DE3806686A1 - Mehrkoordinatenmess- und -pruefeinrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Mehrkoordinatenmeß- und -prüf­ einrichtung, die im wesentlichen aus einer Maschinengrund­ einheit, einem in zumindest zwei Koordinatenrichtungen be­ wegbaren Tastsystem und einer Maschinensteuerungseinheit gebildet ist.

Solche Mehrkoordinatenmeß- und -prüfeinrichtungen zählen zum allgemeinen Stand der Technik und sind in der Praxis in vielfältiger Bauart eingeführt.

Herkömmliche Meßmaschinen sind im Regelfall in Portalbauwei­ se aufgebaut und mit einem mechanischen Tastkopf mit Meßta­ stern versehen. Andere bekannte Meß- und Prüfmaschinen be­ dienen sich der berührungslosen Messung, beispielsweise durch Interferometersysteme. Beide Meßmethoden haben für sich betrachtet eine Reihe von Vorteilen und auch von Nach­ teilen.

So ist beispielsweise aus der DE-OS 36 16 812 eine Koordina­ tenmeßvorrichtung mit einer Einrichtung zur berührungslosen Antastung des Meßobjektes bekannt. Durch ein interferometri­ sches Längenmeßsystem wird der Verfahrweg eines für jede Meßkoordinate mit dem Koordinatentisch fest verbundenen Meß­ spiegels bestimmt. Dabei ist der Referenzspiegel des inter­ ferometrischen Längenmeßsystems mit dem Antastsystem des Meßobjektes starr verbunden, um so mit geringem technischen Aufwand auch sehr kleine Verlagerungen des abbildenden Ob­ jektivs gegenüber der angemessenen Koordinatenrichtung erfas­ sen und Kippfehlereinflüsse ausschließen zu können.

Die DE-OS 36 16 245 offenbart ein Interferometersystem zur Längen- und Winkelmessung, das aus insgesamt zwei Interfero­ metersystemen besteht, um gleichzeitig mit großer Genauig­ keit sowohl Längen- und Winkelmessungen als auch Brechzahl­ messungen durchführen zu können.

Das Prinzip der interferometrischen Längenmessung ist be­ reits seit dem Jahre 1890 durch den Michelson-Interferometer bekannt. Man weiß aber auch, daß ein Laserinterferometer als Längenmeßsystem gegenüber anderen, beispielsweise mechani­ schen Tastköpfen, einen nicht unbeträchtlichen Mehraufwand bedingt. Mit Laserinterferometersystemen läßt sich eine Auf­ lösung von bis zu 0,01 µm erreichen. Jedoch ist die Laser­ lichtwellenlänge abhängig von der Temperatur, dem Druck und der Feuchte des vom Meßstrahl durchlaufenen Bereichs. Eine Schwankung dieser Umgebungsbedingungen wirkt sich trägheits­ los auf das Meßergebnis aus. Dies bedeutet, daß Laserinter­ ferometer-Längenmeßsysteme einerseits eine sehr gute Möglich­ keit des genauen, berührungslosen Messens bieten, anderer­ seits jedoch bei ungünstigen Umgebungsbedingungen fehlerhafte Meßergebnisse liefern können.

Neben den vorgenannten berührungslosen Meßsystemen sind die mechanischen Tastsysteme allgemeiner Stand der Technik. Diese mechanischen Tastsysteme für Mehrkoordinatenmeßmaschinen be­ stehen im wesentlichen aus einer Pinole, an der ein Tastkopf befestigt ist den Taststiften und den an den Spitzen der Tast­ stifte vorgesehenen Tastkugeln. Die mechanischen Tastsysteme sind relativ robust und weisen eine ausreichende Meßgenauig­ keit auf. Die Auslenkung des Taststiftes kann translatorisch oder rotatorisch sein und erzeugt beim Antasten an das Werk­ stück Steuersignale für die Antriebe. Diese Signale ermögli­ chen gleichbleibende, reproduzierbare Antastbedingungen. Bei den bekannten Tastsystemen wird ferner zwischen messenden und schaltenden Systemen unterschieden.

Bei den messenden Tastsystemen wird in der Meßposition die Taststiftauslenkung durch kleine Wegmeßsysteme erfaßt, wäh­ rend bei den schaltenden Tastsystemen bei Erreichen des de­ finierten Antastzustandes oder einer definierten Tasteraus­ lenkung ein Schaltsignal im Tastkopf erzeugt wird.

Bisher hatte der Fachmann vor Anschaffung und Einsatz einer Koordinatenmeß- und -prüfeinrichtung immer sehr sorgfältig die Einsatzbedingungen und Meßaufgaben zu prüfen, bevor er sich für die eine oder andere Einrichtung, nämlich das be­ rührungslose oder das mechanische Tastsystem entschied. Die Bereitstellung von beiden Einrichtungsvarianten verbot sich oft aus Platz- und Integrations- sowie Kostengründen.

Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, eine Mehrkoordinaten­ meß- und -prüfeinrichtung zu schaffen, die unabhängig von Umgebungsbedingungen für die in der Praxis auftretenden, un­ terschiedlichen Meß- und Prüfaufgaben einsetzbar ist und einfach und mit geringem technischen Aufwand realisierbar ist.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß das Tastsystem als ein Multisensorsystem aufgebaut ist und aus einem mechanischen Tastkopf mit zumindest einem Taststift und/oder einem Videotaster und/oder einem Lasertaster be­ steht, die microprozessorgesteuert sind und unabhängig von­ einander arbeiten und über eine angeschlossene Software wahlweise alleine ansteuerbar oder in einer Zweier- oder Dreierkombination miteinander koppelbar sind. Dabei kann in bevorzugter Ausführung für die Steuerung des gesamten Multi­ sensortastsystems nur eine einzige Software eingerichtet sein.

Durch diese Ausbildung bedient sich die Meß- und Prüfein­ richtung aller bekannten Vorteile der einzelnen Tastsysteme innerhalb einer Einheit. Mit diesem Mehrkoordinatenmeß- und -prüfzentrum sind alle vorkommenden Meßaufgaben unter allen Umgebungsbedingungen optimal lösbar. Das Meß- und Prüfzen­ trum kann als Einzeleinheit aufgestellt werden. Es kann ebenso auch in Transfermaschinenanlagen oder Bearbeitungsan­ lagen integriert werden und dadurch im Arbeitsfluß einsetz­ bar sein. Die Koordinatenmeß- und -prüfeinrichtung vereinigt entsprechend den Merkmalen der Erfindung den berührungslos arbeitenden Videotaster, das Laser-Scan-System und den be­ rührenden Meßtaster. Es können sowohl beliebige Oberflächen­ konturen berührungslos automatisch vermessen werden als auch reine Meßaufgaben erledigt werden, wobei die gesamte Ein­ richtung diese Aufgaben ohne Umrüstungen optimal bewältigt. Die eingesetzte Software koordiniert die Kommunikation mit dem Videoprozessorsystem und die CNC-Bahnsteuerung der Ein­ richtung. Nach dem Erfindungsgedanken können die eingesetz­ ten unterschiedlichen Tastsysteme unabhängig voneinander und alternativ die Meß- und Prüfaufgaben erledigen. Sie können ebensogut auch in Zweier- oder Dreierkombination gekoppelt werden und dann parallel nebeneinander Meß- und Prüfaufgaben erfüllen und schließlich so gesteuert werden, daß vorliegen­ de Meß- und Prüfaufgaben durch die Tastsysteme hintereinan­ der und in abwechselnd unterschiedlicher Zweier- und Dreier­ kombination bewältigt werden.

In Ausbildung der Erfindung können zwei in Z-Koordinaten­ richtung bewegbare Pinolen vorgesehen sein, von denen eine den mechanischen Tastkopf mit Taststiften und die andere den Videotaster und den Lasertaster aufnimmt. Dabei können die Pinolen an einem gemeinsamen Meßschlitten angeordnet sein.

In weiterer Ausbildung kann für jede Pinole ein getrennter Meßschlitten vorgesehen sein, wobei die Meßschlitten sowohl synchron als auch getrennt voneinander in wahlweise gleiche oder unterschiedliche Koordinatenrichtungen bewegbar sein können.

Der geringste technische Aufwand liegt dann vor, wenn die zwei in Z-Richtung eingesetzten Pinolen mit den jeweiligen Tastsystemen an einem gemeinsamen Schlitten oder sonstigen Träger befestigt sind. Dadurch kann allerdings bei bestimm­ ten Meß- und Prüfaufgaben eine Einschränkung beispielsweise hinsichtlich der Meßzeit eintreten. Durch die Aufnahme der zwei Pinolen an getrennten Meßschlitten oder Trägern wird eine Reihe von Vorteilen erzielt. Die Meßschlitten können im Sinne der Erfindung synchron in gleicher oder unterschiedli­ cher Koordinatenrichtung bewegbar sein. Sie können ebenso auch zu unterschiedlichen Zeiten in gleiche oder unter­ schiedliche Koordinatenrichtungen gefahren werden. Die Viel­ zahl der mit dieser Art der Pinolenaufnahme verbundenen Mög­ lichkeiten gewährleistet ein Messen und Prüfen unter ver­ schiedenen Bedingungen und das Lösen auch komplizierter Meß­ aufgaben in kurzer Zeit. Durch die Kombination der Tastsy­ steme in einer Maschineneinrichtung können ferner die Meßer­ gebnisse des einen Systems durch das andere System überprüft werden.

In weiterer Ausbildung der Erfindung kann der Lasertaster sowohl im Scanbetrieb als auch als Autofokus einsetzbar sein.

Nach einem weiteren Merkmal regelt der Lasertaster im Scan­ betrieb die Bewegung der Z-Achse kontinuierlich entsprechend der Oberflächenkontur, wobei vorteilhafterweise die Abtast­ richtung in X- und Y-Achse beliebig vorgebbar ist. Um die konturerfassende Meßachse in Echtzeit kontinuierlich inner­ halb des Laserfangbereiches regeln zu können und hohe Scan­ geschwindigkeiten bei gleichzeitig hoher Meßgenauigkeit von etwa 0,5 µm und eine einstellbare Meßauflösung von 0,1 µm bis 10 µm zu gewährleisten, kann der Lasertaster im Scanbe­ trieb berührungslos mit konstantem Abstand der Oberflächen­ kontur eines Werkstückes in den Koordinatenrichtungen X und Y folgen, wobei das Laserscansystem aus zwei miteinander verketteten, geschlossenen Regelkreisen gebildet ist, von denen der erste Regelkreis die Sendeleistung des Lasers auf das Reflektionsverhalten des Werkstückes abstimmt und in Ab­ hängigkeit vom Empfangssignal im Empfänger das Sendesignal im Sender steuert, während der zweite übergeordnete Regel­ kreis das kontinuierliche Nachführen des Schlittens bzw. der Pinole in Z-Richtung in die optimale Schärfeebene steuert.

Dabei kann in vorteilhafter Ausbildung das Empfängersystem Differenzdioden aufweisen, durch welche ein Differenzsignal entsprechend der Schärfeeinstellung des Objektivs erzeugt wird, das über einen Achsenverstärker und einen Servomotor die Z-Achse automatisch in die Schärfeebene positioniert. Der Meßschlitten bzw. die Pinole mit dem Lasertaster kann für die Z-Achse ein Meßsystem mit einem Glasmaßstab besitzen und die jeweilige Höhenposition auf der Z-Achse dem Haupt­ rechner zuleiten.

In noch weiterer Ausbildung kann der Videotaster Meßpunkte an der äußeren Kontur des Werkstückes aufnehmen, die durch ein von einem Videoprozessor erzeugtes digitalisiertes Bild des jeweiligen Werkstückausschnittes bestimmt sind. Die Kon­ turen des Werkstückes in den X- und Y-Koordinaten können da­ bei durch Kantenfinderroutinen im digitalisierten Bild er­ faßbar sein, und die Meßpunkte in Z-Richtung können mit ei­ ner Fokussiereinrichtung und dem Kamerabild oder einem hoch­ genauen Laser-Fokussiersystem gebildet werden. Bei der Kan­ tenfinderroutine werden einzelne Meßpunkte miteinander zu einem Meßprogramm verkettet. Das digitalisierte Bild kann sowohl ein Graubild als auch ein Binärbild sein.

Schließlich kann der mechanische Taster wahlweise ein schal­ tender oder ein messender Taster sein, und die Maschinen­ grundeinheit kann in Portalbauweise mit einem massiven Grundbett ausgeführt sein, die zur Werkstückaufnahme wahl­ weise einen Drehmeßtisch aufweist und an einer Traverse den oder die Meßschlitten für die Pinolen längsverschieblich in einer zu dem Portal rechtwinkligen oder gleichgerichteten Verfahrrichtung aufnimmt, wobei die oder der Meßschlitten und die Pinolen von einem Bedienpult steuerbar sind und die erzielten Meßergebnisse am Bildschirm einer Anzeigeeinheit und/oder durch einen Drucker protokollierbar sind.

In der Zeichnung sind Beispiele der Erfindung dargestellt, die nachfolgend mit weiteren Vorteilen erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1 eine Dreikoordinatenmeßeinrichtung in ver­ einfachter perspektivischer Darstellung

Fig. 2 eine Dreikoordinatenmeßeinrichtung mit zwei Meßschlitten für die Z-Pinolen in verein­ fachter perspektivischer Darstellung

Fig. 3 ein Blockschaltbild des Laserscansystems mit dem Autofokussystem.

Die Dreikoordinatenmeßeinrichtung 1 gemäß den Fig. 1 und 2 ist eine in Portalbauweise aufgebaute Meßmaschine mit ei­ nem feststehenden Portal 2, welches aus den beiden Seiten­ stützen 3 und der Traverse 4 gebildet ist. Die Traverse 4 stellt gleichzeitig die Führungsbahn 5 für den Querträger 6 dar, welcher sich mit einer Stütze 7 auf der zweiten Füh­ rungsbahn 8 abstützt. Der Querträger 6 ist entlang der bei­ den parallel angeordneten Führungsbahnen 5 und 8 bis gegen Endanschläge über einem Meßtisch 9 verfahrbar, der zwischen dem Portal 2 und der Führungsbahn 8 eingerichtet ist. Der Meßtisch 9 ist gemäß Fig. 2 als ein Drehmeßtisch 10 ausge­ bildet.

Mit 11 ist eine Eingabetastatur oder Funktionstastatur dar­ gestellt, mit welcher die einzelnen Funktionen der Meßein­ richtung 1 abrufbar sind. Um die Befehle entsprechend in Funktionen umzusetzen, befindet sich zwischen der Eingabe­ tastatur 11 und der Meßeinrichtung 1 ein Rechner 12. Die Meßergebnisse sind auf einem Bildschirm 13 und/oder einem Drucker 14 anzeigbar bzw. protokollierbar. Zu diesem Zweck sind der Bildschirm 13 einer Anzeigeeinheit und der Drucker 14 ebenfalls mit dem zentralen Rechner 12 durch die Leitun­ gen 15 verbunden. Die Leitung 16 vom Rechner 12 ist mit An­ triebselementen, wie beispielsweise Antriebsmotoren für die Fahrbewegung des Querträgers 6 und der Schlitten 17 und 18, und mit elektronischen Einrichtungen der Tastsysteme verbun­ den.

Die schematische und vereinfachte Darstellung der Dreikoor­ dinatenmeßeinrichtung ist nur eine mögliche Bauart. Anstelle der gezeigten Ausführung können selbstverständlich beliebige andere bekannte Bauarten treten, ohne daß dadurch der Be­ reich der Erfindung und das Anwendungsgebiet verlassen würde.

An dem Querträger 6 ist ein Schlitten 17 angeordnet, der um 90° versetzt zur Fahrtrichtung des Querträgers 6 an diesem bewegbar ist. Der Meßschlitten 17 nimmt zwei in Z-Richtung 19 verschiebbare Pinolen 20 und 21 auf.

Entsprechend der Fig. 2 sind an dem Querträger 6 zwei Meß­ schlitten 18 entlang dem Querträger 6 verfahrbar angeordnet. Beide Meßschlitten 18 weisen je eine in Z-Richtung 19 beweg­ bare Pinole 20 und 21 auf und sind unabhängig voneinander steuerbar. Die Meßschlitten 18 können sowohl synchron in gleicher wie in entgegengesetzter Richtung verfahrbar sein. Sie können alternativ bewegbar sein und die unterschiedli­ chen Fahrtrichtungen und Bewegungsarten ausführen.

Die Pinolen 20 und 21 sind ebenfalls so gesteuert, daß sie synchron in gleicher wie in entgegengesetzter Richtung be­ wegbar sind oder alternative Bewegungen ausführen.

In dem Ausführungsbeispiel weist jeweils die Pinole 20 den schaltenden Tastkopf 22 und die Pinole 21 den Videotaster 23 und den Lasertaster 24 auf. Natürlich ist ebenso auch die umgekehrte Zuordnung möglich.

Für die Konturerfassung von Werkstückoberflächen 25 ist die Dreikoordinatenmeßeinrichtung 1 mit einem Lasertaster 24 an der Pinole 21 versehen, mit dem beliebige Oberflächenkontu­ ren berührungslos automatisch vermessen werden. Im Gegensatz zu den im Triangulationsverfahren arbeitenden Lasern folgt der hier eingesetzte Lasertaster mit konstantem Abstand der Oberflächenkontur. Dieses Verfahren hat den Vorteil, daß die konturerfassende Meßachse in der Echtzeit kontinuierlich in­ nerhalb des Laserfangbereiches geregelt und vom zentralen Rechner 12 abgelesen wird. Daraus resultieren eine hohe Scan-Geschwindigkeit und eine hohe Meßgenauigkeit. Die we­ sentlichen technischen Vorteile des eingesetzten Lasertasters 24, der nachfolgend noch genauer beschrieben ist, sind:

• - berührungslose und meßkraftfreie Meßwerterfassung
• - hohe Scan-Geschwindigkeit
• - einstellbare Meßauflösung von 0,1 µm bis 10 µm
• - hohe Meßgenauigkeit von 0,5 µm

Der Lasertaster 24 regelt die Bewegung in der Z-Achse 19 kontinuierlich entsprechend der Oberflächenkontur. Die Ab­ tastrichtungen in der X- und der Y-Achse sind durch die Meß­ schlitten 17 und 18 und durch den Querträger 6 beliebig vor­ gebbar durch die Eingabetastatur 11 mit Rechner 12. Dem Tastprinzip liegt ein sogenanntes Lichtschnittverfahren zu­ grunde, bei dem die reflektierende Oberfläche des Werkstük­ kes 26 als Referenz für die Scharfstellung benützt wird. Als Lichtquelle 27 dient eine Impuls-Laserdiode 28, deren Leuchtfläche mittels eines optischen Systems durch die opti­ sche Achse 29 des jeweils benutzten Objektivs 30 auf die Werkstückoberfläche 25 abgebildet wird. Der Lichtstrahl 31 trifft ausgehend von der Impuls-Laserdiode 28 auf einen 45° geneigten Spiegel 32, wird von dort zu einer Optik 34 umge­ lenkt und gleichzeitig zu einem wiederum 45° geneigten zwei­ ten Spiegel 33 geleitet und von diesem zu dem Objektiv 30 über der Werkstückoberfläche 25 gelenkt. Von dort wird der Lichtstrahl 31 reflektiert und über die Spiegel 33 und 32 zu der Optik 34 zurückgesandt. Das Werkstück 26 remittiert also einen Teil des reflektierten Laserlichtes durch Objektiv 30 und optisches System 33, 32, 34 auf ein mit Differenzdioden 35 bestücktes Empfängersystem 36. Aufgrund der bei diesem System angewandten Abbildungsart wandert der Meßpunkt bei Defokussierung aus und erzeugt ein Differenzsignal im Ach­ senverstärker 37, welches die Z-Achse 19 über einen Servomo­ tor 38 wieder in die Schärfeebene positioniert. Bei 39 ist der Meßpunkt Plus um den Wert ΔF verschoben, während bei 40 die Verschiebung nach Minus um den Wert ΔF erfolgt ist. Entsprechend dem optischen System werden diese Meßpunkte zu den Differenzdioden 35 reflektiert und im Empfänger 36 als Signal über dem Sender 28 zur Anpassung des Meßschlittens 18 in der Z-Koordinate 19 weitergegeben.

Wie aus der Fig. 3 ferner ersichtlich ist, besitzt die Pi­ nole 21 neben dem Lasertaster 24 noch den Videotaster 23, der im wesentlichen aus einer Kamera 41 mit einer Bildverar­ beitungseinrichtung 42 besteht. Der Videotaster 23 arbeitet berührungslos auf der Z-Achse 19 durch das Objektiv 30 auf die Werkstückoberfläche 25. Die Bestimmung der einzelnen Meßpunkte eines zu erfassenden Werkstückes 26 erfolgt anhand eines von einem Videoprozessor 43 digitalisierten Graubildes des Meßobjektausschnittes. Die Meßpunkte werden dabei an der äußeren Kontur der Werkstücke 26 aufgenommen. Die jeweiligen Konturen in der X- und Y-Richtung werden durch Kantenfinder­ routinen im Graubild erfaßt, während in Z-Richtung 19 die Meßpunkte mit der automatischen Fokussiereinrichtung und un­ ter Zuhilfenahme des Kamerabildes oder mit einem hochgenauen Laser-Fokussiersystem gebildet werden.

Fig. 3 zeigt im Prinzip zwei ineinandergeschachtelte Regel­ kreise 46 und 47. Der Regelkreis 46 steuert über die Verbin­ dung 48 in Abhängigkeit des Empfangssignals das Steuersignal im Sendesystem 28. Der Regelkreis 46 stimmt die Sendeleistung des Dauerstrichlasers 24 auf das jeweilige Reflektionsverhal­ ten des Werkstückes 26.

Der Regelkreis 47 ist dem Regelkreis 46 übergeordnet und steuert den Autofokus über den Servomotor 38. Hier wird das kontinuierliche Nachführen des gesamten Schlittens 21 in Z- Richtung für eine stets optimale Schärfeebene ermöglicht. Die Position des Schlittens 21 in der Z-Richtung wird durch ein Meßsystem 49 mit einem Glasmaßstab festgehalten und über die Leitung 50 dem Hauptrechner 12 mitgeteilt.

Der Servomotor 38 ist mit der Pinole 21 für die Bewegung in der Z-Koordinatenrichtung antriebsverbunden, wie dies bei 51 angedeutet ist.

Für die Hervorhebung von Kanten bei schlechtem Kontrast kön­ nen Filter für das Graubild eingesetzt werden. Zur Beschrei­ bung der Sollgeometrie der Werkstücke stehen die bekannten geometrischen Grundelemente wie Punkt, Gerade, Kreis, Ellip­ se, Ebene, Zylinder, Kugel und Kegel zur Verfügung.

Der schaltende Tastkopf 22 hat eine beliebige, undefinierte Tastauslenkung und einen Schaltpunkt des Mikroschalters im Tastkopf. Die Antastung erfolgt mechanisch mit dem Taststift 44 an der Werkstückoberfläche. Durch die Antastberührung wird der Mikroschalter im Tastkopf 22 betätigt und ein Im­ puls an den Rechner 12 gegeben, der für ein Meßergebnis steht. Der Taststift 44 trägt üblicherweise an seinem äuße­ ren Ende eine Tastkugel 45.

Claims (12)

1. Mehrkoordinatenmeß- und prüfeinrichtung, die im wesentli­ chen aus einer Maschinengrundeinheit, einem in zumindest zwei Koordinatenrichtungen bewegbaren Tastsystem und ei­ ner Maschinensteuerungseinheit gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Tastsystem als ein Multisensortastsystem aufge­ baut ist und aus einem mechanischen Tastkopf (22) mit zu­ mindest einem Taststift (44) und/oder einem Videotaster (23) und/oder einem Lasertaster (24) besteht, die micro­ prozessorgesteuert sind und unabhängig voneinander arbei­ ten und über eine angeschlossene Software wahlweise al­ leine ansteuerbar oder in einer Zweier- oder Dreierkombi­ nation miteinander koppelbar sind.

2. Meß- und Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die Steuerung des gesamten Multisensortastsystems (22, 23, 24) nur eine einzige Software eingerichtet ist.

3. Meß- und Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei in Z-Koordinatenrichtung bewegbare Pinolen (20, 21) vorgesehen sind, von denen eine den mechanischen Tastkopf (22) mit Taststiften (44) und die andere den Vi­ deotaster (23) und den Lasertaster (24) aufnimmt.

4. Meß- und Prüfeinrichtung nach den Ansprüchen 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Pinolen (20, 21) an einem gemeinsamen Meßschlit­ ten (17) angeordnet sind.

5. Meß- und Prüfeinrichtung nach den Ansprüchen 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß für jede Pinole (20, 21) ein Meßschlitten (18) vorge­ sehen ist, die sowohl synchron als auch getrennt vonein­ ander in wahlweise gleiche oder unterschiedliche Koordi­ natenrichtungen bewegbar sind.

6. Meß- und Prüfeinrichtung nach den Ansprüchen 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Lasertaster (24) sowohl im Scanbetrieb als auch als Autofokus einsetzbar ist.

7. Meß- und Prüfeinrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Lasertaster (24) im Scanbetrieb berührungslos mit konstantem Abstand der Oberflächenkontur eines zu messen­ den Werkstückes (26) in den Koordinatenrichtungen X und Y folgt, wobei das Laserscansystem aus zwei verketteten, geschlossenen Regelkreisen (46, 47) gebildet ist, von de­ nen der erste Regelkreis (46) die Sendeleistung des La­ sers auf das Reflektionsverhalten des Werkstückes (26) abstimmt und in Abhängigkeit vom Empfangssignal im Emp­ fänger (36) das Sendesignal im Sender (28) steuert, wäh­ rend der zweite übergeordnete Regelkreis (47) das konti­ nuierliche Nachführen des Schlittens bzw. der Pinole (21) in Z-Richtung in die optimale Schärfeebene steuert.

8. Meß- und Prüfeinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Empfängersystem (36) Differenzdioden (35) auf­ weist, durch welche ein Differenzsignal entsprechend der Schärfeeinstellung des Objektivs (30) erzeugt wird, das über einen Achsenverstärker (37) und einen Servomotor (38) die Z-Achse automatisch in die Schärfeebene posi­ tioniert.

9. Meß- und Prüfeinrichtung nach den Ansprüchen 1, 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßschlitten bzw. die Pinole (21) für die Z-Achse ein Meßsystem (49) mit einem Glasmaßstab aufweist und die jeweilige Höhenposition dem Hauptrechner (12) zugeleitet wird.

10. Meß- und Prüfeinrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Videotaster (23) Meßpunkte an der äußeren Kontur des Werkstückes (26) aufnimmt, die durch ein von einem Videoprozessor (43) erzeugtes digitalisiertes Bild des jeweiligen Werkstückausschnittes bestimmt sind, wobei die Konturen des Werkstückes (26) in den X- und Y-Koordinaten durch Kantenfinderroutinen im digitalisierten Bild erfaß­ bar sind und die Meßpunkte in Z-Richtung mit einer Fokus­ siereinrichtung und dem Kamerabild oder einem hochgenauen Laser-Fokussiersystem gebildet werden.

11. Meß- und Prüfeinrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der mechanische Taster wahlweise ein schaltender oder ein messender Taster (22) ist.

12. Meß- und Prüfeinrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Maschinengrundeinheit in Portalbauweise mit einem massiven Grundbett ausgeführt ist, die zur Werkstückauf­ nahme wahlweise einen Drehmeßtisch (10) aufweist und an einem Querträger (6) den oder die Meßschlitten (17, 18) für die Pinolen (20, 21) längsverschieblich in einer zu dem Portal (2, 3) rechtwinkligen oder gleichgerichteten Verfahrrichtung aufnimmt, wobei die oder der Meßschlitten (17, 18) und die Pinolen (20, 21) von einem Bedienpult (11) steuerbar sind und die erzielten Meßergebnisse am Bildschirm (13) einer Anzeigeeinheit und/oder wahlweise durch einen Drucker (14) protokollierbar sind.