DE4111903C2 - - Google Patents

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung und Korrelation lichtmikroskopischer Bilder und nach Wellenlängen aufgelöster Meßdaten von Proben mittels konfokaler, scannender Lichtmikroskopie und Spektrometern.
Es ist bekannt (Applied Physics 22 (1980), p. 119), lichtmikroskopische Aufnahmen von transparenten oder semitransparenten Testobjekten durch scannende Licht­ mikroskopie zu erstellen. Entspricht der Strahlengang dem Prinzip des konfokalen Lichtmikroskops (CLSM), so erhält man sogenannte optische Schnittbilder, d. h. Bilder von einer schmalen Zone um die Fokusebene des Mikroskop-Objektivs. Liegt die Fokusebene innerhalb des untersuchten Objektes, so werden infolge des konfokalen Prinzips die Intensitäten aus den darüber und darunter liegenden Bereichen der Probe weitgehend eliminiert. Seit mehreren Jahren sind Geräte, die nach dem Prinzip arbeiten, kommerziell erhältlich.
Es ist ferner bekannt, Informationen über die chemische Struktur eines Prüfobjektes dadurch zu gewinnen, daß dieses Objekt durch spektroskopische Methoden unter­ sucht wird, insbesondere auch unter Verwendung von Licht aus dein sichtbaren Spektralbereich oder aus Bereichen in der Nähe des sichtbaren Spektrums.
Auch die Kopplung lichtmikroskopischer und spektroskopischer Techniken ist aus der Literatur bekannt:
Bereits von den meisten Herstellern kommerzieller konfokaler Lichtmikroskope realisiert ist das Konzept der Erzeugung von Remissionsbildern im Fluoreszenz­ kontrast. Hierzu wird die Probe mit einer monochromatischen Lichtquelle beleuch­ tet. In den Abbildungsstrahlengang wird ein optisches Filter eingefügt, das das Licht mit der Wellenlänge der Beleuchtungslichtquelle möglichst vollständig zurückhält, so daß nur das längerwellige Fluoreszenzlicht zum Fotoempfänger gelangt.
Aus EP 00 56 426-A2 ist beispielsweise ein Verfahren bekannt, bei dem mittels eines für das von der Probe ausgehende Streulicht empfindlichen Detektors ein sichtbares Bild der abgerasterten Probenfläche erzeugt wird, dem gleichzeitig ein mittels eines auf eine vom Streulicht verschiedene Wellenlänge abgestimmten Detektor Fluoreszenz- oder Raman-Bild der Probe überlagert werden kann. Eine Variante dieses Verfahrens sieht vor, die Rasterung der Probe bei vorgewählten Bildpunkten zu stoppen und von diesen Punkten ein (vollständiges) Spektrum aufzunehmen. Auf diese Weise wird die optimale Wellenlange zur Rasterung der gesamten Probenfläche festgelegt.
Aus der deutschen Offenlegungsschrift DE 24 56 452-A1 ist ferner bekannt, eine Probe ganzflächig oder durch ein Rasterverfahren mittels Laserlichtes zu bestrahlen. Dabei wird die (nicht elastisch) zurückgestreute Strahlung wellenlängenselektiv zur Erzeugung eines Bildes verwendet.
Durch Microscopia Acta 79 (1977), 3, p. 267-276, ist weiter die Ergänzung des Ab­ bildungsstrahlengangs eines konventionellen Lichtmikroskops um einen Spektro­ graphen bekannt, der auf eine bestimmte Raman-Linie einer ausgewählten, im Prüf­ objekt vorhandenen Substanz eingestellt war. Auf diese Weise wird eine mikrosko­ pische Raman-Dunkelfeldaufnahme des Objektes erzeugt. Diese Aufnahme gibt die örtliche Verteilung der ausgewählten Substanz in dem Prüfobjekt wieder.
Aus Nature 347, (20. 09. 1990) p. 301-303, ist bekannt, das Konzept des konfokalen, optischen Strahlengangs zu nutzen, um das vollständige Raman-Spektrum eines kleinen vorwählbaren Meßvolumens innerhalb des Prüfobjektes aufnehmen zu können. Hierzu wird das Prüfobjekt mit einem Laser über eine stationäre Anordnung nach dem Konzept des konfokalen Strahlengangs beleuchtet und das durch die Lochblende des Abbildungsstrahlengangs hindurchgehende Licht in einem Raman- Spektrometer analysiert. Auf diese Weise erhält man das Raman-Spektrum eines ausgewählten Meßvolumens der Größenordnung 1 µm**3.
Nachteile aller dieser in der Literatur bekannten Verfahren der Kopplung lichtmikroskopischer und spektroskopischer Techniken ist, daß die volle Leistungskraft beider Techniken nicht gleichzeitig voll ausgeschöpft wird:
Das bisher übliche Verfahren der konfokalen Fluoreszenzmikroskopie nutzt nur die mittlere vom jeweiligen Meßfilter durchgelassene Fluoreszenzintensität zum Bildaufbau aus. Die Einzelheiten des Fluoreszenz-Spektrums werden dagegen nicht genutzt. Das Verfahren nach Microscopia Acta 79 (1977), 3, p. 267-276, liefert keine dreidimensionalen mikroskopischen Informationen wie die konfokale Lichtmikroskopie, sondern nur zweidimensionale Bilder und verwendet überdies von den in den Raman-Spektren vorhandenen Informationen bei einer Aufnahme jeweils nur diejenigen einer vorher ausgewählten Linie.
Das Verfahren nach Nature 247, p. 301-303, bietet wegen der fehlenden scannenden, mikroskopischen Bilderzeugung ebenfalls keine dreidimensionale mikroskopische Information, wohl aber liefert es das gesamte Raman-Spektrum des untersuchten Probenvolumens.
Es bestand daher die Aufgabe, ein Verfahren der eingangs genannten Art zu finden, das die Ausnutzung der vollen Leistungsfähigkeit konfokaler, scannender Lichtmikroskope und spektrometrischer Methoden zuläßt.
Die Aufgabe wurde dadurch gelöst, daß folgende Schritte durchgeführt werden:
  • a) ein- oder zweimalige Abtastung einzelner Elemente der abzubildenden Probenfläche mit einem konfokalen, scannenden Lichtmikroskop;
  • b) Einkoppeln eines Teiles des Lichtes aus dem Abbildungsstrahlengang in ein Spektrometer zur Erzeugung der spektroskopischen Meßdaten;
  • c) Einkoppeln des anderen Teiles des Lichtes aus den Abbildungsstrahlengang in einen Fotoempfänger zur Gewinnung der Bildinformation;
  • d) Korrelation der Bildinformation mit den spektroskopischen Meßdaten durch Abspeicherung der spektroskopischen Meßdaten in einem zweidimensionalen Bereich, wobei eine Dimension zur Speicherung des gemessenen Spektrums der einzelnen Elemente verwendet wird und die zweite Dimension mittels der von den abgetasteten Elementen remittierten Lichtintensität oder eines aus der Gesamtinformation des Probenbildes mittels Bildverarbeitung gewonnenen Kriteriums angesteuert wird.
Bevorzugte Durchführungsformen sind den Unteransprüchen zu entnehmen.
Als konfokales, scannendes Lichtmikroskop sind alle Anordnungen geeignet, bei denen der Probenausschnitt mit einem fokussierenden Lichtstrahl abgetastet wird und bei denen ein Teil des durchgehenden oder des gestreuten Lichtes durch einen abbildenden, optischen Strahlengang auf eine Lochblende oder auf ein System von Lochblenden abgebildet wird und bei denen der durch die jeweilige Lochblende hindurchgehende Teil dieses Lichtes mit einem fotoelektrischen Detektor gemessen und mit Hilfe dieses Meßsignals ein Bild des gesamten Probenausschnittes erzeugt wird. Insbesondere seien Anordnungen entsprechend dem Konzept des konfokalen Laserscanning-Mikroskops (vgl. z. B. T. Wilson Ed., Confocal Microscopy, Academic Press London etc. 1990) und Anordnungen entsprechend dem Konzept der rotierenden Lochscheibe genannt. Das auf diese Weise erzeugte Bild des Probenausschnittes kann sowohl ein Schnittbild senkrecht zur optischen Achse des Mikroskops sein als auch das Bild einer beliebig orientierten Schnittebene, insbesondere auch einer solchen, die in der Richtung der optischen Achse des Mikroskops verläuft.
Als spektroskopische Prüfverfahren seien alle Methoden genannt, die auf der Registrierung der Wellenlängenabhängigen Intensität von sichtbarem Licht beruhen bzw. von Licht mit einer Wellenlänge in der Nähe des sichtbaren Lichtes, z. B. von 100 nm bis 20 µm. Insbesondere seien genannt die Absorptionsspektroskopie im ultravioletten, im sichtbaren, im nahen Infrarot- und im Infrarotbereich sowie die Fluoreszenz- und die Raman-Spektroskopie. Die Anregungswellenlänge für die Fluoreszenz-Spektroskopie liegt wiederum im Bereich 100 nm bis 20 µm, vor­ zugsweise im Bereich 300 nm bis 700 nm. Die Anregungswellenlänge für die Raman-Spektroskopie liegt ebenfalls im Bereich 100 nm bis 20 µm, vorzugsweise im Bereich 250 nm bis 1,5 µm. Es kann ebenfalls eine Kombination verschiedener spektroskopischer Verfahren verwendet werden.
Als simultan registrierendes Spektrometer seien alle Anordnungen genannt, die es gestatten, für den gesamten für das jeweilige spektroskopische Verfahren relevanten Wellenlängenbereich oder für Teile davon die im Meßlicht enthaltene Strahlungs­ intensität pro Wellenlängenintervall zeitaufgelöst zu messen. Bevorzugt seien genannt ein Einfach- oder Mehrfach-Spektrograph, besonders bevorzugt eine Drei­ fach-Spektrographenanordnung mit einem linienförmigen oder flächenförmigen fotoelektrischen Empfänger. Besonders bevorzugt sei als Empfänger ein zwei­ dimensionales CCD-Array (charge coupled device) genannt.
Es ist überraschend, daß trotz der mehrjährigen kommerziellen Nutzung des konfo­ kalen Lichtmikroskops bisher noch keine volle Kopplung mit spektroskopischen Techniken realisiert worden ist. Allerdings führt eine unmittelbare und direkte Kopplung ohne besondere Maßnahmen zur Datenreduktion zu enormen Datenraten und Datenmengen, wie das folgende Zahlenbeispiel zeigt: Spektroskopische Intensi­ tätsmessungen mit 8 Bit Auflösung und auf 1024 Wellenlängen-Stützpunkten füh­ ren in Verknüpfung mit der Erzeugung eines Bildes von 512 * 512 Pixeln zu einer Datenmenge von 268 MByte pro Bild und damit bei einer Bildfrequenz von 1 Hz zu einer Datenrate von 268 MByte/sec.
Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht die simultane oder aufeinanderfol­ gende Aufnahme eines konfokalen, lichtmikroskopischen, optischen Schnittbildes einerseits und eines Satzes von spektroskopischen Intensitätsverteilungen anderer­ seits, und zwar derart, daß anhand dieser Informationen anschließend zu jedem geeignet gewählten Ausschnitt dieses optischen Schnittbildes das zugeordnete mittlere Spektrum des eingesetzten spektroskopischen Verfahrens angegeben wer­ den kann. D.h. für die im lichtmikroskopischen Bild durch unterschiedlichen Kontrast hervortretenden morphologischen Strukturelemente lassen sich getrennte Informationen über deren chemische Struktur ermitteln. Beispiele sind die stoffliche Identifizierung der einzelnen Phasen in mehrphasigen Polymeren, die Lokalisierung und Identifizierung von Additiven und von Verunreinigungen in Polymeren oder die Lokalisierung von Wirkstoffen in biologischen Präparaten.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird durch die nachfolgenden Beispiele und durch die Zeichnung näher erläutert.
Fig. 1 zeigt einen prinzipiellen Aufbau zur Durchführung des Verfahrens,
Fig. 2 erläutert die Durchführung des Verfahrens mit einer mechanischen Zuordnung der Spektren zu den Bildpunkten,
Fig. 3 erläutert die Durchführung des Verfahrens mit einer elektronischen Zuordnung der Spektren zu den Bildpunkten,
Fig. 4 zeigt die Aufteilung eines Probenbildes in fünf Objekte und den Untergrund durch ein Bildanalysesystem.
Die prinzipielle Durchführung des Verfahrens sei anhand eines konfokalen Laserscanning-Mikroskopes erläutert:
Das vom Laser 1 emittierte Licht wird über eine Fokussierungsoptik 2 auf die Eintritts-Lochblende 3 fokussiert. Diese Blende wird vom Mikroskopobjektiv 4 auf bzw. in die zu untersuchende Probe 5 abgebildet. Die zwischen Blende und Objektiv liegende Ablenkeinheit 6 führt dazu, daß dieser Laserstrahl den gewählten Proben­ ausschnitt zeilenförmig abrastert.
Das von der Probe remittierte Licht wird vom Mikroskopobjektiv 4 wieder ge­ sammelt und über den Strahlenteiler 7 auf eine zweite Lochblende 8 fokussiert. Ein Teil des durch diese Blende hindurchgehenden Lichtes wird durch den Strahlenteiler 9 hindurch über eine weitere Optik 10 auf einen Fotoempfänger 11 geleitet. Das von dem Fotoempfänger erzeugte elektrische Signal wird in der Signalverarbeitungs­ einheit 12 verstärkt und analog/digital gewandelt. Das digitalisierte CLSM-Bild kann in einem Rechnersystem 13 weiterverarbeitet, gespeichert und auf einem Ausgabegerät 14 angezeigt werden.
Der vom Strahlenteiler 9 abgelenkte Teil der Rückstreuintensität wird von der Optik 15 auf den Eintrittsspalt des Spektrographen 16 abgebildet. Dieser erzeugt hiervon simultan eine spektrale Zerlegung, die vom linien- oder flächenförmigen Foto­ empfänger 17 detektiert wird. Das elektrische Signal dieses Fotoempfängers wird in der spektroskopischen Auswerteeinheit 18 verstärkt.
In den beiden Beispielen wird die Kopplung eines konfokalen Laserscanning-Mi­ kroskops mit einem Raman-Spektrographen beschrieben. Die Beispiele unter­ scheiden sich in der Art der Registrierung der spektroskopischen Meßdaten.
Beispiel 1 beschreibt die Ablenkung des Raman-Streulichtes mit einem Drehspiegel.
Die Einzelheiten der technischen Durchführung bei diesem Beispiel werden anhand der Fig. 2 veranschaulicht.
Ein kommerzielles CLSM 21 wird mit einem kommerziellen Dreifach-Spektrogra­ phen 16 dadurch gekoppelt, daß über einen Strahlenteiler 9 ein Teil des durch die Meßblende hindurchgehenden Meßlichtes aus dein Meßkanal des CLSM ausge­ koppelt und über die Lichtleitfaser 24 in den Spektrographen eingeführt wird. Die ersten beiden Stufen des Spektrographen halten das elastisch, also ohne Wellen­ längenänderung, gestreute Laserlicht zurück. Es verbleibt das durch Fluoreszenz oder durch den Raman-Effekt gestreute Licht. Dieses wird in der dritten Stufe des Spektrographen spektral zerlegt und auf das gekühlte zweidimensionale CCD-Array 17 abgebildet. Die Ortskoordinate auf dem CCD-Array, entlang der die spektrale Zerlegung des Meßlichtes erfolgt ist, wird im folgenden mit x bezeichnet.
Zwischen dem Austrittsspalt des Spektrographen und dein CCD-Array, befindet sich eine Relaisoptik 26 mit einem elektromotorgesteuerten Drehspiegel 27. Durch den Drehspiegel ist eine Ablenkung des Meßlichtes in der zur oben erläuterten x-Richtung senkrechten y-Richtung des Arrays möglich.
Die Steuerung dieses Drehspiegels erfolgt nun über die in der zweiten Stufe des Spektrographen 16 mit dein Fotoempfänger 28 gemessene Intensität des elastisch in der Probe gestreuten Lichtes. Dies ist andererseits aber auch die Größe, die den Kontrast im konventionellen CLSM-Remissionsbild erzeugt. Das Fotoempfänger­ signal wird im Verstärker 29 verstärkt.
Die während eines vollständigen Scanprozesses zur Aufnahme eines CLSM-Bildes in dem CCD-Array gemessene Raman- (und Fluoreszenz-)Intensität wird danach ausgelesen und an den Rechner 18 zur weiteren Verarbeitung übertragen. Zur Ver­ besserung des Signal/Rausch-Verhältnisses kann auch über mehrere CLSM-Scans gemittelt werden.
Entscheidend für die Zuverlässigkeit der soeben beschriebenen Auswertungen ist die Abstimmung der Einstellzeit des Drehspiegels mit der Scanfrequenz des CLSM. Denn es muß sichergestellt sein, daß der Drehspiegel den der Struktur der unter­ suchten Probe entsprechenden zeitlichen Veränderungen der Remissions-Intensität ausreichend rasch folgen kann. Fordert man für die spektroskopische Zuordnung eine Ortauflösung von 5 Pixel und besitzt das CLSM-Bfld eine Auflösung von 512 * 512 Pixel und eine Bildfrequenz von 1 Hz, so ist eine Spiegel-Einstellzeit von ca. 20 µsec erforderlich. Reduziert man die Bildfrequenz z. B. auf 0,05 Hz, so ist eine Spiegel-Einstellzeit von ca. 0,4 msec ausreichend.
Beispiel 2 beschreibt die elektronische Sortierung der Raman-Streuintensitäten.
Die Einzelheiten der technischen Durchführung bei diesem Beispiel werden anhand der Fig. 3 veranschaulicht.
Die optische und optoelektronische Ausführung des konfokalen Laserscanning-Mi­ kroskops 31 und des Spektrographen 32 ist mit der im Beispiel 1 beschriebenen Anordnung identisch. Die aus dem Spektrographen austretende Raman- (und Fluo­ reszenz-)Intensität trifft in diesem Beispiel direkt auf ein eindimensionales CCD-Array 17 mit 1,024 Elementen. Die spektrale Zerlegung des Spektrographen ist so gewählt, daß der relevante Spektralbereich von diesem CCD-Array, gerade erfaßt wird.
Die Übernahme der Raman-Intensität von den primären Fotodetektoren in die Ausgabezeile erfolgt synchron zur Detektion des eigentlichen CLSM-Bildes, indem das Synchronsignal 34 der CLSM-Elektronik an das CCD-Array übertragen wird. Diese Raman-Intensitäten werden in der Auslese-Elektronik 35 verstärkt und ergeben nach Analog-/Digitalwandlung einen Datensatz von 1024 * 8 Bit=1 kByte pro Bildpixel. Diese Datensatze werden synchron zum Aufbau des konventionellen CLSM-Bildes in einem Speicherblock 36 von N Plätzen zu je 1 kByte aufaddiert. Die Zahl N liegt üblicherweise im Bereich 1<=N<=10. Die Zuordnung erfolgt über eine sogenannte look-up-table (LUT), in der für jedes Bildpixel eine dieser Adressen 1 bis N vorgegeben wird. Geschieht die Zuordnung über die in H-Bereiche aufge­ löste Intensitätsbestimmung des in der zweiten Stufe des Spektrometers gemessenen elastisch in der Probe gestreuten Lichtes, so läßt sich diese Zuordnung auf einfache Weise mit einem einzigen Scan der Probe realisieren, indem beispielsweise das Intensitätssignal, das im ersten Beispiel den Spiegel steuerte, zur Addressierung der Speicherplätze der Ramanspektren im Speicherblock 36 verwendet wird. Andern­ falls wird die LUT in einem der Aufnahme der Raman-Intensitäten vorangehenden Schritt berechnet:
Hierzu wird an demselben Probenausschnitt ein konventionelles CLSM-Rückstreu­ bild aufgenommen und an das Bildanalysesystem 37 übertragen. Dieses Gerät führt an diesem Bild nach problemspezifisch festzulegenden Methoden Bildbereinigungs- und Bildverarbeitungsoperationen mit dem Ziel der Objekterkennung durch. Z.B. können alle ein- oder zweifach zusammenhängenden Objekte detektiert werden, die in sich eine annähernd gleiche Rückstreuintensität aufweisen und sich gegenüber ihrer Umgebung in dieser Intensität ausreichend unterscheiden und die überdies eine gewisse Mindestgröße aufweisen. Auf diese Weise wird der abgebildete Probenaus­ schnitt in eine Anzahl von Objekten und - als Rest - deren Umgebung aufgeteilt. Letztere kann wieder aus mehreren Teilbereichen bestehen. D.h. es entstehen insge­ samt N Objekte, aus denen das Bild des Probenausschnittes zusammengesetzt ist. Fig. 4 gibt ein typisches Beispiel einer derartigen Aufteilung (a, b, c, d, e und Hintergrund f) wieder. Falls die Zahl N für die anschließende Raman-Detektion noch zu groß ist, werden die Objekte anhand zusätzlicher Kriterien in Klassen eingeteilt. Schließlich werden die Objekte bzw. Objektklassen durchnumeriert. Der Aufbau der obengenannten LUT besteht nun nur noch darin, für jedes Bildpixel zu bestimmen, zu welchem dieser N Objekte es gehört. Anschließend wird diese LUT vom Bildanalyse-Rechner an die Steuerelektronik der Raman-Signaldetektion über­ tragen 38.
Sind beide Schritte:
  • a) Aufnahme des konventionellen CLSM-Bildes und bildanalytische Berech­ nung der LUT und
  • b) Aufnahme der Raman-Intensitäten getrennt für jedes der unter a) definierten Objekte
abgeschlossen, kann für jedes der im CLSM-Bild erkannten Objekte das Raman-Spektrum analysiert werden. Ist z. B. durch andere analytische Verfahren die chemische Zusammensetzung der Probe als Ganzes bekannt, kann für jedes dieser Objekte das gemessene Raman-Spektrum mit den bekannten Raman-Spektren dieser in der Probe enthaltenen chemischen Bestandteile verglichen werden. Insbesondere kann durch bekannte mathematische Verfahren (z. B. bekannt aus Appl.Spectrosc. 33 (1979), p. 351-357) der Anteil dieser chemischen Bestandteile in den einzelnen Objekten des CLSM-Rückstreubildes quantitativ bestimmt werden.

Claims (6)

1. Verfahren zur Erzeugung und Korrelation lichtmikroskopischer Bilder und nach Wellenlängen aufgelöster Meßdaten von Proben unter Durchführung der folgenden Schritte:
  • a) ein- oder zweimalige Abtastung einzelner Elemente der abzubilden­ den Probenfläche mit einem konfokalen, scannenden Lichtmikros­ kop;
  • b) Einkoppeln eines Teiles des Lichtes aus dem Abbildungsstrahlen­ gang in ein Spektrometer zur Erzeugung der spektroskopischen Meßdaten;
  • c) Einkoppeln des anderen Teiles des Lichtes aus dem Abbildungsstrah­ lengang in einen Fotoempfänger zur Gewinnung der Bildinformation;
  • d) Korrelation der Bildinformation mit den spektroskopischen Meßdaten durch Abspeicherung der spektroskopischen Meßdaten in einem zweidimensionalen Bereich, wobei eine Dimension zur Speicherung des gemessenen Spektrums der einzelnen Elemente verwendet wird und die zweite Dimension mittels der von den abgetasteten Elemen­ ten remittierten Lichtintensität oder eines aus der Gesamtinformation des Probenbildes mittels Bildverarbeitung gewonnenen Kriteriums angesteuert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Spektrum mittels eines Fotoempfängerfeldes gemessen und digitalisiert wird und in einem aus einer endlichen Zahl von Speichern mittels des digitalisierten Wertes der remittierten Lichtintensität ausgewählten Speicher abgespeichert wird.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Spektrum eines abgetasteten Elementes als Linie auf ein zweidimensio­ nales Fotoempfängerfeld fokussiert wird und der Strahlengang des Spektro­ meters mit einer mittels der remittierten Lichtintensität steuerbaren Ablenkeinheit zur senkrechten Verschiebung des Spektrums auf dem Foto­ empfängerfeld versehen ist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Fotoempfänger ein- oder zweidimensionale Anordnungen von licht­ empfindlichen Halbleitern oder Sekundärelektronenvervielfachern verwendet werden.
5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Ablenkeinheit ein elektrisch angetriebener Drehspiegel verwendet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das in einem ersten Abtasten gewonnene Bild der Probe durch das Bildverarbeitungs­ system in mehrere Bereiche unterteilt wird, denen die durch ein zweites Abtasten der Probe erhaltenen Spektren zugeordnet werden.
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