DE3147985A1

DE3147985A1 - Aufzeichnungstraeger mit einer mehrfarbigen feinstruktur, insbesondere in form einer mikrolandkarte, und verfahren zur herstellung des aufzeichnungstraegers

Info

Publication number: DE3147985A1
Application number: DE19813147985
Authority: DE
Inventors: Erich 8223 Trostberg Bayer; Anton 8221 Nußdorf Beckerbauer; Georg Dipl.-Phys. Dr. 8230 Schneizlreuth Flatscher; Martin Dipl.-Phys. 8222 Ruhpolding Ullrich
Original assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Current assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date: 1981-12-04
Filing date: 1981-12-04
Publication date: 1983-06-16
Also published as: IL67365A0; BR8207025A; JPS6139641B2; ATE14484T1; JPS58144804A; DE3147985C2; EP0081055A1; US4522862A; IL67365A; ZA828896B; EP0081055B1

Description

3H7985

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 23. November 1981

Aufzeichnungsträger mit einer mehrfarbigen Feinstruktur, insbesondere in Form einer Mikrolandkarte, und Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers

Die Erfindung betrifft einen Aufzeichnungsträger mit einer mehrfarbigen Feinstruktur gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

In der US-PS 3 727 233 ist eine Methode zur Aufzeichnung eines mehrfarbigen Bildes beschrieben, bei der auf einem Schichtträger¹ aus Glas, eine Metallschicht hoher Reflektivität und darauf eine organische Polymerschicht aufgebracht werden. Die Polymerschicht wird mittels ein abzubildendes Objekt durchdringender Elektronenstrahlen belichtet sowie anschließend entwickelt und besitzt danach durch Polymerisation eine Struktur entsprechend der Bestrahlungsintensität der Elektronenstrahlen.

Anschließend wird auf die strukturierte organische Polymerschicht eine weitere Metallschicht hoher

Reflektivität aufgebracht, so daß sich infolge Interferenz ein mehrfarbiges Bild bei natürlichem Licht ergibt. Als nachteilig erweist es sich, daß die über den gesamten Schichtträger mit gleicher Schichtdicke aufgebrachten Metallschichten keine unterschiedlichen Sättigungen der einzelnen Farbtöne des Bildes erlauben. Die strukturierte Interferenzschicht in Form der organischen Polymerschicht läßt wegen ihrer erheblichen Wärmeempfindlichkeit eine starke Rückvergrößerung des mehrfarbigen Bildes wegen der damit verbundenen hohen Beleuchtungsstärken nicht zu; durch die mangelnde Lichtechtheit und Schrumpfung der organischen Inteferenzschicht im Laufe der Zeit können zudem Farbveränderungen auftreten.

Aus der DE-OS 26 £8 623 ist ein Aufzeichnungsträger mit einer Aufzeichnung hoher Informationsdichte, insbesondere mit einem mehrfarbigen Mikrobild bekannt, bei dem auf einem Schichtträger wenigstens zwei Interferenzfilter für zwei unterschiedliche Farbtöne vorgesehen sind. Jedes Interferenzfilter besteht aus einer unstrukturierten anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht, die sich mit gleicher Schichtdicke über den gesamten Schichtträger erstreckt und auf jeder Seite durch wenigstens eine die Struktur der Aufzeichnung bildende anorganische spieigelnde Schicht begrenzt ist. In einer weiteren Ausbildung ist die unstrukturierte Interferenzschicht auf jeder Seite durch wenigstens eine strukturierte hochbrechende absorptionsfreie Schicht begrenzt, wobei sich zwischen je zwei hochbrechenden Schichten eine un-

strukturierte niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht befindet. Da sich zwischen den die Struktur bildenden spiegelnden Schichten die unstrukturierte Interferenzschicht bzw. zwischen den die Struktur bildenden hochbrechenden Schichten die unstrukturierte Interferenzschicht und die unstrukturierten niedrigbrechenden Schichten' befinden, die sich ebenfalls mit gleicher Schichtdicke über den gesamten Schichtträger erstrecken, sind für jeden Farbton eine Reihe von Strukturierungsschritten erforderlich, bei denen aber die Mehrfachjustierung der betreffenden Belichtungsmaske größte Justiergenauigkeit erfordert und außerdem zeitaufwendig ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Aufzeichnungsträger der oben genannten Gattung die Anzahl der Verfahrensschritte zu reduzieren, Justierungsprobleme zu vermeiden und die optische Güte der Feinstruktur zu verbessern.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß im wesentlichen durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.

/

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß bei der Herstellung eines solchen Aufzeichnungsträgers der Zeit- und Kostenfaktor sowie die Ausschußrate erheblich gesenkt und eine bessere Farbtonreinheit und Farbtonsättigung erzielt werden.

Vorteilhafte Ausgestaltungen sowie Verfahren zur

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Herstellung derartiger Aufzeichnungsträger entnimmt man den Unteransprüchen.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher erläutert.

Es zeigen

Figur 1a-c Aufzeichnungsträger mit metall-dieleketrischen Inter

ferenzfiltern ,

Figur 2a,b Aufzeichnungsträger mit reindielektrischen Interferenzfiltern, Figur 3a,b Aufzeichnungsträger mit Halb

filtern,

Figur 4a-d Aufzeichnungsträger mit induzierten Transmissions- , filtern, Figur 5a,b Aufzeichnungsträger mit

Kantenfiltern (Reflektoren)- und
Figur 6a,b Aufzeichnungsträger mit Kantenfiltern und metalldielektrischen Filtern.

In Figur 1a-c sind Aufzeichnungsträger mit metalldielektrischen Interferenzfiltern in Form von Schichtpaketen 1.., 1₂ / 1₃ für einen ersten Farbton und von Schichtpaketen 2-, 2», 2_ für einen zweiten Farbton dargestellt.

Zur Erzeugung des ersten Farbtons wird gemäß

4h

Figur 1a auf einem Schichtträger 2>. in nicht gezeigter Weise ganzflächig eine·, erste Phötolackschicht aufgebracht und mittels einer ersten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der ersten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger S₁ ganzflächig eine Metallschicht 4.., eine anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 5.. gemäß dem ersten Farbton und eine Metallschicht 6.. aufgebracht. Die verbliebene erste Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten A*-6* wird sodann entfernt, so daß das Schichtpaket 1₁ auf dem Schichtträger S₁ verbleibt. Zur Erzeugung des zweiten Farbtons wird auf dem Schichtträger 3.. ganzflächig eine zweite Photolackschicht aufgebracht und mittels einer zweiten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der zweiten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 3- ganzflächig eine Metallschicht Ί-, eine anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 8. gemäß dem zweiten Farbton und eine Metallschicht 9* aufgebracht. Die verbliebene zweite Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 7-<-9-i wird sodann entfernt, so daß neben dem Schichtpaket 1.. das Schichtpaket 2₁ auf dem Schichtträger 3- verbleibt.

In einer anderen Ausbildung dieses Aufzeichnungsträgers werden nach Figur 1b auf einem Schichtträger 3₂ ganzflächig eine Metallschicht 4₂ und darüber zur Erzeugung des ersten Farbtons eine erste Photolackschicht aufgebracht. Nach dem Be-

lichten der ersten Photolackschicht mittels der j ersten Belichtungsmaske und dem Entwickeln der

ersten Photolackschicht werden auf dem Schichtträ- j

ger 3~ ganzflächig eine anorganische absorptions- j

freie Interferenzschicht 5₂ gemäß dem ersten Färb- j

ton und eine Metallschicht 6₀ aufgebracht. Die ver- \

bliebene erste Photolackschicht mitsamt den darüber _t

befindlichen Schichten 5„, 6~ wird sodann entfernt, '

so daß das Schichtpaket 1₂ auf dem Schichtträger 3, ;

verbleibt. Zur Erzeugung des zweiten Farbtons wird j

auf dem Schichtträger 3~ ganzflächig eine zweite j

Photolackschicht aufgebracht und mittels der zweiten |

Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der ί

zweiten Photolackschicht werden auf dem Schicht- f

träger 3~ ganzflächig eine anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 8₂ gemäß dem zweiten Färb- ! ton und eine Metallschicht 9- aufgebracht. Die ver- f bliebene zweite Photolackschicht mitsamt den darüber
befindlichen Schichten 8₀, 9₀ wird sodann entfernt,

so daß neben dem Schichtpaket 1₂ das Schichtpaket 2~
auf dem Schichtträger 3₂ verbleibt.

In einer weiteren Ausbildung dieses Aufzeichnungs- [ trägers werden nach Figur 1c auf einem Schichtträ- . I.

ger 3^ ganzflächig eine Metallschicht 4- und darüber i

zur Erzeugung des ersten Farbtons eine anorganische j

absorptionsfreie Interferenzschicht 5., aufgebracht, |

die nachfolgend ganzflächig mit einer ersten Photo- J

lackschicht bedeckt wird. Nach dem Belichten der |

- ersten Photolackschicht mittels der ersten Beiich- [

tungsmaske und dem Entwickeln der ersten Photolack- j schicht wird auf dem Schichtträger 3₃ ganzflächig
eine Metallschicht 6, aufgebracht. Die verbliebene

erste Photolackschicht mitsamt der darüber befindlichen Metallschicht 6₃ wird sodann entfernt, so daß das Schichtpaket 1- auf dem Schichtträger 3, verbleibt. Zur Erzeugung des zweiten Farbtons wird auf dem Schichtträger 3₃ ganzflächig eine zweite Photolackschicht aufgebracht und mittels der zweiten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der zweiten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 3₃ ganzflächig eine anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 8~ und eine Metallschicht 9, aufgebracht. Die verbliebene zweite Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 8₃, 9. wird sodann entfernt, so daß neben dem Schichtpaket "U das Schichtpaket 2₃ auf dem Schichtträger 3-verbleibt.

Im Bereich des Schichtpakets 2₃ bilden die Interferenz schichten 5_O, 8-, zusammen die Interferenzschicht für den zweiten Farbton. Bei dem Schichtpaket 1« bilden die Schichten 4.., 5-, 6-, bei dem Schichtpaket 1₂ die Schichten 5~, 6^/ bei dem Schichtpaket I₃ die Schicht O₃, bei dem Schichtpaket 2₁ die Schichten 7.., 8.., 9.., bei dem Schichtpaket 2₂ die Schichten 8₂, 9₂ und bei dem Schichtpaket 2₃ die Schichten 8₃, 9₃ jeweils den Strukturbildenden Teil. Die Metallschichten 4, 6, 7> 9 sind teildurchlässige Schichten.

In Figur 2a,b sind Aufzeichnungsträger mit reindielektrischen Interferenzfiltern in Form von Schichtpaketen 11^, 112 für einen ersten Farbton und von Schichtpaketen 12-, 12, für einen zweiten Farbton dargestellt.

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Zur Erzeugung des ersten Farbtons wird gemäß Figur 2a auf einem Schichtträger 13.. in nicht gezeigter Weise ganzflächig eine erste Photolackschicht aufgebracht und mittels einer ersten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der ersten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 13- ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 14«, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht ¹IS*, eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 16.., eine anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 17.. gemäß dem ersten Farbton, eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 18-, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 19- und eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 20- aufgebracht. Die verbliebene erste Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 14--20- wird sodann entfernt, so daß das Schichtpaket 11- auf dem Schichtträger 13- verbleibt. Zur Erzeugung des zweiten Farbtons wird auf dem Schichtträger 13-ganzflächig eine zweite Photolackschicht aufgebracht und mittels einer zweiten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der zweiten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 13- ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 21-, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 22-, eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 23-, eine anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 24- gemäß dem zweiten Farbton, eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 25-, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 26- und eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 27- aufgebracht. Die ver-

- sr -

bliebene zweite Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 21 .,-27₁ wird sodann entfernt, so daß neben dem Schichtpaket 11.. das Schichtpaket 12.. auf dem Schichtträger 1S₁ verbleibt.

In einer anderen Ausbildung dieses Aufzeichnungsträgers werden nach Figur 2b auf einem Schichtträger 13₂ ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 14₂, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 15₂ und eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 16₂ sowie zur Erzeugung des ersten Farbtons darüber eine erste Photolackschicht aufgebracht. Nach dem Belichten der ersten Photolackschicht mittels der ersten.Belichtungsmaske und dem Entwickeln der ersten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger ganzflächig eine anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 17₂ gemäß dem ersten Farbton, ' eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 18», eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht und eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 2O₂ aufgebracht. Die verbliebene erste Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schich-

ten 17₂-20₂ wird sodann entfernt, so daß das Schichtpaket 11₂ auf dem Schichtträger 13₂ verbleibt. Zur Erzeugung des zweiten Farbtons wird auf dem Schichtträger 13₂ ganzflächig eine zweite Photolackschicht aufgebracht und mittels der zweiten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der zweiten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 13₂ ganzflächig eine Interferenzschicht 24₂ gemäß dem zweiten Farbton,

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eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 25₂, j

eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht j

262 und eine hochbrechende absorptionsfreie ■ j Schicht 27₂ aufgebracht. Die verbliebene zweite

Photolackschicht mitsamt den darüber befind- i

liehen Schichten 24₂~27₂ wird sodann entfernt, j

so daß neben dem Schichtpaket 11₂ das Schicht- ;

paket 12₂ auf dem Schichtträger 13₂ verbleibt. ',

Bei dem Schichtpaket 11. bilden die Schichten \

14..-2O₁, bei dem Schichtpaket 11« die Schichten . j 17,-2O₉, bei dem Schichtpaket 12. die Schichten
21 ..-27.. und bei dem Schichtpaket 12₂ die Schichten | 24₂-27₂ jeweils den strukturbildenden Teil. J

I"

In Figur 3a,b sind Aufzeichnungsträger mit Halb- i

filtern in Form von Schichtpaketen 31., 31₂ für j

einen ersten Farbton und von Schichtpaketen 32., j

32₂ für einen zweiten Farbton dargestellt. Das ' !

Schichtpaket 31. auf einem Schichtträger 33 .j be- :

steht aus einer hochbrechenden absorptionsfreien
' Schicht 34., einer niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 35., einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 36., einer anorganischen ab-

sorptionsfreien Interferenzschicht 37. gemäß dem
ersten Farbton und einer Metallschicht 38.; die
Schichten 34.-38. bilden den strukturbildenden
Teil des Schichtpakets 31.. Das Schichtpaket 32..
auf dem Schichtträger 33. besteht aus einer hoch-

brechenden absorptionsfreien Schicht 39., einer
niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 40.,
einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht
4I₁, einer anorganischen absorptionsfreien Inter-

ferenzschicht 42/ gemäß dem zweiten Farbton und · einer Metallschicht 43..; die Schichten 39.^-43.J bilden den strukturbildenden Teil des Schicht- ■ pakets 32... Das Schichtpaket 31₂ auf einem Schichtträger 33~ besteht aus einer ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 34₂, einer ganzflächigen niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 35-, einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 362/ einer anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht 37~ gemäß dem ersten Farbton und einer Metallschicht 38₂; die Schichten 36₂~38₂ bilden den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 31₂, während die ganzflächigen Schichten 34₂, 35₂ nicht zur Strukturbildung beitragen. Das Schichtpaket 32₂ auf dem Schichtträger 33~ besteht aus der ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 34«, der ganzflächigen niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 35₂, einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 41₂, einer anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht 42₂ gemäß den; zweiten Farbton und einer Metallschicht 43₂; die-Schichten 41₂~43₂ bilden den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 32₂, während die ganzflächigen Schichten 34₂, 35₂ nicht zur Strukturbildung beitragen. Die Aufzeichnungsträger gemäß Figur 3a,b werden auf photolithographischem Weg in der vorgehend beschriebenen Weise erzeugt. Die Metal!schichten 38, 43 sind teildurchlässige Schichten.

In Figur 4a-d sind Aufzeichnungsträger mit induzierten Transmissionsfiltern in Form von Schicht-

paketen 51.-51. für einen ersten Farbton und von Schichtpaketen 52.-52. für einen zweiten Farbton dargestellt. Das Schichtpaket 5I₁ auf einem Schichtträger 5S₁ besteht aus einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 54., einer niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 55., einer ■ hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 56., einer ersten anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht 57. gemäß dem ersten Farbton, einer Metallschicht 58., einer zweiten anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht gemäß dem ersten Farbton, einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 50., einer niedrigbrechenden absorptions freien Schicht 61.und einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 62.; die Schichten 54.-62. bilden den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 51.. Das Schichtpaket 52. auf dem Schichtträger 53. besteht aus einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 63., einer ' niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 64., einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 65., einer ersten anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht 66. gemäß dem zweiten Farbton, einer Metallschicht 67., einer zweiten anorganisehen absorptionsfreien Interferenzschicht 68. gemäß dem zweiten Farbton, einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 69., einer niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 70. und einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 7I₁; die Schichten 63^7I₁ bilden den struktur<bildenden Teil des Schichtpakets 52..

Das Schichtpaket 51, auf einem Schichtträger 53₂

2H

- Vi -

besteht aus einer ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 54₂, einer ganzflächigen niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 55₂, einer ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 56₂, einer ersten anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht 57₂ gemäß dem ersten Farbton, einer Metallschicht 58₂, einer zweiten anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht 59j gemäß dem ersten Farbton, einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 6O₂, einer niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 612 und einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 62₂; die Schichten 57₂--6.2₂- bilden den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 51₂, . während die ganzflächigen Schichten 54₂-56₂ nicht zur Strukturbildung beitragen. Das Schichtpaket 52₂ auf dem Schichtträger 53₂ besteht aus der ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 54₂, der ganzflächigen niedrigbrechendenabsorptionsfreien Schicht 55₂, der ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 56₂, einer ersten anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht 66₂ gemäß dem zweiten Farbton, einer Metallschicht 67₂, einer zweiten anorganisehen absorptionsfreien Interferenzschieht 68₂ gemäß dem zweiten Farbton, einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 69₂, einer niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 7O₂ und einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht 71₂; die Schichten 66_O-71_O bilden den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 52₂, während die ganzflächigen Schichten 54₂-56₂ nicht zur Strukturbildung beitragen. Die Aufzeichnungsträger gemäß

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Figur 4a,b werden auf photolithographischem Weg in der vorgehend beschriebenen Weise erzeugt.

In einer anderen Ausbildung dieses Aufzeichnungsträgers wird nach Figur 4c zur Erzeugung des ersten Farbtons auf einem Schichtträger 53, in nicht gezeigter Weise ganzflächig eine erste Photolackschicht aufgebracht und mittels der ersten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der ersten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 53₃ ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 54,, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 55-, eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 56,, eine erste anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 57₃ gemäß dem ersten Farbton, eine Metallschicht 58, und eine zweite anorganische äbsorptionsfreie Interferenzschicht 59, gemäß dem ersten Farbton aufgebracht. Die verbliebene erste Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 54,-59, wird sodann entfernt. Zur Erzeugung des zweiten Farbtons wird auf dem Schichtträger 53, ganzflächig eine zweite Photolackschicht aufgebracht und mittels der zweiten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der zweiten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 53- ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 63,, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 64,, eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 65,, eine erste anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht

66, gemäß dem zweiten Farbton, eine Metallschicht

67, und eine zweite anorganische absorptionsfreie

Interferenzschicht 68,· gemäß dem zweiten Farbton aufgebracht. Die verbliebene zweite Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 63.,-68, wird sodann entfernt. Auf dem Schichtträger 53₃ befinden sich somit die strukturbildenden Schichten 54₃~59₃ des Schichtpakets 51. für den ersten Farbton und die strukturbildenden Schichten 63_-68_ des Schichtpakets 52₃ für den zweiten Farbton. Anschließend werden auf dem Schichtträger 53_ ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 60_, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 61, und eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 62₃ aufgebracht. Die ganzflächigen Schichten 60₃-62 tragen nicht zur Strukturbildung bei.

In einer weiteren Ausbildung dieses Aufzeichnungsträgers wird nach Figur 4d zur Erzeugung des

ersten Farbtons auf einem Schichtträger 53- in nicht gezeigter Weise ganzflächig eine erste Photolackschicht aufgebracht und mittels der ersten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der ersten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 53. ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 54., eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 55., eine hochbrechende absorptiorisfreie Schicht 56. und eine erste anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 57. gemäß dem ersten Farbton aufgebracht. Die verbliebene erste Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 54.-57. wird sodann entfernt. Zur Erzeugung des zweiten Farbtons wird auf dem Schichtträger

*» Λ J

ganzflächig eine zweite Photolackschicht aufgebracht und mittels der zweiten Belichtungsmaske .belichtet. Nach dem Entwickeln der zweiten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 53. ganzflächig eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 63., eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 64., eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 65. und eine erste anorganische \ absorptionsfreie Interferenzschicht 66. gemäß dem j

zweiten Farbton aufgebracht. Die verbliebene j

zweite Photolackschicht mitsamt den darüber be- t

findlichen Schichten 63.-66. wird sodann ent- |

fernt. Auf dem Schichtträger 53₄ befinden sich somit der erste Teil der strukturbildenden

Schichten 54^-57. des Schichtpakets 51₄ für den j

ersten Farbton und der erste Teil der struktur- ' [ bildenden Schichten 63.-66. des Schichtpakets 52. [

für den zweiten Farbton. Anschließend werden auf dem Schichtträger 53. ganzflächig eine Metallschicht 58₄, die nicht zur Strukturbildung beiträgt, und darüber zur Erzeugung des ersten Farbtons eine dritte Photolackschicht aufgebracht, die mittels der ersten Belichtungsmaske belichtet wird. Nach dem Entwickeln der dritten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 53. ganzflächig eine zweite anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 59. gemäß dem ersten Farbton, eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 60., eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 61. und eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 62. aufgebracht. Die verbliebene dritte Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 59^-62. wird sodann ent-

-yr-

fernt. Zur Erzeugung.des zweiten Farbtons wird auf dem Schichtträger 53. anschließend ganzflächig eine vierte Photolackschicht aufgebracht und mittels der zweiten Belichtungsmaske belichtet. Nach dem Entwickeln der vierten Photolackschicht werden auf dem Schichtträger 53. ganzflächig eine zweite anorganische absorptionsfreie Interferenzschicht 68. gemäß dem zweiten Farbton, eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 69₄, eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht 70. und eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht 71. aufgebracht. Die verbliebene vierte Photolackschicht mitsamt den darüber befindlichen Schichten 68.-71. wird sodann entfernt. Auf dem Schichtträger 53. befinden sich somit der zweite Teil der strukturbildenden Schichten 59₄~62₄ des Schichtpakets für den ersten Farbton und der zweite Teil der strukturbildenden Schichten 68.-71. des Schicht-

pakets 52₄ für den zweiten Farbton. Die Metallschichten 58, 67 sind teildurchlässige Schichten.

In Figur 5a,b sind Aufzeichnungsträger mit Kantenfiltern in Form von Schichtpaketen 81..", 81 _ für einen ersten Farbton und von Schichtpaketen 82,, 82j für einen zweiten Farbton dargestellt. Das Schichtpaket 8I₁ auf einem Schichtträger 83.. nach Figur 5a besteht aus zwei übereinanderliegenden Kantenfiltern 84^88^ 89^-93^, die aus hochbrechenden absorptionsfreien Schichten 84.j, 86.j, 88^· 89.J, 9I₁, 93.j bestehen, zwischen denen sich niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 85^ 87^ 9O₁, 92₁ befinden. Das

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- ie -

Schichtpaket 82. auf dem Schichtträger 83. besteht aus zwei übereinanderliegenden Kantenfiltern 94.-98^; 99^103., die aus hochbrechenden absorptionsfreien Schichten 94.., 96., 98.; 99., 101., 103. bestehen, zwischen denen sich niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 95., 97.; 100., 102. befinden. Die Schichten 84.-93. der beiden Kantenfilter 84.-88.; 89^93. bilden den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 81. und die Schichten 94.-103. der beiden Kantenfilter 94.-98.; 99.-103. den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 82..

Das Schichtpaket 81₂ auf einem Schichtträger nach Figur 5b besteht aus zwei übereinanderliegenden Kantenfiltern 84₂~88₂; 89₂~93₂, von denen das Kantenfilter 84₂~88₂ aus ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien Schichten 84₂, 86₂, 88₂, zwischen denen sich ganzflächige niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 85₂, 87₂ befinden, und das Kantenfilter 89₂-93₂ aus hochbrechenden absorptionsfreien Schichten 89₂, 91₂, 93₂ bestehen, zwischen denen sich niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 9O₂, 92₂ befinden; das Kantenfilter 90₂-93₂ bildet den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 81₂· Das Schichtpaket 82₂ auf dem Schichtträger 83₂ besteht aus dem ganzflächigen Kantenfilter 84₂~88₂, über dem sich ein Kantenfilter 99₂-103₂ befindet, das aus hochbrechenden absorptionsfreien Schichten 99₂, 101-, 103₂ besteht, zwischen denen sich niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 102₂ befinden. Das Kantenfilter 99₂~103₂ bildet

Vi -

den strukturbildenden Teil desi Schichtpakets 822? das ganzflächige Kantenfilter 84₂-8&₂ trägt nicht zur Strukturbildung der Schichtpakete 81₂, 82₂ bei.

Bei den Filtern 1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52 werden die ersten und zweiten Farbtöne durch die optischen Dicken der Interferenzschichten 5, 8; 17, 24; 37, 42; 57, 59, 66, 68 und die Sättigung dieser Farbtöne durch das Reflexionsvermögen der Metallschichten 4, 6, 7, 9; 38, 43; 58, 67 bzw. der hochbrechenden Schichten 14, 16, 18, 20, 21, 23, 25, 27; 34, 36, 39, 41; 54, 56, 60, 62, 63, 65, 69, 71 und der niedrigbrechenden Schichten 15, 19, 22, 26; 35, 40; 55, 61, 64, 70 bestimmt.

Bei einem Kantenfilter (Reflektor) fällt der spektrale Bereich hoher Transmission über eine steile Flanke zu einem spektralen Bereich niedrig ger Transmission ab. Die optischen Schichtdicken der hochbrechenden und niedrigbrechenden Schichten eines Kantenfilters betragen λ/4, wobei Λ die größte Wellenlänge der geringsten Transmission des Kantenfilters bedeutet. Die Kanten-

filter 84^-88.; 94..-9S.. nach Figur 5a mögen im spektralen Bereich der zu erzeugenden beiden Farbtöne eine mit zunehmender Wellenlänge ansteigende Flanke der Transmission und die Kantenfilter 89..-93..; 99--103.. in diesem Bereich eine abfallende Flanke der Transmission aufweisen; durch überlagerung der Kantenfilter 84,--8S₁; 94.J-98.J mit den Kantenfiltern 89^93^· 99^ 103.J wird ein Transmissionsmaximum für die beiden gewünschten Farbtöne erzielt.

Bei einem bestimmten Verhältnis von Schichtdicke der überlagerten Kantenfilter zum Durchmesser der Feinstruktur können jedoch Schwierigkeiten bei der Entfernung der verbliebenen Photolackschicht mitsamt den darauf befindlichen Kantenfiltern auftreten. Es wird daher vorgeschlagen, gemäß Figur 5b den unteren Kantenfilter 84₂~ 88₂ ganzflächig auszubilden und die überlagerten Kantenfilter 89₂-93₂; 99₂~103₂ allein zu strukturieren. Der ganzflächige Kantenfilter 84₂~88₂ muß in bestimmten Wellenlängenbereichen eine möglichst hohe und konstante Transmission besitzen, was durch eine Variation der optischen Schichtdicken der hochbrechenden und niedrigbrechenden Schichten 84₂~88₂ erreicht wird. Vorzugsweise unterscheiden sich dabei die optischen Schichtdicken etwa im Bereich von ^ 10 % vom Betrag Λ/4»

Derartige Schichtpakete können auch aus einer Kombination von Filtern 1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82 bestehen. In Figur 6a,b sind Aufzeichnungsträger mit Kantenfiltern und überlagerten metail-dielektrischen Interferenzfiltern in Form von Schichtpaketen 111-, 11I₀ für einen ersten Farbton und von Schichtpaketen 112-, 112_O für einen zweiten Farbton dargestellt. Das Schichtpaket 111- auf einem Schichtträger 113- nach Figur 6a besteht aus einem Kantenfilter 114--118-mit hochbrechenden absorptionsfreien Schichten 114-, 116-, 118-, zwischen denen sich niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 115-, 117-befinden, und aus einem metail-dielektrischen ·,.

Interferenzfilter 119..-121.. mit einer Interferenzschicht 120-, die auf beiden Seiten durch anorganische spiegelnde Schichten 119.., 12I₁ begrenzt ist. Das Schichtpaket 112.. auf dem Schichtträger 113.J besteht aus einem Kantenfilter 122₁-128₁ mit hochbrechenden absorptionsfreien Schichten 122., 124., 126.., 128.., zwischen denen sich niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 123., 125., 127. befinden, und aus einem metall-dielektrischen Interferenzfilter 129.-131. mit einer Interferenzschicht 130., die auf beiden Seiten durch anorganische spiegelnde Schichten 129., 131. begrenzt ist. Die Schichten 114^-121₁ bilden den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 11I₁ und die Schichten 122₁-131₁ den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 112...

Das Schichtpaket 111₂ auf einem Schichtträger 113₂ nach Figur 6b besteht aus einem Kantenfilter 114₂~118₂ mit ganzflächigen hochbrechenden absorptionsfreien Schichten 114-/ ^^o' ^^2^{r zw}i~ sehen-denen sich ganzflächige niedrigbrechende absorptionsfreie Schichten 115~, 117~ befinden, und aus einem metall-dielektrischen Interferenzfilter 119₂~121₂ mit einer Interferenzschicht 12O₂, die auf beiden Seiten durch anorganische spiegelnde Schichten 119₂~121₂ begrenzt ist; das metall-dielektrische Interferenzfilter 119₂~ 121₂ bildet den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 11I₂- Das Schichtpaket 112₂ auf dem Schichtträger 113₂ besteht aus den ganzflächigen Schichten 1142~118₂, aus einer niedrigbrechenden absorptionsfreien Schicht 127₂, aus einer hoch-

brechenden absorptionsfreien Schicht 128, und aus einem metall-dielektrischen Interferenzfilter 129,-131, mit einer Interferenzschicht 130,, die auf beiden Seiten durch anorganische spiegelnde Schichten 129,, 131— begrenzt ist? die Schichten 127,, 128₂ und das metall-dielektrische Interferenzfilter 129₂-131, bilden den strukturbildenden Teil des Schichtpakets 112,-

Die anorganischen spiegelnden Schichten 4, 6, 7„ 9? 38, 43? 58, 67? 119, 121, 129, 131 bestehen aus Ag, Cr, Au, Al etc. oder aus einer Kombination dieser Materialien, die Interferenzschichten 5, 8? 17, 24? 37, 42? 57, 59, 66, 68? 120, 130 aus MgF,, SiO,, Al₃O₃, Fe₃O₃ etc. oder aus Mischungen dieser Materialien, die hochbrechenden Schichten 14, 16, 18, 20, 21, 23, 2.5, 27? 34 ₁ 36, 39, 41? 54, 56, 60, 62, 63, 65, 69, 71? 84, 86, 88, 89, 91, 93, 94, 96, 98, 99, 101,.103?

114, 116, 118, 122, 124, 126, 128 aus TiO₃, ^rO₃, HfO₃, Nd₃O₃ etc. oder aus Mischungen dieser Materialien und die niedrigbrechenden Schichten 15, 19, 22, 26? 35, 40? 55, 61, 64, 70? 85, 87, 90, 92, 95, 97,100, 102? 115, 117, 123, 125, aus MgF,, SiO,, Al₃O₃, Fe₃O₃ etc. oder aus Mischungen dieser Materialien. Der Schichtträger 13? 33? 53? 83? 113 kann aus durchsichtigem Material oder aus undurchsichtigem Material mit spiegelnder Oberfläche bestehen,

Die Schichtpakete 1, 2? 11, 12? 31, 32? 51, 52? 81, 82? 111, 112 und/oder strukturbildende Teile dieser Schichtpakete 1, 2? 11, 12? 31, 32? 51, 52? 81, 82? 111, 112 werden bevorzugt auf

3H7985

photolithographischem Wege nacheinander - und zwar in der Reihenfolge der Farbtöne der Feinstruktur - örtlich voneinander getrennt auf dem Schichtträger 3; 13; 3.3; 53; 83; 113 aufgebracht. Neben dem vorgehend beschriebenen photolithographischen. Verfahren können die Schichtpakete und/oder die strukturbildenden Teile dieser Schichtpakete auf photolithographischem Wege mittels naßchemischer Ätzverfahren oder physikalischer Ätzverfahren wie Ionenstrahlätzen, Sputterätzen, Plasmaätzen oder reaktives Ionenätzen auf dem Schichtträger erzeugt werden. Des weiteren können die Schichtpakete und/oder die strukturbildenden Teile dieser Schichtpakete mittels jeweils einer Bedampfungsmaske oder mittels eines gesteuerten Teilchenstrahls (Elektronenstrahl, Ionenstrahl etc.) hergestellt werden.

Auf einem Schichtträger können auf einem Teil Schichtpakete mit teilweise ganzflächigen Schichten und auf einem anderen Teil Schichtpakete ohne ganzflächige Schichten - auch mit unterschiedlichen Herstellungsverfahren - erzeugt werden. Zwischen aneinandergrenzenden unterschiedlichen Schichtpaketen, die nacheinander erzeugt worden sind, ist ein Grenzbereich definiert, der eine örtliche Trennung di^eser Schichtpakete darstellt.

Das Aufbringen der Schichten der Schichtpakete 1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112 kann beispielsweise durch Aufdampfen, Sputtern, Ionen-

3U7985 35

plattieren und Ausscheiden aus der Dampfphase erfolgen.

Die erfxndungsgemäßen Aufzeichnungsträger weisen insbesondere den Vorteil einer verbesserten Farbtonreinheit und Farbtonsättigung sowie einer Verminderung des Ausschusses auf.

Der vorgeschlagene Aufzeichnungsträger findet bevorzugt Verwendung· zur Aufzeichnung mehrfarbiger Mikrolandkarten.

Leerseite

Claims

* m η 9 w ■ ^ Ί * * O * β β * «4 ■

3U7985 *

Ansprüche

Aufzeichnungsträger mit einer mehrfarbigen Feinstruktur (Muster), insbesondere in Form einer Mikrolandkarte, mit wenigstens zwei optisch wirksamen, strukturbildenden Schichtpaketen für wenigstens zwei unterschiedliche Farbtöne auf einem Schichtträger, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtpakete (1,2; ■11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) und/oder strukturbildende Teile dieser Schichtpakete (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) nacheinander - und zwar in der Reihenfolge der Farbtöne der Feinstruktur - örtlich voneinander getrennt auf ' dem Schichtträger (3; 13; 33; 53; 83; 113) aufgebracht sind.
2.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (81, 82) durch wenigstens ein Kantenfilter (Reflektor) gebildet ist.
3".) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (11, 12) durch wenigstens ein rein-dielektrisches Interferenzfilter gebildet ist.

314798S
4.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (31, 32) durch wenigstens ein HalbfiLter gebildet ist.
5.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (51, 52) durch wenigstens ein induziertes Transmissionsfilter gebildet ist.
6.) Aufzeichnungsträger· nach Anspruch ί, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (1, 2) durch wenigstens ein metall-dielektrisches Interferenzfilter gebildet ist.
7.) Aufzeichnungsträger nach den Ansprüchen 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (111, 112) aus einer Kombination von Einzelpaketen in Form von übereinander ange-

ordneten, unterschiedlichen Filtern besteht.' 20
8.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtpaket (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) aus wenigstens einer im Gesamtbereich des . Schichtträgers (3; 13; 33; 53; 83; 113) ganzflächig aufgebrachten Schicht und aus wenigstens einer gemäß der Aufzeichnung strukturierten Schicht besteht.
9.) Aufzeichnungsträger nach" Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der sich ganzflächig über den Schichtträger (3; 13; 33; 53; 83; 113) erstreckende nicht strukturbildende

3H7985

Teil der Schichtpakete (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) aus wenigstens einem Filter und/oder aus einem Teil eines Filters besteht.
5
10.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das metall-dielektrische Interferenzfilter (1, 2) aus einer anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht (5, 8) besteht, die auf jeder Seite durch wenigstens eine anorganische spiegelnde Schicht (4, 6, 7, 9) begrenzt ist.
11») Aufzeichnungsträger nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das rein-dielektrische Interferenzfilter (11, 12) aus einer anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht (17, 24) besteht, die auf jeder Seite durch wenigstens eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht (14, 16, 18, 20, 21, 23, 25, 27) begrenzt ist, wobei sich zwischen je zwei hochbrechenden Schichten (14, 16, 18, 20, 21, 23, 25, 27) eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht (15, 19, 22, 26) befindet.
12.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Halbfilter (31, 32) aus einer" anorganischen absorptionsfreien Interferenzschicht (37, 42) besteht, die auf einer Seite von wenigstens einer anorganischen spiegelnden Schicht (38, 43) und auf der anderen Seite durch wenigstens eine

β 4 4

hochbrechende absorptionsfreie Schicht (34, 36, 39, 41) begrenzt ist, wobei sich zwischen je zwei hochbrechenden Schichten (34, 36, 39, 41) eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht (35, 40) befindet.
13.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das induzierte Transmissionsfilter (51, 52) aus zwei anorganisehen absorptionsfreien Interferenzschichten (57, 59, 66, 68) besteht, zwischen denen sich wenigstens eine anorganische spiegelnde Schicht (58, 67) befindet und die jeweils auf der anderen Seite durch wenigstens eine hochbrechende absorptionsfreie Schicht (54, 56, 60, 62, 63, 65, 69, 71) begrenzt ist, wobei sich zwischen je zwei hochbrechenden Schichten (54, 56, 60, 62, 63, 65, 69, 71) eine niedrigbrechende absorptionsfreie Schicht (55, 61, 64, 70) befindet.
14.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Kantenfilter (81, 82) aus wenigstens einer hochbrechenden absorptionsfreien Schicht (84, 86, 88, 89, 91, 93, 94, 96, 98, 99, 101, 103) besteht, wobei sich zwischen je zwei hochbrechenden Schichten (84, 86, 88, 89, 91, 93, 94, 96, 98, 99, 101, 103) eine riiedrigbrechende absorptionsfreie Schicht (85, 87, 90, 92, 95, 97, 100, 102) befindet.

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15.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Schichtdicken der einzelnen Schichten der Kantenfilter (81, 82) sich vom Betrag fl/4 (71 = größte Wellenlänge der geringsten Transmission eines Kantenfilters) unterscheiden.
16.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Schichtdicken der einzelnen Schichten der Kantenfilter (81, 82) sich etwa im Bereich _+ 10 % vom Betrag Tl/4 unterscheiden.
17.) Aufzeichnungsträger nach den Ansprüchen 10, 12 und 13, dadurch gekennzeichnet, daß die anorganischen spiegelnden Schichten (4, 6, 7, 9; 38, 43; 58, 67; 119, 121, 129, 131) aus Ag, Cr, Au, Al etc. oder aus einer Kombination dieser Materialien bestehen. '. 20
18.) Aufzeichnungsträger nach den Ansprüchen 10-

13, dadurch gekennzeichnet, daß die Interferenzschichten (5, 8; 17, 24; 37, 42; 57, 59, 66, 68; 120, 130) aus MgF₂, SiO₃, Al₃O₃, ^Fe2°3 ^etc* °&^er ^aus Mischungen dieser Materialien bestehen.
19.) Aufzeichnungsträger nach den Ansprüchen 11-

14, dadurch gekennzeichnet, daß die hochbrechenden Schichten (14, 16, 18, 20, 21, 23, 25, 27; 34, 36, 39, 41; 54, 56, 60, 62, 63, 65, 69, 71; 84, 86, 88, 89, 91, 93, 94, 96, 98, 99, 101, 103; 114, 116, 118, 122,

124, 126, 128) aus TiO₂, ZrO₃, HfO₃, Nd₃O₃ etc. oder aus Mischungen dieser Materialien und die niedrigbrechenden Schichten (15, 19, 22, 26; 35, 40; 55, 61, 64, 70; 85, 87, 90, 92, 95, 97, 100, 102; 115, 117, 123, 125,

• 127) aus MgF₃, SiO₃, Al₃O₃, Fe₃O₃ etc. oder aus Mischungen dieser Materialien bestehen.
20.) Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schichtträger (3; 13; 33; 53; 83; 113) aus einem durchsichtigen Material oder aus einem undurchsichtigen Material mit spiegelnder Oberfläche besteht.
21.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtpakete (1, 2; 11, ,' 12;· 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) und/ oder·strukturbildenden Teile dieser Schichtpakete (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) auf photolithographischem Weg nacheinander auf den Schichtträger (3; 13; 33; 53; 83; 113) erzeugt werden.
22.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtpakete (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 83; 111, 112) und/ oder strukturbildenden Teile dieser Schichtpakete (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) mittels jeweils einer Be-

dampfungsmaske nacheinander auf dem Schichtträger (3? 13? 33? 53? 83? 113) erzeugt
werden &
23.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtpakete (1, 2? 11,
12? 31, 32; 51, 52; 81, 82? 111, 112) und/
oder strukturbildenden Teile dieser

Schichtpakete (T, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 52;
81, 82? 111, 112) mittels eines gesteuerten
Teilchenstrahls nacheinander auf dem Schichtträger (3? 13? 33? 53? 83; 113) erzeugt
werden.
24.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 21 durch sukzessive
Erzeugung der einzelnen Schichtpakete auf
dem Schichtträger, gekennzeichnet durch
. folgende Verfahrensschritte zur Erzeugung
jedes einzelnen Schichtpakets:
a.) auf dem Schichtträger (3.,; 13-; 33.,;
53.,; 83.,; 113.,) wird ganzflächig eine
Photolackschicht aufgebracht und mittels [ einer Belichtungsmaske für das jeweilige ί"

Schichtpaket (1₁, 2.,; 11 <|, 12., , 31.,, |

32.,; 5I₁, 52.,; 8I₁, 82.,; 11I₁, 112.,) be- j

lichtet; j

b.) nach dem Entwickeln der Photolackschicht I . werden nacheinander die Schichten des I

Schichtpakets (1.,, 2.,; 11₁, 12.,; 31.,, [

32.,; 5I₁, 52.,? 81.,, 82.,? 11I₁ , 112.,) j

ganzflächig auf dem Schichtträger (3.,? \

13-? 33-; 53-; 83-? 13Ί-) aufgebracht? I

(III! ί

c.) die verbliebene Photolackschicht wird sodann mitsamt den darauf befindlichen Schichten des Schichtpakets (I₁, 2' ? H₁, 12_1? 3I₁, 32.,; 5I₁, 52.,; 81.,, 82.,; - 11I₁, 112₁) entfernt.
25.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 21 durch sukzessive Erzeugung der einzelnen Schichtpakete auf dem Schichtträger, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte zur Erzeugung jedes einzelnen .Schichtpakets: a.) auf dem Schichtträger O₂, 3.,; ¹³T' 33₂; 53₂?.83₂; 113^) werden ganzflächig die nicht strukturbildenden Schichten

aller Schichtpakete O₂, I₃?-²?' ²

₃?

12₂; 31₂, 32₂;

111₂, 112_) nacheinander aufgebracht; b.) anschließend wird auf dem Schichtträger· (3₂, 3₃; 13₂; 33₂; 53₂; 83₂; 113₂> ganz

flächig eine Photolackschicht aufgebracht und mittels einer Belichtungsmaske für das jeweilige Schichtpaket H₂/ I₃? ²o' 2₃; 11₂, 12₂; 3I₂, 32₂; 51₂, 52₂; 8I₃, 82₂; 11I₂, 112₂) belichtet;

c.) nach dem Entwickeln der Photolackschicht werden nacheinander die strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (I₃, I₃; 2₂, 2₃; 1I₂, 12₂; 31₂, 32₂; 51₂, 52₂; 81₂, 82₂; 111₂, 112₂) ganzflächig auf

dem Schichtträger O₃,"3-; IS₃; 33₂? 53₂; 83₂; 113₂) aufgebracht;

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ά.) die verbliebene Photolackschicht wird sodann mitsamt den darauf befindlichen strukturbildenden Schichten des Schicht

pakets (I₂, 1₃; 2₂, 2₃; 11₂, 12₂; 31₂, 32₂; 51₂,

entfernt.

32₂; 51₂, 52₂;
26.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 21 durch sukzessive Erzeugung der einzelnen Schichtpakete auf dem Schichtträger, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte zur Erzeugung jedes einzelnen Schichtpakets: a.) auf dem Schichtträger (53~) wird ganzflächig eine Photolackschicht aufge-,

bracht und mittels einer Belichtungsmaske für das jeweilige Schichtpaket (5I₃, 52₃) belichtet?

b.) nach dem Entwickeln der Photolackschicht werden nacheinander die strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (51₃, 52₃) ganzflächig auf dem Schichtträger (53-J aufgebracht; c.) die verbliebene Photolackschicht wird sodann mitsamt den darauf befindlichen

strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (51₃, 52₃) entfernt;

. d.) auf dem Schichtträger (53₃) werden anschließend ganzflächig die nicht strukturbildenden Schichten der Schichtpake

te (5I₃, 52₃) nacheinander aufgebracht.
27.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungs-

• · r

trägers nach Anspruch 21 durch sukzessive Erzeugung der einzelnen Schichtpakete auf dem Schichtträger, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte zur Erzeugung jedes einzelnen Schichtpakets:

a.) auf dem Schichtträger (53₄) Wird ganzflächig eine erste Photolackschicht aufgebracht und mittels einer Belichtungsmaske für das jeweilige Schichtpaket 51₄, 52₄) belichtet;

b.) nach dem Entwickeln der Photolackschicht wird der erste Teil der strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (51 ., 52J ganzflächig auf dem Schichtträger (53Λ) aufgebracht;

c.) die verbliebene Photolackschicht wird sodann mitsamt dem darauf befindlichen ersten Teil der strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (51 ., 52₄) entfernt;

d.) auf dem Schichtträger (53J werden ganzflächig die nicht strukturbildenden Schichten der Schichtpakete. (51 ._T 52.) nacheinander aufgebracht; e.) auf dem Schichtträger 53₄) wird anschließend ganzflächig eine zweite Photolackschicht aufgebracht und mittels der Belichtungsmaske für das jeweilige Schichtpaket (5I₄, 52₄) belichtet; f.) nach dem Entwickeln der Photolackschicht wird der zweite Teil der strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (51₄, 52₄) ganzflächig auf dem Schichtträger (53₄) aufgebracht;

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- as -

g.i die verbliebene Photolackschicht wird sodann mitsamt dem darauf befindlichen zweiten Teil der strukturbildenden Schichten des Schichtpakets (51₄„ 52^) entfernt.
28.) Verfahren zur Herstellung des Aufzeichnungsträgers nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtpakete (1/ 2; 11, 12? 31, 32; 51, 52; 81, 82; 111, 112) und/ oder strukturbildenden Teile dieser Schichtpakete (1, 2; 11, 12; 31, 32; 51, 81, 82; 111, 112) mittels naßchemischer oder physikalischer Abtragungsmethoden nacheinander auf dem Schichtträger (3; 13; 33? 53; 83? 113) erzeugt werden.