DE3803773A1 - Schleifverfahren unter verwendung eines magnetischen fluids sowie vorrichtung hierfuer - Google Patents
Schleifverfahren unter verwendung eines magnetischen fluids sowie vorrichtung hierfuerInfo
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- B24B1/005—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes using a magnetic polishing agent
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Schleifen eines Werkstücks
gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie eine
Vorrichtung zum Schleifen eines Werkstücks gemäß dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 9.
Bezweckt wird die Schaffung eines effizienten Schleifverfahrens
und einer effizienten Schleifvorrichtung.
Verschiedenartige Verfahren betreffend das Schleifverfahren für
die Oberfläche von Werkstücken unter Verwendung von magnetischem
Fluid, das Schleifkörner enthält, sind bereits in den folgenden
japanischen Patentveröffentlichungen offenbart:
Tokkaisho 51-10 499, Tokkaisho 57-1 63 057, Tokkaisho 57-1 58 280, Tokkaisho 58-77 447,
Tokkaisho 59-1 02 569, Tokkaisho 60-67 057, Tokkaisho 60-1 18 466, Tokkaisho 60-1 67 761
Tokkaisho 60- 1 67 761, Tokkaisho t0-1 86 368, Tokkaisho 60-1 91 759 und Tokkaisho 60-2 42 963.
Tokkaisho 51-10 499, Tokkaisho 57-1 63 057, Tokkaisho 57-1 58 280, Tokkaisho 58-77 447,
Tokkaisho 59-1 02 569, Tokkaisho 60-67 057, Tokkaisho 60-1 18 466, Tokkaisho 60-1 67 761
Tokkaisho 60- 1 67 761, Tokkaisho t0-1 86 368, Tokkaisho 60-1 91 759 und Tokkaisho 60-2 42 963.
Das Grundprinzip des üblichen Verfahrens zum Schleifen der
Oberfläche von Werkstücken unter Verwendung eines Schleifkörner
enthaltenden magnetischen Fluids wird in Fig. 8 erläutert.
Die Oberfläche eines zu schleifenden Werkstücks 3 ist in ein
Schleifkörner enthaltendes magnetisches Fluid 2 eingetaucht,
welches in einen Behälter 1 eingefüllt ist, unter dem Magnete 4
angeordnet sind, um von dem Bodenabschnitt des Behälters für das
magnetische Fluid ein magnetisches Feld vorzusehen.
Demgemäß wird den Schleifkörnern durch das magnetische Feld eine
Auftriebskraft verliehen, und sie werden durch die Auftriebskraft
zur Bildung einer hochdichten Schicht aus Schleifkörnern in dem
oberen Abschnitt des magnetischen Fluids, die in Berührung mit
der Oberfläche des Werkstücks gelangt, nach oben bewegt. Durch
gegenseitige Bewegung zwischen dem Werkstück und dem Schleifmittel
enthaltenden magnetischen Fluid, wie beispielsweise eine
Drehung des Werkstücks um die in Fig. 8 gezeigte Achse, wird die
Oberfläche des Werkstücks geschliffen.
Es gibt ein alternatives Verfahren zur Vornahme der wechselseitigen
Bewegung zwischen dem Werkstück und dem die Schleifkörner
enthaltenden magnetischen Fluid, das durch Umlaufbewegung des die
magnetischen Schleifkörner enthaltenden magnetischen Fluids durch
Betätigung bzw. Antrieb des äußeren Magnetfeldes erreicht wird.
Diese üblichen Verfahren sind jedoch noch nicht für kommerzielle
Anwendungen eingesetzt worden, da sie nur eine sehr kleine
Schleifrate (Schleifmenge pro Zeiteinheit) aufweisen, obgleich
ihr Funktionsprinzip zum Schleifen anwendbar ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes
Schleifverfahren und eine Vorrichtung hierfür zu schaffen, mit
dem bzw. der die Oberfläche eines Werkstücks wirksam und wirtschaftlich
geschliffen werden kann.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe verfahrensseitig durch die im
Patentanspruch 1 gekennzeichneten Merkmale und vorrichtungsseitig
durch die im Patentanspruch 9 gekennzeichneten Merkmale gelöst.
Bevorzugte Merkmale, die die Erfindung vorteilhaft weiterbilden,
sind den nachgeordneten Patentansprüchen zu entnehmen.
Das erfindungsgemäße Schleifverfahren weist die folgenden
Vorteile auf:
- 1. Da das Schleifen in dem Schleifkörner enthaltenden magnetischen Fluid vorgenommen wird, ist die Schleifbelastung auf dem Werkstück weich, ohne Überlastung oder Stoß auf diesem und ist leicht bei sprödem Material wie Keramik, leitfähigem Material wie Aluminium oder anderem schwer zu bearbeitenden Material mit der kleinstmöglichen Beschädigung bzw. Defekt während des Schleifens leicht anwendbar.
- 2. Da die während des Schleifens erzeugte Wärme wirksam entfernt wird, ist ein Hochgeschwindigkeitsschleifen zusammen mit der zuvor genannten weichen Schleifbelastung möglich, und demgemäß wird die Schleifeffizienz verbessert.
- 3. Bei dem herkömmlichen Schleifverfahren unter Verwendung
eines magnetischen Fluids, das Schleifkörner ohne eine
schwimmfähige Unterlage enthält, bei dem die Schleifbelastung
vor allem auf der magnetischen Auftriebskraft der
Schleifkörner beruht, ist die Schleifrate wegen der geringen
Auftriebskraft der Schleifkörner sehr klein.
Gemäß der dargestellten Erfindung, bei der eine schwimmfähige Unterlage verwendet wird, werden Schleifkörner fest auf die Oberfläche des Werkstücks durch die magnetische Auftriebskraft der schwimmfähigen Unterlage, der verbesserten Schleifbelastung und der Reaktionskraft der schwimmfähigen Unterlage gegenüber der Schleifrichtung zum Schleifen gedrückt, wobei die Schleifrate erheblich verbessert wird. - 4. Durch Modifizieren der Form der schwimmfähigen Unterlage in Abhängigkeit von der Oberflächenform des Werkstücks ist es möglich, selbst die Oberfläche eines Werkstücks mit irregulärer bzw. komplizierter Form zu schleifen.
Die Schleifvorrichtung gemäß der Vorrichtung vereinfacht es
vorteilhaft, die Ausgangsbetriebsbedingungen in optimalen und
konstanten Zuständen einzustellen und die Schleifbelastung
automatisch konstant zu halten, wodurch die Schleifeffizienz
verbessert wird.
Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die
Zeichnungen anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1A bis Fig. 5
jeweils Darstellungen zur Erläuterung von Ausführungsbeispielen;
Fig. 6A-6C
teilweise vergrößerte Schnittansichten der schwimmfähigen
Unterlage zur Verwendung bei der dargestellten Erfindung;
Fig. 7
eine Vorrichtung, die beim Beispiel 1 verwendet wurde;
Fig. 8
eine Vorrichtung nach dem Stand der Technik;
Fig. 9-11
jeweils Ausführungsbeispiele der Vorrichtung gemäß der
Erfindung in Seitenansicht;
Fig. 12
den Zusammenhang zwischen der Schleifbelastung und dem
Abstand der oberen Oberfläche eines Magneten von dem
Werkstück bzw. der schwimmfähigen Unterlage;
Fig. 13
den Zusammenhang zwischen der Schleifbelastung und der
Schleifrate, wobei die A-Linie den Fall mit schwimmfähiger
Unterlage und die B-Linie den ohne diese darstellt;
Fig. 14
den Zusammenhang zwischen Kugeldurchmesseränderung und
Schleifzeit, wobei die A-Linie den Fall mit der schwimmfähigen
Unterlage und die B-Linie den ohne diese darstellt;
Fig. 15
den Zusammenhang zwischen der Schleifrate und der Zusatzrate
der Schleifkörner zu dem magnetischen Fluid und
Fig. 16
den Zusammenhang zwischen der Schleifrate und der Partikelgröße
der Schleifkörner.
Das Verfahren gemäß der dargestellten Erfindung für das Schleifen
eines Werkstücks, das in ein Schleifkörner enthaltendes und in
einen Behälter gefülltes magnetisches Fluid eingetaucht ist, dem
mit einem Magneten von der Außenseite des Behälters ein Magnetfeld
vermittelt wird, umfaßt das Eintauchen einer schwimmfähigen
Unterlage in das magnetische Fluid an einer Stelle nahe dem
Werkstück, wobei der schwimmfähigen Unterlage eine Auftriebskraft
durch das magnetische Feld verliehen wird, wodurch die zwischen
der schwimmfähigen Unterlage und dem Werkstück befindlichen
Schleifkörner auf das Werkstück gedrückt werden, und das Verleihen
einer wechselseitigen Bewegung zwischen dem Werkstück und dem
Schleifkörner enthaltenden magnetischen Fluid.
Anwendungen der dargestellten Erfindung werden nun unter Verwendung
typischer Beispiele detaillierter erläutert.
Die Fig. 1A und 1B zeigen ein praktisches Beispiel des
Schleifens einiger Werkstücke zur selben Zeit, wobei Fig. 1A
eine Draufsicht ist und Fig. 1B eine Schnittansicht darstellt.
Wie in den Fig. 1A und 1B gezeigt, sind auf der Unterfläche
einer runden Platte 6, die als Antriebseinrichtung dient,
Werkstücke 3 angeordnet, die sich frei umdrehen können und in ein
Schleifkörner enthaltendes magnetisches Fluid 2 in einem Behälter
1 eingetaucht sind. Ein bewegliches Zwischenelement bzw. schwimmfähiges
Polster bzw. eine schwimmfähige Unterlage 5 ist unmittelbar
unter den Werkstücken 3 in das magnetische Fluid eingetaucht.
Durch Anordnung des magnetischen Fluids in einem magnetischen
Feld, das von Magneten 4 erzeugt wird, welche an einer Seite
parallel zu der schwimmfähigen Unterlage 5 und gegenüber dem
Werkstück angeordnet sind, d. h. in diesem Fall unterhalb des
magnetischen Fluids, wird Schleifkörnern eine Auftriebskraft
verliehen, die durch das magnetische Feld erzeugt wird, und sie
kommen hoch in den oberen Abschnitt des magnetischen Fluids zur
Bildung einer hochdichten Schicht aus Schleifkörnern.
Gleichzeitig wird auch der schwimmfähigen Unterlage 5 eine
Auftriebskraft verliehen, und diese steigt auf, um Schleifkörner,
die in ihrem oberen Abschnitt vorhanden sind, zu der Oberfläche
des Werkstücks 3 zu drücken.
Dann wird die runde Platte 6 um die senkrechte Achse 61 in
Umdrehung versetzt, und die Unterfläche des Werkstücks, die mit
Schleifkörnern in Berührung steht, wird geschliffen. Wenn in
einem solchen Fall die schwimmfähige Unterlage 5 verwendet wird,
kann die Schleifrate im Vergleich mit dem Fall ohne deren
Verwendung erheblich verbessert werden.
Das Maß der erzeugten Schleifleistung bzw. Schleifkraft hängt von
der Auftriebskraft und von der Steifigkeit der schwimmfähigen
Unterlage als Widerstandskraft gegenüber der Schleifrichtung ab.
Die Steifigkeit der schwimmfähigen Unterlage zu der Schleifrichtung
wird auf der Grundlage solcher Faktoren wie Material, Masse,
Form und ihrem Strömungswiderstand bestimmt.
Das Material der schwimmfähigen Unterlage kann ausgewählt sein
aus Metall, Kunststoff, Keramik, Kautschuk und verschiedenartigen
Materialsorten, je nach Anforderungen oder Schleifgraden bzw.
Schleifverhältnissen.
Die der schwimmfähigen Unterlage vermittelte Auftriebskraft hängt
ab von der Intensität des äußeren Magnetfeldes, das von unterhalb
angelegt wird, der Größe der schwimmfähigen Unterlage und dem
Abstand zu dieser, usw.
Eine gewünschte Arbeitsbelastung kann willkürlich durch Einstellung
der obigen Werte eingestellt werden.
Es ist nicht absolut erforderlich, daß die Dichte der schwimmfähigen
Unterlage geringer als die des Schleifkörner enthaltenden
magnetischen Fluids ist, und es genügt dem Zweck, solange ihre
Auftriebskraft durch das von unten angelegte Magnetfeld erzeugt
wird.
Die Form der schwimmfähigen Unterlage soll möglichst an jedem
Abschnitt von der Oberfläche des Werkstücks denselben Abstand in
Übereinstimmung mit der Form von dessen Oberfläche haben, wie
beispielsweise flach, gekrümmt oder irregulär.
Die Oberfläche der schwimmfähigen Unterlage kann glatt sein. Wie
in den vergrößerten Teilschnitten der Fig. 6A oder 6B gezeigt,
weist sie jedoch vorzugsweise zahlreiche Nuten oder Hohlräume auf
der oberen Oberfläche nahe dem Werkstück auf, um leicht Schleifkörner
zu halten, oder besitzt, wie in Fig. 6C derselben
Schnittart gezeigt, zahlreiche durch sie hindurchtretende Löcher,
um leicht Schleifkörner zuzuführen.
Die wechselseitige bzw. relative Bewegung zwischen dem Werkstück
und den Schleifkörnern in dem magnetischen Fluid kann vorgenommen
werden durch eine Umdrehung, eine hin- und hergehende Bewegung,
eine Schwingung oder eine andere Art der Bewegung des Werkstücks,
durch eine Bewegung, wie ein Hin- und Hergehen, ein Umdrehen oder
ein Schwingen des Schleifkörner enthaltenden magnetischen Fluids
durch Antrieb des magnetischen Feldes, durch Bewegung der
schwimmfähigen Unterlage oder durch eine Kombination dieser
Bewegungen.
Die in dem magnetischen Fluid vorzusehenden Schleifkörner können
aus den bekannten Schleifkörnern ausgewählt und in geeigneter
Weise verwendet werden, beispielsweise Al₂O₃ (Korund), SiC
(Karborund), Diamant etc. Auch magnetisierte Schleifkörner
können verwendet werden.
Der Magnet 4 für die Erzeugung des Magnetfeldes kann aus einem
Einzelmagnet oder einer Gruppe von Magneten bestehen, die
nebeneinander gesetzt und so angeordnet sind, daß sie dieselben
Pole auf einer Seite haben.
Es ist jedoch vorzugsweise eine Gruppe aus Magneten vorgesehen,
die Seite an Seite derart angeordnet sind, daß ihre aneinandergrenzenden
Pole jeweils unterschiedliche Polarität besitzen (wie
durch Pfeile in Fig. 1B gezeigt). Durch eine derartige Kombination
wird die magnetische Auftriebskraft der Schleifkörner und
der schwimmfähigen Unterlage erhöht, und es entsteht zur selben
Zeit eine magnetische Auftriebskraft in der kreuzenden Richtung
(in diesem Fall der horizontalen Richtung), um die Schleifkörner
derart zu halten, daß sie der Drehrichtung der Werkstücke Widerstand
entgegensetzen.
Der einzelne Magnet oder die Gruppe der Magneten können entweder
aus permanenten Magneten oder aus Elektromagneten bestehen.
Der bzw. die Magnete können unter dem Behälter 1 angeordnet sein,
wie in Fig. 1B gezeigt. Ihre Anordnung ist jedoch darauf nicht
beschränkt, d. h., ihre Stellung kann so gewählt werden, daß ein
magnetischer Feldgradient in solchen wahlweisen Richtungen
horizontal bzw. senkrecht erzeugt wird, indem sie an geeigneten
Seitenstellungen angeordnet werden. In jedem Fall muß das
Magnetfeld von einer Seite des magnetischen Fluids in den
Behälter aufgebracht werden, damit sich eine magnetische Auftriebskraft
bei den Schleifkörnern und der schwimmfähigen
Unterlage ergibt.
Die Fig. 2A und 2B sollen andere Beispiele für das Schleifen
mehrerer Werkstücke zur selben Zeit erläutern. Fig. 2A ist eine
Draufsicht und Fig. 2B eine vertikale Schnittansicht, in der
zahlreiche Werkstücke 3 zwischen einer runden Platte 6, die als
Antriebseinrichtung dient, und einer schwimmfähigen Unterlage
angeordnet sind, welche sich in einem Schwimmzustand in einem
Schleifkörner enthaltenden magnetischen Fluid 2 befindet. Wenn
von unten ein magnetisches Feld angelegt wird, wird die schwimmfähige
Unterlage 5 unter Auftriebskraft nach oben bewegt und
drückt die Schleifkörner auf die untere Oberfläche des Werkstücks
3. Dann wird die runde Platte 6 um die senkrechte Achse 61 in
Drehung versetzt, und die Werkstücke 3 werden in dem Schleifkörner
enthaltenden magnetischen Fluid unter Begrenzung von der
runden Platte 6, deren Außenseite 62 und der schwimmfähigen
Unterlage 5 bewegt, und die untere Oberfläche oder die obere und
die untere Oberfläche des Werkstücks 3 werden geschliffen.
Die Fig. 3A und 3B sollen erläutern, wie die Seite von Ringen
oder runden Platten geschliffen werden, und Fig. 3A ist eine
Draufsicht und Fig. 3B eine vertikale Schnittansicht.
Werkstücke in Ringform oder runder Plattenform 3 werden auf der
sich in horizontaler Richtung umdrehenden Achse 61 befestigt und
in Umdrehung versetzt. Dann wird die schwimmfähige Unterlage 5 in
das Schleifkörner enthaltende magnetische Fluid eingetaucht, nach
oben bewegt und drückt auf seiner oberen Oberfläche vorhandene
Schleifkörner auf die Seite der sich umdrehenden ring- bzw.
plattenförmigen Werkstücke 3, und die Seiten der Werkstücke
werden effizient geschliffen. In diesem Fall ist es wünschenswert,
eine Stützachse 7 in der Mitte der schwimmfähigen Unterlage
5 vorzusehen.
Fig. 4 soll den Fall des Schleifens eines zylinderförmigen
Werkstücks mit tiefen Stichen in seinem Umfang erläutern, welches
in horizontaler Richtung mittels einer Antriebseinrichtung 63
gehalten und in Umdrehung versetzt wird. Eine schwimmfähige
Unterlage 51, deren irreguläre Oberfläche der der Einstiche des
Werkstücks 3 entspricht, drückt die in der oberen Schicht
vorhandenen Schleifkörner auf die Unterfläche des Werkstücks 3
und die Seiten des Werkstücks 3 mit den Einstichen werden wirksam
geschliffen.
In diesem Fall hindern Führungsbolzen 71 die schwimmfähige
Unterlage an einem ungleichmäßigen Rollen.
Fig. 5 dient zur Erläuterung des Falls, daß die Innenoberfläche
eines engen Lochs eines Werkstücks 3 geschliffen wird, wobei in
das enge Loch 35 des Werkstücks, das zum Horizontalhalten mit
einem Halter 64 befestigt ist, eine nadelähnliche schwimmfähige
Unterlage 52 bzw. ein nadelähnliches bewegliches Zwischenelement
eingesetzt ist, das mit einer horizontalen hin- und hergehenden
Bewegung bewegt wird, um die Innenseite des engen Lochs 35 des
Werkstücks zu schleifen.
Wenn der Abschnitt des engen Lochs 35 rund ist und wenn die
äußere Form des Werkstücks rund ist oder die Form eines regulären
polygonalen Prismas aufweist, ist zu berücksichtigen, daß das
Werkstück in Umdrehung versetzt werden kann.
Weiterhin ist es möglich, die Innenfläche eines Rings oder eines
Rohrs zu schleifen, indem eine schwimmfähige Unterlage bzw. ein
bewegliches Zwischenelement in einer zu der Innenfläche des
Werkstücks entsprechenden Form verwendet wird, wobei die Auftriebskraft
der schwimmfähigen Unterlage bzw. des beweglichen
Zwischenelements durch das magnetische Feld verursacht wird.
Das Schleifverfahren gemäß der dargestellten Erfindung unter
Verwendung der schwimmfähigen Unterlage bzw. des beweglichen
Zwischenelements ist nicht auf irgendeines der oben beschriebenen
Ausbildungsformen begrenzt, sondern kann in weitem Sinn bei
verschiedenen Verfahrensarten für Schleifvorgänge verwendet
werden, die Schleifkörner enthaltendes magnetisches Fluid
verwenden.
Unter Verwendung einer Vorrichtung mit dem in Fig. 8 gezeigten
Aufbau wurde ein Schleiftest gemäß den in Tabelle 1 gezeigten
Bedingungen durchgeführt, wobei eine schwimmfähige Unterlage 5 in
das Schleifmittel enthaltende magnetische Fluid 2 in einer Lage
unterhalb des Werkstücks 3 eingetaucht wurde, wie in Fig. 7
gezeigt. Die Testergebnisse sind in Tabelle 2 dargestellt.
magnetisches FluidFerricolloid W-35 (Wasserbasis)
Dichte: 1,4×10³ kg/m³ (25°C)
Viskosität: 22,5 Zentigrad Poise (25°C) SchleifkornGC Korn (SiC) #400
durchschnittl. Teilchengröße: 40 µm
Konzentration: 30 Vol.-% WerkstückAcrylharzzylinder (12 mm⌀) Schleifzeit1 Minute Umdrehungsgeschwindigkeit2650 Umdrehungen/min schwimmfähige UnterlageAcrylharz, runde Anschlußflächenplatte (Dicke: 2 mm) Abstand zwischen Werkstück-
oberfläche und Magnet2,74 mm
magnetisches FluidFerricolloid W-35 (Wasserbasis)
Dichte: 1,4×10³ kg/m³ (25°C)
Viskosität: 22,5 Zentigrad Poise (25°C) SchleifkornGC Korn (SiC) #400
durchschnittl. Teilchengröße: 40 µm
Konzentration: 30 Vol.-% WerkstückAcrylharzzylinder (12 mm⌀) Schleifzeit1 Minute Umdrehungsgeschwindigkeit2650 Umdrehungen/min schwimmfähige UnterlageAcrylharz, runde Anschlußflächenplatte (Dicke: 2 mm) Abstand zwischen Werkstück-
oberfläche und Magnet2,74 mm
Die Schleifrate wurde aus der Abschnittskrümmung des Randteils
der unteren Oberfläche des Werkstücks berechnet.
Unter Verwendung derselben Vorrichtung, die den in Fig. 8
gezeigten Aufbau besitzt, und derselben Betriebsbedingungen wie
bei Beispiel 1, jedoch ohne eine schwimmfähige Unterlage, wurde
ein Schleiftest ausgeführt und dessen Ergebnis ist in Tabelle 2
dargestellt.
Die Schleifrate wurde aus der Abschnittskrümmung des Randteils
der unteren Oberfläche des Werkstücks wie bei Beispiel 1 berechnet.
Mit einer schwimmfähigen Unterlage (Beispiel 1) war die Schleifrate
60mal höher als die ohne deren Verwendung (Vergleichstest
1).
Unter Verwendung einer in Fig. 9 gezeigten Vorrichtung wurden
kugelförmige Werkstücke aus Si₃N₄ mit einem Durchmesser von 9 mm
unter den in Tabelle 3 angegebenen Bedingungen geschliffen, und
die Ergebnisse sind in den Fig. 12-14 dargestellt.
Unter Verwendung derselben Vorrichtung und derselben Betriebsbedingungen
wie bei Beispiel 2, jedoch ohne eine schwimmfähige
Unterlage, wurden kugelförmige Werkstücke aus Si₃N₄ mit einem
Durchmesser von etwa 9 mm geschliffen, und die Ergebnisse wurden
in den Fig. 12-14 dargestellt.
magnetisches FluidFerricolloid W-40 (Wasserbasis)
Dichte: 1,4×10³ kg/m³ (25°C)
Viskosität: 22,5 Zentigrad Poise (25°C) SchleifkornGC Korn (SiC) #400
durchschnittl. Teilchengröße: 40 µm
Konzentration: 10 Vol.-% WerkstückSi₃N₄-Kugel Schleifzeit5-20 Minuten Umdrehungsgeschwindigkeit900 Umdrehungen/min schwimmfähige Unterlagerunde Acrylharzplatte (Dicke: 2 mm)
magnetisches FluidFerricolloid W-40 (Wasserbasis)
Dichte: 1,4×10³ kg/m³ (25°C)
Viskosität: 22,5 Zentigrad Poise (25°C) SchleifkornGC Korn (SiC) #400
durchschnittl. Teilchengröße: 40 µm
Konzentration: 10 Vol.-% WerkstückSi₃N₄-Kugel Schleifzeit5-20 Minuten Umdrehungsgeschwindigkeit900 Umdrehungen/min schwimmfähige Unterlagerunde Acrylharzplatte (Dicke: 2 mm)
Fig. 12 zeigt den Zusammenhang zwischen der Schleifbelastung
(Ordinate) und dem Abstand (Abszisse) zwischen der oberen Seite
des Magneten 4 und des kugelförmigen Werkstücks 3 bzw. der
schwimmfähigen Unterlage 5, wobei die A-Linie die Werte bei
Verwendung der schwimmfähigen Unterlage und die B-Linie die Werte
ohne deren Verwendung darstellt.
Fig. 13 zeigt den Zusammenhang zwischen der Schleifbelastung
(Abszisse) und der Schleifrate (Ordinate), wobei die A-Linie die
Werte unter Verwendung einer schwimmfähigen Unterlage und die B-Linie
die Werte ohne deren Verwendung darstellt.
Fig. 14 zeigt den Zusammenhang zwischen der Variation des
Kugeldurchmessers (Ordinate), d. h., den Unterschied zwischen dem
maximalen Durchmesser und dem minimalen Durchmesser bei einer
Kugel, und die Schleifzeit (Abszisse), wobei die A-Linie den Fall
mit schwimmfähiger Unterlage und die B-Linie den ohne diese
darstellt.
Bei dem Schleifverfahren unter Verwendung eines Schleifkörner
enthaltenden magnetischen Fluids ergibt sich deutlich aus den
Fig. 12 und 13, daß je kleiner der Abstand zwischen dem
Werkstück und dem Magneten ist, welcher eine intensivere magnetische
Auftriebskraft liefert, desto größer die aufgebrachte
Schleiflast ist, und daß die größere Schleiflast die größere
Schleifrate liefert und daß die Verwendung der schwimmfähigen
Unterlage für die höhere Schleifrate sorgt, die von der größeren
Schleifbelastung veranlaßt wird.
Wie oben erläutert, ist es zur Erhöhung der Schleifrate bei dem
Verfahren, das Schleifkörner enthaltendes magnetisches Fluid
verwendet, wünschenswert, den Abstand zwischen dem oberen Teil
des Magneten und dem Werkstück bzw. der schwimmfähigen Unterlage
so klein wie möglich zu verringern, indem die Stellung der
Antriebseinrichtung eingestellt wird. Der obere Teil des Magneten
darf jedoch nicht unmittelbar mit dem Werkstück oder der schwimmfähigen
Unterlage in Berührung treten.
Demgemäß ist es nicht einfach, diese Ausgangsbetriebsbedingung
optimal und konstant bei wiederholten Operationen einzustellen.
Wenn weiterhin das Werkstück oder die Antriebseinrichtung im
Zusammenhang mit dem fortschreitenden Schleifen weggeschliffen
werden, wird der Zwischenraum zwischen dem Werkstück und dem
Magneten größer, und hierdurch wird die Schleifbelastung allmählich
geringer und liefert eine geringere Schleifrate. Demgemäß
ist es erforderlich, häufig die Stellung der Antriebseinrichtung
einzustellen, um das Vorgenannte zu verhindern, jedoch ist dies
ziemlich mühsam.
Die in den Fig. 9, 10 und 11 als Beispiele dargestellten
Vorrichtungen können derartige Unzulänglichkeiten überwinden. Sie
können leichter die optimalen Ausgangsbedingungen beibehalten und
die Schleifbelastung während des Schleifverfahrens automatisch
konstant halten.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung für das Schleifen eines Werkstücks
mit einem Schleifkörner enthaltenden magnetischen Fluid,
das in einen Behälter gefüllt ist, durch Eintauchen des Werkstücks
in das magnetische Fluid, umfaßt:
- 1) einen oder mehrere Magnete, die unter dem Boden des Behälters angeordnet sind, um für das Fluid ein magnetisches Feld zu schaffen,
- 2) eine Einrichtung für den Antrieb des Werkstücks in dem magnetischen Fluid in einer Weise, daß das Werkstück zu der Bodenfläche des Behälters gehalten wird,
- 3) eine schwimmfähige Unterlage bzw. ein bewegliches Zwischenelement, das in das magnetische Fluid eingetaucht ist, um dadurch zwischen der schwimmfähigen Unterlage und dem Werkstück vorhandene Schleifkörner auf das Werkstück zu drücken, und
- 4) wobei der Behälter oder die Einrichtung für den Antrieb des Werkstücks in vertikaler Richtung verschiebbar gehalten und mit einer Einrichtung versehen sind, um zwischen der schwimmfähigen Unterlage und dem Werkstück eine konstante Belastung vorzusehen.
Fig. 9 zeigt einen schematischen Aufbau einer Vorrichtung, bei
der der Behälter in vertikaler Richtung verschiebbar ist.
Unter einer Antriebseinrichtung 6, die eine Antriebsoberfläche 6 a
an dem unteren Abschnitt aufweist, ist ein Behälter 1 positioniert,
der mit einem Schleifkörner enthaltenden magnetischen
Fluid 2 gefüllt ist. Eine schwimmfähige Unterlage 5 ist in das
magnetische Fluid 2 derart eingetaucht, daß sie das Werkstück 3
gegenüber dem unteren Abschnitt der Antriebseinrichtung 6 zu
halten vermag. Der Behälter ist mit Magneten 4 an dem Boden
versehen und auf einem Grundteil 8 A montiert, die in vertikaler
Richtung längs Führungsstangen 81 verschiebbar ist, welche durch
diese hindurchgeführt sind. Demgemäß kann der Behälter 1 zusammen
mit dem Grundteil 8 A in vertikaler Richtung gleiten.
Der Behälter 1 ist auf dem Grundteil 8 A montiert, das an Seilen
83 abgehängt ist. Ein Gewicht 84 ist an jedem gegenüberliegenden
Ende der Seile über Rollen 82 vorgesehen.
Wenn das Gesamtgewicht der Gewichte 84 dasselbe wie das Gesamtgewicht
B der Magnete 4, des magnetischen Fluids 2, der schwimmfähigen
Unterlage 5, des Behälters 1 und des Grundteils 8 A ist,
herrscht Gleichgewicht. Unter der Annahme, daß jedoch das
Gesamtgewicht der Gewichte 84 B +W beträgt, gleitet das Grundteil
8 A nach oben, und demgemäß werden der Behälter 1 und die Antriebseinrichtung
6 durch eine konstante Belastung W gegeneinander
gedrückt, die gleich der gesamten Auftriebskraft der schwimmfähigen
Unterlage 5 und der Belastung zwischen der schwimmfähigen
Unterlage 5 und dem Werkstück ist, welche der Schleifbelastung an
dem Werkstück 3 entspricht.
Die Vorrichtung weist einen Motor 13 für die Antriebseinrichtung
6, einen Rahmen 14 für das Halten der Antriebseinrichtung 6, eine
Meßdose 15 für das Prüfen des Wertes von B +W und eine Hebelstütze
16 für den Behälter 1 auf.
Fig. 10 zeigt den schematischen Aufbau einer Vorrichtung bei der
die Antriebseinrichtung in vertikaler Richtung verschiebbar ist.
Die Antriebseinrichtung 6, die an dem unteren Abschnitt eine
Antriebsoberfläche 6 A besitzt, ist an einem Grundteil 8 B montiert,
welches in vertikaler Richtung längs Führungsstangen 81
verschiebbar ist, die durch das Grundteil 8 B hindurchtreten.
Demgemäß ist die Antriebseinrichtung 6 in vertikaler Richtung
zusammen mit dem Grundteil 8 B gleitend verschiebbar.
Das Grundteil 8 B, das die Antriebseinrichtung 6 hält, ist durch
Seile 83 abgehängt und wird durch an den Enden der Seile angebrachte
Gewichte 84 über dort installierte Rollen 82 gezogen.
Der Behälter 1 ist an dem unteren Abschnitt der Antriebseinrichtung
6 befestigt.
Wenn das Gesamtgewicht der Gewichte 84 dasselbe wie das Gesamtgewicht
C der Antriebseinrichtung 6, des Motors 13 und des Grundteils
8 B usw. ist, herrscht Gleichgewicht. Wenn das Gesamtgewicht
der Gewichte 84 geringer als C-W ist, gleitet das Grundteil 8 B
nach unten, und demgemäß werden der Behälter 1 und die Antriebseinrichtung
6 durch eine konstante Kraft bzw. Belastung W
gegeneinander gedrückt, die gleich der gesamten Auftriebskraft
der schwimmfähigen Unterlage 5 und der Kraft bzw. Belastung
zwischen der schwimmfähigen Unterlage 5 und dem Werkstück 3 ist,
welche der Schleifkraft bzw. Schleifbelastung an dem Werkstück 3 entspricht.
Fig. 11 zeigt einen weiteren schematischen Aufbau einer Vorrichtung,
bei dem der Behälter in vertikaler Richtung gleitend
verschiebbar ist.
Der Behälter 1 und das Grundteil 8 B sind auf einem Flüssigkeits-
bzw. Hydraulikheber 17 A montiert, mit dem ein weiterer Flüssigkeits-
bzw. Hydraulikheber 17 B verbunden ist, der mit dem Gewicht
84 belastet ist.
Wenn das Gesamtgewicht B der Magnete 2, des magnetischen Fluids
3, der schwimmfähigen Unterlage 5, des Behälters 1 und des
Grundteils 8 B, usw. dem Gewicht 84 entspricht, wie bei Fig. 9
erläutert, befinden sich beide im guten Gleichgewicht miteinander.
Wenn andererseits das Gewicht des Gewichts 84 größer als B +W ist,
gleitet der Behälter 1 zusammen mit dem Grundteil 8 B nach oben,
und sowohl der Behälter 1 als auch die Antriebseinrichtung 6
werden durch eine konstante Kraft bzw. Belastung W gegeneinander
gedrückt.
Obgleich in den Fig. 9-11 Beispiele von Einrichtungen zur
Lieferung einer konstanten Kraft bzw. Belastung zwischen der
schwimmfähigen Unterlage und dem Werkstück dargestellt sind,
können selbstverständlich auch verschiedene Arten von anderen
Einrichtungen darin verwendet werden.
Beispielsweise kann das Gewicht durch Anwendung des Hebelprinzips
anstelle der Rolle und des Seils, wie in Fig. 9 und 10 gezeigt,
gehandhabt werden.
Andererseits kann ohne Installierung zweier Flüssigkeitsheber
17 B, wie in Fig. 11 gezeigt, der Flüssigkeits- bzw. Hydraulikheber
17 A mit Druckflüssigkeit durch eine Pumpe versorgt werden.
Überdies kann auch ein mechanischer Heber anstelle des Flüssigkeitshebers
17 B nützlich sein. In diesen Fällen wird die vertikale
Bewegung des Hebers stets durch dessen Überprüfung mit der
Meßzelle 15 kontrolliert, um eine bestimmte Belastung auf dem
Behälter 1 bzw. das Werkstück 3 hervorzubringen.
Die Fig. 9, 10 und 11 zeigen die Vorrichtung, bei der der
Behälter eine zylindrische Form besitzt und sich die Antriebseinrichtung
um die Achse (vertikale Achse in den Figuren) dreht, was
geeignet ist für das Versteifen von kugelförmigen Werkstücken.
Die Antriebsoberfläche 6 A der Antriebseinrichtung 5 soll die
Bewegung auf das von unten beaufschlagte kugelförmige Werkstück
übertragen und dient auch als Feinschleifplatte (obenliegende
Feinschleifplatte) für das Schleifen des kugelförmigen Werkstücks.
Das kugelförmige Werkstück 3, das in das Schleifkörner enthaltende
magnetische Fluid 2 getaucht ist, wird von dem magnetischen
Feld für ein magnetisches Aufschwimmen und für ein Drücken auf
die Antriebsoberfläche 6 A der darüber angeordneten Antriebseinrichtung
beeinflußt.
Wenn die Antriebseinrichtung 6 zur Bewegung gebracht worden ist,
wird die Bewegung auf die kugelförmigen Werkstücke 3 übertragen,
und sie drehen sich in dem Schleifkörner enthaltenden magnetischen
Fluid 2. Ihre Bewegung wird von der Innenfläche des
Behälters 1 als Führungswand sowie von der Antriebsoberfläche 6 A
der Antriebseinrichtung 6 kontrolliert.
Die schwimmfähige Unterlage 5 wird unter dem Werkstück 3 angeordnet,
um das kugelförmige Werkstück 3 mehr auf die Antriebsoberfläche
6 A der Antriebseinrichtung 6 zu drücken und dient als Teil
der Führungswand zur Kontrolle der Bewegung.
Selbst wenn die magnetische Auftriebskraft und die Dichtedifferenz
zwischen dem magnetischen Fluid und dem Werkstück für
das Schwimmen des Werkstücks nicht ausreicht, kann eine schwimmfähige
bzw. schwimmende Unterlage mit größerer Auftriebskraft
verwendet werden, um das Werkstück zu der Antriebsoberfläche 6 A
zu drücken.
Es ist kein absolutes Erfordernis, daß die Dichte der schwimmfähigen
Unterlage geringer ist als die des magnetischen Fluids, und
es wird als ausreichend betrachtet, wenn deren magnetische
Auftriebskraft durch das magnetische Feld aufgebracht wird, das
von unten arbeitet.
Unter Verwendung der in Fig. 9 gezeigten Vorrichtung wurde der
Zusammenhang zwischen der Schleifrate und der Konzentration von
Schleifkörnern in dem magnetischen Fluid gemäß Beispiel 2
untersucht, wobei die Schleifbelastung bzw. Schleifkraft 2,5 N
(Newton) und die Schleifzeit 5 Minuten betrug.
Fig. 15 veranschaulicht das Ergebnis, bei dem die Abszisse die
Konzentration (Volumen-%) von Schleifkörnern und die Ordinate die
Schleifrate (µm/min) darstellt. Es ist zu erkennen, daß die
optimale Konzentration von Schleifkörnern in dem Bereich von 5-30%,
insbesondere vorzugsweise in dem Bereich von 10±2% liegt.
Unter Verwendung der in Fig. 9 gezeigten Vorrichtung wurde der
Zusammenhang zwischen der Schleifrate und der Partikelgröße der
Schleifkörner gemäß Beispiel 2 untersucht, wobei die Schleifbelastung
bzw. die Schleifkraft 2,5 N (Newton), die Zuführrate von
Schleifkörnern 10% und Schleifzeit 5 Minuten betrug.
Fig. 16 veranschaulicht das Ergebnis, wobei die Abszisse die
Partikelgröße (µm) von Schleifkörnern und die Ordinate die
Schleifrate (µm/min) darstellt.
Es ist zu erkennen, daß die Schleifrate proportional zu der
Partikelgröße der Schleifkörner erhöht wird, jedoch fast im
Fließgleichgewicht bleibt, wenn die Partikelgröße über 40µm
liegt.
Claims (9)
1. Verfahren zum Schleifen eines Werkstücks, das in ein
Schleifkörner enthaltendes magnetisches Fluid eingetaucht
ist, welches in einen Behälter gefüllt ist, wobei dem
magnetischen Fluid von der Außenseite des Behälters mit
wenigstens einem Magneten ein magnetisches Feld aufgeprägt
wird,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine schwimmfähige Unterlage bzw. ein schwimmfähiges
Zwischenelement in das magnetische Fluid in einer Lage nahe
zu dem Werkstück eingetaucht wird, wobei der schwimmfähigen
Unterlage durch das Magnetfeld eine Auftriebskraft verliehen
wird, wodurch die zwischen der schwimmfähigen Unterlage und
dem Werkstück vorhandenen Schleifkörner auf das Werkstück
gedrückt werden, und daß zwischen dem Werkstück und dem
Schleifkörner enthaltenden Fluid eine wechselseitige
Bewegung vorgesehen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die wechselseitige Bewegung zwischen dem Werkstück und
dem Schleifkörner enthaltenden magnetischen Fluid in Form
eines Hin- und Hergehens, eines Drehens oder eines Schwingens
des Werkstücks vorgesehen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die wechselseitige Bewegung zwischen dem Werkstück und
dem Schleifkörner enthaltenden magnetischen Fluid in Form
eines Hin- und Hergehens, eines Umdrehens oder eines
Schwingens des magnetischen Fluids durch Ansteuerung des
Magnetfeldes vorgesehen wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die schwimmfähige Unterlage auf ihrer Oberfläche mit
zahlreichen Nuten oder Hohlräumen versehen ist.
5. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die schwimmfähige Unterlage mit zahlreichen Durchgangslöchern
versehen ist, durch die Schleifkörner hindurchtreten.
6. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß für den Antrieb des Werkstücks eine Antriebseinrichtung
verwendet wird, um eine wechselseitige Bewegung zwischen dem
Werkstück und dem Schleifkörner enthaltenden magnetischen
Fluid vorzusehen.
7. Verfahren nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Werkstück zwischen der Antriebseinrichtung und der
schwimmfähigen Unterlage angeordnet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Gruppe von nebeneinander angeordneten Magneten
vorgesehen ist, bei denen deren anschließende Pole unterschiedliche
Polarität zueinander aufweisen.
9. Vorrichtung zum Schleifen eines Werkstücks mit einem
Schleifkörner enthaltenden magnetischen Fluid, das in einen
Behälter gefüllt ist, durch Eintauchen des Werkstücks in das
magnetische Fluid,
gekennzeichnet durch
- 1) wenigstens einen Magneten (4), der für das Aufprägen eines magnetischen Feldes auf das Fluid (2) unterhalb des Bodens des Behälters (1) angeordnet ist,
- 2) eine Einrichtung (6, 13), durch die das Werkstück (3) in dem magnetischen Fluid (2) mit zu der Bodenfläche gehaltenem Werkstück antreibbar ist,
- 3) eine schwimmfähige Unterlage (5) bzw. Zwischenelement, das für das Aufdrücken von zwischen der schwimmfähigen Unterlage (5) und dem Werkstück (3) vorhandenen Schleifkörnern auf das Werkstück (3) in das magnetische Fluid (2) eingetaucht ist,
- 4) wobei der Behälter (1) oder die Antriebseinrichtung (6, 13) für das Werkstück (3) in vertikaler Richtung gleitend verschiebbar gehalten und mit einer Einrichtung (8 A, 8 B, 17 A, 17 B, 82, 83, 84) für das Liefern einer konstanten Belastung zwischen der schwimmfähigen Unterlage (5) und dem Werkstück (3) versehen ist.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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8136 | Disposal/non-payment of the fee for publication/grant |