DE3147985A1 - Aufzeichnungstraeger mit einer mehrfarbigen feinstruktur, insbesondere in form einer mikrolandkarte, und verfahren zur herstellung des aufzeichnungstraegers - Google Patents
Aufzeichnungstraeger mit einer mehrfarbigen feinstruktur, insbesondere in form einer mikrolandkarte, und verfahren zur herstellung des aufzeichnungstraegersInfo
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Description
3H7985
DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 23. November 1981
Aufzeichnungsträger mit einer mehrfarbigen Feinstruktur,
insbesondere in Form einer Mikrolandkarte, und Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers
Die Erfindung betrifft einen Aufzeichnungsträger mit einer mehrfarbigen Feinstruktur gemäß dem
Oberbegriff des Anspruchs 1.
In der US-PS 3 727 233 ist eine Methode zur Aufzeichnung eines mehrfarbigen Bildes beschrieben,
bei der auf einem Schichtträger1 aus Glas, eine Metallschicht
hoher Reflektivität und darauf eine organische Polymerschicht aufgebracht werden. Die
Polymerschicht wird mittels ein abzubildendes Objekt durchdringender Elektronenstrahlen belichtet
sowie anschließend entwickelt und besitzt danach durch Polymerisation eine Struktur entsprechend
der Bestrahlungsintensität der Elektronenstrahlen.
Anschließend wird auf die strukturierte organische Polymerschicht eine weitere Metallschicht hoher
Reflektivität aufgebracht, so daß sich infolge
Interferenz ein mehrfarbiges Bild bei natürlichem Licht ergibt. Als nachteilig erweist es sich, daß
die über den gesamten Schichtträger mit gleicher Schichtdicke aufgebrachten Metallschichten keine
unterschiedlichen Sättigungen der einzelnen Farbtöne des Bildes erlauben. Die strukturierte Interferenzschicht
in Form der organischen Polymerschicht läßt wegen ihrer erheblichen Wärmeempfindlichkeit
eine starke Rückvergrößerung des mehrfarbigen Bildes wegen der damit verbundenen hohen
Beleuchtungsstärken nicht zu; durch die mangelnde Lichtechtheit und Schrumpfung der organischen Inteferenzschicht
im Laufe der Zeit können zudem Farbveränderungen auftreten.
Aus der DE-OS 26 £8 623 ist ein Aufzeichnungsträger
mit einer Aufzeichnung hoher Informationsdichte, insbesondere mit einem mehrfarbigen Mikrobild
bekannt, bei dem auf einem Schichtträger wenigstens zwei Interferenzfilter für zwei unterschiedliche
Farbtöne vorgesehen sind. Jedes Interferenzfilter besteht aus einer unstrukturierten
anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht, die sich mit gleicher Schichtdicke über den gesamten
Schichtträger erstreckt und auf jeder Seite durch wenigstens eine die Struktur der Aufzeichnung
bildende anorganische spieigelnde Schicht begrenzt ist. In einer weiteren Ausbildung ist die
unstrukturierte Interferenzschicht auf jeder Seite durch wenigstens eine strukturierte hochbrechende
absorptionsfreie Schicht begrenzt, wobei sich zwischen je zwei hochbrechenden Schichten eine un-
strukturierte niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht befindet. Da sich zwischen den die Struktur
bildenden spiegelnden Schichten die unstrukturierte Interferenzschicht bzw. zwischen den die
Struktur bildenden hochbrechenden Schichten die unstrukturierte Interferenzschicht und die unstrukturierten
niedrigbrechenden Schichten' befinden, die sich ebenfalls mit gleicher Schichtdicke
über den gesamten Schichtträger erstrecken, sind für jeden Farbton eine Reihe von Strukturierungsschritten
erforderlich, bei denen aber die Mehrfachjustierung der betreffenden Belichtungsmaske
größte Justiergenauigkeit erfordert und außerdem zeitaufwendig ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Aufzeichnungsträger der oben genannten
Gattung die Anzahl der Verfahrensschritte zu reduzieren, Justierungsprobleme zu vermeiden und
die optische Güte der Feinstruktur zu verbessern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß im wesentlichen
durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
/
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß bei der Herstellung eines
solchen Aufzeichnungsträgers der Zeit- und Kostenfaktor
sowie die Ausschußrate erheblich gesenkt und eine bessere Farbtonreinheit und Farbtonsättigung
erzielt werden.
Vorteilhafte Ausgestaltungen sowie Verfahren zur
3U7985
Herstellung derartiger Aufzeichnungsträger entnimmt
man den Unteransprüchen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden
näher erläutert.
Es zeigen
Figur 1a-c Aufzeichnungsträger mit metall-dieleketrischen Inter
ferenzfiltern ,
Figur 2a,b Aufzeichnungsträger mit reindielektrischen Interferenzfiltern,
Figur 3a,b Aufzeichnungsträger mit Halb
filtern,
Figur 4a-d Aufzeichnungsträger mit induzierten
Transmissions- , filtern, Figur 5a,b Aufzeichnungsträger mit
Kantenfiltern (Reflektoren)- und
Figur 6a,b Aufzeichnungsträger mit Kantenfiltern und metalldielektrischen Filtern.
Figur 6a,b Aufzeichnungsträger mit Kantenfiltern und metalldielektrischen Filtern.
In Figur 1a-c sind Aufzeichnungsträger mit metalldielektrischen
Interferenzfiltern in Form von Schichtpaketen 1.., 12 / 13 für einen ersten Farbton
und von Schichtpaketen 2-, 2», 2_ für einen
zweiten Farbton dargestellt.
Zur Erzeugung des ersten Farbtons wird gemäß
4h
Figur 1a auf einem Schichtträger 2>. in nicht gezeigter
Weise ganzflächig eine·, erste Phötolackschicht aufgebracht und mittels einer ersten Belichtungsmaske
belichtet. Nach dem Entwickeln der ersten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger
S1 ganzflächig eine Metallschicht 4..,
eine anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 5.. gemäß dem ersten Farbton und eine
Metallschicht 6.. aufgebracht. Die verbliebene erste Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen
Schichten A*-6* wird sodann entfernt,
so daß das Schichtpaket 11 auf dem Schichtträger
S1 verbleibt. Zur Erzeugung des zweiten Farbtons
wird auf dem Schichtträger 3.. ganzflächig
eine zweite Photolackschicht aufgebracht und
mittels einer zweiten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der zweiten Photolackschicht
werden auf dem Schichtträger 3- ganzflächig eine
Metallschicht Ί-, eine anorganische absorptionsfreie
Interferenzschicht 8. gemäß dem zweiten Farbton und eine Metallschicht 9* aufgebracht. Die
verbliebene zweite Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 7-<-9-i wird sodann
entfernt, so daß neben dem Schichtpaket 1.. das
Schichtpaket 21 auf dem Schichtträger 3- verbleibt.
In einer anderen Ausbildung dieses Aufzeichnungsträgers
werden nach Figur 1b auf einem Schichtträger 32 ganzflächig eine Metallschicht 42 und
darüber zur Erzeugung des ersten Farbtons eine erste Photolackschicht aufgebracht. Nach dem Be-
lichten der ersten Photolackschicht mittels der j ersten Belichtungsmaske und dem Entwickeln der
ersten Photolackschicht werden auf dem Schichtträ- j
ger 3~ ganzflächig eine anorganische absorptions- j
freie Interferenzschicht 52 gemäß dem ersten Färb- j
ton und eine Metallschicht 60 aufgebracht. Die ver- \
bliebene erste Photolackschicht mitsamt den darüber t
befindlichen Schichten 5„, 6~ wird sodann entfernt, '
so daß das Schichtpaket 12 auf dem Schichtträger 3, ;
verbleibt. Zur Erzeugung des zweiten Farbtons wird j
auf dem Schichtträger 3~ ganzflächig eine zweite j
Photolackschicht aufgebracht und mittels der zweiten |
Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der ί
zweiten Photolackschicht werden auf dem Schicht- f
träger 3~ ganzflächig eine anorganische absorptionsfreie
Interferenzschicht 82 gemäß dem zweiten Färb- !
ton und eine Metallschicht 9- aufgebracht. Die ver- f
bliebene zweite Photolackschicht mitsamt den darüber
befindlichen Schichten 80, 90 wird sodann entfernt,
befindlichen Schichten 80, 90 wird sodann entfernt,
so daß neben dem Schichtpaket 12 das Schichtpaket 2~
auf dem Schichtträger 32 verbleibt.
auf dem Schichtträger 32 verbleibt.
In einer weiteren Ausbildung dieses Aufzeichnungs- [
trägers werden nach Figur 1c auf einem Schichtträ- . I.
ger 3^ ganzflächig eine Metallschicht 4- und darüber i
zur Erzeugung des ersten Farbtons eine anorganische j
absorptionsfreie Interferenzschicht 5., aufgebracht, |
die nachfolgend ganzflächig mit einer ersten Photo- J
lackschicht bedeckt wird. Nach dem Belichten der |
- ersten Photolackschicht mittels der ersten Beiich- [
tungsmaske und dem Entwickeln der ersten Photolack- j
schicht wird auf dem Schichtträger 33 ganzflächig
eine Metallschicht 6, aufgebracht. Die verbliebene
eine Metallschicht 6, aufgebracht. Die verbliebene
erste Photolackschicht mitsamt der darüber befindlichen Metallschicht 63 wird sodann entfernt, so daß
das Schichtpaket 1- auf dem Schichtträger 3, verbleibt. Zur Erzeugung des zweiten Farbtons wird auf
dem Schichtträger 33 ganzflächig eine zweite Photolackschicht
aufgebracht und mittels der zweiten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der
zweiten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 33 ganzflächig eine anorganische absorptionsfreie
Interferenzschicht 8~ und eine Metallschicht 9,
aufgebracht. Die verbliebene zweite Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 83, 9.
wird sodann entfernt, so daß neben dem Schichtpaket "U das Schichtpaket 23 auf dem Schichtträger 3-verbleibt.
Im Bereich des Schichtpakets 23 bilden die Interferenz
schichten 5O, 8-, zusammen die Interferenzschicht
für den zweiten Farbton. Bei dem Schichtpaket 1« bilden die Schichten 4.., 5-, 6-, bei dem
Schichtpaket 12 die Schichten 5~, 6^/ bei dem
Schichtpaket I3 die Schicht O3, bei dem Schichtpaket 21 die Schichten 7.., 8.., 9.., bei dem Schichtpaket
22 die Schichten 82, 92 und bei dem Schichtpaket
23 die Schichten 83, 93 jeweils den Strukturbildenden
Teil. Die Metallschichten 4, 6, 7>
9 sind teildurchlässige Schichten.
In Figur 2a,b sind Aufzeichnungsträger mit reindielektrischen
Interferenzfiltern in Form von Schichtpaketen 11^, 112 für einen ersten Farbton und von
Schichtpaketen 12-, 12, für einen zweiten Farbton dargestellt.
3U7985
Zur Erzeugung des ersten Farbtons wird gemäß Figur 2a auf einem Schichtträger 13.. in nicht gezeigter
Weise ganzflächig eine erste Photolackschicht aufgebracht und mittels einer ersten Belichtungsmaske
belichtet. Nach dem Entwickeln der ersten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger
13- ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 14«, eine niedrigbrechende absorptionsfreie
Schicht 1IS*, eine hochbrechende
absorptionsfreie Schicht 16.., eine anorganische
absorptionsfreie Interferenzschicht 17.. gemäß dem ersten Farbton, eine hochbrechende absorptionsfreie
Schicht 18-, eine niedrigbrechende absorptionsfreie
Schicht 19- und eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 20- aufgebracht. Die
verbliebene erste Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 14--20- wird
sodann entfernt, so daß das Schichtpaket 11- auf dem Schichtträger 13- verbleibt. Zur Erzeugung
des zweiten Farbtons wird auf dem Schichtträger 13-ganzflächig eine zweite Photolackschicht aufgebracht
und mittels einer zweiten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der zweiten Photolackschicht
werden auf dem Schichtträger 13- ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie
Schicht 21-, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 22-, eine hochbrechende absorptionsfreie
Schicht 23-, eine anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 24- gemäß dem zweiten
Farbton, eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 25-, eine niedrigbrechende absorptionsfreie
Schicht 26- und eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 27- aufgebracht. Die ver-
- sr -
bliebene zweite Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 21 .,-271 wird sodann
entfernt, so daß neben dem Schichtpaket 11.. das Schichtpaket 12.. auf dem Schichtträger 1S1
verbleibt.
In einer anderen Ausbildung dieses Aufzeichnungsträgers werden nach Figur 2b auf einem Schichtträger
132 ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie
Schicht 142, eine niedrigbrechende
absorptionsfreie Schicht 152 und eine hochbrechende
absorptionsfreie Schicht 162 sowie zur Erzeugung
des ersten Farbtons darüber eine erste Photolackschicht aufgebracht. Nach dem Belichten der
ersten Photolackschicht mittels der ersten.Belichtungsmaske und dem Entwickeln der ersten
Photolackschicht werden auf dem Schichtträger ganzflächig eine anorganische absorptionsfreie
Interferenzschicht 172 gemäß dem ersten Farbton, ' eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 18»,
eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht und eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht
2O2 aufgebracht. Die verbliebene erste Photolackschicht
mitsamt den darüber befindlichen Schich-
ten 172-202 wird sodann entfernt, so daß das
Schichtpaket 112 auf dem Schichtträger 132 verbleibt.
Zur Erzeugung des zweiten Farbtons wird auf dem Schichtträger 132 ganzflächig eine
zweite Photolackschicht aufgebracht und mittels der zweiten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem
Entwickeln der zweiten Photolackschicht werden
auf dem Schichtträger 132 ganzflächig eine
Interferenzschicht 242 gemäß dem zweiten Farbton,
3ΊΑ7985
eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 252, j
eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht j
262 und eine hochbrechende absorptionsfreie ■ j
Schicht 272 aufgebracht. Die verbliebene zweite
Photolackschicht mitsamt den darüber befind- i
liehen Schichten 242~272 wird sodann entfernt, j
so daß neben dem Schichtpaket 112 das Schicht- ;
paket 122 auf dem Schichtträger 132 verbleibt. ',
Bei dem Schichtpaket 11. bilden die Schichten \
14..-2O1, bei dem Schichtpaket 11« die Schichten . j
17,-2O9, bei dem Schichtpaket 12. die Schichten
21 ..-27.. und bei dem Schichtpaket 122 die Schichten | 242-272 jeweils den strukturbildenden Teil. J
21 ..-27.. und bei dem Schichtpaket 122 die Schichten | 242-272 jeweils den strukturbildenden Teil. J
I"
In Figur 3a,b sind Aufzeichnungsträger mit Halb- i
filtern in Form von Schichtpaketen 31., 312 für j
einen ersten Farbton und von Schichtpaketen 32., j
322 für einen zweiten Farbton dargestellt. Das ' !
Schichtpaket 31. auf einem Schichtträger 33 .j be- :
steht aus einer hochbrechenden absorptionsfreien
' Schicht 34., einer niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 35., einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 36., einer anorganischen ab-
' Schicht 34., einer niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 35., einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 36., einer anorganischen ab-
sorptionsfreien Interferenzschicht 37. gemäß dem
ersten Farbton und einer Metallschicht 38.; die
Schichten 34.-38. bilden den strukturbildenden
Teil des Schichtpakets 31.. Das Schichtpaket 32..
auf dem Schichtträger 33. besteht aus einer hoch-
ersten Farbton und einer Metallschicht 38.; die
Schichten 34.-38. bilden den strukturbildenden
Teil des Schichtpakets 31.. Das Schichtpaket 32..
auf dem Schichtträger 33. besteht aus einer hoch-
brechenden absorptionsfreien Schicht 39., einer
niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 40.,
einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht
4I1, einer anorganischen absorptionsfreien Inter-
niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 40.,
einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht
4I1, einer anorganischen absorptionsfreien Inter-
ferenzschicht 42/ gemäß dem zweiten Farbton und · einer Metallschicht 43..; die Schichten 39.^-43.J
bilden den strukturbildenden Teil des Schicht- ■ pakets 32... Das Schichtpaket 312 auf einem
Schichtträger 33~ besteht aus einer ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien Schicht
342, einer ganzflächigen niedrigbrechenden absorptionsfreien
Schicht 35-, einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 362/ einer anorganischen
absorptionsfreien Interferenzschicht 37~ gemäß dem ersten Farbton und einer Metallschicht
382; die Schichten 362~382 bilden den strukturbildenden
Teil des Schichtpakets 312, während
die ganzflächigen Schichten 342, 352 nicht zur
Strukturbildung beitragen. Das Schichtpaket 322
auf dem Schichtträger 33~ besteht aus der ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien
Schicht 34«, der ganzflächigen niedrigbrechenden
absorptionsfreien Schicht 352, einer hochbrechenden
absorptionsfreien Schicht 412, einer anorganischen
absorptionsfreien Interferenzschicht 422
gemäß den; zweiten Farbton und einer Metallschicht 432; die-Schichten 412~432 bilden den strukturbildenden
Teil des Schichtpakets 322, während
die ganzflächigen Schichten 342, 352 nicht zur
Strukturbildung beitragen. Die Aufzeichnungsträger gemäß Figur 3a,b werden auf photolithographischem
Weg in der vorgehend beschriebenen Weise erzeugt. Die Metal!schichten 38, 43 sind
teildurchlässige Schichten.
In Figur 4a-d sind Aufzeichnungsträger mit induzierten Transmissionsfiltern in Form von Schicht-
paketen 51.-51. für einen ersten Farbton und von Schichtpaketen 52.-52. für einen zweiten Farbton
dargestellt. Das Schichtpaket 5I1 auf einem
Schichtträger 5S1 besteht aus einer hochbrechenden
absorptionsfreien Schicht 54., einer niedrigbrechenden
absorptionsfreien Schicht 55., einer ■ hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 56.,
einer ersten anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht 57. gemäß dem ersten Farbton,
einer Metallschicht 58., einer zweiten anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht
gemäß dem ersten Farbton, einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 50., einer niedrigbrechenden
absorptions freien Schicht 61.und einer hochbrechenden
absorptionsfreien Schicht 62.; die Schichten 54.-62. bilden den strukturbildenden
Teil des Schichtpakets 51.. Das Schichtpaket 52. auf dem Schichtträger 53. besteht aus einer hochbrechenden
absorptionsfreien Schicht 63., einer ' niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 64.,
einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 65., einer ersten anorganischen absorptionsfreien
Interferenzschicht 66. gemäß dem zweiten Farbton, einer Metallschicht 67., einer zweiten anorganisehen
absorptionsfreien Interferenzschicht 68. gemäß dem zweiten Farbton, einer hochbrechenden
absorptionsfreien Schicht 69., einer niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 70. und
einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 7I1; die Schichten 63^7I1 bilden den struktur<bildenden
Teil des Schichtpakets 52..
Das Schichtpaket 51, auf einem Schichtträger 532
2H
- Vi -
besteht aus einer ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 542, einer ganzflächigen
niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 552, einer ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien
Schicht 562, einer ersten anorganischen
absorptionsfreien Interferenzschicht 572 gemäß dem ersten Farbton, einer Metallschicht 582,
einer zweiten anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht 59j gemäß dem ersten Farbton,
einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 6O2, einer niedrigbrechenden absorptionsfreien
Schicht 612 und einer hochbrechenden absorptionsfreien
Schicht 622; die Schichten 572--6.22- bilden
den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 512,
. während die ganzflächigen Schichten 542-562 nicht
zur Strukturbildung beitragen. Das Schichtpaket 522 auf dem Schichtträger 532 besteht aus der
ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 542, der ganzflächigen niedrigbrechendenabsorptionsfreien
Schicht 552, der ganzflächigen
hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 562,
einer ersten anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht 662 gemäß dem zweiten Farbton,
einer Metallschicht 672, einer zweiten anorganisehen
absorptionsfreien Interferenzschieht 682 gemäß dem zweiten Farbton, einer hochbrechenden
absorptionsfreien Schicht 692, einer niedrigbrechenden
absorptionsfreien Schicht 7O2 und einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 712; die
Schichten 66O-71O bilden den strukturbildenden
Teil des Schichtpakets 522, während die ganzflächigen Schichten 542-562 nicht zur Strukturbildung
beitragen. Die Aufzeichnungsträger gemäß
314798$
Figur 4a,b werden auf photolithographischem Weg in der vorgehend beschriebenen Weise erzeugt.
In einer anderen Ausbildung dieses Aufzeichnungsträgers
wird nach Figur 4c zur Erzeugung des ersten Farbtons auf einem Schichtträger 53, in
nicht gezeigter Weise ganzflächig eine erste Photolackschicht aufgebracht und mittels der
ersten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der ersten Photolackschicht werden auf
dem Schichtträger 533 ganzflächig eine hochbrechende
absorptionsfreie Schicht 54,, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 55-,
eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 56,,
eine erste anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 573 gemäß dem ersten Farbton, eine
Metallschicht 58, und eine zweite anorganische äbsorptionsfreie Interferenzschicht 59, gemäß dem
ersten Farbton aufgebracht. Die verbliebene erste Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen
Schichten 54,-59, wird sodann entfernt. Zur Erzeugung des zweiten Farbtons wird auf dem Schichtträger
53, ganzflächig eine zweite Photolackschicht aufgebracht und mittels der zweiten Belichtungsmaske
belichtet. Nach dem Entwickeln der zweiten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 53- ganzflächig eine hochbrechende
absorptionsfreie Schicht 63,, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 64,, eine hochbrechende
absorptionsfreie Schicht 65,, eine erste anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht
66, gemäß dem zweiten Farbton, eine Metallschicht
67, und eine zweite anorganische absorptionsfreie
Interferenzschicht 68,· gemäß dem zweiten Farbton aufgebracht. Die verbliebene zweite Photolackschicht
mitsamt den darüber befindlichen Schichten 63.,-68, wird sodann entfernt. Auf dem Schichtträger
533 befinden sich somit die strukturbildenden
Schichten 543~593 des Schichtpakets 51.
für den ersten Farbton und die strukturbildenden Schichten 63_-68_ des Schichtpakets 523 für den
zweiten Farbton. Anschließend werden auf dem Schichtträger 53_ ganzflächig eine hochbrechende
absorptionsfreie Schicht 60_, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 61, und eine hochbrechende
absorptionsfreie Schicht 623 aufgebracht.
Die ganzflächigen Schichten 603-62
tragen nicht zur Strukturbildung bei.
In einer weiteren Ausbildung dieses Aufzeichnungsträgers
wird nach Figur 4d zur Erzeugung des
ersten Farbtons auf einem Schichtträger 53- in
nicht gezeigter Weise ganzflächig eine erste Photolackschicht aufgebracht und mittels der
ersten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der ersten Photolackschicht werden auf
dem Schichtträger 53. ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 54., eine
niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 55.,
eine hochbrechende absorptiorisfreie Schicht 56. und eine erste anorganische absorptionsfreie
Interferenzschicht 57. gemäß dem ersten Farbton aufgebracht. Die verbliebene erste Photolackschicht
mitsamt den darüber befindlichen Schichten 54.-57. wird sodann entfernt. Zur Erzeugung
des zweiten Farbtons wird auf dem Schichtträger
*» Λ J
ganzflächig eine zweite Photolackschicht aufgebracht und mittels der zweiten Belichtungsmaske
.belichtet. Nach dem Entwickeln der zweiten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 53.
ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 63., eine niedrigbrechende absorptionsfreie
Schicht 64., eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 65. und eine erste anorganische \
absorptionsfreie Interferenzschicht 66. gemäß dem j
zweiten Farbton aufgebracht. Die verbliebene j
zweite Photolackschicht mitsamt den darüber be- t
findlichen Schichten 63.-66. wird sodann ent- |
fernt. Auf dem Schichtträger 534 befinden sich
somit der erste Teil der strukturbildenden
Schichten 54^-57. des Schichtpakets 514 für den j
ersten Farbton und der erste Teil der struktur- ' [ bildenden Schichten 63.-66. des Schichtpakets 52. [
für den zweiten Farbton. Anschließend werden auf dem Schichtträger 53. ganzflächig eine Metallschicht
584, die nicht zur Strukturbildung beiträgt, und darüber zur Erzeugung des ersten Farbtons
eine dritte Photolackschicht aufgebracht, die mittels der ersten Belichtungsmaske belichtet
wird. Nach dem Entwickeln der dritten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 53. ganzflächig eine zweite anorganische absorptionsfreie
Interferenzschicht 59. gemäß dem ersten Farbton, eine hochbrechende absorptionsfreie
Schicht 60., eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 61. und eine hochbrechende absorptionsfreie
Schicht 62. aufgebracht. Die verbliebene dritte Photolackschicht mitsamt den darüber
befindlichen Schichten 59^-62. wird sodann ent-
-yr-
fernt. Zur Erzeugung.des zweiten Farbtons wird
auf dem Schichtträger 53. anschließend ganzflächig eine vierte Photolackschicht aufgebracht
und mittels der zweiten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der vierten Photolackschicht
werden auf dem Schichtträger 53. ganzflächig eine zweite anorganische absorptionsfreie
Interferenzschicht 68. gemäß dem zweiten Farbton, eine hochbrechende absorptionsfreie
Schicht 694, eine niedrigbrechende absorptionsfreie
Schicht 70. und eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 71. aufgebracht. Die verbliebene
vierte Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 68.-71. wird
sodann entfernt. Auf dem Schichtträger 53. befinden sich somit der zweite Teil der strukturbildenden
Schichten 594~624 des Schichtpakets
für den ersten Farbton und der zweite Teil der strukturbildenden Schichten 68.-71. des Schicht-
pakets 524 für den zweiten Farbton. Die Metallschichten
58, 67 sind teildurchlässige Schichten.
In Figur 5a,b sind Aufzeichnungsträger mit Kantenfiltern
in Form von Schichtpaketen 81..", 81 _
für einen ersten Farbton und von Schichtpaketen 82,, 82j für einen zweiten Farbton dargestellt.
Das Schichtpaket 8I1 auf einem Schichtträger 83..
nach Figur 5a besteht aus zwei übereinanderliegenden Kantenfiltern 84^88^ 89^-93^, die
aus hochbrechenden absorptionsfreien Schichten 84.j, 86.j, 88^· 89.J, 9I1, 93.j bestehen, zwischen
denen sich niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 85^ 87^ 9O1, 921 befinden. Das
3U7985
- ie -
Schichtpaket 82. auf dem Schichtträger 83. besteht aus zwei übereinanderliegenden Kantenfiltern
94.-98^; 99^103., die aus hochbrechenden absorptionsfreien Schichten 94.., 96., 98.; 99.,
101., 103. bestehen, zwischen denen sich niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 95., 97.;
100., 102. befinden. Die Schichten 84.-93. der beiden Kantenfilter 84.-88.; 89^93. bilden den
strukturbildenden Teil des Schichtpakets 81. und die Schichten 94.-103. der beiden Kantenfilter
94.-98.; 99.-103. den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 82..
Das Schichtpaket 812 auf einem Schichtträger
nach Figur 5b besteht aus zwei übereinanderliegenden Kantenfiltern 842~882; 892~932, von denen das
Kantenfilter 842~882 aus ganzflächigen hochbrechenden
absorptionsfreien Schichten 842, 862,
882, zwischen denen sich ganzflächige niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 852, 872 befinden,
und das Kantenfilter 892-932 aus hochbrechenden
absorptionsfreien Schichten 892, 912,
932 bestehen, zwischen denen sich niedrigbrechende
absorptionsfreie Schichten 9O2, 922 befinden;
das Kantenfilter 902-932 bildet den
strukturbildenden Teil des Schichtpakets 812· Das
Schichtpaket 822 auf dem Schichtträger 832 besteht
aus dem ganzflächigen Kantenfilter 842~882,
über dem sich ein Kantenfilter 992-1032 befindet,
das aus hochbrechenden absorptionsfreien Schichten 992, 101-, 1032 besteht, zwischen denen sich
niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 1022 befinden. Das Kantenfilter 992~1032 bildet
Vi -
den strukturbildenden Teil desi Schichtpakets 822?
das ganzflächige Kantenfilter 842-8&2 trägt nicht
zur Strukturbildung der Schichtpakete 812, 822
bei.
Bei den Filtern 1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52 werden
die ersten und zweiten Farbtöne durch die optischen Dicken der Interferenzschichten 5, 8;
17, 24; 37, 42; 57, 59, 66, 68 und die Sättigung dieser Farbtöne durch das Reflexionsvermögen der
Metallschichten 4, 6, 7, 9; 38, 43; 58, 67 bzw. der hochbrechenden Schichten 14, 16, 18, 20, 21,
23, 25, 27; 34, 36, 39, 41; 54, 56, 60, 62, 63,
65, 69, 71 und der niedrigbrechenden Schichten 15, 19, 22, 26; 35, 40; 55, 61, 64, 70 bestimmt.
Bei einem Kantenfilter (Reflektor) fällt der spektrale Bereich hoher Transmission über eine
steile Flanke zu einem spektralen Bereich niedrig ger Transmission ab. Die optischen Schichtdicken
der hochbrechenden und niedrigbrechenden Schichten eines Kantenfilters betragen λ/4, wobei Λ
die größte Wellenlänge der geringsten Transmission des Kantenfilters bedeutet. Die Kanten-
filter 84^-88.; 94..-9S.. nach Figur 5a mögen im
spektralen Bereich der zu erzeugenden beiden Farbtöne eine mit zunehmender Wellenlänge ansteigende
Flanke der Transmission und die Kantenfilter 89..-93..; 99--103.. in diesem Bereich
eine abfallende Flanke der Transmission aufweisen; durch überlagerung der Kantenfilter 84,--8S1;
94.J-98.J mit den Kantenfiltern 89^93^· 99^
103.J wird ein Transmissionsmaximum für die beiden gewünschten Farbtöne erzielt.
Bei einem bestimmten Verhältnis von Schichtdicke der überlagerten Kantenfilter zum Durchmesser
der Feinstruktur können jedoch Schwierigkeiten bei der Entfernung der verbliebenen Photolackschicht
mitsamt den darauf befindlichen Kantenfiltern auftreten. Es wird daher vorgeschlagen,
gemäß Figur 5b den unteren Kantenfilter 842~
882 ganzflächig auszubilden und die überlagerten
Kantenfilter 892-932; 992~1032 allein zu strukturieren.
Der ganzflächige Kantenfilter 842~882
muß in bestimmten Wellenlängenbereichen eine möglichst hohe und konstante Transmission besitzen,
was durch eine Variation der optischen Schichtdicken der hochbrechenden und niedrigbrechenden
Schichten 842~882 erreicht wird. Vorzugsweise
unterscheiden sich dabei die optischen Schichtdicken etwa im Bereich von ^ 10 % vom
Betrag Λ/4»
Derartige Schichtpakete können auch aus einer Kombination von Filtern 1, 2; 11, 12; 31, 32; 51,
52; 81, 82 bestehen. In Figur 6a,b sind Aufzeichnungsträger mit Kantenfiltern und überlagerten
metail-dielektrischen Interferenzfiltern in Form von Schichtpaketen 111-, 11I0 für einen
ersten Farbton und von Schichtpaketen 112-, 112O
für einen zweiten Farbton dargestellt. Das Schichtpaket 111- auf einem Schichtträger 113- nach
Figur 6a besteht aus einem Kantenfilter 114--118-mit hochbrechenden absorptionsfreien Schichten
114-, 116-, 118-, zwischen denen sich niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 115-, 117-befinden,
und aus einem metail-dielektrischen ·,.
Interferenzfilter 119..-121.. mit einer Interferenzschicht
120-, die auf beiden Seiten durch anorganische
spiegelnde Schichten 119.., 12I1 begrenzt
ist. Das Schichtpaket 112.. auf dem Schichtträger
113.J besteht aus einem Kantenfilter 1221-1281
mit hochbrechenden absorptionsfreien Schichten
122., 124., 126.., 128.., zwischen denen sich
niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 123., 125., 127. befinden, und aus einem metall-dielektrischen
Interferenzfilter 129.-131. mit einer Interferenzschicht 130., die auf beiden Seiten
durch anorganische spiegelnde Schichten 129., 131. begrenzt ist. Die Schichten 114^-1211 bilden
den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 11I1 und die Schichten 1221-1311 den strukturbildenden
Teil des Schichtpakets 112...
Das Schichtpaket 1112 auf einem Schichtträger
1132 nach Figur 6b besteht aus einem Kantenfilter 1142~1182 mit ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien
Schichten 114-/ ^^o' ^^2r zwi~
sehen-denen sich ganzflächige niedrigbrechende
absorptionsfreie Schichten 115~, 117~ befinden,
und aus einem metall-dielektrischen Interferenzfilter 1192~1212 mit einer Interferenzschicht
12O2, die auf beiden Seiten durch anorganische spiegelnde Schichten 1192~1212 begrenzt ist;
das metall-dielektrische Interferenzfilter 1192~
1212 bildet den strukturbildenden Teil des Schichtpakets
11I2- Das Schichtpaket 1122 auf dem Schichtträger
1132 besteht aus den ganzflächigen Schichten
1142~1182, aus einer niedrigbrechenden absorptionsfreien
Schicht 1272, aus einer hoch-
brechenden absorptionsfreien Schicht 128, und aus
einem metall-dielektrischen Interferenzfilter 129,-131, mit einer Interferenzschicht 130,, die
auf beiden Seiten durch anorganische spiegelnde Schichten 129,, 131— begrenzt ist? die Schichten
127,, 1282 und das metall-dielektrische Interferenzfilter
1292-131, bilden den strukturbildenden
Teil des Schichtpakets 112,-
Die anorganischen spiegelnden Schichten 4, 6, 7„
9? 38, 43? 58, 67? 119, 121, 129, 131 bestehen aus Ag, Cr, Au, Al etc. oder aus einer Kombination
dieser Materialien, die Interferenzschichten 5, 8? 17, 24? 37, 42? 57, 59, 66, 68? 120,
130 aus MgF,, SiO,, Al3O3, Fe3O3 etc. oder aus
Mischungen dieser Materialien, die hochbrechenden Schichten 14, 16, 18, 20, 21, 23, 2.5, 27? 34 1
36, 39, 41? 54, 56, 60, 62, 63, 65, 69, 71? 84, 86, 88, 89, 91, 93, 94, 96, 98, 99, 101,.103?
114, 116, 118, 122, 124, 126, 128 aus TiO3, ^rO3,
HfO3, Nd3O3 etc. oder aus Mischungen dieser
Materialien und die niedrigbrechenden Schichten 15, 19, 22, 26? 35, 40? 55, 61, 64, 70? 85, 87,
90, 92, 95, 97,100, 102? 115, 117, 123, 125, aus MgF,, SiO,, Al3O3, Fe3O3 etc. oder aus Mischungen
dieser Materialien. Der Schichtträger 13? 33? 53? 83? 113 kann aus durchsichtigem
Material oder aus undurchsichtigem Material mit spiegelnder Oberfläche bestehen,
Die Schichtpakete 1, 2? 11, 12? 31, 32? 51, 52? 81, 82? 111, 112 und/oder strukturbildende
Teile dieser Schichtpakete 1, 2? 11, 12? 31, 32?
51, 52? 81, 82? 111, 112 werden bevorzugt auf
3H7985
photolithographischem Wege nacheinander - und zwar in der Reihenfolge der Farbtöne der Feinstruktur
- örtlich voneinander getrennt auf dem Schichtträger 3; 13; 3.3; 53; 83; 113 aufgebracht.
Neben dem vorgehend beschriebenen photolithographischen. Verfahren können die Schichtpakete
und/oder die strukturbildenden Teile dieser Schichtpakete auf photolithographischem
Wege mittels naßchemischer Ätzverfahren oder physikalischer Ätzverfahren wie Ionenstrahlätzen,
Sputterätzen, Plasmaätzen oder reaktives Ionenätzen auf dem Schichtträger erzeugt werden.
Des weiteren können die Schichtpakete und/oder die strukturbildenden Teile dieser Schichtpakete
mittels jeweils einer Bedampfungsmaske oder mittels eines gesteuerten Teilchenstrahls
(Elektronenstrahl, Ionenstrahl etc.) hergestellt werden.
Auf einem Schichtträger können auf einem Teil Schichtpakete mit teilweise ganzflächigen
Schichten und auf einem anderen Teil Schichtpakete ohne ganzflächige Schichten - auch mit
unterschiedlichen Herstellungsverfahren - erzeugt werden. Zwischen aneinandergrenzenden
unterschiedlichen Schichtpaketen, die nacheinander erzeugt worden sind, ist ein Grenzbereich
definiert, der eine örtliche Trennung dieser
Schichtpakete darstellt.
Das Aufbringen der Schichten der Schichtpakete 1,
2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112 kann beispielsweise durch Aufdampfen, Sputtern, Ionen-
3U7985 35
plattieren und Ausscheiden aus der Dampfphase erfolgen.
Die erfxndungsgemäßen Aufzeichnungsträger weisen insbesondere den Vorteil einer verbesserten
Farbtonreinheit und Farbtonsättigung sowie einer Verminderung des Ausschusses auf.
Der vorgeschlagene Aufzeichnungsträger findet
bevorzugt Verwendung· zur Aufzeichnung mehrfarbiger Mikrolandkarten.
Leerseite
Claims (28)
- * m η 9 w ■ ^ Ί * * O * β β * «4 ■3U7985 *AnsprücheAufzeichnungsträger mit einer mehrfarbigen Feinstruktur (Muster), insbesondere in Form einer Mikrolandkarte, mit wenigstens zwei optisch wirksamen, strukturbildenden Schichtpaketen für wenigstens zwei unterschiedliche Farbtöne auf einem Schichtträger, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtpakete (1,2; ■11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) und/oder strukturbildende Teile dieser Schichtpakete (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) nacheinander - und zwar in der Reihenfolge der Farbtöne der Feinstruktur - örtlich voneinander getrennt auf ' dem Schichtträger (3; 13; 33; 53; 83; 113) aufgebracht sind.
- 2.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (81, 82) durch wenigstens ein Kantenfilter (Reflektor) gebildet ist.
- 3".) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (11, 12) durch wenigstens ein rein-dielektrisches Interferenzfilter gebildet ist.314798S
- 4.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (31, 32) durch wenigstens ein HalbfiLter gebildet ist.
- 5.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (51, 52) durch wenigstens ein induziertes Transmissionsfilter gebildet ist.
- 6.) Aufzeichnungsträger· nach Anspruch ί, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (1, 2) durch wenigstens ein metall-dielektrisches Interferenzfilter gebildet ist.
- 7.) Aufzeichnungsträger nach den Ansprüchen 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (111, 112) aus einer Kombination von Einzelpaketen in Form von übereinander ange-ordneten, unterschiedlichen Filtern besteht.' 20
- 8.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) aus wenigstens einer im Gesamtbereich des . Schichtträgers (3; 13; 33; 53; 83; 113) ganzflächig aufgebrachten Schicht und aus wenigstens einer gemäß der Aufzeichnung strukturierten Schicht besteht.
- 9.) Aufzeichnungsträger nach" Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der sich ganzflächig über den Schichtträger (3; 13; 33; 53; 83; 113) erstreckende nicht strukturbildende3H7985Teil der Schichtpakete (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) aus wenigstens einem Filter und/oder aus einem Teil eines Filters besteht.
5 - 10.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das metall-dielektrische Interferenzfilter (1, 2) aus einer anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht (5, 8) besteht, die auf jeder Seite durch wenigstens eine anorganische spiegelnde Schicht (4, 6, 7, 9) begrenzt ist.
- 11») Aufzeichnungsträger nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das rein-dielektrische Interferenzfilter (11, 12) aus einer anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht (17, 24) besteht, die auf jeder Seite durch wenigstens eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht (14, 16, 18, 20, 21, 23, 25, 27) begrenzt ist, wobei sich zwischen je zwei hochbrechenden Schichten (14, 16, 18, 20, 21, 23, 25, 27) eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht (15, 19, 22, 26) befindet.
- 12.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Halbfilter (31, 32) aus einer" anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht (37, 42) besteht, die auf einer Seite von wenigstens einer anorganischen spiegelnden Schicht (38, 43) und auf der anderen Seite durch wenigstens eineβ 4 4hochbrechende absorptionsfreie Schicht (34, 36, 39, 41) begrenzt ist, wobei sich zwischen je zwei hochbrechenden Schichten (34, 36, 39, 41) eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht (35, 40) befindet.
- 13.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das induzierte Transmissionsfilter (51, 52) aus zwei anorganisehen absorptionsfreien Interferenzschichten (57, 59, 66, 68) besteht, zwischen denen sich wenigstens eine anorganische spiegelnde Schicht (58, 67) befindet und die jeweils auf der anderen Seite durch wenigstens eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht (54, 56, 60, 62, 63, 65, 69, 71) begrenzt ist, wobei sich zwischen je zwei hochbrechenden Schichten (54, 56, 60, 62, 63, 65, 69, 71) eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht (55, 61, 64, 70) befindet.
- 14.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Kantenfilter (81, 82) aus wenigstens einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht (84, 86, 88, 89, 91, 93, 94, 96, 98, 99, 101, 103) besteht, wobei sich zwischen je zwei hochbrechenden Schichten (84, 86, 88, 89, 91, 93, 94, 96, 98, 99, 101, 103) eine riiedrigbrechende absorptionsfreie Schicht (85, 87, 90, 92, 95, 97, 100, 102) befindet.3U798i
- 15.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Schichtdicken der einzelnen Schichten der Kantenfilter (81, 82) sich vom Betrag fl/4 (71 = größte Wellenlänge der geringsten Transmission eines Kantenfilters) unterscheiden.
- 16.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Schichtdicken der einzelnen Schichten der Kantenfilter (81, 82) sich etwa im Bereich _+ 10 % vom Betrag Tl/4 unterscheiden.
- 17.) Aufzeichnungsträger nach den Ansprüchen 10, 12 und 13, dadurch gekennzeichnet, daß die anorganischen spiegelnden Schichten (4, 6, 7, 9; 38, 43; 58, 67; 119, 121, 129, 131) aus Ag, Cr, Au, Al etc. oder aus einer Kombination dieser Materialien bestehen. '. 20
- 18.) Aufzeichnungsträger nach den Ansprüchen 10-13, dadurch gekennzeichnet, daß die Interferenzschichten (5, 8; 17, 24; 37, 42; 57, 59, 66, 68; 120, 130) aus MgF2, SiO3, Al3O3, Fe2°3 etc* °&er aus Mischungen dieser Materialien bestehen.
- 19.) Aufzeichnungsträger nach den Ansprüchen 11-14, dadurch gekennzeichnet, daß die hochbrechenden Schichten (14, 16, 18, 20, 21, 23, 25, 27; 34, 36, 39, 41; 54, 56, 60, 62, 63, 65, 69, 71; 84, 86, 88, 89, 91, 93, 94, 96, 98, 99, 101, 103; 114, 116, 118, 122,124, 126, 128) aus TiO2, ZrO3, HfO3, Nd3O3 etc. oder aus Mischungen dieser Materialien und die niedrigbrechenden Schichten (15, 19, 22, 26; 35, 40; 55, 61, 64, 70; 85, 87, 90, 92, 95, 97, 100, 102; 115, 117, 123, 125,• 127) aus MgF3, SiO3, Al3O3, Fe3O3 etc. oder aus Mischungen dieser Materialien bestehen.
- 20.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schichtträger (3; 13; 33; 53; 83; 113) aus einem durchsichtigen Material oder aus einem undurchsichtigen Material mit spiegelnder Oberfläche besteht.
- 21.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtpakete (1, 2; 11, ,' 12;· 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) und/ oder·strukturbildenden Teile dieser Schichtpakete (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) auf photolithographischem Weg nacheinander auf den Schichtträger (3; 13; 33; 53; 83; 113) erzeugt werden.
- 22.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtpakete (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 83; 111, 112) und/ oder strukturbildenden Teile dieser Schichtpakete (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) mittels jeweils einer Be-dampfungsmaske nacheinander auf dem Schichtträger (3? 13? 33? 53? 83? 113) erzeugt
werden & - 23.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtpakete (1, 2? 11,
12? 31, 32; 51, 52; 81, 82? 111, 112) und/
oder strukturbildenden Teile dieserSchichtpakete (T, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52;
81, 82? 111, 112) mittels eines gesteuerten
Teilchenstrahls nacheinander auf dem Schichtträger (3? 13? 33? 53? 83; 113) erzeugt
werden. - 24.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 21 durch sukzessive
Erzeugung der einzelnen Schichtpakete auf
dem Schichtträger, gekennzeichnet durch
. folgende Verfahrensschritte zur Erzeugung
jedes einzelnen Schichtpakets:
a.) auf dem Schichtträger (3.,; 13-; 33.,;
53.,; 83.,; 113.,) wird ganzflächig eine
Photolackschicht aufgebracht und mittels [ einer Belichtungsmaske für das jeweilige ί"Schichtpaket (11, 2.,; 11 <|, 12., , 31.,, |32.,; 5I1, 52.,; 8I1, 82.,; 11I1, 112.,) be- jlichtet; jb.) nach dem Entwickeln der Photolackschicht I . werden nacheinander die Schichten des ISchichtpakets (1.,, 2.,; 111, 12.,; 31.,, [32.,; 5I1, 52.,? 81.,, 82.,? 11I1 , 112.,) jganzflächig auf dem Schichtträger (3.,? \13-? 33-; 53-; 83-? 13Ί-) aufgebracht? I(III! ίc.) die verbliebene Photolackschicht wird sodann mitsamt den darauf befindlichen Schichten des Schichtpakets (I1, 2' ? H1, 121? 3I1, 32.,; 5I1, 52.,; 81.,, 82.,; - 11I1, 1121) entfernt. - 25.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 21 durch sukzessive Erzeugung der einzelnen Schichtpakete auf dem Schichtträger, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte zur Erzeugung jedes einzelnen .Schichtpakets: a.) auf dem Schichtträger O2, 3.,; 13T' 332; 532?.832; 113^) werden ganzflächig die nicht strukturbildenden Schichtenaller Schichtpakete O2, I3?-2?' 23?122; 312, 322;1112, 112_) nacheinander aufgebracht; b.) anschließend wird auf dem Schichtträger· (32, 33; 132; 332; 532; 832; 1132> ganzflächig eine Photolackschicht aufgebracht und mittels einer Belichtungsmaske für das jeweilige Schichtpaket H2/ I3? 2o' 23; 112, 122; 3I2, 322; 512, 522; 8I3, 822; 11I2, 1122) belichtet;c.) nach dem Entwickeln der Photolackschicht werden nacheinander die strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (I3, I3; 22, 23; 1I2, 122; 312, 322; 512, 522; 812, 822; 1112, 1122) ganzflächig aufdem Schichtträger O3,"3-; IS3; 332? 532; 832; 1132) aufgebracht;3U7985ά.) die verbliebene Photolackschicht wird sodann mitsamt den darauf befindlichen strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (I2, 13; 22, 23; 112, 122; 312, 322; 512,entfernt.322; 512, 522;
- 26.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 21 durch sukzessive Erzeugung der einzelnen Schichtpakete auf dem Schichtträger, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte zur Erzeugung jedes einzelnen Schichtpakets: a.) auf dem Schichtträger (53~) wird ganzflächig eine Photolackschicht aufge-,bracht und mittels einer Belichtungsmaske für das jeweilige Schichtpaket (5I3, 523) belichtet?b.) nach dem Entwickeln der Photolackschicht werden nacheinander die strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (513, 523) ganzflächig auf dem Schichtträger (53-J aufgebracht; c.) die verbliebene Photolackschicht wird sodann mitsamt den darauf befindlichenstrukturbildenden Schichten des Schichtpakets (513, 523) entfernt;. d.) auf dem Schichtträger (533) werden anschließend ganzflächig die nicht strukturbildenden Schichten der Schichtpakete (5I3, 523) nacheinander aufgebracht.
- 27.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungs-• · rträgers nach Anspruch 21 durch sukzessive Erzeugung der einzelnen Schichtpakete auf dem Schichtträger, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte zur Erzeugung jedes einzelnen Schichtpakets:a.) auf dem Schichtträger (534) Wird ganzflächig eine erste Photolackschicht aufgebracht und mittels einer Belichtungsmaske für das jeweilige Schichtpaket 514, 524) belichtet;b.) nach dem Entwickeln der Photolackschicht wird der erste Teil der strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (51 ., 52J ganzflächig auf dem Schichtträger (53Λ) aufgebracht;c.) die verbliebene Photolackschicht wird sodann mitsamt dem darauf befindlichen ersten Teil der strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (51 ., 524) entfernt;d.) auf dem Schichtträger (53J werden ganzflächig die nicht strukturbildenden Schichten der Schichtpakete. (51 .T 52.) nacheinander aufgebracht; e.) auf dem Schichtträger 534) wird anschließend ganzflächig eine zweite Photolackschicht aufgebracht und mittels der Belichtungsmaske für das jeweilige Schichtpaket (5I4, 524) belichtet; f.) nach dem Entwickeln der Photolackschicht wird der zweite Teil der strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (514, 524) ganzflächig auf dem Schichtträger (534) aufgebracht;3U7985- as -g.i die verbliebene Photolackschicht wird sodann mitsamt dem darauf befindlichen zweiten Teil der strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (514„ 52^) entfernt.
- 28.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtpakete (1/ 2; 11, 12? 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) und/ oder strukturbildenden Teile dieser Schichtpakete (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 81, 82; 111, 112) mittels naßchemischer oder physikalischer Abtragungsmethoden nacheinander auf dem Schichtträger (3; 13; 33? 53; 83? 113) erzeugt werden.
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