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Mehrschichtige Antireflektionsbeschichtung
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Die Erfindung betrifft eine Antireflektionsbeschichtung für optische
Gläser.
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Es ist allgemein wünschenswert, dass Antireflektionsbeschichtungen
einen ausreichend niedrigen Reflektionsgrad im Gesamtbereich des sichtbaren Spektrums
haben.
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Bei einzel- oder doppelschichtigen Überzügen ist der restliche Reflektionsgrad
nicht nur so klein, sondern der enge Antireflektionsbereich des Spektrums kann nicht
den gesamten sichtbaren Bereich des Spektrums abdecken. Um dies zu verbessern, hat
man schon zahlreiche Antireflektionsbeschichtungen mit drei oder
mehr
Schichten aufgetragen.
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Eine solche Beschichtung wird in US-PS 3 604 784 beschrieben, bei
der eine vielschichtige Antireflektionsbeschichtung aus drei Schichten vorliegt.
Dabei ist die erste Schicht, die der Luft ausgesetzt ist, auf Basis von MgF2 (n
= 1,38) bei einer optischen Dicke von A0/4, die zweite Schicht besteht aus einem
Gemisch aus Oxiden des Titans und Al203 (n = 2,00) und die optische Dicke ist W
ot2 und die dem Substrat nächste, dritte Schicht besteht aus Al203 oder MgO (n =
1,64 bis 1,72) mit einer optischen Dicke von Wo/2r worin die Wellenlänge bedeutet.
Die vielschichtigen Antireflektionsbeschichtungen haben jedoch den Nachteil, dass
eine ausreichende Antireflektion nur bei einem Glas substrat bei einem Brechungsindex
im Bereich von 1,68 bis 1,88 vorliegt.
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Um Beschichtungen für alle Glassubstrate mit einem breiteren Brechungsindex
zu erzielen, sind auch schon eine Reihe von vierschichtigen Antireflektionsbeschichtungen
vorgeschlagen worden. Dazu gehört eine vierschichtige Beschichtung gemäss US-PS
3 781 090, in welcher die vier Schichten wie folgt ausgebildet sind: Von aussen
(der der Luft ausgesetzten Seite) in Richtung auf das Glassubstrat besteht die erste
Schicht aus einem Material mit einem niedrigen Brechungsindex (n = 1,35 bis 1,62),
die zweite Schicht aus einem Material mit einem hohen Index (n = 2,00 bis 2,30),
die dritte Schicht aus einem Material mit einem mittleren Index (n = 1,56 bis 1,72)
und die vierte Schicht aus einem Material mit einem niedrigen
Index
(n = 1,35 bis 1,62. Diese vierschichtige Antireflektionsbeschichtung bietet eine
verbesserte Antireflektionswtrkung bei einem Glas substrat mit einem Brechungsindex
im Bereich von 1,42 bis 1,72, indem man die Dicke der jeweiligen Schichten in Übereinstimmung
mit dem Brechungsindex des Glassubstrates abstimmt.
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Der gemäss US-PS 3 781 090 beschriebene Überzug hat jedoch noch die
folgenden Nachteile: (1) Für die Kontrolle der Dicke der einzelnen Schichten wird
eine optische Überwachungsmethode, bei welcher die Lichtinterferrenz angewendet
wird, benötigt.
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Bei dieser Methode wird ein Glas mit niedrigem Brechungsindex, wie
Natronkalkglas, häufig für die Überwachung verwendet, weil es billig und leicht
erhältlich ist. Zur Erhöhung der Genauigkeit der Dickenkontrolle ist es wünschenswert,
dass die vierte Schicht, die zuerst auf das Kontrollblatt aufgetragen wird, aus
einem Material besteht, dessen Brechungsindex erheblich von dem des Uberwachungsglases
abweicht. Bei einer solchen Beschichtung besteht die vierte Schicht aus einem Material
mit einem niedrigen Brechungsindex im Bereich von 1,35 bis 1,62, die sich geringfügig
von dem des Kontrollglases unterscheidet. Daher ist eine genaue Überwachung der
Dicke der vierten Schicht mit der optischen Überwachungsmethode im Falle der US-Patentschrift
schwierig.
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(2) Zur Erhöhung der optischen Eigenschaften verwendet man für die
vierte Schicht MgF2, weil dessen Unterschied zum Brechungsindex des Uberwachungsglases
von allen praktisch anwendbaren Materialien am
grössten ist, und
MgF2 wird auch für die erste Schicht angewendet, weil der Brechungsindex von allen
in Frage kommenden Materialien am niedrigsten ist. Die Schicht aus MgF2 ist jedoch
mikroskopisch an der Oberfläche uneben, im Vergleich zu den anderen Materialien,
und dadurch erhält man eine vierschichtige Antireflektionsbeschichtung, bei welcher
MgF2 für zwei Schichten angewendet wird und die Oberfläche der Beschichtung uneben
ist. Dadurch ergibt sich eine Abnahme der Haltbarkeit beim Anhaftungstest, der durchgeführt
wird, indem man die Beschichtungen in einem Strom aus feinen Siliziumkarbidteilchen,
die von einer bekannten Höhe fallen gelassen werden, schmirgelt. Das heisst, dass
entweder die optischen Eigenschaften oder aber die Dauerhaftigkeit bei dem Verfahren
des Standes der Technik geopfert werden müssen.
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Die Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Antireflektionsbeschichtung
zu zeigen, die eine genaue Kontrolle der Schichtdicke ermöglicht und bei der man
eine optische Uberwachungsmethode anwenden kann, und das eine ausreichende Antireflektionswirkung
für unterschiedliche Glassubstrate zeigt, die einen Brechungsindex in einem weiten
Bereich haben, wobei gleichzeitig verbesserte optische Eigenschaften und Dauerhaftigkeit
erzielt werden.
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Bei der erfindungsgemässen Antireflektionsbeschichtung aus einem Vierschichtenaufbau
mit einer ersten, zweiten, dritten und vierten Schicht in dieser Reihenfolge von
der der Luft ausgesetzten Seite zum Glassubstrat, wird ein Material mit einem hohen
Brechungsindex, der sich erheblich von dem des Überwachungsglases
unterscheidet,
auf die vierte Schicht aufgetragen, die auch auf das Uberwachungsglas zu der Zeit
aufgetragen wird, bei welcher die Schichtdicke unter Anwendung der optischen Überwachungsmethode
kontrolliert wird. Zusätzlich wird der Brechungsindexbereich für jedes Schichtmaterial
festgelegt, so dass MgF2, dessen Oberfläche uneben ist, nicht für zwei oder mehr
der vier Schichten verwendet wird, und die optische Dicke einer jeden Schicht entsprechend
dem Brechungsindex des Glassubstrates eingestellt wird. Der Brechungsindex der einzelnen,
für die erste, zweite, dritte und vierte Schicht verwendeten Materialien, der mit
N1, N2, N3 und N4 bezeichnet wird, und die optischen Dicken, die mit N1d11 N2d2,
N3d3 und N4d4 in dieser Reihenfolge bezeichnet werden, und die Bemessungswellenlänge
die mit #0 beziechnet wird, stehen zueinander in den folgenden Verhältnissen: N1d1
= 0,25 #0; N2d2 = 0,50 A 0,50 #0 # N3d3 # 0,75 #0; N4d4 # 0,25 #0; 1,35 # N1 # 1,62;
1,90 - N2 5 2,30; 1,90 # N4 # 2,30; 1,56 # N3 # 1,80; und N1 < N3
Die
erste Schicht besteht aus entweder MgF2, SiO2, LaF2 oder Na2(AlF4), die zweite und
die vierte Schicht entweder aus ZrO2, TiO2, CeO2, HfOX, ZnS oder einem Gemisch aus
ZrO2 und TiO2, und die dritte Schicht aus entweder Al203, CeF3, MgO, Y203 oder Cd203.
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In Übereinstimmung mit dem Brechungsindex des Glassubstrates variiert
die optische Dicke einer jeden Schicht innerhalb des Bereiches, welcher den vorgenannten
Bedingungen entspricht und dadurch wird es möglich, eine Antireflektionsbeschichtung
mit einer ausreichenden Antireflektionswirkung auf einem Glassubstrat, das einen
Brechungsindex innerhalb des breiten Bereiches von 1,42 bis 1,90 hat, zu erzielen.
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Darüber hinaus wird erfindungsgemäss ein Material mit einem hohen
Brechungsindex zwischen 1,90 und 2,30 für die vierte Schicht, die auch direkt auf
dem Überwachungsglas zu der Zeit der Schichtdickenüberwachung mittels einer optischen
Überwachungsmethode aufgetragen worden ist, verwendet. Dies ergibt einen grossen
Unterschied im Brechungsindex zwischen dem Material der vierten Schicht und dem
Überwachungsglas. Dadurch dass man für das Überwachungsglas ein billiges und leicht
zugängliches Material verwendet, wie Natronkalkglas, kann man eine genaue Dickenkontrolle
der jeweiligen Schichten durch eine optische Überwachungsmethode durchführen. Weiterhin
kann man erfindungsgemäss für die jeweiligen Schichten verschiedene Materialien
aussuchen, die optisch stabil und chemisch und mechanisch dauerhaft sind und deren
Brechungsindizes den oben genannten Bedingungen entsprechen, indem man die Schichtdicken
einstellt, um eine ausreichende
Antireflektionswirkung zu erzielen,
und dadurch erhält man eine leicht herstellbare, hoch dauerhafte Antireflektionbeschichtung.
Die vierschichtige Antireflektionsbeschichtung gemäss der Erfindung verwendet nicht
MgF2 für zwei Schichten und die Dauerhaftigkeit wird nicht durch eine erhöhte Ungleichheit
der Oberfläche der Beschichtung geschädigt.
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Fig. 1 ist ein Querschnitt und zeigt ein schematisches Diagramm der
Erfindung.
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Fig. 2 ist ein Vektordiagramm für die Bestimmung der optimalen Schichtdicken.
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Fig. 3a und 3b sind grafische Darstellungen des Reflektionsgrades
von Tabelle 1.
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Fig. 4 ist eine grafische Darstellung des Reflektionsgrades von Tabelle
2.
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Fig. 5 ist eine grafische Darstellung des Reflektionsgrades von Tabelle
3.
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Unter Bezugnahme auf Fig. 1 wird dort ein Querschnitt eines Aufbaus
der erfindungsgemässen Antireflektionsbeschichtung beschrieben, wobei eine Antireflektionsschicht
C auf die Oberfläche eines Glassubstrates B aufgetragen wird und wobei die äusserste
Schicht der Luft A ausgesetzt ist. Die Antireflektionsbeschichtung C hat einen vierschichtigen
Aufbau und besteht aus einer ersten Schicht I, einer zweiten Schicht II, einer dritten
Schicht III und einer vierten Schicht IV
in der genannten Reihenfolge
von der Luftseite zum Glas substrat. Die erste Schicht I besteht aus einem Material
mit niedrigem Brechungsindex im Bereich von 1,35 bis 1,62, wie MgF2, SiO2, LaF2
und Na2 (AlF4) und hat annähernd eine optische Dicke, in bezug auf die Bemessungswellenlänge
(design wave length) # 0. Die zweite Schicht II besteht aus einem Material mit einem
hohen Brechungsindex im Bereich von 1,90 bis 2,30, wie ZrO2, TiO2, CeO2, HfO2, ZnS
oder einem Gemisch aus ZrO2 und TiO2 und hat annähernd eine optische Dicke von 0,50#0.
Die dritte Schicht III Besteht aus einem Material mit mittelerem Brechungsindex
im Bereich von 1,56 bis 1,80, wie Al203, CeF3, MgO, Y203 und Gd203 und hat eine
optische Dicke von 0,50 bis 0,75 A 0. Das Material für die dritte Schicht III hat
einen höheren Brechungsindex als das für die erste Schicht I verwendete. Die vierte
Schicht IV besteht aus einem Material mit einem hohen Brechungsindex im Bereich
von 1,90 bis 2,30, wie ZrO2, TiO2, CeO2, HfO2, ZnS oder einem Gemisch aus ZrO2 und
TiO2 und hat eine optische Dicke von nicht mehr als 0,25 Die Materialien für die
jeweiligen Schichten werden zunächst ausgewählt und dann werden die optischen Dicken
der jeweiligen Schichten auf Optimalwerte festgelegt, so dass man eine ausreichende
Antireflektionswirkung für das zu verwendende Glassubstrat B erzielt.
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Diese Optimalwerte können beispielsweise wie folgt bestimmt werden:
Die erste Grenze besteht zwischen der Luft A und der ersten Schicht I; die zweite
Grenze besteht zwischen
der ersten Schicht I und der zweiten Schicht
II; die dritte Gren:e besteht zwischen der zweiten Schicht II und der driften Schicht
III; die vierte Grenze besteht zwischen der dritten Schicht III und der vierten
Schicht IV und die fünfte Grenze besteht zwischen der vierten Schicht IV und dem
Glassubstrat B. Die Brechungsindizes der Luft A, der ersten Schicht I bis zur vierten
Schicht IV und des Glassubstrates B sind Not N1' N2, N3, N4 bzw. N5 in dieser Reihenfolge.
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In diesem Fall wird der Fresnel-Koeffizient Wi an der i-ten Grenze
(i = 1, 2, 3, 4 und 5) durch folgende Gleichung bestimmt: Ni-1 - Ni Wi = (1) Ni+1
+ Ni Der Fresnel Koeffizient Wi wird bestimmt, nachdem das Material für jede Schicht
und das Glassubstrat ausgewählt wurden.
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Weiterhin wird die Phasenveränderung Bi von Lichtstrahlen, die durch
die Antireflektionsbeschichtung verursacht wird, durch folgende Gleichung (2) wiedergegeben,
wenn die Lichtstrahlen, die von der Luftseite zur Substratseite durch die i-te Grenze
einfallen und dann zu der i-ten Grenze durch die Reflektion der (i+1)-ten Grenze
zurückkehren: 2 # ßi = 2 Nidi (2) #0
Hierbei bedeutet Nidi die
optische Dicke der i-ten Schicht und # 0 die Wellenlänge der Strahlen. Da bei der
vorliegenden Erfindung N1d1 = 0,25 #0 und N2d2 = 0,50#0 ist, werden ß1 = t und B2
= 2t als ungefähre Werte bei der Berechnung eingesetzt.
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Man kann dann ein Vektordiagramm, wie es in Fig. 2 gezeigt wird, zeichnen,
wobei die Wechselwirkung zwischen den Lichtstrahlen, die an den jeweiligen Grenzen
reflektiert werden, für die Wellenlänge A 0 durch die Komplexamplitude und die Phase
der Lichtstrahlen gezeigt wird. Unter Bezugnahme auf Fig. 2 bedeutet der Vektor
7> die Komplexamplitude der Lichtstrahlen, die an der ersten Grenze reflektiert
werden, und der Vektor AB zeigt die Komplexamplitude der Lichtstrahlen, die an der
zweiten Grenze reflektiert werden, und der Vektor BC zeigt die Komplexamplitude
der Licht strahlen, die an der dritten Grenze reflektiert werden.
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Die Länge eines jeden Vektors bezieht sich auf den absoluten Wert
des Fresnel-Koeffizienten an jeder Grenze, während die Richtung eines jeden Vektors
von dem Wert von ß und dadurch bestimmt wird, ob der Fresnel-Koeffizient positiv
oder negativ ist, d.h. dass die Richtung des Vektors durch den Phasenwinkel unter
Bezug auf ßi' gemessen im Gegenuhrzeigersinn, wenn der Fresnel-Koeffizient positiv
ist, und gemessen im Uhrzeigersinn, wenn der Fresnel-Koeffizient negativ ist, bestimmt
wird. Ähnlich zeigen die Vektoren CD und die Komplexamplituden der Lichtstrahlen,
die an der vierten und fünften Grenze reflektiert werden.
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Das Quadrat der Entfernung vom Ursprung O zum Endpunkt des Vektors
gibt den Restreflektionswert der
Antireflektionsbeschichtung an.
Da die optische Dicke der dritten Schicht III und der vierten Schicht IV noch nicht
bestimmt sind, ist es unmöglich, die Vektoren C£ und t darzustellen. Deshalb zieht
man einen Kreis, dessen Mittelpunkt bei Punkt C liegt, mit einem Radius W4, und
einen anderen Kreis, dessen Mittelpunkt beim Ursprungspunkt 0 liegt, mit einem Radius
W5.
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Der Schnittpunkt der beiden Kreise wird mit G bezeichnet, und dann
werden die Vektoren t und t eingezeichnet. Aus der Richtung der Vektoren werden
die optischen Dicken der dritten Schicht III und der vierten Schicht IV bestimmt.
Die so bestimmten optischen Dicken sind die optischen Werte, durch welche der Restreflektionswert
in bezug auf die Wellenlänge x O theoretisch Null wird, Nachdem diese Werte für
die optischen Dicken als Annäherungswerte bestimmt sind, werden die Schichtdicken
mittels eines Computers in Übereinstimmung mit der sogenannten gedämpften kleinsten
Quadratmethode, die eine der geeignetsten Methoden für das automatische Entwerten
von Linsen geeignet ist, korrigiert, um eine Endlösung zu finden, die eine niedrige
und flache Reflektionscharakteristik über einen weiten Wellenlängenbereich aufweist.
Dadurch kann man schliesslich die optimalen Schichtdicken erhalten.
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Nachfolgend werden genaue Angaben von Ausführungsformen der vorliegenden
Erfindung, bei welcher die vorbestimmte Wellenlänge & O auf 510 nm eingestellt
wird, gezeigt, wobei Ns den Brechungsindex des Glassubstrates B bedeutet.
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Ausführungsformen 1 bis 6 Bei den in Tabelle 1 gezeigten Ausführungsformen
1 bis 6 wird MgF2 mit einem Brechungsindex von 1,385 für die erste Schicht I wegen
seiner stabilen optischen Eigenschaften und der guten Beständigkeit gegen Feuchtigkeit
und physikalische Kratzer verwendet, und ein Gemisch aus Z°2 und TiO2 (Brechungsindex
2,05) wird für die zweite und vierte Schicht II bzw. IV wegen der stabilen optischen
Eigenschaften und der guten Beständigkeit gegen Feuchtigkeit verwendet und Al203
(Brechungsindex 1,62) wird für die Schicht III wegen der guten Beständigkeit gegenüber
Feuchtigkeit und physikalische Kratzer verwendet. Die optischen Dicken der jeweiligen
Schichten werden auf die optimalen Werte eingestellt, die nach den zuvor beschriebenen
Verfahren bestimmt wurden.
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Die Antireflektionsbeschichtungen mit einem solchen Aufbau werden
durch Verdampfen eines Gemisches aus Zur92 und TiO2 für die vierte Schicht, Al203
für die dritte Schicht, eines Gemisches aus ZrO2 und TiO2 für die zweite Schicht
und von MgF2 für die erste Schicht in dieser Reihenfolge auf die Oberfläche eines
ausgewählten Glassubstrates aufgetragen.
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Fig. 3a und 3b zeigen den Prozentsatz der Reflektionswerte gegenüber
Wellenlängenkurven für die Ausführungsformen 1 bis 6, wie sie in Tabelle 1 angegeben
werden, wobei die Kurven für vertikal einfallendes Licht aufgetragen wurden. Kurven
2 und 3 in Fig. 3a zeigen die Spektralreflektionseigenschaften der Ausführungsformen
1
bis 3 und Kurven 4, 5 und 6 in Fig. 3b zeigen die Spektralreflektionseigenschaften
der Ausführungsformen 4 bis 6. Aus den Fig. 3a und 3b geht hervor, dass nur durch
Anpassen der optischen Dicken der jeweiligen Schichten, deren Materialien in der
vorerwähnten Weise ausgewählt wurden, eine Antireflektionsbeschichtung mit einem
breiten Antireflektionsspektralbereich und einem minimalen Restreflektionswert für
die jeweiligen verschiedenen Glassubstrate, deren Brechungsindizes über einen weiten
Bereich variieren, erhältlich sind. Weiterhin ist die erfindungsgemässe Antireflektionsbeschichtung
aus optisch stabilen und ausserordentlich dauerhaften Materialien in den jeweiligen
Schichten aufgebaut und dadurch ist die Beschichtung stabil, leicht herzustellen
und als Ganzes sehr haltbar.
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Ausführungsformen 7 bis 9 Die Ausführungsformen 7 bis 9, wie sie in
Tabelle 2 gezeigt werden, sollen die Veränderung der Antireflektionswirkung, wie
sie durch Veränderung des Brechungsindex des Materials für die zweite Beschichtung
II bei der Ausführungsform 3 (der Brechungsindex des Glassubstrates Ns ist 1,62)
bewirkt wird. Diese Veränderungen werden durch eine Änderung des Mischungsverhältnisses
von ZrO2 und TiO2 und/oder durch Veränderung der Verdampfungsbedingungen und dergleichen
bewirkt. Für einen Vergleich wird der Aufbau der Ausführungsform 3 auch in Tabelle
2 gezeigt.
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Bei den Ausführungsformen 7 bis 9 werden Antireflektionsbeschichtungen
in gleicher Weise wie bei den Ausführungsformen 1 bis 6 hergestellt. Die gewünschten
Brechungsindizes sind durch eine Veränderung des Mischungsverhältnisses von ZrO2
und TiO2 und/oder der Verdampfungsbedingungen beim Verdampfen der zweiten Schicht
II erhältlich.
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Kurven 7, 8 und 9 in Fig. 4 zeigen die Spektralreflektionseigenschaften
für vertikal einfallendes Licht gemäss den Ausführungsformen 7, 8 und 9. Zum Verfleich
ist die Kurve 3, welche die Spektralreflektionseigenschaften für die Ausführungsform
3 angibt, auch in Fig. 4 eingetragen. Aus Fig. 4 wird ersichtlich, dass je höher
der Brechungsindex der zweiten Schicht II ist, der Restbrechungswert des Spektralbereiches
in der Nähe der vorbestimmten Wellenlänge umso niedriger ist.
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Ausführungsform 10 Die Ausführungsform 10 wird in Tabelle 3 gezeigt
und stellt eine Modifizierung der Ausführungsform 3 dar, wobei Al203 (Brechungsindex
1,62) für die dritte Schicht III bei der Ausführungsform 3 abgeändert wird in MgO
mit einem Brechungsindex von 1,70, wobei die Dicke der jeweiligen Schichten in geeigneter
Weise angepasst wird.
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Die Antireflektionsbeschichtung gemäss der Erfindung
wird
segmentartig durch Verdampfen eines Gemisches aus ZrO2 und TiO2, MgO, einem Gemisch
aus ZrO2 und TiO2 mit jeweils vorbestimmten Schichtdicken auf der Oberfläche des
Glassubstrates gebildet.
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Kurve 10 in Fig. 5 zeigt die Reflektionseigenschaften für vertikal
einfallendes Licht gemäss der Ausführungsform 10. Kurve 3 in Fig. 5 zeigt die Spektralreflektionseigenschaften
der Ausführungsform 3.
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Aus Fig. 5 geht hervor, dass die Spektralreflektionseigenschaften
, die nahezu den ursprünglichen gleich sind, durch eine Anpassung der jeweiligen
Schichtdicken erzielt werden, selbst wenn der Brechungsindex der dritten Schicht
III verändert wird,
Tabelle 1
| Material Brechungs- Ausfüh- Ausfüh- Ausfüh- Ausfüh- Ausfüh-
Ausfüh- |
| index rungs- rungs- rungs- rungs- rungs- rungs- |
| form 1 form 2 form 3 form 4 form 5 form 6 |
| Optische Dicke |
| erste Mgf2 1,385 0,249#0 0,250#0 0,251#0 0,249#0 0,249#0 0,249#0 |
| Schicht |
| zweite Gemisch 2,05 0,498#0 0,500#0 0,501#0 0,501#0 0,498#0
0,497#0 |
| Schicht aus ZrO2 |
| und TiO2 |
| dritte Al2O3 1,62 0,699#0 0,649#0 0,605#0 0,566#0 0,530#0 0,513#0 |
| Schicht |
| vierte Gemisch 2,05 0,014#0 0,027#0 0,035#0 0,036#0 0,024#0
0,020#0 |
| Schicht aus ZrO2 |
| und TiO2 |
| Sub- Glas Ns=1,46 Ns=1,54 Ns=1,62 Ns=1,70 Ns=1,78 Ns=1,86 |
| strat |
Tabelle 2
| Ausführ- Ausführ- Ausführ- Ausführ- |
| rungs- rungs- rungs- rungs- |
| form 3 form 7 form 8 form 9 |
| Brechungsindex optische Dicke |
| erste 1,385 1,385 1,385 1,385 0,251 #0 |
| Schicht |
| zweite 2,05 2,10 2,15 2,20 0,501 #0 |
| Schicht |
| dritte 1,62 1,62 1,62 1,62 0,605 #0 |
| Schicht |
| vierte 2,05 2,05 2,05 2,05 0,036 #0 |
| Schicht |
| Substrat Ns = 1,62 |
| Glas |
Tabelle 3
| Material Brechnungs- optische |
| index Dicke |
| erste MgF2 1,385 0,251 #0 |
| Schicht |
| zweite Gemisch aus ZrO2 und TiO2 2,05 0,501 #0 |
| Schicht |
| dritte MgO 1,70 0,632 #0 |
| Schicht |
| vierte Gemisch aus ZrO2 und TiO2 2,05 0,035 #0 |
| Schicht |
| Substrat Glas 1,62 |
Mehrschichtige Antireflektionsbeschichtung Zusammenfassung: Mehrschicht.ge
Antireflektionsbeschichtung auf einem Glassubstrat zur Verminderung der Reflektion
des Lichtes, die aus vier Schichten besteht, wobei die erste, dem Substrat entfernteste
Schicht, einen Brechungsindex N1 und eine optische Dicke N1d1, die zweite Schicht
einen Brechungsindex N2 und eine optische Dicke N2d2, die dritte Schicht einen Brechungsindex
N3 und eine optische Dicke N3d3 und die vierte Schicht, die dem Substrat am nächsten
ist, einen Brechungsindex N4 und eine optische Dicke N4d4 aufweist, und wobei die
Brechungsindizes und die optischen Dicken bei einer vorbestimmten Wellenlänge #
0 in folgender Beziehung stehen: N1d1 = 0,25 #0; N2d2 = 0,50 A 0,50#0 # N3d3 # 0,75
#0; N4d4 # 0,25 #0; 1,35 # N1 # 1,62; 1,90 - N2 5 2,30; 1,90 = N4 - 2,30; 1,56 #
N3 # 1,80; und N1 < N3
L e e r s e i t e