DE3403276A1 - Integrierte halbleiterschaltung - Google Patents

Description

BESCHREIBUNG

Die Erfindung bezieht sich auf eine Technik, die bei Anwendung auf integrierte Halbleiterschaltungen effektiv ist, beispielsweise auf eine integrierte Halbleiter-Logikschaltung, deren Eingangs- und Ausgangspegel TTL-Pegel und deren interne Logik-Pegel CMOS-Pegel sind.

Figur 1 zeigt ein Blockschaltbild einer integrierten Halbleiter-Logikschaltung IC mit TTL-Pegeln als Eingangsund Ausgangspegel und CMOS-Pegel als interne Logik-Pegel; diese Schaltung wurde vor der vorliegenden Erfindung von

TO den Erfindern untersucht.

Die Schaltung IC nach Figur 1 weist einen Eingangspuffer 10 zur Pegelumsetzung von Eingangssignalen mit TTL-Pegeln an den Klemmen IN1, IN2, ... INn in Signale auf CMOS-Pegeln, einen internen Logik-Block 11 zur Ausführung von logischen Operationen auf den CMOS-Pegeln, sowie einen Ausgangspuffer 12 zur Pegelumsetzung der auf CMOS-Pegel befindlichen 7\usgangssignale des internen Logik-Blocks 11 in Ausgangssignale mit TTL-Pegeln an den Klemmen OUT1, OUT2, ...OUTm. Die einzelnen Schaltkreise 1O, 11 und 12 werden mit einer Versorgungsspannung VCC von 5 V gespeist und sind in geeigneter Weise geerdet.

Eine den Eingangsklemmen IN1, IN2, ...INn des Eingangspuffers 10 zuzuführende Hochpegel-Eingangsspannung ViHIO ist auf 2,0 V oder darüber eingestellt, während eine Niederpegleingangsspannung ViLIO auf 0,8 V, oder darunter eingestellt ist. Dementsprechend ist eine Eingangs-Schwellenspannung VithiO bezüglich den Eingangsklemmen IN1, IN2, ...INn des Eingangspuffers 10 auf 1,3 bis 1,5 V, also zwischen 0,8 und 2,0 V, eingestellt.

Andererseits sind die am Ausgang des 'Eingangspuffers 1O auftretenden Hochpegel- und Niederpegel-Ausgangsspannungen

VoHIO bzw. V0LIO so eingestellt, daß sie gleich sind den Hochpegel- bzw. Niederpegel-Eingangsspannungen V1HII bzw. ViLi1 des internen Logikblocks 11. Bezeichnet man die Schwellenspannungen eines P-Kanal-MOSFETs und eines N-Kanal-MOSFETs, die einen CMOS-Inverter in dem internen Logik-Block 11 bilden, mit VTP bzw. VTN sowie die Versorgungsspannung mit VCC, so werden die obigen Spannungen folgendermaßen eingestellt:

V0HIO = V1HII > VCC - IVTPI (1)

V0LIO = V1LII < VTN (2)

Liegt VCC bei 5 V, |VTP| bei 0,6 V und VTN bei 0,6 V, so werden V0HIO und ViH11 auf über 4,4 V sowie V0LIO und ViL11 auf unter 0,6 V eingestellt.

Demgemäß liegt die Schwellenspannung Vithi1 am Logik-Eingang des CMOS-Inverters in dem internen Logik-Block 11, bei etwa 2,5 V, was zwischen 0,6 und 4,4 V liegt.

In ähnlicher Weise werden die Hochpegel-Ausgangsspannung V0HI1 des internen Logik-Blocks 11 sowie die Hochpegeleingangsspannung V1H12 des Ausgangspuffers 12 auf über 4,4 V, die Niederpegel-Ausgangsspannung VoL11 des internen Logikblocks 11 und die Niederpegel-Eingangsspannung V1L12 des Ausgangspuffers 12 auf unter 0,6 V eingestellt, wobei die Schwellenspannung Vith12 des Logik-Eingangs des Ausgangspuffers 12 bei etwa 2,5 V liegt, was zwischen 0,6 und 4,4 V liegt.

Um die Ausgangssignale mit TTL-Pegeln zu erzeugen, ist die Hochpegel-r-Ausgangsspannung VoHi2 des Ausgangspuffers 12 auf 2,7 V oder darüber und seine Niederpegel-Ausgangsspannung V0LI2 auf 0,5 V oder darunter eingestellt.

Das Schaltbild nach Figur 2 zeigt einen von den Erfindern vor der vorliegenden Erfindung untersuchten Eingangspuffer 10, der aus P-Kanal-MOSFETs Mp1, Mp2, N-Kanal-MOSFETs Mn1, Mn2, Mn3 sowie eimern Widerstand Rp aufgebaut ist. Die Gate-, Source- und Drain-Elektroden der MOSFETs sind jeweils mit den Symbolen g, ε bzw. d bezeichnet.

Gemäß Figur 1 sind eine aus den FETs MpI und Mn1 aufgebaute erste CMOS-Inverterstufe sowie eine aus den FETs Mp2

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und Mn2 aufgebaute zweite CMOS-Inverterstufe in Kaskade geschaltet. Die Schaltungselemente Rp und Mn3 bilden eine Gate-Schutzschaltung zum Schutz der Gate-Isolierfilme der FETs Mp1 und Mn1. Eine an die Drain-Elektroden der FETs Mp2 und Mn2 der zweiten CMOS-Inverterstufe angeschlossene Ausgangskapazität Cs wird in ihrem Wert in Wirklichkeit von den Drain-Kapazitäten der FETs Mp2 und Mn2, die Verdrahtungs-Streukapazität zwischen dem Ausgang des Eingangspuffers 10 und dem Eingang des internen Logik-Blocks 11 sowie die Eingangskapazität des internen Logik-Blocks · 11 bestimmt.

Das Verhältnis W/L zwischen der Kanalbreite W und der Kanallänge L der verschiedenen MOSFETs ist auf folgende Werte eingestellt: Mp1 = 27/3,5; Mp2 = 42/3; Mn1 = 126/3,5; Mn2 = 42/3; und Mn3 = 15/3. Der Widerstand Rp ist auf einen Wert von 2 ΚΩ eingestellt.

Figur 3 zeigt die Abhängigkeit der Ausbreitungs-Laufzeiten tpHL und tpLH (Ordinate des Diagramms) des Eingangspuffers 10 in Figur 2 von der Ausgangskapazität Cs (Abszisse) dargestellt.

Wie in Figur 35 veranschaulicht, ist die erste Ausbreitungs-Laufzeit tpHL als diejenige Zeitspanne definiert, die zwischen dem Zeitpunkt, zu dem ein Eingangssignal INPUT seinen 15 %-Grenzwert überschreitet, und dem Zeitpunkt vergeht, zu dem ei,n Ausgangssignal OUTPUT von einem hohen auf einen niedrigen Pegel seinen 50 %-Grenzwert überschreitet.

Ferner ist die zweite Ausbreitungs-Laufzeit tpLH als diejenige Zeitspanne definiert, die zwischen dem Zeitpunkt, zu dem das Eingangssignal INPUT seinen 50 %-Grenzwert überschreitet, und dem Zeitpunkt vergeht, zu dem das Ausgangssignal OUTPUT vom niedrigen auf den hohen Pegel seinen 50 %-Grenzwert überschreitet. In Figur 35 ist mit tf eine Abfallszeit und mit tr eine Anstiegszeit bezeichnet.

Wie aus Figur 3 hervorgeht, beträgt die Abhängigkeit KHL (= AtpHL/ACs) der ersten Ausbreitungs-Laufzeit tpHL des Eingangspuffers 10 in Figur 2 von der Ausgangskapazität Cs etwa 0,8 ns/pF und die Abhängigkeit KLH (= AtpLH/ACs) der

zweiten Ausbreitungs-Laufzeit tpLH von der Ausgangskapazität Cs etwa 1,4 ns/pF. Beide Werte sind hoch.

Um die Eingangs-Schwellenspannung VithiO des Eingangspuffers 10 in Figur 2 auf etwa 1,3 bis 1,5 V einzustellen, werden die Verhältnisse W/L zwischen Kanalbreite und Kanallänge der FETs Mp1 und Mn1 der ersten CMOS-Inverterstufe stark unterschiedlich gemacht; um die Abhängigkeiten KHL und KLH der jeweiligen Ausbreitungs-Laufzeiten tpHL und tpLH von der Ausgangskapazität zu verringern, werden ferner die Verhältnisse W/L der FETs Mp2 und Mn2 der zweiten CMOS-Inverterstufe auf den hohen Wert von 42/3 eingestellt, um die Kanal-Leitwerte dieser FETs Mp2 und Mn2 zu erhöhen. Um die beiden Kapazxtätsabhängigkeiten KHL und KLH zu reduzieren, können die Verhältnisse W/L der FETs Mp2 und Mn2 der zweiten CMOS-Inverterstufe immer stärker erhöht werden. Aus dem nachstehend angegebenen Grund führt dies jedoch zu einer deutlichen Erhöhung im Platzbedarf des Eingangspuffers 10 auf der Oberfläche des betreffenden IC-Chips und stellt somit ein Hindernis für die Erhöhung der Integrationsdichte dar.

In der Technologie der Herstellung integrierter Schaltungen wird gegenwärtig die Strukturverfeinerung heftig vorangetrieben. Bei der heutigen, auf der Belichtung mit UV-Strahlung beruhenden Fotolithographie beträgt jedoch der untere Grenzwert für die Kanallänge L eines MOSFETs 3 μΐη. Um das Verhälntis W/L eines MOSFETs auf einen hohen Wert zu bringen, muß daher die Kanalbreite W auf einen außerordentlich hohen Wert eingestellt werden. Dadurch steigt letzten Endes der von einem MOSFET belegte Platz deutlich.

Der in dem Schaltbild nach Figur 4 dargestellte Ausgangspuffer 12, der von den Erfindern vor der vorliegenden Erfindung untersucht wurde, ist aus einem P-Kanal-MOSFET Mp4 und einem N-Kanal-MOSFET Mn4 aufgebaut. Wiederum sind die Gate-, Source- und Drain-Elektroden der MOSFETs mit den Symbolen g, s bzw. d bezeichnet.

In der integrierten Schaltung IC liegt das Ausgangssignal mit CMOS-Pegel von dem internen Logik-Block 10 an den Gate-Elektroden der FETs Mp4 und Mn4 des Ausgangspuffers 12. Die Klemme Nr. 30 wird mit der Versorgungsspannung VCC von 5 V gespeist. Um die Schwellenspannung Vith12 des Logik-Eingangs des Ausgangspuffers 12 auf etwa 2,5 V einzustellen, werden daher die Verhältnisse W/L der FETs Mp4 und Mn4 auf gleiche Werte eingestellt.

Figur 4 zeigt ferner eine TTL-Schaltung 14, die über die Klemme Nr. 35 der Versorgungsspannung VCC von 5 V gespeist wird. Das Ausgangssignal mit TTL-Pegel des Ausgangspuffers 12 wird an der Klemme Nr. 20 abgenommen und über die Klemme Nr. 32 einem Emitter des Viel-Emitter-Transistors Q1 der TTL-Schaltung 14 zugeführt.

Als TTL-Schaltungen sind der Standard-TTL-Kreis, die Schottky-TTL-Schaltung, die Schottky-TTL-Schaltung mit geringer Leistung sowie die weiterentwickelte Schottky-TTL-Schaltung mit geringer Leistung veröffentlicht worden. Die Charakteristiken dieser Schaltungen weichen natürlich etwas voneinander ab.

Das Ausgangssignal des Ausgangspuffers 12 muß eine große Anzahl von Eingängen der TTL-Schaltung 14 gleichzeitig und parallel ansteuern. Ein Kriterium für die Ansteuerfähigkeit besteht darin, daß die Schaltung in der Lage sein soll, zwanzig Eingänge von Schottky-TTL-Schaltungen mit niedriger Leistung parallel anzusteuern.

Liegt der Ausgang des Ausgangspuffers 12 auf seinem niedrigen Pegel, so fließt ein Niederpegel-Eingangsstrom IIL von 0,4 itiA von einem Eingang der Schottky-TTL-Schaltung geringer Leistung in die Drain-Source-Strecke des N-Kanal-MOSFETs Mn4 des Ausgangspuffers 12. Demgegemäß muß der FET Mn4 einen Gesamtstrom von 8mA führen, damit der Ausgangspuffer 12 die genannten zwanzig Eingänge auf den niedrigen Pegel ansteuern kann.

Andererseits muß, wie bereits erörtert, die Niederpegel-

Ausgangsspannung VoL12 des Ausgangspuffers 12 auf 0,5 V oder darunter liegen. Deshalb muß der Eingschalt-Widerstand RON des N-Kanal-MOSFETs Mn4 des Ausgangspuffers 12 auf einen kleinen Wert von etwa 0,5 V/8 mA = 62,5 Ω eingestellt werden.

Um den Einschaltwiderstand RON des FETs Mn4 auf einen derart niedrigen Wert zu bringen, muß das Verhältnis W/L des FETs Mn4 einen sehr großen Wert von 700/3 bis 1000/3 haben. Dabei müssen, wie oben angegeben, die Verhältnisse W/L der beiden FETs Mp4 und Mn4 gleiche Werte haben, um die Schwellenspannung Vith12 am Logik-Eingang des Ausgangspuffers 12 auf etwa 2,5 V einzustellen. Infolgedessen muß auch das Verhältnis W/L des P-Kanal-MOSFETs Mp4 des Ausgangspuffers 12 auf den sehr hohen Wert von 700/3 bis 1000/3 eingestellt werden.

Diese Tatsache bringt wiederum einen deutlichen Anstieg im Platzbedarf des Ausgangspuffers 12 auf der Oberfläche des IC-Chips mit sich und behindert die Erhöhung der Integrationsdichte. Außerdem verursacht sie aus dem folgenden Grund eine erhebliche Verringerung in der Schaltgeschwindxgkeit des internen Logik-Blocks 12.

Werden beide Verhältnisse W/L der beiden MOSFETs Mp4 und Mn4 des Ausgangspuffers 12 auf hohe Werte eingestellt, so nehmen die Gate-Kapazitäten dieser MOSFETs proportional hohe Werte an. Da die Gate-Kapazitäten der FETs Mp4 und Mn4 die Ausgangs-Lastkapazität des internen Logik-Blocks 12 bilden, bewirken diese Gate-Kapazitäten und der Ausgangswiderstand des internen Logik-Blocks 12 ein Absinken der Schaltgeschwindigkeit des internen Logik-Blocks 11.

Da ferner das Ausgangssignal des Ausgangspuffers 12 nicht nur von der externen Ausgangsklemme (Nr. 20) der integrierten Schaltung IC abgenommen sondern auch der großen Anzahl von Eingangsklemmen der TTL-Schaltung 14 über externe Verdrahtung zugeführt, wird, nimmt die Ausgangs-Lastkapazität Cx des Ausgangspuffers 12 oft einen sehr großen Wert an.

In dem Diagramm nach Figur 5 ist die Abhängigkeit der Ausbreitungs-Laufzeiten tpHL und tpLH (Ordinate) von der Ausgangs-Lastkapazität Cx (Abszisse) des Ausgangspuffers 12 in Figur 4 dargestellt. Wie aus Figur 5 ersichtlich, beträgt die Kapazitätsabhangxgkeit KHL (= AtpHL/ACx) der ersten Ausbreitungs-Laufzeit tpHL des Ausgangspuffers 12 in Figur etwa 0,3 ns/pF und die Kapazitätsabhängigkeit KLH (= AtpLH/ACx) der zweiten Ausbreitungs-Laufzeit tpLH etwa 0,17 ns/pF. Beide Werte sind groß.

Zusammenfassend weist also der den Ausgangspunkt für die vorliegende Erfindung bildende Eingangspuffer 10 nach Figur ■ folgende Probleme auf:

(1) Um die Abhängigkeit der Ausbreitungs-Laufzeiten des Eingangspuffers 10 von der Ausgangskapazität zu verringern, müssen die Verhältnisse W/L beider MOSFETs Mp2 und Mn2 der zweiten CMOS-Inverterstufe des Eingangspuffers 10 groß gemacht werden, was eine Erhöhung der Integrationsdichte behindert. Insbesondere dann, wenn es sich bei der integrierten Schaltung IC um eine solche des Master-Slice-Typs oder des Semi-Custöm-Gate-Array-Typs handelt, besteht die Möglichkeit, daß eine große Anzahl von Gate-Eingangsklemmen in dem internen Logik-Block 11 an den Ausgang des Eingangspuffers angeschlossen sind. Wird nun die Ausgangskapazität Cs des Eingangspuffers 10 sehr groß, so wird das genannte Problem ganz erheblich.

(2) Die erste Stufe des Eingangspuffers 10 wird von dem CMOS-Inverter Mp1, Mn1 gebildet. Daher reicht selbst bei Vorhandensein der aus den Schaltungselementen Rp und Mn3 aufgebauten Gate-Schutzschaltung die Druchbruchspannung der Gate-Isolierfilme beider MOSFETs Mp1, Mn1 gegen Spannungsspitzen von der Eingangsklemme IN1 nicht aus.

Weiterhin ist der den Ausgangspunkt der Erfindung bildende Ausgangspuffer 12 nach Figur 4 mit folgenden Problemen behaftet.

(3) Um die Schwellenspannung Vith12 des Logik-Eingangs

des Ausgangspuffers 12 auf etwa 2,5 V einzustellen, und die Stromabgabefähigkeit am Niederpegelausgang des Ausgangspuffers 12 zu erhöhen, müssen die Verhältnisse W/L beider MOSFETs Mp4 und Mn4 auf gleiche hohe Werte eingestellt werden, was wiederum eine Erhöhung der Integrationsdichte behindert. (4) Werden die Verhältnisse W/L beider MOSFETs Mp4 und Mn4 des Ausgangspuffers 12 groß gemacht, so steigen auch die Gate-Kapazitäten dieser MOSFETs. Diese Gate-Kapazitäten und der Ausgangswiderstand des internen Logik-Blocks 11 führt weiterhin zu einer Absenkung der Schaltgeschwindigkeit des internen Logik-Blocks 11. Insbesondere dann, wenn die Ausgangsstufe des internen Logik-Blocks 11 aus MOSFETs mit hohem Ausgangswiderstand aufgebaut ist, wird das Absinken der Schaltgeschwindigkeit zu einem deutlichen Problem.

(5) Da der Ausgangspuffer 12 aus den MOSFETs Mp4 und Mn4 aufgebaut ist, wird die Abhängigkeit der Ausbreitungs-Laufzeiten von der Ausgangs-Lastkapazität Cx groß. Insbesondere dann, wenn eine große Anzahl von Eingangsklemmen der TTL-Schaltung 14 an den Ausgang des Ausgangspuffers 14 angeschlossen ist, wird dieses Problem bedeutsam.

Die vorliegende Erfindung betrifft eine integrierte Halbleiterschaltung mit einem internen Logik-Block zur Erzeugung von Ausgangssignalen auf CMOS-Pegeln in Abhängigkeit von zugeführten Eingangssignalen auf CMOS-Pegeln, einen Eingangspuffer zur Pegelumsetzung, etwa TTL-CMOS-Pegelumsetzung, für den internen Logik-Block, und/oder einen Ausgangspuffer zur Pegelumsetzung, etwa CMOS-TTL-Pegelumsetzung. Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe kann darin gesehen werden, bei einer derartigen integrierten Schaltung die Integrationsdichte zu erhöhen, die Abhängigkeit der Arbeitsgeschwindigkeit des Eingangspuffers und/oder Ausgangspuffers von der Ausgangskapazität zu verringern, sowie diese Arbeitsgeschwindigkeit zu erhöhen.

Weitere Aspekte der der Erfindung zugrundeligenden Aufgäbe sowie Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung.

Typische Eigenschaften der Erfindung bestehen darin, daß in dem Pegelumsetzer eines Eingangspuffers zur TTL-CMOS-Pegelumsetzung für einen internen Logik-Block, der mit CMOS-Pegeln arbeitet, Ausgangstransistoren zur Aufladung 5 oder Entladung der Ausgangskapazitäten des Pegelumsetzers von Bipolartransistoren gebildet sind; dabei läßt sich das Ziel einer Verringerung der Ausbreitungs-Laufzeit des Ein-•gangspuffers sowie seiner Kapazitätsabhängigkeit aufgrund der Tatsache erreichen, daß der Bipolartransistor selbst dann, wenn er kleiner ist als ein MOSFET, einen geringeren Ausgangswiderstand und eine höhere Stromverstärkung aufweist, so daß er einen hohen Lade- oder Entladestrom erzeugen kann.

Ferner werden'in dem Pegelumsetzer einer Ausgangspuffers zur CMOS-TTL-Pegelumsetzung für einen internen Logik-Block, der mit CMOS-Pegeln arbeitet, Ausgangstransistoren zum Aufbzw. Entladen der Ausgangs-Lastkapazität des Pegelumsetzers von Bipolartransistoren gebildet, wobei sich das Ziel einer Verringerung der Ausbreitungs-Laufzeit des Ausgangspuffers sowie von dessen Kapazitätsabhängigkeit aufgrund der Tatsache erreichen läßt, daß der Bipolartransistor selbst dann, wenn er kleiner ist als ein MOSFET, einen geringeren Ausgangswiderstand und eine höhere Stromverstärkung aufweist _r so daß er einen großen Lade- bzw. Entladestrom erzeugen kann.

Bevorzugte Ausführungsbeipsiele der Erfindung werden nachstehend anhand der Zeichnungen näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen

Figur 1 ein Blockschaltbild einer integrierten Halbleiter-Logikschaltung IC, die von den Erfindern vor der vorliegenden Erfindung untersucht wurde;

Figur 2 ein Schaltbild eines ebenfalls vor der vorliegenden Erfindung untersuchten Eingangspuffers;

Figur 3 die Abhängigkeit der Ausbreitungs-Laufzeiten des Eingangspuffers nach Figur 2 von der Ausgangskapazität; Figur 4 ein Schaltbild eines vor der vorliegenden Erfindung untersuchten Ausgangspuffers;

Figur 5 die Abhängigkeit der Ausbreitungs-Laufzeit des Ausgangspuffers nach Figur 4 von der Ausgangs-Lastkapazität;

Figur 6 ein Blockschaltbild einer integrierten HaIbleiter-Logikschaltung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Figur 7 und 8 Schaltungsbeispiele für das CMOS-NAND-Glied 211 in der Schaltung nach Figur 6;

Figur 9 und 10 Schaltungsbeispiele für das CMOS-NOR-Glied 215, in der Schaltung nach Figur 6;

Figur 11 und 12 Schaltungsbeispiele für CMOS-R-S-Flipflops in dem internen Logik-Block 21 der Schaltung nach Figur 6;

Figur 13 ein Schaltungsbeispiel für ein CMOS-gesteuertes R-S-Flipflop in dem internen Logik-Block 21 in der Schaltung nach Figur 6;

Figur 14 bis 31 Schaltbilder für verschiedene Schaltungen des Pegelumsetzers 201 des Eingangspuffers 20 gemäß Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung;

Figur 32 bis 34 und 36 Schaltbilder von verschiedenen Schaltungen des Pegelumsetzers 221 des Ausgangspuffers 21 entsprechend Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung;

Figur 35 ein Diagramm der Eingangs- und Ausgangs-Signalverlaufe zur Bestimmung der ersten und der zweiten Ausbreitungslaufzeit tpHL; tpLH;

Figur 32 die räumliche Anordnung verschiedener Schaltungsblöcke auf der Oberfläche eines Halbleiterchips in einer integrierten Halbleiter-Logikschaltung entsprechend einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Figur 38 ein Strukturdiagramm zur Veranschaulichung der Verbindung eines Halbleiterchips mit der Anschlußleitung LT eines Leiterrahmens LF sowie des Anschlusses von Bonddrähten in einer integrierten Halbleiter-Logikschaltung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung; Figur 39 eine schematische Darstellung einer fertigen Schaltung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, nach dem Eingießen in Kunstharz; und

Figur 40 ein Blockschaltbild eines elektronischen Systems, das so aufgebaut ist, daß eine Schatlung gemäß . einem Ausführungsbeispiel der Erfindung sowie eine weitere Schaltung als Kompaktbaustein auf einer Leiterplatte ange-5 ordnet sind.

Die in dem Blockschaltbild..der Figur 6 dargestellte integrierte Schaltung umfaßt einen Eingangspuffer 20 zur TTL-CMOS-Pegelumsetzung, der eine Funktion ähnlich dem Eingangspuffer 10 nach Figur 1 ausführt, ferner einen internen Logik-Block 21·, der ähnlich wie der interne Logik-Block .11 in Figur 1 mit CMOS-Pegeln arbeitet, sowie einen Ausgangspuffer 22 zur CMOS-TTL-Pegelumsetzung, der eine Funktion ähnlich wie'der Ausgangspuffer 12 in Figur 1 ausführt. Die einzelnen Schaltungen 20, 21 und 22 werden über die Klemme Nr. 30 mit einer Versorgungsspannung VCC von 5 V beaufschlagt und sind über die Klemme Nr. 31 in geeigneter Weise geerdet. Der Eingangspuffer 20 weist eine Vielzahl von TTL-CMOS-Pegelumsetzern 201, 2O2, ... 20n auf, deren jeweilige Eingänge mit den Klemmen Nr. 1, Nr. 2 ... Nr. 19 und dessen jeweilige Ausgänge über Aluminium-Verdrahtungsschichten innerhalb der Schaltung IC mit dem internen Logik-Block 21 verbunden sind.

Der interne Logik-Block 21 enthält CMOS-NAND-Gleider bis 214, CMOS-NOR-GIieder 21(1-1), 21£ sowie, falls erforderlieh, CMOS-Antivalenzglieder, CMOS-Übertragungsglieder, CMOS-Inverter usw.

Wie in Figur 7 beispielsweise gezeigt, ist das CMOS-NAND-Glied 211 aus einer reinen CMOS-Schaltung aufgebaut, die P-Kanal-MOSFETs M1, M2 und N-Kanal-MOSFETs M3, M4 enthält. Als weiteres Beispiel kann das CMOS-NAND-GIied 211 als Quasi-CMOS-Schaltung aufgebaut sein, die außerdem gemäß Figur 8 NPN-Gransistoren Q1, Q2 sowie Widerstände R1, R2 enthält. Da die Ausgangsstufe einer derartigen Quasi-CMOS-Schaltung aus den Bipolartransistoren Q1, Q2 aufgebaut ist, erhöht sich die Ausgangs-Ansteuerfähigkeit, und die Abhängigkeit der Ausbreitüngs-Laufzeit von der Ausgangs-Lastkapazität nimmt ab.

Wie in Figur 9 beispielsweise gezeigt, ist das CMOS-. NOR-Glied 21Jl aus einer reinen CMOS-Schaltung aufgebaut, die P-Kanal-MOSFETs 141 , M2 und N-Kanal-MOSFETs M3, M4 enthält. Als weiteres Beispiel kann das CMOS-NOR-Glied 21I als Quasi-CMOS-Schaltung aufgebaut sein, die gemäß Figur ferner NPN-Transistoren Q1, Q2 und Widerstände R1, R2 enthält. Da die Ausgangsstufe einer derartigen Quasi-CMOS-Schaltung aus den Bipolartransistoren Q1, Q2 aufgebaut ist, erhöht sich ihre Ausgangs-Ansteuerfähigkeit, und die Abhängigkeit der Ausbreitungs-Laufzeit von der Ausgangs-Lastkapazität nimmt ab.

In dem internen Logik-Block 21 sind diese CMOS-NAND-Glieder und CMOS-NOR-Glieder in verschiedenen Arten entsprechend dem Master-Slice-Typ oder dem Semi-Custom-Gate-Array-Typ verschaltet.

Beispielsweise wird ein R-S-Flipflop gemäß Figur 11 durch Kombination zweier CMOS-NÄND-GMeder oder gemäß Figur 12 durch Kombination zweier CMOS-NOR-Glieder aufgebaut. Wie ferner in Figur 13 gezeigt, wird ein mit einem Taktsignal C gesteuertes R-S-Flipflop aus einer Kombination von vier der CMOS-NOR-Glieder aufgebaut.

Auf diese Weise werden in der integrierten Halbleiter-Logikschaltung IC des Master-Slice- oder des Gate-Array-Typs je nach den Anforderungen der Benutzer die Ausgänge der Pegelumsetzer 201, 202, ... 2On des Eingangspuffers und die Eingänge der verschiedenen Verknüpfungsglieder oder Inverter des internen Logik-Blocks 21 in unterschiedlichen Arten dadurch miteinander verbunden, daß lediglich das Verdrahtungsmuster geändert wird. In ähnlicher Weise werden die Ausgänge der verschiedenen Verknüpfungsglieder oder Inverter des internen Logik-Blocks 21 und die Eingänge der Pegelumsetzer 221, 222, ... 22m des Ausgangspuffers 22 unterschiedlich miteinander verbunden.

Der Ausgangspuffer 22 weist eine Vielzahl von CMOS-TTL-Pegelumsetzern 221, 222, ...22m auf, deren jeweilige Ausgänge

mit den Klemmen Nr. 20, Nr. 21 ... Nr. 29 verbunden sind.

Im folgenden werden die wesentlichen Merkmale der Pegelumsetzer 201, 202, ...,2On des Eingangspuffers 20 angegeben:

(1) Die Eingangs-Schwellenspannung Vith jedes Pegelumsetzers 201, 202, ... 20n ist auf einen Wert zwischen einer TTL-Niederpegel-Eingangsspannung von 0,8 V und einer TTL^- Hochpegel-Eingangsspannung von 2,0 V eingestellt.

(2) Ein Ausgangstransistor, der die Ausgangskapazität Cs jedes Pegelumsetzers 201, 202, ... 2On in Abhängigkeit' von einem seiner Eingangsklemme zugeführten Eingangsspannung auf·bzw. entlädt, wird von einem Bipolartransistor gebildet.

Ferner bestehen folgende vorteilhafte Merkmale bei den Pegelumsetzern 201, 202, ... 2On des Eingangspuffers 20: (3) Zwischen Basis und Kollektor des Ausgangs-Bipolartransistors Q1, der die Entladung der Ausgangskapazität Cs gemäß der obigen Ziffer (2) bewirkt, ist eine Schottky-Sperrschichtdiode eingeschaltet.

(4) Zwischen Basis und Kollektor eines Treibertransistors Q2, der dazu dient, die Basis-Elektrode des Ausgangs-Bipolartransistors Q1 mit seinem Ausgangssignal in Abhängigkeit von dem der Eingangsklemme jedes Pegelumsetzers 201, 202, ... 2On zugeführten Eingangssignal auszusteuern, ist eine zweite Schottky-Sperrschichtdiode eingeschaltet. (5) Der Ausgangstransistor, der die Ausgangskapazität Cs jedes Pegelumsetzers 201, 202, ... 2On auflädt, wird ebenfalls von einem Bipolartransistor Q3 gebildet.

(6) Das Basis- oder Kollektor-Signal des Treibertransistors Q2 wird der Basis des zur Aufladung dienenden Ausgangs-Bipolartransistors Q3 über einen MOS-Puffer zugeführt, der eine hohe Eingangsimpedanz und eine Verstärkerfunktion aufweist. '

(7) Zwischen die Eingangsklemme jedes Pegelumsetzers 201, 202, .,< 2On und die Basis des Treibertransistors Q2 ist eine Schottky-Sperrschichtdiode D1 zur Pegelverschiebung

eingeschaltet.

(8) Zwischen die Eingangsklemme jedes Pegelumsetzers 201, 202, ... 2On und die Basis des Treibertransistors Q2 sind ein Emitterfolger-PNP-Transistor Q4 und eine Diode D2 mit PN-Übergang zur Pegelverschiebung eingeschaltet.

In Figur 14 bis 31 sind Schaltbilder für verschiedene Schaltungen für den Pegelumsetzer 201 des Eingangspuffers 20 gemäß Ausführungsbeispielen der Erfindung dargestellt. Alle diese Pegelumsetzer weisen die wesentlichen Merkmale der obigen Ziffern (1) und (2) sowie mindestens eines der vorteilhaften Merkmale nach den obigen Ziffern (3) bis (8) auf.

In dem Pegelumsetzer 201 nach F.igur 14 ist die Eingangsklemme IN1 mit der Kathode der Schottky-Sperrschichtdiode D1 zur Pegelverschiebung verbunden, deren Anode an die Basis des Treibertransistors Q2 angeschlossen ist. Die Art des Sperrschicht tmetalls dieser Diode D1 sowie ihre Sperrschichtfläche sind so bestimmt, daß ihre Durchlaßspannung VF bei 0,35 bis 0,41 V liegt. Ebenso sind die Durchlaßspannungen VF der Schottky-Sperrschichtdioden D1 der Pegelumsetzer nach Figur 15 bis 31 auf 0,35 bis 0,41 V eingestellt.

In der Anordnung nach Figur 14 ist ferner bei dem Treibertransistor Q2 und dem entladenden Ausgangstransistor Q1 jeweils eine Schottky-Sperrschichtdiode D zwischen Basis und Kollektor eingeschaltet, was mit der hakenförmigen Basiselektrode angedeutet ist. Bekanntlich weist ein auf diese Weise mit einer Schottky-Sperrschichtdiode versehener, (bezüglich des Pegels) verklammerter Transistor eine sehr kurze Speicherzeit auf. In den folgenden Ausführungsbeispielen handelt es sich bei den Transistoren mit hakenförmigen Basis-Symbolen um derartige verklammerte Transistoren. Die Basis des entladenden Ausgangstransistors QI ist über einen Widerstand R10 von 5 ΚΩ zum Entfernen der Basisladungen an einen Punkt mit Erdpotential angeschlossen.

In der Anordnung nach Figur 14 sind ferner ein Widerstand R11 von 18 ΚΩ und ein Widerstand RI2 von 2 ΚΩ zwischen der Versorgungsspannung VCC und der Anode der Schottky-Sperr-

-.22 -

schichtdiode D1 in Serie geschaltet. Der Verbindungspunkt zwischen diesen beiden Widerständen Ri1 und R12 liegt an der Gate-Elektrode eines P-Kanal-MOSFETs MpIO, der als Phaseninverter dient und dessen Drain-Elektrode an die Basis des ladenden Ausgangstransistors Q3 angeschlossen ist.

Ferner ist eine Diode D3 eingeschaltet, um den Transistor Q3 zuverlässig abzuschalten, wenn der Pegelumsetzer 201 sein Niederpegel-Ausgangssignal erzeugt. Der Ausgang des Pegelumsetzers 201 am Emitter des ladenden Ausgangstransistors Q3 ist mit der Ausgangskapazität Cs sowie mit einem Eingang des CMOS-NAND-Gliedes 211 des internen Logik-Blocks 21 verbunden.

Die Emitterfläche jedes der Bipolartransistoren Q1, Q2

2
und Q3 liegt bei 100 bis 144 ym und kann auf eine noch kleinere Fläche eingestellt sein. Ferner ist das Verhältnis W/L jedes MOSFETs auf einen Wert von 32/3 bis 64/3 eingestellt. Die Erfinder haben nachgewiesen, daß das Ausführungsbeispiel nach Figur 14 mit der oben beschriebenen Anordnung die im folgenden angegebenen Ausbreitungs-Laufzeiten und Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität aufweist:

tpHL (für Cs = 0 pF) 1,6 ns

tpLH (für Cs = 0 pF) 5,7 ns

KHL 0,4 ns/pF

KLH I 0,4 ns/pF

Wie ersichtlich, sind die obigen Ausbreitungs-Laufzeiten tpHL, tpLH und Kapazitätsabhängigkeiten KHL, KLH gegenüber den entsprechenden Eigenschaften des Eingangspuffers 10 nach Figur 2 hervorragend.

Aus den nachstehend angegebenen Gründen kann der Pegelumsetzer 201 nach Figur 14 die gewünschten Eigenschaften erzielen:

(D.Die Durchlaßspannung VF der Schottky-Sperrschichtdiode D1 liegt bei 0,35 bis 0,41 V, und die Basis-Emitter-Spannungen VBE1, VBE2 der Transistoren Q1, Q2 liegen bei etwa 0,75 V. Daraus ergibt sich die Eingangs-Schwellenspannung Vith des Pegelumsetzers 201 folgendermaßen:

Vith = - VF + VBE1 + VBE2

= 1,09 bis 1,15 V.

(2) Die Ausgangstransistoren Q1, Q3 zur Aufladung bzw. Entladung der Ausgangskapazität Cs des Pegelumsetzers 201 sind aus Bipolartransistoren mit niedrigen Ausgangswiderständen gebildet. Daher lassen sich die Schaltgeschwindigkeiten anheben bzw. die Ausbreitungs-Laufzeiten verkürzen, und die Abhängigkeit der Ausbreitungs-Laufzeiten von der Ausgangskapazität vermindert sich.

(3) Die Schottky-Sperrschichtdiode liegt zwischen Basis und Kollektor jedes der Transistoren Q1, Q2, die in ihre Sättigungsbereiche ausgesteuert sind. Daher werden, wenn beide Transistoren Q1, Q2 vom Einschalt- in den Ausschaltzustand umschalten, die Speicherzeiten verkürzt.

(4) Steigt das Potential am Verbindungspunkt zwischen den Widerständen R11 und R12, so daß der Phasenumkehr-MOSFET MpIO und der ladende Ausgangstransistor Q3 ausschalten, so wird der von dem Verbindungspunkt zum Gate des MOSFETs Mp10 fließende Strom sehr klein, da die Eingangsimpedanz der Gate-Elektrode des MOSFETs Mp10 sehr hoch ist. Daher ist bei diesem Ausführungsbeispiel die Arbeitsgeschwindigkeit für das Umschalten des ladenden Ausgangstransistors Q3 vom Ausschalt- in den Einschaltzustand gegenüber demjenigen Fall erhöht, bei dem der Phaseninverter mit Hilfe eines Bipolartransistors statt des MOSFETs Mp10 gebildet ist.

Der Pegelumsetzer 201 nach Figur 15 unterscheidet sich von dem nach Figur 13 nur dadurch, daß eine weitere Diode D4 mit PN-Übergang vorgesehen ist. Eine derartige zusätzliche Diode D4 ermöglicht es, die Niederpegel-Ausgangsspannung des Pegelumsetzers noch weiter zu verringern.

Für den Pegelumsetzer 201 in Figur 15 haben die Erfinder folgende Werte der Ausbreitungs-Laufzeiten und der Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität ermittelt:

tpHL (für Cs = 0 pF) 1,89 ns

tpLH (für Cs = 0 pF) 6,37 ns

KHL 0,4 ns/pF

KLH 0,4 ns/pF

Aus den gleichen Gründen wie im Falle der Figur 14 vermag auch der Pegelumsetzer 201 nach Figur 15 die gewünschten Eigenschaften zu erzielen.

Der Pegelumsetzer 201 nach Figur 16 unterscheidet sich von dem nach Figur 14'nur in der Verbindung der Kollektor-Elektrode des Treibertransistors Q2. Dabei sind die Ausbreitungs-Laufzeiten und deren Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität für den Pegelumsetzer nach Figur 16 folgendermaßen ermittelt worden:
tpHL (für Cs = 0 pF) 1,81 ns

tpLH (für Cs = O pF) 5,08 ns

KHL 0,4 ns/pF

KLH 0,4 ns/pF

Wiederum aus den für den Fall nach Figur 14 angegebenen Gründen vermag auch der Pegelumsetzer 201 nach Figur 16 die gewünschten Eigenschaften zu erzielen.

Der Pegelumsetzer 201 nach Figur 17 unterscheidet sich von dem nach Figur 15 nur dadurch, daß zwischen die Drain-Elektrode des Phasenumkehr-MOSFETs MpIO und die Basiselektrode des ladenden Ausgangstransistors Q3 ein weiterer NPN-Transistor Q5 eingeschaltet ist. Die Ausbreitungs-Laufzeiten und ihre Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität wurden für den Pegelumsetzer nach Figur 17 folgendermaßen bestimmt:

tpHL (für Cs=O pF) 2,01 ns

tpLH (für Cs=CpF) 7,30 ns

KHL 0,4 ns/pF

KLH 0,4 ns/pF

In dem Pegelumsetzer 201 nach Figur 18 handelt es sich bei den Transistoren Q1, Q2 um verklammerte Transistoren mit Schottky-Sperrschichtdioden, und die Basis-Elektrode des entladenden Ausgangstransistors Q1 ist über den Widerstand R10 von 5 ΚΩ zur Entfernung von Basisladungen an Erdpotential angeschlossen- Außerdem ist mit dem Kollektor des Transistors Q2 ein Widerstand R.13 von 20 ΚΩ zur Begrenzung des Kollektorstorms verbunden.

Der Widerstand R11 von 18 ΚΩ und der Widerstand R12 von 2 ΚΩ liegen zwischen der Versorgungsspannung VCC und der Anode der Schottky-Sperrschichtdiode D1 in Serie. Der Verbindungspunkt zwischen den beiden Widerständen R11 und R12 ist an die Gate-Elektrode eines P-Kanal-MOSFETs Mp11 angeschlossen, der als ladender Ausgangstransistor dient. Ferner beträgt das Verhältnis W/L dieses FETs Mp11 64/3.

Die Ausbreitungs-Laufzeiten und ihre Abhängigkeit von der Ausgangskapazität wurden für den Pegelumsetzer 201 nach Figur 18 folgendermaßen ermittelt:

tpHL (für Cs = 0 pF) 1,9 ns

tpLH (für Cs = 0 pF) 2,9 ns

KHL 0,4 ns/pF

KLH 1,3 ns/pF

Aus den im folgenden angegebenen Gründen vermag der Pegelumsetzer 201 nach Figur 18 gewünschte Eigenschaften zu erzielen.

(1) Ähnlich wie im Fall nach Figur 14 kann die Eingangs-Schwellenspannang Vith des Pegelumsetzers 201 auf 1,09 bis 1,15 V eingestellt werden.

(2) Der Ausgangstransistor Q1 zum Entladen der Ausgangskapazität Cs des Pegelumsetzers 201 wird von dem Bipolartransistor mit niedrigem Ausgangswiderstand gebildet. Daher läßt sich die Geschwindigkeit der Schaltoperation beim Entladen der Ausgangskapazität erhöhen oder die Ausbreitungs-Laufzeiten verkürzen, und die Abhängigkeiten der Ausbreitungs-Laufzeiten von der Ausgangskapazität lassen sich verringern.

(3) Ähnlich wie im Fall nach Figur 14 können die Speicherzeiten der Transistoren Q1, Q2 verkürzt werden.

In dem Pegelumsetzer 201 nach Figur 19 handelt es sich bei den Transistoren Q1, Q2 um verklammerte Transistoren mit Schottky-SperrSchichtdioden, wobei die Basis des entladenden Ausgangstransistors Q1 über den Widerstand R10 von 5 ΚΩ zum Entfernen von Basisladungen an Erdpotential angeschaltet ist. Mit dem Kollektor des Transistors Q2 ist ein Lastwiderstand R15 von 8 ΚΩ verbunden, und zwischen die

Versorgungsspannung VCC und die Anorde der Schottky-Sperrschichtdiode D1 ist ein Widerstand R14 von 20 ΚΩ eingeschaltet. Das Signal von der Kollektor-Elektrode des Treibertransistors Q2 liegt an der Gate-Elektrode eines N-Kanal-MOSFETs Mn12, der als ladender Ausgangstransistor dient.

Das Verhältnis W/L dieses FETs Mn12 ist auf 64/3 eingestellt.

Die Ausbreitungs-Laufzeiten und ihre Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität sind für den Pegelumsetzer 201 nach Figur 19 folgendermaßen bestimmt worden: tpHL (für Cs = 0 pF) 1,1 ns

tpLH (für Cs = 0 pF) 8,6 ns

KHL 0,3 .ns/pF

KLH ..... 2,0 ns/pF

Der Pegelumsetzer 201 nach Figur 19 kann aus ähnlichen Gründen wie im Falle der Figur 18 die gewünschten Eigenschaften erzielen.

In dem Pegelumsetzer 201 nach Figur 20 handelt es sich bei den Transistoren Q1, Q2 wiederum um verklammerte Transistoren, und die Basis-Elektrode des entladenden Ausgangstransistors Q1 ist über den Widerstand R10 von 5 ΚΩ zum Entfernen von Basisladungen an das Erdpotential angeschlossen. Mit der Kollektor-Elektrode des Transistors Q2 ist ein Lastwiderstand R16 von 10 ΚΩ verbunden* und zwischen der Versorgungsspannung VCC und der Anode der Schottky-Sperrschichtdiode D1 liegt der Widerstand R14 von 20 ΚΩ. Das Signal von der Kollektor-Elektrode des Treibertransistors Q2 liegt an der Gate-Elektrode eines N-Kanal-MOSFETs Mn13, der als Verstärkertransistor dient, wobei das Verhältnis W/L dieses FETs Mn13 auf 32/3 eingestellt ist. An die Drain-Elektrode des FETs Mn13 ist ein Lastwiderstand R17 von 20 ΚΩ angeschlossen.

Das Signal von der Drain-Elektrode des FETs Mn13 liegt an der Gate-Elektrode eines P-Kanal-MOSFETs Mp13, der als Verstärkertransistor dient und dessen Verhältnis W/L auf 64/3 eingestellt ist, wobei an die Drain-Elektrode des FETs Mp13 ein als Lastwiderstand dienender Widerstand R18 von 10 ΚΩ sowie ein zum Entfernen von Basisladungen des ladenden Ausgangs-

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Bipolartransistors Q3 dienender Widerstand angeschlossen sind.

Für den Pegelumsetzer 201 nach Figur 20 sind folgende Werte der Ausbreitungs-Laufzeiten und ihrer Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität ermittelt worden:

tpHL (für Cs = 0 pF) 2,2 ns

tpLH (für Cs = 0 pF) 7,5 ns

KHL 0,4 ns/pF

KLH 0,4 ns/pF

Aus den nachstehend angegebenen Gründen vermag der Pegelumsetzer 201 nach Figur 20 gewünschte Eigenschaften zu erzielen.

(1) Ähnlich wie im Fall der Figur 14 kann die Eingangs-Schwellenspannung Vith des Pegelumsetzers 201 auf 1,09 bis 1,15 V eingestellt werden.

(2) Ähnlich wie im Fall nach Figur 14 läßt sich die Geschwindigkeit des Schaltvorgangs zum Laden oder Entladen der Ausgangskapazität Cs erhöhen oder die Ausbreitungs-Laufzeiten verkürzen, und die Abhängigkeiten der Ausbreitungs-Laufzeiten von der Ausgangskapazität können verringert werden.

(3) Wiederum ähnlich wie in Figur 14 können die Speicherzeiten der Transistoren Q1, Q2 verkürzt werden.

.(4) Steigt das Kollektorpotential des Treibertransistors Q2 derart, daß der ladende Ausgangstransistor Q3 vom Ausschaltin den Einschalt-Zustand überführt wird, so verstärken die Verstärker-MOSFETs Mn13 und Mp13 die Änderung des Kollektorpotentials am Transistor Q2 und übertragen das verstärkte Signal auf die Basis des Transistors Q3. Da ferner die Gate-Eingangsimpedanz des MOSFETs Mn3 sehr groß ist, wird verhindert, daß ein hoher Basistrom direkt vom Kollektor des Transistors Q2 in die Basis des Transistors Q3 fließt. Daher läßt sich die Schaltgeschwindigkeit des Ausgangstransistors Q3 erhöhen.

Bei dem Pegelumsetzer 201 nach Figur 21 sind mit Q1 und Q2 die verklammerten Transistoren und mit D1 die Schottky-Sperrschichtdiode zur Pegelverschiebung bezeichnet. Die Wider-

stände haben folgende Werte: R1O = 5 ΚΩ, R14 = 20 Kß, und R15 = 8 ΚΩ. Das Kollektorsignal des Treibertransistors Q3 wird beiden Gate-Elektroden des P-Kanal-MOSFETs Mp14 und des N-Kanal-MOSFETs Mn14 zugeführt, die miteinander einen als Spannungsverstärker dienenden CMOS-Inverter bilden, während das Drain-Signal beider MOSFETs Mp14, Mn14 an der Gate-Elektrode des P-Kanal-MOSFETs Mp11 liegt, der als ladender Ausgangstransistor arbeitet. Das Verhältnis W/L beträgt für die verschiedenen MOSFETs: Mp14 = 24/3, Mn14 = 22/3, und Mp11 = 64/3.

Für den Pegelumsetzer 201 in Figur 21 sind folgende Werte der Ausbreitungs-Laufzeiten und ihrer Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität ermittelt worden:

tpHL (für Cs = 0 pF) 2,02 ns

tpLH (für Cs = 0 pF) 4,27 ns

KHL 0,42 ns/pF

KLH 1 ,32 ns/pF

Aus den nachstehenden Gründen kann auch der Pegelumsetzer 201 nach Figur 21 gewünschte Eigenschaften erzielen. (1) Ählich wie im Fall der Figur 14 läßt sich die Eingangs-Schwellenspannung Vith des Pegelumsetzers 201 auf 1,09 bis 1,15 V einstellen.

(2) Der Ausgangstransistor Q1 zum Entladen der Ausgangskapazität Cs des Pegelumsetzers 201 wird von dem Bipolartransistor mit niedrigem Ausgangswiderstand gebildet. Daher läßt sich die Geschwindigkeit des Schaltvorgangs beim Entladen der Ausgangskapazität erhöhen oder die Ausbreitungs-Laufzeiten verkürzen, und die Abhängigkeiten der Ausbreitungs-Laufzeiten von der Ausgangskapazität können verringert werden. (3) Ähnlich wie im Fall der'Figur 14 können die Speicherzeiten der Transistoren Q1, Q2 verkürzt werden.

In dem Pegelumsetzer 201 nach Figur 22 ist mit Q1 der verklammerte Transistor als entladender Ausgangstransistor bezeichnet, wobei die Kathode der für Pegelverschiebung dienenden Schottky-Sperrschichtdiode D1 mit der Eingangsklemme IN1 verbunden ist. Zwischen die Anode der Diode D1 und die

Basis des Transistors Q1 ist eine Diode D5 mit PN-Übergang zur Pegelverschiebung eingeschaltet; zwischen der Versorgungsspannung VCC und den beiden Anoden der Dioden D1 und D2 liegen Widerstände R19 und R2O mit gleichen Widerstandswerten von 10 ΚΩ; und zwischen die Eingangsklemme IN1 und die Basis des Transistors Q1 ist eine Schottky-Sperrschichtdiode D6 zum Entfernen der Basisladungen eingeschaltet.

Der Verbindungspunkt zwischen den Widerständen R19 und R2O liegt an der Gate-Elektrode des P-Kanal-MOSFETs Mp11, der als ladender Ausgangstransistor arbeitet, wobei das Verhältnis W/L dieses FETs Mp11 auf 64/3 eingestellt ist.

Die Ausbreitungs-Laufzeiten und ihre Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität sind für den Pegelumsetzer nach Figur 22 folgendermaßen ermittelt worden:

tpHL (für Cs = 0 pF) 2,44 ns

tpLH (für Cs = O pF) 5,41 ns

KHL 1,0 ns/pF

KLH 5,3 ns/pF

Aus den nachstehenden Gründen kann auch der Pegelumsetzer 201 nach Figur 22 gewünschte Eigenschaften erzielen:

(1) Die Durchlaßspannung VF1 der Schottky-Sperrschichtdiode D1 liegt bei 0,35 bis 0,41 V, die Durchlaßspannung VF5 der Diode D5 mit PN-Übergang bei 0,75 V, und die Basisemitter- Spannung VBE1 des Transistors Q1 bei 0,75 V. Daher kann die Eingangs-Schwellenspannung Vith des Pegelumsetzers 201 zum. Einschalten des Transistors Q1 folgendermaßen eingestellt werden:

Vith = - VF1 + VF5 + VBE1

= 1,09 bis 1,15 V.

(2) Der Ausgangstransistor Q1 zum Entladen der Ausgangskapazität Cs wird von dem Bipolartransistor mit niedrigem Ausgangswiderstand gebildet. Daher lassen sich die Schaltzeiten oder Ausbreitungs-Laufzeiten verkürzen und die Abhängigkeiten der Ausbreitungs-Laufzeiten von der Ausgangskapazität verringern.

(3) Da der Transistor QI der verklammerte Transistor ist, kann dessen Speicherzeit verkürzt sein.

Bei dem Pegelumsetzer 201 nach Figur 23 sind mit Q1 und Q2 die verklammerten Transistoren und mit D1 die Schottky-Sperrschichtdiode zur Pegelverschiebung bezeichnet. Die Werte der Widerstände sind folgendermaßen: R10 = 5 ΚΩ, R10 = 20 ΚΩ, und R15 = 8 ΚΩ. Das Kollektorsignal des Treibertransistors Q2 liegt an beiden Gate-Elektroden des P-Kanal-MOSFETs Mp14 und des N-Kanal-MOSFETs Mn14, die miteinander den als Spannungsverstärker dienenden CMOS-Inverter bilden, und das Drain-Ausgangssignal dieser beiden MOSFETs liegt an der Gate-Elektrode eines schaltenden P-Kanal-MOSFETs Mp15.

Das Verhältnis W/L ist für die verschiedenen MOSFETs folgendermaßen eingestellt: Mp14 = 24/3, Mn-14 = 32/3, und Mp15 = 64/3.

Das Drain-Ausgangssignal des MOSFETs Mp15 liegt an der Basis des als ladender Ausgangstransistor arbeitenden Bipolartransistors Q3.

Die Ausbreitungs-Laufzeiten und ihre Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität sind für den Pegelumsetzer nach Figur 23 folgendermaßen bestimmt worden:

tpHL (für Cs = 0 pF) 5,07 ns

tpLH (für Cs = 0 pF) 5,09 ns

KHL 0,4 ns/pF

KLH 0,4 ns/pF

Ferner kann aus den nachstehenden Gründen der Pegelumsetzer 201 nach Figur 23 gewünschte Eigenschaften erzielen: (1) Ähnlich wie im Fall der Figur 14 kann die Eingangs-. Schwellenspannung Vith des Pegelumsetzers 201 auf 1,09 bis 1,15 V eingestellt werden.

(2) Wiederum ähnlich wie in Figur 14 lassen sich die Schaltzeiten für das Aufladen und Entladen der Ausgangskapazität Cs oder die Ausbreitungs-Laufzeiten verkürzen, und die Abhängigkeiten dieser Laufzeiten von der Ausgangskapazität können verringert werden.

(3) Ferner können wie in Figur 14 die Speicherzeiten der Transistoren QI, Q2 verkürzt werden.

(4) Steigt das Kollektorpotential des Treibertransistors Q2 derart, daß der ladende Ausgangstransistor Q3 vom Ausschalt-

in den Einschalt-Zustand überführt wird/ so verstärkt der CMOS-Inverter Mp14, Mn14 die Änderung des Kollektorpotentials des Transistors Q2 und überträgt das verstärkte Signal auf die Basis des Transistors Q3. Da ferner die Gate-Eingangsimpedanzen der MOSFETs Mp14_f Mn14 sehr groß sind, wird verhindert/ daß ein hoher Basisstrom direkt vom Kollektor des Transistors Q2 zur Basis des Transistors Q3 fließt. Daher läßt sich die Schaltgeschwindigkeit des Ausgangstransistors Q3. erhöhen.

Der Pegelumsetzer 201 nach Figur 24 unterscheidet sich von dem nach Figur 23 nur dadurch, daß der Widerstand R18 von 10 ΚΩ zum Entfernen der Basisladungen des ladenden Ausgangstransistors Q3 zwischen Basis und Emitter des Transistors Q3 liegt. Für den Pegelumsetzer 2O1 nach Figur 24 sind die Ausbreitungs-Laufzeiten und ihre Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität folgendermaßen bestätigt worden:

tpHL (für Cs = 0 pF) 6,2 ns

tpLH (für Cs =0 pF) 4,9 ns

KHL 0,4 ns/pF

KLH 0,4 ns/pF

Aus ähnlichen Gründen wie im Fall der Figur 23 ist auch der Pegelumsetzer 201 nach Figur 24 in der Lage, gewünschte Eigenschaften zu erzielen.

Der Pegelumsetzer 201 nach Figur 25 unterscheidet sich

/.5 von dem nach. Eigur 24 nur dadurch, daß der Widerstand R10 des Schaltkreises zum Entfernen von Basisladungen des entladenden Ausgangstransistors Q1 durch eine aktive Tiefziehschaltung ersetzt ist, die aus einem Widerstand R19 von 1,5 ΚΩ, einem Widerstand R20 von 3 ΚΩ und einem verklammerten Transistor Q6 aufgebaut ist, und daß zwischen die Basis des Transistors Q3 und den Kollektor des Transistors Q2 eine Schottky-Sperrschichtdiode D7 zum Entfernen von BasisjLadungen des ladenden Ausgangstransistors Q3 eingeschaltet ist. Für die Anordnung nach Figur 25 sind die Ausbreitxmgs-Laufzeiten und ihre Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität folgendermaßen bestimmt worden:

tpHL (für Cs = O pF) 6,6 ns

tpLH (für Cs = O pF) 5/3 ns

KHL 0,4 ns/pF

KLH . 0,4 ns/pF

Ähnlich wie im Falle der Figur 23 kann auch der Pegelumsetzer 201 nach Figur 25 gewünschte Eigenschaften erzielen.

Der Pegelumsetzer 201 nach Figur 26 unterscheidet sich von dem nach Figur 24 nur dadurch, daß der Entladewiderstand R1O durch die gleiche aktive Tiefziehschaltung ersetzt ist, wie sie in Figur 25 von den Schalungselementen R19, R2O, Q6 gebildet wird. Für die Anordnung nach Figur 26 sind die Ausbreitungs-Laufzeiten und ihre Abhängigkeiten von dar Ausgangskapazität folgendermaßen ermittelt worden:

tpHL (für· Cs = 0 pF) 8,62 ns

tpLH (für Cs = 0 pF) - 4,7 ns

KHL 0,4 ns/pF

KLH 0,4 ns/pF

Aus ähnlichen Gründen wie im Falle der Figur 23 ist auch der Pegelumsetzer 201 nach Figur 26 in der Lage, gewünschte Eigenschaften zu erzielen.

In dem Pegelumsetzer 201. nach Figur 27 bilden die Bipolartransistoren Q1, Q2 und Q3 den entladenden Ausgangstransistor, den Treibertransistor bzw. den ladenden Ausgangstransistor. Mit Dl ist die Schottky-Sperrschichtdiode zur Pegelverschiebung und mit D8 eine Diode mit PN-Übergang bezeichnet. Die verschiedenen Widerstände haben folgende Werte: R14 = 20 ΚΩ, R16 = 8 ΚΩ, R21 = 10 ΚΩ, und R22 = 10 ΚΩ. Mit MpI6 und Mn16 sind ein P-Kanal-MOSFET bzw. ein N-Kanal-MOSFET bezeichnet, wobei für diese beiden FETs das Verhältnis W/L auf den gleichen Wert von 32/3 eingestellt ist.

Das Ausführungsbeispiel nach Figur 27 kennzeichnet sich insbesondere dadurch, daß die Transistoren Mp16, Mn16, Q1 und Q3 einen Verstärker des Quasi-CMOS-Invertertyps mit niedrigem Ausgangswiderstand bilden.
Die Ausbreitungs-Laufzeiten und ihre Abhängigkeiten von

der Ausgangskapazität sind für den Pegelumsetzer 201 nach Figur 27 folgendermaßen bestätigt worden:

tpHL (für Cs = O pF) 5,48 ns

tpLH (für Cs = O pF) 5,23 ns

KHL 0,37 ns/pF

KLH 0,38 ns/pF

Aus den im folgenden angegebenen Gründen ist der Pegelumsetzer 201 nach Figur 27 in der Lage, die gewünschten Eigenschaften zu erzielen:

(1) Die Durchlaßspannung VF1 der Schottky-Sperrschichtdiode D1 ist auf 0,35 bis 0,41 V eingestellt, die Basis-Emitter-Spannung VBE2 des Transistors Q2 auf 0,75 V, und die Durchlaßspannung VF8 der Diode D8 mit PN-Übergang auf 0,75 V. Daher ist die Eingangs-Schwellenspannung Vith des Pegelumsetzers 201 bezüglich des Ein/Ausschaltbetriebs des Transistors Q2 folgendermaßen eingestellt:
Vith = - VF1 + VBE2 + VF8

= 1,09 bis 1,15 V.

(2) Die Ausgangstransistoren QI, Q3 zum Auf- bzw. Entladen der Ausgangskapazität Cs werden von den Bipolartransistoren mit niedrigem Ausgangswiderstand gebildet. Daher lassen sich die Schaltgeschwindigkeiten erhöhen oder die Ausbreitungs-Laufzeiten verkürzen, und die Abhängigkeiten dieser Laufzeiten von der Ausgangskapazität können verringert werden.

(3) Da es sich bei den Transistoren Q1, Q2 um verklammerte Transistoren handelt, können ihre Speicherzeiten verkürzt sein.

(4) Da die Änderung des Kollektorpotentials des Treibertransistors Q2 verstärkt und dann über den Quasi-CMOS-Inverter Mp16, Mn16, Q3, Q1 auf die Ausgangsseite übertragen wird, läßt sich die Änderungsgeschwindigkeit der Ausgangssignalform erhöhen .

Der Pegelumsetzer 201 nach Figur 28 unterscheidet sich von dem nach Figur 27 nur dadurch, daß die Kollektorlast des Transistors Q2 nicht von dem Widerstand R16, sondern von Dioden D9, D10 mit PN-Übergang und einem Widerstand R23 von 5 ΚΩ gebildet wird. Die Ausbreitungs-Laufzeiten und ihre

Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität sind für diesen Pegelumsetzer nach Figur 28 folgendermaßen ermittelt worden:

tpHL (für Cs = O pF) 6,66 ns

tpLH (für Cs = O pF) 4,16 ns

KHL 0,42 ns/pE

KLH 0,37 ns/pF

Aus ähnlichen Gründen wie im Falle der Figur 27 ist auch der Pegelumsetzer 201 nach Figur 28 in der Lage, die gewünschten Eigenschaften zu erzielen.

Der Pegelumsetzer 201 nach Figur 29 unterscheidet sich von dem nach Figur 23 nur hinsichtlich des Anschlusses der Diode D3 mit PN-Übergang zur zuverlässigen Abschaltung des Transistors Q3 sowie des Anschlusses der Schottky-Sperrschichtdiode D7 zum Entfernen der Basisladungen des Transistors Q3. Für den Pegelumsetzer 201 nach Figur 29 sind die Ausbreitungs-Laufzeiten und ihre Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität folgendermaßen bestätigt worden:

tpHL (für Cs = 0 pF) 1,72 ns

tpLH (für Cs = 0 pF) 5,44 ns

KHL 0,32 ns/pF

KLH 0,29 ns/pF

Aus ähnlichen Gründen wie im Fall der Figur 23 ist auch der Pegelumsetzer 201 nach Figur 29 in der Lage, die gewünschten Eigenschaften zu erzielen.

Der Pegelumsetzer 201 nach Figur 30 unterscheidet sich von d=m nach Figur 29 nur dadurch, daß der Widerstand R14 in Figur 29 durch einen Widerstand R24 von 25 ΚΩ und einen Widerstand R25 von 5 ΚΩ sowie der Widerstand R15 nach Figur 29 durch einen P-Kanal-MOSFET Mp17 mit einem Verhältnis W/L = 24/3 ersetzt ist. Da der FET Mp17 als aktives Lastelement des Transistors Q2 arbeitet, erhält die Spannungsverstärkung des Verstärkers Q2, Mp17 einen sehr hohen Wert. Für die Anordnung nach Figur 30 sind die Ausbreitungs-Laufzeiten und ihre Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität folgendermaßen bestätigt worden:

tpHL (für Cs = O pF) 2,2 ns

tpLH (für Cs = O pF) 5,2 ns

KHL 0,4 ns/pF

KLH 0,3 ns/pf

Ähnlich wie im Fall der Figur 23 ist auch der Pegelumsetzer 201 nach Figur 30 in der Lage, die gewünschten Eigenschaften zu erzielen.

In dem Pegelumsetzer 201 nach Figur 31 handelt handelt es sich bei den Transistoren Q1 und Q2 um die verklammerten Transistoren, bei dem Transistor Q3 um den ladenden Ausgangstransistor, bei einem Transistor Q4 um einen Emitter-Folger-PNP-Transistor, bei der Diode D1 um die Schottky-Sperrschichtdiode zur Pege!verschiebung, bei der Diode D2 um eine Diode mit PN-Übergang zur Pegelverschiebung, bei der Diode D3 um eine Diode mit PN-Übergang zur zuverlässigen Abschaltung des Transistors Q3, und bei der Diode D8 um die Schottky-Sperrschichtdiode zur Verklammerung von negativem Rauschen (clamping minus noise) an der Eingangsklemme. Die verschiedenen Widerstände haben folgende Werte: R10 = 5 ΚΩ, R15 = 8 ΚΩ, und R26 = 20 ΚΩ. Das Kollektorsignal des Treibertransistors Q2 liegt an beiden Gate-Elektroden des P-Kanal-MOSFETs Mp14 und des N-Kanal-MOSFETs Mn14_f die den als Spannungsverstärker arbeitenden CMOS-Verstärker bilden, wobei das Drain-Ausgangssignal dieser MOSFETs an der Gate-Elektrode des schaltenden P-Kanal-MOSFETs Mp15 liegt. Das Verhältnis W/L für die verschiedenen MOSFETs ist auf folgende Werte eingestellt: Mp14 = 24/3, Mn14 = 32/3, und Mp15 = 64/3. Das Drain-Ausgangssignal des MOSFETs MpI5 liegt an der Basis des den ladenden Äusgangstransistor bildenden Bipolartransistors Q3. Die Ausbreitungs-Laufzeiten und ihre Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität sind für den Pegelumsetzer 201 nach Figur 31 folgendermaßen bestätigt worden:

tpHL (für Cs = 0 pF) 1,94 - 3,84 ns

tpLH (für Cs = 0 pF) ..... 4,64 - 5,44 ns

KHL 0,38 ns/pF ■

KLH 0,30 ns/pF

Aus den nachstehend angegebenen Gründen ist der Pegelumsetzer 201 nach Figur 31 in der Lage, gewünschte Eigenschaften zu erzielen:

(1) Die Durchlaßspannung VF1 der Schottky-Sperrschichtdiode.D1 liegt bei 0/35 bis 0,41 V, die Durchlaßspannung VF2 der Diode D2 mit PN-Übergang bei etwa O,75 V, und die Basis-Emitter-Spannungen VBE1, VBE2 und VBE4 der Transistoren Q1, Q2 bzw. Q4 bei etwa 0,75 V. Daher erhält die Eingangs-Schwellenspannung Vith, bei der die Transistoren Q1, Q2 eingeschlatet werden, folgenden Wert:

Vith = - VBE4 + VF2 + VBE2 + VBE1 = 1,5 V.

(2) Die Ausgangstransistoren QI, Q3 zum Entladen bzw. Aufladen der Ausgangs-Kapazität Cs sind von den Bipolartransistoren mit niedrigem Ausgangswiderstand gebildet. Daher lassen sich die Schaltgeschwindigkeiten erhöhen oder die Ausbreitungs-Laufzeiten verkürzen und die Abhängigkeiten dieser Laufzeiten von der Ausgangskapazität können verringert werden.

(3) Da es sich bei den Transistoren Q1, Q2 um die verklammerten Transistoren handelt, können ihre Speicherzeiten verkürzt sein.

(4) Steigt das Kollektorpotential des Treibertransistors Q2 derart, daß der ladende Ausgangs-Bipolartransistor Q3

von seinem Ausschalt- in seinen Einschalt-Zustand überführt wird, so verstärkt der CMOS-Inverter Mp14, Mn14 die Änderung des Kollektorpotentials des Transistors Q2 und überträgt das verstärkte Signal auf die Basis des Transistors Q3. Ferner sind die Gate-Eingangsimpedanzen der MOSFETs Mp14, Mn14 sehr groß und verhindern, daß ein hoher Basisstrom direkt vom Kollektor des Transistors Q2 in die Basis des Transistors Q3 fließt, und der Basis des Transistors Q3 wird über den Einschalt-Widerstand des FETs Mp15 ein Basisstrom zugeführt. Somit läßt sich die Schaltgeschwindigkeit des Ausgangstransistors Q3 erhöhen.

In Figur 3 sind die Abhängigkeiten der Ausbreitungs-Laufzeiten von der Ausgangskapazität für die Pegelumsetzer nach Figur 14, 19, 22 und 31 jeweils mit strichpunktierten Linien eingezeichnet. Wie ersichtlich, ist die Abhängigkeit entweder der ersten oder der zweiten Ausbreitungs-Laufzeit von der Ausgangskapazität verbessert.

Im folgenden soll die Vielzahl von CMOS-TTL-Pegelumsetzern 221, 222, ....22m des Ausgangspuffers 22 in Figur erläutert werden. Die wesentlichen Merkmale dieser Pegelum-

setzer 221, 222, 22m sind die folgenden:

(1) Die Eingangs-Schwellenspannung Vith jedes Pegelumsetzers 221, 222, .... 22m ist auf einen Wert zwischen der CMOS-Niederpegel-Ausgangsspannung von 0,6-V und der Hochpegel-Ausgangsspannung von 4,4 V eingestellt. (2) Als Ausgangstransistor, der die Entladung der Aus-

gangs-Lastkapazität Cx jedes Pegelumsetzers 221, 222, .... 22m in Abhängigkeit von einem der jeweiligen Eingangsklemme zugeführten Eingangssignal bewirkt, dient ein Bipolartransistor. Weitere vorteilhafte Merkmale der Pegelumsetzer 221, 222, ....22m des Ausgangspuffers 22 bestehen in folgendem:

(3) Zwischen den Ausgang des internen Logik-Blocks 21 und die Basis eines Treibertransistors Q11 zur Ansteuerung der Basis., eines entladenden Ausgangstransistors Q10 ist eine Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz eingeschaltet. (4) Die Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz gemäß dem obigen Merkmal (3) hat die Aufgabe, eine Vielzahl von Ausgangssignalen von dem internen Logik-Block 21 logisch zu verarbeiten.

(5) Der entladende Ausgangstransistor Q10 und der Treibertransistor QI1 sind von mit Schottky-Sperrschichtdioden versehenen verklammerten Transistoren gebildet.

(6) Als Ausgangstransistor Q12 zum Laden der Ausgangskapazität Cx dient ein Bipolartransistor.

(7) Der Pegelumsetzer hat die Aufgabe, den entladenden Ausgangstransistor Q10 und den ladenden Ausgangstransistor Q12 in Abhängigkeit von einem Steuersignal gleichzeitig aus-

zuschalten und dadurch die entsprechende >Ausgangsklemme, z.B. OUT1, in einen potentialmäßig schwebenden Zustand zu versetzen.

(8) Die Pegelumsetzer 221, 222, ... 22m haben die Form des offenen Kollektorausgangs (open collector output form). In den Figuren 32 bis 34 und 36 sind verschiedene Beispiele für Schaltungen des Pegelumsetzers 221 des Ausgangspuffers 22 gemäß Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung gezeigt. Alle diese Pegelumsetzer haben die wesentliehen Merkmale gemäß den obigen Ziffern (1) und (2). Ferner weisen diese Pegelumsetzer mindestens eines der vorteilhaften Merkmale gemäß den obigen Ziffern (3) bis (8) auf.

In dem Pegelumsetzer 221 nach Figur 32 bezeichnet Q10 den Ausgangstransistor zum Entladen der Ausgangs-Lastkapazität Cx, Q11 den Treibertransistor zur Ansteuerung des Transistors Q10, Q12 den Ausgangstransistor zum Aufladen der Ausgangs-Lastkapazität Cx, und Q13 einen Stromverstärkertransistor zur Übertragung der Änderung des Kollektors,ignals des Transistors Q11 auf die Basis des Transistors Q12. Die Schaltungselemente R30, R31 und Q14 bilden eine aktive Tiefziehschaltung zum Entfernen der Basisladungen des Transistors Q1O. Mit Q15 ist ein Viel-Emitter-Transistor bezeichnet, mit R32 der Kollektorwiderstand des Transistors QI1, mit R33 ein Widerstand zum Entfernen der Basisladungen des Transistors Q12, mit D10 eine Schottky-Sperrschichtdiode zum Entfernen der Basisladungen des Transistors Q12, mit R34 ein Widerstand zur Begrenzung der Kollektroströme der Transistoren Q12 und Q13, und mit R35 der Basiswiderstand des Transistors Q15. Das Ausgangssignal des aus P-Kanal-MOSFETs M1, M2 und N-Kanal-MOSFETs M3, M4 aufgebauten CMOS-NAND-Gliedes 211 des internen Logik-Blocks 21 liegt an dem ersten Emitter des Transistors Q15. Das Ausgangssignal des CMOS-NAND-Gliedes 212 liegt am zweiten Emitter des Transistors Q15, und das Ausgangssignal des CMOS-NAND-Gliedes .213 liegt am dritten Emitter des Transistors QJ5. Der Pegelumsetzer 221 weist i. demgemäß nicht nur eine Pegelumsetzerfunktion sondern auch

eine logische Verarbeitungsfunktion als NAND-Glied mit drei Eingängen auf.

Der Pegelumsetzer 221 nach Figur 32 ist in der Lage, aus den nachstehend angegebenen Gründen erwünschte Eigenschäften zu erzielen:

(1) Die Basis-Emitter-Spannung VBE15 des Transistors Q15 beträgt etwa O₇75 V, die Basis-Kollektor-Spanrmng VBC15 des Transistors Q15 etwa 0,55 V, und die Basis-Emitter-Spannungen VBE1O und VBE11 der Transistoren Q10 bzw. Q11 ungefähr 0,75 V. Daher ist die Eingangs-Schwellenspannung Vith des Pegelumsetzers 221 folgendermaßen eingestellt: Vith = - VBE15 + VBC15 + VBE11 + VBE10 = - 0,75 + 0,55 + 0,75 + 0,75 = 1,3V.

(2) Die Ausgangstransistoren Q10, Q12, die die Entladung bzw. Aufladung der Ausgangs-Lastkapazität Cx des Pegelumsetzers 221 besorgen, sind von den Bipolartransistoren mit niedrigem Ausgangswiderstand gebildet. Daher lassen sich die Schaltgeschwindigkeiten erhöhen oder die Ausbreitungs-Laufzeiten verkürzen, und die Abhängigkeiten der Ausbreitungs-Laufzeiten von der Ausgangskapazität können verringert werden.

(3) Da es sich bei den Transistoren Q10, Q11, Q13, Q14 und Q15 um die verklammerten Transistoren handelt, können ihre Speicherzeiten verkürzt sein.

(4) Da der Viel-Emitter-Transistor Q15 die logische Verarbeitungsfunktion aufweist, ist die Konstruktionsfreiheit der integrierten Halbleiter-Logikschaltung IC des Master-Sliceoder Gate-Array-Typs erhöht.

Bei einem derartigen Pegelumsetzer 221 nach Figur 32 fließt jedoch dann, wenn der Ausgang des CMOS-NAND-Gliedes 211 auf dem niedrigen Pegel liegt, kontinuierlich hoher Strom von 0,4 mA aus der Versorgungsspannung VCC zur Ausgangsseite des CMOS-NAND-Gliedes 211 über den Widerstand R35 sowie die Basis-Emitter-Strecke des Transistors Q15. Daher müssen die Verhältnisse W/L der N-Kanal-MOSFETs M3, M4 des NAND-Gliedes 211 auf hohe Werte von 100/3 eingestellt

sein, um die Einschalt-Widerstände RON zu verringern. Dies bringt eine Verringerung der Integrationsdichte der integrierten Schaltung IC mit sich. Außerdem haben die Untersuchungen der Erfinder das Problem offengelegt, daß infolge der Zunahme der Gate-Kapazitäten beider MOSFETs M3 und M4 die Schaltgeschwindigkeit des CMOS-NAND-Gliedes 211 abnimmt.

Figur 33 zeigt ein Schaltbild für den Pegelumsetzer 221, das entwickelt worden ist, um die oben beschriebenen Probleme zu lösen, wobei der Viel-Emitter-Transistor Q15 nach Figur 32 durch die oben erläuterte Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz ersetzt ist.

Gemäß Figur 33 ist diese Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz aus PNP-Eingangsstransistoren Q17, Q18, einem Emitter-Folger-NPN-Transistor Q16, Schottky-Sperrschichtdioden D11, D12 und Widerständen R36, R37, R38 aufgebaut.

Ferner weist der Pegelumsetzer 221 eine Steuerschaltung auf, die aus einem PNP-Transistor Q2O, einem NPN-Transistor Q21, einer Diode D14 mit PN-Übergang und einem Widerstand R38¹ aufgebaut ist und dazu dient, die Ausgangsklemme OUT1 in den potentialmäßig schwebenden Zustand zu versetzen..

Die Basis des PNP-Transistors Q20 dieser Steuerschaltung wird durch das Auf steuersignal EN des CMOS-Inverters 215, in dem internen Logik-Block 21 angesteuert, wobei dieser Inverter aus einem P-Kanal-MOSFET M5 und einem N-Kanal-MOSFET M6 aufgebaut ist. Am Eingang dieses CMOS-Inverters 21Jt liegt das invertierte Aufsteuersignal EN.

Da ferner diese Steuerschaltung zu dem Pegelumsetzer 221 hinzugefügt worden ist, sind zusätzlich zu der oben erwähnten Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz ein PNP-Eingangstransistor Q19 und eine Schottky-Sperrschichtdiode D13 vorgesehen. Wenn daher das Aufsteuersignal EN seinen niedrigen Pegel annimmt, schalten die Transistoren Q10 bis Q13 des Pegelumsetzers 221 gleichzeitig aus, so daß die Ausgangsklemme 0UT1 in den potentialmäßig schwebenden Zustand gerät. Gelangt andererseits das Aufsteuersignal EN auf seinen hohen Pegel, so hat der Pegelumsetzer 221 in ähnlicher Weise eine

logische Verarbeitungsfunktion als NAND-Glied mit zwei Eingängen, so daß sich die Konstruktionsfreiheit der integrierten Schaltung IC erhöht.

Die Duchlaßspannungen VF11, VF12, VF13 der Schottky-Sperrschichtdioden D11, D12 bzw. D13 liegen bei 0,35 bis 0,41 V, die Basis-Emitter-Spannungen VBE17, VBE18, VBE19 der PNP-Eingangstransistoren Q17, Q18 bzs. Q19 bei etwa 0,75 V, und die Basis-Emitter-Spannungen VBE10, VBE11, VBE16 der NPN-Transistoren Q10, Q11 bzw. Q16 bei etwa 0,75 V. Daher wird die Eingangs-Schwellenspannung Vith, bei der die Transistoren Q10, und Q11 beispielsweise bezüglich der der Basis des PNP-Transistors Q17 zugeführten Ausgangsspannung des CMOS-NAND-Gliedes 211 einschalten, folgendermaßen bestimmt: Vith = - VBE17 + VBE16 + VBE11 + VBE10 = 1,5 V.

Die Ausgangstrans.istoren Q10, Q11 zum Entladen bzw. Aufladen der Ausgangs-Lastkapazität Cx werden von den Bipolartransistoren mit niedrigem Ausgangswiderstand gebildet. Daher lassen sich die Schaltgeschwindigkeiten erhöhen oder die Ausbreitungs-Laufzeiten verkürzen, und die Abhängigkeiten dieser Laufzeiten von der Ausgangskapazität können verringert werden. Da es sich ferner bei den Transistoren Q10, Q11, Q13, Q14 und Q16 um die verklammerten Transistoren handelt, können deren Speicherzeiten verkürzt sein.

Die Untersuchungen der Erfinder haben jedoch gezeigt, daß selbst bei dem Pegelumsetzer 221 nach Figur 33 wiederum ein nicht vernachlässigbarer Strom von der Basis des PNP-Eingangstransistors Q17 zur Ausgangsseite des CMOS-NAND-Gliedes 221 fließt, wenn der Ausgang dieses NAND-Gliedes 211 sich auf dem niedrigen Pegel befindet, so daß die oben genannten Probleme nicht vollständig gelöst werden können.

Figur 34 zeigt den Pegelumsetzer 221, der schließlich entwickelt worden ist, um diese Probleme im wesentlichen vollständig zu lösen. Danach ist der Viel-Emitter-Transistor Q15 in Figur 32 durch die Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz ersetzt, die - wie im folgenden erläutert - aus MOSFETs

aufgebaut ist.

Gemäß Figur 34 ist die Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz aus N-Kanal-MOSFETs_; M11 , MT2, M13 und einer Diode D14 mit PN-Übergang aufgebaut. Die Drain-Source-Strecken der FETs M11, M12, M13 sind parallel geschaltet, während deren Gate-Elektroden an die CMOS-NAND-GIieder 211, 212, bzw. 213 des internen Logik-Blocks 21 angeschlossen sind. Ferner liegt die Diode D14 mit PN-Übergang in Serie mit den Drain-Source-Strecken.
Die verschiedenen Widerstände sind auf folgende Werte eingestellt: R30 = 2 ΚΩ, R31.= 4 ΚΩ, R32 = 10 ΚΩ, R33 = 4 ΚΩ, R34 = 50 bis 75 Ω, und R35 = 16 ΚΩ. Die Emitterflächen der

2 Transistoren haben folgende Größen: Q10 = 672 ym , Q11 =

132 ym², Q12 = 363 ym², Q13 = 187 ym² und Q14 = 242 ym².

Um ferner in diesem Pegelumsetzer 221 die logische Verarbeitungsfunktion noch zu verstärken, ist parallel zu dem Transistor Q11 ein Treibertransisfcor Q20 geschaltet, dessen Emitterfläche gleich der des Treibertransistors Q11 ist, und es ist eine zweite Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz vorgesehen, die aus N-Kanal-MOSFETs M14, MI5, M16, einer Diode D15 mit PN-Übergang und einem Widerstand R39 ähnlich der vorherigen Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz aufgebaut ist. Dieser Pegelumsetzer 221 weist die logische Verarbeitungsfunktion eines komplexen Verknüpfungsgliedes 5 mit sechs Eingängen auf.

Ferner ist in ähnlicher Weise auch dem Pegelumsetzer eine Steuerschaltung zugeschaltet, die dazu dient, die Ausgangsklemme OUT1 in den potentialmäßig schwebenden Zustand zu versetzen, wenn dem Pegelumsetzer von dem internen Logik-Block 21 das AufSteuersignal EN mit niedrigem Pegel zugeführt wird. Diese Steuerschaltung ist aus einem N-Kanal-MISFET M17, Transistoren Q21, Q22, Q23, Widerständen R40, R41, R42, R43 und Schottky-Sperrschichtdioden D16, D17, D18 und D19 aufgebaut.

· Um in dem Pegelumsetzer 221 nach Figur 34 die Eingangs-Schwellenspannungen an den Gate-Elektroden der sechs MOSFETs

M11, ... Μ16 auf den Mittelwert von 2,5 V zwischen der CMOS-Niederpegel-Ausgangsspannung von 0,6 V und der CMOS-Hochpegel-Ausgangsspannung von 4,4 V einzustellen, haben die Verhältnisse W/L der FETs M11 ... MI6 die weiter unten angegebenen Werte. Dabei sind die Schwellenspannungen VTH der FETs M11 ... M16 auf ungefähr 0,75 V eingestellt, die Durchlaßspannung VF14 der Diode D14 mit PN-Übergang auf 0,75 V, und die Kanal-Leitwerte ß0 der FETs M11 ... M16 auf 60 χ 10~⁶ S.

Im folgenden soll der Fall betrachtet weren, daß nur der MOSFET M11 eingeschaltet ist, wobei die Gate-Spannung VX, die Gate-Source-Spannung VGS, der Drain-Strom ID, die Drain-Spannung VY usw. berechnet werden. Dabei sei angenommen, daß der FET M11 in seinem Sättigungsbereich vorgespannt ist.

VX = VGS + VF14 (1)

ID = 4r·?·(^VGS - VTH)² (2)

VY = VCC - R35-ID (3)

Aus den Gleichungen (1) und (2) ergibt sich

ID = -££·— (VX - VF14 - VTH)² (4)

Als Eingangs-Schwellenspannung wird die Spannung VX betrachtet, was der Tatsache entspricht, daß die Spannung VY aufgrund eines Anstiegs der Spannung VX abfällt, so daß die Transistoren Q10, Q11 abschalten.

Die Drain-Spannung VY, bei der die Transistoren Q10, Q11 abschalten, berechnet sich folgendermaßen:

VY = VBE11 + VBEIO (5)

Aus den Gleichungen (3) und (5) ergibt sich

_Tn _ VCC - VBE11 - VBE10 _/cx

ID ^35 (6)

2 (7)

Aus den Gleichungen (4) und (6) ergibt sich

W _ VCC - VBE11 - VBEIO _# 2

L R35 * ßO (VX - VF14 - VTH)

Setzt man in Gleichung (7) die Bedingungen VCC = 5 V, VBE11 und VBE10 = 0,75 V, R35 = 16 ΚΩ, ßO = 60 χ 10~⁶ S, VX = 2,5 V, VFI4 = 0,75 V und VTH = 0,75 V ein, so erhält man

W _ 5 - 0,75 - 0,75 2 χ ΙΟ⁶ 1

L _{16 χ 10}3 · 60 * "(2,5 - 0,75 - Ο,75)²

- IiI . 2 χ ΊΟ³ - -1-

- 960 ^{2 Χ l0} ^

=7,29= f

^{2 χ}

t
Somit läßt sich die Eingangs-Schwellenspannung des Pegelumsetzers 221 auf 2,5 V dadurch einstellen, daß die Verhältnisse W/L der FETs M11 M16 mit 22/3 gewählt werden.

Für das Ausführungsbeispiel nach Figur 34 mit der obigen Anordnung haben die Erfinder bestätigt, daß die Ausbreitungs-Laufzeiten und deren Abhängigkeit von der Ausgangskapazität folgende Werte haben:

tpHL (für Cs = 0 pF) 8,8 ns

tpLH (für Cs = 0 pF) 7,8 ns

KHL ...... Ό, 11 ns/pF

KLH 0,01 ns/pF

Figur 5 zeigt in strichpunktierten Linien die Abhängigkeiten der Ausbreitungs-Laufzeiten von der Ausgangs-Lastkapazität für den Pegelumsetzer 221 gemäß dem Ausführungsbeispiel nach Figur 34. Wie ersichtlich, sind die Abhängigkeiten KHL, KLH der ersten und der zweiten Ausbreitungs-Laufzeit tpHL, tpLH von der Ausgangskapazität verbessert.

Aus den nachstehend angegebenen Gründen vermag der Pegelumsetzer 221 nach Figur 34 gewünschte Eigenschaften zu erzielen: (1) Wie oben beschrieben, sind die Verhältnisse W/L der MOSFETs M11 .... M16 entsprechend der Versorgungsspannung VCC, dem Widerstand R35, den Kanalleitwerten ßO und den Schwellenspannungen VTH der MOSFETs M11 ... M16, sowie der Durchlaßspannung VF14 der Diode D14 bezüglich der Basis-Emitter-Spannungen VBE10, VBE11 der Transistoren Q10, Q11 eingestellt, so daß sich die Eingangs-Schwellenspannung des Pegelumsetzers 221 auf den zwischen 0,6 und 4,4 V liegenden • Wert von 2,5 V einstellen läßt.

(2) Die Ausgangstransistoren Q1O, Q11, die zur Entladung bzw. Aufladung der Ausgangs-Lastkapazität Cx dienen, werden von den Bipolartransistoren mit niedrigem Ausgangswiderstand gebildet. Daher lassen sich die Schaltgeschwindigkeiten erhöhen oder die Ausbreitungslaufzeiten verkürzen, und die Abhängigkeiten dieser Laufzeiten von der Ausgangskapazität können verringert werden.

(3) Die den MOSFET M11 enthaltende Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz ist zwischen die Basis des Treibertransistors Q11 und den Ausgang des internen Logik-Blocks 21 eingeschaltet. Daher kann der von der Gate-Elektrode des MOSFETs M11 zum Ausgang des CMOS-NAND-Gliedes 211 des internen Logik-Blocks 21 fließende Strom auf einen vernachlässigbaren Wert verringert und ein deutlicher Anstieg im Verhältnis W/L des N-Kanal-MOSFET des CMOS-NAND-Gliedes 211 verhindert werden.

(4) Da die MOSFETs M11, M12, M13 der Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz die Funktion eines ODER-Gliedes mit drei Eingängen erfüllen, wird die logische Verarbeitungsfunktion des Pegelumsetzers 221 verstärkt,.

(5) Da die beiden Treibertransistoren Q11, Q20 die Funktion eines UND-Gliedes erfüllen, wird die logische Verarbeitungsfunktion des Pegelumsetzers 221 weiter verstärkt.

(6) Da es sich bei den Transistoren Q10, QI1, Q13, Q14, und Q20 um die verklammerten Transistoren handelt, lassen sich deren Speicherzeit verkürzen.

(7) Durch Einstellen des AufSteuersignals EN auf den niedrigen Pegel werden die Ausgangstransistoren Q10, Q12 des Pegelumsetzers 221 gleichzeitig abgeschaltet, so daß die Ausgangsklemme OUT1 in den potentialmäßig schwebenden Zustand gerät. Daher läßt sich im Parallelbetrieb, bei dem diese Ausgangsklemme OÜT1 und die (nicht gezeigte) Ausgangsklemme einer weiteren Logikschaltung verbunden sind, der Signalpegel der Ausgangsklemme 0UT1 vom Ausgang des internen Logik-Blocks 21 unabhängig machen.

Figur 36 zeigt ein Schaltungsbeispiel des Pegelumsetzers 221 gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Er-

findung. Bei diesem Pegelumsetzer ist die Ausgangsklemme OUT1 gemeinsam mit der Ausgangsklemme einer weiteren integrierten Halbleiterschaltung IC des Typs mit offenem Kollektorausgang, die eine TTL-Pegel-Logik bildet, verbunden, und dieser gemeinsame Verbindungspunkt ist über einen Lastwiderstand R1OO von 2 ΚΩ an die Versorgungsspannung VCC von 5 V angeschlossen.

Die Schaltung IC¹ ist, wenn auch darauf nicht besonders beschränkt, aus Schottky-Sperrschichtdioden D1 , D2, D3, einem.

Viel-Emitter-Transistor Q40, verklammerten Transistoren Q41 bsi Q44, Widerständen R40 bis R44, und einer Diode D4 mit PN-Übergang aufgebaut. Als offener Kollektorausgang ist der Kollektor des Ausgangstransistors Q43 an die Klemme Nr. 43 angeschlossen, die als Ausgangsklemme dient. Innerhalb der Schaltung IC¹ ist jedoch kein Schaltungselement zwischen die Versorgungsspannung VCC und den Kollektor des. Ausgangstransistors Q43 eingeschaltet.

Der Pegelumsetzer 221 nach Figur 36 ist ganz ähnlich aufgebaut wie der Pegelumsetzer 221 nach Figur 34 mit der Ausnahme, daß innerhalb der Schaltung IC kein Schaltungselement zwischen die Versorgungsspannung VCC und den Kollektor des Ausgangstransistors Q10 eingeschaltet ist.

Die Ausgangsklemmen der Schaltung IC und die der Schaltung IC¹ sind also in Form eines sogenannten verdrahteten ODER-Gliedes verbunden» Ferner wird der Ausgangstransistor Q10 des Pegelumsetzers 221 dadurch zwangsläufig abgeschaltet, daß das Aufsteuersignal EN auf den niedrigen' Pegel gebracht wird, wodurch sich der Pegel an der Ausgangsklemme OUT1 vom Ausgang des internen Logik-Blocks 21 unabhängig machen läßt.

Figur 37 zeigt die räumliche Anordnung verschiedener Schaltungsblöcke auf der vorderen Fläche eines Halbleiterchips der integrierten Halbleiter-Logikschaltung IC gemäß der vorliegenden Erfindung.

Im mittleren Teil (dem mit der gestrichelten Linie Io umgebenen Bereich) des Halbleiterchips 300 ist der aus der CMOS-Schaltung (und zwar einer reinen CMOS- oder einer quasi-

CMOS-Schaltung) aufgebaute interne Logik-Block 21 angeordnet. Im oberen Teil (dem mit der gestrichelten Linie £1 umgebenen Bereich) des Halbleiterchips 300 sind die Vielzahl von Eingangs-Pegelumsetzern gemäß Figur 31 (durch Dreiecke mit schraffiertem Innenfeld bezeichnet) sowie die Vielzahl von Ausgangs-Pegelumsetzern nach Figur 34 (durch Dreiecke mit weißen Innenfeldern bezeichnet) abwechselnd angeordnet. In ähnlicher Weise sind jeweils im rechten Teil (dem mit der gestrichelten Linie £2 umgebenen Bereich), im unteren Teil (dem mit der gestrichelten Linie £3 umgebenen Bereich) und im linken Teil (dem mit der gestrichelten Linie £4 umgebenen Teil) des Halbleiterchips 3O0 die Vielzahl von Eingangs-Pegelumsetzern nach Figur 31 und die Vielzahl von Ausgangs-Pegelumsetzern nach Figur 34 abwechselnd angeordnet.

Über dem oberen Teil £1 sind Bondflächen für Eingänge (durch Quadrate mit dicken Linien angedeutet) entsprechend der Anzahl von Eingangs-Pegelumsetzern und Bondflächen für Ausgänge (durch Quadrate mit dünnen Linien angedeutet) entsprechend der Anzahl der Ausgangs-Pegelumsetzer angeordnet.

Die Eingangsteile der Eingangs-Pegelumsetzer liegen den entsprechenden Eingangs-Bond-Flächen, die Ausgangsteile dagegen dem internen Logik-Block 21 gegenüber; entsprechend liegen die Eingangsteile der Ausgangspegelumsetzer dem internen Logik-Block 21 und ihre Ausgangsteile den entsprechenden Ausgangs-Bondflächen gegenüber.

Ähnlich wie im oberen Teil £1 sind auch im rechten Teil £2, im unteren Teil £3 und im linken Teil £4 eine Vielzahl von Eingangs- und Ausgangs-Bondflächen angeordnet, wobei auch die Eingangs- und Ausgangsteile der Eingangs- und Ausgangspegelumsetzer in diesen Teilen ähnlich wie in dem Teil £1 angeordnet sind.

In mindestens einer der vier Ecken des Halbleiterchips 300 ist eine Bondfläche 30 zur Zuführung der Versorgungsspannung VCC und in mindestens einer weiteren Ecke eine Bondfläche 31 zum Anschluß an das Erdpotential angeordnet.

Die hintere Fläche des Halbleiterchips mit der in Figur 37 gezeigten räumlichen Anordnung steht mit der vorderen Fläche des Anschlußleiters LT eines metallischen Leiterrahinens LF nach Figur 38 körperlich und elektrisch in dich- ' tem Kontakt.

Gemäß Figur 38 weist der Leiterrahmen LF dem rechten oberen Teil des Halbleiterchips 300 entsprechend Leiterabschnitte L1 ... L16, einen Rahmenabschnitt LO sowie schraffierte Dammabschnitte LD auf. Tatsächlich sind die übrigen Teile entsprechend dem rechten unteren Teil, dem linken unteren Teil und dem linken oberen Teil des Halbleiterchips ähnlich der obigen Stuktur. Bei dem Leiterrahmen LF handelt es sich um ein bearbeitetes Metallblech mit einer Struktur, in der der Rahmenabschnitt LO, die Leiterabschnitt L1 ... L6 4 und der Anschlußleiter LT über die schraffierten Daminabschnitte miteinander verbunden sind.

Nachdem die hintere Fläche des Halbleiterschips 300 mit der vorderen Fläche des Anschlußleiter LT verbunden worden ist, werden die im folgenden beschriebenen Bonddrähte (beispielsweise Gold-oder Aluminiumdrähte) verdrahtet.

Unter Verwendung einer im Handel erhältlichen Drahtbondausrüstung wird die Versorgungs-Bondfläche 30 über einen Draht £5 mit dem Leiterabschnit.t L34 elektrisch verbunden. Ferner wird die Eingangs-Bondflache über einen Draht £6 mit dem Leiterabschnitt L9 elektrisch verbunden, die Ausgangs-Bondflache über einen Draht £7 mit dem Leiterabschnitt L8, die Eingangs-Bondfläche über einen Draht £8 mit dem Leiterabschnitt L7, die Ausgangs-Bondflache über einen Draht £9 mit dem Leiterabschnitt L6, die Eingangs-Bondflache über einen Draht £10 mit dem Leiterabschnitt L5, und schließlich die Erdungs-Bondflache 31 über einen Draht £11 mit dem Anschlußleiter LT.

Nach Vervollständigung der obigen Verdrahtung werden der Leiterrahmen LT und der Halbleiterchip 300 in eine Metallform zur Kunstharzeinformung gegeben, woraufhin flüssiges Kunstharz in den Bereich innerhalb der Dammabschnitte LD

des Leiterrahmens LF eingegossen wird. Diese Daininabschnitte LD verhindern, daß das Kunstharz nach außen fließt. Nach Aushärten des Kunstharzes wird die einheitliche Struktur aus dem Leiterrahmen LF, dem Halbleiterchips 300 und dem Kunstharz aus der Metallform entnommen. Durch eine Presse oder dergleichen werden sodann die Dammabschnitte LD entfernt, so daß die entsprechenden Leiterabschnitte L1 ... L64 elektrisch isoliert sind.

Bei Bedarf werden die aus dem verfestigten Kunstharz herausragenden Leiterabschnitte L1 ... L64 nach unten gebogen. Somit ist die in das Kunstharz 301 eingegossene integrierte Halbleiter-Logikschaltung IC fertig, wie sie in der schematischen Darstellung nach Figur 39 gezeigt ist. Wie aus dieser Figur hervorgeht, ist diese Schaltung IC mit keinerlei speziellen Kühlrippen versehen, um von dem Halbleiterchip 300 erzeugte Wärme aus der eingeformten Struktur nach außen abzustrahlen. Wird eine solche Kühlrippe vorgesehen, so führt dies zu einer unerwünschten Erhöhung der Kosten der Schaltung IC.

Neben dem oben erwähnten Verfahren des Vergießens in Kunststoff sind auch Verfahren in Betracht gezogen worden, bei denen der Halbleiterchip durch Keramik-Einformung bzw. durch Verwendung eines Metallgehäuses abgedichtet wird. Im Hinblick auf die Kostender Schaltung IC ist jedoch das Eingießen in Kunststoff am vorteilhaftesten.

In der integrierten Halbleiter-Logikschaltung IC nach dem in Figur 37 bis 39 gezeigten Ausfuhrugnsbeispiel sind insgesamt 18 bis 50 Eingangs-Pegelumsetzer 201, 202 ... 20n vorgesehen, die den Eingangspuffer 20 bilden, insgesamt 200 bis 1530 CMOS-Verknüpfungsglieder 211, 212 ... 21£, die den internen Logik-Block 21 bilden, und insgesamt 18 bis 50 Ausgangs-Pegelumsetzer 221, 222, ... 22m, die den Ausgangspuffer bilden, so daß der Halbleiterchip 300 eine LSI-Halbleiterschaltung, d.h. eine integrierte Großschaltung, bildet. Aus den im folgenden genannten Gründen ist dennoch

diese Schaltung IC mit Erfolg in die Struktur ohne Kühlrippen eingebaut worden.

Da der Leistungsverbrauch jedes der den internen Logik-Block 21 bildenden CMOS-Verknüpfungsglieder 211, 212, ... 21 £ nur 0,039 mW beträgt, ist der Leistungsverbrauch des gesamten internen Logik-Blocks 21 mit 200 bis 1530 Verknüpfungsgliedern sehr niedrig und beträgt nur 7,8 bis 59,67 mW. Da die den Eingangspuffer 20 gemäß dem Ausführungsbeispiel nach Figur bildenden Eingangs-Pegelumsetzer 201, 202 ... 20n eine große Anzahl von Bipolartransistoren umfassen, beträgt der Leistungsverbrauch pro Umsetzer 2,6 mW und der Leistungsverbrauch des gesamten Eingangspuffers 20 mit 18 bis 50 Umsetzern 46>8 bis 130 mW. Da ferner die den Ausgangspuffer 22 in dem Ausführungsbeispiel nach Figur 34 bildenden Ausgangs-Pegelumsetzer 221, 222, ... 22m ebenfalls eine große Anzahl von Bipolartransistoren aufweisen, beträgt der Leistungsverbrauch pro Umsetzer 3,8 mW und für den gesamten Ausgangspuffer 22 mit 18 bis 50 Umsetzern 68,4 bis 190 mW.

Aus den obigen Daten ergibt sich, daß bei der Schaltung IC, die aus dem Eingangspuffer 20 mit 18 Umsetzern, dem internen Logik-Block 21 mit 200 Verknüpfungsglj.edern und dem Ausgangspuffer 22 mit 18 Umsetzern aufgebaut ist, 6,4 % der Gesamtwärme in dem Mittelteil £-0 der forderen Fläche des Halbleiterchips nach Figur 37, 93,6 % der Gesamtwärme dagegen in den Randteilen £1 ... £4 erzeugt werden. Bei einer Schaltung IC, die aus einem Eingangspuffer 2O mit 50 Umsetzern, einem internen Logik-Block 21 mit 1530 Verknüpfungsgliedern und einem Ausgangspuffer 22 mit 50 Umsetzern aufgebaut ist, werden 15,8 % der Gesamtwärme in dem Mittelteil £0 der vorderen Fläche des Halbleiterchips nach Figur 37, 84,2 % der Gesamtwärme dagegen in den Randteilen £1 ... £4 erzeugt.

Wie in Figur 37 gezeigt, ist der interne Logik-Block 21, der nur die geringe Wärmemenge erzeugt, im Mittelteil £0 des Chips angeordnet, während der Eingangspuffer 20 und

der Ausgangspuffer 22, die die großen Wärmemengen erzeugen, in den Seitenteilen £.1 ... £4 des Chips angeordnet sind. Gemäß Figur 38 werden daher die großen Wärmemengen von den Randteilen £1 ... £4 über den Anschlußleiter LT und den Leiterabschnitt L1 als Erdleitung aus der Schaltung IC entnommen (wobei insbesondere die Wärmeabfuhr über die Erdleitung einer Schalterplatte erfolgt, wenn die Schaltung IC auf einer solchen Leiterplatte eingebaut ist). Ferner kann die Ableitung dieser Wärme aus der Schaltung IC über die große Anzahl von Bonddräh'ten und Leiterabschnxtten L2 ... L64 erfolgen (insbesondere über die Signalleitungen und über die Versorgungsleitung der Leiterplatte, wenn die Schaltung IC auf einer solchen Leiterplatte installiert ist). Die Berechnungen der Erfinder haben bestätigt, daß dann, wenn in Gegensatz zu dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel der Eingangspuffer 20 und der Ausgangspuffer 22, die die goßen Wärmemengen erzeugen, im mittleren Teil £0 des Chips und der interne Logik-Block 21 im Randbereich angeordnet sind, die großen Wärmemengen nicht ohne weiteres aus dem mittleren Teil £0 der Schaltung IC abgeführt werden können.

Aus den oben beschriebenen Gründen ist es dagegen möglich geworden, die Schaltung IC des obigen Ausführungsbeispiels in eine Struktur ohne Kühlrippen einzubauen. Da ferner die Schaltung IC in Kunstharz eingebettet worden ist, sind die Kosten der Schaltung IC erheblich verringert worden.

Figur 40 zeigt ein Blockschaltbild eines elektronischen Systems bei dem eine integrierte Halbleiter-Logikschaltung IC entsprechend dem Ausführungsbeispiel nach Figur 37 bis 39 sowie weitere, mit TTL-Pegeln arbeitende integrierte Halbleiter-Logikschaltungen 401, 402 .... 40n, 501 ... 505 und 600 auf einer Leiterplatte installiert sind.

Gemäß Figur 40 werden die Ausgangssignale der Schaltungen 401, 402 ... 4On, die TTL-Pegel aufweisen, den Eingangs-

klemmen IN1, IN2 ... INn der Schaltung IC zugeführt, deren Ausgangssignale an den Eingängen der Schaltungen 501 ... mit TTL-Eingangspegeln liegen.

Ferner sind der Ausgang OUT2 der Schaltung IC und der Ausgang der Schaltung 600 zusammengeschaltet, so daß beide Schaltungen IC und 600 im Parallelbetrieb arbeiten.

Die in dem Eingangspuffer 20 und dem Ausgangspuffer 2 der Schaltung IC in großen Mengen erzeugte Wärme läßt sich über die Erdleitung, die Energieversorgungsleitung, die Signaleingangsleitung und die Signalausgangsleitung der Leiterplatte ableiten.

Wird das dem Ausgangspuffer 22 zuzuführende Aufsteuersignal EN auf den niedrigen Pegel gelegt, so gelangen die Ausgangsklemmen 0UT1, 0UT2 ... OUTn jeweils in den potentialmäßig schwebenden Zustand, und die Eingangspegel der Schaltungen 501, 502, 5O3 werden durch den Ausgangspegel der Schaltung 600 bestimmt.

Ferner wird eine hohe Geschwindigkeit an der Schnittstelle zwischen dem Eingangspuffer 20 und den Schaltungen 401, 402 . .

4On erzielt, an der Schnittstelle zwischen dem internen Logik-Block 21 und dem Eingangspuffer 20; an der Schnittstelle zwischen dem Ausgangspuffer 22 und dem internen Logik-Block 21; und an der Schnittstelle zwischen den Schaltungen 501 ... 505 und dem Ausgangspuffer 22.

Aus den nachstehend angegebenen Gründen sind die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele in der Lage, günstige Effekte zu erzielen:

(1) Die Ausgangstransistoren zum Aufladen bzw. Entladen der Ausgangskapazität Cs eines Eingangs-Pegelumsetzers 201 werden von Bipolartransistoren gebildet. Daher lassen sich die Ausbreitungs-Laufzeiten des Eingangs-Pegelumsetzers und deren Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität aufgrund der Tatsache verringern, daß der Bipolartransistor, obwohl er eine geringere Gerätegröße aufweist als ein MOSFET, einen kleineren Ausgangswiderstand und eine höhere Stromverstärkung aufweist, so daß er einen hohen Lade- bzw. Entladestrom

erzeugen kann.

(2) In dem Eingangs-Pegelumsetzer 201 liegt zwischen Basis und Kollektor eines in seinem Sättigungsbereich betriebenen Bipolartransistors eine Schottky-Sperrschichtdiode zur Durchführung eines Majoritätsträger-Vorgangs. Daher läßt sich die Injektion von Minoritätsträgern aus der Kollektorschicht in die Basisschicht reduzieren, so daß die Speicherzeit des Bipolartransistors verkürzt wird.

(3) Bei einem Eingangs-Pegelumsetzer 201 nach einem bevorzugten Ausführungsbeispiel wird das Basis- oder Kollektorsignal des Treibertransistors Q2 der Basis eines ladenden Ausgangs-Bipolartransistors Q3 über einen MOS-Puffer zugeführt, der eine hohe Eingangsimpedanz und eine Spannungsvers tärkungsfunktion aufweist. Dadurch wird die Arbeitsge- schwindigkeit des Ausgangstransistors Q3 wegen der hohen Eingangsimpedanz und der Spannungsverstärkungsfunktion des MOS-Puffers erhöht.

(4) Bei dem Eingangs-Pegelumsetzer 201 gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel sind zwischen eine Eingangsklemme IN1 und den Treibertransistor Q2 ein Emitter-Folger-PNP-Transistor Q4 und eine Diode D2 mit PN-Übergang eingeschaltet. Auf diese Weise läßt sich die Eingangs-Schwellenspannung des Eingangs-Pegelumsetzers 201 in geeigneter Weise einstellen. Da ferner die Eingangsimpedanz des PNP-Transistors Q4 an dessen Basis aufgrund seiner Stromverstärkungsfunktion erhöht ist, läßt sich der Einfluß der Ausgangsimpedanz einer TTL-Pegel-Signalguelle auf die Eingangsklemme IN1 reduzieren.

(5) Ausgangstransistoren zur Auf- bzw. Entladung der Ausgangslastkapazität Cx eines Ausgangs-Pegelumsetzers 221 werden von Bipolartransistoren gebildet. Daher lassen sich die Ausbreitungs-Laufzeiten des Ausgangs-Pegelumsetzers und deren Abhängigkeiten von der Ausgangskapazität aufgrund der Tatsache herabsetzen, daß der Bipolartransistor - obwohl er eine geringere Gerätegröße aufweist als ein MOSFET - einen geringeren Ausgangswiderstand und eine höhere Stromverstärkung

aufweist, so daß er in der Lage ist, einen großen Ladebzw. Entladestrom zu erzeugen.

(6) In dem Äusgangs-Pegelumsetzer 221 ist zwischen Basis und Kollektor eines in seinem Sättigungsbereich betriebenen Bipolartransistors eine Schottky-Sperrschichtdiode zur Durchführung eines Majoritätsträger-Vorgangs eingeschaltet. Daher läßt sich die Injektion von Minoritätsträgern aus der Kollektor-in die Basisschicht reduzieren, so daß die Speicherzeit des Bipolartransistors verkürzt werden kann.

(7) In einem Äusgangs-Pegelumsetzer 211 entsprechend einem* bevorzugten Ausführungsbeispiel liegt zwischen dem Ausgang des internen Logik-Blocks 21 und der Basis eines Treibertransistors Q11 eine MOS-Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz.

Dadurch läßt sich der von der Gate-Elektrode des MOSFETs dieser MOS-Schaltung zum Ausgang des internen,Logik-Blocks 21 fließende Strom auf einen vernachlässigbaren Wert verringern. Dadurch wird wiederum verhindert, daß die Integrationsdichte der Ausgangsschaltung des internen Logik-Blocks 21 und die Schaltgeschwindigkeit absinken.

(8) In dem Äusgangs-Pegelumsetzer 221 gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die MOS-Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz mit der Funktion einer logischen Verarbeitung einer Vielzahl von Ausgangssignalen des internen Logik-Blocks 21 versehen. Dadurch kann die Konstruktionsfreiheit einer integrierten Halbleiter-Logikschaltung IC des Master-Slice- oder des Gate-Array-Typs erhöht werden.

(9) In dem Äusgangs-Pegelumsetzer 221 gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist eine Steuerschaltung vorgesehen, die auf der Basis eines AufSteuersignals EN eine Ausgangsklemme 0UT1 in einen potentialmäßig schwebenden Zustand steuert. Daher läßt sich dann, wenn diese Ausgangsklemme 0UT1 sowie die Ausgangsklemme einer weiteren Logikschaltung zusammengeschaltet sind, der Pegel der gemeinsamen Ausgangsklemme entsprechend dem Ausgang der weiteren Logikschaltung einstellen.

(10) In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der interne Logik-Block 21, der als reine CMOS-Schaltung oder als Quasi-CMOS-Schaltung ausgeführt ist und daher einen verringerten Leistungsbedarf aufweist, im mittleren Teil an der vorderen Fläche eines Halbleiterchips angeordnet, während die Eingangs-Pegelumsetzer 201 ... und die Ausgangs— pegelumsetzer 221 ..., die jeweils eine Vielzahl von Bipolartransistoren und hohen Leistungsverbrauch aufweisen, in den Randteilen der vorderen Fläche des Halbleiterchips angeordnet sind. Dies erleichtert die Wärmeabfuhr. Dadurch ist es möglich geworden, die integrierte Halbleiter-Logikschaltung IC in eine Struktur ohne Kühlrippen einzubauen und ihre Kosten herabzudrücken.

(11) Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die integrierte Halbleiter-Logikschaltung IC in eine Kunstharzstruktur eingebaut, was eine weitere Herabsetzung der Kosten ermöglicht hat.

(12) Ferner ist die Eingangsklemme IN1 des Eingangs-Pegelumsetzers 201 nicht an die Gate-Elektrode eines MOSFETs sondern an die Kathode der Schottky-Sperrschichtdiode D1 oder die Basis des PNP-Transistors Q4 angeschlossen. Daher ist es möglich geworden, die Spannungsfestigkext gegen an der Eingangsklemme IN1 auftretende Spannungsspitzen zu erhöhen.

Im vorstehenden ist die Erfindung in Zusammenhang mit bestimmten Ausführungsbeispielen konkret beschrieben worden; die Erfindung beschränkt sich jedoch nicht auf diese Ausführungsbeispiele, sondern kann auf verschiedene Art modifiziert abgeändert werden.

Beispielsweise kann die Anordnung nach Figur 6 auch so getroffen sein, daß die Pegelumsetzer 201, 202 ... 20n des Eingangspuffers 20 eine ECC-CMOS-Pegelumsetzung bewirken, während die Pegelumsetzer 221, 222 ... 22m des Ausgangspuffers 22 eine CMOS-ECL-Pegelumsetzung bewirken. Zu diesem Zweck können der Eingangspuffer 20, der interne Logik-Block

21 und der Ausgangspuffer 22 mit dem Erdpegel und einer negativen Versorgungsspannung -VEE betrieben werden. In ähnlicher Weise kann die Anordnung nach Figur 6 auch so getroffen sein, daß die Pegelumsetzer 201, 202 ... 2On

2"

des Eingangspuffers 20 eine i L-CMOS-Pegelumsetzung bewirken, während die Pegelumsetzer 221, 222 ... 22m des Aus-

2
gangspuffers 22 eine CMOS-i L-Pegelumsetzung ausführen.

Ferner können bei den Ausführungsbeispielen nach Figur 14 bis 21, 23 bis 26, 29 und 3O auch der Emitter-Folger-PNP-Transistor Q4 und die Diode D2 mit PN-Übergang nach Figur 31 zugeschaltet sein.

Der Grund, aus dem der Nenner L in dem Verhältnis W/L des MOSFETs mit 3 angegeben ist, besteht darin, daß die Kanallänge des MOSFETs mit 3 ym angenommen worden ist.

Aufgrund von Verbesserungen in der Fotolithographie wird die Kanallänge gegenwärtig auf 2 ym, 1,5 ym, 1 ym oder sogar weniger verfeinert, so daß der Nenner L des Verhältnisses W/L entsprechend kleiner wird.

Mit der Verfeinerung reduzieren sich auch die Größen der Bipolartransistoren immer mehr, woraus Änderungen in den Werten der Widerstände innerhalb der Schaltungen nötig werden.

Das Verfahren zur Herausführung der großen Anzahl von Leitungen L1 ... L64 aus dem Kunstharz-Formkörper 301 ist auch nicht auf das Ausführungsbeispiel nach Figur 39 beschränkt. Zur Verringerung der Größe des Leiterrahmens LT und der Schaltung IC sowie zur Erzielung einer höheren Packungsdichte auf der Leiterplatte ist es zweckmäßiger, die äußere Form des Kunstharzkörpers 301 im wesentlichen quadratisch statt länglich zu machen, wobei dann an allen vier Seiten eine große Anzahl der Leitungen L1 .... L64 herausgeführt wird.

Ferner .ist die Erfindung vorstehend in erster Linie in ihrer Anwendung auf eine integrierte Halbleiter-Logikschaltung beschrieben worden; sie beschränkt sich jedoch nicht auf diese Fälle.

Beispielsweise können bei Bedarf auf dem Halbleiterchip nicht nur der Eingangspuffer 20, der interne Logik-Block 21 und der Ausgangspuffer 22 angeordnet sein, sondern auch eine bipolare Analog-Schaltung,eine MOS-Analogschaltung,

eine P-Kanal-MOS- oder N-Kanal-MOS-i L-Logikschaltung und/oder eine ECL-Schaltung.

Claims (22)

1. PATENTANWÄLTE 2 ~Z Z 2 ·."'.:.:. . -

   STREHL SCHÜBEL-HÖPF"" SdHUX'Z " ^ A 03

   WIDENMAYERSTRASSE 17. D-8000 MÜNCHEN 22

   HITACHI, LTD. 31. Januar 1984

   DEA-26 317

   Integrierte Halbleiterschaltung PATENTANSPRÜCHE

   Integrierte Halbleiterschaltung, gekennzeichnet durch

   (1) einen mit CMOS-Pegeln arbeitenden internen Logikblock (21), und

   (2) einen Eingangs-Pegelumsetzer (201), der an seiner Eingangsklemme (IN1) mit einem Eingangssignal gespeist wird und an seiner Ausgangsklemme ein Ausgangssignal mit CMOS-Pegel abgibt, wobei ein Ausgangstransistor (Q1, Q3) des Eingangs-Pegelumsetzers (201) zur Auf- oder Entladung einer Ausgangskapazität (Cs) des Eingangs-Pegelumsetzers (201) von einem Bipolartransistor gebildet ist.
2. 2. Schaltung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine zwischen Basis und Kollektor des zur Entladung der Ausgangskapazität (Cs) dienenden Ausgangs-Bipolartransistors (Q1) eingeschaltete erste Schottky-Sperrschichtdiode.
3. 3. Schaltung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch

   (1) einen Treibertransistor (Q2), der den Ausgangs-Bipolartransistor (Q1) zur Entladung der Ausgangskapazität (Cs) in Abhängigkeit von dem an der Eingangsklemme (IN1)

   des Eingangs-Pegelumsetzers (201) liegenden Eingangssignals - ansteuert; und

   (2) eine zwischen Basis und Kollektor des Treibertransistors (Q2) eingeschaltete zweite Schottky-Sperrschichtdiode,
4. 4. Schaltung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch einen zwischen die Basis oder den Kollektor des Treibertransistors (Q2) und die Basis des Ausgangs-Bipolartransistors (Q3) zur Aufladung der Ausgangskapazität (Cs) eingeschalteten MOS-Puffer.
5. 5. Schaltung nach Anspruch 3 oder 4, gekennzeichnet durch eine zwischen die Eingangsklemme (IN1) des Eingangs-Pegelumsetzers (201) und die Basis des Treibertransistors (Q2) eingeschaltete Schottky-Sperrschichtdiode (D1) zur Pegelverschiebung.
6. 6. Schaltung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch g e k e η η zeichnet, daß zwischen die Eingangsklemme (IN1) des Eingangs-Pegelumsetzers (201) und die Basis des Treibertransistors (Q2) ein Emitter-Folger-PNP-Transistor (Q4) und eine Diode (D2) mit PN-Übergang zur Pegelverschiebung eingeschaltet sind.

   — j —
7. 7. Schaltung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet , daß das an der Eingangskiemine (IN1) des Eingangs-Pegelumsetzers (201) liegende Eingangssignal TTL-Pegel aufweist und die Eingangs-Schwellenspannung des Eingangs-Pegelumsetzers (201) auf einen Wert zwischen einer Niederpegel-Eingangsspannung und einer Hochpegel-Eingangsspannung der TTL-Pegel eingestellt ist.
8. 8. Schaltung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das an der Eingangsklemme (IN1) des Eingangs-Pegelumsetzers (201) liegende Eingangssignal auf einen Wert zwischen einer Niederpegel-Eingangsspannung und einer Hochpegel-Eingangsspannung der TTL-Pegel eingestellt ist.
9. 9. Integrierte Halbleiterschaltung, gekennzeichnet durch ■

   (1) einen mit CMOS-Pegeln arbeitenden internen Logik-Block (21); und

   (2) einen Ausgangs-Pegelumsetzer (221), an dessen Eingangsklemme ein CMOS-Pegel-Ausgangssignal des internen Logik-Blocks (21) liegt und der an seiner Ausgangsklemme (0UT1) ein Ausgangssignal mit vorgegebenem Pegel abgibt, wobei ein Ausgangstransistör (Q10, Q12) zum Laden oder Entladen einerAusgangs-Lastkapazität (Cx) des Ausgangs-Pegelumsetzers (221) von einem Bipolartransistor gebildet ist.
10. 10. Schaltung nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch einen Treibertransistor (QII)/ der den zur Entladung der Ausgangs-Lastkapazität (Cx) diendenen Ausgangs-Bipolartransistor (Q10) sowie den zur Ladung der Ausgangs-Lastkapazität (Cx) dienenden Ausgangs-Bipolartransistor (Q12) in Abhängigkeit von dem an der Eingangsklemme des Ausgangs-Pegelumsetzers (221) liegenden Eingangssignal ansteuert.
11. 11. Schaltung nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch eine zwischen der Basis des Treibertransistors (QI1) und der Ausgangsklemme des internen Logik-Blocks (21) liegende Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz.
12. 12. Schaltung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet , daß die Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz aus MOSFETs aufgebaut ist.
13. 13. Schaltung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet , daß die Schaltung mit hoher Eingangsimpedanz eine Vielzahl von Ausgangssignalen des internen Logik-Blocks (21) logisch verarbeitet.
14. 14. Schaltung nach einem der Ansprüche 9 bis 13, gekennzeichnet durch eine Steuerschaltung, die den entladenden Ausgangstransistor (Q10) und den ladenden Ausgangstransistor (Q12) des Ausgangs-Pegelumsetzers (221) in Abhängigkeit von einem Steuersignal (EN) gleichzeitig aus-

    schaltet und dadurch die Ausgangskleimne (OUT1) des Ausgangs-Pegelumsetzers (221) in einen potentialmäßig schwebenden Zustand versetzt.
15. 15. Schaltung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsklemme (OUT1) des Ausgangs-Pegelumsetzers (221) mit einer Ausgangsklemme einer weiteren integrierten Halbleiterschaltung (600) zusammengeschaltet ist.
16. 16. Schaltung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet , daß der Ausgangs-Pegelumsetzer (221) ein solcher des offenen Kollektortyps ist.
17. 17. Schaltung nach Anspruch 16, gekennzeichnet durch eine Steuerschaltung, die in Abhängigkeit von einem Steuersignal (EN) den entladenden Ausgangstransistor (Q10) des Ausgangs-Pegelumsetzers (221) abschaltet.
18. 18. Schaltung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsklemme (0UT1) des Ausgangs-Pegelumsetzers (221) mit einer Ausgangsklemme einer weiteren integrierten Halbleiterschatlung (IC) des offenen Kollektortyps Zusammengeschaltet und über einen Lastwiderstand (R100) an eine Spannungsversorgung (VCC) angeschlossen ist.
19. 19. Integrierte Halbleiterschaltung, gekennzeichnet durch

    (1) einen mit CMOS-Pegeln arbeitenden internen Logik-Block (21);

    (2) einen Eingangs-Pegelumsetzer (201), an dessen Eingangsklemme (INI) ein Eingangssignal liegt und der an seiner Ausgangsklemme ein Ausgangssignal des MOS-Pegels bereitstellt; und ·

    (3) einen Ausgangs-Pegelumsetzer (221), an dessen Eingangsklemme ein CMOS-Pegel-Ausgangssignal des internen Logik-Blocks (21) liegt und der an seiner Ausgangskleirane (OUT1) ein Ausgangssignal bereitstellt;

    wobei ein Ausgangstransistor (Q1 , Q3) des Eingangs-Pegelumsetzers (201) zum Laden oder Entladen einer Ausgangskapazitat (Cs) des Eingangs-Pegelumsetzers (201) und ein Ausgangstransistor (Q10, Q12) des Ausgangs-Pegelumsetzers (221) zum Laden oder Entladen einer Ausgangs-Lastkapazität (Cx) des Ausgangs-Pegelumsetzers (221) jeweils von einem Bipolartransistor gebildet ist.
20. 20. Schaltung nach Anspruch 19, dadurch gekennzei chn e t , daß der interne Logik-Block (21) in einem Mittelteil und die Vielzahl von Eingangs- und Ausgangs-Pegelumsetzern (201, 221) in den vier Randbereichen eines Halbleiterchips (300) angeordnet ist.
21. 21. Schaltung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet , daß der Halbleiterchip (300) in eine Kunstharzpackung eingegossen und darin abgedichtet ist und daß, um die Packung ohne Kühlrippen zu gestalten, der jeweilige Leistungsverbrauch des internen Logik-Blocks (21) und der Vielzahl von Eingangs- und Ausgangs-Pegelumsetzern (201, 221) vorher entsprechend den Wärmemengen eingestellt ist, die über eine Vielzahl von aus der Packung herausragenden Leitern abgeführt wird.
22. 22. Schaltung nach einem der Ansprüche 19 bis 21, dadurch gekennzeichnet , daß Verdrahtungsleitungen des internen Logik-Blocks (21) und der Vielzahl von Eingangs- und Ausgangs-Pegelumsetzer (201, 221) auf dem Halbleiterchip

    (300) entsprechend einer Master-Slice-Schaltung oder einer Gate-Array-Schaltung verbunden sind.