DE20313727U1 - Piezoaktor - Google Patents
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Abstract
Piezoaktor
für miniaturisierte
Pumpen, Zerstäuber,
Ventile oder dergleichen, mit eine Piezoscheibe (1) und einer an
die Piezoscheibe gekoppelten Gegenhalterscheibe (2), die an ihrem
Rand (18) fluiddicht mit einem Substrat (3) verbunden ist und sich
durch die Piezoscheibe (1) unter Änderung des Volumens einer
zwischen der Gegenhalterscheibe (2) und dem Substrat (3) gebildeten
Kavität
(4) wölben
lässt,
gekennzeichnet durch eine entlang dem verbundenen Rand (18) der Gegenhalterscheibe (2) verlaufende, beim Wölben der Gegenhalterscheibe ein Gelenk bildende Schwachstelle (6,9).
gekennzeichnet durch eine entlang dem verbundenen Rand (18) der Gegenhalterscheibe (2) verlaufende, beim Wölben der Gegenhalterscheibe ein Gelenk bildende Schwachstelle (6,9).
Description
- Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor für miniaturisierte Pumpen, Zerstäuber, Ventile oder dergleichen, mit einer Piezoscheibe und einer an die Piezoscheibe gekoppelten Gegenhalterscheibe, die an ihrem Rand fluiddicht mit einem Substrat verbunden ist und sich durch die Piezoscheibe unter Änderung des Volumens einer zwischen der Gegenhalterscheibe und dem Substrat gebildeten Kavität wölben lässt.
- Je nach den Abmessungen des Substrats, z.B. eines relationssymmetrischen Pumpenkörpers mit einem Durchmesser zwischen 5 und 25 mm und einer Dicke zwischen 0,3 und 2 mm, kann es bei der Wölbung der Gegenhalterscheibe zu einer Mitverformung des Substrats kommen, welche einer gewünschten Änderung des Volumens der Kavität entgegenwirkt. Der Aktor erreicht dann nicht seinen vollen Wirkungsgrad. Auf das Ausmaß der Wirkungsgradminderungen haben Schwankungen von Fertigungsmaßen und Materialeigenschaften erheblichen Einfluss, so dass im Hinblick auf möglichst konstante Leistungsdaten enge Toleranzabweichungen eingehalten werden müssen. Entsprechend instabil ist der Fertigungsprozess.
- Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen neuen Piezoaktor der eingangs erwähnten Art zu schaffen, der sich gegenüber dem Stand der Technik bei erhöhter Fertigungssicherheit mit geringerem Aufwand herstellen lässt.
- Der diese Aufgabe lösende Piezoaktor nach der Erfindung ist gekennzeichnet durch eine entlang dem verbundenen Rand der Gegenhalterscheibe verlaufende, beim Wölben der Gegenhalterscheibe ein Gelenk bildende Schwachstelle.
- Vorteilhaft verhindert die Schwachstelle bzw. das Gelenk eine Mitbewegung des Substrats mit der sich wölbenden Gegenhalterscheibe. Unabhängig von Maßschwankungen und geänderten Materialeigenschaften erreicht der Aktor seinen vollen Wirkungsgrad.
- Vorzugsweise ist die Schwachstelle durch wenigstens eine Ringnut oder/und eine ringförmige Stufenausnehmung am Rand der Gegenhalterscheibe gebildet. Vorteilhaft lässt sich eine solcher Art modifizierte Gegenhalterscheibe einstückig als Kunststoffspritzteil herstellen.
- Insbesondere ist die Ringnut oder Stufenausnehmung in einem von der Piezoscheibe überstehenden Teil der Gegenhalterscheibe vorgesehen, wobei die Ringnut oder Stufenausnehmung auf der dem Substrat abgewandten oder zugewandten Seite der Gegenhalterscheibe gebildet sein kann. Denkbar sind auch Nuten oder Stufenausnehmungen auf beiden Seiten der Gegenhalterscheibe, wobei die betreffenden Nuten bzw. Ausnehmungen einander gegenüberliegen.
- Vorzugsweise weist die Ringnut eine einzige tiefstgelegene Fußlinie auf und ist vorzugsweise im Querschnitt U- oder V-förmig ausgebildet. Durch eine solche Querschnittsform ist die Lage des durch die Schwachstelle gebildeten Gelenks genau, nämlich durch die Fußlinie, festgelegt. Schwankungen von Fertigungsmaß- und Materialeigenschaften haben auf das Wölbungsverhalten dann nur noch geringen Einfluss.
- In der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung verläuft die Fußlinie in der Draufsicht auf die Piezoscheibe zwischen dem Rand der Piezoscheibe und dem Innenrand eines ringförmigen Randbereichs, in welchem die Gegenhalterscheibe mit dem Substrat verbunden, vorzugsweise verklebt oder verschweißt, ist.
- Vorzugsweise beträgt die verbleibende Materialdicke an der Schwachstelle etwa 10 bis 30% der Dicke der Gegenhalterscheibe.
- In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung weist die Gegenhalterscheibe eine, ggf. zu der Ringnut oder/und Stufenausnehmung hin offene, Ausnehmung für die Zuführung eines Anschlussleiters an die der Gegenhalterscheibe zugewandte Elektrode der Piezoscheibe auf.
- In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann die Elektrode auf der der Gegenhalterscheibe abgewandten Seite der Piezoscheibe eine Randaussparung aufweisen, in welche eine elektrisch mit der gegenüberliegenden Elektrode verbundene Kontaktschicht hineinreicht. Vorteilhaft sind in diesem Fall Kontaktierungen der Elektroden der Piezoscheibe ausschließlich von der der Gegenhalterscheibe abgewandten Seite her möglich.
- Die Erfindung soll nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und der beiliegenden, sich auf diese Ausführungsbeispiele beziehenden Zeichnungen näher erläutert werden. Es zeigen:
-
1 wesentliche Teile einer Mikropumpe mit einem Aktor gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel für die vorliegende Erfindung, -
2 bis4 Teildarstellungen einer Mikropumpe mit Aktoren gemäß weiteren Ausführungsbeispielen für die vorliegende Erfindung, -
5 ein erstes Ausführungsbeispiel für die Kontaktierung der Piezoscheibe eines Aktors nach der Erfindung, und -
6 ein zweites Ausführungsbeispiel für die Kontaktierung der Piezoscheibe in einem Aktor nach der Erfindung. - Eine in
1 gezeigte Mikropumpe weist eine keramische Piezoscheibe1 , eine an die Piezoscheibe gekoppelte, über den Rand der Piezoscheibe hinaus vorstehende Gegenhalterscheibe2 und einen mit der Gegenhalterscheibe verbundenen Pumpenkörper3 auf. Der Pumpenkörper stimmt im Durchmesser mit der Gegenhalterscheibe überein. Zwischen der Gegenhalterscheibe und dem Pumpenkörper ist eine Pumpkavität4 gebildet. Die genannten Teile sind rotationssymmetrisch, können aber von einer solchen Form auch abweichen. - Einzelheiten der Mikropumpe, wie Ventile, Kanäle und Elektroden der Piezoscheibe, sind in
1 nicht gezeigt. - Die Piezoscheibe besteht in dem gezeigten Ausführungsbeispiel aus einem Keramikmaterial. Bei der Gegenhalterscheibe und dem Pumpenkörper handelt es sich um einstückige Spritzgussteile aus Kunststoff, deren Durchmesser in dem gezeigten Ausführungsbeispiel etwa 10 mm beträgt. Die Dicke der Gegenhalterscheibe liegt bei 0,7 mm.
- Die Piezoscheibe ist über ihre gesamte, der Gegenhalterscheibe zugewandte Seite mit der Gegenhalterscheibe
2 verklebt, wozu z.B. ein elektrisch leitender, eine Elektrode der Piezoscheibe bildender Kleber verwendet und die Kleberschicht zur Bildung einer Kontaktierungsfahne aus dem Klebespalt herausgeführt werden könnte. Eine Klebverbindung besteht ferner zwischen einem ringförmigen Randbereich18 der Gegenhalterscheibe und einem Ringvorsprung5 des Pumpenkörpers, dessen Höhe der Tiefe der Pumpkavität entspricht. - In der Draufsicht auf die Mikropumpe gesehen ist zwischen der Piezoscheibe
1 und dem Innenrand des Ringvorsprungs5 bzw. Randbereichs18 in der Gegenhalterscheibe eine Ringnut6 gebildet, deren Querschnitt eine V-Form aufweist und deren tiefstgelegene Fußlinie7 etwa in der Mitte zwischen dem Rand der Piezoscheibe und dem genannten Innenrand verläuft. - Liegt an der Piezoscheibe
1 keine Spannung, so hat sie die in1 gezeigte ebene Form. Bei Anlegen einer positiven Spannung zieht sie sich zusammen, wodurch sie sich gemeinsam mit der Gegenhalterscheibe2 in der Art eines Bimetallelements krümmt. Dabei wölbt sich die rundum mit dem Pumpenkörper3 verbundene Gegenhalterscheibe in die Pumpkavität4 hinein und verringert deren Volumen. Durch periodisches Anlegen einer Spannung an die Piezoscheibe lässt sich eine Pumpwirkung erzielen. - Durch die Ringnut
6 ist die Gegenhalterscheibe entlang dem verklebten Randbereich18 derart geschwächt, dass ein Gelenk gebildet ist, welches eine Übertragung der Wölbung der Gegenhalterscheibe auf deren Randbereich und über die Klebverbindung auf den Pumpenkörper verhindert. Die Lage dieses Gelenks ist durch die Fußlinie7 exakt festgelegt. Eine Mitwölbung des Pumpenkörpers3 würde zur Folge haben, dass die mit der Wölbung der Gegenhalterscheibe2 verbundene Volumenänderung der Pumpkavität4 teilweise aufgehoben und die gewünschte Pumpwirkung nicht erreicht würde. - Bei dem Ausführungsbeispiel von
2 ist in einer Gegenhalterscheibe2a eine Ringnut6a gebildet, deren Querschnitt nicht V- sondern U-förmig ist, Auch in diesem Fall weist die Ringnut eine einzige tiefstgelegene Fußlinie7a auf, welche exakt die Lage des durch die Ringnut6a gebildeten Gelenks bestimmt. - Bei dem Ausführungsbeispiel von
3 sind in einer Gegenhalterscheibe2b zwei Ringnuten6b und6b' mit einem V-Profil gebildet, deren Fußlinien7b und7b' , in der Draufsicht auf die Pumpe gesehen, zueinander ausgerichtet sind. Beide Ringnuten sind gleich tief. Zwischen den Fußlinien verbleibt etwa 25% der Materialdicke der Gegenhalterscheibe. Vorteilhaft durchstößt den verbleibenden Materialbereich eine neutrale Biegelinie8 der Gegenhalterscheibe. Zug- und Druckbelastungen dieses Bereichs sind minimiert. - Bei dem Ausführungsbeispiel von
4 weist eine Gegenhalterscheibe2c anstelle einer Ringnut6 eine Stufenausnehmung9 auf, wobei die Breite einer durch die Stufenausnehmung9 gebildeten Ringschulter10 etwas größer als die Breite eines mit der Gegenhalterscheibe2c verbundenen Ringvorsprungs5c ist. - Die in
5 gezeigte Mikropumpe, welche weitgehend der Mikropumpe von1 entspricht, weist eine Piezoscheibe1d mit Elektroden11 und12 auf, welche durch Metallschichten auf der Piezokeramik gebildet sind. Während die Elektrode12 die gesamte, der Gegenhalterscheibe zugewandte Fläche der Piezoscheibe einnimmt, ist in der Elektrode11 auf der Oberseite der Piezoscheibe eine Aussparung13 gebildet, in die eine mit der Elektrode12 verbundene, die Piezoscheibe am Rand umgreifende Kontaktschicht14 hineinragt. Somit besteht die Möglichkeit, Anschlussleiter15 und16 für die Elektroden11 und12 ausschließlich auf der der Gegenhalterscheibe abgewandten Seite der Piezoscheibe, unbeeinträchtigt durch eine Ringnut6d , anzubringen. - Bei dem Ausführungsbeispiel von
6 sind an einer Piezoscheibe1e Elektroden11e und12e angebracht, die sich jeweils über die gesamte Scheibenfläche erstrecken. Eine mit einer Ringnut6e in Verbindung stehende Ausnehmung17 ermöglicht den Anschluss eines Leiters16e an der Elektrode12e .
Claims (11)
- Piezoaktor für miniaturisierte Pumpen, Zerstäuber, Ventile oder dergleichen, mit eine Piezoscheibe (
1 ) und einer an die Piezoscheibe gekoppelten Gegenhalterscheibe (2 ), die an ihrem Rand (18 ) fluiddicht mit einem Substrat (3 ) verbunden ist und sich durch die Piezoscheibe (1 ) unter Änderung des Volumens einer zwischen der Gegenhalterscheibe (2 ) und dem Substrat (3 ) gebildeten Kavität (4 ) wölben lässt, gekennzeichnet durch eine entlang dem verbundenen Rand (18 ) der Gegenhalterscheibe (2 ) verlaufende, beim Wölben der Gegenhalterscheibe ein Gelenk bildende Schwachstelle (6 ,9 ). - Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schwachstelle (
6 ,9 ) durch wenigstens eine Ringnut (6 ) oder/und eine ringförmige Stufenausnehmung (9 ) gebildet ist. - Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Ringnut (
6 ) oder Stufenausnehmung (9 ) in einem von der Piezoscheibe (1 ) überstehenden Teil der Gegenhalterscheibe (2 ) gebildet ist. - Piezoaktor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Ringnut (
6 ) oder/und Stufenausnehmung (9 ) auf der dem Substrat zugewandten oder abgewandten Seite der Gegenhalterscheibe (2 ) gebildet ist oder dass auf beiden Seiten einander gegenüberliegende Nuten (6b ,6b' ) oder/und Stufenausnehmungen vorgesehen sind. - Piezoaktor nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Ringnut (
6 ) eine einzige tiefstgelegene Fußlinie (7 ) aufweist und vorzugsweise im Querschnitt V- oder U-förmig ausgebildet ist. - Piezoaktor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Fußlinie (
7 ) in der Draufsicht auf die Piezoscheibe (1 ) zwischen dem Rand der Piezoscheibe (1 ) und dem Innenrand eines ringförmigen Verbindungsbereichs (18 ) zwischen der Piezoscheibe (1 ) und dem Substrat (3 ) verläuft. - Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die an der Schwachstelle verbleibende Materialdicke
10 bis 30% der Dicke der Gegenhalterscheibe (2 ) beträgt. - Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenhalterscheibe (
2e ) eine, ggf. zur der Ringnut (6e ) oder/und Stufenausnehmung hin offene, Ausnehmung (17 ) für die Zuführung eines Anschlussleiters (15e ) zu der der Gegenhalterscheibe (2e ) zugewandten Elektrode (12e ) der Piezoscheibe (1e ) aufweist. - Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrode (
11 ) auf der der Gegenhalterscheibe (2d ) abgewandten Seite der Piezoscheibe (1d ) eine Randaussparung (13 ) aufweist, in welche eine mit der anderen Elektrode (12 ) verbundene Kontaktschicht (14 ) hineingeführt ist. - Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Piezoscheibe (
1 ) mit der Gegenhalterscheibe (2 ) über einen leitfähigen, eine Elektrode (12 ) bildenden Kleber verbunden und ggf. die Kleberschicht zur Bildung einer Kontaktierungsfahne aus dem Klebespalt herausgeführt ist. - Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenhalterscheibe (
2 ) ein einstückig im Spritzgießverfahren hergestelltes Kunststoffteil ist.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE20313727U DE20313727U1 (de) | 2003-09-04 | 2003-09-04 | Piezoaktor |
US10/570,414 US7482733B2 (en) | 2003-09-04 | 2004-09-02 | Piezoactuator |
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---|---|---|---|
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1795355A1 (de) * | 2005-11-30 | 2007-06-13 | Xerox Corporation | Tropfenerzeuger |
EP1815991A3 (de) * | 2006-02-01 | 2007-09-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezoelektrischer Tintenstrahldruckkopf |
US9662650B2 (en) | 2013-07-29 | 2017-05-30 | Atlas Genetics Limited | Fluidic cartridge and method for processing a liquid sample |
US9816135B2 (en) | 2013-07-29 | 2017-11-14 | Atlas Genetics Limited | Fluidic cartridge for nucleic acid amplification and detection |
US9908114B2 (en) | 2013-07-29 | 2018-03-06 | Atlas Genetics Limited | Cartridge, cartridge reader and method for preventing reuse of the cartridge |
US9993818B2 (en) | 2013-07-29 | 2018-06-12 | Atlas Genetics Limited | Valve which depressurises, and a valve system |
US9999883B2 (en) | 2013-07-29 | 2018-06-19 | Atlas Genetics Limited | System and method for processing fluid in a fluidic cartridge |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005104038A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 吐出ヘッド及び液吐出装置 |
KR20080080258A (ko) * | 2005-05-31 | 2008-09-03 | 에모 라브스, 인크. | 기계-음향 변환기용 최적 압전체 설계 |
EP1792662A1 (de) | 2005-11-30 | 2007-06-06 | Microflow Engineering SA | Tropferspendervorrichtung |
US7608983B2 (en) * | 2006-07-18 | 2009-10-27 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator, liquid transporting apparatus, and liquid-droplet jetting apparatus |
EP1952896B1 (de) | 2007-02-01 | 2012-11-07 | EP Systems SA | Tropfenspender |
ATE486661T1 (de) | 2008-06-03 | 2010-11-15 | Microflow Eng Sa | Spendervorrichtung für flüchtige flüssige tröpfchen |
JP5161698B2 (ja) * | 2008-08-08 | 2013-03-13 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振子及びこれを用いたフィルタあるいは分波器 |
US8189851B2 (en) | 2009-03-06 | 2012-05-29 | Emo Labs, Inc. | Optically clear diaphragm for an acoustic transducer and method for making same |
WO2011020100A1 (en) * | 2009-08-14 | 2011-02-17 | Emo Labs, Inc | System to generate electrical signals for a loudspeaker |
US20120038469A1 (en) * | 2010-08-11 | 2012-02-16 | Research In Motion Limited | Actuator assembly and electronic device including same |
US20140270279A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Emo Labs, Inc. | Acoustic transducers with releasable diaphram |
USD741835S1 (en) | 2013-12-27 | 2015-10-27 | Emo Labs, Inc. | Speaker |
USD733678S1 (en) | 2013-12-27 | 2015-07-07 | Emo Labs, Inc. | Audio speaker |
WO2015105797A1 (en) | 2014-01-07 | 2015-07-16 | Daktari Diagnostics, Inc. | Fluid delivery devices, systems, and methods |
USD748072S1 (en) | 2014-03-14 | 2016-01-26 | Emo Labs, Inc. | Sound bar audio speaker |
DE102014207490B3 (de) | 2014-04-17 | 2015-07-02 | Carl Zeiss Ag | Brillenglas für eine auf den Kopf eines Benutzers aufsetzbare und ein Bild erzeugende Anzeigevorrichtung und Anzeigevorrichtung mit einem solchen Brillenglas |
JP6558104B2 (ja) * | 2015-07-02 | 2019-08-14 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 |
US10536815B2 (en) * | 2017-06-08 | 2020-01-14 | Ford Global Technologies, Llc | Tracking a wireless device using a seamless handoff between a vehicle and a mobile device |
CN114222859A (zh) * | 2019-09-11 | 2022-03-22 | 京瓷株式会社 | 压电泵以及泵单元 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19534378C1 (de) * | 1995-09-15 | 1997-01-02 | Inst Mikro Und Informationstec | Fluidpumpe |
DE19546570C1 (de) * | 1995-12-13 | 1997-03-27 | Inst Mikro Und Informationstec | Fluidpumpe |
DE19646676C1 (de) * | 1996-11-12 | 1998-04-23 | Siemens Ag | Piezoaktor mit neuartiger Kontaktierung und Herstellverfahren |
DE19856583A1 (de) * | 1998-12-08 | 2000-06-21 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikromechanische Aktorstruktur und Mikroventil |
US6131879A (en) * | 1996-11-25 | 2000-10-17 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Piezoelectrically actuated microvalve |
US20030020369A1 (en) * | 1999-10-01 | 2003-01-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive device and method of manufacturing same |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5898259A (ja) * | 1981-12-08 | 1983-06-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジエツトヘツド |
DE4443244C2 (de) * | 1994-11-25 | 2000-04-06 | Francotyp Postalia Gmbh | Anordnung für einen Tintendruckkopf aus einzelnen Tintendruckmodulen |
JP3176245B2 (ja) * | 1995-03-23 | 2001-06-11 | シャープ株式会社 | インクジェットヘッド |
JP3503386B2 (ja) * | 1996-01-26 | 2004-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法 |
US6091182A (en) * | 1996-11-07 | 2000-07-18 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive element |
JP4114321B2 (ja) * | 2001-01-31 | 2008-07-09 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェットプリンタヘッド及びインクジェットプリンタヘッド用の圧電/電歪アクチュエータ |
US6685306B2 (en) * | 2001-03-30 | 2004-02-03 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid droplet ejection device |
-
2003
- 2003-09-04 DE DE20313727U patent/DE20313727U1/de not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-09-02 WO PCT/EP2004/009780 patent/WO2005024967A1/de active Application Filing
- 2004-09-02 EP EP04764739.1A patent/EP1661190B1/de not_active Not-in-force
- 2004-09-02 US US10/570,414 patent/US7482733B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19534378C1 (de) * | 1995-09-15 | 1997-01-02 | Inst Mikro Und Informationstec | Fluidpumpe |
DE19546570C1 (de) * | 1995-12-13 | 1997-03-27 | Inst Mikro Und Informationstec | Fluidpumpe |
DE19646676C1 (de) * | 1996-11-12 | 1998-04-23 | Siemens Ag | Piezoaktor mit neuartiger Kontaktierung und Herstellverfahren |
US6131879A (en) * | 1996-11-25 | 2000-10-17 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Piezoelectrically actuated microvalve |
DE19856583A1 (de) * | 1998-12-08 | 2000-06-21 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikromechanische Aktorstruktur und Mikroventil |
US20030020369A1 (en) * | 1999-10-01 | 2003-01-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive device and method of manufacturing same |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1795355A1 (de) * | 2005-11-30 | 2007-06-13 | Xerox Corporation | Tropfenerzeuger |
EP1815991A3 (de) * | 2006-02-01 | 2007-09-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezoelektrischer Tintenstrahldruckkopf |
US7699442B2 (en) | 2006-02-01 | 2010-04-20 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd | Piezoelectric inkjet printhead |
US8042919B2 (en) | 2006-02-01 | 2011-10-25 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Piezoelectric inkjet printhead |
US9662650B2 (en) | 2013-07-29 | 2017-05-30 | Atlas Genetics Limited | Fluidic cartridge and method for processing a liquid sample |
US9816135B2 (en) | 2013-07-29 | 2017-11-14 | Atlas Genetics Limited | Fluidic cartridge for nucleic acid amplification and detection |
US9908114B2 (en) | 2013-07-29 | 2018-03-06 | Atlas Genetics Limited | Cartridge, cartridge reader and method for preventing reuse of the cartridge |
US9993818B2 (en) | 2013-07-29 | 2018-06-12 | Atlas Genetics Limited | Valve which depressurises, and a valve system |
US9999883B2 (en) | 2013-07-29 | 2018-06-19 | Atlas Genetics Limited | System and method for processing fluid in a fluidic cartridge |
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