DE3247831A1 - Verfahren und geraet zur herstellung eines abriebfesten magnetischen aufzeichnungsprodukts - Google Patents

Verfahren und geraet zur herstellung eines abriebfesten magnetischen aufzeichnungsprodukts

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    • G11B5/84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers

Description

Verfahren und Gerät zur Herstellung eines abriebfesten magnetischen Aufzeichnungsprodukts
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines ferromagnetischen Aufzeichnungsprodukts mit einem Magnetfilm, dessen Abriebfestigkeit durch Vakuum aufdämpfung eines Schmiermittels einer höheren Fettsäure oder eines ihrer Metallsalze verbessert ist.
Seit kurziem ist ein magnetisches Auf zeichnungspr-odukt wie beispielsweise ein Magnetband, eine Magnetplatte oder dgl. bekannt, welche ein ausgezeichnetes Aufzeichnungsvermögen hoher Dichte besitzt und dadurch erhalten wird, daß ein Magnetfilm aus Metall oder Metalloxid wie beispielsweise ein durch Schrägeinfall aufgedampfter Magnetfilm, ein vertikal niedergeschlagener Co-Cr-Magnetfilm, ein mit £*"-Fe^Oo zerstäubter Magnetfilm, ein mit BaO-Fe^O^ zerstäubter Magnetfilm oder dgl. auf einer Oberfläche eines nichtmagnetischen Substrats gebildet wird, welches aus Kunstharz oder dgl.
besteht.
Um die Abriebfestigkeit des Magnetfilms zu verbessern, haben die Erfinder dieser Anmeldung früher ein Verfahren zur Herstellung eines verbesserten abriebfesten magnetischen Auf-Zeichnungsprodukts vorgeschlagen, bei welchem ein aufgedampfter Uberzugsfilm eines Schmiermittels einer höheren Fettsäure oder eines ihrer Metallsalze dünn und fest auf dem Magnetfilm gebildet wird durch einen Vakuumaufdampfschritt. (Japanische PA Nr. 19615/Showa 53, 1978 und Japanische PA Nr. 62279/Showa 53, 1978). Es hat sich aber herausgestellt, daß der Oberflächenzustand des Magnetfilms einen empfindliehen Einfluß auf die Haftfestigkeit des Aufdampffilms
* der höheren Fettsäure oder ihres Salzes an dem Magnetfiljn hat, insbesondere dann, wenn der Magnetfilm einmal mit der Außenluft in Kontakt gebracht wird; das führt dazu, daß Wasserdampf, Np, Staub oder anderes Verunreinigungsmaterial an der Oberfläche des Magnetfilms haftet, und wenn bei. einem Magnetfilm mit einer solchen verunreinigten Oberfläche eine Vakuumaufdampfung des Schmie-rmitte.1 s vorgenommen wirdf wird nur ein abriebfestes magnetisches· Aufzeichnungsproduk£, erhalten, bei welchem der aufgedampfte Uberzugsfilm des Schmiermittels bei den verunreinigten Stellen eine verminderte Haftfestigkeit aufweist und als Ganzes leicht abgeht, also schlechte Hafteigenschaften aufweist und anders ausgedrückt eine mäßige Abriebfestigkeit besitzt.
Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines magnetischen Aufzeichnungsprodükts, welches den genannten Mangel nicht aufweist und eine verbesserte Abriebfestigkeit besitzt mit einem aufgedampften Schmiermittelfilm, der fest an der Oberfläche eines magnetischen Aufzeichnungsfilmshaftet; das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß im Anschluß an das Bilden eines Magnetfilms auf der Oberfläche eines .· Substrats in einem Vakuumbehälter eine Aufdampfung eines. Schmierfilms auf der Oberfläche des Magnelfllms in' diesem Vakuumbehälter durchgeführt wird.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren besitzt der Magnetfilm,, welcher durch Vakuumaufdampfung gebildet ist und nicht ins Freie genommen wird, noch eine sehr aktive Oberfläche und wird nicht durch einen Verunreinigungsstoff verunreinigt, und dementsprechend wird der Film anstatt ihn wie bei dem herkömmlichen Verfahren als Produkt herauszunehmen, in dera Vakuumbehälter gehalten, und im Anschluß an den genannten Schritt wird die Vakuumaufdampfung des Schmiermittels dupchge'führt; folglich kann der Niederschlag durch eine sehr starke chemische Adsorptionskraft mit dem Magnetfilm kombiniert werden.
■ *· Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnungen beschrieben. Es zeigt:
Fig. 1 eine Seitenschnittansicht eines Gerätes zur Durch- Λ führung des erfindungsgemäßen Verfahrens; Pig. 2 eine Seitenschnittansicht eines weiteren Gerätes; •und
Fig. 3 eine Seitenschnittansicht noch eines weiteren Gerätes.
In Figuf^1 bezeichnet das Bezugszeichen A ein Behandlungsgerät' zur Vakuumaufdampfung; das Gerät A umfaßt einen Vakuumbehälter 1 und Rollen 2,2, die rechts und links in einem oberen Abschnitt des inneren des Vakuumbehälters 1 angeordnet sind; ein Antriebsmotor 3 ist über einen Riemen mit einer der Rollen 2 verbunden, und ein Substrat 4- in Form eines Bandes, das in gestrecktem Zustand zwischen den Rollen 2,2 angelegt ist, läuft mit vorbestimmter Geschwindigkeit. Das Substrat 4· besteht aus einem Polyesterfilm von 25vun Dicke
und ist beispielsweise in gewickelter Form auf der Rolle 2 angebracht, die als Zuführrolle auf der rechten Seite dient und ist so eingerichtet, daß es durch die Rolle 2 auf der linken Seite aufgenommen wird, die als Aufnahmerolle dient; während dieses Laufs zwischen den Rollen 2,2 läuft das bandfb'rmige Substrat 4· in einer Bogenform, wobei es von der Utiifangsfläche einer runden Drehtrommel 5 von großem Dureh- - messer, gehalten wird, die unter dem xMittelabschnitt der zwei Rollen 2,2 angeordnet ist. Unterhalb der Drehtrommel 5 ist eine Trennplatte 6 zur Unterteilung in einen rechten und
einen linken Raum 1a,1b vorgesehen, und zwischen der Drehtrommel 5 und einer Vorderwand 6a der Trennplatte 6 wird ein enger Durchgang 6c gebildet; der Raum 1a auf der rechten Seite ist als Verdampfungsraum für eine magnetische Substanz aufgebaut, welcher in seinem unteren Abschnitt mit einer· Elektronenstrahl-Heizquelle 7 zum Verdampfen einer magnetischen Substanz versehen ist, und der Raum 1b auf der linken Seite ist als Schmiermittel-Verdampfungsraum aufgebaut und
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in seinem unteren Abschnitt mit einer Heizeinrichtung 8, versehen zum Verdampfen des Schmiermittels wie zum Beispie.1 einer Art von Fettsäure oder deren Metallsalzen, Amiden oder Estern. Die Elektronenstrahl-Heizquelle 7 enthält in einem Hohlraum die magnetische Substanz 9 wie beispielsweise Co-30^ Ni oder eine andere ferromagnetische Substanz, so daß die Substanz 9 durch den Elektronenstrahl erhitzt und verdampft werden kann und ein schräg einfallender aufgedampfter Magnetfilm auf dem von der Rolle 2 herunterkommenden Bandsubstrat K gebildet werden kann. Die Heizeinrichtung 8 ist auf der inneren Umfangsfläche einer hohlen kreisförmigen Wand mit einem gewickelten Heizdraht 20 versehen, so daß das Schmiermittel 11, welches in einem Tiegel enthalten, ist, der in die Mitte eines oben offenen Hohlraumes der "kreis* fö'rraigen Wand gestellt ist, erhitzt und verdampft werden , kann, und daß eine Aufdampfung des Schmiermittels auf eine Oberfläche des Magnetfilms ausgeführt werden kann, der vorher gebildet worden ist und in seinem "Lauf den untersten Bereich der Bogenfläche der Trommel 5 erreicht.
Durch einen Infrarotheizer 12 kann ein resultierendes Magnetband a geeignet erhitzt werden, um das Schfilierniittel daran zu Hindern, sich, übermäßig darauf niederzüäöhi&|ön. Das Bezugszeichen 13 bedeutet ein Paar Thermostaten zum Messen der Oberflächentemperatur des Bandsubstratmaterials, die Bezugs·^ zeichen 14 bezeichnen eine Abschirmplatte, die horizontal · unterhalb der jeweiligen Rollen 2 angordnet ist, so daß an" diesen keine verdampften Substanzen haften, und das Bezugszeichen 15 bezeichnet eine Evakuierungsöffnung, die mit .
einem Evakuier apparat wie beispielsweise einer Vakuumpumpe: (nicht gezeigt) verbindet.
Ein Beispiel für das erfindungsgemäße Verfahren unter Verwendung des beschriebenen Gerätes wird nachfolgend erläutert?
"'..'■■'
Unter der Bedingung, daß das Innere des Vakuumbehälters 1 beispielsweise auf einen Druck von 1 χ 10" Torr oder weniger gehalten wird, wird das Substratmaterial 4- von der einen Rolle 2 abgewickelt und läuft mit einer Geschwindigkeit von 20 cm/min; auf eine schräge· Oberfläche des Bandsubstrats 4·» welches in Bogenform entlang der Fläche der Trommel 5 herunterkommt, wird unter einem vorbestimmten Einfallswinkel ein Niederschlag eines Dampfes von metallischer magnetischer Substanz wie beispielsweise ein Co-30% Ni oder dgl. aufgebracht durch Erhitzen und Ansteigen aus der Elektronenstrahl-Heizquelle 7, die unterhalb der schrägen Fläche angeordnet ist, so daß der resultierende niedergeschlagene Film mit
einer Dickezunahme von 2000 A/min, erhalten werden kann, und auf diese Weise wird ein sogenanntes Magnetband a erzeugt, welches einen Magnetfilm durch auftreffenden Dampfniederschlag auf-weist. Dieser Magnetfilm ist beispielsweise so hergestellt, daß er eine Dicke von 2000 A, eine Sättigungsmagnetisierung von IO4.OO G und eine Koerzitivkraft von 900 Oe besitzt. Danach läuft das Magnetband a durch den engen Durchgang 6c zwischen der vorderen Abschirmwand 6a der Trennwand 6 und der Trommel 5, tritt in den Schmiermittel-Verdampfungsraum 1b und läuft entlang der unteren Fläche der Trommel 5 ' bei diesem Lauf werden Dämpfe des ansteigenden Schmiermittels, welches durch Erhitzen des Schmiermittels durch die unterhalb der Trommel 5 angeordnete Heizeinrichtung 8 erzeugt werden, auf einer Fläche des vorher gebildeten Magnetfilms mti einer Geschwindigkeit von 100 A/min an Dicke niedergeschlagen, und auf der Oberfläche wird ein sehr dünner Aufdampfungsfilm des Schmiermittels gebildet, dessen
Dicke im Bereich von einigen A bis einigen hundert A liegt, so daß ein abriebfestes magnetisches Aufzeichnungsband er- zeugt wird und durch die Rolle 2 auf der anderen Seite aufgenommen wird und damit die Herstellung des Produkts beendet wird.
Wenn im Laufe des geschilderten Herstellprozesses der Mag-
. netfilm des Magnetbandes a mit dem Dampfniederschlag des
Schmiermittels versehen wird, wobei er durch den Infrarot-Heizer 12 auf etwa über 60 C erhitzt wird, kann ein sehr dünner Dampfniederschlag des Schmiermittels gebildet werden, welcher eine gute Haftung an dem Magnetfilm zeigt. Falls eine Fläche des Magnetfilms eine oxidierte Fläche ist, kann der Dampfniederschlag des Schmiermittels fester daran haften, und es kann ein magnetisches Aufzeichnungsprodukt erhalten werden, welches noch weiter in der Abriebfestigkeit verbessert ist /wie sich durch einen Vergleichste.st herausge-
/Um
stellt hat. die Abriebfestigkeit weiter zu verbessern, ist es erforderlich, eine Fläche des durch den'Dampfniederschlag irgendeines magnetischen Metalls gebildeten Magnetfilm zu oxidieren, bevor der Aufdampfungsfilm des Schmiermittels darauf gebildet wird, wogegen es nicht erforderlich ist, dies zu tun, wenn der Magnetfilm durch Dampfniederschlag von Oxid irgendeines Magnetmetalloxids gebildet ist. Daher ist es erforderlich, einen Oxidierbehandlungsschritt zwischen die zwei aufeinanderfolgenden Behandlungsschritte des obigen Beispiels zwischenzuschalten. Ein Gerät zur Durchführung eines bevorzugten Beispiels dafür ist in Figur 2 gezeigt.
Wis aus Figur 2 ersichtlich, ist zusätzlich zu. dem gesaraten Aufbau des Gerätes zur Durchführung des in Figur 1 gezeigten Beispiels insbesondere eine Oxidierbehandlungseinrichtüng vorgesehen. Und zwar ist eine Oxidiereinrichtung 16 zwi*- schen die Elektronenstrahl-Heizquelle 7 und die Schmier- ' mittelverdampfungs-Heizeinrichtung 8 zwischengeschaltet. Die Oxidiereinrichtung besteht aus einem Zuführrohr 17 für ein oxidierendes Gas wie zum Beispiel Sauerstoff oder dgl. und einer Elektrodeneinrichtung 18 für Ionenbeschuß. Das vordere Ende des Zuführrohres 17 ist zu einer Abgabekammer 17a mit einer Mündungsoffnung ausgebildet, die zu der unteren Fläche· der Trommel 5 und entlang dieser Fläche weit geöffnet ist, und die Elektrode 18a aus einer rostfreien Gitterform ist in der Abgabekammer 17a enthalten und steht entlang der unteren Fläche der Trommel 5 dieser gegenüber
■*· und ist so ausgelegt, daß eine Gleichspannung von beispielsweise -500 V durch eine Gleichstromquelle 18b angelegt wird, die außerhalb angeordnet ist, so daß Sauerstoffgas von beispielsweise 2 χ 10 Torr, das von dem Zufuhrrohr 17 in die S Abgabekammer abgegeben wird, einer Wirkung eines Ionenbe--Schusses mit dem Magnetfilm unterworfen werden kann, und dadurch kann die Oberfläche der metallischen Magnetfilmfläche des Magnetbandes a oxidiert werden, um eine Oxidschicht zu bilden. Auf diese Weise durchläuft der Magnetfilm bei der Vorwärtsbewegung des Bandes a mit seiner oxidierten Oberfläche die Vakuumverdampfungsablagerung des Schmiermittels, das von der Schmiefmittelverdampfungs-Heizquelle 8 aufsteigt. In der Zeichnung bezeichnet das Bezugszeichen 19 ein Ventil» welches in das Gaszuführrohr 17 eingeschaltet ist, um die Menge des eingeleiteten Gases einzustellen.
In dem Vakuumbehälter werden also der Magnetfilmbildungsschritt, der Schritt der Oxidation desselben sowie der Schritt der Verdampfungsablagerung des Schmiermittels nacheinander ausgeführt, so daß einfach und mit gutem Wirkungsgrad ein magnetisches Aufzeichnungsprodukt hergestellt werden kann, welches eine sehr ausgezeichnete Abriebfestigkeit besitzt.
Nachfolgend werden die charakteristischen Merkmale der geschilderten erfindungsgemäßen Verfahren durch die Ergebnisse von Vergleichstests verdeutlicht, die in der nachfolgenden Tabelle gezeigt sind.
Probe Herstellverfahren
Lebensdauer bei-
Schmiermittel Standwidergabe /
(still reproducing life), min
5 Nr. 1 Nur Magnetfilmbildung
Nr. 2 Nach der Magnetfilm- Stearinsäure bildung wird das Band
einmal ins Freie ge- Lithiumstearat nommen und dann das
Schmiermittel unter
Vakuum darauf niedergeschlagen
18 85
Nr. 3 Erfindungsgemäßes Ver- Stearinsäure fahren; unter Verwendung des Gerätes in
Fig. 1
Lithiimstearat
65 135
Nr. A Erfindungsgemäßes
Verfahren unter Verwendung des Gerätes in Fig. 2
Stearinsäure
Lithium s tear at
über 180 über 180
Wie aus der Tabelle hervorgeht, besitzen die Produkte gemäß den erfindüngsgemäßen Verfahren eine stark verbesserte Ab-riebfestigkeit, und insbesondere die Produkts, die durch Dampfniederschlag des Schmiermittels nach Bildung der oxidierten Schicht des magnetischen Metallfilms erhalten worden sind.
Fig. 3 zeigt ein abgewandeltes Beispiel des Verfahrens unter Verwendung einer weiteren Einrichtung, welches im wesent- liehen den gleichen Aufbau hat wie das in Fig. 2 gezeigte Beispiel, abgesehen von den folgenden Merkmalen. Der Vakuumbehälter 1 ist durch die vertikale Trennplatte 6c
und die horizontale Abschirmplatte 14- in drei einzelen Räume >;, 1a,1b und 1c unterteilt, um einen kleinen Durchgang 14-a zwischen der Abschirmplatte 14 und der Trommel 5 zu lassen,· wobei der Raum 1c die Rollen 2,2 enthält und die drei Räume 1a,1b und 1c mit einzelnen Evakuieröffnungen 15a,i5bund 15c · versehen sind,
• « β
«so* ca ««« .»
1 O X
!welche über ihre jeweiligen Steuerventile 21a,21b und 21c mit ihren jeweiligen Evakuiereinrichtungen wie beispielsweise (nicht gezeigten) Vakuumpumpen verbinden, so daß in den jeweiligen Räumen 1a,1b, 1c individuelle Vakuumbedingungen erhalten werden können. Das Bezugszeichen 1 4-a bezeichnet einen kleinen Durchgang, der zwischen der Platte 14- und der Trommel 5 gebildet ist. Beispielsweise wird der Raum 1c zum Aufnehmen der Rollen 2 durch Evakuieren auf einem Druck von 1 χ 10 Torr gehalten, und die Räume la und 1b werden durch Evakuieren unter einem' Druck von 1 χ 10 Torr gehalten, so daß sichergestellt ist, daß das durch die Rolle in dem Raum 1c aufgewickelte magnetische Aufzeichnungsprodukt in gutem Zustand frei von irgendwelchen Fremdöder Verunreinigungen erhalten wird. Natürlich können die Vakuumbedingungen in den Räumen 1a und 1b voneinander verschieden sein. Das Verfahren der Erfindung ist im einzelnen erläutert worden für den Fall der Anwendung auf einen Mag-• netfilm mit dem schräg auftreffenden Dampfniederschlag, aber natürlich ist die Erfindung auch anwendbar auf einen Magnetfilm mit vertikalem Niederschlag oder irgendeinem anderen Magnetfilm, der durch einen anderen Prozess beliebiger Art aus Magnetmetallen oder Magnetmetalloxiden gebildet wird, und das Substratmaterial beschränkt sich nicht auf das Band, sondern es kann auch eine Platte oder andere Form verschiedener Arten von Materialien verwendet werden.
Als Schmiermittel kommen höhere Fettsäuren sowie deren Metallsalze, Amide und Ester infrage, welche sämtlich Schmelzpunkte oberhalb der Zimmertemperatur haben., das heißt, oberhalb 30 C und vorzugsweise oberhalb etwa 50 C. Beispielsweise werden gesättigte höhere Fettsäuren mit mehr als 10 C-Atomen verwendet wie beispielsweise Eaprinsäure, Laurinsäure, Myristinsäure, Palmitinsäure, Stearinsäure, Oleinsäure, Arachidinsäure,. Becheninsäure,Lignocerinsäure,
gg Zerotinsäure, Montansäure und so weiter, Metallsalze ungesättigter höherer Fettsäuren und gesättigter höherer Fettsäuren wie beispielsweise Lithiumoleinat, Natrium-, Kalium-, Barium- oder Alumxniumstearat, Aluminiumlaurat, Amide
^- derselben wie zum Beispiel Stearinamid, Palmitinamid, Bechenamid, sowie Ester wie zum Beispiel Heracosyl-Bechenatester usw.
Erfindungsgemäß wird also, nachdem ein Magnetfilm auf der Oberfläche eines Substratmaterials gebildet ist, um ein magnetisches Aufzeichnungsprodukt in einem Vakuumbehälter herzustellen, das magnetische Aufzeichnungsprodukt nicht nach außen herausgenommen und wird statt dessen in dem Vakuumbehälter zurückgehalten, und anschließend an den obigen Schritt wird ein Vakuumverdampfungsniederschlag eines Schmiermittels auf der Oberfläche des Magnetfilms gebildet, so daß eine sehr starke chemische Absorbtion und Haftung ' des niedergeschlagenen Schmiermittelfilms an dem Magnetfilm bewirkt werden kann und ein magnetisches Aufzeichnungspror dukt erhalten werden kann, dessen Abriebfestigkeit verbessert ist. Außerdem ist in dem Fall, in welchem der Magnetfilm aus einem Magnetmetalloxid hergestellt ist, die chemische Adsorbtion des Schmiermittels durch die Oxidationsschicht an dem Magnetfilm stärker; aber insbesondere in dem Fall, in welchem der Magnetfilm aus einem Magnetmetall besteht und im Anschluß an den Schritt der Bildung des Magnetfilms auf der Substratmaterialoberfläche der IanenbeSöhüß durch Oxidierendes Gas auf die Magnetfilmfläche angewandt wird, so daß eine oxidierte Schicht darauf geformt werden kann, und im Anschluß an diesen Schritt der Vakuumverdampfungsniederschlag des Schmiermittels auf der oxidierten Fläche des Magnetfilm durchgeführt wird, wird eine noch festere chemische Adsorbtionhaftung des Schmiermittels an dem Magnetfeld
ο« erhalten.
Der Patentanwalt

Claims (1)

  1. PATENTANWÄLTE *
    MITSCHERLICH · GUNSCHMANN ■ KÖRBER ■ SCHMIDT-EVERS ZUGELASSENE VERTRETER BEIM EUROPÄISCHEN PATENTAMT ■ PROF. REPRESENTATIVES BEFORE THE EUROPEAN PATENT OFFICE
    MANDATAIRES AGREES PRES L'OFFICE EUROPEEN DES BREVETS
    Dipl.-Ing. H. Mitscherüch
    Dipl.-lng. K. Gunschmann
    Dipl.-Ing. Dr. rer. nat W. Körber
    Dipl.-lng. J. Schmidt-Evers
    Steinsdorfstraße 10
    NIHON SHINKU GIJUTSU KABUSHIKI KAISHA D-8000 München 22
    No. 2500, Hagizono, Chigasaki-shi, Telefon (089) 29 66 84-86
    Kanagawa-ken / Japan Ieteu ^23.?? ΠΊίίΐί
    to Psch-Kto. Mchn 195 75-803
    EPA-Kto. 28 000 206
    23. Dezember 1982
    Ansprüche:
    /Ty Verfahren aur Herstellung eines abriebfesten magnetischen-Aufzeichnungsprodukts, dadurch gekennzeichnet, daß im Anschluß an das Bilden eines Magnetfilms auf der Oberfläche eines Substrats in einem Vakuumbehälter eine Aufdampfung eines Schmieritiittelfilms auf der Oberfläche des Magnetfilms in diesem
    Vakuumbehälter durchgeführt wird.
    2* Verfahren zur Herstellung eines abriebfesten magnetischen Aufzeichnungsprodukts, dadurch gekennzeichnet, daß im Anschluß an das Bilden eines metallischen Magnetfilms auf der Oberfläche eines Substrats in einem Vakuumbehälter eine Oxidierung der
    Oberfläche des Magnetfilms mit einem oxidierenden Gas mittels Ionenbeschuß desselben durchgeführt wird und danach eine Aufdampfung eines Schmiermittels auf die Oberfläche des resultierenden oxidierten Magnetfilms in diesem Vakuumbehälter durchgeführt wird.
    3j Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Schmiermittel eine aus höheren Fettsäuren und deren
    Metallsalzen, Amiden oder Estern ausgewählte Sorte ist.
    4.» Gerät zur Herstellung eines abriebfesten magnetischen
    Aufzeichnungsprodukts, dadurch gekennzeichnet, daß in einem
    Väkuumbehälter (1) ein Raum (1a) zum Aufdampfen einer
    magnetischen Substanz (9), ein Raum (1b) zum Aufdampfen eines Schmiermittels (11) und ein enger Durchgang (6c) zum Durchlaufen eines Substrats (4-) vorgesehen sind, so daß das Substrat (4-) durch den engen Durchgang (6c) hindurch der Reihe nach in den ersteren Raum (1a) und den letzteren Räum (1b) geführt wird.
    5. Gerät nach Anspruch 4-» dadurch gekennzeichnet, daß eine Oxidiereinrichtung (16) zwischen die beiden Räume (ia,Tb) zwischengeschaltet ist.
    6. Gerät zur Herstellung eines abriebfesten magnetischen Aufzeichnungsprodukts, dadurch gekennzeichnet, daß ein Vakuumbehälter (1) durch Trennplatten (6,14-) in drei Räume (1a,1b,1c) unterteilt ist, welche einen Raum (1a) zum Aufdampfen einer magnetischen Substanz (9)» einen Raum (1b) zum Aufdampfen eines Schmiermittels (11) und einen Raum (1c) zur Aufnahme einer Zuführrolle (2) und einer Aufnahmerolle (2) umfassen, und daß diese Räume mit ihren individuellen Eva- ; kuierungsöffnungen (15a, 15b, 15c) versehen sind, welche mit' jeweiligen Evakuiergeräten verbinden, so daß ein Substrat (4-)» welches auf der Zuführrolle .(2) angebracht ist, in dem Vaküumbehalter (1) der Reihe nach durch ehg-S Durchgänge (14.a,6c) in den Trennplatten hindurch zu dem Auf dampf ungsraum für die magnetische Substanz, dem Schmiermittelraum sowie der Aufnahmerolle (2) geführt werden kann, die in dem die Rollen enthaltenden Raum angebracht ist.
DE3247831A 1981-12-24 1982-12-23 Verfahren und Gerät zur Herstellung eines abriebfesten magnetischen Aufzeichnungsprodukts Expired DE3247831C2 (de)

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