DE3436653A1 - Verfahren und vorrichtung zum handhaben von gegenstaenden - Google Patents

Description

Verfahren und Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen

Die Erfindung bezieht sich allgemein auf Vorrichtungen zum Handhaben von Gegenständen und in besonderen auf eine Vorrichtung und auf ein Verfahren zum Handhaben verschiedener Gegenstände, die in Reaktoröfen in einer Weise behandelt werden müssen, die eine Verschmutzung der Gegenstände aus der Umwelt ausschließt.

Es ist auf dem Gebiete der Elektronik allgemein bekannt, daß die Herstellung von verschiedenen Gegenständen, z.B. Nieclertemperaturoxydsiliziumscheiben, mit größter Sorgfalt durchgeführt werden muß, um diese Gegenstände davor zu bewahren, daß sie infolge einer Verunreinigung aus der Umaebung beschädigt und möglicherweise ruiniert werden, und die Anforderungen an eine reine, nicht verschmutzende Herstellungsumgebung und ein denuentsprechendes Verfahren

25 werden immer strenger.

Eine besondere Phase der Herstellung dieser Art von Gegenständen, die vom Verunreinigungsproblem her besonders beschwerlich ist, ist die Behandlung der Gegenstände in einem Reaktorofen. Es ist eine Eigenheit des Betriebes von Reaktoröfen, daß er zu einem Prozessrückstand führt, der· an den Innenwänden der Öfen abgelagert and leicht aufgewirbelt wird, wenn er, beispielsweise beim Einbringen und Entnehmen der in den Öfen behandelten Gegenständen,

35 gestört wird.

Es ist üblich, eine Vielzahl von zu behandelnden Gegenständen in Tragvorrichtungen einzuladen, die in der Industrie als "Boote" bezeichnet werden, und die Boote können aus vielerlei Materialien und in vielerlei Konfigurationen gebildet werden, wie dies die besonderen, zu handhabenden Gegenstände und das in den Reaktoröfen durchzuführende besondere Verfahren verlangen. Die Boote sind jedoch generell langgestreckte Gebilde von im wesentlichen parallelogrammartiger Querschnittsform mit einer Vielzahl von darin ausgebildeten Abteilen zur Aufnahme der zu behandelnden Gegenstände. Derartige Boote wurden bisher üblicherweise mit Rädern versehen, mit denen sie in die Reaktoröfen hineingerollt und aus diesen herausgerollt wurden.

Die bisherige Technik der Belade- und Entladevorrichtungen umfaßte üblicherweise einen nach oben offenen , halbkreisförmigen Trog, in den die Boote eingeladen werden. Der Trog ist von einem passenden Rahmenwerk getragen, das von Hand betätigt wird, um den Trog, und damit das Boot, in die Flucht mit einem aus einer Vielzahl, von vertikal übereinander angeordneten Reaktoröfen ausgewählten Ofen zu heben, in den das Boot eingebracht werden soll.Sobald sich das Boot in der Flucht befindet, wird es von Hand angestossen, so daß es von dem Trog in den Reaktorofen rollt.

Wenn die Behandlung der Gegenstände abgeschlossen ist, wird das Boot von Hand aus dem Reaktorofen gezogen, so daß es aus diesem auf den Trog der bekannten Belade- und Entiadevorrichtungen zurückrol1t.

Das Rollen der die Gegenstände tragenden Boote in den Reaktorofen hinein und aus diesem heraus wirbelt den Reaktionsprozessrückstand auf, der sich als direktes Ergebnis des Ofenbetriebes auf den inneren Seitenwänden des Reaktorofens befindet. So aufgewirbelt, wird der Rückstand zu einer in Schwebe befindlichen Verunreinigung, welche die

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zu behandelnden Gegenstände beschädigen und manchmal vollständig ruinieren kann. Diese bisherige Bootbelade- und Entladevorrichtung wurde einige Zeit benutzt, aber sie ist wegen der zunehmend strengeren Forderung nach einer reinen und nicht verschmutzenden Fertigungsumgebung und den damit verbundenen Verfahren nicht langer akzeptabel. Das erste Problem der Belade- und Entladevorrichtung gemäß dem Stande der Technik ist das oben beschriebene rollende Einbringen und anschließende Entnehmen der Boote in

IQ den bzw. aus dem Reaktorofen, dem die Erzeugung einer unannehmbar großen Verunreinigung der Umgebung anhaftet. Das zweite Problem resultiert aus dem erforderlichen Handbetrieb der Vorrichtung zum Handhaben der Gegenstände als solchem und aus dem Hineinschieben und Herausziehen der 5 Boote von Hand. Der unmittelbar vor dem Reaktorofen befindliche Ladebereich ist für jeden, der dort zu arbeiten hat, wegen der hohen Betriebstemperaturen der Reaktoröfen, die während der Belade- und Entladevorgänge offen sein müssen, ein sehr unbequemer Platz. Ein Arbeiter hat die

2Q natürliche Tendenz, das Ausrichten des Troges sowie das Hineinstoßen zum Beladen und das Herausziehen zum Entladen möglichst rasch durchzuführen, damit er den extrem heißen Ladebereich verlassen kann. Das eilige Durchführen dieser Arbeiten kann zu einer extrem verstärkten Verschmutzung der Umgebung zufolge einer Fehlausrichtung des Troges bezüglich des Reaktorofens führen, und für Ausrichtungsfehler sind die Grenzen sehr eng gezogen, weil zwischen dem Boot und den inneren Seitenwänden des Ofens sehr wenig freier Raum vorhanden ist. Hinzukommt, daß das Boot, wenn es nicht sorgfältig gerade in den Ofen hineingeschoben oder gerade aus diesem herausgezogen wird, eine schräge Lage einnehmen kann, die bewirkt, daß die Räder entlang der Innenflächen des Reaktorofens rutschen anstatt zu rollen.

op- Demgemäß besteht ein Bedarf für eine neue und vorbesserte

Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen und nach einem neuen verbesserten Verfahren zum Handhaben von Gegenständen, die einige der Probleme und Nachteile des Standes der Technik überwinden.

Gemäß der Erfindung wird eine neuartige und verbesserte

Vorrichtung für eine Präzisionshandhabung verschiedener Fertigungsgegenstände.offenbart , wobei die Vorrichtung besonders dafür geeignet ist, die Verschmutzung der Ge-,g genstände, die durch sie für die Behandlung in einem Reaktorofen gehandhabt werden, auf ein Minimum herabzusetzen.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen weist eine Plattform auf, auf der eine Vorrichtung

, c zum Bewegen von Gegenständen (Bewegungsvorrichtung) montiert ist, die an einem ihrer Enden mit einem Gegenstandsträger ausgerüstet ist. In der Plattform sind eine erste Antriebsvorrichtung und eine zweite Antriebsvorrichtung untergebracht. Die erste Antriebsvorrichtung treibt die

__Ω Bewegungsvorrichtung hin-und herbeweglich horizontal zwischen einer zurückgezogenen Stellung und einer ausgefahrenen Stellung relativ zur Plattform an. Die zweite Antriebsvorrichtung treibt die Bewegungsvorrichtung bei der Handhabung von Gegenständen vertikal zwischen einer

„c angehobenen Stellung und einer abgesenkten Stellung relativ zur Plattform an.

In manchen Fällen kann die Plattform der Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen fest auf einer passenden Trag_n fläche angebracht sein, die auf einen einzelnen Reaktorofen ausgerichet ist. In diesen Fällen bedient, d. h. belädt und entlädt, die Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen diesen einzelnen Reaktorofen.

_q Bei den meisten Herstellungsanlagen wird jedoch iir. Hinblick auf; die Produktionsleistung eine Vielzahl von

vertikal übereinander angeordneten Reaktoröfen benutzt, und in diesen Fällen wird die Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen von einem Vorrichtungsheberaechanismus getragen, damit jeder von den übereinander angeordneten Reaktoröfen bedient werden kann.

Es ist allgemein üblich, den Reaktorofen oder die Reaktoröfen sowie den benachbarten Gegenstandsladebereich in einer umgebungsmäßig reinen Arbeitsstation anzuordnen, und ^q dies wird dadurch erzielt, daß in der Nähe des Ofens und des Ladebereiches eine passende Einrichtung zum Erzeugen einer laminaren Luftströmung vorgesehen wird. Zur Verminderung der Größe dieser Einrichtung und für die Stabilität der Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen weist die p. Bewegungsvorrichtung von dieser vorzugsweise eine spezielle Gestaltung auf.

In der bevorzugten Ausführungsform weist die Bewegungsvorrichtung einen langgestreckten Schlitten auf, der zum Reaktorofen"hin und von diesem weg auf der Plattform hin- und herbeweglich ist. Der Schlitten trägt teleskopartig einen ihm gegenüber ausfahrbaren, hin-und herbeweglichen Balken. Die erste in der Plättform untergebrachte Antriebsvorrichtung treibt den Schlitten hin-und herbeweglich an, und zwischen den Schlitten und den Balken ist ein 25

diese verbindendes Getriebe eingeschaltet, so daß das Getriebe, wenn der Schlitten bewegt wird, gleichzeitig den Balken in der gleichen Richtung wie den Balken antreibt und diesem gegenüber ausfahrbar hin- und herbewegt. Auf diese Weise ist die Bewegungsvorrichtung in ihrer zurückgezogenen Stellung relativ kompakt, wodurch die Größe der Einrichtung für die laminare Luftströmung einen Minimalwert erhält. Da andererseits das Ausfahren der Bewegungsvorrichtung von zwei relativ kurzen ausfahrbaren Strukturen und nicht von einer einzigen vergleichsweise längeren j-+

ausfahrbaren Struktur/, ist die Gefügestabilität der Be-

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/ bef.-o; qt wird

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wegungsvorrichtung ein Maximum.

Die für die Behandlung von Gegenständen der oben beschriebenen Art üblicherweise verwendeten Reaktoröfen haben einen kreisförmigen Querschnitt, der nur etwas größer ist als die Querschnittsabmessungen der Tragkonstruktionen oder Boote, in denen die Gegenstände für die Handhabung und Behandlung angeordnet werden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen muß daher die vor-,Q stehend beschriebene hohe Gefügestabilität aufweisen und fähig sein, das Boot in den Reaktorofen einzuladen und danach aus diesem zu entladen, ohne daß dieses während des Be- und Entladevorgangs an den inneren Seitenwänden des Reaktorofens entlangschleifen oder anderweitig mit diesen

_n,. in Kontakt kommen kann. Aus diesem Grunde ist die in der Ib

Plattform untergebrachte zweite Antriebsvorrichtung mit einer Hebevorrichtung gekuppelt , die auf der Plattform montiert und zur Veränderung des vertikalen Abstandes zwischen der Plattform und der Bewegungsvorrichtung mit dieser verbunden ist. Zu Beginn des Einladens der Gegenstände befindet sich die Bewegungsvorrichtung in der horizontal zurückgezogenen und vertikal abgesenkten Stellung, und in dieser Stellung wird das Boot, welches mit seitlich abstehenden Nasen auf entgegengesetzten Seiten versehen _nc. ist und anstelle von Rädern herabhängende Füße aufweist, auf dem Gegenstandträger angeordnet, der am ausfahrbaren Ende der Bewegungsvorrichtung vorgesehen ist. Bevor die Bewegungsvorrichtung in ihre ausgefahrene Stellung bewegt wird, wird die zweite Antriebsvorrichtung betätigt, um die

Bewegungsvorrichtung in ihre angehobene Stellung bezüglich 30

der Plattform zu bewegen. Wenn sie angehoben ist, fluchtet die Längsmittellinie des Bootes im wesentlichen mit der axialen Mittellinie des zu beladenden Reaktorofens, und dann wird die erste Antriebsvorrichtung betätigt, um die

Bewegungsvorrichtung in ihre horizontal ausgefahrene 35

Stellung zu bewegen. Wenn sich die Bewegungsvorrichtung

ihrer horizontal voll ausgefahrenen Stellung nähert, tritt das Boot in den Reaktorofen ein, ohne die inneren Seitenwände von diesem zu berühren. Wenn die horizontal voll ausgefahrene Stellung erreicht ist, wird die zweite Antriebsvorrichtung wieder betätigt, um die Hebevorrichtung in der umgekehrten Richtung zu verlagern und die Bewegungsvorrichtung in ihre vertikal abgesenkte Stellung zu bringen. An einem Zwischenpunkt der Bewegung aus der angehobenen Stellung in die abgesenkte Stellung der Bewegungsvor-

IQ richtung gelangt das Boot sanft in tragenden Kontakt mit den Seitenwänden des Reaktorofens, und der Rest der Abwärtsbewegung der Bewegungsvorrichtung bringt den Gegenstandträger außer Kontakt mit dem Boot. Dann wird die erste Antriebsvorrichtung in der umgekehrten Richtung

j5 betätigt, wodurch der Gegenstandträger aus dem Reaktorofen herausgezogen wird und die abgesenkte Bewegungsvorrichtung in ihre zurückgezogene Stellung zurückkehrt. Sobald die Behandlung der Gegenstände abgeschlossen ist, wird die Bewegungsvorrichtung, die sich in der horizontal

2Q zurückgezogenen und vertikal abgesenkten Stellung befindet, durch Betätigung der ersten Antriebsvorrichtung in ihre voll ausgefahrene Stellung bewegt, und wenn sie voll ausgefahren ist, wird der Hebemechanismus mit der zweiten Antriebsvorrichtung derart in Gang gesetzt, daß er die Bewegungsvorrichtung in ihre angehobene Stellung hebt. Während dieser Hebewegung der Bewegungsvorrichtung tritt der Gegenstandträger in tragenden Kontakt mit dem Boot und hebt dieses sanft von den inneren Seitenwänden des Reaktorofens ab. Wenn die Bewegungsvorrichtung ihre

„₀ angehobene Stellung erreicht, in der das Boot im Reaktorofen im wesentlichen zentriert ist, wird die erste Antriebsvorrichtung wieder betätigt, um das Boot durch Zurückbringen der Bewegungsvorrichtung in ihre horizontal zurückgezogene Stellung aus dem Reaktorofen herauszuziehen.

In der Praxis ist die erfindungsgemäße Vorrichtung mit passenden Fühlereinrichtungen wie Endschaltern und dgl. zum Abtasten der verschiedenen Operationen der Vorrichtung und zur Schaffung von Operationsanzeigesignalen versehen.

Diese Signale werden an einen passenden Betriebssteuermechanismus geliefert, der zur Steuerung des zeitlichen Ablaufs, der Folge der Arbeitsschritte und anderer Funktionen der Vorrichtung programmiert ist. Eine derartige Automation der Vorrichtung wird bevorzugt, jedoch ist diese mit Ausschalteinrichtungen versehen, wodurch es z.B. möglich ist, die Bewegungsvorrichtung wahlweise entweder mittels eines Antriebsmotors oder von Hand zu bedienen, wobei die Möglichkeit der Handbedienung die Wartung, Einstellung und dgl. erleichtert.

Aus dem Vorhergehenden ist ersichtlich, daß die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen die Probleme und Nachteile des Standes der Technik überwindet, und zwar dadurch, daß eine Präzisionsvorrichtung geschaffen wird, die fähig ist, zaHlreiche verschiedene Gegenstände des Typs, der bei der Herstellung durch Verunreinigung beschädigt werden kann, in einer Weise zu Handhaben, die die Möglichkeit einer Verunreinigung auf ein Minimum herabsetzt. Darüber hinaus ist die Vorrichtung voll automatisierbar , wodurch die dem Stande der Technik anhaftende Anforderung an einen Arbeiter, in einer unerwünschten Umgebung zu arbeiten, eleminiert wird und dadurch auch die Möglichkeit von Fehlern beseitigt wird, die ihre Ursache in einem derartigen Arbeitsumfeld haben.

Demgemäß besteht ein Ziel der vorliegenden Erfindung darin, eine neuartige verbesserte Vorrichtung und ein neuartiges verbessertes Verfahren zum Handhaben von Gegenständen zu schaffen.

Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, eine neuartige verbesserte Vorrichtung und ein neuartiges verbessertes Verfahren zu schaffen, die es ermöglichen, verschiedene Gegenstände des Typs, für den die Gefahr einer Beschädigung durch Verunreinigung während der Herstellung besteht, in einer Weise zu Handhaben, die die Möglichkeit einer Beschädigung durch Verunreinigung minimiert.

Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, eine neu- ^Q artige verbesserte Vorrichtung und ein neuartiges verbessertes Verfahren zum Handhaben verschiedener Gegenstände zu schaffen, wobei die Vorrichtung voll automatisierbar ist, damit eine Bedienungsperson nicht in einer unerwünschten Umgebung arbeiten muß und die Möglichkeit jg von Fehlern der Bedienungsperson, die sich aus dem unerwünschten Arbeitsumfeld ergeben , beseitigt wird.

Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, eine neuartige verbesserte Vorrichtung und ein neuartiges ver-„₀ bessertes Verfahren der oben beschriebenen Art zu schaffen, die besonders gut für das Einladen verschiedener Gegenstände in einen Reaktorofen zwecks Behandlung in diesem und für das nachfolgende Entladen dieser Gegenstände geeignet sind.

Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, eine neuartige und verbesserte Vorrichtung und ein neuartiges verbessertes Verfahren der oben beschriebenen Art zu schaffen, die fähig sind, verschiedene Gegenstände der Reihe

nach in eine Vielzahl von vertikal übereinander angeord-30

neten Reaktoröfen zwecks Behandlung in diesen der Reihe nach einzuladen und diese Gegenstände nachfolgend auszuladen.

Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, eine neu-.

artige und verbesserte Vorrichtung der oben beschriebenen

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20 ι":/..

Art zu schaffen, die eine horizontal ausfahrbar hin- und herbewegliche Vorrichtung zum Bewegen der Gegenstände (Bewegungsvorrichtung) aufweist, die dermaßen besonders gestaltet ist, daß die Vorrichtung kompakt ist, wenn sie sich in ihrer horizontal zurückgezogenen Stellung befindet, damit die Größe der zugehörigen Luftreinigungseinrichtung minimiert wird,und daß die Vorrichtung zum präzisen Handhaben der verschiedenen Gegenstände eine hohe strukturelle Stabilität besitzt, wenn sie sich in der horizontal ausgefahrenen Stellung befindet.

Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht ferner darin, eine neuartige und verbesserte Vorrichtung der oben beschriebenen Art zu schaffen, bei der die horizontal ausfahrbar hin- und herbewegliche Bewegungsvorrichtung mit einer Hebevorrichtung versehen ist, durch die die damit gehandhabten Gegenstände in einen Reaktorofen eingebracht und nachfolgend aus diesem herausgezogen werden können, ohne während des Einsetzens oder Herausziehens mit den inneren Seitenwänden des Ofens in Berührung zu kommen.

Die vorgenannten Ziele der Erfindung sowie die Erfindung selbst ergeben sich noch vollständiger aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit der beigefügten Zeichnung.

In der Zeichnung, in der ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt ist,-zeigt:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht der erfindungsge-QQ mäßen Vorrichtung , die die verschiedenen Merk

male von dieser wiedergibt und die Vorrichtung in einem typischen Arbeitsumfeld zeigt, in dem sie besonders gut verwendbar ist.

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht eines typischen

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Aufbaus zum Tragen einer Vielzahl von verschie

denen Gegenständen, die von der erfindungsgemäßen Vorrichtung in idealer Weise gehandhabt werden,

Fig. 3 eine teilweise Stirnansicht der Vorrichtung, die eine Einrichtung zum Tragen und Bewegen der Vorrichtung aufweist, welche dieser zugeordnet ist, wenn die Vorrichtung dafür benützt wird, eine Vielzahl von vertikal übereinander angeordneten 2Q Einrichtungen zum Behandeln von Gegenständen bedient,

Fig. 4 einen vergrößerten Teilschnitt entlang der Schnittlinie 4-4 in Fig. 3,

Fig. 5 einen vergrößerten Teilschnitt entlang der

Schnittlinie 5-5 in Fig. 3,

Fig. 6 einen vergrößerten Teilschnitt entlang der Schnittlinie 6-6 in Fig. 5,

Fig. 7 eine Seitenansicht der Vorrichtung zum Bewegen

der Gegenstände (Bewegungsvorrichtung) die einen Teil der erfindungsgemäßen Vorrichtung bildet, wobei Teile der Bewegungsvorrichtung weggebrochen sind, um verschiedene Merkmale von dieser sichtbar zu machen,

Fig. 7A eine vergrößerte Seitenteilansicht, die teilweise weggebrochen ist , um Merkmale des in Fig. 7 eingekreisten, mit 7A bezeichneten Teiles sichtbar zu machen,

Fig. 8 einen vergrößerten Teil schnitt entlang der Schnittlinie 8-8 in Fig. 7,
35

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Fig. 9 einen vergrößerten Teilschnitt entlang der Schnittlinie 9-9 in Fig. 7,

Fig. 9A einen vergrößerten Teilschnitt entlang der Schnittlinie 9A-9A in Fig. 9,

Fig. 10 einen vergrößerten Teilschnitt entlang der Schnittlinie 10-10 in Fig. 7,

Fig. 11 eine vergrößerte Seitenteilansicht, teilweise weggebrochen, zum Sichtbarmachen von Merkmalen des in Fig. 10 eingekreisten, mit 11 bezeichneten Teiles,

Fig. 12 einen vergrößerten Teilschnitt entlang der Schnittlinie 12-12 in Fig. 10,

Fig. 13 einen vergrößerten Teilschnitt entlang der Schnittlinie 13-13 in Fig. 10,

Fig. 14A,

14B und

14C Schnittansichten entlang der Schnittlinie 14-14 in Fig. 13, die die Betriebsstellungen der Hebevorrichtung wiedergeben, die in Fig. zu sehen ist,

Fig.l5A,
15B,15C,
15D,15E schaubildliche Seitenansichten der Vorrichtung ,

die verschiedene Schritte des erfindungsgemäßen

Verfahrens wiedergeben,

Fig. 16 einen Teilschnitt entlang der Schnittlinie 16-16 in Fig. 15D, und

Fig. 17 einen Teilschnitt entlang der Schnittlinie 17-17 in Fig. 15E.

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Die Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung, die allgemein mit der Bezugszahl 20 bezeichnet ist. Sie zeigt die Vorrichtung 20 auch bei deren Benutzung in einem typischen Umfeld, das eine Vielzahl von vertikal übereinandergestapelten Öfen 21 und eine passende Luftreinigungseinrichtung 22 , beispielsweise eine Einrichtung, die eine laminare Luftströmung schafft, beinhaltet. Die Reaktoröfen 21 und die Luftreinigungseinrichtung 22 gehören zum Stande der Technik und ihre Beschreibung ist hier auf diejenigen verschiedenen Merkmale von ihnen beschränkt, die für ein vollständiges Verständnis der Merkmale und des Betriebes der Vorrichtung 20 für nötig erachtet werden.

Die nachfolgende Beschreibung wird zeigen, daß mit der Vorrichtung 20 praktisch alles gehandhabt werden kann. Die Vorrichtung 20 ist jedoch besonders gut für die Handhabung von verschiedenen Gegenständen - beispielsweise Niedertemperaturoxydsiliziumscheiben, Scheiben für die epitaxiale Behandlung bei hoher Temperatur, d.h. etwa 1000° C, oder andere Halbleiterscheiben - geeignet, die in einer sauberen Umgebung gehandhabt und in dem Reaktorofen 21 behandelt werden müssen. Aus diesem Grunde ist die folgende Beschreibung auf die Anwendung der Vorrichtung 20 zum Einladen derartiger Gegenstände zwecks Behandlung in die Reaktoröfen 21 und das nachfolgende Entladen der behandelten Gegenstände gerichtet, wobei dieses Einladen und Ausladen in der von der Einrichtung 22 geschaffenen sauberen Umgebung durchgeführt wird.

Wie nachstehend noch in näheren Einzelheiten ausgeführt

werden wird, weist die erfindungsgemäße Vorrichtung 20 als eine hauptsächliche Montageuntergruppe einen Ständer 24 auf, der mit einer vertikal beweglich an ihm montierte ten Tragvorrichtung 26 ausgerüstet ist. Die Tragvorrichtung 26 trägt eine mit ihr vertikal bewegliche, horizontal

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angeordnete Plattform 28. Auf der Plattform 28 ist eine nachstehend einfach als Bewegungsvorrichtung bezeichnete Vorrichtung 30 zum Bewegen der Gegenstände montiert, die bezüglich der Plattform 28 in vertikaler Richtung angehoben und zurückgezogen und in horizontaler Richtung bezüglich dieser Plattform ausgefahren und zurückgeholt werden kann. Die Bewegungsvorrichtung 30 weist eine langgestreckte Führungsplatte 32 auf, welche mit der Plattform 28 über eine Hebevorrichtung 34 gekoppelt ist, die die Führungsplatte in vertikaler Richtung zu heben und zurückzuziehen vermag. Die Führungsplatte 32 trägt einen entlang ihrer Länge hin- und herbeweglichen, ausfahrbaren Schlitten 36, in dem teleskopartig ein hin- und herbeweglicher , ausfahrbarer Balken 38 montiert ist. Das ausfahrbare Ende des Balkens 38 ist so gestaltet, daß es demontierbar einen Gegenstandträger 40 zu tragen vermag.

Die vorgenannten hauptsächlichen Montageuntergruppen werden weiter unten im einzelnen noch beschrieben. Vorher wird jedoch Bezug auf Fig. 2 genommen, in der eine Bauform eines Gegenstandhalters 42 dargestellt ist. Der Gegenstandhalter ist von der Art, die in Fachkreisen als "Boote" bezeichnet werden, und das in Fig. 2 zu sehende Boot 42 wurde gegenüber der auf dem Fachgebiet üblicherweise zur Anwendung gelangenden Gestaltung abgeändert.

Die bekannten Boote weisen gewöhnlich Räder auf, mit denen sie in den Reaktorofen 21 hinein- und aus diesem herausgerollt werden. Das Boot 42 weist an jeder Ecke seines langgestreckten, eine Vielzahl von Abteilen aufweisenden Körpers 44 je einen herabhängenden Fuß 43 auf, und diese Füße 43 ersetzen die Räder der bekannten Konstruktionen. Das Boot 42 unterscheidet sich gegenüber dem Stande der Technik des weiteren dadurch, daß es mit Hebenasen 46 ausgerüstet ist, die sich senkrecht von den entgegengesetzten Seiten des Bootskörpers 44 erstrecken. Der Zweck

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γ und die Funktion der abgewandelten Bootkonstruktion 42 wird weiter unten näher im einzelnen beschrieben.

Der Ständer 24 weist einen Fuß 50 auf, der mit einer Bo-Q denplatte 51 ausgerüstet ist, die, beispielsweise mit

passenden Bolzen, vorzugsweise im Boden 52 verankert ist, und er hat einen abstehenden Einstecksockel 53, in dem ein langgestreckter zylindrischer Pfosten 54 starr und tragfähig so montiert ist, daß er eine im wesentlichen ,Q vertikale Lage einnimmt.

Die Plattform-Tragvorrichtung 26, die am besten in Fig.3, 4,5 und 6 zu sehen ist, weist eine rohrförmige Hülse 56 auf, die eine axiale Bohrung 57 bestimmt. Die Hülse 56

- -. ist auf dem vertikalen Pfosten 54 koaxial montiert und ι ο

entlang der Länge des Pfostens axial beweglich. Sie ist mit einer oberen Stabilisierungseinrichtung 58 und mit einer identischen unteren Stabilisierungseinrichtung 60 versehen. Da die Stabilisierungseinrichtungen 58 und 60 identisch sind, trifft die nachfolgende detaillierte Beschreibung der oberen Stabilisierungseinrichtung 58 auch auf die untere Stabilisierungseinrichtung 60 zu.

Die in Fig. 4 zu sehende obere Stabilisierungseinrichtung 58 weist zwei Umfassungsgehäuse 61 und 62 auf, die an die Hülse 56 angegossen sind oder anderweitig mit ihr aus einem Stück bestehen und sich radial von dieser aus so erstrecken, daß sie zueinander im wesentlichen senkrecht stehen. Jedes Umfassungsgehäuse 61 und 62 definiert einen

inneren Hohlraum 64, der einwärts zum Umfang des Pfostens 30

54 hin offen ist. In jedem der Hohlräume 64 der Umfassungsgehäuse 61 und 62 ist ein Schäkel 65 oder dgl. montiert, und die Schäkel sind in diesen Hohlräumen zum Umfang des Pfostens 54 hin und von diesem weg beweglich. In jedes der Umfassungsgehäuse 61 und 62 ist eine Einstellschraube 66 eingeschraubt, die tragend mit dem Schleifenteil 67

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j des jeweiligen Schäkels 65 in Kontakt steht, und die vorragenden Enden der im Abstand befindlichen, sich von dem jeweiligen Schleifenteil 67 des betreffenden Schäkels 65 aus zu den offenen Enden der Hohlräume 64 hin er-

c streckenden Zinken 68 und 69 weisen jeweils eine Achse 70 auf, die sich quer zwischen ihnen erstreckt. Jede Achse 70 trägt beispielsweise mittels eines passenden Lagers 73 , von denen eines gezeigt ist, eine Rolle 72, und die Rollen 72 sind mit einer endlosen , im Querschnitt V-förmigen abgeschrägten ümfangskante 74 versehen. Sie Rollen 72 stehen mit V-förmigen Nuten 76 rollend in Lagereingriff, die über die Länge des Pfostens 54 ausgefluchtet ausgebildet sind. Die Rollen 72 sind mittels der Einstellschrauben 66 belastet, so daß sie mit den Nuten 76 richtig und genau in Eingriff stehen.

Aus dem Vorstehenden geht hervor, daß die Stabilisierungseinrichtungen 58 und 60 so einstellbar sind, daß die Längsachsen des Pfostens 54 und der rohrförmigen Hülse 56 perfekt koaxial zueinander eingerichtet werden können und diese Einrichtung aufrechterhalten wird, und die Tragvorrichtung 26 wird davon abgehalten, sich um die Längsachse des vertikalen Pfostens 54 zu drehen.

Die rohrförmige Hülse 56 der Tragvorrichtung 26 ist mit exner mit ihr aus einem Stück bestehenden, von ihr vorragenden Konsole 78 versehen, die eine Gewindespindelmutter festhält, die mit einer langen Gewindespindel 82 in Eingriff steht. Die Gewindespindel 82 erstreckt sich von

einer vertikalen Antriebsvorrichtung 84, die, wie am 30

besten aus Fig. 3 ersichtlich, unter der Hülse 56 fest auf dem vertikalen Pfosten 54 montiert ist, vertikal aufwärts.

Die vertikale Antriebsvorrichtung 84 weist ein Gehäuse 85 35

auf, das mittels einer passenden Klemmvorrichtung 86 am

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Pfosten 54 befestigt ist und ein Untersetzungsgetriebe enthält, das von einem reversiblen Elektromotor 90 angetrieben ist. Der Motor 90 ist an dem Gehäuse 85 angebracht und weist eine Ausgangswelle 91 auf, die mit der Getriebeantriebswelle 92 mittels einer Kupplungsnuß 93 verbunden ist. Die Ausgangswelle 91 des Motors weist einen sich quer durch sie hindurch erstreckenden Stift 94 auf, der lösbar in einen Querschlitz 95 eingreift, der über ein Ende der Kupplungsnuß 93 hinweg ausgebildet und zu diesem Nußende

jQ offen ist. Die Antriebswelle 92 ist mit einem Stift 96 versehen, der sich von ihr radial durch einen rechtwinkligen Schlitz 97 erstreckt, der in der Nähe des anderen Endes der Kupplungsnuß 93 ausgebildet ist. Die Kupplungsnuß 93 ist gegen die Ausgangswelle 91 des Motors 90 durch

jg eine Druckfeder 98 vorgespannt, die sich mit einem Ende über ein Lager an einer in dem Gehäuse 85 vorgesehenen Trennwand 99 und mit dem entgegengesetzten Ende über ein Lager an der Kupplungsnuß 93 abstützt. Die Feder 98 drückt die Nuß 93 mit Vorspannung gegen den Motor 90, so daß der Querschlitz 95 der Nuß in Eingriff mit dem Querstift 94 der Motorausgangswelle 91 und der Stift 96 der Getriebeantriebswelle 92 in das Ende des am weitesten vom Motor 90 entfernten axialen Teiles des rechtwinkligen Schlitzes 97 gedrückt werden. Auf diese Weise ist die Motorausgangswelle 91 mit der Getriebeantriebswelle 92 gekuppelt. Die Kupplungsnuß 93 kann gegen die Vorspannkraft der Feder 98 von Hand axial gezogen werden, um die Querschlitze 95 von dem Querstift 94 der Motorausgangswelle 91 zu lösen, und die Nuß kann gegen axiale Bewegung zur

Motorausgangswelle 91 hin verriegelt werden, in-dem die 30

Nuß gedreht wird, um den Stift 96 der Antriebswelle 92

in den Winkelteil des rechtwinkligen Schlitzes 97 zu bringen. Dadurch wird die Motorausgangswelle 91 von der Getriebeantriebswelle 92 abgekuppelt. Die Getriebeantriebswelle 92 ist in vom Gehäuse 85 getragenen Lagern 35

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drehbar gelagert und zwischen ihren entgegengesetzten Enden mit einer Schnecke 102 versehen. Die Schnecke 102 kämmt mit einem relativ kleinen Stirnschneckenrad 103, das fest an einer drehbar im Gehäuse 85 montierten Welle 104 angebracht ist. Auf der Welle 104 ist des weiteren ein relativ größeres Stirnzahnrad 105 drehfest montiert, das mit einem ihm gegenüber kleineren Stirnzahnrad 106 kämmt, das fest an einer drehbar im Gehäuse 85 gelagerten zweiten Welle 107 angebracht ist. Auf der zweiten Welle 107 ist drehfest mit dieser ein relativ großes Stirnzahnrad 108 montiert, das antreibend mit einem relativ kleinen Stirnzahnrad 109 kämmt, das von einer Getriebeausgangswelle 110 getragen wird, die drehbar im Gehäuse 85 gelagert ist und ein Ausgangsende 111 aufweist, das sich von

jg dem Gehäuse vertikal aufwärts erstreckt. Das Ausgangsende 111 ist mittels eines Kardangelenks oder dgl. 112 mit dem unteren Ende der sich vertikal erstreckenden langen Gewindespindel 82 verbunden.

Gewindespindel 82 steht, wie oben erwähnt, mit der Gewindespindelmutter 80 in Eingriff, die von der Konsole 78 der Hülse 56 der Tragvorrichtung 26 getragen wird. Wenn somit die Gewindespindel 82 mittels des Antriebsmotors oder, alternativ, mittels des Handrades 100 mit einer durch

op: das Untersetzungsverhältnis des Untersetzungsgetriebes bestimmten reduzierten Drehzahl angetrieben wird, bewegt sich die Tragvorrichtung 26 in vertikaler Richtung axial auf dem Pfosten 54 je nach der Antriebsrichtung des reversiblen Antriebsmotors 90 oder der Drehrichtung des von

_or. Hand bedienten Handrades 100 entweder aufwärts oder abwärts.

Wie am besten aus Fig. 3 ersichtlich,ist die Antriebsvorrichtung 26 mit einem einstückkigen Bauteil 114 versehen, der sich bezüglich der Konsole 78 der Hülse 56 diametral entgegengesetzt senkrecht von der rohrförmigen

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Hülse 56 weg erstreckt. Der Bauteil 114 besteht mit der Plattform 28 aus einem Stück oder ist anderweitig daran befestigt, so daß die Plattform in im wesentlichen horizontaler Ebene getragen und mit der Tragvorrichtung 26 vertikal beweglich ist.

Die Plattform 28 ist ein im wesentlichen rechteckiger langgestreckter Bauteil, der eine ebene Oberseite 116 mit einer in sich geschlossenen , herabhängenden Seitenwand 117 aufweist, wobei die Oberfläche 116 und die Seitenwand 117 zusammen einen nach unten offenen Hohlraum 118 bilden, wie dies am besten in den Fig. 7 und 10 zu sehen ist.

Die Führungsplatte 32 ist so montiert , daß sie der ebenen Oberseite 116 der Plattform 28 gegenübersteht und im Abstand darüberliegt, wobei diese Montage von der Hebevorrichtung 34 bewerkstelligt wird, wie dies nachstehend im Einzelnen beschrieben wird. Die Führungsplatte 32 ist ein langgestreckter, im wesentlichen rechteckiger Bauteil/ der, wie am besten aus den Fig. 8 und 9 ersichtlich, eine ebene Platte 120 aufweist, auf deren oberer Oberfläche im Abstand zwei Führungsschienen 122 und 124 beispielsweise mit Befestigungsbolzen 125 befestigt sind. Die Führungsbolzen 122 und 124 erstrecken sich über die volle Länge der Platte 122 , und jede von ihnen ist an ihrer jeweils nach außen weisenden vertikalen Fläche mit einer V-förmigen Nut 126 versehen. Die Führungsplatte 32 weist des weiteren eine sich in Längsrichtung erstreckende Zahnspange 128 auf, die sich parallel zu den Schienen 122 und 124 zwischen diesen befindet und so angeschweißt oder anderweitig befestigt ist, daß sie von der Platte 120 nach oben ragt.

Die Führungsplatte 32 ist gegenüber der Plattform 28 in horizontaler Ebene unbeweglich gehalten und erfüllt die

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Funktion eines Führungsmechanismus, über dessen Länge der Schlitten 36 hin- und herbeweglich ist.

Der Schlitten 36 ist eine zweiteilige Anordnung mit einem unteren Schlittengehäuse 130 und einem oberen Schlittengehäuse 132, die als Einheit über die Länge der Führungsplatte hin- und herbeweglich ausfahrbar sind.

Das untere Schlittengehäuse 130 ist ein langgestreckter, im wesentlichen rechteckiger Bauteil, der, wie am besten aus Fig. 8 und 9 ersichtlich, einen im wesentlichen flachen planaren Teil 134 mit Seitenflanschteilen 135 und 136 aufweist, die einstückig von den entgegengesetzten Längsseitenkanten des Teiles 134 herabhängen. Der herabhängende Flansch 135 befindet sich im Abstand auswärts gegenüber der Führungsschiene 122 der Führungsplatte 32, und der andere herabhängende Flansch 136 befindet sich in ähnlicher Weise im Abstand gegenüber der entgegengesetzten Führungsschiene 124 der Führungsplatte 32. Die einwärts weisenden Flächen der beiden herabhängenden Flansche 135 und 136 sind jeweils mit einer sich in Längsrichtung erstreckenden, V-förmigen Nut 138 versehen, in der ein Laufglied 140 beispielsweise mittels der Stirnplatten 142, die gemäß fig. 7 an den entgegengesetzten Enden des unteren Schlittengehäuses 130 festgeschraubt oder anderweitig befestigt sind, starr gehalten ist. Jedes Laufglied 140 hat einen quadratischen Querschnitt und ist in der V-förmigen Nut 138 seines zugehörigen herabhängenden Flansches 135 bzw. 136 so gehalten, daß sich eine seiner Eckenkanten davon

gQ weg erstreckt und in Längsrichtung gleitbar in die fluchtende V-förmige Nut 126 eingreift, die jeweils in der nach außen weisenden Fläche der Führungsschiene 122 bzw. 124 der Führungsplatte 32 vorgesehen ist. Auf diese Weise ist das untere Schlittengehäuse 130 auf der Führungsplatte 32 dieser entlang in Längsrichtung beweglich abgestützt. Gemäß Fig. 7 und 8 ist eine lange Zahnstange 144

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in solcher Weise fest montiert, z.B. angeschweißt, daß sie von dem flachen planaren Teil des unteren Schlittengehäuses 130 herabhängt.

An der Unterseite des planaren oberen Teils 116 der Plattform 28 ist mittels einer passenden Halterung 147 ein erster reversibel antreibbarer Elektromotor 146 angebracht, der sich im wesentlichen innerhalb des durch die Plattform bestimmten , nach unten offenen Hohlraumes 118 befindet. Wie am besten aus den Fig. 10, 11 und 12 ersichtlich, ist die Ausgangswelle 148 des Motors 146 mittels einer Kupplungsnuß oder -mutter 152 mit einer angetriebenen Wellenanordnung 150 gekoppelt. Die Kupplungsmutter 152 weist zum lösbaren Eingriff eines Querstiftes 154 einen Querschlitz 153 auf. Der Querstift 154 befindet sich in einem Ende des endseitigen Antriebseingangsgliedes der angetriebenen Wellenanordnung 150. Die Kupplungsmutter 152 ist ferner mit einem rechtwinkligen Schlitz 156 versehen, in dem ein Radialstift der Motorausgangswelle 158 angeordnet ist. Die Kupplungsmutter 152 ist mittels der Druckfeder 158 zum endseitigen Antriebeingangsglied 155 hin belastet. Sie funktioniert in genau der gleichen Weise wie die vorher beschriebene Kupplungsnuß oder -mutter 93, so daß die angetriebene Wellenanordnung 150 vom Motor 146 drehbar angetrieben oder mittels der Kupplungsmutter 152 von diesem abgekuppelt werden kann, in welchem Falle die angetriebene Wellenanordnung 150 von Hand bedient werden kann.

Die angetriebene Wellenanordnung 150 weist ein Kardangelenk 160 oder dgl. auf, das zwischen das endseitige Antriebseingangsglied 155 und ein endseitiges Antriebsausgangsglied 161 eingebaut ist, welches , in passender Weise angekuppelt, einen 90°- Winkeltrieb 162 antreibt, der mittels einer Halterung 163 so montiert ist, daß er sich innerhalb des Hohlraumes 118 der Plattform 28 befindet.

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Bei dem 90°-Winkeltrieb 162 handelt es sich in bekannter Weise um eine Vorrichtung für die Kraftübertragung zwischen Wellen, die zueinander nicht parallel liegen, beispielsweise durch Verwendung von Kegelzahnrädern (nicht gezeigt) . Der 90°-Winkeltrieb 162 ist, wie oben beschrieben, von der Antriebswellenanordnugn 150 angetrieben und überträgt die Kraft an eine vertikal angeordnete Ausgangswelle 164, die gemäß Fig. 8 über eine Gleitverbindung 166 ein Stirnzahnrad 168 antreibt, das eine sich axial erstreckende Welle 169 aufweist. Die Ausgangswelle 164 des 90°-Winkeltriebes 162 ist, beispielsweise mittels einer Stellschraube , in einem Ende einer Bohrung 170 befestigt, die axial durch einen Nippel 172 hindurchgeht. In den entgegengesetzten Enden der Bohrung des Nippels ist eine sich axial nach unten erstreckende Welle 175 eines Adapters 174 montiert, der sich mit dem Nippel dreht. Die Welle 175 weist Anflachungen 176 auf, und das obere Ende der Bohrung 170 des Nippels ist passend so gestaltet, daß sich die Welle 175 mit dem Nippel 172 dreht und aus nachstehend noch näher erläuterten Gründen in diesem axial gleitbar ist. Das obere Ende des Adapters 174 ist mit einer axialen Bohrung 177 versehen, in der das nach unten ragende Ende der Stirnzahnradwelle 169, beispielsweise mit einer passenden Stellschraube, fixiert ist, und die Stirnzahnradwelle 169 ist drehbar in Lagern 178 gelagert, die in einem Stirnzahnradgehäuse 180 gehalten sind. Das Stirnzahnradgehäuse 180 weist einen Montageflansch 182 auf, der mit Schrauben 183 (Fig. 12) auf der Oberseite der flachen, ebenen Platte 120 der Führungsplatte 32 befestigt ist,

QQ und das Gehäuse erstreckt sich abwärts in die durch die Führungsplatte hindurchgehende Öffnung 184.

Wie oben erwähnt, ist die Führungsplatte 32 bezüglich der Plattform 28 vertikal ausfahrbar und zurückziehbar. Aus gg diesem Grunde sind das Stirnzahnrad 168 und dessen nach

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39 ■ - :

unten ragende Welle 169, das Stxrnzahnradgehäuse 180 und der Adapter 174 infolge der oben beschriebenen Weise, in der diese Elemente montiert und miteinander verbunden sind, alle mit der Führungsplatte 32 in vertikaler Richtung hin- und herbeweglich. Die Möglichkeit der axialen Gleitbewegung der nach unten ragenden Welle 175 des Adapters 174 im oberen Teil der Bohrung 170 des Nippels 172, d.h. die Gleitverbindung 166, erlaubt es, daß diese vertikale Bewegung stattfindet, ohn-e daß das Stirnzahnrad 168 von dem 90^u-Winkeltrieb 162 abgekuppelt wird.

Das Stirnzahnrad 168 kämmt mit der langen Zahnstange 144, die unten an dem unteren Schlittengehäuse 130 befestigt ist. Es ist daher ersichtlich, daß der erste reversible Antriebsmotor 146 dazu dient, das untere Schlittengehäuse 130 über die Länge der Führungsplatte 32 hin- und herbeweglich anzutreiben.

Das oben erwähnte obere Schlittengehäuse 132 ist fest an dem unteren Schlittengehäuse 130 angebracht und mit diesem hin- und herbeweglich ausfahrbar. Die starre Befestigung des oberen Schlittengehäuses 32 an dem unteren Schlittengehäuse 130 erfolgt beispielsweise mit den in Fig. 7 zu sehenden Schrauben 186.

Das obere Schlittengehäuse 32 ist ein langgestreckter Bauteil, der, wie am besten aus Fig. 9 ersichtlich, mit einem durch ihn in Längsrichtung hindurchgehenden , nach unten offenen Kanal 188 ausgeführt ist. Den Kanal 188

eg bestimmen zwei im Abstand befindliche, relativ lange, vertikale Flächen 189 und eine relativ kurze, horizontal angeordnete_/ obere Fläche 190. Der offene Boden des Kanals 188 befindet sich unmittelbar oberhalb eines zentralen Teiles der oberen Flächen des planaren Teiles 134 des

gc unteren Schlittengehauses 130, und in einer mittig über die Länge dieses planaren Teiles 134 ausgebildeten

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V-förmigen Nut ist ein Laufelement 192 von der gleichen Art, die oben in Verbindung mit den Laufelementen 140 beschrieben wurde, befestigt, z. B. angeschweißt. Ein ähnliches Laufelement 194 ist an einem langgestreckten Block 195 befestigt, der in einer langgestreckten Nut untergebracht ist, die in dem oberen Schlittengehäuse ausgebildet und so angeordnet ist, daß sie abwärts zur oberen , das obere Ende des Kanals 180 bildenden Fläche 190 offen ist. Der langgestreckte Block 195 und das von diesem getragene Laufelement 194 sind in der Nut 196 zum Kanal 188 hin und von diesem weg beweglich, und es sind Stellschrauben 197 , von denen eine in Fig. 9 dargestellt ist, vorgesehen, an denen der langgestreckte Block 195 mit seiner Oberseite anliegt.

Der hin- und herbeweglich ausfahrbare Teleskopbalken 38 ist hochkant in dem Kanal 188 des oberen Schlittengehäuses 132 montiert. Er hat einen im wesentlichen rechteckigen Querschnitt mit entgegengesetzten Längsseitenflächen ^un<ä demgegenüber kürzeren oberen und unteren Kantenflächen 199 bzw. 200. Die obere Kantenfläche 199 und die untere Kantenfläche 200 haben jeweils eine V-förmige Nut 202, die sich der Länge nach entlang dieser Kantenflachen erstreckt. Die Nut 202 der oberen Kantenfläche 199 faßt und lagert mit Gleitkontakt das Laufelement 194, und die Nut 202 der unteren Kantenfläche 200 steht in ähnlicher Weise in Eingriff mit dem Laufelement 192, das auf der oberen Fläche des unteren Schlittengehäuses 130 vorgesehen ist. DerBalken 38 ist somit an den Laufelementen 192 und 194

3Q gelagert und diesen entlang gleitbar beweglich, wobei die präzise Ausrichtung und Belastungseinstellung des Lagerkontaktes zwischen den Laufelementen und dem Balken durch die Stellschrauben 197 erreicht wird, die dafür benützt werden, den langgestreckten Block 195 und das Laufelement

gg 194 bezüglich des Balkens 38 zu verlagern.

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Der langgestreckte Teleskopbalken 38 ist mit einer langen Zahnstange 204 versehen, die sich, wie am besten in Fig. 8 und 9 zu sehen, vom unteren Ende einer der längslaufenden Seitenflächen 198 des Balkens seitlich und abwärts erstreckt und dem oberen planaren Teil 134 des unteren Schlittengehäuses 130 zugewendet ist. Die Zahnstange erstreckt sich, wie am besten in Fig. 7 zu sehen, in Längsrichtung entlang des Balkens 38 von dessen hinterem Ende 207 bis zu einem mit 208 bezeichneten Punkt, der sich im Abstand hinter dem vorderen ausfahrbaren Ende 210 des Balkens befindet. Wie am besten in Fig. 8 zu sehen, weisen die Zähne der Zahnstange 204 abwärts zu den aufwärts gerichteten Zähnen der auf der oberen Fläche der Führungsplatte 32 starr befestigten Zahnstange 128, und die beiden Zahnstangen 204 und 128 haben in vertikaler Richtung Abstand und sind in Bezug aufeinander seitlich versetzt.

Gemäß Fig. 7, 9 und 9a ist an der abwärts weisenden Fläche des flachen planaren Teiles 134 des unteren Schlittengehä_uses 130 unmittelbar unterhalb einer durch den planaren Teil 134 des Gehäuses 130 hindurchgehenden öffnung

213 eine Differentialgetriebeanordnung 212 montiert, die ein oben und unten offenes Gehäuse 214 aufweist. In dem Gehäuse 214 ist ein Zahnraduntersetzungsgetriebe montiert, das ein Antriebszahnrad 215 aufweist, welches aus dem Boden des Gehäuses 214 vorragt und mit der Zahnstange 128 der Führungsplatte 32 kämmt. Das Antriebszahnrad 215 kämmt des weiteren mit einem ersten, von einer Welle 217 getragenen Stirnzahnrad 216, das die Drehbewegung auf ein zweites, von der gleichen Welle getragenes Stirnzahnrad 218 überträgt. Das zweite Stirnzahnrad 218 kämmt mit dem letzten , angetriebenen Zahnrad 219 des Getriebes, und dieses Zahnrad 219 ragt oben aus dem Gehäuse 214 hervor und greift in die zahnstange. 204 des Teleskopbalkens 238 ein.

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Wie am besten aus Fig. 9A ersichtlich,ist das Gehäuse der Differentialgetriebeanordnung 212 mit zwei Montageflanschen 220 versehen, die sich von den entgegengesetzten Enden des Gehäuses 214 aus in entgegengesetzter Richtung erstrecken, und durch nach außen offene , in den Flanschen ausgebildete Schlitze gehen Bolzen 222 hindurch. Durch Einstellen der Bolzen kann das Gehäuse 214 in eine solche Lage gebracht werden, daß die Zahnräder 215 und 219 mit ihren zugehörigen Zahnstangen 128 und 204 richtig kämmen.

Wenn das untere Schlittengehäuse 130 bezüglich der Führungsplatte 32 mittels des umkehrbar antreibbaren Elektromotors 146 in der oben beschriebenen Weise bewegt wird, wälzt sich das Antriebszahnrad 215 der Differentialge-

jc triebeanordnung 212 entlang der Zahnstange 128 der Führungsplatte 32 ab. Die Drehbewegung des Antriebszahnrades 215 wird über die zwischengeschalteten Stirnzahnräder und 218 auf das letzte angetriebene Zahnrad 219 mit einer gegenüber der Drehzahl des Antriebszahnrades 215 unter-

_on setzten Drehzahl übertragen. Das angetriebene Zahnrad 219 bewegt die Zahnstange 204 linear in der gleichen Richtung, in der sich das untere Schlittengehäuse 130 bewegt, und der Balken 38 wird daher abhängig von der Richtung, in welcher das untere Schlittengehäuse 130 bej. wegt wird, entweder in eine ausgefahrene Position oder eine zurückgezogene Position bezüglich des oberen Schlittengehäuses 132 verlagert.

Durch den Einsatz der Differentialgetriebeanordnung 212 in der vorstehend beschriebenen Weise treibt ein einziger Antriebsmotor , nämlich der Motor 146, gleichzeitig sowohl den Schlitten als auch den Teleskopbalken an, und sowohl der Schlitten als auch der Balken müssen ihre Ausfahrbewegungen oder ihre Rückzugsbewegungen gleichzeitig beenden. In dem Arbeitsumfeld , in dem die Vorrichtung

20 gezeigt und hier beschrieben wird, wurde für die

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Differentialgetriebeanordnung 212 ein Übersetzungsverhältnis von 0,71 gewählt, so daß sich der Schlitten 111, 76 cm (44 Zoll) bewegt, während die Bewegungsstrecke des Balkens 32 81,28 cm ( 32 Zoll) beträgt und die Vorrichtung 20 ein Ausfahrvermögen von insgesamt 193, 04 cm (76 Zoll) erhält.

Der abnehmbar am ausfahrbaren Ende 210 des Teleskopbalkens 38 befestigte Gegenstandsträger 40 kann irgendeine zum Tragen der von der Vorrichtung 20 zu handhabenden Gegenstände geeignete Gestalt haben. Bei der dargestellten Ausführungsform ist der Gegenstandsträger 40 gabelartig ausgeführt und weist einen Stegteil 224 auf, von dessen entgegengesetzten Enden aus sich zwei im Abstand befindliehe, zueinander parallele Zinkea 225 erstrecken. Wie am besten in Fig. 7A zu sehen, ist an den Stegteil 224 einstückkig eine Montagekonstruktion 226 angeformt, die sich von einer Stelle zwischen den entgegengesetzten Enden des Stegteiles nach hinten und aufwärts erstreckt. Die Montagekonstruktion 226 bildet eine sich nach hinten erstreckende und aufwärts versetzte Platte 228 mit zwei nach unten weisenden, im Abstand befindlichen Knotenplatten 230. Die Platte 228 und die Knotenplatten 230 bilden zusammen einen nach hinten und nach unten offenen Hohlraum 232, und ein Stift 234 ist starr so angebracht, z.B. angeschweißt, daß er sich von der Platte 228 in den Hohlraum 2 32 nach unten erstreckt. Der gabelartige Gegenstandsträger 40 wird lösbar an dem ausfahrbaren Ende 210 des Teleskopbalkens 38 angebracht, indem er nach unten bewegt und dabei der Stift 234 in ein Sackloch 236 eingesetzt wird, das in der Oberkante 199 des Balkens 38 nahe beim ausfahrbaren Ende 210 von diesem ausgebildet ist. Wenn der Stift 234 in dem Loch 236 sitzt,ist die Montagekonstruktion mit der oberen Kante des Balkens im Halteein griff, wobei die nach hinten weisende Fläche des Steg-

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teiles 224 des gabelartigen Gegenstandsträgers an der Stirnfläche des Balkens abgestützt ist und die Knotenplatten 230 den Balken umspreizen.

Die Bewegungsvorrichtung 30 ist, wie oben erwähnt, mit der Plattform 28 über eine Hebevorrichtung 34 gekoppelt, mit der die Bewegungsvorrichtung 30 bezüglich der Plattform in vertikaler Richtung hebbar und zurückziehbar ist. die Hebevorrichtung 34 weist zwei identische Hebeeinrichtungen

¹^ 238 und 240 auf, die , wie am besten in Fig. 7 und 10 zu sehen, an im Abstand befindlichen Stellen auf der Plattform 28 montiert sind. Da die Hebeeinrichtungen 238 und 240 identisch sind, gilt die nachstehende detaillierte Beschreibung der Einrichtung 238 auch für die Hebeeinrichtung 240.

Die Hebeeinrichtung 238 ist, wie am besten aus Fig. 13 ersichtlich, in einem nach oben offenen Hohlraum 242 angeordnet, der zur Oberseite 116 der Plattform 28 offen ist, im Guß oder auf andere Weise hergestellt ist und durch eine in sich geschlossene Seitenwand 243 sowie eine Bodenwand 244 gebildet wird. In einem axial nach unten vorragenden Anguß 247 mit durch die Bodenwand 44 gehender mittiger Bohrung ist eine Nockenwelle 246 drehbar gelagert, deren unteres Ende sich abwärts über den Anguß hinaus erstreckt. Die Nockenwelle 246 weist einen verbreiterten zylindrischen Kopf 248 auf, der konzentrisch im Hohlraum 242 angeordnet und auf einem Schublager 249 abgestützt ist, das zwischen die Bodenfläche des Kopfes und die Bodenwand 244 des Hohlraums 242 eingefügt ist. In eine im Umfang des zylindrischen Kopfes 248 der Nockenwelle ausgebildete radiale Gewindebohrung 251 ist ein Gewindezapfen 250 eingeschraubt, dessen radial vorstehendes Ende eine Nockenrolle 252 drehbar trägt. An der Führungsplatte 32 ist starr ein Lagerring 254 in -solcher

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Weise befestigt, z.B. angeschweißt, daß er sich mit Abstand unmittelbar über der Nockenwelle 246 befindet und bezüglich des Hohlraums 242 koaxial angeordnet ist. An der Führungsplatte 232 ist fest ein zylindrischer Ring 256 beispielsweise mittels Bolzen 257 , von denen einer zu sehen ist, so angebracht, daß sein oberes Ende an dem Lagerring und damit an der Führungsplatte 32 anliegt und daran befestigt ist. Der zylindrische Ring 256 steht von der Führungsplatte 32 in konzentrischer Stellung um den verbreiterten zylindrischen Kopf 248 der Nockenwelle 246 herum nach unten ab. Wie am besten in den Fig. 14a bis 14c zu sehen, ist der zylindrische Ring 256 mit einem Nockenfolgeschlitz 258 versehen, der sich durch seinen Umfang erstreckt, wobei die sich axial von dem Kopf 240 der Nockenwelle radial erstreckende Rolle 252 in dem Schlitz 258 angeordnet ist. Der Nockenfolgeschlitz 258 ist so gestaltet, daß er zwischen einem oberen Abschnitt 261 und einem unteren Abschnitt 262 einen geneigten Abschnitt 260 aufweist.

Wenn die Nockenwelle 246 auf eine nachstehend noch beschriebene Weise so gedreht wird, daß die Nockenrolle 252 in dem oberen Teil 261 des Nockenfolgeschlitzes 258 angeordnet ist, nimmt der zylindrische Ring 256 seine voll zurückgezogene Stellung ein, wodurch die Führungsplatte 32 und damit die ganze Bewegungsvorrichtung 30 in ihrer vertikal zurückgezogenen , unten befindlichen Stellung bezüglich der Plattform 28 angeordnet ist, wie dies die Fig. 13 zeigt. Wenn die Nockenwelle 246 in Richtung des Pfeiles 263 in Fig. 14B und 14C gedreht wird, bewegt sich die Nockenrolle 252 aus dem unteren Teil 261 in den geneigten Teil 260 des Nockenfolgeschlitzes 258, wie dies die Fig. 14B zeigt. Durch diese Bewegung der Nockenrolle 252 bewegt sich der zylindrische Ring 256 und damit die ganze Bewegungsvorrichtung 30 aufwärts. Beim weiteren

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j Drehen der Nockenwelle 246 in Richtung des Pfeiles 263 bewegt sich die Nockenrolle in den unteren Teil 262 des Nockenfolgeschlitzes 258, wodurch der zylindrische Ring 256 und die ganze Bewegungsvorrichtung 30 in ihre voll nach oben ausgefahrenen Stellung verlagert wird. Wenn die Nockenwelle 256 in der gegenüber dem Pfeil 263 entgegengesetzten Richtung gedreht wird, wird die Bewegung der Nockenrolle in dem Nockenfolgeschlitz umgekehrt und dadurch die Bewegungsvorrichtung 30 in ihre zurückgezogene «Q Stellung bewegt.

Gemäß Fig. 10 und 12 ist an der nach unten weisenden Fläche des planaren oberen Teiles 116 der Plattform 28 mittels einer passenden Halterung 267 ein zweiter rever-. _c sibel antreibbarer Elektromotor 266 so montiert, daß er sich innerhalb des von der Plattform gebildeten Hohlraumes 118 befindet. Die Ausgangswelle 268 des Motors 266 ist mittels eines Kardangelenks 270 oder dgl. mit einem Ende einer ersten Schnecke 272 gekuppelt, die von einem Joch 273 in solcher Weise drehbar gelagert und gehalten ist, daß sie sich im Hohlraum 118 der Plattform 28 in der Nähe der Hebeeinrichtung 238 befindet. An das andere Ende der ersten Schnecke 272 ist eine Antriebswelle 274 angeschlossen, die sich von dort aus zu einer zweiten Schnecke 276 erstreckt, die in ähnlicher Weise in einem Joch 278 so gelagert und gehalten ist, daß sie sich in der Nähe der anderen Hebeeinrichtung 240 befindet. Der reversible Motor 266 treibt daher die beiden Schnecken 272 und 276 synchron an.

Wie am besten in Fig. 10 zu sehen, ist an den abwärts vorragenden Enden der Nockenwellen 246 der Hebeeinrichtungen 238 und 240 jeweils ein Zahnsegment 280 starr befestigt, wobei sich das Hebesegment 280 der Hebeeinrichtung 238 von seiner Nockenwelle 246 zu der ersten Schnecke 272 erstreckt und mit dieser kämmt und das Zahnsegment 280 der

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anderen Hebeeinrichtung 240 sich von dieser zu der zweiten Schnecke 276 erstreckt und mit dieser in Eingriff steht.

Arbeitsweise
5

Es wird nun Bezug genommen auf die Fig. 15A bis 15E und die Fig. 16 und 17, die die Arbeitsweise der Vorrichtung 20 und die Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Handhaben von Gegenständen wiedergeben.

Die Fig. 15A zeigt die Vorrichtung 20 zum Bewegen von Gegenständen so eingestellt, daß sie sich in der Flucht mit einem der Reaktoröfen 21 befindet, wobei diese Stellung mittels der vertikal positionierbaren, an dem Ständer 24 montierten Tragvorrichtung 26 herbeigeführt worden ist. Die Bewegungsvorrichtung 30 befindet sich in der horizontal zurückgezogenen und vertikal zurückgezogenen Stellung bezüglich der Plattform 28, und die Hebenasen 46 des Gegenstandhalters oder Bootes 42 ruhen bei ihr auf den Zinken 225 des gabelartigen Gegenstandtragers 40, so daß der Bootskörper 44 hängend zwischen den Zinken angeordnet ist. In dieser horizontal und vertikal zurückgezogenen Stellung liegt die Längsmittellinie des Bootes 42 unter der axialen Mittellinie 282 des Reaktorofens. In der Praxis ist der vertikale Bewegungsweg der Bewegungsvorrichtung 30 sehr klein, und er ist der Klarheit halber in den Fig. 15A bis 15E übertrieben dargestellt. Wenn die Vorrichtung 20 dafür benutzt wird, das Boot 42 in den Reaktorofen 21 einzuladen und danach herauszuziehen, beträgt der vertikale Bewegungsweg beispielsweise etwa 0,95 cm (3/8 Zoll).

Die Fig. 15B zeigt den nächsten Arbeitsschritt, bei dem die Hebevorrichtung 34 betätigt wird, um die Bewegungsvorrichtung 30 in ihre vertikal voll angehobene Position zu hoben. Bei diesem Heben bewegt sich die Längsmittel-

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linie des Bootes 42 aufwärts im wesentlichen in die Flucht - oder etwas darüber - mit der axialen Mittellinie 282 des Reaktorofens 21.

Die Fig. 15C zeigt die Bewegungsvorrichtung 30 in dem Betriebszustand, in dem das untere Schlittengehäuse 130 und das obere Schlittengehäuse 132 durch Betätigung des ersten reversiblen Motors 146 (Fig. 10) als Einheit entlang der Führungsplatte 32 bewegt werden und gleichzeitig -^q der Teleskopbalken 38 aus dem oberen Schlittengehäuse ausgefahren wird.

In Fig. 15D ist die Bewegungsvorrichtung 30 in ihre voll ausgefahrene Position bewegt worden, in der sich das Boot

jg 42 in dem Reaktorofen 21 befindet. Gemäß Fig. 16 hat der Reaktorofen 21 einen zylindrischen Innenraum mit einem Durchmesser, der etwas , aber nicht viel, größer ist als die Querschnittsabmessungen des Bootes. In diesem Falle beträgt der Freiraum beispielsweise 0,64 cm (1/4 Zoll).

Wenn sich die Bewegungsvorrichtung 30 in der in Fig. 15D gezeigten Stellung befindet, wird das Boot 42 von dem Gegenstandträger 40 in dem Reaktorofen 21 hängend so angeordnet, daß es die inneren Seitenwände des Ofens nicht berührt. Während des Einsetzens des Bootes in den Reaktor-

„p. ofen ist es daher ausgeschlossen, daß das Boot irgendeinen Prozessrückstand abkratzt, mitzieht oder anderweitig stört, der an den Innenflächen des Reaktorofens abgelagert sein kann und, falls er gestört wird, zu behandelnde Gegenstände durch Verunreinigung beschädigen oder zerstören

_ao könnte.

Die Fig. 15E zeigt die Bewegungsvorrichtung 30 in dem durch umgekehrte Betätigung der Hebevorrichtung 34 vertikal zurückgezogenen Zustand. Beim anfänglichen vertikalen Zurückziehen oder Absenken bewegt sich das Boot 42 ob

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18 -:

mit der Bewegungsvorrichtung 30 abwärts, bis die herabhängenden Füße 4 3 des Bootes an dem unteren gebogenen Teil der inneren Seitenwand des Reaktorofens zur Auflage kommen, wie dies in Fig. 17 zu sehen ist. Die weitere Abwärtsbewegung der Bewegungsvorrichtung 30 bringt die Zinken 225 des gabelartigen Gegenstandträgers 40 abwärts aus der Anlage und damit aus dem Tragkontakt mit den Hebenasen 46 des Bootes 42. Durch Absetzen des Bootes 42 in ruhende Auflage im Reaktorofen in der geschilderten Weise, bewegen

IQ sich die Füße 43 sanft in Kontakt mit der Innenseite des Reaktorofens, und es kommt zu kaum einer oder gar keiner Störung des für Gegenstandsverschmutzungen verantwortlichen Prozessrückstandes. Wenn die Abwärtsbewegung der Bewegungsvorrichtung abgeschlossen ist, befinden sich die

jg Zinken 225 des gabelartigen Gegenstandträgers 40 etwa in der Stellung gemäß Fig. 17. Anders ausgedrückt, befinden sich die Zinken 225 zwischen den Hebenasen 46 des Bootes und dem unteren gebogenen Flächenabschnitt der inneren Seitenwand des Reaktorofens.

Nach dem Einsetzen des Bootes 42 in den Reaktorofen 21 und dem Absenken der Bewegungsvorrichtung 30 in die vollständig vertikal zurückgezogene Stellung wird der erste reversibel antreibbare Motor 146 (Fig. 10) in der umgekehrten Richtung in Betrieb gesetzt, um gleichzeitig den Teleskopbalken 38 und das obere und untere Schlittengehäuse 130 und 132 zurückzuziehen. Wenn das horizontale Zurückziehen abgeschlossen ist, befindet sich die Bewegungsvorrichtung 30 in der voll zurückgezogenen Stellung, d.h. sowohl vertikal als auch horizontal, wie dies die Fig. 15A zeigt. Die in den Fig. 15A bis 15E zu sehenden und oben beschriebenen Schritte bilden ein Betriebsverfahren der Vorrichtung 20 zum Einsetzen von Gegenständen. Wenn die Behandlung der in dem Boot 42 gehaltenen Gegenstände abgeschlossen ist, wird die Bewegungsvorrichtung 30 der Vorrichtung 20 dahingehend betätigt, daß ein Be-

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triebsverfahren des Entnehmens durchgeführt wird. Der erste Schritt des Entnahmeverfahrens besteht darin, den ersten umkehrbaren Antriebsmotor 146 zu betätigen , damit gleichzeitig der Teleskopbalken 38 und das obere und das untere Schlittengehäuse 130 und 132 horizontal ausgefahren werden. Dieser Schritt wird mit sich in der vertikal zurückgezogenen Stellung befindlicher Bewegungsvorrichtung 30 durchgeführt , so daß die Zinken 225 des gabelartigen Gegenstandträgers 40 in der abgesenkten Stellung gemäß Fig.

J^q in den Reaktorofen 21 eintreten. Wenn die horizontal ausgefahrene Stellung der Bewegungsvorrichtung 30 erreicht ist, wird die Hebevorrichtung 34 betätigt , um die Bewegungsvorrichtung 30 in ihre vertikal ausgefahrene Stellung zu bewegen, wobei sich die zinken 225 aufwärts in Hebekontakt mit den Hebenasen 46 des Bootes 42 bewegen und dadurch das Boot sanft in seine hängend gehaltene Position gemäß Fig. 16 anheben. Dann wird die Bewegungsvorrichtung 30 in der vertikal angehobenen Position horizontal zurückgezogen, um das Entnahme-Betriebsverfahren des Apparates 20 zu vollenden.

Das erfindungsgemäße Prinzip wurde anhand des dargestellten Ausführungsbeispiels erläutert, doch sind für den Fachmann unmittelbar vielerlei Abwandlungen hinsichtlich der Struktur, der Zusammenstellungen, der Proportionen, der Elemenete, der Materialien und der Bauteile, die bei der Ausübung der Erfindung zur Anwendung gelangen, und anderweitige Abwandlungen offensichtlich, die eine besondere Anpassung an spezielle Umgebungen und Betriebs-

_ΟΛ bedingungen ergeben, ohne daß von dem der Erfindung zuo U

gründe liegenden Prinzip abgewichen wird.

- Leerseite -

Claims (36)

Patentansprüche

1. Vorrichtung zum Handhaben verschiedener Gegenstände, mit einer Plattform von langgestreckter Gestalt, die in einer im wesentlichen horizontalen Ebene angeordnet ist, gekennzeichnet durch

A) eine Vorrichtung zum Bewegen von Gegenständen (Bewegungsvorrichtung), die auf der Plattform montiert und in einer im wesentlichen horizontalen Ebene zwischen einer bezüglich der Plattform ausgefahrenen und bezüglich der Plattform zurückgezogenen Stellung und in einer im wesentlichen vertikalen Ebene zwischen einer bezüglich der Plattform angehobenen und einer bezüglich der Plattform zurückgezogenen Stellung jeweils hin- und herbeweglich ist,

b) einen an der Bewegungsvorrichtung zwecks Bewegung mit dieser lösbar montierten Gegenstandträger zum Aufnehmen und Tragen der zu behandelnden Gegenstände,

c) eine erste Vorrichtung zum Hin- und Herbewegen der Bewegungsvorrichtung in der im wesentlichen horizontalen Ebene, und

d) eine zweite Vorrichtung zum Hin- und Herbewegen der Bewegungsvorrichtung in der im wesentlichen vertikalen Ebene.

j

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungsvorrichtung ausgerüstet ist mit

c a) einem in der horizontalen Ebene relativ zur Plattform hin- und herbeweglichen Schlitten oder dgl., und

b) einem in dem Schlitten zur Bewegung mit diesem _n und für eine hin- und hergehende Bewegung in der im wesentlichen horizontalen Ebene zwischen einer ausgefahrenen und einer zurückgezogenen Stellung bezüglich des Schlittens teleskopartig montierten Balken.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Hin- und Herbewegung des Balkens bezüglich des Schlittens gleichzeitig mit der Hin- und Herbewegung des Schlittens bezüglich der Plattform stattfindet.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungsvorrichtung ausgerüstet ist mit

a) einer über der Plattform angeordneten, sich in

Längsrichtung von dieser erstreckenden Führungsplatte,

b) einem von der Führungsplatte getragenen und über 30

deren Länge in der im wesentlichen horizontalen

Ebene hin- und herbeweglich montierten Schlitten oder dgl., und

c) einem in dem Schlitten teleskopartig montierten 35

und in der im wesentlichen horizontalen Ebene

zwischen einer ausgefahrenen Stellung und einer

zurückgezogenen Stellung bezüglich des Schlittens teleskopartig hin- und herbeweglichen Balken.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Einrichtung zum Hin- und Herbewegen der Bewegungsvorrichtung in einer im wesentlichen horizontalen Ebene ausgerüstet ist mit

a) einer fest auf dem Schlitten angebrachten Zahnstange,

b) einem mit der Zahnstange des Schlittens in Eingriff stehenden Antriebszahnrad,

c) einem auf der Plattform montierten reversibel antreibbaren Motor,

d) einer zwischen den reversibel antreibbaren Motor ^und das Antriebszahnrad eingeschalteten Antriebs-

we11enanordnung,

e) einer auf der Führungsplatte fest montierten Zahnstange,

f) einer an dem Balken fest montierten Zahnstange,

und

g) einer auf dem Schlitten mit diesem beweglich

QQ montierten Getriebeeinrichtung, die ausgestattet

ist mit einem ersten Zahnrad, das in die Zahnstange der Führungsplatte eingreift, welche das erste Zahnrad antreibt, wenn der Schlitten über die Länge der Führungsplatte bewegt wird, ferner mit einem zweiten Zahnrad, das in die Zahnstange

des Balkens, diese antreibend, eingreift, und

mit Zwischenzahnrädern, die kämmend zwischen das erste Zahnrad und das zweite Zahnrad eingefügt

sind.
5

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Getriebevorrichtung als Untersetzungsgetriebe ausgeführt ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswellenanordnung eine Kupplungsmutter oder dgl. zum selektiven Abkuppeln des Antriebszahnrades von dem reversibel antreibbaren Motor aufweist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch eine zwischen dem Antriebszahnrad und der Antriebswellenanordnung angeordnete Gleitverbindung, die die Verbindung zwischen diesen Teilen aufrechterhält, wenn das Antriebszahnrad mit der Bewegugnsvorrichtung in der im wesentlichen vertikalen Ebene bewegt wird.

9. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Vorrichtung zum Hin- und Herbewegen der Bewegungsvorrichtung in der im wesentlichen vertikalen Ebene ausgerüstet ist mit:

a) einer zwischen der Plattform und der Bewegungsvorrichtung angeordneten, diese verbindenden

Hebevorrichtung, die zwischen einer vertikal ausgefahrenen Stellung und einer vertikal zurückgezogenen Stellung durch Drehantrieb betätigbar ist,

_ 5 —

b) einem auf der Plattform montierten, reversibel antreibbaren Motor, und

c) einer Antriebswellenvorrichtung, die die Hebevorrichtung für deren drehenden Antrieb mit dem reversibel antreibbaren Motor kuppelt.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebevorrichtung zwei im Abstand befindliche Hebeeinrichtungen aufweist, die für synchronen Betrieb durch die Antriebswellenvorrichtung miteinander verbunden sind.

11. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebevorrichtung mindestens eine Hebeeinrichtung aufweist, die ausgerüstet ist mit

a) einer in der Plattform drehbar gelagerten und vertikal angeordneten Nockenvorrichtung, und

b) einer Nockenfolgevorrichtung, die von der Bewegungsvorrichtung nach unten ragt und mit der Nockenvorrichtung in Eingriff steht, um sich relativ zu dieser axial zu bewegen, wenn die

Nockenvorrichtung gedreht wird. 25

12. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebevorrichtung mindestens eine Hebeeinrichtung aufweist, welche ausgerüstet ist mit

a) einer in der Plattform drehbar gelagerten, vertikal angeordneten Nockenwelle,

b) einer sich vom oberen Ende der Nockenwelle radial erstreckenden Nockenrolle, und

c) einem von der Bewegungsvorrichtung nach unten ragenden, die Nockenwelle axial beweglich konzentrisch umgebenden Ring mit einem in ihm ausgebildeten Nockenfolgeschlit2, in dem die Nockenrolle angeordnet ist, um den Ring in einer axialen Ausfahrrichtung zu bewegen, wenn die Nocken-, welle in einer Richtung gedreht wird, und den Ring in einer axialen Rückzugrichtung zu bewegen, wenn die Nockenwelle in der Gegenrichtung gedreht wird.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Nockenwelle ein an ihrem unteren Ende befestigtes Zahnsegment aufweist, das mit der Antriebswellenvorrichtung in Eingriff steht.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswellenvorrichtung eine in das Zahnsegment antreibend eingreifende Schnecke

aufweist.
20

15. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine an der Plattform angebrachte Vorrichtung zum Tragen und vertikalen Bewegen der Plattform.

16. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch

a) einen Fuß,

b) einen sich von dem Fuß nach oben erstreckenden 30

langgestreckten Pfosten,

c) eine auf dem Pfosten axial bewegliche, fest an der Plattform angebrachte Plattform-Tragvorrichtung zum Tragen der Plattform in der im wesentlichen horizontalen Ebene, und

d) eine fest an dem Pfosten angebrachte und mit der Plattform-Tragvorrichtung gekoppelte vertikale Antriebsvorrichtung zum Bewegen der Plattform

über die Länge des Pfostens. 5

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Plattform-Tragvorrichtung ausgerüstet ist mit:

¹^ a) einer rohrförmigen Hülse, die eine axiale Bohrung bildet, welche den Pfosten koaxial umgibt,

b) einer Stabilisierungsvorrichtung an der Hülse, die mit dem Pfosten in Eingriff steht, um die koaxiale Stellung zwischen Pfosten und Hülse

aufrechtzuerhalten und eine Drehung der Hülse um die Längsachse des Pfostens zu verhindern, und

c) einarsich von der rohrförmigen Hülse radial zur Plattform erstreckenden, fest an dieser angebrachten Halterung.

18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Stabilisierungsvorrichtung eine obere Stabilisierungseinrichtung am oberen Ende der rohrförmigen Hülse und eine untere Stabilisierungseinrichtung am unteren Ende der rohrförmigen Hülse aufweist und die Stabilisierungseinrichtungen jeweils ausgerüstet sind mit

a) einem Gehäuse, das mit der rohrförmigen Hülse aus einem Stück besteht und mindestens einen Hohlraum bildet, der radial zur Peripherie des Pfostens offen ist,

8

χ b) einer Rolle in dem Hohlraum des Gehäuses, und

c) einer Vorrichtung in dem Gehäuse zum Bewegen und Einstellen der Rolle in Halteeingriff mit dem Umfang des Pfostens.

19. Vorrichtung nach Anspruch 18, gekennzeichnet durch eine in Längsrichtung des Pfostens in diesem ausgebildete Nut, in die die Rolle mit ihrem Umfang hal-

IQ tend eingreift.

20. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Stabilisierungsvorrichtung eine obere Stabilisierungseinrichtung am oberen

!5 Ende der rohrförmigen Hülse und eine untere Stabilisierungseinrichtung am unteren Ende der rohrförmigen Hülse aufweist und die Stabilisierungseinrichtungen jeweils ausgerüstet sind mit

2Q a) einem Gehäuse, das mit der Hülse aus einem

Stück besteht und zwei innere Hohlräume bildet, die zueinander unter einem rechten Winkel angeordnet sind und von denen jeder radial zum Umfang des Pfostens offen ist,

b) zwei Rollen, von denen die eine in dem einen

und die andere in dem anderen, in dem Gehäuse gebildeten Hohlraum angeordnet ist, und

c) eine Einrichtung in jedem der Hohlräume des Gehäuses zum Bewegen und Einstellen der jeweils darin befindlichen Rolle in Halteeingriff mit dem Umfang des Pfostens.

__

21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch ge-35

kennzeichnet, daß die Einrichtungen in jedem der

Hohlräume des Gehäuses versehen sind mit

a) einem Schäkel mit einem Schleifenteil und zwei Zinken, die sich von diesem zum Umfang des Pfostens hin erstrecken, wobei die Rolle dreh

bar zwischen den Zinken des Schäkels gelagert ist, und

b) einer in das Gehäuse eingeschraubten Einstellig schraube, die sich zum Schleifenteil des Schäkels erstreckt und an diesem angreift.

22. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß

a) der Pfosten zwei V-förmige Nuten aufweist, die

in Längsrichtung in der Peripherie des Pfostens ausgebildet und in Bezug aufeinander unter einem rechten Winkel angeordnet sind, und

b) jede Rolle eine in sich geschlossene abgeschrägte Umfangskante von V-förmigem Querschnitt aufweist, die so gestaltet ist, daß sie mit einer ihr von den beiden V-förmigen Nuten zugeordnete ten Nut in dem Pfosten in Halteeingriff gebracht werden kann.

23. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die vertikale Antriebsvorrichtung

_an ausgerüstet ist mit:

a) einem an dem Pfosten befestigten Gehäuse,

b) einem Getriebe in dem Gehäuse , das eine Getriebeantriebswelle und eine Ausgangswelle aufweist,

- 10-

c) einer mit der Getriebeantriebswelle dieses Getriebes gekoppelten Vorrichtung für deren Antrieb,

d) einer mit der Ausgangswelle des Getriebes gekoppelten , sich in vertikaler Richtung davon erstreckenden, langgestreckten Gewindespindel, und

e) einer Gewindespindelmutter an der Plattform-Tragvorrichtung, die mit der Gewindespindel in Antriebs-Eingriff steht.

24. Vorrichtung nach Anspruch 23, da d u r c h gekennzeichnet, daß das Getriebe ein Untersetzungsgetriebe ist.

25. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die mit der Getriebeantriebswelle zu deren Antrieb gekoppelte Vorrichtung ein reversibel antreibbarer Motor .ist.

26. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die mit der Getriebeantriebswelle zu deren Antrieb gekoppelte Vorrichtung ein Handrad ist.

27. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekenn zeichnet, daß die mit der Getriebeantriebswelle zu deren Antrieb gekoppelte Vorrichtung versehen ist mit

a) einem mit einem Ende der Getriebeantriebswelle gekoppelten, reversibel antreibbaren Motor, und

b) einem von dem anderen Ende der Getriebeantriebs-

- 11 -

welle getragenen Handrad, wobei der umkehrbar

antreibbare Motor mit dem einen Ende der Getriebeantriebswelle mittels einer Kupplungsmutter oder dgl. gekoppelt ist, mit deren Hilfe der umkehrbar antreibbare Motor selektiv von der Ge

triebeantriebswelle abgekuppelt werden kann.

28. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungsvorrichtung ein gegabeltes Element aufweist, das mit einem Schleifenteil, von dessen entgegengesetzten Enden aus sich zwei Zinken zum Tragen von Gegenständen erstrecken, und mit einer zwischen den Enden des Schleifenteils befindlichen Einrichtung zum lösbaren Befestigen an der Bewegungsvorrichtung versehen ist.

29. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie zum Einladen von zu behandelnden Gegenständen in einen Reaktorofen und zum Ausladen der Gegenstände im Anschluß an die Behandlung eingesetzt wird und die Vorrichtung des weiteren folgende Merkmale aufweist:

a) daß mindestens ein Reaktorofen vorhanden ist,

b) die Plattform von langgestreckter Gestalt im Abstand vor dem Reaktorofen angeordnet ist,

c) eine Einrichtung zum Tragen der Plattform und 3Q zum vertikalen Bewegen der Plattform im wesentlichen in die Flucht mit dem Innenraum des Reaktorofens vorgesehen ist,

d) die Bewegungsvorrichtung in im wesentlichen

3g horizontaler Ebene zum Reaktorofen hin und von

diesem weg hin- und herbeweglich ist, und

- 12 -

e) der Gegenstandträger in den Reaktorofen hinein und aus diesem heraus beweglich montiert ist und die in dem Reaktorofen zu behandelnden Gegenstände vor deren Behandlung in dem Reaktorofen abgestützt in diesen hineinzutragen und

nach der Behandlung herauszuziehen vermag.

30. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung

2Q zum Handhaben von Halbleiterscheiben eingesetzt wird und der Gegenstandträger eine Tragvorrichtung für die Halbleiterscheiben aufweist, die die zu behandelnden Halbleiterscheiben aufzunehmen und zu halten vermag.

31. Verfahren zum Handhaben von Gegenständen gemäß

einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zubehandelnden Gegenstände in einen Reaktorofen eingeladen werden und hierfür

a) mindestens ein zu behandelnder Gegenstand in

einem Gegenstandhalter angeordnet wird,

b) der Gegenstandhalter an einem an einer Vorrich-„_ tung zum Handhaben von Gegenständen befindlichen

Gegenstandträger aufgehängt wird, der sich horizontal fluchtend im Abstand von dem Innenraum des Reaktorofens befindet,

c) die Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen 30

so angehoben wird, daß die Mittellinie des Gegenstandhalters im wesentlichen in die Flucht mit der Mittellinie des innenraumes des Reaktorofens gelangt,

- 13-

d) die Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen in horizontaler Richtung zum Reaktorofen
ausgefahren wird, um den Gegenstandhalter im aufgehängten Zustand in den Reaktorofen einzubringen,

e) die Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen in vertikaler Richtung zurückgezogen wird, um
den Gegenstandhalter abwärts zu bewegen und

innen im Reaktorofen abzusetzen und um den Ge

genstandträger von dem Gegenstandhalter zu lösen, und

f) die Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen in horizontaler Richtung aus dem Reaktorofen

zurückgezogen wird.

32. Verfahren nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, daß

g) die Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen in horizontaler Richtung zum Reaktorofen ausgefahren wird , um den Gegenstandträger nach dem Verfahrensschritt f) gemäß Anspruch 31. in den

Reaktorofen hineinzubewegen,

h) die Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen angehoben wird, um den Gegenstandträger in
Stützkontakt mit dem Gegenstandhalter zu bringen und diesen in dem Reaktorofen in ausfgehäng-

ten Zustand zu bringen, und

i) die Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen

horizontal aus dem Reaktorofen zurückgezogen

wird, um den Gegenstandhalter aus diesem heraus

zuziehen.

_ 14 _

33. Verfahren zum Handhaben von Halbleiterscheiben in Übereinstimmung mit der Vorrichtung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterscheiben zur Behandlung in einen Reaktorofen eingesetzt werden und hierfür

a) mindestens eine zu behandelnde Scheibe in

eine Scheibenhaltevorrichtung eig_esetzt wird,

b) die Scheibenhaltevorrichtung an einem Ende

einer Handhabungsvorrichtung aufgehängt wird,

c) die Handhabungsvorrichtung so ausgerichtet wird, daß die Mittellinie der Scheibenhaltevorrichtung im wesentlichen mit der Mittellinie

des Innenraumes des Reaktorofens fluchtet,

d) die Handhabungsvorrichtung in einer ersten Ebene ausgefahren wird, um die Scheibenhaltevorrichtung im hängenden Zustand in den Reak

torofen einzubringen,

e) die Handhabungsvorrichtung in eine zweite Ebene bewegt wird, um die Scheibenhaitevorrichtung innen im Reaktorofen abzusetzen and

um das Ende der Handhabungsvorrichtung von der Scheibenhaltevorrichtung zu lösen, und

f) die Handhabungsvorrichtung zurückgezogen wird, 3Q um deren Ende aus dem Reaktorofen herauszuziehen.

34. Verfahren nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, daß der Verfahrensschritt des Zurück-3g ziehens der Handhabungsvorrichtung in. einer dritten Ebene durchgeführt wird, die zu der ersten Ebene

- 15 -

parallel liegt und sich im Abstand darunter befindet.

35. Verfahren nach Anspruch 33 oder 34, dadurch

gekennzeichnet, daß das Ausrichten der Handhabungsvorrichtung folgende Schritte umfaßt:

aJ Einstellen der Höhenlage der Handhabungsvorrichtung in solcher Weise, daß sich die Mittellinie der Scheibenhaltevorrichtung in der drit

ten Ebene befindet, und

b) Anheben der Handhabungsvorrichtung so weit, daß sich die Mittellinie der Scheibenhaltevorrichtung in der ersten Ebene befindet.

36. Verfahren nach Anspruch 34 oder 35, dadurch gekennzeichnet, daß

g) die Handhabungsvorrichtung nach dem Verfahrensschritt f) in der dritten Ebene ausgefahren wird, um das Ende der Handhabungsvorrichtung in den Reaktorofen zu bewegen,

h) die Handhabungsvorrichtung in die zweite Ebene

bewegt wird, um deren Ende mit dem Gegenstandhalter in Kontakt zu bringen und diesen im Reaktorofen hängend so anzuordnen, daß seine Mittellinie im wesentlichen nit der Mittellinie

OQ des Reaktorofens fluchtet, und

i) die Handhabungsvorrichtung in der ersten Ebene zurückgezogen wird, um den Scheibenhalter aus dem Reaktorofen herauszuziehen.