DE2824371A1

DE2824371A1 - Akustisches oberflaechenwellenfilter

Info

Publication number: DE2824371A1
Application number: DE19782824371
Authority: DE
Inventors: Masahiro Nagasawa; Masahide Tsukamoto; Hiroshi Yamazoe
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1977-06-03
Filing date: 1978-06-01
Publication date: 1979-01-18
Also published as: FR2401551B1; JPS5740683B2; US4203082A; FR2401551A1; DE2824371C2; JPS54844A; GB1604573A

Description

Um eine geringe Einfügungsdämpfung und geringe TTE-Werte zu erreichen, sind ein erster Wandler in der Mitte zwischen einem zweiten und einem dritten Wandler auf einer Oberfläche eines piezoelektrischen Substrats so angeordnet, daß der zweite und der dritte Wandler in der Ausbreitungsrichtung (X-Richtung) der vom ersten Wandler ausgelösten akustischen Oberflächenwellen liegen und der Abstand zwi-schen den Mittellinien des ersten und des zweiten Wandlers und auch der Abstand zwischen den Mittellinien des ersten und des dritten Wandlers in Y-Richtung recht-winklig zur X-Richtung sich ändern.

Die vorliegende Erfindung betrifft akustische Oberflächenwellenfilter.

Die akustische Oberflächenwelle wird von einem Kammwandler ("interdigital transducer") auf einer Oberfläche eines piezoelektrischen Substrats innerhalb eines Frequenzbereichs angeregt, der vom Aufbau des Wandlers und der akustischen Oberflächengeschwindigkeit des piezoelektrischen Substrats abhängt. Es sind akustische Oberflächenwellenfilter (SAW-Filter) vorgeschlagen worden, die die Eigenschaften einer Anordnung ausnut-zen, bei der ein erster Wandler elektrische Eingangssignale in eine akustische Ober-flächenwelle mit Frequenzeigenschaften umsetzt, die von dem Aufbau des Wandlers bestimmt werden: ein zweiter Wandler nimmt die akustische Welle auf und setzt sie in ein elektrisches Ausgangssignal um, dessen Frequenzeigenschaften wiederum vom Aufbau des Ausgangswandlers abhängen. Solche Filter sind für viele Einsatz-fälle - bspw. Videointerfrequenzfilter (VIF) in FS-Empfängern - zu erwarten.

SAW-Filter werden jedoch derzeit vielfach nicht angewandt, weil es schwierig ist, mit ihnen eine geringe Einfügungsdämpfung bei geringer Welligkeit der Durchlaßkurve zu erreichen. Diese Welligkeit im Amplitudengang des übertragenden Signals und auch die Welligkeit der Gruppenverzögerung werden verursacht durch Mehrfachre-flektionen der akustischen Oberflächenwelle zwischen dem Eingangs- und dem Aus-gangswandler. Unter den mehrfach reflektierten Wellen ist die zweifach reflektierte die stärkste; diese Welle wird als "Triple Transit Echo" (TTE-Welle) bezeichnet. Dabei pflanzt sich die vom Eingangswandler erregte akustische Oberflächenwelle zum Aus-gangswandler hin fort, der die einfallende Welle reflektiert, die sich dann zum Ein-gangswandler zurückbewegt, an dem die Welle erneut zum Ausgangswandler hin re-flektiert wird. Diese zweifach reflektierte akustische Welle (TTE-Welle) ist um 2 klei-nes Tau gegenüber der Hauptwelle (ein Durchgang) verzögert, wobei <Nicht lesbar> die Zeit ist, die die akustische Welle benötigt, um vom Eingangswandler zum Ausgangswand-ler zu laufen. Infolge der Wechselwirkung der TTE-Welle mit der Hauptwelle entsteht die Welligkeit des Amplituden- und des Gruppenverzögerungsgangs.

Bei herkömmlichen SAW-Filtern ist bekannt, daß sich die Stärke der TTE-Welle mit folgender Beziehung annähern läßt:

TTE (dB) = - (2 x Einfügungsdämpfung + 6) (dB)

Bspw. wird der TTE-Pegel zu -26 dB, wenn die Grenze der Einfügungsdämpfung für den praktischen Gebrauch zu 10 dB bestimmt worden ist; ein Abstand von -26 dB ist nicht akezptabel; in der Praxis sind etwa -40 dB oder mehr erforderlich. Der oben an-geführte Wert der TTE-Dämpfung verursacht Geister und Bildfarbenverzerrungen, so daß die gewünschte Farbe nicht wiedergegeben wird und weiterhin verschwimmt oder auch überscharf erscheint.

Für die Mehrfachreflektionen in SAW-Filtern gibt es zwei Ursachen. Zunächst ist eine von ihnen die Diskontinuität der akustischen Impedanz, die das auf dem piezoelektri-schen Substrat zur Herstellung des Ein- und des Ausgangswandlers aufgebrachte Metall bewirkt. Der andere Grund ist die Regenerierung der akustischen Oberflä-chenwelle durch den Ausgangswandler, der die vom Eingangswandler erregte einfal-lende Welle aufnimmt, seinerseits aber ebenfalls als Sender wirkt. Die

Amplitude und Phase der regnerierten Welle hängen von der Last am Ausgangs-wandler ab. Diese Regnerierung der akustischen Welle tritt auch am Eingangswand-ler auf. Schließlich erfolgt eine Mehrfachreflektion. Die von den oben genannten Ur-sachen bewirkte Mehrfachreflektion ist schwer zu unterdrücken. Es ist bekannt, daß die von der ersten Ursache bewirkte Mehrfachreflektion sich mit aufgeteilten Elektro-den unterdrücken lassen, bei denen jeder Finger des Fingerwandlers eine Breite von 1/8 der Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle bei einer Frequenz hat, bei der der Wandler ein Maximum im Amplitudengang zeigt; weiterhin betragen die Fin-gerabstände ebenfalls 1/8 Wellenlänge. Die von der letztgenannten Ursache bewirk-ten Mehrfachreflektionen sind jedoch schwer zu unterdrücken.

Man hat mehrere Verfahren vorgeschlagen, um die von der letztgenannten Ursache bewirkten Mehrfachreflektionen zu unterdrücken. Ein Beispiel dafür ist, zum Ein-gangs- und Ausgangswandler zusätzlich reflektierende Wandler zu verwenden, die von dem Eingangs- oder Ausgangswandler einen Abstand von 1/4 der Wellenlänge haben. Die von den Reflektionswandlern reflektierten Wellen treten mit den vom Ein- und vom Ausgangswandler reflektierten Wellen in Wechselwirkung derart, daß die vom Ein- und Ausgangswandler reflektierten Wellen unterdrückt werden. Ein weiteres Beispiel ist ein Verfahren zur Verwendung eines Eingangswandlers, den man aus zwei oder drei Quellen mit einem Phasenunterschied von 120° ansteuert, und eines Ausgangswandlers, der gleich dem Eingangswandler aufgebaut ist und als Umkehr-wandler wirkt, der die akustischen Wellen wieder zu elektrischen

Signalen wandelt. Diese Verfahren zur Unterdrückung der TTE-Wellen haben jedoch Nachteile. Im ersteren Fall ist ein großes piezoelektrisches Substrat erforderlich, um die Reflektionswandler aufzubringen. Im letzteren Fall wird der Aufbau des Ein- und des Ausgangswandlers kompliziert; es sind weiterhin zwei- oder dreiphasige Signal-quellen und desgl. entsprechende Schaltungen zur Rückumsetzung der Signale er-forderlich.

Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein akustisches Oberflächenwellenfilter an-zugeben, mit dem sich sowohl eine geringe Einfügungsdämpfung als auch eine ge-ringe TTE-Amplitude bei einfachem Aufbau des Eingangs- und des Ausgangswand-lers erreichen lassen.

Dieses Ziel wird nach der vorliegenden Erfindung mit einem akustischen Oberflä-chenwellenfilter mit einer 3-Wandler-Konfiguration auf einem piezoelektrischen Sub-strat erreicht, in dem ein an eine Signalquelle angeschlossener erster Wandler aku-stische Oberflächenwellen anregt und ein zweiter und dritter Wandler in Reihe mit oder parallel zu einer Last gelegt sind, die die akustischen Oberflächenwellen in elek-trische Signale umsetzt. Diese Anordnung ist dadurch gekennzeichnet, daß der Ab-stand zwischen den Mittellinien des ersten und des zweiten Wandlers und der Ab-stand zwischen den Mittellinien des ersten und des dritten Wandlers sich linear in Y-Richtung, die rechtwinklig zur X-Richtung, die parallel zur Richtung der akustischen Oberflächenwelle verläuft, ändert, wobei Abs. (l[tief]1t - l[tief]1b) = Abs (l[tief]2t - l[tief]2b) = kleines Alpha kleines Lambda[tief]o gilt und l[tief]1t und l[tief]1b die Abstände zwischen den Mittellinien des ersten und des zweiten Wandlers und un-ten im ersten bzw. zweiten Wandler, l[tief]2t und l[tief]2b die Abstände zwischen den Mittellinien des ersten und des dritten Wandlers oben und unten im ersten bzw. drit-ten Wandler, kleines Alpha ein Koeffizient zwischen 0,15 und 0,45 und kleines

Lambda[tief]o die Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle bei der Mittenfrequenz ist, bei der der erste Wandler ein Maximum des Amplitudengangs zeigt.

Die Besonderheiten der vorliegenden Erfindung sollen nun unter Bezug auf die bei-gefügten Zeichnungen ausführlich beschrieben werden.

Fig. 1 ist eine schematisierte Draufsicht einer Ausführungsform eines akustischen

Oberflächenwellenfilters nach der vorliegenden Erfindung und seiner elektri-

schen Verschaltung;

Fig. 1´ ist eine schematisierte Zeichnung entsprechend der Fig. 1, bei der jeder Fin-

ger des Wandlers als Spaltelektrode aufgebaut ist;

Fig. 2 zeigt diagrammatisch den Amplitudengang eines akustischen Oberflächenwel-

lenfilters nach Fig. 1 und eines herkömmlichen Oberflächenwellenfilters;

Fig. 3 ist eine schematisierte Draufsicht einer Ausführungsform eines weiteren aku-

stischen Oberflächenwellenfilters nach der vorliegenden Erfindung und seiner

elektrischen Verschaltung;

Fig. 4 ist eine diagrammatische Darstellung des Frequenzgangs der Amplitude eines

akustischen Oberflächenwellenfilters nach Fig. 3 und eines herkömmlichen akustsichen Oberflächenwellenfilters;

Fig. 5 ist eine schematisierte Draufsicht einer Ausführungsform eines weiteren akusti-

schen Oberflächenwellenfilters nach der vorliegenden Erfindung und seiner

elektrischen Verschaltung;

Fig. 6 ist eine Diagrammdarstellung des Amplitudengangs eines akustischen Oberflä-

chenwellenfilters nach Fig. 5;

Fig. 7 zeigt als Diagramm den Zusammenhang zwischen der Einfügungsdämpfung

und der Welligkeit eines akustischen Oberflächenwellenfilters nach Fig. 6;

Fig. 8 zeigt als Diagramm den Zusammenhang zwischen der Einfügungsdämpfung

und der Welligkeit eines herkömmlichen akustischen Oberflächenwellenfilters;

Fig. 9 ist eine schematisierte Draufsicht eines Oberflächenwellenfilters nach Fig. 5

und seiner elektrischen Verschaltung, die sich von der der Fig. 5 unterschei-

det;

Fig. 10 ist eine schematisierte Draufsicht einer Ausführungsform eines weiteren aku-

stischen Oberflächenwellenfilters nach der vorliegenden Erfindung und seiner

elektrischen Verschaltung;

Fig. 11 ist eine schematisierte Draufsicht einer Ausführungsform eines weiteren aku-

stischen Oberflächenwellenfilters nach der vorliegenden Erfindung und seiner

elektrischen Verschaltung;

Fig. 12A und 12B sind schematisierte Darstellungen der Längenabstufung der Fin-

gerelektroden;

Fig. 13 ist ein Diagramm des Amplitudengangs eines akustischen

Oberflächenwellenfilters nach Fig. 11, bei dem die Längenabstufung der Elek-

trodenfinger sich von der der Fig. 11 unterscheidet, und eines herkömmlichen

akustischen Oberflächenwellenfilters mit bekannter Längenabstufung;

Fig. 14 ist ein Diagramm des gemessenen Amplitudengangs eines akustischen Ober-

flächenwellenfilters nach Fig. 11 und eines herkömmlichen Oberflächenwel-

lenfilters;

Fig. 15A und 15B sind schematisierte Darstellungen, die die Modifikation der Längen-

abstufung mit unveränderter Gewichtungsfunktion zeigen;

Fig. 16 sind schematisierte Draufsichten einer Ausführungsform eines weiteren aku-

stischen Oberflächenwellenfilters nach der vorliegenden Erfindung und seiner

elektrischen Verschaltung;

Fig. 16´ ist eine Zeichnung, die den Zusammenhang der Abstände zwischen den Tei-

len des ersten, zweiten und dritten Wandlers im Fall von zwei Teilwandlern

zeigt;

Fig. 16´´ zeigt den Zusammenhang der Abstände zwischen den Teilwandlern des er-

sten, zweiten und dritten Wandlers im Fall von drei Teilwandlern;

Fig. 17 zeigt den Amplitudengang eines akustischen Oberflächenwellenfilters nach

Fig. 16 und eines herkömmlichen akustischen Oberflächenwellenfilters;

Fig. 18 ist eine schematisierte Draufsicht einer Ausführungsform des gegenüber dem

der Fig. 16 modifizierten akustischen Oberflächenwellenfilters und seiner elek-

trischen Verschaltung;

Fig. 19A, 19B und 19C sind schematisierte Zeichnungen, die die Abänderung der

Längenabstufung hinsichtlich der Umwandlung der komplexen Konfiguration

der Fig. 16 auf eine einfache Konfiguration der Fig. 18 bei unveränderter Ge-

wichtungsfunktion zeigen; und

Fig. 20 zeigt den gemessenen Frequenzgang der Amplitude eines der Fig. 18 ent-

sprechenden akustischen Oberflächenwellenfilters und eines herkömmlichen

Oberflächenwellenfilters.

Wie in Fig. 1 dargestellt, liegt eine Signalquelle 15 in Reihe mit einem Widerstand 16, bei dem es sich um den Innenwiderstand der Signalquelle handelt und der an den Eingangswandler 12 führt, der auf der Oberfläche eines piezoelektrischen Substrats 11 eine akustische Oberflächenwelle erregt. Ein zweiter Wandler 13 und ein dritter Wandler 14 sind beiderseits des ersten Wandlers 12 angeordnet. Der zweite und der dritte Wandler 13, 14 sind über einen Widerstand 18 als Ausgangslast miteinander in Reihe gelegt. Die Spulen 17, 19 liegen zur Abstimmung parallel zum Quell- und Last-widerstand 16, 18. Der erste, zweite und dritte Wandler bestehen jeweils aus zwei Kammelektrodenanordnungen, die elektrisch leitfähig sind. Die Wandler werden übli-cherweise aus als "Fingerwandler" (interdigital transducer") bezeichnet. Das piezo-elektrische Substrat kann ein piezoelektrisches Kristall wie aus LiNbO[tief]3, LiTaO[tief]3, Bi[tief]12GeO[tief]20, SiO[tief]2 usw., eine piezoelektrische Keramik wie PZT oder eine piezoelektrische Dünnschicht wie ZnO auf Glas sein. l[tief]1 und l[tief]2 sind die Abstände zwischen den Mittellinien des ersten und des zweiten

Wandlers 12, 13 bzw. den Mittellinien des ersten und des dritten Wandlers 12, 14. Haben die Kammelektroden eine ungerade Fingerzahl, liegt die Mittellinie in der Mitte des Mittelfingers des Wandlers; bei gerader Fingerzahl liegt die Mittellinie im Zwi-schenraum zwischen den beiden mittleren Wandlerfingern. l[tief]1t und l[tief]2t sind die Abstände l[tief]1 und l[tief]2 im Oberteil des gemeinsamen Bereichs (Breite W) des oberen und des unteren Kamms. Weiterhin sind l[tief]1b und l[tief]2b die Abstän-de l[tief]1 und l[tief]2 im unteren Teil des gemeinsamen Bereichs (W). Wie in Fig. 1 gezeigt, ändern sich l[tief]1 und l[tief]2 in Y-Richtung, die rechtwinklig zur X-Richtung liegt, die ihrerseits diejenige Richtung ist, in der sich die vom ersten Wandler 12 er-regte akustische Oberflächenwelle fortpflanzt.

Der erste Wandler 12 erregt zwei akustische Oberflächenwellen, von denen eine zum zweiten Wandler 13, die andere zum dritten Wandler 14 läuft.

Diese Wellen werden vom zweiten und dritten Wandler teilweise reflektiert und ver-laufen teilweise durch den zweiten und dritten Wandler, während die Restwellen (nicht reflektierte Wellen) zu elektrischen Signalen umgesetzt werden, die als Aus-gangssignale über der Last 18 erscheinen. Die vom zweiten und dritten Wandler re-flektierten Wellen werden teilweise vom ersten Wandler reflektiert, verlaufen teilweise durch den ersten Wandler und gehen zum dritten und zweiten Wandler weiter. Auf diese Weise tritt eine starke Verkopplung des ersten, zweiten und dritten Wandlers auf.

In der Fig. 1 der vorliegenden Anmeldung unterscheiden sich die Abstände l[tief]1t und l[tief]2t von l[tief]1b bzw. l[tief]2b, um die Welligkeit des Amplituden- und Grup-penverzögerungsgangs zu unterdrücken. Die Differenzen zwischen den Abständen l[tief]1t und l[tief]1b und zwischen l[tief]2t und l[tief]2b erfüllt die Beziehung Abs(l[tief]1t - l[tief]1b) = Abs(l[tief]2t - l[tief]2b) = kleines Alpha kleines Lambda [tief]o, wobei kleines Lambda[tief]o die Wellenlänge der akustischen Welle bei der Mittenfrequenz f[tief]c ist, bei der der erste Wandler ein Maximum des Frequenz-gangs zeigt, und kleines Alpha zwischen 0,15 und 0,45 liegt und vorzugsweise 0,3 beträgt. Im herkömmlichen Fall gilt kleines Alpha = 0 (herkömmliche 3-Wandler-Kon-figuration). Wie oben erläutert, lassen sich die Wellenreflektionen auf zwei Ursachen zurückführen. Die eine ist die Diskontinuität der akustischen Impedanz infolge der Masse des aufgebrachten Metalls (Elektrode), die andere ist die Regenerierung der akustischen Welle durch die Wandler, die von der elektrischen Impedanz der Quelle und der Last abhängt. Die erste Ursache läßt sich leicht beseitigen, indem man, wie in Fig. 1´ gezeigt, auf bekannte Weise die Elektrodenfinger aufteilt (hat das piezoelek-trische Material eine sehr niedrige Koppelkonstante, wird die Diskontinuität der aku-stischen Impedanz vernachlässigbar). Die vorliegende Erfindung beseitigt nun die zweite Ursache. In den hier beschriebenen Beispielen hinsichtlich der Filter nach der vorliegenden Erfindung und herkömmlicher Filter wird die Konfiguration mit aufgeteil-ten Elektroden verwendet, weil das hier benutzte piezoelektrische Substrat eine hohe Koppelkonstante hat. Verwendet man ein piezoelektrisches Substrat mit sehr niedri-ger Koppelkonstante (bspw. Zinkoxid und SiO[tief]2), ist diese Aufteilung der Elektro-denfinger nicht erforderlich.

Wie sich aus Fig. 1´ ergibt, entspricht zur Definition der Abstände zwischen den Elek-troden im Fall der aufgeteilten Elektrodenfinger die Mitte des Spalts zwischen den gespaltenen Elektrodenfinger der Mitte der nichtgespaltenen Elektrodenfinger.

Die Fig. 2 zeigt den Amplitudengang eines herkömmlichen Filters in 3-Wandler-Konfi-guration und eines Filters nach der vorliegenden Erfindung, wie es bspw. die Fig. 1 zeigt. Zur Messung waren die Anzahl der Finger (bzw. Elektroden) in jedem Wandler gleich; im Fall der Fig. 2 betrug sie 32. Die Widerstände 16, 18 der Quelle und der Last sind jeweils 50 Ohm. Die Abstimminduktivitäten 17, 19 liegen parallel zum Quell- und Lastwiderstand und betragen 0,2 µH bzw. 0,44 µH. Bei dem eingesetzten piezo-elektrischen Substrat handelt es sich um eine Keramik aus einer festen Lösung aus Bleititanat-Bleizirconat-Bleimagnesiumniobat mit einer wirksamen Koppelkonstanten von 0,2 und einer akustischen Oberflächengeschwindigkeit von 2330,5 msec. Die Kapazität zwischen zwei nebeneinanderliegenden Elektrodenfin-gern beträgt 4,9 pF/mm.

Die geometrische Konfiguration ist wie folgt.

Im Fall des Beispiels nach der vorliegenden Erfindung nach Fig. 2A:

W = 0,6 mm; l[tief]1t = l[tief]2t = 26,0 kleines Lambda[tief]o; l[tief]1b = l[tief]2b = 26,3 kleines Lambda[tief]o (d.h. kleines Alpha = 0,3); und l[tief]1 und l[tief]2 ändern sich li-near zwischen 26,0 kleines Lambda[tief]o und 26,3 kleines Lambda[tief]o, wobei klei-nes Lambda[tief]o die Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle bei der Mitten-frequenz f[tief]o ist, bei der die Wandler ihr Ansprechmaximum zeigen; sie folgt der Beziehung kleines Lambda[tief]o = v/f[tief]o = 2 d, in der y die Geschwindigkeit der akustischen Oberflächenwelle und d der Abstand zwischen den Mitten nebeneinanderliegender Finger in der X-Richtung ist.

Für den herkömmlichen Wandler gilt:

W = 0,3 mm, l[tief]1t = l[tief]2t = l[tief]1b = l[tief]2b = 26,0 kleines Lambda[tief]o (d.h. kleines Alpha = 0).

In der Fig. 2 zeigt die durchgezogene Kurve A den Frequenzgang der Amplitude des Filters nach der vorliegenden Erfindung, die gestrichelte Kurve B den des herkömmli-chen Filters in 3-Wandler-Konfiguration. In diesem Beispiel wurde variiert; die Ergeb-nisse sind in der Tabelle 1 gezeigt, die den Zusammenhang zwischen kleines Alpha und der Einfügungsdämpfung sowie der Welligkeit der Gruppenverzögerung aus-weist:

Die Einfügungsdämpfung nimmt mit steigendem kleines Alpha monoton ab, während die Welligkeit der Gruppenverzögerung bei <Nicht lesbar> = 0,3 bis 0,4 ein Mini-mum zeigt. Aus der Tabelle 1 ergibt sich, daß die vorliegende Erfindung wirkungsvoll ist. Ein Wert von <Nicht lesbar> = 0,15 bis 0,45 ist für eine geringe Welligkeit der Gruppenverzögerung und verhältnismäßig geringe Einfügungsdämpfung bevorzugt. Der bevorzugte Zusammenhang zwischen l[tief]1t, l[tief]2t, l[tief]1b und l[tief]2b (ins-besondere der Differenzen wie (l[tief]1b - l[tief]1t) und (l[tief]2b - l[tief]2t) hängt von den Quell- und Lastimpendanzen ab. In dem oben beschriebenen Beispiel gelten die Zusammenhänge l[tief]1t = l[tief]2t = 26,0 <Nicht lesbar> [tief]o sowie l[tief]1b = l[tief]2b = 26,3 <Nicht lesbar> [tief]o bzw. (l[tief]1b - l[tief]1t) = (l[tief]2b - l[tief]2t) = 0,3 <Nicht lesbar> [tief]o (d.h. = 0,3).

Andere Zusammenhänge l[tief]1t = l[tief]2t = 30 <Nicht lesbar> [tief]o und l[tief]1b = l[tief]2b = 30,3 <Nicht lesbar> [tief]o ergeben den gleichen Effekt. Der bevorzugte Zusammenhang hängt weiterhin von der Konfiguration der Wandler ab - bspw. mit unterschiedlicher Fingerzahl oder Mittenfrequenz ausgeführte Wandler oder längen- bzw. breitengewichteter Wandler. Das heißt, daß die bevorzugten Zusammenhänge hauptsächlich von der Mittenfrequenz der Wandler, der Anzahl der Finger der Wand-ler und deren Gestalt bzw. Längen- oder Spaltbreitengewichtung abhängt. In der Pra-xis wählt man bevorzugt l[tief]1t = l[tief]2t sowie l[tief]1b = l[tief]2b. Die Induktivitäten 17, 19 lassen sich auch mit der Last und der Quelle in Reihe schalten. Zuweilen sind zur Impendanzanpassung Reiheninduktivitäten vorzuziehen, wenn nämlich die Ein- und Ausgangsimpedanz des SAW-Filters groß gegenüber der Quell- und der Lastim-pedanz sind. Weiterhin kann man auch den zweiten und dritten Wandler parallel schalten, wie es die Fig. 9 zeigt, die unten ausführlich beschrieben ist. Auch in diesem Fall erhält man analoge Ergebnisse.

Die Fig. 3 zeigt ein weiteres Beispiel. In der Fig. 3 ist die Quelle 35 an den ersten Wandler 32 gelegt. Der Widerstand 36 ist der Innenwiderstand der Quelle 35. Der zweite und der dritte Wandler liegen in Reihe über einen Widerstand 37, die Aus-gangslast. Diese Wandler sind auf ein piezoelektrisches Substrat 31 aufgebracht. Die Induktivitäten 38, 39 dienen zur Abstimmung. Der erste Wandler 32 ist sich verjün-gend ausgeführt, wie dargestellt, wobei der Abstand d[tief]1 zwischen den Mittellinien nebeneinanderliegender Finger sich in der Y-Richtung, die rechtwinklig zur X-Rich-tung, der Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwelle verläuft, verändert. Es gilt also d[tief]1t ungleich, nicht gleich d[tief]1b. Andererseits sind die Abstände der Mitten nebeneinanderliegender Finger im zweiten und dritten Wandler 33, 34 in Y-Richtung konstant, d.h. d[tief]2t = d[tief]2b und d[tief]3t = d[tief]3b. Der Abstand l[tief]1t und l[tief]1b zwischen dem ersten und dem zweiten Wandler 32, 33 und der Abstand l[tief]2t und l[tief]2b zwischen dem ersten und dem dritten Wandler 32, 34 ändert sich also in Y-Richtung, wobei l[tief]1t, l[tief]1b, l[tief]2t und l[tief]2b zwischen dem ersten und zweiten Wandler einerseits und dem ersten und dritten Wandler an-dererseits jeweils den Abstand zwischen den Mittellinien der drei Wandler bezeich-nen. Die Indizes "t" und "b" für d[tief]1t, d[tief]1b, d[tief]2t, d[tief]2b, d[tief]3t, d[tief]3b, l[tief]1t, l[tief]1b, l[tief]2t und l[tief]2b bezeichnen jeweils Punkte im obersten("top") bzw. untersten ("Bottom") Teil des Eingriffsbereichs (W), wie gestrichelt gezeigt. Die mit "y" bezeichneten Punkte betreffen die Lage y in Fig. 3.

In der Fig. 3 bezeichnet die Lage y die Lage der Mitte in Y-Richtung zwischen zwei zur X-Richtung parallelen Linien, die ein Segment jedes der drei Wandler definieren, in dem die beiden parallelen Linien so weit wie möglich beabstandet sind unter der Bedingung, daß der Abstand zwischen den Mittellinien des ersten und des zweiten Wandlers und der Abstand zwischen den Mittellinien des ersten und des dritten Wandlers sich für jedes Y zwischen den beiden parallelen Linien als konstant be-trachten lassen. Nach der vorliegenden Erfindung soll der Abstand zwischen den Mit-tellinien des ersten und des zweiten Wandlers und auch der Abstand zwischen den Mittellinien des ersten und des dritten Wandlers sich in Y-Richtung linear ändern, da-mit man eine Glättung der Welligkeit des Amplitudenganges erhält. Indem man die obige Definition der Y-Lage anwendet, müssen die Punkte auf der Mittellinie des zweiten und des dritten Wandlers für alle y auf bzw. im wesentlichen auf einer Gera-den liegen, die zur vertikalen Mittellinie des ersten Wandlers geneigt ist. Diese linea-re Änderung der Abstände zwischen den drei Wandlern in Y-Richtung ist eine Forde-rung für alle Beispiele der vorliegenden Erfindung.

In diesen Konfigurationen ist die Mittenfrequenz des ersten Wandlers 32 für die Lage y wie folgt definiert:

(f[tief]o)1[tief]y = v/2d[tief]1y, wobei v die Geschwindigkeit der akustischen Oberflä-chenwelle ist. Die Mittenfrequenz des ersten Wandlers 32 ändert sich in Y-Richtung bzw. für jede Lage. Andererseits sind die Mittenfrequenzen (f[tief]o)[tief]2 und (f[tief]o)[tief]3 des ersten und zweiten wandlers unabhängig von der y-Lage konstant. Die Eigenschaften des SAW-Filters der Fig. 3 und eines herkömmlichen 3-Wandler-Filters sind in Fig. 4 gezeigt, die für gleiche Fingerwahl, nämlich 32, des ersten, zweiten und dritten Wandlers, gleiche Quell- und Lastwiderstände, d.h. 50 Ohm, gleiche Abstimminduktivitäten 38, 39 von je 0,1 µH, eine Breite von 0,3 mm und ein Keramiksubstrat wie im Beispiel der Fig. 1 gelten. In der Fig. 4 gilt die durchgezogene Kurve A für ein Filter nach Fig. 3 mit (f[tief]o)[tief]1t = (f[tief]o)[tief]2 = (f[tief]o)[tief]3 = 57 MHz, (f[tief]o)[tief]1b = 57,675 MHz, l[tief]1t = l[tief]2t = 26,0 (kleines Lambda[tief]o)[tief]1t = 26,0.v/(f[tief]o)[tief]1t = 1,063 mm, l[tief]1b = l[tief]2b = <Nicht lesbar> (kleines Lambda[tief]o)[tief]1b + 8,0 (kleines Lambda[tief]o)[tief]2 = 18,0.v/(f[tief]o)[tief]1b + 8,0.v/(f[tief]o)[tief]2 = <Nicht lesbar> mm und (f[tief]o)1y linear zwischen (f[tief]o[tief]1t und (f[tief]o)[tief]1b variiert, die 8,0-fache Wellenlänge für den ersten Wandler, die 10,0-fache Wellenlänge für den Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten oder zwischen dem ersten und dem dritten Wandler und die 8,0-fache Wellenlänge für den zweiten oder dritten Wandler. In diesem Beispiel kleines Alpha = 0,22 nach der Beziehung = kleines Alpha Abs (l[tief]1t - l[tief]1b)/(kleines Lambda[tief]o)[tief]1t (wenn die Wellenlängen (kleines Lambda[tief]o)[tief]1t und (kleines Lambda[tief]o)[tief]1b sich nur geringfügig, d.h. um weniger als 1 oder 2 % unterscheiden, ändert sich auch kleines Alpha um nur wenige Prozent, auch wenn man (kleines Lambda[tief]o)[tief]1t durch (kleines Lambda[tief]o)[tief]1b ersetzt). Die gestrichelte Kurve B gilt für das herkömmliche Filter mit (f[tief]o)[tief]1t = (f[tief]o)[tief]1b = (f[tief]o)[tief]3 = (f[tief]o)[tief]4 = 57 MHz, l[tief]1t = l[tief]2t = l[tief]1b = l[tief]2b = 1,063 mm. Aus den Ergebnissen ist zu erse-hen, daß die vorliegende Erfindung vorteilhafte Resultate bringt. Desgl. lassen sich gute Ergebnisse mit kleines Alpha = 0,15 bis 0,45 erreichen, wenn man die Abstände zwischen den Wandlern ändert, wie in Fig. 3 gezeigt. Weiterhin kann man (f[tief]o)[tief]1b zwischen 57,45 und 58,35 variieren (ent- sprechend kleines Alpha = 0,1 bis 0,45). Aus den Untersuchungen der Konfiguration der Fig. 3 hat sich ergeben, daß zur Verringerung der Welligkeit im Amplitudengang des Filters die Abstände l[tief]1y, l[tief]2y folgende Beziehung erfüllen sollten:

l[tief]1y = l[tief]2y ungefähr n . v/(f[tief]o)[tief]1y (2)

in der n konstant ist und die Mittenfrequenz (f[tief]o)[tief]1y linear von (f[tief]o)[tief]1t auf (f[tief]o)[tief]1b übergeht. (f[tief]o)[tief]1t und (f[tief]o)[tief]1b lassen sich aus den Beziehungen (1) und (2) bestimmen. Der Optimalwert der Mittenfrequenz (f[tief]o)[tief]1t und (f[tief]o)[tief]1b, d.h. das Optimum von kleines Alpha kann aus der Mittenfrequenz des erforderlichen Durchlaßbandes und Parametern wie der Finger-anzahl der Wandler, der Formabstufung der Finger ("apodized finger") usw. bestimmt werden. Obgleich die Mittenfrequenz (f[tief]o)[tief]1y und die Abstände l[tief]1y, l[tief]2y in diesem Beispiel linear variieren, braucht diese Linearität nicht sehr streng eingehalten zu werden. Ist die Abweichung in (f[tief]o)[tief]1y von der Linearität im Vergleich zu (f[tief]o)[tief]1t - (f[tief]o)[tief]1b gering, erhält man gute Ergebnisse. Auch geringe Abweichungen von l[tief]1y und l[tief]2y von einer genauen Linearität sind zulässig. Im Vorzugsfall der Erfüllung der Beziehung l[tief]1y = l[tief]2y = n.v/(f[tief]o)[tief]1y sind l[tief]1y und l[tief]2y nicht linear, wenn man (f[tief]o)[tief]1y linear variiert; die Abweichung ist aber wegen des Änderungsbereichs von (f[tief]o)[tief]1y sehr gering.

Ein weiteres Beispiel für ein Filter nach der vorliegenden Erfindung ist in Fig. 5 ge-zeigt. Fig. 5 entspricht im Prinzip der Fig. 3, wobei jedoch der zweite und dritte Wandler 53, 54 sich von denen des Beispiels der Fig. 3 unterscheiden.

Sie sind wie der erste (mittlere) Wandler 32 verjüngt ausgeführt, d.h. d[tief]1t ungleich, nicht gleich d[tief]1b, d[tief]2t ungleich, nicht gleich d[tief]2b und d[tief]3t ungleich, nicht gleich d[tief]3b. In der Fig. 5 sind d[tief]1y, d[tief]2y und d[tief]3y die Abstände in Y-Richtung in der Y-Position zwischen den Mittelpunkten nebeneinan-derliegender Finger des ersten, zweiten bzw. dritten Wandlers und ändern sich in der Y-Richtung etwa linear. Die Bezeichnungen in Fig. 5 sind die gleichen wie in Fig. 3. Die Quelle 56 mit dem Innenwiderstand 55 gibt eine elektrische Spannung auf den ersten Wandler. Der zweite und der dritte Wandler nehmen eine akustische Oberflä-chenwelle auf und wandeln sie zu einem elektrischen Signal über der Last bzw. dem Ausgangswiderstand 57 um, wobei sie im Gegentakt zusammenarbeiten. Die Funk-tionsweise entspricht dem Fall der Fig. 1 und 3. Die Induktivitäten 58, 59 liegen zum Abstimmen parallel zum Quell- und Lastwiderstand.

Die Fig. 6 zeigt die Eigenschaften des Filters der Fig. 5 für den Fall (f[tief]o)[tief]1t = (f[tief]o)[tief]2t = (f[tief]o)[tief]3t = 57 MHz, (f[tief]o)[tief]1b = (f[tief]o)[tief]2b = (f[tief]o)[tief]3b = 57,675 MHz, l[tief]1t = l[tief]2t = 10 (kleines Lambda[tief]o)[tief]1t = 10.v/(f[tief]o)[tief]1t = 1,063 mm, l[tief]1b = l[tief]2b = 10(kleines Lambda[tief]o)[tief]1b = 10.v/(f[tief]o)[tief]1b = 1,051 mm (d.h. kleines Alpha = 0,3); die anderen Werte - wie die Eigenkonstante des Substrats, die Breite W und die Anzahl der Finger - entspre-chend denen des Beispiels der Fig. 3. Es ist aus Fig. 6 zu ersehen, daß, wie im Fall der oben beschriebenen Beispiele, die durch die TTE-Wellen verursachte Welligkeit der Durchlaßkurve beseitigt ist.

Im Fall der Fig. 5 erhält man auch dann Ergebnisse ähnlich denen des Falls (f[tief]o)[tief]1b = (f[tief]o)[tief]2b = (f[tief]o)[tief]3b = 57,675 MHz, wenn man die Fre-quenzen (f[tief]o)[tief]1b = (f[tief]o)[tief]2b = (f[tief]o)[tief]3b im Bereich zwischen 57,45 MHz (kleines Alpha = 0,1) und 58,35 MHz (kleines Alpha = 0,45) verändert, und (f[tief]o)[tief]1t = (f[tief]o)[tief]2t = (f[tief]o)[tief]3t hält.

Es hat sich wiederum herausgestellt, daß nach der vorliegenden Erfindung die Wel-ligkeit im Frequenzgang der Amplitude des Filters sich gering halten läßt, wenn man die Beziehung

l[tief]1y = l[tief]2y ungefähr n.v/(f[tief]o)[tief]1y ungefähr n´d[tief]1y

erfüllt, in der n und n´ Konstanten und (f[tief]o)[tief]1y die Mittenfrequenz der ersten Wandler in einem Streifen bei y ist.

Für FS-Empfänger und viele andere Anwendungen setzt man oft Filter mit zwei Wandlern mit unterschiedlichen Mittenfrequenzen am Ein- und Ausgang ein, um bei gewünschten Frequenzen tiefe Einbrüche des Amplitudengangs zu erzeugen. Auch für diese Fälle erzielt man gute Ergebnisse hinsichtlich der Beseitigung der Welligkeit (Unterdrückung der TTE-Welle), geringe Einfügungsdämpfung und andere Eigen-schaften. Weiterhin lassen sich bekannte Verfahren zur Verbesserung von SAW-Filtern einsetzen, um die SAW-Filter aufgrund der vorliegenden Erfindung zu verbes-sern - bspw. sie mit geteilten Elektroden auszuführen, um die Reflektion der akusti-schen Oberflächenwelle infolge der Unstetigkeit der akustischen Impedanz aufzuhe-ben, Wandlergestaltungen, bei denen die Länge, die Breite oder der

Abstand der Finger variiert werden, um eine einem bestimmten Ziel angepaßten Fre-quenzgang zu erzielen, usw.

Fig. 7 zeigt die Beziehung zwischen dem Einfügungsdämpfung und der Welligkeit der Gruppenverzögerung für einen dem des Beispiels 3 ähnlichen Fall, bei dem die In-duktivitäten 58, 59 in Fig. <Nicht lesbar> zu 0,2 µH gewählt wurden. Die waagerech-te und die senkrechte Achse stellen die Verhältnisse G[tief]S/G[tief]IN bzw. G[tief]L/G[tief]OUT dar, wobei G[tief]S der Quelleitwert, G[tief]L der Lastleitwert und

G[tief]IN = Max(Re(Y[tief]11))

und G[tief]OUT = Max(Re(Y[tief]22))

sind. Die Werte Max(Re(Y[tief]11)) und Max(Re(Y[tief]22)) sind die Maxima der Real-teile von Y[tief]11 bzw. Y[tief]22, bei denen es sich um Elemente der Admittanzmatrix des SAW-Filters handelt. Die Kreise in Fig. 7 sind die Kreise gleicher Einfügungs-dämpfung, die V-förmigen Kurven die Kurven gleicher Welligkeit im Frequenzgang der Gruppenverzögerung innerhalb eines Frequenzbereichs von 55 bis 59 MHz. Aus dieser Darstellung läßt sich leicht ersehen, mit welcher Impedanz ein SAW-Filter ein- und ausgangsseitig abgeschlossen werden muß, wenn man die Einfügungsdäm-pfung und die Welligkeit der Gruppenverzögerung einschränken will. Sind bspw. eine Einfügungsdämpfung von weniger als 10 dB und eine Welligkeit der Gruppenverzö-gerung von weniger als 50 ns gefordert, sollte die Quell- und Lastleitwerte innerhalb des schraffierten Bereichs A liegen. Im Fall des SAW-Filters der Fig. 5 sind G[tief]IN und G[tief]OUT etwa 14 mv bzw. 7 mv; für G[tief]S und G[tief]L sind also 20 mv und 10 mv brauchbare Werte. Wenn bspw. die Einfügungsdämpfung zwischen 10 und 11 dB und die Welligkeit der Gruppenver-zögerung weniger als 50 ns betragen sollen, sollten die Quell- und Lastleitwerte im schraffierten Bereich B liegen.

Die Fig. 8 ist ein auf die gleiche Weise wie die Fig. 7 gezeichnetes Diagramm für den Fall eines herkömmlichen SAW-Filters mit drei Wandlern, in denen sämtliche Wand-ler unverjüngt und auch der zweite und dritte Wandler zum ersten parallel (nicht wink-lig) ausgeführt sind; die anderen Bedingungen entsprechen denen des SAW-Filters der Fig. 7. Die schraffierten Bereiche A und B sind kleiner als in Fig. 7, was bedeutet, daß die SAW-Filter nach der vorliegenden Erfindung innerhalb größerer Quell- und Lastimpedanzbereiche arbeiten, d.h. gegenüber Last- und Quellimpedanzänderun-gen toleranter sind. Außerdem läßt sich benennen, daß im Fall der vorliegenden Er-findung (Fig. 7) die Welligkeit der Gruppenverzögerung bei G[tief]S/G[tief]IN = 2 bis 4 sehr klein wird. Diese Besonderheit läßt sich mit einem herkömmlichen Filter (Fig. 8) nicht erreichen.

Die Kurven der Fig. 7 und 8 werden beeinflußt von den parallel oder in Reihe zu der Quelle und der Last gelegten Induktivitäten oder Kapazitäten und durch Verluste wie bspw. die Ausbreitungsverluste der akustischen Oberflächenwelle, die ohmschen Verluste der Elektroden, Verluste infolge der Aufspreizung des akustischen Strahls, Verluste in elektrischen Bestandteilen wie Induktivitäten und Kapazitäten usw. Liegen G[tief]S und G[tief]L außer- halb des in Fig. 7 gezeigten geeigneten Bereiches, ist unter Umständen eine Impe-danzwandlung erforderlich, die man mittels Kondensatoren, Spulen oder Transforma-toren durchführt. Mit der vorliegenden Erfindung läßt sich eine beachtliche Leistungs-fähigkeit auch dann erreichen, wenn solche Impedanzwandelmaßnahmen erforder-lich sein sollten.

Die Fig. 9 zeigt ein weiteres Beispiel für die vorliegende Erfindung. Hier sind der zweite und der dritte Wandler der Fig. <Nicht lesbar> parallel geschaltet. In der Fig. 9 ist die Quelle 94 mit dem Innenwiderstand 95 an den ersten Wandler 91 gelegt; der zweite und der dritte Wandler 92, 93 liegen parallel, um die akustische Welle in elek-trische Ausgangssignale über einem Lastwiderstand 96 zu verwandeln. Die paralle-len Abstimminduktivitäten 97, 98 sind ebenfalls vorgesehen wie in den vorgehenden Beispielen. Im Beispiel der Fig. 9 ist die Phase des Ausgangssignals des dritten Wandlers dem der Fig. 5 entgegengesetzt, um über der Last 96 im Zusammenwirken mit dem zweiten Wandler das Ausgangssignal zu erzeugen. Die Diskussion der Bei-spiele mit einer Reihenschaltung (Fig. 5, Fig. 7) gilt fast vollständig auch für diese Beispiele. D.h., daß man eine gute Unterdrückung der Welligkeit unter der Bedingung Abs (l[tief]1t - l[tief]1b) = Abs (l[tief]2t - l[tief]2b) = kleines Alpha kleines Lambda[tief]o, eine noch bessere Unterdrückung der Welligkeit unter der Bedingung l[tief]1y = l[tief]2y ungefähr n.v/(f[tief]o)[tief]1y erreichen. Auch in diesem Beispiel er-zielt man hervorragende Ergebnisse.

Die Fig. 10 zeigt ein weiteres Beispiel, bei dem der erste (Eingangs-) Wandler 101 und der zweite sowie dritte Wandler 104, 107 gegenüber den bereits erläuterten Bei-spielen unterschiedlich ausgestaltet sind. Der erste Wandler 101 ist dabei parallel zur X-Richtung (Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwelle) zu zwei Wand-lern 102, 103 aufgeteilt, die miteinander in Reihe geschaltet sind. Der zweite und der dritte Wandler 104, 107 sind ebenfalls auf die gleiche Weise wie beim ersten Wand-ler zu zwei Teilen 105, 106 bzw. 108, 109 unterteilt.

Die Funktionsweise des Beispiels der Fig. 10 entspricht der des Beispiels der Fig. 5. Gegenüber den vorgehenden Beispielen zeigt dieses Beispiel, daß sich höhere Im-pedanzen des ersten, zweiten und dritten Wandlers erreichen lassen.

Um die Seitenbandunterdrückung zu verbessern und den gewünschten Amplituden- und Phasengang zu erreichen, wendet man gewöhnlich eine Längenabstufung bzw. - gewichtung an; dieses Verfahren ist auch für die vorliegende Erfindung geeignet. Zur Leistungssteigerung ist jedoch eine geringfügige Abänderung der gewöhnlichen Längengewichtung vorzuziehen. Im Beispiel der Fig. 10 lassen sich für die Wellig-keitsunterdrückung ebenfalls gute Ergebnisse erzielen, wenn

Abs(l[tief]1t - l[tief]1b) = Abs(l[tief]2t - l[tief]2b) = kleines Alpha kleines Lambda[tief]o, und diese lassen sich weiter verbessern, wenn man für l[tief]1y = l[tief]2y ungefähr n.v/(f[tief]o)[tief]ly sorgt.

Die Fig. 11 zeigt ein weiteres Beispiel, bei dem es sich um eine Abänderung des Beispiels der Fig. 5 handelt und das vorzugsweise längenge-wichtet ist. Der erste Wandler 11 ist auf spezielle Weise längengewichtet. Die gestri-chelte Kurve stellt dabei eine Hüllkurve dar, die die Spitzen der Finger der Finger-elektrode verbindet. Die Hüllkurve unterscheidet sich von den üblichen Hüllkurven A und B der Fig. 12, obgleich bei B die Elektrodenfinger sich verjüngend angeordnet sind, wie dargestellt. Die Hüllkurve des ersten Wandlers in Fig. 11 ist so dargestellt, daß, wenn der erste Wandler 11 der Eingangswandler und in Gedanken ("imaginarily") in eine Vielzahl schmaler Streifen aufgeteilt wird, die Energie der in je-dem Streifen erzeugten akustischen Oberflächenwelle gleich der in jedem anderen der Streifen erzeugten ist. D.h., daß die Energie der vom ersten Wandler erregten akustischen Oberflächenwelle über die Breite W bzw. entlang der Y-Achse in der Breite W konstant ist. Die Anzahl der Abschnitte in einem Streifen in der Lage y, die mit einem Kreis angedeutet sind und eine entlang des Streifens sich fortpflanzende akustische Oberflächenwelle erregen, unterscheidet sich unter den einzelnen Strei-fen nicht wesentlich.

In der Fig. 11 ist eine Quelle 114 mit dem Innenwiderstand 115 an den zweiten und dritten Wandler 112, 133 und der erste Wandler 111 an einem Lastwiderstand 116 angeschlossen. In diesem Beispiel sind die Eingangs- und Ausgangswandler gegen-über dem Fall des Beispiels der Fig. 5 miteinander vertauscht. Dieser Austausch er-gibt den gleiche Amplituden- und Phasengang wie bei dem vorgehenden Beispiel, sofern die Quell- und Lastimpedanzen

- einschließlich etwaiger Induktivitäten - die gleichen sind.

Die Fig. 13 zeigt die Eigenschaften der zu Fig. 11 und 12 beschriebenen SAW-Filter. Die Widerstände 115, 116 sind je 50 Ohm, die Induktivitäten 117, 181 je 0,2 µH. Das piezoelektrische Substrat besteht aus einer Keramik in Form einer festen Lösung von Bleititanat-Bleizirconat-Bleimagnesiumniobat, wie oben beschrieben. Die Breite W beträgt 0,2 mm. Die Anzahl der Finger des ersten, zweiten und dritten Wandlers ist 32, 56 bzw. 32. Der erste Wandler ist mit der Gewichtungsfunktion sin kleines Pi x/kleines Pi x(1 - x[hoch]2) an den Wandlerkanten gewichtet (Abs(x) kleiner gleich als 2, x Plusminus 2 an der Wandlerkante).

Die Kurve A zeigt die Ergebnisse einer herkömmlichen Wandlerkonfiguration, d.h. i. Fig. 11 d[tief]1t = d[tief]2t = d[tief]3t = d[tief]1b = d[tief]2b = d[tief]3b = kleines Lambda[tief]o/2 = v/2f[tief]o und l[tief]1t = l[tief]2t = l[tief]1b = l[tief]2b = 32 kleines Lambda[tief]o = 32v/f[tief]o (d.h. kleines Alpha = 0) mit v gleich der Geschwindigkeit der akustischen Oberflächenwelle und f[tief]o als Mittenfrequenz von 56,5 MHz bei längengewichtetem erstem Wandler, wie in Fig. 12A gezeigt.

Die Kurve B stellt die Ergebnisse eines Beispiels der vorliegenden Erfindung dar, in der unter Benutzung der Definitionen der Fig. 11 sich kleines Alpha = 0,3 und weiter-hin folgende Werte ergeben: l[tief]1t = l[tief]2t = 32 kleines Lambda[tief]ot = 32v/f[tief]ot; f[tief]ot = 57,04 MHz, l[tief]1b = l[tief]2b = 32 kleines Lambda[tief]ob = 32v/f[tief]ob, f[tief]ob = 56,5 MHz, (l[tief]1b - l[tief]1t ungefähr 0,3 kleines Lambda[tief]ot ungefähr 0,3 kleines Lambda[tief]ob), d[tief]1t = d[tief]2t = d[tief]3t = kleines Lambda[tief]ot/2 = v/2f[tief]ot und d[tief]1b = d[tief]2b = d[tief]3b = kleines Lambda[tief]ob/2 = v/2f[tief]ob, wobei kleines Lambda[tief]ot die Wellenlänge der akusti-schen Oberflächenwelle bei der Mittenfrequenz f[tief]ot in der Lage t und kleines Lambda[tief]ob die Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle bei der Mittenfrequenz f[tief]ob in der Lage b sind und der erste Wandler längegewichtet ist, wie es die Fig. 12B zeigt.

Die Kurve C zeigt die Ergebnisse eines weiteren Beispiels nach der vorliegenden Er-findung, das sich von dem vorgehenden Beispiel nur in der Form der Hüllkurve der Längengewichtung unterscheidet, wobei die Gestalt die der Fig. 11 ist.

Die Fig. 14 zeigt den Frequenzgang der Amplitude der Kurven A und C in Fig. 13 über einen breiteren Frequenzbereich. Das SAW-Filter ist dabei auf ein Video-Inter-frequenzfilter für einen Fernsehkanal nach der japanischen FS-Norm zugeschnitten.

In dem obigen Beispiel ist die Gleichmäßigkeit der Energie der akustischen Oberflä-chenwelle über die Breite W wichtig. Es gibt Fälle, in denen eine Abänderung der Hüllkurve, mit dem Zweck, die akustische Energie über die Breite W gleichmäßig zu machen, schwierig wird - bspw. wenn die Hüllkurven Seitenmaxima hat, wie es die Fig. 15A zeigt. Die von den Seitenmaxima erzeugte Energie hat aber keinen wesent-lichen Einfluß auf die Welligkeit. Es läßt sich sicher feststellen, daß die in Fig. 15B gezeigte Form der Hüllkurve zu den gewünschten Ergebnissen führt.

Der zweite und der dritte Wandler können ebenfalls - anstelle des ersten Wandlers - längen- oder längen-breiten-gewichtet werden. In diesem Fall ist vorzuziehen, sowohl den zweiten und den dritten Wandler nach der gleichen Gewichtungsfunktion zu gewichten, und zwar jeweils symmetrisch zur Mittellinie des ersten Wandlers.

In Fig. 11 lassen sich gute Ergebnisse der Unterdrückung der Welligkeit auch errei-chen, wenn Abs(l[tief]1t - l[tief]1b) = Abs (l[tief]2t - l[tief]2b) = kleines Alpha kleines Lambda[tief]o, und man erhält bessere Ergebnisse mit l[tief]1y = l[tief]2y ungefähr n.v/(f[tief]o)[tief]1y.

Die Fig. 16 zeigt ein weiteres Beispiel, das sich etwas von den vorgehenden Beispie-len unterscheidet. Die Fig. 16 zeigt den Fall, daß l[tief]1y und l[tief]2y mit einer diskre-ten Variation in Y-Richtung ausgelegt sind, obgleich in den vorgehenden Beispielen l[tief]1y und l[tief]2y in Y-Richtung kontinuierlich sich ändern. In der Fig. 16 besteht der erste Wandler 161 aus zwei Wandlern Tr[tief]11, Tr[tief]12, die identisch mitei-nander sind oder sich in der Mittenfrequenz (Abstand zwischen den Mittelfingern wie bspw. d[tief]11, d[tief]12) unterscheiden und parallel geschaltet sind. Der zweite Wandler 162 besteht ebenfalls aus zwei identischen oder zwei unterschiedlichen Wandlern (unterschiedlich in der Mittenfrequenz) Tr[tief]21, Tr[tief]22, die parallel zu-einander geschaltet sind. Schließlich besteht auch der dritte Wandler 163 aus zwei identischen oder unterschiedlichen Wandlern Tr[tief]31, Tr[tief]32 (unterschiedlich in der Mittenfrequenz), die parallel geschaltet sind. l[tief]1, l[tief]2, l[tief]3 und l[tief]4 sind die Abstände zwischen den Mittellinien der Wandler. In der vorliegenden Erfindung liegt eine Verbesserung darin, daß die Abstände l[tief]1 und l[tief]2 sich von den Ab-ständen l[tief]3 und l[tief]4 unterscheiden. Der Wandler Tr[tief]21 des zweiten Wandlers und der Wandlerteil Tr[tief]31 des dritten Wandlers liegen so, daß sie die vom Wandlerteil Tr[tief]11 des ersten Wandlers erregten akustischen Oberflächenwellen aufnimmt. Der Wandlerteil Tr[tief]22 des zweiten Wandlers und der Wandlerteil Tr[tief]32 des dritten Wandlers sind so angeordnet, daß sie die aku-stischen Oberflächenwellen aufnehmen, die der Wandlerteil Tr[tief]12 des ersten Wandlers aufnehmen. Die sechs Wandlerteile Tr[tief]11, Tr[tief]12, Tr[tief]21, Tr[tief]22, Tr[tief]31, Tr[tief]32 bestehen jeweils aus zwei Fingerelektrodengruppen mit parallelen Elektroden (parallelen Fingern). Die Mittenfrequenzen der sechs Wandlerteile Tr[tief]11, Tr[tief]12, Tr[tief]21, Tr[tief]22, Tr[tief]31 und Tr[tief]32 sind jeweils f[tief]11, f[tief]12, f[tief]21, f[tief]22, f[tief]31 bzw. f[tief]32.

Ein von einer Quelle 164 mit dem Innenwiderstand 165 erzeugtes elektrisches Signal wird auf die Wandlerteile Tr[tief]11 und Tr[tief]12 des ersten Wandlers über die ge-meinsame Elektrode 169 gegeben. Die vom Wandlerteil Tr[tief]11 erregten akusti-schen Oberflächenwellen pflanzen sich zu den Wandlerteilen Tr[tief]21 und Tr[tief]31 fort. Andererseits ist die gemeinsame Elektrode 170 von Tr[tief]21 und Tr[tief]22 des zweiten Wandlers an die gemeinsame Elektrode 171 von Tr[tief]31 und Tr[tief]32 des dritten Wandlers über einen Widerstand 166 gelegt. Die akustische Oberflächenwelle von Tr[tief]11 wird von Tr[tief]21 und Tr[tief]31 aufgenommen und bewirkt ein elektri-sches Signal über dem Widerstand 166. Es wird nicht die gesamte Energie der aku-stischen Oberflächenwelle zu einem elektrischen Signal umgewandelt. Ein Teil der einfallenden akustischen Energie durchläuft die Wandlerteile Tr[tief]21 und Tr[tief]31, während ein Teil der Energie als aku- stische Oberflächenwelle reflektiert wird und zum Wandlerteil Tr[tief]11 sich fort-pflanzt und ein anderer Teil der Energie zu den Wandlerteilen Tr[tief]22 und Tr[tief]32 geht, wo sie ebenfalls eine akustische Oberflächenwelle erzeugt. Der gleiche Vor-gang spielt sich zwischen den Wandlerteilen Tr[tief]12, Tr[tief]22 und Tr[tief]32 ab. Auf diese Weise stehen die sechs Wandlerteile in enger Wechselwirkung miteinan-der.

Die Fig. 17 zeigt die Eigenschaften eines SAW-Filters; die Anzahl der Finger ist gleich 32 und für alle Wandlerteile Tr[tief]11, Tr[tief]12, Tr[tief]21, Tr[tief]22, Tr[tief]31 und Tr[tief]32 gleich. Eine Induktivität von 0,2 µH und ein Kondensator von 30 pF lie-gen parallel zur Quelle 164 mit dem Innenwiderstand 50 Ohm. Weiterhin liegen eine Induktivität von 01 µH und ein Kondensator von 30 pF parallel zur Ausgangslast 166 von 50 Ohm. Die Breite eines Wandlerteils - bspw. Tr[tief]11, Tr[tief]12 usw. - be-trägt 0,3 mm. Das piezoelektrische Substrat ist eine Keramik aus einer festen Lösung aus Bleititanat-Bleizirconat-Bleimagnesiumniobat, wie oben beschrieben.

Die Kurve A in Fig. 17 zeigt die Ergebnisse eines herkömmlichen Falls, bei dem die Wandlerteile Tr[tief]12, Tr[tief]22 und Tr[tief]32 der Fig. 16 entfallen, ohne daß die elektrischen Verbindungen sich geändert haben. Die Breite W ist 0,6 mm statt 0,3 mm; ansonsten gilt d[tief]11 = v/2f[tief]11 = d[tief]21 = v/2f[tief]21 = d[tief]31 = v/2f[tief]31, l[tief]1 = l[tief]2 = 26 v/f[tief]11 und f[tief]11 = f[tief]21 = f[tief]31 = 56,5 MHz, wobei v die Geschwindigkeit der akustischen Oberflächenwelle ist.

Die Kurve B in Fig. 17 stellt die Ergebnisse eines Beispiels nach der vorliegenden Erfindung dar, in der die Bedingung l[tief]3 - l[tief]1 = l[tief]4 - l[tief]2 ungefähr 0,15 <Nicht lesbar>[tief]o gilt; daraus ergeben sich l[tief]11 = v/2f[tief]11 = d[tief]21 = v/2f[tief]21 = d[tief]31 = v/2f[tief]31, l[tief]1 = l[tief]2 = 26v/f[tief]11 (f[tief]11 = f[tief]21 = f[tief]31 = 56,80 MHz), d[tief]12 = v/f[tief]12 = d[tief]22 = v/f[tief]22 = d[tief]32 = v/f[tief]32 und l[tief]3 = l[tief]4 = 26v/f[tief]12 (f[tief]12 = f[tief]22 = f[tief]32 = 56,6 MHz). In der Fig. 16 lassen sich gute Ergebnisse unter der Bedingung l[tief]3 - l[tief]1 = l[tief]4 - l[tief]2 = 0,075 0,225 <Nicht lesbar>[tief]o erreichen.

Diese Bedingung ist gleichwertig mit der Bedingung Abs (l[tief]1t - l[tief]1b) = Abs (l[tief]2t - l[tief]2b) = <Nicht lesbar>[tief]o, wie oben ausgeführt. Bessere Ergebnisse erreicht man mit l[tief]1y = l[tief]2y n.v/(f[tief]o)[tief]1y. In Fig. 16 ist l[tief]1y gleich l[tief]1 oder l[tief]3 und ist l[tief]2y gleich l[tief]2 oder l[tief]4.

Die Längen l[tief]1t, l[tief]1b, l[tief]2t, l[tief]2b für die Fig. 16 ergeben sich entspre-chend den gegebenen Definitionen aus Fig. 16, 16´ und Fig. 16´´. Die Kombination der beiden Teilwandler Tr[tief]21 und Tr[tief]22 in Fig. 16 stellt also den zweiten Wandler dar. Eine Gerade, die durch die Mittelpunkte Y[tief]1 und Y[tief]2 der Mittel-linien der beiden Wandlerteile verläuft, wird wie mit der gestrichelten Linie gezeigt gezogen. Beim Ziehen der gestrichelten Linie kann der Zwischenraum S vernachläs-sigt werden, da eine Änderung der Länge von S das grundsätzliche Frequenzverhal-ten nicht beeinflußt. Die Fig. 16´ zeigt also einen wirksamen Teil eines der Fig. 16 entsprechenden Wandleraufbaus. Im Fall des Beispiels der Fig. 16 bzw. 16´ ist die Länge l[tief]1t der Abstand zwischen der gestrichelten Linie und der Mittellinie des Wandlerteils Tr[tief]11 an dessen oberstem Teil innerhalb der Breite W. Entspre-chend ist die Länge l[tief]1b der Abstand zwischen der gestrichelten Linie und der Mittellinie des Wandlerteils Tr[tief]22, an dessen unterstem Teil innerhalb der Breite W. Die Längen l[tief]2t und l[tief]2b lassen sich entsprechend definieren.

Im Fall der Beispiele der Fig. 16, 16´ und 16´´ ist ebenfalls eine lineare Änderung der Abstände zwischen den drei Wandlern in Y-Richtung erforderlich. D.h., daß die Punk-te auf der Mittellinie des zweiten und des dritten Wandlers in allen y-Lagen auf bzw. im wesentlichen auf einer Geraden liegen müssen. Was bspw. den zweiten Wandler anbetrifft, liegt die Mittellinie des Wandlerteiles Tr[tief]21 parallel zur Mittellinie des Wandlerteils Tr[tief]11 des ersten Wandlers. So ist der Punkt y[tief]1 der in der y-La-ge im Wandlerteil Tr[tief]21. Entsprechend ist der Punkt y[tief]3 der einzige Punkt in der y-Lage im Wandlerteil Tr[tief]22. Die Forderung für die vorliegende Erfindung ist, daß die Punkte auf der Mittellinie des zweiten (und des dritten) Wandlers in der y-La-ge auf bzw. im wesentlichen auf einer Geraden liegen müssen. Da im Fall der Fig. 16 oder der Fig. 16´ es nur zwei Punkte in der y-Lage gibt (y[tief]1 und y[tief]3), ist die genannte Bedingung erfüllt.

Diese Forderung ist aus der Fig. 16´´ leichter zu verstehen, die einen wirksamen Teil eines SAW-Filters einer anderen Art zeigt, in der jeder der drei Wandler sich aus drei Wandlerteilen zusammensetzt. Die obige Forderung für die Fig. 16´´ bedeutet, daß die Punkte im zweiten und dritten Wandler in der y-Lage (y[tief]1, y[tief]3, y[tief]5 für den zweiten und y[tief]2, y[tief]4, y[tief]6 für den dritten Wandler) auf bzw. im wesentlichen auf einer Geraden liegen müssen, wie in Fig. 16´´ gezeigt.

Es ist aus der Fig. 17 ersichtlich, daß die vorliegende Erfindung sehr wirkungsvoll die unerwünschte Welligkeit im Passband unterdrückt. Obgleich im eben beschriebenen Beispiel die Mittenfrequenzen f[tief]11, f[tief]21 und f[tief]31 identisch miteinander und auch f[tief]12, f[tief]22 und f[tief]32 identisch miteinander sind, lassen sich f[tief]11, f[tief]21, f[tief]31, f[tief]12, f[tief]22 und f[tief]32 in Vorzugskombinationen so wählen, daß man den erwünschten Amplituden- und Phasengang erhält. Der Fall f[tief]11 = f[tief]12, f[tief]21 = f[tief]22 = f[tief]31 = f[tief]32 und l[tief]1 = l[tief]2 ungleich, nicht gleich l[tief]3 und l[tief]4 ergibt gute Ergebnisse. Was die Mittenabstände l[tief]1, l[tief]2, l[tief]3 und l[tief]4 der Wandler anbetrifft, ist der Zusammenhang zwischen die-sen wichtig, um gute Leistungen zu erreichen.

Der Zusammenhang zwischen den Abständen l[tief]1, l[tief]2, l[tief]3 und l[tief]4 läßt sich auf andere Parameter wie die geometrischen Abmessungen der sechs Wandler (Breite W, Gestaltung und Anordnung der Finger usw.) abstimmen. Die in Fig. 17B gezeigten Ergebnisse gelten nur für ein Beispiel nach der vorliegenden Erfindung, ein Vorzugsbeispiel mit l[tief]1 = l[tief]2 = n.v/f[tief]11 und l[tief]3 = l[tief]4 = n.v/f[tief]12 und n = const. Auf das Beispiel der Fig. 16 läßt sich auch das Gewichten anwenden. Indem man mindestens einen der sechs Wandler Tr[tief]11, Tr[tief]12, Tr[tief]21, Tr[tief]22, Tr[tief]31 und Tr[tief]32 gewichtet, erhält man einen unterschiedlichen Amplituden- und Phasengang, wobei die Leistungsfähigkeit hinsichtlich bspw. der Beseitigung der Welligkeit erhalten bleibt. Vorzugsweise gewichtet man im er-sten Wandler die beiden Wandlerteile Tr[tief]11 und Tr[tief]12 mit gleichen Gewich-tungsfunktionen.

Die komplexe Konfiguration der Fig. 16 läßt sich vereinfachen, wobei man jedoch ei-ne akustisch und elektrisch identische Konfiguration erhält. Ein Beispiel einer solchen Abänderung ist in Fig. 18 gezeigt. Der erste Wandler ist dabei so geändert, daß jeder Finger des Wandlers Tr[tief]11 in Fig. 16 mit einem Finger des Wandlers Tr[tief]12 verbunden ist. Auf die gleiche Weise werden der zweite und der dritte Wandler geän-dert. In der Fig. 18 besteht der erste Wandler 181 aus zwei Teilen 181A und 181B mit unterschiedlichen Mittenfrequenzen. Der zweite und der dritte Wandler 182, 183 haben eine der des ersten Wandlers ähnliche Konfiguration. Die Übergangsteile 181C, 182C, 183C sind gewöhnlich im Vergleich zur Breite W sehr schmal, obgleich sie in Fig. 18 übertrieben gezeichnet sind. Die Konfiguration ist der in Fig. 16 äqui-valent. In der Fig. 18 erhält man eine gute Unterdrückung der Welligkeit, wenn Abs (l[tief]1t - l[tief]1b) = Abs(l[tief]2t - l[tief]2b) = kleines Alpha kleines Lambda[tief]o), und noch bessere Ergebnisse mit l[tief]1y = l[tief]2y n.v/(f[tief]o)[tief]1y mit l[tief]1y = l[tief]1 oder l[tief]3 und l[tief]2y = l[tief]2 oder l[tief]4.

Erfolgt eine Längengewichtung, wie in Fig. 19A gezeigt, ist eine Abänderung der Fig. 16 zur Konfiguration der Fig. 18 nicht möglich. Man kann jedoch durch Ändern der Hüllkurve, die die Spitzen der Finger verbindet, bei unveränderter Ge- wichtungsfunktion entsprechend der Fig. 19B eine Gestalt entsprechend der Fig. 19C erreichen.

Fig. 20 zeigt die Meßergebnisse für ein SAW-Filter nach der Fig. 19C im Vergleich mit einem herkömmlichen 3-Wandler-SAW-Filter. Die Gewichtungsfunktion ist sin kleines Pi x/ kleines Pi x(1-x[hoch]2), wie oben. Die Kurven A und B stellen den Fre-quenzgang der Amplitude des herkömmlichen SAW-Filters bzw. des SAW-Filters nach der vorliegenden Erfindung dar.

Es sind oben mehrere Beispiele der Anwendung der vorliegenden Erfindung ausführ-lich beschrieben worden; diese sind jedoch nur ein Teil der mit der vorliegenden Er-findung möglichen Beispiele. Auf jedes Beispiel lassen sich zahlreiche bekannte Maßnahmen anwenden - bspw. das Aufteilen der Elektroden bzw. Finger, um im wesentlichen die Reflektion der akustischen Oberflächenwelle infolge der Unstetig-keit der akustischen Impedanz zu unterdrücken, Längen- oder Längenbreitengewich-tung ("Epoditing") Kombinationen der Mittenfrequenzen des ersten, zweiten und drit-ten Wandlers so, daß man Nullstellen bei gewünschten Frequenzen des Amplituden-gangs sowie einen gewünschten Amplituden- und Phasengang erhält, usw.

Aus dieser ausführlichen Beschreibung ist ersichtlich, daß die vorliegende Erfindung sich hervorragend dazu eignet, die Welligkeit des Amplituden- und Gruppenverzöge-rungsganges über der Frequenz zu beseitigen oder abzuschwächen.

Claims

1. Akustisches Oberflächenwellenfilter in einer 3-Wandler-Konfiguration auf ei-nem piezoelektrischen Substrat, mit einem ersten, an eine Signalquelle ange-schlossenen Wandler, der akustische Oberflächenwellen erregt, und einem zweiten und einem dritten Wandler, die in Reihe oder parallel an eine Last an-geschlossen sind, die akustische Oberflächenwellen in elektrische Signale umsetzt, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite und der dritte Wandler so angeordnet sind, daß der Abstand zwischen den Mittellinien des ersten und des zweiten Wandlers und der Abstand zwischen den Mittellinien des ersten und des dritten Wandlers in Y-Richtung, die rechtwinklig zur X-Richtung, der Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwelle verläuft, sich linear verändert, wobei Abs (l[tief]1t - l[tief]1b) = Abs (l[tief]2t - l[tief]2b) = kleines Alpha kleines Lambda[tief]o mit l[tief]1t und l[tief]1b als den Abständen zwi-schen den Mittellinien des ersten und des zweiten Wandlers oben und unten im ersten bzw. zweiten Wandler sowie l[tief]2t und l[tief]2b als den Abständen zwischen den Mittellinien des ersten und des dritten Wandlers oben und unten im ersten bzw. dritten Wandler, wobei weiterhin kleines Alpha ein Koeffizient und zwischen 0,15 und 0,45 und kleines Lambda[tief]o die Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle bei der Mittenfrequenz ist, bei der im Amplitu-dengang des ersten Wandlers das Maximum liegt.

2. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich-net, daß der erste Wandler verjüngt derart ausgeführt ist, daß die Abstände zwischen den Mittellinien nebeneinanderliegender Finger der kammartig inei-nandergreifenden Elektrodengruppen sich etwa linear in Y-Richtung ändern.

3. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich-net, daß der Abstand l[tief]1y in der Lage y in Y-Richtung zwischen den Mittel-linien der ersten und des zweiten Wandlers und der Abstand l[tief]2y in der La-ge y zwischen den Mittellinien des ersten und des dritten Wandlers die Bezie-hung l[tief]1y = l[tief]2y ungefähr n.v/(f[tief]o)[tief]1y erfüllen, in der n eine belie-bige Konstante, v. die Geschwindigkeit der akustischen Oberflächenwelle und (f[tief]o)[tief]1y die Mittenfrequenz in der y-Lage des ersten Wandlers sind und (f[tief]o)[tief]1y sich in Y-Richtung linear ändert.

4. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich-net, daß der erste, zweite und der dritte Wandler jeweils so verjüngt ausge-führt sind, daß die Abstände zwischen den Mittellinien nebeneinanderliegen-der Finger der kammartig ineinandergreifenden Elektrodengruppen in Y-Rich-tung sich angenähert linear ändern.

5. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich-net, daß der Abstand l[tief]1y in der y-Lage in Y-Richtung zwischen den Mittel-linien des ersten und des zweiten Wandlers und der Abstand l[tief]2y in der y-Lage in Y-Richtung zwischen den Mittellinien des ersten und des dritten Wandlers die Beziehung l[tief]1y = l[tief]2y ungefähr n.v/(f[tief]o)[tief]1y erfüllen, in der n eine beliebige

Konstante und (f[tief]o)[tief]1y die Mittenfrequenz in der y-Lage des ersten

Wandlers ist und sich in Y-Richtung linear ändert.

6. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekenn-zeichnet, daß die Mittenfrequenzen (f[tief]o)[tief]1, (f[tief]o)[tief]2 und (f[tief]o)[tief]3 des ersten, zweiten und dritten Wandlers, bei denen die Wandler jeweils das Maximum des Amplitudengangs zeigen, miteinander identisch

sind.

7. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekenn-zeichnet, daß die Mittenfrequenz (f[tief]o)[tief]1 des ersten Wandlers, bei der der erste Wandler sein Amplitudenmaximum hat, sich unterscheidet von den identischen Mittenfrequenzen (f[tief]o)[tief]2 und (f[tief]o)[tief]3 ((f[tief]o)[tief]2 = (f[tief]o)[tief]3),bei denen der zweite und der dritte Wandler ihr Amplituden-maximum haben.

8. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekenn-zeichnet, daß die Mittenfrequenzen (f[tief]o)[tief]1, (f[tief]o)[tief]2 und (f[tief]o)[tief]3, bei denen der erste, zweite und dritte Wandler jeweils das Am-plitudenmaximum haben, sich voneinander unterscheiden.

9. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekenn-

zeichnet, daß der erste, zweite und dritte Wandler in X-Richtung zu zwei Wandlerteilen unterteilt sind, die in Reihe geschaltet sind.

10. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1 bis 9, dadurch gekenn-zeichnet, daß mindestens einer der Wandler längen- bzw. längen-breiten-

gewichtet ("apodized") ist.

11. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich-net, daß der erste Wandler so längen- bzw. längen-breiten-gewichtet ist, daß die Energie der vom ersten Wandler erregten akustischen Oberflächenwellen in Y-Richtung gleichmäßig ist.

12. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich-net, daß der zweite und der dritte Wandler so längen- bzw. längen-breiten-gewichtet ist, daß die Energie der vom zweiten und dritten Wandler erregten Oberflächenwelle in Y-Richtung gleichmäßig ist und die Gewichtsfunktionen für den zweiten und den dritten Wandler bezüglich der Mittellinie des ersten Wandlers zueinander symmetrisch sind.

13. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich-net, daß der erste, der zweite und der dritte Wandler jeweils aus zwei Wand-lerteilen bestehen, die parallel geschaltet sind, so daß jeweils einer der Wand-lerteile des zweiten und dritten Wandlers die akustischen Oberflächenwellen aufnimmt, die einer der Wandlerteile des ersten Wandlers erregt, und der je-weils andere Wandlerteile des zweiten und dritten Wandlers die akustischen Oberflächenwellen aufnimmt, die der andere Wandlerteil des ersten Wandlers erregt.

14. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich-net, daß die Mittenfrequenzen der beiden Wandlerteile des ersten, zweiten und dritten Wandlers jeweils untereinander gleich sind.

15. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich-net, daß die Mittenfrequenzen jeweils einander entsprechender der Wandler-teile des ersten, zweiten und dritten Wandlers identisch miteinander (f[tief]11) und die Mittenfrequenzen der anderen einander entsprechenden Wandlerteile des ersten, zweiten und dritten Wandlers ebenfalls untereinander identisch (f[tief]12), aber ungleich f[tief]11 sind.

16. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich-net, daß die Mittenfrequenzen entsprechender der Wandlerteile des zweiten und dritten Wandlers untereinander gleich (f[tief]21) und die Mittenfrequenzen der anderen einander entsprechenden Wandlerteile des zweiten und des drit-ten Wandlers untereinander gleich (f[tief]22), aber von f[tief]21 unterschiedlich sind.

17. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 13 bis 16, dadurch ge-kennzeichnet, daß der Abstand l[tief]1 zwischen den Mittellinien entsprechen-der der Wandlerteile des ersten und zweiten Wandlers gleich dem Abstand l[tief]2 zwischen den Mittellinien entsprechender der Wandlerteile des ersten und des dritten Wandlers ist und daß der Abstand l[tief]3 zwischen den Mit-tellinien der anderen entsprechenden Wandlerteile des ersten und des zwei-ten

Wandlers gleich dem Abstand l[tief]4 zwischen den Mittellinien der anderen

Wandlerteile des ersten und des dritten Wandlers, aber ungleich l[tief]1 oder

l[tief]2 ist.

18. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 13 bis 17, dadurch ge-kennzeichnet, daß mindestens einer der Wandlerteile längen- bzw. längen-breiten-gewichtet ist.

19. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 18, dadurch gekennzeich-net, daß die Wandlerteile des ersten Wandlers Tr[tief]12 mit gleicher Ge-wichtungsfunktion gewichtet sind.

20. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 13 bis 19, dadurch ge-kennzeichnet, daß die Finger eines der Wandlerteile des ersten, zweiten und dritten Wandlers jeweils mit den entsprechenden Fingern des anderen Wand-lerteils des ersten, zweiten und dritten Wandlers verbunden sind.

21. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 20, dadurch gekennzeich-net, daß mindestens einer der Wandler längen- bzw. längen-breiten-gewichtet ist.

22. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 21, dadurch gekennzeich-net, daß der erste Wandler längen- bzw. längen-breiten-gewichtet ist.

23. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abstimmung Induktivitäten parallel zur

Quelle und zur Last gelegt sind.

24. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1 bis 22, dadurch gekenn-zeichnet, daß zur Abstimmung Induktivitäten in Reihe mit der Quelle und der Last geschaltet sind.

25. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1 bis 24, dadurch gekenn-zeichnet, daß der zweite und der dritte Wandler in Reihe geschaltet sind.

26. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1 bis 24, dadurch gekenn-zeichnet, daß der zweite und der dritte Wandler parallel geschaltet sind.

27. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1 bis 26, dadurch gekenn-zeichnet, daß der zweite und der dritte Wandler an die Signalquelle geschaltet sind, um die akustische Oberflächenwelle zu erregen, und daß der erste Wandler an der Last liegt, um die akustische Oberflächenwelle zu elektrischen Signalen umzusetzen.