DE2511591A1

DE2511591A1 - Hochvakuum-absperrschieber

Info

Publication number: DE2511591A1
Application number: DE19752511591
Authority: DE
Inventors: William Roy Wheeler
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1974-03-18
Filing date: 1975-03-17
Publication date: 1975-09-25
Also published as: JPS50157928A; US3973753A; GB1464670A; DE2511591C2

Description

und eine der öffnungen abdichtet. Nachgiebige Elemente drängen das Schließelement in die zurückgezogene Position und hindern den Keil daran, sich vorwärts zu bewegen, bis der Arm die vorgegebene Position erreicht.

Hintergrund der Erfindung

Die Erfindung betrifft allgemein Ventile und insbesondere Ventile zur Verwendung in Ultrahochvakuumsystemen, d.h. Vakuumdrucken

-9
in der Größenordnung von 10 Torr.

In Vakuumsystemen sind bisher Rechtwinkel-Ventile und schieberartige Ventile verwendet worden. Bei rechtwinkligen Ventilen sind der Einlaß und der Auslaß senkrecht zueinander angeordnet, und das Schließen des Ventils wird im allgemeinen dadurch bewirkt, daß eine Dichtung mittels einer Schraube auf einen Sitz gepreßt wird. Die von der Schraube ausgeübte Kraft gewährleistet im allgemeinen eine effektive Abdichtung, Ventile dieser Art haben jedoch eine relativ niedrige Arbeitsgeschwindigkeit. Darüberhinaus sind sie gewöhnlich größer als Schieber für äquivalente Leitungsgröße und sie sind in geradlinigen Leitungen umständlich zu verwenden.

Schieber sind dagegen gut für geradlinige Leitungen geeignet, und sie haben den zusätzlichen Vorteil, daß gewünschtenfalIs auch feste Objekte hindurchgeführt werden können.

Bisher für Hochvakuumsysteme vorgesehene Schieberventile weisen jedoch gewisse Nachteile auf. In der Mehrzahl dieser Schieber sind Dichtungen aus Elastomeren verwendet worden, die hohen Temperaturen, beispielsweise 250 ⁰C, nicht widerstehen können, auf die Vakuumsysteme im allgemeinen beim Ausheizen erwärmt werden, um Gase zu entfernen und die Herabsetzung des Druckes zu erleichtern. Ein Ganzmetallventil oder -schieber ist für den

.../3 509839/0743

Ausheizvorgang besser geeignet, Metalldichtungen erfordern jedoch erheblich mehr Kraft als Elastomerdichtungen, um eine strömungsmittel dichte Abdichtung zu erreichen, und bekannte Schieber waren nicht in der Lage, die erforderliche Kraft auszuhalten. Darüberhinaus wird in bekannten Schieberventilen das Ventilelement.in Ausfluchtung mit den Ventilöffnungen geschoben, und das Betätigungselement muß eine Distanz durchlaufen, die größer ist als der Durchmesser der öffnungen, um das Ventil zu betätigen.

Zusammenfassung der Erfindung

Bei einem Schieber nach der Erfindung ist das Ventilschließelement auf einen schwingenden Arm montiert, der schwenkbar derart montiert ist, daß er sich quer zur Achse der Ventilöffnung bewegen kann. Ein vom Arm getragener Keil treibt das Schließelement in eine Richtung parallel zur Offnungsachse, wenn er in der Längsrichtung des Arms bewegt wird. Ein Betätigungselement verschwenkt einen Nocken, der gegen den Keil anliegt, um den Arm in eine vorgegebene Position zu schwingen, in der das Schließelement mit den öffnungen ausgefluchtet ist, und um anschließend den Nocken so zu bewegen, daß das Schließelement axial vorgeschoben wird und eine der öffnungen verschließt. Nachgiebige Elemente drängen das Schließelement in die zurückgezogene Position und hindern den Keil daran, sich -vorwärts zu bewegen, bis der Arm die vorgegebene Position erreicht.

Bei einer Ausführungsform ist das Schließelement eine konische Scheibe, die axial nachgibt und sich in Umfangsrichtung dehnt, wenn sie zur Anlage an einem Ventilsitz getrieben wird, der die öffnung umgibt. Ein Umfangs-Dichtungswulst der Scheibe ist mit Gold plattiert und wird von zusätzlichen, benachbarten Wulsten geschützt.

Bei einer anderen Ausführungsform ist das Schließelement mit einem axial vorstehenden, ringförmigen Dichtungsring versehen,

509839/0743 *"^/4

der am Ventil körper anliegt, um eine Stirndichtung um die öffnung zu bilden, wenn das Schließelement axial vorgeschoben wird.

Nadellager und Rollen erlauben es dem Keil, sich im wesentlichen reibungslos zu bewegen. Das Schließelement ist mit einer Schraube auf den schwingenden Arm montiert, die durch ein übergroßes Loch passiert, und das Schließelement kann genau mit den öffnungen ausgefluchtet werden, wenn das Ventil montiert wird. Die Unterseite des Schraubkopfes ist mit einer goldplattierten Lippe versehen, die am Schließe lenient anliegt, um eine strömungsmittel dichte Dichtung um die öffnung zu bilden, wenn die Schraube angezogen wird.

Durch die Erfindung soll ein neues und verbes-v· · i<s Schieberventil zur Verwendung in Ultrahoch-Vakuumsystemen verfügbar gemacht werden.

Ferner soll durch die Erfindung ein Schieberventil dieser Art verfügbar gemacht werden, das mit einem einzigen Hub eines Betätigungselementes geöffnet oder geschlossen werden kann.

Weiter soll durch die Erfindung ein Schieberventil dieser Art verfügbar gemacht werden, in dem eine Keilwirkung dazu verwendet wird, das Ventilschließelement in abdichtende Anlage an einem Ventilsitz vorzuschieben.

Weiter soll durch die Erfindung ein Schieberventil dieser Art verfügbar gemacht werden, bei der das Schließelement von einem schwingenden Arm getragen wird, um mit den Ventil öffnungen ausgefluchtet und aus dieser Ausfluchtung herausbewegt zu werden.

Ferner soll durch die Erfindung ein Ventil dieser Art verfügbar gemacht werden, das geringen Raumbedarf hat und mit relativ geringem Aufwand gefertigt werden kann.

509839/0743

Weitere Ziele und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung; es zeigen:

Fig. 1 eine Ansicht eines Schieberventils nach der Erfindung;

Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie 2-2 in Fig. 1 in der

Betriebsstellung, in der das Ventilschließelement mit den Ventilöffnungen ausgefluchtet und zurückgezogen ist;

Fig. 3 einen Teil des Schnittes von Fig. 2, mit dem Ventil-

schließelement in der vorgeschobenen oder Schließstellung;

Fig. 4 das in Fig.2 mit der Linie 4-4 umschlossene Detail zur

Veranschaulichung des Umfangs-Dichtungswulstes des Schließelementes;

Fig. 5 einen Schnitt längs der Linie 5-5 in Fig. 2;

Fig. 6 einen Tei!schnitt zur Veranschaulichung des Zusammenwirkens des Schließelementes mit einem Ventilsitz zur Bildung einer Abdichtung; und

Fig. 7 eine Tei!darstellung der Bildung einer Abdichtung

gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung.

Das Schieberventil besteht aus einem Körper mit einer Deckplatte H₁ einer Bodenplatte 12, Seitenwänden 13 und 14 und Endwänden 15 und 16. Die Wände und Platten sind mit einem geeigneten Verfahren miteinander verbunden, beispielsweise durch Schweißen, so daß ein hermetisch dichter einheitlicher Körper gebildet wird. Axial ausgefluchtete Einlaß- und Auslaß-Öffnungen 18 und 19 sind in den

509839/0743

Wänden 13 bzw. 14 gebildet, und koaxial zu den öffnungen sind Ringflansche 21 und 22 angeordnet, um eine Einrichtung zu bilden, mit der Leitungen mit dem Ventil verbunden werden. Die Flansche sind mit den Körperwä'nden verbunden und hermetisch um die öffnungen abgedichtet, beispielsweise durch Schweißen.

Ein schwingender Arm 26 ist schwenkbar im Ventil körper derart montiert, daß er sich quer zur Achse der Öffnungen 18 und 19 bewegen kann. Dieser Arm ist auf einen Schwenkzapfen 27 montiert, der drehbar in Lagern 28 montiert ist. Diese Lager sind in Lagerblöcken 29 montiert, die an den Seitenwänden 13 und i4 befestigt sind, und in der bevorzugten Aus fühnmgs form sind diese Lager Nadellager. Der Zapfen 27 wird axial mit Kappen 31 gehaltert, die mit nicht dargestellten Schrauben an Blöcken 29 befestigt sind. Der Zapfen und die Lager reichen durch öffnungen 32 in Wänden 13 und 14, und die Blöcke 29 sind so mit den Wänden verbunden, daß Dichtungen umdiese öffnungen gebildet werden. Dichtungselemente 33 sind zwischen den Kappen 31 und den Blöcken 29 angeordnet, um die Enden des Zapfens abzudichten.

Bei der bevorzugten ÄusfUhrungsform ist der schwingende Arm ein steifes, rohrförmiges Element» das allgemein quadratischen Querschnitt hat. In ftiner Position angrenzend an die Seitenwand wird es mit einem Abstandshalter 34 auf Zapfen 27 gehalten.

Ein Ventilschließelernent 36 ist auf den schwingenden Arm 26 montiert und so positioniert, daß es mit den öffnungen 18 und ausgefluchtet werden kann, wenn der Arm in den Ventilkörper hineinschwingt, bzw. aus dieser Ausfluchtung heraus. Das Schließelement ist auch zwischen einer vorgeschobenen und einer zurückgezogenen Position in eine Richtung allgemein parallel zur Achse der öffnungen bewegbar. Das Schließelement ist auf einen Keil 37 montiert, der durch eine öffnung 38 in einer Wand

509839/07 4 3

des schwingenden Arms passiert und seitlich im Arm bewegbar ist. Eine Stützscheibe 39 ist zwischen dem Schließelement und dem Keil vorgesehen, und das Schließelement und die Stützscheibe sind mit einer Schraube 41 am Keil befestigt, die durch eine Öffnung 42 im Schließelement hindurchführt. Diese Öffnung'hat größeren Durchmesser als der Schaft der Schraube, und erlaubt es, die Position des Schließelementes zu justieren, wenn das Ventil fertig montiert ist, um eine einwandfreie Ausfluchtung mit der Öffnung 18 zu gewährleisten. Die Unterseite des Schraubenkopfes ist mit einer ringförmigen Dichtlippe 43 versehen, die am Schließelement anliegt, um eine Dichtung um die Öffnung 42 zu bilden, wenn die Schraube angezogen wird. In derbevorzugten Ausführungsform ist die Lippe 43 mit einem v/eichen Metall plattiert, beispielsweise Gold.

Eine nachgiebige Einrichtung ist vorgesehen, um das Schließelement in die zurückgezogene Stellung zu drängen. Diese Einrichtung besteht aus Druckfedern 46, die zwischen einer flachen Flügelplatte 47 am Arm 26 und Unterlegscheiben 48 auf Schrauben eingepreßt sind, die von der Stutzscheibe 39 getragen werden.

Eine Rolle 51 liegt am vorderen Ende des Keils 37 an und verhindert eine Bewegung dieses Teils in Längsrichtung des Arms 26. Diese Rolle ist drehbar auf einen Zapfen 52 montiert, der sich quer zum Arm erstreckt,und zwar mittels Lagern 53. Der Zapfen wird mit Halteklemmen 54 im Arm gehalten.

Ein zweiter Keil 56 ist in den schwingenden Arm 26 montiert, und in dessen Längsrichtung bewegbar. Dieser Keil hat eine allgemein ebene, geneigte Fläche 57, die einer ähnlichen Fläche 58 am Keil 37 gegenüberliegt. Nadellager 59 sind zwischen den geneigten Oberflächen angeordnet, um für eine rollende Reibung zwischen den Keilelementen zu sorgen. Zusätzliche

.. ./8 509839/0743

Nadellager 61 ergeben eine rollende Reibung des Keils 56 im Arm 26. Zwei Führungsrollen 62 und eine Nockenfolgerrolle 63 sind drehbar auf einen Stift 64 am rückwärtigen Ende des Keils montiert. Die Führungsrollen haben größeren Durchmesser als die Nockenfolgerolle, und sie liegen an den Wänden des Arms 26 an, um eine Seitenbelastung des Keils zu verhindern.

Es ist eine Einrichtung vorgesehen, um den Arm 26 im Ventil körper zu schwenken und den Keil 56 in Längsrichtung des Arms zu bewegen. Diese Einrichtung weist einen Betätigungsstab 66, ein schwenkendes Verbindungsstück 67 und einen Nocken 68 auf. Ein Ende des Verbindungsstücks 67 ist schwenkbar auf einen Stift 27 montiert, und die Betätigungstange 66 ist mit einem Stift 69 schwenkbar mit dem Verbindungsstück 67 verbunden. Der Nocken 68 ist fest am schwenkenden Verbindungsstück 67 mit Stiften 71 befestigt und so positioniert, daß er an der Nockenfolgerrolle 63 anliegt, öffnungen 72 und 73 sind in den Wänden des Arms 26 vorgesehen, um das schwenkende Verbindungsstück und den Nocken durchzulassen.

Ein Betätigungselement 76 geeigneter Art, beispielsweise eine manuell betätigte steigende Spindel, oder ein doppeltwirkender, pneumatischer Zylinder ist vorgesehen, um das Ventil zwischen der Offen- und Schließ-Stellung zu betätigen. In Anwendungsfällen, in denen ein ausfal!sicherer Betrieb erwünscht ist, kann das Betätigungselement Einrichtungen wie Federn enthalten, um das Ventil in die gewünschte Richtung zu bewegen, falls die Energie ausfällt, die das Betätigungselement normalerweise betätigt. Ein ganzmetallenes Betätigungselement wird vorzugsweise mit dem Schieberventil verwendet, wenn dieses Ausheizprozessen oder radioaktiver Umgebung ausgesetzt ist.

Das Betätigungselement 76 ist außerhalb des Venti1 körpers 10

509839/0743

montiert und durch eine flexible Kupplung 77 mit der Betätigungsstange 66 verbunden, wobei die Kupplung mit einem Balgen 78 abgedichtet ist. Die Kupplung weist einen Bolzen 79 auf, der in die Ausgangsstange 81 des Betätigungselementes eingeschraubt ist. Der Kopf des Bolzens 79 ist locker in einerAufnahme 81 zwischen einer Basis 82 und einer Kappe 83 eingefangen, die mit Schrauben 84 aneinander befestigt sind. Die Betätigungsstange ist schwenkbar mit einem Joch 86 auf Basis 82 mit einem Stift verbunden, und eine Führungsrolle 88, die auf einen Flansch montiert ist, der an der Basis 82 befestigt ist, liegt an der Seitenwand 13 des Ventilkörpers an.

Es ist eine Einrichtung vorgesehen, mit der die Bewegung des Schwenkarms 26 in einer Richtung begrenzt wird, um eine Grenzposition zu definieren, in der das Schließelement 36 mit den öffnungen 18 und 19 ausgefluchtet ist. Diese Einrichtung besteht aus einem justierbaren Anschlag, der auf die Seitenwand des Ventil körpers montiert ist. Dieser Anschlag weist eine Schraube 92 auf, die in einen Flansch 93 geschraubt ist, der am Wandkörper befestigt ist. Eine Kontermutter 94 auf der Schcaube kann gegen den Flansch angezogen werden, um die Schraube in einer gewünschten Position festzulegen.

In der in Fig. 1 bis 6 dargestellten Ausführungsform ist das Ventilschließelement 36 eine konische Scheibe, die in einen Ventilsitz 96 aufgenommen werden kann, der in der Seitenwand des Ventilkörpers um die öffnung 18 herum gebildet ist. Die Scheibe besteht aus einem Hochtemperatur-Federmaterial wie .Beryllkupfer und dehnt sich in Umfangsrichtung, wenn sie in der axialen Richtung verbogen wird. Ein Dichtwulst 36a ist in der äußeren Umfangskante der Scheibe gebildet und erstreckt sich in Umfangsrichtung. Zusätzliche Wulste 36b und 36c sind in der Kante gebildet und haben axial von dem Dichtwulst

.../10 509 8 3 9/0743

einen Abstand. Der Wulst 36b hat größeren Durchmesser als der Dichtwulst, und die Wulste 36b und 36c dienen dazu, den Dichtwulst zu schützen, falls die Scheibe fällt oder auf die Kante fällt. Zusätzlich dient der Wulst 36c dazu, die Scheibe in den Ventilsitz zu führen, falls eine geringfügige Fehlausfluchtung vorliegt.

Eine Goldschicht 36d oder eine Schicht aus einem anderen geeigneten weichen Metall ist auf dem Dichtwulst 36a vorgesehen. In der bevorzugten Ausführungsform ist eine relativ dicke Goldplattierung, beispielsweise 0,05 mm (O₅OOZ") an der Kante der Scheibe vorgesehen, und der Rest der Scheibe ist mit einer dünneren Plattierung aus dem gleichen Werkstoff versehen.

Wie in Fig. 6 veranschaulicht ist, weist der Ventilsitz 96 eine ringförmige Grundwand 96a und eine zylindrische Seitenwand 96b auf. Die Seitenwand hat von der Grundwand einen derartigen Abstand, daß der Dichtwulst 36a so positioniert wird, daß er an der Seitenwand anliegt, wenn die voreilende Kante des Schutzwulstes 36 an der Bodenwand anliegt. Eine Aussparung 96 ist zwischen der Bodenwand und der Seitenwand vorgesehen, um den Wulst 36c aufzunehmen, und eine abgekantete Fläche 96d ist an der Außenkante des Sitzes vorgesehen.

Die Ventilöffnung 19 ist größer als die Ventilöffnung 18, und

die Ventilscheibe 36, der Schwenkarm 26 und die anderen Elemente,

die in den Körper montiert sind, können durch die größere öffnung installiert und herausgenommen werden.

Betrieb und Verwendung der Ausführungsform nach Fig. 1 bis 6 kann kurz beschrieben werden. Es wird angenommen, daß die Ventilscheibe 36 und die Anschlagschraube 92 für richtige Ausfluchtung der Ventilscheibe mit dem Sitz 96 justiert sind und

.../11

509839/0743

daß anfänglich das Ventil in der Offenposition ist, wie durch strichpunktierte Linien in Fig. 1 dargestellt. In dieser Position ist die Ventilscheibe 36 nicht mit den öffnungen 18 und 19 ausgefluchtet und mit dem Ventil verbundene Leitungen stehen frei durch die öffnungen miteinander in Verbindung.

Wenn das Betätigungselement 76 zum Schließen des Ventils betätigt wird, führt das Joch 86 einen Abwärtshub aus, so daß der Nocken im Uhrzeigersinn nach unten geschwenkt wird, gesehen in Fig. 1. Der Nocken kommt mit der Rolle 63 am Keil 56 zur Anlage und solange Arm 26 frei schwenken kann, halten die Federn 46 die Ventilscheibe 36 in der zurückgezogenen Stellung und hindern den Keil 56 daran, sich im Arm zu bewegen. Dementsprechend sorgt die vom Nocken 68 auf die Rolle 63 ausgeübte Kraft dafür, daß der Arm 26 im Uhrzeigersinn zum Anschlag 91 schwenkt. Wenn der Arm an der Anschlagschraube 92 anschlägt, überwindet die auf den Nocken wirkende Kraft die Kraft der Rückhaltefedern 46, und der Keil 56 bewegt sich vorwärts, so daß der Keil 37 und die Ventilscheibe 36 in ihre vorgeschobene Stellung gatrieben werden. Wenn die Scheibe mit der Bodenwand 96a des Ventilsitzes 96 in Berührung kommt, gibt die Scheibe axial nach und dehnt sich in Umfangsrichtung, so daß der Dichtwulst 36a nach außen gegen die Wand 96b des Sitzes gepreßt wird. Die Kraft verformt die Goldplattierung auf dem Dichtungswulst, wodurch für einen strömungsmittel dichten Sitz zwischen diesem Wulst und der Sitzwand gesorgt wird.

Das Ventil wird durch einen Aufwärtshub des Betätigungselementes geöffnet, der den Nocken 68 nach aufwärts oder gegen den Uhrzeigersinn dreht, gesehen in Fig. 1. Wenn der Nocken seine Aufwärtsbewegung beginnt, ziehen die Federn 46 die Ventilscheibe vom Ventilsitz zurück und treiben den Keil 56 in seine zurückgezogene Stellung. Wenn die Axialkraft auf der Ventilscheibe nachläßt, kehrt die Scheibe in ihren unverformten Zustand zurück, in dem sie

.../12

509839/0743

vom Sitz zurückgezogen werden kann. Wenn die Scheibe und die Keile ihre zurückgezogenen Positionen erreichen, schlägt das Schwenkverbindungsstück 67 gegen die Wand des Arms 26 an der rückwärtigen Kante der öffnung 72 an. Danach sorgt der weitergehende Aufwärtshub des Betätigungselementes 76 dafür, daß der Arm gegen den Uhrzeigersinn in die VentilOffenposition schwenkt, wie in strichpunktierten Linien in Fig. 1 dargestellt ist.

Die Ausführungsform nach Fig.7 ist ähnlich der Ausführungsform nach Fig. 1 bis 6 mit Ausnahme der Art und Weise, in der die Dichtung um die öffnung 18 herum gebildet wird. Bei der Ausführungsform nach Fig. 7 ist das Ventilschließelement 36 eine feste Platte mit einer ringförmigen Nut 98, in die ein O-Ring montiert ist. Der O-Ring besteht aus einem Elastomer, wie Viton, und ist so positioniert, daß er an der Innenfläche der Wand um die öffnung 18 herum anliegt. Der Ventilsitz 96 wird bei dieser Ausführungsform nicht benutzt und kann weggelassen werden.

Betriebsweise und Verwendung der Ausführungsform nach Fig.7 ist im allgemeinen ähnlich der Arbeitsweise und Verwendung der ersten Ausführungsform. Bei der Ausführungsform nach Fig. 7 gibt die feste Ventilplatte 36 jedoch nicht merkbar nach, wenn sie zur öffnung 18 hin getrieben wird, und der O-Ring 99 wird gegen die Wand 13 gepreßt, um eine strömungsmittel dichte Stirndichtung um die öffnung zu bilden.

Die Erfindung weist eine Anzahl wichtiger Merkmale und Vorteile auf. Das Ventil ist kompakt und schnellwirkend,und kann mit einem einzigen Hub des Betätigungselementes geöffnet oder geschlossen werden. Die Länge des Hubes ist kurz, verglichen mit dem Durchmesser der Ventilöffnung, beispielsweise 38 mm Hub bei 152 mm öffnungsweite. Die Keile und die konische Scheibe ergeben jeweils eine erhebliche

.../13 5 0 9839/0743

mechanische Untersetzung, und es wird mit einer relativ kleinen Kraft vom Betätigungselement eine sehr hohe Dichtungskraft erzeugt. Da die Keile sich auf rollenden Flächen bewegen, sind Reibungsverluste minimal. Der einstellbare An» chi ag und die Montageschrauben erlauben es, das Ventilelement exakt mit den Ventilöffnungen auszufluchten. Darüberhinaus ist das Ventil dauerhaft und relativ billig herzustellen.

5 0 9839/0743

Claims

/V

Patentanspruch

l.jSchieberventil mit einem Venti!körper, der axial ausgefluchtete Einlaß- und Auslaß-Üffnungen aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß ein Schwenkarm derart schwenkbar im Ventilkörper montiert ist, daß er quer zur Achse der öffnungen bewegbar ist, der Schwenkarm ein Ventilschließelement trägt, das mit den VentilÖffnungen ausgefluchtet werden kann, wenn der Arm im Ventil körper bewegt wird, und eine Antriebseinrichtung,, mit der der Schwenkarm so bewegt werden kann, daß das Ventilschließelement mit den öffnungen ausgefluchtet werden kann und anschließend das Ventilschließglied axial auf eine der Öffnungen zu bewegt werden kann.
2. Schieberventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Grenzanschlag für die Bewegung des Schwenkarms in einer Richtung vorgesehen ist, um eine Gnsnzposition zu definieren, in der das Schließelement mit den Öffnungen ausgefluchtet ist, der Schwenkarm Kei!einrichtungen aufweist, die in dessen Längsrichtung bewegbar sind, um das Schließelement axial zu den Öffnungen von einer zurückgezogenen Position in eine vorgeschobene,Position zu bewegen» in der eine der Öffnungen geschlossen ist, der Schwenkarm nachgiebige Einrichtungen trägt, mit denen das Schließelement in die zurückgezogene Position gedrängt wird, und die Betätigungseinrichtung zwischen zwei Positionen bewegbar ist, um den Schwenkarm in einer Richtung zur Grenzposition hinzubewegen und danach die Keileinrichtung in Längsrichtung des Armes zu bewegen, um das Ventilschließelement in die vorgeschobene Position zu bewegen und die eine Öffnung zu schließen, wobei die nachgiebige Einrichtung das Schließelement in der zurückgezogenen Stellung hält und eine

.../A2 5 0 9839/0743

Bewegung der Keneinrichtung in Längsrichtung des Armes verhindert, bis der Arm die Grenzsteilung erreicht.
3. Schieberventil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Schließelement mittels einer Schraube auf den Schwenkarm montiert, ist, die durch eine öffnung im Schließelement führt, welche größeren Durchmesser als der Schraubenschaft hat, so daß die Position des Schließelementes mit Bezug auf die öffnungen justiert werden kann.
4. Schieberventil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopf der Schraube mit einer ringförmigen Dichtungslippe versehen ist, die am Schließelement anliegt, um eine hermetische Dichtung um die öffnung zu bilden, wenn die Schraube angezogen ist.
5. Ventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtlippe mit einem weichen Metall plattiert ist, beispielsweise Gold.
6. Schieberventil nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Nocken schwenkbar im Ventil körper montiert und betrieblich mit dem Betätigungselement verbunden ist, und die Kei!einrichtung einen Nockenfolger trägt, der am Nocken anliegt.
7. Ventil nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Nockenfolger aus einer Rolle besteht, die drehbar auf der !teileinrichtung montiert ist.
8. Ventil nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine zusätzliche Rolle koaxial zu der erstgenannten Rolle montiert ist,

.../A3 §09839/0743

einen größeren Durchmesser als diese hat und am Schwenkarm anliegt, um eine Rollbewegung zwischen der Keileinrichtung und dem Arm zu bewirken.
9. Ventil nach einem der Ansprüche 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Keileinrichtung aus einem am Schließelement befestigten Keil besteht, der seitlich zum Schwenkarm bewegbar ist und an einer Längsbewegung innerhalb des Arms gehindert ist, und einem zweiten Keil, der in Längsrichtung des Schwenkarms bewegbar ist und an einer Bewegung seitlich zum Arm gehindert ist, und daß diese beiden Keile aufeinander zuweisende geneigte ebene Flächen aufweisen, so daß aufgrund einer Längsbewegung des zweiten Keils sich der erste Keil seitlich bewegt.
10. Schieberventil nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den geneigten Flächen der Keile Rollenlagerungen vorgesehen sind.
11. Schieberventil nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem zweiten Keil und dem Schwenkarm Rollenlagerungen vorgesehen sind.
12. Ventil nach Anspruch9, 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Keile in dem Schwenkarm montiert sind.
13. Schieberventil nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwenkarm eine sich in dessen Längsrichtung erstreckende Öffnung aufweist und der zweite Keil in dieser Öffnung angeordnet ist.
14. Ventil nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwenkarm und der Nocken um die gleiche Achse schwenkbar sind.

.../A4 509839/0743

-M-
15. Schieberventil nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventilschließelement eine ringförmige Dichtungsfläche aufweist, von der ein Dichtungswulst nach außen vorsteht, zwei Schutzwülste nach außen von der Dichtfläche vorstehen und der Dichtwulst zwischen den beiden Schutzwülsten angeordnet ist.
16. Schieberventil nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ventilsitz eine der öffnungen umgibt und das Ventilschließglied eine konische Platte ist, die axial nachgiebig ist und in Umfangsrichtung dehnbar ist.
17. Schieberventil nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Wülste im Umfang des Ventilschiießgliedes angeordnet sind, die beiden Schutzwülste axialen Abstand von dem Dichtungswulst haben und der Dichtungswulst kleineren Aüßendurchmesser hat als die Schutzwülste und zwischen diesen angeordnet ist.
18. Schieberventil nach Anspruch 15, 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Dichtungswulst mit einem weichen Metall plattiert ist, beispielsweise Gold.
19. Schieberventil nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß das Schließelement mit einer axial weisenden ringförmigen Dichtung ausgestattet ist.

509839/0743

IS

Leerseite