DE3931305A1 - Pruefkartenvorrichtung - Google Patents
PruefkartenvorrichtungInfo
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- G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
Description
Die Erfindung betrifft eine Prüfkartenvorrichtung zum
Bewegen einer Prüfkarte in Richtung hin zu und weg von
einer zu prüfenden Schaltung.
Ein bekanntes Verfahren zum Prüfen von modernen Mikro
schaltungen beinhaltet das Bewegen von Spitzen von Test
sonden in Berührung mit ausgewählten Prüfpunkten der
Schaltung. Die Sonden sind mit einer Testeinrichtung zum
Analysieren der Eigenschaften der Schaltung verbunden.
Während des Prüfens können bestimmte Bauelemente der
Schaltpunkte beeinflußt werden. Beispielsweise kann eine
Lasereinstelltechnik verwendet werden, um die Ausgestal
tung eines Schichtwiderstandsbauelements der Schaltung
zu ändern.
Typischerweise sind die Sonden auf einer festen Prüfkar
te montiert, die mit einer zentralen Öffnung versehen
ist, durch die die Sondenspitzen ragen. Die Prüfkarte
wird von einer Vorrichtung getragen. Eine Schaltung wird
in die Nähe der Vorrichtung gebracht und die Vorrichtung
bewegt die Prüfkarte in Richtung auf die Schaltung, bis
die Sondenspitzen die Prüfpunkte der Schaltung berühren.
Nachdem die Schaltung geprüft worden ist, wird die Prüf
karte von der Schaltung wegbewegt, die geprüfte Schal
tung wird durch eine andere zu prüfende Schaltung er
setzt.
Im Stand der Technik finden sich verschiedene Prüfvor
richtungen, die eine mechanisierte Bewegung der Sonden
in Richtung auf und weg von der Schaltung, die in der
Nähe der Prüfvorrichtung positioniert ist, haben. Diese
Mechanismen, wie sie in der US-PS 39 96 517 und US-PS
37 87 768 vorgeschrieben sind, ermöglichen es bereits, die
Sonden in Berührung mit der Schaltung zu bringen. Die
vorbekannten Mechanismen sind jedoch in bezug auf die
Geschwindigkeit, die Genauigkeit und die Vielseitigkeit
bei einem hohen Durchsatz zu prüfender Schaltungen unzu
reichend.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrich
tung zum Bewegen einer Prüfkarte in Richtung auf und weg
von einer Schaltung zu schaffen, die mit einer höheren
Geschwindigkeit, höheren Genauigkeit und höheren Viel
seitigkeit arbeitet.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die im kenn
zeichnenden Teil der im Oberbegriff des Anspruchs 1 ge
nannten Merkmale gelöst. Die in den Unteransprüchen ge
nannten Merkmale geben vorteilhafte Ausgestaltungen der
Erfindung an.
Die Erfindung weist insbesondere einen festen Rahmen
auf, unterhalb der eine zu prüfende Schaltung positio
niert ist. Vier Führungsschrauben sind drehbar auf dem
Rahmen befestigt. Jede Ecke eines Schlittens ist mit ei
ner Führungsschraubenmutter verbunden, die auf eine Füh
rungsschraube aufgesetzt ist. Eine Prüfkarte ist auf dem
Schlitten montiert.
Die Führungsschrauben sind über ein festes, durchgehen
des Antriebsgestänge verbunden. Das Antriebsgestänge ist
mit jeder Führungsschraube über eine exzentrische Kup
plung und über eine Motorwelle über eine entsprechende
Kupplung verbunden. Infolgedessen wird die Drehung der
Motorwelle auf die Führungsschrauben durch die Hin- und
Herbewegung des Antriebsgestänges übertragen. Die sich
ergebende gleichzeitige Bewegung der Führungsschrauben
bewegt die Führungsmutter nach unten oder nach oben ent
lang der Führungsschraube, in Abhängigkeit von der
Drehbewegung der Führungsschraube. Entsprechend wird der
Schlitten (mit der auf dieser montierten Prüfkarte
nach unten in Richtung auf die Schaltung bewegt oder von
dieser wegbewegt. Wenn der Schlitten nach unten in Rich
tung auf die Schaltung bewegt wird, berühren die Spitzen
der von der Prüfkarte bewegenden Sonden die geeigneten
Prüfpunkte der Schaltung.
Die Prüfkarte wird schnell in Richtung hinzu und weg
von der Schaltung im wesentlichen ohne Vibration bewegt,
die den Durchsatz aufgrund von Verzögerungen oder Beru
higungszeiten, die eingehalten werden müssen, bis die
Vibration der Prüfspitze abgeklungen ist, verschlech
tern.
Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung liefert das fe
ste Antriebsgestänge einen direkten Antrieb für die Füh
rungsschrauben. Infolgedessen ist eine sehr genaue Ände
rung der Schlittenposition möglich.
Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung weisen die Kup
plungen, mit denen das Antriebsgestänge und die Füh
rungsschrauben verbunden sind, Gegengewichte auf, um die
Führungsschraube(n) dynamisch auszuwuchten, so daß keine
Vibration in dem Rahmen der Vorrichtung infolge der Be
wegung des festen Antriebsgestänges auftritt.
Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung ist der Schlit
ten mit einer Trägerplatte versehen, die fest an der
Mutter der Führungsschraube angebracht ist, und mit ei
ner Prüfkartenplatte, die beweglich auf der Trägerplat
te montiert ist. Die Prüfkartenplatte trägt die Prüf
karte. Infolgedessen kann die Position der Prüfkarte
eingestellt werden, so daß die Sonden genau relativ zu
der zu prüfenden Schaltung ausgerichtet werden können.
Diesbezüglich sind Mittel zum Ermöglichen kleinster Än
derungen der Drehposition der Prüfkarte vorgesehen.
Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung sind Klemmein
richtungen auf der Prüfkartenplatte montiert zum sichern
der Prüfkarte an der Prüfkartenplatte oder einer Biegung
der Prüfkarte. Mechanismen sind in der Klemmeinrichtung
vorgesehen um sicherzustellen, daß die Prüfkartenplatte
nicht herabfällt, wenn sie gelöst wird.
Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung werden die Ge
schwindigkeit oder die Genauigkeit der Vorrichtung durch
ein programmierbares Steuersystem voll genutzt. Weiter
kann ein solches System unter Berücksichtigung bei
spielsweise der Höhe der jeweiligen Bauelemente auf der
zu prüfenden Schaltung programmiert werden. Die Vorrich
tung wird programmiert betrieben, um den Weg der Sonden
zu eliminieren, wenn die zu prüfende Schaltung durch ei
ne nicht geprüfte Schaltung ersetzt wird. Eine solche
Wegstreckensteuerung erhöht den Durchgang.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich
aus der Beschreibung, in der ein Ausführungsbeispiel der
Erfindung an Hand einer Zeichnung erläutert wird. Dabei
zeigt
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer
Vorrichtung nach der Erfindung,
Fig. 2 eine Draufsicht auf die Vorrichtung,
Fig. 3 eine Bodenansicht der Vorrichtung,
Fig. 4 eine Schnittansicht entlang der Li
nie 4-4 von Fig. 2, die die Füh
rungsschraubeneinrichtung und den
Mechanismus zum Befestigen der Prüf
karte auf der Vorrichtung verdeut
licht,
Fig. 5 eine seitliche Schnittansicht ent
lang der Linie 5-5 von Fig. 2, die
einen Abschnitt des Schlittens
zeigt, der zum Justieren der Prüf
kartenposition eingerichtet ist,
Fig. 6 eine Ansicht entlang der Linie 6-6
von Fig. 4, die eine Klemmanordnung
zeigt, wie sie verwendet wird zum
Sichern der Prüfkarte an dem Schlit
ten der Vorrichtung,
Fig. 7 eine Schnittansicht entlang der Li
nie 7-7 von Fig. 2, die den An
triebsmotor zeigt, der an der Grund
platte der Vorrichtung befestigt
ist, und
Fig. 8 ein Diagramm des Systems zum Steuern
der Bewegung des Schlittens der Vor
richtung.
Die Fig. 1 und 2 zeigen die Prüfkartenvorrichtung 20
nach der Erfindung, die von einer Arbeitsfläche 22 ge
tragen wird. Sie erstreckt sich über einen Raum, durch
den sich ein Element 24 zwischen einer Prüfposition und
einer Be- und Entladungsposition hin- und herbewegt. Die
Oberseite des Elements 24 weist ein Vakuumfutter zur Be
festigung eines Schaltungssubstrats 28 auf dieser auf.
Die Komponenten der zu prüfenden Schaltung 30 werden von
der Oberfläche des Substrats 28 getragen. Auf dem Sub
strat können mehrere Schaltkreise aufgebracht sein.
Das Element 24 wird in der Prüfposition gezeigt, in der
die Schaltung 30 für die Spitze 31 von Prüfsonde 32 zu
gänglich ist. Nach der Prüfung der Schaltung 30 bewegt
das Element 24 die Schaltung in die Be- und Entladeposi
tion (dargestellt als Position "X" auf der Arbeitsfläche
23), die von der Prüfvorrichtung 20 entfernt ist. In der
Beladungs/Entladungs-Position wird die geprüfte Schal
tung durch eine ungeprüfte Schaltung ersetzt, das Ele
ment 24 kehrt sodann in die Prüfposition zurück.
Jedes geeignete Mittel zum Fördern einer Schaltung hin
zu oder weg von der Prüfposition kann mit der Prüfkar
tenvorrichtung 20 nach der vorliegenden Erfindung ver
wendet werden. Es ist bevorzugt, ein Handhabungselement
24 zu verwenden, wie dieses als Modell 4000 Lasertrimm
system von der Fa. Electro Scientific Industries, Inc.,
Beaverton Oregon, angeboten wird.
Die Prüfkartenvorrichtung 20 weist einen festen Metall
rahmen 24 auf, der eine horizontal angeordnete Grund
platte 36 aufweist. Diese wird durch zwei Vorderbeine 38
und eine rückwärtige Stützwand 39 getragen. Die Grund
platte 36 wird oberhalb der Arbeitsfläche 22 mit einem
Abstand getragen, der ausreichend ist um ein Spiel für
das obengenannte Handhabungselement 24 zu schaffen, wenn
sich das Handhabungselement zwischen der Beladungs-/Ent
ladungs-Position und der Prüfposition bewegt. Die
Vorderseite der Vorrichtung 20 ist die Seite, die in den
Figuren mit dem Pfeil 35 bezeichnet wird.
Die Grundplatte 36 weist eine zentrale rechteckige Öff
nung 37 auf. Entlang einer Seite des Rahmens 34 ragt die
Grundplatte 36 nach außen von der Öffnung 37 vor, um ei
nen Vorsprung 40 zu schaffen, an den ein Antriebsmotor
befestigt ist, wie dies im einzelnen unten erläutert
werden wird.
Die Grundplatte 36 trägt einen beweglichen Schlitten 42,
auf den eine flache Prüfkarte 44 befestigt ist. Die Son
den 32 sind auf der Prüfkarte 44 befestigt. Die Prüfkar
te 44 weist geeignete Schaltmuster und Verbindungen zum
Liefern von Signalen zwischen den Sonden 32 und der
(nicht gezeigten) Schaltungsprüfeinrichtung auf. Die
Sonden 32 sind auf der Prüfkarte 44 so befestigt, daß
die Spitzen 31 der Sonden 32 sich durch eine Ausnehmung
48 in der Prüfkarte 44 erstrecken. Der Schlitten 42 wird
nach unten bewegt, bis die Sondenspitzen 31 die Testpo
sitionen einer Schaltung 30, die in der Testpostion
ist, berühren.
Die Fig. 1 bis 4 zeigen weiter, daß der Schlitten 42 ei
ne Trägerplatte 50 und eine Prüfkartenplatte 76 auf
weist. Die Prüfkartenplatte 76 ist unterhalb der Träger
platte montiert. Die Trägerplatte 50 ist in der Ebene im
wesentlichen rechteckig und weist eine zentrale rech
teckige Öffnung 52 auf. Die Trägerplatte 50 weist nach
hinten weisende Zungen 54 an beiden rückwärtigen Ecken
56 von dieser auf. Ein Führungsschraubenträger 60 ist
mit der Oberfläche jeder Zunge 54 verbunden. Die Füh
rungsschraubenträger 60 werden zur Sicherung der zugehö
rigen rückwärtigen Ecke der Trägerplatte 50 an Führungs
schraubeinrichtungen 62 verwendet, die an der Unterseite
der Grundrahmenplatte 36 benachbart jeder Ecke der Öff
nung 37 befestigt sind. Die Führungsschraubeneinrichtun
gen werden weiter unten im einzelnen beschrieben.
Die Führungsschraubenträger 60 sind flach und weisen ein
rechteckiges Ende 64 (gesehen in der Ebene) auf und ein
entgegengesetztes ringförmiges Ende 66. Das ringförmige
Ende 66 des Trägers 60 weist eine Zentrale, mit einem
Gewinde versehene Öffnung 67 auf. Das rechteckige Ende
64 jedes Führungsschraubenträgers 60 weist vier gegenge
bohrte Löcher 68 auf, die mit vier Gewindebohrungen aus
gerichtet sind, die in jeder der Zungen 54 der Träger
platte ausgebildet sind. Schraubbefestigungen 70 werden
zum Befestigen des rechteckigen Endes 64 des Führungs
schraubenträgers 60 auf der Oberfläche der Trägerplat
tenzunge 54 verwendet, so daß das ringförmige Ende 66
der Führungsschraubenträger 60 nach außen von der Seite
der Trägerplatte ragt. Das ringförmige Ende 66 des Trä
gers 60 ergreift die Führungsschraubeneinrichtung 62.
Die vorderen Ecken 62 der Trägerplatte 50 haben einen
Führungsschraubenträger 60, der so befestigt ist, wie
dies eben bezüglich der rückwärtigen Ecken 56 beschrie
ben worden ist. Das bedeutet, daß das rechteckige Ende
64 jedes Führungsschraubenträgers 60 mit Befestigungs
elementen montiert ist, so daß das ringförmige Ende 66
nach außen von der Seite der Trägerplatte 50 sich er
streckt, um die Führungsschraubeneinrichtung 62 zu er
greifen.
Bei einer Anbringung der vier Ecken der Trägerplatte 50
über die Führungsschraubenträger 60 mit den Führungs
schraubeneinrichtungen 62 werden die Führungsschrauben
einrichtungen 62 angetrieben, um die Trägerplatte 50
nach unten oder nach oben zu bewegen. Die Einzelheiten
der Führungsschraubeneinrichtungen 62 und der zugehöri
gen Antriebsmittel werden später beschrieben.
Die Prüfkartenplatte 76 ist eine feste, rechteckige
Platte mit (in der Ebene) abgeschrägten Ecken und einer
in dieser ausgebildeten rechteckigen zentralen Öffnung
79. Die Prüfkartenplatte 76 ist auf der Unterseite der
Trägerplatte 50 befestigt. Klemmenanordnungen 78 werden
von der Prüfkartenplatte 76 getragen, um die Prüfkarte
44 und die Prüfkartenplatte 76 zu halten.
Die Prüfkartenplatte 76 ist justierbar auf der Träger
platte 50 befestigt, so daß die Ausrichtung der Prüfkar
tenplatte 76 (und damit die Ausrichtung der Prüfkarte 44
und der Sonden 32) justiert werden kann, um der Ausrich
tung der Testorte auf den Schaltungen 30, die unterhalb
der Prüfkarte 44 positioniert sind, zu entsprechen.
Diesbezüglich ist es bekannt, daß bei der Herstellung
mit modernen fotolitographischen Techniken jede gegebene
Menge von Schaltkreisen erzeugt wird mit Komponenten,
mit einer gegebenen Ausrichtung relativ zu, beispiels
weise, dem Mittelpunkt des Substrats. Diese Orientierung
muß, jedoch, nicht genau der Ausrichtung eines zweiten
Stapels von ansonsten identischen Schaltungen entspre
chen. Entsprechend ist die Prüfkartenplatte 76 nach der
vorliegenden Erfindung justierbar montiert, um Änderun
gen in der Ausrichtung der Prüfkarte zu erlauben, so daß
die Sonden 32 genau die Testorte jedes Stapels von
Schaltungen berühren.
Um das Vorangehende zu illustrieren und unter besonderer
Bezugnahme auf Fig. 2, stellt die imaginäre Linie B 1 ei
ne typische Achse eines gegebenen Postens von Schaltun
gen an, wobei jede Schaltung des Postens nacheinander zu
dem Handhabungselement 24 in die Testposition unterhalb
des Schlittens 42 der Vorrichtung transportiert wird.
Die Linie B 1 kann, beispielsweise eine Linie sein, die
der Mittelachse der Masken entspricht, die verwendet
worden ist, um die Bauelemente auf das Substrat aufzu
bringen. Entsprechend sind die Positionen aller Kompo
nenten der Schaltungen fest in bezug auf diese Achse B 1.
Eine imaginäre Linie B 2 repräsentiert die typische Achse
eines zweiten Postens von Schaltungen, die denjenigen
des ersten Postens im wesentlichen identisch ist (d. h.
die Positionen der Schaltelemente des zweiten Postens
realtiv zu der Linie B 2 der Position der Komponenten des
ersten Postens relativ zu der Linie B 1 entsprechen).
Aufgrund der Abweichungen bei der Herstellung der Schal
tung ist die typische Achse B 2 relativ zu der typischen
Achse B 1 des ersten Stapels von Schaltungen fehlausge
richtet. Das heißt, daß die Achse B 2 gegenüber der Achse B 1
um einen kleinen Winkel 77 (zur Verdeutlichung in Fig. 2
übertrieben dargestellt) versetzt ist.
Zur Justierung der Ausrichtung der Sonden 32 und dadurch
Berücksichtigen der Fehlausrichtung der Achsen der Po
sten, dreht die Bedienperson die Prüfkartenplatte 76
(und damit die Prüfkarte 44) um den Mittelpunkt um einen
Winkel 77 in einer Richtung von B 1 nach B 2. Es kann da
von ausgegangen werden, daß das Handhabungselement 24
durch geeignete Mittel zur Positionierung der Schaltung
unterhalb der Prüfkartenplatte 76 kontrolliert wird, so
daß der Mittelpunkt der Schaltung mit der Drehachse der
Prüfkarte 44 ausgerichtet werden kann, bevor die Ein
stellung der Prüfkartenplattenorientierung gemacht wird.
Es wird insbesondere auf die Fig. 2, 4 und 5 Bezug ge
nommen. Der Mechanismus zum justierbaren Montieren der
Prüfkartenplatte 76 auf die Trägerplatte 50 zur Ermögli
chung der Justierung der Prüfkartenplatte 76 weist Flü
gelmuttern 80 und Schraubenbolzen 81 auf, die gemeinsam
die Ecken der Prüfkartenplatte 76 lösbar mit den Ecken
der Trägerplatte 50 verbinden. Durch zunächst Verriegeln
der Rückseite des Schlittens 42 wird ein Gewindeloch 84
an jeder rückwärtigen Ecke 42 der Prüfkartenplatte 76
gebildet. Eine Lagerführungsbohrung 86 (im folgenden als
Lagerführung 86 bezeichnet) wird durch die Trägerplatte
50 oberhalb der Bohrung 84 in der Prüfkartenplatte 76
ausgebildet. Die Lagerführung 86 ist im wesentlichen in
der Ebene elliptisch und nimmt ein Ringlager 88 auf,
dessen Durchmesser etwas kleiner ist als die Weite der
Lagerführung 86.
Ein Schraubenbolzen 81 mit einem mit einem Gewinde ver
sehenen unteren Ende 84, einem glatten Mittelabschnitt 95
und einem mit einem Gewinde versehenen oberen Abschnitt
96 erstreckt sich durch den Mittelpunkt des Ringlagers
88. Das untere Ende 94 des Schraubenbolzens 81 ist stän
dig in die Bohrung 84 in der Prüfkartenplatte 76 einge
schraubt, der Mittelabschnitt 95 ruht in der Mitte des
Ringlagers 88. Der obere Gewindeabschnitt 96 des Schrau
benbolzens 81 hat einen größeren Durchmesser als der
Mittelpunkt des Ringlagers 88. Der Bolzen 81 ist befe
stigt, so daß das führende Gewinde des oberen Abschnitts
96 auf der inneren Spur des Lagers 88 aufträgt, um die
Lagerposition relativ zu der Prüfkartenplatte 76 zu fi
xieren. Der restliche Abschnitt des oberen Endes 96 des
Schraubenbolzens 81 ragt über die obere Fläche 97 der
Trägerplatte 50, um die Flügelmutter 80 zu ergreifen.
Die Flügelmutter 80 weist eine Schulter 98 auf mit ei
nem an diesen angebrachten, gerändelten Knopf 100. Die
Schulter 98 hat einen Durchmesser der größer ist als die
Weite der Lagerführung 86. Weiter ist das Ringlager 88
dünner als die Trägerplatte 50. Entsprechend wird, wenn
die Flügelmutter 80 angezogen wird, die Schulter 98 auf
die obere Fläche 97 der Trägerplatte 50 wirken, um die
Prüfkartenplatte 76 gegen die Trägerplatte 50 anzuzie
hen.
Die Lagerführung 86 in der Trägerplatte 50 ist über der
Bohrung 84 in der Prüfkartenplatte 76 derart positio
niert, daß das Lager 88 auf die innere Kante 87 der La
gerführung 86 wirkt. Weiter ist der innere Rand 87 der
Lagerführung gebogen, so daß der Mittelpunkt des Ringla
gers 88 entlang eines konstanten Radius von dem Mittel
punkt 92 der Öffnung 52 in der Trägerplatte 50 sich be
wegen kann, wenn die Prüfkartenplatte 76 relativ zu der
Trägerplatte 50 rotiert wird. Vorzugsweise hat die La
gerführung 86 eine solche Größe, das es dem Mittelpunkt
des Ringlagers 88 erlaubt wird, sich um einen Winkel 4°
relativ zu dem Mittelpunkt 92 zu verschieben.
Die vorderen Ecken 72 der Trägerplatte 50 und die ent
sprechenden vorderen Ecken 104 der Prüfkartenplatte 76,
die Flügelmuttern 80, die Schraubbolzen 81, die Lager
führungen 86 und die Lager 88, die den vorderen Kanten
72 der Trägerplatte 50 zugehörig sind, sind im wesentli
chen ebenso ausgebildet, wie dies mit Bezug auf die
rückwärtigen Ecken 56 der Trägerplatte beschrieben wor
den ist. Die vorderen Ecken 104 der Prüfkartenplatte 76
weisen jedoch Löcher 108 auf, die von den Löchern 84 in
den rückwärtigen Ecken abweichen. Insbesondere sind die
vorderen Ecklöcher 108 besonders ausgebildet, um es der
Schlitteneinrichtung 42 zu ermöglichen, mit allen vier
Lagern 88 fest auf die inneren Flächen 87 ihrer zugehö
rigen Lagerführungen 86 der Trägerplatte 50 zu wirken,
so daß der Mittelpunkt 52 der Trägerplatte 50 und der
Mittelpunkt der Prüfkartenplatte 76 genau ausgerichtet
bleiben entlang einer Achse normal zu der Trägerplatte
trotz einer etwaigen Justierung der Drehposition der
Prüfkartenplatte 76.
Diesbezüglich sind die Bohrungen 108 in der Vorderseite
der Prüfkartenplatte 76, die unterhalb der Lagerführun
gen 86 in den vorderen Ecken 72 der Trägerplatte 50 lie
gen, versenkt mit im wesentlichen länglichen, ellipti
schen Versenkungen versehen. Die vorderen Bohrungen 108
haben gestreckte Seitenkanten und Hauptachsen 110, die
in der Ebene von Fig. 2 durch den Mittelpunkt der Prüf
kartenplatte 76 verlaufen. Eine Unterlegscheibe 112 paßt
in den versenkten Abschnitt der Bohrung 108 (Fig. 5).
Der untere Gewindeabschnitt 95 eines Schraubenbolzens 81
erstreckt sich durch Unterlegscheibe 112 zum Ergreifen
einer weiteren Unterlegscheibe 114 und einer Mutter 116
auf der Unterseite 118 der Prüfkartenplatte 76.
Zur Montage des Schlittens 32 der Art, daß alle vier La
ger 88 fest auf den inneren Rändern 87 auf ihren zugehö
rigen Lagerführungen 86 aufliegen, wird die Prüfkarten
platte 76 unterhalb der Trägerplatte positioniert, wobei
die Lager 88 in den rückwärtigen Ecken über Schrauben
bolzen 81 an der Prüfkartenplatte 76 gesichert sind. Al
le Flügelschrauben 80 werden losgedreht. Die rückwärti
gen Ecken 82 der Prüfkartenplatte 76 werden in Richtung
auf den Mittelpunkt 92 der Trägerplatte 50 gezwungen,
bis die Lager 88 in den Lagerführungen 86 in den rück
wärtigen Ecken 56 der Trägerplatte fest auf den zugehö
rigen inneren Kanten 57 der Führungen 86 aufliegen. In
der Position, in der die Lager 88 gegen die Kanten 87
drücken, wie dies gerade beschrieben ist, werden die
Schraubenbolzen 81, die Lager 88 und die (gelösten) Flü
gelmuttern 80 an den vorderen Ecken 72 der Trägerplatte
50 entlang der Achse 110 der vorderen Bohrungen 108 in
der Prüfkar
tenplatte 76 geschoben, bis die vorderen Lager 88 fest
gegen die inneren Ränder 87 der Lagerführungen 86 an
liegen. Die Mutter 116 wird sodann angezogen, um den
Schraubenbolzen 81 in dem vorderen Loch 108 zu fixieren.
Aus dem oben beschriebenen Aufbau ergibt sich, daß bei
jedem Lösen der vier Flügelmuttern 80 die Prüfkarten
platte 76 leicht relativ zu der Trägerplatte 50 rotiert
werden kann, während der Mittelpunkt 92 der Trägerplatte
und der Mittelpunkt der Prüfkartenplatte axial ausge
richtet bleiben.
Vorzugsweise werden Mechanismen verwendet, um sicherzu
stellen, daß die Prüfkartenplatte 76 nicht von der Trä
gerplatte 50 herabfällt, wenn alle Flügelmuttern 80 irr
tümlich von den Schraubenbolzen 81 entfernt worden sind.
Dieser Sicherungsmechanismus weist vier Schulterschrau
beneinrichtungen 118 auf. Eine Schulterschraubenein
richtung 119 ist entlang jeder Seite der rechteckigen
Öffnung 52 in der Trägerplatte in deren Mittelpunkt an
geordnet.
Die Schulterschraubenanordnung 119 weist eine Schulter
schraube 120 auf, deren Gewindeabschnitt eine Gewinde
bohrung 121 in der Prüfkartenplatte 76 ergreift. Die
Schulter der Schraube 120 wirkt auf die Oberfläche 117
der Prüfkartenplatte 76. Der Mittelabschnitt 122 der
Schulterschraube 120 ruht in einem Schlitz 123, der der
art geformt ist, daß die Schulterschrauben 120 mit der
Prüfkartenplatte 76 bewegt werden kann, wenn die Prüf
kartenplatte 76 relativ zu der Trägerplatte 50 rotiert
wird.
Die Schulterschraube 120 erstreckt sich oberhalb der
oberen Fläche 97 der Trägerplatte 50 und wird von einer
Unterlegscheibe 124 umgeben, die aus einem reibungsarmen
Material, etwa Teflon, gefertigt ist. Die reibungsarme
Unterlegscheibe 124 erstreckt sich über den Schlitz 123,
um auf der Oberfläche 97 der Trägerplatte 50 zu ruhen.
Eine metallische Unterlegscheibe 125 liegt über der rei
bungsarmen Unterlegscheibe 124 und wird von einer fe
dernden Scheibe 126 abgedeckt. Der innere Rand der fe
dernden Scheibe 126 paßt unter das mit einem Flansch
versehene obere Ende 127 der Schulterschraube 120. Die
Schulterschraube 120 ist so groß, daß bei einem Befesti
gen gegen die Prüfkartenplatte 76 die federnde Scheibe
126 verbogen wird, um die reibungsarme Unterlegscheibe
124 gegen die obere Fläche 97 der Trägerplatte 50 zu
zwingen, während es der Scheibe erlaubt wird, entlang
der Fläche zu gleiten, wenn die Prüfkartenplatte 76 re
lativ zu der Trägerplatte 50 bewegt wird.
Der Betrag der Drehung, der zur Justierung der Position
der Prüfkartenplatte 76 relativ zu der Trägerplatte er
forderlich ist, ist typischerweise sehr gering. Entspre
chend ist erfindungsgemäß ein Mechanismus zur Feinein
stellung der Drehposition der Prüfkartenplatte 76 vorge
sehen. Insbesondere werden ein Paar von Stiften 128 in
die Trägerplatte 50 eingedrückt, um sich von der oberen
Fläche 97 von dieser zu erstrecken. Ein Trio ähnlicher
Stifte 130 sind in die Prüfkartenplatte 76 eingepreßt,
um sich nach oben durch eine Ausnehmung 132 in der Trä
gerplatte benachbart dem Paar von Stiften 128 auf der
Trägerplatte 50 zu erstrecken. Die Stifte 130 der Prüf
kartenplatte 76 sind zwischen dem Paar von Stiften 128
auf der Trägerplatte 50 und dem Mittelpunkt 92 der Trä
gerplatte angeordnet.
Um die Prüfkartenplatte 76 relativ zu der Trägerplatte
50 zu bewegen, verläuft ein Hebel 134 zwischen dem Paar
von Stiften 128, um auf das Trio von Stiften 130 zu wir
ken. Stifte 128 wirken als Drehpunkt und, bei Lösen al
ler vier Flügelmuttern 80, wird der Hebel 134 ver
schwenkt, um drehbar die Prüfkartenplatte 76 um den Mit
telpunkt 92 zu leiten. Die Stifte 128 der Trägerplatte
und die Stifte 130 der Prüfkartenplatte sind mit gerin
gem Abstand voneinander relativ zu dem Abstand zwischen
diesen Stiften und dem Mittelpunkt 92 der Trägerplatte
angeordnet. Infolgedessen kann der Hebel 134 von Hand
gesteuert werden, um die Prüfkartenplatte 76 in Winkel
schritten, die extrem klein sind, rotieren zu lassen.
Nachdem die Drehposition der Prüfkartenplatte 76 ju
stiert ist, werden alle Flügelmuttern 80 angezogen und
die Ausrichtung der Prüfkarte 40 fixiert zur Verwendung
mit einem Posten von Schaltungen.
Die Mittel, durch die die Prüfkarte 44 auf die Untersei
te 118 der Prüfkartenplatte 76 geklemmt wird, wird jetzt
unter besonderer Bezugnahme auf die Fig. 3, 4 und 6 be
schrieben. Die Klemmeneinrichtungen 78 sind auf der Un
terseite 118 der Prüfkartenplatte 76 angebracht. Eine
Einrichtung 78 erstreckt sich entlang einer Seite der
Prüfkartenplatte 76 von vorne nach hinten, die andere
Einrichtung 78 erstreckt sich entlang der anderen Seite
der Prüfkartenplatte 76. Die Prüfkarte 44 wird einge
klemmt, um in dem Raum zwischen den Klemmeinrichtungen
78 zu ruhen. Die Beschreibung der Klemmeinrichtungen 78
wird auf eine Klemmeinrichtung bezogen, wobei es sich
versteht, daß die andere Einrichtung identisch ist.
Die Klemmeinrichtung 78 weist ein längliches, festes
Klemmelement 40 auf, das sich zwischen den angeschrägten
vorderen und hinteren Ecken der Prüfkartenplatte 76 er
streckt. Das feste Klemmelement 140 ist im Querschnitt
U-förmig mit einer Basis 142, die mit der Probenkarten
platte 76 befestigt ist, einen sich nach oben er
streckenden äußeren Bein 144, das benachbart dem seitli
chen Rand 138 der Prüfkartenplatte 76 lokalisiert ist
und einem sich nach unten erstreckenden inneren Schenkel
146, der mit Abstand nach innen von dem äußeren Bein
144, d. h. hin zu dem Mittelpunkt der Prüfkartenplatte
76, angeordnet ist.
Die Basis 142 des festen Klemmelements 140 wird an der
Prüfkartenplatte 76 durch sechs mit Abstand voneinander
angeordneten Befestigungselementen 148, die durch die
Bohrungen in der Basis 142 verlaufen, befestigt und in
Gewindebohrungen in der Prüfkartenplatte 76 einge
schraubt. Die Köpfe 150 der Befestigungselemente 148 ru
hen auf der oberen Fläche 152 der Basis 142.
Ein Paar von identischen länglichen beweglichen Klemme
lementen 154 sind in den festen Klemmelementen 140 befe
stigt. Jedes bewegliche Klemmelement 154 hat einen Kör
per 156 und einen nach innen vorragenden unteren Fuß
158. Der Körper 156 ist im Querschnitt so geformt, daß
er nach oben und nach unten in dem festen Klemmelement
140 zwischen dessen inneren Schenkel 146 und des äußeren
Schenkel 144 gleiten kann. Die obere Fläche 160 des Kör
pers 156 hat sechs Ausnehmungen 162, die in diesem aus
gebildet sind, um ein Spiel für die Köpfe 150 der Befe
stigungselemente 148 zu schaffen, immer wenn das beweg
liche Klemmelement 154 in das feste Klemmelement herab
gezogen wird.
Die Seite des beweglichen Klemmelementkörpers 156, das
zu der Prüfkarte 44 weist, weist eine Ausnehmung 164
auf, die sich entlang der Länge des beweglichen Klemme
lements 154 erstreckt. Die Ausnehmung 164 schafft einen
Raum zur Aufnahme des Randes 166 der Prüfkarte 44, die
durch die Einrichtung wie unten beschrieben geklemmt
wird.
Der Fuß 158 des beweglichen Klemmelements 154 erstreckt
sich von der unteren inneren Kante des Körpers 156 nach
innen. Das äußere Ende des Fußes 158 bildet einen Zeh
170, der - entlang einer vertikalen Linie in Fig. 4 ge
messen - vergleichsweise dicker ist als der Rest des Fu
ßes 158. Der Zeh 170 weist eine obere Klemmfläche 172
auf. Die Klemmfläche 172 ist unterhalb einer horizonta
len Lagerfläche 174, die in dem Abschnitt des inneren
Schenkels 146 des festen Klemmelements 140 ausgebildet
ist. Die Klemmfläche 172 und die Lagerfläche 174 werden
zusammengezogen, um zwischen sich den Rand 166 der Prüf
karte 44 zu klemmen.
Die Mittel zum Klemmen der Prüfkarte 44 weisen ein Paar
von Befestigungselementen auf, etwa Bolzen 176, die in
Öffnungen eingeschraubt sind, die in dem Körper 156 des
beweglichen Klemmelements 154 benachbart dessen Ende
ausgebildet sind. Die Köpfe 180 der Befestigungselemente
176 wirken auf die obere Fläche 117 der Prüfkartenplatte
76 und die Wellen verlaufen jeweils durch konzentrische
Löcher 184, 186 in die Prüfkartenplatte und in der Basis
142 des festen Klemmelements 140. Ein Zugang zu den Köp
fen 180 der Bolzen 176 wird geschaffen durch Zugangsboh
rungen 188, die in der Trägerplatte 50 vorgesehen sind.
Es ist zu bemerken, daß die Zugangsbohrungen 188 in der
Trägerplatte 50 so groß sind, daß sie eine ungestörte
Lateralbewegung der Bolzenköpfe 180 ermöglichen, immer
wenn die Ausrichtung der Prüfkartenplatte 76 relativ zu
der Trägerplatte 50 eingestellt ist, wie dies oben be
schrieben worden ist.
Um die Prüfkarte 44 an der Prüfkartenplatte 76 anzuklem
men, werden die Ränder 166 der Prüfkarte 44 zunächst in
den Raum zwischen den Lagerflächen 174 und den Klemmflä
chen 172 der einander gegenüberliegenden Klemmeinrich
tungen 78 eingebracht. Die Befestigungselemente 176 wer
den rotiert, um das bewegliche Klemmelement 154 in Rich
tung auf das feste Klemmelement 140 zu drehen, bis der
Rand 166 der Prüfkarte 44 fest zwischen den Lagerflächen
174 und den Klemmflächen 172 eingeklemmt ist.
Die Klemmfläche 172 jedes Zehs 170 und die Lagerfläche
174 jedes festen Klemmelements 140 sind ausgebildet und
angeordnet, um ein Biegen der Prüfkarte 44 zu vermeiden,
wenn diese zwischen diesen eingeklemmt ist. Fig. 4 läßt
erkennen, daß bei einem Anziehen der Befestigungselemen
te 176 die Klemmkraft auf die Prüfkarte 44 entlang der
Klemmfläche 172 auf das bewegliche Klemmelement 154 auf
gebracht wird. Die Reaktionskraft wird in der Lagerflä
che 174 des festen Klemmelements 140 erzeugt. Es ergibt
sich, daß wenn die resultierende der Kraft, die von der
Klemmfläche 172 aufgebracht wird, außerhalb zentriert
ist (d. h. in Fig. 4 links oder rechts) von der Lager
fläche 174, an der Kante 166 der Prüfkarte ein Biegemo
ment erzeugt werden würde, was zu einer Biegung der
Prüfkarte führen würde. Ein solches Biegemoment würde,
beispielsweise, auftreten, wenn die Klemmfläche 172 et
was größer ist als die Lagerfläche 174 oder aber wenn
die Klemmeinrichtung 78 nicht genau hergestellt worden
ist, um sicherzustellen, daß die Klemmfläche 172 und die
Lagerfläche 174 in parallelen Ebenen verbleibt.
Entsprechend ist bei dem Vorschlag nach der Erfindung
die Klemmfläche 172 des Zehs 170 relativ enger als die
Lagerfläche 174. Infolgedessen wird jedesmal wenn das
bewegliche Klemmelement 154 nach oben gezogen wird, um
den Rand 166 einer Prüfkarte 44 zu klemmen, die resul
tierende der von der Klemmfläche 174 erzeugten Klemm
kraft immer durch die Lagerfläche 174 verlaufen, die
Klemmeinrichtung 78 muß nicht exakt hergestellt sein, um
die Klemmfläche 172 und die Lagerfläche 174 in parall
elen Ebenen zu halten.
Die Klemmeinrichtung 178 ist mit Federn versehen um si
cherzustellen, daß das bewegliche Klemmelement 154 von
dem festen Klemmelement 140 entfernt immer wenn die Be
festigungselemente 176 gelockert werden.
Insbesondere sind zylindrische Kammern 194 benachbart den
Enden jedes beweglichen Klemmelements 154 ausgeformt.
Ein axial ausgerichteter Extensionsabschnitt 196 jeder
Kammer 194 ist durch die Basis 154 des festen Klemmele
ments 140 gebildet. Druckfedern 198 werden von der zy
lindrischen Kammer 194 aufgenommen, um das feste und das
bewegliche Klemmelement voneinander weg zu halten.
Die kostenaufwendige Zerstörung einer Prüfkarte 44 würde
sich ergeben, wenn das bewegliche Klemmelement 154 von
dem festen Klemmelement 140 herabfällt, wenn die Befe
stigungselemente 176 irrtümlich von dem beweglichen
Klemmelement 154 abgezogen werden. Die vorliegende Er
findung schafft einen Mechanismus der sicherstellt, daß
ein Abziehen der Befestigungselemente 176 nicht dazu
führt, daß das bewegliche Klemmelement 154 und die Prüf
karte 44 von dem festen Klemmelement 140 fallen. Insbe
sondere erstrecken sich zwei Fangstifte 200 mit Abstand
voneinander durch Löcher in dem Körper 156 des bewegli
chen Klemmelements 154. Die Stifte 200 werden in dem
Körper 156 durch Setzschrauben 203 gehalten, die in Boh
rungen 205 eingeschraubt sind, welche durch den Boden
des beweglichen Klemmelements 154 eingeschlagen sind.
Vorragende Abschnitte 202 der Klemmstifte 200 ruhen in
Öffnungen 204 die in dem inneren Schenkel 146 und dem
äußeren Schenkel 144 des festen Klemmelements 140 ausge
bildet sind. Die Öffnungen 204 sind so geformt, daß das
bewegliche Klemmelement 154 sich frei in dem festen
Klemmelement 140 bewegen kann, um die Prüfkarte 44 zu
klemmen oder freizugeben, die Stiftabschnitte 202 er
greifen jedoch die unteren Kanten der Öffnungen 204,
nach dem das bewegliche Klemmelement sich einen vorge
wählten Abstand nach unten von dem festen Klemmelement
bewegt hat, wenn die Befestigungselemente 176 abgezogen
sind.
Um die Anordnung der Prüfkarten 44 in der Klemmeinrich
tung 78 zu erleichtern, schafft die vorliegende Erfin
dung einen Prüfkartengriff 210 (siehe Fig. 3). Der Griff
210 ist ein im wesentliches flaches Element mit Greif
ausnehmungen 212 und einstückig ausgebildeten Trägern
214, die sich von dem Mittelpunkt und den beiden Seiten
von diesem erstrecken. Der Griff 210 ist durch Befesti
gungselemente 216 an der oberen Fläche auf der Vorder
seite der Prüfkarte 44 befestigt. Die Befestigungsträger
214 an den Seiten des Griffs 210 sind ausgebildet, um
gegen die Vorderseite des inneren Schenkels 146 des fe
sten Klemmelements anzustoßen, immer wenn die Prüfkarte
44 in die genaue Position relativ zu der Prüfkartenplat
te 76 ist. Nachdem die Prüfkarte 44 in die Position ge
bracht ist, wird die Karte wie oben beschrieben einge
klemmt.
Es werden jetzt die Besonderheiten der Mittel, mit denen
die oben erwähnten Führungsschraubeneinrichtungen 62 an
der Vorrichtung 20 befestigt werden unter besonderer Be
zugnahme auf Fig. 4, in der eine typische Führungs
schraubenanordnung 62 gezeigt ist, beschrieben. Wie be
reits erwähnt, sind vier Führungsschraubeneinrichtungen
62 vorgesehen, von denen eine in der Nähe jeder der
Ecken des Schlittens 42 angeordnet sind. Es ist jedoch
zu berücksichtigen, daß lediglich eine Führungsschrau
beneinrichtung verwendet werden kann mit dem Schlitten
42, wobei die Bewegung mit geeigneten Schlittenführungen
gegen Vibration stabilisiert wird.
Eine typische Führungsschraubenvorrichtung 62 weist ein
hohles zylindrisches Gehäuse 222 auf, das an der Unter
seite 224 der Rahmengrundplatte 36 befestigt ist. Das
Gehäuse 222 hat einen Flansch 226, der sich radial nach
außen von dem oberen Abschnitt des Gehäuses 222 er
schreckt. Der Flansch 226 sitzt in einer entsprechend
geformten Ausnehmung, die an der Unterseite 224 der
Grundplatte 36 ausgebildet ist. Vier von einander beab
standete Befestigungselemente 228 erstrecken sich nach
oben durch versenkte Öffnungen 230 in dem Flansch 226
und sind in die Grundplatte 36 eingeschraubt, um das Ge
häuse 222 an dieser zu sichern.
Der Abschnitt der Gehäusewandung an dem Führungsschrau
benträger 60 hat ein Fenster 232, das in diesem ausge
bildet ist, um durch das sich der Führungsschraubenträ
ger 60 erstreckt. Das Fenster 232 ist so ausgebildet,
daß sich der Träger nach oben und nach unten in dem Ge
häuse 222 für eine maximale Entfernung bewegen kann, die
der Schlitten 42 während der Betätigung der Vorrichtung
20 verfahren worden ist.
Eine zylindrische Balgkammer 234 ist an der Unterseite
224 der Grundplatte 36 unmittelbar überhalb des Gehäuses
222 ausgebildet. Die Balgkammer 234 ist im Durchmesser
etwas größer als das Innere des Gehäuses 222.
Die Führungsschraubeneinrichtung 62 weist auch eine Füh
rungsschraube 237 und eine Führungsmutter 239 auf. Das
untere Ende der Führungsschraube 237 ist über ein mit
einem Flansch versehenes Lager 238 an dem Boden des Ge
häuses 222 befestigt.
Das untere Ende der Führungsschraube 237 ist permanent
an der inneren Bahn des Lagers 238 mittels einer Ein
richtung 241 mit einem Befestigungselement und einer
Unterlegscheibe gesichert. Das obere Ende der Führungs
schraube 237 ist über ein weiteres Lager 244 mit einem
Flansch an dem Abschnitt der Grundplatte 36, die unmit
telbar oberhalb des Mittelpunkts der Balgkammer 234 an
geordnet ist, befestigt. Das untere Ende der Führungs
schraube 237 weist einen nicht mit einem Gewinde verse
henen Schaft auf, der sich nach oben von der Oberfläche
der Grundplatte 36 zur Verbindung mit einem Antriebsme
chanismus auf, wie es im folgenden beschrieben wird.
Zwischen den Lagern 238, 244 wird die Führungsschraube
237 durch die Führungsmutter 239 aufgenommen. Die Füh
rungsmutter 239 hat einen oberen Abschnitt 250 und einen
angrenzenden unteren Abschnitt 252. Das Äußere des unte
ren Abschnitts 252 ist mit einer Gewindeöffnung 67 in
dem ringförmigen Ende 66 des Führungsschraubenträgers 60
eingeschraubt. Der obere Abschnitt 250 der Führungsmut
ter 239 hat einen Außendurchmesser, der größer ist als
der Außendurchmesser des unteren Abschnitts 252. Die
Führungsmutter 239 ist in den Führungsschraubenträger 60
eingeschraubt, so daß der obere Abschnitt 250 gegen die
obere Fläche des Führungsschraubenträgers 60 gesichert
ist.
Es ist erwünscht, die Gewinde der Führungsschrauben 237
vor Staub und anderen Fremdkörpern zu schützen. Entspre
chend sind die exponierten Gewinde der Führungsschrauben
237 in flexiblen Bälgen 254, 256 eingeschlossen. Insbe
sondere ist eine im wesentlichen flache ringförmige
Balgkappe 258 auf der oberen Fläche 260 der Balgkammer
239 montiert. Das obere Ende 242 der Führungsschraube
237 erstreckt sich durch den Mittelpunkt der Kappe 258.
An der Balgkammer 258 sind vier mit Abstand voneinander
angeordnete Stiftmuttern 262 angebracht, die in Bohrun
gen 246 passen, die in der Grundplatte 36 oberhalb der
Balgkammer 234 ausgebildet sind. Jede Stiftmutter 262
weist eine mit einem Gewinde versehene Innenbohrung auf,
die den Schaft einer rundköpfigen Schraube 265 aufnimmt,
welche in dem oberen versenkten Abschnitt der Bohrung
246 ruht, in der die Stiftmutter 262 eingesetzt ist.
Eine zweite flache, ringförmige Balgkappe 266 ist an der
Oberseite der Führungsmutter 239 gesichert. Die zweite
Balgkappe 266 weist eine angesetzte zylindrische Muffe
270 auf, die über den oberen Abschnitt 250 der Führungs
mutter 239 sitzt, diese vollständig abdeckt und an die
ser durch eine Stellschraube 272 gehalten wird, die
durch die Wandung der Muffe 270 geschraubt ist.
Die äußeren Enden der flexiblen Balge 254 sind an die
Balgkappen 258, 266 angeklebt. Die Balge 254 expandieren
und retraktieren mit der Bewegung der Führungsmutter 239
entlang der Länge der Führungsschraube 237.
Eine dritte Balgkappe 276, die der ersterwähnten Balg
kammer 258 im wesentlichen entspricht, ist an der Unter
seite des Führungsschraubenträgers 60 befestigt. Vier
mit Abstand voneinander angeordnete Stiftmuttern 278
sitzen in Bohrungen 280, die in dem ringförmigen Teil 66
des Führungsschraubenträgers 60 ausgebildet sind und
werden in diesem durch rundköpfige Schrauben 282 gehal
ten, die in dem oberen, versenkten Abschnitt der Bohrun
gen 280 getragen werden.
Eine vierte Balgkappe 284, die der ersten und der drit
ten Balgkappe 258, 276, die oben beschrieben worden
sind, im wesentlichen entspricht, ist an dem Boden 240
des Gehäuses 222 mit vier mit Abstand voneinander an
geordneten Stiftmuttern 286 gesichert, die in in diesen
ausgebildete Löcher 288 eingesetzt sind. Die Stiftmut
tern 286 nehmen die mit einem Gewinde versehenen Ab
schnitte der rundköpfigen Schrauben 290 auf, die durch
den Bodenabschnitt der Bohrungen 288 eingesetzt sind.
Die äußeren Enden der Balge 256 sind mit der dritten und
der vierten Balgkappe 276, 284 verklebt, so daß die Bal
ge 256 sich expandieren und retraktieren mit der Bewe
gung Führungsmutter 239 entlang der Länge der Führungs
schraube 237.
Im folgenden wird der Mechanismus zum Antreiben der Füh
rungsschrauben 237 beschrieben. Der sich nach oben er
streckende Schaft 246 jeder Führungsschraube 237 wird
drehbar durch ein festes Antriebsgestänge 300, das mit
tels einer exzentrischen Kupplung 302 verbunden ist, an
getrieben. Die Kupplung 302 weist eine Bohrung 304 zur
Aufnahme des Schaftes 346 der Führungsschraube 237 auf.
Eine Unterlegscheibe 306 ist zwischen der Kupplung 302
und der inneren Bahn des mit einem Flansch versehenen
Lagers 244 an dem oberen Ende der Führungsschraube 237
positioniert. Die Kupplung 302 ist an dem Schaft durch
drei mit Abstand voneinander angeordnete Stellschrauben
308 befestigt, die durch die Kupplung 302 zum Eingriff
mit dem Schaft 236 geschraubt sind. Vorzugsweise ist die
Führungsschraube 237 zwischen den Lagern 238, 244 vorge
lastet, wenn die Stellschrauben 308 angezogen werden, so
daß die Führungsschraube 237 sich in axialer Richtung
nicht verschiebt.
Jede Kupplung 302 weist einen wesentlichen zylindrischen
Pfosten 310 auf, der einstückig mit diesen ausgebildet
ist, um von der oberen Fläche der Kupplung 302 vorzura
gen. Der Pfosten 310 ist mit einer Umfangsrippe 314 an
seiner Basis ausgebildet, auf dem ein mit einem Flansch
versehenes Lager 316 mit dem Flansch nach unten ruht.
Die innere Bahn des Lagers 316 ist um den Kupplungspfo
sten 310 durch eine Kombination 316 bestehend aus einem
Gewindebefestigungselement und einer Unterlegscheibe ge
sichert. Die äußere Bahn des Lagers 316 ist in einer
Öffnung 320 in dem festen Antriebsgestänge 300 eingepaßt
und mit diesem verklebt.
Jede Kupplung 302 weist ein einstückig ausgebildetes Ge
gengewicht 322 auf, das sich nach außen von der Drehach
se 324 zu dem Führungsschraubenschaft 246 vorragt. Die
Bedeutung des Gegengewichts 322 wird unten weiter erläu
tert.
Es wird jetzt auf Fig. 2 Bezug genommen. Das Antriebsge
stänge 300 ist ein flaches, festes, geschlossenes rah
menartiges Element, das sich um die rechteckige Öffnung
37 in der Basisplatte 36 erstreckt und die oben erwähn
ten kreisförmigen Öffnungen 320 in jeder Ecke aufweist
zur Befestigung des Antriebsgestänges 300 mit den Kupp
lungen 302 aller vier Führungsschraubeneinrichtungen 62.
Weiter weist das Antriebsgestänge 300 einen im wesentli
chen dreieckigen vorragenden Abschnitt 324 auf, der sich
über den Mittelpunkt des Vorsprungs 40 in der Basisplat
te 36 erstreckt, um eine Verbindung zwischen dem An
triebsgestänge 300 und einer Kupplung 326 des Antriebs
motors zu ermöglichen, die an dem Schaft 338 des An
triebsmotors 300, der unten beschrieben werden wird, be
festigt ist.
Es ist zu beachten, daß die Form des Antriebsgestänges
300 unterschiedliche Ausbildungen anders als dargestellt
aufweisen kann. Das Antriebsgestänge 300 sollte, jedoch
fest und leichtgewichtigt sein. Zu diesem Zweck sind ei
ne Mehrzahl von Bohrungen 328 in dem Gestänge 300 ausge
bildet, um das Gewicht des Gestänges 300 ohne eine er
hebliche Reduzierung der Festigkeit des Gestänges in der
Richtung, in der die Antriebskräfte auf das Gestänge
übertragen werden, zu reduzieren, also der Richtung, die
im wesentlichen in der Ebene von Fig. 2 liegt.
Es wird jetzt auf Fig. 7 Bezug genommen. Der Antriebsmo
tor 330 ist über vier Befestigungselemente 332 in einer
Höhlung 334 in der Unterseite 336 des Vorsprungs 40 in
der Grundplatte 36 befestigt. Vorzugsweise ist der An
triebsmotor 330 ein Motor mit geringer Trägheitsmasse
vom Typ J03, hergestellt von Yaskawa Electric America,
Inc. Los Angeles, Californien. Es können jedoch auch an
dere Motoren verwendet werden und, wie in Fig. 7 ge
zeigt, kann die den Motor befestigende Ausnehmung 334 so
ausgebildet sein, daß sie mehr als eine Art eines Motors
aufnehmen kann.
Der Abschnitt der Motorantriebswelle 338, die über die
Grundplatte 36 hinaus ragt, ist mit dem Antriebsgestänge
durch die Antriebsmotorkupplung 326 verbunden. Die Kupp
lung 326 des Antriebsmotors und die Mittel zum Befesti
gen des Antriebsgestänges 320 an diesem entsprechen im
wesentlichen denjenigen der Kupplung 302, wie sie oben
beschrieben worden ist. Die Kupplung 326 ist daher, so
weit geeignet, mit Bezugszeichen versehen, die denjeni
gen der oben beschriebenen Kupplungen 302 entsprechen.
Immer wenn der Motor 330 angetrieben wird um die An
triebswelle 338 in Drehung zu versetzen, wird Antriebs
kraft durch die angebrachte exentrische Kupplung 326 auf
das Antriebsgestänge 300 und, über die Hin- und Herbewe
gung des Antriebsgestänges, auf die Kupplungen 302 an
jedem Führungsschraubenschaft 246, übertragen. Entspre
chend wird die Drehung der Antriebswelle 338 zur Drehung
aller Führungsschrauben 237 übertragen. In Abhängigkeit
von der Drehrichtung der Führungsschrauben 237 bewegen
sich die Führungsmuttern 239 nach oben oder nach unten
auf ihren zugehörigen Führungsschrauben, die den Schlit
ten 42 tragen, mit dem sie wie oben beschrieben verbun
den sind.
Es versteht sich, daß der Abschnitt des Antriebsgestän
ges 300 in der Nähe des Schafts 246 der Führungsschraube
nicht um die Drehachse 324 des zugehörigen Führungs
schraubenschafts 246 ausgewuchtet ist. Um eine Vibrat
ion, die ansonsten in einem nicht ausgewuchteten System
entstehen kann, werden die oben erwähnten Gegengewichte
322 verwendet. Das Gegengewicht 322 jeder Kupplung 302,
326 ist so ausgebildet und angeordnet, daß seine Masse
die Masse des benachbarten Abschnitts des Antriebsge
stänges 300 um die Drehachse 324 des Schafts 246 aus
gleicht. Es kann angenommen werden, daß jede beliebige
Ausbildung von Gegengewichten verwendet werden kann.
Vorzugsweise werden jedoch Gegengewichte in der gezeig
ten kreisförmigen Form eingesetzt. Weiter sind die
Kupplungen ursprünglich mit einer Gegengewichtsmasse
ausgebildet, die größer als erforderlich ist, die Masse
wird sodann durch Bohren von exakt angeordneten Löchern
340 reduziert.
Der oben beschriebene Mechanismus zum Sichern und Bewe
gen einer Prüfkarte kombiniert die Schaffung einer Vor
richtung 20, die geeignet ist für sehr schnelle Änderun
gen der Position des Schlittens 42 unter Erzeugung im
wesentlichen keiner Vibration. Entsprechend wird der
Durchsatz, also die Anzahl der pro Zeiteinheit geteste
ten Schaltungen erhöht, da eine im wesentlichen vibrat
ionsfreie Trägerbewegung das Erfordernis einer Verzöge
rung von Prüfmessungen bis zum Verschwinden der Vibrat
ion vermieden wird. Eine solche Verzögerung, die als
"Setzzeit" bezeichnet wird, verringert den Durchsatz er
heblich.
Da der oben erwähnte Schlittenantriebsmechanismus (der
Antriebsmotor 330, das Antriebsgestänge 300, die Füh
rungsschraubeneinrichtungen 62 usw.) Positionsänderungen
mit geringen Erhöhungen sehr genau und schnell bewirken
kann, wird der Antriebsmechanismus vorzugsweise durch
ein automatisches Steuersystem angetrieben, das die Ge
schwindigkeit und die Genauigkeit der Vorrichtung voll
nutzt.
Es wird jetzt auf Fig. 8 Bezug genommen. Das Steuersy
stem weist einen programmierbaren Kontroller 350 auf,
der geeignete Schnittstellen aufweist zur Aufnahme von
Positionsdaten, die von zwei Quellen erzeugt werden: Ei
nem Grenzwertschalter 352 und einem Encoder 354. Der
Grenzwertschalter 352 kann jeder geeignete Schalter zur
Erzeugung eines Signals, das die Ruhestellung darstellt,
sein, wobei die Ruhestellung die Position ist, die der
Schlitten 46 (und damit die Prüfkarte 44 immer dann an
nimmt, wenn die Führungsschraubeneinrichtungen 62 ange
trieben werden, um den Schlitten vollständig zurückzu
ziehen weg von einer Schaltung (beispielsweise bei Been
digung des Testvorgangs). Vorzugsweise weist der End
schalter 352 einen optischen Sensor 356 und ein flaches
Indexelement 358 auf.
Der Sensor 356, etwa ein OPB 82157, wie er von TRX von
Carrollton, Texas, gefertigt wird, ist auf der Untersei
te 336 der Grundplatte 36 der Vorrichtung montiert. Der
Sensor 356 ist so ausgebildet, das er das nach oben ra
gende Indexelement 350 aufnimmt, das an der oberen Flä
che 97 der Trägerplatte 50 montiert ist. Das Indexele
ment 358 wird von dem Sensor 356 detektiert, immer wenn
der Schlitten 46 zurückgezogen wird. Das Vorhandensein
des Indexelements 356 in dem Sensor 354 wird dem Kon
troller 350 über einen Leiter 360 sofort gemeldet.
Weitere Positionsdaten werden, wie bereits erwähnt,
durch einen üblichen Encoder 354 erzeugt, der an dem Bo
den des Antriebsmotors 330 befestigt ist und von der Mo
torwelle 338 angetrieben wird. Ein geeigneter Encoder
ist ein RENCO, Modell R-802. Der Ausgang des Encoders
354 korreliert die Position der Motorwelle 338 (und da
mit die Position des Schlittens 42) und wird dem Kon
troller 350 über einen Leiter 362 übertragen.
Der Kontroller 354 ist zur Steuerung der Schlittenbewe
gung in Übereinstimmung mit der Ausbildung der Schaltung
30, die von dem Substrat getragen wird, das in der Test
position unterhalb der Sonden 32 ist, steuert. Diesbe
züglich erzeugt der Kontroller 350 Spannungssignale mit
einer positiven oder einer negativen Ausgangsspannung
(die Polarität des Spannungssignals ist von der Richtung
abhängig, in der der Motor 33 angetrieben wird), das
über eine Leitung 364 auf einen Leistungsverstärker 366
aufgebracht, dessen Ausgang den Motor 330 antreibt.
Vorzugsweise wird das Programm, das den Kontroller 350
antreibt, von einem Wirtsrechner geliefert, in dessen
Speicher eine Mehrzahl von Programmen entsprechend ver
schiedener Ausbildungen der Schaltungen gespeichert
sind. Diesbezüglich kann angenommen werden, daß für eine
gegebene Schaltung 30 die Sonden 32 nach der Prüfung
eingezogen sein müssen, um eine Zerstörung einer geprüf
ten Schaltung zu verhindern, die durch eine andere er
setzt wird, abhängig von der maximalen Höhe der Bauele
mente der Schaltung, die von dem Substrat getragen wer
den. Entsprechend kann für jeden Posten von Schaltungen,
die durch die Vorrichtung nach der vorliegenden Erfin
dung verarbeitet werden, ein Steuerprogramm vorgesehen
sein, um den Betrag der Schlittenbewegung, die erforder
lich ist, damit eine Zerstörung durch einen Kontakt der
Sonden mit den Bauelementen der Schaltung vermieden
wird, wenn die geprüfte Schaltung durch eine ungeprüfte
Schaltung ersetzt wird. Eine Minimierung der Bewegung
des Schlittens erhöht den Durchsatz der geprüften Schal
tungen.
Die in der vorstehenden Beschreibung, in der Zeichnung
sowie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfin
dung können sowohl einzeln als auch in beliebigen Kombi
nationen für die Verwirklichung der Erfindung in ihren
verschiedenen Ausführungsformen wesentlich sein.
Bezugszeichenliste:
20 Prüfkartenvorrichtung
22 Arbeitsfläche
24 Handhabungselement
28 Substrat
30 Schaltung
31 Spitzen
32 Prüfsonde
34 Metallrahmen
36 Grundplatte
39 Stützwand
40 Vorsprung
42 Schlitten
44 Prüfkarte
50 Trägerplatte
52 Öffnung
54 Zunge
56 Ecke
60 Träger
62 Führungsschraubeneinrichtung
64 Ende
66 Ende
68 Bohrung
70 Befestigungselement
72 Ecke
76 Prüfkartenplatte
77 Winkel
78 Klemmeinrichtung
79 Öffnung
80 Flügelmutter
81 Bolzen
82 Ecke
84 Bohrung
86 Lagerführung
87 Kante
88 Ringlager
92 Mittelpunkt
94 Ende
95 Abschnitt
96 Ende
97 obere Fläche
98 Schulter
104 Ecke
108 Bohrung
110 Achse
112 Scheibe
114 Scheibe
116 Mutter
117 Oberfläche
118 Unterseite
119 Schulterschraubeneinrichtung
120 Schraube
121 Gewindebohrung
122 mittlerer Abschnitt
123 Schlitz
124 Scheibe
125 Scheibe
126 Scheibe
128 Stift
130 Stift
134 Hebel
140 Klemmelement
142 Basis
144 Bein
146 Bein
148 Befestigungselement
150 Kopf
152 Fläche
154 Klemmelement
156 Körper
158 Fuß
160 Oberfläche
162 Ausnehmung
164 Ausnehmung
166 Rand
170 Zeh
172 Klemmfläche
174 Lagerfläche
176 Befestigungselement
177 Lagerfläche
180 Kopf
184 Bohrung
186 Bohrung
188 Bohrung
194 Kammer
196 Abschnitt
198 Feder
200 Stift
202 Ende
204 Öffnung
210 Griff
210 Greifelement
214 Träger
216 Befestigungselement
222 Gehäuse
224 Unterseite
226 Flansch
232 Fenster
237 Führungsschrauben
238 Lager
239 Mutter
241 Einrichtung
244 Lager
246 Schaft
250 Abschnitt
252 Abschnitt
254 Balg
256 Balg
258 Kappe
262 Mutter
264 Bohrung
265 Schraube
266 Kappe
270 Muffe
272 Stellschraube
276 Kappe
278 Mutter
280 Bohrung
282 Schraube
284 Kappe
286 Mutter
288 Bohrung
290 Schraube
300 Antriebsgestänge
302 Kupplung
304 Bohrung
306 Bohrung
308 Stellschraube
310 Pfosten
314 Rippe
316 Lager
318 Kombination
320 Öffnung
322 Gegengewicht
324 Vorsprung (Achse)
326 Kupplung
328 Bohrung
330 Antriebsmotor
332 Befestigungselement
334 Höhlung
336 Unterseite
338 Antriebswelle
340 Bohrung
350 Steuersystem
352 Schalter
354 Encoder
356 Sensor
358 Indexelement
360 Leiter
362 Leiter
364 Leiter
366 Verstärker
22 Arbeitsfläche
24 Handhabungselement
28 Substrat
30 Schaltung
31 Spitzen
32 Prüfsonde
34 Metallrahmen
36 Grundplatte
39 Stützwand
40 Vorsprung
42 Schlitten
44 Prüfkarte
50 Trägerplatte
52 Öffnung
54 Zunge
56 Ecke
60 Träger
62 Führungsschraubeneinrichtung
64 Ende
66 Ende
68 Bohrung
70 Befestigungselement
72 Ecke
76 Prüfkartenplatte
77 Winkel
78 Klemmeinrichtung
79 Öffnung
80 Flügelmutter
81 Bolzen
82 Ecke
84 Bohrung
86 Lagerführung
87 Kante
88 Ringlager
92 Mittelpunkt
94 Ende
95 Abschnitt
96 Ende
97 obere Fläche
98 Schulter
104 Ecke
108 Bohrung
110 Achse
112 Scheibe
114 Scheibe
116 Mutter
117 Oberfläche
118 Unterseite
119 Schulterschraubeneinrichtung
120 Schraube
121 Gewindebohrung
122 mittlerer Abschnitt
123 Schlitz
124 Scheibe
125 Scheibe
126 Scheibe
128 Stift
130 Stift
134 Hebel
140 Klemmelement
142 Basis
144 Bein
146 Bein
148 Befestigungselement
150 Kopf
152 Fläche
154 Klemmelement
156 Körper
158 Fuß
160 Oberfläche
162 Ausnehmung
164 Ausnehmung
166 Rand
170 Zeh
172 Klemmfläche
174 Lagerfläche
176 Befestigungselement
177 Lagerfläche
180 Kopf
184 Bohrung
186 Bohrung
188 Bohrung
194 Kammer
196 Abschnitt
198 Feder
200 Stift
202 Ende
204 Öffnung
210 Griff
210 Greifelement
214 Träger
216 Befestigungselement
222 Gehäuse
224 Unterseite
226 Flansch
232 Fenster
237 Führungsschrauben
238 Lager
239 Mutter
241 Einrichtung
244 Lager
246 Schaft
250 Abschnitt
252 Abschnitt
254 Balg
256 Balg
258 Kappe
262 Mutter
264 Bohrung
265 Schraube
266 Kappe
270 Muffe
272 Stellschraube
276 Kappe
278 Mutter
280 Bohrung
282 Schraube
284 Kappe
286 Mutter
288 Bohrung
290 Schraube
300 Antriebsgestänge
302 Kupplung
304 Bohrung
306 Bohrung
308 Stellschraube
310 Pfosten
314 Rippe
316 Lager
318 Kombination
320 Öffnung
322 Gegengewicht
324 Vorsprung (Achse)
326 Kupplung
328 Bohrung
330 Antriebsmotor
332 Befestigungselement
334 Höhlung
336 Unterseite
338 Antriebswelle
340 Bohrung
350 Steuersystem
352 Schalter
354 Encoder
356 Sensor
358 Indexelement
360 Leiter
362 Leiter
364 Leiter
366 Verstärker
Claims (13)
1. Prüfkartenvorrichtung zum Bewegen einer Prüfkarte
in Richtung hinzu und weg von einer Schaltung, gekenn
zeichnet durch
- a) einen Rahmen (34),
- b) einen Schlitten (42), der zum Halten einer Prüfkarte (44) eingerichtet ist,
- c) eine Führungsschraube (237), die an dem Rahmen (34) befestigt und mit dem Schlitten (42) ver bunden ist, so daß eine Drehung der Führungs schraube (237) den Schlitten (42) in eine von zwei entgegengesetzten Richtungen in Abhängig keit von der Drehrichtung der Führungsschraube (237) bewegt; und
- d) Antriebsmittel, die zum Drehen der Führungs schraube (237) in eine der entgegengesetzten Richtungen steuerbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei zwei oder mehr
Führungsschrauben (237) an dem Rahmen (34) befestigt
und mit dem Schlitten (42) zu dessen Bewegung verbunden
sind, und wobei die Antriebsmittel einen Motor (330)
und ein festes Antriebsgestänge (300) aufweisen, das
die Führungsschrauben (237) und den Motor (330) zur
Übertragung der Drehbewegung von dem Motor (330) zu dem
Führungsgestänge (237) aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, weiter mit Kupplungen
(302) zum Verbinden jeder der Führungsschrauben (237)
mit dem Antriebsgestänge (300), wobei die Kupplungen
(302) einen Gegengewichtabschnitt (322) haben, der aus
gebildet und angeordnet ist zum Auswuchten der Dreh
kräfte, die auf die Führungsschrauben (237) aufgebracht
werden.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeich
net, daß jede Kupplung (302) ein Pfostenelement (310)
aufweist, wobei das Antriebsgestänge (300) drehbar auf
dem Pfostenelement (310) um eine zu der Drehachse der
Führungsschraube (237) exzentrische Achse drehbar ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
weiter mit einer programmierbaren Steuereinheit (350),
die mit dem Antriebsmittel (330) verbunden ist zur
Steuerung des Betrags und der Drehrichtung der Füh
rungsschraube (237), wobei der Betrag und die Richtung
der Drehung der Führungsschraube (237) der Ausbildung
der Bauelemente der Schaltung (30) entsprechend gesteu
ert wird.
6. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das Antriebsmittel einen
Motor (330) und ein festes Antriebsgestänge (300) auf
weist, das die Führungsschraube (237) und den Motor
(330) zur Übertragung der Drehgeschwindigkeit von dem
Motor (330) zu der Führungsschraube (237) aufweist.
7. Prüfkartenvorrichtung zum Bewegen einer Prüfkarte
(44) relativ zu einer benachbart dieser angeordneten
Schaltung (30), wobei die Schaltung eine typische Achse
hat, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (20)
aufweist:
- a) einen Rahmen (34);
- b) einen auf dem Rahmen (34) montierten und zum Tragen einer Prüfkarte (44) eingerichteten Schlitten (42), wobei der Schlitten (42) Justiermittel zum Ändern der Position der Prüfkarte (44) in Entsprechung mit der Aus richtung der charakteristischen Achse der Schaltung (30) relativ zu dem Schlitten (42) aufweist; und
- c) Schlittenantriebsmittel zur Hin- und Herbewe gung des Schlittens (42) und der Prüfkarte (44) hinzu und weg von der Schaltung (30).
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei der Schlitten
(42) eine im wesentlichen flache Trägerplatte (50) und
eine im wesentlichen flache Prüfkartenplatte (76) auf
weist, wobei die Prüfkartenplatte (76) beweglich auf
der Trägerplatte (50) montiert ist und eine Klemmein
richtung (78) zur lösbaren Befestigung der Prüfkarte
(44) an der Prüfkartenplatte (76) aufweist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeich
net, daß die Trägerplatte (50) einen Mittelpunkt hat
und die Prüfkartenplatte (76) einen Mittelpunkt hat,
wobei der Schlitten (42) Montagemittel zum Montieren
der Prüfkartenplatte (76) an der Trägerplatte (50) der
art aufweist, daß der Mittelpunkt der Trägerplatte (50)
und der Prüfkartenplatte (76) in einer Achse ausgerich
tet sind, wobei die Montagemittel derart ausgebildet
sind, daß die Prüfkartenplatte (76) einstellbar um die
Achse (110) drehbar ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, mit Sicherungsmitteln
zum Sichern der Prüfkartenplatte (76) an der Träger
platte (50) unter Erlauben einer Drehung der Prüfkar
tenplatte (76).
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß die Klemmeinrichtung (78)
eine feste (174) und eine bewegliche Oberfläche (172)
zum Klemmen des Randes (166) einer Prüfkarte (44) zwi
schen sich aufweisen, wobei die Klemmeinrichtung (78)
derart ausgebildet sind, daß die bewegliche Oberfläche
(172) eine Klemmkraft auf die Prüfkarte (44) ausübt,
wobei die Resultierende der Kraft durch die feste Ober
fläche (174) gerichtet ist.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, ge
kennzeichnet durch eine Klemmeinrichtung, die an dem
Schlitten (42) angebracht sind zum Sichern einer Prüf
karte (40) an dem Schlitten (42) immer dann, wenn eine
Prüfkarte (40) in dem Klemmraum positioniert ist, der
durch die Klemmeinrichtung definiert wird, wobei die
Klemmeinrichtung Aufnahmemittel zum Verhindern des Her
ausfallens der Prüfkarte (40) aus dem Klemmraum auf
weist.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 12, ge
kennzeichnet durch einen Handgriff (210), der an einer
Prüfkarte (44) angebracht werden kann und zum Stoßen
der Klemmeinrichtung ausgebildet ist, immer wenn sich
die Prüfkarte (44) an einem bestimmten Ort in dem
Klemmraum befindet.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/247,088 US4935694A (en) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | Probe card fixture |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3931305A1 true DE3931305A1 (de) | 1990-03-29 |
DE3931305C2 DE3931305C2 (de) | 1995-06-29 |
Family
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
DE3931305A Expired - Fee Related DE3931305C2 (de) | 1988-09-20 | 1989-09-20 | Prüfsondenkartenhalterung |
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JP (1) | JPH02163677A (de) |
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8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |