DE3224790A1

DE3224790A1 - Verfahren zur herstellung einer kathodenstrahlroehre

Info

Publication number: DE3224790A1
Application number: DE19823224790
Authority: DE
Inventors: Karl Gerhard Princeton N.J. Hernqvist
Original assignee: RCA Corp
Current assignee: RCA Corp
Priority date: 1981-07-02
Filing date: 1982-07-02
Publication date: 1983-03-10
Also published as: SU1242003A3; FR2509090B1; IT1153706B; CA1186367A; US4406637A; PL138543B1; KR840000969A; DE3224790C2; PL237248A1; IT8222142A0; JPS5810349A; FR2509090A1

Description

RGA 76 917 Ks/Ri

U.S. Serial No: 279,740

Filed: July 2, 1981

RGA Corporation New York, N.Y., V.St.v.A.

Verfahren zur Herstellung einer Kathodenstrahlröhre

Die Erfindung bezieht sich auf Herstellungsverfahren für Kathodenstrahlröhren und betrifft insbesondere eine Maßnahme um das Nachglühen einer Kathodenstrahlröhre nach ihrem Betrieb zu verhindern.

Eine Kathodenstrahlröhre hat einen Kolben, der sich aus einem Hals, einem Trichter und einer Prontplatte (Kappe) zusammensetzt. Auf den inneren Oberflächen des Kolbens sind ein Bildschirm und verschiedene andere Beschichtungen aufgebracht, und im Hals des Kolbens ist das sogenannte "System" der Röhre eingeschlossen, das von einem gläser- nen Fuß gehalten wird und ein oder mehrere Elektronenstrahl· Erzeugungseinrichtungen enthält. Nachdem das System durch Anschmelzen des Fußes in den Hals des Kolbens eingebracht ist, w.ird die Röhre (die über einen mit dem Fuß verbundenen gläsernen Pumpstutzen zur Atmosphäre hin offen ist) bei etwa 300° bis 400⁰C ausgeheizt und dabei gleichzeitig über den Pumpstutzen auf einen relat.iv niedrigen Druck un-

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terhalt 10 Torr ausgepumpt. Während dieses Ausheizens steigt die Temperatur des Systems auf etwa 250° bis 300 C an. Dann wird die Röhre abgeschmolzen, das heißt der Pumpstutzen wird verschlossen. Nahe dem Ende des Ausheizvorgangs und vor dem Abschmelzen, wenn die Röhre auf einen

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niedrigen Druck evakuiert ist, wird Hochfrequenzenergie angelegt, um die Metallstrukturen, insbesondere die Elektroden des Systems, zu entgasen. Die Hochfrequenzenergie heizt die Metall struktur en auf eine maximale Temperatur von über 450⁰G (gewöhnlich etwa 600° bis 75O⁰C) auf, um adsorbierte Gase auszutreiben. Nach dem Abschmelzen wird das System "abgefunkt" (Anlegen einer Hochspannung zum Zerstören von Entladungspunkten) , um die spätere ungewollte Elektronenemission vom System zu reduzieren und den Betrieb der Röhre spannungsfest zu machen.

Bei einer fertigen Kathodenstrahlröhre, die in einem Chassis angeordnet ist und in einer normalen Weise betrieben wird, kann es vorkommen, daß nach dem Wegnehmen der normalen Betriebsspannungen vom System noch weiterhin Licht vom Bildschirm emittiert wird. Dieser Effekt, der über Minuten oder Stunden dauern kann, wird als "Nachglühen" bezeichnet und resultiert aus dem Zusammentreffen zweier Faktoren. Zum einen bleibt nach dem Wegnehmen der Betriebsspannungen eine elektrostatische Restladung am Filterkondensator (der durch die Röhre integral gebildet ist) bestehen, so daß an der Anode der Röhre eine restliche Hochspannung gegenüber den anderen Elektroden des Systems verbleibt. Zum andern gibt es an den Elektroden des Systems Stellen, von wo Elektronen emittiert werden können, wenn sie unter dem Einfluß des durch die Restladung am Filterkondensator erzeugten elektrischen Feldes stehen. Unter dem Einfluß des elektrischen Feldes emittierte Elektronen werden zum Schirm gelenkt und treffen dort auf, wobei sie das Nachglühen verursachen.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, dieses Nachglühen zu vermeiden. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen des Patentanspruchs 1 angegebene Maßnahme bei der Herstellung der Kathodenstrahlröhre gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Durch die erfindungsgemäße Maßnahme werden Anzahl und Wirksamkeit der Feldemissionsstellen wesentlich reduziert, so daß "beträchtlich weniger Feldemission stattfindet und nur wenig oder gar kein Nachglühen beobachtet wird. Das er~ findungsgemäße Verfahren enthält ähnliche Schritte wie das bekannte Herstellungsverfahren, das heißt Ausbrennen bei etwa 4-50 C, Evakuierung auf einen niedrigen Druck, HF-Hei~ zung auf eine maximale Temperatur oberhalb 4-5O⁰G und anschließendes Abschmelzen, nur daß vor der Erreichung des niedrigen Drucks zumindest ein Teil des Systems selektiv auf noch höhere Temperaturen oberhalb der maximalen Temperatur erhitzt werden, und zwar in einer einen Sauerstoff= Partialdruck (typischerweise im Bereich von 1 bis 3 Torr) aufweisenden Atmosphäre und für eine Zeitdauer, die einer=· seits ausreicht, um bei Abkühlung auf Saumtemperatur eine sichtbare Verfärbung hervorzurufen, andererseits aber un~ genügend ist, um eine elektrisch isolierende Schicht ent·= stehen zu lassen. Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist dieser erhitzte Teil des Systems derjenige Teil einer Elek=» trode, der einer anderen, auf der Anodenspannung liegenden Elektrode zugewandt ist. Die Erhitzung auf die höheren Temperaturen kann erfolgen, bevor oder nachdem das System in den Hals der Kathodenstrahlröhre eingeschossen ist$ vor=· zugsweise erfolgt die Erhitzung nach dem Einschließen und während der ersten Stufen der Evakuierung des Kolbens.

Die Erfindung wird nachstehend an Ausführungsbeispielen anhand von Zeichnungen näher erläutert.

Fig. 1 zeigt in Seitenansicht und aufgebrochen einen Teil einer Auspump-Maschine, die zur Realisierung der Erfindung modifiziert ist;

Fig. 2 zeigt in vergrößerter Darstellung eine HF-Spulen=- anordnung der Auspump-Maschine nach Fig. 1 in einer Position zum Erhitzen ausgewählter Teile des Systems einer Kathodenstrahlröhre nahe dem Beginn des Auspumpvorgangs; - 7 =

Fig. 3 zeigt in vergrößerter Darstellung die HF-Spulenanordnung der Auspumpmaschine nach Fig. 1 in einer Position zum Erhitzen ausgewählter Teile des Systems der Kathodenstrahlröhre nahe dem Ende des Auspump-Vorgangs.

Eine "bevorzugte Ausführungsform der Erfindung kann in einer stationären Auspumpmaschine oder in einer laufenden Vorrichtung realisiert werden, wie sie zum Beispiel in der US-Patentschrift 3 922 049 beschrieben ist. Eine laufende Vorrichtung besteht aus einer Kette einzelner Auspumpwagen, die eine geschlossene langgestreckte Schleife durchfahren. Über einen Teil der Wagenkette erstreckt sich allgemein U-förmig ein Tunnelofen, derart, daß er die Frontplatten und Trichter der zu bearbeitenden Kathodenstrahlröhren umschließt, während die Fußteile und benachbarte Abschnitte der Heizteile der Röhren außerhalb dieser Umschließung liegen. Der Tunnel ist in Zonen unterteilt, die auf vorgeschriebene Temperaturen geheizt sind, so daß die Frontplatte und der Trichter jeder den Tunnel durchwandernden Kathodenstrahlröhre eine Wärmebehandlung nach einem gewünschten Programm erfahren. Nahe dem eingangsseitigen Ende und auch nahe dem ausgangsseitigen Ende des Tunnelraums wird HF-Energie auf den Hals der Röhre gekoppelt, und zwar außerhalb des Tunnels, wie es weiter unten beschrieben wird.

Beim nachfolgend beschriebenen Ausführungsbeispiel werde ein einzelner Wagen der laufenden Auspumpvorrichtung als stationäre, periodisch arbeitende Auspumpmaschine betrieben. Wie in den Figuren 1 bis 3 dargestellt, kann ein Auspumpwagen beziehungsweise die stationäre Maschine 19 eine einzelne Kathodenstrahlröhre 21 aufnehmen. Die Röhre 21 hat einen Kolben, der aus einer Frontplatte 23 und einem vakuumdicht daran angefügten Trichter 25 und einem damit einstückigen gläsernen Hals 27 besteht. Der Hals 27 ist an einem Ende durch einen Glas fuß 29 (Figuren 2 und 3) verschlossen, von dem elektrische Zuleitungen 31 aus Metall

— ο-Ι und ein Pumpstutzen 33 aus Glas nach außen vorstehen.Die Zuleitungen 31 erstrecken sich auch nach innen in die Röhre und tragen dort die elektronenstrahlbildende Einrichtung, das sogenannte "System" 35 (Fig. 2) der Kathodenstrahlröhre. Dieses System 35 enthalte beim hier beschriebenen Beispiel drei Elektronenkanonen, deren jede aus einer indirekt beheizten Kathode und mehreren, im Abstand hintereinander angeordneten Elektroden einschließlich einer Fokussierungselektrode G3 (Figuren 2 und 3) besteht. Das System 35 kann von irgendeinem in Kathodenstrahlröhren verwendbaren Typ sein, zum Beispiel von einer Bauart gemäß der US-Patentschrift 4 234 814 oder 3 873 879.

Die Auspumpmaschine 19 sei ähnlich aufgebaut wie der in der US-Patentschrift 3 115 737 beschriebene Auspumpwagen® Die Kathodenstrahlröhre wird in der Maschine 19? von der ein Teil in Fig. 1 gezeigt ist, auf den Armen 41 von Stütz«- gabeln gehalten, die sich an einem Stützgestell 43 befinden, welches an zwei Pfosten 45 aufgehängt ist, die ihrerseits an einer wärmeisolierenden Plattform 47 befestigt sind. Die Maschine 19 enthält eine Vakuumpumpe (nicht dargestellt), die mit einem durch eine öffnung in der Plattform 47 ragenden Saugkopf 49 verbunden ist. Das obere Ende des Saugkopfs ist mit einem Aufnehmer 51 versehen, der den Pumpstutzen 33 der Röhre vorübergehend in vakuumdichter Umschließung aufnehmen kann. Ein elektrisch betriebener und durch Wärmestrahlung wirkender Abschmelz-Heizkörper 53 wird von einem auf der Plattform 47 stehenden Pfosten 55 und einem daran befestigten Arm 56 gehalten. Der Heizkörper 53 umgibt' den Pumpstutzen 33 nahe dem Röhrenfuß 29 und dient dazu, den Pumpstutzen 33 nach Beendigung des Auspumpvorgangs weichzumachen und zu verschließen, so daß die Kathodenstrahlröhre "abgeschmolzen" und dichtgemacht wird. Ein weiterer auf der Plattform 47 stehender Pfosten 59 trägt an einem Arm 60 eine HF-Heizspulenanordnung 57» Die HP-Heizspulenanordnung 57 hat ringförmige Gestalt und weist eine mittlere öffnung auf, in welche der Hals 27 der Kathoden-

strahlrönre 21 eingesetzt werden kann. Die Anordnung 57 "besteht aus einer ringförmigen Spule 61 und einem passenden ringförmigen magnetischen Ferritstück 63 auf der Oberseite der Spule 61 und befindet sich in einem elektrisch isolierenden und hitzefesten Behälter, der beispielsweise aus Transit hergestellt ist. Wie in den Figuren 2 und 3 dargestellt, besteht der Behälter aus einer unteren Platte 65, einer oberen Platte 6? und einem Distanzring 69. Die Anordnung 57 enthält ferner eine Kühlschlange (nicht dargestellt), die über Rohre 71 an einen Kühlwasserkreislauf angeschlossen ist. Die HP-Heizspule 61 kann für ausgewählte Zeitspannen während des Heizzyklus¹ erregt werden, um HF-Energie in ausgewählte Metallteile des Systems 35 einzukoppeln.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist es notwendig, verschiedene ausgewählte Teil des Systems der Kathodenstrahlröhre am Beginn und am Ende des Zyklus durch die HF-Energie zu erhitzen. Zu diesem Zweck sind Maßnahmen getroffen, um die oberhalb der Plattform 47 vorstehende Länge des Pfostens 59 zu verändern und dadurch die Position der HF-Heizspulenanordnung 57 gegenüber dem Röhrenhals 27 zu verstellen.

Die vorstehend beschriebenen Einrichtungen werden in der gewohnlichen Weise betrieben. Die Maschine 19 hat ein wärmeisolierendes Gehäuse 81, welches von der Plattform 47 abgehoben und auf die Plattform gesenkt werden kann. In der Praxis wird das Gehäuse 81 abgehoben, und eine Kathodenstrahlröhre 21 wird auf die Stützarme 41 der Maschine 19 gesetzt. Die Höhe der Kathodenstrahlröhre über der Plattform wird justiert, und der Aufnehmer 51 <ies Saugkopfs 49 wird vorübergehend an den Pumpstutzen 33 dicht angeschlossen. Dann wird das Gehäuse 81 abgesenkt, und die Frontplatte 23 sowie der Trichter 25 werden auf Temperaturen im Bereich von etwa 300° bis 450°C aufgeheizt. Während des Heizzyklus¹ wird das Innere der Kathodenstrahlröhre kontinuierlich über den Pumpstutzen 33 ausgesaugt.

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Nahe dem Beginn des Absaugzyklus¹, wenn der Partialdruck des Sauerstoffs im Kolben etwa 1 bis 3 Torr beträgt, wird die Spulenanordnung 57 in. cLie in Fig. 2 dargestellte Stellung gebracht und für etwa 2 Minuten durch HF-Energie einer Frequenz von etwa 1,2 KHz erregt. Dies bewirkt, daß das obere (der Anode zugewandte) Ende der G3-Elektrode auf etwa 75O⁰C erhitzt wird. Wenn die G3-Elektrode aus einer Chromlegierung besteht, führt diese Aufheizung zu einer Oxidation der Oberflächen der erhitzten Teile, so daß eine Schicht aus Chromoxid entsteht, die hitzebeständig bis zu einer Temperatur von mindestens 900°C ist. Der Effekt der beschriebenen Aufheizung ist also eine Oxidation der Oberfläche der G3-Elektrode, und zwar derart, daß sich ihre Farbe, wenn man sie später bei Raumtemperatur betrachtet, von metallgrau in strohgelb geändert hat. Nahe dem Ende des Heizzyklus¹ wird die HF-Spule 61 in die in Fig. 3 dargestellte Stellung gebracht und für etwa fünf Minuten mit HF-Energie einer Frequenz von etwa 1,2 KHz erregt. Dies führt zu Wirbelströmen in den Metallteilen des Systems 35» wodurch die Metallteile zwischen dem Fuß 29 und der G3-Elektrode auf Temperaturen im Bereich von etwa 500 bis 85O⁰C (je nach Heizzeit) erhitzt werden.

Nach Abschluß der HF-Erregung am Ende des Heizzyklus' wird der Abschmelz-Heizkorper 35 eingeschaltet, um einen kleinen Bereich des Pumpstutzens zu erhitzen, so daß das Glas weich wird und infolgedessen durch die Wirkung des atmosphärischen Drucks einfällt und sich der Stutzen selbst verschließt, wodurch das Innere' der Kathodenstrahlröhre 21 dicht gegenüber der Atmosphäre verschlossen wird. Dann läßt man die Kathodenstrahlröhre 21 abkühlen, und der überschüssige Teil des Pumpstutzens 33 wird abgebrochen. Anschließend wird das Gehäuse 81 abgehoben, und die Kathodenstrahlröhre wird aus ihrer Halterung gelöst und aus der Maschine genommen. Hierauf wird eine Fassung (nicht dargestellt) mit den Fußzuleitungen 31 in Verbindung gebracht, ein Gettermaterial (nicht dargestellt) in der Röhre wird entzündet, und das System

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35 wird einem Elektrodenbehandlungsprogramm unterworfen, welches Schritte zur Kathodenaktivierung, elektrischen Alterung und zum Abfunken enthält.

Beim hier beschriebenen Beispiel erfolgt die HF-Aufheizung zur Oxidation des oberen Teils der G3-Elektrode nahe dem Beginn des Heizzyklus¹. Es hat sich gezeigt, daß dieses Verfahren (Aufheizen des Teils der G3-Elektrode während der Anfangsstufe des Auspumpens, wenn der Partialdruck des Sauerstoffs etwa 1 bis 3 Torr beträgt) zu einem sehr viel geringeren Prozentsatz an Kathodenstrahlröhren mit Nachglühbereitschaft führt. Die Gründe hierfür sind nicht völlig klar. Das Verfahren bewirkt eine dünne Schicht von Hetalloxid an denjenigen Teilen des Systems, wo sich vermutlich Feldemissionsstellen befinden.

In einer Reihe von Versuchen wurde der obere (der Anode zugewandte) Teil der G3-Elektrode für zwei Minuten im Vorvakuum während des Auspumpens der Kathodenstrahlröhre auf 70O⁰C erhitzt und dann auf Raumtemperatur und -druck zurückgebracht. Wahrend des Heizvorgangs betrug der Gasdruck etwa 10 Torr mit einem Sauerstoff-Partialdruck von etwa 2 Torr. Diese Bedindungen hatten zur Folge, daß die Oberfläche der G3-Elektrode helübraun verfärbt war, als man sie bei Raumtemperatur betrachtete. Nachdem die Röhre dann anschließend in der üblichen Weise behandelt, ausgepumpt und abgeschmolzen worden war, blieb die Verfärbung, und die Löschspannung betrug etwa 35 Kilovolt. Die Löschspannung ist die höchste restliche Spannung zwischen der G3-Elektrode und der Anode, bei welcher mit bloßem Auge kein Nachglühen 2U erkennen ist. Die Löschspannungs-Prüfung wird in einem dunklen Raum mit dem auf die Dunkelheit adaptierten Auge durchgeführt. Beobachtet man ein Nachglühen der Kathodenstrahlröhre, dann ist die Löschspannung gewönnlich niedriger als 25 Kilovolt. Nach der Prüfung wurde die G3-Elektrode durch HF-Energie in niedrigem Vakuum von weniger als 10~5 Torr für etwa 15 Minuten auf 800°C erhitzt. Dies

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führte zu keiner merklichen Farbänderung an der G3-Elektrode.

Es ist bekannt, daß ein Oxidfilm auf einer Metalloberfläche die Austrittsarbeit der Oberfläche erhöht, so daß die Energieschwelle für Elektronenemission angehoben und dadurch das Nachglühen vermindert wird. Einige Oxide sind bei normalen HP-Heiζtemperaturen in einem Vakuum flüchtig, so daß ein Oxidverlust stattfindet und die Nachglühbereitschaft stärker wird. Das erfindungsgemäße Verfahren führt an der G-3-Elektrode zu einer Metall oxidschicht, die im Vakuum bei diesen normalen HP-Heiztemperaturen praktisch nicht flüchtig ist. Das Verfahren kann mit Erfolg bei allen Metallen oder Legierungen durchgeführt werden, die ein Oxid bilden, welches während der nachfolgenden Behandlung nicht verdampft .

Wenn die Elektroden wie in Kathodenstrahlröhren allgemein üblich aus rostfreiem Stahl bestehen, dann werden während der normalen Behandlung bei Temperaturen unterhalb 500 C hauptsächlich Eisenoxide gebildet (vgl. die Veröffentlichung von Betz u.a. im Journal of Applied Physics 45, 1974-, 5312-5316). Diese Eisenoxide verdampfen im Vakuum bei Temperaturen über 500⁰O und verschwinden daher während der späteren Stufen der gewöhnlichen Behandlung der Kathodenstrahlröhre, so daß die fertige Röhre ein stärkeres Nachglühen zeigt. Der sich bei höheren Temperaturen (z.B. 700°-800°0)bildende Oxidfilm besteht vorherrschend aus Chromixid, welches unter den üblichen Bedindungen der Evakuierung und HP-Aufheizung nicht verdampft. Eine mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Kathodenstrahlröhre behält daher einen Me talloxidfilm und zeigt somit ein geringeres Nachglühen.

Um den verwendeten Grad der Oxidation für eine G3-Elektrode aus rostfreiem Stahl zu klassifizieren, wurde eine Reihe von G3-Prüflingen in Luft für 30 Minuten auf verschiedene Temperaturen gebracht, wie es die untenstehende Tabelle zeigt.

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Es wurden Röhren zusammengesetzt, und die G3-Elektrode jeder Röhre wurde im Vorvakuum durch HF-Beheizung oxidiert, um die Oberflächenfarbe auf die Farbe der Prüflinge Nr. 1, 3 und 2 zu bringen. Alle diese Röhren hatten Löschspannungen von 34- Kilovolt oder mehr. Das heißt, jede Oberflächenverfärbung durch das erfindungsgemäße Verfahren ist als vorteilhaft anzusehen.

TABELLE
10

Prüfling	Erhitzung in Luft	spätere Farbe
Nr.	für 30 Minuten bei
1	35O⁰C	hellgelb
2	4-02⁰C	gelb
3	448°C	hellbraun
4	504⁰C	kupferfarben
5	556⁰C	purpur

Die dünne Oxidschicht an der G3-Elektrode kann schnell "beschädigt werden, wenn ein metallenes Werkzeug wie z.B. die bei der Herstellung der Elektronenkanonen zum Ausrichten verwendete Einspannvorrichtung über die Elektrodenoberfläche gleitet. Aus diesem Grund erfolgt die Oxidation vorzugsweise erst dann, wenn das System der Kathodenstrahlröhre vollständig zusammengesetzt ist. Die Dicke des Oxids ist eine Funktion der Heiztemperatur, der Heizzeit und des Sauerstoff-Partialdrucks. Wenn die Oxidation bei den erwähnten höheren Temperaturen unter Atmosphärendruck erfolgen würde, dann würde sich die Oxidschicht in einer Zeit aufbauen, die zu kurz für eine wirksame Verfahrenskontrolle wäre. Eine zu dicke Oxidschicht an der G3-Elektrode würde einen elektrisch isolierenden Belag ergeben, der unerwünscht ist, weil er die einwandfreie Funktion der Elektronenkanone beeinträchtigen kann. "Elektrisch isolierend" heißt in diesem Zusammenhang, daß die Schicht Ladung für einige Minuten speichert. Wenn andererseits der Sauerstoff druck zu niedrig ist, wird zur Bildung der gewünschten Schicht eine unpraktisch lange Zeit

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benötigt. Es ist erwünscht, die Oxidation so lange erfolgen zu lassen, bis eine gelbliche Oxidschicht entstanden ist. Dies läßt sich erreichen durch eine etwa 2 Minuten dauernde Erhitzung auf etwa 800⁰C bei einem Luftdruck von 10 Torr (2 Torr Sauerstoff). Die Oxidierung könnte auch in einem regulären Ofen bei Atmosphärendruck (760 Torr) zum Beispiel in einer Mischung von 10 Torr Luft und 750 Torr Argon erfolgen.

Claims

Pat entansprüche

Verfahren zum Herstellen einer Kathodenstrahlröhre, die einen Kolben und darin dicht eingeschlossen ein eine Vielzahl von im Abstand hintereinander angeordneten Elektroden enthaltendes System aufweist, welches zunächst zusammengesetzt und dann in den Kolben eingeschlossen wird, worauf Gase aus dem Kolben bis auf

—kleinen niedrigen Druck unterhalb 10 Torr ausgepumpt werden und leitende Teile des Systems bei diesem niedrigen'Druck auf eine maximale Temperatur oberhalb etwa 450°C erwärmt werden, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Erreichen des niedrigen Drucks mindestens ein Teil einer der Elektroden (G3) des Systems (35) selektiv auf eine über der erwähnten maximalen Temperatur liegende höhere Temperatur erhitzt wird, und zwar in einer einen Sauerstoff-Partialdruck aufweisenden Atmosphäre und für eine Zeit-

dauer, die genügend lang ist, um die Oberfläche des "betroffenen Elektrodenteils derart zu oxidieren, daß sie im wieder abgekühlten Zustand eine sichtbare Verfärbung zeigt, während die erwähnte Zeitdauer jedoch nicht ausreicht, um eine elektrisch isolierende Schicht an der erwähnten Oberfläche zu bilden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der betroffene Elektrodenteil selektiv erhitzt wird, in= dem er während der ersten Stufen des Auspum ρ Vorgangs durch Hochfrequenzenergie beaufschlagt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der betroffene Elektrodenteil selektiv erhitzt wird«, indem er vor dem Auspumpvorgang durch Hochfrequenz«= energie beaufschlagt wird.
M-. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der betroffene Elektrodenteil einer Elektrode zugewandt ist, an welche die Anodenspannung der Kathodenstrahlröhre (21) anzulegen ist.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der betroffene Elektrodenteil selektiv auf höhere Tempa=> raturen im Bereich von etwa 700° bis 800 C erhitzt wircU
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die betroffene Elektrode (G3) aus einer Metall-Legierung besteht, die einen wesentlichen Anteil eines Metalls hält, welches ein Oxid bildet, das einen niedrigen druck bei den erwähnten höheren Temperaturen hat.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Sauerstoff-Partialdruck im Bereich von etwa 1 bis 3 Torr liegt.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß

— 3 ca

der "betroffene Elektrodenteil für etwa zwei Minuten auf eine Temperatur von etwa 800 C erhitzt wird und daß der Sauerstoff-Partialdruck etwa 2 Torr beträgt.