DE3687315D1 - Verfahren zum herstellen einer vielzahl plattenfoermiger mikrostrukturkoerper aus metall. - Google Patents

Verfahren zum herstellen einer vielzahl plattenfoermiger mikrostrukturkoerper aus metall.

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Families Citing this family (60)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3537483C1 (de) * 1985-10-22 1986-12-04 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl plattenfoermiger Mikrostrukturkoerper aus Metall
DE3841621A1 (de) * 1988-12-10 1990-07-12 Draegerwerk Ag Elektrochemische messzelle mit mikrostrukturierten kapillaroeffnungen in der messelektrode
DE3842610C1 (de) * 1988-12-17 1990-06-21 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De
DE3842611C1 (de) * 1988-12-17 1990-02-22 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De
DE3905679A1 (de) * 1989-02-24 1990-08-30 Heidelberger Druckmasch Ag Metallfolie als aufzug fuer bogenfuehrende zylinder und/oder trommeln an rotationsdruckmaschinen
DE4010669C1 (de) * 1990-04-03 1991-04-11 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De
US5189777A (en) * 1990-12-07 1993-03-02 Wisconsin Alumni Research Foundation Method of producing micromachined differential pressure transducers
US5206983A (en) * 1991-06-24 1993-05-04 Wisconsin Alumni Research Foundation Method of manufacturing micromechanical devices
US5308180A (en) * 1991-12-09 1994-05-03 Minnesota Mining And Manufacturing Company Liquid applicator with metering insert
US5190637A (en) * 1992-04-24 1993-03-02 Wisconsin Alumni Research Foundation Formation of microstructures by multiple level deep X-ray lithography with sacrificial metal layers
DE4219667C2 (de) * 1992-06-16 1994-12-01 Kernforschungsz Karlsruhe Werkzeug und Verfahren zur Herstellung einer mikrostrukturierten Kunststoffschicht
DE4222856C1 (de) * 1992-07-11 1993-05-27 Buerkert Gmbh
DE4231742C2 (de) * 1992-09-23 1994-06-30 Kernforschungsz Karlsruhe Verfahren zur galvanischen Abformung von mit Strukturen versehenen plattenförmigen Körpern
DE4239532C1 (de) * 1992-11-25 1994-02-10 Kernforschungsz Karlsruhe Verwendung von Mikro-Carbonfasern
DE4240857C2 (de) * 1992-12-04 1994-11-03 Kernforschungsz Karlsruhe Verfahren zur Abformung von Mikrostrukturen und Werkzeug zur Abformung
US5378583A (en) * 1992-12-22 1995-01-03 Wisconsin Alumni Research Foundation Formation of microstructures using a preformed photoresist sheet
DE4304424C2 (de) * 1993-02-13 1995-03-30 Kernforschungsz Karlsruhe Verfahren zum Herstellen von Mikrostrukturelementen auf einem Substrat, welche mit integrierten Schaltkreisen elektromechanisch, optisch oder elektrisch zusammenwirken
DE4307869C2 (de) * 1993-03-12 1996-04-04 Microparts Gmbh Mikrostrukturkörper und Verfahren zu deren Herstellung
DE4310068C1 (de) * 1993-03-27 1994-06-16 Kernforschungsz Karlsruhe Verfahren zur Herstellung eines plattenförmigen Mikrostrukturkörpers aus Keramik
US5412265A (en) * 1993-04-05 1995-05-02 Ford Motor Company Planar micro-motor and method of fabrication
US5660680A (en) * 1994-03-07 1997-08-26 The Regents Of The University Of California Method for fabrication of high vertical aspect ratio thin film structures
US6226120B1 (en) 1994-11-30 2001-05-01 Board Of Supervisors Of Louisiana State University And Agricultural And Mechanical College Three-dimensional microstructures, and methods for making three-dimensional microstructures
DE19530193A1 (de) * 1995-08-17 1997-02-20 Bosch Gmbh Robert Düsenplatte, insbesondere für Kraftstoffeinspritzventile, und Verfahren zur Herstellung einer Düsenplatte
GB9623185D0 (en) * 1996-11-09 1997-01-08 Epigem Limited Improved micro relief element and preparation thereof
DE19709137B4 (de) * 1997-03-06 2005-12-15 INSTITUT FüR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH Verfahren zur Herstellung und Magazinierung mindestens eines metallischen Mikrobauteils
US6115634A (en) * 1997-04-30 2000-09-05 Medtronic, Inc. Implantable medical device and method of manufacture
US5943223A (en) * 1997-10-15 1999-08-24 Reliance Electric Industrial Company Electric switches for reducing on-state power loss
DE19753948C2 (de) * 1997-12-05 2001-10-18 Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh Verfahren zur Herstellung eines metallischen Mikrostrukturkörpers durch galvanische Abscheidung
US6454970B1 (en) * 1998-10-14 2002-09-24 Amic Ab And Gyros Ab Matrix, method of producing and using the matrix and machine including the matrix
DE19924005A1 (de) * 1999-05-26 2000-11-30 Karlsruhe Forschzent Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturkörpern
DE19924596C2 (de) * 1999-05-28 2001-05-17 Karlsruhe Forschzent Verfahren zur Herstellung eines Mikrostrukturapparates
DE19926775C2 (de) * 1999-06-11 2003-04-17 Suisse Electronique Microtech Verfahren zur Mikrostrukturierung eines Kunststoffs
US6272275B1 (en) 1999-06-25 2001-08-07 Corning Incorporated Print-molding for process for planar waveguides
SE9903255L (sv) * 1999-09-13 2001-03-14 Aamic Ab Förfarande för att framställa en matris samt en matris sålunda framställd.(Hybridtillämpningen)
US6458263B1 (en) 2000-09-29 2002-10-01 Sandia National Laboratories Cantilevered multilevel LIGA devices and methods
US7090189B2 (en) * 2001-01-17 2006-08-15 Sandia National Laboratories Compliant cantilevered micromold
US6422528B1 (en) 2001-01-17 2002-07-23 Sandia National Laboratories Sacrificial plastic mold with electroplatable base
DE10104258A1 (de) * 2001-01-31 2002-08-22 Infineon Technologies Ag Verfahren zum Aufbringen einer strukturierten Schicht auf ein Trägersubstrat
US6849390B2 (en) 2001-02-05 2005-02-01 Pioneer Corporation Stamper-forming electrode material, stamper-forming thin film, and method of manufacturing optical disk
US20020153625A1 (en) * 2001-02-05 2002-10-24 Pioneer Corporation Stamper-forming electrode material, stamper-forming thin film, and method of manufacturing optical disk
DE10106135B4 (de) * 2001-02-10 2005-03-10 Micromotion Gmbh Verfahren zur Herstellung von galvanisch abformbaren Negativformen mikrostukturierter Körper,insbesondere Zahnräder
US6899838B2 (en) * 2002-07-12 2005-05-31 Becton, Dickinson And Company Method of forming a mold and molding a micro-device
DE10236812A1 (de) * 2002-08-10 2004-02-19 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Verfahren zur Herstellung von Metall- oder Keramik-Mikrobauteilen
EP1445670A1 (de) 2003-02-06 2004-08-11 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiralfeder der Resonatorunruh und Fabrikationsmethode
US20050221112A1 (en) * 2004-03-31 2005-10-06 Daewoong Suh Microtools for package substrate patterning
DE602004019183D1 (de) 2004-04-06 2009-03-12 Nivarox Sa Spiralrolle ohne Deformation des Fixierungsradius der Spiralfeder und Herstellungsverfahren derartige Spiralrolle
US20060151915A1 (en) * 2004-08-24 2006-07-13 Dyke Darrell V Machine and process for fusion molding of plastic single-use containers
US8129822B2 (en) * 2006-10-09 2012-03-06 Solexel, Inc. Template for three-dimensional thin-film solar cell manufacturing and methods of use
US8399331B2 (en) 2007-10-06 2013-03-19 Solexel Laser processing for high-efficiency thin crystalline silicon solar cell fabrication
EP1818736A1 (de) * 2006-02-09 2007-08-15 The Swatch Group Research and Development Ltd. Stossfeste Spiralrolle
JP5026751B2 (ja) * 2006-09-04 2012-09-19 独立行政法人理化学研究所 ハニカム状多孔質フィルムを鋳型とした金属パターンアレイ
US8193076B2 (en) 2006-10-09 2012-06-05 Solexel, Inc. Method for releasing a thin semiconductor substrate from a reusable template
EP2356675B1 (de) 2008-11-13 2016-06-01 Solexel, Inc. Dreidimensionale Dünnschichtsolarzelle und deren Herstellungsverfahren
US8906218B2 (en) 2010-05-05 2014-12-09 Solexel, Inc. Apparatus and methods for uniformly forming porous semiconductor on a substrate
US9076642B2 (en) 2009-01-15 2015-07-07 Solexel, Inc. High-Throughput batch porous silicon manufacturing equipment design and processing methods
US9318644B2 (en) 2009-05-05 2016-04-19 Solexel, Inc. Ion implantation and annealing for thin film crystalline solar cells
FR2952928A1 (fr) * 2009-11-20 2011-05-27 Centre Nat Rech Scient Procede de realisation d'un reseau organise de nano-objets
CN102844883B (zh) 2010-02-12 2016-01-20 速力斯公司 用于制造光电池和微电子器件的半导体衬底的双面可重复使用的模板
US9748414B2 (en) 2011-05-20 2017-08-29 Arthur R. Zingher Self-activated front surface bias for a solar cell
EP4332686A1 (de) 2022-08-30 2024-03-06 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiralfeder für eine spiralunruh-einheit einer uhrwerke

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3649474A (en) * 1969-12-05 1972-03-14 Johns Manville Electroforming process
DE2603888B2 (de) * 1975-02-24 1977-12-15 MCA Disco-Vision, Znc, Universal City, Calif. (V-StA.) Verfahren zum herstellen einer nachbildungsmatrize fuer informationstraeger und matrize zur bildung von videoplattenreproduktionen
JPS5641711A (en) * 1979-09-07 1981-04-18 Furukawa Electric Co Ltd Wiring for disaster prevention
DE3206820C2 (de) * 1982-02-26 1984-02-09 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe Verfahren zum Herstellen von Trenndüsenelementen
DE3221981C2 (de) * 1982-06-11 1985-08-29 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe Verfahren zum Herstellen von aus Trennkörpern mit Abschlußplatten bestehenden Trenndüsenelementen zur Trennung gas- oder dampfförmiger Gemische
JPS5974289A (ja) * 1982-10-20 1984-04-26 Hamasawa Kogyo:Kk 電鋳用母型の製造方法
DE3335171A1 (de) * 1983-09-28 1985-04-04 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Doppelentformungsverfahren zur herstellung von trennduesenstrukturen
DE3537483C1 (de) * 1985-10-22 1986-12-04 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl plattenfoermiger Mikrostrukturkoerper aus Metall

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Publication number Publication date
EP0328161B1 (de) 1992-12-16
EP0331208A3 (en) 1990-01-31
DE3673770D1 (de) 1990-10-04
AU6357086A (en) 1987-04-30
EP0331208A2 (de) 1989-09-06
DE3685442D1 (de) 1992-06-25
JPS6299492A (ja) 1987-05-08
EP0328161A2 (de) 1989-08-16
EP0224630A1 (de) 1987-06-10
DE3537483C1 (de) 1986-12-04
CA1292722C (en) 1991-12-03
ATE56053T1 (de) 1990-09-15
AU609325B2 (en) 1991-04-26
ATE76451T1 (de) 1992-06-15
EP0224630B1 (de) 1990-08-29
AU3995889A (en) 1989-11-30
ATE83510T1 (de) 1993-01-15
JPH0784670B2 (ja) 1995-09-13
AU3995789A (en) 1989-11-30
AU611582B2 (en) 1991-06-13
EP0331208B1 (de) 1992-05-20
AU593023B2 (en) 1990-02-01
US4661212A (en) 1987-04-28
EP0328161A3 (en) 1990-01-31

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