe zum Verschieben des automatischen Transportierers 38 von der Standbyposition zu der Quelle des Transportes, paral lel zu der durch die Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführten Aus trittsaufgabe ausgeführt werden kann.

Wenn die Austrittsaufgabe bezüglich der Auslaßpforte 86 vervoll ständigt ist, wird die Transportaufgabenanweisung, die mit der selben Pforte 86 in Verbindung steht, für einen Transport zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an den automatischen Transportie rer 38 gesendet. Darum kann das Problem einer Kassette 40, die auf der Auslaßpforte 86 verbleibt, während der Bewegung des au tomatischen Transportierers 38 von der Standbyposition zu dieser Pforte 86 vermieden werden.

Derart kann die Zeit, die für die Transportaufgabe für den Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der Bear beitungsvorrichtung 32, 34 benötigt wird, verkürzt werden.

Herkömmlicherweise initiiert der automatische Transportierer 38 auf das Empfangen einer Transportaufgabenanweisung für den Transport einer Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der Bear beitungsvorrichtung 32, 34 von dem Hostcomputer 50 hin die Auf gabe, um sich von der Standbyposition zu der Position vor der Auslaßpforte 86 der spezifizierten Lagerungsvorrichtung 36 zu bewegen. Dann beginnt der automatische Transportierer 38 den Be trieb des Entladens der Kassette 40 aus der Auslaßpforte 86. Der automatische Transportierer 38 bestätigt vor dieser Entladeope ration, ob die Kassette 40 auf der Auslaßpforte 86 plaziert ist. Die Bestimmung eines Fehlerstatus wird gemacht, wenn es keine Kassette 40 auf der Auslaßpforte 86 gibt. Ein Fehler wird sofort an den Hostcomputer 50 gemeldet.

Es wird der Fall angenommen, in dem der Hostcomputer 50 eine Aufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 vor der Vervollständigung der Austrittsaufgabe für die Ausgabe der Kas sette 40 über die Auslaßpforte 86 sendet. Es gibt eine Möglich keit, daß die Kassette 40 nicht auf der Auslaßpforte 86 plaziert ist, wenn der automatische Transportierer 38 an der Auslaßpforte 86 ankommt. In einem solchen Fall wird der automatische Trans portierer 38 eine Fehlermeldung ausgeben, so daß die Transport aufgabe häufig unterbrochen wird.

Dieses Problem wird vermieden, wie es im folgenden erläutert wird. Der automatische Transportierer 38 empfängt von dem Host computer 50 eine Transportaufgabenanweisung für den Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 der Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und initiiert dann die Transportaufgabe. In der Phase, in der sich der automatische Transportierer 38 von der Standbyposition zu der Auslaßpforte der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 bewegt, um die Kassette 40 auf der Auslaßpforte 36 zu entladen, kann der automatische Transportierer 38 die Ausgabe einer Fehlermeldung unterdrücken, selbst falls die relevante Kassette 40 fehlt, und auf die Kas sette 40 für eine vorbestimmte Zeit warten. Wenn die Kassette 40 innerhalb der vorbestimmten Zeit an die Auslaßpforte 86 gelie fert wird, initiiert der automatische Transportierer 38 sofort den Betrieb des Entladens der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 auf eine Transferhalterung 150 des automatischen Transportie rers 38. Wenn die relevante Kassette bei Ablauf der vorbestimm ten Zeit nicht auf der Pforte 86 plaziert ist, d. h. wenn die Kassette 40 nicht von der Auslaßlieferungspforte 100 durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 transferiert wird, wird die Be stimmung gemacht, daß ein Fehler vorliegt, und eine Fehlermel dung wird an den Hostcomputer 50 gesendet.

Mittels des oben beschriebenen Mechanismus beziehungsweise der oben beschriebenen Vorgehensweise kann der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 für einen Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 senden, bevor die Aus trittsaufgabe für die Ausgabe der Kassette 40 an die Auslaßpfor te 86 vervollständigt ist. Darum kann die Standbyzeit für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Ladeanfrage ausgegeben hat, reduziert werden.

Der Hostcomputer 50 sendet an den automatischen Transportierer 38 eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport einer Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu einer Ein laßpforte 88. Der automatische Transportierer 38, der die Aufga benanweisung empfängt, initiiert die Transportaufgabe und ent lädt die Kassette 40 von dem Kassettenstand 172, 182 der Bear beitungsvorrichtung 32, 34 und transportiert die Kassette 40 zu der Einlaßpforte 88 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sendet eine Ladeanfrage für eine Kassette 40 an den Hostcomputer 50, wenn die vorhergehende Kas sette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 durch den automatischen Transportierer 38 entladen, d. h. von dort entfernt, worden ist.

Als Reaktion auf diese Ladeanfrage sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungs vorrichtung 36. Eine Austrittsaufgabe zur Ausgabe einer Kassette 40 an die Auslaßpforte 86 wird durch die Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt. Dann wird eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der Bear beitungsvorrichtung 32, 34 an einen automatischen Transportierer 38 gesandt. Wie unter Bezugnahme auf Fig. 8 beschreiben worden ist, der automatische Transportierer 38 enthält mindestens zwei Kassettentransferhalterungen 150. Der automatische Transportie rer 38 bewegt sich zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 mit ei ner Kassette 40 auf einer Transferhalterung 150 und plaziert ei ne Kassette 40 auf einem Kassettenstand 172, 182, für die ange fordert wurde, daß sie übergeben wird, auf einer Kassettentrans ferhalterung 150. Der automatische Transportierer 38 kann außer dem die transportierte Kassette 40 auf der Kassettentransferhal terung 150 zu dem nun leeren Kassettenstand 172, 182 transferie ren. Jedoch sendet der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenan weisung für einen Transport einer Kassette von der Bearbeitungs vorrichtung 32, 34 zu einer Einlaßpforte 88 und eine Transport aufgabenanweisung einer Kassette 40 von einer Auslaßpforte 86 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 individuell an einen automa tischen Transportierer 38, wodurch die Kassetten 40 entsprechend transferiert werden.

Um diesen Nachteil zu verbessern, kann der Hostcomputer 50 eine Steuerung liefern, wie sie im folgenden erläutert wird. Wenn der Hostcomputer 50 eine Übergabeanfrage für eine Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 empfängt, sucht der Host computer 50 nach einer Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36. Der Hostcomputer 50 wird keine ein zelne Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transpor tierer 38 für einen Transport von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu einer Einlaßpforte 88 senden. Zuerst sendet der Host computer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36 eine Austrittsaufga benanweisung für eine Ausgabe einer Kassette 40, die bearbeitet werden kann, über eine Auslaßpforte 86. Auf das Empfangen des Berichtes, daß die Austrittsaufgabe vervollständigt ist, sendet der Hostcomputer 50 an den automatischen Transportierer 38 eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40, die zu übergeben ist, von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 und eine Transportaufgabenanweisung für ei nen Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der Be arbeitungsvorrichtung 32, 34 als eine Transportaufgabenanwei sung.

Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die die Transportaufgabe empfängt, die den beiden Transportaufgaben ent spricht, liefert eine Steuerung derart, daß der automatische Transportierer sich in Richtung der Auslaßpforte 86 der Lage rungsvorrichtung 36 bewegt. Der automatische Transportierer 38 plaziert die Kassette 40, die sich auf der Auslaßpforte 86 be findet, auf der Transferhalterung 150 unter Verwendung des Armes 144, der Hand 146 und der Handklaue 148. Dann bewegt sich der automatische Transportierer 38 in Richtung der Bearbeitungsvor richtung 32, 34. An der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angekom men plaziert der automatische Transportierer 38 zuerst die Kas sette 40, die sich auf dem Kassettenstand 172, 182 befindet, auf seiner leeren Transferhalterung 150 unter Verwendung des Armes 144, der Hand 146 und der Handklaue 148 wie in dem vorherigen Fall, wobei die transportierte Kassette 40 auf der Transferhal terung 150 verbleibt. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, wird die Kassette 40, die von der Auslaßpforte 86 geholt worden und auf der Transferhalterung 150 plaziert worden ist, auf den Kas settenstand 172, 182 entladen. Dann liefert die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer eine Steuerung derart, daß der Wagen 140 sich der Einlaßpforte 88 der Lagerungsvorrichtung 36 nähert. Wenn der Wagen 140 an der Einlaßpforte 88 ankommt, wird die Kassette 40 auf der Transferhalterung 150 an die Einlaßpfor te 88 entladen, um die Abfolge der Aufgabe beziehungsweise der Schritte der Aufgabe zu vervollständigen.

Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer sendet ei nen geeigneten Bericht an den Hostcomputer 50, wenn die Kassette 40 auf der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 plaziert ist. Dein Hostcomputer 50 wird durch diesen Bericht mitgeteilt, daß die Kassette 40 an der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angekommen ist. Dann sendet der Hostcomputer 50 eine Bearbeitungsstartauf gabenanweisung an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 über das Kommunikationskabel 58.

Als Reaktion auf eine Übergabeanfrage für eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette, die zu bearbeiten ist und in der Lagerungs vorrichtung 36 gelagert ist, und sendet eine Transportaufgaben anweisung an 1 automatischen Transportierer 38 mit 2 Kassetten 40 als einem Paar, das heißt die zwei Kassetten 40 betrifft. Der automatische Transportierer 38, der diese Transportaufgabenan weisung empfängt, führt die Reihe von Aufgaben beziehungsweise Aufgabenschritten in der Abfolge der Aufgabe des Holens der Kas sette auf der Auslaßpforte 86, der Aufgabe des Holens der Kas sette 40 auf der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, der Aufgabe des Entladens der Kassette 40 von der Transferhalterung 150 an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und der Aufgabe des Entladens der bearbeiteten Kassette 40 von der Transferhalterung 150 zu der Einlaßpforte 88 aus. Im Vergleich mit dem Fall, in dem die Transportaufgabe für einen Transport der Kassette 40 von der Be arbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 und die Transportaufgabe für einen Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 separat durch den automatischen Transportierer 38 ausgeführt werden, kann die Zeit, die für die Transportaufgaben benötigt wird, re duziert werden. Darum kann die Betriebsrate des automatischen Transportierers 38 reduziert werden und die Kassette 40 kann der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 schnell geliefert werden.

Dem Hostcomputer 50 kann eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118, die bezüglich 1 Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden können, über den Terminal 54 spezifiziert werden. Außerdem kann zusammen damit die Verwendungsabfolge derselben spezifiziert werden. Zwei Auslaßpforten 118 können zugeordnet werden, um mit einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet zu werden. Wenn eine Ladeanfrage für eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvor richtung 32, 34 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikations kabel 58 übertragen wird, wählt der Hostcomputer 50 die Auslaß pforte 118, die in der Reihenfolge der zuvor verwendeten Auslaß pforte 118 nachfolgend ist, oder die erste Auslaßpforte 118, wenn keine Auslaßpforte mit einer nachfolgenden Rangfolge spezi fiziert ist, aus. Die ausgewählte Auslaßpforte 118 wird dazu be stimmt, für diese Transportaufgabe für die Kassette 40 verwendet zu werden.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuer verfahrens kann eine Mehrzahl von Auslaßpforten einer Bearbei tungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden. Es ist daher möglich, die Verwendungshäufigkeit der Auslaßpforten 118 entsprechend ei ner vorbestimmten Reihenfolge gleich einzustellen.

Es wird das Problem der Variation in der Verwendung und der Be legung der Auslaßpforten 118 abhängig von der Bearbeitungsfähig keit und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118 gibt und die Anzahl der Auslaßpforten 118, die für eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden können, begrenzt ist, gelöst.

Darum können, selbst falls die Bearbeitungsfähigkeit und der Be triebsstatus der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 differieren, die Auslaßpforten 118 mit einer im wesentlichen gleichen Häufigkeit durch jede beziehungsweise die jeweiligen Bearbeitungsvorrich tungen 32, 34 verwendet werden. Das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforten 118 wird elimi niert.

Bevorzugterweise können dem Hostcomputer 50 eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118, die durch eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden können, über den Terminal 54 spezifiziert wer den. Außerdem kann der Hostcomputer 50 einen Datenbereich auf weisen beziehungsweise halten, in dem die Anzahl der Aus trittsaufgabenanweisungen, die noch nicht vervollständigt sind, aus der Mehrzahl der Austrittsaufgabenanweisungen, die von einer Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben werden, bezüglich jeder Aus laßpforte 118 gespeichert wird.

Auf das Empfangen einer Kassettenladeanfrage von einer Bearbei tungsvorrichtung 32, 34 sucht der Hostcomputer 50 nach einer Einlaßpforte 118, die für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verfügbar ist. Wenn es eine Mehrzahl von verfügbaren Auslaßpfor ten 118 gibt, vergleicht der Hostcomputer 50 den Wert, der für jede Pforte 118 in dem Datenbereich gespeichert ist, und wählt die Auslaßpforte 118 aus, die dem kleinsten Wert entspricht. Der Hostcomputer 50 addiert 1 zu dem Wert in dem Datenbereich, der der ausgewählten Pforte 118 zugeordnet ist, und sendet eine Aus trittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, subtrahiert der Hostcomputer 50 von dem Wert in dem Datenbereich 1. Wenn es eine Mehrzahl von Aus laßpforten 118 gibt, die dem kleinsten Wert entsprechen, wählt der Hostcomputer 50 eine willkürliche Pforte aus den Pforten aus, die dem kleinsten Wert entsprechen.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuer verfahrens kann eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118 einer Bear beitungsvorrichtung 32, 34 durch den Hostcomputer 50 zugeordnet werden. Der Hostcomputer 50 sendet eine Austrittsaufgabenanwei sung an eine Lagerungsvorrichtung 36, so daß die Anzahl der Auf gaben, die noch nicht vervollständigt ist, gleich ist. Darum kann die Verwendungshäufigkeit bzw. -frequenz der Auslaßpforte 118 im wesentlichen ausgeglichen werden.

Das Problem der Variation bei der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforte 118 abhängig von der Bearbeitungsfähigkeit und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118 gibt, wobei die Anzahl der Auslaßpforten 118, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden kann, begrenzt ist, kann gelöst werden.

Selbst wenn die Bearbeitungsfähigkeit und der Betriebszustand jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 sich unterscheiden, kann die Auslaßpforte 118 im wesentlichen gleich bezüglich der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden. Das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforte 118 wird gelöst.

Auf das Empfangen einer Austrittsaufgabenanweisung für eine Kas sette, die mit einer Auslaßpforte 86 oder einer Auslaßpforte 118 verbunden ist, von dem Hostcomputer 50 über das Kommunikations kabel 58 kann die Lagerungsvorrichtung 36 die Austrittsaufgabe initiieren und außerdem an den Hostcomputer 50 über das Kommuni kationskabel 58 den Status den Fortschritts, wenn die Aufgabe initiiert ist, wenn die Kassette 40 von der Lagerungsvorrich tungsplatte 96 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 entladen ist, und wenn die Aufgabe vervollständigt ist, berichten. Die Lagerungsvorrichtung 36 kann außerdem einen Bericht über das Kommunikationskabel 58 an die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtungssteuerung 66 über den Status des Fort schreitens der Aufgabe, wenn die Aufgabe initiiert ist, wenn die Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 durch den La gerungsvorrichtungskran 80 entladen ist, und wenn die Aufgabe vervollständigt ist, senden, als Reaktion auf eine Transferauf gabenanweisung für einen Transfer einer Kassette 40 zu einer Pforte 98 von der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrich tungssteuerung 66 über das Kommunikationskabel 58.

Die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 sendet einen Bericht über den Status des Fortschreitens der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabenanweisung an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58. Der Hostcompu ter 50 stellt das Senden einer Austrittsaufgabenanweisung oder einer Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 beziehungsweise die Zwischenlage rungsvorrichtungstransportvorrichtung 42, die sich auf dieselbe Pforte bezieht, zurück bis ein Bericht über das Fortschreiten der Aufgabe anzeigt, daß der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entladen hat.

Bezüglich der Aufgabenanweisung, die von dem Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36 und die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung 42 geliefert worden ist, sendet die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht, der anzeigt, daß der La gerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von der Lagerungsvor richtungsplatte 96 entladen hat. Außerdem stellt der Hostcompu ter 50 das Absenden einer Austrittsaufgabenanweisung und einer Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 und die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung 42, die sich auf dieselbe Pforte be ziehen, zurück bis er einen Bericht über ein Fortschreiten emp fängt, der anzeigt daß der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entladen hat. Darum existieren der Vorteil, daß der Hostcomputer 50 keine ex zessive Menge von Aufgabenanweisungen an die Lagerungsvorrich tung 36 und die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrich tung 42 sendet, und der Vorteil, daß die Lagerungsvorrichtung 36 und die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 nicht unbelegt in einem Standbyzustand für eine Aufgabe verblei ben, zusammen.

Das Problem, daß die angestrebte Anzahl von Aufgaben aufgrund der Unterdrückung einer Aufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 ungeachtet der ausreichenden Transportkapazität der Lage rungsvorrichtung 36 und der Zwischenlagerungsvorrichtungstrans portvorrichtung 42 nicht ausgeführt werden kann, kann gelöst werden. Außerdem wird das Problem gelöst, daß der Hostcomputer 50 eine zu große Anzahl von Aufgabenanweisungen ungeachtet des Fortschreitens der Aufgabe bei der Lagerungsvorrichtung 36 und der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 sendet, so daß eine Erholung beziehungsweise eine Rückkehr zu einem kor rekten Zustand verzögert wird, wenn die Lagerungsvorrichtung 36 und die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 de fekt sind.

Der Hostcomputer 50 hält Daten, die den Status des momentanen Fortschreitens der Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 anzeigen, um einen verfügbaren Lagerplatz in dieser zu identifi zieren. Jedoch gibt es eine Möglichkeit, daß sich diese Daten von den tatsächlichen Daten über den momentanen Fortschritt der Kassette 40, die durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 ge haltert werden, aufgrund eines Kommunikationsleitungsfehlers zwi schen dem Hostcomputer 50 und der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 oder aufgrund eines Datenverlustes aufgrund eines Systemfeh lers des Hostcomputers 50 unterscheiden. In einem solche Fall wird der Hostcomputer 50 fehlerhafterweise annehmen, daß es ei nen verfügbaren Platz zur Lagerung einer Kassette 40 in der La gerungsvorrichtung 36 gibt. Darum antwortet der Hostcomputer 50 auf eine Übergabeanfrage für Kassetten 40 von der Bearbeitungs vorrichtung 32, 34 damit, daß ein automatischer Transportierer 38 eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 befördert. Wenn diese Aufgabe vervollstän digt ist, sendet der Hostcomputer 50 eine Eintrittsaufgabenan weisung für diese Kassette 40 an die Lagerungsvorrichtung 36. Jedoch kann die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 nicht gela gert werden, da es tatsächlich keinen verfügbaren Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, was in einer Unterbrechung der Aufgabe beziehungsweise der Abarbeitung der Aufgabe resultiert. Ein ähnlicher Fall kann für die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportaufgabe für eine Kassette 40 erwartet werden. In diesem Fall kann die Kassette 40, die an der Pforte 98 ankommt, nicht gelagert werden, da es keinen Speicherplatz gibt, was in einer Unterbrechung der Aufgabe resultiert. In dem Fall, in dem eine Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 vorhanden ist, wird der Hostcomputer 50 annehmen, daß es einen verfügbaren Raum in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt und eine Eintrittsaufgabenan weisung an die Lagerungsvorrichtung 36 senden. Jedoch wird die Aufgabe unterbrochen werden, da es tatsächlich keinen leeren Raum beziehungsweise Platz gibt. Es gibt außerdem eine Möglich keit, daß der Hostcomputer 50 annehmen wird, daß die Lagerungs vorrichtung 36 mit Kassetten 40 aufgefüllt ist, obwohl es einen verfügbaren Platz in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, so daß die Initiierung einer Aufgabe, die mit einem Eintritt bezie hungsweise einer Eingabe einer Kassette verbunden ist, zurückge stellt wird.

Es ist unabdingbar, den Unterschied zwischen den momentanen Da ten über den Fortschritt einer Kassette in der Lagerungsvorrich tung 36 unter der Verwaltung durch den Hostcomputer 50 und den momentanen Daten über den Fortschritt unter der Verwaltung durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 zu identifizieren, um die Unterbrechungszeit für die Aufgabe, die mit der in Rede stehen den Lagerungsvorrichtung 36 verbunden ist, zu reduzieren.

Das Problem wird gelöst, wie es im folgenden erläutert ist. Als Reaktion auf eine Anweisung von einem Bediener über den Terminal 56 weist der Hostcomputer 50 bezüglich der spezifizierten Lage rungsvorrichtungssteuerung 64 an, daß die ID-Daten von allen Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert sind, zu berichten sind. Diese Anweisung wird an die Lagerungs vorrichtungssteuerung 64 über das Kommunikationskabel 58 über tragen. Als Reaktion sendet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen Bericht über alle Daten über den momentanen Fortschritt der Kassetten 40 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikations kabel 58. Der Hostcomputer 50 vergleicht seine eigenen ID-Daten über die Kassetten 40, die in der relevanten Lagerungsvorrich tung 36 gespeichert sind, mit den Daten über den momentanen Fortschritt von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64. Irgendein Unterschied wird auf der Anzeige des Terminals 56 angezeigt, um ihn dem Bediener mitzuteilen.

In dem Fall, in dem eine Kassette 40 an der Einlaßpforte 88, der Pforte 98, oder der Einlaßpforte 116 verblieben ist, so daß die Ausführungseintrittsaufgabe verhindert wird, oder in dem eine Eintrittsaufgabe nicht initiiert wird, obwohl es einen verfügba ren Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, vergleicht der Hostcomputer 50 seine eigenen ID-Daten über die Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert sind, mit den ID-Daten über die Kassetten 40, die durch die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 gehalten werden, entsprechend einer Anweisung von dem Bediener über das Terminal 56. Die Differenz, die sich als ein Ergebnis des Vergleichs ergibt, kann auf die Anzeige des Terminals 56 geliefert werden, um den Bediener zu informieren, wo das Problem liegt. Der Bediener kann unter Bezugnahme auf die ID-Daten über die gelagerten Kassetten 40, die durch den Host computer 50 gehalten werden, und diejenigen, die durch die Lage rungsvorrichtungssteuerung 64 gehalten werden, geeignete Maßnah men treffen, um aus dem unterbrochenen Zustand wieder heraus zu kommen.

Wenn der Hostcomputer 50 die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 befragt, kann eine Abfrage über alle die ID-Daten für eine Lage rungsvorrichtung zusammen auf einmal durchgeführt werden. Wenn jedoch die Datenmenge groß ist, ist es möglich, eine Abfrage entsprechend der Lagerungsvorrichtungseinheiten von STK01 bis STK04, wie sie in den Fig. 7A und 7B gezeigt sind, auszuführen.

Entsprechend einer Anweisung, die durch den Bediener über den Terminal 56 eingegeben wird, fragt der Hostcomputer 50 die Lage rungssteuerung 64 über die ID-Daten der Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert sind, ab. Diese ID-Daten werden mit den ID-Daten, die in dem Hostcomputer 50 bezüglich der Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert sind, gehalten werden, verglichen. Ein Unterschied in den ID- Daten als ein Ergebnis dieses Vergleichs kann durch Diskrepanz verursacht werden, wobei der Hostcomputer 50 annimmt, daß es ei ne Kassette 40 gibt, wohingegen die Lagerungsvorrichtungssteue rung 64 annimmt, daß es keine Kassette 40 gibt, oder umgekehrt. Der Hostcomputer 50 liefert eine Anzeige der Differenz in den ID-Daten auf dem Terminal 56 ohne Unterscheidung zwischen die sen.

Wenn die Daten der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 korrekt sind, fügt der Bediener den Daten des Hostcomputers 50 über den Terminal 56 die Daten für die Kassette oder Kassetten 40 hinzu, von denen durch den Hostcomputer 50 angenommen wurde, daß sie nicht vorhanden sind. Andererseits löscht der Bediener aus den Daten des Hostcomputers 50 über den Terminal 56 die Daten der Kassette oder Kassetten 40, von denen der Hostcomputer 50 ange nommen hat, daß sie vorhanden sind. Dieser Vorgang ist ohne Be achtung der beiden Gründe, die sich voneinander unterscheiden, auszuführen. Jedoch wird der Hostcomputer 50 auf dem Terminal 56 kein Ergebnis liefern, daß sich entsprechend der beiden Gründe unterscheiden wird. Daher gab es ein Problem dahingehend, daß die Erholung beziehungsweise Aktualisierung der ID-Daten des Hostcomputers 50 durch den Bediener zeitraubend war.

Diese Schwierigkeit kann beseitigt werden, wie es im folgenden ausgeführt ist. In der Phase des Vergleichens der Daten, die von der Lagerungsvorrichtung 36 berichtet werden, über die Kassette 40, die darin gelagert ist, mit den ID-Daten, die in dem Host computer 50 gehalten sind, kann der Hostcomputer 50 auf dem Ter minal 56 die Unterscheidung zwischen den ID-Daten über die Kas sette 40, von der durch den Hostcomputer 50 angenommen wird, daß sie vorhanden ist, und von der durch die Lagerungsvorrichtungs steuerung 64 angenommen wird, daß sie nicht vorhanden ist, und den ID-Daten über die Kassette 40, von der durch den Hostcompu ter 50 angenommen wird, daß sie abwesend ist, und von der durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 angenommen wird, daß sie vorhanden ist, geliefert werden.

Durch Liefern der obigen Unterscheidung auf dem Terminal 56 kann der Bediener klar die Inhalte für die Wiedergewinnungsaufgabe identifizieren, um die dafür benötigte Zeit zu reduzieren.

Der oben beschriebene Hostcomputer 50 reagiert auf eine Anwei sung von dem Bediener über den Terminal 56 zum Befragen der La gerungsvorrichtungssteuerung 64 nach ID-Daten einer Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, wobei die ID- Daten über die Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, die durch den Hostcomputer 50 gehalten werden, mit denjenigen der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 verglichen wer den. Die als ein Ergebnis des Vergleichs unterschiedlichen Daten werden direkt auf dem Terminal 56 geliefert. Darum muß der Be diener sich dem Terminal 56 nähern, um die Daten, die durch den Hostcomputer 50 gehalten werden, zu modifizieren.

Diese Schwierigkeit kann eliminiert werden, wie es im folgenden ausgeführt ist. Zusätzlich zu dem Liefern des Vergleichsergeb nisses auf dem Terminal 56 kann der Hostcomputer 50 alle ID- Daten bezüglich der Kassette(n) 40, die in der Lagerungsvorrich tung 36 gelagert ist (sind), die in ihm gehalten werden, mit den ID-Daten, die in dem Bericht enthalten sind, der von der Lage rungsvorrichtung 64 gesandt wird, auf die Genehmigung von dem Bediener über den Terminal 56 hin, überschreiben.

Dementsprechend kann der Bediener auf einmal die Aufgabe des Hinzufügens oder Löschens von ID-Daten für eine Kassette 40 be ziehungsweise die Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist beziehungsweise sind, für den Hostcomputer 50 ausführen. Die Erholungszeit für beziehungsweise nach einer Stö rung kann signifikant reduziert werden.

Entsprechend einer Anweisung von dem Bediener über den Terminal 56 fragt der Hostcomputer 50 die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 nach den Daten über den momentanen Fortschritt der Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert ist. Der Hostcomputer 50 vergleicht seine eigenen Daten über den momenta nen Fortschritt mit den Daten über den momentanen Fortschritt der Kassette 40, die durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gehalten werden. Hier werden nur die ID-Daten der Kassette (n) 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert ist (sind), ver glichen. Darum wird in dem Fall, in dem der Hostcomputer 50 auch den Lagerplatz der Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 verwaltet, der Unterschied zwischen dem Lagerplatz der Kassette 40, der von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 angenommen wird, und dem Lagerplatz der Kassette 40, der durch den Hostcom puter 50 angenommen wird, falls ein solcher vorhanden ist, keine fehlende Übereinstimmung als Ergebnis des Vergleichs durch den Hostcomputer 50 verursachen. Dieser Unterschied wird nicht auf der Anzeige auf dem Terminal 56 geliefert.

Diese Schwierigkeit kann vermieden werden, wie es im folgenden ausgeführt ist. Als Reaktion auf die Befragung über die Daten über den momentanen Fortschritt der Kassette 40 von dem Hostcom puter 50 hin gibt die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht über die ID-Daten der Kassette 40 und die Lagerungsvorrichtungsein heitsnummer, die Regalplattennummer und die Positionsnummer, die den Lagerplatz identifizieren, an den Hostcomputer 50. Der Host computer 50 vergleicht die empfangen Daten mit seinen eigenen Daten, d. h. den ID-Daten über die Kassette 40, welche die Daten über den momentanen Fortschritt der Lagerungsvorrichtung 36 sind, und die Lagerungsvorrichtungseinheitsnummer, die Regal plattennummer und die Positionsnummer, die den Lagerplatz anzei gen, die durch den Hostcomputer 50 gehalten werden, um zu bestä tigen, ob es eine Differenz in den Lagerplatzdaten zusätzlich zu einer Differenz in den ID-Daten gibt. Der Hostcomputer liefert eine Anzeige auf dem Terminal 56 für jedweden Unterschied zwi schen den Daten.

Mittels des obigen Mechanismus kann der Unterschied zwischen den Daten über den momentanen Fortschritt der Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, zwischen dem Hostcom puter 50 und der Lagerungsvorrichtung 64 auf der Basis des La gerplatzes identifiziert werden. Desweiteren ist es möglich, ei ne in Frage stehende Kassette 40 selbst in einer Lagerungsvor richtung 36 mit einer großen Kapazität zu erfassen beziehungs weise aufzufinden.

Ein Beispiel einer anderen Struktur der Lagerungsvorrichtung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Fig. 12 bis 14 be schrieben.

Eine Lagerungsvorrichtung 190 weist eine auf einen automatischen Transportierer bezogene Auslaßpforte 196, die vergleichbar zu der Auslaßpforte 86 der Lagerungsvorrichtung 36 ist, auf. Bei der Lagerungsvorrichtung 190 ist die Anzahl der Kassetten 40, die auf der Pforte 196 montiert beziehungsweise gehalten werden kann, gleich zu der Maximalanzahl von Kassetten eingestellt, die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zum Laden angefordert werden kann, d. h. der Maximalanzahl von Kassetten, die aus der Auslaßpforte 196 entladen werden. Hier können zwei Kassetten 40 auf der Pforte 196 gehalten werden.

Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sendet an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 eine Ladeanfrage für Kassetten 40. Hier fordert die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 das Laden von zwei Kassetten 40, was der Bearbeitungseinheit dieser Bear beitungsvorrichtung 32, 34 entspricht. Als Reaktion identifi ziert der Hostcomputer 50, ob es eine Kassette 40 in der Lage rungsvorrichtung 190 gibt, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet werden kann. Wenn es zwei oder mehr Kassetten in der Lagerungsvorrichtung 190 gibt, die bearbeitet werden kön nen, wird die Anzahl der auszugebenden Kassetten auf 2 spezifi ziert und eine Austrittsaufgabenanweisung für einen Ausgeben der beiden Kassetten 40 an der Auslaßpforte 196 wird an die Lage rungsvorrichtungssteuerung 64 gesandt.

Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 transferiert die erste Kassette 40 an eine Auslaßlieferungspforte 192 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Die Lagerungsvorrichtungs steuerung 64 steuert dann eine Vorwärtsbewegungsvorrichtung 200 so an, daß die Kassette 40 auf der Auslaßlieferungspforte 192 zu der Auslaßpforte 186 bewegt wird. Parallel zu der Austrittsauf gabe für die erste Kassette 40 wird die Austrittsaufgabe für die zweite Kassette 40 entsprechend einer ähnlichen Prozedur an ei nem unterschiedlichen Haltepunkt ausgeführt. Wenn die beiden Kassetten an die Auslaßpforte 196 ausgegeben sind, sendet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50.

Als Reaktion sendet der Hostcomputer 50 eine Anweisung über das Kommunikationskabel 58 an den automatischen Transportierer 38, daß die zwei Kassetten 40 auf der Auslaßpforte 196 zu dem Kas settenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 trans portiert werden sollen. Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die diese Anweisung empfängt, ordnet einen ge eigneten aus der Mehrzahl der automatischen Transportierer 38 zu, der für die Transportaufgabe am geeignetsten ist. Die Trans portaufgabe zum Transport der Kassette 40 wird mittels Funkkom munikation unter Verwendung der steuerstationsseitigen Kommuni kationseinheit 62 und der Transportiererkommunikationseinheit 142 übertragen.

Die Transportaufgabe zum Transport der Kassette 40 durch den au tomatischen Transportierer 38 wird im folgenden beschrieben. An fänglich bewegt sich der Wagen 140 von dem Bereitschaftsplatz zu der Auslaßpforte 196 der Quellenlagerungsvorrichtung 190 ent sprechend des Führungsbandes 156, das an dem Boden befestigt ist. Wenn der Wagen 140 an der Auslaßpforte 196 ankommt, bestä tigt der automatische Transportierer 38 über einen an den auto matischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 102, ob die erste Kassette 40 auf der Auslaßpforte 196 vorhanden ist. Falls die erste Kassette 40 vorhanden ist, steuert der automati sche Transportierer 38 den Arm 144, die Hand 146 und die Hand klaue 148 zum Holen der ersten Kassette 40, die sich auf der Auslaßpforte 196 befindet, auf seine eigene Transferhalterung 150 an. Eine vergleichbare Prozedur wird für die zweite Kassette 40 ausgeführt. Die zweite Kassette 40 wird auf einer anderen Transferhalterung 150 des automatischen Transportierers 38 pla ziert. Wenn diese Halterungsaufgabe vervollständigt ist, bewegt sich der Wagen 140 von der Lagerungsvorrichtung 190 in Richtung des bezeichneten Kassettenstandes 172, 182 der Bestimmungs- Bearbeitungsvorrichtung 32, 34. Wenn der Wagen 140 an dem Kas settenstand 172, 182 ankommt, plaziert der automatische Trans portierer 38 aufeinanderfolgend die Kassetten 40 auf den Trans ferhalterungen 150 auf den bezeichneten Kassettenstand 172, 182 in einer Prozedur, die entgegengesetzt zu der oben beschriebenen ist. Wenn alle spezifizierten Aufgaben vervollständigt sind, sendet die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 einen Be richt, daß die Aufgabe vervollständigt ist.

Der Hostcomputer 50, der einen Bericht von dem automatischen Transportierer 38 empfängt, daß die Transportaufgabe zum Trans port der beiden Kassetten 40 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 vervollständigt worden ist, sendet eine Anweisung zum Starten des Bearbeitungsprozesses an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 über das Kommunikationskabel 58.

Durch Einstellen der Anzahl der Kassetten 40, die auf der Aus laßpforte 196 in der Lagerungsvorrichtung 190 gehalten bezie hungsweise montiert werden können, identisch zu der Anzahl der Kassetten 40, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die mit dieser Auslaßpforte 196 in Verbindung steht, zum Laden ange fordert worden sind, kann die Folge der Aufgaben wie die Aus trittsaufgabe zum Ausgeben der Kassette 40 von dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtung 190 zu der Auslaßpforte 196 und die Transportaufgabe zum Transportieren der Kassette 40 von der Aus laßpforte 196 zu dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungs vorrichtung 32, 34 auf der Basis der Anzahl der Kassetten ausge führt werden, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zum Laden angefordert sind.

Die Schwierigkeit, daß in dem Fall, in dem die Einheit von Kas setten, die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zum Laden an gefordert worden sind, größer als die Anzahl der Kassetten ist, die auf der Auslaßpforte 196 gehalten werden können, die ver bleibende(n) Kassette(n) 40, die die vorbestimmte Anzahl von Kassetten überschreitet beziehungsweise überschreiten, mit einer nachfolgenden Aufgabe transferiert wird/werden, wird vermieden. Das Problem, daß eine Kassette 40, die bereits an dem Kassetten stand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angekommen ist, nicht durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet werden kann, bis eine nachfolgende Kassette 40 ankommt, wird eliminiert.

Die Initiierung des Bearbeitens der Kassette 40, die auf dem Stand 172, 182 befindlich ist, durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 wird nicht länger aufgrund einer verzögerten nachfolgen den Kassette 40 verschoben beziehungsweise verzögert.

Die Lagerungsvorrichtung 190 weist weiter eine auf einen automa tischen Transportierer bezogene Einlaßpforte 198, die ähnlich zu der Einlaßpforte 88 der Lagerungsvorrichtung 36 ist, auf. In der Lagerungsvorrichtung 190 ist die Anzahl der Kassetten, die auf der Einlaßpforte 198 gehalten beziehungsweise montiert werden kann, identisch zu der Maxiinalanzahl von Kassetten, von denen durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert werden kann, daß sie übergeben werden, eingestellt. Hier können zwei Kassetten 40 auf dem Pforte 198 plaziert beziehungsweise gehal ten werden.

Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 führt die Übergabeanfrage für eine Kassette 40 für zwei Kassetten auf einmal aus. Nachdem der Hostcomputer 50 einen Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 190 für die Kassetten 40 ermittelt hat, wird eine Transportaufgaben anweisung an den automatischen Transportierer 38 auf einmal ge sandt. Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die von dem Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung für die Maximalanzahl von zwei Kassetten 40 empfängt, weist die Auf gabe einen aus der Mehrzahl der automatischen Transportierer 38 zu, der am geeignetsten für die Transportaufgabe ist. Eine Transportaufgabe wird durch Radio- beziehungsweise Funkkommuni kation unter Verwendung der steuerstationsseitigen Kommunikati onseinheit 62 und der Transportiererkommunikationseinheit 142 übertragen.

Der Transport der Kassette 40 durch den automatischen Transpor tierer 38 wird im folgenden beschrieben. Anfänglich bewegt sich der Wagen 140 von dem Bereitschaftsplatz zu der Bearbeitungsvor richtung 32, 34, von der die Kassette 40 zu entladen ist, ent sprechend des Führungsbandes 156, das an dem Boden befestigt ist. Wenn der Wagen 140 an der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 ankommt, bestätigt der automatische Transportierer 38, ob es ei ne Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 gibt, über eine an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikations einheit 174. Falls es eine Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 gibt, steuert der automatische Transportierer 38 den Arm 144, die Hand 146 und die Handklaue 148 zum Holen der ersten Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 an. Die erste Kas sette 40 wird auf der Transferhalterung 150 des automatischen Transportierers 38 plaziert. In einer vergleichbaren Weise wird die Kassette 40 von dem Kassettenstand 172, 182 auf einer ande ren Transferhalterung 150 plaziert beziehungsweise gehalten. Wenn die Halterungsaufgabe zum Halten der beiden Kassetten 40 vervollständigt ist, bewegt sich der Wagen 140 von der Quellen bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in Richtung der spezifizierten Einlaßpforte 198 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 190. Bei der Einlaßpforte 198 angekommen werden die beiden Kassetten 40 aufeinander folgend von der Transferhalterung 150 auf der Ein laßpforte 198 mit einer Prozedur, die entgegengesetzt zu der oben beschriebenen ist, plaziert. Wenn alle spezifizierten Auf gaben vervollständigt sind, sendet die Steuerung 60 für den au tomatischen Transportierer einen Bericht, daß die Aufgabe ver vollständigt ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikati onskabel 58.

Der Hostcomputer 50, der den Bericht, daß die Aufgabe vervoll ständigt ist, von dem automatischen Transportierer 38 empfängt, liefert eine Eintrittsaufgabenanweisung zum Aufnehmen von zwei Kassetten 40 über die Einlaßpforte 198 bezüglich der Lagerungs vorrichtung 190. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 antwortet auf diese Eintrittsaufgabenanweisung, die über das Kommunikati onskabel 58 gesandt wird, mit dem Ermitteln eines Lagerplatzes für die Kassetten 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und beginnt mit (dem Abarbeiten) der Eintrittsaufgabe. Die Lage rungsvorrichtung 190 steuert die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 202 zum Transferieren der ersten Kassette 40 von der Einlaßpfor te 198 zu der Einlaßlieferungspforte 194 an. Wenn diese Trans feraufgabe vervollständigt ist, wird der Lagerungsvorrichtungs kran 80 zum Transportieren der Kassette 40 auf der Einlaßliefe rungspforte 194 zu dem eingestellten Lagerungsplatz auf der La gerungsvorrichtungsplatte 96, der durch die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 ermittelt worden ist, betätigt. Die Ein trittsaufgabe zum Aufnehmen der zweiten Kassette 40 wird paral lel zu der Eintrittsaufgabe für die erste Kassette 40 an einem unterschiedlichen Haltepunkt entsprechend derselben Prozedur ausgeführt. Die Abfolge der Schritte der Aufgabe ist vervoll ständigt, wenn die zweite Kassette an dem Lagerplatz auf der La gerungsvorrichtungsplatte 96 gelagert ist. Die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 sendet einen Bericht, daß die Aufgabe vervoll ständigt ist, über das Kommunikationskabel 58 an den Hostcompu ter 50.

Durch Einstellen der Anzahl der Kassetten 40, die auf der Ein laßpforte 198 der Lagerungsvorrichtung 190 plaziert beziehungs weise gehalten werden können, identisch zu der Anzahl der Kas setten 40, bezüglich derer von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die diese Pforte 198 verwenden kann, angefordert werden kann, daß sie übergeben werden, können die Abfolge der Aufgaben wie die Transportaufgabe zum Transport der Kassetten 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 198 und die Eintrittsaufgabe zum Aufnehmen der Kassetten 40 von der Einlaß pforte 198 auf den Lagerungsplatz in der Lagerungsvorrichtung 190 auf der Basis der Anzahl der Kassetten ausgeführt werden, für die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert wor den ist, daß sie übergeben werden.

Daher kann das Problem, daß, wenn die Einheit der Kassetten, be züglich derer von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert worden ist, daß sie übergeben werden, größer als die Anzahl der Kassetten ist, die auf der Einlaßpforte 198 gehalten werden kön nen, bearbeitete Kassetten 40, die die Anzahl der Kassetten überschreiten, die auf der Einlaßpforte 198 montiert werden kön nen, an dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zurückgelassen werden, eliminiert werden. Derart wird das Problem einer langen Lieferzeit von zu bearbeitenden Kassetten 40 an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 aufgrund eines Anstiegs der Standbyzeit der Kassetten 40 für eine Transportaufgabe und der Verzögerung der Verfügbarkeit eines verfügbaren Platzes auf dem Kassettenstand 172, 182 eliminiert.

Es werden nicht länger bearbeitete Kassetten 40 auf dem Kasset tenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zurückge lassen. Der Kassettenstand 172, 182 wird nach der Bearbeitung schnell verfügbar, so daß eine neue Kassette 40, die zu bearbei ten ist, von der Lagerungsvorrichtung 190 ohne Verzögerung ge liefert wird beziehungsweise geliefert werden kann.

Unter Bezugnahme auf Fig. 13, die Lagerungsvorrichtung 190 weist weiter eine Auslaßpforte 210 für eine manuelle Ausgabe, ähnlich zu der Auslaßpforte 118 der Lagerungsvorrichtung 136, auf. Es ist zu bemerken, daß, bei der Lagerungsvorrichtung 190, die An zahl der Kassetten 40, die auf der Pforte 210 plaziert bezie hungsweise gehalten werden können, identisch zu der Maximalan zahl von Kassetten eingestellt ist, bezüglich derer von der Be arbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert werden kann, daß sie übergeben werden. Hier können zwei Kassetten auf der Auslaßpfor te 210 gehalten beziehungsweise plaziert werden.

Es wird nun der Betrieb der Lagerungsvorrichtung 190 und der Be arbeitungsvorrichtung 32, 34, die Kassetten 40, die von der La gerungsvorrichtung 190 ausgegeben werden, bearbeitet, betrach tet, wenn kein automatischer Transportierer 38 vorgesehen (oder verfügbar) ist. Eine Kassettenladeanfrage wird von der Bearbei tungsvorrichtung 32, 34 an den Hostcomputer 50 über das Kommuni kationskabel 58 gesandt. Hier sendet die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 die Ladeanfrage für die Kassette 40 für jeweils zwei Kas setten. Der Hostcomputer 50, der eine Kassettenladeanfrage emp fängt, befragt die Lagerungsvorrichtung 190, ob es eine zu bear beitende Kassette 40 für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gibt. Wenn es zwei oder mehr Kassetten, die zu bearbeiten sind, gibt, wird die Anzahl der Kassetten auf 2 eingestellt. Dann wird eine Austrittsaufgabenanweisung für die Kassetten 40, die mit der Auslaßpforte 210 in Verbindung steht, an die Lagerungsvor richtungssteuerung 64 gesandt.

Auf das Empfangen einer Austrittsaufgabenanweisung hin steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den Lagerungsvorrichtungs kran 80 zum aufeinanderfolgenden Transportieren der Kassetten 40 zu der Auslaßpforte 210, die den beiden Haltepunkten für die Kassetten 40 entspricht, an. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 liefert eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 der Lage rungsvorrichtung 190, die die Entnahme der Kassetten 40 auf der Auslaßpforte 210 erlaubt. Der Bediener, der diese Nachricht liest, nimmt die beiden Kassetten 40 von der Auslaßpforte 210 und betätigt die Bedienungstafel 121, um der Lagerungsvorrich tung 190 mitzuteilen, daß die Entladeoperation vervollständigt ist. Als Reaktion bestimmt die Lagerungsvorrichtung 190, daß die Austrittsaufgabe vervollständigt ist. Ein Bericht, daß die Aus trittsaufgabe vervollständigt ist, wird an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Bediener, der die Kassetten 40 entladen hat, nähert sich dem Terminal 56 des Host computers, um die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 herauszufinden, die die Ladeanfrage ausgegeben hat. Auf das Identifizieren der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 hin befördert der Bediener die Kassetten 40 zu dem Kassettenstand 172, 182 der entsprechenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34.

Durch Einstellen der Anzahl der Kassetten 40, die auf der Aus laßpforte 210 plaziert beziehungsweise gehalten werden können, identisch zu der Anzahl der Kassetten 40, bezüglich derer von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert wird, daß sie ge laden werden, kann die Abfolge der Aufgaben wie die Aus trittsaufgabe zur Ausgabe der Kassetten 40 von dem Lagerungs platz in der Lagerungsvorrichtung 190 zu der Auslaßpforte 210 und die Transportaufgabe zum Transportieren der Kassette 40 von der Auslaßpforte 210 zu dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbei tungsvorrichtung 32, 34 in der Einheit der Anzahl von Kassetten 40 ausgeführt werden, bezüglich der von der Bearbeitungsvorrich tung 32, 34 angefordert wurde, daß sie geladen wird. Darum ist das Problem, daß, wenn die Anzahl der Kassetten, bezüglich derer durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert worden ist, daß sie geladen werden, größer als die Anzahl der Kassetten ist, die auf der Auslaßpforte 210 plaziert beziehungsweise gehalten werden können, die Anzahl von Kassetten 40, die größer als die Anzahl der Kassetten ist, die gehalten werden können, für eine nachfolgende Austrittsaufgabe zurückgestellt werden, was die Verfügbarkeit des Bedieners verschlechtert, eliminiert.

Derart kann die Bereitschaftszeit des Bedieners reduziert wer den. Außerdem kann die Zeit, die zum Liefern von Kassetten 40 an eine geeignete Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benötigt wird, re duziert werden.

Wie in den Fig. 4 und 5 gezeigt ist, weist die Lagerungsvorrich tung 36 eine äußere Abschirmtür 122 für die Pforte 98 auf der Seite der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und eine Hubvorrichtung 124 zum Anheben/Absenken der Pforte 98 auf. Die Lagerungsvorrichtung 36 weist außerdem eine äußere Ab schirmtür 90 für die Auslaßlieferungspforte 192 und die Einlaß lieferungspforte 194 und eine äußere Abschirmtür auf der Bedie nerseite bezüglich der Einlaßpforte 116 und der Auslaßpforte 210 auf.

Der Betrieb dieser Abschirmtüren wird im folgenden beschrieben. Es ist zu bemerken, daß alle diese Abschirmtüren geschlossen werden, wenn kein Betrieb der Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt wird.

Der Betrieb der äußeren Abschirmtür 90 für die auf den automati schen Transportierer bezogene Pforte wird zuerst beschrieben. Wenn eine Ladeanfrage für eine Kassette 40 von der Bearbeitungs vorrichtung 32, 34 ausgegeben wird, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40 aus den in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagerten Kassetten 40, die zu bearbeiten ist. Eine Aus trittsaufgabenanweisung bezüglich der relevanten Kassette 40 wird an die Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben. Auf das Empfan gen einer Austrittsaufgabenanweisung hin steuert die Lagerungs vorrichtungssteuerung 64 den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transferieren der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplat te 96 zu der Auslaßlieferungspforte 100 an. Dann steuert die La gerungsvorrichtungssteuerung 64 die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 derart an, daß die Kassette 40 von der Auslaßlieferungspforte 100 zu der Auslaßpforte 86 verschoben wird. Da die äußere Ab schirmtür 90 zu diesem Zeitpunkt geschlossen ist, wird die Ab schirmtür 90 nach unten zum Öffnen bewegt. Dann wird die Kasset te 40 zu der Auslaßpforte 86 transferiert. Nachdem diese Ver schiebeaufgabe vervollständigt ist, bringt die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 90 zum Aufsteigen, wo durch die äußere Abschirmtür 90 geschlossen wird. Derart ist die Abfolge der Auslaßaufgabe vervollständigt. Die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 sendet einen Bericht, daß die Aufgabe vervoll ständigt ist, an den Hostcomputer 50.

Wenn eine Kassette 40 über eine Einlaßpforte 88 einzugeben be ziehungsweise aufzunehmen ist, reagiert die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 auf eine Eintrittsaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 damit, daß sie die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 so antreibt, daß die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 zu der Einlaßlieferungspforte 104 transferiert wird. Da die äußere Abschirmtür 90 zu diesem Zeitpunkt geschlossen ist, wird die Ab schirmtür 90 zuerst nach unten bewegt. Dann wird die Kassette 40 auf die Einlaßlieferungspforte 104 transferiert. Wenn diese Ver schiebeaufgabe vervollständigt ist, bewegt die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 90 zum Schließen nach oben. Wenn diese Aufgabe vervollständigt ist, steuert die Lage rungsvorrichtungssteuerung 64 den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Lagern der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an. Wenn diese Aufgabe vervollständigt ist, wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50 ge sandt.

Der Betrieb der äußeren Abschirmtür 114 wird nun beschrieben. Wenn eine Ladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 ausgegeben wird, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40 aus den Kassetten 40, die in der relevanten Lagerungsvorrich tung 36 gelagert sind, die zu bearbeiten ist. Dann wird eine Austrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 ge sandt. Auf das Empfangen einer Austrittsaufgabenanweisung hin steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den Lagerungsvor richtungskran 80 zum Befördern der Kassette 40 auf der Lage rungsvorrichtungsplatte 96 zu der Auslaßpforte 118 an. Dann wird eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrich tung 36 geliefert, die das Entladen der Kassette von der Auslaß pforte 118 erlaubt.

Der Bediener, der diese Nachricht liest, betätigt die Bedie nungstafel 121 zum Öffnen der äußeren Abschirmtür 114. Als Reak tion auf diese Betätigung bewegt die Lagerungsvorrichtungssteue rung 64 die äußere Abschirmtür 114 zum Öffnen nach unten. Dann entlädt der Bediener die Kassette 40 aus der Pforte. Dann betä tigt der Bediener die Bedienungstafel 121 erneut, um die Ab schirmtür 114 zum Schließen anzuheben. Derart ist die Abfolge der Austrittsaufgabe vervollständigt. Die Lagerungsvorrichtungs steuerung 64 sendet einen Bericht, daß die Aufgabe vervollstän digt ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.

Wenn der Bediener eine Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 über die Einlaßpforte 116 eingeben will, betätigt der Bedie ner die Bedienungstafel 121, damit die äußere Abschirmtür 114 zum Öffnen herunter bewegt wird. Die Lagerungsvorrichtungssteue rung 64 liefert eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121, die anzeigt, daß die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 plaziert werden kann. Der Bediener, der diese Nachricht liest, lädt die Kassette 40 auf die Pforte 116 und betätigt dann die Bedie nungstafel 121 erneut. Als Reaktion auf diese Betätigung detek tiert die Lagerungsvorrichtung 36, daß die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 plaziert ist, wodurch die äußere Abschirmtür 114 zum Schließen angehoben beziehungsweise hochgefahren wird. Die Information, die in der ID-Karte 72 der relevanten Kassette 40 gespeichert ist, wird durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ausgelesen. Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Als Reaktion darauf de tektiert der Hostcomputer 50, daß ein Bediener eine Kassette 40 transportiert hat. Der Hostcomputer 50 sendet eine Eintrittsauf gabenanweisung für diese Kassette 40 an die Lagerungsvorrichtung 36. Die Lagerungsvorrichtung 36 steuert den Lagerungsvorrich tungskran 80 zum Transferieren der Kassette 40 auf der Einlaß pforte 116 zu der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an, um die Ein trittsaufgabe zu vervollständigen.

Der Betrieb der äußeren Abschirmtür 122 wird im folgenden be schrieben. Eine Kassette 40 von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 wird auf einem Wagen 162 der Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung 42 zur Annäherung an die Pforte 98 be fördert. Wenn der Wagen 162 an der Pforte 98 ankommt, sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine Anfrage an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 über das Kommunikationskabel 58, daß die Kassette 40 auf dem Wagen 162 auf der Pforte 98 zu plazieren ist.

Die Lagerungsvorrichtung 36, die diese Anforderung empfängt, be wegt die äußere Abschirmtür 122 zum Öffnen seitwärts und steuert dann die Hubvorrichtung 124 zum Anheben der Pforte 98 an. Wenn diese Hubaufgabe vervollständigt ist, steuert die Lagerungsvor richtungssteuerung 64 die Übertragungsvorrichtung 82 derart an, daß die Kassette 40 auf dem Wagen 162 zu der Pforte 98 transfe riert wird. Dann steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die Hubvorrichtung 124 so an, daß die Pforte 98, auf welcher die Kassette 40 gehalten ist, nach unten bewegt wird. Wenn dieser Schiebebetrieb vervollständigt ist, schließt die Lagerungsvor richtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 122 und steuert den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transferieren der Kassette 40 auf die Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an. Wenn diese Abfolge der Aufgabe vervollständigt ist, sendet die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungs steuerung 66 über das Kommunikationskabel 58. Wenn die Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, auf einen Wagen 162 zu entladen ist, antwortet die Lagerungsvorrichtung 36 auf eine Anweisung von der Zwischenlagerungsvorrichtungstrans portvorrichtungssteuerung 66 mit dem Ausführen einer Aus trittsaufgabe unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80, der äußeren Abschirmtür 122 und der Hubvorrichtung 124 und der Übertragungsvorrichtung 82 in einer Abfolge, die entgegenge setzt zu der oben beschriebenen Abfolge ist.

Durch das Vorsehen einer entsprechenden beziehungsweise geeigne ten Tür an der äußeren Begrenzung der Lagerungsvorrichtung 36 bezüglich der Einlaßlieferungspforte 104, der Auslaßlieferungs pforte 100, der Pforte 98, der Einlaßpforte 116 und der Einlaß pforte 118 zur Abschirmung gegen die äußere Atmosphäre kann das Innere der Lagerungsvorrichtung 36 von dem äußeren getrennt be ziehungsweise isoliert werden.

Die herkömmliche Lagerungsvorrichtung 36 war durch die Einlaß lieferungspforte 104, die Auslaßlieferungspforte 100, die Pforte 98, die Einlaßpforte 116 und die Auslaßpforte 118 offen zu der Umgebung. Es gab ein Problem dahingehend, daß Staub und Dunst in die Lagerungsvorrichtung 36 eingebracht wurden, so daß sie daran anhafteten und einen Wafer 70, der in einer Kassette 40 gelagert ist, verschlechterten. Jedoch liefert die Struktur der vorlie genden Erfindung den Vorteil, daß Staub und Dunst nicht in die Lagerungsvorrichtung 36 eintreten und den Wafer 70 in der gela gerten Kassette 40 verschlechtern werden.

Zum Zwecke der Trennung des Inneren von dem Äußeren weist die Lagerungsvorrichtung 36 eine äußere Abschirmtür 122 auf der Sei te der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und eine Hubvorrichtung 124 für die Pforte 98, eine äußere Abschirm tür 90 auf der Seite des automatischen Transportierers 38 für die Auslaßlieferungspforte 100 und die Einlaßlieferungspforte 104 und eine äußere Abschirmtür 114 für die Einlaß- und Auslaß pforten 116 und 118 auf. Das Innere der Lagerungsvorrichtung 36 wird mit dem Äußeren kommunizieren beziehungsweise in Verbindung stehen, wenn diese Abschirmtüren geöffnet sind, so daß der abge schirmte Zustand zerstört wird.

Die Lagerungsvorrichtung 36, die in den Fig. 4 bis 6 gezeigt ist, kompensiert dieses Problem wie es im folgenden ausgeführt wird. Die Lagerungsvorrichtung 36 weist eine innere Abschirmtür 110 auf der Seite des Lagerungsvorrichtungskrans 80 zusätzlich zu der äußeren Abschirmtür 122 und der Hubvorrichtung 124 auf. Die Lagerungsvorrichtung 36 weist außerdem eine innere Abschirm tür 92 an der Seite des Lagerungsvorrichtungskrans 80 zusätzlich zu der äußeren Abschirmtür 90 auf. Desweiteren weist die Lage rungsvorrichtung 36 eine innere Abschirmtür 112 auf der Seite des Lagerungsvorrichtungskrans 80 zusätzlich zu der äußeren Ab schirmtür 114 auf.

Der Betrieb dieser Abschirmtüren wird im folgenden kurz be schrieben. Alle diese Abschirmtüren sind geschlossen, wenn die Lagerungsvorrichtung 36 nicht in Betrieb ist.

Der Betrieb der inneren Abschirmtür 92 wird zuerst beschrieben. Wenn eine Ladeanfrage von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 geliefert wird, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40 aus den Kassetten 40, die in der relevanten Lagerungsvorrichtung 36 gelagert sind, die zu bearbeiten ist. Dann sendet der Host computer 50 eine Austrittsaufgabenanweisung an die relevante La gerungsvorrichtung 36. Als Reaktion öffnet die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 92 dadurch, daß sie zum Absenken gebracht wird. Dann befördert der Lagerungsvorrich tungskran 80 die Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 zu der Auslaßlieferungspforte 100. Wenn der Betrieb des Lage rungsvorrichtungskrans 80 endet, schließt die Lagerungsvorrich tungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 92 dadurch, daß sie zum Anheben gebracht wird. Dann öffnet die Lagerungsvorrichtungs steuerung 64 die äußere Abschirmtür 90 und steuert die Vorwärts bewegungsvorrichtung 84 zum Verschieben der Kassette 40 von der Auslaßlieferungspforte 100 zu der Auslaßpforte 86 an.

Wenn die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 aufzunehmen ist, öffnet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Ab schirmtür 90 und steuert die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 derart an, daß die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 zu der Einlaßlieferungspforte 104 bewegt wird. Wenn dieser Transfer vervollständigt ist, wird die äußere Abschirmtür 90 geschlossen. Dann bewegt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Ab schirmtür 92 zum Öffnen nach unten. Der Lagerungsvorrichtungs kran 80 transferiert die Kassette 40 auf der Einlaßlieferungs pforte 104 zu der Lagerungsvorrichtungsplatte 96. Wenn diese Transferaufgabe vervollständigt ist, schließt die Lagerungsvor richtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 92 durch Anheben derselben. Derart wird die Abfolge (der Schritte) der Ein trittsaufgaben zum Aufnehmen (einer Kassette) von der Einlaß pforte 88 vervollständigt. Dadurch, daß immer entweder die inne re Abschirmtür 92 oder die äußere Abschirmtür 90 geschlossen sind, kann eine Kommunikation zwischen dem Inneren und dem Äuße ren der Lagerungsvorrichtung 36 vollständig unterbunden bezie hungsweise verhindert werden.

Der Betrieb der inneren Abschirmtür 112 wird im folgenden be schrieben. Wenn eine Ladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 geliefert wird, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kas sette 40 aus den Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert sind, die zu bearbeiten ist. Dann wird eine Aus trittsaufgabenanweisung an die relevante Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben. Auf das Empfangen der Austrittsaufgabenanweisung hin öffnet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Ab schirmtür 112 dadurch, daß sie sie zum Absenken bringt. Der La gerungsvorrichtungskran 80 transferiert die Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 zu der Auslaßpforte 118. Dann schließt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Ab schirmtür 112. Als nächstes wird eine Anzeige auf der Bedie nungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36 geliefert, die das Entladen der Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 erlaubt. Ent sprechend einer Betätigung über die Bedienungstafel 121 öffnet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 114. Der Bediener entlädt dann die Kassette 40 durch beziehungs weise über diese Pforte.

Wenn der Bediener eine Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 über die Einlaßpforte 116 eingibt, reagiert die Lagerungsvor richtungssteuerung 64 auf eine Betätigung der Bedienungstafel 121 durch den Bediener mit dem Öffnen der äußeren Abschirmtür 114, und es wird die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 pla ziert. In dem Zustand, in dem die äußere Abschirmtür 114 ge schlossen ist, verursacht die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64, daß die Information, die auf der ID-Karte 72 der Kassette 40, die auf der Einlaßpforte 116 plaziert ist, aufgezeichnet ist, durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ausgelesen wird. Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das Kommu nikationskabel 58 gesandt. Der Hostcomputer 50 detektiert, daß eine Kassette 40 durch den Bediener befördert worden ist, ent sprechend dieses Berichtes und sendet eine Eintrittsaufgabenan weisung für die Kassette 40 an die Lagerungsvorrichtung 36. Als Reaktion öffnet die Lagerungsvorrichtungssteuerung die innere Abschirmtür 112 dadurch, daß sie dieselbe zum Absenken bringt. Der Lagerungsvorrichtungskran 80 wird zum Transferieren der Kas sette 40 auf der Einlaßpforte 116 auf die Lagerungsvorrichtungs platte 96 angesteuert. Wenn diese Lagerungsaufgabe vervollstän digt ist, schließt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die in nere Abschirmtür 112 durch Anheben derselben. Derart wird die Eintrittsaufgabe über die Einlaßpforte 116 vervollständigt. Da durch, daß die innere Abschirmtür 112 oder die äußere Abschirm tür 114 immer geschlossen sind, kann eine Kommunikation zwischen dem Inneren und dem Äußeren der Lagerungsvorrichtung 36 voll ständig verhindert beziehungsweise unterbunden werden.

Der Betrieb der inneren Abschirmtür 110 wird im folgenden be schrieben. Eine Kassette 40, die auf einem Wagen 162 der Zwi schenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 von einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 transportiert worden ist, wird zu der Pforte 98 durch die äußere Abschirmtür 122, die Hubvor richtung 124 und die Transfervorrichtung 82 befördert. Hier ist die Pforte 98 in der unteren Position angeordnet, und die äußere Abschirmtür 122 ist geschlossen. Die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtungssteuerung 66 öffnet die innere Ab schirmtür 110 dadurch, daß sie dieselbe zum Absenken bringt. Die Kassette 40 auf der Pforte 98 wird auf die Lagerungsvorrich tungsplatte 96 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 transfe riert. Wenn diese Lagerungsaufgabe vervollständigt ist, bringt die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 die innere Abschirmtür 110 zum Zurückkehren in ihre vorherige Position, d. h. in den geschlossenen Zustand. Derart wird die Ab folge (der Schritte) der Aufgabe vervollständigt.

Wenn eine Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 auf einen Wagen 162 zu entladen ist, wird die Kassette 40 durch den Lage rungsvorrichtungskran 80, die innere Abschirmtür 110, die äußere Abschirmtür 122, die Hubvorrichtung 124 und die Übertragungsvor richtung 82 in einer Abfolge, die entgegengesetzt zu der oben beschriebenen Abfolge ist, transferiert. Durch Einstellen, daß eine der beiden Türen, die innere Abschirmtür 110 oder die äuße re Abschirmtür 122, immer geschlossen ist, kann eine Kommunika tion zwischen dem Inneren und dem Äußeren der Lagerungsvorrich tung 36 vollständig unterbunden beziehungsweise verhindert wer den.

Durch das Vorsehen von Türen an der Außenseite und der Innensei te der Lagerungsvorrichtung bezüglich der Pforte 104, der Aus laßlieferungspforte 100, der Pforte 98, der Einlaßpforte 116 und der Auslaßpforte 118 kann das Innere der Lagerungsvorrichtung 36 vollständig von dem Äußeren getrennt beziehungsweise isoliert werden.

Das herkömmliche Problem des Staubs und des Dunstes, die in die Lagerungsvorrichtung 36 aufgrund der Kommunikation mit der Atmo sphäre über die Einlaßlieferungspforte 104, die Auslaßliefe rungspforte 100, die Pforte 98, die Einlaßpforte 116 und die Auslaßpforte 118 eintreten und einen Wafer 70 in einer gelager ten Kassette 40 verschlechtern, wird eliminiert.

Die Lagerungsvorrichtungen 36 und 190 sind mit einem ID-Karten- Leser/Schreiber 120 an der Auslaßpforte 118 beziehungsweise der Auslaßpforte 210 zum Lesen von Daten auf der ID-Karte 72, die an der Kassette 40 angebracht ist, vorgesehen.

Der ID-Karten-Leser/Schreiber 120, der an der Auslaßpforte 118 angebracht ist, wird im folgenden beschrieben. Es wird der Fall eines Betriebes der Lagerungsvorrichtung 36 und der Bearbei tungsvorrichtung 32, 34, die eine Bearbeitung bei einer Kassette 40, die von der Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben worden ist, ausführen wird, wenn ein automatischer Transportierer 38 nicht vorgesehen (oder verfügbar) ist, betrachtet. Wenn eine Kasset tenladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 geliefert wird, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette, die bearbeitet werden kann, in der Lagerungsvorrichtung 36. Die Austrittsaufga be wird initiiert, wenn es eine Kassette 40 gibt. Der Hostcompu ter 50 in der Phase der Austrittsaufgabe sendet eine Transport aufgabenanweisung für einen Transport einer Kassette 40 auf eine Lagerungsvorrichtungsplatte 96 auf die Auslaßpforte 118 an die Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58.

Die Lagerungsvorrichtung 36, die eine Transportaufgabenanweisung empfängt, steuert den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transfe rieren der Kassette 40 zu der Auslaßpforte 118 an. Die Lage rungsvorrichtung 36 liest die Daten, die auf der ID-Karte 72 der Kassette 40 aufgezeichnet sind, unter Verwendung des ID-Karten- Leser/Schreibers 120, der an der Auslaßpforte 118 angebracht ist, aus. Die ausgelesen Information wird an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt.

Auf das Empfangen dieses Berichtes hin vergleicht der Hostcompu ter 50 die auf die Auslaßpforte 118 entladene Kassette 40 mit einer Kassette 40, die einer Austrittsaufgabenanweisung ent spricht, um zu bestätigen, ob sie identisch sind. Dann wird eine ID-Karten-Schreibaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58 gesandt, damit der Name der nächsten Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in die ID-Karte 72 ein geschrieben wird.

Die Lagerungsvorrichtung 36, die die ID-Karten-Schreibaufgaben anweisung empfängt, sendet die Information an den ID-Karten- Leser/Schreiber 120, damit der Name der nachfolgenden Bearbei tungsvorrichtung 32, 34 in die ID-Karte 72 eingeschrieben wird, die an der Kassette 40 angebracht ist. Die ID-Karte 72, in die der Name der Vorrichtung eingeschrieben ist, liefert eine Anzei ge des Namens auf ihrer eigenen Anzeigeneinheit 74. Wenn dieser Schreibbetrieb vervollständigt ist, wird ein Bericht, daß die Schreibaufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50 auf einem Weg, der entgegengesetzt zu dem oben beschriebenen ist, geliefert.

Auf das Empfangen des Berichtes hin sendet der Hostcomputer 50 eine Aufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36, um ein Entladen der Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 durch einen Bediener zu erlauben. Auf das Empfangen der Aufgabenanweisung hin liefert die Lagerungsvorrichtung 36 eine Anzeige auf der Be dienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36, die ein Entladen der Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 erlaubt.

Der Bediener, der diese Nachricht liest, entlädt die Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 und betätigt die Bedienungstafel 121, um der Lagerungsvorrichtung 36 mitzuteilen, daß die Entladeauf gabe vervollständigt ist. Als Reaktion sendet die Lagerungsvor richtung 36 einen Vervollständigungsbericht an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.

Der Bediener, der die Kassette 40 entladen hat, muß sich nicht dem Terminal 56 nähern, um die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu detektieren, die die Ladeanfrage ausgegeben hat, da die Informa tion auf der Anzeigeeinheit 74 der ID-Karte 72 geliefert wird. Der Bediener kann die Kassette 40 direkt zu dem relevanten Kas settenstand 172, 182 der entsprechenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 befördern.

Durch Anbringen des ID-Karten-Lesers/Schreibers 120 an der Aus laßpforte 118 der Lagerungsvorrichtung 36 kann der Hostcomputer 50 den Namen der nachfolgenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Bestimmung der Kassette 40 ist, auf die Anzeigeeinheit 74 der ID-Karte 72, die an dieser Kassette 40 angebracht ist, schreiben.

Da sich der Bediener nicht dem Terminal 56 des Hostcomputers 50 nähern muß, um die Bestimmungs-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu identifizieren, wird die Zeit für den Aufgabenbetrieb, das heißt für die Aufgabenbearbeitung, ökonomischer genutzt beziehungswei se verkürzt.

Der Bediener kann nun die Kassette 40 direkt zu der entsprechen den Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 befördern, indem er den Namen überprüft, der auf der Anzeigeeinheit 74 der ID-Karte 72, die an der Kassette 40 angebracht ist, geliefert wird.

Die ID-Karte 72 weist eine Kommunikationseinheit 76 auf, die an der Bodenebene derselben angeordnet ist. Durch diese Anordnung kann bei der Lagerungsvorrichtung 36 der ID-Karten- Leser/Schreiber 120 unter dem Kassettenempfänger 220 entspre chend der Position der Kommunikationseinheit 76 der ID-Karte 72 auf der Einlaßpforte 116 und der Auslaßpforte 118 angeordnet werden beziehungsweise sein. Der ID-Karten-Leser/Schreiber 120 kommuniziert mit der Kommunikationseinheit 76, die an dem Boden der ID-Karte 72 vorgesehen ist, über ein Kommunikationsfenster 132, daß an dem Kassettenempfänger 130 vorgesehen ist. Die An ordnung des ID-Karten-Lesers/Schreibers 120 unter dem Kasset tenempfänger 220 liefert den Vorteil, daß, wenn die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 zu plazieren ist, oder wenn sie von der Auslaßpforte 118 zu entladen ist, so orientiert ist, daß die ID- Karte 72 derselben dem Bediener gegenüberliegt, so daß der ID- Karten-Leser/Schreiber 120 das Laden oder Entladen der Kassette 40 durch den Bediener nicht behindert.

Durch Anordnen des TD-Karten-Lesers/Schreibers 120 an der Ein laßpforte 116 oder der Auslaßpforte 118 unter dem Kassettenemp fänger 220 kann die Halterungs- beziehungsweise Plazierungsori entierung der Kassette 40 so eingestellt beziehungsweise festge legt werden, daß sie dem Bediener gegenüberliegt. Desweiteren können die Halterungsorientierungen der Kassette 40 auf der La gerungsvorrichtungsplatte 96, der Einlaßlieferungspforte 104, der Auslaßlieferungspforte 100 und der Pforte 98 alle so einge stellt werden, daß sie nach außen gerichtet sind.

Das Problem, daß die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 eine Dre hungsaufgabe zum Drehen der Kassette 40 während der Transferauf gabe auszuführen hat, da die Orientierung der Kassette 40 an der Einlaßpforte 88 sich um 90° von der Orientierung der Kassette 40 an der Einlaßlieferungspforte 104 unterscheidet, wird elimi niert.

Das ähnliche Problem der Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84, die eine Drehungsaufgabe während der Transferaufgabe auszuführen hat, da die Orientierung der Kassette 40 an der Auslaßpforte 86 sich um 90° von der Orientierung der Kassette 40 an der Auslaß lieferungspforte 100 unterscheidet, wird ebenfalls eliminiert.

Das herkömmliche Problem, daß man Schwierigkeiten bei dem Bestä tigen dessen, daß die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 und beziehungsweise oder der Auslaßpforte 118 plaziert ist, hat, da die ID-Karte 72 der Kassette 40 nicht so orientiert ist, daß sie dem Bediener gegenüberliegt, ist gelöst.

Der Bediener kann nun leicht die Information lesen, die auf der Anzeigeeinheit 74 der ID-Karte 72 der Kassette 40 geliefert wird, die an der Einlaßpforte 116 und beziehungsweise der Aus laßpforte 118 plaziert ist. Durch Einstellen der Halterungsori entierung der Kassette 40 auf der Auslaßlieferpforte 100 iden tisch zu derjenigen auf der Auslaßpforte 86 und der Halterungso rientierung der Kassette 40 auf der Einlaßlieferungspforte 104 identisch zu derjenigen auf der Einlaßpforte 88 ist es nicht länger notwendig, die Kassette 40 während der Transferaufgabe zum Transferieren der Kassette 40 zwischen diesen Pforten durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 um 90° zu drehen.

Das Anhaften von Staub, Dunst und ähnlichem auf dem Wafer 70 kann, abhängig von dem Bearbeitungsschritt für die Kassette 40, in der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung kritisch sein oder nicht. Das bedeutet, daß die Anforderungen, die an die Lagerungsumgebung in der Lagerungsvorrichtung 36 gestellt wer den, unterschiedlich sind. Eine Lagerungsvorrichtung 36, die mit einer äußeren Abschirmtür 90 einer inneren Abschirmtür 92, einer äußeren Abschirmtür 114, einer inneren Abschirmtür 112 und einer äußeren Abschirmtür 122 und einer inneren Abschirmtür 110 vorge sehen ist, oder eine Lagerungsvorrichtung 36, die ohne diese Ab schirmtüren vorgesehen ist, können beide vorbereitet beziehungs weise hergestellt und entsprechend zur Lagerung einer Kassette 40 verwendet werden, die einem Herstellungsbearbeitungsschritt zu unterwerfen ist, abhängig davon, ob die Anforderungen bezüg lich der Lagerungsumgebung hart beziehungsweise eine Abschirmung erfordernd sind oder nicht.

Durch verwenden einer Lagerungsvorrichtung 36 des Typs, der mit einer Abschirmtür vorgesehen ist oder nicht, zum Lagern der Kas sette 40 entsprechend des Schrittes, der durch die Bearbeitungs vorrichtung 32, 34 bei der Kassette 40 auszuführen ist, kann die Anforderung an eine harte beziehungsweise reine Lagerungsumge bung erfüllt werden, während die Verwendung der teuren Lage rungsvorrichtung 36 mit der Abschirmtür minimiert wird.

Bei dem Herstellungsprozeß für eine Halbleitervorrichtung gibt es verschiedene Herstellungsschritte, die einen Zeitraum nach einem gewissen Schritt und vor dem nächsten Schritt benötigen, und außerdem solche, bei denen die Umgebung zwischen den Schrit ten kritisch zu steuern ist. Die Halbleiterwaferkassettentrans portvorrichtung kann beide Typen einer Lagerungsvorrichtung 36, diejenigen mit Abschirmtüren und diejenigen ohne Abschirmtüren, in einer gemischten Art und Weise verwenden. Der Hostcomputer 50 kann so aufgebaut sein, daß er die Information über den Herstel lungsprozeß, die sich auf den Zeitraum zwischen dem Ende eines gewissen Prozesses bis zu dem Beginn des nächsten Prozesses be zieht und die sich auf die Umgebung zwischen diesen Prozessen bezieht, über den Terminal 54 erhält. Eine Lagerungsvorrichtung 36 des Typs mit Abschirmtüren kann bei dem Herstellungsprozeß verwendet werden, der unter harter Steuerung steht. Außerdem kann eine Transportsteuerung geliefert werden, bei der der Transportaufgabe zwischen den Lagerungsvorrichtungen unter Ver wendung der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und zwischen einer Lagerungsvorrichtung 36 und einer Bearbei tungsvorrichtung 32, 34 unter Verwendung eines automatischen Transportierers 38 eine höhere Priorität zugeordnet wird, so daß sie schneller als andere Herstellungsschritte beziehungsweise Transportaufgaben ausgeführt werden kann.

Derart können Lagerungsvorrichtungen 36 des Typs mit und ohne Abschirmtüren in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrich tung vorgesehen werden. Der Hostcomputer 50 kann entsprechend eine Lagerungsvorrichtung 36 mit oder ohne Abschirmtüren ent sprechend des Herstellungsprozesses verwenden. Außerdem kann ei ne Transportsteuerung bereitgestellt werden, bei der die Priori tät einer Aufgabe entsprechend geändert wird beziehungsweise werden kann. Es ist daher möglich, die Anforderungen bezüglich des harten Zeitraums für die Transportaufgabe und die Aufga benumgebung, während eine Zwischenlagerungsvorrichtungstrans portvorrichtung 42 und ein automatischer Transportierer 38 ver wendet werden, ebenso wie in anderen Prozeßschritten zu erfül len, wobei die Verwendung der teuren Lagerungsvorrichtung 36 mit Abschirmtüren minimiert ist.

Obwohl die vorliegende Erfindung im Detail beschrieben und illu striert worden ist, ist klar zu verstehen, daß das selbe nur zum Zwecke, der Illustration und des Beispiels dient und nicht als Begrenzung verstanden werden kann. Der Umfan 00220 00070 552 001000280000000200012000285910010900040 0002019816130 00004 00101g der vorliegenden Erfindung wird nur durch die Begriffe der anhängenden Ansprüche begrenzt.

Claims

1. Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerverfahren, das in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung (30) ver wendet wird, die
eine Lagerungsvorrichtung (36) zum Lagern einer Mehrzahl von Halbleiterwaferkassetten (40),
eine Bearbeitungsvorrichtung (32, 34) zum Ausführen einer Bear beitung bei der Halbleiterwaferkassette (40),
einen automatischen Transportierer (38) zum Ausführen einer Transportaufgabe für einen Transport der Halbleiterwaferkassette (40) zwischen der Lagerungsvorrichtung (36) und der Bearbei tungsvorrichtung (32, 34),
eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42) zum Ausführen einer Transportaufgabe für einen Transport der Halb leiterwaferkassette (40) zwischen einer Quellen-Lagerungsvor richtung (36) und einer Bestimmungs-Lagerungsvorrichtung (36), und
einen Hostcomputer (50) zum Steuern der Lagerungsvorrichtung (36), der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42), des automatischen Transportierers (38) und der Bearbei tungsvorrichtung (32, 34), wobei der Hostcomputer (50) den Wert der Maximalanzahl von Kassetten, die in der Lagerungsvorrichtung (36) gelagert werden können, hält, aufweist,
wobei das Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerverfahren die Schritte aufweist:
Bestätigen, daß es einen leeren Platz in der Lagerungsvorrich tung (36), in der die Halbleiterwaferkassette (40) zu lagern ist, gibt,
Ermitteln eines Lagerplatzes in der Lagerungsvorrichtung (36), wenn es einen leeren Platz in der Lagerungsvorrichtung (36) gibt, und
Senden einer Transportaufgabenanweisung an die Zwischenlage rungsvorrichtungstransportvorrichtung (42) oder den automati schen Transportierer (38) oder einer Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung (36).

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36) einen Einlaßabschnitt (88) zum Eingeben der Halbleiterwaferkassette (40) durch den automati schen Transportierer (38) aufweist, das weiter den Schritt des Auswählens des Einlaßabschnittes (88) mit einer vorbestimmten Sequenz aufweist.

3. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36) einen Einlaßabschnitt (88) zum Eingeben der Halbleiterwaferkassette (40) durch den automati schen Transportierer (38) aufweist,
das weiter den Schritt des Auswählens des Einlaßabschnittes (88) derart, daß die Transportaufgabe für einen Transport der Halb leiterwaferkassette (40) durch den automatischen Transportierer (38) ausgeglichen wird, aufweist.

4. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36) eine Mehrzahl von Einlaßabschnit ten (88) zum Eingeben der Halbleiterwaferkassette (40) durch den automatischen Transportierer (38) aufweist, und
bei dem der Hostcomputer (50) Daten über die Anzahl der Aufgaben und einen oberen Grenzwert für jeden aus der Mehrzahl der Ein laßabschnitte (88) speichert,
das weiter den Schritt des Auswählens von einem aus der Mehrzahl der Einlaßabschnitte (88), wobei der Einlaßabschnitt (88) ausge schlossen wird, der den Daten entspricht, die einen Wert der An zahl der Aufgaben enthalten, der den oberen Grenzwert über schreitet, aufweist.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36)
einen Einlaßabschnitt (116) für eine manuelle Eingabe der Halb leiterwaferkassette (40) durch einen Bediener, und ein Nachrichtenanzeigemittel (121) aufweist, das weiter die Schritte
Bestimmen, ob es einen leeren Platz in der Lagerungsvorrichtung (36) gibt, wenn der Bediener die Halbleiterwaferkassette (40) über den Einlaßabschnitt (116) eingibt, und
Liefern einer Anzeige auf dem Nachrichtenanzeigemittel (121), daß kein Platz verfügbar ist, wenn es keinen leeren Platz in der Lagerungsvorrichtung (36) gibt,
aufweist.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem der Hostcomputer (50) ein Kennzeichen speichert, das anzeigt, ob jede der Lagerungsvorrichtungen (36) und/oder die Zwischenlage rungsvorrichtungstransportvorrichtung (42) verfügbar oder nicht verfügbar sind,
das weiter die Schritte
des Bestimmens, vor einer Transportphase der Halbleiterwaferkas sette (40) zwischen den Lagerungsvorrichtungen (36), ob die Quellen-Lagerungsvorrichtung (36), die Bestimmungs-Lagerungs vorrichtung (36) und die Zwischenlagerungsvorrichtungstransport vorrichtung (42), die für den Transport benötigt werden, alle verfügbar sind oder nicht, und
des Sendens einer Transportaufgabenanweisung an die Zwischenla gerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42), wenn alle verfüg bar sind,
aufweist.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem der Hostcomputer (50) ein Kennzeichen speichert, das anzeigt, ob die Lagerungsvorrichtung (36) und/oder der automatische Trans portierer (38) verfügbar oder nicht verfügbar sind,
das weiter die Schritte
des Bestimmens, vor einer Transportphase der Halbleiterwaferkas sette (40) zwischen der Lagerungsvorrichtung (36) und der Bear beitungsvorrichtung (32, 34), ob die Lagerungsvorrichtung (36) und der automatische Transportierer (38), die für den Transport benötigt werden, verfügbar sind oder nicht, und
des Sendens einer Transportaufgabenanweisung an den automati schen Transportierer (38), wenn alle verfügbar sind,
aufweist.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36) einen Einlaßabschnitt (116) zum Eingeben der Halbleiterwaferkassette (40) durch einen Bediener aufweist, und
der Hostcomputer (50) ein Kennzeichen speichert, das anzeigt, ob die Lagerungsvorrichtung (36) verfügbar oder nicht verfügbar ist,
das weiter die Schritte
des Bestimmens, vor einer Eintrittsaufgabenphase des Eingebens über den Einlaßabschnitt (116), ob diese Lagerungsvorrichtung (36) verfügbar ist oder nicht, und
des Übertragens einer Eintrittsaufgabenanweisung an diese Lage rungsvorrichtung (36) wenn sie verfügbar ist, aufweist.

9. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36) weiter ein Nachrichtenanzeigemit tel (121) aufweist,
das weiter den Schritt
des Lieferns, vor einer Eintrittsaufgabenphase des Eingebens über den Einlaßabschnitt (116), einer Nachricht auf dem Nach richtenanzeigemittel (121), die anzeigt, daß das Eingeben in diese Lagerungsvorrichtung (36) nicht erlaubt ist, wenn diese Lagerungsvorrichtung (36) nicht verfügbar ist,
aufweist.

10. Ein Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahren, das in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung (30) verwendet wird, die
eine Lagerungsvorrichtung (36) zum Lagern einer Mehrzahl von Halbleiterwaferkassetten (40),
eine Bearbeitungsvorrichtung (32, 34) zum Ausüben einer Bearbei tung bei der Halbleiterwaferkassette (40),
einen automatischen Transportierer (38) zum Ausführen einer Transportaufgabe für einen Transport der Halbleiterwaferkassette (40) zwischen der Lagerungsvorrichtung (36) und der Bearbei tungsvorrichtung (32, 34),
eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42) zum Ausführen einer Transportaufgabe für einen Transport der Halb leiterwaferkassette (40) zwischen einer Quellen- Lagerungsvorrichtung (36) und einer Bestimmungs-Lagerungsvorrich tung (36), und
einen Hostcomputer (50) zum Steuern der Lagerungsvorrichtung (36) der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42), des automatischen Transportierers (38) und der Bearbeitungsvor richtung (32, 34), wobei der Hostcomputer (50) Information über die Lagerung der Halbleiterwaferkassette (40) in der Lagerungs vorrichtung (36) hält,
aufweist,
wobei das Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahren die Schritte
Ausführen einer Austrittsaufgabe aus der Lagerungsvorrichtung (36), und
Modifizieren der Information über die Lagerung der Halbleiterwa ferkassette (40) in der Lagerungsvorrichtung (36) in einer Aus trittsaufgabenphase aus der Lagerungsvorrichtung (36), aufweist.

11. Verfahren nach Anspruch 10, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36) einen Auslaßabschnitt (86) zum Ausgeben der Halbleiterwaferkassette (40) an den automatischen Transportierer (38) aufweist,
das weiter den Schritt des Auswählens des Auslaßabschnittes (86) in einer vorbestimmten Abfolge aufweist.

12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36) einen Auslaßabschnitt (86) zum Ausgeben der Halbleiterwaferkassette (40) an den automatischen Transportierer (38) aufweist,
das weiter den Schritt des Auswählens des Auslaßabschnittes (86) derart, daß eine Transportaufgabe zum Transportieren der Halb leiterwaferkassette (40) durch den automatischen Transportierer (38) ausgeglichen wird, aufweist.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36) einen Auslaßabschnitt (86) für ei ne Ausgabe der Halbleiterwaferkassette (40) an den automatischen Transportierer (38) aufweist, und
der Hostcomputer (50) Daten über die Anzahl der Aufgaben und ei nen oberen Grenzwert für den Auslaßabschnitt (86) speichert, das weiter den Schritt des Auswählens des Auslaßabschnittes (86), wobei der Auslaßabschnitt (86) ausgeschlossen wird, der den Daten entspricht, die einen Wert der Anzahl der Aufgaben aufweisen, der oberen Grenzwert überschreitet, aufweist.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13, bei dem der Hostcomputer (50) ein Kennzeichen speichert, das anzeigt, ob jede der Lagerungsvorrichtungen (36) und/oder die Zwischenlage rungsvorrichtungstransportvorrichtung (42) verfügbar oder nicht verfügbar sind,
das weiter die Schritte
des Bestimmens, vor einer Transportphase der Halbleiterwaferkas sette (40) zwischen den Lagerungsvorrichtungen (36), ob die Quellen-Lagerungsvorrichtung (36), die Bestimmungs- Lagerungsvorrichtung (36) und die Zwischenlagerungsvorrich tungstransportvorrichtung (42), die für diesen Transport benö tigt Werden, alle verfügbar sind oder nicht, und des Sendens einer Transportaufgabenanweisung an die Zwischenla gerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42), wenn alle verfüg bar sind,
aufweist.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14, bei dem der Hostcomputer (50) ein Kennzeichen speichert, das anzeigt, ob die Lagerungsvorrichtung (36) und/oder der automatische Trans portierer (38) verfügbar oder nicht verfügbar sind,
das weiter die Schritte
des Bestimmens, vor einer Transportphase der Halbleiterwaferkas sette (40) zwischen- der Lagerungsvorrichtung (36) und der Bear beitungsvorrichtung (32, 34), ob die Lagerungsvorrichtung (36) und der automatische Transportierer (38), die für den Transport benötigt werden, alle verfügbar sind oder nicht, und
des Sendens einer Transportaufgabenanweisung an den automati schen Transportierer (38), wenn alle verfügbar sind, aufweist.

16. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 15, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36) einen Auslaßabschnitt (118) zum Ausgeben der Halbleiterwaferkassette (40) an einen Bediener auf weist, und
der Hostcomputer (50) ein Kennzeichen speichert, das anzeigt, ob die Lagerungsvorrichtung (36) verfügbar oder nicht verfügbar ist,
das weiter die Schritte
des Bestimmens, vor einer Austrittsaufgabenphase zum Ausgeben der Halbleiterwaferkassette (40) über den Auslaßabschnitt (118) an den Bediener, ob diese Lagerungsvorrichtung (36) verfügbar ist oder nicht, und
des Sendens einer Austrittsaufgabenanweisung an diese Lagerungs vorrichtung (36), wenn sie verfügbar ist, aufweist.

17. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 16, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36) einen Auslaßabschnitt (118) für eine Ausgabe der Halbleiterwaferkassette (40) an einen Bediener aufweist,
das weiter den Schritt des Auswählens des Auslaßabschnittes (118) in einer vorbestimmten Abfolge zum Ausgeben der Halblei terwaferkassette (40) aufweist.

18. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 17, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36) einen Auslaßabschnitt (118) zum Ausgeben der Halbleiterwaferkassette (40) an einen Bediener auf weist,
das weiter den Schritt des Auswählens des Auslaßabschnittes (118) derart, daß die Ausgabe der Halbleiterwaferkassette (40) aus dem Auslaßabschnitt (118) ausgeglichen wird, aufweist.

19. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 18, bei dem eine ID-Karte (72) zum Speichern von Daten mit der Halbleiterwa ferkassette (40) verbunden ist,
die Lagerungsvorrichtung (36)
einen Auslaßabschnitt (118) zur Ausgabe der Halbleiterwaferkas sette (40) an einen Bediener, und
ein Anzeigemittel (121) zum Liefern einer Anzeige einer Nach richt,
aufweist, und
der Auslaßabschnitt (118) einen ID-Karten-Leser/Schreiber (120) zum Lesen und Schreiben von Daten von der und die ID-Karte (72) aufweist,
wobei das Verfahren weiter die Schritte
des Sendens einer Austrittsaufgabenanweisung für die Halbleiter waferkassette (40),
des Auslesens von Daten in der ID-Karte (72) der Halbleiterwa ferkassette (40), die an dem Auslaßabschnitt (118) entladen wird, unter Verwendung des ID-Karten-Lesers/Schreibers (120), des Vergleichens der Halbleiterwaferkassette (40), die zur Aus gabe angefordert ist, mit der Halbleiterwaferkassette (40), die an dem Auslaßabschnitt (118) entladen wird, und
wenn die Halbleiterwaferkassette (40), die zur Ausgabe angefor dert ist, identisch mit der Halbleiterwaferkassette (40), die an dem Auslaßabschnitt (118) entladen wird, ist, des Schreibens des Namens der Bestimmungs-Bearbeitungsvorrichtung (32, 34) in die ID-Karte (72) der Halbleiterwaferkassette (40) und des Erlaubens des Entladens durch den Bediener und des Lieferns der Entladeer laubnis auf dem Anzeigemittel (121)
aufweist.

20. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 19, bei dem die Lagerungsvorrichtung (36) einen Abschnitt (98) zum Eingeben und Ausgeben der Halbleiterwaferkassette (40) von der bezie hungsweise an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrich tung (42) aufweist,
das weiter die Schritte
des Bestimmens, in einer Ausgabephase der Halbleiterwaferkasset te aus dem Abschnitt (98), ob eine vorbestimmte, bezeichnete Aufgabe geendet hat oder nicht, und
des Sendens einer Transportaufgabenanweisung für die Halbleiter waferkassette (40) an die Zwischenlagerungsvorrichtungstrans portvorrichtung (42), wenn die vorbestimmte, bezeichnete Aufgabe geendet hat,
aufweist.