DE2849252B2

DE2849252B2 - Optisch-elektrische Meßeinrichtung

Info

Publication number: DE2849252B2
Application number: DE2849252A
Authority: DE
Inventors: Bernhard Ing.(Grad.) 8721 Niederwerrn Brand; Bruno Dipl.-Ing. 8602 Stegaurach Richter
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1978-11-14
Filing date: 1978-11-14
Publication date: 1980-11-27
Also published as: CH643059A5; GB2039034B; US4492473A; DE2849252A1; DE2849252C3; GB2039034A

Description

Die Erfindung betrifft eine optisch-elektrische Meßeinrichtung zum Messen der Lage und/oder der Abmessungen von Gegenständen, mit einer Lichtquelle für einen scharf gebündelten Lichtstrahl, der von einem durch einen Motor angetriebenen Drehspiegel in eine Abtastebene ablenkbar ist, in der er durch Kollimationsmittel aus einer Schwenkbewegung in eine Parallelbewegung umgelenkt wird, in der er den Gegenstand abtastet, ferner mit einer auf der vom Drehspiegel abgewandten Seite des abzutastenden Gegenstandes befindlichen Empfangseinrichtung für den parallel bewegten Lichtstrahl zur Erzeugung elektrischer Signale, deren zeitlicher Verlauf von der Drehgeschwindigkeit des Motors und von den Unterbrechungen des Lichtstrahles beim Oberstreichen des Gegenstandes abhängig ist, weiter mit einem Impulsgenerator, einer von diesem betriebenen Zähleinrichtung und einer so Steuereinrichtung zum Steuern der Zähleinrichtung abhängig von den Signalen der Empfangseinrichtung derart, daß die Impulse beispielsweise während der Unterbrechungen des Lichtstrahles durch den zu messenden Gegenstand gezählt werden.

Eine Einrichtung dieser Art ist beispielsweise aus der US-PS 37 65 774 bekannt Bei dieser bekannten Einrichtung dient der Impulsgenerator nicht nur dazu, eine Eingangsgröße für eine der Zähleinrichtung vorgeschattete Logikschaltung oder Torschaltung zu liefern, die ihre zweite Eingangsgröße von der Empfangseinrichtung für den Lichtstrahl erhält, sondern auch dazu, den mit dem Drehspiegel verbundenen Motor zu treiben. Der Motor kann jedoch in seiner mechanischen Drehbewegung Schwankungen unterlie- 6^rgen, die sich verstärkt auf die Ablenkbewegung des Lichtstrahles übertragen, v/omit dann keine exakte Beziehung zwischen der '.ichtstrahiabtastbewegung und den sich daraus ergebenden Signalen der Empfangseinrichtung als dem einen Eingang zu der der Zähleinrichtung vorgeschalteten Logikschaltung und der Impulsfolge des Impulsgenerators als dem zweiten Eingang zu dieser Logikschaltung mehr vorhanden ist

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, systembedingte Fehlor der vorstehend genannten Art bei der Bestimmung der Lage und/oder der Abmessungen von Gegenständen, die mit dem Lichtstrahl abgetastet werden, in der Weise zu vermeiden, daß durch Trägheit oder andere äußere mechanische Einflüsse auftretende Verschiebungen zwischen den für die Messung miteinander zu vergleichenden Signalen ausgeschlossen werden und die Meßgenauigkeit der Einrichtung erhöht werden kann.

Die Lösung dieser Aufgabe geschieht bei der eingangs kurz skizzierten Meßeinrichtung in der Weise, daß mit dem Motor ein feinstufiger Drehgeber verbunden ist, der winkelgeschwindigkeitsproportionale elektrische Signale erzeugt und daß ^:e Frequenz des Impulsgenerators mittels einer diesen?, zugeordneten Frequenzregelschleife steuerbar ist, in welche das Drehgebersignal als Bezugssignal einspeisbar ist

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform bildet der Impulsgenerator mit einem nachgeschalteten Frequenzteiler, einer Frequenz- und Phasenvergleicherschaltung und einem Regelverstärker einen Frequenz- und Phasenregelkreis, in dem die Frequenz des Impulsgenerators synchron mit der Frequenz der vom Drehgeber aufgenommenen, impulsförmigen Signale in einem durch den Frequenzteiler vorgegebenen Vielfachen erzeugt wird. Der Impulsgenerator wird also durch den feinstufigen Drehgeber, der unmittelbar mit dem Motor gekuppelt ist, gesteuert und somit besteht stets eine exakte Beziehung zwischen der Winkelstellung des Drehspiegels und den Impulsen, die dem einen Eingang der der Zähleinrichtung vorgeschalteten Logikschaltung oder Torschaltung zugeführt werden.

Es ist von Vorteil, wenn der Teilungsfaktor des Frequenzteilers einstellbar ist Diese Maßnahme ermöglicht <u3 nämlich, die Genauigkeit der Meßeinrichtung weiter zu erhöhen.

Bei exakter Betrachtung wird deutlich, daß der Lichtstrahl die Kollimationsmittel nicht .mit konstanter Geschwindigkeit überstreicht, Sündern die Geschwindigkeit des Lichtstrahlauftreffpunktes vom Außenrand des ersten Kollimators bis zum Punkt des kürzesten Abstandes zwischen dem Drehspiegel und dem Kollimator abnimmt und dann bis zum gegenüberliegenden Außenrand wieder ansteigt, so daß auch die Bewegung der zwischen den beiden Kollimationsmitteln in einer Ebene verlaufenden Lichtstrahlen nicht mit konstanter Geschwindigkeit abläuft und daher die Lage des zu messenden Gegenstandes bezüglich der Mitte des Abtastfeldes einer· Einfluß auf das Meßer&ebnis hat Die Verfälschung ist um so größer, je weiter der öffnungswinkel des genutzten Fächers der Lichtstrahlen, die vom Drehspiegel ausgehen, ist

Zur Beseitigung dieses Einflusses können die Impulse des Drehgebers zusätzlich einem zweiten Zähler zugeführt werden, dessen Stelleingang mit einer Einrichtung zum Erzeugen eines Steliir.ipulses bei mindestens einer bestimmten Stellung des Motorläufers für das Stellen des zweiten Zählers in einen bestimmten Zählerstand verbunden ist, wobei der im zweiten Zähler sich jeweils einstellende Zählerstand eindeutig elektrischen Ausgangssignalen zugeordnet ist, die Adresseneingängen einer Speicherschaltung zugeleitet werden,

deren Ausgangssignale den Eingängen einer elektrischen Einstellschaltung für das Einstellen des Teilungsfaktors des Frequenzteilers zugeleitet werden. In der Speicherschaltung sind Signale gespeichert, die bei Adreßeingabe als die genannten Ausgangssignale abgegeben werden und die in der Meßeinrichtung den Einfluß der durch das Kollimationsmittel für die Umsetzung in parallele Bewegung des Lichtstrahles entstandenen Geschwindigkeitsschwankungen der parallelen Bewegung durch Nachregeln der Frequenz des Impulsgenerators korrigieren.

Es wird also Einfluß auf den einstellbaren Teilungsfaktor der Frequenzteilerschaltung genommen und dies mit Hilfe einer von der Drehstellung des Drehspiegels und damit der Strahlablenkstellung abhängigen Speicherprogrammierung getan.

Der benötigte Stellimpuls kann vom Drehgeber selbst über einen si^sns dsfür vo^riTcschenen ·5!^σΠ3!^ηΐί^ςιϊ?^ηιτ für ein eine bestimmte Stellung des Drehgebers angebenden Impuls abgeleitet werden. Es ist aber auch möglich, als Drehgeber einen kodierten Drehwinkelgeber zu verwenden und dessen Ausgangssignale den Adreßeingängen der Speicherschaltung zuzuleiten, was ohne Hinzuziehung oder Zwischenschaltung des zweiten Zählers erfolgen kann. Schließlich besteht auch die Möglichkeit, von dem vom Drehspiegel abgelenkten Lichtstrahl zeitlich vor dem Eintritt in den Raum seiner parallelen Bewegung mittels eines zweiten Lichtempfängers das benötigte Drehstellungssignal abzuleiten, das dann als Nullstellungs- und Auslösesignal dem zweiten Zähler zugeführt wird.

Mit Hilfe weiterer Ausgestaltungen der Erfindung gemäß Unteransprüchen, die hiermit ausdrücklich zum Gegenstand der Beschreibung gemacht werden, läßt sich die Meßgenauigkeit zusätzlich erhöhen und lassen sich Fehlerquellen unterdrücken.

Die Erfindung wird nun anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung im einzelnen erläutert Es zeigt

F i g. 1 in schematisierter Darstellung den Grundaufbau der optisch-elektrischen Meßeinrichtung mit ihrem elektrischen Schaltkreis in Blockdarsteilung;

Fig.2 die um Einzelheiten zur weiteren Verbesserung des Meßergebnisses erweiterte Meßschaltung gemäß Fig. 1;

F i g. 3 eine wiederum mit zusätzlichen Schaltungsteilen versehene Grundschaltung gemäß Fig. 1, mit der eine Erhöhung der Meßgenauigkeit erreicht wird.

Es wird zunächst der Grundaufbau der optisch-elektrischen Meßeinrichtung gemäß F i g. 1 beschrieben. Ein Elektromotor 1, der von einer Fremdquelle gespeist wird, treibt einen auf der Motorwelle sitzenden Drehspiegel 2 und zugleich einen feinstufigen Drehgeber 3 an. Der Drehgeber 3 erzeugt elektrische Impulse, deren Frequenz der Drehgeschwindigkeit des Motors 1 proportional ist

Vcn einer Lichtquelle 9, vorzugsweise einer Laserröhre oder einer anderen, für die Erzeugung eines scharf gebündelten Lichtstrahles geeigneten Lichtquelle, fällt ein Lichtstrahl 10 nach Umlenkung durch einen Spiegel 11 auf den Drehspiegel 2. Der während der Drehbewegung des Drehspiegels von diesem reflektierte Strahl 12 überstreicht schwenkend einen in einer Ebene liegenden Sektor und fällt dabei auf Kollimationsmittel 13, durch die die schwenkende Bewegung des Lichtstrahls in eine parallele Bewegung von Lichtstrahlen in einer Ebene 14 umgelenkt wird.

Innerhalb der von den parallelen Strahlen durchlau

fenden Ebene 14 befindet sich ein zu vermessender Gegenstand 15, der den Strahlverlauf in einem Abschnitt 16 während einer Zeitspanne unterbricht, die für die Lage und die Abmessung des Gegenstandes kennzeichnend sind. Der nicht unterbrochene Strahlanteil 17 trifft nach Fokussierung durch eine Empfangsoptik 18 auf eine Photozelle 19, die ein dem zeitlichen Verlauf des Eintreffens des Strahls entsprechendes elektrisches Signal abgibt. Dieses Signal wird nach

in Verstärkung in einem Verstärker 20 und nach dem Durchlaufen eines Impulsformers 21 einer Logikschaltung 22 zugeführt, die aus den Pegelübergängen des Signals ein Steuersignal erzeugt, das in seiner zeitlichen Dauer das zu ermittelnde Maß des Gegenstandes 15

η kennzeichnet. Das Ausgangssignal der Logikschaltung 22 wird dem ersten Eingang einer logischen Undverknüpfungsschaltung 23 zugeleitet.

F.in Impulsgenerator 4 gibt über eine Frequenzteilerschaltung 5, deren Teilungsfaktor durch eine Teilungsfaktoreinstellungsschaltung 6 beeinflußbar ist seine Impulse an einen Frequenz- und Phasenvergleicher 7 ab, dem als zweite Vergleichsgröße die Ausgangsimpulse des feingestuften Drehgebers 3 zugeführt werden. Das Vergleichsergebnis sind evtl. Frequenzabweichungen zwischen den Impulsen des Drehgebers 3 und denen des Impulsgenerators, welche über einen RegelversUrker 8 dem Impulsgenerator als beeinflussende Steuergröße wieder zugeführt werden, wodurch dieser auf eine Frequenz eingestellt wird, die mit der Frequenz des

jo feingestuften Drehgebers 3 synchron ist Durch den Frequenzteiler 5 ist also die Frequenz des Impulsgenerators 4 ein genaues bestimmtes Vielfaches der Frequenz des Drehgebers 3.
Die Impulse des Impulsgenerators 4 werden der

)5 logischen Und-Verknüpfungsschaltung 23 ills zweite Eingangsgröße zugeführt, so daß am Ausgang der Und-Verknüpfungsschaltung 23 Impulsgruppen abgegeben werden, die einer Zähl- und Anzeigevorrichtung eingegeben werden und deren Impulszahl ein MaB für Lage und Abmessung des zu ermittelnden Gegenstandes ist

Durch die Verwendung des Frequenz- und Phasenregelkreises wird ein Gleichlauf zwischen der Frequenz des Impulsgenerators 4 und der Geschwindigkeit der

*ί parallelen Bewegung des abtastenden Lichtstrahls erreicht Auf diese Weise ist die Anzeige am Zählgerät 24 unabhängig von Schwankungen der Drehgeschwindigkeit des Motors 1 und entspricht genau dem zu ermittelnden Maß des Gegenstandes 15. Die Anzeige

so des Zählgerätes 24 läßt sich durch entsprechende Einstellung des Teilungsfaktors der Frequenzteilerschaltung 6, 5 mit dem zu ermittelnden MaB in Zusammenhang bringen.
Die F i g. 2 zeigt gegenüber der Grundschaltnng nach Fig. 1 durch ergänzende Bauteile erweiterte Ausführungen, mit deren Hilfe ein Eingriff in die Einstellung des Teilungsfaktors vorgenommen werden kann, der eine durch die Verschwenkung des Lichtstrahls 12 durch den Drehspiegel bedingte Ungenauigkeit ausgleicht. Es ist nämlich zu bedenken, daß strenggenommen die in der Ebene 14 parallel laufenden Lichtstrahlen sich fan Randbereich der Ebene schneller bewegen als im Mittelbereich, so daß je nach Stefrang des Gegenstandes 15 in der Ebene 14 unterschiedliche Meßergebnisse

&5 entstehen können. Eine erste Ausführungsform zur Lösung dieses Problems ist in der Fig.2 mit ausgezogenen Linien seiner die Schaltung gem. Fig. I ergänzenden Schaltungsverbindungen dargestellt Da-

nach werden über eine Leitungsverbindung 25 die Impulse des Drehgebers 3 zusätzlich einem weiteren Zähler 26 zugeleitet, dessen Stelleingang mit einer Einrichtung zum Erzeugen eines Stellimpulses bei mindestens einer bestimmten Stellung des Läufers des Motors 1 für das Stellen des zweiten Zählers 26 in einen bestimmten Zählerstand verbunden ist. Diese Einrichtung ist in der mit ausgezogenen Linien dargestellten ersten Ausführungsform ein zweiter Lichtstrahlempfänger 27, der vom Lichtstrahl 12 zeitlich unmittelbar vor dem Eintritt des Lichtstrahls 12 in der, Raum seiner parallelen Bewegung getroffen wird. Der Lichtstrahlempfänger 27 gibt dann ein Stellsignal als Stellimpuls auf den Stelleingang des Zählers 26 ab.

Es ist jedoch auch möglich, statt des zweiten Lichtstrahlempfängers 27 den Drehgeber 3 selbst als Einrichtung zur Erzeugung eines Stellimpulses zu benutzen und von diesem von einem eigenen Signalaus·

50115 uuLi uiv in uci r 1 g. t. gcstituiicii uai gcäieiiie

Leitungsverbindung 28 den Stellimpuls an den Stelleingang des zweiten Zählers 26 abzugeben. Selbstverständlich kann der zweite Lichtempfänger 27 und die zugehörige Verbindungsleitung dann entfallen.

Der im zweiten Zähler 26 sich jeweils einstellende Zählerstand ist eindeutig elektrischen Ausgangssignalen zugeordnet, die Adresseneingängen eines Speichers 29 zugeleitet werden, deren Ausgangssignale den Eingängen der elektrischen Einstellschaltung für das Einstellen des Teilungsfaktors des Frequenzteilers 5 zugeleitet werden, wobei in der Speicherschaltung Signale gespeichert sind, die in der Meßeinrichtung den Einfluß der durch das Kollimationsmittel 13 für die Umsetzung in parallele Bewegung des Lichtstrahles entstandenen Geschwindigkeitsschwankungen der parallelen Bewegung durch Nachregeln der Frequenz des Impulsgenerators 4 korrigieren.

Schließlich ist es in einer dritten, durch strichpunktierte Leitungsverbindungen in der Fig.2 angedeuteten Ausführungsform auch möglich, als Drehgeber 3 einen kodierten Drehwinkelgeber zu verwenden und dessen Ausgangssignale den Adreßeingängen über die Leitung 30 der Speicherschaltung 29 unmittelbar zuzuführen und so die gewünschte Korrektur der Impulsgeneratorfrequenz während eines Überstreichens der Ebene 14 durch den Lichtstrahl anzubringen.

In der F i g. 3 hat die Grundschaltung nach F i g. 1 eine weitere Ergänzung erfahren, die sowohl für sich allein als auch in Verbindung mit den Schaltungsvarianten der F i g. 2 einsetzbar ist Danach wird an die Zähleinrichtung 24 zur Zählung der Impulse des Impulsgenerators 4 die mit elektrischen Mitteln auf jeden erforderlichen Zählerstand stellbar ist eine Speicherschaltung 31 angeschlossen, der die den Zählerstand der Zähleinrichtung 24 signalisierenden Ausgangssignale zugeführt werden. Die dem Speicherinhalt entsprechenden Speicherausgangssignale werden einer Schaltung 32 für die Anzeige und gegebenenfalls auch Weiterverarbeitung des der gemessenen Dimension entsprechenden Speicherinhaltes zugeleitet, und außerdem gehen diese Speicherausgangssignale den Dateneingängen einer ι digital arbeitenden Rechenschaltung 33 zu, wo sie wertmäßig mit der Differenz zwischen dem Wert eins und dem Reziprokwert eines größeren Wertes als eins multipliziert werden. Mit Hilfe der so gebildeten Ausgangssignale der Rechenschaltung 33 wird die Zähleinrichtung 24 auf einen dem Produkt entsprechenden Zählerstand gestellt, und eine elektrische Steuereinrichtung 34 löst nach Beendigung eines jeden, zeitlich von den Unterbrechungen des Lichtstrahles durch den zu messenden Gegenstand bestimmten Zählvorganges in der Zähleinrichtung die Speicherung der dem erreichten Zählerstand entsprechenden Ausgangssignale dieser Zähleinrichtung in der Speicherschaltung aus und bewirkt nach einer für die Berechnung des neuen Wertes des vorgenannten rrutiukies benötigten Zeii das Stellen der Zähleinrichtung auf den dem Produkt wertmäßig entsprechenden Zählerstand. Jeder weitere Zählvorgang erfolgt ab dem durch die Steuereinrichtung im jeweils vorausgegangenen Meßzyklus bewirkten Zählerstand auf diesen aufaddierend, was eine

.'■"> zeitliche Mittelung der das Meßergebnis darstellenden

Ausgangssignale der Speicherschaltung 31 und eine mit

dem größeren Wert als eins vervielfachte Auflösung des

Meßergebnisses zur Folge hat Einen weiteren korrigierenden Zusatz kann der

Grundschaltungsaufbau durch folgende Ergänzung erhalten. Die eine Voreilung bzw. eine Nacheilung signalisierenden Ausgangssignale der Frequenz- und Phasenvergleichsschaltung 7 werden zusätzlich den für Vorwärtszählung bzw. für Rückwärtszählung bestimmten Zähleingängen eines Vorwärts-Rückwärts-Zählers zugeleitet, der seinen Zählerstand signalisierende Ausgangssignale abgibt, welche den Eingängen einer Digital-Analog-Umsetzerschaltung zugeleitet werden. Zur Unterdrückung von Frequenz-Seitenbändern im Impulsgenerator wird der Analogausgang der Digital Analog-Umsetzerschaltung derart mit dem Eingang des Regelverstärkers 8 im Frequenz- und Phasenregelkreis verbunden, daß der nach den thermischen Zuständen des Regelverstärkers 8 sich verändernde Eingangsvorstrom-Bedarf des Regelverstärkers 8 durch die Veränderung des Zählerstandes des Vorwärts-Rückwärts-Zählers im wesentlichen ausgeglichen ist Diese zusätzliche Hilfsmaßnahme ist in den Figuren der Zeichnung nicht besonders dargestellt kann vom Fachmann jedoch aus den vorstehenden Angaben leicht hinzugefügt werden. Die vorstehende Beschreibung einzelner Ausführungsbeispiele der Erfindung läßt erkennen, daß gegenüber den bekannten optisch-elektrischen Meßeinrichtungen Störfaktoren ausgeschaltet sind und die Meßgenauigkeit wesentlich erhöht werden konnte.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche;

l. Optisch-elektrische Meßeinrichtung zum Messen der Lage und/oder der Abmessungen von Gegenstinden, mit einer Lichtquelle für einen scharf gebündelten Lichtstrahl, der von einem durch einen Motor angetriebenen Drehspiegel in eine Abtastebene ablenkbar ist, in der er durch Koflimationsmittel aus einer Schwenkbewegung in eine Parallelbewegung umlenkbar ist, in der er den Gegenstand abtastet, ferner mit einer auf der vom Drehspiegel abgewandten Seite des abzutastenden Gegenstandes befindlichen Empfangseinrichtung für den parallel bewegten Lichtstrahl zur Erzeugung elektrischer Signale, deren zeitlicher Verlauf von der Drehgeschwindigkeit des Motors und von den Unterbrechungen des Lichtstrahls beim Oberstreichen des Gegenstandes abhängig ist, weiter mit einem Impulsgenerator, einer von diesem betriebenen Zählefayjjchtung und einer Steuereinrichtung zum Steuern der Zähleinrichtung abhängig von den Signalen der Empfangseinrichtung derart, daß die Impulse beispielsweise während der Unterbrechung des Lichtstrahls durch den zu messenden Gegenstand gezählt werden, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem Motets (1) ein feinstufiger Drehgeber (3) verbunden ist, der winkelgeschwindigkeitsproportionale Signale erzeugt, und daß die Frequenz des Impulsgenerators (4) mittels einer diesem zugeordneten Frequenzregelschleife (5,7,8) μ steuerbar ist, *a welche das Drehgebersignal als Bezugssignal einspeisbar ist

Z Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Impulsgenerator (4) mit einem nachgeschalteten Frequenzteiler (S), einer Frequenz- und Phasenvergleicherschaltung (7) und einem Regelverstärker (8) einen Frequenz- und Phasenregelkreis bildet, in dem die Frequenz des Impulsgenerators synchron mit der Frequenz der vom Drehgeber aufgenommenen, impulsförmigen Signale in einem durth den Frequenzteiler vorgegebenen Vielfachen erzeugt wird.

3. Meßeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Teilungsfaktor des Frequenzteilers (5) mittels einer Einstellschaltung (6) einstellbar ist

4. Meßeinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Impulse des Drehgebers (3) zusätzlich einem zweiten Zähler (26) zugeführt und gezählt werden, daß der Stelleingang des zweiten Zählen (26) mit einer Einrichtung (27, 3) zum Erzeugen eines Stellimpulses bei mindestens einer bestimmten Stellung des Motorläufers für das Stellen des zweiten Zählers (26) in einen bestimmten Zählerstand verbunden ist, daß der im zweiten Zähler (26) sich jeweils einstellende Zählerstand eindeutig elektrische Adressensignale bestimmt, die Adreßeingängen einer Speicherschaltung (29) zugeleitet werden, deren Ausgangssignale den Eingängen der elektrischen Einstellsehalfung (6) für das » Einstellen des Teilungsfaktors des Frequenzteilers (5) zugeleitet werden, und daß in der Speicherschaltung (29) bei Adressierung die genannten Ausgangssignale bildende Signale gespeichert sind, die in der Meßeinrichtung den Einfluß der durch das Kolima- &> tionsmittel (13) für die Umsetzung in parallele Bewegung des Lichtstrahles entstandenen Geschwindigkeitsschwankungen der parallelen Bewegung durch Nachregeln der Frequenz des Impulsgenerators (4) korrigieren,

5. Meßeinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Erzeugung eines elektrischen Stellimpulses für den zweiten Zähler (26) dienende Einrichtung in an sich bekannter Weise einen vom Abtastlichtstrahl zeitlich vor dem Eintritt in den Raum seiner parallelen Bewegung getroffenen zweiten Lichtempfänger (27) mit einer zugehörigen Signalerzeugungsschaltung enthält

6. Meßeinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Erzeugung eines elektrischen Stellimpuises für den zweiten Zähler (26) dienende Einrichtung von einem weiteren Signalausgang des Drehgebers (3) für die Ausgabe eines Impulses bei mindestens einer bestimmten Stellung des Drehgebers gebildet ist

7. Meßeinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehgeber (3) ein kodierter Drehwinkelgeber ist, dessen Ausgangssignale den AdreBeihgängen einer Speicherschaltung (29) zugeleitet werden, daß die Ausgangssignale dieser Speicherschaltung (29) den Eingängen der Einstellschaltung (6) für das Einstellen des Teilungsfaktors des Frequenzteilers (5) zugeleitet werden und daß in der Speicherschaltung (29) bei Adressierung die Speicherausgangssignale bildende Signale gespeichert sind, die geeignet sind, den Einfluß der durch das Kollimationsmittel (13) für die Umsetzung in parallele Bewegung des Lichtstrahles entstandenen Geschwindigkeitsschwankungen der parallelen Bewegung durch Nachregeln der Frequenz des Impulsgenerators (4) zu korrigieren.

8. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis

7, dadurch gekennzeichnet, daß die eine Voreilung bzw. eine Nacheilung signalisierenden Ausgangssignale der Frequenz- und Phasenvergleichsschaltung (7) zusätzlich den für Vorwärtszählung bzw. für Rückwärtszählung bestimmien Zfcildngängen eines Vorwärts-RückwärtS'Zählers zugeleitet werden, daß der Vorwärts-Rückwärts-Zähler den Zählerstand signalisierende Ausgangssignale abgibt, daß diese Ausgangssignale den Eingängen einer Digital-Analog-Umsetzerschaltung zugeleitet werden und daß zur Unterdrückung von Frequenzseitenbändern im Impulsgenerator (4) der Analogausgang der Digital-Analog-Umsetzerschalter derart mit dem Eingang des Regelverstärkers (8) im Frequenz- und Phasenregelkreis verbunden ist, daß der nach den thermischen Zuständen des Regelverstärkers (8) sich verändernde Eingangsvorstrom-Bedarf des Regel-Verstärkers durch die Veränderung des Zählerstandes des Vorwärts-Rückwärts-Zählers im wesentlichen ausgeglichen ist

9. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis

8, dadurch gekennzeichnet, daß die Zähleinrichtung (24) zur Zählung der Impulse des Impulsgenerators (4) mit elektrischen Mitteln auf jeden erforderlichen Zählerstand einstellbar ist, daß die Zähleinrichtung (24) den Zählerstand signalisierende Ausgangssignale abgibt die den Eingängen einer Speicherschaltung (31) zugeführt werden, deren dem Speicherinhalt entsprechende Speicher-Ausgangssignale einer Schaltung (32) für die Anzeige und/oder für die Weiterverarbeitung des der gemessenen Dimension wertmäßig entsprechenden Speicherinhaltes zugeleitet werden, daß die Speicher-Ausgangssignale zusätzlich den Dateneingängen einer digital arbei-

tenden Recbenschaltung (33) zugeleitet werden, in der sie wertmäßig mit der Differenz zwischen dem Wert eins und dem Reziprokwert eines größeren Wertes als eins multipliziert werden, daß die Rechenschaltung (33) Ausgänge für wertmäßig dem Produkt der vorgenannten Multiplikation entsprechende Signale hat, daß mittels dieser Signale die Zähleinrichtung (24) auf einen dem Produkt entsprechendt.i Zählerstand gestellt wird, da3 eine elektrische Steuereinrichtung (34) nach Beendigung eines jeden, zeitlich von den Unterbrechungen des Lichtstrahles durch den zu messenden Gegenstand bestimmten Zählvorganges in der Zähleinrichtung die Speicherung der dem erreichten Zählerstand entsprechenden Ausgangssignale dieser Zählein- is richtung (24) in der Speicherschaltung (31) auslöst und nach einer für die Berechnung des neuen Wertes des vorgenannten Produktes benötigten Zeit das Stellen der Zähleinrichtung (24) auf den dem Produkt wertmäßig entsprechenden Zählerstand bewirkt und daS jeder weitere Zählvorgang ab dem durch die Steuereinrichtung (34) im jeweils vorausgegangenen Meßzyklus bewirkten Zählerstand auf diesen aufaddierend erfolgt und dadurch eine zeitliche Mitteilung der das Meßergebnis darstellenden Atisgangssignale der Speicherschaltung (31) und eine mit dem größeren Wert als eins vervielfachten Auflösung des Meßergebnisses erreicht wird. (Fig.3).

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