DE4036967A1 - Anordnung zum lesen von strichcodes - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Lesen von Strichcode-Markierungen, die auf stark spiegelnden Oberflä­ chen erscheinen, wobei von den Zwischenräumen und Strichen des Codes die eine hohe Spiegelwirkung und die anderen geringen Kontrast haben.

Die für die Herstellung integrierter Schaltungen verwende­ ten Siliziumwafer sind zu Anfang der Produktion einfache kreisrunde Scheiben relativ geringen Wertes. Nach einer Reihe von Produktionsschritten, die zur Bildung einer vollständigen integrierten logischen Schaltung auf dem Wafer erforderlich sind, wird die Scheibe sehr viel wert­ voller; ihr Wert kann dann das 300- bis 400-fache (bis zu 18 000 US-Dollar) ihres Anfangswertes (nur etwa 50 US- Dollar) betragen. Während des Produktionsablaufs werden die Wafer nach ihrer Qualität sortiert und getrennt: die Stücke höherer Qualität werden zur Verwendung für Bauelemente höherer Zuverlässigkeit ausgesondert, während die Stücke geringerer Qualität für andere Anwendungszwecke gekenn­ zeichnet werden. Um die Qualität einzelner Siliziumwafer genau zu bestimmen, wird ein kompliziertes Klassifizie­ rungssystem verwendet, so daß der Laufweg dieser Wafer besser durch ein automatisches System als durch den Menschen verfolgt oder gesteuert werden kann. Für eine automatische Laufwegsteuerung einzelner Stücke kann ein Strichcodesystem verwendet werden, jedoch ergeben sich im Falle von Siliziumwafern wegen der stark spiegelnden Natur der Wafer große Schwierigkeiten mit einem normalen Strich­ code-Lese- und Erfassungssystem. Die spiegelnde Oberfläche des Wafers reflektiert ein derart starkes Signal zum Strichcode-Detektor, daß die Einrichtung zum Lesen der Strichcodeinformation überbelastet wird. Von den Zwischen­ räumen oder Lücken zwischen den in einen Siliziumwafer geätzten Strichen wird so viel Licht reflektiert, daß die von den Strichcodesegmenten selbst kommenden Signale gleichsam erdrückt werden. Dies passiert, wenn der Verstär­ ker im Detektor durch die große Lichtmenge, die aus den Zwischenräumen zwischen den Strichen kommt, in die Sätti­ gung getrieben wird und sich aus jedem Sättigungszustand nicht schnell genug erholen kann, um die Strichinformation zwischen den Zwischenräumen genau zu lesen.

Ein möglicher Weg zur Lösung dieses Problems besteht darin, den Siliziumwafer leicht zu neigen, so daß der größte Teil des reflektierten Lichts nicht zum Detektor zurückkehrt. Ein Problem bei dieser Lösung ist jedoch, daß sich große Unterschiede in der zum Detektor gesendeten Lichtmenge ergeben, wenn die Spiegelwirkung der Oberfläche aufeinan­ derfolgender Wafer oder der Winkel, unter dem sie abgelesen werden, nur sehr leicht schwankt. Außerdem wird der aller­ größte Teil (bis zu 99%) des von der spiegelnden Oberfläche abgeworfenen Lichtes rein reflektiert und nicht abgebeugt. Somit ist das restliche abgebeugte Licht, das von einer geneigten Oberfläche zurückkehren würde, sehr schwach und schwer von dem ebenfalls schwachen Signal zu unterscheiden, das von den Strichen des Strichcodes abgebeugt wird. Infol­ gedessen ist der Kontrast zwischen einem Zwischenraum und einem Strich gering. Wenn man also diese Technik zum Lesen von Wafers anwendet, kann die Lesegenauigkeit auf etwa 8% absinken.

Die Unterdrückung von Spiegelreflexion beim Lesen von Strichcodes ist in der US-Patentschrift 38 12 374 behan­ delt. Diese Patentschrift beschreibt die Verwendung von Kreuzpolarisation zur Eliminierung von Blendungen, die durch Spiegelreflexion an glänzenden Filmen verursacht wird, die über die Striche und Zwischenräume gelegt sind. Im Falle der besagten Patentschrift ist also das Problem ein glänzender spiegelnder Film, der sowohl die Striche als auch die dazwischenliegenden Zwischenräume oder Lücken überdeckt. Im Falle von Siliziumwafern sind aber die Zwischenräume oder Lücken stark spiegelnd, während die Striche wesentlich weniger spiegeln.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein verbessertes und äußerst zuverlässiges Strichcode-Lesesy­ stem zu schaffen, das z. B. für Siliziumwafer geeignet ist. Das Lesesystem soll insbesondere ein verbessertes Signal/Rausch-Verhältnis in demjenigen Fall bringen, wo die Zwischenräume des Strichcodes im Vergleich zu den Strichen stark spiegeln. Der Unterschied zwischen dem durch einen Strich verursachten Signal und dem durch einen Zwischenraum verursachten Signal soll groß sein, und eine Sättigung des Systems durch Spiegelreflexion soll verhindert werden. Schließlich soll das System so arbeiten, daß normale Änderungen der Spiegelwirkung und des Einfallswinkels am Wafer das Strichcodesignal nicht wesentlich beeinflussen.

Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß sich ein sehr effektives Strichcode-Lesesystem für stark spiegelnde Oberflächen, wie man sie z. B. an Siliziumwafern findet, dadurch erhalten läßt, daß man Kreuzpolarisation anwendet, um die Spiegelreflexion an den Lücken in einem Strichcode praktisch vollständig zu unterdrücken, und daß man eine Verstärkung mit hohem Verstärkungsfaktor benutzt, um die Signaldarstellung der Striche hervorzuheben, und daß man dieses Signal dann notwendigenfalls invertiert, um es mit dem Decodierungssystem zu lesen.

Eine erfindungsgemäße Anordnung zum Lesen von Strichcode- Markierungen, die stark spiegelnde Zwischenräume und "kontrastarme" oder "matte" Striche aufweisen, enthält eine Einrichtung zum Beleuchten einer Strichcode-Markierung mit einer Strahlung, die in einer ersten Richtung polarisiert ist. Eine Vorrichtung zum Empfang von Strahlung in einem primären Zustand, wie sie von den Strichcode-Markierungen reflektiert wird, enthält eine Einrichtung zum Blockieren von Strahlung, die in der ersten Richtung polarisiert und repräsentativ für die Zwischenräume ist, und zum Durchlas­ sen anderer Strahlung, die repräsentativ für die Striche ist, wodurch ein Strahlungsmuster erhalten wird, in welchem die Darstellung der Striche und Zwischenräume in einen sekundären Zustand invertiert ist. Eine Einrichtung zum Erfassen des von der Blockierungsvorrichtung durchgelasse­ nen Strahlungsbildes erzeugt ein die Striche und die Zwischenräume darstellendes Signal, wobei die Stärke des die stark spiegelnden Zwischenräume darstellenden Signals wesentlich vermindert ist. Des weiteren ist eine Einrich­ tung zum Bestimmen der Breite der die Striche darstellenden und der die Zwischenräume darstellenden Bereiche vorgese­ hen, und schließlich noch eine Einrichtung, welche die für die Striche und die Zwischenräume charakteristischen Breiten auswertet, um die im Strichcode enthaltene Information zu gewinnen.

In einer bevorzugten Ausführungsform kann die Erfassungs­ einrichtung eine Verstärkereinrichtung enthalten, um das Signal in seinem sekundären Zustand zu verstärken und dadurch den Kontrast zwischen den Zwischenräumen und den Strichen zu erhöhen. Die Erfassungseinrichtung kann ferner einen Analog/Digital-Wandler enthalten, um das besagte Signal in seinem sekundären Zustand aus seiner Analogform in eine Digitalform zu bringen. Die Erfassungseinrichtung kann auch eine Invertierungseinrichtung enthalten, um den Wert des besagten Digitalsignals von einem dem sekundären Zustand entsprechenden Wert zurück in einen dem primären Zustand entsprechenden Wert zu bringen. Die Einrichtung zum Bestimmen der Breite kann eine Strichcode-Zeitbestimmungs­ logik enthalten, um das von der Erfassungseinrichtung gelieferte Digitalsignal in eine Reihe numerischer Werte umzuwandeln. Die Einrichtung zum Auswerten der Breiten kann eine Decodierungsschaltung enthalten, um die numerischen Werte, die von der Einrichtung zur Breitenbestimmung geliefert werden, in einen lesbaren Code umzuwandeln, der kennzeichnend für den mit dem Strichcode versehenen Gegen­ stand ist. Die Strichcode-Zeitbestimmungslogik kann Inver­ tierungseinrichtungen enthalten, um die Werte des Digital­ signals von einem dem sekundären Zustand entsprechenden Wert zurück in einen dem primären Zustand entsprechenden Wert zu bringen. Die Beleuchtungseinrichtung kann ein polarisiertes Laserstrahlgerät enthalten und Mittel aufwei­ sen, um die Strahlung linear oder zirkular zu polarisieren.

Weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen für den Fachmann aus nachstehender Beschreibung hervor, in der eine bevorzugte Ausführungsform anhand von Zeichnungen erläutert wird:

Fig. 1 ist ein Blockdiagramm einer erfindungsgemäßen Anordnung zum Lesen von Strichcodes;

Fig. 2 ist ein ausführlicheres Diagramm der Anordnung nach Fig. 1 und

Fig. 3 ist ein Zeitdiagramm des Strichcodesignals an verschiedenen Punkten der in Fig. 2 gezeigten Anordnung.

Das in Fig. 1 dargestellte Strichcode-Lesesystem enthält eine polarisierte Strahlungsquelle 1, einen stationären Spiegel 16, einen oszillierenden Spiegel 18, ein Objekt mit abwechselnd spiegelnden und kontrastarmen oder matten Bereichen 2, eine Optik 3 zur Blockierung polarisierter Strahlung 14, einen Lichtdetektor 4, der ein elektrisches Ausgangssignal 22 liefert, eine Schaltung 5 zur Breitenbe­ stimmung des Signals 22 und einen Decodierer 6, der aus einem eingangsseitig zugeführten Breitensignal 26 eine Information 7 gewinnt.

Polarisierte Strahlung 8, die aus der Beleuchtungsquelle 1 kommt und z. B. wie dargestellt in der Richtung 11 linear polarisiert ist, wird vom stationären Spiegel 16 in einem 90°-Winkel gegenüber der Einfallsrichtung reflektiert. Die reflektierte Strahlung 9 wird dann durch Reflexion am oszillierenden Spiegel 18 wiederum um 90° gegenüber der Auftreffrichtung umgelenkt, um dann in ungefähr derselben Winkelrichtung wie bei ihrem anfänglichen Weg aus der Quelle weiterzulaufen. Der Spiegel 18 wird mechanisch angetrieben, so daß er mit einer konstanten Frequenz um eine Drehachse 19 oszilliert. Infolge der Bewegung des Spiegels oszilliert die von ihm reflektierte Strahlung 12 um einen mittleren Weg, so daß sie bei ihrem Auftreffen auf die Oberfläche spiegelnder und kontrastarmer Bereiche 2 diese Bereiche überkreuzt, welche somit ein wechselndes zeitabhängiges Muster starker und schwacher Strahlung 13 reflektieren, je nachdem, ob der gerade überkreuzte Bereich stark spiegelt oder kontrastarm ist. Die reflektierte Strahlung ist sehr stark für einen Bereich hoher Spiegel­ wirkung und sehr schwach für einen Bereich geringen Kontrastes. Aus der Reflexion an der Oberfläche 2 ergibt sich sowohl polarisierte als auch gebeugte Strahlung, wobei die polarisierte Strahlung jedoch um Größenordnungen stärker ist, insbesondere, wenn die Strahlung von einem spiegelnden Bereich der Oberfläche reflektiert worden ist.

Dieses Strahlungsmuster 13 wird wiederum am oszillierenden Spiegel 18 um einen Winkel von ungefähr 90° umgelenkt. Das resultierende zeitabhängige Strahlungsmuster 14 ist so breit, daß der im Weg dieser Strahlung liegende Spiegel 16 die Musterkomposition nicht wesentlich stört, wenn sie die Optik 3 erreicht, die jede polarisierte Strahlung blockiert. Vor der Blockierung ist das Strahlungsmuster in einem primären Zustand 51, in welchem die von spiegelnden Bereichen reflektierte Strahlung einen sehr hohen Ausgangs­ wert hat, während die von kontrastarmen Bereichen reflek­ tierte Strahlung eine niedrige Ausgangsgröße hat. Nach der Blockierung nimmt das Strahlungsmuster 20 einen sekundären Zustand 52 an, bei welchem alle polarisierte Strahlung eliminiert ist und somit nur gebeugte und nicht­ polarisierte Strahlung durchkommt. Das Resultat ist ein Muster, welches gegenüber dem primären Zustand invertiert ist, weil von spiegelnden Bereichen sehr wenig gebeugte und nicht-polarisierte Strahlung kommt, während von den kontrastarmen Bereichen wesentlich mehr gebeugte und nicht­ polarisierte Strahlung zurückgeworfen wird. Gemessen mit einem Relativ-Maßstab ist also das Strahlungs-Ausgangs­ signal für kontrastarme Bereiche hoch und für stark spiegelnde Bereiche niedrig.

Dieses invertierte Muster 20 trifft auf einen Strahlungsde­ tektor 4, der die Strahlung in ein entsprechenes elektri­ sches Signal 22 umwandelt, welches an die Breitenbestim­ mungsschaltung 5 übertragen wird. Diese Schaltung setzt das Detektorsignal 22 in ein Signal um, welches die jeweiligen gegebenen Breiten der kontrastarmen und der stark spiegeln­ den Bereiche darstellt. Dieses Breitensignal 24 wird seinerseits auf einen Decoder 6 gegeben, der einen vorbe­ stimten Algorithmus durchführt, um die Information 7 zu liefern, die durch die Abtastung der Oberfläche erhalten werden soll.

Die Fig. 2 zeigt ein ausführlicheres Blockdiagramm der in Fig. 1 dargestellten Anordnung, wobei ein polarisierter Laser 28 als Beleuchtungsquelle dient. Das polarisierte Licht vom Laser 28 wird an den Spiegeln 16 und 18 reflek­ tiert, um mit einer festen Frequenz eine Oberfläche zu überstreichen, die stark spiegelnde und kontrastarme Bereiche aufweist, und zwar in Form eines Strichcodes 23 aus abwechselnden Abschnitten hoher Spiegelwirkung 82 und niedrigen Kontrastes 80. Im Prinzip ist es gleichgültig, ob die Striche spiegelnd und die Zwischenräume kontrastarm sind oder ob es umgekehrt ist, solange irgendein Wechselmu­ ster stark spiegelnder und kontrastarmer Abschnitte vorhan­ den ist. Das vom abgetasteten Strichcode zurückgeworfene Lichtmuster (nun ein zeitabhängiges Hoch-Niedrig-Lichtsi­ gnal) trifft wieder auf den oszillierenden Spiegel 18, der es um ungefähr 90° in eine Richtung umlenkt, wo es von optischen Bauteilen empfangen wird, welche die Blockie­ rungseinrichtung 3 bilden, die hier ausführlicher gezeigt ist. Das Licht trifft zunächst auf einen Kreuzpolarisator 34, der nur nicht-polarisiertes Licht durchläßt. Es ist wichtig, daß die Eingangsöffnung des Kreuzpolarisators genügend groß ist, um zu verhindern, daß der oszillierende Spiegel das zurückkehrende Licht 62 zu irgendeiner Zeit über diese Öffnung hinaus ablenkt. Dieses Licht 62 wird dann zu einem Bandpaßfilter 36 durchgelassen, welches Wellenlängen des zum Durchlaß erlaubten Lichtes dämpft, so daß jegliches unerwünschtes gebrochenes Licht und alle äußere Hintergrundstrahlung blockiert wird. Das gefilterte Licht 64 wird dann durch eine Fokussierungslinse 38 fokussiert. Der fokussierte Lichtstrahl 66 wird von einem Detektor 40 empfangen, der eine PIN-Diode sein kann. Der Detektor erzeugt als Reaktion auf das Licht ein entspre­ chenes elektrisches Signal 50 abwechselnd positiver und negativer Spannung, das in einem Verstärker 42 verstärkt wird, um den Kontrast zwischen hohen und niedrigen Ausgangswerten zu verbessern und außerdem das Signal ganz in den Bereich positiver Spannung zu bringen. Dieses verstärkte Signal 52 wird von einem Analog/Digital-Wandler 44 empfangen, der ein entsprechendes Digitalsignal 54 erzeugt, in welchem die hohen und niedrigen Werte des Analogsignals einer zeitabhängigen hohen oder niedrigen Digitalspannung zugeordnet werden. Dabei kann ein hoher Analogwert einem hohen Digitalwert und ein niedriger Analogwert einem niedrigen Digitalwert entsprechen, oder umgekehrt. Dieses Digitalsignal wird dann durch einen Inverter 46 invertiert, um den Signalwert in einen primären Zustand zurückzubringen, so daß er dem vom Strichcode 32 reflektierten Licht entspricht. Dieses invertierte Signal 56 wird dann an die Strichcode-Zeitbestimmungslogik 48 übertragen, welche die Standard-Breitenwerte für die den Strichcode 32 bildenden Segmente 80 bestimmt.

Die vom Inverter 46 durchgeführte Invertierungsfunktion kann in die Strichcode-Zeitbestimmungslogik einbezogen werden, um eine einzige Funktionsschaltung 70 zu erhalten. Eine getrennte Durchführung der Invertierung ist jedoch vorzuziehen, weil dann eine handelsübliche Strichcode- Zeitbestimmungslogik in Standardausführung verwendet werden kann. Das Signal der Breitenwerte 24 wird dann auf den Decoder 6 gegeben, worin diese Breitenwerte in die Strich­ codeinformation 7 umgesetzt werden.

Die Fig. 3 zeigt ein Beispiel für den zeitlichen Signalver­ lauf an den Ausgängen verschiedener Stufen innerhalb der Anordnung. Ganz oben ist ein Strichcode 90 gezeichnet, wobei abwechselnde helle und dunkle Bereiche die Bereiche hoher Spiegelwirkung 110 bzw. die kontrastarmen Bereiche 112 darstellen. Beim gezeigten Beispiel hat das Detektor- Ausgangssignal 92 einen hohen Wert 114, wenn ein kontrastarmer Bereich abgetastet wird. Dieses Detektor- Ausgangssignal kann auch umgekehrt erscheinen, d. h. es kann für kontrastarme Bereiche niedrigen Wert und für spiegelnde Bereiche hohen Wert haben. Wichtig ist nur, daß für spiegelnde Bereiche und für kontrastarme Bereiche jeweils unterschiedliche Signalwerte (hoch oder tief) vom Detektor erzeugt werden.

Das Detektor-Ausgangssignal 92 wird in die Form eines verstärkten Signals 94 gebracht, dessen Spannungswerte vollständig im positiven Bereich liegen und dessen Spitze- Spitze-Amplitude 132 größer ist als die Spitze-Spitze- Amplitude 130 des Detektor-Ausgangssignals 92.

Das verstärkte Signal 94 wird an einen Analog/Digital- Wandler gelegt, um ein Digitalsignal 96 zu erzeugen. Beim gezeigten Beispiel entspricht eine hohe Analogsignalampli­ tude 140 einem hohen +5-Volt-Digitalsignal 152, während eine niedrige Analogsignalamplitude 142 einem niedrigen Digitalsignal 150 von (ungefähr) 0 Volt entspricht. Das digitale Ausgangssignal 96 des Analog/Digital-Wandlers wird dann invertiert, um der Forderung Rechnung zu tragen, das Signal in einen Primärzustand entsprechend dem von den Strichcode-Segmenten reflektierten Licht zurückzubringen, so daß das invertierte Signal 98 erhalten wird. Der hohe Wert 160 von ungefähr +5 Volt des invertierten Signals entspricht einem niedrigen Wert 150 von ungefähr 0 Volt im Ausgangssignal des Analog/Digital-Wandlers. Umgekehrt entspricht der niedrige Wert 162 von (ungefähr) 0 Volt des invertierten Signals einem hohen Wert 152 von +5 Volt im Ausgangssignal des Analog/Digital-Wandlers.

Dieses invertierte Signal 98 wird auf die Strichcode- Zeitbestimmungslogik gegeben, die den abwechselnden hohen und niedrigen Abschnitten des Digitalsignals, auf der Basis gemessener Zeit, eine Reihe numerischer Breitenangaben 170, 172 zuordnet.

Die Reihe 100 der numerischen Breitenangaben wird dem Decoder zugeführt, um die Information des Strichcodes 102 zu erhalten.

Wenn auch der Einfachheit halber manche Merkmale der Erfindung in einigen Zeichnungen dargestellt sind und in anderen nicht, so kann doch jedes Merkmal mit einem beliebigen oder mit allen anderen Merkmalen gemäß der Erfindung kombiniert werden. Im Rahmen der Erfindung sind auch andere Ausführungsformen als das dargestellte Beispiel möglich.

Claims (12)

1. Anordnung zum Lesen von Strichcodes, die aus kontrastarmen Strichen und stark spiegelnden Zwischenräumen bestehen, gekennzeichnet durch:
eine Beleuchtungseinrichtung (1) zum Beleuchten einer Strichcode-Markierung (2) mit Strahlung, die in einer ersten Richtung polarisiert ist;
eine Empfangseinrichtung (3), die zum Empfang von Strahlung in einem primären Zustand, so wie sie vom Strichcode reflektiert wird, ausgelegt ist und eine Blockierungseinrichtung enthält, welche die in der ersten Richtung polarisierte und für die Zwischenräume repräsentative Strahlung blockiert und andere, für die Striche repräsentative Strahlung durchläßt, so daß ein Strahlungsmuster entsteht, in welchem die Darstellung der Striche und Zwischenräume in einen zweiten Zustand invertiert ist;
eine Erfassungseinrichtung (4), die zum Erfassen der von der Blockierungseinrichtung durchgelassenen Strahlung angeordnet ist, um ein Signal zu erzeugen, das repräsenta­ tiv für die Striche und die Zwischenräume ist, wobei die Stärke des die stark spiegelnden Zwischenräume repräsentie­ renden Signals wesentlich vermindert ist;
eine Breitenbestimmungseinrichtung (5), die aus dem besagten Signal die jeweilige Breite der die Striche und der die Zwischenräume darstellenden Bereiche bestimmt;
eine Auswerteeinrichtung (6), welche die für die Striche und Zwischenräume bestimmten Breiten auswertet, um die im Strichcode erhaltene Information zu gewinnen.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erfassungseinrichtung (4) eine Verstärkereinrichtung (42) enthält, um das für die Striche und die Zwischenräume repräsentative Signal in seinem sekundären Zustand zu verstärken und dadurch den Kontrast zwischen Strichen und Zwischenräumen zu erhöhen.

3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erfassungseinrichtung (4) einen Analog/Digital- Wandler (44) enthält, um das für die Striche und die Zwischenräume repräsentative Signal in seinem sekundären Zustand aus einem Analogsignal in ein Digitalsignal umzuwandeln.

4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Erfassungseinrichtung (4) eine Invertierungsein­ richtung (46) enthält, um den jeweiligen Wert des Digitalsignals aus einem dem sekundären Zustand entspre­ chenden Wert zurück in einen dem primären Zustand entsprechenden Wert umzuwandeln.

5. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Breitenbestimmungseinrichtung (5) eine Strichcode- Zeitbestimmungslogik (48) enthält, um das von der Erfassungseinrichtung (4) gelieferte Digitalsignal in eine Reihe numerischer Werte umzuwandeln.

6. Anodnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Strichcode-Zeitbestimmungslogik eine Invertierungs­ einrichtung enthält, um den jeweiligen Wert des Digitalsi­ gnals von einem dem sekundären Zustand entsprechenden Wert zurück in einen dem primären Zustand entsprechenden Wert umzuwandeln.

7. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinrichtung (6) eine Decodierungsschaltung enthält, um den von der Breitenbestimmungseinrichtung (5) gelieferten numerischen Wert in einen lesbaren Code umzuwandeln, der kennzeichnend für den mit dem Strichcode versehenen Gegenstand ist.

8. Anodnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (1) ein polarisiertes Laserstrahlgerät enthält.

9. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (1) eine Einrichtung zum linearen Polarisieren von Strahlung enthält.

10. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (1) eine Einrichtung zum zirkularen Polarisieren von Strahlung enthält.

11. Anordnung zum Abtasten von Oberflächen, die abwechselnd stark spiegelnde Bereiche und kontrastarme Bereiche haben, gekennzeichnet durch:
eine Beleuchtungseinrichtung (1) zum Beleuchten einer Oberfläche mit Strahlung, die in einer ersten Richtung polarisiert ist;
eine Empfangseinrichtung (3), die zum Empfang von Strahlung in deren primärem Zustand, so wie sie von der besagten Oberfläche (2) reflektiert wird, angeordnet ist und die eine Blockierungseinrichtung enthält, um Strahlung, die in der ersten Richtung polarisiert und repräsentativ für die stark spiegelnden Bereiche ist, zu blockieren und andere, für die kontrastarmen Bereiche repräsentative Strahlung durchzulassen, so daß ein Signal erzeugt wird, in welchem die Darstellung der stark spiegelnden Bereiche und der kontrastarmen Bereiche in einen zweiten Zustand invertiert ist;
eine Erfassungseinrichtung (4) zum Erfassen der von der Blockierungseinrichtung (3) durchgelassenen Strahlung, um ein für die stark spiegelnden und die kontrastarmen Bereiche repräsentatives Signal zu erzeugen, wobei die Stärke des für die stark spiegelnden Bereiche repräsenta­ tiven Signals wesentlich vermindert ist;
eine Bestimmungseinrichtung (5), die aus dem besagten Signal die Dimensionen der stark spiegelnden und kontrastarmen Bereiche bestimmt;
eine Auswerteeinrichtung (6) zum Auswerten der Dimensionen der stark spiegelnden und der kontrastarmen Bereiche, um die darin enthaltene Information zu gewinnen.

12. Anordnung zum Lesen von Strichcodes, die aus Strichabschnitten und Zwischenabschnitten bestehen, wobei die Abschnitte der einen Art stark spiegelnd sind und die Abschnitte der anderen Art kontrastarm sind, gekennzeichnet durch:
eine Beleuchtungseinrichtung (1) zum Beleuchten eines Strichcodes mit einer Strahlung, die in einer Richtung polarisiert ist;
eine Empfangseinrichtung (3), die zum Empfang von Strahlung in deren primärem, vom Strichcode reflektierten Zustand angeordnet ist und eine Blockierungseinrichtung enthält, um Strahlung, die in der ersten Richtung polarisiert und repräsentativ für die stark spiegelnden Abschnitte sind, zu blockieren und Strahlung durchzulassen, die repräsentativ für die kontrastarmen Abschnitte ist, um ein Strahlungsmuster in einem sekundären Zustand zu erhalten, der gegenüber dem primären Zustand invertiert ist;
eine Erfassungseinrichtung (4) zum Erfassen von Strahlung aus der Blockierungseinrichtung für die Erzeugung eines Strichcodesignals, welches die Strich- und Zwischen­ abschnitte in einem sekundären Zustand darstellt, der gegenüber dem primären Zustand invertiert ist, wobei das die stark spiegelnde Abschnitte darstellende Signal wesentlich reduziert ist;
eine auf das Strichcodesignal ansprechende Einrichtung (5) zum Bestimmen der Breite der Strichabschnitte und der Zwischenabschnitte, um den Strichcode zu decodieren.