DE19829172A1 - Verfahren zur Herstellung von Antireflexschichten - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von AntireflexschichtenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von
Antireflexschichten, die insbesondere zur Vergütung von
optischen Linsen, Spiegeln oder anderen optischen Bau
elementen geeignet sind.
Die Verwendung dünner Schichten zur Vergütung von optischen
Bauelementen ist bekannt. Zur Reduktion des reflektierten
Lichts an der Grenzfläche zweier optischen Medien mit unter
schiedlichen Brechungskoeffizienten wird an dieser Grenz
fläche eine optische Schicht aufgebracht, deren Brechungs
index zwischen dem der beiden optischen Medien liegt.
Weiterhin ist bekannt, daß sich diese Vergütung dadurch ver
bessern läßt, indem statt einer Schicht mehrere Schichten
verwendet werden und sich hierbei Schichten mit hohem und
niedrigen Brechungsindex abwechseln. Eine Vergütung mit drei
Schichten reduziert zum Beispiel die Reflektivität einer
Glas-Luft-Grenzfläche von 4.3% der Gesamtintensität auf
weniger als 1% über den gesamten sichtbaren Spektralbereich.
Optische Vergütungen sind vor allem für Linsensysteme mit
mehreren Luft-Glas-Übergängen wichtig, da sich die Refle
xionsverluste an jeder Grenzfläche aufsummieren.
Berechnungen der Reflektivität der Grenzfläche zwischen zwei
Medien mit den Brechungskoeffizienten n0 und n1 erlauben die
Bestimmung der optischen Eigenschaften einer Antireflex
schicht. Optimal ist eine Schicht, deren Brechungsindex die
Wurzel aus dem Produkt n1 x n0 beträgt. Für monochromatisches
Licht geht die Reflektivität dann auf 0 zurück, wenn die
optische Dicke der Schicht ein Viertel der Wellenlänge des
eingestrahlten Lichts beträgt. Für Luft und Glas mit n0 = 1
und n1 = 1,52 zum Beispiel beträgt der optimale Brechungs
index einer Entspiegelungsschicht 1,23. Das für Antireflex
schichten häufig verwendete Material Magnesiumfluorid hat
jedoch einen Brechungskoeffizienten von 1,38 und bewirkt so
mit lediglich eine Reduktion der Reflektivität an der Glas-
Luft-Grenzfläche auf 1,3-2%. Materialien, die im sichtbaren
Wellenlängenbereich oder im angrenzenden Infrarot bzw. Ultra
violett Brechungsindizes kleiner als 1,3 besitzen, sind nicht
bekannt.
Eine Vergütung mit einer Antireflexschicht verringert die
Reflektivität der Grenzfläche optimal bei derjenigen Wellen
länge, die einem Viertel der optischen Dicke der Antireflex
schicht entspricht. Für andere Wellenlängen kommt es zu einer
höheren Reflektivität des einfallenden Lichts. Durch Verwen
dung von mehreren Antireflexschichten läßt sich die Reflek
tivität in einem breiteren Wellenlängenbereich gleichmäßig
reduzieren. Mittels Berechnungen können auch hier die opti
schen Eigenschaften einer Schicht folge von Antireflexschich
ten bestimmt werden. Optimal sind mehrere Schichten, deren
optische Dicke jeweils ein Viertel einer sogenannten
Referenzwellenlänge beträgt. Der Brechungsindex des Mehr
schichtensystems sollte idealerweise schrittweise zwischen
den Brechungskoeffizienten der beiden Medien variieren.
Für eine Glas-Luft-Grenzfläche ist dies derzeit mit bekannten
Mitteln nicht durchführbar, da Materialien mit Brechungs
indizes kleiner als 1.3 nicht zur Verfügung stehen.
Ein neuerer Ansatz zur beschriebenen Technologie besteht in
der Verwendung von sogenannten nanoporösen Materialien.
Materialien, die Lufteinschlüsse (Poren) aufweisen, deren
Dimensionen unterhalb der Wellenlänge des sichtbaren Lichts
liegen, weisen einen effektiven Brechungsindex auf, der durch
das Mittel über den Brechungsindex des Materials und denjeni
gen der Luft gegeben ist. Durch Variation der Anzahl der
Poren pro Volumen und/oder durch Variation des gesamten
Volumenanteils der Poren läßt sich somit der Brechungsindex
kontinuierlich vom Brechungsindex des Substrats auf einen
Brechungsindex, der nahe bei 1 liegt, einstellen.
Ein derartiges Verfahren wurde von D. Sporn, V. Wittwer, A.
Gombert, W. Glaubitt und K. Rose, Spektrum der Wissenschaft,
August 1997, Seite 20-22 vorgeschlagen. Die Autoren verwenden
dazu ein Sol-Gel-Verfahren bzw. ein sogen. Prägeverfahren.
Beide Verfahren weisen jedoch den entscheidenden Nachteil
auf, daß die Herstellung von Schichten mit den gewünschten
Eigenschaften sehr aufwendig ist, und erlauben zudem ledig
lich die Herstellung von Einfachschichten.
Die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Aufgabe be
steht nun darin, ein möglichst einfach, schnell und kosten
günstig durchzuführendes Verfahren zur Herstellung von re
flektionsmindernden Einzel- oder Mehrfachschichten zur Ver
fügung zu stellen, das eine wesentlich verbesserte optische
Vergütung von optischen Linsen, Spiegeln und weiteren Bau
elementen erlaubt.
Diese Aufgabe wird gemäß dem kennzeichnenden Teil des An
spruchs 1 dadurch gelöst, daß in einer nicht mischbaren zwei-
oder mehrkomponentigen ("inkompatiblen") Mischung makromole
kularer Substanzen in einem ersten Schritt eine Phasentren
nung stattfindet. Dafür geeignete makromolekulare Substanzen
sind insbesondere Polymere oder Oligomere - im folgenden als
Polymere bezeichnet. Die ausgewählten Polymere werden in
einer, auf sämtliche Komponenten als Lösungsmittel wirkenden
Substanz derart gelöst, daß eine gemeinsame durchmischte Pha
se entsteht. Aus dieser Lösung wird dann durch Aufschleudern
("spin coating"), Eintauchen ("dip coating"), Aufsprühen oder
anderweitiges Aufbringen auf einem geeigneten Substrat eine
Schicht (Film) erzeugt. Unter der Voraussetzung, daß die
ausgewählten Polymere untereinander nicht mischbar sind,
setzt während der Schichtherstellung die Phasentrennung ein.
Die so erzeugte Schicht enthält nach der Herstellung zwei
oder mehrere, meist in lateralen Anordnung vorliegende Pha
sen. Um nun eine Antireflexschicht zu erhalten, wird vorge
schlagen, in einem zweiten Schritt unter Verwendung eines
selektiven Lösungsmittels, das nur eines der eingesetzten
Polymere löst, diejenige Phase zu entfernen, die zum größten
Teil aus diesem Polymer besteht. Bei einer mehrkomponentigen
Mischung kann dieser Schritt bei Bedarf mehrfach wiederholt
werden. Durch Variation des Mengenverhältnisses der Kompo
nenten, die im zweiten Schritt aufgelöst werden, läßt sich
auf diese Weise der effektive Brechungsindex der Antireflex
schicht einstellen.
Ein derartiges Verfahren ist aus der Schrift S. Walheim, M.
Böltau, J. Mlynek, G. Krausch und U. Steiner, Macromolecules,
Band 30, Seite 4995-5003 (1997) prinzipiell bekannt. In die
ser Schrift wird das Entmischungsverhalten einer Mischung aus
Polystyrol und Polymethylmethacrylat aus einem Lösungsmittel
während der Schichtbildung beschrieben. Die dort dargestell
ten Entmischungsprozesse können als physikalische Grundlage
für die hier vorgeschlagene Herstellung von Antireflexschich
ten angesehen werden. Allerdings liegt die Dimension der ge
bildeten Strukturen, die gemäß den im genannten Artikel be
schriebenen Prozessen hergestellt werden, im Bereich von
1-6 µm, das heißt sie sind sehr viel (etwa eine Größenord
nung) größer als die optische Wellenlänge und eignen sich
daher grundsätzlich nicht für Vergütung von optischen Linsen,
Spiegeln oder dgl. Derart beschichtete optische Bauelemente
erscheinen nämlich trübe, da eingestrahltes Licht an den
erzeugten Entmischungsstrukturen gestreut wird.
Unter Verwendung von bekannten Polymeren, wie zum Beispiel
Polystyrol, Polymethylmethacrylat, Polyvinylpyridin oder
Polyvinylchlorid, die allesamt Brechungsindizes um 1,5 auf
weisen, lassen sich auf erfindungsgemäße Weise Antireflex
schichten mit Brechungskoeffizienten unter 1,2 erzeugen.
Werden fluorierte Polymere mit einem Brechungsindex um 1,3
verwendet, so sind sogar Antireflexschichten mit Brechungs
koeffizienten unterhalb von 1,1 möglich.
Die auf die vorgeschlagene Weise hergestellte optische Vergü
tung besteht somit in einer erfindungsgemäßen Ausgestaltung
direkt aus einem oder mehreren nanoporösen Polymerschichten.
In einer weiteren erfindungsgemäßen Ausgestaltung besteht die
optische Vergütung aus einer nanoporösen Struktur innerhalb
eines Substrats, die unter Verwendung der wie oben herge
stellten nanoporösen Polymerschichten erzeugt wird. Auch bei
der Herstellung dieser Schichten läßt sich durch die geeig
nete Wahl der Parameter erreichen, daß die Dimension der Po
ren in der Phasenmorphologie unter der Wellenlänge des sicht
baren Lichts liegt.
In den Fig. 1 und 2 ist ein Vergleich der berechneten
optischen Transmission nanoporöser Polymerschichten mit her
kömmlichen Antireflexbeschichtungen dargestellt.
In Fig. 1 wird eine nanoporöse Einzelschicht mit einem
Brechungsindex n = 1,225 einer herkömmlichen Schicht aus
Magnesiumfluorid gegenübergestellt. Dazu ist dort die berech
nete Transmission einer Grenzfläche zwischen Luft mit n0 = 1
und Glas mit n1 = 1,5 als Funktion der Wellenlänge des einge
strahlten Lichts aufgetragen. Die runden Symbole entsprechen
einer Antireflexbeschichtung aus Magnesiumfluorid, die durch
gezogene Linie einer erfindungsgemäßen Polymerschicht mit n =
1,225. Zum Vergleich demonstriert die gepunktete Linie die
Reflektivität einer unbeschichteten Glasoberfläche. Die opti
sche Dicke der betrachteten Schichten beträgt ein Viertel der
Referenzwellenlänge von 510 nm. Aus Fig. 1 ist zu entnehmen,
daß eine erfindungsgemäße Polymerschicht gegenüber der her
kömmlichen Beschichtung eine wesentlich erhöhte Transmission
von 98-98,5% auf 99,5-100% über den gesamten sichtbaren
Spektralbereich zeigt.
In Fig. 2 werden herkömmliche Mehrfachschichten nanoporösen
Einzel- und Mehrfachschichten gegenübergestellt. Dazu ist
dort ebenfalls die berechnete Transmission einer Grenzfläche
zwischen Luft mit n0 = 1 und Glas mit n1 = 1,5 als Funktion
der Wellenlänge des eingestrahlten Lichts aufgetragen. Dabei
zeigt sich, daß bereits eine erfindungsgemäße Einzelschicht
(durchgezogene Linie) vergleichbare Antireflexeigenschaften
wie eine Dreifachschicht aus MgF2, Nd2O3 und ThO2 (runde Sym
bole), eine der gebräuchlichen Antireflexmehrfachschichten,
besitzt. Die gestrichelte Linie entspricht einer nanoporösen
Polymerdoppelschicht mit Brechungsindizes von n = 1,107 bzw.
1,355 und die gepunktete Linie eine nanoporöse Polymer
dreifachschicht mit n = 1,060; 1,234 bzw. 1,426. Die Symbole
entsprechen herkömmlichen Dreifachschichten mit n = 1,38;
2,02 bzw. 1,80 (runde Symbole) und n = 1,38; 2,20 bzw. 1,70
(dreieckige Symbole). Die optische Dicke der betrachteten
Schichten beträgt ein Viertel der Referenzwellenlänge von 510
nm; lediglich im Fall der Schicht mit n = 2,20 (dreieckige
Symbole) beträgt die optische Dicke die Hälfte der
Referenzwellenlänge. Fig. 2 zeigt deutlich, daß eine
erfindungsgemäße Polymerdoppelschicht die Reflexion im
gesamten sichtbaren Wellenlängenbereich auf unter 0,1%, eine
Polymerdreifachschicht sogar auf unter 0,01% reduziert. Die
Reflexionswerte von erfindungsgemäßen Doppel- und
Dreifachschichten liegen somit mehrere Größenordnungen unter
denjenigen bekannter Beschichtungen.
Abschließend wird betont, daß die Polymerschichten direkt auf
dem zu beschichtenden Substrat, das heißt auf der optischen
Linse, auf dem Spiegel- oder dgl., präpariert werden können
oder daß in einer weiteren erfindungsgemäßen Ausgestaltung
jeder der beschriebenen Schritte auf einem Trägersubstrat
durchgeführt werden kann, von dem die Schichten dann abgelöst
und auf das eigentliche Substrat übertragen werden.
Im folgenden wird die Erfindung nun anhand von sieben Aus
führungsbeispielen näher erläutert.
Zwei oder mehrere inkompatible makromolekulare Substanzen
(Polymere) werden in einem geeigneten Lösungsmittel aufge
löst, das alle verwendeten Polymere löst. Eine Schicht wird
hergestellt, die derart präpariert wird, daß die Größe der
phasenseparierten Domänen, die bei der Schichtherstellung
entstehen, unterhalb der Referenzwellenlänge liegt. Diese
Schicht wird dann in einem zweiten Schritt einem Lösungs
mittel ausgesetzt, das selektiv nur eines (oder einige weni
ge) der Polymere löst. Besteht diese Schicht aus mehr als
zwei verschiedenen Polymeren, so kann dieser Schritt unter
Umständen mehrfach, ggf. mit mehreren unterschiedlichen
Lösungsmitteln erfolgen.
Eine erste Polymerschicht wird wie im ersten Ausführungs
beispiel direkt auf die zu entspiegelnde Oberfläche aufge
bracht, ohne daß diese in einem zweiten Schritt bereits einem
Lösungsmittel ausgesetzt wird. Weitere Schichten werden ent
sprechend separat auf anderen Substraten hergestellt, wobei
jeweils das Mischungsverhältnis der Polymere so gewählt wird,
daß die schließlich durch das erfindungsgemäße Verfahren her
gestellten Antireflexschichten den gewünschten Brechungsindex
aufweisen.
Die Schichten werden von den jeweiligen Substraten abgelöst
und auf die erste, zweite usw. Schicht aufgebracht. Die so
hergestellte Mehrfachschicht wird dann einem Lösungsmittel
ausgesetzt, das selektiv nur eines (oder einige wenige) der
Polymere löst. Besteht die Mehrfachschicht aus mehr als zwei
verschiedenen Polymeren, so kann dieser Schritt unter
Umständen mehrfach, ggf. mit mehreren unterschiedlichen
Lösungsmitteln erfolgen.
Eine erste Polymerschicht wird wie im ersten Ausführungs
beispiel direkt auf die zu entspiegelnde Oberfläche aufge
bracht, ohne daß diese in einem zweiten Schritt bereits einem
Lösungsmittel ausgesetzt wird. Für eine zweite Schicht werden
zwei oder mehrere Polymere in einem Lösungsmittel gelöst, das
keines der Polymere in der ersten Schicht löst. Die zweite
Schicht wird direkt auf die erste aufgebracht. Dieses Ver
fahren wird iterativ angewandt, wobei darauf zu achten ist,
daß das Lösungsmittel der zu präparierenden Schicht nicht die
darunterliegende Schicht anlöst. Wie in den ersten beiden
Ausführungsbeispielen wird die Mehrfachschicht einem selekti
ven Lösungsmittel ausgesetzt, das nur eines (oder einige we
nige) der Polymere löst. Dieser Schritt muß auch hier ggf.
mehrfach, ggf. mit unterschiedlichen Lösungsmitteln wieder
holt werden.
Eine Schicht wird zunächst wie im ersten Ausführungsbeispiel
hergestellt. Im Unterschied zum ersten Ausführungsbeispiel
wird diese Schicht jedoch nicht solange einem selektiven
Lösungsmittel ausgesetzt, bis eine der Komponenten vollstän
dig entfernt ist, sondern nur für eine kürzere Zeitspanne.
Auf diese Weise ist der Volumenanteil der herausgelösten
Poren eine Funktion des Abstands von der Schichtoberfläche.
Die so hergestellte Schicht weist einen Brechungsindex auf,
der nach und nach vom Brechungsindex des einen Mediums in
denjenigen des anderen Mediums übergeht.
Eine nanoporöse Schicht wird wie im ersten Ausführungsbei
spiel hergestellt, wobei darauf geachtet wird, daß die Poren
von der Luft bis zur Oberfläche des Subtrats durchgängig
sind. Die so beschichtete Oberfläche wird einer Ätzlösung
(z. B. Flußsäure) ausgesetzt, die das optische Substrat (z. B.
Glas) anätzt. Die Ätzlösung ätzt das Substrat nur an
denjenigen Stellen an, die nicht durch das Polymer bedeckt
sind. Es werden also Löcher (Poren) in das Substrat geätzt.
Die Ätzdauer bestimmt die Dicke der geätzten Schicht; d. h.
sie muß so gewählt werden, daß die Porentiefe einem Viertel
der Referenzwellenlänge entspricht. Nach Entfernen der
Oberfläche aus der Ätzlösung kann die Polymerschicht ggf. mit
Hilfe eines geeigneten Lösungsmittels entfernt werden.
Zusammengefaßt wird hier also die nanoporöse Struktur der
zunächst erzeugten und schließlich wieder entfernten Polymer
schicht in das Substrat übertragen; die Poymerschicht hat
lediglich die Funktion einer Schablone.
Das Aufbringen einer nanoporösen Polymerschicht und das nach
folgende Ätzen des Substrats kann mehrfach wiederholt werden.
Eine Einfach- oder Mehrfachschicht wird nach einem der Aus
führungsbeispiele 1-4 hergestellt. Die Schicht wird anschlie
ßend einer Lösung ausgesetzt, die anorganische sogenannte
"Precursor-Moleküle" enthält, die dazu dienen, in einem Sol-
Gel-Verfahren in einen, in der Regel porösen Festkörper
umgewandelt zu werden. Dies geschieht durch eine chemische
Reaktion, die entweder chemisch oder thermisch (etwa durch
Erhitzen) eingeleitet wird. Dieses Verfahren ist auch unter
der Bezeichnung "Mineralisierung" bekannt.
Die Lösung aus Precurser-Molekülen wird nun so gewählt, daß
sie nur in eine (oder einige wenige) der Polymerphasen hin
eindiffundieren kann, d. h. nur diese Polymerphase(n) an
schwillt (anschwillen). Anschließend wird das Sol-Gel-Ver
fahren eingeleitet, und die Precursor-Moleküle werden minera
lisiert. Danach werden ggf. sämtliche Polymere entfernt, und
es verbleibt eine nanoporöse, mineralisierte Schicht, deren
Poren kleiner als die Wellenlänge des sichtbaren Lichts sind,
auf der Oberfläche des Substrats.
Eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung des beschriebenen
Ausführungsbeispiels besteht darin, bereits dem Lösungs
mittel, aus dem die Schicht hergestellt wird, geeignete Pre
cursor-Moleküle beizugeben, die dazu dienen, in einem Sol-
Gel-Verfahren, in einen, in der Regel porösen Festkörper
umgewandelt zu werden.
Auch in diesem Ausführungsbeispiel hat die Poymerschicht
lediglich die Funktion einer Schablone.
Eine Einfach- oder Mehrfachschicht wird nach einem der Aus
führungsbeispiele 1-4 hergestellt, wobei darauf geachtet
wird, daß die Poren von der Luft bis zur Oberfläche des Sub
strats durchgängig sind. Anschließend werden eine oder
mehrere Phasen durch geeignete Lösungsmittel herausgelöst.
Die so erhaltene Schicht wird dann mit einem anorganischen
Material derart bedampft, daß die Poren ausgefüllt werden.
Das verbleibende Polymer wird entfernt. Die so entstandene
Schicht besteht nun aus einem anorganischen Material und
weist Poren auf, deren Größen unterhalb der Wellenlänge des
sichtbaren Lichts liegen.
Claims (12)
1. Verfahren zur Herstellung einer antireflektierenden
Schicht auf einem Substrat, insbesondere einer optischen
Linse, einem Spiegel oder dgl., die Lufteinschlüsse
aufweist, deren Dimensionen unterhalb der Wellenlänge des
sichtbaren Lichts oder angrenzender Spektralbereiche
liegen, mit den Schritten
- - Aufbringen einer Lösung aus mindestens zwei inkompatiblen Polymeren, die in einem gemeinsamen Lösungsmittel derart gelöst sind, daß eine gemeinsame durchmischte Phase besteht, auf das Substrat, so daß mittels Phasentrennung auf dessen Oberfläche eine vorzugsweise laterale Schicht alternierender Polymerphasen entsteht,
- - Aussetzen dieser Schicht einem weiteren Lösungsmittel, so daß mindestens ein Polymer ungelöst bleibt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die antireflektierende Schicht zunächst auf einem
Trägersubstrat hergestellt wird, anschließend von diesem
abgelöst und dann auf das zu beschichtende Substrat
übertragen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das Mischungsverhältnis der Polymere so eingestellt
wird, daß die antireflektierende Schicht den gewünschten
Brechungsindex erhält.
4. Verfahren zur Herstellung einer antireflektierenden Mehr
fachschicht auf einem Substrat nach Anspruch 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Schichten auf
jeweils verschiedenen Oberflächen hergestellt werden und
die zweite Schicht und ggf. alle weiteren Schichten
anschließend von den jeweiligen Substraten abgelöst und
dann der ersten Schicht überlagert werden.
5. Verfahren zur Herstellung einer antireflektierenden Mehr
fachschicht auf einem Substrat nach Anspruch 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine erste Schicht
hergestellt wird, daran anschließend eine zweite Schicht
direkt auf die erste Schicht aufgebracht wird und dann in
der zweiten Schicht mindestens ein weiteres Polymer in
einem Lösungsmittel gelöst werden, das keines der Poly
mere in der ersten Schicht löst.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
dieses Verfahren mehrfach so wiederholt wird, daß das
Lösungsmittel der zu präparierenden Schicht nicht die
darunterliegende Schicht anlöst.
7. Verfahren zur Herstellung einer antireflektierenden
Gradientenschicht auf einem Substrat nach Anspruch 1 bis
3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schicht hergestellt
wird, die nur solange einem selektiven Lösungsmittel
ausgesetzt wird, daß keine Komponente des Polymers voll
ständig entfernt wird.
8. Verfahren zur Herstellung einer antireflektierenden
Gradientenschicht auf einem Substrat nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß der Volumenanteil der heraus
gelösten Poren eine derartige Funktion des Abstands von
der Schichtoberfläche darstellt, daß die so hergestellte
Schicht einen Gradienten des Brechungsindexes aufweist,
so daß der Brechungsindex nach und nach vom Brechungs
index des einen Mediums in denjenigen des anderen Mediums
übergeht.
9. Verfahren zur Herstellung einer antireflektierenden
Schicht nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine Ein
fach- oder Mehrfachschicht hergestellt wird, anschließend
eine oder mehrere Phasen durch geeignete Lösungsmittel
herausgelöst werden und dann so lange einer Ätzlösung
ausgesetzt werden, daß auf dem Substrat an den nicht
durch das oder die Polymere bedeckten Stellen Löcher
geeeigneter Tiefe entstehen.
10. Verfahren zur Herstellung einer antireflektierenden
Schicht nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine Ein
fach- oder Mehrfachschicht hergestellt wird, anschließend
eine oder mehrere Phasen durch geeignete Lösungsmittel
herausgelöst werden, dann einer geeigneten Lösung aus
Precurser-Molekülen ausgesetzt werden, so daß mindestens
eine, jedoch nicht sämtliche Polymerphasen anschwillen,
und anschließend ein Sol-Gel-Verfahren eingeleitet wird,
wodurch die Precursor-Moleküle mineralisiert werden.
11. Verfahren zur Herstellung einer antireflektierenden
Schicht nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine Ein
fach- oder Mehrfachschicht hergestellt wird, anschließend
eine oder mehrere Phasen durch geeignete Lösungsmittel
herausgelöst werden, dem bereits geeignete Precurser-
Moleküle beigesetzt wurden, so daß mindestens eine,
jedoch nicht sämtliche Polymerphasen anschwillen, und
anschließend ein Sol-Gel-Verfahren eingeleitet wird,
wodurch die Precursor-Moleküle mineralisiert werden.
12. Verfahren zur Herstellung einer antireflektierenden
Schicht nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine Ein
fach- oder Mehrfachschicht hergestellt wird, anschließend
eine oder mehrere Phasen durch geeignete Lösungsmittel
herausgelöst werden und dann die so erhaltene Schicht
derart mit einem anorganischen Material bedampft wird,
daß die in der Schicht vorhandenen Poren ausgefüllt
werden.
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